DE8801235U1 - Behälter zur Vakuumlagerung und/oder -beförderung von Platten, insbes. Siliziumplatten - Google Patents

Behälter zur Vakuumlagerung und/oder -beförderung von Platten, insbes. Siliziumplatten

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Description

Amlreiewtkl, Honke & Partner, Patentanwälte in Ewen Beioheeibungt
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Behälter zur Vakuuralagerung und/oder -beförderung von Platten, inebes. Siliziumplatten, dessen Teile so zusammengesetzt und ausgestaltet sind, daß er besonders zweckmäei? ist.
Platten, insbes. scheibenartige Siliziumplatten, die zur Herstellung von integrierten Schaltungen Verwendung finden, werden am Ende ihrer Bearbeitung bis auf eine Schichtdicke von 300 pm verdünnt, elektrisch geprüft und dann zur Zusammenbausteile versandt. Häufig wird dieser Zusammenbau erst lange Zeit nach der Bearbeitung und Prüfung durchgeführt, was eine Zwischenlagerung der Platten erfordert. Die Zusammenoaustelle ist oft von der Herstellunganlage entfernt. Daher soll die Beförderung der Platten ohne Beschädigungen erfolgen.
In beiden Fällen ist es notwendig, über Behälter zu verfügen, die besondere Eigenschaften aufweisen, nämlich:
a) Sie sollen Vakuumbehälter sein, um eine Feuchtigkeitsaufnähme zu vermeiden;
b) sie sollen stabil sein und die Platten schützen, die dünn und zerbrechlich sind;
c) sie sollen so leicht uad klein wie möglich sein, um die Beförderungskosten niedrig zu halten;
d) sie sollen aus Werkstoffen gefertigt sein, welche die Platten nicht beflecken und eine solche Ausgestaltung aufwei-
Andrejewtki, Honke & Partner, Patentanwälte &iacgr;&eegr; EtMn
sen, daß sie die Stirnseiten dec Platten nicht oder nur auf einer sehr kleinen Oberfläche berühren, um deren Befleckung möglichst niedrig zu halten;
e) sie dürfen keine elektrostatischen Ladungen auf die Platten übertragen.
Bs gibt verschiedene Behälter auf dem Markt, die jedoch nicht alle oben genannten Eigenschaften aufweisen. Beispielsweise setzen sie Metallverunreinigungen frei wie Na, K usw., bzw. die Platten werden beschädigt/ bzw. die Plattenoberfläche wird an mehreren Stellen berührt, bzw. es handelt sich nicht um "*kuumbehälter, bzw. die Behälter sind groß und teuer, bzw. die Vakuumverpackung ist sehr schwierig automatisierbar.
Bs ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Behälter zur Verfugung zu stellen, der leicht eine Vakuumverpackung ermöglicht, die dünne Scheiben bzw. Platten gegen Beschädigung schützt, entsprechende antistatische Eigenschaften aufweist, die Scheiben bzw. Platten nicht befleckt, und auch für unganze Scheiben bzw. Platten eingesetzt werden kann.
Diese Aufgabe löst die Erfindung bei einem gattungsgemäSen Behälter dadurch, daß er zwei kreisförmige Teile von gleichem Durchmesser aufweist, die jeweils vorspringende Ränder auf einer Stirnseite, in verschiedenen Abständen von Mittelpunkt derselben Stirnseite besitzen, und auf der oberen Stirnseite des Teiles, das den unteren Teil des Behälters bildet, einen kleinen inneren Rand, dessen Höhe kleinen: als die des äußeren Randes ist und diesen berührt, aufweisen.
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Andrejewskl, Honke & Partner/ Patentanwälte in Essen
Die oben genannt« Stirnseite, die einen zweiten Rand aufweist, ist diejenige, deren äußerer Rand den größeren Durchmesser hat.
Heide Ränder auf der Stirnseite dee Behälters sind durchbrochen und schaffen somit einen Spalt, der sich, bei zusammengebautem Behälter, auf der Umfangsoberflache des Behälters befindet und im inneren des Behälters einen Unterdruck zu erzeugen ermöglicht.
Durch die Kupplung der beiden Stirnseiten mit kleinerem um größerem äußeren Durchmesser, die zu verschiedenen kreisförmigen Teilen gehören, erhält man den erfindungsgemäßen Behälter in seiner verwendungsmäßigen Ausgestaltung, wobei der äußere Rand auf der inneren Stirnseite des oberen Teils dem inneren Rand des unteren Teils gegenüberliegt.
Wenn eine Platte in den Behälter eingesetzt wird, berührt sie mit nur einem geringfügigen Omfangsteil ihrer Oberfläche den oben genannten inneren Rand und äußeren Rand mit kleinerem Durchmesser; man erhält damit eine gute Anordnung der Platte, wobei die Befleckungsmöglichkeit verringert wird. Denn die ümfangsteile, welche die innere Struktur des Behälters berühren, werden zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen nicht verwendet.
Die Möglichkeit Vakuum in Behälter zu erzeugen wird dadurch erreicht, daß man den Bebälter in einen Kunststoffbeutel o. dgl. einsetzt und Vakuum im Beutel erzeugt, wobei, durch die öffnung der mittleren Oberfläche des Behälters, das Vakuum auch im Behälter entsteht.
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And« jewiki, Honke & Partner, Patentanwälte in Essen
Damit der Behälter die gewünschten antistatischen Eigenschaften aufweist, wird er aus Polycarbonat hergestellt.
Die Erfindung wird anhand der beispielhaft beigefügten Zeichnung näher erläutert. Ee zeigen;
Fig, 1 eine perspektivische Darstellung der beiden Teile, die den Behälter bilden, Seite an Seite auf einer Ebene,
Fig. 2 eine perspektivische Explosionsdarstellung der beiden Teile, die den Behälter bilden, mit einer eingesetzten Platte,
Fig. 3 einen Querschnitt durch den geschlossenen Behälter, mit eingesetzter Platte.
In Fig. 1 ist der Behälter 1 aus zwei kreisförmigen, trennbaren Teilen 2, 3 mit oberen und unteren gewölbten Stirnseiten 4, 5 zusammengesetzt. Diese kreisförmigen Teile weisen vorspringende Urafangsrander 6, 7 auf dem äußeren Umfang (Rand 6) bzw. geringfügig nach innen versetzt (Rand 7) auf. Die Höhe des Randes 7 ist kleiner als die Höhe des Randes 6. Auf der oberen Stirnseite 4 des kreisförmigen Teils 2 ist ein innerer ürafangsrand 8 geformt* der in Berührung mit der inneren Seite des äußeren Randes 6 steht und eine niedrigere Höhe als Rand 6 aufweist.
Eine Platte 9 wird umfangsseitig auf den inneren und äußeren Rand 7 bzw. 8 aufgesetzt. Diese Ränder 7, 8 sind die einzige« Berührungsstellen des Behälters 1 mit der Platte 9. S^s #ird
Andrejewski, Honke & Partner, Patentanwälte in Essen
die Befleckungssnöglichkeit gegenüber den bisher verwendeten Behältern verringert.
Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung weist ferner eine gute mechanische Festigkeit und gute antistatische Eigenschaften auf.
Die Ränder 6 und 8 auf der Stirnseite 4 des Teils 2 sind zwischen Stellen A und C unterbrochen und schaffen somit« bei zusammengebautem Behälter, einen schmalen Spalt 10 auf der Umfangsoberflache des Behälters 1.
Wenn man den Behälter 1 in einen Beutel einsetzt und Vakuum in demselben erzeugt, ermöglicht der oben genannte Spalt die Erzeugung von Vakuum auch im Inneren des Behälters 1. Die gewölbte Ausgestaltung der Stirnseiten 4 und 5 verhindert, dae sich im Vakuum die oben genannten Stirnseiten biegen und in Berührung mit der Platte 9 kommen. Bei den Stirnseiten 4, 5 handelt es sich praktisch um Deckel, die zu dem Behälter 1 randseitig zusammengesetzt werden.
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Claims (4)

SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.p.A. Stcadale Priraosole 50 95121 CATANIA (Italy) Behälter zur Vakuumlagerung und/oder -beförderung von Platten, insbes. Siliziumplatten Schutzansprüche:
1. Bebälter zur Vakutunlagerung und -beförderung von Platten, insbes. siliziumplatten, gekennzeichnet durch zwei kreisförmige Teile (2, 3), die jeweils vorspringende äuflere Ränder in der Umfangerichtung auf oberen bzw. unteren Stirnseiten (4 bzw. 5) aufweisen, wobei die obere Stirnseite (4) des kreisförmigen Teils (2), die den unteren Teil des zusammengebauten Behälters (1) bildet, einen zusätzlichen inneren Rand aufweist.
Andrejewda, Honke & Partner, Patentanwälte in Essen
2. Behälter nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß die äußeren Ränder (6, 7) verschieden hoch sind, wobei der eine Rand (7) eine niedrigere Hohe als der andere Rand (6) und einen geringfügig kleineren Durchmesser als die untere Stirnseite (5) aufweist.
3. Behälter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Rand (S) eine niedrigere Hohe als der äußere Rand (6) auf der Stirnseite (4) des unteren Teils C2) des Behälters (1) aufweist und in unmittelbarer Berührung mit dem äußeren Rand (6) ist.
4. Behälter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, das er eine öffnung (10), z. B. auf dem Umfang, aufweist.
* 4 i « I » I <4I
DE8801235U 1987-02-06 1988-02-02 Behälter zur Vakuumlagerung und/oder -beförderung von Platten, insbes. Siliziumplatten Expired DE8801235U1 (de)

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