JP2000326515A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

Info

Publication number
JP2000326515A
JP2000326515A JP2000068878A JP2000068878A JP2000326515A JP 2000326515 A JP2000326515 A JP 2000326515A JP 2000068878 A JP2000068878 A JP 2000068878A JP 2000068878 A JP2000068878 A JP 2000068878A JP 2000326515 A JP2000326515 A JP 2000326515A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
jet recording
recording head
curable material
ink jet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000068878A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4497633B2 (ja
JP2000326515A5 (ja
Inventor
Isao Imamura
功 今村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2000068878A priority Critical patent/JP4497633B2/ja
Priority to US09/526,173 priority patent/US6895668B2/en
Publication of JP2000326515A publication Critical patent/JP2000326515A/ja
Publication of JP2000326515A5 publication Critical patent/JP2000326515A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4497633B2 publication Critical patent/JP4497633B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1637—Manufacturing processes molding
    • B41J2/1639—Manufacturing processes molding sacrificial molding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S29/00—Metal working
    • Y10S29/016—Method or apparatus with etching
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/42—Piezoelectric device making
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の高画質、高精細のインクジェット記録
ヘッドの製作方法において、ノズル形成部材１０と撥イ
ンク性部材１１の吐出口部とを同じ大きさにパターンニ
ングしようとすると、パターニング精度の関係から数１
００μｍのずれを生じて吐出口付近に撥インク剤が不均
一になり、記録品位が低下する問題点を解消する製造方
法を提供する。 【解決手段】 このため、ノズル形成部材である第一の
活性エネルギー線硬化性材料１０の硬化前に撥インクの
第２の活性エネルギー線硬化材料１１を乾燥工程を経て
被覆し、これら両者を同時に露光、現像することによ
り、吐出口を得る製造方法を採用した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録方式に用いる記録液滴を発生するためのインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法及び該製造方法により製造され
たインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射方
式）に適用されるインクジェット記録ヘッドは、一般的
に微細な記録液吐出口（以下、“オリフィス”と称す
る）、液流路及びこの液流路の一部に設けられる液体吐
出エネルギー発生部を複数備えている。そして、このよ
うなインクジェット記録ヘッドで高品位の画像を得るた
めには、前記オリフィスから吐出される記録液小滴がそ
れぞれの吐出口より常に同じ体積、吐出速度で吐出され
ることが望ましい。
【０００３】これを達成するためには、特開平４−１０
９４０号ないし特開平４−１０９４２号公報において
は、インク吐出圧力発生素子（電気熱変換素子）に記録
情報に対応して駆動信号を印加し、電気熱変換素子にイ
ンクの核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネル
ギーを発生させ、インク内に気泡を形成させ、この気泡
を外気と連通させてインク液滴を吐出させる方法が開示
されている。
【０００４】このような方法を実現するためのインクジ
ェット記録ヘッドとしては、電気熱変換素子とオリフィ
スとの距離（以下、“ＯＨ距離”と略称する）が短い方
が好ましい。また、前記方法においては、ＯＨ距離がそ
の吐出堆積をほぼ決定するため、ＯＨ距離を正確に、ま
た再現良く設定できることが必要である。
【０００５】従来、インクジェット記録ヘッドの製造方
法としては、例えば特開昭５７−２０８２５５号公報及
び特開昭５７−２０８２５６号公報に記載されている方
法、すなわち、インク吐出圧力発生素子が形成された基
体上に、インク流路及びオリフィス部から成るノズルを
感光性樹脂材料を使用してパターン形成して、この上に
ガラス板などの蓋を接合する方法や、特開昭６１−１５
４９４７号公報に記載されている方法、すなわち、溶解
可能な樹脂にてインク流路パターンを形成し、そのパタ
ーンをエポキシ樹脂等で被覆してこの樹脂を硬化し、基
板を切断後に前記溶解可能な樹脂パターンを溶出除去す
る方法等がある。
【０００６】しかしながら、これらの方法は、いずれも
気泡の成長方向と吐出方向とが異なる（ほぼ垂直）タイ
プのインクジェット記録ヘッドの製造方法である。そし
て、このタイプのヘッドにおいては、基板を切断するこ
とによりインク吐出圧力発生素子とオリフィスとの距離
が設定されるため、インク吐出圧力発生素子とオリフィ
スとの距離制御においては、切断精度が極めて重要な要
素となる。しかしながら、切断はダイシングソー等の機
械的手段にて行うことが一般的であり、これらにより高
い精度を実現することは難しい。
【０００７】また、気泡の成長方向と吐出歩行とがほぼ
同じタイプのインクジェット記録ヘッドの製造方法とし
ては、例えば特開昭５８−８６５８号公報に記載されて
いる方法、すなわち、基体とオリフィスプレートとなる
ドライフィルムとをパターニングされた別のドライフィ
ルムを介して接合し、フォトリソグラフィーによってオ
リフィスを形成する方法や、特開昭６２−２６４９７５
号公報に記載されている方法、すなわち、インク吐出圧
力発生素子が形成された基体と電鋳加工により製造され
るオリフィスプレートとをパターニングされたドライフ
ィルムを介して接合する方法等がある。
【０００８】しかしながら、これらの方法では、いずれ
もオリフィスプレートを薄く（例えば２０μｍ以下）か
つ均一に作成することは困難であり、例えば作成できた
としても、インク吐出圧力発生素子が形成された基体と
の接合工程はオリフィスプレートの脆弱性により極めて
困難となる。
【０００９】その為、例えば特開平６−２８６１４９号
公報に示すような以下の製造方法が提案された。
【００１０】すなわち、インク吐出圧力発生素子が形成
された基体上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パター
ンを形成する工程と、常温にて固体状のエポキシ樹脂を
含む被覆樹脂を媒体に溶解して、これを溶解可能な樹脂
層上にソルベントコートすることによって、溶解可能な
樹脂層上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工
程と、インク吐出圧力発生素子上方の被覆樹脂層にイン
ク吐出口を形成する工程と、溶解可能な樹脂層を溶出す
る工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法
である。
【００１１】そして、このようにして形成したインク流
路及びインク吐出口に対して、吐出口面のインク溜まり
によるインク滴の偏向や不吐出を防ぐ為、吐出口面を撥
インク処理している。この場合、撥水層を転写法等によ
り形成していた。
【００１２】さらにまた、特開平５−１２４１９９号公
報に記載されているように、吐出口に撥インク剤が入ら
ず吐出口面に精度良く撥水面を設けることができるホト
リソグラフィーによる撥水層の作成方法が提案されいて
る。
【００１３】次に、図９（ａ）〜（ｄ）を参照して、従
来例の上記技法による一例を説明する：（ａ）図〜
（ｄ）図は、吐出口で切断したときの模式図を示す。図
９において、３１は基板、３２は吐出口（オリフィ
ス）、３３は撥水性の感光性樹脂材料層、３４はフォト
マスク１である。
【００１４】図９（ａ）に示す吐出口３２を有するイン
クジェット記録ヘッド基板３１の表面は、図９（ｂ）に
示されるように、撥水性を有する感光性樹脂材料により
被覆され、感光性樹脂層３３が形成される。次いで、活
性エネルギー線を通過しない所定の形状を有するフォト
マスク３４をセットし、図９（ｃ）の各矢印の方向から
活性エネルギー線を射出して、パターン露光を行う。そ
して、所定の方法に従って現像処理を行い、例えば露光
されなかった未重合部分を溶剤等によって溶出すること
により、図９（ｄ）に示すように、撥水性を有す感光性
樹脂材料層３３を得ていた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
インクジェットプリンタに見られるように、高画質化、
高精細化が求められているため、各吐出口は微細化し、
前記の様な製造方法の場合、ノズル形成部材と撥インク
性部材の吐出口部とを同じ大きさにパターニングしよう
とすると、パターニングの精度の関係から数１００ｎｍ
のずれが生じてしまうことがある。そのために吐出口近
傍で撥インク性能が不均一になり、印字品位が低下して
しまう怖れがある。
【００１６】このため、第一の活性エネルギー線硬化材
料であるノズル成形材料と、第二の活性エネルギー線硬
化材料である撥インク性である表面処理材料とを一括的
に露光する必要がある。
【００１７】しかしながら、従来用いられているスピン
コート法では、第一の活性エネルギー線硬化材料である
ノズル形成材料と、第２の活性エネルギー線硬化材料で
ある撥インク性である表面処理材料とが互いに溶け合う
場合、相溶してしまい、ノズル形成材料は撥インク性を
帯びたり、撥インク性材料は撥インク性が減少する等の
個々の特性がでなくなるばかりか、膜厚分布なども大幅
に乱れてしまうというも問題点があった。
【００１８】本発明は、以上のような局面にかんがみて
なされたもので、これらの問題点を解消するための製造
方法の提供を目的としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、以下の各項（１）〜（６）のいずれかに示すイン
クジェット記録ヘッドの製造方法を提供することによ
り、前記目的を達成しようとするものである。
【００２０】（１）吐出圧発生素子と、少なくとも液路
となる部分を占有する固体層が設けられた基体上に、ノ
ズル形成部材である第一の活性エネルギー線硬化性材料
を被覆し、露光、現像により吐出口を形成し、前記固体
層を除去することによりノズルを形成する工程、及び吐
出エネルギー発生素子形成工程を包含する液体噴射記録
ヘッドの製造方法において、前記ノズル形成部材である
前記第一の部材の硬化前に、撥インク性である第二の活
性エネルギー線硬化材料を乾燥工程を経て被覆し、これ
ら第一と第二の活性エネルギー線硬化材料を同時に露
光、現像することにより吐出口を得る工程を包含するこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２１】（２）撥インク性である前記第二の活性エ
ネルギー線硬化材料の被覆方法が、前記第二の硬化性材
料を微粒子にして吹き付けることを特徴とする前項
（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２２】（３）撥インク性である前記第二の活性エ
ネルギー線硬化材料の被覆方法が、フレキソ印刷機を用
いることを特徴とする前項（１）記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
【００２３】（４）撥インク性である前記第二のエネル
ギー線硬化材料の被覆方法が、前記第二の硬化性材料を
ドライフィルム化して貼り付けることを特徴とする前項
（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２４】（５）前記第一の活性エネルギー線硬化材
料は、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化材料であること
を特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
【００２５】（６）前記第二の活性エネルギー線硬化材
料は、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化材料であること
を特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
【００２６】（７）上記のいずれかの方法で製造される
インクジェット記録ヘッド。
【００２７】これらにより、前記従来の問題点を解決し
た。
【００２８】
【作用】以上のような本発明方法によれば、吐出口部の
撥インク性感光性材料とインク流路形成材料とを同時に
パターニングされ、また、撥インク感光性材料とインク
流路形成材料との相溶の問題もないため、各吐出口に均
一で安定した撥インク領域を作ることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
複数の実施例に基づき、図面を参照して詳細に説明す
る。
【００３０】
【実施例】図１〜図８は、本発明実施例を示す模式図
（その１〜その８）であり、これを基に本発明の製造方
法の実施例を工程順に従って説明する。
【００３１】（実施例１）まず、図１に示されるよう
な、シリコン、硝子、セラミック、金属等のインクジェ
ット用基板５を用意する。この基板５には、電気熱変換
素子或いは、圧電素子等の吐出圧力発生素子６が所望の
個数（説明の便宜上２個のみを示す）配置される。更
に、この基板５には、インク供給口７が設けられてい
る。
【００３２】このような、吐出圧力発生素子６によって
記録液小滴を吐出させるための吐出エネルギーがインク
液に与えられ、記録が行われる。ちなみに、例えば上記
吐出圧力発生素子６として電気熱変換素子が用いられる
時には、この素子が近傍の記録液を加熱することによ
り、記録液に状態変化を生起させ吐出エネルギーを発生
する。また、例えば圧電素子が用いられる時は、この素
子が機械的振動によって、吐出エネルギーが発生され
る。
【００３３】なお、これらの素子６には、各素子を動作
させるための制御信号入力用電極（図示せず）が接続さ
れている。また、一般的には、これら吐出エネルギー発
生素子６の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種
機能層が設けられるが、このような機能層を設けること
は一向に差し支えない。
【００３４】次に図２に示すように、基板５上に、以下
に示す感光性樹脂層８をこの基板５吐出圧力発生素子６
を覆うように形成した。
【００３５】ポジ型レジスト ＯＤＵＲ１０１０ （商
品名、東京応化（株）製） 感光性樹脂層８の形成の方法としては、その感光性材料
を適当な溶剤を溶解し、ＰＥＴ等のフィルム上に塗布、
乾燥してドライフィルムを作成し、ラミネートによって
成形することができる。上述のドライフィルムとして
は、ポリメチルイソプロピルケトン、ポリビニルケトン
等のビニルケトン系光崩壊性高分子を好適に用いること
ができる。その理由は、これら化合物は、光照射前は高
分子化合物としての特性（被膜性）を維持しており、イ
ンク供給口７上にも容易にラミネート可能であるためで
ある。
【００３６】次に、図３に示すように、基板５上に液路
形成部位及びそれと連通する液室形成予定部位とを除
き、フォトマスク１ ９を通してパターン露光、現像を
行うことで、流路パターンを有する感光性樹脂層を形成
した（図４）。
【００３７】このように、液路をパターニングした溶解
可能な感光性樹脂層８上に、さらに流路形成材料１０を
通常のスピンコート法、ロールコート法等で形成する。
【００３８】次に、流路形成材料１０について説明す
る。流路形成材料１０としては、吐出口３をフォトリソ
グラフィー法で容易かつ精度よく形成できることから、
感光性のものが好ましい。このような流路形成材料１０
は、構造材料としての高い機械的強度、基板５との密着
性、耐インク性と、同時に吐出口３の微細なパターンを
パターニングするための解像性が要求される。ここで、
エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物が構造材料として優
れた強度、密着性、耐インク性を有し、かつ前記エポキ
シ樹脂が常温にて固体状であれば、優れたパターニング
特性を有する。
【００３９】まず、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物
は、通常の酸無水物もしくはアミンによる硬化物に比較
して高い架橋密度（高Ｔｇ）を有するため、構造材とし
て優れた特性を示す。また、常温にて固体状のエポキシ
樹脂を用いることで、光照射によりカチオン重合開始剤
より発生した重合開始種のエポキシ樹脂中への拡散が抑
えられ、優れたパターニング精度、形状を得ることがで
きる。
【００４０】固体状のエポキシ樹脂としては、ビスフェ
ノールＡとエピクロヒドリンとの反応物のうち分子量が
およそ９００以上のもの、含ブロモビスフェノールＡと
エピクロヒドリンとの反応物、フェノールノボラックあ
るいは、クレゾールノボラックとエピクロヒドリンとの
反応物、例えば特開昭６０−１６１９７３号公報、特開
昭６３−２２１１２１号公報、特開昭６４−９２１６号
公報、特開平２−１４０２１９号公報に記載のオキシシ
クロヘキサン骨格を有する多感応エポキシ樹脂等が挙げ
られるが、これら化合物に限定されるわけではない。
【００４１】また、上述のエポキシ化合物においては、
好ましくはエポキシ当量が２，０００以下、さらに好ま
しくはエポキシ当量が１，０００以下の化合物が好適に
用いられる。これは、エポキシ等量が２０，０００を越
えると、硬化反応の際に架橋密度が低下し、硬化物のＴ
ｇもしくは熱変形温度が低下したり、密着性、耐インク
性に問題が生じる場合があるからである。
【００４２】上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カ
チオン重合開始剤としては、芳香族ヨードニウム塩、芳
香族スルホニウム塩［Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ ＳＣＩ：Ｓ
ｙｍｐｏｓｉｕｍ Ｎｏ．５６ ３８３−（１９７６）
参照］や旭電化工業株式会社より上市されている商品名
ＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０等が挙げられる。
【００４３】また、上述の光カチオン重合開始剤は、還
元剤を併用し加熱することによって、カチオン重合を促
進（単独の光カチオン重合に比較して架橋密度が向上す
る）させることができる。ただし、光カチオン重合開始
剤と還元剤を併用する場合、常温では反応せず一定温度
以上（好ましくは６０℃以上）で反応するいわゆるレド
ックス型の開始剤系になるように、還元剤を選択する必
要がある。
【００４４】このような還元剤としては、銅化合物、特
に反応性とエポキシ樹脂への溶解性を考慮して銅トリフ
ラート（トリフルオロメタンスルフォン酸銅（II））が
最適である。また、アスコルビン酸等の還元剤も有用で
ある。また、ノズル数の増加（高速印刷性）、非中性イ
ンクの使用（着色剤の耐水性の改良）等、より高い架橋
密度（高Ｔｇ）が必要な場合は、上述の還元剤を後述す
るように前記流路形成材料の現像工程後に溶液の形で用
いて流路形成材料を浸漬および加熱する後工程によって
架橋密度を高めることができる。
【００４５】さらに上記組成物に対して必要に応じて添
加剤等の適宜添加することが可能である。例えば、エポ
キシ樹脂の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加し
たり、あるいは基板との更なる密着力を得るために、シ
ランカップリング剤を添加すること等があげられる。
【００４６】本実施例では、下記の組成物１から成る第
一の活性エネルギー線硬化材料である流路形成材料１０
をスピンコートし、その後、ホットプレートで９０℃３
分ベークを行った（図５）。
【００４７】 組成物１ 重量部 ＥＨＰＥ−３１５０（商品名、ダイセル化学工業（株）製） １００ ＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業（株）製） １．５ ジエチレングリコールジメチルエーテル １００ 次いで、下記の撥水性材料１１（組成物２）を、ノード
ソン（株）製 マイクロスプレーシステムにより、１μ
ｍの膜厚になるように塗布し８０℃ホットプレート３分
のベークを行った（図６）。
【００４８】 組成物２ 重量部 ＥＨＰＥ−３１５８（商品名、ダイセル化学工業（株）製） ３４ ２、２−ビス（４−ク゛リシシ゛ルオキシフェニル）ヘキサフロロプロパン ２５ １、４−ビス（２−ヒト゛ロキシヘキサフロロイソフ゜ロヒ゜ル）ベンゼン ２５ ３−（２−ハ゜ーフルオロヘキシル）エトキシ−１、２−エポキシプロパン １６ Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー（株）製） ４ ＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業（株）製） １．５ ジエチレングリコールモノエチルエーテル ２００ このように撥水性材料１１を微粒子化することにより、
撥水性材料中の溶媒が飛翔中に揮散し乾燥するため、撥
水性材料と流路形成材料との相溶を格段に低減し、実質
的に問題ないレベルとすることができる。
【００４９】次に、図７に示すようにフォトマスク１２
により吐出口３部分を遮蔽した状態で撥水性材料１１と
流路形成材料１０とを５Ｊ／cm2 で露光し、その後、８
０℃ホットプレート４分のベークを行い、キシレンを用
いて現像を行い吐出口を形成した（図８）。
【００５０】そして、ｄｅｅｐ ＵＶ光を照射し、ＭＩ
ＢＫにより感光性樹脂材料８であるＯＤＵＲ１０１０を
除去、２００℃、１時間のベークを行いインクジェット
ヘッドを完成させた。
【００５１】（実施例２）本実施例では、撥水性材料１
１の被覆方法を以下の方法とした以外は、前記実施例１
と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。
【００５２】すなわち、前記組成物２を日本写真印刷
（株）社製 フレキソ印刷機 商品名ＩＮ−１５１によ
り、６回印刷を行い、１μｍ厚に塗布し、その後８０℃
ホットプレート３分のベークを行った。
【００５３】（実施例３）前記実施例１，２はいずれも
完全には撥水性材料１１と流路形成材料１０との相溶を
防止はしていない。本実施例は両者の相溶を完全に防止
できるものである。本実施例では、撥水性材料１１の被
覆方法を以下の方法とした以外は、実施例１と同様にし
てインクジェット記録ヘッドを作製した。
【００５４】すなわち、前記組成物２を、５０μｍＰＥ
Ｔ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムに、（株）
康井精機 社製、商品名 ＮＣＲ−２３０によるマイク
ログラビア塗工方式で１μｍになるように塗工を行っ
た。この時の乾燥温度は８０℃で行った。
【００５５】このドライフィルムを図５の基板５に張り
合せ、４Ｋｇの圧力で押しながら９０℃１分加熱し、冷
却後該ＰＥＴフィルムを剥がすことにより撥水性材料を
被覆した。本実施例においても、撥水性材料１１をドラ
イフィルム化してから流路形成材料に被覆することで、
両者の相溶が防止される。
【００５６】次に、以上の各実施例に対する各比較例を
作成した。
【００５７】（比較例１）撥水性材料１１の被覆方法を
以下の方法とした以外は、前記実施例１と同様にして、
インクジェット記録ヘッドを作製した。
【００５８】すなわち、前記組成物２を１μｍになるよ
うにスピンコートし、８０℃ホットプレート３分のベー
クを行った。
【００５９】（比較例２）撥水性材料１１を被覆する前
までは、実施例１と同様にインクジェット記録ヘッドを
作製し、その後撥水性材料１１を被覆することなく、実
施例１と同様の条件で吐出口及び液路を作製した。その
後、下記の方法で撥水性材料を被覆した。
【００６０】すなわち、濃度が低い下記組成物３を日本
写真印刷（株）社製 フレキソ印刷機商品名ＩＮ−１５
１により６回印刷を行い０．０７μｍ厚に塗布し８０℃
ホットプレート３分のベークを行い、５Ｊ／cm2 全面露
光を行った。そして、２００℃、１時間のベークを行い
インクジェット記録ヘッドを完成させた。
【００６１】 組成物３ 重量部 ＥＨＰＥ−３１５０（商品名、ダイセル化学工業（株）製） ３４ ２、２−ビス（４−ク゛リシシ゛ルオキシフェニル）ヘキサフロロプロパン ２５ １、４−ビス（２−ヒト゛ロキシヘキサフロロイソフ゜ロヒ゜ル ）ベンゼン ２５ ３−（２−ハ゜ーフルオロヘキシル）エトキシ−１、２−エポキシプロパン １６ Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー（株）製） ４ ＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業（株）製） １．５ ジエチレングリコールモノエチルエーテル ３３３３ （比較例３）撥水性材料１１を被覆する前までは、前記
実施例１と同様にインクジェット記録ヘッドを作製し、
その後撥水性材料１１を被覆することなく、実施例１と
同様の条件で吐出口及び液路を作製した。その後、前記
組成物２を１μｍになるように吐出口形成面にスピンコ
ートし、８０℃ホットプレート３分のベークを行った。
【００６２】次に、フォトマスクにより吐出口３部分を
遮蔽した状態で撥水性材料を５Ｊ／cm2 で露光し、８０
℃ホットプレート４分のベークを行なうことで撥水性材
料部分の吐出口を形成した。
【００６３】そして、ｄｅｅｐ ＵＶ光を照射し、その
後、前記ＭＩＢＫにより感光性樹脂材料であるＯＤＵＲ
１０１０（商品名）を除去し２００℃、１時間のベーク
を行いインクジェット記録ヘッドを完成させた。
【００６４】以上のように、出来上がった各インクジェ
ット記録ヘッドについて印字テスト比較を行った結果、
各比較例１〜３では、撥インク剤の不均一による印字不
良が見られたが、本実施例１〜３ではみられなかった。
本実施例と比較例とを観察したところ、インクのメニス
カスの位置が実施例１〜３では、吐出口面に安定して作
られていた。また、本実施例では、撥水性材料をエポキ
シ樹脂のカチオン重合硬化材料としたことで流路形成材
料との密着性に優れ、機械的強度に富むため、吐出口の
エッジ部分をシャープにすることができ、安定した印字
を達成している。
【００６５】しかしながら、比較例１では、スピンコー
ト時に撥インク性材料１１と流路形成材料が相溶してし
まった為、撥インク性層がばらつき、吐出直後は、イン
クのメニスカス位置がまちまちであった。
【００６６】また、比較例２では、フレキソ印刷時の吐
出口への微妙な撥水剤の入り込みにより、吐出直後は、
メニスカス位置が定まりにくかった。また、撥水層が薄
い為であると思われるが、若干の撥水性が低いように観
察された。
【００６７】さらにまた、比較例３では、撥水剤と流路
形成材料とのパターニング時に、０．２μｍのパターニ
ングギャップが生じてしまい、吐出口３のメニスカスの
異常は観察されなかったが、インクの吐出方向に乱れが
あった。
【００６８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
吐出口面に均一に撥インク性材料が形成されるため、印
字品位が著しく向上した。これにより、高精細化に伴う
吐出口の微細化に対応できる吐出口撥インク性材料の形
成が精度良くできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その１）
【図２】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その２）
【図３】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その３）
【図４】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その４）
【図５】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その５）
【図６】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その６）
【図７】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その７）
【図８】 実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の工程説明模式図（その８）
【図９】 （ａ）〜（ｄ）従来のフォトリソグラフィー
技法による撥水層の作成方法説明図
【符号の説明】
１ 基板 ２ 吐出口（オリフィス） ３ 撥水性の感光性樹脂材料 ４ フォトマスク ５ 基板 ６ 電気熱変換素子（吐出圧力発生素子） ７ インク供給口 ８ 流路型材（感光性樹脂材料） ９ フォトマスク１ １０ 流路形成材料（組成物１） １１ 感光性撥水性材料（組成物２） １２ フォトマスク２ １３ 吐出口

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吐出圧発生素子と、少なくとも液路とな
    る部分を占有する固体層が設けられた基体上に、ノズル
    形成部材である第一の活性エネルギー線硬化性材料を被
    覆し、露光、現像により吐出口を形成し、前記固体層を
    除去することによりノズルを形成する工程、及び吐出エ
    ネルギー発生素子形成工程を包含する液体噴射記録ヘッ
    ドの製造方法において、 前記ノズル形成部材である前記第一の部材の硬化前に、
    撥インク性である第二の活性エネルギー線硬化材料を乾
    燥工程を経て被覆し、これら第一と第二の活性エネルギ
    ー線硬化材料を同時に露光、現像することにより吐出口
    を得る工程を包含することを特徴とするインクジェット
    記録ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】 撥インク性である前記第二の活性エネル
    ギー線硬化材料の被覆方法が、前記第二の硬化性材料を
    微粒子にして吹き付けることを特徴とする請求項１記載
    のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項３】 撥インク性である前記第二の活性エネル
    ギー線硬化材料の被覆方法が、フレキソ印刷機を用いる
    ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘ
    ッドの製造方法。
  4. 【請求項４】 撥インク性である前記第二のエネルギー
    線硬化材料の被覆方法が、前記第二の硬化性材料をドラ
    イフィルム化して貼り付けることを特徴とする請求項１
    記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  5. 【請求項５】 前記第一の活性エネルギー線硬化材料
    は、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化材料であることを
    特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの
    製造方法。
  6. 【請求項６】 前記第二の活性エネルギー線硬化材料
    は、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化材料であることを
    特徴とする請求項５記載のインクジェット記録ヘッドの
    製造方法。
  7. 【請求項７】 請求項１ないし６いずれか記載の製造方
    法により製造されることを特徴とするインクジェット記
    録ヘッド。
JP2000068878A 1999-03-15 2000-03-13 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 Expired - Fee Related JP4497633B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000068878A JP4497633B2 (ja) 1999-03-15 2000-03-13 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
US09/526,173 US6895668B2 (en) 1999-03-15 2000-03-15 Method of manufacturing an ink jet recording head

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11-68328 1999-03-15
JP6832899 1999-03-15
JP2000068878A JP4497633B2 (ja) 1999-03-15 2000-03-13 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010050938A Division JP4537498B2 (ja) 1999-03-15 2010-03-08 吐出口部材の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2000326515A true JP2000326515A (ja) 2000-11-28
JP2000326515A5 JP2000326515A5 (ja) 2007-05-10
JP4497633B2 JP4497633B2 (ja) 2010-07-07

Family

ID=26409550

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000068878A Expired - Fee Related JP4497633B2 (ja) 1999-03-15 2000-03-13 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6895668B2 (ja)
JP (1) JP4497633B2 (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1275508A2 (en) 2001-07-11 2003-01-15 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing microstructure, method for manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US6951380B2 (en) 2002-07-10 2005-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing microstructure, method of manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US6986980B2 (en) 2002-07-10 2006-01-17 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing micro structure, method of producing liquid discharge head, and liquid discharge head by the same
US7592131B2 (en) 2002-07-10 2009-09-22 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing fine structured member, method for producing fine hollow structured member and method for producing liquid discharge head
US7629111B2 (en) 2004-06-28 2009-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method
US7681988B2 (en) 2005-09-05 2010-03-23 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and ink jet recording apparatus with nozzle member having an ink-repellent layer
US8017307B2 (en) 2004-06-28 2011-09-13 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing minute structure, method for manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US8211719B2 (en) 2009-09-24 2012-07-03 Canon Kabushiki Kaisha Method of processing substrate and method of manufacturing substrate for use in liquid ejection head
US8227043B2 (en) 2004-06-28 2012-07-24 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method
US8869401B2 (en) 2008-03-26 2014-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing microstructure, and method for manufacturing liquid jetting head
JP2015093422A (ja) * 2013-11-12 2015-05-18 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板の製造方法、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および記録装置
US9096063B2 (en) 2012-01-24 2015-08-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and method of manufacturing same
US9102145B2 (en) 2012-04-10 2015-08-11 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head and method for producing the same
JP2016038468A (ja) * 2014-08-07 2016-03-22 キヤノン株式会社 感光性樹脂層のパターニング方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7029099B2 (en) * 2003-10-30 2006-04-18 Eastman Kodak Company Method of producing ink jet chambers using photo-imageable materials
JP4667028B2 (ja) * 2004-12-09 2011-04-06 キヤノン株式会社 構造体の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
US7425057B2 (en) * 2005-04-04 2008-09-16 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and method for manufacturing the same
US7931352B2 (en) * 2005-04-04 2011-04-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and method for manufacturing the same
KR100723415B1 (ko) * 2005-12-08 2007-05-30 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드의 제조방법
US20080088673A1 (en) * 2006-10-17 2008-04-17 Sexton Richard W Method of producing inkjet channels using photoimageable materials and inkjet printhead produced thereby
US20080259134A1 (en) * 2007-04-20 2008-10-23 Hewlett-Packard Development Company Lp Print head laminate
JP4953930B2 (ja) * 2007-06-13 2012-06-13 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
US8434229B2 (en) * 2010-11-24 2013-05-07 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head manufacturing method
JP5939777B2 (ja) * 2011-12-05 2016-06-22 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06305153A (ja) * 1993-04-26 1994-11-01 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの表面処理方法
JPH1053639A (ja) * 1995-06-13 1998-02-24 Canon Inc 溶剤易溶性のフッ素含有エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた表面処理方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4429027A (en) * 1981-05-21 1984-01-31 E. I. Du Pont De Nemours & Co. Photoimaging process
JPS57208256A (en) 1981-06-18 1982-12-21 Canon Inc Ink jet head
JPS57208255A (en) 1981-06-18 1982-12-21 Canon Inc Ink jet head
US4450455A (en) 1981-06-18 1984-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head
JPS588658A (ja) 1981-07-09 1983-01-18 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
US4558333A (en) 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
JPS59204036A (ja) * 1983-05-06 1984-11-19 Dainippon Ink & Chem Inc レジストパタ−ンの形成法
JPH0625194B2 (ja) 1984-01-30 1994-04-06 ダイセル化学工業株式会社 新規なエポキシ樹脂の製造方法
US4565859A (en) 1984-01-30 1986-01-21 Daicel Chemical Industries, Ltd. Polyether compounds, epoxy resins, epoxy resin compositions, and processes for production thereof
JPH0645242B2 (ja) 1984-12-28 1994-06-15 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツドの製造方法
JPS62264975A (ja) 1986-05-13 1987-11-17 Konika Corp サ−マルプリンタ
JPH07119269B2 (ja) 1986-08-26 1995-12-20 ダイセル化学工業株式会社 エポキシ樹脂
JPH0725864B2 (ja) 1987-03-09 1995-03-22 ダイセル化学工業株式会社 エポキシ樹脂
JPH0822902B2 (ja) 1988-11-21 1996-03-06 ダイセル化学工業株式会社 エポキシ樹脂の製造方法
JP2783647B2 (ja) 1990-04-27 1998-08-06 キヤノン株式会社 液体噴射方法および該方法を用いた記録装置
JPH0410942A (ja) 1990-04-27 1992-01-16 Canon Inc 液体噴射方法および該方法を用いた記録装置
JPH0410941A (ja) 1990-04-27 1992-01-16 Canon Inc 液滴噴射方法及び該方法を用いた記録装置
DE69127801T2 (de) * 1990-12-19 1998-02-05 Canon Kk Herstellungsverfahren für flüssigkeitsausströmenden Aufzeichnungskopf
JPH05124199A (ja) 1991-11-06 1993-05-21 Canon Inc インクジエツトヘツドのノズル面撥水処理方法、撥水処理したインクジエツトヘツドおよび該ヘツドを具備する記録装置
JP2960608B2 (ja) * 1992-06-04 1999-10-12 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドの製造方法
JPH06226984A (ja) * 1993-02-03 1994-08-16 Canon Inc 液体噴射記録ヘッドの製造方法および液体噴射記録ヘッド
JP3143307B2 (ja) 1993-02-03 2001-03-07 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06305153A (ja) * 1993-04-26 1994-11-01 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの表面処理方法
JPH1053639A (ja) * 1995-06-13 1998-02-24 Canon Inc 溶剤易溶性のフッ素含有エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた表面処理方法

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1275508A2 (en) 2001-07-11 2003-01-15 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing microstructure, method for manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US6960424B2 (en) 2001-07-11 2005-11-01 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing microstructure, method for manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US7526863B2 (en) 2001-07-11 2009-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing a microstructure
US6951380B2 (en) 2002-07-10 2005-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing microstructure, method of manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US6986980B2 (en) 2002-07-10 2006-01-17 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing micro structure, method of producing liquid discharge head, and liquid discharge head by the same
US7592131B2 (en) 2002-07-10 2009-09-22 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing fine structured member, method for producing fine hollow structured member and method for producing liquid discharge head
US8017307B2 (en) 2004-06-28 2011-09-13 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing minute structure, method for manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
US7629111B2 (en) 2004-06-28 2009-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method
US8227043B2 (en) 2004-06-28 2012-07-24 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method
US7681988B2 (en) 2005-09-05 2010-03-23 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and ink jet recording apparatus with nozzle member having an ink-repellent layer
US8869401B2 (en) 2008-03-26 2014-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing microstructure, and method for manufacturing liquid jetting head
US8211719B2 (en) 2009-09-24 2012-07-03 Canon Kabushiki Kaisha Method of processing substrate and method of manufacturing substrate for use in liquid ejection head
US9096063B2 (en) 2012-01-24 2015-08-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and method of manufacturing same
US9102145B2 (en) 2012-04-10 2015-08-11 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head and method for producing the same
JP2015093422A (ja) * 2013-11-12 2015-05-18 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板の製造方法、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および記録装置
JP2016038468A (ja) * 2014-08-07 2016-03-22 キヤノン株式会社 感光性樹脂層のパターニング方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4497633B2 (ja) 2010-07-07
US20030146955A1 (en) 2003-08-07
US6895668B2 (en) 2005-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4497633B2 (ja) 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP3143307B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP3368094B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP2009137155A (ja) 溶液吐出ヘッド及びその製造方法
JP3679668B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP5701000B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP2001179990A (ja) インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP3986060B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの流路構成部材及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
JP7134825B2 (ja) 微細構造体の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP2005125619A (ja) 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法
JP2000255072A (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド
JP2004042396A (ja) 微細構造体の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド
US20040231780A1 (en) Formation of photopatterned ink jet nozzle plates by transfer methods
JP5027991B2 (ja) インクジェットヘッドおよびその製造方法
JP7297442B2 (ja) 微細構造体の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP4537498B2 (ja) 吐出口部材の製造方法
JP5159336B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP2001179979A (ja) 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法
JP2006110910A (ja) インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP5328334B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法
JP2005125577A (ja) 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法
JP2010208023A (ja) インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド
JP2791240B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを具備するインクジェット記録装置
JP2002144586A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法
JP2002200759A (ja) 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070313

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070313

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091218

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100106

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100308

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100406

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100413

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4497633

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140423

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees