JP2017091441A

JP2017091441A - 操作タッチパネル装置

Info

Publication number: JP2017091441A
Application number: JP2015224706A
Authority: JP
Inventors: 忠義藤村; Tadayoshi Fujimura
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2015-11-17
Filing date: 2015-11-17
Publication date: 2017-05-25

Abstract

【課題】加工装置の操作タッチパネル装置において、オペレーションボタンの誤タッチを防ぎ、表示される加工データの切り替え作業を効率化する。【解決手段】加工装置の操作タッチパネル１００に、複数の加工データページを記憶する記憶手段１１２と、加工データページと加工データページを呼び出す複数のオペレーションボタンとを表示する表示手段１１１と、複数のオペレーションボタンまたは前もって設定された複数のオペレーションボタンの周辺領域をオペレータが触れることにより複数のオペレーションボタン及び前もって設定された複数のオペレーションボタンの周辺領域を拡大表示する拡大表示手段１１３とを備える。【選択図】図３

Description

本発明は、加工装置に搭載される操作タッチパネル装置に関する。

近年、データを入力するための入力装置として、操作タッチパネルが主流になってきている。半導体ウエーハ等の被加工物を切削、研削等する加工装置においても操作タッチパネルを備えており、加工条件の入力等に操作タッチパネルが利用されている（例えば、特許文献１，２参照）。

加工装置においては、操作タッチパネルの下方に表示された各加工データページに対応するオペレーションボタンをオペレータが接触し、その接触を操作タッチパネルが認知することにより、操作タッチパネルに表示される加工データページの切り替えを行っている。

特開２０１４−２３１１２３号公報特開２０１３−１９７２３９号公報

しかし、近年は、加工条件も細密化してきており、各加工データページに対応するオペレーションボタンの数も多くなってきている。したがって、すべてのオペレーションボタンを画面表示すると、各ボタンが小さくなり、誤タッチが生じるおそれがある。

また、各オペレーションボタンへの接触を操作タッチパネルが認知することにより、画面表示される加工データページの切り替えを行っているため、画面に触れる操作と画面から指を離す操作とをオペレータが繰り返す必要があり、手間が生じる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、加工装置の操作タッチパネル装置において、オペレーションボタンの誤タッチを防ぎ、表示される加工データページの切り替え作業を効率化することを目的とする。

本発明は、加工装置の操作タッチパネルであって、複数の加工データページを記憶する記憶手段と、該加工データページと該加工データページを呼び出す複数のオペレーションボタンとを表示する表示手段と、該複数のオペレーションボタンまたは前もって設定された該複数のオペレーションボタンの周辺領域をオペレータが触れることにより該複数のオペレーションボタン及び前もって設定された該複数のオペレーションボタンの周辺領域を拡大表示する拡大表示手段と、
を備える。

上記操作タッチパネル装置は、オペレータが該複数のオペレーションボタン上で接触する領域をスライド移動させると、該スライド移動と同期して該表示手段に表示される加工データページを切り替える表示切替手段、をさらに備えることが好ましい。

本発明に係る操作タッチパネル装置では、オペレータが任意のオペレーションボタンに触れると、すべてのオペレーションボタンが拡大表示されるため、オペレーションボタンの誤タッチを防ぐことができる。

また、オペレータが複数のオペレーションボタン上で接触する領域をスライド移動させると、スライド移動と同期して表示手段に表示される加工データページを切り替えることができるため、表示される加工データページの切り替えを効率化することができる。

操作タッチパネル装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。操作タッチパネル装置が搭載される切削装置を示す斜視図である。操作タッチパネル装置の機能ブロック図である。操作タッチパネル装置に表示される表示画面の例を示す説明図である。オペレーションボタン処理ルーチンを示すフローチャートである。オペレーションボタンがタッチされオペレーションボタンが拡大表示された表示画面の例を示す説明図である。

図１は、操作タッチパネル装置１００のハードウェア構成を示しており、ＣＰＵ１０１と、ＲＯＭ１０２と、ＲＡＭ１０３と、操作タッチパネル１０４と、ＨＤＤ１０５と、Ｉ／Ｏ１０６とがバス１０７よって接続されて構成されている。ＣＰＵ１０１は、ＲＯＭ１０２やＲＡＭ１０３に記憶されているプログラムを読み出して実行し、必要に応じてＲＡＭ１０３に記憶されているデータを読み出したりＲＡＭ１０３にデータを記憶させたりする。ＨＤＤ１０５は、ハードディスクドライブであり、ＨＤＤ１０５には、操作タッチパネル１０４への表示処理を行うプログラム、操作タッチパネル１０４に表示させるデータ等が記録されている。Ｉ／Ｏ１０６は、入出力機器とのインターフェースとなるもので、種々の入出力機器との間でデータの入出力を行う。

この操作タッチパネル装置１００は、例えば図２に示す切削装置１に搭載される。この切削装置１は、チャックテーブル７に保持されたウェーハＷを切削手段３ａ，３ｂによって切削加工する装置である。切削加工の条件は、操作タッチパネル装置１００において入力することができる。

この切削装置１において切削されるウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリング状のフレームＦに支持される。チャックテーブル７は、ダイシングテープＴを介してウェーハＷを吸引保持する。また、チャックテーブル７の周囲にはフレームＦを固定するクランプ部６が配設されており、フレームＦは、クランプ部６によって固定される。

チャックテーブル７及びクランプ部６は、切削送り手段２によってＸ軸方向に送られる。切削送り手段２は、Ｘ軸方向に延在するボールネジ２０と、ボールネジ２０と平行に配設された一対のガイドレール２１と、ボールネジ２０の一端に連結されたモータ２２と、ボールネジ２０に螺合するナットを内部に有するとともに底部がガイドレール２１に摺接する移動基台２４とから構成され、モータ２２がボールネジ２０を回動させることにより、移動基台２４がガイドレール２１にガイドされてＸ軸方向に移動する。移動基台２４の上方にはチャックテーブル７及びクランプ部６を回転させる回転手段２３を備え、移動基台２４のＸ軸方向の移動にともないチャックテーブル７及び移動基台２４もＸ軸方向に移動する。

切削手段３ａ，３ｂは、回転可能な切削ブレード３０と、被加工物を撮像して切削すべき位置を検出する撮像手段３１と、切削ブレード３０に切削水を供給する切削水ノズル３２とを備えている。切削手段３ａを構成する切削ブレード３０と切削手段３ｂを構成する切削ブレード（不図示）とはＹ軸方向に対面している。

切削手段３ａ，３ｂは、それぞれが切込み送り手段５によって駆動されてＺ軸方向に移動可能となっている。切込み送り手段５は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の一端に連結されたモータ５２と、ボールネジ５０に螺合するナットを内部に有するとともに側部がガイドレール５１に摺接する昇降基台５３とから構成され、モータ５２がボールネジ５０を回動させることにより、昇降基台５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に移動する。昇降基台５３の下部には切削手段３ａ，３ｂが固定され、昇降基台５３のＺ軸方向の移動にともない切削手段３ａ，３ｂもＺ軸方向に移動する。

切削手段３ａ及び切削手段３ａをＺ軸方向に移動させる切込み送り手段５と、切削手段３ｂ及び切削手段３ｂをＺ軸方向に移動させる切込み送り手段５とは、それぞれがインデックス送り手段４によって駆動されてＹ軸方向に移動する。インデックス送り手段４は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ４０と、ボールネジ４０と平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の一端に連結されたモータ４２と、ボールネジ４０に螺合するナットを内部に有するとともに側部がガイドレール４１に摺接する移動基台４３とから構成され、モータ４２がボールネジ４０を回動させることにより、移動基台４３がガイドレール４１にガイドされてＹ軸方向に移動する。移動基台４３の側部には切込み送り手段５を備え、移動基台４３のＹ軸方向の移動にともない切込み送り手段５及び切削手段３ａ，３ｂもＹ軸方向に移動する。

チャックテーブル７に保持されたウェーハＷの切削時は、まず、撮像手段３１によってその表面が撮像されて切削すべき位置が検出される。そして、検出された切削すべきストリートと切削ブレード３０とのＹ軸方向の位置合わせが割り出し送り手段４によってなされた後、チャックテーブル７がＸ軸方向に移動するとともに、切込み送り手段５が切削手段３ａ，３ｂを降下させ、回転する切削ブレード３０を検出されたストリートに切込ませる。１本のストリートを切削した後は、インデックス送り手段４が切削手段３ａ、３ｂをそれぞれストリート間隔ずつＹ軸方向にインデックス送りし、同様の切削を行う。また、一方向のストリートがすべて切削された後、チャックテーブル７を９０度回転させ、同様の切削を行うと、ストリートが縦横に切削されて個々のチップに分割される。

図３は、図１に示した操作タッチパネル装置１００の機能を示したもので、操作タッチパネル１０４に加工データページを表示する表示手段１１１を備えている。表示手段１１１によって表示される複数の加工データページは、記憶手段１１２に記憶されている。加工データページは、例えば図４の表示画面１２０に示す加工データ表示領域１３０に表示される。加工データページは、入力項目名１２１及びオペレータによるデータ入力の対象となる入力欄１２２や、各種ステータス表示等から構成される。例えば、表示画面１２０中、入力項目名「ハイト補正」に対応する入力欄には、図２に示した切削ブレード３０のＺ軸方向の高さの補正値が入力され、入力項目名「加工送り速度」に対応する入力欄には、図２に示したチャックテーブル７の切削加工時におけるＸ軸方向の送り速度が入力される。

表示手段１１１は、図４に示すように、加工データ表示領域１３０の下方のオペレーションボタン表示領域１４０に、オペレーションボタン１４１〜１４８を表示させる。オペレーションボタン１４１〜１４８は、それぞれが異なる加工データページに対応付けられており、その対応関係は、例えば記憶手段１１２に記憶されている。図４の表示画面１２０の加工データ表示領域１３０に表示されている加工データページは、オペレーションボタン１４１に対応したものである。なお、オペレーションボタン表示領域１４０は、図４の例では加工データ表示領域１３０の下方に位置しているが、他の位置に表示するようにしてもよい。

図３に示すように、操作タッチパネル装置１００は、拡大表示手段１１３を有する。拡大表示手段１１３は、オペレーションボタン１４１〜１４８のうちの任意のオペレーションボタンがタッチされたとき、又は、オペレーションボタン表示領域１４０内の任意の位置がタッチされたときに、オペレーションボタン表示欄１４０に表示された複数のオペレーションボタン１４１〜１４８のすべてとその周辺領域（例えばオペレーションボタン表示領域１４０）を拡大表示する機能を有する。

図３に示すように、操作タッチパネル装置１００は、入力手段１１４を備えている。入力手段１１４は、いずれかの入力欄１２２がタッチされると、入力に使用するソフトウェアキーボードを表示するとともに、入力欄１２２から入力された加工条件データを取り込む。また、入力手段１１４は、オペレーションボタン１４１〜１４８がタッチされたことを感知し、どのオペレーションボタンがタッチされたかを認識する。入力手段１１４が入力欄から取り込んだデータは、図２に示した切削装置１の制御に供される。

加工データ表示領域１３０に表示される加工データページとオペレーションボタン１４１〜１４８とは、それぞれが対応しているため、いずれかのオペレーションボタン、例えばオペレーションボタン１４１がタッチされたときに、表示手段１１１は、例えば図４に示す加工データページを記憶手段１１２から呼び出して操作タッチパネル１０４に表示する。

図３に示すように、操作タッチパネル装置１００は、加工データページの表示内容の切り替えを行う表示切替手段１１５を備えている。表示切替手段１１５は、オペレータが触れた指をスライド移動させて接触する領域をスライド移動させることによりタッチされたオペレーションボタンが変更されるのにともない、当該スライド移動と同期して、表示する加工データページを切り替える。入力手段１１４は、どのオペレーションボタンがタッチされたかについての情報を表示切替手段１１５に通知し、表示切替手段１１５は、この通知された情報に基づき、どの加工データページを表示させるかを決定する。

以上説明した図３に示した各手段は、図１に示したＨＤＤ１０５に記録されたプログラムをＣＰＵ１０１が実行することによって実現される。

切削装置１を起動すると、表示手段１１１が、操作タッチパネル１０４に、加工条件の入力を促す画像、例えば図４に示す表示画面１２０を表示する。この表示画面１２０は、オペレーションボタン表示領域１４０に表示されたオペレーションボタン１４１〜１４８の中からオペレーションボタン１４１を選択した場合に表示される画面であり、表示手段１１１は、デフォルトとしてオペレーションボタン１４１がタッチされた場合の加工データページを表示する。なお、画面上のタッチには、オペレータの指でなく、タッチペン等を利用してもよい。

オペレータがいずれかの入力欄をタッチすると、図３に示した入力手段１１４は、表示画面１２０の下部にソフトウェアキーボード（不図示）を表示する。例えば、数値の入力を要求する入力欄がオペレータによって選択された場合はテンキーが表示され、アルファベットの入力を要求する入力欄がオペレータによって選択された場合はアルファベットキーが表示される。テンキーとアルファベットキーの双方を表示させてもよい。なお、入力手段１１４は、オペレータによって入力欄が選択されていないときはソフトウェアキーボードを表示させず、入力欄が選択された場合にのみソフトウェアキーボードを表示させる。ソフトウェアキーボードは、例えばオペレーションボタン表示領域１４０の上に重ねて表示される。また、ソフトウェアキーボードは、入力欄１２２に重ならない位置に表示される。オペレータは、ソフトウェアキーボードをタッチすることにより、入力欄１２２に所望の値を入力する。なお、オペレータがソフトウェアキーボードの位置を任意に設定できるようにしてもよい。

オペレータが、いずれかのオペレーションボタン又はその周辺領域をタッチすると、図３に示した表示手段１１１が、図５に示すオペレーションボタン処理ルーチンのフローチャートに沿って、タッチされたオペレーションボタンを拡大表示する処理を実行する。以下では、図５のフローチャートに沿って、いずれかのオペレーションボタンがタッチされたときの処理について説明する。

図３に示した入力手段１１４は、いずれかのオペレーションボタンがタッチされたかどうかを常に監視している（ステップＳ１）。そして、オペレータによっていずれかのオペレーションボタンがタッチされると、入力手段１１４は、タッチされた位置の座標情報を取得する。例えば図１に示したＲＡＭ１０３には、各オペレーションボタンの座標情報があらかじめ記憶されており、入力手段１１４は、ＲＡＭ１０３からその情報を読み出すことにより、どのオペレーションボタンがタッチされたかを認識する。この座標情報は、例えば、図４の表示画面１２０上の横方向をＸ軸、縦方向をＹ軸とするＸ−Ｙ座標系のＸ座標及びＹ座標の数値として記憶されている。例えば図６に示すようにオペレーションボタン１４１がタッチされると、拡大表示手段１１３は、すべてのオペレーションボタンを拡大して拡大オペレーションボタン１４１ａ〜１４８ａを表示する（ステップＳ２）。ここでは、すべてのオペレーションボタンの拡大率を等しくしたが、タッチされたオペレーションボタンのみの拡大率を、他のオペレーションボタンの拡大率よりも大きくしてもよい。拡大オペレーションボタン１４１ａ〜１４８ａは、すべてがオペレーションボタン表示領域１４０の内部に表示されるように拡大される。また、前もって設定された（例えば拡大表示手段１１３に記憶されるなどした）複数のオペレーションボタン１４１〜１４８の周辺領域（例えばオペレーションボタン表示領域１４０）についても拡大表示する。拡大率は、例えば拡大表示手段１１３が記憶する。

次に、入力手段１１４は、オペレータによる接触が継続しているか否か、及び、接触が継続している場合はその接触位置がオペレーションボタンか否かを検知する（ステップＳ３）。後者の判断は、タッチされた位置の座標情報を入力手段１１４が取得することにより行う。そして、オペレータによる接触が継続しており、かつ、その接触位置がオペレーションボタンである場合は、表示手段１１１が、タッチされているオペレーションボタンに対応する加工データページを表示する。したがって、オペレータが、拡大オペレーションボタン１４１ａ〜１４８ａのうち、任意の複数のオペレーションボタン上で接触する領域をスライド移動させると、スライド移動に同期して、表示する加工データページを切り替えることができる（ステップＳ４）。また、複数のオペレーションボタン上でタッチする位置をスライド移動させると、拡大表示手段１１３は、オペレーションボタン１４１〜１４８が拡大表示された状態を維持する。

一方、オペレータによる接触が継続していない場合や、接触が継続していても接触位置がオペレーションボタン表示領域１４０の内部でない場合は、オペレーションボタン１４１〜１４８を、図４に示した元のサイズに縮小表示する（ステップＳ５）。

このように、オペレータが任意のオペレーションボタンに触れると、すべてのオペレーションボタンが拡大表示されるため、オペレーションボタンの誤タッチを防ぐことができる。

また、オペレータが複数のオペレーションボタン上で接触する領域をスライド移動させると、スライド移動と同期して表示手段に表示される加工データページを切り替えることができるため、指を画面に触れたり離したりする必要がないため、表示される加工データページの切り替えを効率化することができる。

なお、上記実施形態では操作タッチパネル装置を切削装置に搭載した場合を説明したが、他の加工装置に搭載することもできる。その場合は、加工データページの内容が変更される。

１００：操作タッチパネル装置
１０１：ＣＰＵ１０２：ＲＯＭ１０３：ＲＡＭ１０４：タッチパネル
１０５：ＨＤＤ１０６：Ｉ／Ｏ１０７：バス
１１１：表示手段１１２：記憶手段１１３：拡大表示手段１１４：入力手段
１１５：表示切替手段
１：切削装置
２：切削送り手段
２０：ボールネジ２１：ガイドレール２２：モータ２３：回転手段
２４：移動基台
３ａ，３ｂ：切削手段
３０：切削ブレード３１：撮像手段３２：切削水ノズル
４：インデックス送り手段
４０：ボールネジ４１：ガイドレール４２：モータ４３：移動基台
５：切込み送り手段
５０：ボールネジ５１：ガイドレール５２：モータ５３：昇降基台
６：クランプ部
７：チャックテーブル
Ｗ：ウェーハＴ：ダイシングテープＦ：フレーム
１２０：表示画面１２１：入力項目名１２２：入力欄
１３０：加工データ表示領域１４０：オペレーションボタン表示領域
１４１〜１４８：オペレーションボタン
１４１ａ〜１４８ａ：拡大オペレーションボタン

Claims

加工装置の操作タッチパネルであって、
複数の加工データページを記憶する記憶手段と、
該加工データページと該加工データページを呼び出す複数のオペレーションボタンとを表示する表示手段と、
該複数のオペレーションボタンまたは前もって設定された該複数のオペレーションボタンの周辺領域をオペレータが触れることにより該複数のオペレーションボタンを及び前もって設定された該複数のオペレーションボタンの周辺領域を拡大表示する拡大表示手段と、
を備える操作タッチパネル。
オペレータが該複数のオペレーションボタン上で接触する領域をスライド移動させると、該スライド移動と同期して該表示手段に表示される加工データページを切り替える表示切替手段、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の操作タッチパネル。