DE69930898T2 - Optisches Informationsaufzeichnungsmedium, Verfahren und Klimatisierungssystem zu seiner Herstellung - Google Patents

Optisches Informationsaufzeichnungsmedium, Verfahren und Klimatisierungssystem zu seiner Herstellung Download PDF

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium mittels Wärme, das es ermöglicht, dass unter Verwendung eines Laserstrahls Informationen darauf aufgezeichnet und davon wiedergegeben werden können, auf ein Verfahren zur Herstellung desselben und auf ein Klimatisierungssystem zur Herstellung des optischen Informationsaufzeichnungsmediums, das vorzugsweise bei einer Anlage zur Herstellung des optischen Informationsaufzeichnungsmediums verwendet wird.
  • Im Allgemeinen beinhaltet das optische Informationsaufzeichnungsmedium (die optische Platte), die unter Verwendung des Laserstrahls nur einmal Informationen aufzeichnen kann, zum Beispiel eine einmal beschreibbare CD (so genannte CD-R) und DVD-R. Ein solches Medium ist insofern günstig, als der Markt, verglichen mit der Herstellung der herkömmlichen CD (compact disc), schnell mit einer kleinen Menge CDs zu einem angemessenen Preis beliefert werden kann. Die Nachfrage nach einem solchen Medium erhöht sich entsprechend der neuesten Popularisierung von PCs oder Ähnlichem.
  • Das optische Informationsaufzeichnungsmedium CD-R weist seinen charakteristischen Aufbau auf, der Folgendes umfasst: eine Aufzeichnungsschicht, die aus einem organischen Farbstoff besteht; eine Licht reflektierende Schicht, die aus einem Metall wie Gold besteht; und eine Schutzschicht, die aus Harz gefertigt wird, wobei die Schichten in dieser Anordnung auf einem transparenten scheibenförmigen Substrat übereinander gestapelt sind, das eine Stärke von ca. 1,2 mm aufweist (siehe zum Beispiel die offen gelegte japanische Patentveröffentlichung Nr. 6-150371).
  • Das optische Informationsaufzeichnungsmedium DVD-R weist seinen charakteristischen Aufbau auf, der zwei scheibenförmige Substrate umfasst (jedes weist eine Stärke von ca. 0,6 mm auf), die übereinander gestapelt sind, wobei sich ihre entsprechenden Informationsaufzeichnungsflächen jeweils nach innen gewandt gegenüber liegen. Das optische Informa tionsaufzeichnungsmedium DVD-R weist eine solche Eigenschaft auf, dass die Informationsmenge, die darauf aufgezeichnet werden soll, groß ist.
  • Informationen werden auf das optische Informationsaufzeichnungsmedium geschrieben (aufgezeichnet), indem ein Laserstrahl in dem nahen Infrarotbereich ausgestrahlt wird (ein Laserstrahl weist üblicherweise eine Wellenlänge in der Nähe von 780 nm im Fall der CD-R auf, oder in der Mähe von 635 nm im Fall der DVD-R). Der bestrahlte Abschnitt der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht, absorbiert den Lichtstrahl um örtlich die Temperatur zu erhöhen. Als ein Ergebnis tritt die physikalische oder chemische Veränderung ein (zum Beispiel die Bildung von Vertiefungen), um die optische Eigenschaft zu verändern. Dadurch werden die Informationen auf dem Medium aufgezeichnet.
  • Andererseits werden die Informationen üblicherweise gelesen (wiedergegeben), indem ein Laserstrahl, der dieselbe Wellenlänge aufweist wie der Aufzeichnungslaserstrahl, ausgestrahlt wird. Die Informationen werden wiedergegeben, indem der Reflexionsunterschied zwischen dem Abschnitt, bei dem sich die optische Eigenschaft der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht verändert hat (aufgezeichneter Abschnitt, basierend auf der Bildung von Vertiefungen) und dem Abschnitt, bei dem die optische Eigenschaft sich nicht verändert hat (nicht aufgezeichneter Abschnitt), ermittelt wird.
  • Wenn das optische Informationsaufzeichnungsmedium mittels Wärme verwendet wird, das unter Verwendung des Laserstrahls das Aufzeichnen und Wiedergeben von Informationen ermöglicht, wird der Spur-Servomechanismus für den Laserstrahl auf der Basis des Gegentaktsignals ausgeführt.
  • Das Gegentaktsignal für den Spur-Servomechanismus weist im Wesentlichen einen Nullpegel auf, wenn der Laserstrahl die Abtastung entlang einer Rille in einer vorgeschriebenen Art durchführt. Wenn der Laserstrahl bezüglich einer Rille in Richtung der äußeren Umfangsseite oder der inneren Umfangsseite abgelenkt wird, weist das Gegentaktsignal einen Pegel auf, der einem Ablenkungsbetrag entspricht. Abhängig von der Polarität des Signals, ist es möglich zu erkennen, ob der Laserstrahl in Richtung der äußeren Umfangsseite oder der inneren Umfangsseite abgelenkt wird.
  • Deshalb ist es möglich, den Spur-Servomechanismus für den Laserstrahl bezüglich einer Spur durchzuführen, ebenso wie ein Zugang zu einer gewünschten Spuradresse möglich ist, indem der Wechsel bei dem Pegel des Gegentaktsignals überwacht wird.
  • Wenn die Aufzeichnungsschicht unter Verwendung des organischen Farbstoffs auf dem Substrat ausgebildet wird, wird in dem Fall eines herkömmlichen optischen Informationsaufzeichnungsmediums, die Farbstofflösung auf dem Substrat aufgetragen während das Substrat sich dreht.
  • Insbesondere wird die Farbstofflösung aufgetragen während sich das Substrat mit einer konstanten Anzahl von Umdrehungen dreht, unabhängig von der Position auf dem Substrat, wie dessen äußerer Umfangsseite oder dessen innerer Umfangsseite.
  • Deswegen wird die Filmstärke des aufgetragenen Farbstoffs an der inneren Umfangsseite des Substrats groß, und deshalb erhöht sich zum Beispiel der Maximalpegel (Pegel, der dem maximalen Ablenkungsbetrag entspricht) des Gegentaktsignals für den Spur-Servomechanismus in einigen Fällen. Ferner erfährt der Pegel des Gegentaktsignals entsprechend der radialen Richtung des Substrats ebenso eine große Streuung. In einem solchen Fall gibt es eine hohe Möglichkeit, dass der Spurfehler durch den Laserstrahl verursacht werden kann.
  • Der Maximalpegel des Gegentaktsignals erhöht sich auf der Basis der Tatsache, dass der Reflexionsgrad zu gering ist. In einer solchen Situation tritt insofern eine Schwierigkeit auf, als die Amplitude des wiedergegebenen Signals zu klein ist, und es pflegt ein Lesefehler aufzutreten.
  • Während zur Gestaltung der optischen Platte die Farbstofflösung auf dem plattenförmigen Substrat aufgetragen wird, ist im Allgemeinen die Luftreinheit in der Auftragungskammer der Auftragungsvorrichtung wichtig, um eine Auftragungsfläche (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) auszubilden, die eine gleichmäßige Filmstärke aufweist, auf der keine Fehler auftreten.
  • In Bezug auf diesen Punkt wurde bisher ein beispielhaftes Verfahren empfohlen, in dem bei der Aufrechterhaltung der Umgebung, die sich von dem Schritt der Ausbildung der Farb stoff-Aufzeichnungsschicht bis zu dem Schritt der Ausbildung der Licht reflektierenden Schicht auf der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht erstreckt, die relative Feuchtigkeit auf maximal 30% festgelegt wird (offen gelegte japanische Patentveröffentlichung Nr. 6-150371).
  • JP 09-208995 legt ein Verfahren zur Reinigung eines Gegenstands offen, in dem der spezifische elektrische Widerstand des Wassers auf 0,5–5,0 MΩ·cm festgelegt wird, und das Wasser wird auf 40–80°C erwärmt, bevor der Gegenstand hinein getaucht wird.
  • JP 06-095051 legt unter Verwendung einer Kombination aus Düsenwäsche, Ultraschallwäsche und Tauchwäsche ein Verfahren zur Reinigung eines Substrats offen, während Wasser verwendet wird, das einen maximalen elektrischen Widerstand von 15 MΩ·cm aufweist.
  • Bei der herkömmlichen Technik wurde auch das folgende Klimatisierungssystem angewendet, das auf einem Kreislaufsystem basiert. Und zwar wird das Innere der Auftragungskammer zum Beispiel bei einem Pegel von maximal Klasse 100 festgelegt, um jeden Einbruch von Staub zu vermeiden, der von außen in die Auftragungsvorrichtung einfließen könnte. Um jedoch eine konstante Filmstärke der Auftragungsfläche aufrechtzuerhalten, wird der folgende Arbeitsvorgang gleichzeitig durchgeführt. Und zwar wird die Luft, die von dem Innern der Auftragungskammer ausgestoßen wurde, zunächst einmal entfeuchtet, und dann wird der Feuchtigkeitsgehalt, der unter Verwendung einer Heizplatte oder Ähnlichem durch Ausbilden von Wasserdampf erzielt wurde, der Luft hinzugefügt, bevor die Luft der Auftragungskammer zugeführt wird.
  • Während die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht ausgebildet wird, wird bei der herkömmlichen Technik jedoch der Arbeitsvorgang in einer Umgebung mit niedriger Feuchtigkeit durchgeführt, in der die relative Feuchtigkeit maximal 30% beträgt. Deshalb wird befürchtet, dass statische Elektrizität erzeugt wird, und es besteht die Möglichkeit, dass der Farbstoff nicht gleichmäßig über der gesamten Substratfläche aufgetragen werden kann. Ferner sind hohe Kosten für das Klimatisierungssystem erforderlich, das dazu vorgesehen ist, die niedrige Feuchtigkeit zu erreichen. Es wird auch befürchtet, dass eine solche Situation ungünstig ist, wenn es darum geht die Fertigungskosten der optischen Platte zu verringern.
  • Die vorliegende Erfindung wurde unter Berücksichtigung der vorangehenden Probleme gemacht. Ein Ziel zumindest der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums bereitzustellen, in dem die Pegeldispergierung des Gegentaktsignals in der radialen Richtung vermindert werden kann, der Maximalpegel des Gegentaktsignals innerhalb eines vorgeschriebenen Bereichs liegen kann, und es möglich ist, das optische Informationsaufzeichnungsmedium mit einer hohen Qualität herzustellen.
  • Ein weiteres Ziel der bevorzugten Formen der vorliegenden Erfindung ist es, ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, das bezüglich der Erhaltungsleistung ausgezeichnet ist, und das ein effizienteres Erreichen der gleichmäßigen Filmstärke der Farbstoff-Auftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern möglich macht, und ein Verfahren zur Herstellung dessen bereitzustellen.
  • Noch ein weiteres Ziel der bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist es, ein Klimatisierungssystem zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums bereitzustellen, das ein effizienteres Erreichen der gleichmäßigen Filmstärke der Auftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern möglich macht, indem eine Abflussleitung verbessert wird.
  • Noch ein weiteres Ziel der bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist es, ein Klimatisierungssystem zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums bereitzustellen, das eine hochgenaue Steuerung der Temperatur und der Feuchtigkeit des Bearbeitungsbereichs zur Bildung der Auftragungsfläche möglich macht, und das ein effizienteres Erreichen der gleichmäßigen Filmstärke der Auftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern möglich macht.
  • Noch ein weiteres Ziel der bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist es, ein Klimatisierungssystem zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums bereitzustellen, das es möglich macht, jede einfließende Verunreinigung in der Atmosphäre des Bearbeitungsbereichs zur Bildung der Auftragungsfläche zu vermeiden, und das die Auftragungsfläche vor der Kontamination der Verunreinigung schützt, und das ein effizienteres Erreichen der gleichmäßigen Filmstärke der Auftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern möglich macht.
  • Nach einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist hier ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums mittels Wärme bereitgestellt, das auf einem Substrat eine Aufzeichnungsschicht umfasst, die Informationen aufzeichnen kann, indem sie mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass es den folgenden Schritt umfasst Ausbilden der Aufzeichnungsschicht auf dem Substrat unter Verwendung von Wasser, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 0,15 MΩ aufweist, um eine Bearbeitungsatmosphäre zu befeuchten, die verwendet wird, um die Aufzeichnungsschicht auszubilden, und worin in der Bearbeitungsatmosphäre eine relative Feuchtigkeit auf 30% bis 60% festgelegt wird.
  • Nach einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist hier ein Klimatisierungssystem zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums bereitgestellt, das umfasst:
    eine Entfeuchtungseinrichtung zur Bearbeitung und Entfeuchtung von Luft, um Primärluft zu erhalten;
    eine Befeuchtungseinrichtung zur Bearbeitung und Befeuchtung von mindesten der Primärluft, um Sekundärluft zu erhalten; und
    eine Luftzuführeinrichtung zur Zuführung der Sekundärluft zu einer Anlage zur Herstellung des optischen Informationsaufzeichnungsmediums mittels Wärme, das auf einem Substrat eine Aufzeichnungsschicht umfasst, die Informationen aufzeichnen kann, indem sie mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, dadurch gekennzeichnet dass:
    Wasser als eine Beleuchtungsquelle für die Befeuchtungseinrichtung verwendet wird, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 0,15 MΩ aufweist.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird nun, nur beispielhaft, ausführlich unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen Folgendes gilt:
  • 1 zeigt eine Anordnung, die ein Beispiel des Herstellungssystems nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 2 zeigt eine Anordnung, die ein Rotationsbeschichtungsgerät darstellt, das für die Auftragungsanlage installiert ist;
  • 3 zeigt eine perspektivische Ansicht, die das Rotationsbeschichtungsgerät darstellt, das für die Auftragungsanlage installiert ist;
  • 4 zeigt eine Draufsicht, die eine Düse des Rotationsbeschichtungsgeräts darstellt;
  • 5 zeigt eine Seitenansicht, die ein Beispiel der Düse des Rotationsbeschichtungsgeräts darstellt;
  • 6 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht, die, mit Teil-Auslassung, ein weiteres Beispiel der Düse des Rotationsbeschichtungsgeräts darstellt;
  • 7 zeigt eine Draufsicht, die ein Klimatisierungssystem darstellt;
  • 8 zeigt eine Vorderansicht, die das Klimatisierungssystem darstellt;
  • 9 zeigt eine Seitenansicht, die das Klimatisierungssystem darstellt;
  • 10 zeigt eine Anordnung eines Abflussgeräts des Klimatisierungssystems, zusammen mit einer übergeordneten Abflussleitung;
  • 11 zeigt eine Schnittansicht, die eine Anordnung einer Pufferbox darstellt, die für das Abflussgerät installiert ist;
  • 12 zeigt ein Blockdiagramm, das einen Aufbau einer Klimaanlage darstellt;
  • 13A zeigt einen Schritt, der einen Zustand darstellt, in dem eine Rille auf einem Substrat ausgebildet wird;
  • 13B zeigt einen Schritt, der einen Zustand darstellt, in dem eine Farbstoff-Aufzeichnungsschicht auf dem Substrat ausgebildet wird;
  • 13C zeigt einen Schritt, der einen Zustand darstellt, in dem eine Licht reflektierende Schicht auf dem Substrat ausgebildet wird;
  • 14A zeigt einen Schritt, der einen Zustand darstellt, in dem der Randabschnitt des Substrats gewaschen wird;
  • 14B zeigt einen Schritt, der einen Zustand darstellt, in dem eine Schutzschicht auf dem Substrat ausgebildet wird;
  • 15 zeigt ein Blockdiagramm, das Schritte beschreibt, die einen Bearbeitungsvorgang darstellen, während in einem beispielhaften Herstellungssystem die Farbstofflösung auf dem Substrat aufgetragen wird;
  • 16 zeigt eine Anordnung, die ein weiteres Beispiel des Herstellungssystems nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • 17 zeigt eine Tabelle, die die Ergebnisse darstellt, die in einem ersten veranschaulichenden Versuch erzielt wurden; und
  • 18 zeigt eine Tabelle, die die Ergebnisse darstellt, die in einem zweiten veranschaulichenden Versuch erzielt wurden.
  • Unter Bezug auf 1–18 wird nachfolgend eine Erläuterung für eine veranschaulichende Ausführungsform gegeben, in der das Informationsaufzeichnungsmedium und das Verfahren zur Herstellung dessen nach der vorliegenden Erfindung auf ein System zur Herstellung einer optischen Platte wie einer CD-R (hiernach einfach als "Herstellungssystem nach der Ausführungsform" bezeichnet) angewendet wird, und einer veranschaulichenden Ausführungsform, in der das Klimatisierungssystem zur Herstellung des Informationsaufzeichnungsmediums nach der vorliegenden Erfindung auf ein System zur Herstellung einer optischen Platte, wie einer oben beschriebenen CD-R, (hiernach einfach als "Klimatisierungssystem nach der Ausführungsform" bezeichnet) angewendet wird.
  • Wein 1 gezeigt, umfasst das Herstellungssystem 10 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung Folgendes: zwei Formgebungsanlagen (eine erste und eine zweite Formgebungsanlage 12A und 12B) zur Herstellung von Substraten zum Beispiel durch Spritzgießen, Pressformen oder Spritz-Pressformen; eine Auftragungsanlage 14 zum Auftragen einer Farbstoffauftragungslösung auf eine erste Hauptfläche des Substrats, gefolgt von einem Trockenvorgang, um eine Farbstoff-Aufzeichnungsschicht auf dem Substrat auszubilden; und eine Nachbehandlungsanlage 16 zur Ausbildung einer Licht reflektierenden Schicht auf der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht auf dem Substrat, zum Beispiel durch Aufspritzen, gefolgt von dem Auftragen einer durch UV aushärtenden Lösung auf der Licht reflektierenden Schicht, um danach eine UV-Abstrahlung durchzuführen, so dass eine Schutzschicht auf der Licht reflektierenden Schicht ausgebildet wird.
  • Jede der beiden ersten und zweiten Formgebungsanlagen 12A und 12B beinhaltet Folgendes: eine Formmaschine 20 für das Spritzgießen, Pressformen oder Spritz-Pressformen eines Harzwerkstoffs, wie z. B. Polycarbonat, um das Substrat herzustellen, das mit einer Spurrille oder einer konvexen und konkaven Rille ausgebildet wird, um Informationen, wie z. B. ein Adresssignal auf dessen erster Hauptfläche abzubilden; eine Kühleinheit 22 zur Kühlung des Substrats, das aus der Formmaschine 20 herausgenommen wird; und eine Sammeleinheit 26 (Stapelstangen-Drehtisch), die mit einer Vielzahl von Stapelstangen 24 zur Stapelung und Speicherung des Substrats nach dem Abkühlen installiert ist.
  • Die Auftragungsanlage 14 umfasst drei Bearbeitungsbereiche 30, 32 und 34. Der erste Bearbeitungsbereich 30 beinhaltet Folgendes: eine Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 40 für das Aufnehmen der Stapelstange 24, die von der oben beschriebenen ersten und zweiten Formgebungsanlage 12A und 12B transportiert wird; einen ersten Transportmechanismus 42, um das Substrat Stück für Stück von der Stapelstange 24 zu extrahieren; die in der Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 40 aufgenommen wird, um das Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren; und einen elektrostatischen Blasmechanismus 44 zur Entfernung der statischen Elektrizität von einem Substrat, das von dem ersten Transportmechanismus 42 transportiert wird.
  • Der zweite Bearbeitungsbereich 32 beinhaltet Folgendes: einen zweiten Transportmechanismus 46, um das für den elektrostatischen Blasvorgang fertige Substrat sukzessive zu dem nächsten Schritt zu transportieren, der durch den ersten Bearbeitungsbereich 30 durchgeführt wird; einen Farbstoffauftragungsmechanismus 48, um die Farbstofflösung auf eine Vielzahl von Substraten aufzutragen, die jeweils von dem zweiten Transportmechanismus 46 transportiert werden; und einen dritten Transportmechanismus 50, um das für den Farbstoffauftragungsvorgang fertige Substrat Stück für Stück zu dem nächsten Schritt zu transportieren. Der Farbstoffauftragungsmechanismus 48 umfasst sechs Rotationsbeschichtungsgeräte 52.
  • Der dritte Bearbeitungsbereich 34 beinhaltet Folgendes: einen Rückseitenwaschmechanismus 54 für das Waschen der Rückseitenfläche eines Substrats, das durch den dritten Transportmechanismus 50 transportiert wird; einen vierten Transportmechanismus 56, um das für das Rückseitenwaschen fertige Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren; einen Nummerierungsmechanismus 58, um zum Beispiel eine Losnummer auf dem Substrat zu markieren, das durch den vierten Transportmechanismus 56 transportiert wird; einen fünften Transportmechanismus 60 um das für die Markierung der Losnummer oder Ähnlichem fertige Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren; einen Überprüfungsmechanismus 62 für das Überprüfen des Substrats, das durch den fünften Transportmechanismus 60 transportiert wird, auf vorhandene oder nicht vorhandene Fehler und für das Überprüfen der Filmstärke der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht; einen Auswahlmechanismus 68, um, abhängig von dem Ergebnis der Überprüfung, die durch den Überprüfungsmechanismus 62 durchgeführt wird, die Substrate zu selektieren in diejenigen, die bei einer Stapelstange 64 für normale Erzeugnisse gespeichert werden sollen und in diejenigen, die bei einer Stapelstange 66 für fehlerhafte oder "nicht gute" Erzeugnisse gespeichert werden sollen, die ab jetzt als NG-Erzeugnisse bezeichnet werden.
  • Eine erste Trennplatte 70 ist zwischen dem ersten Bearbeitungsbereich 30 und dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 installiert. In ähnlicher Weise ist auch eine zweite Trennplatte 72 zwischen dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 und dem dritten Bearbeitungsbereich 34 installiert. Eine (nicht gezeigte) Öffnung, die einen solchen Umfang aufweist, dass der Transportdurchgang für das Substrat, das von dem zweiten Transportmechanismus 46 transportiert wird, nicht verschlossen wird, ist an einem unteren Abschnitt der ersten Trennplatte 70 ausgebildet. Eine (nicht gezeigte) Öffnung, die einen solchen Umfang aufweist, dass der Transportdurchgang für das Substrat, das von dem dritten Transportmechanismus 50 transportiert wird, nicht verschlossen wird, ist an einem unteren Abschnitt der zweiten Trennplatte 72 ausgebildet.
  • Die Nachbehandlungsanlage 16 beinhaltet Folgendes: eine Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 80 für die Aufnahme der Stapelstange 64 für normale Erzeugnisse, die von der Auftragungsanlage 14 transportiert werden; einen sechsten Transportmechanismus 82, um das Substrat Stück für Stück von der Stapelstange 64 zu extrahieren, die in der Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 80 aufgenommen wird, um das Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren; einen ersten elektrostatischen Blasmechanismus 84 zur Entfernung der statischen Elektrizität von einem Substrat, das von dem sechsten Transportmechanismus 82 transportiert wird; einen siebten Transportmechanismus 86, um das für den elektrostatischen Blasvorgang fertige Substrat sukzessive zu dem nächsten Schritt zu transportieren; einen Aufspritzmechanismus 88 für das Ausbilden durch Aufspritzen der Licht reflektierenden Schicht auf der ersten Hauptfläche des Substrats, das von dem siebten Transportmechanismus 86 transportiert wird; einen achten Transportmechanismus 90, um das für das Aufspritzen der Licht reflektierenden Schicht fertige Substrat sukzessive zu dem nächsten Schritt zu transportieren; und einen Randwaschmechanismus 92 für das Waschen des Umfangsrandes (Randabschnitts) des Substrats, das von dem achten Transportmechanismus 90 transportiert wird.
  • Die Nachbehandlungsanlage 16 beinhaltet außerdem Folgendes: einen zweiten elektrostatischen Blasmechanismus 94 zur Entfernung der statischen Elektrizität von dem für die Randwäsche fertigen Substrat; einen Auftragungsmechanismus 96 für eine durch UV aushärtende Lösung um die durch UV aushärtende Lösung auf die erste Hauptfläche des für den Blasvorgang fertigen Substrats aufzutragen; einen Rotationsmechanismus 98 für die Erzielung einer gleichmäßigen Auftragsstärke der durch UV aushärtenden Lösung auf dem Substrat, indem das für die Auftragung der durch UV aushärtenden Lösung fertige Substrat mit einer hohen Geschwindigkeit gedreht wird; einen UV-Abstrahlmechanismus 100 für die Abstrahlung von ultraviolettem Licht auf das Substrat, das für die Auftragung der durch UV aushärtenden Lösung und den Rotationsvorgang fertig ist, um die durch UV aushärtenden Lösung auszuhärten, damit die Schutzschicht auf der ersten Hauptfläche des Substrats ausgebildet wird; einen neunten Transportmechanismus 102 für den jeweiligen Transport des Substrats zu dem zweiten elektrostatischen Blasmechanismus 94, dem Auftragungsmechanismus 96 für die durch UV aushärtende Lösung und dem UV-Abstrahlmechanismus 100; einen zehnten Transportmechanismus 104 für den Transport des UV bestrahlten Substrats zu dem nächsten Schritt; einen Fehlerprüfmechanismus 106, um das Substrat, das von dem zehnten Transportmechanismus 104 transportiert wird, auf Fehler auf der Auftragungsfläche und der Schutzschichtfläche zu überprüfen; einen Eigenschaftsprüfmechanismus 108 für das Überprüfen der Signaleigenschaft, basierend auf der auf dem Substrat ausgebildeten Rille; und einen Auswahlmechanismus 114, um, abhängig von dem Ergebnis der Überprüfung, die durch den Fehlerprüfmechanismus 106 und den Eigenschaftsprüfmechanismus 108 durchgeführt wird, die Substrate zu selektieren in diejenigen, die bei einer Stapelstange 110 für normale Erzeugnisse gespeichert werden sollen und in diejenigen, die bei einer Stapelstange 112 für NG-Erzeugnisse gespeichert werden sollen.
  • Der Aufbau eines der Rotationsbeschichtungsgeräte 52 wird nun unter Bezug auf 2 bis 6 erläutert.
  • Wie in 2 und 3 gezeigt, umfasst das Rotationsbeschichtungsgerät 52 eine Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400, eine Rotationskopfeinheit 402 und eine Streuschutzwand 404. Die Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400 beinhaltet einen (nicht gezeigten) Drucktank, der mit der Farbstofflösung befüllt wird, ein (nicht gezeigtes) Rohr, das sich von dem Drucktank zu einer Düse 406 erstreckt, und ein Abgabemengen-Anpassungsventil 408 für das Anpassen der Farbstofflösung, die durch die Düse 406 abgegeben wird. Eine vorbestimmte Menge der Farbstofflösung wird durch die Düse 406 tropfenweise auf die Oberfläche des Substrats 202 aufgetragen.
  • Die Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400 ist so aufgebaut, dass sie durch die Hilfe eines Bedienmechanismus' 414, der eine Stützplatte 410 für das Stützen der Düse 406, während sie nach unten gerichtet ist, und einen Motor 412 für das horizontale Schwenken der Stützplatte 410 umfasst, eine Schwenkbewegung von einer Warteposition zu einer Position über dem Substrat 202 ermöglicht.
  • Die Rotationskopfeinheit 402 ist an einer Position unter der Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400 so angeordnet, dass das Substrat 202 durch die Hilfe eines lösbaren Befestigungsbauteils 420, das durch die Hilfe eines (nicht gezeigten) Antriebsmotors die Ausführung einer Drehung um die Achse ermöglicht, horizontal gehalten wird.
  • Die Farbstofflösung wird tropfenweise von der Düse 406 der Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400 auf das Substrat 202 geträufelt, das sich in einem Zustand dreht, in dem es von der Rotationskopfeinheit 402 horizontal gehalten wird, und sie fließt und breitet sich aus in Richtung der äußeren Umfangsseite auf der Oberfläche des Substrats 202. Die überschüssige Farbstofflösung wird von dem äußeren Umfangsrand des Substrats 202 heraus gewirbelt und nach außen abgegeben. Anschließend wird der mit dem Auftrag versehene Film getrocknet. Auf diese Weise wird der mit dem Auftrag versehene Film (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204) auf der Oberfläche des Substrats 202 ausgebildet.
  • Die Streuschutzwand 404 ist dazu vorgesehen, zu verhindern, dass sich die überschüssige Farbstofflösung, die von dem äußeren Umfangsrand des Substrats 202 nach außen abgegeben wird, in die Umgebung verstreut. Die Streuschutzwand 404 ist so um die Rotationskopfeinheit 402 angeordnet, dass an ihrem oberen Abschnitt eine Öffnung 422 ausgebildet wird. Die überschüssige Farbstofflösung, die mit Hilfe der Streuschutzwand 404 gesammelt wird, wird durch einen Ablaufkanal 424 zurückgewonnen.
  • Für die jeweiligen Rotationsbeschichtungsgeräte 52 des zweiten Bearbeitungsbereichs 32 (siehe 1) wird die Luft örtlich folgendermaßen abgelassen. Und zwar kann die Luft, die durch die Öffnung 422 einströmt, die am oberen Abschnitt der Streuschutzwand 404 ausgebildet ist, über die Oberfläche des Substrats 202 strömen, und die Luft wird dann über ein Abflussrohr 426, das an einem unteren Abschnitt jeder Rotationskopfeinheit 402 befestigt ist, abgegeben.
  • Wie in 4 und 5 gezeigt, beinhaltet die Düse 406 der Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400 einen schlanken Düsenhauptkörper 432, der einen zylindrischen Aufbau mit einem Durchgangsloch 430 aufweist, das in der axialen Richtung ausgebildet ist, und einen Befestigungsabschnitt 434 für die Befestigung des Düsenhauptkörpers 432 an der Stützplatte 410 (siehe 3). Der Düsenhauptkörper 432 weist eine Fläche auf, in der sich die vordere Endfläche und eine oder beide der inneren und äußeren Wandflächen, die sich über einen Bereich von mindestens 1 mm von der vorderen Endfläche erstrecken, aus einer Fluorverbindung bestehen. Diese ist brauchbar, da die Fluorverbindung zum Beispiel Polytetrafluorethylen und Polytetrafluorethylen enthaltende Substanz beinhaltet.
  • Beispiele der Düse 406, die vorzugsweise in dieser Ausführungsform verwendet wird, beinhalten zum Beispiel die Düse 406, bei der die vordere Endfläche des Düsenhauptkörpers 432 und der Bereich von mindestens 1 mm von der vorderen Endfläche, wie in 5 gezeigt, mit der Fluorverbindung ausgebildet sind, und eine Düse 406, bei der die vordere Endfläche 440 des Düsenhauptkörpers 432 und eine oder beide der äußeren und inneren Wandflächen 442 und 444, die sich über einen Bereich von mindestens 1 mm von der vor deren Endfläche 440 erstrecken, wie in 6 gezeigt, mit der Fluorverbindung beschichtet sind.
  • Wenn die vordere Endfläche 440 des Düsenhauptkörpers 432 und der Bereich von mindestens 1 mm von der vorderen Endfläche mit der Fluorverbindung ausgebildet sind, wird der folgende Aufbau vorzugsweise unter Berücksichtigung eines praktischen Gesichtspunkts, zum Beispiel der Festigkeit, verwendet. Zum Beispiel wird der Düsenhauptkörper 432 aus Edelstahl gefertigt, und die vordere Endfläche und der Bereich innerhalb von maximal 5 mm von der vorderen Endfläche werden aus der Fluorverbindung gefertigt.
  • Wenn die vordere Endfläche 440 des Düsenhauptkörpers 432 und eine oder beide der äußeren und inneren Wandflächen 442 und 444, die sich über einen Bereich von mindestens 1 mm von der vorderen Endfläche 440 erstrecken, wie in 6 gezeigt, mit der Fluorverbindung beschichtet sind, wird vorzugsweise der folgende Aufbau verwendet. Und zwar wird der Bereich von mindestens 10 mm von der vorderen Endfläche 440 des Düsenhauptkörpers 432 mit der Fluorverbindung beschichtet. Noch besser wird der gesamte Bereich des Düsenhauptkörpers 432 mit der Fluorverbindung beschichtet. Wenn die Beschichtung aufgetragen wird, ist deren Stärke nicht speziell eingeschränkt. Eine angemessene Stärke sollte jedoch in einem Bereich von 5 bis 500 μm liegen. Wie oben beschrieben, wird Edelstahl vorzugsweise als Werkstoff für den Düsenhauptkörper 432 verwendet. Der Durchmesser des Durchgangslochs 430, das in dem Düsenhauptkörper 432 ausgebildet ist, liegt im Allgemeinen in einem Bereich von 0,5 bis 1,0 mm.
  • Das Herstellungssystem 10 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ferner, wie in 1 gezeigt, mit einem Klimatisierungssystem 300 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung direkt neben dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 der Auftragungsanlage 14 ausgestattet. Wie in 7 und 8 gezeigt, sind die Klimaanlagen 704 und 706 an den jeweiligen Decken des ersten Bearbeitungsbereichs 30 und des dritten Bearbeitungsbereichs 34 jeweils mittels Hochleistungs-Festbettfilter (HEPA-Filter) 700 und 702 installiert.
  • Die Klimaanlagen 704 und 706 führen dem ersten und dem dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34 jeweils reine Luft zu. Deshalb ist es möglich, die Temperatur in dem ersten und dem dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34 zu steuern.
  • Wie in 7 und 12 gezeigt, umfasst das Klimatisierungssystem 300 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung Folgendes: eine Klimaanlage 302 für die Zuführung der reinen Luft "ca" zu der Auftragungsanlage 14; eine Entfeuchtungseinrichtung 304 für das Einleiten der Außenluft "ea", um eine Entfeuchtung durchzuführen und die Luft als die Primärluft "a1" auszugeben; und ein Abflussgerät 306 (siehe 10) für die Zuführung eines Teils der Abluft (örtliche Abluft) "da" von der Auftragungsanlage 14 zu der übergeordneten Abflussleitung. Die örtliche Abluft "da" beinhaltet zum Beispiel die Abluft von den sechs Rotationsbeschichtungsgeräten 52 des Farbstoffauftragungsmechanismus' 48 der Auftragungsanlage 14.
  • Wie in 7 und 8 gezeigt, umfasst das Klimatisierungssystem 300 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen Kanal 310, der zwischen der Entfeuchtungseinrichtung 304 und der Klimaanlage 302 angeordnet ist, um die Primärluft "a1", die von der Entfeuchtungseinrichtung 304 ausgegeben wird, der Klimaanlage 302 zuzuführen. Wie in 10 gezeigt, sind die oben beschriebenen Abflussrohre 426 zwischen dem Abflussgerät 306 und den jeweiligen Abflussseiten der sechs Rotationsbeschichtungsgeräte 52 des Farbstoffauftragungsmechanismus' 48 der Auftragungsanlage 14 angeordnet.
  • Eine Vielzahl von Luftzufuhrkanälen 320a bis 320d (in der dargestellten Ausführungsform vier einzelne) für die Zuführung der reinen Luft "ca", die von der Klimaanlage 302 an die Auftragungsanlage 14 abgegeben wird und eine Vielzahl von Rückführungskanälen 322 (in der dargestellten Ausführungsform acht einzelne) zur Rückführung der Abluft "ra", die eine Andere ist als die örtliche Abluft "da" von der Auftragungsanlage 14 zu der Klimaanlage 302, ist zwischen der Klimaanlage 302 und der Auftragungsanlage 14 installiert.
  • Die Klimaanlage 302 ist mit einem Einlassanschluss 710 für die Einleitung der Außenluft "ea" installiert, und ein Vorfilter 712 ist an dem Einlassanschluss 710 befestigt. Im Fall der normalen Klimaanlagensteuerung (nicht im Fall der Steuerung für niedrige Feuchtigkeit), wird die Luft, die von dem Einlassanschluss 710 eingeleitet wird, der Klimaanlage 302 als die Primärluft zugeführt.
  • Die Entfeuchtungseinrichtung 304 wird verwendet, wenn die Steuerung für niedrige Feuchtigkeit durchgeführt wird. Wie in 7 und 8 gezeigt, ist die Entfeuchtungseinrichtung 304 mit einem Einlassanschluss 324 für die Einleitung der Außenluft "ea" installiert. Ein Vorfilter 326 ist an dem Einlassanschluss 324 befestigt. Deshalb wird die Außenluft "ea", die durch den Einlassanschluss 324 eingeleitet wird, in das Innere der Entfeuchtungseinrichtung 304 eingeleitet, nachdem der Staub und der Schmutz unter Verwendung des Vorfilters 326 entfernt worden ist. Die entfeuchtete Außenluft wird der Klimaanlage 302, die sich stromabwärts befindet, als die Primärluft zugeführt.
  • Wie in 12 gezeigt, umfasst die Klimaanlage 302 Folgendes: einen Mischer 330 für das Mischen der Primärluft "a1" von der Entfeuchtungseinrichtung 304 oder einem Einlassanschluss 610 und der Abluft (eine andere Abluft als die örtliche Abluft) "ra" von der Auftragungsanlage 14, um die Luft als die gemischte Luft "ha" auszugeben; zwei Entfeuchtungseinrichtungen 332a und 332b, um die Entfeuchtungsbehandlung auf die von dem Mischer 330 ausgegebene gemischte Luft "ha" anzuwenden, um die Luft als die Sekundärluft "a2" auszugeben; und vier Luftgebläse 334a bis 3344 für die Zuführung der Sekundärluft "a2" von den zwei Entfeuchtungseinrichtungen 332a und 332b zu der Auftragungsanlage 14.
  • Jede der Entfeuchtungseinrichtungen 332a und 332b beinhaltet an ihrer Innenseite eine Heizplatte 336, um der Primärluft "a1" Feuchtigkeit in Dampfform hinzuzufügen. Die Heizplatte 336 wird mit Reinwasser beladen. In der vorliegenden Erfindung wird das Reinwasser in geeigneter Weise verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 0,15 MΩ (bei Zimmertemperatur) aufweist. Es kann vorzugsweise das Reinwasser verwendet werden, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 1,5 MΩ (bei Zimmertemperatur) aufweist, und noch besser, Reinwasser, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 15 MΩ (bei Zimmertemperatur) aufweist. In dieser Ausführungsform wird das Reinwasser verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von 2 MΩ aufweist.
  • Das Verfahren zur Erzielung des Reinwassers beinhaltet zum Beispiel ein Verfahren, das auf der Verwendung einer Destillation und ein Verfahren, das auf der Verwendung eines Ionenaustauschharzes basiert. Mit Blick auf die Wirksamkeit bei der Entfernung der Unreinheit, wird jedoch zum Beispiel vorzugsweise das Verfahren verwendet, das auf der Verwendung eines Ionenaustauschharzes basiert.
  • Wein 7 und 8 gezeigt, sind andererseits von dem Luftzufuhrkanal bis zu der Auftragungsanlage vier Hochleistungs-Festbettfilter (HEPA-Filter) 340a bis 340d an den oberen Abschnitten der Auftragungsanlage 14 installiert. Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d sind zwischen den vier Luftgebläsen 334a bis 334d und den vier Luftzufuhrkanälen 320a bis 320d, die einander jeweils entsprechen, installiert. Die Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d sind folgendermaßen angeordnet Und zwar ist unter Bezug auf 7 die erste Richtungssteuerungsplatte 342a, die dem ersten Luftgebläse 334a entspricht, das sich an der äußersten rechten Position befindet, in einer geneigten Richtung so installiert, dass die Luftmenge, die über den zweiten Luftzufuhrkanal 320b dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird (siehe 1), größer ist als die Luftmenge, die dem ersten Bearbeitungsbereich 30 zugeführt wird. Unter Bezug auf 7 ist die vierte Richtungssteuerungsplatte 342d, die dem vierten Luftgebläse 3344 entspricht, das sich an der äußersten linken Position befindet, in einer geneigten Richtung so installiert, dass die Luftmenge, die über den dritten Luftzufuhrkanal 320c dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, größer ist als die Luftmenge, die dem dritten Bearbeitungsbereich 34 zugeführt wird.
  • Die zweite Richtungssteuerungsplatte 342b, die dem zweiten Luftgebläse 334b entspricht, ist in einer geneigten Richtung so installiert, dass die Luftmenge, die über den dritten Luftzufuhrkanal 320c dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, größer ist als die Luftmenge, die über den zweiten Luftzufuhrkanal 320b dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird. Die dritte Richtungssteuerungsplatte 342c, die dem dritten Luftgebläse 334c entspricht, ist in einer geneigten Richtung so installiert, dass die Luftmenge, die über den zweiten Luftzufuhrkanal 320b dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, größer ist als die Luftmenge, die über den dritten Luftzufuhrkanal 320c dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird.
  • Und zwar sind die Richtungen der ersten bis vierten Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d so festgelegt, dass die Luftmenge, die über den zweiten und dritten Luftzufuhrkanal 320b und 320c dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, größer ist als die Luftmenge, die über den ersten Luftzufuhrkanal 320a dem ersten Bearbeitungsbereich 30 zugeführt wird und die Luftmenge, die über den vierten Luftzufuhrkanal 320d dem dritten Bearbeitungsbereich 34 zugeführt wird.
  • Die Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d sind außerdem an den oberen Abschnitten der Auftragungsanlage 14 zwischen den vier Luftzufuhrkanälen 320a bis 320b und den HEPA-Filtern 340a bis 340d, die jeweils einander entsprechen, installiert. Die Richtungs steuerungsplatten 344a bis 344d sind folgendermaßen angeordnet. Und zwar ist unter Bezug auf 7 die erste Richtungssteuerungsplatte 344a, die dem ersten HEPA-Filter 340a entspricht, der sich an der äußersten rechten Position befindet, so schräg installiert, dass die reine Luft „ca", die über den ersten Luftzufuhrkanal 320a zugeführt wird, zu dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 geleitet wird. Unter Bezug auf 7, ist die vierte Richtungssteuerungsplatte 3444, die dem vierten HEPA-Filter 340d entspricht, der sich an der äußersten linken Position befindet, so schräg installiert, dass die reine Luft „ca", die über den vierten Luftzufuhrkanal 320d zugeführt wird, zu dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 geleitet wird.
  • Die zweite Richtungssteuerungsplatte 344b, die dem zweiten HEPA-Filter 340b entspricht, ist so schräg in eine Richtung installiert, dass die gesamte Zufuhr der reinen Luft „ca", die über den zweiten Luftzufuhrkanal 320b dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, unterdrückt wird. Die dritte Richtungssteuerungsplatte 344e, die dem dritten HEPA-Filter 340c entspricht, ist so schräg in eine Richtung installiert, dass die gesamte Zufuhr der reinen Luft „ca", die über den dritten Luftzufuhrkanal 320c dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, unterdrückt wird.
  • Die Luftmenge, die dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zugeführt wird, der in der Mitte der Auftragungsanlage 14 angeordnet ist, ist infolge der Richtungen der vier Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d, die an der Seite der Klimaanlage 302 angeordnet sind, und infolge der Richtungen der vier Richtungssteuerungsplatten 344a bis 344d, die an der Seite der Auftragungsanlage 14 angeordnet sind, größer als die Luftmenge, die dem ersten und dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34 zugeführt wird, die um den zweiten Bearbeitungsbereich 32 herum angeordnet sind. Dementsprechend ist der Druck in der Atmosphäre in dem zweiten Bearbeitungsbereich höher als die Drücke in den jeweiligen Atmosphären in dem ersten und dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34.
  • Und zwar ermöglicht es die Bereitstellung einer Vielzahl von Richtungssteuerungsplatten an dem Luftzufuhrkanaf, wie es oben beschrieben ist, die Feuchtigkeit in der von der Klimaanlage 302 befeuchteten Luft gleichmäßig zu mischen und die Feuchtigkeitsverteilung in den jeweiligen Rotationsbeschichtungsgeräten 52 zu mindern, die in dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 angeordnet sind. Ferner ist es möglich den Unterschied in der Windgeschwindigkeit zwischen den jeweiligen Rotationsbeschichtungsgeräten 52 zu eliminieren, der die nach unten gerichtete Windgeschwindigkeit in den jeweiligen Rotationsbeschichtungsgeräten 52 betrifft.
  • Wie in 1 gezeigt, ist ferner die erste Trennplatte 70 zwischen dem ersten und dem zweiten Bearbeitungsbereich 30 und 32 bereitgestellt, und die zweite Trennplatte 72 ist zwischen dem zweiten und dem dritten Bearbeitungsbereich 32 und 34 bereitgestellt. Daher ist es möglich, das Einströmen von Luft von dem ersten Bearbeitungsbereich 30 zu dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 und das Einströmen von Luft von dem dritten Bearbeitungsbereich 34 zu dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 zu vermeiden.
  • Somit ist es möglich den Zustand aufrechtzuerhalten, in dem der Druck in der Atmosphäre in dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 höher ist als die Drücke in den jeweiligen Atmosphären in dem ersten und dem dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34.
  • Und zwar fungieren, die vier Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d, die an den Seiten der Klimaanlage 302 angeordnet sind, die vier Richtungssteuerungsplatten 344a bis 344d, die an den Seiten der Auftragungsanlage 14 angeordnet sind, und die erste und die zweite Trennplatte 70 und 72 als die Luftzufuhr-Mengensteuerungseinrichtung, um einen Zustand zu ergeben, in dem der Druck in der Atmosphäre in dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 höher ist als die Drücke in den jeweiligen Atmosphären in dem ersten und dem dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34.
  • Wein 10 und 11 gezeigt, beinhaltet das Abflussgerät 306 als Nächstes eine Pufferbox 500, deren äußeres Gehäuse so ausgebildet ist, dass es einen im Wesentlichen rechteckigen Parallelepiped-förmigen Aufbau aufweist, und dessen Innenseite luftdicht ist. Sechs Abluftgebläse 502, die jeweils den sechs Rotationsbeschichtungsgeräten 52 der Auftragungsanlage 14 entsprechen, sind in der Pufferbox 500 vorhanden.
  • Ein Abflussmengen-Steuerungsventilmechanismus 508, der zum Beispiel durch eine Absperrklappe 504 und einen Verschluss 506 ausgebildet wird, und ein Abflussmengensensor 510 für die elektrische Ermittlung der Abflussmenge sind zwischen allen sechs Rotationsbeschichtungsgeräten 52 und den dazu entsprechenden Abluftgebläsen 502 installiert. Die Trockenbedingung für den aufgetragenen Film kann in geeigneter Weise verändert werden, indem die Abflussmenge angepasst wird.
  • Eine übergeordnete Abflussleitung 520 ist stromabwärts mit der Pufferbox 500 verbunden. Wie in 10 gezeigt, führt die übergeordnete Abflussleitung 520 die Entlüftung der Auftragungsanlage 14 ebenso wie die Entlüftung der Formgebungsanlage, der Nachbehandlungsanlage und anderer verschiedener Herstellungsanlagen mit Hilfe eines Außengebläses 522, das im Freien installiert ist, durch.
  • Sechs Abflussrohre 524 einer großen Anzahl von Abflussrohren der übergeordneten Abflussleitung 520, die der Auftragungsanlage zugeteilt sind, sind jeweils mit der Pufferbox 500 verbunden. Wie in 11 gezeigt, sind in dieser Ausführungsform die sechs Abflussrohre 524, die sich von der übergeordneten Abflussleitung 520 bis zu der Auftragungsanlage 14 erstrecken, in der Pufferbox 500 von den sechs Abflussrohren 426 getrennt, die jeweils zu den Abluftgebläsen 502 führen. Die Absperrklappe 526 ist für jedes der sechs Abflussrohre 520 installiert, die sich von der übergeordnete Abflussleitung 520 bis zu der Auftragungsanlage 14 erstrecken, wodurch es möglich wird, die Abflussmenge an die übergeordnete Abflussleitung 520 anzupassen. Absperrklappen 528 und 530 sind jeweils stromaufwärts und stromabwärts zu dem Außengebläse 522 installiert, wodurch es möglicht wird, die Abflussmenge ins Freie anzupassen.
  • Als Nächstes wird eine Erläuterung des Verfahrens zur Herstellung der optischen Platte gegeben, unter Verwendung des Herstellungssystems 10 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, mit Bezug auf die Zeichnungen, die die in 13A bis 14B gezeigten Ablaufschritte ebenso beschreiben.
  • Zunächst wird unter Verwendung der Formmaschinen 20, die in der ersten und zweiten Formgebungsanlage 12A und 12B angeordnet sind, ein Harzwerkstoff, wie Polycarbonat, einem Spritzgießen, Pressformen oder Spritz-Pressformen unterzogen, um das Substrat 202 herzustellen, das mit der Spurrille oder der konvexen und konkaven Rille 200 auf der ersten Hauptfläche ausgebildet ist, die die Informationen, wie das in 13A gezeigte Adresssignal, wiedergibt.
  • Der Werkstoff für das Substrat 202 beinhaltet zum Beispiel: Polycarbonat, Acrylharz, wie Polymethylmethacrylat, auf Vinylchlorid basierendes Harz, wie Polyvinylchlorid und Vinylchlorid-Copolymer, Epoxydharz, amorphes Polyolefin und Polyester. Wenn gewünscht, können diese Verbindungen in Kombination verwendet werden. Mit Blick zum Beispiel auf die Feuchtigkeitswiderstandfähigkeit, die Formbeständigkeit und die Kosten, wird von den oben beschriebenen Werkstoffen Polycarbonat bevorzugt. Die Tiefe der Rille liegt vorzugsweise in einem Bereich von 0,01 bis 0,3 μm. Ihr Breiten-Halbwert liegt vorzugsweise in einem Bereich von 0,2 bis 0,9 μm.
  • Das Substrat 202, das der Formmaschine 20 entnommen wird, wird in der Kühleinheit 22 abgekühlt, die stromabwärts angeordnet ist. Danach wird das Substrat 202 mit seiner ersten Hauptfläche nach unten auf der Stapelstange 24 gestapelt. In dem Zustand, in dem eine vorbestimmte Anzahl von Substraten 202 auf der Stapelstange 24 gestapelt ist, wird die Stapelstange 24 aus der Formgebungsanlage 12A und 12B entnommen und zu der Auftragungsanlage 14 transportiert, die bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Die Stapelstange 24 wird in der Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 40 der Auftragungsanlage 14 aufgenommen. Der Transport kann unter Verwendung eines Laufwagens oder eines selbstfahrenden automatischen Transportgeräts durchgeführt werden.
  • In dem Stadium, in dem die Stapelstange 24 in der Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 40 aufgenommen wird, wird der erste Transportmechanismus 42 in Betrieb gesetzt, um das Substrat Stück für Stück der Stapelstange 24 zu entnehmen, so dass das Substrat 202 zu dem elektrostatischen Blasmechanismus 44 transportiert wird, der stromabwärts angeordnet ist. Die statische Elektrizität wird durch den elektrostatischen Blasmechanismus 44 von dem Substrat 20 entfernt, das zu dem elektrostatischen Blasmechanismus 44 transportiert wurde. Danach wird das Substrat 202 mit Hilfe des zweiten Transportmechanismus' 46 zu dem Farbstoff-Auftragungsmechanismus 48 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist, und wird in eines der sechs Rotationsbeschichtungsgeräte 52 eingeführt. Die Farbstofflösung wird auf der ersten Hauptfläche des Substrats 202 aufgetragen, das in das Rotationsbeschichtungsgerät 52 eingeführt wurde, und dann mit einer hohen Geschwindigkeit gedreht, um eine gleichmäßige Stärke der Farbstofflösung zu erreichen. Danach wird darauf die Trockenbehandlung ausgeübt. Wie in 13B gezeigt, wird dementsprechend die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 auf der ersten Hauptfläche des Substrats 202 ausgebildet.
  • Und zwar wird das Substrat 202, das in das Rotationsbeschichtungsgerät 52 eingeführt wurde, in die in 2 gezeigte Rotationskopfeinheit 402 installiert, und es wird mit Hilfe des Befestigungsbauteils 420 horizontal gehalten. Danach wird die Farbstofflösung, die von dem Drucktank zugeführt wird, angepasst, um mit Hilfe des Abgabemengen-Anpassungsventils 408 eine vorbestimmte Menge zu ergeben. Die Farbstofflösung wird über die Düse 406 auf die innere Umfangsseite des Substrats 202 tropfenweise aufgetragen.
  • Wie oben beschrieben, bilden die vordere Endfläche der Düse 406 und eine oder beide der äußeren und inneren Wandflächen in dem Bereich von mindestens 1 mm von der vorderen Endfläche, die Fläche, die aus einer Fluorverbindung besteht. Dementsprechend haftet die Auftragungslösung kaum an diesen Flächen. Ferner tritt kaum eine Abscheidung oder Ablagerung des Farbstoffs an diesen Flächen auf, die andernfalls infolge des Trocknens und Anhaltens der Auftragungslösung auftreten könnten. Deshalb kann der aufgetragene Film gleichmäßig ohne Beeinträchtigung bei der Auftragung durch anhaftende, abgeschiedene oder abgelagerte Auftragungslösung an den oben erwähnten Flächen der Düse 406, ausgebildet werden.
  • Eine Farbstofflösung, die durch Lösen des Farbstoffs in einem geeigneten Lösemittel erzielt wird, wird als die Farbstofflösung verwendet. Die Konzentration des Farbstoffs in der Farbstofflösung liegt im Allgemeinen in einem Bereich von 0,01 bis 15 Gewichtsprozent, vorzugsweise in einem Bereich von 0,1 bis 10 Gewichtsprozent, noch besser in einem Bereich von 0,5 bis 5 Gewichtsprozent und am besten in einem Bereich von 0,5 bis 3 Gewichtsprozent.
  • Die Rotationskopfeinheit kann mit Hilfe des Antriebsmotors eine Hochgeschwindigkeitsrotation durchführen. Die Farbstofflösung, die auf das Substrat 202 geträufelt wurde, fließt und dehnt sich entsprechend der Rotation der Rotationskopfeinheit 402 in die Richtung des äußeren Umfangs auf der Oberfläche des Substrats 202 aus. Die Farbstofflösung kommt an dem äußeren Umfangsrand des Substrats 202 an während sie den aufgetragenen Film ausbildet.
  • Ein Beispiel, wie die Farbstofflösung auf das Substrat 202 aufgetragen werden kann, wird nun durch 15 dargestellt.
  • Zunächst wird in dem in 15 gezeigten Schritt S1 die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 bis auf ca. 270 U/min erhöht, wobei gleichzeitig die Stützplatte 410 der Farbstofflösungs-Zufuhreinheit 400 (siehe 3) in der horizontalen Richtung gedreht wird, um die Düse 406 bis zu einer Position zu bewegen, die einem Radius des Substrats 202 von 46 mm entspricht.
  • Danach wird in dem Schritt S2 die Auftragung der Farbstofflösung gestartet, während die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 bei 270 U/min aufrechterhalten wird. In diesem Zustand wird die Stützplatte 410 in der horizontalen Richtung gedreht, um die Düse 406 für ca. 2 Sekunden bis zu einer Position mit dem Radius von 23 mm zu bewegen.
  • Danach wird in dem Schritt S3 die Auftragung der Farbstofflösung durchgeführt, während die Stützplatte 410 in der horizontalen Richtung gedreht wird, um die Düse 406 für ca. 3 Sekunden bis zu einer Position mit dem Radius von 40 mm zu bewegen, wobei gleichzeitig die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 auf 550 U/min erhöht wird.
  • Danach wird in dem Schritt S4 die Auftragung der Farbstofflösung gestoppt, und die Stützplatte 410 wird in der horizontalen Richtung gedreht, um die Düse 406 in die ursprüngliche Position (Anfangszustand) zurückzubringen.
  • Danach wird in dem Schritt S5 die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 für 6 Sekunden auf 630 U/min erhöht.
  • Danach wird in dem Schritt S6 die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 für 6,3 Sekunden auf 1400 U/min erhöht.
  • In dem Schritt S7 wird die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 für 1,7 Sekunden auf 2200 U/min erhöht, und dann wird die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 (= 2200 U/min) für 5 Sekunden aufrechterhalten.
  • Die überschüssige Farbstofflösung, die entsprechend der Erhöhung Umdrehungszahl in den Schritten S5 bis S7 an dem äußeren Umfangsrand des Substrats 202 angekommen ist, wird durch die Zentrifugalkraft heraus geschleudert, und sie wird in die Umgebung der Ränder des Substrats 202 verstreut. Wein 2 und 3 gezeigt, trifft die verstreute überschüssige Farbstofflösung auf die Streuschutzwand 404 und wird in der Aufnahmewanne, die darunter vorhanden ist, gesammelt und danach mit Hilfe des Ablaufkanals 424 zurückgewonnen. Der Trockenablauf des aufgetragenen Films wird während und nach dessen Ausgestaltungsab lauf durchgeführt. Die Stärke des aufgetragenen Films (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) wird im Allgemeinen so festgelegt, dass sie in einem Bereich von 20 bis 500 nm und vorzugsweise in einem Bereich von 50 bis 300 nm liegt.
  • In dem Farbstoffauftragungsablauf, der in den oben beschriebenen Schritten S1 bis S7 durchgeführten wird, ist die Windgeschwindigkeit der reinen Luft, die der Auftragungsanlage 14 zugeführt wird, in dem Klimatisierungssystem 300 auf maximal 0,4 m/s festgelegt. Und zwar wird die die Klimatisierungs-Windgeschwindigkeit bezüglich der Farbstoffauftragungsfläche des Substrats 202 auf maximal 0,4 m/s festgelegt.
  • In dem Stadium, in dem der Ablauf in dem Schritt S7 abgeschlossen ist, wird die Drehung des Substrats 202 gestoppt, um die Auftragungsbehandlung der Farbstofflösung auf das Substrat 202 abzuschließen.
  • Es sollte beachtet werden, dass der Farbstoff, der für die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 verwendet werden soll, nicht speziell eingeschränkt ist. Diejenigen Stoffe, die für den Farbstoff brauchbar sind, beinhalten zum Beispiel: auf Cyanin basierenden Farbstoff, auf Phthalocyanin basierenden Farbstoff, auf Imidazol-Chinoxalin basierenden Farbstoff, auf Pyrylium basierenden Farbstoff, auf Thiopyrylium basierenden Farbstoff, auf Azulenium basierenden Farbstoff, auf Squalirium basierenden Farbstoff, auf einem Metallkomplex basierenden Farbstoff, wie diejenigen, die Ni und Cr enthalten, auf Naphthochinon basierenden Farbstoff, auf Anthrachinon basierenden Farbstoff, auf Indophenol basierenden Farbstoff, auf Indoanilin basierenden Farbstoff, auf Triphenylmethan basierenden Farbstoff, auf Merocyanin basierenden Farbstoff, auf Oxonol basierenden Farbstoff, auf Aminium basierenden Farbstoff, auf Diimmonium basierenden Farbstoff und eine Nitrosoverbindung. Von den oben beschriebenen Farbstoffen werden vorzugsweise die verwendet, die auf Cyanin, Phthalocyanin, Azulenium, Squalirium, Oxonol und Imidazol-Chinoxalin basieren.
  • Diejenigen Stoffe, die als das Lösemittel für die Farbstofflösung zur Ausbildung der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 brauchbar sind, beinhalten zum Beispiel: Ester, wie Butylacetat und Cellosolve-Acetat; Keton, wie Methylethylketon, Cyclohexanon und Methylisobutylketon; Chlorkohlenwasserstoff, wie Dichlormethan, 1,2-Dichlorethan und Chloroform; Amid, wie Diethylformamid; Kohlenwasserstoff, wie Cyclohexan; Ether, wie Tetrahydrofuran, Ethylether und Dioxan; Alkohol, wie Ethanol, n-Propanol, Isopropanol, n-Butanol und Diace tonalkohol; ein auf Fluor basierendes Lösemittel, wie 2,2,3,3-Tetrafluor-1-Propanol; und Glycolether, wie Ethylenglycol-Monomethylether, Ethylenglycol-Monoethylether und Propylenglycol-Monomethylether.
  • Mit Blick auf die Löslichkeit des Farbstoffs, der verwendet werden soll, kann das Lösemittel in geeigneter Weise als einzelnes Lösemittel oder in Kombination von zwei oder mehr Arten verwendet werden. Vorzugsweise wird das auf Fluor basierende Lösemittel, wie 2,2,3,3-Tetrafluor-1-Propanol verwendet. Wenn gewünscht, kann ein Mittel zum Schutz gegen Verblassen und ein Bindemittel der Farbstofflösung hinzugefügt werden. Abhängig von dem Verwendungszweck ist es zulässig, verschiedene Additive, wie ein Antioxidationsmittel, ein UV absorbierendes Mittel, einen Weichmacher und ein Schmiermittel hinzuzufügen.
  • Typische Beispiele für das Mittel zum Schutz gegen Verblassen beinhalten: eine Nitrosoverbindung, einen Metallkomplex, Diimmoniumsalz und Aluminiumsalz. Beispiele dafür werden zum Beispiel in den offen gelegten japanischen Patentveröffentlichungen Nr. 2-300288, 3-224793 und 4-146189 beschrieben.
  • Beispiele des Bindemittels beinhalten: natürliche organische hochmolekulare Substanzen, wie Gelatin, Celluloseabkämmlinge, Dextran, Kolophonium und Kautschuk; und synthetische organische hochmolekulare Substanzen, die zum Beispiel beinhalten: auf Hydrocarbonat basierendes Harz, wie Polyethylen, Polypropylen, Polystyrol und Polyisobutylen; auf Vinyl basierendes Harz, wie Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid und Polyvinylchlorid-/Polyvinylacetat-Copolymer, Acrylharz, wie Polymethylacrylat und Polymethylmethacrylat; ein Anfangskondensat aus Reaktionsharz, wie Polyvinylalkohol, chloriertes Polyethylen, Epoxydharz, Butylaldehydharz, Kautschukabkömmlinge und Phenol-Formaldehyd-Harz.
  • Wenn ein Bindemittel verwendet wird, beträgt die Menge des verwendeten Bindemittels im Allgemeinen maximal 20 Gewichtsanteile, vorzugsweise maximal 10 Gewichtsanteile, und noch besser maximal 5 Gewichtsanteile, bezogen auf 100 Gewichtsanteile des Farbstoffs.
  • Das Substrat 202 kann auf der Seite, auf der die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 ausgebildet wird, mit einer Grundierungsschicht ausgestattet sein, zum Beispiel für den Verwendungszweck der Verbesserung der Ebenheit, der Verbesserung der Haftfähigkeit und zum Schutz einer Qualitätsminderung der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204.
  • Diejenigen Werkstoffe, die als Grundierungsschicht verwendet werden, beinhalten zum Beispiel: eine hochmolekulare Substanz, wie Polymethylmethacrylat, Acrylsäure-/Methacrylsäure-Copolymer, Styrol-/Maleinsäureanhydrid-Copolymer, Polyvinylalkohol, N-Methylolacrylamid, Styrol-/Vinyltoluol-Copolymer, chlorsulfoniertes Polyethylen, Nitrocellulose, Polyvinylchlorid, chloriertes Polyolefin, Polyester, Polyimid, Vinylacetat-/Vinylchlorid-Copolymer, Ethylen-/Vinylacetat-Copolymer, Polyethylen, Polypropylen und Polycarbonat; und ein Oberflächen-Modifiziermittel, wie einen Silan-Haftermittler.
  • Die Grundierungsschicht kann durch Lösen oder Dispergieren der oben beschriebenen Substanz in einem geeigneten Lösemittel ausgebildet werden, um die Farbstofflösung anzusetzen, und dann wird die erzielte Auftragungslösung auf die Substratoberfläche aufgetragen, indem ein Auftragungsverfahren wie eine Rotationsbeschichtung, eine Tauchbeschichtung und eine Extrusionsbeschichtung verwendet wird. Die Schichtstärke der Grundierungsschicht wird im Allgemeinen so festgelegt, dass sie in einem Bereich von 0,005 bis 20 μm und vorzugsweise in einem Bereich von 0,01 bis 10 μm liegt.
  • Das Substrat 202, auf dem die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 ausgebildet wurde, wird mit Hilfe des dritten Transportmechanismus' 50 zu dem Rückseitenwaschmechanismus 54 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Die Fläche (Rückseitenfläche) auf der Seite, die der ersten Hauptfläche des Substrats 202 gegenüber liegt, wird gewaschen. Danach wird das Substrat mit Hilfe des vierten Transportmechanismus' 56 zu dem Nummerierungsmechanismus 58 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Die Losnummer oder Ähnliches wird auf der ersten Hauptfläche oder der Rückseitenfläche des Substrats 202 markiert.
  • Danach wird das Substrat mit Hilfe des fünften Transportmechanismus' 60 zu dem Überprüfungsmechanismus 62 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Das Substrat 202 wird auf vorhandene oder nicht vorhandene Fehler und auf die Filmstärke der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 überprüft. Die Überprüfung wird durchgeführt, indem das Licht auf die Rückseitenfläche des Substrats 202 abgestrahlt wird, so dass zum Beispiel unter Verwendung einer CCD-Kamera, die Bildverarbeitung für den Übertragungszustand des Lichts durchgeführt wird. Das durch den Überprüfungsmechanismus 62 erzielte Überprüfungsergebnis wird dem Auswahlmechanismus 68 zugeführt, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist.
  • Das Substrat 202, das für den oben beschriebenen Überprüfungsablauf fertiggestellt wurde, wird transportiert und, auf der Basis des Überprüfungsergebnisses mit Hilfe des Auswahlmechanismus' 68, selektiert in die Teile, die an der Stapelstange 64 für normale Erzeugnisse gespeichert werden sollen und in diejenigen, die an der Stapelstange 66 für NG-Erzeugnisse gespeichert werden sollen.
  • In dem Stadium, in dem eine vorbestimmte Anzahl von Substraten 202 an der Stapelstange 64 für normale Erzeugnisse gestapelt wird, wird die Stapelstange 64 für normale Erzeugnisse aus der Auftragungsanlage 14 entnommen, und sie wird zu der Nachbehandlungsanlage 16 transportiert, die bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Die Stapelstange 64 wird von der Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 80 der Nachbehandlungsanlage 16 aufgenommen. Der Transport kann unter Verwendung eines Laufwagens oder eines selbstfahrenden automatischen Transportgeräts durchgeführt werden.
  • In dem Stadium, in dem die Stapelstange 64 für normale Erzeugnisse in der Stapelstangen-Aufnahmeeinheit 80 aufgenommen wird, wird der sechste Transportmechanismus 82 in Betrieb gesetzt, um das Substrat 202 Stück für Stück der Stapelstange 64 zu entnehmen, so dass das Substrat 202 zu dem ersten elektrostatischen Blasmechanismus 84 transportiert wird, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Die statische Elektrizität wird durch den ersten elektrostatischen Blasmechanismus 84 von dem Substrat 202 entfernt, das zu dem ersten elektrostatischen Blasmechanismus 84 transportiert wurde. Danach wird das Substrat 202 durch den siebten Transportmechanismus 86 zu dem Aufspritzmechanismus 88 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist.
  • Nachdem das Substrat 202, wie in 13C gezeigt, in den Aufspritzmechanismus 88 eingeführt ist, wird die Licht reflektierende Schicht 208 durch Aufspritzen auf dessen gesamter ersten Hauptfläche, mit Ausnahme des Umfangsrandabschnitts (Randabschnitt) 206, ausgebildet.
  • Die Licht reflektierende Substanz, die den Werkstoff für die Licht reflektierende Schicht 208 bildet, ist eine Substanz, die bezüglich des Laserstrahls einen hohen Lichtreflexionsgrad aufweist. Diejenigen Substanzen, die als Licht reflektierende Substanzen brauchbar sind, beinhalten zum Beispiel Edelstahl oder eine metallartige Substanz und ein Metall, wie Mg, Se, Y, Tl, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Re, Fe, Co, Ni, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Si, Ge, Te, Pb, Po, Sn und Bi.
  • Davon werden vorzugsweise Cr, Ni, Pt, Cu, Ag, Au, Al und Edelstahl verwendet. Die Substanz kann einzeln oder in Kombination von zwei oder mehr Arten verwendet werden. Alternativ kann die Substanz als eine Legierung verwendet werden. Besonders bevorzugt wird Ag oder eine Legierung davon verwendet.
  • Die Licht reflektierende Schicht 208 kann auf der Aufzeichnungsschicht zum Beispiel durch Dampfabscheidung, Aufspritzen oder Ionenplattierung der Licht reflektierenden Substanz ausgebildet werden. Die Schichtstärke der Licht reflektierende Schicht wird im Allgemeinen so festgelegt, dass sie in einem Bereich von 10 bis 800 nm liegt, vorzugsweise in einem Bereich von 20 bis 500 nm, noch besser in einem Bereich von 50 bis 300 nm.
  • Das Substrat 202, auf dem die Licht reflektierende Schicht 208 ausgebildet wurde, wird durch den achten Transportmechanismus 90 zu dem Randwaschmechanismus 92 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Wie in 14A gezeigt, wird der Randabschnitt 206 der ersten Hauptfläche des Substrats 202 gewaschen, um die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 zu entfernen, die an dem Randabschnitt 206 ausgebildet wurde. Danach wird das Substrat 202 durch den neunten Transportmechanismus 102 zu dem zweiten elektrostatischen Blasmechanismus 94 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist, um die statischen Elektrizität davon zu entfernen.
  • Danach wird das Substrat 202 durch den neunten Transportmechanismus 102 ebenso zu dem Auftragungsmechanismus 96 für eine durch UV aushärtende Lösung transportiert, um die durch UV aushärtende Lösung auf einen Teil der ersten Hauptfläche des Substrats 202 zu träufeln. Danach wird das Substrat 202 durch den neunten Transportmechanismus 102 ebenso zu dem Rotationsmechanismus 98 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist, und das Substrat 202 wird mit einer hohen Geschwindigkeit gedreht. Deshalb wird die Auftragungsstärke der durch UV aushärtenden Lösung, die auf das Substrat 202 geträufelt wurde, gleichmäßig über die gesamte Substratfläche ausgebildet.
  • In dieser Ausführungsform wird der Zeitplan so bewerkstelligt, dass die Zeitspanne, nach der Ausgestaltung der Licht reflektierende Schicht bis zu der Auftragung der durch UV aushärtenden Lösung mindestens 2 Sekunden beträgt und innerhalb von 5 Minuten liegt.
  • Danach wird das Substrat 202 durch den neunten Transportmechanismus 102 ebenso zu dem UV-Abstrahlmechanismus 100 transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist Die durch UV aushärtende Lösung auf dem Substrat 202 wird mit dem ultravioletten Licht bestrahlt. Wie in 14B gezeigt, wird dementsprechend die Schutzschicht 210 durch das durch UV aushärtende Harz so ausgebildet, dass die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 und die Licht reflektierende Schicht 208, die auf der ersten Hauptfläche des Substrats 202 ausgebildet sind, damit bedeckt werden. Dadurch wird die optische Platte D aufgebaut.
  • Die Schutzschicht 210 ist auf der Licht reflektierende Schicht 208 vorhanden, damit die Farbstoff Aufzeichnungsschicht 204 oder Ähnliches physikalisch und chemisch geschützt wird. Die Schutzschicht 210 kann auch auf der Seite des Substrats 202 vorhanden sein, auf der die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 nicht vorhanden ist, um die Kratz- und die Feuchtigkeitswiderstandsfähigkeit zu verbessern. Der Werkstoff, der für die Schutzschicht 210 verwendet werden soll beinhaltet zum Beispiel eine anorganische Substanz wie SiO, SiO2, MgF2, SnO2 und Si3N4; und eine organische Substanz wie einen thermoplastischen Kunststoff, ein Reaktionsharz und ein durch UV aushärtendes Harz.
  • Die Schutzschicht 210 kann zum Beispiel so ausgebildet werden, dass ein Film, der durch eine plastische Extrusionsverarbeitung erzielt wird, mit Hilfe eines Klebstoffs auf die Licht reflektierende Schicht 208 und/oder das Substrat 202 laminiert wird. Alternativ kann die Schutzschicht 210 zum Beispiel durch das Verfahren, das auf Vakuumbedampfen, Aufspritzen und Auftragen basiert, bereitgestellt werden. Wenn der thermoplastische Kunststoff oder das Reaktionsharz verwendet wird, kann die Schutzschicht 210 auch so ausgebildet werden, dass das Harz in einem geeigneten Lösemittel gelöst wird, um eine Auftragungslösung anzusetzen, und dann wird die Auftragungslösung aufgetragen, gefolgt von einem Trockenvorgang.
  • Wenn das durch UV aushärtende Harz verwendet wird, kann die Schutzschicht 210, wie oben beschrieben, so ausgebildet werden, dass das Harz so wie es ist verwendet wird, oder das Harz wird in einem geeigneten Lösemittel gelöst, um eine Auftragungslösung anzuset zen, und dann wird die Auftragungslösung aufgetragen, um das Harz durch Bestrahlen mit dem UV-Licht auszuhärten. Der Auftragungslösung können ferner, abhängig von dem Verwendungszweck, verschiedene Additive, wie ein antistatisches Mittel, ein Antioxidationsmittel und ein UV absorbierendes Mittel hinzugefügt werden. Die Schutzschicht 210 ist im Allgemeinen mit einer Schichtstärke in einem Bereich von 0,1 bis 100 μm ausgestattet.
  • Danach wird die optische Platte D durch den zehnten Transportmechanismus 104 zu dem Fehlerprüfmechanismus 106 und dem Eigenschaftsprüfmechanismus 108 transportiert, die bei der nächsten Stufe angeordnet sind, um die optische Platte D auf vorhandene oder nicht vorhandene Fehler auf der Oberfläche der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 und auf der Oberfläche der Schutzschicht 210, und auf die Signaleigenschaft, die auf der Rille 200 basiert, die auf dem Substrat 202 ausgebildet ist, zu überprüfen. Diese Überprüfungen werden so durchgeführt, dass die beiden Flächen der optischen Platte D jeweils mit dem Licht bestrahlt werden, und das davon reflektierte Licht wird zum Beispiel unter Verwendung einer CCD-Kamera der Bildverarbeitung unterzogen. Die jeweiligen Überprüfungsergebnisse, die durch den Fehlerprüfmechanismus 106 und den Eigenschaftsprüfmechanismus 108 erzielt werden, werden dem Auswahlmechanismus 114 zugeführt, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist.
  • Die optische Platte D, die für den oben beschriebenen Fehlerprüfablauf und den Eigenschaftsprüfablauf fertiggestellt wurde, wird transportiert und, auf der Basis der jeweiligen Überprüfungsergebnisse, durch den Auswahlmechanismus 114 selektiert in die Teile, die an der Stapelstange 110 für normale Erzeugnisse gespeichert werden sollen und in diejenigen, die an der Stapelstange 112 für NG-Erzeugnisse gespeichert werden sollen.
  • In dem Stadium, in dem eine vorbestimmte Anzahl von optischen Platten D an der Stapelstange 110 für normale Erzeugnisse gestapelt wurde, wird die Stapelstange 110 aus der Nachbehandlungsanlage 16 entnommen, um einem nicht dargestellten Etikettendruck-Schritt zugeführt zu werden.
  • Wie oben beschrieben, weist die optische Platte D, die durch das Herstellungssystem 10 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hergestellt wird, die folgende Eigenschaft auf. Und zwar wenn die Farbstofflösung in dem Verfahren zur Auftragung der Farbstofflösung auf die innere Umfangsseite des Substrats 202 aufgetragen wird, wird die An zahl der Umdrehungen des Substrats 202, verglichen mit der Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 zum Zeitpunkt des Beginns der Auftragung, um das zweifache erhöht. Deshalb wird die Auftragungsstärke der Farbstofflösung auf dem Substrat 202 fast gleichmäßig über die gesamte Fläche des Substrats 202 ausgebildet. Dementsprechend kann die Pegeldispergierung des Gegentaktsignals in der radialen Richtung gesenkt werden. Ferner kann das Maximalpegel des Gegentaktsignals in dem vorgeschriebenen Bereich liegen. Das führt zu der hohen Qualität der optischen Platte D.
  • In dem Klimatisierungssystem 300 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird das Wasser als die Befeuchtungsquelle für die Befeuchtungseinrichtungen 332a und 332b verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 0,15 MΩ aufweist. Deshalb kann die Bildung von einfließenden Unreinheiten in der Bearbeitungsat mosphäre in der Auftragungsanlage 14 unterdrückt werden. Deshalb kann der Ausstoß des Erzeugnisses, das heißt, der optischen Platte D, die in der Auftragungsanlage 14 hergestellt wird, verbessert werden. Der Wert des elektrischen Widerstands beträgt vorzugsweise mindestens 1,5 MΩ, noch besser mindestens 10 MΩ.
  • In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die relative Feuchtigkeit in der Bearbeitungsatmosphäre in der Auftragungsanlage 14 so festgelegt, dass sie bei 30% bis 60% liegt. Dementsprechend kann die gleichmäßige Filmstärke der Farbstoffauftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern erreicht werden. Der bevorzugte Bereich für die relative Feuchtigkeit liegt bei 40% bis 55%. Wenn die relative Feuchtigkeit zu hoch ist, tritt das Ausbleichphänomen auf der Farbstoffauftragungsfläche auf.
  • Um die Fehlerquote zu reduzieren, ist es wünschenswert, dass die Zeitspanne von der Auftragung des Farbstoffs auf das Substrat 202 bis zur Bildung der Licht reflektierenden Schicht 208 15 Minuten bis 4 Stunden beträgt.
  • Es ist angebracht, dass die Luftströmungsgeschwindigkeit, die durch die Luftzufuhr zu der der Bearbeitungsatmosphäre in der Auftragungsanlage 14 und die Entlüftung von der Bearbeitungsatmosphäre gebildet wird, so festgelegt wird, dass sie maximal 0,8 m/s beträgt. Die Strömungsgeschwindigkeit liegt aus folgendem Grund vorzugsweise bei 0,5 bis 0,01 m/s, und noch besser bei 0,3 bis 0,03 m/s.
  • Und zwar wenn die Strömungsgeschwindigkeit zu klein ist, sammelt sich der Lösemitteldampf in dem Farbstoffauftragungsbereich an. Als ein Ergebnis verändert sich die Lösemittel-Trockengeschwindigkeit, und die Farbstoff-Filmstärke verändert sich. Die Erhöhung der Lösemitteldampf-Konzentration ist außerdem mit Blick auf die Sicherheit nicht wünschenswert. Wenn andererseits die Strömungsgeschwindigkeit zu groß ist, verschlechtert sich die gleichmäßige Filmstärke auf der Plattenoberfläche, Und zwar wird die Farbstoff-Filmstärke zum Beispiel an dem äußeren Umfang der Platte extrem groß. Deshalb wird die übermäßig hohe Strömungsgeschwindigkeit nicht bevorzugt.
  • In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Luft, die durch den Einlassanschluss 710 eingeleitet wird, der für die Klimaanlage 302 vorhanden ist, oder die Luft von der Entfeuchtungseinrichtung 304 als die Primärluft "a1" verwendet. Die Primärluft "a1" wird der Klimaanlage 302 zugeführt. Der Mischer 330 der Klimaanlage 302 wird verwendet, um die Primärluft "a1" mit der Abluft "ra" von der Auftragungsanlage 14 zu mischen, um die gemischte Luft "ha" zu erzielen. Die gemischte Luft "ha" wird der Entfeuchtungsbehandlung unterzogen, um die Sekundärluft "a2" zu erzielen, die der Auftragungsanlage 14 zugeführt wird. Dementsprechend kann das Zirkulationssystem aufgebaut werden, das die Abluft "ra" von der Auftragungsanlage 14 für den Zweck der Luftzufuhr verwendet. Deshalb kann die Steuerung leicht durchgeführt werden, um die konstante Menge der reinen Luft "ca" aufrechtzuerhalten, die der Auftragungsanlage 14 zugeführt werden soll. Ferner reicht es aus, dass eine kleine Luftmenge von der Entfeuchtungseinrichtung 304 entfeuchtet werden soll. Deshalb können die Zeit und die Kosten, die für die Entfeuchtung erforderlich sind, wirksam verringert werden.
  • Es wird befürchtet, dass das Zirkulationssystem, das für die Klimaanlage 302 und den zweiten Bearbeitungsbereich 32 der Auftragungsanlage 14 nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung vorhanden ist, infolge des Einflusses der östlichen Abluft von dem Rotationsbeschichtungsgerät 52, einen Unterdruck aufweisen kann. In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Außenluft jedoch über einen Einlassanschluss 710 der Klimaanlage 302 eingeleitet, und die Luft von der Entfeuchtungseinrichtung 304 wird insbesondere dann eingeleitet, wenn die Steuerung für niedrige Feuchtigkeit durchgeführt wird. Deshalb kann der Unterdruck in dem Zirkulationssystem, wie es oben beschrieben ist, vermieden werden.
  • In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die zwei Leitungen für die Abflussleitung der Auftragungsanlage 14 vorhanden. Eine der Abflussleitungen (Zirkulationssystem) ist mit dem Mischer 330 der Klimaanlage 302 verbunden, und die andere Abflussleitung (örtliche Abluft "da") ist über die luftdichte Pufferbox 500 mit der übergeordneten Abflussleitung 520 verbunden. Ferner ist das Abflussrohr 524 der übergeordneten Abflussleitung 520 in der Pufferbox 500 von dem Abflussrohr 426 der Abluft "da" getrennt.
  • In dieser Anordnung wird die örtliche Abluft "da" in der Auftragungsanlage 14 über die Pufferbox 500 zu der übergeordneten Abflussleitung 520 abgelassen. Selbst wenn jedoch eine Dispergierung in der Abflussmenge einer anderen Anlage, die mit der übergeordneten Abflussleitung 520 verbunden ist, auftritt, wird die Dispergierung in der Pufferbox 500 absorbiert.
  • Mit anderen Worten, selbst wenn eine Dispergierung in der Abflussmenge einer anderen Anlage, die mit der übergeordneten Abflussleitung 520 verbunden ist, auftritt, kann die konstante Luftströmung in dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 (Atmosphäre in dem zweiten Bearbeitungsbereich 32) der Auftragungsanlage 14 erzielt werden. In dem Farbstoffauftragungsschritt für die optische Platte D ist deshalb zum Beispiel ein effizientes Erreichen der gleichmäßigen Filmstärke auf der Auftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern möglich.
  • In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Vielzahl der Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d und 344a bis 344d in dem Luftzufuhrkanal zu der Auftragungsanlage 14 angeordnet. Deshalb kann die Richtung der Luft, die von den jeweiligen Luftgebläsen 334a bis 334d ausgegeben wird, unter Verwendung der Vielzahl der Richtungssteuerungsplatten 342a bis 342d und 344a bis 344d leicht verändert werden. Deshalb kann der Druck in der Atmosphäre in dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 der Auftragungsanlage 14 so festgelegt werden, dass er höher ist als die Drücke in den Atmosphären der ersten und dritten Bearbeitungsbereiche 30 und 34. Dementsprechend kann die Temperatur und die Feuchtigkeit des zweiten Bearbeitungsbereichs 32 hochgenau gesteuert werden. Ferner sind ein effizientes Erreichen der gleichmäßigen Filmstärke der Auftragungsfläche und die Bildung der Auftragungsfläche (Farbstoff-Aufzeichnungsschicht) frei von Fehlern möglich.
  • In der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die Trennplatten 70 und 72 jeweils zwischen dem ersten Bearbeitungsbereich 30 und dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 und zwischen dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 und dem dritten Bearbeitungsbereich 34 angeordnet. Deshalb kann das Einströmen von Luft von dem ersten und dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34 zu dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 verweden werden. Deshalb kann eine Kontamination durch einfließende Unreinheiten von dem ersten und dritten Bearbeitungsbereich 30 und 34 zu dem zweiten Bearbeitungsbereich 32 vermieden werden.
  • Zusätzlich zu dem in 1 gezeigten Herstellungssystem 10, kann die optische Platte D nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auch unter Verwendung eines in 16 gezeigten Herstellungssystems 600 hergestellt werden. Zusätzlich zu dem in 1 gezeigten Herstellungssystem 10, kann das Klimatisierungssystem nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auch auf das in 16 gezeigte Herstellungssystem 600 angewendet werden.
  • Das in 16 gezeigte Herstellungssystem 600 umfasst: zwei Formgebungsanlagen (eine erste und eine zweite Formgebungsanlage 602A und 602B) zur Herstellung von Substraten zum Beispiel durch Spritzgießen, Pressformen oder Spritz-Pressformen; zwei Auftragungsanlagen (eine erste und eine zweite Auftragungsanlage 604A und 604B) zum Auftragen einer Farbstofflösung auf einer ersten Hauptfläche des Substrats, gefolgt von einem Trockenvorgang, um eine Farbstoff-Aufzeichnungsschicht auf dem Substrat auszubilden; eine Überprüfungsanlage 606 zur Überprüfung der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht, die in den Auftragungsanlagen und 604A und 604B ausgebildet wurde; und eine Nachbehandlungsanlage 608 zur Ausbildung einer Licht reflektierenden Schicht auf der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht des Substrats zum Beispiel durch Aufspritzen, gefolgt von dem Auftragen einer durch UV aushärtenden Lösung auf der Licht reflektierenden Schicht, um danach eine UV-Abstrahlung durchzuführen, so dass eine Schutzschicht auf der Licht reflektierenden Schicht ausgebildet wird.
  • Jede der beiden ersten und zweiten Formgebungsanlagen 602A und 602B beinhaltet Folgendes: eine Formmaschine 610 für das Spritzgießen, Pressformen oder Spritz-Pressformen eines Harzwerkstoffs wie Polycarbonat, um das Substrat herzustellen, das auf seiner ersten Hauptfläche mit einer Spurrille oder einer konvexen und konkaven Rille ausgebildet ist, um Informationen wie ein Adresssignal abzubilden; und eine Kühl-Förderanlage 612 zur Kühlung des Substrats, das aus der Formmaschine 610 herausgenommen wird, während das Substrat transportiert wird. Eine Stapelstange 614 zur Stapelung und Speicherung der Substrate nach dem Abkühlen ist an dem abschließenden Ende der Kühl-Förderanlage 612 installiert.
  • Jede der beiden Auftragungsanlagen 604A und 604B umfasst drei Rotationsbeschichtungsgeräte 616 für das Auftragen des Farbstoffs und das Waschen des Randes und einen Knickarmroboter 618, um das an der Stapelstange 614 der ersten und der zweiten Formgebungsanlage 602A und 6028 angesammelte Substrat Stück für Stück zu entnehmen, um das Substrat zu einem der Rotationsbeschichtungsgeräte 616 zu transportieren.
  • Die Überprüfungsanlage 606 beinhaltet: eine erste Transport-Förderanlage 620, um das Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren, das durch Wirkung der ersten Auftragungsanlage 604A für den Arbeitsgang fertiggestellt wurde; eine zweite Transport-Förderanlage 622, um das Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren, das durch Wirkung der zweiten Auftragungsanlage 604B für den Arbeitsgang fertiggestellt wurde; einen Nummerierungsmechanismus 624, um die Losnummer oder Ähnliches auf dem Substrat zu markieren, das durch die erste und die zweite Transport-Förderanlage 620 und 622 transportiert wird; einen ersten Transportmechanismus 626, um das für die Markierung der Losnummer oder Ähnlichem fertige Substrat zu dem nächsten Schritt zu transportieren; und einen Überprüfungsmechanismus 628 für das Überprüfen des Substrats, das durch den ersten Transportmechanismus 626 transportiert wird, auf vorhandene oder nicht vorhandene Fehler und für das Überprüfen der Filmstärke der Farbstoff Aufzeichnungsschicht.
  • Die Nachbehandlungsanlage 608 beinhaltet: einen Substrateinfuhrmechanismus 630 für die Aufnahme des Substrats, das durch Wirkung des Überprüfungsmechanismus' 628 für den Überprüfungsarbeitsgang fertiggestellt wurde; einen Aufspritzmechanismus 632 zur Ausbildung durch Aufspritzen einer Licht reflektierenden Schicht auf der ersten Hauptfläche des Substrats, das durch den Substrateinfuhrmechanismus 630 eingeführt wurde; einen zweiten Transportmechanismus 634 für das sukzessive Transportieren des Substrats zu dem nächsten Schritt, das für die Ausbildung der Licht reflektierenden Schicht durch Aufspritzen fertiggestellt wurde; zwei Auftragungs-Rotationsmechanismen (erster und zweiter Auftragungs-Rotationsmechanismus 636A und 636B), um eine durch UV aushärtende Lösung auf das Substrat aufzutragen, das durch den zweiten Transportmechanismus 634 transportiert wurde, und um dann das Substrat mit einer hohen Geschwindigkeit zu drehen, um eine gleichmäßige Auftragungsstärke der durch UV aushärtenden Lösung auf dem Substrat zu erzielen; einen dritten Transportmechanismus 638 für das Transportieren des Substrats zu dem nächsten Schritt, das durch Wirkung eines der beiden Auftragungs-Rotationsmechanismen 636A und 636B für den Arbeitsgang fertiggestellt wurde; einen UV-Abstrahlungsmechanismus 640 für das Ausbilden einer Schutzschicht auf der ersten Hauptfläche des Substrats, indem die durch UV aushärtende Lösung durch das Abstrahlen des ultravioletten Lichts auf das Substrat, das durch den dritten Transportmechanismus 638 transportiert wird, ausgehärtet wird; einen vierten Transportmechanismus 642 für das Transportieren des UV bestrahlten Substrats zu dem nächsten Schritt; einen Fehlerüberprüfungsmechanismus 644 für das Überprüfen des Substrats, das durch den vierten Transportmechanismus 642 transportiert wurde, auf Fehler auf der Auftragungsfläche und der Schutzschichtfläche; und einen Auswahlmechanismus 650, um, abhängig von dem Überprüfungsergebnis, das durch den Fehlerüberprüfungsmechanismus 644 erzielt wird, die Substrate zu selektieren in diejenigen, die bei einer Stapelstange 646 für normale Erzeugnisse gespeichert werden sollen und in diejenigen, die bei einer Stapelstange 648 für NG-Erzeugnisse gespeichert werden sollen. Die Klimatisierungssysteme 300, wie sie oben beschrieben sind, sind jeweils direkt neben der ersten und der zweiten Auftragungsanlage 604A und 604B installiert. Dementsprechend kann die Bildung von einfließenden Unreinheiten in die Atmosphären in der ersten und der zweiten Auftragungsanlage 604A und 604B unterdrückt werden. Deshalb kann der Ausstoß des Erzeugnisses, das heißt, der optischen Platte D, die durch die erste und die zweite Auftragungsanlage 604A und 604B hergestellt wird, verbessert werden.
  • Wenn in dem Arbeitsgang für die Auftragung der Farbstofflösung auf das Substrat 202 die Farbstofflösung auf die innere Umfangsseite des Substrats 202 aufgetragen wird, wird auch in dem Herstellungssystem 600 die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202, verglichen mit der Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 zum Zeitpunkt des Beginns der Auftragung, um das zweifache erhöht. Deshalb ist die Auftragungsstärke der Farbstofflösung auf dem Substrat 202 fast gleichmäßig über der gesamten Fläche des Substrats 202. Dementsprechend kann die Pegeldispergierung des Gegentaktsignals in der radialen Richtung gesenkt werden. Deshalb kann die hohe Qualität der optischen Platte D in Betracht gezogen werden.
  • In den oben beschriebenen Herstellungssystemen 10 und 600, wird das Substrat 202 nach der Ausbildung des Films der Licht reflektierenden Schicht 208 fortlaufend transportiert, um die durch UV aushärtende Lösung aufzuträufeln, um die Schutzschicht auf der Licht reflektierenden Schicht 208 auszubilden. Alternativ können die Substrate 202, die mit dem Film der Licht reflektierenden Schicht 208 ausgebildet werden, einmal angesammelt werden, und die durch UV aushärtende Lösung kann, zum Beispiel gemäß des Folien-Zufuhrvorgangs, tropfenweise auf das Substrat 202 hinzugefügt werden. In diesem Fall kann der folgende Arbeitsgang ohne ein Problem angenommen werden. Und zwar werden die Substrate 202, die alle mit dem Film der Licht reflektierenden Schicht 208 ausgebildet sind, an der Stapelstange gestapelt, und sie werden zum Beispiel zu dem Schritt der Auftragung der durch UV aushärtenden Lösung transportiert, der bei der nächsten Stufe angeordnet ist. Es wird jedoch bevorzugt, dass der Schritt der Ausbildung der Licht reflektierenden Schicht 208 und der Schritt der Auftragung der durch UV aushärtenden Lösung auf der fortlaufenden Strecke liegen.
  • Als Nächstes werden zwei veranschaulichende Versuche (einfach als "erster und zweiter veranschaulichender Versuch" bezeichnet) erläutert.
  • Zunächst bezieht sich der erste veranschaulichende Versuch auf die Betriebsbeispiele 1 bis 3 und die Vergleichsbeispiele 1 bis 5 zur Herstellung der optischen Platte D, unter Verwendung des in 1 gezeigten Herstellungssystems 10, um die Lichtreflexion, die Fehlerquote und die Erhaltungsleistung der optischen Platte D zu beobachten, die durch Veränderung der Befeuchtungsquelle für die Befeuchtungseinrichtungen 332a und 332b des Klimatisierungssystems 300, der Temperatur und der Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 und der von der Auftragung des Farbstoffs bis zur Ausbildung des Films der Licht reflektierenden Schicht jeweils erforderlichen Zeitspanne (hiernach einfach als "Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit" bezeichnet), erzielt wurde.
  • Die Lichtreflexion stellt die Lichtreflexion dar, die erzielt wird, wenn keine Vertiefung in der Rille ausgebildet wird, d. h., in dem nicht aufgezeichneten Zustand. Es ist vorgeschrieben, dass die Lichtreflexion während der Abbildung auf der vorliegenden optischen Platte D, mindestens 65% beträgt. Deshalb reicht es aus, dass die Lichtreflexion in dem nicht aufgezeichneten Zustand mindestens 70% beträgt. Die Fehlerquote stellt die Blockfehlerquote dar. Die Erhaltungsleistung wird durch Beobachten des Zustands der Farbstoff- Aufzeichnungsschicht erzielt, nachdem sie zurückgelassen wurde, um sich für 250 Stunden in der Atmosphäre zu befinden, die eine Temperatur von 60°C und eine Feuchtigkeit von 85% aufweist.
  • Die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 wurde folgendermaßen ausgebildet. Eine Cyaninfarbstoffverbindung (2,65 g), die durch die folgende allgemeine Formel (A1) dargestellt wird, und ein Mittel zum Schutz gegen Verblassen (0,265 g), das durch die folgende allgemeine Formel (A2) dargestellt wird, wurden kombiniert und miteinander vermischt, und sie wurden in 2,2,3,3-Tetrafluor-1-Propanol gelöst, das durch die folgende allgemeine Formel (A3) dargestellt wird, um eine Farbstofflösung zur Ausbildung der Aufzeichnungsschicht anzusetzen.
  • Figure 00380001
  • Ein Polycarbonatsubstrat (Durchmesser. 120 mm, Stärke: 1,2 mm) wurde angesetzt, einschließlich einer Spiralrille (Spurabstand: 1,6 μm, Rillenbreite: 0,4 μm, Rillentiefe: 0,16 μm), die durch Spitzgießen auf seiner Oberfläche ausgebildet wurde. Die oben beschriebene Farbstofflösung wurde auf die Fläche an der Seite der Rille des Polycarbonatsubstrats aufgetragen.
  • Wenn die Farbstofflösung aufgetragen wurde, wurde die Farbstofflösung mittels Rotationsbeschichten aufgetragen, während die Anzahl der Umdrehungen des Polycarbonatsubstrats von 300 U/min auf 2000 U/min verändert wurde, um die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht (Stärke (in der Rille): ca. 200 nm) auszubilden. Während dieses Arbeitsgangs konnte die Luft, gemäß der Luftzufuhr zu der Auftragungsanlage und der Abluft von der Auftragungsanlage, nach unten zu dem Substrat strömen. Die Windgeschwindigkeit wurde auf 0,1 m/s festgelegt.
  • In Betriebsbeispiel 1 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 30% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 1 Stunde. In Betriebsbeispiel 2 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 60% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 4 Stunden. In Betriebsbeispiel 3 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 40% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 15 Minuten.
  • Andererseits wurde in Vergleichsbeispiel 1 Leitungswasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von maximal 0,15 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 40% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 20 Minuten. In Vergleichsbeispiel 2 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen widerstand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 25% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 4 Stunden. In Vergleichsbeispiel 3 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Wider stand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 55% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 6 Stunden. In Vergleichsbeispiel 4 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 55% festgelegt, und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit betrug 10 Minuten.
  • In Vergleichsbeispiel 5 wurde Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von 2 MΩ·cm aufweist, die Temperatur und die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage 14 wurden jeweils auf 25°C und 65% festgelegt. Als ein Ergebnis trat die weiße Trübung während der Farbstoffauftragung auf, und das erzielte Erzeugnis war offensichtlich fehlerhaft.
  • Erzielte Versuchsergebnisse werden in 17 gezeigt. Nach den Versuchsergebnissen versteht es sich, dass die guten Ergebnisse, verglichen mit denen, die in den Vergleichsbeispielen 1 bis 4 erzielt wurden, die die Lichtreflexion, die Fehlerquote und die Erhaltungsleistung betreffen, in den Betriebsbeispielen 1 bis 3 erzielt wurden, in denen das Reinwasser als die Befeuchtungsquelle verwendet wurde, die Feuchtigkeit in der Auftragungsanlage auf 30% bis 60% festgelegt wurde und die Farbstoffauftragungs-Ablaufzeit 15 Minuten bis 4 Stunden betrug.
  • Die Fehlerquote und die Reflexion wurden nach dem folgenden Verfahren gemessen. Und zwar wurden die in den oben beschriebenen Arbeitsbeispielen 1 bis 3 und den Vergleichsbeispielen 1 bis 5 erzielten optische Platten, der Aufzeichnung unterzogen, die mit einer Aufzeichnungsleistung von 7 mW für ein EFM-moduliertes Signal bei einer konstanten linearen Geschwindigkeit von 1,2 m/s bei einer Laserstrahl-Wellenlänge von 780 nm (aufgenommen bei NA 0,5) unter Verwendung eines Auswertungsgeräts von OMT 2000 (hergestellt von Pulstec Industrial Co., Ltd.) durchgeführt wurden. Danach wurde das Signal unter Verwendung des Laserstrahls, der dieselbe Wellenlänge aufweist wie der Aufzeichnungslaserstrahl, bei einer Laserausgangsleistung von 0,5 mW abgebildet, um die Reflexion und den Fehler (Bockfehler: BLER) zu messen.
  • In Bezug auf die Reflexionsmessung wurde die Intensität des zurückgesendeten Lichts gemessen, während die Rillen-Spureinstellung angewendet wurde. In Bezug auf den Fehler wurde der Blockfehler (BLER) gemessen, während die Decodierung unter Verwendung eines Decoders, der in dem Auswertungsgerät enthalten ist, durchgeführt wurde.
  • Als Nächstes wird der zweite veranschaulichende Versuch erläutert. Der zweite veranschaulichende Versuch bezieht sich auf die Betriebsbeispiele 1 bis 3 und die Vergleichsbeispiele 1 und 2 in dem Fall der Herstellung der optischen Platte D, unter Verwendung des in 1 gezeigten Herstellungssystems, um die Lichtreflexion und der Pegel des Gegentaktsignals bei einer vorgegebenen Position auf der optischen Platte D zu beobachten, während die Windgeschwindigkeit und das Auftragungsmuster auf der Auftragungsfläche jeweils in dem Arbeitsgang zur Auftragung der Farbstofflösung auf dem Substrat 202 verändert wurde.
  • Die Lichtreflexion (%) zeigt die Lichtreflexion an, die erzielt wird, wenn keine Vertiefung für die Rille ausgebildet wird, d. h., in dem nicht aufgezeichneten Zustand. Es ist vorgeschrieben, dass die Lichtreflexion während der Abbildung auf der vorliegenden optischen Platte D mindestens 65% beträgt. Deshalb reicht es aus, dass die Lichtreflexion in dem nicht aufgezeichneten Zustand mindestens 67% beträgt.
  • Das Gegentaktsignal wurde untersucht, indem der Laserstrahl auf die fertiggestellte optischen Platten D ausgestrahlt wurde, die die Betriebsbeispiele 1 bis 3 und die Vergleichsbeispiele 1 und 2 betreffen, um jeweils die betreffenden Maximalpegel (absolute Werte) an drei Stellen (Stellen mit einem Radius von 23 mm, 45 mm und 58 mm) zu beobachten.
  • Wenn der Maximalpegel des Gegentaktsignals weniger als 0,09 beträgt, neigt die Spurabweichung dazu, aufzutreten. Wenn andererseits der Maximalpegel des Gegentaktsignals nicht weniger als 0,14 beträgt, wird angezeigt, dass die Lichtreflexion zu gering ist Die jeweiligen Farbstofflösungen zur Ausbildung der Farbstoff-Aufzeichnungsschicht 204 werden in derselben Art angesetzt, wie in dem oben beschriebenen ersten veranschaulichenden Versuch, und deren Erläuterung wird weggelassen.
  • Die Farbstofflösung wurde auf die Fläche an der Seite der Rille des Polycarbonatsubstrats aufgetragen. Während dieses Arbeitsgangs wurde die Farbstofflösung mittels Rotationsbeschichten aufgetragen, während die Anzahl der Umdrehungen von 270 U/min auf 2000 U/min verändert wurde, um die Farbstoff-Aufzeichnungsschicht (Stärke (in der Rille): ca. 200 nm) auszubilden.
  • Die Windgeschwindigkeit betrug: 0,1 m/s in Betriebsbeispiel 1, 0,2 m/s in Betriebsbeispiel 2, 0,4 m/s in Betriebsbeispiel 3, 0,6 m/s in Vergleichsbeispiel 1 und 0,1 m/s in Vergleichsbeispiel 2.
  • Das Auftragungsmuster der Farbstofflösung ist veranschaulichend für den Fall, der die Betriebsbeispiele 1 bis 3 und das Vergleichsbeispiel 1 betrifft, in denen die Auftragung gemäß der in 15 gezeigten Schritte durchgeführt wurde (einfach als "A-Muster" bezeichnet). In Bezug auf Vergleichsbeispiel 2 ist das Auftragungsmuster der Farbstofflösung veranschaulichend für den Fall, in dem die Auftragung so durchgeführt wurde, dass die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 270 U/min betrug, d. h., die Anzahl der Umdrehungen des Substrats 202 wurde in dem in 15 gezeigten Schritt S3 nicht verändert (einfach als „B-Muster" bezeichnet).
  • Die erzielten Versuchsergebnisse werden in 18 gezeigt. Nach den Versuchsergebnissen lag der Maximalpegel des Gegentaktsignals an den drei Stellen in einem Bereich von 0,09 bis 0,12, und er war über die drei Stellen in den Betriebsbeispielen 1 bis 3, in denen das Auftragungsmuster das A-Muster war, fast konstant, und die Windgeschwindigkeit betrug maximal 0,4 m/s. Ferner betrug die Lichtreflexion in dem nicht aufgezeichneten Zustand mindestens 68%.
  • Andererseits war die Lichtreflexion in dem Vergleichsbeispiel 1 ausreichend. Jedoch lag der Maximalpegel des Gegentaktsignals an den drei Stellen bei maximal 0,09. Es versteht sich, dass ein Problem auftrat, das den Spurservo betrifft.
  • Vergleichsbeispiel 2 zeigt den Umstand an, dass der Maximalpegel des Gegentaktsignals bei der Position mit dem Radius von 23 mm 0,15 betrug, und die Lichtreflexion war nicht ausreichend. Die gemessene Lichtreflexion betrug 66%, was der vorgeschriebenen Lichtreflexion von 67% nicht genügt.
  • Wie oben beschrieben, versteht es sich, dass, verglichen mit den Vergleichsbeispielen 1 und 2, die guten Resultate erzielt wurden, die den Maximalpegel des Gegentaktsignals und die Lichtreflexion in den Betriebsbeispielen 1 bis 3 betrafen.

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums mittels Wärme, das auf einem Substrat (202) eine Aufzeichnungsschicht (204) umfasst, die Informationen aufzeichnen kann, indem sie mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass es den folgenden Schritt umfasst: Ausbilden der Aufzeichnungsschicht (204) auf dem Substrat (202) unter Verwendung von Wasser, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 0,15 MΩ aufweist, um eine Bearbeitungsatmosphäre zu befeuchten, die verwendet wird, um die Aufzeichnungsschicht (204) auszubilden, und worin in der Bearbeitungsatmosphäre eine relative Feuchtigkeit auf 30% bis 60% festgelegt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, worin eine Zeitspanne, die von der Anwendung eines Farbstoffs auf das Substrat (202) bis zur Ausbildung einer Licht reflektierenden Schicht (208) als ein Film erforderlich ist, 15 Minuten bis 4 Stunden beträgt.
  3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, worin eine Strömungsgeschwindigkeit von Luft, die dem Substrat (202) zugeführt werden soll, die durch Luftzufuhr zu der Bearbeitungsatmosphäre und Luftableitung aus der Bearbeitungsatmosphäre gebildet wird, auf höchstens 0,8 m/s festgelegt wird.
  4. Klimatisierungssystem zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums nach dem Verfahren von Anspruch 1, 2 oder 3, das umfasst: eine Entfeuchtungseinrichtung (304) zur Bearbeitung und Entfeuchtung von Luft, um Primärluft (a1) zu erhalten; eine Befeuchtungseinrichtung (332a, 332b) zur Bearbeitung und Befeuchtung von mindesten der Primärluft (a1), um Sekundärluft (a2) zu erhalten; und eine Luftzuführeinrichtung (334a bis 334d) zur Zuführung der Sekundärluft (a2) zu einer Anlage (14) zur Herstellung des optischen Informationsaufzeichnungsmediums (D) mittels Wärme, das auf einem Substrat (202) eine Aufzeichnungsschicht (204) umfasst, die Informationen aufzeichnen kann, indem sie mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, gekennzeichnet durch Wasser, das einen spezifischen elektrischen Widerstand von mindestens 0,15 MΩ aufweist, als eine Befeuchtungsquelle (336) für die Befeuchtungseinrichtung (332a, 332b).
  5. Klimatisierungssystem nach Anspruch 4, worin die Entfeuchtungseinrichtung (304) Außenluft (ea) einführt, um die Entfeuchtung durchzuführen.
  6. Klimatisierungssystem nach Anspruch 4 oder 5, das ferner umfasst: eine Mischeinrichtung (330) zur Einführung von Abluft (ra) von der Anlage (14), um sie mit der Primärluft (a1) zu mischen, worin: die Befeuchtungseinrichtung (332a, 332b) die gemischte Luft (ha) von der Mischeinrichtung (330) bearbeitet und befeuchtet, um die Sekundärluft (a2) zu erhalten.
  7. Klimatisierungssystem nach Anspruch 6, das ferner umfasst: mindestens zwei Abflussleitungen für die Anlage (14), worin: die erste Abflussleitung (322) mit der Mischeinrichtung (330) verbunden ist; die zweite Abflussleitung (502) über eine luftdichte Puffereinheit (500) mit einer übergeordneten Abflussleitung (520) verbunden ist, die die Anlage (14) überwacht; und ein Abflussrohr (524) der übergeordneten Abflussleitung (520) wird in der Puffereinheit (500) von einem Abflussrohr (426) der zweiten Abflussleitung (502) abgesondert.
  8. Klimatisierungssystem nach einem der Ansprüche 4 bis 7, worin: die Luftzuführeinrichtung (334a–334d) eine Luftzufuhr-Mengensteuerungseinrichtung zur Steuerung einer Luftzufuhrmenge zu der Anlage (14) beinhaltet, so dass ein Druck in einer Atmosphäre mindestens eines Bearbeitungsbereichs (32), der in einem Mittelabschnitt einer Vielzahl von Bear beitungsbereichen (30, 32, 34) für den Aufbau der Anlage (14) angeordnet ist, höher ist als die Drücke in den Atmosphären einer Vielzahl der Bearbeitungsbereiche (30, 34), die in den peripheren Abschnitten der Anlage (14) angeordnet sind.
  9. Klimatisierungssystem nach Anspruch 8, worin die Luftzufuhr-Mengensteuerungseinrichtung eine Vielzahl von Richtungssteuerungsplatten (342a bis 342d, 344a bis 344d) beinhaltet, die in einem Luftzufuhrkanal zu der Anlage (14) angeordnet sind.
  10. Klimatisierungssystem nach Anspruch 8 oder 9, worin die Luftzufuhr-Mengensteuerungseinrichtung Trennplatten (70, 72) beinhaltet, die zwischen mindestens einem der Bearbeitungsbereiche (32), die in einem Mittelabschnitt der Anlage (14) angeordnet sind und der Vielzahl der Bearbeitungsbereiche (30, 34), die in den peripheren Abschnitten der Anlage (14) angeordnet sind, eingebaut sind.
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