DE10256635B4

DE10256635B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung eines Scheibensubstrats

Info

Publication number: DE10256635B4
Application number: DE10256635A
Authority: DE
Inventors: Takayuki Suzuki; Masahiro Nakamura; Hideo Kobayashi; Shinichi Shinohara
Original assignee: Origin Electric Co Ltd
Current assignee: Origin Electric Co Ltd
Priority date: 2001-12-05
Filing date: 2002-12-03
Publication date: 2007-07-05
Anticipated expiration: 2022-12-04
Also published as: JP3593660B2; TW200300937A; JP2003173583A; US20030102582A1; US7267790B2; US7168940B2; CN1238174C; DE10256635A1; TWI262499B; CN1433880A; US20050129804A1; HK1055926A1

Abstract

Scheibensubstratbearbeitungsverfahren mit den folgenden Schritten:
ein geformtes Scheibensubstrat, das durch Spritzgießen erhalten worden ist, wird auf einer Scheibenaufnahmebasis rotiert, bevor das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist;
ein Gas wird auf die zurücktretende Seite der Scheibenaufnahmebasis oder eine Rotationswelle so abgegeben, dass das abgegebene Gas das geformte Scheibensubstrat nicht direkt trifft, und ein Teil des Gasstroms durch die Rotation der Scheibenaufnahmebasis oder der Rotationswelle zu einem Wirbelstrom geformt wird und dieser Luftstrom entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats strömt, während das geformte Scheibensubstrat rotiert,
wobei das Gas in die gleiche Richtung wie die Rotationsrichtung der Scheibenaufnahmebasis oder der Rotationswelle abgegeben wird;
und die Rotation des geformten Scheibensubstrats gestoppt wird, nachdem das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist.

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung, die das Verziehen einer optischen Scheibe wie einer DVD oder CD verringern, und insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung, die effektiv kühlen, während gleichzeitig das Verziehen bei einem spritzgegossenen Scheibensubstrat verringert wird.
Beschreibung des Standes der Technik
Ein optisches Scheibensubstrat wie ein DVD-Substrat oder ein CD-Substrat wird im Allgemeinen durch Spritzgießen geformt. Wie in 8A zu sehen ist, wird bei der Formung eines Scheibensubstrats ein Harzmaterial, das ein Scheibensubstrat werden soll, in ein Paar von Formen 10 und 11 eingespritzt, um so ein geformtes Scheibensubstrat 1 zu bilden. Zu diesem Zeitpunkt wird festgelegte Information auf einer Oberfläche des geformten Scheibensubstrats 1 aufgezeichnet. Als nächstes werden, wie in 8B gezeigt ist, die Formen 10 und 11 auf beiden Seiten geöffnet, und ein Entnahmearm 12 eines Entnahmemechanismus (nicht gezeigt) bewegt sich vorwärts zwischen die Formen 10 und 11 und hält das geformte Scheibensubstrat 1, welches noch weich ist und sich auf einer hohen Temperatur befindet, durch Saugwirkung. Der Entnahmearm 12 bewegt sich dann nach hinten und entfernt das geformte Scheibensubstrat 1 aus den Formen 10 und 11.
Als nächstes wird, wie in 8C gezeigt, das Scheibensubstrat 1, das aus den Formen 10 und 11 entnommen worden ist, direkt durch Saugwirkung durch einen Transportarm 13 eines Transportmechanismus in einer speziellen Position gehalten und wird dann durch den Transportarm zu einer Kühlstufe 14 transportiert. Speziell hat das geformte Scheibensubstrat 1, das aus den Formen 10 und 11 entfernt und durch Saugwirkung an einem Saugabschnitt 12a des distalen Endes des Entnahmearms 12 gehalten wird, eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche auf der entgegengesetzten Seite der ersten Oberfläche, die durch die Saugwirkung des Entnahmearms 12 gehalten wird. Diese zweite Oberfläche wird durch Saugwirkung durch einen Halteabschnitt 13a gehalten, der an dem distalen Ende eines Transportarms 13 bereitgestellt wird. Praktisch gleichzeitig hiermit löst der Saugabschnitt 12a des Entnahmearms 12 sein Halten des geformten Scheibensubstrats 1. Danach wendet der Transportarm 13 das geformte Scheibensubstrat 1, während er es hält, um im Wesentlichen 180 Grad und überführt dann das geformte Scheibensubstrat 1 in die Kühlstufe 14. Das geformte Scheibensubstrat 1 wird dann durch die Kühlstufe 14 abgekühlt und sein Harzmaterial verfestigt, um ein Scheibensubstrat 1 zu bilden. Die Temperatur, bei der diese Verfestigung stattfinden kann, beträgt beispielsweise ungefähr 90°C.
Wie oben beschrieben hat das geformte Scheibensubstrat 1 unmittelbar nach dem Herausnehmen aus den Formen der Formungsmaschine eine hohe Temperatur und ist recht weich. Es ist daher bei dem Verfahren, bei dem es abgekühlt wird und sein Harzmaterial verfestigt, um so das Scheibensubstrat 1 zu bilden, verständlich, dass das geformte Scheibensubstrat erhebliche Verformung erfährt, nämlich Verziehen. Um dieses Verziehen zu verringern, werden konventionellerweise während des Spritzgießens verschiedene Bedingungen eingestellt, beispielsweise kann das Verziehen verringert werden, indem die Temperatur der Formen justiert wird oder unterschiedliche Temperaturen für die Form 10 und die Form 11 eingestellt werden. Alternativ kann der Druck eingestellt werden, wenn das Harzmaterial gespritzt wird.
Jedoch selbst wenn nach den oben beschriebenen Verfahren ein geformtes Scheibensubstrat 1 mit einem geringen Verziehungsgrad erhalten wird, entsteht das Problem, dass das geformte Scheibensubstrat 1 sich verzieht, wenn es aus den Formen genommen wird, und auch während des Prozesses, in dem es durch den Transportmechanismus zu der Kühlstufe bewegt wird, da das geformte Scheibensubstrat 1, unmittelbar nachdem es aus den Formen der Formungsmaschine herausgenommen worden ist, eine hohe Temperatur hat und in einem hinreichend weichen Zustand vorliegt. Zudem findet selbst während des Kühlprozesses ein erhebliches Verziehen statt. Dieser Punkt wird nachfolgend mittels 9A bis 9C beschrieben.
9A zeigt den Saugabschnitt 12a des Entnahmearms 12, der das geformte Scheibensubstrat 1 hält, um das Scheibensubstrat 1 aus den Formen der Formungsmaschine zu entfernen, oder zeigt alternativ den Saughalteabschnitt 13a des Transportarms 13, der durch Saugwirkung das geformte Scheibensubstrat 1 hält. Weil das geformte Scheibensubstrat 1 eine hohe Temperatur hat und in einem hinreichend weichen Zustand vorliegt, wird erwiesenermaßen, wenn ein Arm an dem zentralen Abschnitt des geformten Scheibensubstrats 1 haftet, ein geformtes Scheibensubstrat 1 dann durch die Saugkraft in die der Saugseite entgegengesetzte Richtung gebogen. Insbesondere, weil die Dicke einer DVD nur ungefähr 0,6 mm beträgt, verglichen mit der Dicke einer CD von 1,2 mm, ist das Biegen einer DVD daher weit deutlicher ausgeprägt.
Wie in 9B gezeigt ist, wird außerdem erwiesenermaßen, wenn der Entnahmearm 12 oder der Transportarm 13 sich mit vergleichsweise rascher Geschwindigkeit dreht oder bewegt, während ein geformtes Scheibensubstrat 1 durch Saugwirkung gehalten wird, das geformte Scheibensubstrat 1 durch den Winddruck dieser Aktion verzogen.
Wie in 9C gezeigt ist, gilt es weiterhin als gesichert, dass es Fälle gibt, in denen ein geformtes Scheibensubstrat 1 sich durch sein Eigengewicht während des Zeitraums verzieht, in dem es auf eine Scheibenaufnahmebasis einer Kühlstufe 14 überführt und abgekühlt wird. Es gibt auch Fälle, in denen das geformte Scheibensubstrat 1 durch die Struktur der Kühlstufe teilweise verformt wird, wenn das geformte Scheibensubstrat 1 in der Kühlstufe abgekühlt wird.
Das obige Verziehen wird nicht nur in der Radialrichtung des geformten Scheibensubstrats 1 erzeugt (das heißt, dass sich das Substrat 1 zu einer Sattelform verzieht), sondern auch in Tangentialrichtung des Scheibensubstrats 1 (das heißt, dass das Substrat 1 an seinem Rand zu einem Wellenmuster verzogen wird). Dieses Verziehen tritt verstärkt auf, wenn die Produktionszykluszeit des Scheibensubstrats verkürzt wird, so dass dadurch das Problem des zunehmenden Verziehens des Scheibensubstrats auftritt.
Um die oben beschriebenen konventionellen Probleme zu lösen, haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung durch Anwenden von Zentrifugalkraft durch Rotieren eines geformten Scheibensubstrats mit hoher Geschwindigkeit, während das geformte Scheibensubstrat noch weich war, bevor sein Harzmaterial verfestigt war, um so Verziehen und Verformung des Scheibensubstrats zu verringern, während gleichzeitig das Scheibensubstrat gekühlt wurde, ein Scheibensubstrat mit nur geringem Verziehungs- und Verformungsgrad erhalten können, wie in der japanischen Patentanmeldung Nr. 2001-197738 beschrieben ist, die am 29. Juni 2001 eingereicht wurde.

JP 09097456 A beschreibt die Herstellung eines optischen Datenträgers, bei der Kühlgas aus radialen Öffnungen im Datenträgerhalter auf den Datenträger abgegeben wird während dieser rotiert. Bei der in JP 06267116 A offenbarten Technologie wird ein optischer Datenträger über eine Düse von schräg oben direkt mit Kühlgas angeblasen. Ein direktes Anblasen eines sich bei seiner Herstellung rotierenden optischen Datenträgers von unten ist aus EP 1 245 370 A2 bekannt. DE 101 00 428 A1 beschreibt eine Vorrichtung zum Kühlen und Rotieren von optischen Datenträgern bei deren Herstellung, bei der Luft auf ein an der Rotationswelle angeordnetes Flügelrädchen geblasen wird. Ein direktes Anblasen eines zu kühlenden, ruhenden optischen Datenträgers bei seiner Herstellung ist aus JP 2000-085023 A bekannt.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, das Problem zu lösen, wie das Verziehen in dem geformten Scheibensubstrat 1 weiter reduziert werden kann, indem dem gekühlten Scheibensubstrat 1 Kühlgas zugeführt wird, während das geformte Scheibensubstrat 1 auf einer Scheibenaufnahmebasis 2 positioniert und mit hoher Geschwindigkeit rotiert wird, um das geformte Scheibensubstrat 1 in kurzer Zeit auf Raumtemperatur abzukühlen und dadurch eine Verkürzung der Produktionszeit zu erreichen. Gleichzeitig ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, entweder während die Rotationsgeschwindigkeit beschleunigt wird oder nachdem das geformte Scheibensubstrat 1 mit voller Geschwindigkeit rotiert, Schlagen zu verhindern, das auftritt, wenn das Kühlgas auf das geformte Scheibensubstrat 1 geblasen wird, wenn es rotiert, um das Verziehen des Scheibensubstrats zu verringern.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Um die obigen Probleme zu lösen, ist der erste Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Scheibensubstratverarbeitungsverfahren, bei dem ein geformtes Scheibensubstrat, das durch Spritzgießen erhalten worden ist, mit hoher Geschwindigkeit auf einer Scheibenaufnahmebasis rotiert wird, bevor das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist, und ein Gas gemäß Anspruch 1 abgegeben und zum Strömen entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats gebracht wird, während das geformte Scheibensubstrat rotiert, und die Rotation gestoppt wird, nachdem das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist.

Gemäß diesem Aspekt ist es gleichzeitig mit dem Erreichen der Verkürzung der Abkühlzeit des geformten Scheibensubstrats möglich, das geformte Scheibensubstrat, das rotiert, während es sich noch in einem weichen Zustand befindet, am Schlagen (Flattern) zu hindern, wenn es rotiert, wodurch eine weitere Verringerung des Verziehens des geformten Scheibensubstrats erreicht werden kann.

In dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das Gas so abgegeben, dass es in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung entlang einer Unterseite des geformten Scheibensubstrats strömt.

Der dritte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß dem ersten oder zweiten Aspekt, bei dem das Gas strömen gelassen wird, bis die Temperatur des geformten Scheibensubstrat auf Raumtemperatur abgesenkt worden ist.

Gemäß dem dritten Aspekt kann das geformte Scheibensubstrat in kurzer Zeit auf Raumtemperatur abgesenkt werden, weil das Gas über das geformte Scheibensubstrat strömen gelassen wird, nachdem es verfestigt ist.

Der vierte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß einem der vorhergehenden Aspekte, bei dem die Windgeschwindigkeit und/oder Temperatur des Gases durch eine Steuerung justiert werden.

Es ist gemäß dem vierten Aspekt durch Justieren der Windgeschwindigkeit oder Temperatur des Gases möglich, die Zeit einzustellen, die verstreicht, bevor das geformte Scheibensubstrat verfestigt, und dadurch ein Scheibensubstrat mit noch weniger Verziehen zu erhalten.

Der fünfte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß einem der vorhergehenden Aspekte, bei dem das geformte Scheibensubstrat innerhalb von ungefähr zwei Sekunden (beispielsweise 1,5 bis 3 Sekunden) auf eine Rotationsgeschwindigkeit von 3000 UpM oder mehr und vorzugsweise 4000 UpM oder mehr beschleunigt wird.

Es ist möglich, Zentrifugalkraft einzusetzen, die in der Lage ist, das Verziehen bei einem geformten Scheibensubstrat effektiv zu verringern, wodurch eine optische Scheibe mit sogar noch weniger Verziehen erhalten werden kann.

Der sechste Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Scheibensubstratverarbeitungsverfahren, bei dem Verziehen eines geformten Scheibensubstrats, das durch Spritzgießen erhalten worden ist, verringert wird, indem das geformte Scheibensubstrat mit hoher Geschwindigkeit rotiert wird, bevor das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist, und es durch Blasen von Gas auf eine Oberfläche oder beide Oberflächen des geformten Scheibensubstrats gekühlt wird, nachdem das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist.

Weil das Kühlgas auf das geformte Scheibensubstrat geblasen wird, nachdem das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist, gibt es unabhängig von der Weise, in der das Gas auf das geformte Scheibensubstrat geblasen wird, keine Wirkung auf die Verringerung des Verziehens des geformten Scheibensubstrats.

Der siebte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß dem sechsten Aspekt, wobei, wenn die Temperatur des geformten Scheibensubstrats auf die Verfestigungstemperatur des Harzmaterials gesunken ist, das zum Bilden des geformten Scheibensubstrats verwendet worden ist, das geformte Scheibensubstrat durch Blasen von Gas auf das geformte Scheibensubstrat abgekühlt wird.

Der achte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß dem siebten Aspekt, wobei die Temperatur des geformten Scheibensubstrats die Verfestigungstemperatur des Harzmaterials ist, das zur Bildung des geformten Scheibensubstrats verwendet worden ist, die im Wesentlichen 90°C beträgt.

Der neunte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß dem sechsten Aspekt, bei dem das Gas auf das geformte Scheibensubstrat geblasen wird, nachdem seit dem Start der Rotation des geformten Scheibensubstrats eine Verfestigungszeit der geformten Scheibe verstrichen ist.

Der zehnte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß dem neunten Aspekt, wobei die Verfestigungszeit ungefähr zwei Sekunden beträgt (beispielsweise 1,5 bis 3 Sekunden).

Der elfte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung, die Verziehen in einem geformten Scheibensubstrat verringert, das durch Spritzgießen erhalten worden ist, indem das geformte Scheibensubstrat mit hoher Geschwindigkeit rotiert wird, umfassend: eine Scheibenaufnahmebasis, um das geformte Scheibensubstrat aufzunehmen, mit einem Flansch, der sich von einem oberen Abschnitt in einer äußeren radialen Richtung erstreckt; eine rotierende Säule, mit der die Scheibenaufnahmebasis verbunden ist; und einen Rotationsantriebmechanismus, der über die rotierende Säule mit der Scheibenaufnahmebasis verbunden ist und das geformte Scheibensubstrat rotiert, indem die Scheibenaufnahmebasis rotiert wird, wobei durch Abgeben von Gas aus der Gasabgabevorrichtung, während die Scheibenaufnahmebasis rotiert, ein Gas zum Strömen in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung entlang einer Unterseite des rotierenden geformten Scheibensubstrats gebracht wird, um so Verziehen des geformten Scheibensubstrats zu verringern und die Kühlzeit zu verkürzen und wobei die Gasabgabevorrichtung eine Gasabgabedüse ist, die Gas auf die zurücktretende Seite der rotierenden Scheibeaufnahmebasis oder die Rotationswelle abgibt, so dass das abgegebene Gas das geformte Scheibensubstrat nicht direkt trifft.

Gemäß dieser Verarbeitungsvorrichtung ist es durch Einwirken von Zugkraft auf Basis von Zentrifugalkraft durch Rotieren des noch weichen geformten Scheibensubstrats mit hoher Geschwindigkeit, so dass es nicht schlägt, um dadurch Verziehen zu verringern, möglich ein geformtes Scheibensubstrat zu kühlen und gleichzeitig ein stabiles geformtes Scheibensubstrat mit verringertem Verziehen und ohne Unregelmäßigkeiten zu erhalten.

Der zwölfte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung gemäß dem elften Aspekt, wobei die Gasabgabevorrichtung eine Gasabgabedüse ist, die auf einer zurücktretenden Seite relativ zu einer Mittelachsenlinie der Rotationssäule positioniert ist, um so Gas aus einer diagonal tiefer liegenden Position zu der zurücktretenden Seite der Rotationssäule zuzuführen.

Gemäß dieser Verarbeitungsvorrichtung kann die Vorrichtung zu geringen Kosten geliefert werden, weil die Gasabgabevorrichtung fixiert sein kann und nicht rotiert wird.

Der dreizehnte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Scheibensubstratverarbeitungsverfahren gemäß dem elften Aspekt, wobei die Gasabgabevorrichtung ein oder mehrere Abgabelöcher ist, die unterhalb des Flansches der Scheibenaufnahmebasis bereitgestellt werden.

Der vierzehnte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung nach irgendeinem des elften bis dreizehnten Aspekts, wobei eine Temperatursteuerungsvorrichtung bereitgestellt wird, um die Temperatur des Gases herabzusetzen oder zu erhöhen. Die Temperatursteuerungsvorrichtung kann ein Kühler oder ein Heizer sein.

Der fünfzehnte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung, die Verziehen eines geformten Scheibensubstrats verringert, das durch Spritzgießen erhalten wird, indem das geformte Scheibensubstrat mit hoher Geschwindigkeit rotiert wird, umfassend: eine Scheibenaufnahmebasis zum Aufnehmen des geformten Scheibensubstrats; eine rotierende Säule, mit der die Scheibenaufnahmebasis verbunden ist; und eine Rotationsantriebvorrichtung, die über die rotierende Säule mit der Scheibenaufnahmebasis verbunden ist und das geformte Scheibensubstrat rotiert, indem die Scheibenaufnahmebasis rotiert wird, wobei eine Gasblasvorrichtung, die Gas auf eine Oberfläche oder beide Oberflächen des geformten Scheibensubstrats bläst, nachdem das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist, auf einer Seite oder beiden Seiten des geformten Scheibensubstrats bereitgestellt wird.

Da es möglich ist eine Blasvorrichtung mit einer einfachen Struktur zu verwendet, ist dies kostengünstig.

Der sechzehnte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung gemäß dem fünfzehnten Aspekt, wobei die Gasblasvorrichtung Gas abgibt, wenn das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1A und 1B sind eine Vorderansicht beziehungsweise eine Seitenansicht einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine Ansicht zur Beschreibung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
3 ist eine charakteristische Ansicht zur Beschreibung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
4 ist eine charakteristische Ansicht zur Beschreibung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
5 ist eine charakteristische Ansicht zur Beschreibung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
6 ist eine charakteristische Ansicht zur Beschreibung einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
7 ist eine Ansicht zur Beschreibung einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
8A bis 8C sind Ansichten zur Beschreibung von konventionellem Verziehen von geformtem Scheibensubstrat.
9A bis 9C sind Ansichten zur Beschreibung von konventionellem Verziehen von geformtem Scheibensubstrat.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Weil ein geformtes Scheibensubstrat, unmittelbar nachdem aus den Formen der Formungsmaschine genommen worden ist, eine hohe Temperatur hat und in einem hinreichend weichen Zustand vorliegt, insbesondere bei verkürztem Produktionszyklus, nimmt Verziehen des geformten Scheibensubstrats in der tangentialen Richtung aufgrund des Winddrucks während des Transports, Spannung, die durch das Halten durch Saugwirkung verursacht wird, aufgrund von Spannung, die während der Formung entsteht, oder aufgrund des Gewichts des geformten Scheibensubstrats zu. In dem grundlegenden Betrieb der vorliegenden Erfindung wird demnach ein geformtes Scheibensubstrat, während es sich im Hochtemperaturzustand befindet, nämlich vor der Verfestigung seines Harzmaterials, auf der Scheibenaufnahmebasis 2 positioniert und mit hoher Geschwindigkeit rotiert. Als Ergebnis wirkt die Zentrifugalkraft hierauf ein, und das Verziehen des geformten Scheibensubstrats wird durch die resultierende Zugkraft in nach Außen gerichteter radialer Richtung verringert. Die hier beschriebene Hochgeschwindigkeitsrotation beträgt 3000 UpM oder mehr und vorzugsweise 4000 UpM oder mehr.
Wenn jedoch einfach ein geformtes Scheibensubstrat auf der Scheibenaufnahmebasis 2 positioniert und ein Gas auf das geformte Scheibensubstrat geblasen wird, während es mit hoher Geschwindigkeit rotiert, dann rotiert das geformte Scheibensubstrat unter gleichzeitigen Schlagen, obwohl das Kühlen beschleunigt wird. Als Ergebnis wird das Verziehen des geformten Scheibensubstrats trotzdem erhöht. Wie in den 1A und 1B der vorliegenden Erfindung gezeigt ist, ist es demzufolge möglich, wenn das geformte Scheibensubstrat 1 auf der Scheibenaufnahmebasis 2 positioniert worden ist, durch Zuführen von Gas aus einer inneren radialen Richtung zu einer äußeren radialen Richtung entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1, während es mit hoher Geschwindigkeit rotiert, eine noch größere Verringerung des Verziehens des geformten Scheibensubstrates 1 zu erreichen, indem die Anzahl der Rotationen von Null auf eine festgesetzte Anzahl rasch erhöht wird, ohne dass das geformte Scheibensubstrat 1 schlägt, während gleichzeitig das Kühlen des geformten Scheibensubstrats 1 beschleunigt wird und eine Verkürzung der Produktionszeit erreicht wird. Es ist zudem auch möglich, jegliches Schlagen des geformten Scheibensubstrats 1 zu verhindern, das erzeugt wird, wenn das Kühlgas darauf geblasen wird, während das geformte Scheibensubstrat 1 rotiert wird.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun unter Verwendung der 1A, 1B und 2 beschrieben. Ein geformtes Scheibensubstrat 1, das sich noch in einem einigermaßen weichen Zustand und auf hoher Temperatur befindet, wird durch Saugwirkung von einer normalen Transportvorrichtung (nicht gezeigt) gehalten und auf die Scheibenaufnahmebasis 2 überführt. Die Scheibenaufnahmebasis 2 ist auf ihrer Oberseite mit einem vergleichbar dünnen Flansch 2a ausgestattet und hat eine Saugvorrichtung (nicht gezeigt), um eine Vielzahl von Positionen in der Nähe der inneren Peri pherie des geformten Scheibensubstrats 1 anzusaugen. Die Scheibenaufnahmebasis 2 ist mit einer Rotationswelle 4 verbunden, die von einer Rotationsantriebvorrichtung 3 rotiert wird, oder ist integral mit der Rotationswelle 4 ausgebildet. Der Flansch 2a hat einen Radius von einem Drittel oder weniger des Durchmessers des geformten Scheibensubstrats 1 und vorzugsweise einen Radius mit einer Größe, in der er nicht auf den Aufzeichnungsbereich des geformten Scheibensubstrats 1 stößt. In dem Rotationsmittelpunkt der Scheibenaufnahmebasis 2 wird ein mittiger Vorsprung 2b bereitgestellt, der in ein Mittelloch (nicht gezeigt) in dem geformten Scheibensubstrat 1 eingesetzt ist. Es sei darauf hingewiesen, dass, obwohl dies nicht gezeigt ist, der Saugabschnitt der Scheibenaufnahmebasis 2 mit einem externen Vakuumpumpenmechanismus (nicht gezeigt) über die Rotationswelle 4 verbunden ist. Die Rotationsantriebvorrichtung 3 ist in der Lage, in einer kurzen Zeit auf eine festgelegte hohe Rotationsgeschwindigkeit zu beschleunigen, beispielsweise 10 000 UpM.
In der vorliegenden Ausführungsform wird eine Gasabgabedüse 5 bereitgestellt, um einen ziemlich starken Luftstrom herbeizuführen, der von einer inneren radialen Richtung zu einer äußeren radialen Richtung entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 strömt, während die Scheibe rotiert, indem ein spiraliger Strom und ein sich diagonal nach oben bewegender Luftstrom zum Kollidieren an der Unterseite des Flansches 2a gebracht werden. Es ist erwünscht, dass dieser Luftstrom eine ausreichende Geschwindigkeit hat, um den rotierenden Luftstrom in der extrem engen Nähe des geformten Scheibensubstrats 1 zu überwinden, der durch die Hochgeschwindigkeitsrotation des geformten Scheibensubstrats 1 erzeugt wird. Wenn das geformte Scheibensubstrat 1 beispielsweise mit 3000 UpM rotiert, beträgt die Umkreisgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 in der Nähe des Flansches 2a ungefähr 10 m/s, während die Umkreisgeschwindigkeit des äußeren peripheren Abschnitts des geformten Scheibensubstrats 1 ungefähr 19 m/s beträt. Die Geschwindigkeit des Luftstroms ist daher ungefähr 10 m/s oder mehr und vorzugsweise ungefähr 19 m/s oder mehr. Wenn das geformte Scheibensubstrat 1 mit 4000 UpM beziehungsweise 5000 UpM rotiert, betragen die Geschwindigkeiten des Luftstroms vorzugsweise 25 m/s oder mehr beziehungsweise ungefähr 31 m/s oder mehr, weil die Umkreisgeschwindigkeiten an dem äußeren peripheren Abschnitt des geformten Scheibensubstrats 1 ungefähr 25 m/s beziehungsweise 31 m/s betragen. Wenn daher die Maximalrotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 auf 5000 UpM gesetzt wird, indem die Geschwindigkeit des Luftstroms auf ungefähr 31 m/s oder mehr eingestellt wird, muss die Geschwindigkeit des Luftstroms nicht mehr gemäß der Rotationsgeschwindigkeit justiert werden.
Die Gasabgabedüse 5 ist über ein in 2 gezeigtes Drosselventil 7 und eine Gaszufuhrleitung 8 mit einer Druckluftversorgungsvorrichtung 6 verbunden, wie einem Kompressor, der Druckluft zuführt. Es kann eine oder eine Vielzahl von Gasabgabedüsen 5 geben, und die Gasabgabedüse 5 ist vorzugsweise so positioniert, dass die Unterseite des Flansches 2a auf einer Linie liegt, die sich von der Linie der Mittelachse der Gasabgabedüse 5 erstreckt. Anmeldungsgemäß gibt die Gasabgabedüse 5 Gas in die gleiche Richtung wie die Rotationsrichtung der Scheibenaufnahmebasis 2 oder der Rotationswelle 4 ab. Wie in 1B zu sehen ist, sollte die Gasabgabedüse 5 in Richtung der zurücktretenden Seite (des linken schattierten Bereichs in 1B) der rotierenden Scheibenaufnahmebasis 2 angeordnet werden, so dass die Richtung des Gasstroms mit der Rotationsrichtung des Flansches 2a und der Scheibenaufnahmebasis 2 zusammenfällt. Der Gasstrom kann nicht in Richtung der sich nähernden Seite (der rechten Seite in 1B) der rotierenden Scheibenaufnahmebasis 2 gerichtet werden.
Wie in 2 zu sehen ist, ist die Rotationswelle 4 über ein Tragelement 9 drehbar an einer Basis 10 befestigt. Die Gasabgabedüse 5 ist auch an der Basis 10 befestigt.
Auf diese Weise wird durch Abgeben eines Gases auf die zurücktretende Seite der Scheibenaufnahmebasis 2 oder die Rotationswelle 4, so dass das abgegebene Gas das geformte Scheibensubstrat 1 nicht direkt trifft, ein Teil des Gasstroms durch die Rotation der Scheibenaufnahmebasis 2 oder der Rotationswelle 4 zu einem Wirbelstrom geformt und trifft auf die Unterseite des Flansches 2a auf. Der verbleibende Luftstrom, der sich im Wesentlichen geradeaus bewegt, trifft auf die Unterseite des Flansches 2a im Wesentlichen aus einer diagonal abwärts gerichteten Richtung auf. Der Luftstrom, der auf der Unterseite des Flansches 2a auftrifft, strömt entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 aus einer inneren radialen Richtung zu einer nach Außen gerichteten radialen Richtung. Der Wirbelstrom dieses Gases strömt im Wesentlichen gleichförmig entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 von der Unterseite des Flansches 2a in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung, der Rest des sich im Wesentlichen vorwärts bewegenden Luftstroms kollidiert jedoch mit speziellen Bereichen der Unterseite des Flansches 2a und strömt entlang spezieller Abschnitte der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 und daran angrenzender Abschnitte in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung. Dieser Luftstrom beschleunigt das Kühlen des geformten Scheibensubstrats 1 und verhindert gleichzeitig das Schlagen des geformten Scheibensubstrats 1, wodurch das geformte Scheibensubstrat 1 mit hoher Geschwindigkeit in einem horizontalen Zustand rotieren kann. Als Ergebnis dieser horizontalen Hochgeschwindigkeitsrotation wird das Verziehen verringert, bis das Harzmaterial verfestigt, weil eine gleichförmige Zentrifugalkraft auf das geformte Scheibensubstrat 1 einwirkt und eine Zugkraft in nach Außen gerichteter radialer Richtung wirkt.
Nun wird eine kurze Beschreibung der Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 gegeben, die eine erhebliche Wirkung auf die Verringerung des Verziehens hat. Wenn die Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 weniger als ungefähr 4000 UpM beträgt, wird das Verziehen des geformten Scheibensubstrats 1 weiter verringert, wenn die Rotationsgeschwindigkeit zunimmt. Falls die Rotationsgeschwindigkeit jedoch ungefähr 4000 UpM übersteigt, findet praktisch keine weitere Verringerung des Verziehens des geformten Scheibensubstrats 1 statt, und das Verziehen bleibt konstant. Falls demnach die Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 ungefähr 4000 UpM beträgt oder das geformte Scheibensubstrat 1 mit einer höheren Geschwindigkeit als diesem Wert rotiert, ist es möglich, das Verziehen im Wesentlichen auf ein Minimum zu verringern. Wenn die Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 jedoch niedriger als 4000 UpM ist, ist es möglich, weil das Verziehen des geformten Scheibensubstrats 1 verringert wird, eine ausreichende Wirkung hinsichtlich der Kühlung und der Verringerung des Verziehens zu erreichen, selbst wenn die Rotationsgeschwindigkeit weniger als ungefähr 4000 UpM beträgt. Wenn der Luftstrom nicht in nach Außen gerichteter radialer Richtung entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 ist und die Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 weniger als 3000 UpM beträgt, schlägt das geformte Scheibensubstrat 1 auf und nieder, wenn es rotiert, und es rotiert nicht stabil in einer horizontalen Ebene. Obwohl das Verziehen des geformten Scheibensubstrats 1 wesentlich verringert wird, ist der Verringerungseffekt in gewisser Hinsicht herabgesetzt. Wenn außerdem ein Luftstrom auf das geformte Scheibensubstrat 1 geblasen wird, wenn es rotiert, schlägt das geformte Scheibensubstrat 1 auf und nieder und rotiert nicht stabil in einer horizontalen Ebene, falls jedoch ein Gas wie Luft zum Strömen in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 gebracht wird, wie in der vorliegenden Erfindung, verstärkt sich der Verziehungsverringerungseffekt auf das geformte Scheibensubstrat 1 zusätzlich und es ist möglich, ein abgeflachteres geformtes Scheibensubstrat 1 zu erhalten, das praktisch verziehungsfrei ist.
Falls die Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 auf ungefähr 3000 UpM oder mehr erhöht wird, dann gibt es, wie oben beschrieben wurde, praktisch keine auf und nieder schlagende Bewegung in dem geformten Scheibensubstrat 1, und das geformte Scheibensubstrat 1 rotiert stabil in einer horizontalen Ebene und das Verziehen wird erheblich verringert. Die tolerierbare Grenze eines Kippwinkels einer DVD, die durch Zusammenkleben zweier Scheibensubstrate gebildet wird, ist 0,3 Grad, während es für den Kippwinkel für ein EinzelScheibensubstrat keinen Grenzwert gibt. Wenn jedoch die Rotationsgeschwindigkeit ungefähr 3000 UpM beträgt, ist der Kippwinkel eines geformten Scheibensubstrats kleiner als 0,2 Grad, so dass, selbst wenn zwei derartige Scheiben zusammengeklebt werden, eine DVD mit einem Kippwinkel unter dem tolerierbaren Grenzwert von 0,3 Grad erhalten wird. Falls ein geformtes Scheibensubstrat mit verringertem Verziehen erhalten wird, weil das oben beschriebene Verfahren verwendet wurde, ist es sogar möglich, eine DVD zu erhalten, die den Spezifikationen in befriedigendem Maße entspricht, wenn die DVD durch Kleben einer Lage, die dünner als ein geformtes Scheibensubstrat ist, auf ein geformtes Scheibensubstrat hergestellt wird.
Weil das geformte Scheibensubstrat 1 durch seine Rotation und durch das Gas, das über die Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1 strömt, zwangsweise gekühlt wird, wird die Temperatur des geformten Scheibensubstrats 1 viel rascher abgesenkt, als wenn das geformte Scheibensubstrat 1 einfach natürlicherweise abkühlen gelassen würde. Als Beispiel werden, wie in 3 gezeigt ist, unter den Bedingungen einer Rotationsgeschwindigkeit von 5000 UpM und bei Raumtemperatur ungefähr zwei Sekunden (beispielsweise 1,5 bis 3 Sekunden) benötigt, damit das Harzmaterial auf ungefähr 90°C (die Verfestigungstemperatur) abkühlt, wobei es bei der Temperatur zu verfestigen oder zu erhärten beginnt (nachfolgend als "Verfestigung" bezeichnet). Falls die Temperatur des geformten Scheibensubstrats 1 unter die Verfestigungstemperatur absinkt, gibt es im Wesentlichen keine weitere Verringerung des Verziehens, selbst bei einer Rotationsgeschwindigkeit von 5000 UpM. Daher kann dies so aufgefasst werden, dass ungefähr 90 °C die Verfestigungstemperatur des Harzmaterials des geformten Scheibensubstrats 1 ist, die in der vorliegenden Ausführungsform verwendet wird.
4 zeigt die Beziehung zwischen der Maximaltemperatur, nachdem das geformte Scheibensubstrat 1 erwärmt und dann natürlicherweise abkühlen gelassen worden ist, und dem Betrag der Änderung des Kippwinkels in der Radialrichtung vor diesem Erwärmen und nach diesem Erwärmen. Aus dieser Zeichnung ist auch ersichtlich, dass, falls die Temperatur des geformten Scheibensubstrats 1 unter ungefähr 90°C absinkt, es im Wesentlichen keine weitere Änderung des Kippwinkels gibt. In 5 zeigt eine gekrümmte Linie 1 den Maximalbetrag der Änderung des Kippwinkels von mehreren Proben. Wenn die Temperatur des geformten Scheibensubstrats 1 zwischen 100°C und 90°C liegt, wird der Maximalbetrag der Änderung des Kippwinkels verringert, und unter 90°C gibt es im Wesentlichen keine Veränderung und der Kippwinkel ist konstant. Es ist nämlich ersichtlich, dass es selbst bei dem Maximalbetrag der Änderung des Kippwinkels praktisch keine Veränderung gibt. Als nächstes zeigt die gekrümmte Line 2 den durchschnittlichen Betrag der Veränderung des Kippwinkels von mehreren Proben. Wenn die Temperatur des geformten Scheibensubstrats 1 zwischen 100°C und 90°C liegt, gibt es einen sehr geringen Betrag der Änderung des Kippwinkels, und der Kippwinkel wird konstant, falls die Temperatur auf unter 90°C absinkt. Aus dieser Tatsache geht auch hervor, dass ungefähr 90°C die Temperatur ist, bei der das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats 1 der vorliegenden Ausführungsform im Wesentlichen verfestigt, und nachdem die Verfestigung eingetreten ist, nimmt das Verziehen des geformten Scheibensubstrats 1 weder zu noch ab, sondern bleibt konstant.
Als nächstes wird unter Verwendung von 6 eine andere Ausführungsform beschrieben. In dieser Ausführungsform hat die Scheibenaufnahmebasis 2 konventionelle erste Gasstromstrecken 2d und zweite Gasstromstrecken 2c. Die ersten Gasstromstrecken 2d werden auf der Innenseite der zweiten Gasstromstrecken 2c in im Wesentlichen gleichem Abstand gebildet, beispielsweise einem Abstand von 30°, und ihr eines Ende ist mit einem (nicht gezeigten) Saugmechanismus verbunden. Die oberen Enden der ersten Gasstromstrecken 2d erstrecken sich jeweils zu der Oberseite der Scheibenaufnahmebasis 2, und die unteren Enden sind mit einem (nicht gezeigten) Saugmechanismus verbunden. Wenn der (nicht gezeigte) Saugmechanismus in Betrieb ist, wird das geformte Scheibensubstrat 1 durch Saugwirkung an der Scheibenaufnahmebasis 2 gehalten. In der gleichen Weise wie bei den oben beschriebenen Gasabgabedüsen sind die zweiten Gasstromstrecken 2c Strömungswege zur Zuführung von abzugebendem Gas, und ihr eines Ende ist mit einer (nicht gezeigten) Versorgungsvorrichtung für Druckluft verbunden, während das andere Ende offen ist und in eine nach Außen gerichtete radiale Richtung direkt unter dem Flansch 2a weist. In der vorliegenden Erfindung werden zwei Gasabgabeöffnungen D ungefähr 180° voneinander entfernt bereitgestellt, es können jedoch eine oder drei oder mehr Öffnungen bereitgestellt werden. Wenn die (nicht gezeigte) Versorgungsvorrichtung für Druckluft in Betrieb ist, wird Druckluft mit 0,01 MPa bis 0,1 MPa aus den beiden Gasabgabeöffnungen D abgegeben, und dieses komprimierte Gas strömt in nach Außen gerichteter radialer Richtung von der Unterseite des Flansches 2a entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats 1. In identischer Weise zu dem in der oben beschriebenen Ausführungsform aus der Gasabgabedüse abgegebenen Luftstrom kühlt das komprimierte Gas hier das geformte Scheibensubstrat 1, während das geformte Scheibensubstrat 1 am Schlagen gehindert wird, wenn es rotiert.
In der oben beschriebenen Ausführungsform wurde bestätigt, dass die Kühlleistung des geformten Scheibensubstrats 1 erheblich besser war, als wenn das geformte Scheibensubstrat 1 einfach durch Rotation gekühlt wurde. Wie oben beschrieben ist ungefähr 90°C die Verfestigungstemperatur des Harzmaterials, das das geformte Scheibensubstrat 1 bildet, und nach Verfestigung gibt es keine weitere Verringerung des Verziehens des geformten Scheibensubstrats 1, nicht einmal, wenn es mit hoher Geschwindigkeit rotiert. Entsprechend wird das Schlagen bei der vorliegenden Erfindung sogar noch weiter verringert, indem die Rotationsgeschwindigkeit so rasch wie möglich auf eine festgelegte Rotationsgeschwindigkeit erhöht wird, vorzugsweise 4000 UpM oder mehr, und während das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats 1 noch weich ist, wird das geformte Scheibensubstrat 1 so lange Zeit wie möglich mit einer höheren Rotationsgeschwindigkeit als der festgelegten Rotationsgeschwindigkeit rotiert, um auf das geformte Scheibensubstrat 1 eine erhebliche Zentrifugalkraft einwirken zu lassen. Wie in 3 gezeigt, ist die erforderliche Zeitdauer, bis das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats 1 auf die ungefähr 90°C (Verfestigungstemperatur) abkühlt, ungefähr zwei Sekunden, wenn die Rotationsgeschwindigkeit 5000 UpM beträgt. Für den Fall, dass die Maximalrotationsgeschwindigkeit 5000 UpM beträgt, wird der Verziehungsverringerungseffekt daher verringert, falls die Rotationsgeschwindigkeit nicht innerhalb der ungefähr zwei Sekunden auf 5000 UpM erhöht werden kann. Damit die Rotationsgeschwindigkeit 4000 UpM erreichen kann, werden vom Start der Rotation ungefähr zwei Sekunden benötigt. Es ist notwendig, die Rotationsgeschwindigkeit des geformten Scheibensubstrats 1 in geringerer Zeit als ungefähr zwei Sekunden auf die gewählte Rotationsgeschwindigkeit zu erhöhen.
Es sei darauf hingewiesen, dass es in der vorliegenden Ausführungsform möglich ist, dass die Gasabgabe gestoppt wird, nachdem das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats 1 verfestigt ist, nämlich nachdem ungefähr zwei Sekunden seit dem Start der Rotation ver strichen sind. Nachdem das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats jedoch verfestigt ist, bleibt die Gasabgabe jedoch brauchbar zum Kühlen, und es ist möglich, die Temperatur des geformten Scheibensubstrats 1 in einem kurzen Zeitraum auf Raumtemperatur abzusenken. Die Abgabe wird daher vorzugsweise fortgesetzt, bis die Rotation des geformten Scheibensubstrats 1 gestoppt ist.
Obwohl es in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, ist es auch möglich, zwei oder mehrere Gaszufuhrwegtypen bereitzustellen. Ein Gaszufuhrwegtyp kann die Zuführung eines Gases wie Luft sein, das von einer Heizvorrichtung wie einem Heizer auf 90°C oder mehr erhitzt worden ist, während der andere Gaszufuhrwegtyp zur Zufuhr eines Gases wie Luft dienen kann, das auf Raumtemperatur oder darunter abgekühlt worden ist. Indem unter Verwendung eines (nicht gezeigten) Wahlventils zwischen diesen beiden Gaszufuhrwegtypen umgeschaltet wird, ist es möglich, zuerst einen erwärmten Luftstrom zu verwenden, um so die Verfestigung des Harzmaterials des geformten Scheibensubstrats 1 zu verlangsamen und dadurch die Zeitdauer zu verlängern, die zum Verringern des Verziehens in dem geformten Scheibensubstrats 1 verwendet wird. Während das geformte Scheibensubstrat 1 nicht schlägt, ist es daher als Ergebnis möglich, eine noch weitere Verringerung des Verziehens des geformten Scheibensubstrats 1 zu erreichen. Nachfolgend ist es ungefähr zu dem Zeitpunkt, wenn das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats 1 verfestigt, möglich, einen Abkühlvorgang durchzuführen, indem zur gleichen Zeit gekühltes Gas abgegeben wird und die Zufuhr des erwärmten Luftstroms gestoppt wird.
Als nächstes wird eine andere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. In dieser Ausführungsform wird, wie durch die Pfeile in 7 gezeigt ist, das Abkühlen weiter beschleunigt, indem ein Gas direkt auf das verfestigte Scheibensubstrat geblasen wird, nachdem das Harzmaterial des geformten Scheibensubstrats 1 verfestigt ist. Wie in der vorhergehenden Ausführungsform zu sehen war, wird das Gas, weil die Verfestigung des geformten Scheibensubstrats 1 ungefähr zwei Sekunden nach Starten der Rotation beginnt, zu einem vorgewählten Zeitpunkt abgegeben, nachdem ungefähr zwei Sekunden verstrichen sind. Speziell ist es in diesem Verfahrensschritt ausreichend, wenn ein Antriebbefehlsignal an die Rotationsantriebvorrichtung 3 von einem (nicht gezeigten) Zeitgeber erhalten wird und nach einer vorgewählten Zeit ein Lösesignal gegeben wird. Dieses Lösesignal öffnet nachfolgend ein Schaltventil (nicht gezeigt), das einen Gaszufuhrweg (nicht gezeigt) öffnet und schließt. Durch Öffnen dieses Schaltventils wird ein Gas zu einem vorgewählten Zeitpunkt nach der Rotation des geformten Scheibensubstrats 1 abgegeben. Weil das geformte Scheibensubstrat 1 bereits verfestigt ist, dient der Betrieb des Gases in der vorliegenden Ausführungsform nur der Beschleunigung des Kühlens derselben. Wie in 7 zu sehen ist, ist es daher bevorzugt, dass Gas auf beide Seiten des geformten Scheibensubstrats 1 mit im Wesentlichen der gleichen Rate geblasen wird, es sei jedoch auch darauf hingewiesen, dass das Gas nur von einer Seite geblasen werden kann. In den Zeichnungen ist keine Gasblasvorrichtung gezeigt, die Gasblasvorrichtung kann jedoch durch eine normale Gebläsevorrichtung oder durch Anordnen einer Vielzahl von Gasabgabedüsen gebildet werden, wie jenen, die in den obigen Ausführungsformen beschrieben sind, die entweder in einer einzelnen Reihe oder zickzackartig entlang der genau entgegengesetzten Richtung des geformten Scheibensubstrats 1 angeordnet sind. Es sei darauf hingewiesen, dass die Kühlung und Verziehungsverringerung des geformten Scheibensubstrats 1 günstigerweise erreicht werden können, wenn die vorliegende Ausführungsform mit den obigen Ausführungsformen kombiniert wird.
In den obigen Ausführungsformen wird das geformte Scheibensubstrat 1 mit hoher Geschwindigkeit rotiert, selbst nachdem es verfestigt ist, es ist jedoch auch möglich, die Rotationsgeschwindigkeit herabzusetzen oder die Rotation zu stoppen, nachdem das geformte Scheibensubstrat 1 verfestigt ist. Wie oben beschrieben ist, ist es jedoch bevorzugt, dass die Rotation bis unmittelbar vor der Überführung des geformten Scheibensubstrats 1 von der Scheibenaufnahmebasis an einen anderen Ort fortgesetzt wird, weil die Rotation zur Beschleunigung des Kühlens brauchbar ist.
Wie oben beschrieben worden ist, ist es bei der vorliegenden Erfindung möglich, eine qualitativ hochwertige optische Scheibe mit wenig Verziehen zu geringen Kosten zu liefern, weil es möglich ist, in kurzer Zeit ein Scheibensubstrat mit einem geringen Verziehungsgrad zu fertigen, ohne das irgendeine nachteilige Wirkung auf das geformte Scheibensubstrat eintritt.

Claims

Scheibensubstratbearbeitungsverfahren mit den folgenden Schritten: ein geformtes Scheibensubstrat, das durch Spritzgießen erhalten worden ist, wird auf einer Scheibenaufnahmebasis rotiert, bevor das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist; ein Gas wird auf die zurücktretende Seite der Scheibenaufnahmebasis oder eine Rotationswelle so abgegeben, dass das abgegebene Gas das geformte Scheibensubstrat nicht direkt trifft, und ein Teil des Gasstroms durch die Rotation der Scheibenaufnahmebasis oder der Rotationswelle zu einem Wirbelstrom geformt wird und dieser Luftstrom entlang der Unterseite des geformten Scheibensubstrats strömt, während das geformte Scheibensubstrat rotiert, wobei das Gas in die gleiche Richtung wie die Rotationsrichtung der Scheibenaufnahmebasis oder der Rotationswelle abgegeben wird; und die Rotation des geformten Scheibensubstrats gestoppt wird, nachdem das geformte Scheibensubstrat verfestigt ist.
Scheibensubstratverarbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem das Gas so abgegeben wird, dass es in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung entlang einer Unterseite des geformten Scheibensubstrats strömt.
Scheibensubstratverarbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem das Gas strömen gelassen wird, bis die Temperatur des geformten Scheibensubstrats auf Raumtemperatur abgesenkt worden ist.
Scheibensubstratverarbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem von der Strömungsrate oder der Temperatur des Gases mindestens eine durch eine Steuerung gesteuert wird.
Scheibensubstratverarbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem das geformte Scheibensubstrat innerhalb von 1,5 bis 3 Sekunden auf eine Rotationsgeschwindigkeit von 3000 UpM oder mehr beschleunigt wird.
Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung, die Verziehen in einem geformten Scheibensubstrat verringert, das durch Spritzgießen erhalten worden ist, indem das geformte Scheibensubstrat rotiert wird, umfassend: eine Scheibenaufnahmebasis mit einem Flansch, der sich in einer äußeren radialen Richtung erstreckt, um das geformte Scheibensubstrat aufzunehmen; einen Rotationsantriebmechanismus, der das geformte Scheibensubstrat rotiert, indem die Scheibenaufnahmebasis rotiert wird; und eine Gasabgabevorrichtung, die Gas abgibt, während die Scheibenaufnahmebasis rotiert, so dass das Gas in einer nach Außen gerichteten radialen Richtung der Scheibenaufnahmebasis entlang mindestens einer Oberfläche des rotierenden geformten Scheibensubstrats strömt, wobei die Gasabgabevorrichtung eine Gasabgabedüse ist, die Gas auf die zurücktretende Seite der rotierenden Scheibeaufnahmebasis oder die Rotationswelle abgibt, so dass das abgegebene Gas das geformte Scheibensubstrat nicht direkt trifft.
Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 6, die des Weiteren eine Temperatursteuerungsvorrichtung umfasst, um die Temperatur des Gases herabzusetzen oder zu erhöhen.
Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 6, bei der die Rotationsantriebsvorrichtung das geformte Scheibensubstrat bei einer Rotationsgeschwindigkeit von 3000 UpM oder mehr rotiert.
Scheibensubstratverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 6, bei der die Gasabgabevorrichtung Gas abgibt, während das rotierende geformte Scheibensubstrat höher als 90°C ist.