DE60120107T3

DE60120107T3 - Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung einer Scheibe

Info

Publication number: DE60120107T3
Application number: DE60120107T
Authority: DE
Inventors: Masahiro Toshima-ku Nakamura; Takayuki Toshima-ku Suzuki; Hideo Toshima-ku Kobayashi; Shinichi Toshima-ku Shinohara
Original assignee: Origin Electric Co Ltd
Current assignee: Origin Electric Co Ltd
Priority date: 2001-03-28
Filing date: 2001-10-12
Publication date: 2010-08-26
Anticipated expiration: 2021-10-13
Also published as: JP2002358695A; US7198478B2; DE60120107D1; US20020140120A1; EP1245370A2; EP1245370A3; KR20020077019A; US6740269B2; EP1245370B2; DE60120107T2; EP1245370B1; US20040212116A1; TW514912B; CN1377036A; CN1198276C; KR100527317B1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Behandeln einer Scheibenplatte. Spezieller betrifft die vorliegende Erfindung das Verfahren und die Vorrichtung zum Reduzieren einer Verziehung einer optischen Speicherplatte wie zum Beispiel eine digitale Videodiskette (im Folgenden als „DVD” bezeichnet) und eine CD-Platte. Speziell ist die Verziehung diejenige, die an einer Scheibenplatte (der optischen Speicherplatte), die durch Spitzgießen geformt worden ist, verursacht wird. Mit der in diesem Maße reduzierten Verziehung wird die Scheibenplatte geglättet.
2. BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK
Im Stand der Technik zeigt US-A-6 136 133 ein Verfahren zum Herstellen einer optischen Speicherplatte des begrenzten Typs. In dem Verfahren werden erste und zweite lichtdurchlässige Trägermaterialien durch Spitzgießen geformt. Form und Größe des ersten und des zweiten lichtdurchlässigen Trägermaterials können z. B. die Form einer DVD annehmen. Ein ähnliches Verfahren ist aus US-A-6-159 572 bekannt, bei dem ein Auflageträgermaterial einer Scheibe ebenfalls durch Spritzgießen hergestellt wird. Anschließend wird mit dem Auflageträgermaterial ein Decksubstrat verklebt, die auf eine rotierende Halterung gelegt werden. Dann wird der überflüssige Teil eines Klebstoffes, der zwischen dem Auflageträgermaterial und einem Kernsubstrat eingebracht wurde, durch die Zentrifugalkraft herausgeschleudert, wodurch eine gleichmäßige formlose Klebstoffschicht mit einer vorgegebenen Dicke zwischen den Trägermaterialien gebildet wird.
Ein ähnlicher Schleuderprozess ist aus EP-A-0 869 488 bekannt.
Jedoch sind alle der oben angegebenen Verfahren nicht in der Lage, ein zufrieden stellendes Verfahren zum Behandeln einer Scheibenplatte bereitzustellen.
Eine Vorrichtung zum Behandeln einer Scheibenplatte ist aus EP-A-0 793 224 bekannt. Die aus diesem Stand der Technik bekannte Vorrichtung zeigt eine Fördereinrichtung zum Transportieren einer Scheibenplatte. Die transportierte Scheibenplatte besteht aus einer oberen und einer unteren Scheibe. Eine zwischen der oberen und der unteren Scheibe eingelegte Klebstoffschicht wird durch eine Zentrifugalkraft radial nach außen verteilt, wenn die Scheibenplatte in einer Schleuder schnell gedreht wird. Bei dieser Vorrichtung sind keine notwendigen Mittel vorgesehen, um eine Scheibenplatte von guter Qualität zu erhalten.
Im Allgemeinen wird die Scheibe einer optischen Speicherplatte durch Spritzgießen wie eine DVD-Scheibe und eine CD-Scheibe geformt.
Wie in den 14(A), 14(B) und 14(C) ersichtlich ist, wird ein Verfahren zum Formen einer Scheibenplatte 1 bereitgestellt. In das Paar aus einer ersten Metallform 10 und einer zweiten Metallform 11 wird zum Spitzgießen ein Kunstharzmaterial eingesprüht. Nach dem Spitzgießen wird das Kunstharzmaterial zu einer Form-Scheibenplatte 1' geformt, die verfestigt werden soll, um zu der Scheibenplatte 1 zu werden. Zu diesem Zeitpunkt werden auf einer der zwei Oberflächen der geformten Scheibenplatte 1' vorgegebene Informationen aufgezeichnet. Danach werden die erste Metallform 10 und die zweite Metallform 11 voneinander getrennt (geöffnet) wie es in 14(B) ersichtlich ist. Anschließend bewegt sich der Entnahmearm 12 eines Entnahmemechanismus (nicht gezeigt) nach vorn in einen Bereich zwischen der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11, um auf diese Weise die geformte Scheibenplatte 1', die eine hohe Temperatur besitzt und noch weich ist, sicher aufzunehmen. Danach bewegt sich der Entnahmearm 12 zurück, um auf diese Weise die geformte Scheibenplatte 1' aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 heraus zu nehmen.
Dann wird, wie in 14(C) ersichtlich ist, in einer vorgegebenen Position, die so heraus genommene, geformte Scheibenplatte 1' direkt mit einem Förderarm 13 eines Transportmechanismus fest aufgenommen. Der Förderarm 13 transportiert die geformte Scheibenplatte 1' zu einer Kühlstufe 14 (nächster Arbeitsgang).
Spezieller besitzt die geformte Scheibenplatte 1' eine erste Oberfläche und eine der ersten Oberfläche gegenüber liegende, zweite Oberfläche. Auf der ersten Oberfläche wird die geformte Scheibenplatte 1' fest an einem spitzen Ende 12A des Entnahmearms 12 aufgenommen. Auf der zweiten Oberfläche wird die geformte Scheibenplatte 1' fest an einem spitzen Ende 13A des Förderarms 13 aufgenommen. Gleichzeitig mit der Aufnahme der geformten Scheibenplatte 1' an dem spitzen Ende 13A gibt das spitze Ende 12A die geformte Scheibenplatte 1' frei (unterbricht nämlich die Aufnahme). Anschließend dreht sich der Förderarm 13 im Wesentlichen um 180° mit der am spitzen Ende 13A fest aufgenommenen, geformten Scheibenplatte 1'. Danach transportiert der Förderarm 13 die geformte Scheibenplatte 1' zu der Kühlstufe 14. Die geformte Scheibenplatte 1' wird mit der Kühlstufe 14 abgekühlt, um das Kunstharzmaterial der geformten Scheibenplatte 1' zu verfestigen. Nach der Verfestigung wird die Form-Scheibenplatte 1 als die Scheibenplatte 1 bezeichnet. Die Erstarrungstemperatur zur Verfestigung des Kunstharzmaterials beträgt zum Beispiel etwa 90°C.
Wie oben beschrieben, besitzt die Form-Scheibenplatte 1' bald, nachdem sie aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 heraus genommen wurde, eine hohe Temperatur und ist weich genug. Deshalb verursacht die Form-Scheibenplatte 1' während der aufeinander folgenden Arbeitsgänge von i) Abkühlen, ii) Verfestigen des Kunstharzmaterials und iii) zur Scheibenplatte 1 werden, eine erhebliche Verformung wie zum Beispiel die Verziehung. Normalerweise werden verschiedene Verfahren eingesetzt, um die Verziehung zu verringern, indem Bedingungen des Spitzgießens, wie nachstehend erwähnt, eingestellt werden:

i) Einstellen der Temperatur der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 einer Formmaschine.
ii) Einrichten einer Temperaturdifferenz zwischen der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11.
iii) Einstellen des Druckes zum Einsprühen des Kunstharzmaterials.

Selbst wenn die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' klein ist und durch die normalen Verfahren, wie oben beschrieben, verringert wird, verursacht die Form-Scheibenplatte 1' die Verziehung während der Zeit, in der die Form-Scheibenplatte 1' aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 herausgenommen wird, und während der Zeit, in der die Form-Scheibenplatte 1' zu der Kühlstufe 14 transportiert wird. Die so verursachte Verziehung ist der folgenden wiederholten Beschreibung zuzuschreiben, das heißt „Die Form-Scheibenplatte 1' besitzt bald, nachdem sie aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 der Formmaschine herausgenommen wurde, eine hohe Temperatur und ist weich genug”. Außerdem nimmt die in diesem Maße verursachte Verziehung während des Abkühlvorgangs zu.
Die Verziehung wird spezieller in 15(A), 15(B) und 15(C) beschrieben. Die Form-Scheibenplatte 1' wird aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 der Formmaschine herausgenommen. Wie in 15(A) ersichtlich ist, wird die Form-Scheibenplatte 1' an dem spitzen Ende 12A des Entnahmearms 12 fest aufgenommen. Ferner (andererseits) wird die Form-Scheibenplatte 1' an dem spitzen Ende 13A des Transportarms 13 fest aufgenommen. Die Form-Scheibenplatte 1' besitzt eine hohe Temperatur und ist weich genug. Deshalb ver ursacht die Form-Scheibenplatte 1' die Verziehung, wenn die Form-Scheibenplatte 1' im Wesentlichen im mittleren Bereich der Form-Scheibenplatte 1' aufgenommen wird, derart, dass die Verziehung entgegen gesetzt gebogen ist {(in 15(A) nach rechts zu einer Aufnahmeseite)}. Speziell zeigt die DVD mit einer Dicke von etwa 0,6 mm (dünn) die Verziehung (Biegung) hervorstechender als die Kompaktdisk mit einer Dicke von etwa 1,2 mm. Außerdem wird, wie in 15(B) ersichtlich ist, die Form-Scheibenplatte 1' durch den Entnahmearm 12 mit einer vergleichsweise hohen Geschwindigkeit mit der von dem Entnahmearm 12 aufgenommenen Form-Scheibenplatte 1' gedreht, und die Form-Scheibenplatte 1' durch den Förderarm 13 mit einer vergleichsweise hohen Geschwindigkeit mit der von dem Förderarm 13 aufgenommenen Form-Scheibenplatte 1' transportiert. Die oben erwähnte Drehung und Zuführung der Form-Scheibenplatte 1' verursacht einen Winddruck, wodurch die Form-Scheibenplatte 1' verzogen wird. Außerdem wird die Form-Scheibenplatte 1', wie in 15(C) ersichtlich ist, auf einer Scheibenbank 15 der Kühlstufe 14 abgekühlt. Die Form-Scheibenplatte 1' besitzt ein solche Eigenmasse, so dass sie die Verziehung gegebenenfalls während einer Abkühlzeit auf der Scheibenbank 15 verursachen kann. Noch mehr verursachen einige andere Kühlstufen mit unterschiedlicher Beschaffenheit eine teilweise Verformung der Form-Scheibenplatte 1' während der Abkühlzeit.
Die oben erwähnte Verziehung wird um eine mittlere Öffnung (nicht gezeigt) der Form-Scheibenplatte 1' herum radial nach außen verursacht, so dass auf diese Weise im Wesentlichen eine Punktsymmetrie gebildet wird. Einige andere Verziehungen verlaufen derart, dass sie eine zweiseitige Symmetrie (nach rechts und links) in Bezug auf eine bis drei Linien durch die mittlere Öffnung bilden. Die oben erwähnten Verziehungen werden sichtbarer, wenn die Produktions-Durchlaufzeit der Scheibenplatte 1 verkürzt ist, wodurch die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' (komplizierter und größer) begünstigt wird.
KURZER ABRISS DER ERFINDUNG
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zum Behandeln einer Scheibenplatte.
Spezieller ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, diejenige Scheibenplatte zu erhalten, die eine Verziehung oder eine Verformung innerhalb einer zulässigen Grenze (Toleranz) aufweist, oder diejenige Scheibenplatte zu erhalten, die im Wesentlichen frei von einer Verziehung oder Verformung ist. Um die oben erwähnte Scheibenplatte zu erhalten, wird die Scheibenplatte während der Zeit, in der das Kunstharzmaterial der Form-Scheibenplatte welch ist (mit anderen Worten vor dem Verfestigen des Kunstharzmaterials) mit einer solch hohen Geschwindigkeit geschleudert, dass eine Zentrifugalkraft verursacht wird. Gleichzeitig damit wird die Form-Scheibenplatte abgekühlt. Die Zentrifugalkraft unterstützt die Reduzierung der Verziehung und der Verformung.
Als eine Lösung für die oben genannte Aufgabe wird ein Verfahren wie in Anspruch 1 definiert und eine Vorrichtung wie in Anspruch 13 definiert bereitgestellt. Bevorzugte Ausführungen des erfinderischen Verfahrens und der erfinderischen Vorrichtung sind in den abhängigen Unteransprüchen definiert.
Die anderen Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen verständlich werden.
KURZBESCHREIBUNG DER EINZELNEN ANSICHTEN DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt eine grundlegende Ausführung, die eine auf eine Scheibenbank 2 gelegte Form-Scheibenplatte 1 zum schnellen Drehen mit einer Schleuder 3 nach einer ersten (grundlegenden) Ausführung der vorliegenden Erfindung darstellt;
2 zeigt eine Produktions-Durchlaufzeit im Verhältnis zu einem Verziehungswinkel am Umfang der Form-Scheibenplatte 1;
3(A) zeigt eine Schleuderdrehzahl im Verhältnis zu dem Verziehungswinkel am Umfang der Form-Scheibenplatte 1;
3(B) zeigt eine Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' bei einer Schleuderdrehzahl, die kleiner als 3000 U/min ist;
3(C) zeigt den Verziehungswinkel der Form-Scheibenplatte 1' bei der Drehzahl, die nicht kleiner als 3000 U/min ist;
4 zeigt die Zeit im Verhältnis zu i) dem Verziehungswinkel am Umfang und zu ii) der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1';
5 zeigt die Temperatur im Verhältnis zu einer Änderung des radialen Verziehungswinkels der Form-Scheibenplatte 1';
6 zeigt eine Scheibenaufnahmezeit im Verhältnis zu i) dem radialen Verziehungswinkel und zu ii) einer Scheibentemperatur, wenn die Form-Scheibenplatte 1' aufgenommen ist und in Ruhe gelassen wird;
7 ist ein Verfahren zum Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' (erzwungene Luftkühlung) nach einer zweiten Ausführung der vorliegenden Erfindung;
8 ist ein Verfahren zum Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' (erzwungene Luftkühlung) nach einer dritten Ausführung der vorliegenden Erfindung;
9 ist ein Verfahren zum Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' (erzwungene Luftkühlung) nach einer vierten Ausführung der vorliegenden Erfindung;
10 (10A, 10B und 10C) ist ein Verfahren zum Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' (erzwungene Luftkühlung) nach einer fünften Ausführung der vorliegenden Erfindung;
11 zeigt ein Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte 1 nach einer sechsten Ausführung der vorliegenden Erfindung;
12 ist eine schematische Darstellung des Verfahrens zum Behandeln der Scheibenplatte 1 nach der sechsten Ausführung;
13 zeigt ein Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte 1 nach einer siebenten Ausführung der vorliegenden Erfindung;
14 (14A, 14B und 14C) zeigt eine grundlegende Erscheinung der Verziehung einer Form-Scheibenplatte 1' nach dem Stand der Technik; und
15 zeigt drei Fälle (15A, 15B und 15C) der Verursachung einer Verziehung nach dem Stand der Technik.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNG
Nach der vorliegenden Erfindung wird die Form-Scheibenplatte 1' als eine Scheibenplatte definiert, bevor das Kunstharzmaterial fest wird, während die Scheibenplatte 1 als die Scheibenplatte nach dem Verfestigen des Kunstharzmaterials definiert wird.
Wie in 1 ersichtlich ist, wird eine Scheibenplatte 1 und eine Form-Scheibenplatte 1' nach einer ersten (grundlegenden) Ausführung der vorliegenden Erfindung zur Verfügung gestellt. Die Form-Scheibenplatte 1' besitzt bald, nachdem sie aus der Metallform herausgenommen wurde, eine hohe Temperatur und ist weich genug. Speziell wird eine Verziehung am Umfang der Form-Scheibenplatte 1' aufgrund verschiedener Faktoren vergrößert, wie zum Beispiel, wenn die Produktions-Durchlaufzeit schnell ist, Winddruck während des Transports, Spannung, die einer festen Aufnahme zuzuschreiben ist, Spannung während eines Formvorgangs und Eigengewicht der Form-Scheibenplatte 1'. Nach der vorliegenden Erfindung wird die Form-Scheibenplatte 1', wenn sie eine hohe Temperatur aufweist und weich ist (mit anderen Worten, bevor das Kunstharzmaterial der Form-Scheibenplatte 1' fest wird), auf eine Scheibenbank 2 zum schnellen Drehen mit einer hohen Drehzahl gelegt wie es in 1 ersichtlich ist. Damit wird eine Zentrifugalkraft auf die Form-Scheibenplatte 1' derart aufgebracht, dass eine Zugkraft radial nach außen bewirkt wird. Mit der so aufgebrachten Zugkraft wird die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' reduziert. Hierbei ist die hohe Drehzahl nicht kleiner als 3000 U/min, besser nicht kleiner als 4000 U/min, was später ausführlicher beschrieben werden soll.
Wie in 1 ersichtlich ist, wird die Form-Scheibenplatte 1' mit einer Strichpunktlinie dargestellt. Die Form-Scheibenplatte 1' besitzt eine hohe Temperatur und ist weich genug. Eine gewöhnliche Fördereinrichtung (nicht dargestellt) nimmt die Form-Scheibenplatte 1' fest auf und transportiert die Form-Scheibenplatte 1', um sie auf die Scheibenbank 2 zu legen. Die Scheibenbank 2 besitzt ein Aufnahmemaß (nicht gezeigt) zum Aufnehmen der Form-Scheibenplatte 1' in einer Vielzahl von Positionen in der Nähe eines inneren Umfangs der Form-Scheibenplatte 1'. Die Scheibenbank 2 ist mit einer Schleuderwelle 4 verbunden oder in der Schleuderwelle 4 eingebaut. Die Schleuderwelle 4 wird durch eine Schleuder-Antriebseinrichtung 3 schnell gedreht. Obwohl es in 1 nicht ersichtlich ist, besitzt die Scheibenbank 2 ein Aufnahmeteil, das durch die Schleuderwelle 4 mit einem externen Vakuumpumpen-Mechanismus (nicht dargestellt) verbunden ist. In einer vergleichsweise kurzen Zeit wird die Schleuder-Antriebseinrichtung 3 auf eine vorgegebene hohe Drehzahl (spezieller zum Beispiel 10 000 U/min) beschleunigt. Verschiedene Arten von Messdaten hinsichtlich der Form-Scheibenplatte 1' wurden durch die folgenden drei Arbeitsgänge erhalten:
Arbeitsgang 1
Die Form-Scheibenplatte 1' wird aus der Metallform herausgenommen, wobei die Form-Scheibenplatte 1' eine hohe Temperatur besitzt.
Arbeitsgang 2
Bald nach dem Arbeitsgang 1 wird die Form-Scheibenplatte 1' fest aufgenommen, wobei sich die Scheibenbank 2 im Wesentlichen bei Raumtemperatur befindet.
Arbeitsgang 3
Die Schleuder-Antriebseinrichtung 3 dreht die Form-Scheibenplatte 1' schnell auf die vorgegebene (beschleunigte) Geschwindigkeit, um die verschiedenen Arten von Messdaten zu erhalten.
Es sollen hier einige der Messdaten beschrieben werden.
In dem, was im Folgenden beschrieben wird, geht es um die Daten, die durch die Messungen erhalten werden.
Nach der ersten Ausführung ist die Produktions-Durchlaufzeit, wie in 2 ersichtlich, aufgrund der Leistungsfähigkeit der Messausrüstung auf nicht weniger als 3,5 Sekunden festgelegt. Spezieller ist die Transportgeschwindigkeit (zum Transportieren der Form-Scheibenplatte 1' von einer Formmaschine [nicht gezeigt] zu einer Kühlstufe) und dergleichen erhöht, wenn die Produktions-Durchlaufzeit von 4,0 Sekunden auf 3,5 Sekunden verringert wird (mit anderen Worten, die Produktionsgeschwindigkeit ist erhöht). Auf diese Weise wird die Verziehung am Umfang der Form-Scheibenplatte 1' außergewöhnlich schnell. Wenn die Form-Scheibenplatte 1' mit hoher Drehzahl geschleudert wird, ist die Verziehung, wie in 1 ersichtlich, in hohem Maße reduziert. Diese große Reduzierung der Verziehung trifft selbst dann zu, wenn die Produktions-Durchlaufzeit 3,5 Sekunden beträgt, was normalerweise die größte Verziehung im Messbereich verursacht. Das oben Erwähnte lässt sich so zusammenfassen, dass durch das schnelle Drehen der Form-Scheibenplatte 1' mit hoher Drehzahl auf die Form-Scheibenplatte 1' eine Zentrifugalbeschleunigung aufgebracht wird, so dass auf diese Weise die Zugkraft radial nach außen bewirkt wird. Deshalb wird die Reduzierung der Verziehung fortgesetzt, bis sich das Kunstharzmaterial verfestigt hat.
Im Folgenden wird die Schleuderdrehzahl (der Form-Scheibenplatte 1') beschrieben, die für die Reduzierung der Verziehung außerordentlich verantwortlich ist.
Wie in 3(A), 3(B) und 3(C) ersichtlich ist, werden die durch Messung (Verziehungswinkel am Umfang) erhaltenen Messdaten der Form-Scheibenplatte 1' (Probe) unter den folgenden Bedingungen bereitgestellt: i) Raumtemperatur, ii) Schleuderdrehzahl von 1000 U/min, 2000 U/min, 3000 U/min, 4000 U/min und 5000 U/min mit einem schnellen Anstieg in kurzer Zeit zwischen zwei benachbarten Schleuderdrehzahlen. Wie in 3(A) ersichtlich ist, zeigt eine Ordinate den Verziehungswinkel am Umfang jeder Schleuderdrehzahl. Wenn die Schleuderdrehzahl der Form-Scheibenplatte 1' auf etwa 4000 U/min erhöht ist, wird der Verziehungswinkel der Form-Scheibenplatte 1' am Umfang reduziert. Ist sie nicht kleiner als 4000 U/min, wird jedoch der Verziehungswinkel der Form-Scheibenplatte 1' am Umfang kaum reduziert, mit anderen Worten, er bleibt im Wesentlichen konstant. Des halb ist die Schleuderdrehzahl, die nicht kleiner als etwa 4000 U/min ist, die effektivste, um den Verziehungswinkel am Umfang zu reduzieren.
Wenn die Schleuderdrehzahl der Form-Scheibenplatte 1' kleiner als 4000 U/min ist, wird die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' ebenfalls reduziert wie es in der 3(A) ersichtlich ist. Dies umschreibt, dass auch die Schleuderdrehzahl von niedriger als 4000 U/min noch effektiv ist, um die Verziehung zu reduzieren und die Form-Scheibenplatte 1' abzukühlen.
Wie in 3(B) ersichtlich ist, verursacht die Form-Scheibenplatte 1' jedoch, wenn die Schleuderdrehzahl der Form-Scheibenplatte 1' kleiner als 3000 U/min ist, eine Aufwärts- und Abwärtsbewegung (Welle), mit anderen Worten, die Form-Scheibenplatte 1' ist in horizontaler Richtung nicht stabil. Auch in diesem Fall kann die gesamte Verziehung reduziert werden.
Im Gegensatz dazu wird die Aufwärts- und Abwärtsbewegung, wie es in 3(C) ersichtlich ist, im Wesentlichen verhindert (keine Welle), wenn die Schleuderdrehzahl der Form-Scheibenplatte 1' nicht kleiner als 3000 U/min ist. Mit anderen Worten, die Form-Scheibenplatte 1' ist in der horizontalen Richtung stabil, und die Verziehung wird erheblich reduziert. Eine zulässige Grenze des Verziehungswinkels für die DVD, die aus zwei verbundenen (verklebten) Platten gebildet ist, beträgt 0,3°. Der Verziehungswinkel von einem Teil der Form-Scheibenplatte 1' für die DVD ist nicht speziell begrenzt. Wenn die Schleuderdrehzahl etwa 3000 U/min beträgt, ist der Verziehungswinkel nicht mehr als 0,2° (beträchtlich klein). Das Zusammenpassen (Verkleben) der so erhaltenen zwei Form-Scheibenplatten 1' stellt die DVD bereit, die den Verziehungswinkel von kleiner als 0,3° (zulässige Grenze) aufweist. Deshalb ist die Schleuderdrehzahl der Form-Scheibenplatte 1' vorzugsweise nicht kleiner als 3000 U/min, besser nicht kleiner als 4000 U/min.
Hier bewirkt das schnelle Drehen der Form-Scheibenplatte 1' eine erzwungene Luftkühlung für die Form-Scheibenplatte 1', Auf diese Weise kühlt sich die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' schneller ab als bei Eigenkühlung (in Ruhe gelassen). Spezieller werden in einem Zustand bei Raumtemperatur und einer Schleuderdrehzahl von 5000 U/min etwa zwei Sekunden benötigt, um das Kunstharzmaterial auf etwa 90°C zu reduzieren, wo das Kunstharzmaterial beginnt, fest zu werden. Wenn die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' auf nicht höher als 90° verringert wird, ist die Verziehung auch bei 5000 U/min nicht reduziert. Dies zeigt, dass die Verfestigungstemperatur des Kunstharzmaterials der Form-Scheibenplatte 1' nach der ersten Ausführung etwa 90°C beträgt.
Es wird bevorzugt, die oben erwähnte hohe Schleuderdrehzahl zu unterbrechen, nachdem die Form-Scheibenplatte 1' sich zu der Scheibenplatte 1 verfestigt hat. Auf diese Weise wird die Zentrifugalkraft bei der Form-Scheibenplatte 1' angewandt, bis sie sich verfestigt hat, um auf diese Weise die Verziehung, die der Spannung während der Verfestigung zuzuschreiben ist, effektiv zu reduzieren.
Außerdem ist, wie in 5 ersichtlich, eine graphische Darstellung vorgesehen, die eine maximale Temperatur im Verhältnis zu einer Änderung des radialen Verziehungswinkels darstellt. Die maximale Temperatur ist diejenige, die erhalten wird, wenn die Form-Scheibenplatte 1' auf eine hohe Temperatur erhitzt und anschließend durch Eigenkühlung abgekühlt wird (in Ruhe gelassen wird). Die Änderung des radialen Verziehungswinkels ist eine Differenz zwischen dem radialen Verziehungswinkel vor und nach dem Erhitzen der Form-Scheibenplatte 1'. Wenn die Form-Scheibenplatte 1' nicht höher als 90°C ist, wird im Wesentlichen keine Änderung des radialen Verziehungswinkels beobachtet.
In 5 zeigt die Kurve X eine Änderung des maximalen radialen Verziehungswinkels, die mit einigen Proben der Form-Scheibenplatte 1' erhalten wird. Wenn sich die Form-Scheibenplatte 1' in einem Bereich von 100°C bis 90°C befindet, wird die Änderung des maximalen radialen Verziehungswinkels erheblich reduziert. Die Kur ve X zeigt bei nicht höher als 90°C kaum die Änderung des maximalen radialen Verziehungswinkels (im Wesentlichen eine konstante Änderung). Andererseits zeigt in 5 die Kurve Y eine Änderung bei einem durchschnittlichen radialen Verziehungswinkel, die mit einigen Proben der Form-Scheibenplatte 1' erhalten wurde. Wenn sich die Form-Scheibenplatte 1' im Bereich von 100°C bis 90°C befindet, wird die Änderung des durchschnittlichen radialen Verziehungswinkels verringert. Die Kurve Y zeigt bei nicht höher als 90° im Wesentlichen eine konstante Änderung des durchschnittlichen radialen Verziehungswinkels. Im oben Erwähnten wird kurz zusammengefasst, dass das Kunstharzmaterial der Form-Scheibenplatte 1' im Wesentlichen bei 90°C fest wird.
Außerdem ist, wie in 6 ersichtlich, eine grafische Darstellung vorgesehen, die eine Scheibenaufnahmezeit im Verhältnis zu i) dem radialen Verziehungswinkel der Form-Scheibenplatte 1' und im Verhältnis zu ii) der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' darstellt. Die Form-Scheibenplatte 1' wird auf der Scheibenbank 2 in 1 fest aufgenommen und in Ruhe gelassen. In einer frühen Stufe ist der radiale Verziehungswinkel schnell erhöht. Nach 11 oder 12 Sekunden wird der radiale Verziehungswinkel stabil (im Wesentlichen konstant). Zu diesem Zeitpunkt liegt die Form-Scheibenplatte 1 bei 90°C. Daraus kann gefolgert werden, dass das Kunstharzmaterial der Form-Scheibenplatte 1' bei etwa 90°C fest wird.
Fasst man das oben Erwähnte kurz zusammen, so ist die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' ein Einflussfaktor, um die Verziehung zu reduzieren. Zusätzlich zu der erzwungenen Luftkühlung durch schnelles Drehen der Form-Scheibenplatte 1' beeinflussen andere Arten von erzwungener Luftkühlung (vor dem schnellen Drehen und während des schnellen Drehens) ebenfalls die Reduzierung der Verziehung.
In den folgenden vier Ausführungen (eine zweite, dritte, vierte und fünfte) wird die erzwungene Luftkühlung der Form-Scheibenplatte 1' beschrieben. In den folgenden vier Ausführungen ist die erzwungene Luftkühlung anders als die, die nur durch schnelles Drehen der Form-Scheibenplatte 1' erreicht wird.
Wie in 7 ersichtlich ist, wird ein Verfahren der erzwungenen Luftkühlung nach einer zweiten Ausführung bereitgestellt.
Die Scheibenbank 2 besitzt drei Luftstromkanäle, das heißt einen ersten Luftstromkanal 5 (in den Patentansprüchen als „Luftstromkanal” bezeichnet), einen zweiten Luftstromkanal 6 (in den Patentansprüchen als „Luftstromkanal” bezeichnet) und einen dritten Luftstromkanal 7, wobei die drei Luftstromkanäle auch in einer Drehwelle (nicht gezeigt), die die Scheibenbank 2 verbindet, angeordnet sind. Der erste Luftstromkanal 5 ist ganz außen angeordnet und besteht aus einem vertikalen Kanal 5A und einem horizontalen Kanal 5B, der sich senkrecht zu dem vertikalen Kanal 5A erstreckt. Wenn die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt wird, erstreckt sich der horizontale Kanal 5B in radialer Richtung nach außen in einer Position direkt unter der Form-Scheibenplatte 1'. Der horizontale Kanal 5B ist mit einer Strahldüse zum Ausblasen eines Luftstroms A versehen. Der so aus dem horizontalen Kanal 5B ausgeblasene Luftstrom A strömt entlang einer unteren Fläche der Form-Scheibenplatte 1' radial nach außen. Der zweite Luftstromkanal 6 ist im Wesentlichen in der Mitte der Scheibenbank 2 angeordnet und besteht aus einem vertikalen Kanal 6A und einem horizontalen Kanal 6B. Der vertikale Kanal 6A erstreckt sich zu einem mittleren Vorsprung 2A (in den Patentansprüchen als „mittlerer Bereich” bezeichnet) der Scheibenbank 2, während der horizontale Kanal 6B in dem mittleren Vorsprung 2A ausgebildet ist. Der mittlere Vorsprung 2A verläuft im Wesentlichen durch einen Mittelpunkt (Öffnung) der Form-Scheibenplatte 1' und steht höher hervor als eine obere Fläche der Form-Scheibenplatte 1'. Wenn die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt wird, erstreckt sich der mittlere Vorsprung 2A in radialer Richtung nach außen in einer Position direkt auf der oberen Fläche der Form-Scheibenplatte 1'. Der mittlere Vorsprung 2A besitzt eine Strahldüse zum Ausblasen eines Luftstroms B. Der so aus dem horizontalen Kanal 6B ausgeblasene Luftstrom B strömt entlang der oberen Fläche der Form-Scheibenplatte 1' radial nach außen. Der Luftstrom A auf der unteren Fläche und der Luftstrom B auf der oberen Fläche unterstützen es, das Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' zu begünstigen, ohne einen schädlichen Einfluss hinsichtlich der Reduzierung einer Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' zu verursachen. Außerdem bewirkt das Einstellen der in den ersten Luftstromkanal 5 und den zweiten Luftstromkanal 6 strömenden Luft {Temperatur und Stärke (Geschwindigkeit} nach der zweiten Ausführung im Wesentlichen eine gleichmäßige Kühlwirkung an der unteren und der oberen Fläche der Form-Scheibenplatte 1', wodurch die Verziehung weiter reduziert wird.
Der dritte Luftstromkanal 7 ist ein normaler Aufnahmekanal. Spezieller nimmt der dritte Luftstromkanal 7 einen Bereich, in dem keine Informationen aufgezeichnet werden, in einer Vielzahl von Stellen auf, so dass die Zuverlässigkeit des Lesens von Informationen nicht reduziert wird. Der Bereich, in dem keine Informationen aufgezeichnet werden, ist auf einem inneren Umfang der Form-Scheibenplatte 1' angeordnet. Obwohl in 7 nicht ersichtlich, ist der erste Luftstromkanal 5 und der zweite Luftstromkanal 6 jeweils mit einem Luftzufuhrmechanismus verbunden, während der dritte Luftstromkanal 7 mit einem Absorptionsmechanismus verbunden ist. Die Scheibenbank 2 hält den Bereich, in dem keine Informationen aufgezeichnet werden, auf dem innen liegenden Umfang der Form-Scheibenplatte 1' für die folgenden zwei Zwecke: i) Reduzieren der Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' (so klein wie möglich machen). ii) Aufrechterhalten (nicht reduzieren) der Zuverlässigkeit des Lesens der Informationen. Die Scheibenbank 2 besitzt einen solch „kleinen Durchmesser”, so dass sie den innen liegenden Umfang eines Informationsaufzeichnungsbereiches nicht erreicht. Wenn die Scheibenbank 2 einen Durchmesser aufweist, der so groß ist wie der der Form-Scheibenplatte 1', und die Raumtemperatur besitzt, wird die Form-Scheibenplatte 1' nur an ihrer unteren Fläche schnell abgekühlt. Auf diese Weise verursacht die Form-Scheibenplatte 1' die Verziehung im Wesentlichen zu dem gleichen Zeitpunkt, wo die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt wird. In diesem Fall sollte die Scheibenbank 2 vorzugsweise höher als 90°C sein (die Erstarrungstemperatur des Kunstharzmaterials der Form-Scheibenplatte 1' ist nicht niedriger als 90°C). Jedoch ist dieses „höher als 90°C” der Scheibenbank 2 aufgrund der Zeit, die zum Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' und zum Beheizen und Kühlen der Scheibenbank 2 gebraucht wird, praktisch nicht erreichbar. Infolgedessen besitzt die Scheibenbank 2 vorzugsweise den oben zweimal zitierten „kleinen Durchmesser”.
Wie in 8 ersichtlich wird, ist nach einer dritten Ausführung ein Verfahren mit erzwungener Luftkühlung vorgesehen.
Darin ist die Scheibenbank 2 und eine Fördereinrichtung 8, die eine Aufnahmefunktion (Aufnahmepolster 8A) und eine Luftstrahlfunktion besitzt, vorgesehen. Die Fördereinrichtung 8 legt die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2. Nachdem die Fördereinrichtung 8 die Form-Scheibenplatte 1' freigibt, indem sie aufhört, die Form-Scheibenplatte 1' aufzunehmen, unterbricht die Fördereinrichtung 8 derart, dass sie in gewissem Grade von der Form-Scheibenplatte 1' angehoben bleibt. Anschließend bläst die Fördereinrichtung 8 den Luftstrom B aus dem Aufnahmepolster 8A. Wenn das Aufnahmepolster 8A die Form-Scheibenplatte 1' freigibt, beginnt die Scheibenbank 2, sich mit hoher Drehzahl schnell zu drehen, um auf diese Weise die Form-Scheibenplatte 1' mit einer vorgegebenen Schleuderdrehzahl (zum Beispiel 4500 U/min etwa zwei Sekunden lang zu schleudern. Das Aufnahmepolster 8A ist mit einem Absorptionsmechanismus (nicht dargestellt) und einer Luftzufuhreinrichtung (nicht gezeigt) verbunden. Wenn die Fördereinrichtung 8 die Form-Scheibenplatte 1' freigibt und so unterbricht, dass sie gewissermaßen von der Form-Scheibenplatte 1' angehoben bleibt, wird das Aufnahmepolster 8A automatisch in den Luftzufuhrmechanismus geschaltet. Damit bläst das Aufnahmepolster 8A den Luftstrom B aus. Der so ausgeblasene Luftstrom B strömt im Wesentlichen von dem Mittelpunkt der Form-Scheibenplatte 1', die eine hohe Schleuderdrehzahl erfährt, radial nach außen. Der Luftstrom B beschleunigt das Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1'.
Wie in 9 ersichtlich ist, wird nach einer vierten Ausführung ein Verfahren mit erzwungener Luftkühlung bereitgestellt.
Darin ist ein Absorptionsmechanismus 9 vorgesehen, der die Luft in einer vom äußeren Umfang der Form-Scheibenplatte 1' leicht entfernten Position gemäß 9 in horizontaler Richtung absorbiert. Der Absorptionsmechanismus 9 ist in gewissem Grade größer als der Durchmesser der Form-Scheibenplatte 1'. Spezieller weist der Absorptionsmechanismus 9 einen Kreisring 9A mit einem Innendurchmesser auf, der um 6 mm bis 10 mm größer ist als ein Außendurchmesser der Form-Scheibenplatte 1'. Außerdem hat der Absorptionsmechanismus 9 einen normalen Aufnehmer (nicht gezeigt), der mit dem Kreisring 9A durch einen Aufnahmekanal verbunden ist. Der Absorptionsmechanismus 9 beginnt das Absorbieren der Luft im Wesentlichen gleichzeitig zu dem Zeitpunkt, wo die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt wird. Die Absorption der Luft bewirkt den Luftstrom A entlang der unteren Fläche der Form-Scheibenplatte 1' und den Luftstrom B entlang der oberen Fläche der Form-Scheibenplatte 1', um auf diese Weise die Form-Scheibenplatte 1' abzukühlen.
Es ist nur die Kühlfunktion (des Luftstroms A und des Luftstroms B), die in der zweiten Ausführung in 7, der dritten Ausführung in 8 und der vierten Ausführung in 9 beschrieben wird. Zusätzlich zu der Kühlfunktion reduzieren der Luftstrom A und der Luftstrom B den Ausfall, dass sich die Form-Scheibenplatte 1' aufgrund der Aufwärts-Abwärts-Bewegung (Welle) der Form-Scheibenplatte 1' bei der Drehzahl von weniger als 3000 U/min in horizontaler Richtung nicht stabil dreht wie es in 3(B) ersichtlich ist. Außerdem trägt das Einstellen der Stärke des Luftstroms A und des Luftstroms B (Geschwindigkeit) stark zur Reduzierung der Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' bei.
Praktisch „schränkt” die Produktions-Durchlaufzeit die Zeit ein, die bei der Schleuderdrehzahl von kleiner als 3000 U/min verwendet wird. Deshalb werden an der Form-Scheibenplatte 1' vorzugsweise die aufeinander folgenden Arbeitsgänge durchgeführt:

i) Die Form-Scheibenplatte 1' wird so früh wie möglich in einen Zustand herunter gekühlt, so dass die Verziehung bei hoher Schleuderdrehzahl reduziert wird.
ii) Die Form-Scheibenplatte 1' verfestigt sich zu der Scheibenplatte 1. Mit anderen Worten, die Form-Scheibenplatte 1' wird nicht höher als auf 90°C reduziert.
iii) Die Scheibenplatte 1 hört auf, schnell zu drehen.

Wenn die Form-Scheibenplatte 1' nicht höher als 90°C ist, wenn sich nämlich die Form-Scheibenplatte 1' zu der Scheibenplatte 1 verfestigt, werden an dieser außerdem die aufeinander folgenden Arbeitsgänge durchgeführt:

i) die Scheibenplatte 1 wird zu einem vorgegebenen Zeitpunkt in die normale Kühlstufe 14 transportiert (siehe 14 und 15).
ii) Die Scheibenplatte 1 wird der Eigenkühlung (Luftkühlung) in einem solchen Ausmaß unterzogen, dass sie (genügend abgekühlt) zu einer Sputtermaschine (nicht dargestellt) zum Bilden einer Reflexionsschicht transportierbar ist.
iii) Die Scheibenplatte 1 wird einem Sputtervorgang unterzogen.

In dem Fall, dass die Form-Scheibenplatte 1' eine Zeit lang, die länger ist als die oben erwähnte Einschränkung (als „einschränkt” angeführt), schnell gedreht werden muss, sollten zwei oder mehrere Schleudermaschinen parallel derart genutzt werden, dass die Form-Scheibenplatte 1' aufeinander folgend getrennt wird. In diesem Fall kann die Form-Scheibenplatte 1' selbstverständlich auf nicht höher als 90°C reduziert werden. Darüber hinaus kann die Form-Scheibenplatte 1' des Weiteren in einem solchen Ausmaß abgekühlt werden, dass sie zu dem Sputtervorgang (nächster Arbeitsgang) transportierbar ist, mit anderen Worten, ohne dass die erzwungene Luftkühlung benötig wird.
Wie in 10(A), 10(B) und 10(C) ersichtlich ist, wird nach einer fünften Ausführung ein Verfahren mit erzwungener Luftkühlung bereitgestellt.
Wie oben beschrieben, besitzt die Form-Scheibenplatte 1' bald, nachdem sie aus der Formmaschine herausgenommen wurde, eine hohe Temperatur und ist weich genug. Mit der so erhaltenen Form-Scheibenplatte 1', die mit der Scheibenbank 2 aufgenommen wird, wird die Verziehung wahrscheinlich größer gemacht. Deshalb ist es besser, dass nur der innere Umfang der Form-Scheibenplatte 1' auf nicht höher als 90°C abgekühlt wird. Spezieller wird die Scheibenbank 2, wie in 10(A) ersichtlich, durch kalte Luft angeblasen, so dass sie auf nicht höher als 90°C gekühlt wird. Anschließend wird die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt, wobei die kalte Luft an die Form-Scheibenplatte 1' geblasen wird. In diesem Fall wird die Form-Scheibenplatte 1' sowohl auf der oberen Fläche (mit der kalten Luft) als auch der unteren Fläche (mit der gekühlten Scheibenbank 2) abgekühlt. Auf diese Weise verhindert das Einstellen von Temperatur und Stärke (Geschwindigkeit) der kalten Luft die Verziehung. Anschließend wird die Form-Scheibenplatte 1' auf die so gekühlte Scheibenbank 2 gelegt. Dann wird an der Form-Scheibenplatte 1' einer der folgenden zwei Arbeitsgänge durchgeführt: i) den gegenwärtigen Zustand zum Abkühlen eine Sekunde lang halten. ii) die untere Fläche der Form-Scheibenplatte 1' leicht aufnehmen und den Zustand zum Abkühlen eine Sekunde lang halten. Anschließend, wie in 10(B) ersichtlich, wird die Form-Scheibenplatte 1', indem die Geschwindigkeit mehr erhöht wird, mit Unterdruck aufgenommen. Wie in 10(C) ersichtlich ist, wird die Form-Scheibenplatte 1' im Wesentlichen gleichzeitig bei der Aufnahme mit dem Unterdruck bei hoher Drehzahl geschleudert.
Wie in 11 und 12 ersichtlich ist, wird ein Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte 1 nach einer sechsten Ausführung bereitgestellt.
Das Verfahren nach der sechsten Ausführung umfasst die folgenden vier Arbeitsgänge:

(A) Herausnehmen der Form-Scheibenplatte 1' aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 der Formmaschine.
(B) Legen der Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 (1) zum Schleudern mit hoher Drehzahl.
(C) Während des Schleudervorgangs bei hoher Drehzahl das Kunstharzmaterial der Form-Scheibenplatte 1' verfestigen lassen durch ein anderes Kühlverfahren wie zum Beispiel das Einblasen von kalter Luft an die Form-Scheibenplatte 1' oder Legen der Form-Scheibenplatte 1' auf eine Kühlstufe (Kontaktkühlen), um auf diese Weise die Scheibenplatte 1 zu erhalten.
(D) Messen der durch die Scheibenplatte 1 verursachten Verziehung.

In dem Fall, dass die Verziehung der Scheibenplatte 1 innerhalb der zulässigen Grenze liegt, werden die Schleuderbedingungen gut bestimmt und aufrechterhalten. Dann soll die nächste Form-Scheibenplatte 1' unter den in diesem Maße beibehaltenen Schleuderbedingungen geschleudert werden.
Im Gegensatz dazu wird die Verziehung der Scheibenplatte in dem Fall analysiert, dass die Verziehung außerhalb der zulässigen Grenze liegt. Die in diesem Maße analysierte Verziehung (Daten) wird zu Schleuder-Steuerdaten umgewandelt, um ein Steuersignal zum Steuern der Schleuderbedingungen zu entwickeln. Das Steuersignal wird in die Steuerschaltung (nicht gezeigt) der Schleuder-Antriebseinrichtung 3 (in 1) eingegeben. Im Prinzip umfassen die Schleuderbedingungen die Schleuderdrehzahl, die Schleuderzeit und die Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl. Nach der sechsten Ausführung werden die Schleuderbedingungen für die Form-Scheibenplatte 1' beim Arbeitsgang (B) hinsichtlich der Verziehung der Scheibenplatte 1 beim Arbeitsgang (D), wie es in 11 ersichtlich ist, gesteuert. Die Schleuderbedingungen werden vorher als eine Datenbank durch verschiedene Tests gesteuert, indem die folgenden drei Faktoren hinsichtlich der Verziehung der Form-Scheibenplatte 1 ins Verhältnis gesetzt werden:
1. Schleuderdrehzahl, 2. Schleuderzeit, 3. Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl.
Die Maschine zum Reduzieren der Verziehung der Scheibenplatte 1 wird aus einer Verziehungs-Messvorrichtung und einem Umwandler-Regler gebildet. Mit der Verziehungs-Messvorrichtung wird die Verziehung der Scheibenplatte 1 gemessen. Der Umwandler-Regler analysiert die so gemessene Verziehung basierend auf den vor her gespeicherten Daten und wandelt anschließend die Verziehung in das Schleuder-Steuersignal um. Das Schleuder-Steuersignal wird an die Schleuder-Antriebseinrichtung 3 (in 1) ausgegeben. Die Verziehungs-Messvorrichtung besitzt ein Konzept, welches das gleiche ist wie das eines Laser-Verschiebemessgeräts.
Nachstehend wird ein Messprinzip durch das Laser-Verschiebemessgerät beschrieben. Das Laser-Verschiebemessgerät wendet die Triangulation an und besteht aus einem Strahler, der mit einem Lichtempfänger kombiniert ist. Der Strahler ist ein Halbleiterlaser. Ein von dem Halbleiterlaser ausgesendeter Laserstrahl wird mittels einer Projektionslinse fokussiert und auf ein Objekt, nämlich die Scheibenplatte 1, gestrahlt. Durch die Projektionslinse bündelt sich ein Teil des so bestrahlten Laserstrahls zu einem Punkt auf dem Lichtempfänger. Wenn sich die Scheibenplatte 1 bewegt, verändert die Verziehung der Scheibenplatte 1 einen dem Reflexionswinkel entsprechenden Einfallswinkel. Auf diese Weise bewegt sich auch der Lichtpunkt auf dem Lichtempfänger. Durch Detektieren einer Änderung der Position des Lichtpunkts wird eine Verschiebung (Verziehung) der Scheibenplatte 1 bestimmt. Zusätzlich zu der Messung mit dem Laser-Verschiebemessgerät kann zum Messen der Verziehung der Scheibenplatte 1 ein ladungsgekoppeltes Bauelement (im Folgenden als „CCD” bezeichnet) in der Weise verwendet werden, um den Verziehungswinkel von einer vorgegebenen Position auf dem CCD, welches das reflektierte Licht empfängt, zu messen.
Die durch das Laser-Verschiebemessgerät und/oder das CCD-Verfahren detektierte Verziehung wird basierend auf der Datenbank (vorher gespeichert) analysiert, die die Verziehung im Verhältnis zu den drei Faktoren zeigt, das heißt die Schleuderdrehzahl, die Schleuderzeit und die Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl. Die so analysierte Verziehung wird als gesteuerte Veränderliche betrachtet. Die gesteuerte Veränderliche wird als ein Steuersignal der Schleuder-Antriebseinrichtung 3 übertragen (in 1). Entsprechend der Dimension der Verziehung steuert die Schleuder-Antriebseinrichtung 3 die drei Faktoren der Scheibenbank 3, das heißt die Drehzahl, die Schleuderzeit und die Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl. Die so ein gestellte (gesteuerte) Drehung bewirkt eine auf die Form-Scheibenplatte 1' aufgebrachte angemessene Zentrifugalkraft, um auf diese Weise die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' zu reduzieren. Gleichzeitig damit wird die Form-Scheibenplatte 1' abgekühlt und wird dann zu der Scheibenplatte 1, die eine kleine (reduzierte) Verziehung aufweist.
Hierbei erzeugt eine höhere Schleuderdrehzahl natürlich eine größere Zentrifugalkraft, und eine längere Schleuderzeit stellt eine längere Betriebszeit der Zentrifugalkraft bereit. Die Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl wird auf der Basis einer Spannung bestimmt, die auf die Aufnahmefläche aufgebracht wird. Mit anderen Worten, das Abkühlen (der Form-Scheibenplatte 1', deren Abkühlung dem Schleudern zuzuschreiben ist) und die Spannung sollten miteinander im Verhältnis stehen, um einen Einfluss der Spannung zu reduzieren.
Die Form-Scheibenplatte 1' hat bald, nachdem sie aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 der Formmaschine heraus genommen wurde, eine hohe Temperatur und ist ziemlich weich. Deshalb sollte gelegentlich die kalte Luft auf die Form-Scheibenplatte 1' geblasen werden, um so früh wie möglich eine geeignete Weichheit zu erhalten. Außerdem ist es besser, die Form-Scheibenplatte 1' abzukühlen, wenn die Form-Scheibenplatte 1', wie oben beschrieben, auf die Scheibenbank 2 gelegt wird, um den Bereich der Form-Scheibenplatte 1', in dem keine Informationen aufgezeichnet werden, aufzunehmen. Das liegt daran, dass es weniger wahrscheinlich (oder unwahrscheinlich) ist, dass der Informations-Nichtaufzeichnungsbereich Kratzer aufweist, wenn der Bereich, in dem keine Informationen aufgezeichnet werden, ziemlich hart ist. Deshalb wird, wie in 10 ersichtlich ist, die Scheibenbank 2 vorzugsweise vorher mit der kalten Luft gekühlt, die eingeblasen wird, bevor die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt wird. Sofern die Scheibenbank 2 nicht mit der kalten Luft gekühlt wird, wird sie mit der Form-Scheibenplatte 1' erhitzt. Dies bestärkt die Wichtigkeit, die Scheibenbank 2 vorher zu kühlen. Um das Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1' zu beschleunigen, wird auf der oberen Fläche der Form-Scheibenplatte 1' gelegentlich die Zuführung von kalter Luft (nicht gezeigt) vorgenommen. Das Steuersignal stellt die Tem peratur und Geschwindigkeit der kalten Luft ein, die durch die Kaltluftzuführung zugeführt wird. Die kalte Luft ist ein Luftstrom, der eine Temperatur von nicht höher als 90°C aufweist.
Wie in 13 ersichtlich ist, wird ein Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte 1 nach einer siebenten Ausführung bereitgestellt.
Elemente mit Bezugszahlen, die die gleichen wie die in 11 sind, sind äquivalente Elemente. Hinsichtlich der Temperatur ist die aus der Formmaschine heraus genommene Form-Scheibenplatte 1' vom Typ der Formmaschine und vom Kunstharzmaterial der Scheibenplatte 1 abhängig. Hin und wieder ist das auch für die Weichheit zutreffend. Deshalb sollten die Schleuderbedingungen einschließlich Schleuderdrehzahl, Schleuderzeit und Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl vorzugsweise entsprechend der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' eingestellt werden, um die Verziehung zweckmäßig zu reduzieren, ohne eine schädigende Beeinflussung wie zum Beispiel eine an dem anderen Element anhaftende Aufnahme-Spurmarke zu verursachen.
Das Verfahren nach der siebenten Ausführung weist die folgenden vier Arbeitsgänge auf:

(A) Herausnehmen der Form-Scheibenplatte 1' aus der ersten Metallform 10 und der zweiten Metallform 11 der Formmaschine.
(B) Messen der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' mit eine Temperaturmessvorrichtung S (wie zum Beispiel ein Infrarot-Strahlensensor).
(C) Schleudern der Form-Scheibenplatte 1' mit einer hohen Schleuderdrehzahl zum Aufbringen einer Zentrifugalkraft, um auf diese Weise die Verziehung zu reduzieren.
(D) Abkühlen der Form-Scheibenplatte 1', um eine Scheibenplatte 1 mit der reduzierten Verziehung zu erhalten.

Zwischen dem Arbeitsgang (B) und dem Arbeitsgang (C) ist ein untergeordneter Arbeitsgang zum Steuern der Schleuderbedingungen beim Arbeitsgang (C) basierend auf den Temperaturdaten, die durch den Arbeitsgang (B) erhalten werden, vorgesehen. Normalerweise wird die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' gemessen, wenn die Form-Scheibenplatte 1' auf die Scheibenbank 2 gelegt wird (in 1).
Hier wird der untergeordnete Arbeitsgang {zwischen dem Arbeitsgang (B) und dem Arbeitsgang (C)} zum Steuern der Schleuderbedingungen beschrieben. Zuerst wird ein Verfahren im Voraus zum Einstellen der Schleuderbedingungen (wie zum Beispiel die Schleuderdrehzahl, Schleuderzeit und Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl) entsprechend der verschiedenen Temperaturen bestimmt, um die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' zu minimieren. Die Temperatur und die durch das oben genannte Verfahren erzielten Schleuderbedingungen werden zum Entwickeln der Datenbank genutzt, um sie in dem Computer zu speichern. Die mit der Temperaturmessvorrichtung S gemessene (detektierte) Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' wird basierend auf den oben beschriebenen Daten analysiert, um die gesteuerte Veränderliche zur Erzeugung des Steuersignals, das die genauen Schleuderbedingungen angibt, zu bestimmen. Das so erzeugte Steuersignal wird zu der Schleuder-Antriebseinrichtung 3 (in 1) übertragen, um auf diese Weise die Schleuderbedingungen (der Scheibenbank 2), das heißt die Schleuderdrehzahl, die Schleuderzeit und die Anstiegszeit der Schleuderdrehzahl entsprechend der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' zu steuern.
In dem Fall, dass das Einstellen der Schleuderbedingungen nur nach der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' zum Reduzieren der Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' nicht genügt (wenn nämlich die Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' aufgrund der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' nicht angemessen verringert ist), haben sich die oben genannten Kühlverfahren als wirksam erwiesen. In diesem Fall wird vorzugsweise die Kühlleistung entsprechend der gemessenen Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' eingestellt (erhöht oder gesenkt).
Die Verziehung der Scheibenplatte 1 wird am zweckmäßigsten unter den vier aufeinander folgenden Arbeitsgängen reduziert:

i) Die Wechselbeziehung zwischen der Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' und der Verziehung der Scheibenplatte 1 vorher bestimmen.
ii) Die auf der Temperatur und der Verziehung basierenden Daten entwickeln und speichern.
iii) Die Messtemperatur der Form-Scheibenplatte 1' basierend auf der Datenbasis analysieren.
iv) Die Kühlleistung steuern.

Die Kühlleistung sollte unbedingt einstellbar sein (erhöht oder gesenkt). Spezieller sollte die Kühlleistung gleich bleibend sein, um die Kühlmaschine zu vereinfachen. Selbst wenn sie konstant ist, ist die Kühlleistung zum Reduzieren der Verziehung der Form-Scheibenplatte 1' in gewissem Grade effektiv.
Nach der zweiten Ausführung (7), der dritten Ausführung (8), der vierten Ausführung (9), der fünften Ausführung (10), der sechsten Ausführung (11 und 12) und der siebenten Ausführung (13) handelt es sich bei der Kühlung in erster Linie um eine Beschreibung.
Die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' ist bald, nachdem sie aus der Formmaschine herausgenommen wurde, vom Typ der Formmaschine abhängig. Spezieller liegt eine Temperaturdifferenz, die den einzelnen Formmaschinen (unterschiedliche Typen davon) zuzuschreiben ist, in einem Bereich von etwa 20°C.
Darüber hinaus wird in dem Fall, dass die Form-Scheibenplatte 1' dem Schleudervorgang zum Reduzieren der Verziehung in einem Zustand ausgesetzt wird, bei dem die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' um einige Zehner Celsiusgrade niedriger ist als bald, nachdem die Form-Scheibenplatte 1' aus der Formmaschine herausgenommen wurde, die Temperatur der Form-Scheibenplatte 1' während des Schleudervorgangs vorzugsweise auf höher als 90°C gehalten, bis die Verziehung ausreichend reduziert ist. Um die Temperatur höher als 90°C zu halten, wird auf die Form-Scheibenplatte 1' ein Luftstrom hoher Temperatur (höher als 90°C) geblasen oder es wird die Abkühlgeschwindigkeit verringert. In diesem Fall wird eine Luftstromzufuhr mit der Funktion, dass Heißluft durch die Kombination einer elektrischen Heizeinrichtung und eines Gebläses zugeführt wird, oder wird mit der Funktion bewirkt, dass die Form-Scheibenplatte 1' durch eine Infrarotheizung direkt bestrahlt wird. In diesem Fall wird anstelle des Kühlverfahren nach der zweiten Ausführung (7), der dritten Ausführung (8), der vierten Ausführung (9), der fünften Ausführung (10), der sechsten Ausführung (11 und 12) und der siebenten Ausführung (13) ein Luftstrom mit mehr als 90°C auf die Form-Scheibenplatte 1' zum Erwärmen angewandt.
Obwohl die vorliegende Erfindung oben durch Bezug auf sieben Ausführungen beschrieben worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht auf die sieben oben beschriebenen Ausführungen beschränkt. Dem Fachmann werden sich angesichts der oben erwähnten technischen Lehre Modifizierungen und Veränderungen der oben beschriebenen Ausführungen erschließen.
Der Umfang der vorliegenden Erfindung ist mit Bezug auf die folgenden Patentansprüche definiert.

Claims

Verfahren zum Behandeln einer optischen Platte (1), wobei das Verfahren die folgenden Vorgänge umfasst: Formen einer Form-Scheibenplatte (1') durch Spritzgießen; und Drehen der Form-Scheibenplatte mit einer hohen Drehgeschwindigkeit von nicht weniger als 3000 U/min und bei einer Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') von mehr als 90°C, bevor die Form-Scheibenplatte (1') verfestigt wird, wobei der Drehvorgang wenigstens den folgenden Teilvorgang umfasst: Verringern der Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') während des Drehvorgangs.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei Drehen der Form-Scheibenplatte (1') unterbrochen wird, nachdem die Form-Scheibenplatte (1') verfestigt ist.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei Drehen der Form-Scheibenplatte (1') unterbrochen wird, nachdem eine Temperatur von Material der Form-Scheibenplatte (1') auf nicht mehr als 90°C verringert worden ist.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei die Form-Scheibenplatte einen Abkühlvorgang oder einen Erwärmungsvorgang zu einer der folgenden zwei Zeiten durchläuft: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'), oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte (1').
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei die Form-Scheibenplatte (1') bei nicht mehr als 90°C zu der Scheibenplatte (1) wird; das Verfahren des Weiteren einen Verziehungs-Messvorgang des Messens der Verziehung der Scheibenplatte (1), wenn die Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') auf nicht mehr als 90°C verringert ist, umfasst; und die mit dem Verziehungs-Messvorgang gemessene Verziehung der Scheibenplatte (1) ein Kriterium zum Regulieren eines der folgenden zwei Parameter der Form-Scheibenplatte (1') ist: einer Drehgeschwindigkeit, einer Drehzeit oder einer Drehgeschwindigkeit-Anstiegszeit, oder einer Kombination aus der Drehgeschwindigkeit, der Drehzeit und der Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei das Verfahren des Weiteren einen Temperatur-Messvorgang des Messens der Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') zu einem der folgenden zwei Zeitpunkte umfasst: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'), oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte (1'); und die mit dem Temperatur-Messvorgang gemessene Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') ein Kriterium zum Regulieren eines der folgenden zwei Parameter der Form-Scheibenplatte ist: einer Drehgeschwindigkeit, einer Drehzeit oder einer Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit, oder einer Kombination aus der Drehgeschwindigkeit, der Drehzeit und der Drehgeschwindigkeits-Anstlegszeit.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei die Temperatur der Scheibenplatte (1') zu einem der folgenden zwei Zeitpunkte gemessen wird: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'); oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte (1'); und die gemessene Temperatur ein Kriterium zum Auswählen eines Abkühlvorgangs oder eines Erwärmungsvorgangs der Form-Scheibenplatte ist.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 1, wobei die Form-Scheibenplatte (1') bei nicht mehr als 90°C zu der Scheibenplatte (1) wird; das Verfahren des Weiteren einen Verziehungs-Messvorgang des Messens der Verziehung der Scheibenplatte (1), wenn die Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') auf nicht mehr als 90°C verringert ist, umfasst; und die mit dem Verziehungs-Messvorgang gemessene Verziehung der Scheibenplatte (1) ein Kriterium zum Regulieren eines Abkühlvorgangs oder eines Erwärmungsvorgangs der Form-Scheibenplatte (1') zu einem der folgenden zwei Zeitpunkte ist: vor Drehen der Form-Scheibenplatte, oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 7, wobei ein Luftstrom mit einer Temperatur von nicht mehr als 90°C oder mehr als 90°C entlang einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche der Form-Scheibenplatte (1') radial von einem Bereich, der ein Loch im Wesentlichen in einer Mitte der Form-Scheibenplatte (1') aufweist, zu einem der folgenden zwei Zeitpunkte radial nach außen geblasen wird: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'), und beim Drehen der Form-Scheibenplatte.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 9, wobei der Luftstrom entlang der ersten Fläche und der zweiten Fläche der Form-Scheibenplatte (1') hinsichtlich wenigstens einer Geschwindigkeit oder einer Temperatur reguliert wird.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 7, wobei ein Luftstrom mit einer Temperatur von nicht mehr als 90°C oder mehr als 90°C von einem oberen Bereich im Wesentlichen über einem Mittelbereich der Form-Scheibenplatte (1') zu einem der folgenden zwei Zeitpunkte geblasen wird: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'), oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte (1'); und der Luftstrom entlang einer ersten Fläche der Form-Scheibenplatte (1') radial nach außen strömt.
Verfahren zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 7, wobei ein Luftstrom von einer Außenfläche der Form-Scheibenplatte (1') zu einem der folgenden zwei Zeitpunkte absorbiert wird: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'), oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte (1').
Vorrichtung zum Behandeln einer optischen Platte (1), wobei die Vorrichtung umfasst: eine Einrichtung (10, 11) zum Formen einer Form-Scheibenplatte (1') durch Spritzgießen; eine Fördereinrichtung (8, 12, 13), die die Form-Scheibenplatte (1') in einem nicht verfestigten Zustand von der Formvorrichtung befördert; eine Scheibenbank (2), die die geformte Scheibenplatte in dem nicht verfestigten Zustand von der Fördereinrichtung (8, 12, 13) aufnimmt; und einen Drehantrieb (3), der die Form-Scheibenplatte in dem nicht verfestigten Zustand auf der Scheiben-Bank mit einer hohen Drehgeschwindigkeit von 3000 U/min oder mehr dreht; und die Form-Scheibenplatte (1') bei nicht mehr als 90°C zu der Scheibenplatte (1) wird; wobei die Vorrichtung des Weiteren umfasst: eine Verziehungs-Messeinrichtung, die eine Verziehung der Scheibenplatte (1) misst, wenn die Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') auf nicht mehr als 90°C verringert ist; und eine Umwandel-Steuer-Einrichtung, die ein Datenelement umwandelt und steuert, wobei die Umwandel-Steuer-Einrichtung die folgenden Vorgänge übernimmt: Analysieren der Verziehung der Scheibenplatte (1), Bestimmen eines der folgenden zwei Parameter der Form-Scheibenplatte (1') entsprechend einem Ausmaß der analysierten Verziehung der Scheibenplatte (1): einer Drehgeschwindigkeit, einer Drehzeit oder einer Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit, oder einer Kombination aus der Drehgeschwindigkeit, der Drehzeit und der Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit, und Senden eines Steuersignals zu dem Drehantrieb, wobei das Steuersignal einen der folgenden zwei Parameter der Form-Scheibenplatte steuert: die Drehgeschwindigkeit, die Drehzeit oder die Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit, oder der Kombination aus der Drehgeschwindigkeit, der Drehzeit und der Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte nach Anspruch 13, wobei die Vorrichtung des Weiteren umfasst: eine Temperaturmesseinrichtung (S), die die Temperatur der Form-Scheibenplatte misst, wenn sich die Form-Scheibenplatte in einem Drehvorgang befindet; und eine Umwandel-Steuer-Einrichtung, die ein Datenelement umwandelt und steuert, wobei die Umwandel-Steuer-Einrichtung ein Steuersignal zu dem Drehantrieb sendet und das Steuersignal einen der folgenden zwei Parameter der Form-Scheibenplatte steuert: eine Drehgeschwindigkeit, eine Drehzeit oder eine Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit, oder eine Kombination aus der Drehgeschwindigkeit, der Drehzeit und der Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit; und wobei die Umwandel-Steuer-Einrichtung das Datenelement von den folgenden zwei Parametern der Form-Scheibenplatte umwandelt und steuert: der mit der Temperaturmesseinrichtung (S) gemessenen Temperatur, oder einer Datenbank über eine vorgegebene Beziehung zwischen einer in der Datenbank gespeicherten Temperatur und den folgenden drei Parametern, die in der Datenbank gespeichert sind: der Drehgeschwindigkeit, der Drehzeit und der Drehgeschwindigkeits-Anstiegszeit.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 13, wobei die Vorrichtung des Weiteren umfasst: eine Abkühleinrichtung zum Abkühlen der Form-Scheibenplatte; und eine Erwärmungseinrichtung zum Erwärmen der Form-Scheibenplatte.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 13, wobei die Form-Scheibenplatte (1') bei nicht mehr als 90°C zu der Scheibenplatte wird; wobei die Vorrichtung des Weiteren umfasst: eine Verziehungs-Messvorrichtung, die eine Verziehung der Form-Scheibenplatte (1') misst, wenn die Form-Scheibenplatte (1') auf nicht mehr als 90°C verringert wird, und eine der zwei folgenden Einrichtungen: eine Abkühleinrichtung, die die Form-Scheibenplatte (1') auf Basis der mit der Verziehungsmessvorrichtung gemessenen Verziehung abkühlt, und eine Erwärmungseinrichtung, die die Form-Scheibenplatte (1') auf Basis der mit der Verziehungsmessvorrichtung gemessenen Verziehung erwärmt; und wobei die Vorrichtung die Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') über den Abkühlvorgang mit der Abkühleinrichtung oder den Erwärmungsvorgang mit der Erwärmungseinrichtung reguliert.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 13, wobei die Form-Scheibenplatte bei nicht mehr als 90°C zu der Scheibenplatte (1) wird; wobei die Vorrichtung des Weiteren umfasst: eine Temperaturmesseinrichtung (S), die die Temperatur der Form-Scheibenplatte misst, wenn die Form-Scheibenplatte (1') auf nicht mehr als 90°C verringert wird, und eine der folgenden zwei Einrichtungen: eine Abkühleinrichtung, die die Form-Scheibenplatte (1') auf Basis der mit der Temperaturmessvorrichtung (S) gemessenen Temperatur abkühlt; und eine Erwärmungseinrichtung, die die Form-Scheibenplatte (1') auf Basis der mit der Temperaturmesseinrichtung (S) gemessenen Temperatur erwärmt; wobei der Abkühlvorgang und der Erwärmungsvorgang der Form-Scheibenplatte (1') zu einer der folgenden zwei Zeiten ausgeführt werden: vor Drehen der Form-Scheibenplatte (1'), oder beim Drehen der Form-Scheibenplatte (1'); und wobei die Vorrichtung die Temperatur der Form-Scheibenplatte (1') über den Abkühlvorgang mit der Abkühleinrichtung oder den Erwärmungsvorgang mit der Erwärmungseinrichtung reguliert.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 15, wobei die Abkühleinrichtung einen Luftstrom von nicht mehr als 90°C ausbläst und die Erwärmungseinrichtung einen Luftstrom von mehr als 90°C ausbläst; und der Luftstrom von der Abkühleinrichtung und der Luftstrom von der Erwärmungseinrichtung entlang einer ersten Außenfläche sowie einer zweiten Außenfläche der Form-Scheibenplatte (1') über einen Luftstromdurchlass (5, 6), der in einem Drehwellenelement der Scheibenbank (2) angeordnet ist, radial nach außen geblasen wird.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 18, wobei die Vorrichtung wenigstens eine Geschwindigkeit oder eine Temperatur des Luftstroms entlang der ersten Fläche und der zweiten Fläche der Form-Scheibenplatte (1') reguliert.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 15, wobei die Abkühleinrichtung und die Erwärmungseinrichtung einen Absorptionsmechanismus (9) haben, der im Wesentlichen mit einer kreisrunden Öffnung (9A) mit einem Innendurchmesser versehen ist, der größer ist als ein Außendurchmesser der Form-Scheibenplatte (1'); die kreisrunde Öffnung (9A) entlang eines Außenumfangs der Form-Scheibenplatte (1') angeordnet ist; und der Absorptionsmechanismus (9) einen Luftstrom von dem Außenumfang der Scheiben-Platte (1') über die kreisförmige Öffnung (9A) absorbiert.
Vorrichtung zum Behandeln der Scheibenplatte (1) nach Anspruch 15, wobei die Abkühleinrichtung einen Luftstrom von nicht mehr als 90°C ausbläst und die Erwärmungseinrichtung einen Luftstrom von nicht mehr als 90°C ausbläst; und die Abkühleinrichtung und die Erwärmungseinrichtung jeweils durch einen Dämpfpuffer (8A) zum stationären Dämpfen der Form-Scheibenplatte (1') gebildet werden.