JP2009206206A

JP2009206206A - 加工装置

Info

Publication number: JP2009206206A
Application number: JP2008045141A
Authority: JP
Inventors: Naoya Tokumitsu; 直哉徳満; Megumi Kojima; めぐみ小島; Folan Joseph; フォランジョセフ; Satoshi Miyata; 諭宮田
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2008-02-26
Filing date: 2008-02-26
Publication date: 2009-09-10

Abstract

【課題】パラメータ入力画面の視認性を損なうことなく、作業効率よくパラメータの入力操作を行うことができる加工装置を提供する。
【解決手段】パラメータを入力設定するために複数の入力欄１１ａ〜を項目毎に有するパラメータ入力画面１０ａにおいて、所望の入力欄、例えば入力欄１１ａを指定するという入力指示操作のみでパラメータ入力操作に必要なパラメータ入力用キーボード画面１０ｂを指定された入力欄１１ａに重ならない位置に表示させることで、特別な画面切替え操作を要せず所望の入力欄、例えば入力欄１１ａに対するパラメータ入力の操作性が向上するようにした。
【選択図】図５

Description

本発明は、操作パネルを備える切削装置等の加工装置に関するものである。

ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが複数形成されたウエーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の加工装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話機、パソコン等の電子機器に利用される。様々な種類の電子部品を少量生産する場合や量産前の条件設定等の少量加工を行う場合、その製品毎にマシン設定や加工条件を変更し加工される。加工条件設定時やマシン条件設定時には、数字入力や文字入力のためのパラメータ入力用キーボード画面を操作パネルに切替え表示させてパラメータの入力設定を行うようにしている。

特開平８−１０７０９５号公報

しかしながら、加工装置自体の小型化に伴い操作パネルも小さくなる傾向にあり、これに伴い画面も小さくなってきている。加工条件設定やマシン条件設定のためのパラメータ入力画面が表示された操作パネルにおいて、そのパラメータ入力欄にパラメータを入力するためにパラメータ入力用キーボードを出現させるためのテンキーコントローラを常時画面上に表示させておくようにしてもよいが、上記のように小型化される状況下では、テンキーコントローラを常時画面上に表示させるとテンキーコントローラ用の表示領域分、パラメータ入力画面における加工条件設定やマシン条件設定のための領域が狭くなり、画面が見にくくなる。また、テンキーコントローラ画面を逐一切替え操作しながら入力設定を行う必要があり、作業効率が低下してしまう。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、パラメータ入力画面の視認性を損なうことなく、作業効率よくパラメータの入力操作を行うことができる加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当該加工装置の構成要素を制御する制御手段と、該制御手段に対してパラメータを入力設定する操作パネルとを備える加工装置であって、前記操作パネルは、個々のパラメータを入力するための入力欄を項目毎に有するパラメータ入力画面を表示するとともに、前記入力欄のいずれかが指定された場合に指定された該入力欄に重ならない前記パラメータ入力画面上の位置にパラメータ入力用キーボード画面を表示することを特徴とする。

本発明にかかる加工装置は、パラメータを入力設定するために入力欄を項目毎に有するパラメータ入力画面において所望の入力欄を指定するという入力指示操作のみでパラメータ入力操作に必要なパラメータ入力用キーボード画面を指定された入力欄に重ならない位置に表示させるので、通常はパラメータ入力画面が単一で表示されることとなりその視認性が損なわれることはなく、かつ、特別な画面切替え操作を要せず所望の入力欄に対するパラメータ入力の操作性を向上させ、作業効率を向上させることができるという効果を奏する。

以下、本発明を実施するための最良の形態である加工装置について図面を参照して説明する。

本実施の形態は、加工装置として、切削ブレードを有する加工手段を備える切削装置への適用例を示す。図１は、本発明の実施の形態の加工装置の一例を示す正面図であり、図２は、その加工手段周りの構成を抽出して示す斜視図である。本実施の形態の加工装置１は、被加工物Ｗを分割予定ラインに沿って切削する切削装置に適用したものであり、図１に示すように、正面上部に操作パネル１０を備え、図２に示すように、加工手段２０や撮像手段３や制御手段４０を内蔵している。

加工手段２０は、図２に示すように、保持手段２の保持面２ａに保持された被加工物Ｗの分割予定ラインに沿って、切削ブレード２１がカット処理を行うものである。ここで、加工手段２０は、切削ブレード２１が着脱自在に装着されたスピンドル２２と、このスピンドル２２を回転可能に支持するとともに回転駆動する図示しない駆動源を含む円筒状のハウジング２３とを備える。また、切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。

また、撮像手段３は、図２に示すように、ハウジング２３の側部に設けられたもので、保持手段２に保持された被加工物Ｗの表面を撮像するＣＣＤカメラ等を搭載した顕微鏡であり、切削すべき分割予定ラインに対する切削ブレード２１の位置付けに供するアライメント用である。

保持テープＴを介してフレームＦと一体となった状態のウエーハ状の被加工物Ｗを保持する保持面２ａを有する保持手段２は、図２に示すように、駆動源４に連結されて回転可能とされている。駆動源４は、移動基台５に固定されている。

操作パネル１０は、加工装置１の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設されて、加工装置１に内蔵された制御手段４０による制御の下に、撮像手段３が撮像した画像の他、加工処理等に伴う必要な各種情報を表示する表示パネルを兼用するとともに、加工手段２０の加工条件設定等に必要な入力操作を行うための画面やキー表示等を行うタッチパネル構成のものである。

ここで、加工装置１は、切削動作に必要な送り動作を行うためのＸ軸移動手段５０、Ｚ軸移動手段６０およびＹ軸移動手段７０を備える。図２は、切削ブレード２１に対する送り機構の構成例を示している。Ｘ軸移動手段５０は、移動基台５をＸ軸方向に移動させることで、保持手段２を加工手段２０の切削ブレード２１に対して相対的にＸ軸方向に加工送りするためのものである。Ｘ軸移動手段５０は、Ｘ軸方向に配設されたボールねじ５１と、ボールねじ５１の一端に連結されたパルスモータ５２と、ボールねじ５１と平行に配列された一対のガイドレール５３とから構成され、ボールねじ５１には、移動基台５の下部に設けられた図示しないナットが螺合している。ボールねじ５１は、パルスモータ５２に駆動されて回転し、それに伴って移動基台５がガイドレール５３にガイドされてＸ軸方向に移動する構成となっている。

Ｚ軸移動手段６０は、切削ブレード２１のハウジング２３を支持する支持部６を壁部７に対して相対的にＺ軸方向に移動させることで、加工手段２０の切削ブレード２１を昇降させて被加工物Ｗに対する切り込み量を制御するためのものである。Ｚ軸移動手段６０は、壁部７の一方の面においてＺ軸方向に配設されたボールねじ６１と、このボールねじ６１を回動させるパルスモータ６２と、ボールねじ６１と平行に配列された一対のガイドレール６３とを有し、支持部６の内部の図示しないナットがボールねじ６１に螺合している。支持部６は、パルスモータ６２によって駆動されてボールねじ６１が回動するのに伴ってガイドレール６３にガイドされてＺ軸方向に昇降し、支持部６に支持された切削ブレード２１もＺ軸方向に昇降する構成となっている。

Ｙ軸移動手段７０は、切削ブレード２１のハウジング２３を、支持部６を介して支持する壁部７をＹ軸方向に移動させることで、加工手段２０の切削ブレード２１を保持手段２に対して相対的にＹ軸方向に割り出し送りするためのものである。Ｙ軸移動手段７０は、Ｙ軸方向に配設されたボールねじ７１と、ボールねじ７１の一端に連結されたパルスモータ７２と、ボールねじ７１と平行に配列された一対のガイドレール７３とから構成され、ボールねじ７１には、壁部７と一体に形成された移動基台８の内部に設けられた図示しないナットが螺合している。ボールねじ７１は、パルスモータ７２に駆動されて回転し、それに伴って移動基台８がガイドレール７３にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。

ここで、本実施の形態の加工装置１による被加工物Ｗのカット動作の概要について説明する。まず、高速回転させた切削ブレード２１をＺ軸移動手段６０による切り込み送りで保持手段２上の被加工物Ｗに所定の切り込み深さで切り込ませながら、切削ブレード２１に対して保持手段２をＸ軸移動手段５０でＸ軸方向に相対的に加工送りすることで、被加工物Ｗ上の分割予定ラインを切削加工して切削溝を形成する。同一方向の次の分割予定ラインの切削加工は、保持手段２に対して切削ブレード２１をＹ軸移動手段７０でＹ軸方向に分割予定ライン幅分だけ相対的に割り出し送りすることで、同様に繰り返す。そして、同一方向の全ての分割予定ラインについて切削溝を形成した後、保持手段２の回転により被加工物Ｗを９０°回転させ、新たにＸ軸方向に配された全ての分割予定ラインについて切削ブレード２１で同様の切削加工を繰り返すことにより、切削溝を形成する。

次に、本実施の形態の加工装置１が備える制御系の構成について説明する。図３は、本実施の形態の加工装置１が備える制御手段４０の構成例を示す概略ブロック図である。制御手段４０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え加工装置１全体の制御を司るマイクロプロセッサ４１を主体に構成されている。加工手段２０、Ｘ軸移動手段５０、Ｙ軸移動手段７０、およびＺ軸移動手段６０はマイクロプロセッサ４１に接続されこのマイクロプロセッサ４１により加工動作、移動動作等の動作が制御される。また、マイクロプロセッサ４１は、操作パネル１０に対して必要な表示情報を記憶部４２やパネル表示画面記憶部４３から読み出して表示制御部４４を介して表示内容を制御するとともに、操作パネル１０上で指示操作された入力情報を解析し、各部の動作制御、表示制御等に供する。パネル表示画面記憶部４３には、操作パネル１０に対する各種モードに応じた操作キー等の表示パターンが設定された表示画面情報が、操作パネル１０のＸＹ座標系のピクセル位置によって特定される情報として格納されている。パネル表示画面記憶部４３は、本実施の形態では、この表示画面情報の一つとして、後述の加工条件設定用のパラメータ入力画面の基本表示パターン情報、並びにパラメータ入力画面の一部に重ねて選択的に表示させるパラメータ入力用キーボード画面の表示パターン情報が格納されている。

また、マイクロプロセッサ４１は、撮像手段３に対してアライメント時やカーフチェック時の撮像動作を制御するとともに、撮像手段３が撮像した画像情報の処理制御を行う。この画像情報の処理制御として、撮像手段３が撮像した画像情報をそのまま記憶部４２に記憶させたり、画像情報を画像処理部４５で画像処理したデータ等を記憶部４２に記憶させたりする制御を行う。

次に、本実施の形態の操作パネル１０の表示例について説明する。図４は、当該加工装置１により切削処理を行う際に操作パネル１０に表示される加工条件設定用のパラメータ入力画面の一例を示す正面図である。操作パネル１０は、所定のメニュー画面において、データ編集作業の一つであるカット設定（基本）なるカット用の加工条件設定モードを選択操作すると、マイクロプロセッサ４１および表示制御部４４による制御の下に、操作パネル１０には、カット設定（基本）用のパラメータ入力画面１０ａとして、図４に示すように、入力領域１１とイメージ描画領域１２とが同時に併設表示される。

ここで、例えば画面の左側略半分を占める入力領域１１は、カット加工を行う上で必要となる個々の加工条件の入力を受付けるための複数の入力欄１１ａ〜１１ｊを縦一列に纏めて配列表示させたものである。入力領域１１は、項目毎に設けられたもので、具体的には、ワーク（被加工物Ｗ）の形状に応じた横、縦のサイズの入力欄１１ａ〜１１ｃ、Ｙ軸移動手段７０によるインデックス量（割り出し送り量）のチャンネルＣＨ１，ＣＨ２毎の入力欄１１ｄ，１１ｅ、Ｘ軸移動手段５０による保持手段２の送り速度（加工送り速度）に関する入力欄１１ｆ、切削ブレード２１に関する回転数の入力欄１１ｇ、ワーク（被加工物Ｗ）厚みやテープＴ厚みに関する入力欄１１ｈ，１１ｉ、切削ブレード２１に関する切り残し量（切削ブレードの送り量）の入力欄１１ｊからなる。なお、入力領域１１の最上部には、被加工物（ワーク）Ｗを特定するＩＤ情報を入力する入力欄１１ｋが設けられている。

一方、例えば画面の右側略半分を占めるイメージ描画領域１２は、カット加工における個々の加工条件の内容をイメージ描画による表示で纏めて表現した領域である。本実施の形態の場合、イメージ描画領域１２に表示されるイメージ描画としては、例えば、ワーク（被加工物Ｗ）の円形平面形状や四角平面形状を示すイメージ描画１２ａ，１２ｂ、これらイメージ描画１２ａ，１２ｂに付されてワーク（被加工物Ｗ）の平面寸法を示す寸法線によるイメージ描画１２ｃ，１２ｄ、イメージ描画１２ａ，１２ｂ中に付されてチャンネルＣＨ１，ＣＨ２毎のＹ軸割り出し送り量を示す寸法線によるイメージ描画１２ｅ，１２ｆが含まれている。また、このイメージ描画領域１２に表示されるイメージ描画としては、例えば、切削ブレード２１、保持手段２、ワーク（被加工物Ｗ）、およびテープＴを含む加工部のそれぞれの断面構造を表現したイメージ描画１２ｇ〜１２ｊ、イメージ描画１２ｇ中に付され切削ブレード２１の回転数を示す矢印によるイメージ描画１２ｋ、イメージ描画１２ｇの真下に付されて切削ブレード２１による切り残し量を示す寸法線によるイメージ描画１２ｌ、イメージ描画１２ｇに対して付されて保持手段２の送り速度を示す矢印によるイメージ描画１２ｍ、イメージ描画１２ｉ，１２ｊに対して付されてワーク（被加工物Ｗ）、およびテープＴの厚みを示す寸法線によるイメージ描画１２ｎ，１２ｏが含まれる。

さらに、このカット用の加工条件設定のためのパラメータ入力画面においては、入力領域１１中の各入力欄１１ａ〜１１ｊとイメージ描画領域１２中の対応するイメージ描画を連結した連結線１３ａ〜１３ｉも、併せて同時に表示される。すなわち、連結線１３ａは、入力欄１１ａ，１１ｂとイメージ描画１２ａ，１２ｂ上のイメージ描画１２ｃとを連結し、連結線１３ｂは、入力欄１１ｃとイメージ描画１２ａ，１２ｂに対して付されたイメージ描画１２ｄとを連結し、連結線１３ｃは、入力欄１１ｄとイメージ描画１２ａ，１２ｂ中に付されたイメージ描画１２ｅとを連結し、連結線１３ｄは、入力欄１１ｅとイメージ描画１２ａ，１２ｂ中に付されたイメージ描画１２ｆとを連結したものである。

また、連結線１３ｅは、入力欄１１ｆとイメージ描画１２ｍとを連結し、連結線１３ｆは、入力欄１１ｇとイメージ描画１２ｋとを連結し、連結線１３ｇは、入力欄１１ｈとイメージ描画１２ｍとを連結し、連結線１３ｈは、入力欄１１ｉとイメージ描画１２ｏとを連結し、連結線１３ｉは、入力欄１１ｊとイメージ描画１２ｑとを連結したものである。

このようなパラメータ入力画面１０ａによれば、単にパラメータの入力欄だけでなく、パラメータ入力のための複数の入力欄１１ａ〜１１ｋを配列した入力領域１１と、加工条件の内容をイメージ描画１２ａ〜１２ｏで表現したイメージ描画領域１２とが併設表示され、かつ、個々の入力欄１１ａ〜１１ｊと対応するイメージ描画とが連結線１３ａ〜１３ｉで連結されて表示されるので、入力欄１１ａ〜１１ｋに対するパラメータの入力の際には、その加工条件の内容は入力領域１１における文字表現に比べてイメージ描画１２ａ〜１２ｏを通じて理解しやすく、数値データの入力ミスを低減させることができる。

さらに、イメージ描画領域１２の上部には保存キー１４が表示され、イメージ描画領域１２の右欄には、次キー１５ａや戻りキー１５ｂ等が表示されている。保存キー１４は、加工条件設定用のパラメータ入力画面において入力設定した内容を最終的に確定し、制御手段４０に保存させるために操作するキーである。次キー１５ａは、加工条件設定モードの次のモード画面に移行させるためのキーであり、戻りキー１５ｂは、加工条件設定モードの前のモード画面に移行させるためのキーである。

また、本実施の形態では、操作パネル１０上に選択的に表示させる画面として、図５および図６に示すように、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂが用意されている。このパラメータ入力用キーボード画面１０ｂは、パラメータ入力画面１０ａ上に重畳されて表示されるものであり、パラメータ入力画面１０ａの大きさに比して半分以下、例えば１／３程度の大きさに設定されてその表示パターン情報がパネル表示画面記憶部４３に格納されたものである。

ここで、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂは、例えば、“０”〜“９”、小数点並びに＋／−キーを含むテンキー１６ａと、カーソル位置移動キー１６ｂと、エンターキー１６ｃと、消去キー１６ｄと、ａｂｃキー１６ｅとをテンキー仕様として押下操作可能にキー表示するものである。テンキー１６ａは、入力領域１１の各入力欄１１ａ〜１１ｋに対してパラメータとして数値情報を入力するためのものである。カーソル位置移動キー１６ｂは、各入力欄１１ａ〜１１ｋにパラメータを入力する際の入力位置を示すカーソルを左または右に移動させるためのキーである。エンターキー１６ｃは、入力欄１１ａ〜１１ｋに入力したパラメータを確定させるためのキーである。消去キー１６ｄは、入力欄１１ａ〜１１ｋに入力したパラメータを消去するためのキーである。ａｂｃキー１６ｅは、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂをテンキー仕様の表示からアルファベット仕様の表示に切替えるためのキーである。

パラメータ入力用キーボード画面１０ｂは、テンキー仕様においてａｂｃキー１６ｅが押下されると、図７に示すようなアルファベット仕様の表示に切替えられる。すなわち、テンキー１６ａ部分が、“ａ”〜“ｚ”、“−”キー、並びに“Ｃａｐｓ”キー等を含むアルファベットキー１６ｆに切替えられる。アルファベットキー１６ｆは、例えば、数字とアルファベットとを混在させたＩＤ情報を入力する際に使用される。また、ａｂｃキー１６ｅに代えて、テンキー仕様の表示に戻すための１２３キー１６ｇが表示される。

また、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂの表示箇所としては、例えば、図４中に破線枠１７ａで示す上部位置と、破線枠１７ｂで示す下部位置とのいずれかとなるように設定されている。これらの表示位置の選択は、オペレータにより指定される入力欄１１ａ〜１１ｋの位置に応じて制御手段４０によって決定される。本実施の形態では、例えば、上半分の入力欄１１ｋ、１１ａ〜１１ｅが指定された場合にはパラメータ入力用キーボード画面１０ｂは破線枠１７ｂで示す下部位置に表示され、下半分の入力欄１１ｆ〜１１ｊが指定された場合にはパラメータ入力用キーボード画面１０ｂは破線枠１７ａで示す上部位置に表示されるように設定されている。

このような構成において、パラメータ入力画面１１ａにおいて各入力欄１１ａ〜１１ｋにパラメータを入力する際の操作制御例について図４〜図７とともに、図８に示すフローチャートを参照して説明する。図８は、パラメータ入力操作時の制御例を示す概略フローチャートである。

まず、操作パネル１０の所定のメニュー画面において、データ編集作業の一つであるカット設定（基本）なるカット用の加工条件設定モードが選択されると（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、マイクロプロセッサ４１は、パネル表示画面記憶部４３から対応するカット設定（基本）用のパラメータ入力画面１０ａの表示データを呼び出し、表示制御部４４を通じて操作パネル１０上に図４に示すようなパラメータ入力画面１０ａを表示させる（ステップＳ２）。

このようなパラメータ入力画面１０ａの表示において、オペレータにより、いずれかの入力欄１１ａ〜１１ｋが押下されて入力操作が指定されると（ステップＳ３）、マイクロプロセッサ４１は、指定された入力欄１１ａ〜１１ｋの位置（ピクセル座標位置により判断）が、上部側位置であるか否かを判定する（ステップＳ４）。本実施の形態においては、上述のように、入力欄１１ｋ、１１ａ〜１１ｅが指定された場合には上部側の入力欄の指定であると判定し、入力欄１１ｆ〜１１ｊが指定された場合には下部側の入力欄の指定であると判定する。

この判定の結果、上部側の入力欄の指定であった場合には（ステップＳ４：Ｙｅｓ）、パラメータ入力画面１０ａにおいて破線枠１７ｂの位置である下部側にパラメータ入力用キーボード画面１０ｂを表示させる（ステップＳ５）。例えば、図５は、入力欄１１ａが指定された結果、パラメータ入力画面１０ａにおいて下部側にパラメータ入力用キーボード画面１０ｂが表示された状態を示している。すなわち、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂは、入力操作が指定された入力欄１１ａに重ならない位置に表示される。

また、下部側の入力欄の指定であった場合には（ステップＳ４：Ｎｏ）、パラメータ入力画面１０ａにおいて破線枠１７ａの位置である上部側にパラメータ入力用キーボード画面１０ｂを表示させる（ステップＳ６）。例えば、図６は、入力欄１１ｈが指定された結果、パラメータ入力画面１０ａにおいて上部側にパラメータ入力用キーボード画面１０ｂが表示された状態を示している。すなわち、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂは、入力操作が指定された入力欄１１ｈに重ならない位置に表示される。

図５または図６に示すようなテンキー仕様のパラメータ入力用キーボード画面１０ｂの表示状態においては、ａｂｃキー１６ｅが押下されると（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、マイクロプロセッサ４１は、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂを例えば図７に示すようなアルファベット仕様の表示に切替える（ステップＳ８）。また、このようなアルファベット仕様のパラメータ入力用キーボード画面１０ｂの表示状態においては、１２３キー１６ｇが押下されると（ステップＳ９：Ｙｅｓ）、マイクロプロセッサ４１は、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂを例えば図５や図６に示すようなテンキー仕様の表示に切替える（ステップＳ１０）。

いずれにしても、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂが表示された状態で、テンキー１６ａやアルファベットキー１６ｆをキー操作することで、指定した入力欄に対する数値やアルファベットによるパラメータ入力が可能となる。この際、パラメータを入力設定するために入力欄１１ａ〜１１ｋを項目毎に有するパラメータ入力画面１０ａにおいて所望の入力欄を指定するという入力指示操作のみでパラメータ入力操作に必要なパラメータ入力用キーボード画面１０ｂを指定された入力欄に重ならない位置に表示させているので、特別な画面切替え操作を要せず所望の入力欄に対するパラメータ入力の操作性がよく、作業効率も向上する。また、入力領域１１中の指定された入力欄と描画領域１２中の対応するイメージ描画とを連結する連結線に対しても、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂが重なることなく表示されるので、指定した入力欄に対してパラメータを入力する際に、連結線による連結関係の確認作業が損なわれることもない。

そこで、テンキー１６ａやアルファベットキー１６ｆなどによるキー入力があるか否かを判定し（ステップＳ１１）、キー入力があり（ステップＳ１１：Ｙｅｓ）、さらに、エンターキー１６ｃが押下された場合には（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）、指定された入力欄に対する入力データ（パラメータ）を確定するとともに、カーソル位置を次の入力欄に移動させる（ステップＳ１３）。なお、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂにおいてカーソル移動キー１６ｂや消去キー１６ｄが操作された場合には、そのキー操作に応じた処理が実行されるが、ここでは説明を省略する。そして、保存キー１４が押下されていなければ（ステップＳ１４：Ｎｏ）、ステップＳ３に戻り、自動更新された次の入力欄位置またはオペレータにより任意に指定される入力欄位置で待機する。保存キー１４が押下されれば（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、パラメータ入力画面１０ａにおいて各入力欄１１ａ〜１１ｋに入力設定されたパラメータ値を記憶部４２に登録する（ステップＳ１５）。

一方、キー入力がなく（ステップＳ１１：Ｎｏ）、パラメータ入力画面１０ａ上のパラメータ入力用キーボード画面１０ｂ外の任意の位置が押下された場合には（ステップＳ１６：Ｙｅｓ）、パラメータ入力画面１０ａ上に重ねたパラメータ入力用キーボード画面１０ｂの表示を消去させ（ステップＳ１７）、図４に示すようなパラメータ入力画面１０ａだけの表示状態に戻す。よって、通常は、操作パネル１０においてはパラメータ入力画面１０ａが単一で表示されることとなりその視認性が損なわれることはない。

本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。本実施の形態では、入力欄１１ａ〜１１ｋの位置を上下で略二分しその位置に応じてパラメータ入力用キーボード画面１０ｂの表示位置を選択設定するようにしたが、例えば、入力欄１１ｋ，１１ａ〜１１ｇが指定された場合には下部側の破線枠１７ｂ位置を選択し、入力欄１１ｈ〜１１ｊが指定された場合には上部側の破線枠１７ａ位置を選択するようにしてもよい。これは、通常のキーボード入力操作においては、入力欄に対してキーボードが下部側に位置する方が入力操作しやすい傾向にあるため、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂを下部側優先で表示させるものである。また、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂの表示位置を上下２箇所に固定せずに、指定された入力欄の直近（すぐ下、またはすぐ上）の位置に可動的に表示させるようにしてもよい。要は、指定された入力欄に重ならない位置であれば、パラメータ入力用キーボード画面１０ｂをパラメータ入力画面１０ａ上で適宜箇所に表示させるようにしてもよい。

また、本実施の形態では、入力領域１１とイメージ描画領域１２とを同時に表示させるとともに連結線１３ａ〜１３ｊにより対応関係を明確にすることで、入力操作性を向上させたパラメータ入力画面１０ａの場合への適用例で説明したが、イメージ描画領域１２を有せず、単に項目毎の入力欄が画面全体に配列されているパラメータ入力画面の場合であれば、上下位置に限らず、指定された入力欄の右側または左側に縦長形状のパラメータ入力用キーボード画面を出現表示させるようにしてよい。

また、本実施の形態では、一つの切削ブレード２１を有する１軸構成の加工手段２０を用いて加工を行う加工装置１の例で説明したが、２つの切削ブレードを有する２軸構成の加工手段を用いてデュアルカットやステップカットを行う切削装置、あるいは、レーザ照射源を有する加工手段を用いてカット等を行う加工装置、あるいは、研削装置等であっても同様に適用可能である。

本発明の実施の形態の加工装置の一例を示す正面図である。図１の加工手段周りの構成を抽出して示す斜視図である。本実施の形態の加工装置が備える制御手段の構成例を示す概略ブロック図である。加工条件設定用のパラメータ入力画面の一例を示す正面図である。パラメータ入力画面において下部側にパラメータ入力用キーボード画面が表示された状態を示す正面図である。パラメータ入力画面において上部側にパラメータ入力用キーボード画面が表示された状態を示す正面図である。パラメータ入力画面において下部側にアルファベット仕様のパラメータ入力用キーボード画面が表示された状態を示す正面図である。パラメータ入力操作時の制御例を示す概略フローチャートである。

符号の説明

１加工装置
２保持手段
３撮像手段
１０操作パネル
１０ａパラメータ入力画面
１０ｂパラメータ入力用キーボード画面
１１ａ〜１１ｋ入力欄
２０加工手段
４０制御手段

Claims

被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当該加工装置の構成要素を制御する制御手段と、該制御手段に対してパラメータを入力設定する操作パネルとを備える加工装置であって、
前記操作パネルは、個々のパラメータを入力するための入力欄を項目毎に有するパラメータ入力画面を表示するとともに、前記入力欄のいずれかが指定された場合に指定された該入力欄に重ならない前記パラメータ入力画面上の位置にパラメータ入力用キーボード画面を表示することを特徴とする加工装置。