DE102017202041A1 - Vorrichtung, die eine transfersteuerung aufweist, die auf einem aufgenommenen bild basiert - Google Patents

Vorrichtung, die eine transfersteuerung aufweist, die auf einem aufgenommenen bild basiert Download PDF

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Kazunari Tanaka
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Abstract

Hier offenbart ist eine Vorrichtung, die eine Bildgebungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, einen Bereich aufzunehmen, in welcher eine Halteeinheit durch das Betätigen einer Bewegungseinheit bewegt wird, eine Basisbildspeichereinheit, die dazu ausgestaltet ist, ein Basisbild entsprechend einer richtigen Betätigung der Halteeinheit oder einer Wirkeinheit zu speichern, und eine Steuerung beinhaltet, die dazu ausgestaltet ist, ein Bild, das durch die Bildgebungseinheit aufgenommen wurde, mit dem Basisbild zu vergleichen, das in der Basisbildspeichereinheit gespeichert ist, und die Bewegungseinheit oder die Wirkeinheit steuert, sodass die zwei Bilder miteinander zusammenfallen.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung, die ein Haltemittel zum Halten eines Werkstücks, ein Wirkmittel zum Aufbringen einer Wirkung an dem Werkstück und ein Bewegungsmittel zum Bewegen des Haltemittels und des Wirkmittels relativ zueinander beinhaltet.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Ein Wafer, der mehrere Bauelemente wie integrierte Schaltungen (ICs), Large-Scale-Integrations (LSIs) oder dergleichen aufweist, die an der oberen Oberfläche des Wafers ausgebildet sind, in einem Zustand, in dem sie durch geplante Teilungslinien getrennt sind, ist durch Schleifen der unteren Oberfläche des Wafers W durch eine Schneidvorrichtung auf eine gewünschte Dicke dünn ausgestaltet (siehe z. B. japanische Offenlegungsschrift Nr. 2001-284303 ) und ist danach in einzelne Bauelementchips durch eine Teilvorrichtung (siehe z. B. japanische Offenlegungsschrift Nr. 2000-061804 ) oder eine Laserbearbeitungsvorrichtung (siehe z. B. japanische Offenlegungsschrift Nr. 2005-088053 ) geteilt. Die geteilten Bauelementchips werden in elektrischen Vorrichtungen wie Mobiltelefonen, Personalcomputern oder dergleichen verwendet.
  • Die Teilungsvorrichtung wird z. B. hauptsächlich aus einem Einspanntisch als ein Haltemittel zum Halten eines Wafers zu einem Zeitpunkt einer Schneidbearbeitung, einem Schneidmittel, das eine drehbare Schneidklinge beinhaltet, welche den Wafer schneidet, der an dem Einspanntisch gehalten wird, einem Bearbeitungszufuhrmittel zum Bearbeitungszuführen des Einspanntischs und des Schneidmittels relativ zueinander, ein Indexzufuhrmittel zum Indexzuführen des Einspanntischs und des Schneidmittels relativ zueinander, einen Kassettentisch, an welchem ein Kassettengehäuse montiert ist, das mehrere Wafer einhaust, ein Ausführungsmittel zum Ausführen eines Wafers von der Kassette zu einem temporären Ablagetisch, einem Transportmechanismus, der den Wafer, der vorläufig auf dem temporären Absetztisch platziert ist, zu dem Einspanntisch transportiert, ein Ausrichtungsmittel zum Aufnehmen des Wafers, der an dem Einspanntisch gehalten wird, und Detektieren eines Bereichs, der zu schneiden ist, und ein Reinigungsmittel zum Reinigen des Wafers, der schon geschnitten ist, gebildet. Die Schneidvorrichtung kann den Wafer in einzelne Bauelementchips mit hoher Genauigkeit teilen.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Hier wird in der Teilungsvorrichtung das Werkstück, nachdem es aus der Kassette entnommen wurde, durch ein Bewegungsmittel zu Positionen zum Aussetzen des Werkstücks einer Wirkung wie einer Schneidbearbeitung, Reinigen und dergleichen entsprechend bewegt, während das Werkstück durch verschiedene Haltemittel gehalten wird. Zu diesem Zeitpunkt, um die Qualität der Bearbeitung des Halbleiterwafers als eine Präzisionsvorrichtung sicherzustellen, ist es notwendig, die Bewegung von jedem der Bewegungsmittel zu überwachen und den Halbleiterwafer zu der Zielposition akkurat zu bewegen. Es ist darum notwendig, die Bewegung durch Auslegen einer geraden Skala in der Bewegungsrichtung eines jeden Bewegungsmittels zu überwachen, einen Lesekopf bereitzustellen, der Abstufungen an der geraden Skala liest und die Anzahl der Pulse, die von dem Lesekopf detektiert werden, zu zählen, oder an jeder Zielposition von jedem Bewegungsmittel einen Sensor oder einen Detektionsschalter zu installieren, der eingeschaltet wird, wenn das Bewegungsmittel die Zielposition erreicht, und ein Mittel zum Überwachen bereitzustellen, ob der Halbleiterwafer zu der Zielposition akkurat bewegt wurde. Folglich treten Probleme der Komplikation des Zustandes der Vorrichtung als ein Ganzes und eine Erhöhung der Kosten der Vorrichtung auf. Im Übrigen treten solche Probleme nicht nur bei Teilungsvorrichtungen, sondern auch bei Vorrichtungen auf, die ein Mittel zum Bewegen eines Werkstücks zu einer Wirkungsposition zum Aufbringen einer Wirkung an dem Werkstück beinhalten, wobei die Vorrichtung eine Schleifvorrichtung, eine Laserbearbeitungsvorrichtung oder dergleichen ist.
  • Es ist entsprechend ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung bereitzustellen, die ein Werkstück akkurat zu einer vorbestimmten Position durch ein Bewegungsmittel bewegen kann oder einen Betätigungsfehler ohne Komplikationen des Zustandes der Vorrichtung überwachen kann oder die Kosten der Vorrichtung erhöht, bereitzustellen, wobei die Vorrichtung ein Haltemittel zum Halten des Werkstücks, ein Wirkmittel zum Aufbringen einer Wirkung an dem Werkstück und das Bewegungsmittel zum Bewegen des Haltemittels, welches das Werkstück hält, relativ zu dem Wirkmittel.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung bereitgestellt, die ein Haltemittel zum Halten eines Werkstücks, ein Wirkmittel zum Aufbringen einer Wirkung an dem Werkstück, das durch das Haltemittel gehalten wird, ein Bewegungsmittel zum Bewegen des Haltemittels und des Wirkmittels relativ zueinander, ein Bildaufnahmemittel zum Aufnehmen eines Bereichs, in welchem das Haltemittel durch eine Betätigung des Bewegungsmittels bewegt wird, ein Basisbildspeichermittel zum Speichern eines Basisbildes, welches einer richtigen Betätigung des Haltemittels oder des Wirkmittels entspricht, und ein Steuerungsmittel zum Vergleichen eines aufgenommenen Bildes durch das Bildaufnahmemittel mit dem Basisbild, das in dem Basisbildspeichermittel gespeichert ist, und Steuern des Bewegungsmittels oder des Wirkmittels, sodass die zwei Bilder miteinander zusammenfallen.
  • Zusätzlich ist es bevorzugt, dass die Vorrichtung ferner ein Anzeigemittel beinhaltet. Das Steuerungsmittel bringt das Anzeigemittel dazu, eine Fehlermeldung anzuzeigen, wenn die zwei Bilder nicht miteinander zusammenfallen, nachdem das Steuerungsmittel das Bild, das durch das Bildaufnahmemittel aufgenommen wurde, mit dem Basisbild vergleicht, das durch das Basisbildspeichermittel gespeichert wurde, und das Bewegungsmittel oder das Wirkmittel steuert, sodass die zwei Bilder miteinander zusammenfallen. Die Vorrichtung kann an einem einer Teilungsvorrichtung, einer Laserbearbeitungsvorrichtung und einer Schleifvorrichtung verwendet werden.
  • Entsprechend der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Vorrichtung ein Haltemittel, ein Wirkmittel, ein Bildaufnahmemittel zum Aufnehmen eines Bereichs, in welchem das Haltemittel durch eine Betätigung des Bewegungsmittels bewegt wird, ein Basisbildspeichermittel zum Speichern eines Basisbildes entsprechend einer richtigen Betätigung des Haltemittels oder des Wirkmittels und ein Steuerungsmittel zum Vergleichen eines Bildes, das durch das Bildaufnahmemittel aufgenommen wurde, mit dem Bild, das durch das Basisbildspeichermittel gespeichert wurde, und Steuern des Bewegungsmittels oder des Wirkmittels, sodass die Bilder miteinander zusammenfallen. Folglich ist es nicht notwendig, mehrere Sensoren für ein Überwachen der Bewegung des Haltemittels bereitzustellen. Das Problem von erhöhten Kosten der Vorrichtung kann darum ohne Komplikationen des Zustandes der Vorrichtung gelöst werden, welche die Wirkung an einem Werkstück aufbringt.
  • Das obige und andere Ziele, Merkmale. und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren verstanden, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1 ist eine allgemeine perspektivische Ansicht einer Schneidvorrichtung und ein Blockdiagramm eines Steuerungsmittels (Steuerung), wobei die Schneidvorrichtung und das Steuerungsmittel auf der Basis der vorliegenden Erfindung konfiguriert sind;
  • 2 ist ein Flussdiagramm eines Steuerungsprogramms, das durch das Steuerungsmittel der Schneidvorrichtung, die in 1 gezeigt ist, ausgeführt wird;
  • 3 ist ein Diagramm zum Unterstützen einer Erklärung einer Bewegung der Steuerung-Basisbild-Zuordnung, die in dem Steuerungsmittel, das in 1 gezeigt ist, gespeichert ist; und
  • 4 ist ein Diagramm zum Unterstützen einer Erklärung der Betätigung, in welcher ein Bewegungsmittel durch ein Steuerungsprogramm gesteuert wird, das entsprechend der vorliegenden Erfindung durchgeführt wird.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Eine bevorzugte Ausführungsform einer Vorrichtung, die entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgestaltet ist, wird im Folgenden detailliert mit Bezug auf die begleitenden Figuren beschrieben. 1 ist eine allgemeine perspektivische Ansicht einer Teilungsvorrichtung, die entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgestaltet ist. Eine Schneidvorrichtung 1 in der Ausführungsform, die in der Figur gezeigt ist, weist ein Vorrichtungsgehäuse 2, das im Wesentlichen in der Form eines rechteckigen Parallelepipeds ist, auf. Ein Einspanntisch 3 als ein Haltemittel zum Halten eines Werkstücks ist in dem Vorrichtungsgehäuse 2 angeordnet, sodass dieser in einer Richtung, die durch einen Pfeil X angedeutet ist, beweglich ist, wobei die Richtung eine Schneidzufuhrrichtung ist. Der Einspanntisch 3 beinhaltet eine Saugeinspannung 31. Der Einspanntisch 3 saugt und hält das Werkstück z. B. einen Wafer in einer Scheibenform an einer Halteoberfläche wie eine obere Oberfläche der Saugeinspannung 31 durch ein Saugmittel (nicht dargestellt). Zusätzlich ist der Einspanntisch 3 dazu ausgestaltet, durch einen Rotationsmechanismus (nicht dargestellt) drehbar zu sein. Im Übrigen ist der Einspanntisch 3 mit Klemmen 32 zum Fixieren eines ringförmigen Trägerrahmens F, der einen Halbleiterwafer W, bereitgestellt, welcher später als das Werkstück beschrieben wird, via eines Teilungsbands T trägt. Der so ausgebildete Einspanntisch 3 wird in der Schneidzufuhrrichtung, die durch den Pfeil X angedeutet ist, durch ein Schneidzufuhrmittel (nicht dargestellt) bewegt.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 in der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet eine Spindeleinheit 4 als ein Bearbeitungsmittel. Die Spindeleinheit 4 beinhaltet ein Spindelgehäuse 41, eine drehbare Spindel 42 und eine Schneidklinge 43. Das Spindelgehäuse 41 ist an einer Bewegungsbasis (nicht dargestellt) montiert und wird in einer Richtung, die durch einen Pfeil Y angedeutet ist, bewegt und angepasst, die eine Indexrichtung ist, und eine Richtung, die durch einen Pfeil Z angedeutet wird, die eine Schneidrichtung ist. Die Drehspindel 42 ist drehbar mit dem Spindelgehäuse 41 getragen und wird rotationsangetrieben durch einen Drehantriebsmechanismus (nicht dargestellt). Die Schneidklinge 43 ist in die Drehspindel 42 eingepasst.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 beinhaltet ein Ausrichtungsmittel 5 zum Aufnehmen eines Bildes der oberen Oberfläche eines Wafers, der an der Halteoberfläche gehalten wird, die eine obere Oberfläche der Saugeinspannung 31 ist, die den Einspanntisch 3 bildet, Detektieren eines Bereichs, der durch die Schneidklinge 43 zu schneiden ist, und Ausrichten des Bereichs, der in dem Wafer mit der Schneidklinge 43 zu schneiden ist. Das Ausrichtungsmittel 5 beinhaltet optische Mittel, wie ein Mikroskop, eine ladungsgekoppelte Kameravorrichtung (CCD) und dergleichen. Das Ausrichtungsmittel 5 sendet ein aufgenommenes Bildsignal zu dem Steuerungsmittel 10. Die Teilungsvorrichtung 1 beinhaltet auch ein Anzeigemittel 6 zum Anzeigen eines aufgenommenen Bildes durch das Ausrichtungsmittel 5, die Details eines Arbeitskommandos für einen Bediener, das später beschrieben wird, einer benötigten Zeit und dergleichen.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 beinhaltet eine Kassette 8, die mehrere Halbleiterwafer W als Werkstücke einhaust. Eine Beziehung zwischen einem Halbleiterwafer W als ein Werkstück und einem Trägerrahmen F und einem Schutzband T wird später im Folgenden beschrieben. Der Trägerrahmen F weist einen Öffnungsabschnitt auf, um den Halbleiterwafer W aufzunehmen. Das Schutzband T ist so montiert, dass es den Öffnungsabschnitt abdeckt. Der Halbleiterwafer W wird an der oberen Oberfläche des Schutzbands T befestigt. Der Halbleiterwafer W, der so durch den Trägerrahmen F via dem Schutzband T getragen wird, ist in der Kassette 8 eingehaust. Zusätzlich ist die Kassette 8 an einem Kassettentisch 7 montiert, der so angeordnet ist, dass er vertikal in einem Kassettenmontageteil durch ein Erhöhungs- und Absenkungsmittel (nicht dargestellt) bewegbar ist.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 beinhaltet ferner ein Bildaufnahmemittel 9 oberhalb eines Zentrums des Vorrichtungsgehäuses 2, wobei das Bildaufnahmemittel 9 dazu in der Lage ist, einen Arbeitsbereich der Vorrichtung 2 abzubilden. Das Bildaufnahmemittel 9 beinhaltet einen L-förmigen Arm 91, der sich von einer rechten hinteren Seite in der Figur, an welcher die Spindeleinheit 4 in dem Vorrichtungsgehäuse 2 installiert ist, erstreckt, und eine Bildgebungseinheit 92 ist an einem Ende des Arms 91 mit einer Bildrichtung der Bildgebungseinheit 92 nach unten gerichtet, angeordnet. Die Bildgebungseinheit 92 beinhaltet z. B. ein CCD-Element als eine Bildaufnahmevorrichtung und eine Weitwinkellinse zum Ermöglichen, dass das Gesamte des Arbeitsbereichs an dem Vorrichtungsgehäuse 2 aufgenommen wird. Im Übrigen kann die Bildgebungseinheit 92 nicht die Weitwinkellinse beinhalten, sondern kann dazu geeignet sein, das Gesamte des Arbeitsbereichs an dem Vorrichtungsgehäuse 2 aufzunehmen, indem der Bereich an dem Vorrichtungsgehäuse 2 in vier Bereiche z. B. aufgeteilt ist, und Ausgestalten der Bildgebungseinheit 92 dazu in der Lage zu sein, die Bildaufnahmerichtung zu jedem der Bereiche zu schalten, wie benötigt.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 beinhaltet ein Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück zum Herausnehmen des Halbleiterwafers W als ein Werkstück von einer Betätigungsposition des Halbleiterwafers W, der in der Kassette 8 eingehaust ist, zu einer Austrageposition auf einem temporären Absetzteil 11, einen ersten Transportmechanismus 13, der den Halbleiterwafer W, der durch das Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück entnommen wurde, auf den Einspanntisch 3, ein Reinigungsmittel 14 zum Reinigen des Halbleiterwafers W, der an dem Einspanntisch 3 geschnitten wurde, und einen zweiten Transportmechanismus 15, der den Halbleiterwafer W, der an dem Einspanntisch 3 geschnitten wurde, zu dem Reinigungsmittel 14 transportiert. Im Übrigen weist in der Ausführungsform, wie in der Figur gezeigt ist, der erste Transportmechanismus 13 eine Funktion eines Transportmechanismus zum Transportieren des Halbleiterwafers W, der durch das Reinigungsmittel 14 gereinigt wurde, zu dem temporären Ablageteil 11, auf.
  • Der erste Transportmechanismus 13 wird als nächstes beschrieben. Der erste Transportmechanismus 13 in der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet einen L-förmigen Betätigungsarm 131. Der L-förmige Betätigungsarm 131 weist einen Endabschnitt auf, der mit einem Saughaltemechanismus 132 bereitgestellt ist, der einen Saughalteabschnitt beinhaltet, der mit einem Saugmittel (nicht dargestellt) gekoppelt ist, und der das Werkstück ansaugt und hält, und weist eine andere Endseite auf, die mit einem Bewegungsmittel 133 bereitgestellt ist, das dazu ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, angehoben und abgesenkt zu werden, und dazu in der Lage ist, gedreht zu werden. Das Bewegungsmittel 133 betätigt den Betätigungsarm 131 in einer vertikalen Richtung in 1 und ist mit einem Bewegungsmechanismus, der einen elektrischen Motor beinhaltet (nicht dargestellt), der für eine normale Rotation und umgekehrte Rotation geeignet ist, gekoppelt. Folglich wird der Betätigungsarm 131 gedreht und um das Bewegungsmittel 133 durch Antreiben des Bewegungsmittels in einer normalen Drehrichtung oder einer umgekehrten Drehrichtung bewegt. Folglich wird der Betätigungsarm 131 in einer horizontalen Ebene betätigt und der Saughaltemechanismus 132 als ein Haltemittel, das an einen Endabschnitt des Betätigungsarms 131 angepasst ist, wird in der horizontalen Ebene zwischen dem temporären Ablageteil 11 und dem Reinigungsmittel 114 als ein Wirkungsmittel zum Aussetzen des Werkstücks einer Reinigungswirkung oder dem Einspanntisch 3 bewegt.
  • Der zweite Transportmechanismus 15 wird als nächstes beschrieben. Der zweite Transportmechanismus 15 in der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet einen Betätigungsarm 151. Der Betätigungsarm 151 weist einen Endabschnitt davon gekoppelt mit einem hin- und hergehenden Mechanismus (nicht dargestellt) auf, der in dem Vorrichtungsgehäuse 2 eingehaust ist. Folglich wird ein Saughaltemechanismus 152, der an einem anderen Endabschnitt des Betätigungsarms 151 angebracht ist und als ein Haltemittel für ein Ansaugen und Halten des Werkstücks dient, in einer horizontalen Ebene zwischen dem Reinigungsmittel 14 und dem Einspanntisch 3 bewegt.
  • Der Saughaltemechanismus 152 ist an den anderen Endabschnitt des Betätigungsarms 151 angepasst, und weist eine im Wesentlichen H-förmige Trägerplatte auf, die mit einem Saugelement, das mit einem Saugmittel gekoppelt ist (nicht dargestellt), bereitgestellt ist. Der Saughaltemechanismus 152 weist eine im Wesentlichen identische Ausgestaltung zu der des Saughaltemechanismus 132 des ersten Transportmechanismus 13 auf.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet ein Steuerungsmittel 10, wie in 1 gezeigt. Das Steuerungsmittel 10 wird durch einen Computer ausgebildet. Das Steuerungsmittel 10 beinhaltet eine zentrale Prozessoreinheit (CPU) 101, die arithmetische Verarbeitungen entsprechend eines Steuerungsprogramms durchführt, einen Festwertspeicher (ROM) 102, der das Steuerprogramm und dergleichen speichert, einen lesbaren und beschreibbaren Arbeitsspeicher (RAM) 103, der ein arithmetisches Ergebnis und dergleichen speichert, eine Eingabeschnittstelle 104 und eine Ausgabeschnittstelle 105. Bildsignale von dem Ausrichtungsmittel 5 und dem Bildaufnahmemittel 9, ein Eingabesignal von dem Betätigungsmittel und dergleichen werden in die Eingabeschnittstelle 104 eingegeben. Danach wird ein Antriebssignal für die Spindeleinheit 4, Signale zum Anzeigen von Bildern, die durch das Ausrichtungsmittel 5 und das Bildaufnahmemittel 9 aufgenommen wurden, durch das Anzeigemittel 6 und dergleichen von der Ausgabeschnittstelle 105, des Steuerungsmittels 10 ausgegeben.
  • Die Teilungsvorrichtung, die mit dem Werkstücktransportmechanismus ausgestaltet ist, der entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgestaltet ist, ist wie oben beschrieben ausgestaltet. Die Betätigung der Teilungsvorrichtung wird in dem Folgenden mit Bezug zu 1 beschrieben. Ein Halbleiterwafer W, der in einer vorbestimmten Position der Kassette 8 eingehaust ist, wird an einer Entnahmeposition durch eine vertikale Bewegung des Kassettentischs 7 durch Anheben und Absenken (nicht dargestellt) positioniert. Als nächstes fährt das Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück vor und zurück, um den Halbleiterwafer W, der an der Entnahmeposition ist, zu dem temporären Ablageteil 11 herauszunehmen (das Obige wird als „Kassette-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung” bezeichnet). Der Halbleiterwafer W wird zu dem temporären Ablageteil 11 getragen, wird auf die Montageoberfläche der Saugeinspannung 31, die den Einspanntisch 3 bildet, durch eine Wirkung des Betätigungsarms 131, des Saughaltemechanismus 132 und des Bewegungsmittels 133 transportiert, welche den ersten Transportmechanismus 13 und das Saugmittel (nicht dargestellt) bilden (das Obige wird als „temporärer-Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung” bezeichnet).
  • Der Halbleiterwafer W, der auf die Saugeinspannung 31 des Einspanntisches 3 durch den ersten Transportmechanismus 13 transportiert wurde, wird von dem Saugen und Halten des Saughaltemechanismus 132, der den ersten Transportmechanismus 13 bildet, freigegeben und wird durch die Saugeinspannung 31 angesaugt und gehalten. Der Einspanntisch 3, der den Halbleiterwafer W so ansaugt und hält, wird zu einer Position direkt unterhalb des Ausrichtungsmittels 5 bewegt. Wenn der Einspanntisch 3 direkt unterhalb des Ausrichtungsmittels 5 bewegt ist, detektiert das Bildaufnahmeelement des Ausrichtungsmittels 5 eine Schneidlinie, die an dem Halbleiterwafer W ausgebildet ist, der Einspanntisch 3 wird um einen vorbestimmten Winkel gedreht und die Spindeleinheit 4 wird bewegt und in der Richtung des Pfeils Y als die Indexrichtung angepasst, wobei eine Arbeit einer präzisen Ausrichtung zwischen der Schneidklinge 43 und der Schneidlinie durchgeführt wird (das Obige wird als „Ausrichtungszeitbewegungssteuerung” bezeichnet).
  • Danach, während die Schneidklinge 43 in einer vorbestimmten Richtung gedreht wird, wird der Einspanntisch 3, der den Halbleiterwafer W ansaugt und hält, in der Richtung bewegt, die durch den Pfeil X angedeutet wird (Richtung orthogonal zu einer Drehwelle der Schneidklinge 43), die Richtung ist die Schneidzufuhrrichtung, mit einer Schneidzufuhrgeschwindigkeit von z. B. 30 mm/s. Der Halbleiterwafer W, der durch den Einspanntisch 3 gehalten wird, wird dadurch entlang der vorbestimmten Schneidlinie durch die Schneidklinge 43 geschnitten. Das heißt, weil die Schneidklinge 43 auf einer Spindeleinheit 4 montiert ist, die positioniert wird, indem sie in der Richtung, die durch den Pfeil Y angedeutet ist, wobei die Richtung die Indexrichtung ist, und in der Richtung bewegt und angepasst wird, die durch den Pfeil Z angedeutet ist, wobei die Richtung die Schneidrichtung ist, und die Schneidklinge 43 rotationsgetrieben wird, dass der Halbleiterwafer W, der durch den Einspanntisch 3 gehalten wird, entlang der vorbestimmten Schneidlinie durch die Schneidklinge 43 geschnitten wird, indem der Einspanntisch 3 in der Schneidzufuhrrichtung entlang der unteren Seite der Schneidklinge 43 bewegt wird. Wenn das Schneiden des Halbleiterwafers W entlang aller Schneidlinien abgeschlossen ist, wird der Halbleiterwafer W in einzelne Halbleiterbauelementchips geteilt. Die geteilten Halbleiterbauelementchips fallen aufgrund der Wirkung des Schutzbands T nicht auseinander und der Zustand des Halbleiterwafers W, der durch den Trägerrahmen F getragen wird, bleibt erhalten. Nachdem das Schneiden des Halbleiterwafers W abgeschlossen ist, wird der Einspanntisch 3, der den Halbleiterwafer W hält, zu der Position zurückgebracht, an welcher der Halbleiterwafer W zuerst angesaugt und gehalten wurde. An dieser Position wird der Halbleiterwafer von dem Ansaugen und Halten freigegeben (das Obige wird als eine „Schneidzeitbewegungssteuerung” bezeichnet).
  • Als nächstes wird der Halbleiterwafer W, der in einzelne Halbleiterbauelementchips geteilt ist, wobei der Halbleiterwafer W von dem Ansaugen und Halten an dem Einspanntisch 3 freigegeben ist, angesaugt und gehalten durch einen Saughaltemechanismus 152 durch eine Betätigung des Betätigungsarms 151 und Anhebe- und Absenkmittels 153, welches den zweiten Transportmechanismus 15 und den Umkehrmechanismus und das Saugmittel (nicht dargestellt) bildet, und wird zu dem Reinigungsmittel 14 bewegt (das Obige wird als eine „Einspanntisch-zu-Reinigungsmittel-Transfersteuerung” bezeichnet).
  • Der Halbleiterwafer W, der in einzelne Bauelementchips geteilt ist, der zu dem Reinigungsmittel 14, wie oben beschrieben wurde, transportiert wurde, wird durch das Reinigungsmittel 14 gereinigt und Verunreinigungen wie Kontaminierungen und dergleichen, die während des Schneidens generiert wurden, werden von dem Halbleiterwafer W entfernt. Der Halbleiterwafer W, der durch das Reinigungsmittel 14 gereinigt wurde, wird durch den Saughaltemechanismus 132 des ersten Transportmechanismus 13 angesaugt, durch eine Bewegung des Betätigungsarms 131 getragen und wird zu dem temporären Ablageteil 11 transportiert (das Obige wird als eine „Reinigungsmittel-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung” bezeichnet). Der Halbleiterwafer W, der zu dem temporären Ablageteil 11 transportiert wird, ist in einer vorbestimmten Position in der Kassette 8 durch das Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück eingehaust (das Obige wird als eine „temporärer-Ablageteil-zu-Kassette-Transfersteuerung” bezeichnet).
  • Wie oben beschrieben ist die Teilungsvorrichtung in der vorliegenden Ausführungsform mit einer Bewegungssteuerung bereitgestellt, die das Werkstück durch ein Betätigen eines Haltemittels zum Halten des Werkstücks hält und das Haltemittel relativ zu einem Wirkmittel bewegt, um das Werkstück einer Wirkung durch ein Betätigungsbewegungsmittel zum Bewegen des Haltemittels während eines Zeitraums von dem Herausnehmen des Halbleiterwafers aus der Kassette, die den Halbleiterwafer W als das Werkstück einhaust, zu dem Einhausen des Halbleiterwafers W in der Kassette nach der Schneidbearbeitung und dem Reinigen auszusetzen. Die Bewegungssteuerungen führen sequenziell durch (1) „Kassette-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung”, (2) „temporärer-Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung”, (3) „Ausrichtungszeitbewegungssteuerung”, (4) „Schneidzeitbewegungssteuerung”, (5) „Einspanntisch-zu-Reinigungsmittel-Transfersteuerung”, (6) „Reinigungsmittel-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung” und (7) „temporärer-Ablageteil-zu-Kassetten-Transfersteuerung”.
  • Hier ist das Wirkmittel in jeder der Bewegungssteuerung der temporäre Ablageteil 11 in der „Kassette-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung”, der Einspanntisch 3 in der „temporären-Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung”, das Ausrichtungsmittel 5 in der „Ausrichtungszeitbewegungssteuerung”, die Spindeleinheit 4 in der „Schneidzeitbewegungssteuerung”, das Reinigungsmittel 14 in der „Einspanntisch-zu-Reinigungsmittel-Transfersteuerung”, der temporäre Ablageteil 11 in der „Reinigungsmittel-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung” und die Kassette 8 in der „temporären-Ablageteil-zu-Kassetten-Transfersteuerung”. Das Haltemittel zum Halten des Halbleitwafers W als das Werkstück, während das Haltemittel zu dem Wirkmittel in jeder der Bewegungssteuerung bewegt wird, ist das Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück, der Saughaltemechanismus 132, der Saughaltemechanismus 152 und der Einspanntisch 3. Das Bewegungsmittel ist ein Mittel zum Bewegen jedes Haltemittels.
  • Die Teilungsvorrichtung 1 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird, wie oben beschrieben, auf der Basis eines Hauptprogramms betätigt, das in dem Steuerungsmittel 10 gespeichert ist, das für die Teilungsvorrichtung 1 bereitgestellt ist. Das Steuerungsmittel 10, das auf der Basis der vorliegenden Erfindung ausgestaltet ist, beinhaltet ferner ein Bewegungssteuerungsüberwachungsprogramm, das auf der Basis eines Flussdiagramms ausgeführt wird, das in 2 gezeigt ist. Das Bewegungssteuerungsüberwachungsprogramm wird wiederholt in einem vorbestimmten Zeitraum ausgeführt, während die Bewegungssteuerungen (1) bis (7) auf der Basis des Hauptprogramms durchgeführt werden. Auf der Basis des Bewegungssteuerungsüberwachungsprogramms ist das Steuerungsmittel dazu ausgestaltet, ein Bild, das durch das Bildaufnahmemittel aufgenommen wurde, mit einem Basisbild, das später beschrieben wird, durch ein Bildverarbeitungsmittel zu vergleichen und das Bewegungsmittel oder Wirkmittel zu steuern, sodass die zwei Bilder miteinander zusammenfallen. Details des Bewegungssteuerungsüberwachungsprogramms werden im Folgenden beschrieben.
  • Als eine Voraussetzung zum Ausführen des oben beschriebenen Programms sind in dem ROM des Steuerungsmittels 10 Basisbilder, die durch Aufnehmen von Positionsbeziehungen zwischen bestimmten Elementen zu Startzeiten und Abschlusszeiten von Bewegungen in einem Fall erhalten wurden, indem das Bewegungsmittel und das Wirkmittel geeignet gesteuert werden, wie in einer „Bewegungssteuerungsbasisbildzuordnung” klassifiziert und gespeichert, wie in 3 in Übereinstimmung mit (1) „Kassette-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung”, (2) „temporärer-Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung”, (3) „Ausrichtungszeitbewegungssteuerung”, (4) „Schneidzeitbewegungssteuerung”, (5) „Einspanntisch-zu-Reinigungsmittel-Transfersteuerung”, (6) „Reinigungsmittel-zu-temporärem-Ablageteil-Transfersteuerung” und (7) „temporärer-Ablageteil-zu-Kassetten-Transfersteuerung” gezeigt, die einzeln vorher beschrieben wurden.
  • Die Zuordnung speichert z. B. ein „Basisbild 1” in einem Abschnitt eines Startzustands der Bewegungssteuerung (1) („Kassette-zu-temporären-Ablageteil-Transfersteuerung”). Das Basisbild 1 ist ein Bild, das durch Aufnehmen eines Transferstartzustands erhalten wurde, in dem die Kassette an dem Kassettentisch 7 ist, das Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück in der Nähe der Kassette 8 ist und an einer Wirkposition zum Greifen des Rahmens F ist, der den eingehausten Halbleiterwafer W vor einem Bearbeiten trägt, und der Wafer W ist nicht an dem temporären Ablageteil 11. Zusätzlich ist ein „Basisbild 2” in einem Abschnitt eines abgeschlossenen Zustands der Bewegungssteuerung (1) gespeichert. Das Basisbild 2 ist ein Bild, das durch Aufnehmen eines Zustands erhalten wurde, in welchem die Kassette 8 an dem Kassettentisch 7 ist, der Halbleiterwafer W aus der Kassette 8 durch das Eintrage-/Austragemittel 12 für ein Werkstück herausgenommen wurde, hinaus zu dem temporären Ablageteil 11 getragen wurde, und der Halbleiterwafer W in einer bestimmten Position an dem temporären Ablageteil 11 ist. Ähnlich zu diesen Basisbildern werden alle Basisbilder 1 bis 14 zu Startzeiten und Abschlusszeiten der jeweiligen Bewegungssteuerungen (1) bis (7) gespeichert.
  • Die Beschreibung wird auf Basis von 2 fortgesetzt, wenn eine Bearbeitung in der Teilungsvorrichtung 1 begonnen wird, wird eine vorliegende Bewegungssteuerungsstufe identifiziert und die Bewegungssteuerung, die als nächstes durchzuführen ist, wird identifiziert (Schritt S1). Hier z. B. unter der Annahme, dass die Teilungsvorrichtung 1 in einer Stufe identifiziert wurde, in welcher der Halbleiterwafer W, der von der Kassette 8 transportiert wurde, und in der speziellen Position an dem temporären Ablageteil 11 montiert wurde, und die Bewegungssteuerung (2) („temporärer-Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung”) danach durch das Steuerungsmittel 10 durchzuführen ist. Auf der Basis der Bestimmung in Schritt S1, mit Bezug zu der „Bewegungssteuerung-Basisbildzuordnung” aus 3, das Basisbild 4, das in 4 gezeigt ist, wird von einem Abschnitt einer BEWEGUNGSSTEUERUNG = (2) und ZIELZUSTAND = „ABSCHLUSS” (Schritt S2) gewählt. Das Basisbild 4 ist vorher als ein Bild gespeichert, das aus einer Bildbearbeitung eines Bildes resultiert, die durch ein Aufnehmen eines Zustands erhalten wurde, in einem Fall, in dem die temporäre Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung richtig abgeschlossen wurde. Das Basisbild 4 ist ein Bild, das einen Zustand andeutet, in welchem spezifische Elemente (der Halbleiterwafer W, der Betätigungsarm 131 des ersten Transportmittels 13 und der Einspanntisch 3) insbesondere als ein Bestimmungskriterium zum Bestimmen einer richtigen Steuerung zu einem Zeitpunkt der fraglichen Bewegungssteuerung dienen, an Positionen sind, die ein Abschließen der Bewegung andeuten. Das heißt, dass das Basisbild 4 ein Bild ist, in welchem die Positionen der oben beschriebenen spezifischen Elemente, die durch durchgezogene Linien angedeutet sind, aufgenommen werden, nachdem die Positionen von einem Bild extrahiert werden, das einen Abschluss des Transfers des Hableiterwafers W auf den Einspanntisch 3 zeigt, der eine Saugbetätigung an dem Werkstück aufbringt, wobei während des Transfers der Saughaltemechanismus 132 als das Haltemittel, das an einem Endabschnitt des Betätigungsarms 131 des ersten Transportmechanismus 13 bereitgestellt ist, den Halbleiterwafer W hält. Wenn das Basisbild 4 in dem Schritt S2 gewählt ist, wird das Hauptprogramm ausgeführt und dadurch wird eine temporäre-Ablageteil-zu-Einspanntisch-Transfersteuerung tatsächlich begonnen, sodass der Betätigungsarm 131 des ersten Transportmechanismus 13 durch das Bewegungsmittel 133 angetrieben wird, um den Halbleiterwafer W zu dem Einspanntisch 3 zu transferieren. Um diese Betätigung zu überwachen, nimmt das Bildaufnahmemittel 9 einen Bildbereich auf, der alle den temporären Ablageteil 11, den ersten Transportmechanismus 13 und den Einspanntisch 3 beinhaltet, die als die oben beschriebenen spezifischen Elemente identifiziert sind, und gibt das Bild zu dem Steuerungsmittel 10 ein (Schritt S3).
  • Die Bilddaten, die in das Steuerungsmittel 10 in Schritt S3 eingegeben wurden, werden einer Bildverarbeitung ausgesetzt, die Positionsbeziehung von jedem der extrahierten spezifischen Elemente wird identifiziert und es wird auch bestimmt, ob die Positionsbeziehung von jedem der extrahierten spezifischen Elemente mit der Positionsbeziehung von jedem der spezifischen Elemente zusammenfällt, die an richtigen Positionen liegen, die in Basisbild 4 aufgenommen wurden, oder nicht (Schritt S5). Im Übrigen wird in der Bestimmung, um die Bestimmung basierend auf der Bildverarbeitung zu vereinfachen, nur die Positionsbeziehung von spezifischen Elementen überprüft und eine übereinstimmende Beziehung von anderen Elementen, die durch gepunktete Linien dargestellt sind, wird nicht bestimmt. Hier, wenn bestimmt wurde, dass die Position von jedem der spezifischen Elemente, das durch das Bildaufnahmemittel 9 aufgenommen und die Bildbearbeitung extrahiert wurde, nicht mit der Positionsbeziehung des Basisbilds 4 (No) zusammenfällt, geht die Verarbeitung zu Schritt S6 über. Wenn eine erwartete Abschlusszeit von einem Start einer Transferoperation zu einem Abschlusszustand der Transferoperation nicht überschritten ist, wird zu Schritt S3 zurückgegangen, um die Schritte S3 bis S5 zu wiederholen. Zusätzlich, wenn in Schritt S5 bestimmt wurde, dass das aufgenommene Bild und die Positionsbeziehung von spezifischen Elementen in dem Basisbild miteinander zusammenfallen (Ja), wird bestimmt, dass die Betätigung, um den abgeschlossenen Zustand der Bewegungskontrolle (2) herbeizuführen, die durchgeführt wird, geeignet abgeschlossen ist. Folglich wird ein Signal, das den Abschluss der Betätigung andeutet, ausgegeben (Schritt S51). Die Bearbeitung geht über zu Schritt S8, wo eine Betätigung der Bewegungssteuerung (2) angehalten wird.
  • Zusätzlich, wenn wiederholt bestimmt wurde, dass die Position von jedem der spezifischen Elemente, die durch das Bildaufnahmemittel 9 aufgenommen wurde und durch die Bildbearbeitung extrahiert wurde, nicht mit der Positionsbeziehung im Basisbild 4 zusammenfallen (Nein) und die geeignete erwartete Vervollständigungszeit von dem Start der Transfersteuerung zu dem abgeschlossenen Zustand auf der Basis von der Bestimmung in Schritt S6 überschritten ist, wird bestimmt, dass die geeignete Betätigung nicht durchgeführt wird. Die Bearbeitung geht damit weiter zu Schritt S7, wo eine Fehlerinformation ausgegeben wird. Der ausgegebene Fehler wird in dem Arbeitsspeicher des Steuerungsmittels 10 aufgenommen und eine Fehleranzeige für das Anzeigemittel 6, ein Warnton oder dergleichen werden nach Bedarf ausgegeben. Danach, nachdem die Fehlerinformation ausgegeben wurde, geht die Bearbeitung zu Schritt S8 über, wo die Betätigung der Teilungsvorrichtung angehalten wird. Im Übrigen wird die Betätigung der Bewegungssteuerung in Schritt S8 in beiden dem Fall, in dem die Bewegungssteuerung richtig durchgeführt wurde (innerhalb einer vorbestimmten Zeit und folglich das aufgenommene Bild mit dem Basisbild zusammenfällt), und in dem Fall angehalten, in dem die Fehlerinformation ausgegeben wurde, ohne dass das aufgenommene Bild mit dem Basisbild zusammenfällt. In dem Fall, in dem in Schritt S5 bestimmt wurde, dass das aufgenommene Bild mit dem Basisbild zusammenfällt und die Betätigung angehalten wird, wird ein Signal ausgegeben, das den Abschluss der Betätigung anzeigt und die Fehlerinformation wird nicht aufgenommen. Ein Übergang zu der nächsten Bewegungssteuerung kann dadurch unmittelbar auf der Basis des Hauptprogramms durchgeführt werden. Andererseits, in dem Fall, in dem das aufgenommene Bild nicht mit dem Basisbild in der vorbestimmten Zeit übereinstimmt, wird eine Fehlerinformation ausgegeben und danach wird die Betätigung angehalten, wobei die Fehlerinformation durch das Steuerungsmittel 10 aufgenommen ist. Ein Übergang zu der nächsten Bewegungssteuerung auf der Basis des Hauptprogramms wird dadurch verhindert, bis die Fehlerinformation abgebrochen ist.
  • Nachdem eine Steuerung, die den abgeschlossenen Zustand der Bewegungssteuerung (2) herbeiführt, abgeschlossen ist, geht die Betätigung der Teilungsvorrichtung zu der nächsten Bewegungssteuerung (3) „Ausrichtungszeitbewegungssteuerung” auf der Basis des Hauptprogramms über und das Steuerungsprogramm, das in 2 gezeigt ist, wird wiederholt ausgeführt. Folglich wird eine Steuerung ähnlich zu der vorhergehenden wiederholt durchgeführt, bis alle Bewegungssteuerungen abgeschlossen sind. Im Übrigen kann die oben beschriebene Steuerung ähnlich nicht nur in Fällen durchgeführt werden, in denen das Werkstück zu dem Betätigungsmittel wie oben beschrieben transferiert wird, sondern auch in Fällen, in denen eine Bearbeitung durchgeführt wird, während das Betätigungsmittel relativ zu dem Werkstück bewegt wird. Z. B., in einem Fall, in dem die Bewegungssteuerung (4) „Schneidzeitbewegungssteuerung” gewählt ist, der Einspanntisch 3 als das Haltemittel, der Halbleiterwafer W als das Werkstück und die Spindeleinheit 4 als das Betätigungsmittel als spezifische Elemente gesetzt sind, wird das Basisbild, in welchem die richtige Position von jedem der spezifischen Elemente aufgenommen ist, sodass es einer verstrichenen Zeit entspricht, gewählt und es wird bestimmt aob die Positionsbeziehung der spezifischen Elemente, die durch die Bildverarbeitung von einem Bild extrahiert wurden, das durch das Bildaufnahmemittel 9 aufgenommen wurde, mit geeigneten Positionsbeziehungen zusammenfallen, die in dem Basisbild aufgenommen sind, oder nicht. Im Übrigen wird in diesem Fall der Einspanntisch 3 als das Haltemittel relativ zu der Spindeleinheit 4 als das Betätigungsmittel bewegt und die Spindeleinheit 4 wird in der Indexzufuhrrichtung (Y-Achsenrichtung) bewegt. Die Bewegungssteuerung kann für eine richtige Durchführung der Bewegungssteuerung durch Speichern des Basisbilds und Ausführen des Bewegungssteuerungsüberwachungsprogramms geeignet überwacht werden.
  • In der vorliegenden Ausführungsform werden Basisbilder des Start- und Abschlusszustands der Bewegungssteuerungen aufgenommen und ob die Zustände entsprechend den Basisbildern mit aufgenommenen Bildern zusammenfallen, wird bestimmt. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Es ist möglich, Basisbilder in Übereinstimmung mit mehreren Punkten von einem Start einer Bewegungssteuerung zu einem Abschluss der Bewegungssteuerung zu speichern und eine richtige Betätigung der Bewegungssteuerung an jedem der mehreren Punkte zu überwachen.
  • Ferner wurde in der vorliegenden Erfindung ein Beispiel beschrieben, in dem ein Bildaufnahmemittel 9 oberhalb des Zentrums des Vorrichtungsgehäuses 2 aufgenommen ist. Jedoch können mehrere solche Bildaufnahmemittel bereitgestellt sein. Mehrere Bildaufnahmemittel in Übereinstimmung mit Bereichen bereitzustellen, zu welchen das Werkstück transferiert wird, macht es möglich, Bildwinkel zu setzen, die es ermöglichen, die Bewegungssteuerung geeigneter zu überwachen. Zusätzlich ist in der vorliegenden Ausführungsform das Bildaufnahmemittel 9 installiert, sodass es einen Bildwinkel an einer Abwärtsseite aufweist. Jedoch kann ohne eine Beschränkung ein Bildgebungsmittel zum Aufnehmen in einer horizontalen Richtung getrennt je nach Notwendigkeit bereitgestellt sein. Wie oben beschrieben, wirken die Spindeleinheit 4 und die Kassette 8 auch in einer vertikalen Richtung (Z-Achsen-Richtung). Obwohl es nötig ist, Positionsänderungen der Spindeleinheit 4 und der Kassette 8 unter Verwendung von Bildern zu überwachen, die von oben geneigt aufgenommen sind, kann die Betätigung der Spindeleinheit 4 und der Kassette 8 genauer überwacht werden, wenn die Spindeleinheit 4 und die Kassette 8 von der horizontalen Richtung aufgenommen werden.
  • Zusätzlich stellt die vorliegende Erfindung ein Beispiel dar, in welchem die vorliegende Erfindung an einer Teilungsvorrichtung angebracht ist. Jedoch kann die vorliegende Erfindung auch an einer Laserbearbeitungsvorrichtung und Schleifvorrichtung angewendet werden und kann auch an einer beliebigen Vorrichtung verwendet werden, solange die Vorrichtung ein Haltemittel zum Halten eines Werkstücks, ein Wirkmittel zum Aufbringen einer Wirkung auf das Werkstück, das durch das Haltemittel gehalten wird, und ein Bewegungsmittel zum Bewegen des Haltemittels und des Wirkmittels relativ zueinander beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, sind daher durch die Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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    • JP 2000-061804 [0002]
    • JP 2005-088053 [0002]

Claims (3)

  1. Vorrichtung, umfassend: Haltemittel zum Halten eines Werkstücks; Wirkmittel zum Aufbringen einer Wirkung auf das Werkstück, das durch das Haltemittel gehalten wird; Bewegungsmittel zum Bewegen des Haltemittels und des Wirkmittels relativ zueinander; Bildgebungsmittel zum Aufnehmen eines Bereichs, in welchem das Haltemittel durch eine Betätigung des Bewegungsmittels bewegt wird; Basisbildspeichermittel zum Speichern eines Basisbilds entsprechend einer richtigen Betätigung des Haltemittels oder des Wirkmittels; und Steuerungsmittel zum Vergleichen eines Bilds, das durch das Bildgebungsmittel aufgenommen wurde, mit dem Basisbild, das von dem Basisbildspeichermittel gespeichert wurde, und Steuern des Bewegungsmittels oder des Wirkmittels, sodass die zwei Bilder miteinander zusammenfallen.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend: Anzeigemittel, wobei das Steuerungsmittel das Anzeigemittel dazu bringt, eine Fehleranzeige darzustellen, wenn die zwei Bilder nicht miteinander zusammenfallen, sogar nachdem das Steuerungsmittel das Bild, das durch das Bildgebungsmittel aufgenommen wurde, mit dem Basisbild, das von dem Basisbildspeichermittel gespeichert wurde, vergleicht und das Bewegungsmittel oder das Wirkmittel steuert, sodass die zwei Bilder miteinander zusammenfallen.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Vorrichtung eine Teilungsvorrichtung, eine Laserbearbeitungsvorrichtung oder eine Schleifvorrichtung ist.
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