DE4243397C2 - Konstantspannungsgenerator - Google Patents
KonstantspannungsgeneratorInfo
- Publication number
- DE4243397C2 DE4243397C2 DE4243397A DE4243397A DE4243397C2 DE 4243397 C2 DE4243397 C2 DE 4243397C2 DE 4243397 A DE4243397 A DE 4243397A DE 4243397 A DE4243397 A DE 4243397A DE 4243397 C2 DE4243397 C2 DE 4243397C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- voltage
- pump
- substrate
- substrate voltage
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/4074—Power supply or voltage generation circuits, e.g. bias voltage generators, substrate voltage generators, back-up power, power control circuits
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
- G05F3/00—Non-retroactive systems for regulating electric variables by using an uncontrolled element, or an uncontrolled combination of elements, such element or such combination having self-regulating properties
- G05F3/02—Regulating voltage or current
- G05F3/08—Regulating voltage or current wherein the variable is dc
- G05F3/10—Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics
- G05F3/16—Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices
- G05F3/20—Regulating voltage or current wherein the variable is dc using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations
- G05F3/205—Substrate bias-voltage generators
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
- G11C5/145—Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Dram (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
- Logic Circuits (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Konstantspannungsgenerator der im Oberbe
griff des Patentanspruchs 1 genannten Art.
Ein derartiger Konstantspannungsgenerator ist in der US 4 631 421 beschrieben. Er
umfaßt einen Oszillator, einen ersten und einen zweiten Pumpkreis bzw. Pumpschal
tung, verschiedene Treiber zum Ansteuern der Pumpkreise bzw. Pumpschaltungen,
eine Detektorschaltung, eine Begrenzerschaltung und eine Verzögerungsschaltung
neben weiteren Schaltungen. Die Pumpkreise bzw. Pumpschaltungen erzeugen zu
sammen eine negative Substratvorspannung aufgrund von von dem Oszillator gelie
ferten Pulsen. Die Detektorschaltung erzeugt ein Signal zum Ein- und Ausschalten
des Oszillators, abhängig von der Höhe der Substratvorspannung. Die Begrenzer
schaltung erzeugt ebenfalls aufgrund der Höhe der Substratvorspannung ein weite
res Signal, abhängig davon, ob die Oszillatorpulse den Pumpschaltungen zugeführt
werden oder nicht. Die Verzögerungsschaltung erzeugt ein drittes Signal, abhängig
davon, ob die Oszillatorpulse über Treiberschaltungen der zweiten Pumpschaltung
zugeführt werden oder nicht.
Im allgemeinen besteht die Tendenz, daß die Betriebsspannung
einer Halbleiterspeichervorrichtung mit der Steigerung der
Packungsdichte der Halbleiterspeichervorrichtungen kleiner
wird. Beispielsweise verwendet ein dynamisches 16 Mbit-RAM
eine Spannung von 4 Volt und ein dynamisches 64 Mbit-RAM
eine Spannung von 3,3 Volt für den Betrieb, die von einer
von außen zugeführten Versorgungsspannung von 5 Volt
herabgesetzt wird. Im Zuge des Trends zu niedrigeren
Betriebsspannungen sind fortlaufend Untersuchungen
angestellt worden, den Stromverbrauch von
Halbleiterspeichervorrichtungen herabzusetzen. Zu diesem
Zweck ist in den Halbleiterspeichervorrichtungen gewöhnlich
eine Schaltung zum Erzeugen einer Konstantspannung
enthalten. Beispielsweise wird bei einer
Halbleiterspeichervorrichtung, wie beispielsweise einem
dynamischen RAM- oder pseudo-statischen RAM aus einem
Speicherkondensator und einem Zugriffstransistor ein
Substratspannungsgenerator benötigt, um die in dem
Speicherkondensator gespeicherten Daten zu halten und einen
Störabstand der Speichervorrichtung sicherzustellen.
Außerdem wird eine Verstärkungsschaltung oder
Spannungspumpschaltung zum Erzeugen einer höheren Spannung
verwendet, die höher als die äußere Versorgungsspannung ist,
um den Spannungsverlust durch den Zugriffstransistor zu
kompensieren, der durch den Betrieb einer Wortleitung
hervorgerufen wird, die mit der angesprochenen Speicherzelle
verbunden ist.
Fig. 1. zeigt einen üblichen Substratspannungsgenerator, der
nachfolgend erläutert werden soll. Ein Oszillator 1 erzeugt
Impulse ØOSC beim Einschalten einer
Halbleiterspeichervorrichtung. Ein Substratspanungstreiber 2
empfängt die Impulse ØOSC, um komplementäre Treibersignale
zu erzeugen. Ein Substratspannungspumpkreis 3 erzeugt eine
Substratspannung VBB in Abhängigkeit von den Treibersignalen
von der Substratspannungspumpschaltung 2. Ein
Substratspannungsdetektor 4 ermittelt den Pegel des
Substratspannungsausgangs der Pumpschaltung 3, um den
Betrieb des Oszillators 1 in Abhängigkeit davon zu steuern.
Im Betrieb erzeugt der Oszillator 1 die Impulse ØOSC, die
eine Periode von 60 bis 100 ns haben, nachdem die
Halbleiterspeichervorrichtung eingeschaltet worden ist. Der
Substratspannungstreiber 2 empfängt die Impulse ØOSC und
erzeugt die komplementären Treibersignale als
Rechteckspannung. Die Pumpschaltung 3 pumpt die
Substratspannung VBB in Abhängigkeit von den Treibersignalen
nach oben, bis sie einen vorbestimmten Pegel erreicht. Wenn
die Substratspannung VBB die vorbestimmte Spannung erreicht,
bewirkt der Detektor 4, daß der Oszillator 1 aufhört,
Impulse, ØOSC zu erzeugen. Wenn jedoch die Substratspannung
VBB unter dem vorbestimmten Spannungspegel liegt, dann
ermöglicht es der Detektor 4 dem Oszillator 1, die Impulse
ØOSC zu erzeugen, um die Substratspannung VBB nach oben zu
pumpen.
Unter Bezugnahme auf Fig. 2 wird eine übliche
Spannungspumpschaltung schematisch erläutert. Der Aufbau und
der Betrieb der Spannungspumpschaltung sind ähnlich denen
des Substratspannungsgenerators nach Fig. 1. Die
hochgepumpte Spannung wird gewöhnlich als
Versorgungsspannung der peripheren Schaltungen verwendet,
die beispielsweise Datenausgabepuffer und
Wortleitungstreiber sind.
Der Substratspannungsgenerator von Fig. 1 und die
Spannungspumpschaltung von Fig. 2 sind notwendigerweise in
einer Halbleiterspeichervorrichtung enthalten. Die
Substratspannungs-Pumpschaltung 3 von Fig. 1 enthält mehrere
MOS-Kondensatoren zum Hochpumpen der Substratspannung in
negativer Richtung. Eine Spannungspumpschaltung 13 von Fig.
2 enthält ebenfalls mehrere MOS-Kondensatoren, um die
hochgepumpte Spannung über die äußere Versorgungsspannung
hochzupumpen. Üblicherweise haben der
Substratspannngsgenerator von Fig. 1 und die
Spannungspumpschaltung von Fig. 2 getrennte Oszillatoren 1
und 11. Ein typischer bekannter Oszillator, der für die
Oszillatoren 1 und 11 verwendet werden kann, ist im Detail
in Fig. 3 beschrieben. Ein solcher Oszillator verbraucht
relativ viel Strom, insbesondere im stand-by-Betrieb der
Halbleiterspeichervorrichtung. Wenn beispielsweise
angenommen wird, daß die Betriebsspannung und der
Gesamtstromverbrauch der Halbleiterspeichervorrichtung im
stand-by-Betrieb 3,3 Volt bzw. 50 µA sind, dann ist der
Stromverbrauch des Oszillators 29 µA, was 2/5 des
Stromverbrauchs der Halbleiterspeichervorrichtung ausmacht.
Solche stand-by-Ströme des Oszillators verhindern eine
Herabsetzung des Stromverbrauchs der
Halbleiterspeichervorrichtung. Wenn daher zwei getrennte
Oszillatoren für eine Halbleiterspeichervorrichtung
verwendet werden, dann wird der stand-by-Strom der
Oszillatoren 4/5 des Gesamtstromverbrauchs der
Halbleiterspeichervorrichtung, woraus sich der relativ hohe
Stromverbrauch derselben erklärt.
Aus der US 4 691 304 ist eine Spannungstransformationsanordnung bekannt, die
mit einem Oszillator Pulse für eine erste Pumpschaltung zur Erzeugung einer erhöh
ten Versorgungsspannung und für eine zweite Pumpschaltung zur Erzeugung einer
negativen Substratvorspannung erzeugt. Zur Erzeugung der negativen Substratvor
spannung werden vorzugsweise zwei parallele Pumpkreise bzw. Pumpschaltungen
verwendet, von denen einer mittels eines Schalters im normalen Betrieb, abhängig
von der Höhe einer Versorgungsspannung, einer hochgepumpten Versorgungs
spannung oder der Substratspannung ein- und ausgeschaltet werden kann.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Konstantspannungsgenerator anzugeben, der
eine hochgepumpte Versorgungsspannung sowie eine Substratvorspannung bei
einem möglichst geringen Stromverbrauch, vor allem in einem Stand-By-Zustand,
erzeugt.
Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des Patentanspruchs 1 gelöst.
Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Im folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnah
me auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:
Fig. 1 ein Blockschaltbild eines üblichen
Substratspannungsgenerators;
Fig. 2 ein Blockschaltbild einer üblichen
Spannungspumpschaltung;
Fig. 3 einen Oszillator der Fig. 1 und 2, und
Fig. 4 eine Schaltung zum Erzeugen einer Substratspannung
und einer hochgepumpten Spannung mit einem einzigen
Oszillator gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 4 zeigt eine Schaltung zum Erzeugen einer
Substratspannung VBB und einer hochgepumpten Spannung VPP
mit einem einzigen Oszillator gemäß der vorliegenden
Erfindung. Gemäß der Zeichnung erzeugt ein Oszillator 100
Rechteckimpulse ØOSC nach dem Einschalten einer
Halbleiterspeichervorrichtung. Ein Substratspannungstreiber
110 empfängt die Impulse ØOSC vom Oszillator 100 und erzeugt
komplementäre Substratspannungstreibersignale. Eine
Substratspannungspumpschaltung 120 nimmt diese Treibersignale
entgegen und pumpt die Substratspannng VBB nach oben auf
einen vorbestimmten Pegel. Ein Substratspannungsdetektor 130
ermittelt den Pegel der Substratspannung, die von der
Substratspannungspumpschaltung 120 abgegeben wird, um ein
Substratspannung Steuersignal an den Oszillator 100 und ein
Gate eines NMOS-Transistors 104 abzugeben, der den
Substratspannungstreiber 100 in Abhängigkeit von dem
Ermittlungsergebnis öffnet oder sperrt. Ein
Substratspannungspumptreiber 140, der die Impulse ØSOSC
empfängt, erzeugt komplementäre Spannungspumptreibersignale.
Eine Spannungspumpschaltung 150, die die
Spannungspumptreibersignale entgegennimmt, pumpt die
hochgepumpte Spannung VPP auf einen vorbestimmten Pegel nach
oben. Ein Detektor 160 für die hochgepumpte Spannung
ermittelt den Pegel der hochgepumpten Spannung VPP, die von
der Spannungspumpschaltung 150 abgegeben wird, um ein
Steuersignal an den Oszillator 100 und ein Gate eines
NMOSTransistors 105 abzugeben, der den Spannungspumptreiber
140 in Abhängigkeit vom Ermittlungsergebnis sperrt oder
öffnet. Ein Oszillatorsteuerer 170 empfängt das
Substratspannungssteuersignal und das Steuersignal für die
hochgepumpte Spannung, um ein Oszillatorsteuersignal an ein
Gate eines MOS-Transistors 103 abzugeben, der den Oszillator
100 freigibt oder sperrt.
In der vorangegangenen Beschreibung haben der Oszillator
100, der Substratspannungstreiber 110, der
Spannungspumptreiber 140, die Substratspannungspumpschaltung
120, die Spannungspumpschaltung 150, der
Substratspannungsdetektor 130 und der Detektor 160 für die
hochgepumpte Spannung jeweils denselben Aufbau, wie in den
Fig. 1 und 2 beschrieben. Außerdem enthält der
Oszillatorsteuerer 170 eine NOR-Schaltung 101 und einen
Inverter 102 und ist eine bevorzugte Ausführungsform in
Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
Bezug nehmend auf den vorangehend erläuterten Aufbau wird
nun der Betrieb der vorliegenden Erfindung im Detail
erläutert. Zunächst zeichnet sich die Schaltung nach der
vorliegenden Erfindung dadurch aus, daß der die
Substratspannung erzeugende Abschnitt und der die
hochgepumpte Spannung erzeugende Abschnitt einen einzigen
Oszillator einander teilen, so daß der stand-by-Strom der
Halbleiterspeichervorrichtung beachtlich herabgesetzt werden
kann. Im Betrieb erzeugt der Oszillator 100 die Impulse
ØOSC, die eine Periode von 60 bis 100 ns haben, nachdem die
Halbleiterspeichervorrichtung eingeschaltet worden ist. Der
Substratspannungstreiber 110 und der Spannungspumptreiber
140 nehmen die Impulse ØOSC gemeinsam auf und erzeugen die
Substratspannungstreibersignale bzw. die
Spannungspumptreibersignale. Die
Substratspannungspumpschaltung 120 und die
Spannungspumpschaltung 150 erzeugen die Substratspannung VBB
und die hochgepumpte Spannung VPP in Abhängigkeit von den
Substratspannungstreibersignalen bzw. den
Spannungspumptreibersignalen. Der Spannungspegel der
Substratspannng VBB wird durch den Substratspannungsdetektor
130 ermittelt. In Abhängigkeit von dem Ermittlungsergebnis
werden der Oszillator 100 und der Substratspannungstreiber
110 gesteuert betrieben. Wie in der Zeichnung dargestellt,
ist anzumerken, daß der Substratspannungsdetektor 130 so
angeschlossen ist, daß er den Betrieb des
Substratspannungstreibers 100 direkt steuert. Die
Substratspannungspumpschlatung 120 kann daher durch die
Impulse ØOSC des Oszillators 100 nicht beeinflußt werden,
selbst wenn der Oszillator 100 fortfährt, die Impulse
oOSC zu erzeugen, um es dem Spannungspumptreiber 140 und der
Spannungspumpschaltung 150 zu ermöglichen, die hochgepumpte
Spannung VPP bis zu einem vorbestimmten Spannungspegel
hochzupumpen. Auf die gleiche Weise ist der Detektor 160 für
die hochgepumpte Spannnung so angeschlossen, daß er den
Betrieb des Spannungspumptreibers 140 direkt steuert, so daß
die Spannungspumpschaltung 100 nicht durch die vom
Oszillator 100 erzeugten Impulse ØOSC beeinflußt werden
kann, selbst wenn der Oszillator 100 weiter die Impulse ØOSC
erzeugt, um es dem Substratspannungstreiber 110 und der
Substratspannungspumpschaltung 120 zu ermöglichen, die,
Substratspannung VBB bis zu einem vorbestimmten
Spannungspegel hochzupumpen. Man erkennt leicht, daß der
Oszillator 100 die Impulse ØOSC erzeugt, wenn wenigstens
eine der Spannungen VBB und VPP unter den entsprechenden
vorbestimmten Spannungspegeln liegt.
Claims (4)
1. Konstantspannungsgenerator mit:
einem Substratspannungspumpkreis (120), der eine Substratspannung (VBB) er zeugt;
einer Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen (100), auf die der Substratspannungs pumpkreis (120) anspricht;
einer Substratspannungsdetektorschaltung zum Detektieren der Substratspannung (VBB) und zum Erzeugen eines Substratspannungssteuersignals zum Steuern des Betriebs des Substratspannungspumpkreises (120) gemäß den Ergebnissen der detektierten Substratspannung;
gekennzeichnet durch:
einen Versorgungsspannungspumpkreis (150), der eine Versorgungsspannung (VPP) erzeugt, der auf die Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen (100) gemeinsam mit dem Substratspannungspumpkreis (120) anspricht;
eine Hochpumpspannungsdetektorschaltung (160), die die Versorgungsspannung (VPP) des Versorgungsspannungspumpkreises (150) detektiert, und die ein Hoch pumpspannungssteuersignal zum Steuern des Betriebs des Versorgungsspan nungspumpkreises (150) gemäß der detektierten Versorgungsspannung (VPP) er zeugt; und
eine Einrichtung (170) zum Empfangen des Substratspannungssteuersignals und des Hochpumpspannungssignals und zum Erzeugen eines Pulssteuersignals, wobei die Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen (100) auf das Pulssteuersignal anspricht.
einem Substratspannungspumpkreis (120), der eine Substratspannung (VBB) er zeugt;
einer Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen (100), auf die der Substratspannungs pumpkreis (120) anspricht;
einer Substratspannungsdetektorschaltung zum Detektieren der Substratspannung (VBB) und zum Erzeugen eines Substratspannungssteuersignals zum Steuern des Betriebs des Substratspannungspumpkreises (120) gemäß den Ergebnissen der detektierten Substratspannung;
gekennzeichnet durch:
einen Versorgungsspannungspumpkreis (150), der eine Versorgungsspannung (VPP) erzeugt, der auf die Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen (100) gemeinsam mit dem Substratspannungspumpkreis (120) anspricht;
eine Hochpumpspannungsdetektorschaltung (160), die die Versorgungsspannung (VPP) des Versorgungsspannungspumpkreises (150) detektiert, und die ein Hoch pumpspannungssteuersignal zum Steuern des Betriebs des Versorgungsspan nungspumpkreises (150) gemäß der detektierten Versorgungsspannung (VPP) er zeugt; und
eine Einrichtung (170) zum Empfangen des Substratspannungssteuersignals und des Hochpumpspannungssignals und zum Erzeugen eines Pulssteuersignals, wobei die Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen (100) auf das Pulssteuersignal anspricht.
2. Konstantspannungsgenerator gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch:
einen Oszillator (100) als die Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen; eine Substratspannungspumptreiberschaltung (110) zum Empfangen der von dem Oszillator (100) ausgegebenen Pulse und zum Erzeugen eines ersten Treibersi gnals, das dem Substratspannungspumpkreis (120) zugeführt wird, im Ansprechen auf das Substratspannungssteuersignal;
eine Versorgungsspannungspumptreiberschaltung (140) zum Empfangen der von dem Oszillator (100) ausgegebenen Pulse und zum Erzeugen eines zweiten Trei bersignals, das dem Versorgungsspannungspumpkreis (150) zugeführt wird, im An sprechen auf das Hochpumpspannungssteuersignal;
wodurch der Substratspannungspumpkreis (120) und der Versorgungsspannungs pumpkreis (150) unabhängig voneinander im Ansprechen auf die von dem Oszillator (100) ausgegebenen Pulse arbeiten.
einen Oszillator (100) als die Einrichtung zum Erzeugen von Pulsen; eine Substratspannungspumptreiberschaltung (110) zum Empfangen der von dem Oszillator (100) ausgegebenen Pulse und zum Erzeugen eines ersten Treibersi gnals, das dem Substratspannungspumpkreis (120) zugeführt wird, im Ansprechen auf das Substratspannungssteuersignal;
eine Versorgungsspannungspumptreiberschaltung (140) zum Empfangen der von dem Oszillator (100) ausgegebenen Pulse und zum Erzeugen eines zweiten Trei bersignals, das dem Versorgungsspannungspumpkreis (150) zugeführt wird, im An sprechen auf das Hochpumpspannungssteuersignal;
wodurch der Substratspannungspumpkreis (120) und der Versorgungsspannungs pumpkreis (150) unabhängig voneinander im Ansprechen auf die von dem Oszillator (100) ausgegebenen Pulse arbeiten.
3. Konstantspannungsgenerator gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß die Einrichtung (170) zum Erzeugen des Pulssteuersignals ein NOR-Gatter
(101) umfaßt, das das Substratspannungssteuersignal und das Hochpumpspan
nungssteuersignal empfängt, um das Pulssteuersignal zu erzeugen.
4. Konstantspannungsgenerator gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Substratspannungspumptreiberschaltung (110) abgeschaltet
wird und unabhängig von dem Versorgungsspannungspumpkreis (150) ist, wenn
sich die Substratspannung (VBB) bei einem ersten Pegel befindet, und die Versor
gungsspannungspumptreiberschaltung (140) gesperrt und unabhängig von dem
Substratspannungspumpkreis (120) ist, wenn sich die Versorgungsspannung (VPP)
auf einem zweiten Pegel befindet.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910023944A KR950002015B1 (ko) | 1991-12-23 | 1991-12-23 | 하나의 오실레이터에 의해 동작되는 정전원 발생회로 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4243397A1 DE4243397A1 (de) | 1993-06-24 |
DE4243397C2 true DE4243397C2 (de) | 1999-07-15 |
Family
ID=19325601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4243397A Expired - Lifetime DE4243397C2 (de) | 1991-12-23 | 1992-12-21 | Konstantspannungsgenerator |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5396114A (de) |
JP (1) | JP2604530B2 (de) |
KR (1) | KR950002015B1 (de) |
DE (1) | DE4243397C2 (de) |
FR (1) | FR2687869A1 (de) |
GB (1) | GB2262821B (de) |
IT (1) | IT1256203B (de) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3292417B2 (ja) * | 1994-02-15 | 2002-06-17 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JPH07229932A (ja) * | 1994-02-17 | 1995-08-29 | Toshiba Corp | 電位検知回路 |
US5539338A (en) * | 1994-12-01 | 1996-07-23 | Analog Devices, Inc. | Input or output selectable circuit pin |
KR0137317B1 (ko) * | 1994-12-29 | 1998-04-29 | 김광호 | 반도체 메모리소자의 활성싸이클에서 사용되는 승압회로 |
JPH08203269A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 内部電圧発生回路、半導体記憶装置および消費電流測定方法 |
JP3497601B2 (ja) * | 1995-04-17 | 2004-02-16 | 松下電器産業株式会社 | 半導体集積回路 |
US5519360A (en) * | 1995-07-24 | 1996-05-21 | Micron Technology, Inc. | Ring oscillator enable circuit with immediate shutdown |
US5602790A (en) * | 1995-08-15 | 1997-02-11 | Micron Technology, Inc. | Memory device with MOS transistors having bodies biased by temperature-compensated voltage |
JP2830807B2 (ja) * | 1995-11-29 | 1998-12-02 | 日本電気株式会社 | 半導体メモリ装置 |
JP2924949B2 (ja) * | 1996-04-15 | 1999-07-26 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
AU5165798A (en) * | 1996-11-05 | 1998-05-29 | Aplus Flash Technology, Inc. | Positive/negative high voltage charge pump system |
JPH1186536A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP3028942B2 (ja) * | 1997-12-01 | 2000-04-04 | 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 | 電圧発生回路 |
KR100319164B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2002-04-22 | 박종섭 | 다중레벨검출에의한다중구동장치및그방법 |
US6147547A (en) * | 1998-05-25 | 2000-11-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Charge pump circuit capable of generating positive and negative voltages and nonvolatile semiconductor memory device comprising the same |
JP3802239B2 (ja) * | 1998-08-17 | 2006-07-26 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路 |
US6275096B1 (en) * | 1999-12-14 | 2001-08-14 | International Business Machines Corporation | Charge pump system having multiple independently activated charge pumps and corresponding method |
JP4651766B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2011-03-16 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体記憶装置 |
KR100353538B1 (ko) * | 2000-10-24 | 2002-09-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 장치의 전압 발생 조절 회로 |
US20030197546A1 (en) * | 2001-07-09 | 2003-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Negative voltage generator for a semiconductor memory device |
DE10160614B4 (de) * | 2001-12-11 | 2008-04-30 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterchips mit integrierter Schaltung und deren Verwendung |
US7545203B2 (en) * | 2005-09-29 | 2009-06-09 | Hynix Semiconductor, Inc. | Internal voltage generation circuit |
KR100857876B1 (ko) * | 2006-06-01 | 2008-09-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 내부전압 발생기 |
US7656735B2 (en) | 2006-09-29 | 2010-02-02 | Sandisk Corporation | Dual voltage flash memory methods |
US7675802B2 (en) | 2006-09-29 | 2010-03-09 | Sandisk Corporation | Dual voltage flash memory card |
KR100935583B1 (ko) * | 2007-11-08 | 2010-01-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 집적 회로 |
KR100930417B1 (ko) * | 2008-08-13 | 2009-12-08 | 주식회사 하이닉스반도체 | 음 전압 생성 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치 |
WO2010032589A1 (ja) * | 2008-09-17 | 2010-03-25 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | チャージ・ポンプ回路及び半導体集積回路 |
DE102009045052B4 (de) * | 2008-09-30 | 2013-04-04 | Infineon Technologies Ag | Bereitstellen einer Versorgungsspannung für eine Ansteuerschaltung eines Halbleiterschaltelements |
US8248153B2 (en) * | 2010-06-29 | 2012-08-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for full clock cycle charge pump operation |
JP5587253B2 (ja) | 2011-06-27 | 2014-09-10 | ウィンボンド エレクトロニクス コーポレーション | 昇圧回路 |
DE102013207324A1 (de) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Halbleitervorrichtung und elektronisches Gerät |
US10002654B2 (en) * | 2015-06-26 | 2018-06-19 | Intel Corporation | Capacitive wordline boosting |
US11424676B2 (en) * | 2020-01-24 | 2022-08-23 | Stmicroelectronics International N.V. | Positive and negative charge pump control |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0051532A2 (de) * | 1980-11-03 | 1982-05-12 | FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION | Geregelter MOS-Substrat-Vorspannungsgenerator für einen statischen Schreib-Lese-Speicher |
US4631421A (en) * | 1984-08-14 | 1986-12-23 | Texas Instruments | CMOS substrate bias generator |
US4691304A (en) * | 1984-05-30 | 1987-09-01 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having an arrangement for preventing operational errors |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3009303A1 (de) * | 1980-03-11 | 1981-09-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Monolithisch integrierte digitale halbleiterschaltung |
JPS577969A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-16 | Toshiba Corp | Semiconductor integrated circuit |
JPS5785253A (en) * | 1980-11-17 | 1982-05-27 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
JPS57199335A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-07 | Toshiba Corp | Generating circuit for substrate bias |
US4439692A (en) * | 1981-12-07 | 1984-03-27 | Signetics Corporation | Feedback-controlled substrate bias generator |
US4585954A (en) * | 1983-07-08 | 1986-04-29 | Texas Instruments Incorporated | Substrate bias generator for dynamic RAM having variable pump current level |
JPS6159688A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
US4656369A (en) * | 1984-09-17 | 1987-04-07 | Texas Instruments Incorporated | Ring oscillator substrate bias generator with precharge voltage feedback control |
JPS61269294A (ja) * | 1985-05-24 | 1986-11-28 | Hitachi Ltd | 半導体メモリ |
NL8701278A (nl) * | 1987-05-29 | 1988-12-16 | Philips Nv | Geintegreerde cmos-schakeling met een substraatvoorspanningsgenerator. |
KR0133933B1 (ko) * | 1988-11-09 | 1998-04-25 | 고스기 노부미쓰 | 기판바이어스 발생회로 |
JPH0817033B2 (ja) * | 1988-12-08 | 1996-02-21 | 三菱電機株式会社 | 基板バイアス電位発生回路 |
KR910004737B1 (ko) * | 1988-12-19 | 1991-07-10 | 삼성전자 주식회사 | 백바이어스전압 발생회로 |
KR920010749B1 (ko) * | 1989-06-10 | 1992-12-14 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 집적소자의 내부전압 변환회로 |
JP2780365B2 (ja) * | 1989-08-14 | 1998-07-30 | 日本電気株式会社 | 基板電位発生回路 |
-
1991
- 1991-12-23 KR KR1019910023944A patent/KR950002015B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1992
- 1992-12-18 IT ITMI922911A patent/IT1256203B/it active IP Right Grant
- 1992-12-21 DE DE4243397A patent/DE4243397C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-22 JP JP4342145A patent/JP2604530B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1992-12-23 US US07/997,302 patent/US5396114A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-23 FR FR9215630A patent/FR2687869A1/fr active Granted
- 1992-12-23 GB GB9226864A patent/GB2262821B/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0051532A2 (de) * | 1980-11-03 | 1982-05-12 | FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION | Geregelter MOS-Substrat-Vorspannungsgenerator für einen statischen Schreib-Lese-Speicher |
US4691304A (en) * | 1984-05-30 | 1987-09-01 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having an arrangement for preventing operational errors |
US4631421A (en) * | 1984-08-14 | 1986-12-23 | Texas Instruments | CMOS substrate bias generator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ITMI922911A0 (it) | 1992-12-18 |
FR2687869A1 (fr) | 1993-08-27 |
JP2604530B2 (ja) | 1997-04-30 |
DE4243397A1 (de) | 1993-06-24 |
US5396114A (en) | 1995-03-07 |
GB9226864D0 (en) | 1993-02-17 |
KR950002015B1 (ko) | 1995-03-08 |
JPH05266661A (ja) | 1993-10-15 |
FR2687869B1 (de) | 1997-02-14 |
GB2262821B (en) | 1996-01-03 |
IT1256203B (it) | 1995-11-29 |
GB2262821A (en) | 1993-06-30 |
ITMI922911A1 (it) | 1994-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4243397C2 (de) | Konstantspannungsgenerator | |
DE4226047C2 (de) | Schaltkreis zur Erzeugung einer internen Spannungsversorgung mit einer Steuerschaltung zur Durchführung eines Belastungstests ("Burn-in-Test") | |
DE3710865C2 (de) | ||
DE4442848C2 (de) | Spannungsabwärtswandler für eine Halbleiterspeichervorrichtung | |
DE4205040C2 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Überwachen eines Potentials auf einer internen Versorgungsspannungsleitung derselben | |
DE4115082C2 (de) | Halbleitereinrichtung mit einer Spannungswandlerschaltung zum Umwandeln einer extern angelegten Betriebsspannung in eine vorbestimmte Spannung, insb. einer Speichereinrichtung sowie entsprechendes Betriebsverfahren für diese Halbleitereinrichtung | |
DE4039524C2 (de) | Substratspannungserzeuger für eine Halbleitereinrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer Substratspannung | |
DE69118420T2 (de) | Integrierte Halbleiterschaltungsanordnung mit einem Hauptleistungsanschluss und einem Sicherungsleistungsanschluss, die unabhängig voneinander sind | |
DE10220561B4 (de) | Generator für negative Spannung für ein Halbleiterspeicherbauelement | |
DE10110273C2 (de) | Spannungsgenerator mit Standby-Betriebsart | |
DE3128732C2 (de) | Spannungsdifferenzdetektorschaltung | |
DE19505502A1 (de) | Spannungsgenerator für ein Halbleiterbauelement | |
DE4334263A1 (de) | Generatorschaltung für eine rückwärts gerichtete Vorspannung für ein Halbleiterspeicherbauelement | |
DE4342458C2 (de) | Spannungsgenerator für eine Halbleiterspeichervorrichtung mit Standby-Betriebsart | |
DE19747124A1 (de) | Einschaltstromdetektorschaltung für eine Referenzspannungsschaltung | |
DE69412360T2 (de) | Energieleitungsverbindungsschaltung und entsprechender Schalter mit integrierter Schaltung | |
DE4434053C2 (de) | Referenzspannungserzeugungsschaltung für Halbleiterspeichervorrichtung | |
DE10106775B9 (de) | Spannungsdetektionsschaltung für ein Halbleiterspeicherbauelement | |
DE4309364C2 (de) | Halbleiterspeichervorrichtung und Betriebsverfahren dafür | |
DE19681425B3 (de) | Schaltung und Verfahren zum Regeln einer Spannung | |
DE19619923C2 (de) | Spannungserhöhungsschaltung für eine Halbleiterspeichervorrichtung sowie Wortleitungstreiber für eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Spannungserhöhungsschaltung | |
DE10106767B4 (de) | Spannungsdetektionsschaltung für ein Halbleiterspeicherbauelement und Verwendung | |
DE69532071T2 (de) | Aufwärtswandlerschaltung | |
DE19650149C2 (de) | Integrierte Halbleiterschaltung mit Zwischenpotential-Erzeugungsschaltung | |
DE19758068A1 (de) | Schaltung zum Treiben/Steuern eines Erfassungsverstärkers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |