DE19608744C2

DE19608744C2 - Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahren und Drahtelektroden-Funkenerosionsvorrichtung

Info

Publication number: DE19608744C2
Application number: DE19608744A
Authority: DE
Inventors: Osamu Yasuda; Yoshiro Nakayama
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-03-06
Filing date: 1996-03-06
Publication date: 2002-07-18
Anticipated expiration: 2016-03-07
Also published as: US5744775A; KR960033626A; KR0171509B1; DE19608744A1; CH693262A5; JPH08243846A; TW274065B

Description

Die Erfindung betrifft ein Drahtelektroden- Funkenerosionsverfahren und eine Drahtelektroden- Funkenerosionsvorrichtung zum Korrigieren der Neigung einer Drahtelektrode relativ zu einer Referenzfläche eines Werkstücks.

Die US 4 931 614 offenbart eine funkenerosive Drahtschneidemaschine mit einer Einrichtung zur Ausrichtung der Drahtelektrode senkrecht zu einer Referenzfläche eines Bearbeitungstisches, auf dem ein Werkstück bei der Bearbeitung gelagert wird. Dabei wird eine Gesamtanzahl von Kontakten der Drahtelektrode mit einem oberen bzw. unteren Kontaktelement einer Sensoreinrichtung sowie das Verhältnis entsprechender Zählwerte ermittelt.

Eine im Prinzip ähnliche funkenerosive Drahtschneidemaschine ist aus der US 5 003 147 bekannt.

Die funkenerosiven Drahtschneidemaschinen nach der US 5 306 888 und nach der US 5 306 889 enthalten jeweils eine Vorrichtung zur Vermeidung von Bruch der Drahtelektrode durch Erkennen von Anomalien bei der Funkenentladung. Hierzu weist diese Vorrichtung auch eine Einrichtung zum Erfassen einer jeweiligen Entladungsposition auf, wobei allerdings eine etwaige Neigung der Drahtelektrode relativ zum Werkstück oder Werkstücktisch weder erfasst noch korrigiert wird.

Ähnliches ist auch aus der US 4 329 558 und der US 4 652 717 bekannt. Bei der Drahtschneidevorrichtung nach der genannten US 4 652 717 wird die Entladungsposition in Teilabschnitten der Werkstückhöhe erfasst.

Eine aus der JP 58-94930 A bekannte funkenerosive Drahtschneidemaschine mit einer Einrichtung zur Korrektur einer Neigung der Drahtelektrode wird im folgenden anhand von Fig. 19 und 20 der Zeichnungen näher beschrieben.

Dabei und auch in der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen erfindungsgemäßer Verfahren und Vorrichtungen wird der Begriff "Werkstückhöhe" häufig auch durch den Ausdruck "Werkstückdicke" wiedergegeben.

In Fig. 19 ist eine Drahtelektrode mit der Bezugszahl 1 bezeichnet, ein Tisch, auf dem ein Werkstück gelagert wird, mit der Bezugszahl 2, eine obere Drahtelektrodenführung mit der Bezugszahl 3 und eine untere Drahtelektrodenführung mit der Bezugszahl 4. Motore 5 und 6 verstellen den Tisch 2 in Richtung der X-Achse bzw. Y-Achse. 7 ist ein U-Achsen- Motor, der die obere Drahtelektrodenführung 3 in die Richtung der U-Achse bewegt, 8 ist ein V-Achsen-Motor, der die obere Drahtelektrodenführung 3 in die Richtung der V- Achse bewegt, 9 ist eine Tischsteuereinrichtung, die die Bewegung des Tischs 2 in den Richtungen der X-Achse und der Y-Achse durch Ansteuern des X-Achsen-Motors 5 und des Y- Achsen-Motors 6 steuert, 10 ist eine Neigungssteuereinrichtung, die die Bewegung der oberen Drahtelektrodenführung 3 in der Richtung der U-Achse und der V-Achse durch Ansteuern des U-Achsen-Motors 7 und des V-Achsen-Motors 8 steuert, 11 ist eine Positionserfassungseinrichtung, die die Drahtelektrode 1 veranlasst, das Werkstück zu kontaktieren und die den Kontaktpunkt der Elektrode und des Werkstücks erfasst, 12 ist eine rechteckige Lehre, die die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Tisch 2 korrigiert, 13 ist eine Senkrechtstellungserfassungseinrichtung, die die Kontaktbedingungen zwischen der rechteckigen Lehre 12 und der Drahtelektrode 1 erfasst, und 25 ist eine NC-Einheit, die die Tischsteuereinrichtung 9 und die Neigungssteuereinrichtung 10 auf Grundlage von vorgegebenen Programmen oder eines manuellen Betriebs steuert.

Fig. 20a und 20b sind Diagramme, die Einzelheiten der rechteckigen Lehre 12 aus Fig. 19 zeigen. Fig. 20a ist eine Vorderansicht der rechteckigen Lehre 12 und Fig. 20b ist eine Ansicht der Unterseite der rechteckigen Lehre 12.

In Fig. 20a zeigt 30 eine obere Kontakterfassungsplatte, 31 ist eine untere Kontakterfassungsplatte und 32 ist ein Isolator, der zwischen der oberen Kontakterfassungsplatte 30 und der unteren Kontakterfassungsplatte 31 angeordnet ist, um sie voneinander zu isolieren. Kontakte der oberen Seite und der unteren Seite der Elektrode 1 werden von der oberen Kontakterfassungsplatte 30 bzw. der unteren Kontakterfassungsplatte 31 erfasst. 33 ist ein oberer Signaldraht, um an die Neigungserfassungseinrichtung 13 ein Signal zu übertragen, welches erzeugt wird, wenn die Drahtelektrode 1 mit der oberen Kontakterfassungsplatte 30 in Kontakt kommt. Eine Bezugszahl 34 ist ein unterer Signaldraht, um an die Senkrechtstellungs- Erfassungseinrichtung 13 ein Signal zu übertragen, welches erzeugt wird, wenn die Drahtelektrode 1 mit dem unteren Kontaktdetektor 31 in Kontakt kommt. 30a und 30b sind X- Achsenrichtungs-Kontaktteile, die auf der oberen Kontakterfassungsplatte 30 bzw. der unteren Kontakterfassungsplatte 31 vorgesehen sind. Bezugszahlen 31a und 31b sind X-Achsenrichtungs-Kontaktteile, die auf der oberen Kontakterfassungsplatte 30 bzw. der unteren Kontakterfassungsplatte 31 vorgesehen sind.

Der Betrieb dieser Ausführungsform wird nachstehend beschrieben.

In Fig. 19 wird die Drahtelektrode 1 durch die obere Drahtelektrodenführung 3 und die untere Drahtelektrodenführung 4 geführt. Die obere Drahtelektrodenführung 3 ist bewegbar und die untere Drahtelektrodenführung 4 ist fest. Um die Drahtelektrode 1 mit der Neigung zu versehen, wird die obere Drahtelektrodenführung 3 bewegt, indem der U-Achsen-Motor 7 in der U-Achsenrichtung oder der V-Achsen-Motor 8 in die V- Achsenrichtung bewegt wird. Die rechteckige Lehre 12 ist auf dem Tisch 2 fixiert. Der Tisch 2 wird durch Ansteuern des X-Achsen-Motors 5 in der X-Achsenrichtung oder des Y- Achsen-Motors 6 in der Y-Achsenrichtung bewegt.

Ein Betrieb zum Korrigieren der rechtwinkligen Anordnung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Tisch 2 wird nachstehend beschrieben.

Die Drahtelektrode 1 wird durch Verschieben des Tisches 2 in Richtung auf die rechteckige Lehre 12 hin bewegt. Wenn bei einem weiteren Vorschieben des Tisches die Drahtelektrode 1 nicht rechtwinklig zu dem Tisch 2 ist, berührt die Drahtelektrode 1 entweder die obere Kontakterfassungsplatte 30 oder die untere Kontakterfassungsplatte 31 der rechteckigen Lehre 12. Wenn beispielsweise die Drahtelektrode 1 die obere Kontakterfassungsplatte 30 berührt, dann wird der Tisch 2 um einen bestimmten Abstand von der rechteckigen Lehre 12 zurückbewegt, und dann wird die obere Drahtelektrodenführung 3 um ein bestimmtes Ausmaß in eine Richtung von der rechteckigen Lehre 12 weg geneigt, indem der U-Achsen-Motor 7 oder der V-Achsen-Motor 8 angesteuert wird. Die Drahtelektrode wird wieder auf die rechteckige Lehre 12 hin bewegt, indem der Tisch 2 verschoben wird. Wenn die Drahtelektrode 1 immer noch nur die obere Kontakterfassungsplatte 30 der rechteckigen Lehre 12 berührt, wird der oben erwähnte Betrieb wiederholt, bis die Drahtelektrode 1 gleichzeitig sowohl die obere Kontakterfassungsplatte 30 als auch die untere Kontakterfassungsplatte 31 der rechteckigen Lehre 12 berührt. Durch diese Prozesse wird die Drahtelektrode 1 vertikal zu dem Tisch 2.

Wenn andererseits die Drahtelektrode 1 zunächst die untere Kontakterfassungsplatte 31 der rechteckigen Lehre 12 berührt, dann wird der Tisch 2 um einen bestimmten Abstand von der rechteckigen Lehre 12 zurückbewegt. Dann wird die oberen Drahtelektrodenführung 3 zu einem Grad geneigt, so dass sie nahe zu der rechteckigen Lehre 12 kommt, indem der U-Achsen-Motor 7 oder der V-Achsen-Motor 8 angesteuert wird. Die Drahtelektrode 1 wird wieder in Richtung auf die rechteckige Lehre 12 hin bewegt, indem der Tisch 2 verschoben wird. Wenn die Drahtelektrode 1 zunächst noch die untere Kontakterfassungsplatte 31 der rechteckigen Lehre 12 berührt, dann wird der oben beschriebene Vorgang wiederholt, bis die Drahtelektrode 1 gleichzeitig sowohl die obere Kontakterfassungsplatte 30 als auch die untere Kontakterfassungsplatte 31 der rechteckigen Lehre 12 berührt. Durch diese Prozesse wird die Drahtelektrode 1 vertikal zu dem Tisch 2.

Wie voranstehend beschrieben, wird der Vorgang zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Tisch während einer Verwendung der elektrischen Entladung manuell durchgeführt. Um eine stabile Entladung zum Korrigieren der Neigung zu erreichen, ist es erforderlich, eine Entladung nicht in der Luft, sondern in einer Flüssigkeit zu erzeugen. Da es für einen Benutzer unmöglich ist, den Entladungszustand mit der in Wasser eingetauchten Elektrode visuell zu überprüfen, muß der Benutzer die Entladungsposition überprüfen, wenn die Elektrode von oberen und unteren Düsen mit Wasser besprüht wird. Der Flüssigkeitsfluss erschwert eine genaue Überprüfung der Entladungsposition und Erfahrungen werden benötigt, um die Neigung zu korrigieren.

Zusätzlich ist die Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine eine Präzisionsmaschine, die eine Submikrongenauigkeit benötigt, so dass die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück, welches auf dem Tisch fixiert ist, direkt eine Bearbeitungsgenauigkeit beeinflusst. Deshalb ist es wesentlich, die Drahtelektrode in Bezug zu dem Werkstück, welches auf dem Tisch fixiert ist, vertikal zu halten, um die gewünschte Bearbeitungsgenauigkeit zu erzielen. Bei der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine wird, wie voranstehend erwähnt, eine spezielle Lehre benötigt, um die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Tisch zu korrigieren. Allerdings besteht ein Problem mit der Lehre darin, dass die oberen und unteren Kontakterfassungsplatten davon individuell durch eine elektrolytische Korrosion abgenutzt werden, und zwar proportional zur verwendeten Frequenz, so dass eine genaue Korrektor der Neigung des Drahts relativ zu dem Tisch schwierig wird.

Ferner kann die Lehre auf dem Tisch unbeabsichtigt in einem geneigten Zustand bei der Befestigung des Werkstücks befestigt werden, so dass Zeit benötigt wird, um die Lehre richtig auf den Tisch einzustellen. Wenn die Lehre auf den Tisch selbst bei dem Bearbeitungsbetrieb fixiert ist, wird ferner die Genauigkeit davon möglicherweise durch die Bearbeitung beeinflusst. Deshalb ist es erforderlich, die Lehre auf dem Tisch nur dann zu befestigen, wenn eine Korrektur der Neigung des Drahts relativ zu dem Tisch durchgeführt wird.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit denen bei einer funkenerosiven Bearbeitung eines Werkstücks eine Neigung einer Drahtelektrode relativ zu einer Referenzfläche des Werkstücks mit hoher Genauigkeit auf vergleichsweise einfache und kostengünstige Weise automatisch korrigiert werden kann.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit dem Drahtelektroden- Funkenerosionsverfahren nach dem Patentanspruch 1 bzw. mit der Drahtelektroden-Funkenerosionsvorrichtung nach dem Patentanspruch 5 gelöst.

Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den diesen Ansprüchen jeweils nachgeordneten Unteransprüchen.

Eine derartige Drahtelektroden-Elektroerosionsvorrichung kann umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung zum Zuführen von Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs-Energiequelle zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zugeführt wird; einen Tisch, auf dem das Werkstück angebracht ist; eine Tisch-Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs-Steuereinrichtung zum Steuern einer Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; eine Entladungspositions-Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung an die Drahtelektrode geliefert wird; eine Drahtelektrodenneigungs-Bestimmungseinrichtung zum Bestimmen der Neigungsrichtung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung erfasst wird, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück relativ annähert; und eine Drahtelektrodenneigungs-Korrektureinrichtung zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Neigungsrichtung der Drahtelektrode, die durch die Drahtelektrodenneigungs- Überprüfungseinrichtung bestimmt wird.

Ein erfindungsgemäßes Verfahren kann folgende Schritte umfassen: Anlegen einer Spannung, durch eine Bearbeitungs- Energiequelle, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird; Steuern einer Bewegung, in der X-Achsenrichtung und der Y- Achsenrichtung, eines Tischs, auf dem das Werkstück angebracht werden kann; Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung geliefert wird; Bestimmen der Neigungsrichtung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, während die Drahtelektrode sich dem Werkstück annähert; und Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Neigungsrichtung der Drahtelektrode.

Ferner kann eine Drahtelektroden-Elektroerosionsvorrichung umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs- Energiequelle zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die Arbeitsflüssigkeit, die von der Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung zugeführt wird, zu erzeugen; einen Tisch, auf dem das Werkstück befestigt ist; eine Tisch- Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs-Steuereinrichtung zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; eine Entladungspositions-Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung geliefert wird; eine Einrichtung zum Messen der Entladungsposition, für eine vorgegebene Zeitperiode, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung erfasst wird, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück nähert; eine Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Abstands zwischen einem oberen Ende und einem unteren Ende der Entladungsposition als eine Entladungsbreite in der Dickenrichtung des Werkstücks; und eine Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Entladungsbreite, die von der Entladungsbreiten- Berechnungseinrichtung berechnet wird, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition, die von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung erfasst wird.

Ein Verfahren kann folgende Schritte umfassen: Anlegen einer Spannung, von einer Bearbeitungs-Energiequelle, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird; Steuern einer Bewegung, in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, eines Tischs, der das Werkstück haltern kann; Steuern einer Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; Messen der Entladungsposition für eine vorgegebene Zeitperiode, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück nähert; Berechnen eines Abstands zwischen einem oberen Ende und einem unteren Ende der Entladungsposition als eine Entladungsbreite in einer Dickenrichtung des Werkstücks; und Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Entladungsbreite, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs-Energiequelle zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zugeführt wird; einen Tisch, auf dem das Werkstück angebracht ist; eine Tisch-Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs- Steuereinrichtung zum Steuern einer Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen; eine Entladungspositions- Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung an die Drahtelektrode geliefert wird; eine Einrichtung zum Messen der Entladungsposition, für eine vorgegebene Zeitperiode, die durch die Entladungspositions-Erfassungseinrichtung erfasst wird, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück nähert; eine Zähleinrichtung zum gleichen Aufteilen einer Dicke des Werkstücks in eine Anzahl, die in einem vorgegebenen Programm spezifiziert ist, und zum Zählen einer Anzahl von Entladungen an jedem der unterteilten Teile des Werkstücks; und eine Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, die von der Zähleinrichtung gezählt werden, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition, die von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung erfasst wird.

Ein Verfahren kann folgende Schritte umfassen: Anlegen einer Spannung, durch eine Bearbeitungs-Energiequelle, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird, eine Entladung zu erzeugen; Steuern der Bewegung, in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, eines Tischs, das das Werkstück haltern kann; Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; Messen der Entladungsposition für eine vorgegebene Zeitperiode, während die Drahtelektrode sich dem Werkstück nähert; gleiches Aufteilen einer Dicke des Werkstücks in eine Anzahl, die in einem vorgegebenen Programm spezifiziert ist, und Zählen einer Anzahl von Entladungen an jedem der aufgeteilten Teile des Werkstücks; und Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung zusätzlich umfassen: Eine Entladungspositions-Speicherungseinrichtung zum Bewegen der Drahtelektrodenführung in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen, um die Drahtelektrode zu neigen, um so die Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück zu erzeugen, und zum Speichern der von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung erfassten Entladungsposition; und eine Werkstückdicken- Berechnungseinrichtung zum Berechnen einer Dicke des Werkstücks auf Grundlage der Entladungsposition, die in der Entladungspositions-Speicherungseinrichtung gespeichert ist.

Ein Verfahren kann zusätzlich folgende Schritte umfassen:
Bewegen der Drahtelektrodenführung in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen, um die Drahtelektrode zu neigen, um so die Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück zu erzeugen, und Speichern der Entladungsposition; und Berechnen der Dicke des Werkstücks auf Grundlage der Entladungsposition.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung zusätzlich umfassen: Eine Entladungspositionserfassungs-Energiequelle für eine Konturbearbeitung zum Zuführen einer Energie für einen geringeren Betrag einer Bearbeitung pro Einheitszeit im Vergleich mit der Bearbeitungs-Energiequelle.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung zusätzlich umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zur Entladungspositionserfassung, um eine Arbeitsflüssigkeit für eine Entladungspositionserfassung zwischen die Drahtelektrode und das Werkstück bei einer Erfassung der Entladungsposition durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung zuzuführen.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung zusätzlich umfassen: Eine Erfassungseinrichtung für unregelmäßige Entladungen, um eine konzentrierte Entladung als eine unregelmäßige Entladung zu erfassen, wenn die konzentrierte Entladung bei der Erfassung der Entladungsposition durch die Entladungspositions-Erfassungseinrichtung erzeugt wird; und eine Korrekturbetrags-Ausschlußeinrichtung, um die unregelmäßige Entladung von dem Korrekturbetrag, der von der Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung berechnet wird, auszuschließen, wenn die unregelmäßige Entladung von der Erfassungseinrichtung für unregelmäßige Entladungen erfasst wird.

Ein Verfahren kann zusätzlich folgende Schritte umfassen:
Erfassen einer konzentrierten Entladung als eine unregelmäßige Entladung, wenn die konzentrierte Entladung bei der Erfassung der Entladungsposition erzeugt wird; und Ausschließen der unregelmäßigen Entladung von dem Korrekturbetrag, wenn die unregelmäßige Entladung erfasst wird.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs-Energiequelle zum Anwenden einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zugeführten Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen; einen Tisch, auf dem das Werkstück angebracht ist; eine Tisch-Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs-Steuereinrichtung zum Steuern einer Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen; eine Entladungspositions- Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode durch eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; eine Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode zu jedem Werkstück einer Vielzahl von Werkstücken auf Grundlage der Entladungsposition, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung erfasst wird; eine Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Neigung der Drahtelektrode, die durch die Drahtelektrodenneigungs- Berechnungseinrichtung berechnet wird; eine Korrekturbetrags-Speicherungseinrichtung zum Speichern des Korrekturbetrags, der von der Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung berechnet wird; eine Bearbeitungs- Fortsetzungseinrichtung zum Fortsetzen einer Bearbeitung des Werkstücks durch Aufrufen einer der Korrekturbeträge, die in der Korrekturbetrags-Speicherungseinrichtung gespeichert sind, entsprechend dem zu bearbeitenden Werkstück, während ein vorgegebenes Programm ausgeführt wird.

Ein Verfahren kann folgende Schritte umfassen: Anwenden einer Spannung, von einer Bearbeitungs-Energiequelle, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird; Steuern der Bewegung, in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, eines Tischs, der das Werkstück haltern kann; Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks angeordnet sind, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; Berechnen der Neigung der Drahtelektrode zu jedem Werkstück einer Vielzahl der Werkstücke auf Grundlage der Entladungsposition; Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage der Neigung der Drahtelektrode; Speichern des Korrekturbetrags; und Fortsetzen einer Bearbeitung des Werkstücks durch Aufrufen einer der Korrekturbeträge entsprechend dem zu bearbeitenden Werkstück, während ein vorgegebenes Programm ausgeführt wird.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung zusätzlich umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs-Energiequelle zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zugeführt wird; einen Tisch, auf dem das Werkstück angebracht ist; eine Tisch-Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtung; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs-Steuereinrichtung zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; eine Entladungspositions-Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; eine Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung zum Berechnen einer Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags der Entladungspositionsverschiebungen in den X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung zu festen Zeitintervallen erfasst werden; eine Entladungsbreiten-Speicherungseinrichtung zum Speichern der Entladungsbreite, die von der Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung berechnet wird; eine Veränderungsbetrags-Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Betrags einer Veränderung der Entladungsbreite, die von der Entladungsbreiten- Berechnungseinrichtung berechnet wird; und eine Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode auf Grundlage des Verschiebebetrags der Entladungsposition in den X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung erfasst wird, bis der Betrag einer Veränderung Null wird, nachdem eine erste Entladung erzeugt wird.

Ein Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahren gemäß einem sechzehnten Aspekt der Erfindung umfasst die folgenden Schritte: Anlegen einer Spannung, von einer Bearbeitungs- Energiequelle, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird; Steuern der Bewegung eines Tischs, der das Werkstück haltern kann, in die X-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung; Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode durch eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; Berechnen einer Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags, um den sich die Entladungsposition in den X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen zu festen Zeitintervallen verschiebt; Speichern der Entladungsbreite; Berechnen eines Betrags einer Veränderung der Entladungsbreite; und Berechnen der Neigung der Drahtelektrode auf Grundlage des Verschiebebetrags der Entladungsposition in den X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen, bis der Betrag einer Veränderung Null wird, nachdem eine erste Entladung erzeugt wird.

Alternativ kann eine Drahtelektroden- Elektroerosionsvorrichtung zusätzlich umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs-Energiequelle zum Anlegen einer Spannung, um zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die Arbeitsflüssigkeit, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zugeführt wird, eine Entladung zu erzeugen; einen Tisch, auf dem das Werkstück angebracht ist; eine Tisch-Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs-Steuereinrichtung zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen; eine Entladungspositions- Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; eine Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung zum Bewegen der Drahtelektrodenführung in den U-Achsen- und V- Achsenrichtungen, während eine Bearbeitung für eine Kontur des Werkstücks durch Bewegen des Tischs in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen ausgeführt wird, und zum Berechnen des Betrags einer Veränderung der Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags der Entladungspositionsverschiebungen in den U-Achsen- und V-Achsenrichtungen, die von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung zu festen Zeitintervallen erfasst werden; und eine Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode, wenn der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite, die von der Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung berechnet wird, minimal ist.

Ein Funkenerosionsverfahren kann folgende Schritte umfassen: Anlegen einer Spannung von einer Bearbeitungs- Energiequelle zum Erzeugen einer Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird; Steuern der Bewegung eines Tischs, der das Werkstück haltern kann, in die X- Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung; Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der durch eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird; Bewegen der Drahtelektrodenführung in den U-Achsen- und V- Achsenrichtungen, während eine Bearbeitung für eine Kontur des Werkstücks durch Bewegen des Tischs in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen ausgeführt wird, und zum Berechnen des Betrags einer Veränderung der Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags, um den sich die Entladungsposition in den U-Achsen- und V-Achsenrichtungen zu festen Zeitintervallen verschiebt; und Berechnen der Neigung der Drahtelektrode, wenn der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite minimal ist.

Ein Funkenerosionsverfahren kann auch folgende Schritte umfassen: Eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück; eine Bearbeitungs- Energiequelle zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch die Arbeitsflüssigkeit, die von der Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung zugeführt wird, zu erzeugen; einen Tisch, auf dem das Werkstück angebracht ist; eine Tisch- Steuereinrichtung zum Steuern einer Bewegung des Tischs in X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden; eine Neigungs-Steuereinrichtung zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen in den U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; eine Entladungspositions-Erfassungseinrichtung zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung an die Drahtelektrode geliefert wird; und eine Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, während eine Annäherungsbearbeitung ausgeführt wird, die eine Konturbearbeitung für das Werkstück ist, wobei die Drahtelektrode eine Produktkontur erreicht.

Ein Funkenerosionsverfahren kann auch folgende Schritte umfassen: Anlegen einer Spannung, durch eine Bearbeitungs- Energiequelle, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird; Steuern der Bewegung eines Tischs, der das Werkstück haltern kann, in die X-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung; Steuern der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich oberhalb bzw. unterhalb des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung; Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grundlage eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode über eine obere Energiezuführungsleitung und eine untere Energiezuführungsleitung zugeführt wird; und Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, während eine Annäherungsbearbeitung durchgeführt wird, die eine Konturbearbeitung für das Werkstück ist, bis die Drahtelektrode eine Produktkontur erreicht.

Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand von Fig. 1 bis 18 der Zeichnungen näher beschrieben

In den Zeichnungen zeigen, meist in schematischer Darstellung:

Fig. 1 Eine Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer ersten Ausführungsform bis neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ein Flussdiagramm, das eine Prozedur zeigt, die von einer NC-Einrichtung einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird;

Fig. 3 ein Flussdiagramm, das eine Prozedur zeigt, die von einer NC-Maschine einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird;

Fig. 4 ein Erläuterungsdiagramm, das den Zusammenhang zwischen der Neigung einer Drahtelektrode relativ zu einem Werkstück und der Entladungsposition und eine Theorie zum Berechnen eines Neigungskorrekturbetrags in der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der ersten und der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 5 ein Erläuterungsdiagramm, das eine andere Theorie zum Berechnen eines Neigungskorrekturbetrags einer Drahtelektrode zu einem Werkstück in der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 6a, 6b und 6c Erläuterungsdiagramme, die ein Verfahren zum Ausschließen einer unregelmäßigen Entladung in einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 7 eine Draufsicht auf mehrere, auf einem Tisch befestigte Werkstücke in einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8 ein Flussdiagramm, das eine Prozedur zeigt, die von einer NC-Maschine der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird;

Fig. 9a und 9b Erläuterungsdiagramme, die eine Vorgehensweise zum Messen der Dicke eines Werkstücks durch eine Drahtelektrode mit einer gewissen Neigung in der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 10 ein Erläuterungsdiagramm, das zwei Energiequellen und ein Werkstück in einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 11 einen Graph, der eine Spannungswellenform und eine Stromwellenform in Fig. 10 zeigt;

Fig. 12 einen Graph, der einen Zusammenhang zwischen einem durch eine Entladung zur Senkrechtstellungsüberprüfung erzeugten Defekt oder Sprung und einer Bearbeitungsenergie in einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 13 ein Erläuterungsdiagramm, das zwei Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtungen in einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 14 einen Graph, der einen Zusammenhang zwischen einem Entladungsabstand von einer Drahtelektrode zu einem Werkstück und dem spezifischen Widerstand der Arbeitsflüssigkeit zeigt, wobei als Parameter eine Bearbeitungsenergiequelle und die Entladungspositionserfassungs-Energiequelle verwendet werden, in der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 15a, 15b und 15c Erläuterungsdiagramme, die ein Verfahren zum Korrigieren der Neigung einer Drahtelektrode zu einem Werkstück mit einer Annäherungsbearbeitung in einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 16 ein Flussdiagramm, das eine Prozedur zeigt, die von einer NC-Maschine der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird;

Fig. 17a, 17b und 17c Erläuterungsdiagramme, die ein Verfahren zum Korrigieren der Neigung einer Drahtelektrode relativ zu einem Werkstück während einer Bearbeitung des Werkstücks in einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 18 ein Flussdiagramm, das eine Prozedur zeigt, die von einer NC-Maschine der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß der neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird;

Fig. 19 eine herkömmliche Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine; und

Fig. 20 Einzelheiten des Aufbaus einer rechteckigen Lehre aus Fig. 19.

BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN

Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück eine Entladung durch eine zugeführte Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück angebracht ist, wird in die X-Achsenrichtung und die Y- Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Neigungsrichtung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition bestimmt, die zur Zeit einer Annäherung der Drahtelektrode an das Werkstück erfaßt wird. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Neigungsrichtung der Drahtelektrode korrigiert. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück direkt durch Verwenden der Drahtelektrode zu korrigieren.

Gemäß der dritten und vierten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Entladungsposition wird für eine vorgegebene Zeitperiode gemessen, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück annähert. Der Abstand zwischen dem oberen Ende und dem unteren Ende der Entladungsposition wird als eine Entladungsbreite in der Dickenrichtung des Werkstücks berechnet. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Entladungsbreite, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition berechnet. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück direkt durch Verwenden der Drahtelektrode zu korrigieren. Zusätzlich ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück schnell zu korrigieren.

Gemäß der fünften und sechsten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Elektrode und ein Werkstück zugeführt wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs in der X-Achsenrichtung und der Y- Achsenrichtung, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U- Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Entladungsposition wird für eine vorgegebene Zeitperiode gemessen, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück relativ annähert. Die Dicke des Werkstücks wird gleich in eine Anzahl aufgeteilt, die in einem vorgegebenen Programm vorgegeben ist, und eine Anzahl von Entladungsmalen wird an jedem Teil der geteilten Teile des Werkstücks gezählt. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition berechnet. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück direkt durch Verwenden der Drahtelektrode zu korrigieren. Zusätzlich ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück schnell zu korrigieren.

Gemäß der siebten und achten Aspekte der Erfindung wird zusätzlich die Entladungsposition gespeichert, die durch die Entladung erfaßt wird, die zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch Bewegen der Drahtelektrodenführung in der U-Achsen- und V-Achsenrichtung zum Neigen der Drahtelektrode erzeugt wird. Dann wird die Werkstückdicke aus der Entladungsposition berechnet. Somit wird die Werkstückdicke automatisch berechnet. Deshalb kann die Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode, die herkömmlicherweise ausgeführt wurde, nachdem die Werkstückdicke richtig gemessen wurde und sie vorgegeben wurde, in einer Reihe von Betriebsvorgängen ausgeführt werden, so daß es möglich ist, eine Genauigkeit zu verbessern. Zusätzlich kann die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 gleichzeitig mit einer Erfassung der Entladungsposition korrigiert werden, so daß es möglich ist, die Zeit zu verringern.

Gemäß dem neunten Aspekt der Erfindung ist es zusätzlich zu den ersten, dritten und fünften Aspekten ferner möglich, die Senkrechtstellung der Drahtelektrode mittels einer Entladung mit einer geringen Beschädigung der Bearbeitungsoberfläche zu überprüfen, da die Entladungspositionserfassungs- Energiequelle für eine Konturbearbeitung vorgesehen ist, um im Vergleich mit der Bearbeitungs-Energiequelle eine Energie mit einem geringeren Betrag einer Bearbeitung pro Einheitszeit zuzuführen. Zusätzlich kann eine der beiden Bearbeitungs-Energiequellen optional gewählt werden, so daß es möglich ist, sie frei zu wählen, um die Senkrechtstellung mittels einer Entladung während einer Bearbeitung einer Kontur zu überprüfen. Ferner ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück in Abhängigkeit von Bedingungen zu korrigieren.

Gemäß dem zehnten Aspekt der Erfindung ist es ferner möglich, die Entladung stabil zu machen und einen Entladungsspalt geeignet zur Zeit einer Entladungspositionserfassung zu steuern, da die Arbeitsflüssigkeit für eine Entladungspositionserfassung zwischen die Drahtelektrode und das Werkstück bei der Erfassung der Entladungsposition geliefert wird.

Gemäß der elften und zwölften Aspekte der Erfindung wird die unregelmäßige Entladung, die aufgrund der konzentrierten Entladung erfaßt wird, von dem Korrekturbetrag ausgeschlossen. Deshalb ist es möglich, die Entladungsposition mit höherer Genauigkeit zu erfassen, indem die unregelmäßige Entladung aufgrund der konzentrierten Entladung ausgeschlossen wird.

Gemäß der dreizehnten und vierzehnten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu jedem Werkstück einer Vielzahl der Werkstücke wird auf Grundlage der Entladungsposition berechnet. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Neigung der Drahtelektrode berechnet. Eine Bearbeitung des Werkstücks wird fortgesetzt, indem einer der gespeicherten Korrekturbeträge bezüglich des zu bearbeitenden Werkstücks zurückgeholt wird, während ein vorgegebenes Programm ausgeführt wird. Deshalb ist es nicht erforderlich, das Werkstück auf dem Tisch sehr genau anzubringen. Selbst wenn eine Vielzahl von Werkstücken Vorhanden sind, ist es demzufolge möglich, alle Prozesse von der Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode bis zur Konturbearbeitung zu automatisieren, indem die Werkstücke lediglich auf dem Tisch befestigt werden.

Gemäß der fünfzehnten und sechzehnten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird in die X-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Entladungsbreite wird auf Grundlage des Betrags der Entladungspositionsverschiebungen in den X-Achsen- und den Y- Achsenrichtungen, die zu festen Zeitintervallen auftreten, berechnet. Die Entladungsbreite wird gespeichert. Der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite wird berechnet. Die Neigung der Drahtelektrode wird berechnet auf Grundlage des Verschiebebetrags der Entladungsposition, in der X-Achsen- und Y-Achsenrichtung, der erfaßt wird, bis der Betrag einer Veränderung Null wird, nachdem eine erste Entladung erzeugt wird. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück automatisch ohne Vorgeben der Werkstückdicke zu korrigieren.

Gemäß der siebzehnten und achtzehnten Aspekte der Erfindung wird eine Spannung durch eine Bearbeitungs-Energiequelle angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück angebracht ist, wird in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung gesteuert wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Drahtelektrodenführung wird in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen bewegt, während eine Bearbeitung für eine Kontur des Werkstücks durch Bewegen des Tischs in die X- Achsen- und Y-Achsenrichtungen ausgeführt wird. Der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite wird auf Grundlage des Betrags der Entladungspositionsverschiebungen in den U- Achsen- und V-Achsenrichtungen zu festen Zeitintervallen berechnet. Die Neigung der Drahtelektrode, bei der der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite minimal ist, wird berechnet. Deshalb ist es möglich, die Senkrechtstellung der Drahtelektrode durch eine Entladung richtig bei der Bearbeitung eines Werkstücks ohne Vorgeben der Werkstückdicke zu überprüfen.

Gemäß der neunzehnten und zwanzigsten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird in die X-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung gesteuert wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition berechnet, während eine Annäherungsbearbeitung ausgeführt wird, die eine Gestaltsbearbeitung für das Werkstück ist, bis die Drahtelektrode eine Produktkontur erzielt. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück automatisch auszuführen, während die Annäherungsbearbeitung ausgeführt wird, ohne die Werkstückdicke vorzugeben.

Eine Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine und ein Verfahren dieser Erfindung wird nachstehend auf Grundlage von spezifischen Ausführungsformen beschrieben.

Erste Ausführungsform

Fig. 1 ist eine schematische Zeichnung des Aufbaus einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die gleichen Bezugszahlen oder Symbole sind an die gleichen Strukturen oder entsprechenden Teilen wie diejenigen des oben erwähnten Standes der Technik angefügt.

In Fig. 1 bezeichnet ein Bezugszeichen 1 eine Drahtelektrode, 14 ist ein rechteckiges Parallelflach- Werkstück, 2 ist ein Tisch, auf dem das Werkstück 14 befestigt ist. Eine Bezugszahl 3 ist eine obere Drahtelektrodenführung, 4 ist eine untere Drahtelektrodenführung, 5 ist ein X-Achsen-Motor, der den Tisch 2 in die X-Achsenrichtung bewegt, 6 ist ein Y-Achsen- Motor, der den Tisch 2 in die Y-Achsenrichtung bewegt, 7 ist ein U-Achsen-Motor, der die obere Drahtelektrodenführung in die U-Achsenrichtung bewegt, 8 ist ein V-Achsen-Motor, der die obere Drahtelektrodenführung 3 in die V-Achsenrichtung bewegt, 9 ist eine Tischsteuereinrichtung, die die Bewegung des Tischs 2 in der X-Achsen- und Y-Achsenrichtung durch Ansteuern des X-Achsen-Motors 5 und des Y-Achsen-Motors 6 steuert. Eine Bezugszahl 10 ist eine Neigungssteuereinrichtung, die die Bewegung der oberen Drahtelektrodenführung 3 in die U-Achsen- und V- Achsenrichtung durch Ansteuern des U-Achsen-Motors 7 und des V-Achsen-Motors 8 steuert. Eine Bezugszahl 11 ist eine Positionserfassungseinrichtung, die die Drahtelektrode 1 in Kontakt mit dem Werkstück bringt und den Kontaktpunkt dazwischen erfaßt. Eine Bezugszahl 15 ist eine obere Energiezuführungsbacke, die Energie von einem oberen Teil der Drahtelektrode 1 zuführt. Eine Bezugszahl 16 ist eine untere Energiezuführungsbacke, die Energie von einem unteren Teil der Drahtelektrode 1 zuführt. Eine Bezugszahl 17 ist ein oberer Energiezuführer, der die Energie an die obere Energiezuführungsbacke liefert. Eine Bezugszahl 18 ist ein unterer Energiezuführer, der die Energie an die untere Energiezuführungsbacke 16 liefert. Eine Bezugszahl 19 ist ein oberer Stromsensor, der einen Strom mißt, der in dem oberen Energiezuführer 17 fließt. Eine Bezugszahl 20 ist ein unterer Stromsensor, der einen Strom mißt, der in dem unteren Energiezuführer 18 fließt.

Eine Bezugszahl 21 ist eine Entladungspositions- Erfassungseinrichtung, die die Entladungsposition auf Grundlage des von dem oberen Stromsensor 19 und dem unteren Stromsensor 20 gemessenen Stroms erfaßt. Eine Bezugszahl 22 ist eine obere Signalleitung, die ein Erfassungssignal von dem oberen Stromsensor 19 überträgt. Eine Bezugszahl 23 ist eine untere Signalleitung, die ein Erfassungssignal von dem unteren Stromsensor 20 überträgt. Eine Bezugszahl 24 ist eine Entladungspositions-Speicherungseinrichtung, die Daten speichert, beispielsweise Entladungspositionen, die von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21 erfaßt werden. Eine Bezugszahl 25 ist eine NC-Einrichtung, 26 ist eine Bearbeitungsenergiequelle, 27 ist die Entladungspositionserfassungs-Energiequelle, 28 ist eine Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung, die die Neigung der Drahtelektrode auf Grundlage von Daten, wie beispielsweise der von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erfaßten Entladungspositionen berechnet. Eine Bezugszahl 29 ist eine Entladungsbreiten- Berechnungseinrichtung, die eine Entladungsbreite berechnet, d. h. eine Breite einer Entladungsposition oder Fläche, auf der Grundlage der Daten, wie beispielsweise von Entladungspositionen, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erfaßt werden. Eine Bezugszahl 35 ist eine Korrekturbetrags-Speicherungseinrichtung, die einen Korrekturbetrag speichert, 38 ist eine Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung, und 39 ist eine Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung zur Entladungspositionserfassung.

Als nächstes werden Prozesse für den Betrieb der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß dieser Ausführungsform auf Grundlage eines Flußdiagrammes aus Fig. 2 beschrieben. Jeder Betrieb in Fig. 2 wird automatisch auf Grundlage eines vorbestimmten Werts durch die NC-Einrichtung 25 ausgeführt.

Im Schritt S101 wird die Dicke des Werkstücks 14 der NC- Maschine 25 eingegeben. Als nächstes wird im Schritt S102 die Anzahl der zu korrigierenden Achsen der NC-Maschine 25 eingegeben. Für den Fall, daß die Neigung der Drahtelektrode nur in einer Achsenrichtung korrigiert wird, in der X-Achse (U-Achse) oder in der Y-Achse (V-Achse), wird "1" eingegeben, und für den Fall von zwei Achsenrichtungen, der X-Achse (U- Achse) und der Y-Achse (V-Achse), wird "2" eingegeben. Im Schritt S103 wird die Position zum Starten einer Korrektur eingegeben. Dabei wird vorgegeben, ob die Korrektur von der gegenwärtigen Position gestartet werden soll, oder nach Verschieben des Tischs 2 entweder in der X-Achsen- oder Y- Achsenrichtung von einer unterschiedlichen Position starten soll. Wenn die Neigung der Drahtelektrode in den zwei Achsenrichtungen korrigiert wird, wird auch die Startposition für die zweite Achse eingegeben. Diese Werte werden unter Verwendung der Koordinatenwerte oder eines Bewegungsbetrags des Tisches eingegeben. Ferner wird vorgegeben, ob der Tisch in der zweiten Achsenrichtung in dem kürzesten Abstand verschoben werden soll, oder ob der Tisch in der zweiten Achsenrichtung so verschoben werden soll, daß eine Kollision zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück 14 vermieden wird. Im Fall einer Vermeidung der Kollision wird bestimmt, ob ein Bewegungsbetrag bestimmt und der Tisch auf Grundlage davon bewegt werden soll, oder ob Koordinatenwerte eingegeben und er daran über diese Punkte bewegt werden soll, und eine derartige Spezifizierung oder Werte werden eingegeben.

Die Prozedur schreitet zum Schritt S104 fort und die Drahtelektrode 1 wird zwischen der oberen Drahtelektrodenführung 3 und der unteren Drahtelektrodenführung 4 gespannt. Dann schreitet die Prozedur zum Schritt S105 fort. Eine elektrische Entladung wird auf der Endflächenposition des Werkstücks 14 ausgeführt, und die Endflächenposition des Werkstücks 14 wird erfaßt, um die Stelle zum Anlegen einer elektrischen Entladungsspannung zum Überprüfen der Senkrechtstellung der Drahtelektrode zu bestimmen. Dann schreitet die Prozedur zum Schritt S106 fort und die Drahtelektrode wird relativ von dem im Schritt S105 erfaßten Endflächenposition des Tischs 2 um einen vorgegebenen Betrag zurückbewegt, indem der Tisch 2 verschoben wird, um so eine elektrische Entladungsspannung zum Überprüfen der Senkrechtstellung der Drahtelektrode 1 anzuwenden. Als nächstes schreitet die Prozedur zum Schritt S107 fort, eine elektrische Entladungsspannung wird angelegt und die Drahtelektrode 1 nähert sich dem Werkstück 14, welches auf dem Tisch 2 befestigt ist, von der X- Achsenrichtung an, wobei sie eine langsame Bewegung durchläuft. Wenn bei diesem Betrieb die vorgegebene Periode oder die vorgegebene Anzahl von Entladungen zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 erfaßt wird, stoppt die Drehung des X-Achsen-Motors 5 und die Annäherung der Drahtelektrode 1 an das Werkstück 14 von der X-Achsenrichtung stoppt. Dann geht die Prozedur zum Schritt S208 und es wird bestimmt, ob die Drahtelektrode 1 vertikal oder nicht vertikal zu dem Werkstück 14 in der X-Achsenrichtung ist, und zwar auf Grundlage der Entladungsposition oder Fläche, wenn die Entladung für die vorgegebene Periode erfaßt wird, oder auf Grundlage der Entladungsposition oder Fläche, wenn die Entladung durch die vorgegebene Anzahl erfaßt wird, innerhalb der Periode vor dem Zeitpunkt, zu dem die Drahtelektrode 1 eine Annäherung an das Werkstück 14 in der X-Achsenrichtung stoppt. Das heißt, wenn die erfaßte Entladungsposition oder Fläche keine Verschiebung aufweist, wird bestimmt, daß die Drahtelektrode 1 vertikal zu dem Werkstück 14 in der X- Achsenrichtung ist. Wenn im Schritt S108 bestimmt wird, daß die Drahtelektrode 1 nicht vertikal ist, geht die Prozedur zum Schritt S109. Dann wird die Richtung der Neigung, in entweder der positiven oder negativen Richtung der U-Achse oder V-Achse, auf Grundlage der Verschiebebedingung der Entladungsposition überprüft. Als nächstes geht die Prozedur zum Schritt S110 und die Neigung wird entsprechend dem Ergebnis des Schritts S109 um einen vorgegebenen Betrag korrigiert. Danach kehrt die Prozedur zum Schritt S106 zurück und die gleiche Prozedur wird wiederholt.

Wenn im Schritt S108 bestimmt wird, daß die Drahtelektrode 1 senkrecht zu dem Werkstück 14 ist, geht die Prozedur zum Schritt S111 und es wird bestimmt, ob die Achse, die korrigiert worden ist, die erste Achse ist oder nicht. Wenn im Schritt S111 bestimmt wird, daß es die erste Achse ist, geht die Prozedur zum Schritt S112. Dann wird bestimmt, ob nur eine Achse korrigiert werden soll oder nicht, d. h., ob auch die zweite Achse korrigiert werden soll oder nicht, und zwar auf Grundlage der im Schritt S102 eingegebenen Achsenanzahl. Wenn im Schritt S112 bestimmt wird, daß die zu korrigierende Achsenanzahl zwei ist, dann geht die Prozedur zum Schritt S113 und die Drahtelektrode 1 wird abgeschnitten. Dies ist ein Vorgang, um zu verhindern, daß die Drahtelektrode 1 in Wechselwirkung mit dem Werkstück 14 tritt, z. B. darauf eingefangen wird, um so eine Bewegung des Werkstücks 14 oder ein Abbrechen der Drahtelektrode 1 zu vermeiden, wenn die Drahtelektrode 1 im Schritt S114 in die Startposition zum Korrigieren der zweiten Achse, die im Schritt S103 eingegeben worden ist, verschoben wird. Dann schreitet die Prozedur zum Schritt S114 fort und der Tisch 2 wird an die Startposition zum Korrigieren der zweiten Achse, die im Schritt S103 eingegeben worden ist, verschoben, indem der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen-Motor 6 gedreht wird. Danach kehrt die Prozedur zum Schritt S104 zurück und der gleiche Prozeß wird wiederholt. Wenn im Schritt S111 bestimmt wird, daß es die zweite Achse ist, oder im Schritt S112 bestimmt wird, daß die Anzahl von zu korrigierenden Achsen Eins ist, wird das obige Programm beendet.

Als ein spezifisches Beispiel wird auf Grundlage des Flußdiagramms aus Fig. 2 der Prozeß für den Fall beschrieben, daß die Anzahl von zu korrigierenden Achsen zwei ist.

Im Schritt S101 wird die Dicke des Werkstücks 14 eingegeben. Im Schritt S102 wird "2" als die Anzahl von zu korrigierenden Achsen eingegeben. Im Schritt S103 werden der NC-Einrichtung 25 die Startpositionen zum Korrigieren der ersten Achse und der zweiten Achse und ein Weg einer Bewegung von der ersten Achse zu der zweiten Achse eingegeben. Im Schritt 104 wird die Drahtelektrode 1 gespannt. Im Schritt S105 wird der Tisch 2 in der X-Achsenrichtung bewegt, so daß sich das Werkstück 14, das auf dem Tisch 2 befestigt ist, der Drahtelektrode 1 nähert. Dann wird der Kontaktpunkt der Drahtelektrode 1 und des Werkstücks 14 durch die Positionserfassungseinrichtung 11 erfaßt. Im Schritt S106 wird das auf dem Tisch 2 befestigte Werkstück 14 um einen vorgegebenen Betrag in der X- Achsenrichtung von dem Kontaktpunkt der Drahtelektrode 1 und des Werkstücks 14 zurückbewegt. Im Schritt S107 wird eine Entladungsspannung angelegt und die Drahtelektrode 1 nähert sich relativ dem Werkstück 14, das auf dem Tisch 2 befestigt ist, während es langsam bewegt wird. Wenn im Schritt S108 die vorgegebene Zeitperiode oder die vorgegebene Anzahl von Entladungen zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 erfaßt wird, stoppt der X-Achsen-Motor 5 seine Drehung und die Drahtelektrode 1 stoppt die Annäherung an das Werkstück 14 in der X-Achsenrichtung.

Im Schritt S108 wird bestimmt, ob die Drahtelektrode 1 zu dem Werkstück 14 vertikal ist oder nicht, und zwar auf der Grundlage der Entladungsposition oder der Fläche, wenn die Entladung für die feste Zeitperiode erfaßt wird, oder auf Grundlage der Entladungsposition oder Fläche, wenn die Entladung durch die vorgegebene Anzahl von Malen erfaßt wird, innerhalb der Zeitperiode, bevor die Drahtelektrode 1 eine relative Annäherung an das Werkstück 14 in der X- Achsenrichtung durch Stoppen der Drehung des X-Achsen-Motors 5 stoppt. Wenn im Schritt S108 bestimmt wird, daß die Drahtelektrode 1 nicht vertikal ist, geht die Prozedur zum Schritt S109, um die Richtung der Neigung, entweder die positive oder negative Richtung der U-Achse oder der V-Achse, auf Grundlage der erfaßten Entladungsposition zu erfassen. Dann wird die Neigungsachse im Schritt S109 festgestellt. Im Schritt S110 wird die Neigung um den vorgegebenen Betrag in einer derartigen Richtung, die die Achse korrigiert, korrigiert. Dann kehrt der Prozeß zum Schritt S106 zurück und die Drahtelektrode 1 wird von der Position, an der sie das Werkstück 14 berührt, um einen festen Betrag, der vorher bestimmt worden ist, in der X-Achsenrichtung relativ zurückbewegt. Danach wird die Entladung im Schritt S107 erzeugt und die Korrektur wird wiederholt, bis im Schritt S108 bestimmt wird, daß die Elektrode 1 zu dem Werkstück 14 vertikal ist.

Im Schritt S108 wird bestimmt, daß die Drahtelektrode 1 vertikal zu dem Werkstück 14 ist, die Prozedur schreitet zum Schritt S111 und es wird bestimmt, ob die Achse, die korrigiert worden ist, die erste Achse ist oder nicht. Im Schritt S112 wird bestimmt, ob nur eine Achse korrigiert werden soll oder nicht. In diesem Fall ist es erforderlich, die Neigung in einer anderen Achsenrichtung zu korrigieren. Deshalb wird die Drahtelektrode 1 im Schritt S113 abgeschnitten. Im Schritt S114 wird die Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Drehen des X-Achsen-Motors 5 und des Y-Achsen-Motors 6 um einen vorgegebenen Bewegungsbetrag bewegt. In dieser Weise wird in der gleichen Prozedur wie für die erste Achsenkorrektur die Bewegungsrichtung der Drahtelektrode 1 von der X- Achsenrichtung in die Y-Achsenrichtung geändert, während die Korrekturrichtung der Neigung von der U-Achsenrichtung auf die V-Achsenrichtung geändert wird, so daß die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 korrigiert wird. Danach wird im Schritt S111 bestimmt, ob die Achse, die korrigiert worden ist, die erste Achse ist oder nicht. In diesem Fall ist die Korrektur für die zweite Achse vorgesehen, so daß dieser Prozeß beendet wird.

Nachstehend wird Fig. 4 beschrieben, die den Zusammenhang zwischen der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu einer Referenzfläche des Werkstücks 14 und der Entladungsposition oder Fläche zeigt.

In Fig. 4 bezeichnet eine Bezugszahl 1 eine Drahtelektrode, 14 ist ein Werkstück, 40 ist die Dicke des Werkstücks 14, die vorher bestimmt worden ist, 41 ist das obere Ende der Entladung und 42 ist das untere Ende der Entladung.

Nachstehend wird der Betrieb beschrieben.

Wenn sich, wie in Fig. 4 gezeigt, die Drahtelektrode 1 dem Werkstück 14, welches auf dem Tisch 2 angebracht ist, relativ annähert, findet eine Entladung zwischen dem Werkstück 14 und der Drahtelektrode 1 an der Position statt, an der der Abstand dazwischen einen bestimmten Wert annimmt. Die Drahtelektrode 1 wird weiter auf das Werkstück 14 hin bewegt, bis eine Entladung über eine vorgegebene Zeitperiode hinweg oder eine vorgegebene Anzahl von Malen erzeugt wird. Die Entladungsposition, die als ein sich vertikal erstreckender Bereich zwischen der Drahtelektrode 1 und dem am Tisch 2 befestigten Werkstück 14 definiert ist, wird für die oben vorgegebene Zeitperiode oder die Anzahl von Entladungsmalen gemessen. Die obere Position 41 und die untere Position 42 der Entladung werden erfaßt und in der Entladungspositions- Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Die Annäherung der Drahtelektrode 1 an das Werkstück 14 wird bis nach der festen Zeitperiode oder der festen Anzahl von Entladungsmalen fortgesetzt. Wenn sich die obere Position 14 und die untere Position 42 der Entladung während der Entladung verändert oder verschiebt, wird bestimmt, daß die Drahtelektrode 1 geneigt und deshalb nicht vertikal zu dem Werkstück 14 ist.

Für den entgegengesetzten Fall, daß sich die obere Position 41 und die untere Position 42 der Entladung nicht verschieben, wird bestimmt, daß die Drahtelektrode 1 vertikal zu dem Werkstück 14 ist. Wenn die Drahtelektrode 1 nicht vertikal zu dem Werkstück 14 ist, wie voranstehend erwähnt, dann wird die Neigung der Achse bestätigt und die Neigung der Elektrode 1 wird um einen bestimmten Betrag in einer solchen Richtung korrigiert, daß die Achse vertikal zu dem Werkstück 14 gemacht wird. Dann wird die gleiche Prozedur wiederholt, bis sich die obere Position 41 und die untere Position 42 der Entladung nicht verschieben. Durch diesen Prozeß wird die Drahtelektrode 1 vertikal zu dem Werkstück 14 in der X- Achsenrichtung oder der Y-Achsenrichtung. Im Fall, daß die Anzahl von zu korrigierenden Achsen zwei ist, wird die zweite Achse in der gleichen Weise korrigiert.

Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode 1 und ein Werkstück 14; eine Bearbeitungsenergiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 durch die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführten Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen; einen Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 befestigt ist; eine Tischsteuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks 14 befinden; eine Neigungssteuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; eine Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des über eine obere Energiezuführungsleitung 17 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 von der Bearbeitungsenergiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 gelieferten Stroms; eine Drahtelektroden- Neigungsbestimmungseinrichtung, gebildet durch eine NC- Einrichtung 25, zum Bestimmen der Neigungsrichtung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, die von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21 erfaßt wird, während sich die Drahtelektrode 1 dem Werkstück 14 relativ annähert; und eine Drahtelektrodenneigungs- Korrektureinrichtung, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 auf Grundlage der Neigungsrichtung der Drahtelektrode 1, die von der Drahtelektrodenneigungs- Überprüfungseinrichtung bestimmt wird. Die Erfindung umfaßt auch das Verfahren für eine Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung, mit dem die obige Vorrichtung arbeitet.

Dementsprechend wird eine Spannung durch die Bearbeitungsenergiequelle 26 angelegt, um eine Entladung durch eine zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführten Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen. Die Bewegung in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 befestigt ist, wird durch die Tischsteuereinrichtung 25 gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungssteuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich an der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden, in die U- Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des von der Bearbeitungsenergiequelle an die Drahtelektrode gelieferten Stroms erfaßt. Die Neigungsrichtung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die NC-Einrichtung 25 als die Drahtelektrodenneigungs-Bestimmungseinrichtung bestimmt, und zwar auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, die bei einer Annäherung der Drahtelektrode 1 an das Werkstück 14 erfaßt wird. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die NC-Einrichtung 25 als die Drahtelektrodenneigungs- Korrektureinrichtung korrigiert, und zwar auf Grundlage der Neigungsrichtung der Drahtelektrode.

Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 direkt durch Verwenden der Drahtelektrode 1 zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, die Zeit, die zur Anbringung des Werkstücks 14 auf dem Tisch 2 benötigt wird, und die Zeit, die für Einrichtungen wie beispielsweise eine Senkrechtstellungsüberprüfung des Werkstücks benötigt wird, drastisch zu reduzieren.

Wenn in der oben beschriebenen Ausführungsform die Drahtelektrode 1 zu dem Werkstück 14 nicht vertikal ist, wird die Drahtelektrode 1 in der X-Achsenrichtung oder Y- Achsenrichtung vertikal eingerichtet, indem die Neigungsachse festgestellt wird, die Achse um ein bestimmtes Ausmaß in einer solchen Richtung korrigiert wird, um sie vertikal zu machen, und der Prozeß wiederholt wird, bis die Positionen des oberen Endes 41 der Entladung und des unteren Endes 42 der Entladung stationär werden. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf das oben beschriebene beschränkt, sondern die folgenden Anordnungen können auch verwendet werden.

Das heißt, die Neigungsachse kann durch einen relativ großen Betrag in einer Korrektur in einer derartigen Richtung, um sie vertikal zu machen, korrigiert werden, wodurch die Achse in die entgegengesetzte Richtung geneigt wird. Dann werden die Bewegungsrichtung und der Bewegungsbetrag der Achse, um die Drahtelektrode 1 zu dem Werkstück 14 vertikal zu stellen, auf Grundlage der Änderung der Positionen des oberen Endes 41 der Entladung und des unteren Endes 42 der Entladung berechnet, wobei die Neigungsachse für das erste Mal und die Änderung der Positionen des oberen Endes 41 der Entladung und des unteren Endes 42 der Entladung nach Neigen der Achse in die entgegengesetzte Richtung festgestellt werden. Wenn die Drahtelektrode 1 selbst nach einer Bewegung der Achse nicht vertikal zu dem Werkstück 14 wird, wird die gleiche Prozedur wiederholt. Durch diesen Prozeß kann die Drahtelektrode 1 schließlich vertikal zu dem Werkstück 14 eingestellt werden.

Zweite Ausführungsform

Fig. 3 ist ein Flußdiagramm, das eine Prozedur für den Betrieb der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Der allgemeine Aufbau der Drahtelektroden- Funkenerosionsmaschine gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Gleiche wie derjenige in Fig. 1 und eine weitere ausführliche Beschreibung davon erübrigt sich und auf Fig. 1 wird Bezug genommen, soweit erforderlich. Jeder Betriebsvorgang in Fig. 3 wird auf Grundlage von vorgegebenen Werten durch die NC-Einrichtung 25 automatisch ausgeführt.

In Fig. 3 wird die Dicke des Werkstücks 14 im Schritt S201 der NC-Maschine 25 eingegeben. Als nächstes wird im Schritt S202 die Anzahl von zu korrigierenden Achsen der NC-Maschine 25 eingegeben. Für den Fall, daß die Neigung der Drahtelektrode nur in einer Achsenrichtung korrigiert wird, der X-Achse (U-Achse) oder Y-Achse (V-Achse), wird "1" eingegeben, und im Fall von zwei Achsenrichtungen, der X- Achse (U-Achse) und der Y-Achse (V-Achse), wird "2" eingegeben. Im Schritt S203 wird eine Position zum Starten einer Korrektur eingegeben. Dabei wird vorgegeben, ob die Korrektur von der gegenwärtigen Position zu starten ist oder von einer unterschiedlichen Position nach Verschieben des Tischs 2 entweder in der X-Achsen- oder der Y-Achsenrichtung zu starten ist. Wenn die Neigung der Drahtelektrode in den zwei Achsenrichtungen korrigiert wird, wird auch die Startposition für die zweite Achse eingegeben. Diese Werte werden unter Verwendung der Koordinatenwerte oder eines Bewegungsbetrags des Tisches eingegeben. Ferner wird vorgegeben, ob der Tisch in der zweiten Achsenrichtung durch den kürzesten Abstand zu verschieben ist, oder ob der Tisch in der zweiten Achsenrichtung zu verschieben ist, um so eine Kollision zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück 14 zu vermeiden. Im Fall einer Vermeidung der Kollision, wird vorgegeben, ob ein Bewegungsbetrag bestimmt und der Tisch auf Grundlage davon bewegt werden soll, oder ob Koordinatenwerte eingegeben werden und er über diese Punkte bewegt werden soll.

Die Prozedur schreitet zum Schritt S204 fort und die Drahtelektrode 1 wird zwischen der oberen Drahtelektrodenführung 3 und der unteren Drahtelektrodenführung 4 gespannt. Dann schreitet die Prozedur zum Schritt S205 fort. Eine elektrische Entladung wird an der Endflächenposition des Werkstücks 14 durchgeführt, und die Endflächenposition des Werkstücks 14 wird bestimmt, um eine Stelle zum Anlegen einer elektrischen Entladungsspannung zum Überprüfen der Senkrechtstellung der Drahtelektrode zu bestimmen. Dann schreitet die Prozedur zum Schritt S206 fort und die Drahtelektrode wird von der im Schritt S205 erfaßten Endflächenposition des Tischs 2 durch Verschieben des Tischs 2 um einen vorgegebenen Betrag zurückbewegt, um so eine elektrische Entladungsspannung zum Überprüfen der Senkrechtstellung der Drahtelektrode 1 anzulegen. Als nächstes geht die Prozedur zum Schritt S205, eine elektrische Entladungsspannung wird angelegt und die Drahtelektrode 1 nähert sich von der X-Achsenrichtung dem auf dem Tisch 2 befestigten Werkstück 14, während eine langsame Bewegung vorgenommen wird. Wenn bei diesem Betriebsvorgang eine gegebene Zeitperiode oder eine gegebene Anzahl von Entladungsmalen zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 erfaßt wird, stoppt der X-Achsen-Motor 5 seine Drehung und die Annäherung der Drahtelektrode 1 an das Werkstück 14 von der X-Achsenrichtung wird angehalten.

Die Prozedur geht zum Schritt S208 und Entladungspositionen werden in jeder Entladung während der vorgegebenen festen Zeitperiode oder der vorgegebenen festen Anzahl von Malen erfaßt. Dann wird im Schritt S209 die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 auf Grundlage der im Schritt S208 erfaßten Entladungsposition berechnet. Die Prozedur geht dann zum Schritt S210 und der Korrekturbetrag wird auf Grundlage der im Schritt S209 berechneten Neigung der Drahtelektrode 1 berechnet. Als nächstes wird im Schritt S211 die Neigung der Drahtelektrode 1 auf Grundlage des im Schritt S210 berechneten Korrekturbetrags korrigiert. Im Schritt S212 wird bestimmt, ob die Achse, die korrigiert worden ist, die erste ist oder nicht. Wenn im Schritt S212 bestimmt wird, daß die Korrektur für die erste Achse durchgeführt wird, geht die Prozedur zum Schritt S213 und es wird bestimmt, ob eine Achse korrigiert werden soll oder nicht, d. h., ob die zweite Achse auch korrigiert werden soll oder nicht, und zwar auf Grundlage der im Schritt S202 eingegebenen Achsenanzahl. Wenn im Schritt S213 bestimmt wird, daß die Anzahl von zu korrigierenden Achsen zwei ist, geht die Prozedur zum Schritt S214 und die Drahtelektrode 1 wird abgeschnitten. Dies ist ein Prozeß, um zu verhindern, daß die Drahtelektrode 1 in Wechselwirkung mit dem Werkstück 14 tritt, z. B. darauf eingefangen wird, um so eine Bewegung des Werkstücks 14 oder das Abbrechen der Drahtelektrode 1 zu vermeiden, wenn die Drahtelektrode im nächsten Schritt S215 an die Startposition zum Korrigieren der zweiten Achse, die im Schritt S203 eingegeben worden ist, verschoben wird. Dann geht die Prozedur zum Schritt S215 und der Tisch 2 wird an die Startposition zum Korrigieren der zweiten Achse, die im Schritt S203 eingegeben worden ist, verschoben, indem der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen-Motor 6 gedreht wird. Danach kehrt die Prozedur zum Schritt S204 zurück und der gleiche Prozeß wird wiederholt. Wenn im Schritt S212 bestimmt wird, daß es die zweite Achse ist, oder im Schritt S213 bestimmt wird, daß die zu korrigierende Anzahl von Achsen eine ist, wird das obige Programm beendet.

Als ein spezifisches Beispiel wird nachstehend auf Grundlage des Flußdiagramms aus Fig. 3 ein Prozeß für den Fall von zwei zu korrigierenden Achsen beschrieben.

Im Schritt S201 wird die Dicke des Werkstücks 14 eingegeben. Im Schritt S202 wird "2" als die Anzahl von zu korrigierenden Achsen eingegeben. Im Schritt S203 werden der NC-Einrichtung 25 die Startpositionen zum Korrigieren der ersten Achse und der zweiten Achse und ein Bewegungspfad von der ersten Achse zu der zweiten Achse eingegeben. Im Schritt S204 wird die Drahtelektrode gespannt. Im Schritt S205 wird der Tisch 2 in der X-Achsenrichtung bewegt, so daß sich das Werkstück 14, das auf dem Tisch 2 angebracht ist, der Drahtelektrode 1 annähert. Dann wird durch die Positionserfassungseinrichtung 11 der Kontaktpunkt der Drahtelektrode 1 und des Werkstücks 14 erfaßt. Im Schritt S206 wird das auf dem Tisch 2 angebrachte Werkstück 14</ 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002019608744 00004 99880BOL< in der X-Achsenrichtung von dem Kontaktpunkt der Drahtelektrode 1 und des Werkstücks 14 um einen vorgegebenen Betrag zurückbewegt. Im Schritt S207 wird eine Entladungsspannung angelegt und die Drahtelektrode 1 nähert sich relativ dem auf dem Tisch 2 angebrachten Werkstück 14, während eine langsame Bewegung ausgeführt wird. Wenn im Schritt S208 die vorgegebene Zeitperiode oder eine vorgegebene Anzahl von Entladungsmalen zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 erfaßt wird, stoppt der X-Achsen-Motor 5 seine Drehung und die Annäherung der Drahtelektrode 1 an das Werkstück 14 in der X-Achsenrichtung stoppt. Das heißt, Entladungspositionen werden für jede Entladung während der vorgegebenen festen Zeitperiode oder der vorgegebenen festen Anzahl von Malen innerhalb der Zeitperiode erfaßt, bis die Drahtelektrode 1 ihre Annäherung an das Werkstück 14 in der X-Achsenrichtung durch Stoppen einer Drehung des X-Achsen-Motors 5 stoppt. Als nächstes wird im Schritt S209 die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück 14 berechnet. Im Schritt S210 wird der Korrekturbetrag der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 berechnet und dann wird der Wert in der Entladungspositions- Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Im Schritt S211 wird die Neigung durch Drehen des U-Achsen-Motors 7 auf Grundlage des in der Entladungspositions-Speicherungseinrichtung 24 gespeicherten Korrekturbetrags korrigiert. Die Anzahl von Malen einer Korrektur im Schritt S211 ist auf einmal pro Achse beschränkt. Im Schritt S212 wird bestimmt, ob die Achse, die korrigiert worden ist, die erste Achse ist oder nicht. Im Schritt S213 wird bestimmt, ob nur eine Achse korrigiert werden soll oder nicht. In diesem Fall ist es erforderlich, die Neigung in einer anderen Achsenrichtung zu korrigieren. Deshalb wird die Drahtelektrode 1 im Schritt S214 abgeschnitten. Im Schritt S215 wird die Drahtelektrode 1 durch Drehen des X-Achsen-Motors 5 und des Y-Achsen-Motors 6 relativ zu dem Werkstück 14 um den vorgegebenen Bewegungsbetrag bewegt. In dieser Weise wird in der gleichen Prozedur wie für die erste Achsenkorrektur die Bewegungsrichtung der Elektrode 1 von der X-Achsenrichtung auf die Y-Achsenrichtung geändert, während die Korrekturrichtung der Neigung von der U-Achsenrichtung auf die V-Achsenrichtung geändert wird, so daß die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 korrigiert wird. Danach wird im Schritt S212 bestimmt, ob die Achse, die korrigiert worden ist, die erste Achse ist oder nicht. In diesem Fall ist die Korrektur für die zweite Achse vorgesehen, so daß dieser Prozeß beendet wird. Unter Bezugnahme auf die Fig. 4 wird eine Theorie zum Berechnen des Korrekturbetrags der Neigung der Drahtelektrode 1 zu einer Referenzoberfläche des Werkstücks 14 nachstehend beschrieben. In Fig. 4 bezeichnet 1 die Drahtelektrode, 14 ist das Werkstück, 40 ist die Dicke des Werkstücks 14, die vorher bestimmt wird, 41 ist ein oberes Ende der Entladung, 42 ist ein unteres Ende der Entladung, 43 ist eine Entladungsbreite, die zwischen dem oberen Ende 41 der Entladung und dem unteren Ende 42 der Entladung in der Richtung der Dicke 40 definiert ist, 44 ist eine Differenz eines Entladungsabstands zwischen dem oberen Ende 41 der Entladung und dem unteren Ende 42 der Entladung in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, 45 ist eine Drahtelektrodenneigung (Winkel = θ) und 49 ist ein Korrekturwert (Korrekturbetrag = δ). Nachstehend wird der Betrieb davon beschrieben. Wenn, wie in Fig. 4 gezeigt, sich die Drahtelektrode 1 dem auf dem Tisch 2 angebrachten Werkstück 14 relativ annähert, findet eine Entladung zwischen dem Werkstück 14 und der Drahtelektrode 1 an der Position statt, an der der Abstand dazwischen einen bestimmten Wert annimmt. Die Drahtelektrode 1 wird weiter auf das Werkstück 14 hin bewegt, bis eine Entladung für eine vorgegebene Zeitperiode oder eine vorgegebene Anzahl von Malen erzeugt wird. Die Entladungsposition, die als ein sich vertikal erstreckender Bereich zwischen der Drahtelektrode 1 und dem auf dem Tisch 2 angebrachten Werkstück 14 definiert ist, wird für die obige vorgegebene Zeitperiode oder die Anzahl von Entladungsmalen gemessen. Der vertikale Abstand zwischen der oberen Position 41 und der unteren Position 42 der Entladung wird als die Entladungsbreite 43 in der Entladungspositions- Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Die Annäherung der Drahtelektrode 1 an das Werkstück 24 wird bis nach der festen Zeitperiode oder der festen Anzahl von Entladungsmalen fortgesetzt. Der Bewegungsabstand, während die Entladung erzeugt wird, wird als die Differenz 44 zwischen dem Entladungsabstand an dem Entladungsstartpunkt und dem Entladungsabstand an dem Entladungsendpunkt gesetzt. Die Neigung der Drahtelektrode 1 wird durch die Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinheit 28 auf Grundlage der Differenz 44 der Entladungsabstände und der Entladungsbreite 43 berechnet. Dann wird der Korrekturwert 49 auf Grundlage der Dicke 40 des Werkstücks 14, die vorher vorgegeben wird, und der Neigung der Drahtelektrode 1 berechnet und die Korrektur wird ausgeführt. Als nächstes wird beschrieben, wie die Drahtelektrodenneigung 45 (Winkel θ) relativ zu dem Tisch 2 und der Korrekturwert 49 unter Bezugnahme auf Fig. 4 berechnet wird. Unter Verwendung der Entladungsbreite 43 und der Differenz 44 der Entladungsabstände wird der Neigungswinkel θ der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14, das auf dem Tisch 2 angebracht ist, wie folgt berechnet: tanθ = (Differenz 44 des Entladungsabstands)/(Entladungsbreite 43) Wenn der Wert von tanθ berechnet ist, ist die Werkstückdicke 40 der Zähler und der Korrekturwert 49 der Nenner, so daß der Korrekturbetrag δ wie folgt berechnet wird: δ = (Differenz des Entladungsabstands 44) × (Werkstückdicke 40)/(Entladungsbreite 43) Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform: eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen von Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode 1 und einem Werkstück 14; eine Bearbeitungs-Energiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 durch die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführten Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen; einen Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 angebracht werden kann; eine Tischsteuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks 14 angeordnet sind; eine Neigungssteuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegung einer der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des durch eine obere Energiezuführungsleitung 17 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 von der Bearbeitungs-Energiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 gelieferten Stroms; eine Meßeinrichtung, gebildet durch die NC-Einrichtung 25, zum Messen der Entladungsposition, für eine vorgegebene Zeitperiode, die durch die Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21 erfaßt wird, während die Drahtelektrode 1 sich dem Werkstück 14 annähert; eine Entladungsbreiten-Erfassungseinrichtung 29 zum Berechnen des Abstands zwischen dem oberen Ende und dem unteren Ende der Entladungsposition als eine Entladungsbreite in der Dickenrichtung des Werkstücks 14; und eine Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung, gebildet durch die NC-Einrichtung 25, zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 auf Grundlage der von der Entladungsbreiten- Berechnungseinrichtung 29 berechneten Entladungsbreite, der Dicke des Werkstücks 14 und der von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erfaßten Entladungsposition. Die Erfindung umfaßt auch das Verfahren für eine Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung, mit dem die obige Vorrichtung arbeitet. Dementsprechend wird eine Spannung durch die Bearbeitungs- Energiequelle 26 angelegt, um durch die zwischen die Drahtelektrode und das Werkstück 14 von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführte Arbeitsflüssigkeit eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung, in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 angebracht ist, wird durch die Tischsteuereinrichtung 25 gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungssteuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Führung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden, in die U-Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des von der Bearbeitungs-Energiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 gelieferten Stroms erfaßt. Die Entladungsposition wird von der NC-Einrichtung 25 als die Meßeinrichtung für eine vorgegebene Zeitperiode gemessen, während sich die Drahtelektrode 1 dem Werkstück 14 annähert. Der Abstand zwischen dem oberen Ende und dem unteren Ende der Entladungsposition wird als eine Entladungsbreite in der Dickenrichtung des Werkstücks 14 durch die Entladungsbreiten- Berechnungseinrichtung 29 berechnet. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird auf Grundlage der Entladungsbreite, der Dicke des Werkstücks 14 und der Entladungsposition in der NC- Einrichtung 25 als die Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung berechnet. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 direkt durch Verwenden der Drahtelektrode 1 zu korrigieren. Zusätzlich ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 schnell zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, die Zeit, die zum Anbringen des Werkstücks 14 auf dem Tisch 2 benötigt wird, drastisch zu reduzieren, da die verringerte Genauigkeit benötigt wird, und außerdem die Zeit, die für Einrichtungen wie beispielsweise die Senkrechtstellungsüberprüfung des Werkstücks der Drahtelektrode 1 durch eine Entladung benötigt wird. Eine andere Technik zum Berechnen des Korrekturbetrags der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben. In Fig. 5 ist eine Bezugszahl 1 die Drahtelektrode, 14 ist das Werkstück, 40 ist die Dicke des Werkstücks 14, die vorher bestimmt wird, 41 ist das obere Ende der Entladung, 42 ist das untere Ende der Entladung, 45 ist die Drahtelektrodenneigung (Winkel = θ) und 49 ist der Korrekturwert (Korrekturbetrag = δ). Eine Bezugszahl 62 ist eine Einzelunterteilungsbreite der Dicke 40 des Werkstücks 14, das in "n" gleiche Teile zur Berechnung in der NC- Einrichtung 25 unterteilt ist. Eine Bezugszahl 63 ist eine Entladungserzeugungs-Unterteilungslänge oder ein Bereich, der zwischen einem oberen Ende bis zu einem unteren Ende von unterteilten Teilen 62, an denen die Entladung auftritt, innerhalb der Unterteilungen der Dicke 40 des Werkstücks 14 definiert ist, die für die Berechnung in der NC-Einrichtung 25 in "n" gleiche Teile aufgeteilt ist. 65 ist eine Anzahl von Malen einer Entladung an dem oberen Endteil von den Unterteilungen, die von der rechten Endfläche durch einen Balkengraphen dargestellt ist, der Dicke 40 des Werkstücks 14, die für die Berechnung in der NC-Einrichtung 25 in "n" gleiche Teile aufgeteilt ist. 66 ist eine Anzahl von Malen einer Entladung an dem unteren Endteil von den Unterteilungen, die von der rechten Endfläche durch einen Balkengraphen dargestellt ist, des Entladungserzeugungsbereichs der Dicke 40 des Werkstücks 14, die für die Berechnung in der NC-Einrichtung 25 in "n" gleiche Teile unterteilt ist. Nachstehend wird der Betrieb beschrieben. Wie in Fig. 5 gezeigt, ist die Dicke 40 des Werkstücks 14 in die vorgegebene Anzahl von gleichen Intervallen in der Z- Achse, einer Richtung, die senkrecht zu der X-Achse und der Y-Achse ist, aufgeteilt. Wenn die Drahtelektrode 1 auf das Werkstück 14 hin bewegt wird, das auf dem Tisch 2 befestigt ist, tritt eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 bei einem bestimmten Abstand auf. Die Bewegung der Drahtelektrode 1 in Richtung auf das Werkstück 14 wird bis zum Ende der vorgegebenen Zeitperiode oder der vorgegebenen Anzahl von Malen einer Entladung fortgesetzt. Entladungspositionen, die zwischen der Drahtelektrode 1 und dem auf dem Tisch 2 angebrachten Werkstück 14 definiert sind, werden für die vorgegebene Zeitperiode oder vorgegebene Anzahl von Malen gemessen. Dann wird gezählt, wie oft die Entladung an jeder Unterteilung erzeugt wird, und der Wert wird in der Entladungspositions-Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Die Neigung 45 der Drahtelektrode 1 wird durch die Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinheit 28 auf Grundlage der Dicke 40 des Werkstücks 14, die vorher bestimmt wurde, der Anzahl von Unterteilungen und der Anzahl von Malen einer Entladung an jeder Unterteilung berechnet. Der Korrekturwert 49 wird aus der Dicke 40 und der Neigung 45 der Drahtelektrode 1 berechnet, um so die Neigung zu korrigieren. Unter Bezugnahme auf Fig. 5 wird beschrieben, wie die Elektrodenneigung 45 (Winkel = θ) relativ zu dem Tisch 2 und der Korrekturwert 49 (Korrekturbetrag = δ) berechnet wird. Unter Verwendung der Differenz zwischen der Anzahl von Entladungen 65 des oberen Endes, das dem obersten Teil der gleich in "n" für die Berechnung in der NC-Einrichtung 25 unterteilten Teilen entspricht, und der Anzahl von Entladungen 66 des unteren Endes, das dem untersten Teil der Entladungserzeugungsteile von den für die Berechnung in der NC-Einrichtung 25 in "n" gleich aufgeteilten Teilen entspricht, und der Dicke 40 des Werkstücks 14, die eine Länge der Teile von dem oberen Ende des Werkstücks 14 bis zu dem unteren Entladungserzeugungs-Endteil von den für die Berechnung in der NC-Einrichtung 25 in "n" gleich aufgeteilten Teilen ist, wird der Neigungswinkel θ der Drahtelektrode 1 zu dem auf dem Tisch 2 befestigten Werkstück 14 wie folgt berechnet. K in der Gleichung bezeichnet eine proportionale Konstante. tanθ = K × {(Anzahl von Entladungen 65 des oberen Endes) - (Anzahl der Entladungen 66 des unteren Endes)}/(Entladungserzeugungs-Unterteilungslänge 63) Wenn der tanθ berechnet ist, ist die Werkstückdicke 40 der Zähler und der Korrekturwert 49 ist der Nenner, so daß der Korrekturbetrag δ wie folgt berechnet wird: δ = K × {(Anzahl von Entladungen 65 am oberen Ende) - (Anzahl von Entladungen 66 am unteren Ende)} × (Dicke 40)/(Entladungserzeugungs-Unterteilungslänge 63) Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Erfindung: eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen von Arbeitsflüssigkeit zwischen einer Drahtelektrode 1 und einem Werkstück 14; eine Bearbeitungs-Energiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung zum Erzeugen einer Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 durch die Arbeitsflüssigkeit, die von der Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung 38 zugeführt wird; einen Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 befestigt werden kann; eine Tischsteuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks 14 befinden; eine Neigungssteuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des Stroms, der durch eine obere Energiezuführungsleitung 17 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 von der Bearbeitungs- Energiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 geliefert wird; eine Meßeinrichtung, gebildet durch die NC-Einrichtung 25, zum Messen der Entladungsposition, für eine vorgegebene Zeitperiode, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erfaßt wird, während die Drahtelektrode 1 sich dem Werkstück 14 nähert; eine Zähleinrichtung, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, um die Dicke des Werkstücks 14 in eine in einem vorgegebenen Programm bestimmte Anzahl gleich aufzuteilen und eine Entladungsanzahl an jedem der aufgeteilten Teile des Werkstücks 14 zu zählen; und eine Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung, gebildet durch die NC-Einrichtung 25, zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, die von der Zähleinrichtung gezählt werden, der Dicke des Werkstücks 14 und der Entladungsposition, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erfaßt wird. Ferner umfaßt die Erfindung auch ein Verfahren zur Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung, mit dem die obige Vorrichtung arbeitet. Dementsprechend wird durch die Bearbeitungs-Energiequelle 26 eine Spannung angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 geliefert wird. Die Bewegung, in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 angebracht ist, wird durch die Tischsteuereinrichtung 25 gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungssteuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Führung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden, in die U-Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird durch die Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 geführt wird. Die Entladungsposition wird von der NC-Einrichtung 25 als der Meßeinrichtung für eine vorgegebene Zeitperiode gemessen, während sich die Drahtelektrode 1 dem Werkstück 14 nähert. Die Dicke des Werkstücks 14 wird gleich in eine in einem vorgegebenen Programm vorgegebene Anzahl unterteilt und eine Anzahl von Entladungen wird an jedem der aufgeteilten Teile des Werkstücks 14 in der NC-Einrichtung 25 als die Zähleinrichtung gezählt. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, der Dicke des Werkstücks 14 und der Entladungsposition in der NC- Einrichtung als der Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung berechnet. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 direkt unter Verwendung der Drahtelektrode 1 zu korrigieren. Zusätzlich ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 schnell zu korrigieren. Infolgedessen ist es möglich, drastisch die zum Erreichen einer Genauigkeit, wenn das Werkstück 14 auf dem Tisch 2 befestigt wird, erforderliche Zeit und die für Anordnungen wie beispielsweise eines Senkrechtstellungsüberprüfungswerkstücks der Drahtelektrode 1 durch eine Entladung erforderliche Zeit zu reduzieren. Dritte Ausführungsform Die Fig. 6a, 6b und 6c sind Erklärungsdiagramme, die eine Prozedur zum Ausschließen einer unregelmäßigen oder anomalen Entladung in einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen. Der Aufbau der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine ist der gleiche wie derjenige in Fig. 1 und deshalb erübrigt sich die ausführliche Beschreibung des Aufbaus und auf Fig. 1 wird soweit erforderlich Bezug genommen. In den Fig. 6a, 6b und 6c ist 1 eine Drahtelektrode, 14 ist ein Werkstück, 40 ist die Dicke des Werkstücks 14, 41 ist ein oberes Ende einer Entladung, 42 ist ein unteres Ende einer Entladung, 46 ist ein unregelmäßiger Entladungspunkt zum Erfassen einer unregelmäßigen Entladung, 47 ist eine bestimmte Breite, 48 ist eine unregelmäßige Entladungsbreite, die eine Breite ist, wo die unregelmäßige Entladung erfaßt wird, und 75 ist eine konzentrierte Entladung. Der Betrieb dieser Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 6a, 6b und 6c beschrieben. Fig. 6a zeigt Punkte 46 mit unregelmäßiger Entladung, die sich außerhalb des Werkstücks 14 (außerhalb der Dicke 40) befinden. In den Daten der Entladungspositionen, die für die vorgegebene Zeitperiode oder vorgegebene Anzahl von Entladungen gemessen werden, sind die oberen und unteren Endpositionen des Werkstücks 14 auf Grundlage der Dicke 40 des Werkstücks 14, die vorher bestimmt wird, gespeichert. Wenn Punkte 46 mit einer unregelmäßigen Entladung über dem oberen Ende oder unter dem unteren Ende des Werkstücks 14 erfaßt werden, werden diese Punkte als unregelmäßige Werte erkannt und sie müssen von den Daten zum Berechnen des Neigungswinkel der Drahtelektrode 1 ausgeschlossen werden, wenn ihre Senkrechtstellung relativ zu dem Werkstück überprüft wird. Fig. 6b zeigt Punkte 46 mit unregelmäßiger Entladung, die sich innerhalb des Werkstücks 14 (innerhalb der Dicke 40) befinden. In den Daten der Entladungspositionen, die für die vorgegebene Zeitperiode oder vorgegebene Anzahl von Entladungsmalen gemessen werden, sind die oberen und unteren Endpositionen des Werkstücks 14 auf Grundlage der Dicke 40 des Werkstücks 14, die vorher bestimmt ist, gespeichert. Wenn ein Punkt 46 einer unregelmäßigen Entladung über dem oberen Ende oder unter dem unteren Ende des Werkstücks 14 erfaßt wird, während ein derartiger Punkt 46 sich weit von der vorgegebenen spezifizierten Breite 47 befindet, wird der Entladungspunkt 46 als ein Punkt mit unregelmäßiger Entladung erkannt und er wird von den Daten zum Berechnen des Neigungswinkels der Drahtelektrode 1 bei einer Überprüfung ihrer Senkrechtstellung zu dem Werkstück 14 ausgeschlossen. Selbst wenn Intervalle mit zwei unregelmäßigen Entladungspunkten, die kleiner als die vorgegebene Breite 47 beabstandet sind, vorhanden sind, können diese Punkte 46 als unregelmäßige Werte erkannt und von den Daten zum Berechnen des Neigungswinkels der Drahtelektrode 1 bei einer Überprüfung der Senkrechtstellung zu dem Werkstück 14 ausgeschlossen werden, wenn das Intervall oder eine Breite 48 mit unregelmäßiger Entladung von der vorgegebenen Breite 47 entfernt ist. Fig. 6c zeigt eine konzentrierte Entladung 75. Wenn Entladungen sukzessive mehr als eine vorgegebene Anzahl von Malen an der gleichen Entladungsposition auftreten, werden sie als eine unregelmäßige Entladung erkannt, und die Entladung und die Verschiebung der Achse wird dann für eine bestimmte Zeitperiode gestoppt. Dann werden die Entladung und die Verschiebung der Achse ausgeführt, bis die vorgegebene Zeitperiode oder die vorgegebene Anzahl von Entladungen aufgetreten ist. Die Entladungen, die als unregelmäßige Entladungen erkannt werden, werden von den Daten zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode 1 ausgeschlossen. Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform zusätzlich zu dem Aufbau in den voranstehend beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsformen ferner: eine Erfassungseinrichtung für unregelmäßige Entladungen, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, zum Erfassen einer konzentrierten Entladung als eine unregelmäßige Entladung, wenn die konzentrierte Entladung bei einer Erfassung der Entladungsposition durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erzeugt wird; und eine Korrekturbetrags-Ausschlußeinrichtung, gebildet durch die NC- Einrichtung 25, zum Ausschließen der unregelmäßigen Entladung aus dem Korrekturbetrag, der von der Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung, gebildet durch die NC-Einrichtung 25, berechnet wird, wenn die unregelmäßige Entladung von der Erfassungseinrichtung für unregelmäßige Entladungen erfaßt wird. Ferner umfaßt die Erfindung auch das Verfahren für eine Drahtelektroden-Funkenerosionsbearbeitung, mit dem die obige Vorrichtung arbeitet. Dementsprechend wird die unregelmäßige Entladung, die von der Erfassungseinrichtung für unregelmäßige Entladungen aufgrund der konzentrierten Entladung 75 erfaßt wird, aus dem Korrekturbetrag ausgeschlossen, der durch die NC-Einrichtung 25 als die Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung berechnet wird. Deshalb ist es möglich, durch Ausschluß der unregelmäßigen Entladung aufgrund der konzentrierten Entladung 75 die Entladungsposition mit höherer Genauigkeit zu erfassen. Vierte Ausführungsform Fig. 7 ist eine Draufsicht, die mehrere Werkstücke zeigt, die auf einem Tisch 2 einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angebracht sind. Der grundlegende Aufbau der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine ist der Gleiche wie derjenige in Fig. 1 und deshalb erübrigt sich die ausführliche Beschreibung der Einrichtungen und auf Fig. 1 wird, soweit erforderlich, Bezug genommen. In Fig. 7 sind Bezugszahlen 50, 51 und 52 Werkstücke, 53 zeigt einen Korrekturbetrag des Werkstücks 50 und 54 zeigt einen Korrekturbetrag des Werkstücks 51. Eine Bezugszahl 55 bezeichnet einen Korrekturbetrag des Werkstücks 52. Eine Bezugszahl 56 zeigt eine Entladungsstartposition zum Überprüfen der Senkrechtstellung des Werkstücks 50 mittels Entladung, 57 zeigt eine Entladungsstartposition zum Überprüfen der Senkrechtstellung zu dem Werkstück 51 mittels Entladung, 58 zeigt eine Entladungsstartposition zum Überprüfen der Senkrechtstellung zu dem Werkstück 52 mittels einer Entladung, 59 zeigt eine Bearbeitungsstartposition des Werkstücks 50, 60 zeigt eine Bearbeitungsstartposition des Werkstücks 51 und 61 zeigt eine Bearbeitungsstartposition des Werkstücks 52. Eine Vielzahl von Werkstücken 50, 51 und 52 sind auf dem Tisch 2 angebracht, und es ist erforderlich, die Senkrechtstellung für jedes Werkstück mittels einer Entladung zu überprüfen. Die Senkrechtstellung jedes Werkstücks 50, 51, 52 wird mittels Entladung überprüft und der Korrekturbetrag 53, 54, 55 wird jeweils eingestellt. Die Korrekturbeträge 53, 54 und 55 entsprechend der jeweiligen Werkstücke 50, 51 und 52 werden in der Entladungspositions-Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Wenn die Bearbeitung jedes der auf dem Tisch 2 angebrachten mehreren Werkstücke 50, 51 und 52 in dieser Reihenfolge ausgeführt wird, wird die Neigung einer Drahtelektrode 1 relativ zu jedem Werkstück 50, 51, 52 auf Grundlage der in der Entladungspositions- Speicherungseinrichtung 24 gespeicherten Korrekturbeträge korrigiert. Der Betrieb der Drahtelektroden-Entladungsmaschine gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird auf Grundlage des Flußdiagramms aus Fig. 8 beschrieben, während auf Fig. 1, Fig. 2, Fig. 3 und Fig. 7 Bezug genommen wird. Fig. 8 zeigt einen Fall, bei dem alle Werkstücke durch eine Funkenerosionsbearbeitung bearbeitet werden, nachdem die Senkrechtstellungsüberprüfung für alle Werkstücke mittels Entladung ausgeführt ist. Der gesamte Betrieb in Fig. 8 wird automatisch auf Grundlage von vorbestimmten Werten durch die NC-Einrichtung 25 ausgeführt. Die Entladungsstartpositionen zum Überprüfen der Senkrechtstellung für jedes Werkstück und die Bearbeitungsstartpositionen für jedes Werkstück werden vorher eingegeben. Wie in Fig. 7 gezeigt, sind die mehreren Werkstücke 50, 51 und 52 auf dem Tisch 2 angebracht und werden in einer ansteigenden numerischen Reihenfolge, d. h. von dem Werkstück 50 an, bearbeitet. Im Schritt S301 wird der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen- Motor 6 gedreht, so daß der Tisch 2 an die Entladungsstartposition 56 zum Überprüfen der Senkrechtstellung für das Werkstück 50 bewegt wird. Im Schritt S302 wird die Drahtelektrode 1 zwischen der oberen Drahtelektrodenführung 3 und der unteren Drahtelektrodenführung 4 gedehnt. Im Schritt S303 wird die Neigung des Elektrodendrahts 1 zu dem Werkstück 50 entsprechend dem oben beschriebenen Verfahren zum Überprüfen der Senkrechtstellung für das Werkstück 50, wie in Fig. 2 und Fig. 3 gezeigt, korrigiert. Im Schritt S304 wird der Korrekturbetrag 53, der zur Korrektur im Schritt S303 verwendet wird, in der Korrekturbetrags- Speicherungseinrichtung 35 gespeichert. Im Schritt S305 wird die Elektrode 1 abgeschnitten. Dies ist zur Vermeidung einer Änderung der Werkstückposition vorgesehen, während ein Brechen der Drahtelektrode 1 aufgrund einer wechselseitigen Störung, beispielsweise wenn die Drahtelektrode 1 von dem Werkstück 14 eingefangen wird, bei einer nächsten Verschiebung eines Werkstücks des Tischs 2 vermieden wird. Im Schritt S306 wird bestimmt, ob das Werkstück, für das eine Korrektur durchgeführt worden ist, das erste ist oder nicht. Wenn im Schritt S306 bestimmt wird, daß das Werkstück, für das eine Korrektur durchgeführt worden ist, das erste ist, geht die Prozedur zum Schritt S307 für die Korrektur des zweiten Werkstücks. Wenn das Werkstück das zweite oder das dritte ist, geht die Prozedur zum Schritt S308. Im Schritt S307 wird der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen-Motor 6 gedreht, so daß der Tisch 2 an die Entladungsstartposition 57 zum Überprüfen der Senkrechtstellung des zweiten Werkstücks 51 bewegt wird. Dann kehrt die Prozedur zum Schritt S302 zurück und die gleiche Prozedur wird wiederholt. Im Schritt S308 wird bestimmt, ob das Werkstück, für das eine Korrektur durchgeführt worden ist, das zweite ist oder nicht. Wenn im Schritt S308 entschieden wird, daß das Werkstück, für das eine Korrektur durchgeführt worden ist, das zweite ist, geht die Prozedur zum Schritt S309 für die Korrektur des dritten Werkstücks. Im Schritt S309 werden der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen-Motor 6 gedreht, so daß der Tisch 2 an die Entladungsstartposition 58 zum Überprüfen der Senkrechtstellung des dritten Werkstücks 52 bewegt wird. Dann kehrt die Prozedur zum Schritt S302 zurück und die gleiche Prozedur wird wiederholt. Wenn in der Zwischenzeit im Schritt S308 entschieden wird, daß das Werkstück, für das eine Korrektur durchgeführt worden ist, das dritte ist, dann geht die Prozedur zum Schritt S310, um die Werkstücke 50, 51 und 52 zu bearbeiten. Im Schritt S310 werden der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen-Motor 6 gedreht, so daß der Tisch 2 an die Bearbeitungsstartposition 59 für das erste Werkstück 50 bewegt wird. Im Schritt S311 wird die obere Drahtelektrodenführung 3 um den Korrekturbetrag 53 für das erste Werkstück 50, der in der Korrekturbetrags-Speicherungseinrichtung 35 gespeichert ist, in die U-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung bewegt. Im Schritt S312 wird die Drahtelektrode 1 zwischen der oberen Drahtelektrodenführung 3 und der unteren Drahtelektrodenführung 4 gedeht. Im Schritt S313 wird das Werkstück in die Gestalt bearbeitet, die in der NC-Maschine 25 vorbestimmt ist, dann geht die Prozedur zum Schritt S314, um die Drahtelektrode 1 zu schneiden. Dies ist dafür vorgesehen, eine Veränderung der Position des Werkstücks zu verhindern oder ein Brechen der Drahtelektrode 1 aufgrund einer Wechselwirkung zu vermeiden, beispielsweise wenn die Drahtelektrode 1 von dem Werkstück 14 zur Zeit der nächsten Werkstückverschiebung des Tischs 2 eingefangen wird. Im Schritt S315 wird entschieden, ob das Werkstück, welches bearbeitet worden ist, das erste ist oder nicht. Wenn im Schritt S315 entschieden wird, daß das Werkstück das erste ist, geht die Prozedur zum Schritt S316, um das zweite Werkstück zu bearbeiten. Wenn das bearbeitete Werkstück das zweite oder dritte ist, geht die Prozedur zum Schritt S318. Im Schritt S316 werden der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen- Motor 6 gedreht, so daß der Tisch 2 an die Bearbeitungsstartposition 60 für das zweite Werkstück 51 bewegt wird. Im Schritt S317 wird die obere Drahtelektrodenführung 3 um den Korrekturbetrag 54 für das zweite Werkstück 51, der in der Korrekturbetrags- Speicherungseinrichtung 35 gespeichert ist, in die U- Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung bewegt. Dann kehrt die Prozedur zum Schritt S312 zurück und die gleiche Prozedur wird wiederholt. Im Schritt S318 wird bestimmt, ob das Werkstück, welches bearbeitet worden ist, das zweite ist oder nicht. Wenn im Schritt S318 bestimmt wird, daß das Werkstück das zweite ist, geht die Prozedur zum Schritt S319, um das dritte Werkstück zu bearbeiten. Wenn im Schritt S318 bestimmt wird, daß das Werkstück das dritte ist, wird die Prozedur beendet. Im Schritt S319 werden der X-Achsen-Motor 5 und der Y-Achsen- Motor 6 gedreht, so daß der Tisch an die Bearbeitungsstartposition 61 für das dritte Werkstück 52 bewegt wird. Im Schritt S320 wird die obere Drahtelektrodenführung 3 um den Korrekturbetrag 55 für das dritte Werkstück 52, der in der Korrekturbetrags- Speicherungseinrichtung 35 gespeichert ist, in die U- Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung bewegt. Dann kehrt die Prozedur zum Schritt S312 zurück und die gleiche Prozedur wird wiederholt. Nach der Entscheidung im Schritt S318 wird die Prozedur beendet. Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine dieser Ausführungsform: eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode 1 und ein Werkstück 14; eine Bearbeitungs-Energiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 durch die Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführt wird; einen Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 angebracht werden kann; eine Tischsteuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich an der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks 14 befinden; eine Neigungssteuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des Stroms, der durch eine obere Energiezuführungsleitung 7 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 von der Bearbeitungs- Energiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 geliefert wird; eine Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung 28 zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode 1 zu jedem einer Vielzahl der Werkstücke 50, 51, 52 auf Grundlage der Entladungsposition, die von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 erfaßt wird; eine Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 50, 51, 52 auf Grundlage der Neigung der Drahtelektrode 1, die von der Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung 28 berechnet wird; eine Korrekturbetrags-Speicherungseinrichtung 35 zum Speichern des von der Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung berechneten Korrekturbetrag; und eine Bearbeitungsfortsetzungseinrichtung, gebildet durch die NC- Einrichtung 25, zum Fortsetzen einer Bearbeitung des Werkstücks 50, 51, 52 durch Aufrufen eines Korrekturbetrags der in der Korrekturbetrags-Speicherungseinrichtung 35 gespeicherten Korrekturbeträge entsprechend dem zu bearbeitenden Werkstück 50, 51, 52, während ein vorgegebenes Programm ausgeführt wird. Ferner umfaßt die Erfindung auch das Verfahren für eine Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung, mit dem die obige Vorrichtung arbeitet. Demzufolge wird durch die Bearbeitungs-Energiequelle 26 eine Spannung angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführt wird. Die Bewegung des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 angebracht ist, wird durch die Tischsteuereinrichtung 25 in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungssteuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden, in die U- Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode gelieferten Stroms erfaßt. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu jedem Werkstück einer Vielzahl der Werkstücke 50, 51, 52 wird auf Grundlage der Entladungsposition in der Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung 28 berechnet. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 50, 51, 52 wird auf Grundlage der Neigung der Drahtelektrode 1 in der NC- Einrichtung 25 als die Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung berechnet. Eine Bearbeitung des Werkstücks 50, 51, 52 wird fortgesetzt, indem ein Korrekturbetrag der gespeicherten Korrekturbeträge entsprechend dem zu bearbeitenden Werkstück 50, 51, 52 während einer Ausführung eines vorgegebenen Programms in der NC-Einrichtung 25 als die Bearbeitungsfortsetzungseinrichtung aufgerufen wird. Deshalb ist es möglich, die für Einrichtungen erforderliche Zeit drastisch zu reduzieren, einschließlich der Zeit, die zur Anbringung des Werkstücks 50, 51, 52 auf dem Tisch 2 benötigt wird. Selbst wenn mehrere Werkstücke 50, 51 und 52 vorhanden sind, kann zusätzlich leicht eine Automation aller Prozesse von der Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode bis zu einer Konturbearbeitung nach einer Anbringung der Werkstücke 50, 51 und 52 auf dem Tisch 2 realisiert werden. Infolgedessen ist es möglich, verlängerte nicht-bemannte Betriebsvorgänge zu erzielen. Fünfte Ausführungsform Die Fig. 9a und 9b sind Erklärungsdiagramme, die eine Prozedur zum Messen der Dicke eines Werkstücks durch Verwendung einer Drahtelektrode zeigen, die um einen bestimmten Betrag geneigt ist, in einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In den Fig. 9a und 9b wird eine Drahtelektrode 1 in Richtung auf ein Werkstück 14 hin in der Richtung des Pfeils von rechts nach links bewegt. Der Gesamtaufbau der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform ist der Gleiche wie derjenige in Fig. 1 und deshalb erübrigt sich eine weitere ausführliche Beschreibung davon hier und es wird auf Fig. 1, soweit erforderlich, Bezug genommen. In den Fig. 9a und 9b ist 1 eine Drahtelektrode, 3 eine obere Drahtelektrodenführung, 4 eine untere Drahtelektrodenführung, 14 ein Werkstück, 68 ein Entladepunkt, und 69 und 70 zeigen jeweils Verschiebebeträge. Unter Bezugnahme auf die Fig. 9a und 9b wird der Betrieb der obigen Maschine nachstehend beschrieben. Wie in Fig. 9a gezeigt, wird die Drahtelektrode 1 um einen vorgegebenen Betrag geneigt. Die Drahtelektrode 1 wird anfänglich auf der rechten Seite des Werkstücks 14 positioniert und in die Richtung des Pfeils verschoben. Die Bewegungsrichtung ist entweder in der X-Achsen- oder Y- Achsenrichtung beschränkt. Wenn die Drahtelektrode 1 in eine der X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen um den Bewegungsbetrag 69 bewegt wird, findet die erste Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 an dem Entladungspunkt 68 statt. Die Entladungsposition in diesem Entladungspunkt 68 wird in der Entladungspositions-Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Dann wird die Drahtelektrode 1 an die anfängliche rechtsseitige Position bewegt und um den obigen vorgegebenen Betrag zurück geneigt, um gerade nach oben ausgerichtet zu sein. Dann wird, wie in Fig. 9b gezeigt, die Drahtelektrode 1 um den gleichen vorgegebenen Betrag wie bei der ersten Neigung in die entgegengesetzte Richtung zu der ersten Neigung geneigt. Dann wird sie in der Richtung des Pfeils verschoben. Danach wird die in Fig. 9a gezeigte Prozedur wiederholt und die Entladungsposition des Entladepunkts 68 wird in der Entladungspositions-Speicherungseinrichtung 24 gespeichert. Der Abstand der beiden Entladungspunkte 68 wird durch die Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung 29 berechnet und das Berechnungsergebnis wird als die Dicke 40 des Werkstücks 14 erkannt. Da die Differenz der Verschiebebeträge 69 und 70 dem Neigungsbetrag der Drahtelektrode 1 zu dem Werkstück 14 entspricht, wird die Differenz der Verschiebebeträge 69 und 70 als der Korrekturbetrag angesehen und eine Korrektur wird auf Grundlage davon durchgeführt. Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform zusätzlich zu dem Aufbau in der oben erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform ferner: die Entladungspositions- Speicherungseinrichtung 27 zum Bewegen der oberen Drahtelektrodenführung 3 in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen zum Neigen der Drahtelektrode 1, um die Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 zu erzeugen, und zum Speichern der von der Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21 erfaßten Entladungsposition; und eine Werkstückdicken- Berechnungseinrichtung, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, zum Berechnen der Dicke des Werkstücks 14 auf Grundlage der Entladungsposition, die in der Entladungspositions- Speicherungseinrichtung 24 gespeichert ist. Ferner umfaßt die Erfindung auch das Verfahren zur Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung, mit dem die obige Vorrichtung arbeitet. Demzufolge wird die Entladungsposition, die durch die Entladung erfaßt wird, die zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 durch Bewegen der oberen Drahtelektrodenführung 3 in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen zum Neigen der Drahtelektrode 1 erzeugt wird, gespeichert. Dann wird die Werkstückdicke aus der Entladungsposition in der NC-Einrichtung 25 als der Werkstückdicken-Berechnungseinrichtung berechnet. Infolgedessen wird die Werkstückdicke automatisch berechnet. Deshalb kann die Überprüfung der Senkrechtstellung der Drahtelektrode 1, die herkömmlicherweise durchgeführt wurde, nachdem die Werkstückdicke richtig gemessen und bestimmt wird, in einer Reihe von Betriebsvorgängen ausgeführt werden, so daß eine Verbesserung der Genauigkeit möglich ist. Zusätzlich kann die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 gleichzeitig mit einer Erfassung der Entladungsposition korrigiert werden. Sechste Ausführungsform Fig. 10 ist ein Erklärungsdiagramm, das zwei Energiequellen und ein Werkstück einer Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Gesamtaufbau der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine ist der Gleiche wie derjenige in Fig. 1 und deshalb erübrigt sich hier eine weitere ausführliche Beschreibung des Aufbaus und es wird auf die Fig. 1, soweit erforderlich, Bezug genommen. In Fig. 10 bezeichnet eine Bezugszahl 1 eine Drahtelektrode, 3 ist eine obere Drahtelektrodenführung, 4 ist eine untere Drahtelektrodenführung, 14 ist ein Werkstück, 17 ist eine obere Energiezuführungsleitung, 18 ist eine untere Energiezuführungsleitung, 21 ist eine Entladungspositions- Erfassungseinrichtung, 22 ist eine obere Signalleitung, 23 ist eine untere Signalleitung, 26 ist eine Bearbeitungs- Energiequelle, 27 ist die Entladungspositionserfassungs- Energiequelle und 76 ist eine werkstückseitige Energiezuführungsleitung. Fig. 11 ist ein Graph, der eine Spannungswellenform und eine Stromwellenform bei der Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung in Fig. 10 zeigt. Vo bezeichnet eine Energiequellenspannung im isolierten Zustand, Vm ist eine durchschnittliche Bearbeitungsspannung, AUS-ZEIT bezeichnet ein Zeitintervall ohne Entladung zwischen einem Ende eines Entladungsbetriebs und einem Start einer nächsten Anlegung der Energiequellenspannung Vo, IP ist ein Spitzenstromwert, wenn die Isolation zusammenbricht und die Entladung erzeugt wird, und Im ist ein durchschnittlicher Bearbeitungsstrom. Eine Bearbeitungsenergie für die Drahtelektroden- Funkenerosionsbearbeitung bezieht sich auf einen Wert, der durch Multiplizieren der durchschnittlichen Bearbeitungsspannung Vm mit dem durchschnittlichen Bearbeitungsstrom Im erhalten wird. Um eine hohe Bearbeitungsenergie zu erzielen, die für eine Bearbeitung geeignet ist, wird die durchschnittliche Bearbeitungsspannung Vm oder der durchschnittliche Bearbeitungsstrom Im hoch gehalten. Damit die durchschnittliche Bearbeitungsspannung Vm hoch gehalten wird, ist es erforderlich, die Energiequellenspannung Vo zu erhöhen und die AUS-ZEIT zu reduzieren. Um den durchschnittlichen Bearbeitungsstrom Im hoch zu halten, ist es erforderlich, den Spitzenstrom IP zu erhöhen und die AUS-ZEIT zu reduzieren. Wenn die Senkrechtstellung der Drahtelektrode 1 zu einer Referenzoberfläche überprüft wird, ist eine geeignete Bearbeitungsenergie zum Erfassen der genauen Entladungsposition mit einer geringeren Beschädigung an der Referenzebene wie folgt: das heißt, es ist erforderlich, die Bearbeitungsenergie so gering wie möglich zu halten, um die Referenzebene nicht zu beschädigen, und es ist erforderlich, den Spitzenstrom IP so hoch wie möglich zu halten, um die genaue Entladungsposition zu erfassen. Fig. 12 ist ein Graph, der den Zusammenhang zwischen einem Entladungsspalt und der Bearbeitungsenergie bei der Überprüfung der Senkrechtstellung durch eine Entladung in der Drahtelektroden-Funkenerosionsbearbeitung in Fig. 10 zeigt. Die Bearbeitungs-Energiequelle 26 eignet sich wegen ihres großen Vorrats von Bearbeitungsenergie zur Bearbeitung von Produkten. Jedoch wird ein rißartiger Kratzer auf der bearbeiteten Oberfläche tief, wenn die Senkrechtstellung zu dem Werkstück überprüft wird. Deshalb eignet sich dies nicht zum Zweck eines Schutzes der Oberfläche gegenüber einer Beschädigung für die Senkrechtstellungsüberprüfung. Andererseits eignet sich die Entladungspositionserfassungs- Energiequelle 27 für diesen Zweck, da Risse oder Kratzer bei der Senkrechtstellungsüberprüfung durch eine Entladung wegen einer kleinen Bearbeitungsenergie eine geringe Tiefe aufweisen. Jedoch eignet sich dies nicht für eine Bearbeitung. Jede der Energiequellen 26 und 27 ist im Sinn einer Überprüfung der Senkrechtstellung oder einer Bearbeitung nicht geeignet. Jedoch ist jede Energiequelle nicht auf eine Verwendung beschränkt, sondern kann für beide Verwendungen angewendet werden, so daß jede von ihnen gewählt und verwendet werden kann. Zusätzlich zu dem Aufbau in der oben erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform kann die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine in der vorliegenden Ausführungsform wie voranstehend erwähnt eine Ausführungsform sein, die ferner umfaßt: die Entladungspositionserfassungs- Energiequelle 27, für eine Konturbearbeitung, um im Vergleich mit der Bearbeitungs-Energiequelle 26 eine Energie für einen geringeren Betrag einer Bearbeitung pro Einheitszeit zuzuführen. Da sie demzufolge die Entladungspositionserfassungs- Energiequelle 27 für eine Konturbearbeitung umfaßt, um Energie für einen geringeren Betrag einer Bearbeitung pro Einheitszeit im Vergleich mit der Bearbeitungsenergiequelle 26 zu liefern, ist es möglich, die Senkrechtstellung der Drahtelektrode 1 mittels Entladung mit einer geringen Beschädigung auf der Bearbeitungsoberfläche zu überprüfen. Zusätzlich kann eine der zwei Bearbeitungsenergiequellen 26 und 27 wahlweise gewählt werden, so daß es möglich ist, sie frei zu wählen, um die Senkrechtstellung mittels Entladung während der Bearbeitung einer Kontur zu überprüfen. Ferner ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 in Abhängigkeit von Bedingungen zu korrigieren. Siebte Ausführungsform Fig. 13 ist ein Erklärungsdiagramm, welches zwei Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtungen in einer Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Gesamtaufbau der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine ist der gleiche wie derjenige aus Fig. 1, und deshalb erübrigt sich eine ausführliche Beschreibung davon und auf Fig. 1 wird, soweit erforderlich, Bezug genommen. In Fig. 13 ist eine Bezugszahl 1 eine Drahtelektrode, 38 ist, eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung, 39 ist eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung für eine Entladungspositionserfassung, 77 ist eine Arbeitsflüssigkeitsdüse und 78 ist ein Zuführungsrohr, welches Arbeitsflüssigkeit bereitstellt. Fig. 14 ist ein Graph, der den Zusammenhang zwischen dem Entladungsspalt und dem spezifischen Widerstand der Arbeitsflüssigkeit zeigt, wobei der Entladungsspalt den Abstand darstellt, in dem die Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 erzeugt wird, während die Bearbeitungs-Energiequelle 26 und die Entladungspositionserfassungs-Energiequelle 27 als Parameter verwendet werden. Wie man aus dem Graph erkennt, wird in beiden Energiequellen 26 und 27 der Entladungsspalt kleiner, wenn der spezifische Widerstand groß wird. Beim Umschalten der Energiequelle von der Bearbeitungs-Energiequelle 26 für eine Drahtelektroden-Elektroerosionsbearbeitung auf die Entladungspositionserfassungs-Energiequelle 27 zum Überprüfen der Senkrechtstellung des Werkstücks wird der Entladespalt kleiner. Wenn man die Bearbeitungs-Energiequelle 26 mit der Entladungspositionserfassungs-Energiequelle 27 vergleicht, ist der Entladespalt im Fall einer Verwendung der Entladungspositionserfassungs-Energiequelle 27 kleiner als bei Verwendung der Bearbeitungs-Energiequelle 26. Die Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 und die Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung für eine Entladungspositionserfassung sind unabhängig vorgesehen. Der spezifische Widerstand der Arbeitsflüssigkeit in jeder der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtungen 38 und 39 kann jeweils frei gesteuert werden. Gewöhnlicherweise enthält die Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 39 für eine Entladungspositionserfassung darin eine Arbeitsflüssigkeit eines höheren spezifischen Widerstands als die Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38. Je größer der spezifische Widerstand der Arbeitsflüssigkeit ist, desto kleiner wird der Entladungsspalt, so daß eine Formtransfergenauigkeit zunimmt und die Genauigkeit der Produkte besser wird. Allerdings ist es kostenaufwendig, einen hohen spezifischen Widerstand zu halten. Je niedriger der spezifische Widerstand der Arbeitsflüssigkeit andererseits ist, desto größer wird der Entladungsabstand, so daß die Formtransfergenauigkeit abnimmt und die Genauigkeit der Produkte sich verschlechtert. Allerdings sind die Wartungskosten billig, da es nicht erforderlich ist, den spezifischen Widerstand hoch zu halten. Die Bearbeitungsgenauigkeit und die Kosten sind im Fall der Arbeitsflüssigkeit mit einem hohen spezifischen Widerstand und der Arbeitsflüssigkeit mit einem niedrigen spezifischen Widerstand umgekehrt proportional. Jedoch ist es möglich, den geeigneten entsprechend der Situation auszuwählen und zu verwenden, so daß die Entladungspositionserfassung und Bearbeitung entsprechend der Situation in der besten Bedingung ausgeführt wird. Eine NC-Einrichtung 25 steuert den Schaltbetrieb der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 und der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 39 für eine Entladungspositionserfassung. Hierbei ist es möglich, nur eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung bereitzustellen und sie zu verwenden, während der spezifische Widerstand nur im Fall einer Überprüfung der Senkrechtstellung zu dem Werkstück hoch gehalten wird. Wie voranstehend erwähnt kann die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform zusätzlich zu dem Aufbau in der oben erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform ferner umfassen: eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 39 für eine Entladungspositionserfassung zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit für eine Entladungspositionserfassung zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 bei einer Erfassung der Entladungsposition durch die Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21. Da demzufolge die Arbeitsflüssigkeit für eine Entladungspositionserfassung zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 bei der Erfassung der Entladungsposition geliefert wird, ist es möglich, eine Entladung stabil einzustellen und einen Entladungsspalt in geeigneter Weise bei einer Entladungspositionserfassungszeit zu steuern. Ferner ist es möglich, eine Senkrechtstellungsüberprüfung mittels einer Entladung mit hoher Genauigkeit auszuführen. Achte Ausführungsform Die Fig. 15a und 15b sind Erklärungsdiagramme, die einen Weg eines Korrigierens einer Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück unter Verwendung einer Annäherungsbearbeitung in der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Eine Annäherungsbearbeitung bedeutet eine vorübergehende Bearbeitung von dem Bearbeitungsstartpunkt an eine Position, die eine Kontur oder ein Umriß eines fertiggestellten Produkts sein soll. Der Gesamtaufbau der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine ist der Gleiche wie in Fig. 1 und deshalb erübrigt sich eine weitere ausführliche Beschreibung davon und, soweit erforderlich, wird auf Fig. 1 Bezug genommen. In den Fig. 15a und 15b ist eine Bezugszahl 1 eine Drahtelektrode, 14 ist ein Werkstück, 40 ist die Dicke des Werkstücks 14, 41 ist ein oberes Ende einer Entladung, 42 ist ein unteres Ende einer Entladung, 49 ist ein Korrekturwert und 62 ist ein Entladungspunkt. Ein Pfeil 67 zeigt eine Drahtelektrodenbearbeitungsrichtung. In Fig. 15a nähert sich die geneigte Drahtelektrode 1 dem Werkstück 14 in der Richtung des Pfeils 67 und die erste Entladung wird an dem Entladungspunkt 68 erzeugt. In Fig. 15b rückt die Drahtelektrode 1 weiter in der Richtung des Pfeils 67 vor und sowohl das obere Ende 41 einer Entladung als auch das untere Ende 42 einer Entladung sind zu dem oberen Ende bzw. dem unteren Ende des Werkstücks 14 ausgerichtet. Fig. 15c ist ein Graph, der einen Zusammenhang zwischen einem Bewegungsbetrag der Drahtelektrode 1 und einer Entladungsbreite zeigt. Die Abszissenachse zeigt den Bewegungsbetrag der Elektrode 1 in der X-Achsen- oder Y- Achsenrichtung und die Ordinatenachse bezeichnet die berechnete Entladungsbreite. Der Punkt "a" auf der Abszisse entspricht dem Zustand aus Fig. 15a, der Punkt "b" entspricht dem Zustand in Fig. 15b, der Punkt "c" zeigt einen Zustand nach einer vorgegebenen Zeitperiode von dem Zeitpunkt, zu dem die Entladungsbreite konstant wird, und der Punkt "d" zeigt einen Zustand, bei dem die Korrektur beendet worden ist. Unter Bezugnahme auf Fig. 15c wird nachstehend der Betrieb beschrieben. Die Entladungsbreite ist Null, bis die in der Richtung des Pfeils 67 verschobene Drahtelektrode 1 an dem Punkt "a" die erste Entladung erzeugt. Die Entladungsbreite steigt fortwährend an, bis sowohl das obere Ende 41 einer Entladung als auch das untere Ende 42 einer Entladung zu dem oberen Ende bzw. dem unteren Ende des Werkstücks 14 ausgerichtet sind. Die Drahtelektrode rückt weiter in die Richtung des Pfeils 67 vor und die Entladungsbreite wird von dem Punkt "b" zu dem Punkt "c" konstant. An dem Punkt "c", der den Zustand zeigt, wenn die vorgegebene Zeitperiode abgelaufen ist, nachdem die Entladungsbreite konstant geworden ist, wird der Bewegungsbetrag der Elektrode 1 in der X-Achsen- oder Y- Achsenrichtung, der zum Ändern der Entladungsbreite von dem Punkt "a" zu dem Punkt "b" erforderlich war, zurückgeholt. Dieser Bewegungsbetrag wird als ein Korrekturbetrag erkannt und die obere Drahtelektrodenführung 3 wird um diesen Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung in die U-Achsen- oder V-Achsenrichtung bewegt. An dem Punkt "d" ist die Korrektur beendet und die Entladungsbreite stimmt mit der Dicke 40 des Werkstücks 14 überein. Ein Betrieb in der NC-Einrichtung 25 der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine der vorliegenden Ausführungsform wird auf Grundlage der Fig. 16 beschrieben, während auf die oben erwähnten Fig. 15a, 15b und 15c Bezug genommen wird. Zunächst werden Schritt S401 der X-Achsen-Motor 5 und der Y- Achsen-Motor 6 gedreht, um den Tisch 2 zu verschieben, bis die erste Entladung erzeugt wird, wodurch die Entladungsstartposition erfaßt wird (unter Bezugnahme auf Fig. 15a nämlich der Punkt "a" in dem Bewegungsbetrag der Elektrode 1, der in Fig. 15c gezeigt ist). Die Prozedur schreitet zum Schritt S402 fort und die X-Achsen- und Y- Achsenposition der Elektrode in dem Zustand des Schritts 5401 wird gespeichert. Im nächsten Schritt S403 wird der Tisch 2 um einen vorgegebenen Betrag in der X-Achsen- und Y- Achsenrichtung verschoben. Im nächsten Schritt S404 wird die Entladungsbreite gemessen. Im Schritt S405 wird entschieden, ob die Entladungsbreite zunimmt oder nicht. Wenn die Entscheidung "Ja" ist, wird der Prozeß vom Schritt S403 zum Schritt S405 wiederholt. Wenn die Entscheidung des Schritts S405 "Nein" ist (der Punkt "b" in dem Bewegungsbetrag der Elektrode, der in Fig. 15c gezeigt ist), geht die Prozedur zum Schritt S406. Dann wird der Bewegungsbetrag der Elektrode in der X-Achse und der Y- Achse (äquivalent zu dem in Fig. 15b und 15c gezeigten Korrekturwert 49) auf Grundlage der gegenwärtigen Elektrodenposition in der X-Achse und der Y-Achse und der Elektrodenposition in der X-Achse und Y-Achse, die im Schritt S402 gespeichert wird, berechnet. Im nächsten Schritt S407 wird der Korrekturbetrag der Elektrode in der U-Achse und V- Achse auf Grundlage der im Schritt S404 gemessenen Entladungsbreite und dem Korrekturwert 49 berechnet. Im nächsten Schritt S408 wird die obere Drahtelektrodenführung 3 in die U-Achsen- und V-Achsenrichtung durch Drehen des U- Achsen-Motors 7 und des V-Achsen-Motors 8 auf Grundlage des im Schritt S407 berechneten Korrekturbetrags der Elektrode in der U-Achse und der V-Achse bewegt (von dem Punkt "c" an den Punkt "d" in dem Bewegungsbetrag der Elektrode, der in Fig. 15c gezeigt ist). Dann endet dieses Unterprogramm. Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine dieser Ausführungsform: eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen von Arbeitsflüssigkeit zwischen einer Drahtelektrode 1 und einem Werkstück 14; eine Bearbeitungs-Energiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung, um durch die von der Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung zugeführte Arbeitsflüssigkeit eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 zu erzeugen; einen Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 angebracht werden kann; eine Tischsteuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden; eine Neigungssteuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen; die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des Stroms, der durch eine obere Energiezuführungsleitung 17 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 von der Bearbeitungsenergiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 geliefert wird; eine Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung 29 zum Berechnen einer Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags, um den sich die Entladungsposition in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen erfaßt von der Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zu festen Zeitintervallen verschiebt; eine Entladungsbreiten-Speicherungseinrichtung, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, zum Speichern der von der Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung 29 berechneten Entladungsbreite; eine Veränderungsbetrags- Berechnungseinrichtung, gebildet durch die NC-Einrichtung 25, zum Berechnen eines Veränderungsbetrags der Entladungsbreite, die von der Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung berechnet wird; und eine Drahtelektrodenneigungs- Berechnungseinrichtung 28 zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode 1 auf Grundlage des Verschiebebetrags der Entladungsposition in den X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen, die durch die Entladungspositions-Erfassungseinrichtung 21 erfaßt wird, bis der Veränderungsbetrag Null wird, nachdem eine erste Entladung erzeugt wird. Ferner umfaßt die Erfindung das Verfahren, mit dem diese Maschine arbeitet. Demzufolge wird eine Spannung durch die Bearbeitungsenergiequelle 26 angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zugeführt wird. Die Bewegung in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 befestigt ist, wird durch die Tischsteuereinrichtung 25 gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungssteuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die an der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 4 angeordnet sind, in die U- Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungsenergiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. In der Entladungsbreiten- Berechnungseinrichtung 29 wird eine Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags berechnet, um den sich die Entladungsposition in der X-Achsen- und Y-Achsenrichtung zu festen Zeitintervallen verschiebt. Die Entladungsbreite wird in der NC-Einrichtung 25 als die Entladungsbreiten- Speicherungseinrichtung gespeichert. Der Veränderungsbetrag der Entladungsbreite wird durch die NC-Einrichtung 25 als die Veränderungsbetrags-Berechnungseinrichtung berechnet. Die Neigung der Drahtelektrode 1 wird in der Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung 28 auf Grundlage des Verschiebebetrags der Entladungsposition, in der X-Achsen- und Y-Achsenrichtung, berechnet, der erfaßt wird, bis der Veränderungsbetrag Null wird, nachdem eine erste Entladung erzeugt wird. Demzufolge ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 (eine Korrektur einer Achse) automatisch ohne Angeben der Dicke 40 des Werkstücks 14 zu korrigieren. Demzufolge ist eine Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode 1 mittels einer Entladung vor einer Bearbeitung nicht erforderlich und die Zeit, die für Aufbauanordnungen erforderlich ist, kann drastisch reduziert werden. Die Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine dieser Ausführungsform umfaßt: eine Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen einer Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Elektrode 1 und ein Werkstück 14; eine Bearbeitungs-Energiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung, um durch die von der Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung 38 zugeführte Arbeitsflüssigkeit eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 zu erzeugen; ein Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 angebracht werden kann; eine Tischsteuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 angeordnet sind; eine Neigungs-Steuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegen einer der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und der V-Achsenrichtung; die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des Stroms, der durch eine obere Energiezuführungsleitung 17 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 von der Bearbeitungsenergiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 geführt wird; und eine Korrekturbetrags-Berechnungseinrichtung, gebildet durch eine NC-Einrichtung 25, zum Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition, während eine Annäherungsbearbeitung ausgeführt wird, die eine Gestaltsbearbeitung für das Werkstück 14 ist, bis die Drahtelektrode 1 eine Produktkontur erreicht. Ferner kann sie eine Ausführungsform des Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahrens durch Ändern jeder Einrichtung der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine in der vorliegenden Ausführungsform in einem Schritt sein. Dementsprechend wird durch die Bearbeitung-Energiequelle 26 eine Spannung angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 geführt wird. Die Bewegung in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 angebracht ist, wird durch die Tisch-Steuereinrichtung 25 gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungs-Steuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden, in die U- Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungsenergiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird in der NC-Einrichtung als der Korrekturbetrags- Berechnungseinrichtung auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition berechnet, während eine Annäherungsbearbeitung durchgeführt wird, die eine Gestaltsbearbeitung für das Werkstück 14 ist, bis die Drahtelektrode 1 eine Produktkontur erzielt. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 (Einachsenkorrektur) automatisch ohne Vorgeben der Dicke 40 des Werkstücks 14 zu korrigieren. Demzufolge ist eine Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode 1 durch eine Entladung vor einer Bearbeitung nicht erforderlich und die Zeit, die für Einrichtungen benötigt wird, kann drastisch reduziert werden. Neunte Ausführungsform Die Fig. 17a und 17b sind Erklärungsdiagramme, die ein Verfahren zum Korrigieren einer Neigung einer Drahtelektrode relativ zu einem Werkstück während einer Bearbeitung des Werkstücks in der Drahtelektroden-Elektroerosionsmaschine gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Gesamtaufbau der Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine ist der Gleiche wie derjenige in Fig. 1 und deshalb erübrigt sich eine weitere ausführliche Beschreibung davon und auf Fig. 1 wird, soweit erforderlich, Bezug genommen. In den Fig. 17a und 17b ist 1 die Drahtelektrode und 14 ein Werkstück. In Fig. 17a wird die Drahtelektrode 1 relativ zu der Entladungsbearbeitungsoberfläche des Werkstücks 14 geneigt. In Fig. 17b ist die Drahtelektrode 1 parallel zu der Entladungsbearbeitungsoberfläche des Werkstücks 14. Fig. 17c ist ein Graph, der den Zusammenhang zwischen einem Neigungswinkel und einer Entladungsbreite zeigt. Die Abszisse bezeichnet den Neigungswinkel und die Ordinate bezeichnet die Entladungsbreite. Als nächstes wird unter Bezugnahme auf die Fig. 17c der Betrieb erläutert. Wie in dem Graph in Fig. 17c bezüglich des Zusammenhangs zwischen dem Neigungswinkel der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück und der Entladungsbreite gezeigt, wird die Entladungsbreite bei dem Neigungswinkel von null Grad am schmalsten. Je größer der Neigungswinkel wird, desto breiter ist ferner die Entladungsbreite. Unter Verwendung dieser Tatsache wird der Drahtelektrode 1 in der positiven oder negativen Richtung der U-Achse und der V-Achse wiederum während einer Elektroerosionsbearbeitung ein vorgegebener Neigungsbetrag gegeben, so daß der Winkel aufgefunden wird, bei dem die Entladungsbreite am kleinsten wird. Man erkannt, daß die Drahtelektrode 1 zu der Elektroerosions- Verarbeitungsoberfläche des Werkstücks 14 bei diesem Winkel parallel ist. Dann wird die Drahtelektrode 1 in diesem Winkel geneigt und die Korrektur ist beendet. Bei diesem Betrieb ist die Genauigkeit einer Erfassung der Entladungsposition ungefähr 1 Mikrometer, wenn die Dicke 40 des Werkstücks 14 40 Millimeter beträgt. Der Betrieb der NC-Einrichtung 25 der Drahtelektroden- Entladungsmaschine der vorliegenden Ausführungsform wird auf Grundlage von Fig. 18 beschrieben, während auf die oben erwähnten Fig. 17a, 17b und 17c Bezug genommen wird. Zunächst wird im Schritt S501 der U-Achsen-Motor 7 gedreht, um die Elektrode 1 in die U-Achsenrichtung zu bewegen, wodurch eine Bewegung der oberen Drahtelektrodenführung 3 gestartet wird. Im nächsten Schritt S502 wird das Messen der Entladungsbreite gestartet. Im Schritt S503 wird eine Position der Elektrode 1 in der U-Achse, an der die im Schritt S502 gemessene Entladungsbreite minimal wird (die Position des Neigungswinkels Null, die in Fig. 17c gezeigt ist), berechnet. Die Prozedur geht dann zum nächsten Schritt S504, in dem die Elektrode 1 in die U-Achse an die vertikale Position bewegt wird, an der die im Schritt S503 berechnete Entladungsbreite in der U-Achsenrichtung minimal wird, indem der U-Achsen-Motor 7 gedreht wird. Im nächsten Schritt S505 wird entschieden, ob die Anzahl von zu korrigierenden Achsen nur eine oder nicht ist. Wenn die Entscheidung im Schritt S505 "Ja" ist und keine andere zu korrigierende Achse vorhanden ist, wird dieses Unterprogramm beendet. Wenn andererseits die Entscheidung im Schritt S505 "Nein" ist, geht die Prozedur zum Schritt S506 und eine Bewegung der oberen Drahtelektrodenführung 3 in die V-Achsenrichtung wird durch Drehen des V-Achsen-Motors 8 gestartet. Im nächsten Schritt S507 wird das Messen der Entladungsbreite gestartet. Im nächsten Schritt S508 wird die Position der Elektrode 1 in der V-Achse berechnet, an der die im Schritt S507 gemessene Entladungsbreite minimal wird (die Position des Neigungswinkels Null, die in Fig. 17c gezeigt ist). Im nächsten Schritt S509 wird die Elektrode in die V-Achse an die vertikale Position bewegt, an der die im Schritt S508 berechnete Entladungsbreite in der V-Achsenrichtung minimal wird, indem der V-Achsen-Motor 8 gedreht wird. Dann endet dieses Unterprogramm. Wie voranstehend erwähnt, umfaßt die Drahtelektroden- Elektroerosionsmaschine dieser Ausführungsform: eine Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zum Zuführen von Arbeitsflüssigkeit zwischen eine Drahtelektrode 1 und einem Werkstück 14; eine Bearbeitungs-Energiequelle 26 zum Anlegen einer Spannung, um eine Entladung zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 durch die von der Arbeitsflüssigkeits- Zuführungseinrichtung 38 zugeführte Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen; einen Tisch 2, auf dem das Werkstück 14 angebracht werden kann; eine Tisch-Steuereinrichtung 9 zum Steuern einer Bewegung des Tischs 2 in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen; ein Paar von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die jeweils auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks 14 angeordnet sind; eine Neigungs-Steuereinrichtung 10 zum Steuern der Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung der Drahtelektrodenführungen 3, 4 in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen; die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 auf Grundlage des Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle 26 an die Drahtelektrode 1 durch eine obere Energiezuführungsleitung 17 und eine untere Energiezuführungsleitung 18 zugeführt wird; eine Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung 29 zum Bewegen der Drahtelektrodenführung 3 in die U-Achsen- und V- Achsenrichtung, während eine Bearbeitung zur Konturbearbeitung des Werkstücks 14 durch Bewegen des Tischs 2 in den X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen ausgeführt wird, und zum Berechnen des Veränderungsbetrags der Entladungsbreite auf Grundlage des Betrags, um den sich die Entladungsposition in die U-Achsen- und V-Achsenrichtungen verschiebt, der durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 28 zu festen Zeitintervallen erfaßt wird; und eine Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung 28 zum Berechnen der Neigung der Drahtelektrode 1, bei der der Veränderungsbetrag der Entladungsbreite, der durch die Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung 29 berechnet wird, minimal ist. Ferner umfaßt die Erfindung das Verfahren, mit dem diese Maschine arbeitet. Dementsprechend wird durch die Bearbeitungs-Energiequelle 26 eine Spannung angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die von der Arbeitsflüssigkeits-Zuführungseinrichtung 38 zwischen die Drahtelektrode 1 und das Werkstück 14 geliefert wird. Die Bewegung des Tischs 2, auf dem das Werkstück 1 angebracht ist, wird in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung durch die Tisch-Steuereinrichtung 25 gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 wird durch die Neigungs-Steuereinrichtung 10 gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen 3, 4, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks 14 befinden, in die U- Achsenrichtung und die V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode 1 und dem Werkstück 14 wird durch die Entladungspositions- Erfassungseinrichtung 21 auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Drahtelektrodenführung 3 wird in die U- Achsen- und V-Achsenrichtungen bewegt, während eine Bearbeitung für eine Konturbearbeitung des Werkstücks 14 ausgeführt wird, indem der Tisch 2 in die X-Achsen- und Y- Achsenrichtungen bewegt wird. Der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite wird auf Grundlage des Betrags, um den sich die Entladungsposition in den U-Achsen- und V- Achsenrichtungen zu festen Zeitintervallen verschiebt, in der Entladungsbreiten-Berechnungseinrichtung 29 berechnet. Die Neigung der Drahtelektrode 1, an der der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite minimal ist, wird in der Drahtelektrodenneigungs-Berechnungseinrichtung 28 berechnet. Deshalb ist es möglich, die Senkrechtstellung der Drahtelektrode 1 mittels Entladung richtig als eine Neigungskorrektur der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 (Zweiachsen-Korrektur) während einer Bearbeitung automatisch zu überprüfen, ohne die Dicke 40 des Werkstücks 14 vorzugeben. Dementsprechend kann die Zeit, die für Einrichtungen vor einer Bearbeitung erforderlich ist, drastisch reduziert werden. Wie voranstehend beschrieben, wird gemäß der Draht- Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der ersten und zweiten Aspekte der Erfindung durch eine Bearbeitungs- Energiequelle eine Spannung angelegt, um zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück eine Entladung durch eine zugeführte Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück angebracht ist, wird in die X- Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Neigungsrichtung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition bestimmt, die zur Zeit einer Annäherung der Drahtelektrode an das Werkstück erfaßt wird. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Neigungsrichtung der Drahtelektrode korrigiert. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück direkt durch Verwenden der Drahtelektrode zu korrigieren. Demzufolge ist es möglich, die Zeit, die zum genauen Anbringen des Werkstücks auf dem Tisch benötigt wird, sowie die Zeit, die für Einrichtungen wie beispielsweise die Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode mittels einer Entladung benötigt wird, drastisch zu reduzieren. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der dritten und vierten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück zugeführt wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs in der X-Achsenrichtung und der Y- Achsenrichtung, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Entladungsposition wird für eine vorgegebene Zeitperiode gemessen, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück annähert. Der Abstand zwischen dem oberen Ende und dem unteren Ende der Entladungsposition wird als eine Entladungsbreite in der Dickenrichtung des Werkstücks berechnet. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Entladungsbreite, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition berechnet. Demzufolge ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück direkt durch Verwenden der Drahtelektrode zu korrigieren und die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück schnell zu korrigieren. Dementsprechend ist es möglich, die Zeit, die zum Erreichen einer Genauigkeit bei der Befestigung des Werkstücks auf dem Tisch erforderlich ist, und die Zeit, die für Einrichtungen wie beispielsweise die Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode mittels einer Entladung erforderlich ist, drastisch zu reduzieren. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der fünften und sechsten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Elektrode und ein Werkstück zugeführt wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs in der X-Achsenrichtung und der Y- Achsenrichtung, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U- Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Entladungsposition wird für eine vorgegebene Zeitperiode gemessen, während sich die Drahtelektrode dem Werkstück relativ annähert. Die Dicke des Werkstücks wird gleich in eine Anzahl aufgeteilt, die in einem vorgegebenen Programm vorgegeben ist, und eine Anzahl von Entladungsmalen wird an jedem Teil der geteilten Teile des Werkstücks gezählt. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, der Dicke des Werkstücks und der Entladungsposition berechnet. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück direkt durch Verwenden der Drahtelektrode zu korrigieren und die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück schnell zu korrigieren. Dementsprechend ist es möglich, die Zeit, die zum Erreichen einer Genauigkeit bei der Befestigung des Werkstücks auf dem Tisch erforderlich ist, und die Zeit, die für Einrichtungen wie beispielsweise die Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode mittels einer Entladung benötigt wird, drastisch zu reduzieren. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der siebten und achten Aspekte der Erfindung wird ferner die Entladungsposition gespeichert, die durch die Entladung erfaßt wird, die zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch Bewegen der Drahtelektrodenführung in der U- Achsen- und V-Achsenrichtung zum Neigen der Drahtelektrode erzeugt wird. Dann wird die Werkstückdicke aus der Entladungsposition berechnet. Somit wird die Werkstückdicke automatisch berechnet. Deshalb kann die Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode, die herkömmlicherweise ausgeführt wurde, nachdem die Werkstückdicke richtig gemessen wurde und sie vorgegeben wurde, in einer Reihe von Betriebsvorgängen ausgeführt werden, so daß es möglich ist, eine Genauigkeit zu verbessern. Zusätzlich kann die Neigung der Drahtelektrode 1 relativ zu dem Werkstück 14 gleichzeitig mit einer Erfassung der Entladungsposition korrigiert werden, so daß es möglich ist, die Zeit zu verringern. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine des neunten Aspekts der Erfindung ist es ferner möglich, die Senkrechtstellung der Drahtelektrode mittels einer Entladung mit einer geringen Beschädigung der Bearbeitungsoberfläche zu überprüfen, da die Entladungspositionserfassungs-Energiequelle für eine Konturbearbeitung vorgesehen ist, um im Vergleich mit der Bearbeitungs-Energiequelle eine Energie mit einem geringeren Betrag einer Bearbeitung pro Einheitszeit zuzuführen. Zusätzlich kann eine der beiden Bearbeitungs-Energiequellen optional gewählt werden, so daß es möglich ist, sie frei zu wählen, um die Senkrechtstellung mittels einer Entladung während einer Bearbeitung einer Kontur zu überprüfen. Ferner ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück in Abhängigkeit von Bedingungen zu korrigieren, um dadurch eine Bearbeitung mit einer hohen Genauigkeit und hohen Qualität auszuführen. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine des Anspruchs 10, ist es zusätzlich zu den Effekten des Anspruchs 1, des Anspruchs 3 oder des Anspruchs 5 ferner möglich, die Entladung stabil zu machen und einen Entladungsspalt geeignet zur Zeit einer Entladungspositionserfassung zu steuern, da die Arbeitsflüssigkeit für eine Entladungspositionserfassung zwischen die Drahtelektrode und das Werkstück bei der Erfassung der Entladungsposition geliefert wird. Ferner ist es möglich, eine Senkrechtstellungsüberprüfung mittels Entladung mit hoher Genauigkeit auszuführen. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der elften und zwölften Aspekte der Erfindung wird die unregelmäßige Entladung, die aufgrund der konzentrierten Entladung erfaßt wird, von dem Korrekturbetrag ausgeschlossen. Deshalb ist es möglich, die Entladungsposition mit höherer Genauigkeit zu erfassen, indem die unregelmäßige Entladung aufgrund der konzentrierten Entladung ausgeschlossen wird. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der dreizehnten und vierzehnten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, in der X- Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu jedem Werkstück einer Vielzahl der Werkstücke wird auf Grundlage der Entladungsposition berechnet. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage der Neigung der Drahtelektrode berechnet. Eine Bearbeitung des Werkstücks wird fortgesetzt, indem einer der gespeicherten Korrekturbeträge bezüglich des zu bearbeitenden Werkstücks zurückgeholt wird, während ein vorgegebenes Programm ausgeführt wird. Deshalb ist es nicht erforderlich, bei der Anbringung des Werkstücks auf dem Tisch einen hohen Grad von Genauigkeit zu verwenden. Selbst wenn eine Vielzahl von Werkstücken vorhanden sind, ist es demzufolge möglich, alle Prozesse von der Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode bis zur Konturbearbeitung zu automatisieren, indem die Werkstücke lediglich auf dem Tisch befestigt werden. Deshalb ist es möglich, eine verlängerte Periode für einen nicht-bemannten Betrieb zu erzielen. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der fünfzehnten und sechzehnten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird in die X-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung bewegt wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs- Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Eine Entladungsbreite wird auf Grundlage des Betrags der Entladungspositionsverschiebungen in den X-Achsen- und den Y- Achsenrichtungen zu festen Zeitintervallen berechnet. Die Entladungsbreite wird gespeichert. Der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreit 04259 00070 552 001000280000000200012000285910414800040 0002019608744 00004 04140e wird berechnet. Die Neigung der Drahtelektrode wird berechnet auf Grundlage des Verschiebebetrags der Entladungsposition, in der X-Achsen- und Y-Achsenrichtung, der erfaßt wird, bis der Betrag einer Veränderung Null wird, nachdem eine erste Entladung erzeugt wird. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück automatisch ohne Vorgeben der Werkstückdicke zu korrigieren. Demzufolge ist eine Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode mittels einer Entladung vor einer Bearbeitung nicht erforderlich und die Zeit, die für Einrichtungen erforderlich ist, kann drastisch reduziert werden. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der siebzehnten und achtzehnten Aspekte der Erfindung wird eine Spannung durch eine Bearbeitungs-Energiequelle angelegt, um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit zu erzeugen, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück angebracht ist, wird in der X-Achsenrichtung und der Y- Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung gesteuert wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Die Drahtelektrodenführung wird in die U-Achsen- und V- Achsenrichtungen bewegt, während eine Bearbeitung für eine Kontur des Werkstücks durch Bewegen des Tischs in die X- Achsen- und Y-Achsenrichtungen ausgeführt wird. Der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite wird auf Grundlage des Betrags der Entladungspositionsverschiebungen in den U- Achsen- und V-Achsenrichtungen zu festen Zeitintervallen berechnet. Die Neigung der Drahtelektrode, bei der der Betrag einer Veränderung der Entladungsbreite minimal ist, wird berechnet. Deshalb ist es möglich, die Senkrechtstellung der Drahtelektrode durch eine Entladung richtig bei der Bearbeitung eines Werkstücks ohne Vorgeben der Werkstückdicke zu überprüfen. Demzufolge kann die Zeit, die für vorbereitende Einrichtungen vor einer Bearbeitung erforderlich ist, drastisch reduziert werden. Gemäß der Draht-Elektroerosionsmaschine und dem Verfahren der neunzehnten und zwanzigsten Aspekte der Erfindung wird durch eine Bearbeitungs-Energiequelle eine Spannung angelegt, um durch eine Arbeitsflüssigkeit, die zwischen eine Drahtelektrode und ein Werkstück geliefert wird, eine Entladung zu erzeugen. Die Bewegung eines Tischs, auf dem das Werkstück befestigt ist, wird in die X-Achsenrichtung und die Y-Achsenrichtung gesteuert. Die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird gesteuert, indem eine Drahtelektrodenführung eines Paars von Drahtelektrodenführungen, die sich auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Werkstücks befinden, in eine U-Achsenrichtung und eine V-Achsenrichtung gesteuert wird. Die Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück wird auf Grundlage des Stroms erfaßt, der von der Bearbeitungs-Energiequelle an die Drahtelektrode geliefert wird. Ein Korrekturbetrag zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück wird auf Grundlage einer Verschiebung der Entladungsposition berechnet, während eine Annäherungsbearbeitung ausgeführt wird, die eine Gestaltsbearbeitung für das Werkstück ist, bis die Drahtelektrode eine Produktkontur erzielt. Deshalb ist es möglich, die Neigung der Drahtelektrode relativ zu dem Werkstück automatisch auszuführen, während die Annäherungsbearbeitung ausgeführt wird, ohne die Werkstückdicke vorzugeben. Demzufolge wird eine Senkrechtstellungsüberprüfung der Drahtelektrode durch Entladung vor einer Bearbeitung nicht benötigt und die Zeit, die für Anordnungen erforderlich ist, kann drastisch reduziert werden.

Claims

1. Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahren zum Korrigieren der Neigung einer Drahtelektrode (1) relativ zu einer Referenzfläche eines Werkstücks (14), das folgende Schritte aufweist:

a) Anlegen einer Spannung an eine Drahtelektrode (1) mittels einer Bearbeitungs-Energiequelle (26), um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit (38) zu erzeugen, die zwischen die Drahtelektrode (1) und ein Werkstück (14) geliefert wird;
b) Steuern (9) einer Bewegung eines Tischs (2) in X- und Y-Achsenrichtung, auf dem das Werkstück (14) angebracht ist;
c) Steuern (10) einer Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung aus einem Paar von Drahtelektrodenführungen (3, 4), die sich oberhalb bzw. unterhalb vom Werkstück (14) befinden, in U-Achsenrichtung und V- Achsenrichtung;
d) Erfassen (19, 20, 21) der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode (1) und dem Werkstück (14) anhand eines Stroms, der von der Bearbeitungs-Energiequelle (26) über eine obere Energiezuführungsleitung (17) und eine untere Energiezuführungsleitung (18) an die Drahtelektrode (1) geliefert wird, längs der Höhe des Werkstücks (14) für eine vorbestimmte Zeit oder für eine vorbestimmte Anzahl von Entladungen, während sich die Drahtelektrode (1) dem Werkstück (14) annähert;
e) jeweiliges Speichern einer erfassten oberen Entladungsposition (41) und einer erfassten unteren Entladungsposition (42) in einer Entladungspositions-Speichereinrichtung (24);
f) Ermitteln (28) einer Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) anhand einer Verschiebung der oberen Entladungposition (41) und/oder der unteren Entladungposition (42); und
g) Korrigieren (7, 8, 10) der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) anhand der ermittelten Neigung der Drahtelektrode (1).

2. Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahren nach Anspruch 1, das weiterhin folgenden Schritt aufweist:

- Berechnen (28) eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) auf Grundlage einer Entladungsbreite (43), die der vertikale Abstand zwischen der erfassten oberen Entladungsposition (41) und einer erfassten unteren Entladungsposition (42) ist, der Höhe des Werkstücks (14), und einem Abstand, um den sich die Drahtelektrode (1) dem Werkstück (14) zwischen aufeinanderfolgenden Entladungen annähert.

3. Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahren nach Anspruch 1, das folgende Schritte aufweist:

- Unterteilen der Höhe des Werkstücks (14) in eine Anzahl gleicher Abschnitte nach einem vorgegebenen Programm und Zählen einer Anzahl von Entladungen an jedem Abschnitt der Höhe des Werkstücks (14); und
- Berechnen eines Korrekturbetrags zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) auf Grundlage der Anzahl von Entladungen, der Höhe des Werkstücks (14) und der erfassten Entladungspositionen (41, 42).

4. Drahtelektroden-Funkenerosionsverfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, das weiterhin folgende Schritte umfasst:

- Berechnen eines Wertes zur Korrektur der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14);
- Speichern des Wertes zur Korrektur der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14); und
- Fortsetzen der Bearbeitung des Werkstücks durch Abrufen und Berücksichtigen eines gespeicherten Korrekturwertes beim Abarbeiten eines vorgegebenen Bearbeitungsprogramms.

5. Drahtelektroden-Funkenerosionsvorrichtung zum Korrigieren der Neigung einer Drahtelektrode (1) relativ zu einer Referenzfläche eines Werkstücks (14), umfassend:

a) eine Spannungsversorgungseinrichtung zum Anlegen einer Spannung an eine Drahtelektrode (1) mittels einer Bearbeitungs-Energiequelle (26), um eine Entladung durch eine Arbeitsflüssigkeit (38) zu erzeugen, die zwischen die Drahtelektrode (1) und ein Werkstück (14) geliefert wird;
b) eine Steuereinrichtung (9) zur Steuerung einer Bewegung eines zur Lagerung des Werkstücks (14) bestimmten Tischs (2) in X- und Y-Achsenrichtung;
c) eine Steuereinrichtung (10) zum Steuern einer Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) durch Bewegen einer Drahtelektrodenführung aus einem Paar von Drahtelektrodenführungen (3, 4), die sich oberhalb bzw. unterhalb vom Werkstück (14) befinden, in U-Achsenrichtung und V- Achsenrichtung;
d) eine Erfassungseinrichtung (19, 20, 21) zum Erfassen der Entladungsposition zwischen der Drahtelektrode (1) und dem Werkstück (14) anhand eines Stroms, der von der Bearbeitungs- Energiequelle (26) über eine obere Energiezuführungsleitung (17) und eine untere Energiezuführungsleitung (18) an die Drahtelektrode (1) geliefert wird, längs der Höhe des Werkstücks (14) für eine vorbestimmte Zeit oder für eine vorbestimmte Anzahl von Entladungen, während sich die Drahtelektrode (1) dem Werkstück (14) annähert;
e) eine Entladungspositions-Speichereinrichtung (24) zum jeweiliges Speichern einer erfassten oberen Entladungsposition (41) und einer erfassten unteren Entladungsposition (42);
f) eine Ermittlungseinrichtung (28) zum Ermitteln einer Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) anhand einer Verschiebung der oberen Entladungposition (41) und/oder der unteren Entladungposition (42); und
g) eine Korrektureinrichtung (7, 8, 10) zum Korrigieren der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) anhand der ermittelten Neigung der Drahtelektrode (1).

6. Drahtelektroden-Funkenerosionsvorrichtung nach Anspruch 5, umfassend:
eine Berechnungseinrichtung (28) zum Berechnen eines Korrekturwertes zur Korrektur der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) auf der Grundlage einer Entladungsbreite (43), die durch den vertikalen Abstand zwischen der erfassten oberen Entladungsposition (41) und der erfassten unteren Entladungsposition (42) bestimmt ist, der Höhe des Werkstücks und des Abstands, mit dem sich die Drahtelektrode (1) dem Werkstück (14) zwischen aufeinanderfolgenden Entladungsvorgängen nähert.

7. Drahtelektroden-Funkenerosionsvorrichtung nach Anspruch 5, umfassend:
eine Unterteilungs-Bestimmungseinrichtung zum Bestimmen einer in einem vorgegebenen Programm enthaltenen Unterteilung der Höhe des Werkstücks (14) in eine Anzahl von gleichen Abschnitten und zum Zählen der Anzahl der Entladungsvorgänge in jedem Abschnitt der Höhe des Werkstücks; und
eine Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Korrekturwertes zum Korrigieren einer Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14) auf der Grundlage der Anzahl der Entladungsvorgänge, der Höhe des Werkstücks und der erfassten Entladungspositionen (41, 42).

8. Drahtelektroden-Funkenerosionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, umfassend:
eine Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Korrekturwertes zum Korrigieren einer Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück (14);
eine Speichereinrichtung zum Speichern des Korrekturwertes zur Korrektur der Neigung der Drahtelektrode (1) relativ zum Werkstück; und
eine Einrichtung zum Fortsetzen der Bearbeitung des Werkstücks nach einem vorgegebenen Bearbeitungsprogramm durch Abrufen und Berücksichtigen eines gespeicherten Korrekturwertes.