DE102019202712A1 - Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Ein Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet die Schritte: ein Anhalten eines Bearbeitungsbetriebes eines Bearbeitungseinheit während der Ausbildung einer bearbeiteten Nut, und dann ein Aufnehmen der bearbeiteten Nut unter Benutzung einer Aufnahmeeinheit, um eine detektierte Aufnahme zu erhalten, ein Überprüfen des Zustandes der bearbeiteten Nut gemäß der detektierten Aufnahme, ein Eingeben eines ausgewählten von mehreren Parametern in einen an einem Touchpanel angezeigten Eingabebereich durch einem Bediener beim Einstellen der Parameter, um Überprüfungsbedingungen zu optimieren, ein Bewegen eines Eingabe-Cursors vom Eingabebereich gemäß der Eingabe des ausgewählten Parameters, und ein Ausführen der Überprüfung der bearbeiteten Nut unter Benutzung des in den Eingabebereich eingegebenen ausgewählten Parameters.

Description

  • TECHNISCHER HINTERGRUND
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks.
  • Beschreibung der verwandten Technik
  • Beim Teilen eines Werkstücks wie beispielsweise einem Halbleiterwafer und einem Packungssubstrat in mehrere Chips wird eine Bearbeitungsvorrichtung wie beispielsweise eine Schneidvorrichtung und eine Laserbearbeitungsvorrichtung benutzt. Eine solche Bearbeitungsvorrichtung, die eine Ausgestaltung zum Aufnehmen einer an dem Werkstück ausgebildeten bearbeiteten Nut aufweist, um eine detektierte Aufnahme zu erhalten und dann mögliche Bearbeitungsdefekte aus dieser detektierten Aufnahme zu überprüfen, ist bekannt (siehe beispielsweise japanische Offenlegungsschrift Nr. 2001-298000 ). Bei der in dieser Veröffentlichung beschriebenen Bearbeitungsvorrichtung werden die Bearbeitungsdefekte, wie Abplatzungen, Abweichungen und Verschiebungen von Bearbeitungspositionen gemäß der detektierten Aufnahme der vom Aufnahmemittel aufgenommenen bearbeiteten Nut automatisch überprüft (Fugenüberprüfung). Als Ergebnis dieser Überprüfung werden mögliche Maßnahmen gegen die Bearbeitungsdefekte getroffen. Beispielsweise beinhalten diese Maßnahmen eine Korrektur der Bearbeitungsposition, ein Anhalten der Bearbeitung und ein Alarmieren eines Bedieners.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die bearbeitete Nut wird durch ein Festlegen von verschiedenen Parametern, wie eine Lichtmenge des Aufnahmemittels, an einem Einstellungsschirm eines Touchpanels und dann durch ein Berühren eines OK-Knopfs, der auf dem Touchpanel angezeigt wird, überprüft. Allerdings ändern sich optimale Überprüfungsbedingungen, beispielsweise gemäß einem Oberflächenzustand des Werkstücks. Demgemäß müssen die Parameter wiederholt festgelegt werden, um einen optimalen Parameter für die Überprüfung der bearbeiteten Nut herauszufinden. Als ein Ergebnis wird jedes Mal, wenn die Parameter des Aufnahmemittels wiederholt eingegeben werden, der OK-Knopf gedrückt, um die Überprüfung der bearbeiteten Nut durchzuführen. Das heißt, dass die Bedienung des Auswählens der Überprüfungsbedingungen schwierig ist, und viel Zeit für die Optimierung der Überprüfungsbedingungen benötigt wird.
  • Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, das die Bedienung des Auswählens des Parameters für die Überprüfungsbedingungen erleichtern kann.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks, eine Bearbeitungseinheit zum Ausbilden einer bearbeiteten Nut am am Einspanntisch gehaltenen Werkstück, ein Aufnahmemittel zum Detektieren eines Zielbereichs des zu bearbeitenden Werkstücks, und ein Touchpanel zum Anzeigen einer vom Aufnahmemittel detektierten Aufnahme beinhaltet, wobei das Touchpanel in der Lage ist, eine Eingabe von mehreren Parametern für verschiedene Überprüfungsbedingungen zu empfangen, wobei das Steuerungsverfahren die Schritte beinhaltet: ein Anhalten einer Bearbeitungsbedienung der Bearbeitungseinheit während des Ausbildens der bearbeiteten Nut, und dann ein Aufnehmen der bearbeiteten Nut unter Benutzung des Aufnahmemittels, um die detektierte Aufnahme zu erhalten; ein Überprüfen des Zustandes der bearbeiteten Nut gemäß der detektieren Aufnahme; ein Eingeben eines Ausgewählten der Parameter in einen auf dem Touchpanel angezeigten Eingabebereich durch einen Bediener beim Einstellen der Parameter, um die Überprüfungsbedingungen zu optimieren; ein Bewegen eines Eingabe-Cursors vom Eingabebereich gemäß der Eingabe des ausgewählten Parameters; und ein Ausführen der Überprüfung der bearbeiteten Nut unter Benutzung des im Eingabebereich eingegebenen ausgewählten Parameters.
  • Mit dieser Ausgestaltung können die folgenden Effekte gezeigt werden. Wenn der Parameter in den Eingabebereich eingegeben wird und der Eingabe-Cursor vom Eingabebereich bewegt wird, wird die Überprüfung der bearbeiteten Nut getriggert. Das heißt, dass die Überprüfung der bearbeiteten Nut automatisch gestartet wird, ohne dass es eines Befehls vom Bediener bedarf. Das heißt, dass nicht notwendig ist, dass der Bediener die Überprüfung jedes Mal befiehlt, wenn der Parameter eingegeben wird. Demgemäß kann die Bedienung des Auswählens des Parameters für die Überprüfungsbedingungen gleichmäßig durchgeführt werden und die Überprüfungsbedingungen können in einer kurzen Zeit optimiert werden.
  • Bevorzugt beinhalten die mehreren Parameter eine Lichtmenge. Bevorzugt beinhalten die mehreren Parameter eine Aufnahmeposition.
  • Wie oben beschrieben, wird, wenn der Parameter in den Eingabebereich eingegeben wird und der Eingabe-Cursor vom Eingabebereich bewegt wird, die Überprüfung der bearbeiteten Nut getriggert. Demgemäß kann die Bedienung des Auswählens des Parameters für die Überprüfungsbedingungen gleichmäßig durchgeführt werden.
  • Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine Perspektivansicht, die ein äußeres Erscheinungsbild der Schneidvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
    • 2 ist eine Perspektivansicht, die eine innere Struktur der in 1 dargestellten Schneidvorrichtung darstellt;
    • 3 ist eine Seitenansicht zum Darstellen der Überprüfung einer geschnittenen Nut im Stand der Technik zum Vergleich;
    • 4 ist eine schematische Schnittansicht eines Touchpanels in dieser bevorzugten Ausführungsform;
    • 5 ist ein Blockdiagramm, das die Überprüfungsbedienung gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform darstellt; und
    • 6A bis 6D sind Seitenansichten des Touchpanels zum Darstellen der Überprüfungsbedienung der Fugenüberprüfung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Im Folgenden wird eine Schneidvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine Perspektivansicht, die ein äußeres Erscheinungsbild der Schneidvorrichtung gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform darstellt. 2 ist eine Perspektivansicht, die eine innere Struktur der in 1 dargestellten Schneidvorrichtung darstellt. 3 ist eine Seitenansicht zum Darstellen der Überprüfung einer geschnittenen Nut im Stand der Technik zum Vergleich. In dieser bevorzugten Ausführungsform ist die Schneidvorrichtung als ein Beispiel der Bearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Allerdings ist die Bearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung nicht auf eine solche Schneidvorrichtung beschränkt, vorausgesetzt, dass ein Überprüfen von Fugen durchgeführt werden kann.
  • Bezug nehmend auf 1 ist die Schneidvorrichtung 1 mit einem Touchpanel 75 zum Aufnehmen einer Eingabebedienung durch einen Bediener versehen. Verschiedene Bearbeitungsbedingungen werden auf dem Touchpanel 75 festgelegt. Auf der Basis der auf dem Touchpanel 75 festgelegten Bearbeitungsbedingungen werden eine Schneidklinge 71 (siehe 2) und ein an einem Einspanntisch 14 gehaltenes Werkstück W relativ bewegt, um dadurch das Werkstück W am Einspanntisch 14 mit der Schneidklinge 71 entlang jeder Teilungslinie zu schneiden. Die vordere Seite des Werkstücks W ist durch mehrere Teilungslinien aufgeteilt, um mehrere getrennte Bereiche zu definieren, in denen mehrere Bauelemente einzeln ausgebildet sind.
  • Ein Teilungsband T ist an seiner zentralen Stelle an der Rückseite des Werkstücks W angebracht und ein Ringrahmen F ist an einem Umfangsabschnitt des Teilungsbandes T angebracht. Demgemäß wird das Werkstück W über das Teilungsband T am Ringrahmen F getragen, sodass es vom Ringrahmen F umgeben wird. Das so über das Teilungsband T am Ringrahmen F getragene Werkstück W wird in die Schneidvorrichtung 1 geladen. Das Werkstück W kann jedes Objekt sein, das von der Schneidvorrichtung 1 bearbeitet werden kann. Beispielsweise kann das Werkstück W ein Halbleiterwafer oder ein Optikbauelementwafer sein, an dem Bauelemente vorher ausgebildet worden sind. Ferner kann es sein, dass das Teilungsband T nicht nur ein aus einer Basisfolie und einer auf der Basisfolie ausgebildeten Haftschicht bestehendes Haftband, sondern auch ein Die-Attach-Film (DAF)-Band, das aus einer Basisfolie und einem an der Basisfolie angebrachten DAF besteht, ist.
  • Die Schneidvorrichtung 1 weist ein kastenartiges Gehäuse 10 zum Abdecken eines Bearbeitungsraums, in dem ein Scheiden durchgeführt wird, und ein Tragbett 13 neben dem Gehäuse 10 auf und weist einen Bereitstellungsraum und einen Reinigungsraum, die am Tragbett 13 ausgebildet sind, auf. Die obere Oberfläche des Tragbetts 13 ist an ihrer zentralen Stelle eingeschnitten, um eine rechtwinkelige Öffnung auszubilden, die sich in Richtung des Inneren des Gehäuses 10 erstreckt. Diese rechtwinkelige Öffnung ist mit einer sich bewegenden Platte 15 und einer balgförmigen wasserdichten Abdeckung 16 bedeckt, und die sich bewegende Platte 15 ist mit dem Einspanntisch 14 beweglich. Unterhalb der wasserdichten Abdeckung 16 ist ein X-Bewegungsmechanismus (siehe 2) zum Bewegen des Einspanntischs 14 in einer in 1 durch einen Pfeil X dargestellten X-Richtung vorgesehen. 1 stellt einen Zustand dar, in dem der Einspanntisch 14 nach außerhalb des Gehäuses 10 bewegt worden ist und im vom Tragbett 13 ausgebildeten Bereitstellungsraum angeordnet worden ist.
  • Der Einspanntisch 14 weist eine Halteoberfläche 17 zum Halten des Werkstücks W auf. Die Gehäuseoberfläche 17 ist aus einem porösen Keramikmaterial ausgebildet. Das Werkstück W ist so eingerichtet, dass es aufgrund eines auf die Halteoberfläche 17 aufgebrachten Vakuums unter Ansaugung an der Gehäuseoberfläche 17 gehalten wird. Vier luftbetriebene Klemmen 18 sind in gleichen Abständen um den Einspanntisch 14 vorgesehen, um den Ringrahmen F, der das Werkstück W umgibt, zu halten. Die oberen und unteren Oberflächen des Ringrahmens F sind so eingerichtet, dass sie von jeder Klemme 18 gefasst werden. Ein Paar Zentrierführungen 21 ist oberhalb des Einspanntischs 14 vorgesehen. Die Zentrierführungen 21 erstrecken sich in einer in 1 durch einen Pfeil Y dargestellten Y-Richtung. Die Zentrierführungen 21 sind so eingerichtet, dass sie in der X-Richtung aufeinander zu und voneinander weg bewegt werden können, und dadurch das Werkstück W in der X-Richtung in Bezug auf den Einspanntisch 14 positionieren.
  • Eine Anhebeinheit 22 zum vertikalen beweglichen Anbringen einer (nicht dargestellten) Kassette ist am Tragbett 13 neben dem Einspanntisch 14 an der vorderen Seite in der Y-Richtung vorgesehen. Die Anhebeinheit 22 weist eine Bühne 23 zum Platzieren der Kassette darauf auf. Wenn die Bühne 23 vertikal bewegt wird, wird die Höhe eines Gewünschten der in der auf der Bühne 23 platzierten Kassette gelagerten Werkstücke W eingestellt. Das heißt, dass durch ein Anheben oder Absenken der Bühne 23 die Lade-/Entlade-Position der Kassette, an der das Werkstück W vor einem Bearbeiten aus der Kassette gezogen wird und dann zu dem Einspanntisch 14 geladen wird, oder an der das Werkstück W nach einem Bearbeiten aus vom Einspanntisch 14 entladen wird und dann in die Kassette geschoben wird, erreicht wird. Das Gehäuse 10 weist eine Seitenoberfläche 11 auf und ein Druck-Zug-Arm 24 ist an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 vorgesehen. Der Druck-Zug-Arm 24 wirkt so, dass er das Werkstück W in die Kassette drückt oder das Werkstück W in dem Zustand, in dem der Ringrahmen F von dem Paar Zentrierführungen 21 geführt wird, aus der Kassette zieht. Ferner sind ein erster Arm 31 und ein zweiter Arm 41 auch an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 vorgesehen. Der erste Arm 31 wirkt so, dass er das Werkstück W vom Einspanntisch 14 zu einem Drehtisch 20 zur Benutzung beim Reinigen des Werkstücks W nach einem Bearbeiten überträgt. Der zweite Arm 41 wirkt so, dass er das Werkstück W nach einem Reinigen vom Drehtisch 20 zum Einspanntisch 14 überträgt.
  • Der Druck-Zug-Arm 24 wird durch einen an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 vorgesehenen horizontalen Bewegungsmechanismus 25 angetrieben. Der horizontale Bewegungsmechanismus 25 weist ein Paar paralleler Führungsschienen 26, die an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 so vorgesehen sind, dass sie sich in der Y-Richtung erstrecken, und einen motorgetriebenen Gleiter 27, der am Paar Führungsschienen 26 gleitend angebracht ist, auf. Ein (nicht dargestellter) Mutterabschnitt ist an der Rückseite (gegenüber der Seitenoberfläche 11) des Gleiters 27 ausgebildet, und eine Kugelgewindespindel 28 steht mit diesem Mutterabschnitt in Gewindeeingriff. Ein Antriebsmotor 29 ist mit einem Ende der Kugelgewindespindel 28 verbunden. Wenn der Antriebsmotor 29 betrieben wird, wird die Kugelgewindespindel 28 gedreht, sodass sie den Gleiter 27 entlang des Paares Führungsschienen 26 bewegt. Somit führt der Druck-Zug-Arm 24 einen Druck-Zug-Betrieb, sodass er entlang des Paares Führungsschienen 26 in der Y-Richtung bewegt wird.
  • Der erste Arm 31 wird durch einen an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 vorgesehenen horizontalen Bewegungsmechanismus 32 angetrieben. Ähnlich wird der zweite Arm 41 durch einen an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 vorgesehenen horizontalen Bewegungsmechanismus 42 angetrieben. Der horizontale Bewegungsmechanismus 32 zum Antreiben des ersten Arms 31 weist ein Paar paralleler Führungsschienen 33, die an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 so vorgesehen sind, dass sie sich in der Y-Richtung erstrecken, und einen motorgetriebenen Gleiter 34, der am Paar Führungsschienen 33 gleitend angebracht ist, auf. Ähnlich weist der horizontale Bewegungsmechanismus 42 zum Antreiben des zweiten Arms 41 ein Paar paralleler Führungsschienen 43, die so an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 angebracht sind, dass sie sich in der Y-Richtung erstrecken, und einen motorgetriebenen Gleiter 44, der am Paar Führungsschienen 43 gleitend angebracht ist, auf. Ein (nicht dargestellter) Mutterabschnitt ist an der Rückseite (gegenüber der Seitenoberfläche 11) des Gleiters 34 ausgebildet, und eine Kugelgewindespindel 35 steht mit diesem Mutterabschnitt im Gewindeeingriff. Ähnlich ist ein (nicht dargestellter) Mutterabschnitt an der Rückseite (gegenüber der Seitenoberfläche 11) des Gleiters 44 ausgebildet, und eine Kugelgewindespindel 45 steht mit diesem Mutterabschnitt im Gewindeeingriff. Ein Antriebsmotor 36 ist mit dem Ende der Kugelgewindespindel 35 verbunden. Ähnlich ist ein Antriebsmotor 46 mit einem Ende der Kugelgewindespindel 45 verbunden. Wenn der Antriebsmotor 36 bedient wird, wird die Kugelgewindespindel 35 gedreht, um den Gleiter 34 entlang des Paares Führungsschienen 33 zu bewegen. Somit kann der erste Arm 31 in der Y-Richtung entlang des Paares Führungsschienen 33 bewegt werden. Ähnlich wird, wenn der Antriebsmotor 46 bedient wird, die Kugelgewindespindel 45 gedreht, um den Gleiter 44 entlang des Paares Führungsschienen 43 zu bewegen. Somit kann der zweite Arm 41 in der Y-Richtung entlang des Paares Führungsschienen 43 bewegt werden.
  • Wie in 2 dargestellt, bezeichnet Bezugszeichen 19 eine im Gehäuse 10 und dem Tragbett 13 vorgesehene Basis (siehe 1). Der X-Bewegungsmechanismus 50 zum Bewegen des Einspanntischs 14 in der X-Richtung an in der Basis 19 vorgesehen. Der X-Bewegungsmechanismus 50 weist ein Paar paralleler Führungsschienen 51, die an der Basis 19 so vorgesehen sind, dass sie sich in der X-Richtung erstrecken, und einen motorgetriebenen X-Tisch 52, der am Paar Führungsschienen 51 gleitend angebracht ist, auf. Ein (nicht dargestellter) Mutterabschnitt ist an der Rückseite (untere Oberfläche) des X-Tischs 52 ausgebildet und eine Kugelgewindespindel 53 steht mit diesem Mutterabschnitt im Gewindeeingriff. Ein Antriebsmotor 54 ist mit einem Ende der Kugelgewindespindel 53 verbunden. Wenn der Antriebsmotor 54 bedient wird, wird die Kugelgewindespindel 53 so gedreht, dass sie den X-Tisch 52 entlang des Paares Führungsschienen 51 bewegt. Der Einspanntisch 14 ist an der oberen Oberfläche des X-Tischs 52 befestigt. Demgemäß kann der Einspanntisch 14 in der X-Richtung entlang des Paares Führungsschienen 51 bewegt werden.
  • Ein Doppelsäulen-Tragrahmen 20 ist an der oberen Oberfläche der Basis 19 so vorgesehen, dass er den Bewegungsweg des Einspanntischs 14 überspannt. Am Tragrahmen 20 sind ein Paar Y-Bewegungsmechanismen 60 zum jeweiligen Bewegen eines Paars Schneideinheiten (Bearbeitungseinheiten) 70 in der X-Richtung vorgesehen, und ein Paar Z-Bewegungsmechanismen 65 zum jeweiligen Bewegen des Paars Schneideinheiten 70 in der durch einen Pfeil Z in 2 dargestellten Z-Richtung. Jeder Y-Bewegungsmechanismus 60 weist ein Paar paralleler Führungsschienen 61, die an der vorderen Oberfläche des Tragrahmens 20 so vorgesehen sind, dass sie sich in der Y-Richtung erstrecken, und einen Y-Tisch 62 auf, der gleitend am Paar Führungsschienen 61 angebracht ist. Ähnlich weist jeder Z-Bewegungsmechanismus 65 ein Paar paralleler Führungsschienen 66, die am Y-Tisch 62 so vorgesehen sind, dass sie sich in der Z-Richtung erstrecken, und einen Z-Tisch 67 auf, der gleitend am Paar Führungsschienen 66 angebracht ist.
  • Die Schneideinheit 70 zum Ausbilden einer geschnittenen Nut (Kerbe) am Werkstück W ist am unteren Ende jedes Z-Tischs 67 vorgesehen. Ein (nicht dargestellter) Mutterabschnitt ist an der Rückseite jedes Y-Tischs 62 ausgebildet, und ein (nicht dargestellter) Mutterabschnitt ist auch an der Rückseite des Z-Tischs 67 ausgebildet. Eine Kugelgewindespindel 63 steht mit dem Mutterabschnitt jedes Y-Tischs 62 in Gewindeeingriff und eine Kugelgewindespindel 68 steht auch mit dem Mutterabschnitt jedes Z-Tischs 67 im Gewindeeingriff. Ein Antriebsmotor 64 ist mit einem Ende der Kugelgewindespindel 63 für jeden Y-Tisch 62 verbunden und ein Antriebsmotor 69 ist mit einem Ende der Kugelgewindespindel 68 für jeden Z-Tisch 67 verbunden. Demgemäß kann durch ein Bedienen des Antriebsmotors 64, sodass sich die Kugelgewindespindel 63 dreht, jede Schneideinheit 70 in der Y-Richtung entlang der Führungsschienen 61 bewegt werden. Ferner kann durch ein Bedienen des Antriebsmotors 69, sodass er die Kugelgewindespindel 68 dreht, jede Schneideinheit 70 in der Z-Richtung entlang der Führungsschienen 66 bewegt werden.
  • Jede Schneideinheit 70 beinhaltet ein Spindelgehäuse, eine am Spindelgehäuse drehbar getragene Spindel und eine am vorderen Ende der Spindel angebrachte Schneidklinge 71. Die Schneidklinge 71 wirkt so, dass sie das am Einspanntisch 14 gehaltene Werkstück W schneidet. Die Schneidklinge 71 ist ein durch ein Verbinden von abrasiven Diamantkörnern mit einem Binder ausgebildetes scheibenförmiges Element. Ferner ist ein Aufnahmemittel 73 zum Detektieren eines Zielgebiets des zu bearbeitenden Werkstücks W am Spindelgehäuse jeder Schneideinheit 70 vorgesehen. Wieder bezugnehmend auf 1 weist das Gehäuse 10 eine vordere Oberfläche 12 auf, und das Touchpanel 75 zum Anzeigen verschiedener Arten von Informationen ist an der vorderen Oberfläche 12 des Gehäuses 10 vorgesehen. Auf dem Touchpanel 75 werden eine Aufnahme einer geschnittenen Nut, die vom Aufnahmemittel 73 detektiert wird, und die Objekte verschiedener Überprüfungsbedingungen für die geschnittene Nut angezeigt.
  • Wie in 3 dargestellt, bezeichnet Bezugszeichen 101 ein gewöhnliches Touchpanel zur Benutzung in einer Schneidvorrichtung. Das Touchpanel 101 weist einen Überprüfungsschirm 100 zum Anzeigen einer detektierten Aufnahme 82 einer geschnittenen Nut 83 auf. Ferner ist ein Eingabegebiet 102 für verschiedene Überprüfungsbedingungen am Überprüfungsschirm 100 vorgesehen, in dem Parameter, der eine Lichtmenge des Aufnahmemittels 72 (siehe 2) beinhalten, in das Eingabegebiet 102 eingegeben werden. Ferner wird dieser eingegebene Paramenter in der Schneidvorrichtung wiedergegeben, wenn ein Finger eines Bedieners einen ENTER-Knopf 103, der auf dem Überprüfungsschirm 100 vorgesehen ist, berührt. Ferner wird, wenn ein OK-Knopf 104, der auf dem Überprüfungsschirm 100 vorgesehen ist, vom Finger berührt wird, die am Werkstück W ausgebildete geschnittene Nut 83 vom Aufnahmemittel 73 aufgenommen, und verschiedene Bearbeitungsdefekte wie beispielsweise Abplatzungen, Abweichungen und Verschiebungen der Position werden an der geschnittenen Nut 83 überprüft. Beim Durchführen der Überprüfung der geschnittenen Nut 83 (Fugenüberprüfung) müssen verschiedene Einstellobjekte für den Parameter berücksichtigt werden. Insbesondere muss der Parameter, der eine Lichtmenge und eine Aufnahmeposition beinhaltet, gemäß dem Oberflächenzustand des Werkstücks oder einer Testelementgruppe (TEG) fein eingestellt werden.
  • Demgemäß müssen die Überprüfungsbedingungen durch ein Berühren der ENTER-Taste 103 jedes Mal eingestellt werden, wenn der Parameter im Eingabebereich 102 geändert wird, und die Fugenüberprüfung muss durch ein Berühren der OK-Taste 104 ausgeführt werden. Wie oben beschrieben, müssen beim Durchführen der Fugenüberprüfung viele Einstellobjekte für den Parameter berücksichtigt werden, und die Änderung des Parameters wird wiederholt, um dadurch alle optimalen Überprüfungsbedingungen herauszufinden, sodass für die Optimierung der Überprüfungsbedingungen viel Zeit benötigt wird. Ferner müssen die Überprüfungsbedingungen jedes Mal, wenn der Parameter geändert wird, festgelegt werden, sodass eine schnelle Antwort auf eine solche Änderung der Überprüfungsbedingungen von Seiten des Computers in der Schneidvorrichtung nicht unterstützt werden kann. Ferner ist die Bedienung des Auswählens der Überprüfungsbedingungen problematisch, da der Bediener die ENTER-Taste 103 und die OK-Taste 104 berühren muss, und die Fugenüberprüfung kann nicht gleichmäßig durchgeführt werden.
  • Im Gegensatz dazu ist diese bevorzugte Ausführungsform dahingehend verbessert, dass nach einem Eingeben des Parameters im Eingabebereich ein Eingabecursor vom Eingabebereich bewegt wird und gleichzeitig die Fugenüberprüfung ausgeführt wird. Mit dieser Ausgestaltung kann die Fugenüberprüfung simuliert werden, bevor die Überprüfungsbedingungen festgelegt werden, und die optimalen Überprüfungsbedingungen können in einer kurzen Zeit durch ein Wiederholen dieser Simulation der Fugenüberprüfung herausgefunden werden. Ferner ist es in dieser Simulation nicht notwendig, die Überprüfungsbedingungen festzulegen. Demgemäß sind häufige Änderungen der Überprüfungsbedingungen von Seiten des Computers erlaubt und die Fugenüberprüfung kann gleichmäßig durchgeführt werden, ohne, dass ein Festlegen der Überprüfungsbedingungen notwendig ist, wodurch die Arbeitsbelastung des Bedieners reduziert wird.
  • Unter Bezugnahme auf 4 und 5 wird nun die Steuerungsausgestaltung der Überprüfungsbedienung in dieser bevorzugten Ausführungsform beschrieben werden. 4 ist eine schematische Schnittansicht des Touchpanels 75 in dieser bevorzugten Ausführungsform und 5 ist ein Blockdiagramm, das die Überprüfungsbedienung gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform darstellt.
  • Wie ein 4 dargestellt, ist das Touchpanel 75 ein sogenanntes kapazitives Touchpanel, das ein Flüssigkristall-Panel 76, eine transparente Elektrodenschicht 78, die auf dem Glassubstrat 77 ausgebildet ist, und eine Schutzschicht 79, die an der transparenten Elektrodenschicht 78 ausgebildet ist, beinhaltet. Das Flüssigkristall-Display 76 weist einen Einstellungsbildschirm auf, und verschiedene Arten von Information können durch ein Berühren der oberen Oberfläche des Touchpanels 75 durch einen Finger eines Bedieners eingegeben werden. In diesem Fall sind (nicht dargestellte) Elektroden an den vier Ecken des Glassubstrats 77 vorgesehen und eine Spannung wird auf jede Elektrode ausgebracht, um im Vorhinein ein gleichmäßiges elektrisches Feld über dem Touchpanel 75 zu erzeugen. Wenn die obere Oberfläche des Touchpanels 75 vom Finger berührt wird, wird eine elektrostatische Kapazität an der Berührungsposition geändert, sodass die Koordinaten der Berührungsposition detektiert werden.
  • Wie in 5 dargestellt, weist das Touchpanel 75 einen Überprüfungsschirm 81 zum Empfangen einer Eingabe eines Parameters für Überprüfungsbedingungen auf. Eine detektierte Aufnahme 82 einer geschnittenen Nut 83 wird auf dem Überprüfungsschirm 81 angezeigt und ein Eingabebereich 84 zum Eingeben des Parameters für die Überprüfungsbedingungen ist neben der detektierten 82 vorgesehen. Die detektierte Aufnahme 82 beinhaltet eine tatsächliche Aufnahme der am Werkstück W ausgebildeten geschnittenen Nut 83 und beinhaltet einen Ergebnis-Anzeigebereich 85 zum Anzeigen des Überprüfungsergebnisses, beinhaltend die Breite der geschnittenen Nut 83 und die Abplatzungsgröße der geschnittenen Nut 83. Der Parameter für die Überprüfungsbedingungen beinhaltet beispielsweise eine Lichtmenge und eine Aufnahmeposition des Aufnahmemittels 73. Ferner wird auf dem Überprüfungsschirm 81 ein ENTER-Knopf 86 zum Einstellen des Parameters für die Überprüfungsbedingungen angezeigt.
  • Ein Steuerungsmittel 90 zum Steuern des Überprüfungsbetriebs zur Fugenüberprüfung gemäß der Panelbedienung durch den Bediener ist mit dem Touchpanel 75 verbunden. Das Steuerungsmittel 90 beinhaltet einen CursorDetektionsbereich 91 zum Detektieren der Bewegung eines Eingabe-Cursors 87 und einen Aufnahmesteuerungsbereich 92 zum Steuern eines Aufnahmeantriebs für das Aufnahmemittel 73 (siehe 2) und einen Schaftantrieb 96 für den X-Bewegungsmechanismus 50 (siehe 2). Das Steuerungsmittel 90 beinhaltet ferner einen Anzeige-Steuerungsbereich 93 zum Anzeigen der vom Aufnahmemittel 73 erhaltenen detektierten Aufnahme 82 auf dem Touchpanel 75 und einen Überprüfungsbereich 94 zum Durchführen der Fugenüberprüfung gemäß der auf dem Touchpanel 75 angezeigten detektierten Aufnahme 82.
  • Der Cursordetektionsbereich 91 detektiert den Eingabecursor 87, der sich vom Eingabebereich 84 bewegt. Der Eingabe-Cursor 87 ist durch eine rechtwinkelige Umrandung, die entlang des Umfangs des Eingabegebiets 84 ausgebildet ist, ausgestaltet. Der Eingabe-Cursor 87 wird so angezeigt, dass er dem Umfang des Eingabebereichs 84 überlagert ist. Wenn der Eingabe-Cursor 87 durch den Finger des Bedieners so bedient wird, dass er auf den am Touchpanel 75 angezeigten Eingabebereich 84 gesetzt wird, wird eine Eingabe des Parameters in den Eingabebereich 84 zugelassen. Nach einem Eingeben des Parameters in den Eingabebereich 84 wird der Eingabe-Cursor durch den Finger des Bedieners vom Eingabebereich 84 bewegt. Zu diesem Zeitpunkt wird die Bewegung des Eingabe-Cursors 87 vom Cursordetektionsabschnitt 91 detektiert und ein Signal, das diese Bewegung des Eingabe-Cursors 87 anzeigt, wird vom Cursordetektionsbereich 91 zum Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 ausgegeben.
  • Wenn der Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 dieses Signal, das die Bewegung des Eingabe-Cursors 87 anzeigt, als einen Trigger empfängt, steuert der Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 das Aufnahmemittel 73 so, dass es die geschnittene Nut 83 gemäß dem in den Eingabebereich 84 eingegebenen Parameter aufnimmt. Beispielsweise wird, wenn eine Lichtmenge in den Eingabebereich 84 eingegeben wird, ein Einstellungsbefehl für die Lichtmenge vom Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 zum Aufnahmeantrieb 95 ausgegeben. Ferner wird, wenn eine Aufnahmeposition in den Eingabebereich 84 eingegeben wird, ein Bewegungsbereich für die Aufnahmeposition vom Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 zum Schaftantrieb 96 ausgegeben. Dann stellt der Aufnahmeantrieb 95 die Lichtmenge des Aufnahmemittels 73 gemäß diesem Einstellungsbefehl ein und der Schaftantrieb 96 treibt den X-Bewegungsmechanismus 50 gemäß diesem Bewegungsbefehl an, um dadurch das Aufnahmemittel 73 und den Einspanntisch 14 relativ in der X-Richtung zu bewegen, und somit die Aufnahmeposition zu ändern.
  • Nach einem Abschließen der Einstellung der Lichtmenge des Aufnahmemittels 73 und der Bewegung des Einspanntischs 14 wird ein Abschlusssignal vom Aufnahmeantrieb 95 und dem Wellenantrieb 96 zum Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 gesendet. Nachdem das Abschlusssignal vom Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 empfangen worden ist, steuert der Aufnahmesteuerungsabschnitt 92 den Aufnahmeantrieb 95 und bedient das Aufnahmemittel 73 so, dass es die am Werkstück W ausgebildete geschnittene Nut 83 aufnimmt. Demgemäß wird die am Werkstück W ausgebildete geschnittene Nut 83 gemäß dem in den auf dem Überprüfungsschirm 81 angezeigten Eingabebereich 84 eingegebenen Parameter, das heißt, mit der Lichtmenge, die für den Oberflächenzustand des Werkstücks W geeignet ist, und an der Aufnahmeposition, an der ein TEG berücksichtigt wird, aufgenommen. Nachdem die geschnittene Nut 83 vom Aufnahmemittel 73 aufgenommen worden ist, werden Aufnahmedaten vom Aufnahmemittel 73 zum Anzeigesteuerungsabschnitt 93 ausgegeben.
  • Der Anzeigesteuerungsabschnitt 93 bildet die detektierte Aufnahme 82 aus den Aufnahmedaten, die vom Aufnahmemittel 73 eingegeben wurden, und zeigt die detektierte Aufnahme 82 dann auf dem Überprüfungsschirm 81 des Touchpanels 75 an. Der Überprüfungsabschnitt 94 führt verschiedene Arten von Bildbearbeitung an der detektierten Aufnahme 82 durch und führt dadurch die Fugenüberprüfung der Breite der geschnittenen Nut 83, der Splittergröße der geschnittenen Nut 83 usw. durch. Das Ergebnis dieser Fugenüberprüfung wird vom Überprüfungsabschnitt 94 zum Anzeigesteuerungsabschnitt 93 ausgegeben und der Ergebnis-Anzeigebereich 85, der das Ergebnis der Fugenüberprüfung darstellt, wird vom Anzeigesteuerungsabschnitt 93 auf der detektierten Aufnahme 82 angezeigt. Mit dieser Ausgestaltung kann die Fugenüberprüfung durch ein Bedienen des Aufnahmemittels 73 durchgeführt werden, um die geschnittene Nut 83 nach einem Anhalten der Schneidbedienung des Schneidens des Werkstücks W aufzunehmen, um die geschnittene Nut 83 unter Benutzung der Schneideinheit 70 auszubilden.
  • Der Cursor-Detektierabschnitt 91, der Aufnahmesteuerungsabschnitt 92, der Anzeigesteuerungsabschnitt 93 und der Überprüfungsabschnitt 94 des Steuerungsmittels 90 sind durch einen Prozessor, ein Speichermedium etc. ausgebildet, um verschiedene Arten von Berechnungen auszuführen. Beispiele für das Speichermedium beinhalten ein Read-Only-Memory (ROM), einen Random-Access-Memory (RAM) und eine Festplatte (HDD). Eines oder mehrere dieser Speichermedien wird oder werden abhängig von einer Benutzung ausgewählt. Das Speichermedium speichert im Vorhinein ein Programm für eine Aufnahmesteuerung, ein Programm für eine Anzeigensteuerung und verschiedene Parameter für Überprüfungsbedingungen. Ferner kann das Steuerungsmittel 90 getrennt von der Steuerung der Schneidvorrichtung 1 in ihrer Gesamtheit für das Touchpanel 75 bestimmt sein.
  • Ferner ist die von der Cursorbewegung zu triggernde Fugenüberprüfung eine Simulation von einem Festlegen der Überprüfungsbedingungen. Das heißt, dass die Überprüfungsbedingungen nicht festgelegt sind, bis der ENTER-Knopf 86 durch den Finger berührt wird. Insbesondere wird der in den Eingabebereich 84 eingegebene Parameter zum Zeitpunkt, zu dem der Eingabe-Cursor 87 vom Eingabegebiet 84 bewegt wird, vorübergehend im RAM gespeichert. Dann wird die Fugenüberprüfung unter Benutzung des aus dem RAM gelesenen Parameters simuliert. Demgemäß kann, selbst wenn der Parameter häufig geändert wird, um die Fugenüberprüfung zu wiederholen, der geänderte Parameter schnell in den RAM geschrieben werden.
  • Die Überprüfungsbedienung der Fugenüberprüfung wird nun unter Bezugnahme auf 6A bis 6D beschrieben. 6A und 6B stellen die Überprüfungsbedienung für die Fugenüberprüfung im Stand der Technik zum Vergleich dar und 6C und 6D stellen die Überprüfungsbedienung für die Fugenüberprüfung gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform dar. Der in 6A und 6B dargestellte Vergleich stellt die Überprüfungsbedienung für eine allgemeine Fugenüberprüfung dar. Ferner werden die in 5 dargestellten Bezugszeichen in 6C und 6D zur einfacheren Darstellung benutzt.
  • Wie in 6A dargestellt, wird der Parameter für die Überprüfungsbedingungen im Eingabebereich 102 des Überprüfungsschirms 100 eingegeben und der ENTER-Knopf 103 wird vom Finger berührt, um dadurch die Überprüfungsbedingungen festzulegen (einzustellen). Zu diesem Zeitpunkt wird der in den Eingabebereich 102 eingegebene Parameter durch die Berührung des ENTER-Knopfs 103 in den HDD geschrieben. Danach wird, wie in 6B dargestellt, der OK-Knopf 104 vom Finger berührt, um dadurch den Parameter vom HDD zu lesen und dann das Aufnehmen der geschnittenen Nut 83 gemäß den oben festgelegten Überprüfungsbedingungen durchzuführen. Zu diesem Zeitpunkt wird die detektierte Aufnahme 82 auf dem Überprüfungsschirm 100 angezeigt, um die Fugenüberprüfung durchzuführen. Im Fall, dass die Fugenüberprüfung wiederholt wird, müssen die Überprüfungsbedingungen jedes Mal eingestellt werden, wenn der Parameter geändert wird.
  • Auf diese Weise wird eine dreischrittige Bedienung, die die Eingabe in den Eingabebereich 102 durch den Bediener, die Berührung des ENTER-Knopfs 103 und die Berührung des OK-Knopfs 104 beinhaltet, beim Durchführen der Fugenüberprüfung im Stand der Technik benötigt. Demgemäß muss die obige dreischrittige Bedienung wiederholt werden, um alle optimalen Überprüfungsbedingungen herauszufinden, was in einer schwierigen Arbeit für den Bediener resultiert. Ferner ist die Zeit, die für ein Schreiben in den HDD benötigt wird, während der Parameter in den an der Schneidvorrichtung vorgesehenen HDD geschrieben wird, länger als die Zeit, die für ein Schreiben in den RAM benötigt wird. Demgemäß ist ein Schreiben in den HDD für die Bedienung des Änderns des Parameters der Überprüfungsbedingungen und das Wiederholen der Fugenüberprüfung nicht geeignet.
  • Im Gegenteil wird, wie in 6C dargestellt, der Parameter für die Überprüfungsbedingungen im Eingabebereich 84 des Überprüfungsschirms 81 eingegeben und der Eingabecursor 87 wird dann vom Eingabebereich 84 bewegt, um die Überprüfungsbedingungen gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform vorübergehend zu entscheiden. Zu diesem Zeitpunkt wird die Bewegung des Eingabecursors 87 vom CursorDetektionsabschnitt 91 detektiert und der in den Eingabebereich 84 eingegebene Parameter wird gleichzeitig zu dieser Detektion in dem RAM geschrieben. Danach wird, wie in 6D dargestellt, der Parameter aus dem RAM ausgelesen, um das Aufnehmen der geschnittenen Nut 83 gemäß den vorübergehenden Überprüfungsbedingungen durch den AufnahmeSteuerungsabschnitt 92 durchzuführen. Die detektierte Aufnahme 82 wird vom Anzeige-Steuerungsabschnitt 93 auf dem Überprüfungsschirm 81 angezeigt und die Fugenüberprüfung für die auf der detektierten Aufnahme 82 angezeigte geschnittene Nut 83 wird vom Überprüfungsabschnitt 94 durchgeführt. Selbst, wenn die Fugenüberprüfung wiederholt wird, ist es nicht notwendig, die Überprüfungsbedingungen jedes Mal festzulegen, wenn der Parameter geändert wird.
  • Auf diese Weise wird eine zweischrittige Bedienung, die die Eingabe in den Eingabebereich 84 durch den Bediener und die Bewegung des Eingabe-Cursors 87 vom Eingabebereich 84 beinhaltet, beim Durchführen der Fugenüberprüfung gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform durchgeführt. Demgemäß kann eine Arbeitsbelastung des Bedieners beim Herausfinden jeder optimalen Überprüfungsbedingung im Vergleich zu der in 6A und 6B dargestellten Bedienung gemäß dem Stand der Technik verringert werden. Ferner kann die Fugenüberprüfung, da der Parameter in den an der Schneidvorrichtung vorgesehenen RAM geschrieben wird, durch ein häufiges Schreiben des Parameters in den RAM wiederholt werden, um dadurch den Parameter zu ändern. Nachdem die optimalen Überprüfungsbedingungen herausgefunden worden sind, wird der ENTER-Knopf 86 vom Finger gedrückt, um dadurch die Fugenüberprüfungsbedingungen festzulegen. Das heißt, dass die optimalen Überprüfungsbedingungen herausgefunden werden können, indem die Fugenüberprüfung wiederholt wird, um den Parameter der Überprüfungsbedingungen fein einzustellen.
  • Beim Fugenüberprüfen gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform werden die Bedienung des Bedieners und die Bedienung des Schafts überwacht, und die Fugenüberprüfung wird in dem Zustand durchgeführt, in dem die Überprüfungsbedingungen nach einem Ändern des Parameters nicht festgelegt sind. Demgemäß neigen der Berechnungsaufwand und die Berechnungszeit dazu, anzusteigen. Insbesondere werden, wenn mehrere Parameter kontinuierlich geändert werden, mehrmalige Fugenüberprüfungen benötigt. Allerdings wird die Fugenüberprüfung in dieser bevorzugten Ausführungsform in dem Zustand durchgeführt, in dem die Schneidvorrichtung 1 (siehe 1) bei der Bedienung gestoppt wird (die Schneidbedienung wird angehalten), das heißt, dass der Prozessor unter einer geringen Last steht. Demgemäß werden andere Prozesse während der Fugenüberprüfung nicht beeinflusst. Das heißt, dass die Fugenüberprüfung unter effektiver Benutzung der Ressourcen im angehaltenen Zustand der Schneidvorrichtung 1 durchgeführt werden kann.
  • Wie oben beschrieben, kann die Schneidvorrichtung 1 gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform die folgenden Effekte zeigen. Wenn der Parameter in den Eingabebereich 84 eingegeben wird und der Eingabe-Cursor 87 vom Eingabebereich 84 bewegt wird, wird die Fugenüberprüfung der geschnittenen Nut 83 getriggert. Das heißt, dass die Fugenüberprüfung für die geschnittene Nut 83 automatisch gestartet wird, ohne, dass ein Bedarf an einem Befehl von einem Bediener besteht. Das heißt, dass es nicht notwendig ist, dass der Bediener die Fugenüberprüfung jedes Mal befiehlt, wenn der Parameter eingegeben wird. Demgemäß kann die Bedienung des Auswählens des Parameters für die Überprüfungsbedingungen gleichmäßig durchgeführt werden und die Überprüfungsbedingungen können in einer kurzen Zeit optimiert werden.
  • Während das Touchpanel in dieser bevorzugten Ausführungsform ein kapazitives (Oberflächen-kapazitives) Touchpanel ist, ist die Ausgestaltung des Touchpanels der vorliegenden Erfindung nicht beschränkt, sondern verschiedene Arten von Touchpanels, die in der Lage sind, einen Bedienungsschirm für die Schneideinheit anzuzeigen, können benutzt werden. Beispiele des in der vorliegenden Erfindung benutzbaren Touchpanels beinhalten ein Widerstandstouchpanel, ein kapazitives Touchpanel vom Projektionstyp, ein Touchpanel vom Typ einer akustischen Ultraschalloberflächenwelle, ein optisches Touchpanel und ein Touchpanel eines elektromagnetischen Induktionstyps.
  • Während eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks in dieser bevorzugten Ausführungsform als eine Bearbeitungsvorrichtung benutzt wird, ist die Ausgestaltung der Bearbeitungsvorrichtung in der vorliegenden Erfindung nicht beschränkt, sondern die vorliegende Erfindung ist auch auf jede andere Bearbeitungsvorrichtung anwendbar, die in der Lage ist, die Fugenüberprüfung durchzuführen. Beispielsweise kann die in der vorliegenden Erfindung benutzbare Bearbeitungsvorrichtung eine Schneidvorrichtung, eine Laserbearbeitungsvorrichtung, eine Kantenschneidvorrichtung und eine Clustervorrichtung, welche diese Vorrichtungen enthält, sein.
  • Demgemäß ist, während eine Schneideinheit in dieser bevorzugten Ausführungsform als eine Bearbeitungsvorrichtung benutzt wird, die Ausgestaltung der Bearbeitungseinheit in der vorliegenden Erfindung nicht beschränkt, sondern verschiedene Arten von Bearbeitungseinheiten, die in der Lage sind, eine bearbeitete Nut an einem an einem Einspanntisch gehaltenen Werkstück auszubilden, können benutzt werden. Beispielsweise kann eine Laserbearbeitungseinheit in einer Laserbearbeitungsvorrichtung benutzt werden.
  • Ferner beinhalten Beispiele der Werkstücke, die in der vorliegenden Erfindung benutzbar sind, ein Halbleitersubstrat, ein Substrat aus anorganischem Material und ein Packungssubstrat. Das Halbleitersubstrat kann beispielsweise aus Silizium, Galliumarsenid, Galliumnitrid oder Siliziumcarbid hergestellt sein. Das Substrat aus anorganischem Material kann beispielsweise aus Saphir, Keramik oder Glas hergestellt sein. Bauelemente können im Vorhinein am Halbleitersubstrat und am Substrat aus anorganischem Material ausgebildet sein, oder es kann sein, dass keine Bauelemente im Vorhinein an diesen Substraten ausgebildet sind. Ferner kann das Packungssubstrat verschiedene Arten von Packungssubstraten für eine Chip Size Package (CSP), eine Wafer Level Chip Size Package (WLCSP), ein System-in-Package (SIP) und ein Fan-out Wafer Level Package (FOWLP) sein. Das Packungssubstrat kann im Vorhinein mit einem Schirm gegen elektromagnetische Interferenz (EMI) ausgebildet sein. Ferner kann das Werkstück ein Lithiumtantalat-Substrat, ein Lithiumniobat-Substrat, ein Rohkeramik-Substrat oder ein piezoelektrisches Substrat sein. Es kann sein, dass Bauelemente im Vorhinein an diesen Substraten ausgebildet sind oder es kann sein, dass an diesen Substraten im Vorhinein keine Bauelemente ausgebildet sind.
  • Ferner können die obige bevorzugte Ausführungsform und verschiedene Modifikationen allgemein oder teilweise kombiniert werden, um andere bevorzugte Ausführungsformen zu bilden.
  • Ferner ist die vorliegende Ausführungsform nicht auf die obige bevorzugte Ausführungsform und oben erwähnte Modifikationen beschränkt, sondern verschiedene Modifikationen, Ersetzungen und Änderungen können innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung erfolgen. Ferner kann die vorliegende Erfindung, wenn die technische Idee der vorliegenden Erfindung durch andere Verfahren, die andere technische Fortschritte oder abgeleitete Techniken benutzen, realisiert werden kann, unter Benutzung dieser Verfahren verkörpert werden. Demgemäß ist es beabsichtigt, dass die hierin beanspruchte Erfindung alle Ausführungsformen, die in den Umfang der vorliegenden Erfindung fallen, abdeckt.
  • Ferner ist die vorliegende Erfindung, auch wenn die vorliegende Erfindung in der obigen bevorzugten Ausführungsform auf die Fugenüberprüfung für ein Werkstück angewandt wird, auch auf die Überprüfung jeder an einem Werkstück ausgebildeten Bearbeitungsspur anwendbar.
  • Wie oben beschrieben, weist die vorliegende Erfindung den Effekt auf, dass die Bedienung des Auswählens des Parameters für die Überprüfungsbedingungen einfach durchgeführt werden kann. Insbesondere ist die vorliegende Erfindung als eine Bearbeitungsvorrichtung zum Durchführen der Fugenüberprüfung einer an einem Halbleiterwafer ausgebildeten bearbeiteten Nut nützlich.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2001298000 [0002]

Claims (3)

  1. Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung, die einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks, eine Bearbeitungseinheit zum Ausbilden einer bearbeiteten Nut am am Einspanntisch gehaltenen Werkstück, ein Aufnahmemittel zum Detektieren eines Zielbereichs des zu bearbeitenden Werkstücks und ein Touchpanel zum Anzeigen einer vom Aufnahmemittel detektierten Aufnahme beinhaltet, wobei das Touchpanel in der Lage ist, eine Eingabe von mehreren Parametern für verschiedene Überprüfungsbedingungen zu empfangen, wobei das Steuerungsverfahren die Schritte aufweist: ein Anhalten einer Bearbeitungsbedienung der Bearbeitungseinheit während der Ausbildung der bearbeiteten Nut und dann ein Aufnehmen der bearbeiteten Nut unter Benutzung der Aufnahmeeinheit, um die detektierte Aufnahme zu erhalten; eine Überprüfung des Zustandes der bearbeiteten Nut gemäß der detektierten Aufnahme; ein Eingeben eines Ausgewählten der Parameter in einen am Touchpanel angezeigten Eingabebereich durch einen Bediener beim Einstellen der Parameter, um die Überprüfungsbedingungen zu optimieren; ein Bewegen eines Eingabe-Cursors vom Eingabebereich gemäß der Eingabe des ausgewählten Parameters; und ein Ausführen der Überprüfung der bearbeiteten Nut unter Benutzung des in den Eingabebereich eingegebenen ausgewählten Parameters.
  2. Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die mehreren Parameter eine Lichtmenge beinhalten.
  3. Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die mehreren Parameter eine Aufnahmeposition beinhalten.
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