DE4100671A1 - Abtasttestschaltung und verwendung der abtasttestschaltung in einer integrierten halbleiterschaltung - Google Patents

Abtasttestschaltung und verwendung der abtasttestschaltung in einer integrierten halbleiterschaltung

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DE4100671A1
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Abtasttestschaltung und auf die Verwendung einer Abtasttestschaltung in einer inte­ grierten Halbleiterschaltung. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Abtasttestschaltung mit einem Abtastregi­ ster, die in eine integrierte Halbleiterschaltungseinrichtung zum Testen derselben eingesetzt werden soll, und sie bezieht sich auch auf eine integrierte Halbleiterschaltung, die diese benutzt.
Mit dem Fortschreiten der Miniaturverarbeitungstechnik hat sich der Grad der Integration von integrierten Halbleiter­ schaltungen überraschend erhöht und tendiert zum Fortsetzen der weiteren Erhöhung hiernach. Mit solcher Erhöhung in dem Integrationsgrad (der Zahl der Gatter) hat die beim Testen von integrierten Halbleiterschaltungen auftretende Schwierigkeit sich potentiell erhöht. Der Grad der Erleichterung des Testens einer Einrichtung wird durch zwei Punkte bestimmt, nämlich die Leichtigkeit, mit der die Fehler von Anschlüssen beobachtet werden (Beobachtbarkeit), und die Leichtigkeit, mit der An­ schlüsse auf einen gewünschten logischen Pegel gesetzt werden (Steuerbarkeit). Allgemein kann gesagt werden, daß die tiefen Anschlüsse eines logischen Netzwerkes großer Ausdehnung sowohl in der Beobachtbarkeit als auch in der Steuerbarkeit schlech­ ter werden.
Verfahren zum Testen von integrierten Halbleiterschaltungsein­ richtungen weisen eines auf, das Abtasttest genannt wird. Bei diesem Abtasttest werden Registerschaltungen mit der Schiebe­ registerfunktion an geeignete Stellen in ein logisches Netz­ werk eingesetzt und mit einem einzelnen Schieberegisterpfad verbunden. Während des Testes wird ein Testmuster seriell von außerhalb des Chips eingegeben, und vorbestimmte Daten werden in die Register gesetzt. Eine logische Schaltung ist mit dem Datenausgangsanschluß von jedem Register verbunden, und ein gewünschtes logisches Signal wird in die Logikschaltung einge­ geben. Jede Logikschaltung wird als Reaktion auf ihr Logiksi­ gnal tätig, und das Resultat wird parallel in das Register durch den parallelen Eingangsanschluß des Registers eingege­ ben. Danach werden die in das Register gesetzten Daten seriell nach außerhalb des Chips ausgegeben, und eine Beobachtung der Ausgabe macht es möglich, die Beobachtbarkeit und Steuerbar­ keit der tiefen Anschlüsse eines logischen Netzwerkes großer Ausdehnung zu verbessern.
Weiterhin sind Abtasttestschaltungen, die auf asynchrone, sequentielle Schaltungen gerichtet sind, in den japanischen Offenlegungsschriften 74 668/1981, 38 179/1988 und 38 184/1988 offenbart. Der Stand der Technik gemäß der japanischen Offen­ legungsschrift 38 184/1988 soll im folgenden beschrieben wer­ den.
Fig. 16 stellt ein Blockschaltbild dar, das ein Beispiel für eine herkömmliche Testabtastschaltung zum Durchführen von Ab­ tasttests zeigt. Wie in Fig. 16 gezeigt ist, enthält die Ab­ tasttestschaltung SRL Verriegelungsschaltungen L1, L2 und L3 sowie Inverter 1 bis 4. Serielle Daten werden an den Inverter 1 von einem zweiten Eingangsanschluß S1 eingegeben. Der Aus­ gang des Inverters 1 ist mit der Verriegelungsschaltung ver­ bunden. Die Verriegelungsschaltung L1 weist Inverter 5 und 6 und Übertragungsgatter 13 und 15 in der Form von n MOS-Transi­ storen auf. Der Eingang des Inverters 5 ist mit dem Ausgang des Inverters 6 verbunden, der Ausgang des Inverters 5 ist mit dem Eingang des Inverters 6 verbunden, wodurch ein Register gebildet ist.
Das Übertragungsgatter 13 ist zwischen den Eingang des Inver­ ters 5 und den Ausgang des Inverters 2 geschaltet. An den In­ verter 2 werden Daten von einem ersten Eingangseinschluß Dl eingegeben. An das Gate des Übertragungsgatters 13 wird ein Taktsignal von einem Eingangsanschluß TD angelegt. Das Über­ tragungsgatter 15 ist zwischen den Eingang des Inverters 5 und dem Ausgang des Inverters 1 geschaltet, und an das Gate des Übertragungsgatters 15 wird ein Taktsignal über einen Ein­ gangsanschluß T1 angelegt. Der Ausgang der Verriegelungsschal­ tung L1 wird an die Verriegelungsschaltungen L2 und L3 ange­ legt. Die Verriegelungsschaltung L2 weist Inverter 7 und 8 und ein Übertragungsgatter 19 auf. Der Eingang des Inverters 7 ist mit dem Ausgang des Inverters 8 verbunden, der Ausgang des In­ verters 7 ist mit dem Eingang des Inverters 8 verbunden, wo­ durch ein Register gebildet ist. Das Übertragungsgatter 19 ist zwischen den Eingang des Inverters 7 und den Ausgang der Ver­ riegelungsschaltung L1 geschaltet, und an das Gate des Über­ tragungsgatters 19 wird ein Taktsignal von einem Eingangsan­ schluß T2 angelegt. Das Ausgangssignal von der Verriegelungs­ schaltung L2 wird an den zweiten Ausgangsanschluß SO durch den Inverter 4 angelegt.
Die Verriegelungsschaltung L3 weist Inverter 9 und 10 und ein Übertragungsgatter 17 auf. Der Eingang des Inverters 9 ist mit dem Ausgang des Inverters 10 verbunden, der Ausgang des Inver­ ters 9 ist mit dem Eingang des Inverters 10 verbunden, wodurch ein Register gebildet wird. Das Übertragungsgatter 17 ist zwi­ schen den Eingang des Inverters 9 und der Verriegelungsschal­ tung L1 geschaltet, und an das Gate des Übertragungsgatters 17 wird ein Taktsignal von einem Eingangsanschluß T3 angelegt. Das Ausgangssignal von der Verriegelungsschaltung L3 wird an einen ersten Ausgangsanschluß DO durch den Inverter 3 ange­ legt.
Fig. 17 zeigt ein Blockschaltbild eines integrierten Halblei­ terschaltungschips, der mit der in Fig. 16 gezeigten Abtast­ testschaltung versehen ist. Wie in Fig. 17 gezeigt ist, ent­ hält der einzelne Chip Schaltungsblöcke CB1 und CB2, die zu testen sind. Die Ausgangsanschlüsse DO der Abtasttestschaltun­ gen SRL1 und SRL2 sind mit den Eingangsanschlüssen I1 bzw. I2 des Schaltungsblockes CB1 verbunden. Die Eingangsanschlüsse DI der Abtastschaltungen SRL3 und SRL4 sind mit dem Ausgangsan­ schluß O1 des Schaltungsblockes CB1 verbunden, die Ausgangsan­ schlüsse DO der Abtastschaltungen SRL3 und SRL4 sind mit den Eingangsanschlüssen I1 und I2 des Schaltungsblockes CB2 ver­ bunden.
Die Eingangsanschlüsse DI der Abtasttestschaltungen SRL5 und SRL6 sind mit den Ausgangsanschlüssen O1 und O2 des Schal­ tungsblockes CB2 verbunden. Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL6 sind zwischen den seriellen Dateneingangsanschluß SI′ und den seriellen Datenausgangsanschluß SO′ des Chips geschaltet, wodurch ein Abtastpfad gebildet ist. Der Eingangsanschluß T3 der Abtasttestschaltung SRL1 ist mit dem Takteingangsanschluß T3a des Chips verbunden. Die Eingangsanschlüsse T3 der Abtast­ testschaltungen SRL2, SRL3 und SRL4 sind mit dem Eingangsan­ schluß T3b des Chips verbunden und werden mit einem Taktsignal beaufschlagt. Die Eingangsanschlüsse TD der Abtasttestschal­ tungen SRL3 bis SRL6 sind mit dem Eingangsanschluß TD des Chips verbunden und werden mit einem Taktsignal beaufschlagt.
Fig. 18 zeigt ein Flußdiagramm zum Erläutern des Betriebes zum Testen der in Fig. 17 gezeigten Testblöcke, und Fig. 19 ist ein Zeitablaufdiagramm.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 16 und 19 wird jetzt der Betrieb einer herkömmlichen Abtasttestschaltung beschrieben. Der Schaltungsblock ist in zwei Teile unterteilt, einer für den Normalbetrieb und einer für den Testbetrieb. Während des Nor­ malbetriebes sind die an die Testeingangsanschlüsse T1 und T2 eingegebenen Signale des Chips auf den "L"-Pegel gesetzt, die an die Eingangsanschlüsse TD, T3a und T3b eingegebene Signale sind auf den "H"-Pegel gesetzt. Mit so eingestellten Signalen sind bei der in Fig. 16 gezeigten Abtasttestschaltung die Übertragungsgatter 13 und 17 leitend geschaltet, während die Übertragungsgatter 15 und 19 nichtleitend geschaltet sind. Da­ durch wird die Verriegelungsschaltung L1 zu einer Durchgangs­ schaltung, durch die von dem Eingangsanschluß DI durch den In­ verter 2 eingegebenen Daten durchgegeben werden, und die Ver­ riegelungsschaltung L3 wirkt ebenfalls als eine Durchgangs­ schaltung, durch die von der Verriegelungsschaltung L1 einge­ gebene Daten durchgegeben werden zu dem Inverter 3.
Andererseits ist die Verriegelungsschaltung in dem Datenhalte­ zustand, da das Übertragungsgatter 19 nichtleitend geschaltet ist. Daher sind die in Fig. 17 gezeigten Abtasttestschaltungen daran gehindert, Daten von den seriellen Dateneingangsan­ schlüssen SI aufzunehmen. Daher wirkt der Pfad von dem Ein­ gangsanschluß DI zu dem Ausgangsanschluß DO einfach als Daten­ übertragungskreis. Da der Pfad von dem Eingangsanschluß DI zu dem Ausgangsanschluß DO in der Abtasttestschaltung SRL zwi­ schen den Schaltungsblöcken CB1 und CB2 den Datendurchgangszu­ stand annimmt, nimmt die Leitung zwischen den Schaltungs­ blöcken CB1 und CB2 den logisch leitenden Zustand ein, wodurch die gleiche Logikfunktion wie zuvor ausgeführt wird, bevor die Testabtastschaltungen SRL1 bis SRL6 eingesetzt sind.
Der Testbetrieb wird nun beschrieben. Der Testbetrieb ist in zwei Modi unterteilt: einen Abtastbetriebsmodus und einen Blocktestbetriebsmodus. In dem Abtastbetriebsmodus werden Testmuster für die Schaltungsblöcke CB1 und CB2, die zu testen sind, seriell von den seriellen Dateneingangsanschlüssen SI eingegeben, und gleichzeitig werden Ausgangsdaten von den Schaltungsblöcken CB1 und CB2, die zu testen sind, seriell von den seriellen Datenanschlüssen SO ausgegeben. In dem Block­ testbetriebsmodus werden Testmuster für die zu testenden Schaltungsblöcke CB1 und CB2, die an die Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL6 eingegeben sind, mit den an die Eingangsan­ schlüsse T3a und T3b eingegebenen Taktsignale synchronisiert und an die Eingangsanschlüsse der tatsächlich zu testenden Schaltungsblöcke CB1 und CB2 eingegeben. Dann werden die Test­ daten in der Verriegelungsschaltung L1 innerhalb der entspre­ chenden Testabtastschaltung SRL in Synchronisation mit dem entsprechenden Signalverlauf gehalten. Der Testbetriebsmodus und der Blocktestmodus werden abwechselnd für jedes Muster in dem zu testenden Schaltungsblock wiederholt, wodurch der Ab­ tasttest des zu testenden Schaltungsblockes erzielt wird. Wei­ terhin wird der Test des Chips erzielt, indem das Verfahren dieses Vorgehens gleich oft wiederholt wird wie es zu testende Schaltungsblöcke in dem Chip gibt.
Der Testbetrieb wird im folgenden mit dem in Fig. 17 gezeigten Chip als Beispiel beschrieben. Dieser Chip weist Schaltungs­ blöcke CB1 und CB2 auf, und durch das Testen der Schaltungs­ blöcke CB1 und CB2 kann das Testen des Chips durchgeführt wer­ den. Die für den Test der Schaltungsblöcke CB1 und CB2 notwen­ digen Testmuster sind in Tabelle 1A bzw. 1B gezeigt.
Tabelle 1A
CB1-Testmuster
Tabelle 1B
CB2-Testmuster
Wie in Tabelle 1A gezeigt ist, sind vier Muster als Testmuster für den Schaltungsblock CB1 nötig. Wenn z. B. an die Eingangs­ anschlüsse I1 und I2 des Schaltungsblockes CB1 "H"-,"H"-Pegel­ signale mit dem gewünschten Zeitpunkt eingegeben werden, wird ein Ausgangssignal auf dem "H"-Pegel von dem Ausgangsanschluß O1 des Schaltungsblockes CB1 ausgegeben. Ahnlich wird für ein "H","L"-Pegelsignal ein Ausgangssignal auf dem "L"-Pegel er­ zielt; und für ein "L","H"-Signal wird ein Ausgangssignal auf dem "H"-Pegel erzielt. Ähnlich kann der Schaltungsblock CB2 durch Beobachten des mit dem Eingangsmuster verknüpften Aus­ gangsmusters getestet werden.
Diese Testmuster werden seriell an dem seriellen Datenein­ gangsanschluß SI′ eingegeben und den Abtastpfad übertragen, und Eingangsdaten werden in eine gewünschte Abtasttestschal­ tung SRL gesetzt. Damit weiter die Testausgangsdaten von dem seriellen Datenausgangsanschluß SO′ seriell ausgegeben werden, müssen die in den Tabellen 1A und 1B gezeigten Testmuster in serielle Daten gewandelt werden. Die in derartige serielle Da­ ten gewandelten Testmuster sind in den Tabellen 2A und 2B ge­ zeigt.
Tabelle 2A/Tabelle 2B
Chiptestmuster
(Abtastpfad Eingang/serielle Daten Ausgang)
Tabelle 2A zeigt die von dem seriellen Dateneingangsanschluß SI′ eingegebenen Testmuster, während Tabelle 2B die von dem seriellen Datenausgangsanschluß SO′ ausgegebenen Ausgangsmu­ ster zeigt. In Fig. 17 sind sechs Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL6 auf dem sich von dem seriellen Dateneingangsanschluß SI′ zu dem seriellen Datenausgangsanschluß SO′ erstreckenden Pfad angeordnet. Daher ist ein Betrag von Taktsignalen, der sechs Perioden entspricht, für jede Abtasttätigkeit nötig. In den Fig. 2A und 2B zeigt die Markierung X Blinddaten an, die während der Abtastverschiebung benötigt werden, derartige Blinddaten werden benötigt, wenn Testeingangsdaten von dem se­ riellen Dateneingangsanschluß in eine vorbestimmte Abtasttest­ schaltung SRL gesetzt werden, damit die für das Ausgeben der Testausgangsdaten von der vorbestimmten Abtastschaltung SRL an den Abtastdatenausgangsanschluß SO′ notwendige Verschiebung vorgesehen wird.
Die Zahl der zum Testen des Schaltungsblockes CB1 nötigen Testmuster beträgt vier, und es werden ebenfalls vier Testmu­ ster zum Testen des Schaltungsblockes CB2 benötigt. Wie aus dem in Fig. 18 gezeigten Flußdiagramm ersichtlich ist, wird weiterhin ein Muster zum Ausgeben der Testausgangsdaten von dem seriellen Datenausgangsanschluß SO nach Beendigung des Testbetriebes des Schaltungblockes CB2 benötigt. Daher werden insgesamt neun Muster zum Durchführen des Testes des Chips benötigt. Die seriell gewandelten Daten werden seriell von dem seriellen Dateneingangsanschluß SI′ in dem Abtastmodus einge­ geben. Während des Testbetriebes werden die Blöcke durch wie­ derholtes Ausführen des Abtastmodus und des Testmodus gete­ stet.
Fig. 19 ist ein Zeitablaufdiagramm, das die verschiedenen Zeitpunkte für die in Fig. 18 gezeigten Teile darstellt. Der Abtastmodus wird im folgenden näher unter Bezugnahme auf Fig. 19 beschrieben. Wie in Fig. 19(g) gezeigt ist, wird ein Takt­ signal auf dem "L"-Pegel an den Eingangsanschluß TD eingege­ ben. Wie in Fig. 19(c) und (d) gezeigt ist, werden an die Eingangsanschlüsse T1 und T2 Abtasttaktsignale als nichtüber­ lappende positive Taktsignale eingegeben. Gleichzeitig damit werden Daten von dem Abtastdateneingangsanschluß SI′ aufeinan­ derfolgend in die Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL6 eingele­ sen ("scanned in"). Der Betrag eines Abtastsignales, der sechs Perioden entspricht, wird benötigt zum Eingeben der gewünsch­ ten Daten an eine vorbestimmte Abtasttestschaltung SRL. Wie in Fig. 19(b) gezeigt ist, werden zur gleichen Zeit die Aus­ gangsdaten von dem Schaltungsblock CB1 oder CB2, die in dem vorhergehenden Test in die vorbestimmte Abtasttestschaltung übernommen worden sind (in dem in Fig. 17 gezeigten Beispiel die Abtasttestschaltung SRL3, SRL4 oder SRL5, SRL6, nacheinan­ der ausgelesen ("scanned out").
Im folgenden wird der Testmodus beschrieben. Wenn die ge­ wünschten Testeingangsdaten in eine vorbestimmte Abtasttest­ schaltung SRL gesetzt sind, wird ein in Fig. 19(e) und (f) gezeigter einzelner positiver Taktpuls an die Eingangsan­ schlüsse T3a und T3b abgegeben. Dadurch werden die Testein­ gangsdaten in der dritten Verriegelungsschaltung L3 der Ab­ tasttestschaltung SRL verriegelt und an den Schaltungsblock CB1 abgegeben. Zu dem Zeitpunkt, an dem die entsprecheneden Tätigkeiten der Schaltungsblöcke CB1 und CB2 beendet sind, wird ein positiver Taktpuls an den Eingangsanschluß TD als das in Fig. 19(g) gezeigte Datentaktsignal abgegeben. Dadurch wird das Ausgangsignal von jedem Schaltungsblock in der ersten Verriegelungsschaltung L1 der entsprechenden Abtasttestschal­ tung SRL durch den Eingangsanschluß DI der Abtasttestschaltung SRL verriegelt.
Darauf folgend wird ein einzelner positiver Taktpuls an den Eingangsanschluß T2 als ein zweites Abtasttaktsignal abgege­ ben, wodurch das Ausgangssignal von dem Schaltungsblock in der zweiten Verriegelungsschaltung L2 der Abtasttestschaltung SRL zurückgehalten wird. Danach wird der Modus in den Abtastmodus geändert, und der Test wird fortgesetzt.
Die Schaltungsblöcke CB1 und CB2 werden auf diese Weise gete­ stet. In der in Fig. 17 gezeigten Schaltung verriegelt die Verriegelungsschaltung das vorhergehende Testmuster, das wei­ ter an die Eingangsanschlüsse I1 und I2 der Schaltungsblöcke CB1 und CB2 eingegeben wird, so daß selbst, wenn die Werte der Verriegelungsschaltungen L1 und L2 sich während der Abtasttä­ tigkeit ändern, die internen Zustände der Schaltungsblöcke CB1 und CB2 unverändert bleiben, wodurch der Abtasttest möglich gemacht wird.
Zusätzlich sind in dem obigen Beispiel asynchrone Schaltungen als Schaltungsblöcke CB1 und CB2 verwendet worden, und die in Fig. 16 gezeigte Schaltung ist als entsprechende Abtasttest­ schaltung benutzt worden. Wenn jedoch synchrone Schaltungen als Abtasttestschaltungen benutzt werden, wird die dritte in Fig. 16 gezeigte Verriegelungsschaltung L3 unnötig.
Fig. 20 und 21 zeigen Blockschaltbilder von Abtasttestschal­ tungen, bei denen synchrone Schaltungen als zu testende Schal­ tungsblöcke verwendet werden. In dem in Fig. 20 gezeigten Bei­ spiel sind die in Fig. 16 gezeigten Verriegelungsschaltung L3 und Eingangsanschluß T3 zum Empfangen des Taktsignales wegge­ lassen, und der Eingang des Inverters 3 ist mit dem Eingang des Inverters 5 verbunden. In dem in Fig. 21 gezeigten Bei­ spiel sind nicht nur die Verriegelungsschaltung L3 und der Eingangsanschluß T3, sondern auch der Inverter 3 weggelassen, und der Ausgang des Inverters 4 ist mit dem Ausgangsanschluß DO verbunden. Zusätzlich ist das oben beschriebene Blindmuster in den Fig. 20 und 21 gezeigten Abtasttestschaltungen nötig.
Da die herkömmliche Abtasttestschaltung auf die oben beschrie­ bene Weise ausgelegt ist, gibt es Abtasttestschaltungen, die unnötig bei diesem Test sind, wenn der Abtasttest der Schal­ tungsblöcke CB1 und CB2 durchzuführen ist. Wenn es z. B. ge­ wünscht wird, nur den Schaltungsblock CB1 zu testen, würden nur die Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL4 betätigt werden. Tatsächlich müssen jedoch auch die Abtasttestschaltungen SRL5 und SRL6 verschoben werden. Daher müssen Blinddaten, die in dem Testbetrieb unnötig sind, zur gleichen Zeit eingelesen werden. Das bedeutet, daß ein Betrag von Blinddaten, der einer Abtastpulsperiode entspricht, für die Abtasttestschaltung SRL1 benötigt wird. Somit wird für die gesamte Abtasttätigkeit ein großer Betrag von Testzeit vergeudet.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Abtast­ testschaltung vorzusehen, bei der die Abtasttätigkeit mit der gleichen Anzahl von Abtasttaktperioden durchgeführt werden kann, wie die Zahl der während der Abtasttätigkeit benötigten Abtasttestschaltungen, ebenfalls soll die Verwendung in einer integrierten Halbleiterschaltung vorgesehen werden.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst, indem neben der herkömmlichen ersten und zweiten Verriegelungsschaltung eine dritte Verriegelungsschaltung und eine Funktion zum Rücksetzen der dritten Verriegelungsschaltung vorgesehen werden. Als Reaktion darauf, daß sich die dritte Verriegelungsschaltung in einem ersten logischen Zustand befindet, werden 1-Bitdaten, die in den an den zweiten Eingangsanschluß eingegebenen seri­ ellen Daten enthalten sind, von dem zweiten Eingangsanschluß zu dem Ausgangsanschluß in einer "Durchgangs"-Weise ausgege­ ben, während 1-Bitdaten, die an den ersten Eingangsanschluß eingegeben werden sollen, daran gehindert werden, an die erste Verriegelungsschaltung eingegeben zu werden. Als Reaktion auf den Eingang eines Steuersignales werden die seriellen Daten, die an die dritte Verriegelungsschaltung durch die erste Ver­ riegelungsschaltung eingegeben werden, verriegelt. Die dritte Verriegelungsschaltung wird durch ein Rücksetzsignal zurückge­ setzt, und wenn ihr Ausgang zu dem zweiten logischen Zustand invertiert ist, können die an den ersten oder zweiten Ein­ gangsanschluß angelegte Daten von der ersten Verriegelungs­ schaltung zu der zweiten Verriegelungsschaltung verschoben werden.
Daher wird erfindungsgemäß nur das Abtastregister, das notwen­ dig wird, wenn der Abtasttest einer Schaltung durchgeführt wird, die durch die Daten ausgewählt ist, effektiv gemacht, wobei unnötige Abtastregister in den Durchgangszustand gesetzt werden. Damit kann die Zahl der Abtastpfade für den Abtastbe­ trieb wesentlich reduziert werden, wodurch die Testzeit ver­ kürzt wird.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist eine vierte Verrie­ gelungsschaltung zum Verriegeln der Daten vorgesehen, die in der ersten Verriegelungsschaltung verriegelt sind, und zum Ausgeben der Daten an den zweiten Ausgangsanschluß. Als Reak­ tion darauf, daß der Ausgang der vierten Verriegelungsschal­ tung in einem ersten logischen Zustand ist, können die in der ersten Verriegelungsschaltung verriegelten Daten nicht an die vierte Verriegelungsschaltung eingegeben werden. Als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungsschaltung einen zweiten logischen Zustand annimmt, können die in der ersten Verriegelungsschaltung verriegelten Daten zu der vier­ ten Verriegelungsschaltung verschoben werden.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 ein Blockschaltbild einer Abtasttestschaltung gemäß einer ersten Ausführungsform;
Fig. 2 ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter­ schaltung, die eine Abtasttestschaltung gemäß der ersten Ausführungsform benutzt;
Fig. 3 ein Flußdiagramm zum Erläutern der Tätigkeit der ersten Ausführungsform;
Fig. 4 ein Zeitablaufdiagramm zum Erläutern der Tätigkeit der ersten Ausführungsform;
Fig. 5 ein Blockschaltbild eines anderen Beispieles einer integrierten Halbleiterschaltung, die eine Abtast­ testschaltung verwendet;
Fig. 6, 7 und 8 Zeitablaufdiagramme zum Erläutern der Tätig­ keit der in Fig. 5 gezeigten integrierten Halblei­ terschaltung;
Fig. 9 ein Blockschaltbild eines anderen Ausführungsbei­ spieles einer Abtasttestschaltung;
Fig. 10 ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter­ schaltung, die die in Fig. 9 gezeigte Abtasttest­ schaltung enthält;
Fig. 11 ein Blockschaltbild eines anderen Ausführungsbei­ spieles einer Abtasttestschaltung;
Fig. 12 ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter­ schaltung, die die in Fig. 11 gezeigte Abtasttest­ schaltung enthält;
Fig. 13 und 14 Blockschaltbilder anderer Ausführungsformen der Abtasttestschaltung;
Fig. 15 ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter­ schaltung, die die in der Fig. 13 oder 14 gezeigte Abtasttestschaltung enthält;
Fig. 16 ein Blockschaltbild einer herkömmlichen Abtasttest­ schaltung;
Fig. 17 ein Blockschaltbild einer integrierten Halbleiter­ schaltung, die die herkömmliche Abtasttestschaltung enthält;
Fig. 18 ein Flußdiagramm zum Erläutern der Tätigkeit der herkömmlichen Abtasttestschaltung;
Fig. 19 ein Zeitablaufdiagramm zum Erläutern der Tätigkeit der herkömmlichen Testschaltung; und
Fig. 20 und 21 Blockschaltbilder anderer Beispiele herkömmli­ cher Abtasttestschaltungen.
Die in Fig. 1 gezeigte Abtasttestschaltung (Scan-Testschal­ tung) weist zusätzlich zu der oben beschriebenen in Fig. 15 gezeigten Abtasttestschaltung die folgenden Elemente auf. Ein Übertragungsgatter 14 ist in Reihe zwischen einem Übertra­ gungsgatter 13 und dem Ausgang eines in einer Verriegelungs­ schaltung (Latch-Schaltung) L10 enthaltenen Inverter 2 ge­ schaltet, und ein Übertragungsgatter 18 ist zwischen einem in einer Verriegelungsschaltung L30 enthaltenen Übertragungsgat­ ter 17 und dem Ausgang der Verriegelungsschaltung L10 geschal­ tet. Nur wenn diese Übertragungsgatter 14 und 18 leitend ge­ schaltet sind, werden Daten zu den Verriegelungsschaltungen L10 und L30 eingegeben.
Ein Übertragungsgatter 16 ist parallel zu dem in der Verriege­ lungsschaltung L10 enthaltenen Übertragungsgatter 15 geschal­ tet, und ein Übertragungsgatter 20 ist parallel zu einem in einer Verriegelungsschaltung L20 enthaltenen Übertragungsgat­ ter 19 geschaltet. Wenn das Übertragungsgatter 15 oder 16 lei­ tend geschaltet ist, werden an den seriellen Dateneingangsan­ schluß SI eingegebene serielle Daten zu der Verriegelungs­ schaltung L10 eingegeben. Wenn entsprechend das Übertragungs­ gatter 19 oder 20 leitend geschaltet ist, werden die in der Verriegelungsschaltung L10 verriegelten seriellen Daten zu der Verriegelungsschaltung L20 eingegeben. Eine Verriegelungs­ schaltung L40 und eine NOR-Schaltung 23 sind neu zum Steuern der Übertragungsgatter 14, 18, 16 und 20 vorgesehen. Die Ver­ riegelungsschaltung L40 weist ein Übertragungsgatter 21, eine Runterziehschaltung 22 und Inverter 11 und 12 auf.
An das Gate des Übertragungsgatters 21 und an einen Eingang der NOR-Schaltung 23 werden an den Takteingangsanschluß Tss angelegte Taktsignale angelegt. Die Drain des Übertragungsgat­ ters 21 ist mit dem Ausgang der Verriegelungsschaltung L10 verbunden, und seine Source ist mit dem Eingangsende des In­ verters 11 und dem Ausgangsende des Inverters 12 und ebenfalls mit der Drain der Runterziehschaltung 22 verbunden. An das Gate der Runterziehschaltung 22 wird ein an den Rücksetzein­ gangsanschluß Rss angelegtes Rücksetzsignal angelegt. Die Source der Runterziehschaltung 22 liegt auf Masse. Das Aus­ gangsende des Inverters 11 ist mit dem Eingangsende des Inver­ ters 12 und ebenfalls mit dem anderen Eingangsende der NOR- Schaltung 23 und mit den Gates der Übertragungsgatter 16 und 20 verbunden.
Die in Fig. 2 gezeigten zu testenden Schaltungsblöcke sind die gleichen, wie die in Fig. 17 oben beschriebenen. Die Abtast­ testschaltungen SRL1 bis SRL6 sind die gleichen, wie die in Fig. 1 gezeigten. Der den Schaltungsblock CB1 und Abtasttest­ schaltungen SRL1 bis SRL6 enthaltende Chip weist einen Taktan­ schluß Tss′ zum Anlegen von Taktsignalen an die Takteingangs­ anschlüsse Tss der Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL6 und einen Rücksetzanschluß Rss′ zum Anlegen von Rücksetzsignalen an die Rücksetzeingangsanschlüsse Rss der Abtasttestschaltun­ gen SRL1 bis SRL6 auf. Der Rest der Anordnung ist der gleiche, wie er zuvor unter Bezugnahme auf Fig. 17 beschrieben ist.
Im folgenden wird der Betrieb beschrieben. Wie bei dem vorigen Beispiel ist der Betrieb in zwei Modi unterteilt: der normale Betriebsmodus und der Testbetriebsmodus. In dem normalen Be­ triebsmodus werden die Eingangsanschlüsse T1, T2 und Tss auf dem Chip auf den "L"-Pegel gelegt, während die Anschlüsse T3a, T3b, TD und Rss auf den "H"-Pegel gelegt werden. In der Ab­ tasttestschaltung SRL ist, da das an den Rücksetzanschluß Rss anzulegende Rücksetzsignal auf dem "H"-Pegel liegt, die Run­ terziehschaltung 22 leitend, und die Verriegelungsschaltung L40 ist zurückgesetzt. Als Ergebnis ist der Ausgang des Inver­ ters 11 auf dem "H"-Pegel, wodurch die Übertragungsgatter 14 und 18 leitend gemacht werden, während die NOR-Schaltung 23 den "L"-Pegel annimmt, damit sind die Übertragungsgatter 16 und 20 nichtleitend gemacht.
Da weiterhin die an die Anschlüsse TD und T3 anzulegenden Si­ gnale auf dem "H"-Pegel liegen, sind die Übertragungsgatter 13 und 17 leitend gemacht, und die Verriegelungen L10 und L30 werden "Datendurchgangs"-Schaltungen, wobei der sich von dem Anschluß DI zu dem Anschluß DO erstreckende Pfad den Daten­ durchgangszustand annimmt. Da weiterhin die an die Anschlüsse T2 und T1 anzulegenden Signale auf dem "L"-Pegel liegen, wer­ den die Übertragungsgatter 15 und 19 nichtleitend gemacht, und die Verriegelung L20 wird in den Datenhaltezustand versetzt. Die an den Anschluß SI eingegebenen Daten können nicht an die Verriegelungsschaltung L10 eingegeben werden. Daher ist der in Fig. 2 gezeigte, sich von dem Anschluß DI zu dem Anschluß DO einer jeder Abtasttestschaltung SRL1 bis SRL6 zwischen den Schaltungsblöcken CB1 und CB2 erstreckenden Pfad in den Daten­ durchgangszustand versetzt, wobei die Leitung zwischen den Schaltungsblöcken in dem logischen Leitungszustand ist, wo­ durch die gleiche Funktion ausgeführt, wie die vor der Einfü­ gung der Abtasttastschaltungen SRL1 bis SRL6.
Der Testbetrieb wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 beschrieben. Bei dem Testbetrieb gibt es einen Dateneingangsmodus für Abtasttestschaltungsauswahl neben dem Abtastbetriebsmodus und dem Blocktestmodus, die oben bei dem herkömmlichen Beispiel beschrieben sind. Zuerst bewirkt der Dateneingangsmodus für die Abtasttestschaltungsauswahl, daß nur eine Abtasttestschaltung aktiviert wird, die für den Ab­ tasttest des zu testenden Schaltungsblockes nötig ist, und die unnötigen Abtasttestschaltungen werden in den Datendurchgangs­ zustand versetzt. Somit wird die Zahl der Abtaststufen redu­ ziert.
Dann werden der Abtastbetriebsmodus und der Blocktestbetriebs­ modus abwechselnd ausgeführt, wodurch der Abtasttest aufeinan­ derfolgender Schaltungsblöcke durchgeführt wird. Wenn der Ab­ tasttest eines Schaltungblockes beendet ist, wird der Abtast­ test eines anderen ausgeführt, und neue Abtasttestschaltungs­ auswahldaten werden eingegeben. Dieses wird so häufig wieder­ holt, wie Schaltungsblöcke vorhanden sind, wodurch der Test des Chips vervollständigt wird. Der Betrieb wird nun beschrie­ ben, indem der in Fig. 2 gezeigte Chip als Beispiel genommen wird. Die Testmuster der Schaltungsblöcke CB1 und CB2 werden auf die gleiche Weise wie bei dem herkömmlichen Beispiel be­ stimmt, wie es in Tabelle 1 gezeigt ist. Der Test gemäß dieser Testmuster wird in der Reihenfolge CB1, CB2 ausgeführt. Zum Übertragen gewünschter Daten zu dem in Fig. 2 gezeigten Ab­ tastpfad und Schreiben derselben in eine vorbestimmte Abtast­ testschaltung SRL wird die serielle Wandlung der Testmuster bewirkt. Solche Testmuster sind in den Tabellen 3A und 3B ge­ zeigt.
Abtastung
Eingangsmuster (SI′)
#1
HHLLLL CB1-I/O-Verbindungsauswahldaten (SRL1-SRL4)
2 XXHH
3 XXLH
4 XXLL CB1-Eingangsmuster
5 XXHL
6 XXXX
7 LLLLHH CB2-I/O-Verbindungsauswahldaten (SRL3-SRL6)
8 XXLL
9 XXHL
10 XXLH CB2-Eingangsmuster
11 XXHH
12 XXXX
Abtastung
Eingangsmuster (SO′)
#1
XXXXXX
2 XXXX
3 HHXX
4 LLXX CB1-Ausgangsmuster
5 HHXX
6 HHXX
7 XXXXXX
8 XXXX
9 LHXX
10 HHXX CB2-Ausgangsmuster
11 HHXX
12 HLXX
Tabelle 3A zeigt Abtasttestschaltungsauswahldaten, die von dem Datenpfadeingangsanschluß SI einzugeben sind, und Testein­ gangsdaten für die Schaltungsblöcke CB1 und CB2. Die mit der Abtastung #1 und der Abtastung #7 verknüpften Eingangsmuster sind die Abtasttestschaltungsauswahldaten. Wegen der Auslegung der in Fig. 1 gezeigten Abtasttestschaltung wird in dem Aus­ gangsabschnitt der Verriegelungsschaltung L40 zum Auswählen einer Abtasttestschaltung das in der Verriegelungsschaltung L40 verriegelte Ausgangssignal invertiert; daher wird das ver­ schobene und eingegebene Signal, während es als Abtasttest­ schaltungsauswahlsignal dient, ein Nichtauswahlsignal, wenn es auf dem "H"-Pegel liegt, und es wird ein Auswahlsignal, wenn auf dem "L"-Pegel liegt.
Bei der Abtasttestschaltung SRL ist, da die Abtasttestschal­ tungsauswahldaten aufeinanderfolgend in der Reihenfolge "Anschluß SI → SO" abgetastet werden, das Muster zum Auswählen der Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL4, die mit der I/O-Seite (I1, I2, O1) des Schaltungsblockes CB1 verbunden sind "H, H, L, L, L, L". Entsprechend ist das Muster zur Auswahl der Ab­ tasttestschaltungen SRL3 bis SRL6, die mit der I/O-Seite (I1, I2, O1, 02) des Schaltungsblockes CB2 verbunden ist, "L, L, L, L, H, H".
Die Zahl der zum Setzen der Testeingangsmuster in die vorbe­ stimmte Abtasttestschaltung SRL benötigten Perioden von Ab­ tastschiebetaktsignalen ist gleich der Zahl der durch die Ab­ tasttestschaltungsauswahldaten ausgewählten Abtasttestschal­ tungen. Wenn z. B. der Schaltungsblock CB1 zu testen ist, gibt es insgesamt vier Abtasttestschaltungen: die Abtasttestschal­ tungen SRL1 und SRL2 auf der Eingangsseite des Schaltungsbloc­ kes CB1 und die Abtasttestschaltungen SRL3 und SRL4 auf der Ausgangsseite des Schaltungsblockes CB1. Somit wird ein Betrag des Abtastschiebetaktsignales benötigt, der vier Perioden ei­ ner Abtastschiebetätigkeit entspricht. Tabelle 3B zeigt die von dem Abtastpfadausgangsanschluß SO ausgegebenen Ausgangsmu­ ster. Zusätzlich bezeichnet das Zeichen X in den Tabellen 3A und 3B ein Blindmuster.
Der Testbetrieb wird im folgenden bezüglich der in den Tabel­ len 3A und 3B gezeigten Testmuster beschrieben, wobei Bezug genommen wird auf Fig. 2 und die Zeitablaufdiagramme in Fig. 4.
Auswahldateneingangsmodus für Abtasttestschaltung
Ein in Fig. 4(i) gezeigter einzelner positiver Taktpuls wird an den Takteingangsanschluß Rss′ angelegt. Dadurch wird die Testschaltungsauswahldatenverriegelung (L40 in Fig. 1) für alle Abtasttestschaltungen zurückgesetzt, und alle Abtasttest­ schaltungen nehmen den Auswahlzustand an. Das heißt, alle Ab­ tasttestschaltungen SRL werden zum Ausführen einer Abtastver­ schiebung veranlaßt durch die an die in Fig. 4(c) und (d) ge­ zeigten Anschlüsse T1 und T2 angelegten Abtasteschiebetaktsi­ gnale.
Die in Tabelle 3A gezeigten Abtasttestschaltungsauswahldaten werden von dem Einleseanschluß SI′ zu dem Abtastpfad übertra­ gen, wie in Fig. 4(a) gezeigt ist, und die gewünschten Daten werden in vorbestimmte Abtasttestschaltungen SRL eingeschrie­ ben. Zu dieser Zeit werden die übertragenen Abtasttestschal­ tungsauswahldaten in den Abtastschiebeverriegelungen (die Ver­ riegelungen L10 und L20, wie sie in Fig. 1 gezeigt sind) für die Abtasttestschaltungen SRL gehalten. Als Reaktion auf den Betrag eines Abtasttaktsignales, das der Zahl von vorbestimm­ ten Abtasttestschaltungen entspricht, werden gewünschte Ab­ tasttestschaltungsauswahldaten in den vorbestimmten Abtast­ testschaltungen SRL verriegelt, woraufhin ein einzelner, in Fig. 4(h) gezeigter positiver Taktpuls an den Takteingangsan­ schluß Tss′ angelegt wird. Dadurch werden die in der Abtast­ schiebeverriegelung L10 gehaltenen Auswahldaten invertiert und zu der Abtasttestschaltungsauswahldatenverriegelung L40 über­ tragen und darin gehalten. Die Abtasttestschaltung SRL wird zusammen mit der Abtasttestschaltungsauswahldatenverriegelung L40, die das "L"-Pegelsignal (Nichtauswahlsignal) hält, eine einfache Datendurchgangsschaltung. Nur die Abtasttestschaltung SRL, bei der die Abtasttestschaltungsauswahldatenverriegelung das "H"-Pegelsignal (Auswahlsignal) hält, wirkt als normale Abtasttestschaltung SRL, die die Abtastschiebetätigkeit als Reaktion auf die in Fig. 4(c) und (d) gezeigten Abtastschie­ betaktsignale ausführt.
Abtastschiebebetriebsmodus
Das in Fig. 4(g) gezeigte Datentaktsignal auf dem "L"-Pegel wird an den Datentakteingangsanschluß TD gelegt, wodurch der Abtastmodus bewirkt wird. Wenn nichtüberlappende in Fig. 4(c) und (d) gezeigte positive Taktsignale von dem ersten und zwei­ ten Abtasttaktanschluß T1 und T2 eingegeben werden, werden Da­ ten aufeinanderfolgend synchron damit von dem Einleseanschluß SI′ zu den Abtasttestschaltungen SRL abgetastet bzw. eingele­ sen. Gleichzeitig damit werden die in den Testschaltungs­ blöcken CB1 und CB2 in den vorbestimmten Abtasttestschaltungen SRL gehaltene Daten des vorgehenden Testes aufeinanderfolgend von dem Ausleseanschluß SO′ ausgelesen.
Testmodus
Die Tätigkeit in dem Testmode ist die gleiche wie bei dem zu­ vor beschriebenen herkömmlichen Beispiel, daher wird die Be­ schreibung ausgelassen.
Wenn der obige Betrieb durchgeführt wird, werden die Schal­ tungsblöcke CB1 und CB2 getestet. Grundsätzlich ist der Funk­ tionstest des Chips vollendet, indem ein Test für jeden der auf dem Chip vorhandenen Schaltungsblöcke CB1 und CB2 durchge­ führt wird.
Zusätzlich können zu der Zeit des Testdatenabtastverschiebens die Abtasttestschaltungen SRL, die nicht die Abtastschaltungen SRL sind, die mit den Eingangs/Ausgangsanschlüssen des zu testenden Schaltungsblockes verbunden sind, veranlaßt werden, einfach als Datendurchgangsschaltungen zu wirken. Wenn jedoch die Zahl der seriell verbundenen Abtasttestschaltungen SRL, die in den Datendurchgangszustand versetzt sind, erhöht wird, erhöht sich die Verzögerungszeit, wodurch es schwierig wird, die Daten synchron mit dem Schiebetakt zu verschieben.
Zum Vermeiden dieses Problemes ist die Zahl der aufeinander­ folgend in den Datendurchgangszustand versetzten Abtasttest­ schaltungen begrenzt, und wenn dieser Grenzwert überschritten wird, werden Blindabtasttestschaltungen SRL zum Bewirken einer stabilisierten Abtastschiebetätigkeit synchron mit den an die Abtasttaktanschlüsse T1 und T2 abgegebenen Abtasttaktsignale ausgewählt.
Die oben erwähnte Blindtasttestschaltung wird jetzt unter Be­ zugnahme auf Fig. 5 beschrieben. Wie in Fig. 5 gezeigt ist, enthält der Chip Schaltungsblöcke CB1 und CB2, wobei der Schaltungsblock CB1 einen 1-Bit-Eingang und (m + 1)-Bitausgang aufweist. Der Schaltungblock CB2 weist einen m-Biteingang und n-Bitausgang auf. Die Puffer auf den Eingangsseiten der Schal­ tungsblöcke CB1 und CB2 und die Ausgangspuffer der Chipabta­ stung sind mit Testschaltungen SRL verbunden, die der Zahl der Eingänge und Ausgänge entsprechen. Die Abtasttestschaltungen SRL sind in Reihe verbunden, und mit Hilfe eines Abtastschie­ betaktsignales bilden sie einen sich von dem Einleseanschluß SI′ zu dem Ausleseanschluß SO′ erstreckenden einzelnen Daten­ pfad. Die Abtasttestschaltungen SRL (1) bis SRL (l) sind mit der Eingangsseite des Schaltungsblockes CB1 in der Reihenfolge verbunden, in der sie mit dem Einleseanschluß SI′ verbunden sind. Die gleichen Abtasttestschaltungen SRL (l + 1) bis SRL (l + m) sind mit der Eingangsseite des Schaltungsblockes CB2 verbunden, und die Abtasttestschaltungen SRL (l + m + 1) bis (l + m + n + 1) sind mit der Ausgangsseite des Chips verbun­ den.
Zusätzlich sind die Eingänge DI (1) ... DI (1) des Chips mit dem Eingangsanschluß des Schaltungsblockes CB1 verbunden, und die Ausgänge der Abtasttestschaltungen SRL (l + m + 1) ... SRL (l + m + n + 1) sind mit den Ausgangsanschlüssen DO (1) ... DO (n + 1) verbunden.
Im folgenden wird die Beschreibung des Abtastschiebebetriebes gegeben, bei dem die Verzögerung aufgrund der Tatsache, daß die Abtasttestschaltung als Datendurchgangsschaltung wirkt, ein Problem wird. Zum Testen der Schaltungsblöcke CB1 und CB2 werden Testdaten in den Abtasttestschaltungen SRL auf der Ein­ gangsseite der zu testenden Schaltungsblöcke verriegelt und die Schaltungsblöcke zu gewünschten Zeitpunkten übergeben. Ihre Ausgänge werden in den Abtasttestschaltungen SRL auf der Ausgangsseite der Schaltungsblöcke verriegelt und dann durch die Abtast- bzw. Scan-Tätigkeit seriell synchron mit dem Ab­ tastschiebesignal ausgegeben, das von dem seriellen Ausgangs­ anschluß SO′ an die Abtasttaktanschlüsse T1 und T2 eingegeben wird.
Bei dem Abtastbetrieb des Schaltungsblockes CB1 sind die für den Abtastbetrieb benutzten Abtasttestschaltungen SRL die Ab­ tasttestschaltungen SRL (l + 1) ... SRL (l + m) und SRL (l + m + n + 1). Diese Abtasttestschaltungen werden während des Aus­ wahldateneingangsmodus für die Abtasttestschaltung ausgewählt.
Die Abtasttätigkeit dieser Ausführungsform wird jetzt unter Bezugnahme auf die Fig. 6 bis 8 beschrieben. Die Abtasttest­ schaltungen SRL (1) ... SRL (l + m) sind dauernd in Reihe ver­ bunden, und Abtasttestschaltungen SRL (l + m + 1) ... SRL (l + m + n), die als einfache Datendurchgangsschaltungen für n Bits dienen, sind zwischen den Abtasttestschaltungen SRL (l + m) und den SRL (l + m + n + 1) gefügt. Das Vorhandensein dieser als Datendurchgangsschaltung dienenden Abtasttestschaltungen erzeugt eine Übertragungsverzögerungszeit tdabwischen Fig. (c) und (d). Wegen dieser Übertragungsverzögerung geht die durch das Abtasttaktsignal vorgesehene Synchronisation um einen Betrag verloren, der einer Periode entspricht, was sich dahingehend auswirkt, daß eine Ausgabe, die um eine Periode verschoben ist, von dem seriellen Ausgangsanschluß SO ausgege­ ben wird.
Wenn geeignete Blindabtasttestschaltungen SRL aus den Abtast­ testschaltungen SRL (l + m + 1) ... SRL (l + m + n) ausgewählt werden, die als Datendurchgangsschaltungen benutzt werden, und wenn die Daten durch die durch das Abtasttaktsignal vorgese­ hene Synchronisation verschoben werden, dann kann, wie in Fig. 7 gezeigt ist, die Verzögerungszeit in eine Verzögerung zwi­ schen der Abtasttestschaltung SRL (l + m + 1) und der Blindab­ tasttestschaltung SRL und in eine Verzögerungszeit zwischen der Blindabtasttestschaltung SRL und SRL (l + m + n + 1) un­ terteilt werden. Somit kann ein stabilisierter Betrieb für die Taktsignalsynchronisation erzielt werden. Zusätzlich sind in der obigen Ausführungsform Blindabtasttestschaltungen aus den als Datendurchgangsschaltungen wirkenden Abtasttestschaltungen ausgewählt, und eine Abtastverschiebetätigkeit wurde benutzt, wodurch ein stabilisierter Betrieb erzielt wurde, der in Syn­ chronisation mit zwei Abtasttaktsignalen abläuft. Wie jedoch in Fig. 8 gezeigt ist, kann die Periode des an den Anschlüssen T1 und T2 einzugebenden Abtasttaktsignal so verlängert werden, daß, selbst wenn eine Verzögerungszeit aufgrund der Daten­ durchgangsschaltungen besteht, eine ausreichend stabilisierte Synchronisation erzielt werden kann. Weiterhin können Daten­ durchgangsschaltungen benutzt werden, um klarzustellen, wie­ vielen Perioden die Verzögerung entspricht, und eine Anzahl von imaginären Blindabtasttestschaltungen dementsprechend kön­ nen zum Bewirken einer Abtastschiebetätigkeit vorgesehen sein.
Während der in Fig. 1 gezeigten Abtasttestschaltung eine asyn­ chrone Schaltung als zu testender Schaltungsblock benutzt wor­ den ist, ist ein zu testender in der in Fig. 9 gezeigten Ab­ tasttestschaltung vorgesehener Schaltungsblock auf eine syn­ chrone Schaltung begrenzt. Bei dem in Fig. 9 gezeigten Bei­ spiel sind die in Fig. 1 gezeigte Verriegelungsschaltung L30 und der Anschluß T3, an den das Taktsignal zum Eingeben von Daten die Verriegelungsschaltung 30 angelegt sind, weggelas­ sen, während das Eingangsende des Inverters 3 direkt mit dem Eingang des Inverters 5 der Verriegelungsschaltung 10 verbun­ den ist. Daher werden in dem in Fig. 9 gezeigten Beispiel die in der Verriegelungschaltung L10 gehaltenen Daten durch den Inverter 3 invertiert und von dem Datenausgangsanschluß DO ausgegeben.
Das in Fig. 10 gezeigte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel insoweit, daß das an die Anschlüsse T1, T2 und TD eingegebene Taktsignal an alle Abtasttestschaltungen SRL1 bis SRL6 eingegeben wird. Das Testverfahren ist jedoch das gleiche wie bei dem in Fig. 2 ge­ zeigten Ausführungsbeispiel.
Bei der in Fig. 11 gezeigten Abtasttestschaltung ist der in Fig. 9 gezeigte Inverter 3 weggelassen, und die in der zweiten Verriegelungsschaltung L20 gehaltenen Daten werden durch den Inverter 4 invertiert und an dem seriellen Datenausgangsan­ schluß SO und dem Datenausgangsanschluß DO ausgegeben.
Bei dem in Fig. 12 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Aus­ gangsanschluß SO der Abtasttestschaltung SRL1 mit dem Ein­ gangsanschluß 12 des Schaltungsblockes CB1 und mit dem Ein­ gangsanschluß SE der Abtasttestschaltung SRL2 verbunden, wäh­ rend der Ausgangsanschluß SO der Abtasttestschaltung SRL2 mit dem Eingangsanschluß I1 des Schaltungsblockes CB1 und dem Ein­ gangsanschluß SI der Abtasttestschaltung SRL3 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse SO der anderen Abtasttestschaltungen SRL3 bis SRL6 sind entsprechend verbunden. Der Betrieb ist der gleiche wie der in Fig. 2.
Das in Fig. 13 gezeigte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem in Fig. 12 gezeigten in den folgenden Punkten: Testda­ ten werden von dem Anschluß DO durch ein positives Taktsignal ausgegeben. Zu diesem Zwecke ist eine 3-Eingangs-NAND-Schal­ tung 24 vorgesehen. Ein Eingangsende der NAND-Schaltung 24 empfängt den Ausgang der Verriegelungsschaltung L10, ein an­ deres Eingangsende empfängt den Ausgang der Verriegelungs­ schaltung L40, und das weitere Eingangsende empfängt das posi­ tive Taktsignal von dem Anschluß TG, während der Ausgang der NAND-Schaltung 24 auf den Inverter 3 gelegt ist. Ein Testmu­ ster, das den Ausgang der Verriegelung L10 darstellt, wird zu dem Anschluß D durch den Inverter 3 nur dann ausgegeben, wenn ein positives Taktsignal von dem Anschluß TG angelegt ist und das Auswahlsignal von der Verriegelungsschaltung L40 angelegt ist.
Die in Fig. 14 gezeigte Abtasttestschaltung ist geeignet zum Ausgeben von Testdaten von dem Anschluß DO als Reaktion auf ein negatives Taktsignal. Zu diesem Zwecke sind eine 2-Ein­ gangs-OR-Schaltung 25 und eine 2-Eingangs-NAND-Schaltung 26 vorgesehen. Ein Eingangsende der OR-SChaltung 25 ist mit dem positiven Signal von dem Anschluß TG beaufschlagt, und das an­ dere Ende ist dem Ausgang der Verriegelungsschaltung L10 be­ aufschlagt. Der Ausgang der OR-Schaltung 25 ist auf ein Ein­ gangsende des NAND-Gatters 26 gelegt, dessen anderes Ein­ gangsende mit dem Auswahlsignal von der Verriegelungsschaltung L40 beaufschlagt wird. Wenn das positive Taktsignal auf den Anschluß TG der OR-Schaltung 25 gelegt ist, werden die Testda­ ten, die den Ausgang der Verriegelungsschaltung L10 darstel­ len, auf die NAND-Schaltung 26 gelegt. Wenn die NAND-Schaltung 26 mit dem Auswahlsignal von der Verriegelungsschaltung 40 be­ aufschlagt ist, gibt sie den Ausgang der OR-Schaltung 25 an den Anschluß DO ab.
Bei der in Fig. 15 gezeigten integrierten Halbleiterschal­ tungseinrichtung werden die Abtasttestschaltungen SRL1, 3, 4 und 6 mit dem positiven oder negativen Taktsignal von dem An­ schluß TG1 beaufschlagt, und die Abtasttestschaltungen SRL2 und 5 werden mit dem positiven Taktsignal von dem Anschluß TG2 beaufschlagt. Der Betrieb zum Testen in dieser integrierten Halbleiterschaltungseinrichtung ist der gleiche wie der in der oben beschriebenen Ausführungsform.
Wie soweit beschrieben worden ist, sind gemäß der obigen Aus­ führungsformen Verriegelungseinrichtungen in der Überzahl in der Abtasttestschaltung vorgesehen, bei denen die in der Ver­ riegelungseinrichtung gehaltenen Auswahldaten benutzt werden zum Verursachen, daß eine Abtasttestschaltung als Schieberegi­ ster oder als Schaltung zum "Durchgeben" der Daten dient. Da­ her kann die Schiebetätigkeit und der Betrieb zum Durchgeben der Daten wahlweise gesteuert werden. Weiterhin kann die Zahl der benutzten Datenpfade, wenn der Schaltungsblock getestet wird, wesentlich reduziert werden, wodurch sich die Testzeit verkürzt. Da weiterhin die Testdaten seriell auf den zum Über­ tragen der Testdaten angepaßten Abtastpfaden übertragen wer­ den, ist es notwendig, nur zwei zusätzliche Stifte vorzusehen. Ein erster Stift dient als Eingangs/Ausgangsstift zum Eingeben des Rücksetzsignales und ein zweiter Stift zum Eingeben des Taktsignales.

Claims (6)

1. Abtasttestschaltung zum Testen einer Schaltung durch Abta­ sten von Daten mit:
einem ersten Eingangsanschluß (DI) zum Eingeben von 1-Bit- Daten,
einem zweiten Eingangsanschluß (SI) zum Eingeben von seri­ ellen Daten,
einem ersten Ausgangsanschluß (SO, DO) zum Ausgeben von Daten,
einer ersten Verriegelungseinrichtung (L10) zum Verriegeln von an den ersten Eingangsanschluß (DI) eingegebenen Daten oder an den zweiten Eingangsanschluß (SI) eingegebenen se­ riellen Daten und
einer zweiten Verriegelungseinrichtung (L20) zum Verriegeln der in der ersten Verriegelungseinrichtung (L10) verriegel­ ten Daten,
gekennzeichnet durch eine dritte Verriegelungseinrichtung (L40) zum Verriegeln der in der Verriegelungseinrichtung verriegelten Daten, einen Rückstelleingangsanschluß (Rss) zum Eingeben eines Rückstellsignales,
einen Steuersignalanschluß (Tss) zum Eingeben eines Steuer­ signales,
ein Schaltelement (22) zum Zurücksetzen der dritten Verrie­ gelungseinrichtung (L40) als Reaktion auf das an den Rück­ setzeingangsanschluß (Rss) eingegebene Rücksetzsignal und eine Steuereinrichtung (14, 16, 18, 20), durch die als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungs­ einrichtung (L40) sich in einem ersten Logikzustand befin­ det, 1-Bit-Daten, die in an dem zweiten Eingangsanschluß (SI) angelegten seriellen Daten enthalten sind, von der zweiten Verriegelungseinrichtung (L20) ausgegeben werden, wobei die Steuereinrichtung (14, 16, 18, 20) steuert:
eine erste Tätigkeit zum Verhindern, daß an den ersten Ein­ gangsanschluß (DI) anzulegende 1-Bit-Daten in die erste Verriegelungseinrichtung (L10) eingegeben werden,
eine zweite Tätigkeit zum Verursachen, daß die an den zwei­ ten Eingangsanschluß (SI) angelegten seriellen Daten in der dritten Verriegelungseinrichtung (L40) durch die erste Ver­ riegelungseinrichtung (L10) als Reaktion auf das an den Steuersignaleingangsanschluß (Tss) angelegte Steuersignal verriegelt werden,
und eine dritte Tätigkeit zum Ermöglichen, daß die an den ersten oder zweiten Eingangsanschluß (DI, SI) eingegebenen Daten von der ersten Verriegelungseinrichtung (L10) zu der zweiten Verriegelungseinrichtung (L20) als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungseinrichtung (L40) sich in einem invertierten zweiten Logikzustand befindet, verschoben werden.
2. Abtasttestschaltung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch:
einen ersten Ausgangsanschluß (DO), von dem Daten ausgege­ ben werden, und
eine vierte Verriegelungseinrichtung (L30) zum Verriegeln von in der ersten Verriegelungseinrichtung (L10) verriegel­ ten Daten und Ausgeben dieser Daten an den ersten Ausgangs­ anschluß (DO),
wobei die Steuereinrichtung (14, 16, 18, 20) eine Einrich­ tung (18, 21) zum Verhindern, daß in der ersten Verriege­ lungseinrichtung (L10) verriegelte Daten als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungseinrich­ tung (L40) sich in dem ersten Logikzustand befindet, in die vierte Verriegelungseinrichtung (L30) eingegeben werden, und zum Ermöglichen, daß in der ersten Verriegelungsein­ richtung (L10) verriegelte Daten als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungseinrichtung (L40) sich in dem zweiten Logikzustand befindet, zu der vierten Ver­ riegelungseinrichtung (L40) verschoben werden.
3. Abtasttestschaltung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch: einen ersten Ausgangsanschluß (DO) zum direkten Ausgeben von in die erste Verriegelungseinrichtung (L10) eingegebe­ nen Daten.
4. Abtasttestschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ge­ kennzeichnet durch:
einem ersten Ausgangsanschluß (DO) zum Ausgeben von Daten und
eine Einrichtung zum Verhindern, daß durch den Steuersi­ gnaleingangsanschluß (Tss) eingegebene Daten von dem ersten Ausgangsanschluß (SO) ausgegeben werden mit Hilfe der in der ersten oder zweiten Verriegelungseinrichtung (L10, L20) verriegelten Daten als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungseinrichtung (L40) sich in dem ersten Logikzustand befindet, und zum Ermöglichen, daß durch den Steuersignaleingangsanschluß (Tss) eingegebene Daten von dem ersten Ausgangsanschluß (SO) ausgegeben werden mit Hilfe von in der ersten und zweiten Verriegelungseinrichtng (L10, L20) verriegelten Daten als Reaktion darauf, daß der Ausgang der dritten Verriegelungseinrichtung (L40) sich in dem zweiten Logikzustand befindet.
5. Verwendung der Abtasttestschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 in einer integrierten Halbleiterschaltungseinrich­ tung mit:
einer Mehrzahl von zu testenden Schaltungsblöcken (CB1, CB2),
einem seriellen Dateneingangsanschluß (SI′), an den Daten seriell eingegeben werden, und
einem seriellen Datenausgangsanschluß (SO′), von dem Daten seriell ausgegeben werden,
wobei der Eingangsanschluß (I1, I2) eines Schaltungsblockes (CB1, CB2) mit dem ersten Ausgangsanschluß (DO, SO) einer Abtast­ testschaltung verbunden ist, der Ausgangsanschluß (O1, O2) eines Schaltungsblockes (CB1, CB2) mit einem ersten Ein­ gangsanschluß (DI) einer Abtasttestschaltung verbunden ist,
und ein zweiter Eingangsanschluß (SI) einer Abtasttest­ schaltung mit dem ersten Ausgangsanschluß (SO, DO) einer anderen Abtasttestschaltung auf solche Weise verbunden ist, daß ein einziger Abtastpfad zwischen dem seriellen Dateneingangsan­ schluß (SI′) und dem seriellen Datenausgangsanschluß (SO′) gebildet ist.
6. Verwendung der Abtasttestschaltung nach einem der Ansprüche 2 bis 4 in einer integrierten Halbleiterschaltungseinrich­ tung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangsanschluß (I1, I2) eines Schaltungsblockes (CB1, CB2) mit einem zweiten Aus­ gangsanschluß (DO) der Abtasttestschaltung verbunden ist, der Ausgangsanschluß (O1, O2) eines Schaltungsblockes (CB1, CB2) mit einem ersten Eingangsanschluß (DI) einer Abtast­ testschaltung verbunden ist und ein zweiter Eingangsan­ schluß (SI) der Abtasttestschaltung mit einem ersten Aus­ gangsanschluß (SO) einer anderen Abtasttestschaltung auf solche Weise verbunden ist, daß ein einziger Abtastpfad zwischen dem seriellen Dateneingangsanschluß (SI′) und dem seriellen Datenausgangsanschluß (SO′) gebildet ist.
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