DE10212908B4

DE10212908B4 - Temperatursensor und Herstellungsverfahren dafür

Info

Publication number: DE10212908B4
Application number: DE10212908A
Authority: DE
Inventors: Tomohiro Kariya Adachi; Atsushi Kariya Kurano; Kazuto Machiya Koshimizu; Norihiko Machiya Shimura; Takamasa Machiya Yoshiwara
Original assignee: Shibaura Electronics Co Ltd; Denso Corp
Current assignee: Shibaura Electronics Co Ltd; Denso Corp
Priority date: 2001-03-23
Filing date: 2002-03-22
Publication date: 2005-05-12
Anticipated expiration: 2022-03-23
Also published as: FR2822542A1; DE10212908A1; JP2002289407A; US6880969B2; US20020172258A1; FR2822542B1

Abstract

Temperatursensor, mit
einer Thermistorvorrichtung (3); und
einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung (3) derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung (3) zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die anderen Endseiten von der Thermistorvorrichtung (3) weggeführt sind,
wobei der Temperatursensor ein elektrisch isolierendes Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares umfasst, während die Elektrodendrähte (4) eine Lücke zwischen ihnen beibehalten,
wobei die Thermistorvorrichtung (3) und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung (3) und dem Paar Elektrodendrähte (4) durch ein elektrisch isolierendes Glaselement (6) versiegelt sind, und das Halteelement (8) auf der anderen Endseite das Paares Elektrodendrähte (4) bezüglich des Glaselementes (6) angeordnet ist, und
wobei das Glaselement (6) und das Haltelement (8) miteinander in Kontakt stehen.

Description

Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor mit einem Paar Elektrodendrähte zum Herausführen eines Signals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen einer Thermistorvorrichtung verbundenen sind.

Ein Temperatursensor dieser Art ist in der Druckschrift JP-A-52-7535 beschrieben. Bei diesem Temperatursensor ist ein Paar Elektrodendrähte mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen einer Thermistorvorrichtung derartig verbunden, dass die Thermistorvorrichtung zwischen ihnen angeordnet ist, wobei sie aus der Thermistorvorrichtung herausgeführt sind. Die Elektrodendrähte und die Thermistorvorrichtung sind unter Verwendung eines wärmebeständigen elektrisch leitenden Materials durch einen Backvorgang miteinander verbunden.

Bei dem vorstehend beschriebenen bekannten Temperatursensor treten jedoch Risse an den Verbindungsabschnitten zwischen den Elektrodendrähten und der Thermistorvorrichtung aufgrund von Vibration und thermischer Einwirkung auf, und dies führt im schlimmsten Falle zum Auftreten eines Abschälvorgangs. Daher ist eine Verbesserung bei der Festigkeit der Verbindungsabschnitte erforderlich.

Die Druckschrift DE 37 03 465 A1 offenbart ein Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Schaltgerätes sowie ein elektrisches Schaltgerät, wobei zum Herstellen eines elektrischen Schaltgerätes aus einem Halbleiter mit temperaturabhängigem Widerstand und zwei daran angeschlossenen elektrischen Kontakten vorgesehen wird, dass die Kontakte und der Halbleiter mittels eines Montagekörpers zusammengehalten werden, bevor sie mit Kunststoff umgossen werden.

Ferner offenbart die Druckschrift DE 23 21 715 C2 ein Verfahren zur Herstellung eines NTC-Thermistors zur Temperaturmessung, bei dem ein Körper aus pulverförmigem Material gepresst, gesintert, mit eingebrannten Elektroden und mit einer Glasumhüllung versehen wird, wobei nach dem Pressen und Sintern einer großflächigen Scheibe ein wärmebeständiges leitfähiges Überzugsmaterial zur Bildung der Elektroden auf deren beiden Stirnflächen aufgetragen wird, die Scheibe erst dann in kleine, scheibenförmige Thermistorkörper zerteilt wird, metallische Anschlussdrähte, die sich dichtend in Glas einschmelzen lassen, auf das leitfähige Überzugsmaterial des einzelnen Körpers aufgelegt werden, und diese Anordnung in ein Glasteil eingebracht und über die Schmelztemperatur derart erhitzt wird, dass gleichzeitig mit der Bildung der Glasumhüllung das leitfähige Überzugsmaterial eingebrannt und damit auch die Anschlussdrähte befestigt werden.

Darüber hinaus offenbart die Druckschrift JP-A-5-172 649 ein Thermistorelement und dessen Herstellungsverfahren, um die Vermeidung einer Degradation der Thermistorcharakteristik erst dann zu ermöglichen, wenn ein Stoß erfolgt oder eine Verwendung bei hohen Temperaturen und bei hoher Luftfeuchtigkeit vorliegt, indem eine Abdeckung aus einer keramischen Schicht dicht bei der Grenze zwischen aus Glas herausgeführten Bleikörpern und im Glas aufgebracht wird.

Demzufolge liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Nachteile aus dem Stand der Technik zu beseitigen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den jeweiligen Gegenstand der beigefügten Patentansprüche 1 bis 8 gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den beigefügten abhängigen Patentansprüchen definiert.

Die in Klammern gesetzten Bezugszeichen für jede vorstehend beschriebene Einrichtung bezeichnet eine Entsprechung zu der konkreten Einrichtung bei dem nachstehend aufgeführten Ausführungsbeispiel.

1 zeigt eine Gesamtübersicht eines Temperatursensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
2 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht eines temperaturempfindlichen Abschnitts aus 1.
Die 3(a) und 3(b) zeigen Gesamtübersichten eines Einzelkörperaufbaus von einem Halteelement bzw. eines mit Elektrodendrähten ausgerüsteten Halteelementes;
4 zeigt ein Beispiel, bei dem das Halteelement von einem Glaselement getrennt ist; und
5 zeigt ein Beispiel, bei dem eine Vielzahl von Halteelementen angeordnet ist.
Die Erfindung wird nachstehend unter Verwendung der in der beiliegenden Zeichnung gezeigten mehreren bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben. 1 zeigt eine Ansicht des Gesamtaufbaus eines Temperatursensors S1 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. 2 zeigt eine vergrößerte Ansicht des Aufbaus im Querschnitt innerhalb einer Metallabdeckung (Metallrohr) 2, der einen temperaturempfindlichen Abschnitt in 1 bildet. Dieser Temperatursensor S1 kann beispielsweise auf einen in einer Hochtemperaturumgebung von zumindest 500°C verwendeten Abgastemperatursensor angewendet werden.
Unter Bezugnahme auf 1 bezeichnet das Bezugszeichen 1 ein Gehäuse mit der Gestalt eines gestuften Zylinders. Das Gehäuse 1 ist aus einem Metallmaterial (wie etwa rostfreiem Stahl) mit einer hohen Wärmebeständigkeit ausgebildet. Ein Schraubenabschnitt 1a, der zur Schraubenkopplung mit einem Einpassloch eines Elementes wie etwa einem Abgasrohr in der Lage ist, ist auf eine äußeren Randoberfläche des Gehäuses 1 an einem seiner Enden ausgebildet. Ein mit Verdrahtungselementen zu verbindender Verbindungsabschnitt 1b ist an dem anderen Ende des Gehäuses 1 für den Aufbau einer elektrischen Verbindung mit einer externen Schaltung ausgebildet.
Das Gehäuse 1 beinhaltet ferner einen Mutterabschnitt 1c zur Schraubenkopplung mit dem Schraubenabschnitt 1a, und ein Versiegelungselement 1d mit einem O-Ring und einer Dichtungsmanschette, um die Luftdichtigkeit mit dem zu messenden Element zu erhalten. Die Metallabdeckung 2 wird durch Laserschweißen usw. hinter einem verkürzten Abschnitt an einem der Enden des Gehäuses 1 eingepasst und fixiert.
Die Metallabdeckung 2 teilt den Hauptkörper des wärmeempfindlichen Abschnitts auf. Es ist der Abschnitt, der einer Messumgebung ausgesetzt ist, während der Sensor S1 mit dem zu messenden Element verschraubt ist. Die Metallabdeckung 2 ist aus einem wärmebeständigen Metall wie etwa rostfreiem Stahl ausgebildet. Die Metallabdeckung 2 ist ein geschlossener Zylinder mit einem Bodenabschnitt auf einer seiner Endseiten und einem offenen Abschnitt auf der anderen Seite, und sie weist einen Durchmesser von beispielsweise ∅ 1,3 mm auf. Die andere Endseite der Metallabdeckung 2 ist mit dem Gehäuse verbunden, und 2 zeigt den inneren Aufbau der Metallabdeckung 2.
Eine Thermistorvorrichtung 3 ist innerhalb der Metallabdeckung 2 auf einer ihrer Endseiten (Bodenseite) angepasst. Die Thermistorvorrichtung 3 ist eine schichtartige gesinterte Gussform, die aus einem beispielsweise aus einem Yttriumchrommanganoxid als seinem Hauptbestandteil bestehenden Halbleitermaterial (Thermistormaterial) ausgebildet ist, und kann einer hohen Temperatur (beispielsweise 1000°C oder mehr) wiederstehen.
Ein aus Platin oder dergleichen ausgebildetes Elektrodendrahtpaar 4 ist mit der Thermistorvorrichtung 3 innerhalb der Metallabdeckung 2 verbunden, so dass ein Thermistorsignal (ein Ausgangssignal unter Verwendung der Widerstands-Temperatur-Charakteristik (R-T-Charakteristik)) herausgeführt wird.
Eines der Enden jedes Elektrodendrahtes 4 ist mit einem der gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung 3 verbunden, während es von der Thermistorvorrichtung freigelegt ist. Hierbei sind die Thermistorvorrichtung 3 und jeder Elektrodendraht 4 miteinander durch einen Backvorgang unter Verwendung eines wärmebeständigen elektrisch leitenden Materials (beispielsweise eine Platinvanadiumpaste, eine Goldnickelpaste, eine Silberkupferpaste, usw.) miteinander verbunden. Die Elektrodendrähte 4 sind voneinander getrennt und zueinander parallel, so dass sich das andere Ende jedes Elektrodendrahtes 4 zu dem anderen Ende der Metallbedeckung 2 hin (zu der offenen Seite hin) entlang der Achse der Metallbedeckung 2 erstreckt. Wenngleich es nicht gezeigt ist, ist das andere Ende jedes Elektrodendrahtes 4 mit einem an dem Verbindungsabschnitt 1b durch ein Verdrahtungselement innerhalb des Gehäuses 1 bereitgestellten Anschluss elektrisch verbunden.
Jeder sich innerhalb der Metallbedeckung 2 erstreckende Elektrodendraht 4 dringt durch ein Isolatorrohr 5 hindurch, wird durch dieses Isolatorrohr gehalten, und eine elektrische Isolation wird zwischen den Elektrodendrähten 4 sowie zwischen dem Elektrodendraht 4 und der Metallbedeckung 2 sichergestellt. Zwei aufgespaltete Elemente werden beispielsweise zur Ausbildung des Isolatorrohrs 5 zusammengebaut.
Ein elektrisch isolierendes Glaselement 6 versiegelt die Thermistorvorrichtung 3 und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4. Dieses Glaselement 6 ist aus Aluminiumoxid oder einem kristallisierten Glas wie etwa Quarzglas ausgebildet. Eine Abdeckung 7 aus Aluminiumoxid ist außerhalb dieses Glaselementes 6 aufgesetzt und um die glasversiegelte Thermistorvorrichtung 3 gewunden.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist ein elektrisch isolierendes Halteelement 8 in der Nähe der Thermistorvorrichtung 3 innerhalb der Metallabdeckung 2 angeordnet, so dass das Elektrodendrahtpaar 4 gehalten wird. 3(a) zeigt einen Einzelkörperaufbau von diesem Halteelement 8.
Das Halteelement 8 ist ein aus einer isolierenden Keramik wie etwa Aluminiumoxid ausgebildeter gegossener Gegenstand, und umfasst Löcher 8a, in welche die Elektrodendrähte 4 jeweils eingesetzt werden, und die voneinander in einem der Lücke zwischen den beiden Elektrodendrähten 4 entsprechenden Abstand beabstandet sind. Das Halteelement 8 ist in Kontakt mit dem Glaselement 6 zwischen dem Glaselement 6 und dem isolierenden Rohr 5 gemäß 2 angeordnet.
Die andere Endseite jedes Elektrodendrahtes 4 von dem Versiegelungsteil des Glaselementes 6 dringt durch jedes Loch 8a des Haltelementes 8 hindurch. Daher hält das Hälteelement 8 die Elektrodendrähte 4, während sie eine Lücke zwischen sich beibehalten. Im übrigen können die Elektrodendrähte 4 gehalten werden, während sie sich in Kontakt mit der inneren Oberfläche des Loches 8a befinden, oder sie können mit dem Loch 8a unter Verwendung eines wärmebeständigen Glases, eines anorganischen Haftmittels, des vorstehend aufgeführten leitenden Materials oder eines Lötmaterials verbunden und fixiert werden.
Alternativ verwendet der Elektrodendraht ein hochschmelzendes Metall wie etwa Platin oder eine Platinlegierung (Platiniridium, Platinrhodium, usw.) und das Halteelement 8 ist durch das Schmelzen eines keramischen Pulvers wie etwa Aluminiumoxid, Zirkonoxid, usw. im Voraus in einer Form mit zwei Löchern (8a) ausgebildet. Der hochschmelzende Elektrodendraht 4 wird sodann in den gegossenen Gegenstand eingesetzt, und sie werden gleichzeitig gebrannt. Das resultierende Erzeugnis ist am bevorzugtesten, weil es eine Hochtemperaturfestigkeit und Vibrationswiderstandsfähigkeit aufweist.
Das vorstehend beschriebene keramische Pulver wird granuliert und sodann präzisionsgegossen. Ein gleichzeitiger Brennvorgang kann innerhalb eines atmosphärischen Brennofens oder eines reduzierendes Brennofens bei 1500°C bis 1600°C ausgeführt werden. Auf diese Weise kann das mit den hochschmelzenden Metalldrähten (hochschmelzenden Elektrodendrähten) ausgerüstete Halteelement 8 erhalten werden. 3(b) zeigt ein derartiges Halteelement 8.
Der Temperatursensor S1 kann auf die nachstehend als Beispiel aufgeführte Weise zusammengebaut werden. Die Elektrodendrähte 4 werden an die beiden Endflächen der in die schichtartige Form unter Verwendung des vorstehend beschriebenen elektrisch leitenden Materials gebrannten und gegossenen Thermistorvorrichtung 3 gebrannt und dazu integriert. Danach wird die resultierende Baugruppe in flüssiges Glas eingetaucht, so dass das Glaselement 6 die Baugruppe versiegelt. Das Glaselement 6 wird sodann mit der Abdeckung 7 verstöpselt.
Die Versiegelung durch das Glaselement 6 kann außerdem durch die Anordnung der Thermistorvorrichtung 3, integriert mit den Elektrodendrähten 4, innerhalb der Abdeckung 7 ausgeführt werden, indem sodann flüssiges Glas hinzugefügt wird. Dabei verbindet die Bindekraft des erstarrenden Glases die Abdeckung und das Glaselement 6.
Hierbei kann der Schritt zum Einsetzen jedes Elektrodendrahtes 4 durch das Loch 8a des Halteelementes 8 und des Zusammenbaus des Halteelementes 8 mit jedem Elektrodendraht 4 entweder vor oder nach dem Versiegelungsschritt durch das vorstehend beschriebene Glaselement 6 ausgeführt werden. Da das vorliegende Ausführungsbeispiel einen Aufbau verwendet, bei dem das Glaselement 6 und das Haltelement 8 miteinander Kontakt halten, kann die Position des Glaselementes 6 und seine Größe bezüglich der Position des Halteelementes 8 und dessen Größe als Bezugspunkt mit Leichtigkeit bestimmt werden, falls der Zusammenbauschritt vor dem Glasversiegelungsschritt durchgeführt wird.
Wenn der Zusammenbau des Halteelementes 8 nach dem Glasversiegelungsschritt ausgeführt wird, können das Halteelement 8 und das Glaselement 6 lediglich miteinander Kontakt halten oder verbunden und fixiert werden, indem ein anorganisches Haftmittel verwendet wird. Wenn der Zusammenbau des Halteelementes 8 vor dem Glasversiegelungsschritt ausgeführt wird, werden das Halteelement 8 und das Glaselement 6 miteinander durch die Bindekraft von Glas beim Erstarren miteinander verbunden.
Die Thermistorvorrichtung 3, die Elektrodendrähte 4, das Glaselement 6, die Abdeckung 7 und das Halteelement 8 werden miteinander auf die vorstehend beschriebene Weise integriert. Die Isolatorröhre 5 wird sodann mit der so erhaltenen einheitlichen Baugruppe zusammengebaut, und die Elektrodendrähte 4 und die Anschlüsse des Verbindungsabschnitts 1b des Gehäuses 1 werden miteinander verbunden. Die Metallabdeckung 2 wird auf die Thermistorvorrichtung 3 gesetzt, und mit dem Gehäuse 1 verbunden, wodurch der Temperatursensor S1 vervollständigt wird.
Dieser Temperatursensor S1 wird in ein in einem Abgasrohr beispielsweise eines Automobils ausgebildeten (nicht gezeigten) Einpassloch eingesetzt, und wird mit dem Einpassloch durch die Mutter 1c und den Schraubenabschnitt 1a verschraubt. Wenn eine zu messende Flüssigkeit (wie etwa ein Abgas) auf den temperaturempfindlichen Abschnitt einwirkt, gibt die Thermistorvorrichtung 3 ein der Temperatur der zu messenden Flüssigkeit entsprechendes Signal durch die Elektrodendrähte 4 und die Anschlüsse des Verbindungsabschnitts 1b aus.
Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hält das elektrisch isolierende Halteelement 8 das Elektrodendrahtpaar 4, während sie zueinander eine Lücke beibehalten. Daher kann das vorliegende Ausführungsbeispiel einen Kurzschluss zwischen den Elektrodendrähten 4 und ein von Vibration und einer thermischen Einwirkung herrührende Abweichung der Elektrodendrähte 4 verhindern. Folglich kann das vorliegende Ausführungsbeispiel ein Abschälen der Verbindungsabschnitte zwischen den Elektrodendrähten 4 und der Thermistorvorrichtung 3 verhindern.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel versiegelt das elektrisch isolierende Glaselement 6 die Thermistorvorrichtung 3 und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4, und das Halteelement 8 ist auf der anderen Endseite des Paares Elektrodendrähte 4 bezüglich des Glaselementes 6 angeordnet. Daher unterdrückt das vorliegende Ausführungsbeispiel wünschenswerter Weise das Abschälen der Verbindungsabschnitte durch eine Glasversiegelung, zusätzlich zu der durch das Halteelement 8 hervorgebrachten Wirkung.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das Halteelement 8 angeordnet, während es den Kontakt mit dem Glaselement 6 hält. Daher kann die Position des Glaselementes 6 und seine Größe mit Leichtigkeit bezüglich dem Halteelement 8 als Bezugspunkt in dem vorstehend beschriebenen Glasversiegelungsschritt bestimmt werden.
Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird die aus Aluminiumoxid ausgebildete Abdeckung 7 auf die Außenseite des Glaselementes 6 aufgesetzt. Daher kann die Wärmewiderstandsfähigkeit der Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4 wünschenswerter Weise zu einer höheren Temperatur verbessert werden.
(Erläuternde Beispiele)
Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel hält das Halteelement 8 Kontakt mit dem Ghaselement 6 und der Thermistorvorrichtung 3. 4 zeigt ein erläuterndes Beispiel, bei dem das Glaselement 6 und das Haltelement 8 voneinander getrennt sind. Dabei könnte eine Vielzahl von Halteelementen 8 bereitgestellt sein, wie es in 5 gezeigt ist (wobei zwei Halteelemente gezeigt werden).
Unter Bezugnahme auf 2 sind die Abdeckung 7, das Halteelement 8, das Isolatorrohr 5 und die Metallabdeckung 2 miteinander in Kontakt stehend gezeigt, aber sie können auch getrennt sein. Sie stehen jedoch vorzugsweise in Kontakt miteinander, weil der Durchmesser des temperaturempfindlichen Abschnitts verringert und sein Ansprechen verbessert werden kann.

Claims

Temperatursensor, mit einer Thermistorvorrichtung (3); und einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung (3) derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung (3) zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die anderen Endseiten von der Thermistorvorrichtung (3) weggeführt sind, wobei der Temperatursensor ein elektrisch isolierendes Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares umfasst, während die Elektrodendrähte (4) eine Lücke zwischen ihnen beibehalten, wobei die Thermistorvorrichtung (3) und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung (3) und dem Paar Elektrodendrähte (4) durch ein elektrisch isolierendes Glaselement (6) versiegelt sind, und das Halteelement (8) auf der anderen Endseite das Paares Elektrodendrähte (4) bezüglich des Glaselementes (6) angeordnet ist, und wobei das Glaselement (6) und das Haltelement (8) miteinander in Kontakt stehen.
Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei das Halteelement (8) Löcher (8a) aufweist, in welche die Elektrodendrähte eingefügt sind.
Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei eine Abdeckung (7) aus Aluminiumoxid auf das Äußere des Glaselementes (6) gesetzt ist.
Temperatursensor nach Anspruch 1, der eine Vielzahl von Halteelementen (8) beinhaltet.
Temperatursensor nach Anspruch 1, der in einer Umgebung mit einer Temperatur von mehr als 500°C verwendetet wird.
Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei die Elektrodendrähte (4) aus einem hochschmelzenden Metall wie etwa Platin oder einer Platinlegierung sind.
Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei das Halteelement (8) und die Elektrodendrähte (4) im Voraus gemeinsam gebrannt oder verbunden sind.
Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors mit einer Thermistorvorrichtung (3) und einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung (3) derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung (3) zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die anderen Endseiten von der Thermistorvorrichtung (3) weggeführt sind, und ferner mit einem elektrisch isolierenden Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares, während eine Lücke zwischen ihnen beibehalten ist; dabei ist das Verfahren versehen mit den Schritten: Verwenden eines hochschmelzenden Metalls wie etwa Platin oder einer Platinlegierung für die Elektrodendrähte (4); Gießen eines keramischen Pulvers wie etwa Aluminiumoxid oder Zirkonoxid in eine Form mit zwei Löchern (8a) für das Halteelement (8), und Einsetzen der Elektrodendrähte (4) in die Löcher (8a) sowie deren gemeinsames Brennen.
Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors nach Anspruch 8, wobei das keramische Pulver granuliert und sodann präzisionsgegossen wird.
Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors nach Anspruch 8, wobei die Temperatur bei dem gemeinsamen Brennen 1500°C bis 1600°C beträgt, und dieser gemeinsame Brennvorgang in einem atmosphärischen Brennofen oder einem reduzierenden Brennofen ausgeführt wird.