JP6423832B2 - ワイヤ放電加工機および測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、ワイヤ電極の位置決めまたは測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機および測定方法に関する。

ワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させ、両者が接触した相対的な位置（以下、接触位置）に基づいて、ワイヤ電極の位置決めや測定対象物の形状測定を行うことができる。

例えば、下記特許文献１には、ワイヤ放電加工機における加工開始穴の中心出し方法が開示されている。簡単に説明すると、測定対象物である加工対象物に形成された加工開始部位（孔）にワイヤ電極を挿通し、孔の内壁とワイヤ電極との接触位置を３点以上求め、求めた３点の接触位置を通る円弧状の中心位置を算出する。算出した中心位置を、加工対象物に形成された孔の中心位置とし、ワイヤ電極の位置が算出した中心位置となるように、ワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させることで、ワイヤ電極の位置決めを行う。

ワイヤ放電加工機においては、ワイヤ電極と加工対象物との相対的な移動方法として、一般的に、放電加工中に使用する「切削送り」と、位置決めで使用する「早送り」とがある。

下記に示す特許文献２には、早送り（早送り速度は、４〜８ｍ／ｍｉｎ）で加工対象物をワイヤ電極に対して移動させ、その接触位置に基づいてワイヤ電極の位置決めを行うことが開示されている。ここで、ワイヤ電極と加工対象物との接触を検出した後に加工対象物の移動を停止させても、制御応答や慣性によって加工対象物の移動停止に遅れが発生する。そのため、ワイヤ電極が加工対象物に突っ込んだ状態になってしまい、接触位置を高精度に取得することができない。

そこで、下記に示す特許文献２においては、ワイヤ電極と加工対象物とが接触すると加工対象物の移動を停止させるとともに、ワイヤ電極と加工対象物とが離れるように所定の距離だけ加工対象物を戻している。そして、再び、早送り速度より遅い位置決め用の送り速度（０．５〜６ｍｍ／ｍｉｎ）で加工対象物を移動させ、ワイヤ電極と加工対象物との接触を検出すると加工対象物の移動を停止させて、そのときの接触位置を取得している。

特開平７−３１４２５４号公報 特許第４０２７８３４号公報

上記特許文献２では、４〜８ｍ／ｍｉｎの速度で早送りを行うため、接触を検出してから早送りを停止させても、ワイヤ電極が加工対象物に突っ込んでしまい、ワイヤ電極が切断してしまう虞がある。また、時定数を短くすることで、ワイヤ電極の切断を防ぐことが可能となるが、減速時に急激に速度が変化するため、ワイヤ放電加工機の機械系のショックが大きくなる。

また、送り速度が遅い切削送りでワイヤ電極と加工対象物とを相対的に移動させてその接触位置を取得する場合は、ワイヤ電極が切断する虞はないが、相対移動に時間がかかり、位置決めに要する時間がかかってしまう。

そこで、本発明は、ワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行う際に、ワイヤ電極の切断を防止しながら相対移動に要する時間を短くするとともに、相対移動時の加減速による機械系のショックを抑制するワイヤ放電加工機および測定方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様は、上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、前記ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機であって、前記測定対象物に対して前記ワイヤ電極を相対移動させるための駆動部と、前記駆動部を移動させるサーボモータと、指令速度の設定を変更する設定変更部と、前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、前記設定変更部が設定変更した前記指令速度に基づいて、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して相対移動するように、前記サーボモータを制御するモータ制御部と、を備える。

このように、移動接触検出時における指令速度の設定を任意に変更できるようにしたので、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックを抑制することができる。

本発明の第１の態様は、前記ワイヤ放電加工機であって、前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部を備え、前記設定変更部は、時定数の設定をさらに変更し、前記モータ制御部は、前記移動接触検出時に、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が前記時定数で前記指令速度となるように、前記サーボモータを制御して、前記ワイヤ電極を前記測定対象物に対して相対移動させ、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記指令速度で前記測定対象物に対して相対移動している前記ワイヤ電極が前記時定数で停止するように、前記サーボモータを制御してもよい。

このように、移動接触検出時における指令速度の他に時定数の設定も任意に変更できるようにしたので、移動接触検出時により最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

本発明の第１の態様は、前記ワイヤ放電加工機であって、前記モータ制御部は、前記時定数が経過するまでは、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が、ベル型加減速度で変化するように、前記サーボモータを制御してもよい。これにより、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

本発明の第１の態様は、前記ワイヤ放電加工機であって、前記サーボモータの負荷トルクを推定する負荷トルク推定部と、前記負荷トルクの閾値を設定する閾値設定部と、を備え、前記設定変更部は、指令加速度の設定を変更し、前記移動接触検出時に、前記負荷トルク推定部が推定した前記負荷トルクが前記閾値を超えるまで、前記指令加速度に基づいて前記指令速度を時間の経過とともに変更し、前記負荷トルクが前記閾値を超えた場合は、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して等速で相対移動するように、前記指令速度を固定してもよい。

このように、移動接触検出時における指令加速度および閾値を任意に設定することができるようにしたので、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

本発明の第１の態様は、前記ワイヤ放電加工機であって、前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部を備え、前記モータ制御部は、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動が停止するように、前記サーボモータを制御してもよい。これにより、ワイヤ電極の切断を防止することができる。

本発明の第２の態様は、測定対象物に対して上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極を相対移動させるための駆動部と、前記駆動部を移動させるサーボモータと、前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部と、を備え、前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、前記ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機の測定方法であって、指令速度の設定を変更する設定変更ステップと、前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、前記設定変更ステップが設定変更した前記指令速度に基づいて、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して相対移動するように、前記サーボモータを制御するモータ制御ステップと、を含む。

このように、移動接触検出時における指令速度の設定を任意に変更できるようにしたので、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックを抑制することができる。

本発明の第２の態様は、前記測定方法であって、前記設定変更ステップは、時定数の設定をさらに変更し、前記モータ制御ステップは、前記移動接触検出時に、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が前記時定数で前記指令速度となるように、前記サーボモータを制御して、前記ワイヤ電極を前記測定対象物に対して相対移動させ、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記指令速度で前記測定対象物に対して相対移動している前記ワイヤ電極が前記時定数で停止するように、前記サーボモータを制御してもよい。

このように、移動接触検出時における指令速度の他に時定数の設定も任意に変更できるようにしたので、移動接触検出時により最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

本発明の第２の態様は、前記測定方法であって、前記モータ制御ステップは、前記時定数が経過するまでは、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が、ベル型加減速度で変化するように、前記サーボモータを制御してもよい。これにより、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

本発明の第２の態様は、前記測定方法であって、前記サーボモータの負荷トルクを推定する負荷トルク推定ステップと、前記負荷トルクの閾値を設定する閾値設定ステップと、を含み、前記設定変更ステップは、指令加速度の設定を変更し、前記移動接触検出時に、前記負荷トルク推定ステップが推定した前記負荷トルクが前記閾値を超えるまで、前記指令加速度に基づいて前記指令速度を時間の経過とともに変更し、前記負荷トルクが前記閾値を超えた場合は、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して等速で相対移動するように、前記指令速度を固定してもよい。

このように、移動接触検出時における指令加速度および閾値を任意に設定することができるようにしたので、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

本発明の第２の態様は、前記測定方法であって、前記モータ制御ステップは、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動が停止するように、前記サーボモータを制御してもよい。これにより、ワイヤ電極の切断を防止することができる。

本発明によれば、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックを抑制することができる。

ワイヤ放電加工機の機械的な概略構成図である。 第１の実施の形態のワイヤ放電加工機の電気的な概略構成図である。 図１に示す制御装置の構成を示す図である。 ワイヤ電極の加工対象物に対する相対移動を示す図である。 ワイヤ電極の加工対象物に対する相対移動の停止遅れによって発生するワイヤ電極の切断を示す図である。 図１に示す制御装置の動作を示すフローチャートである。 図７Ａは、ワイヤ電極の加工対象物に対する相対移動速度を示すタイムチャートであり、図７Ｂは、ワイヤ電極の加工対象物に対する相対移動加速度を示すタイムチャートである。 第２の実施の形態のワイヤ放電加工機の電気的な概略構成図である。 図８に示す制御装置の構成を示す図である。 図９に示す制御装置の動作を示すフローチャートである。

本発明に係るワイヤ放電加工機および測定方法について、好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。

［第１の実施の形態］
図１は、ワイヤ放電加工機１０の機械的な概略構成図である。ワイヤ放電加工機１０は、加工液中で、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（図２参照）とで形成される極間（隙間）に電圧を印加して放電を発生させることで、加工対象物（被加工物、測定対象物）Ｗに対して放電加工を施す工作機械である。ワイヤ放電加工機１０は、加工機本体１４、加工液処理装置１６、および、制御装置１８を備える。

ワイヤ電極１２の材質は、例えば、タングステン系、銅合金系、黄銅系等の金属材料である。一方、加工対象物Ｗの材質は、例えば、鉄系材料または超硬材料等の金属材料である。

加工機本体１４は、加工対象物Ｗに向けたワイヤ電極１２を供給する供給系統２０ａと、加工対象物Ｗを通過したワイヤ電極１２を回収する回収系統２０ｂとを備える。

供給系統２０ａは、ワイヤ電極１２が巻かれたワイヤボビン２２と、ワイヤボビン２２に対してトルクを付与するトルクモータ２４と、ワイヤ電極１２に対して摩擦による制動力を付与するブレーキシュー２６と、ブレーキシュー２６に対してブレーキトルクを付与するブレーキモータ２８と、ワイヤ電極１２の張力の大きさを検出する張力検出部３０と、加工対象物Ｗの上方でワイヤ電極１２をガイドするワイヤガイド（上ワイヤガイド）３２とを備える。

回収系統２０ｂは、加工対象物Ｗの下方でワイヤ電極１２をガイドするワイヤガイド（下ワイヤガイド）３４と、ワイヤ電極１２を挟持可能なピンチローラ３６およびフィードローラ３８と、ピンチローラ３６およびフィードローラ３８により搬送されたワイヤ電極１２を回収するワイヤ回収箱４０とを備える。

加工機本体１４は、放電加工の際に使用される脱イオン水または油等の加工液を貯留可能な加工槽４２を備え、加工槽４２内に、ワイヤガイド３２、３４が配置されている。この加工槽４２は、ベース部４４上に載置されている。加工対象物Ｗは、ワイヤガイド３２とワイヤガイド３４との間に設けられている。ワイヤガイド３２、３４は、ワイヤ電極１２を支持するダイスガイド３２ａ、３４ａを有する。また、ワイヤガイド３４は、ワイヤ電極１２の向きを変えながらピンチローラ３６およびフィードローラ３８に案内するガイドローラ３４ｂを備える。

なお、ワイヤガイド３２は、スラッジ（加工屑）を含まない清浄な加工液を噴出する。これにより、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗとの隙間（極間）を、放電加工に適した清浄な加工液で満たすことができ、放電加工によって発生したスラッジによって放電加工の精度が低下することを防止することができる。また、ワイヤガイド３４も、スラッジを含まない清浄な加工液を噴出してもよい。

加工対象物Ｗは、テーブル等の支持部５２によって支持されており、支持部５２は、加工槽４２内に配置されている（図２参照）。ワイヤガイド３２、３４、支持部５２、および、加工対象物Ｗは、加工槽４２によって貯留された加工液に浸漬している。

加工機本体１４（ワイヤ放電加工機１０）は、支持部５２の位置と、上下のワイヤガイド３２、３４によって支持されたワイヤ電極１２との位置とを相対的に移動させながら、加工対象物Ｗに対して加工を行う。本第１の実施の形態では、支持部５２をＸ方向およびＹ方向に移動させることで、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗとを相対的に移動させる。なお、Ｘ方向およびＹ方向は互いに直交しており、ＸＹ平面と直交する方向をＺ方向とする。

加工液処理装置１６は、加工槽４２に発生した加工屑（スラッジ）を除去するとともに、電気抵抗率・温度の調整等を行うことで加工液の液質を管理する装置である。この加工液処理装置１６によって液質が管理された加工液が再び加工槽４２に戻される。制御装置１８は、加工機本体１４および加工液処理装置１６を制御する。

図２は、ワイヤ放電加工機１０の電気的な概略構成図である。ワイヤ放電加工機１０は、電源５０、支持部５２、Ｘ軸送り機構５４Ｘ、Ｙ軸送り機構５４Ｙ、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙ、および、接触検出部５８をさらに備える。電源５０は、ワイヤ電極１２と加工対象物（測定対象物）Ｗとで形成される極間に電圧を印加するための電源である。電源５０は、制御装置１８の制御の下、極間に電圧を印加する。制御装置１８は、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の位置決めまたは加工対象物Ｗの形状測定の場合は計測用の電圧を極間に印加し、放電加工の場合は計測用の電圧とは異なる放電加工用の電圧を極間に印加してもよい。

支持部５２は、加工対象物Ｗを支持しつつ、加工対象物ＷをＸＹ平面と平行する平面上で加工対象物Ｗを移動させるための駆動部（例えば、テーブル）である。この加工対象物Ｗには、放電加工の開始点となる開始孔Ｗａが形成され、この開始孔Ｗａにワイヤ電極１２が挿通されてワイヤ電極１２が結線されている。ワイヤ電極１２が開始孔Ｗａに挿通されて結線された後で、支持部５２（加工対象物Ｗ）をＸＹ平面と平行する平面上で移動させることで、加工対象物Ｗを加工することができる。ワイヤ電極１２の結線とは、ワイヤボビン２２に巻かれたワイヤ電極１２を、ワイヤガイド３２、加工対象物Ｗ、および、ワイヤガイド３４に通して、ピンチローラ３６およびフィードローラ３８で挟持させることを言い、ワイヤ電極１２が結線されると、ワイヤ電極１２には所定の張力が付与されている。なお、結線してから加工を開始するまでの間に、後述するワイヤ電極１２の位置決めが行なわれる。

Ｘ軸送り機構５４Ｘは、支持部５２（加工対象物Ｗ）をＸ方向に移動させる機構である。サーボモータ５６Ｘは、支持部５２をＸ方向に移動させるためのモータであり、Ｘ軸送り機構５４Ｘを駆動させる。Ｘ軸送り機構５４Ｘは、サーボモータ５６Ｘの回転力を直進運動に変換することで、支持部５２をＸ方向に移動させる。

Ｙ軸送り機構５４Ｙは、支持部５２（加工対象物Ｗ）をＹ方向に移動させるための機構である。サーボモータ５６Ｙは、支持部５２をＹ方向に移動させるためのモータであり、Ｙ軸送り機構５４Ｙを駆動させる。Ｙ軸送り機構５４Ｙは、サーボモータ５６Ｙの回転力を直進運動に変換することで、支持部５２をＹ方向に移動させる。

Ｘ軸送り機構５４ＸおよびＹ軸送り機構５４Ｙは、支持部５２（加工対象物Ｗ）を移動させるための駆動機構５５を構成する。支持部５２をＸ方向およびＹ方向に移動させることで、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗとを相対的に移動させることができる。

サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙは、制御装置１８による制御によって駆動する。なお、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙには、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙの回転位置を検出するエンコーダ５７Ｘ、５７Ｙが設けられている。この回転位置に基づいてサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙの回転速度も特定することができる。エンコーダ５７Ｘ、５７Ｙが検出した検出信号は制御装置１８に送られる。

接触検出部５８は、極間にかかる電圧（以下、極間電圧）を検出することで、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）が接触したか否かを検出する。ワイヤ電極１２と加工対象物（測定対象物）Ｗとが接触すると、導通して電流が流れ極間電圧が低下する。したがって、接触検出部５８は、検出した極間電圧の変化に基づいて、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗとが接触したか否かを検出することができる。接触検出部５８の検出結果は、制御装置１８に送られる。

次に、図３を用いて、制御装置１８の構成について簡単に説明する。制御装置１８は、入力部６０、制御部６２、記憶媒体６４、および、表示部６６を備える。入力部６０は、情報および指令等を入力するためにオペレータによって操作される操作部である。入力部６０は、数値データ入力用のテンキー、各種ファンクションキー（例えば、電源ボタン等）、キーボード、および、タッチパネル等によって構成される。制御部６２は、ＣＰＵ等のプロセッサとプログラムが記憶されたメモリチップとを有し、プロセッサがこのプログラムを実行することによって、本第１の実施の形態の制御部６２として機能する。

記憶媒体６４は、制御部６２による制御に必要なデータ等を格納しており、バッファメモリとしても機能する。表示部６６は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等によって構成され、必要な情報等を表示する。入力部６０のタッチパネルは、表示部６６の表示画面に設けられている。なお、入力部６０と表示部６６とを一体に形成してもよい。

制御部６２は、設定変更部７０、モータ制御部７２、および、位置決定部７４を有する。設定変更部７０は、指令速度Ｖｃおよび時定数τの設定を変更する。設定変更部７０は、ワイヤ電極１２と加工対象物Ｗとを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時における指令速度Ｖｃおよび時定数τの設定を変更する。設定変更部７０は、オペレータによる入力部６０の操作によって入力された速度および時間を指令速度Ｖｃおよび時定数τとして変更してもよいし、予め決められたプログラム（例えば、移動接触検出を行うためのプログラム）によって指令速度Ｖｃおよび時定数τを変更してもよい。

指令速度Ｖｃは、支持部５２（加工対象物Ｗ）の移動速度（つまり、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動速度）Ｖを指令するものであり、支持部５２（加工対象物Ｗ）は、指令速度Ｖｃで移動するように制御される。時定数τは、停止している支持部５２（加工対象物Ｗ）を指令速度Ｖｃで移動させる際に、停止している支持部５２が指令速度Ｖｃとなるまでの時間（遅れ時間）、および、指令速度Ｖｃで移動している支持部５２（加工対象物Ｗ）を停止させる際に、指令速度Ｖｃで移動している支持部５２が停止するまでの時間（遅れ時間）を示す。つまり、時定数τは、目標となる速度に対する遅れ時間を示す。

モータ制御部７２は、移動接触検出時に、支持部５２（加工対象物Ｗ）の移動速度Ｖが、設定変更部７０が設定変更した時定数τで指令速度Ｖｃとなるように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御する。本第１の実施の形態では、モータ制御部７２は、まず、Ｘ方向における加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の接触位置を検出するために、支持部５２をＸ方向に移動させる。そして、モータ制御部７２は、Ｙ方向における加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の接触位置を検出するために、支持部５２をＹ方向に移動させる。したがって、Ｘ方向における移動接触検出時には、モータ制御部７２は、支持部５２（加工対象物Ｗ）のＸ方向の移動速度Ｖが、設定変更部７０が設定変更した時定数τで指令速度Ｖｃとなるように、サーボモータ５６Ｘを制御する。同様に、Ｙ方向における移動接触検出時には、モータ制御部７２は、支持部５２（加工対象物Ｗ）のＹ方向の移動速度Ｖが、設定変更部７０が設定変更した時定数τで指令速度Ｖｃとなるように、サーボモータ５６Ｙを制御する。

具体的には、モータ制御部７２は、支持部５２を＋Ｘ方向に移動させた後、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）との接触が検出されると、支持部５２の＋Ｘ方向への移動を停止させる。そして、モータ制御部７２は、支持部５２を−Ｘ方向に移動させ、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）との接触が検出されると、支持部５２の−Ｘ方向への移動を停止させる。また、モータ制御部７２は、支持部５２を＋Ｙ方向に移動させた後、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）との接触が検出されると、支持部５２の＋Ｙ方向への移動を停止させる。その後、モータ制御部７２は、支持部５２を−Ｙ方向に移動させ、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）との接触が検出されると、支持部５２の−Ｙ方向への移動を停止させる。

この支持部５２の＋Ｘ方向への移動によって、ワイヤ電極１２は、加工対象物Ｗに対して−Ｘ方向側に相対的に移動し、支持部５２の−Ｘ方向への移動によって、ワイヤ電極１２は、加工対象物Ｗに対して＋Ｘ方向側に相対的に移動する。また、支持部５２の＋Ｙ方向への移動によって、ワイヤ電極１２は、加工対象物Ｗに対して−Ｙ方向側に相対的に移動し、支持部５２の−Ｙ方向への移動によって、ワイヤ電極１２は、加工対象物Ｗに対して＋Ｙ方向側に相対的に移動する。

なお、モータ制御部７２は、エンコーダ５７Ｘ、５７Ｙが検出した検出信号を用いてサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御（フィードバック制御）する。

位置決定部７４は、ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａの±Ｘ方向側の内壁との接触位置、ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａの±Ｙ方向側の内壁との接触位置を記憶媒体６４に記憶する。位置決定部７４は、ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａとが接触したときのエンコーダ５７Ｘ、５７Ｙの検出信号に基づいて接触位置を決定してもよいし、支持部５２のＸ方向、Ｙ方向の位置を検出する位置センサの検出結果に基づいて接触位置を決定してもよい。

位置決定部７４は、記憶媒体６４に記憶した複数の接触位置に基づいて、ワイヤ電極１２の位置を決定する。位置決定部７４は、例えば、複数の接触位置に基づいて、開始孔Ｗａの中心位置を算出し、その中心位置をワイヤ電極１２の位置として決定する。位置決定部７４は、決定したワイヤ電極１２の位置をモータ制御部７２に出力する。

モータ制御部７２は、位置決定部７４が決定したワイヤ電極１２の位置に、ワイヤ電極１２が位置するように、支持部５２を移動させる。これにより、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する位置決めが行なわれる。

ここで、ワイヤ電極１２の移動方式として、「切削送り」と「早送り」がある。この「切削送り」は、放電加工中にワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対して相対的に移動させるものである。一方、「早送り」は、放電加工をしていないときにワイヤ電極１２の位置決めを行うために、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対して相対的に移動させるものである。

「切削送り」の場合は、放電加工中に行われるので、ワイヤ電極１２の送り速度（相対移動速度）Ｖは、一般的に、比較的遅い１〜５０ｍｍ／ｍｉｎの範囲内に設定されている。例えば、開始孔Ｗａの径を約φ２００ｍｍ、ワイヤ電極１２の相対移動速度Ｖを約５０ｍｍ／ｍｉｎ、ワイヤ電極１２の位置からワイヤ電極１２の相対移動方向側の開始孔Ｗａの内壁までの距離を約１００ｍｍとする。この場合は、図４に示すように、移動接触検出時にワイヤ電極１２が加工対象物Ｗに対して相対移動を開始して、開始孔Ｗａの内壁に接触するまでに、２分程度かかることになる。したがって、「切削送り」の場合は、ワイヤ電極１２が加工対象物Ｗの開始孔Ｗａの内壁に接触するまでに要する時間（ワイヤ電極１２の相対移動に要する時間）が長くなり過ぎる。

一方で、「早送り」の場合は、放電加工以外のときに行われるので、ワイヤ電極１２の送り速度（相対移動速度）Ｖは、一般的に、９００〜２０００ｍｍ／ｍｉｎの範囲内で設定されている。例えば、開始孔Ｗａの径を訳φ２００ｍｍ、ワイヤ電極１２の相対移動速度Ｖを約２０００ｍｍ／ｍｉｎ、ワイヤ電極１２の位置からワイヤ電極１２の相対移動方向側の開始孔Ｗａの内壁までの距離を約１００ｍｍとする。この場合は、移動接触検出時にワイヤ電極１２が加工対象物Ｗに対して相対移動を開始して、開始孔Ｗａの内壁に接触するまでに、０．０５分程度かかることになる。このように、「早送り」の場合は、「切削送り」に比べ送り速度がかなり速いので、ワイヤ電極１２が加工対象物Ｗの開始孔Ｗａの内壁に接触するまでに要する時間（ワイヤ電極１２の相対移動に要する時間）を短くすることができる。

ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａとの接触を検出したときに、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動が停止するようにモータ制御部７２がサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御するが、送り速度が速いとワイヤ電極１２の相対移動を停止するための移動距離（減速してから停止するまでの距離）が長くなり、図５に示すように、ワイヤ電極１２が切断してしまう。

したがって、移動接触検出時に、「早送り」でワイヤ電極１２を移動させることは難しいが、時定数を短くすると、ワイヤ電極１２の相対移動を停止するための移動距離が短くなるため、ワイヤ電極１２の切断を防ぐことが可能となる。しかしながら、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動速度が急激に減速してしまうため、支持部５２を移動させる機械系（例えば、駆動機構５５やサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙ）のショックが大きくなり過ぎる。

そこで、本第１の実施の形態では、移動接触検出時の加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動速度（支持部５２の移動速度）Ｖおよび時定数τを可変にすることで、このような問題を解決する。

図６は、本第１の実施の形態の制御装置１８（制御部６２）の動作を示すフローチャートである。図７Ａは、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する相対移動速度（支持部５２の移動速度）Ｖを示すタイムチャートであり、図７Ｂは、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する相対移動加速度（支持部５２の移動加速度）Ａを示すタイムチャートである。なお、図６のフローチャートが示す動作においては、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対してＸ方向に移動させる場合を例に挙げて説明する。

ステップＳ１で、設定変更部７０は、移動接触検出時における指令速度Ｖｃおよび時定数τの設定を変更する。設定変更部７０は、オペレータによる入力部６０の操作に基づいて指令速度Ｖｃおよび時定数τの設定を変更してもよいし、予め決められたプログラム（例えば、移動接触検出を行うためのプログラム）に基づいて指令速度Ｖｃおよび時定数τの設定を変更してもよい。指令速度Ｖｃおよび時定数τは、開始孔Ｗａの径の大きさや形状に応じた適切な値に設定される。

次いで、ステップＳ２で、モータ制御部７２は、移動接触検出時に、ステップＳ１で設定変更された指令速度Ｖｃおよび時定数τに基づいてサーボモータ５６Ｘを制御して、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２のＸ方向における相対移動を開始させる。具体的には、駆動部である支持部５２（加工対象物Ｗ）をＸ方向に移動させることでワイヤ電極１２を相対移動させる。モータ制御部７２は、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動速度Ｖが、ステップＳ１で設定変更された時定数τで指令速度Ｖｃとなるように、サーボモータ５６Ｘを制御する（図７Ａ参照）。このとき、モータ制御部７２は、時定数τが経過するまでは、ワイヤ電極１２の相対移動速度Ｖがベル型加減速度で変化するように、サーボモータ５６Ｘを制御する（図７Ｂ参照）。

次いで、ステップＳ３で、モータ制御部７２は、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）との接触が検出されたか否かを判断する。ステップＳ３で、接触が検出されていないと判断するとステップＳ３に留まる。

一方、ステップＳ３で、接触が検出されたと判断すると、ステップＳ４に進み、モータ制御部７２は、ワイヤ電極１２の相対移動を停止させる。モータ制御部７２は、指令速度Ｖｃで加工対象物Ｗに対して相対移動しているワイヤ電極１２が時定数τで停止する（相対移動速度Ｖが０になる）ように、サーボモータ５６Ｘを制御する（図７Ａ参照）。このとき、モータ制御部７２は、時定数τが経過するまでは、ワイヤ電極１２の相対移動速度Ｖがベル型加減速度で変化するように、サーボモータ５６Ｘを制御する（図７Ｂ参照）。その後、制御装置１８は、ワイヤ電極１２の位置決めのために必要な次の動作に移行する。

ここで、指令速度Ｖｃを約９００ｍｍ／ｍｉｎ、時定数τを約５０ｍｓｅｃにすることで、ワイヤ電極１２の相対移動が停止するようにサーボモータ５６Ｘを制御してから、実際に停止するまでの移動距離を約１ｍｍに抑えることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極１２の相対移動の時間を短くすることができるとともに、ワイヤ電極１２の切断を防止し、且つ、機械系のショックを和らげることができる。

［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態のワイヤ放電加工機１０Ａについて説明する。図８は、第２の実施の形態のワイヤ放電加工機１０Ａの電気的な概略構成図である。なお、第１の実施の形態と同様の構成については同一の符号を付し、異なる個所のみを説明する。

ワイヤ放電加工機１０Ａは、ワイヤ電極１２、制御装置１８Ａ、電源５０、支持部５２、Ｘ軸送り機構５４Ｘ、Ｙ軸送り機構５４Ｙ、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙ、エンコーダ５７Ｘ、５７Ｙ、および、接触検出部５８を備える。ワイヤ放電加工機１０Ａは、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙに流れる励磁電流を検出する電流センサ８０Ｘ、８０Ｙをさらに備える。電流センサ８０Ｘ、８０Ｙの検出信号は、制御装置１８Ａに送られる。

図９は、制御装置１８Ａの構成を示す図である。制御装置１８Ａは、入力部６０、制御部６２Ａ、記憶媒体６４、および、表示部６６を備える。制御部６２Ａは、設定変更部８２、負荷トルク推定部８４、閾値設定部８６、モータ制御部８８、および、位置決定部９０を有する。

設定変更部８２は、移動接触検出時における指令加速度Ａｃの設定を変更する。設定変更部８２は、オペレータによる入力部６０の操作によって入力された加速度を指令加速度Ａｃとして変更してもよいし、予め決められたプログラム（例えば、移動接触検出を行うためのプログラム）に基づいて指令加速度Ａｃを変更してもよい。設定変更部８２は、設定変更した指令加速度Ａｃに基づいて、指令速度Ｖｃを時間の経過とともに変更する。つまり、指令速度Ｖｃが指令加速度Ａｃで加速するように、指令速度Ｖｃを変化させる。

負荷トルク推定部８４は、移動接触検出時に、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙの負荷トルクを推定する。負荷トルク推定部８４は、電流センサ８０Ｘ、８０Ｙが検出した電流値に基づいて、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙの負荷トルクＴＬを推定する。この負荷トルクＴＬの推定は、公知技術のものを用いてもよい。

閾値設定部８６は、移動接触検出時におけるサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙの負荷トルクＴＬの閾値Ｔｈを設定する。閾値設定部８６は、オペレータによる入力部６０の操作によって入力された値を閾値Ｔｈとして設定してもよいし、予め決められたプログラム（例えば、移動接触検出を行うためのプログラム）に基づいて閾値Ｔｈを設定してもよい。

モータ制御部８８は、移動接触検出時に、設定変更部８２が変更した指令速度Ｖｃで支持部５２が移動するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御する。ここで、指令速度Ｖｃは、指令加速度Ａｃに基づいて時間の経過とともに変化しているので、モータ制御部８８は、支持部５２（加工対象物Ｗ）の移動速度Ｖが、設定変更部８２が設定変更した指令加速度Ａｃで加速するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御していることになる。モータ制御部８８は、移動接触検出時に支持部５２をＸ方向（±Ｘ方向）に移動させる場合は、設定変更部８２が設定変更した指令加速度Ａｃで支持部５２が加速するようにサーボモータ５６Ｘを制御する。モータ制御部８８は、移動接触検出時に支持部５２をＹ方向（±Ｙ方向）に移動させる場合は、設定変更部８２が設定変更した指令加速度Ａｃで支持部５２が加速するようにサーボモータ５６Ｙを制御する。

設定変更部８２は、負荷トルク推定部８４が推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えるまで、指令加速度Ａｃに基づいて指令速度Ｖｃを時間の経過とともに変更させ、負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えると、支持部５２が等速で移動するように、指令速度Ｖｃの変更を中止し、指令速度Ｖｃを固定する。したがって、モータ制御部８８は、負荷トルク推定部８４が推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えるまで、設定変更部８２が設定変更した指令加速度Ａｃで支持部５２が加速するようにサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御することになる。そして、モータ制御部８８は、負荷トルク推定部８４が推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えると、そのときの支持部５２の移動速度Ｖで支持部５２が移動するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御することになる。

位置決定部９０は、ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａの±Ｘ方向側の内壁との接触位置、ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａの±Ｙ方向側の内壁との接触位置を記憶媒体６４に記憶する。位置決定部７４は、ワイヤ電極１２と開始孔Ｗａとが接触したときのエンコーダ５７Ｘ、５７Ｙの検出信号に基づいて接触位置を決定してもよいし、支持部５２のＸ方向、Ｙ方向の位置を検出する位置センサの検出結果に基づいて接触位置を決定してもよい。

位置決定部７４は、記憶媒体６４に記憶した複数の接触位置に基づいて、ワイヤ電極１２の位置を決定する。位置決定部７４は、例えば、複数の接触位置に基づいて、開始孔Ｗａの中心位置を算出し、その中心位置をワイヤ電極１２の位置として決定する。位置決定部７４は、決定したワイヤ電極１２の位置をモータ制御部８８に出力する。この位置決定部９０は、上記第１の実施の形態の位置決定部７４と同様である。

モータ制御部８８は、位置決定部９０が決定したワイヤ電極１２の位置に、ワイヤ電極１２が位置するように、支持部５２を移動させる。これにより、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する位置決めが行なわれる。

図１０は、本第２の実施の形態の制御装置１８Ａ（制御部６２Ａ）の動作を示すフローチャートである。なお、図１０のフローチャートが示す動作においては、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対してＸ方向に移動させる場合を例に挙げて説明する。

ステップＳ１１で、設定変更部８２は、移動接触検出時における指令加速度Ａｃの設定を変更する。設定変更部８２は、オペレータによる入力部６０の操作に基づいて指令加速度Ａｃの設定を変更してもよいし、予め決められたプログラム（例えば、移動接触検出を行うためのプログラム）に基づいて指令加速度Ａｃの設定を変更してもよい。指令加速度Ａｃは、開始孔Ｗａの径の大きさや形状に応じた適切な値に設定される。

次いで、ステップＳ１２で、閾値設定部８６は、負荷トルクＴＬの閾値Ｔｈを設定する。閾値設定部８６は、オペレータによる入力部６０の操作によって入力された値を閾値Ｔｈとして設定してもよいし、予め決められたプログラム（例えば、移動接触検出を行うためのプログラム）に基づいて閾値Ｔｈを設定してもよい。

次いで、ステップＳ１３で、モータ制御部８８は、移動接触検出時に、ステップＳ１１で設定変更された指令加速度Ａｃに基づいてサーボモータ５６Ｘを制御して、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２のＸ方向における相対移動を開始させる。具体的には、駆動部である支持部５２（加工対象物Ｗ）をＸ方向に移動させることでワイヤ電極１２を相対移動させる。モータ制御部８８は、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動速度ＶがステップＳ１１で設定変更された指令加速度Ａｃで加速するように、サーボモータ５６Ｘを制御する。

次いで、ステップＳ１４で、負荷トルク推定部８４は、サーボモータ５６Ｘの負荷トルクＴＬの推定を開始する。負荷トルク推定部８４は、電流センサ８０Ｘが検出した電流値に基づいてサーボモータ５６Ｘの負荷トルクＴＬを推定する。

次いで、ステップＳ１５で、モータ制御部８８は、ステップＳ１４で推定した現在の負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えたか否かを判断する。ステップＳ１５で、推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えていないと判断するとそのままステップＳ１７に進む。

一方、ステップＳ１５で、推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えたと判断すると、モータ制御部８８は、ワイヤ電極１２が等速で加工対象物Ｗに対してＸ方向に相対移動するようにサーボモータ５６Ｘを制御して（ステップＳ１６）、ステップＳ１７に進む。具体的には、モータ制御部８８は、推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えたと判断すると、そのときのワイヤ電極１２の相対移動速度Ｖでワイヤ電極１２が加工対象物Ｗに対して相対移動するように、サーボモータ５６Ｘを制御する。

ステップＳ１７に進むと、モータ制御部８８は、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と加工対象物Ｗ（開始孔Ｗａの内壁）との接触が検出されたか否かを判断する。ステップＳ１７で、接触が検出されていないと判断するとステップＳ１５に戻り、上記した動作を繰り返す。このとき、ステップＳ１５で、一度、推定された負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えたと判断されると、それ以後は、ステップＳ１５でＹＥＳに分岐する。

ステップＳ１７で、接触が検出されたと判断すると、モータ制御部８８は、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する相対移動が停止するように、サーボモータ５６Ｘを制御する。その後、制御装置１８Ａは、ワイヤ電極１２の位置決めのために必要な次の動作に移行する。

加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の相対移動を停止する際に、急激な速度低下によって発生する機械系のショックを低減させるために、閾値Ｔｈを低めに設定しておく。これにより、移動接触検出時におけるワイヤ電極１２の相対移動の時間を短くすることができるとともに、ワイヤ電極１２の切断を防止し、且つ、機械系のショックを和らげることができる。つまり、ワイヤ電極１２の相対移動を停止する際の急激な速度低下によって発生する機械系のショックが所定値以下となるような閾値Ｔｈに設定しておけばよい。

［変形例］
上記各実施の形態は、以下のような変形も可能である。

（変形例１）上記した各実施の形態では、支持部（駆動部）５２を移動させることで、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対して相対移動させるようにしたが、ワイヤ電極１２を移動させることで、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対して相対移動させるようにしてもよい。この場合は、少なくとも上下のワイヤガイド３２、３４がＸ方向、Ｙ方向に移動することになり、上下のワイヤガイド３２、３４をＸ方向、Ｙ方向に移動させるための部材が駆動部（第１の実施の形態の支持部５２に相当）となる。

（変形例２）上記した各実施の形態では、移動接触検出時に、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対してＸ方向およびＹ方向の一方にのみ相対移動させるようにしたが、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対してＸ方向およびＹ方向に同時に相対移動させてもよい。この場合は、モータ制御部８８は、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対するＸ方向の相対移動と、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対するＹ方向の相対移動とが同期するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御すればよい。

この場合は、設定変更部７０、８２は、Ｘ方向およびＹ方向の各々に対して指令速度Ｖｃ、指令加速度Ａｃの設定を個別に変更してもよい。また、閾値設定部８６も、Ｘ方向およびＹ方向の各々に対して閾値Ｔｈを個別に設定してもよい。

また、上記第２の実施の形態においては、モータ制御部８８は、サーボモータ５６Ｘの負荷トルクＴＬとサーボモータ５６Ｙの負荷トルクＴＬのどちらか一方が閾値Ｔｈを超えた場合に、加工対象物Ｗに対してワイヤ電極１２がＸ方向およびＹ方向ともに等速で相対移動するようにサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御することが好ましい。

（変形例３）上記各実施の形態では、加工対象物Ｗに対するワイヤ電極１２の位置決めを例に挙げて説明したが、ワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとを相対的に移動させてその接触を検出することで、測定対象物Ｗの形状測定を行う場合についても適用することができる。つまり、ワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとの接触位置を複数取得することで、測定対象物Ｗの形状を測定することができる。この場合は、位置決定部７４、９０に代えて形状測定部が設けられることになる。

以上のように、上記各実施の形態および変形例１〜３で説明したワイヤ放電加工機１０（または１０Ａ）は、上下のワイヤガイド３２、３４で支持されたワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとを相対的に移動させてその接触を検出することで、ワイヤ電極１２の位置決めまたは測定対象物Ｗの形状測定を行う。ワイヤ放電加工機１０（または１０Ａ）は、測定対象物Ｗに対してワイヤ電極１２を相対移動させるための支持部５２と、支持部５２を移動させるサーボモータ５６Ｘ、５６Ｙと、指令速度Ｖｃの設定を変更する設定変更部７０（または８２）と、ワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、設定変更部７０（または８２）が設定変更した指令速度Ｖｃに基づいて、ワイヤ電極１２が加工対象物Ｗに対して相対移動するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御するモータ制御部７２（または８８）と、を備える。

このように、移動接触検出時における指令速度Ｖｃの設定を任意に変更できるようにしたので、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極１２を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極１２の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極１２の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックを抑制することができる。

ワイヤ放電加工機１０は、ワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとの接触を検出する接触検出部５８を備える。設定変更部７０は、時定数τの設定をさらに変更してもよい。モータ制御部７２は、移動接触検出時に、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する相対移動速度Ｖが時定数τで指令速度Ｖｃとなるように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御して、ワイヤ電極１２を加工対象物Ｗに対して相対移動させ、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとの接触が検出された場合は、指令速度Ｖｃで加工対象物Ｗに対して相対移動しているワイヤ電極１２が時定数τで停止するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御してもよい。

このように、移動接触検出時における指令速度Ｖｃの他に時定数τの設定も任意に変更できるようにしたので、移動接触検出時により最適な速度、加速度でワイヤ電極１２を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極１２の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極１２の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

このとき、モータ制御部７２は、時定数τが経過するまでは、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する相対移動速度Ｖが、ベル型加減速度で変化するように、サーボモータを制御してもよい。これにより、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

ワイヤ放電加工機１０Ａは、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙの負荷トルクＴＬを推定する負荷トルク推定部８４と、負荷トルクＴＬの閾値Ｔｈを設定する閾値設定部８６と、をさらに備えてもよい。設定変更部８２は、指令加速度Ａｃの設定を変更し、移動接触検出時に、負荷トルク推定部８４が推定した負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えるまで、指令加速度Ａｃに基づいて指令速度Ｖｃを時間の経過とともに変更し、負荷トルクＴＬが閾値Ｔｈを超えた場合は、ワイヤ電極１２が加工対象物Ｗに対して等速で相対移動するように、指令速度Ｖｃを固定してもよい。

このように、移動接触検出時における指令加速度Ａｃおよび閾値Ｔｈを任意に設定することができるようにしたので、移動接触検出時に最適な速度、加速度でワイヤ電極１２を相対移動させることができる。したがって、移動接触検出時におけるワイヤ電極１２の相対移動に要する時間を短くするとともに、ワイヤ電極１２の切断を防止し、且つ、相対移動時の加減速による機械系のショックをさらに抑制することができる。

ワイヤ放電加工機１０Ａは、ワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとの接触を検出する接触検出部５８を備える。モータ制御部８８は、接触検出部５８によってワイヤ電極１２と測定対象物Ｗとの接触が検出された場合は、ワイヤ電極１２の加工対象物Ｗに対する相対移動が停止するように、サーボモータ５６Ｘ、５６Ｙを制御する。これにより、ワイヤ電極１２の切断を防止することができる。

１０、１０Ａ…ワイヤ放電加工機 １２…ワイヤ電極
１８、１８Ａ…制御装置 ３２、３４…ワイヤガイド
５２…支持部（駆動部） ５６Ｘ、５６Ｙ…サーボモータ
５７Ｘ、５７Ｙ…エンコーダ ５８…接触検出部
６０…入力部 ６２、６２Ａ…制御部
６４…記憶媒体 ６６…表示部
７０、８２…設定変更部 ７２、８８…モータ制御部
７４、９０…位置決定部 ８０Ｘ、８０Ｙ…電流センサ
８４…負荷トルク推定部 ８６…閾値設定部

Claims (8)

1. 上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、前記ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機であって、
   前記測定対象物に対して前記ワイヤ電極を相対移動させるための駆動部と、
   前記駆動部を移動させるサーボモータと、
   指令速度の設定を変更する設定変更部と、
   前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、前記指令速度に基づいて、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して相対移動するように、前記サーボモータを制御するモータ制御部と、
   前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部と、
   を備え、
   前記設定変更部は、時定数の設定をさらに変更し、
   前記モータ制御部は、前記移動接触検出時に、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が前記時定数で前記指令速度となるように、前記サーボモータを制御して、前記ワイヤ電極を前記測定対象物に対して相対移動させ、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記指令速度で前記測定対象物に対して相対移動している前記ワイヤ電極が前記時定数で停止するように、前記サーボモータを制御する、ワイヤ放電加工機。
2. 請求項１に記載のワイヤ放電加工機であって、
   前記モータ制御部は、前記時定数が経過するまでは、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が、ベル型加減速度で変化するように、前記サーボモータを制御する、ワイヤ放電加工機。
3. 上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極と測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、前記ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機であって、
   前記測定対象物に対して前記ワイヤ電極を相対移動させるための駆動部と、
   前記駆動部を移動させるサーボモータと、
   指令速度の設定を変更する設定変更部と、
   前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、前記指令速度に基づいて、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して相対移動するように、前記サーボモータを制御するモータ制御部と、
   前記サーボモータの負荷トルクを推定する負荷トルク推定部と、
   前記負荷トルクの閾値を設定する閾値設定部と、
   を備え、
   前記設定変更部は、指令加速度の設定を変更し、前記移動接触検出時に、前記負荷トルク推定部が推定した前記負荷トルクが前記閾値を超えるまで、前記指令加速度に基づいて前記指令速度を時間の経過とともに変更し、前記負荷トルクが前記閾値を超えた場合は、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して等速で相対移動するように、前記指令速度を固定する、ワイヤ放電加工機。
4. 請求項３に記載のワイヤ放電加工機であって、
   前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部を備え、
   前記モータ制御部は、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動が停止するように、前記サーボモータを制御する、ワイヤ放電加工機。
5. 測定対象物に対して上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極を相対移動させるための駆動部と、前記駆動部を移動させるサーボモータと、前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部と、を備え、前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、前記ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機の測定方法であって、
   指令速度の設定を変更する設定変更ステップと、
   前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、前記指令速度に基づいて、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して相対移動するように、前記サーボモータを制御するモータ制御ステップと、
   前記設定変更ステップは、時定数の設定をさらに変更し、
   前記モータ制御ステップは、前記移動接触検出時に、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が前記時定数で前記指令速度となるように、前記サーボモータを制御して、前記ワイヤ電極を前記測定対象物に対して相対移動させ、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記指令速度で前記測定対象物に対して相対移動している前記ワイヤ電極が前記時定数で停止するように、前記サーボモータを制御する、測定方法。
6. 請求項５に記載の測定方法であって、
   前記モータ制御ステップは、前記時定数が経過するまでは、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動速度が、ベル型加減速度で変化するように、前記サーボモータを制御する、測定方法。
7. 測定対象物に対して上下のワイヤガイドで支持されたワイヤ電極を相対移動させるための駆動部と、前記駆動部を移動させるサーボモータと、前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触を検出する接触検出部と、を備え、前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出することで、前記ワイヤ電極の位置決めまたは前記測定対象物の形状測定を行うワイヤ放電加工機の測定方法であって、
   指令速度の設定を変更する設定変更ステップと、
   前記ワイヤ電極と前記測定対象物とを相対的に移動させてその接触を検出する移動接触検出時に、前記指令速度に基づいて、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して相対移動するように、前記サーボモータを制御するモータ制御ステップと、
   前記サーボモータの負荷トルクを推定する負荷トルク推定ステップと、
   前記負荷トルクの閾値を設定する閾値設定ステップと、
   を含み、
   前記設定変更ステップは、指令加速度の設定を変更し、前記移動接触検出時に、前記負荷トルク推定ステップが推定した前記負荷トルクが前記閾値を超えるまで、前記指令加速度に基づいて前記指令速度を時間の経過とともに変更し、前記負荷トルクが前記閾値を超えた場合は、前記ワイヤ電極が前記測定対象物に対して等速で相対移動するように、前記指令速度を固定する、測定方法。
8. 請求項７に記載の測定方法であって、
   前記モータ制御ステップは、前記接触検出部によって前記ワイヤ電極と前記測定対象物との接触が検出された場合は、前記ワイヤ電極の前記測定対象物に対する相対移動が停止するように、前記サーボモータを制御する、測定方法。

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