DE102021200934A1 - Bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

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imaging
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Yoshimasa Kojima
Atsushi Kubo
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Disco Corp
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Abstract

Eine Bearbeitungsvorrichtung weist auf: einen Einspanntisch, aufweisend eine plattenförmige Haltekomponente, aufweisend einen von einer Oberfläche zur anderen Oberfläche transparenten vorgegebenen Bereich, eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück bearbeitet, eine erste Abbildungseinheit, die über dem Einspanntisch angeordnet ist, um eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche zu erfassen, und eine zweite Abbildungseinheit, die unter dem Einspanntisch angeordnet ist, um eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche zu erfassen, eine Anzeigevorrichtung und einen Steuerungsteil, der eine Abbildungsbearbeitung der normalen Abbildung von der Seite entweder der hinteren oder der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die der Abbildungsbearbeitung unterzogene normale Abbildung in dem Zustand an der Anzeigevorrichtung angezeigt wird, in dem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist, um zu ermöglichen, dass die Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche der Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung, die eine Seite einer hinteren Oberfläche eines Werkstücks, an dem ein vorgegebenes Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche ausgebildet ist, bearbeitet. Die Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet die Seite der hinteren Oberfläche des Werkstücks in einem Zustand, in dem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks gehalten wird.
  • Beschreibung der verwandten Technik
  • Halbleiterbauelementchips, die für Teile elektronischer Ausstattung wie beispielsweise Mobiltelefone und PCs verwendet werden, werden durch ein Bearbeiten eines Wafers (Werkstücks), der aus einem Halbleitermaterial wie beispielsweise Silizium ausgebildet ist und beispielsweise eine kreisförmige Scheibenform aufweist, hergestellt. Mehrere geplante Teilungslinien werden an der Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks angeordnet und ein Bauelement wie beispielsweise ein integrierter Schaltkreis (IC), eine Large Scale Integration (LSI) oder mikroelektronische mechanische Systeme (MEMS) werden in jedem durch die mehreren geplanten Teilungslinien unterteilten Bereiche ausgebildet. Um die Bauelementchips aus dem Werkstück herzustellen, wird das Werkstück beispielsweise durch ein Schleifen der Seite der hinteren Oberfläche des Werkstücks dünn ausgestaltet. Danach wird das Werkstück entlang jeder geplanten Teilungslinie geschnitten, um das Werkstück in Bauelementeinheiten zu teilen. Somit werden die Bauelementchips hergestellt.
  • In einem Schneidschritt eines Schneidens des Werkstücks werden eine Schneidvorrichtung, aufweisend eine Schneideinheit, bei der eine Schneidklinge an einem Ende einer Spindel angebracht ist, und ein Einspanntisch, der das Werkstück ansaugt und hält, verwendet. In einem normalen Schneidschritt wird zunächst die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks nach oben angeordnet und die Seite der hinteren Oberfläche des Werkstücks wird durch den Einspanntisch angesaugt und gehalten. Nachdem die Seite der hinteren Oberfläche gehalten wird, wird eine Ausrichtung durch ein Abbilden der Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch eine über dem Einspanntisch angeordnete erste Kamera ausgeführt. Die erste Kamera weist ein Abbildungselement wie beispielsweise einen Abbildungssensor mit einem ladungsgekoppelten Bauelement (Charge-Coupled Device, CCD) oder einem Abbildungssensor mit einem komplementären Metalloxid-Halbleiter (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS)) zum Abbilden eines Objekts durch sichtbares Licht auf.
  • Eine Ausrichtung einer Positionskorrektur und so weiter des Werkstücks wird basierend auf einem Ergebnis eines Abbildens der Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks, an dem eine Ausrichtungsspur oder dergleichen ausgebildet ist, durch die erste Kamera ausgeführt. Nach der Ausrichtung wird das Werkstück durch die Schneidklinge entlang jeder geplanten Teilungslinie geschnitten. Allerdings gab es in vergangenen Jahren einhergehend mit einer Diversifikation von Bauelementen Fälle, in denen ein Werkstück von der Seite der hinteren Oberfläche des Werkstücks geschnitten wird (siehe beispielsweise die japanische Offenlegungsschrift Nr. 2006 - 140341 ). In diesem Fall wird die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks nach unten angeordnet und von einem Einspanntisch gehalten. Deswegen ist es unmöglich, eine Ausrichtungsspur oder dergleichen abzubilden, wenn die Seite der hinteren Oberfläche des Werkstücks durch die über dem Einspanntisch angeordnete erste Kamera aufgenommen wird.
  • Somit ist eine Schneidvorrichtung, aufweisend einen aus einem Material, das für sichtbares Licht transparent ist, ausgebildeten Einspanntisch und eine unter dem Einspanntisch angeordnete zweite Kamera für sichtbares Licht entwickelt worden (siehe beispielsweise die japanische Offenlegungsschrift Nr. 2010-87141 ). Wenn die zweite Kamera verwendet wird, kann die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks von der unteren Seite des Einspanntischs in dem Zustand abgebildet werden, in dem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch den Einspanntisch gehalten wird. Deswegen kann die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks selbst in dem Fall betrachtet werden, in dem die Seite der hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben angeordnet ist und die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch den Einspanntisch gehalten ist.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Allerdings wird, wenn eine von der zweiten Kamera erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche und eine durch die erste Kamera erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche an einer Anzeigevorrichtung wie beispielsweise einer Flüssigkristallanzeige so, wie sie sind, angezeigt werden, die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche in dem Zustand angezeigt, in dem sie im Vergleich zu der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche in der Links-Rechts-Richtung oder der Oben-Unten-Richtung invertiert ist. Folglich entspricht beispielsweise die linke Richtung in der Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche der rechten Richtung in der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche. Deswegen ist es für einen Bediener nicht einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche und der Seite der hinteren Oberfläche zu erkennen. Dies stellt eine Schwierigkeit für den Bediener dar. Die vorliegende Erfindung ist in Anbetracht eines solchen Problems erfolgt und zielt darauf ab, eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, welche die Schwierigkeiten für einen Bediener reduzieren kann, wenn eine durch ein Abbilden eines Werkstücks von der unteren Seite eines Einspanntischs erhaltene Abbildung an einer Anzeigevorrichtung angezeigt wird und der Bediener während eines Betrachtens dieser angezeigten Abbildung eine Bedienung durchführt.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist, eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt. Die Bearbeitungseinheit weist auch auf: eine erste Abbildungseinheit, die ein erstes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst, und eine zweite Abbildungseinheit, die ein zweites Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem von der ersten Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht. Die Bearbeitungsvorrichtung weist auch auf: eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die erste Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die zweite Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt, und einen Steuerungsteil, der eine Speichervorrichtung, in welcher ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor aufweist, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet, wobei der Steuerungsteil die Abbildungsbearbeitung entweder der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche oder der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die der Abbildungsbearbeitung unterzogene normale Abbildung an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt wird, in dem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberflächen entspricht.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist, und eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt. Die Bearbeitungsvorrichtung weist auch auf: eine erste Abbildungseinheit, die ein erstes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst; eine dritte Abbildungseinheit, die ein drittes Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem durch die erste Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht, und eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die erste Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die dritte Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt. Die Bearbeitungsvorrichtung könnte ferner aufweisen: einen Steuerungsteil, aufweisend eine Speichervorrichtung, in der ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet. Der Steuerungsteil führt die Abbildungsbearbeitung sowohl der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche als auch der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche aus, um zu bewirken, dass die normale und Spiegelabbildung, die der Abbildungsbearbeitung unterzogen sind, an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt werden, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert sind, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberflächen entspricht.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist, und eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt. Die Bearbeitungsvorrichtung weist auch auf: eine vierte Abbildungseinheit, die ein viertes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst, eine zweite Abbildungseinheit, die ein zweites Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem durch die vierte Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht, und eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die vierte Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die zweite Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung könnte ferner aufweisen: einen Steuerungsteil, aufweisend eine Speichervorrichtung, in der ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet. Der Steuerungsteil führt die Abbildungsbearbeitung sowohl der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche als auch der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche aus, um zu bewirken, dass die Spiegel- und die normale Abbildung, die der Abbildungsbearbeitung unterzogen sind, an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt werden, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert sind, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist, und eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt. Die Bearbeitungsvorrichtung weist auch auf: eine vierte Abbildungseinheit, die ein viertes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst, und eine dritte Abbildungseinheit, die ein drittes Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem von der vierten Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht. Die Bearbeitungsvorrichtung weist auch auf: eine Anzeigevorrichtung, die eine von der vierten Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine von der dritten Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt, und und einen Steuerungsteil, der eine Speichervorrichtung, in welcher ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor aufweist, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet, wobei der Steuerungsteil die Abbildungsbearbeitung entweder der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche oder der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die der Abbildungsbearbeitung unterzogene Spiegelabbildung an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt wird, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberflächen entspricht.
  • Die Abbildung der vorderen Oberfläche könnte an der Anzeigevorrichtung zusammen mit der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche angezeigt werden.
  • Ferner könnte die Bearbeitungseinheit eine Schneideinheit mit einer Spindel, wobei eine Schneidklinge ausgestaltet ist, um an einem Ende der Spindel angebracht zu werden, oder eine Laserbestrahlungseinheit mit einem Laseroszillator, der einen Laserstrahl erzeugt, und einer Sammellinse, die den vom Laseroszillator emittierten Laserstrahl sammelt, sein.
  • Der Einspanntisch der Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem einen Aspekt der vorliegenden Erfindung weist den aus dem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich auf. Über dem Einspanntisch ist die erste Abbildungseinheit angeordnet, die eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst. Ferner ist unter dem Einspanntisch die zweite Abbildungseinheit, die eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche in dem Bereich erfasst, der dem von der ersten Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in der Dickenrichtung des Werkstücks entspricht, angeordnet. Die Bearbeitungsvorrichtung weist ferner die Anzeigevorrichtung und den Steuerungsteil auf. Die Anzeigevorrichtung zeigt eine von der ersten Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine von der zweiten Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche an. Der Steuerungsteil führt die Abbildungsbearbeitung entweder der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche oder der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche aus, um zu bewirken, dass die der Abbildungsbearbeitung unterzogene normale Abbildung an der Anzeigevorrichtung in dem Zustand angezeigt wird, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist, um zu ermöglichen, dass die Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche der Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht. Aufgrund dessen wird es einfach, dass der Bediener die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche und der Seite der hinteren Oberfläche erkennt. Deswegen werden die Schwierigkeiten für den Bediener reduziert.
  • Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und ihre Umsetzungsweise werden am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung wird hierdurch am besten verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine Perspektivansicht einer Schneidvorrichtung;
    • 2 ist eine Perspektivansicht einer Werkstückeinheit;
    • 3 ist eine Perspektivansicht eines Einspanntischs usw.;
    • 4 ist eine teilweise Schnittseitenansicht des Einspanntischs usw.;
    • 5 ist eine vergrößerte Ansicht eines Bereichs A in 4;
    • 6 ist eine vergrößerte Perspektivansicht eines Z-Achsenbewegungsmechanismus usw.;
    • 7A ist ein Beispiel einer Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche;
    • 7B ist ein Beispiel einer Abbildung der in einer vorgegebenen Richtung invertierten Seite der vorderen Oberfläche;
    • 8A ist ein Beispiel eines Anzeigeverfahrens einer Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche und einer Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche;
    • 8B ist ein weiteres Beispiel des Anzeigeverfahrens der Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche und der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche;
    • 9 ist ein Diagramm, das einen Schneidschritt darstellt;
    • 10 ist ein Diagramm, das einen Kerbenüberprüfungsschritt darstellt;
    • 11 ist ein Diagramm, das eine Abbildungseinheit einer unteren Seite usw. gemäß einem ersten Modifikationsbeispiel darstellt;
    • 12 ist ein Diagramm, das eine Abbildungseinheit einer oberen Seite usw. gemäß einem zweiten Modifikationsbeispiel darstellt;
    • 13 ist ein Diagramm, das die Abbildungseinheit der unteren Seite, die Abbildungseinheit der oberen Seite usw. gemäß einem dritten Modifikationsbeispiel darstellt; und
    • 14 ist eine Perspektivansicht einer Laserbearbeitungsvorrichtung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Ausführungsformen gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung werden unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben werden. 1 ist eine Perspektivansicht einer Schneidvorrichtung 2 gemäß einer ersten Ausführungsform. In 1 sind einige der Bestandteile als ein Funktionsblockdiagramm dargestellt. Ferner sind eine X-Achsenrichtung (Bearbeitungszuführrichtung), eine Y-Achsenrichtung (Indexzuführrichtung) und eine Z-Achsenrichtung (vertikale Richtung, Einschneidzuführrichtung), die für die folgende Erläuterung verwendet werden, senkrecht zueinander. Die Schneidvorrichtung (Bearbeitungsvorrichtung) 2 weist eine Basis 4 auf, welche die jeweiligen Bestandteile trägt. Eine Öffnung 4a ist an einem Eckteil an der vorderen Seite (+Y-Richtung) der Basis 4 ausgebildet und ein Kassettenaufzug (nicht dargestellt) ist in der Öffnung 4a angeordnet. Eine Kassette 6 zum Unterbringen mehrerer Werkstücke 11 (siehe 2) ist an der oberen Oberfläche des Kassettenaufzugs platziert.
  • Das Werkstück 11 ist ein Wafer, der beispielsweise aus einem Halbleitermaterial wie beispielsweise Silizium ausgestaltet ist und eine kreisförmige Scheibenform aufweist. Allerdings gibt es keine Beschränkung hinsichtlich des Materials, der Form, der Struktur, der Größe usw. des Werkstücks 11. Beispielsweise ist es auch möglich, ein aus einem Material wie beispielsweise einem anderen Halbleiter, Keramik, Kunststoff oder Metall ausgestaltetes Substrat oder dergleichen als das Werkstück 11 zu verwenden. Wie in 2 dargestellt ist, ist die Seite einer vorderen Oberfläche 11a des Werkstücks 11 durch mehrere geplante Teilungslinien (Straßen) 13, die einander schneiden, in mehrere Bereiche segmentiert. In jedem Bereich an der Seite der vorderen Oberfläche 11a sind ein Bauelement 15 wie beispielsweise ein IC, eine Ausrichtungsspur (Spur 98 in 7A) usw. ausgebildet. Allerdings gibt es keine Beschränkung hinsichtlich der Art, der Menge, der Form, der Struktur, der Größe, der Anordnung usw. der Bauelemente 15. Die Bauelemente 15 müssen nicht am Werkstück 11 ausgebildet sein.
  • Ein Band (Teilungsband) 17, das einen größeren Durchmesser als das Werkstück 11 aufweist, ist an der Seite der vorderen Oberfläche 11a des Werkstücks 11 angehaftet. Das Band 17 ist aus einem transparenten Material ausgebildet, durch das sichtbares Licht transmittiert wird. Das Band 17 weist beispielsweise eine Schicht-Stapelstruktur mit einer Basisschicht und einer Haftschicht (Klebstoffschicht) auf. Die Basisschicht ist beispielsweise aus Polyolefin (PO) oder dergleichen ausgebildet. Die Haftschicht ist beispielsweise aus einem Haftkunststoff wie beispielsweise einem Ultraviolett (UV)-härtbaren Acrylkunststoff ausgebildet. Die Seite der Haftschicht des Bandes 17 ist an die Seite der vorderen Oberfläche 11a des Werkstücks 11 angehaftet.
  • Ein aus einem Metall ausgebildeter ringförmiger Rahmen 19 ist am äußeren des Bandes 17 befestigt. Wie oben, wird das Werkstück 11 in der Kassette 6 in dem Zustand untergebracht, in welchem eine Werkstückeinheit 21 durch das Band 17 vom Rahmen 19 getragen wird. 2 ist eine Perspektivansicht der Werkstückeinheit 21. Wie in 1 dargestellt ist, ist eine Öffnung 4b, die in der X-Achsenrichtung länglich ist, an der hinteren Seite (-Y-Richtung) der Öffnung 4a ausgebildet. Ein Einspanntisch 10 mit einer kreisförmigen Scheibenform ist in der Öffnung 4b angeordnet. Eine (nicht dargestellte) kreisförmige Ringrahmenansaugplatte, in der Ansaugöffnungen diskret entlang der Umfangsrichtung ausgebildet sind, ist am äußeren Teil des Einspanntischs 10 angeordnet.
  • Hier werden der Einspanntisch 10 usw. detaillierter unter Bezugnahme auf 3 bis 5 beschrieben werden. 3 ist eine Perspektivansicht des Einspanntischs 10 usw. 4 ist eine teilweise Schnittseitenansicht des Einspanntischs 10 usw. In 4 ist der Einfachheit halber eine Schraffur weggelassen. 5 ist eine vergrößerte Ansicht eines Bereichs A in 4. In 5 sind einige der Bestandteile als ein Funktionsblockdiagramm dargestellt. Der Einspanntisch 10 weist eine Haltekomponente 12 mit einer kreisförmigen Scheibenform (Plattenform) auf. Die Haltekomponente 12 weist im Wesentlichen eben eine Oberfläche 12a und die an der gegenüberliegenden Seite der einen Oberfläche 12a angeordnete andere Oberfläche 12b (siehe 5) auf. Die Haltekomponente 12 ist aus einem transparenten Material ausgebildet, durch das sichtbares Licht transmittiert wird, wie beispielsweise Kalk-Natron-Glas, Borosilikatglas oder Quarzglas.
  • Mehrere Strömungspfade sind in der Haltekomponente 12 ausgebildet. In der Haltekomponente 12 der vorliegenden Ausführungsform ist eine erste Ansaugleitung 12c1 mit einer geraden Linienform auf eine solche Weise ausgebildet, dass sie durch die Mittenachse der kreisförmigen Scheibe verläuft, wenn die Haltekomponente 12 aus der Z-Achsenrichtung gesehen wird. Ferner ist eine zweite Ansaugleitung 12c2 mit einer Form einer geraden Linie auf eine solche Weise ausgebildet, dass sie in der XY-Ebenenrichtung senkrecht zur ersten Ansaugleitung 12c1 ist. Die erste Ansaugleitung 12c1 und die zweite Ansaugleitung 12c2 schneiden einander am Schnitt 12c3, der an der Mittenachse der kreisförmigen Scheibe angeordnet ist, und sind miteinander verbunden. Am äußeren Teil der einen Oberfläche 12a sind mehrere Öffnungsteile 12d getrennt voneinander in der Umfangsrichtung ausgebildet. Jeder Öffnungsteil 12d ist von der einen Oberfläche 12a aus auf eine vorgegebene Tiefe ausgebildet, welche die andere Oberfläche 12b nicht erreicht.
  • Der Öffnungsteil 12d ist an jedem von beiden Endteilen der ersten Ansaugleitung 12c1 und an beiden Endteilen der zweiten Ansaugleitung 12c2 ausgebildet. Die jeweiligen Öffnungsteile 12d sind in der Umfangsrichtung durch eine an einer vorgegebenen Tiefe am äußeren Teil der Haltekomponente 12 ausgebildete äußere Ansaugleitung 12e verbunden. Eine Ansaugleitung 12f, die sich in der radialen Richtung erstreckt, ist an der äußeren Seite des Öffnungsteils 12d ausgebildet und eine Ansaugquelle 14 wie beispielsweise ein Ejektor ist mit der Ansaugleitung 12f verbunden (siehe 5). Wenn die Ansaugquelle 14 betätigt wird, um einen Unterdruck zu erzeugen, wird der Unterdruck an den Öffnungsteilen 12d erzeugt. Deswegen wirkt die eine Oberfläche 12a als eine Halteoberfläche, welche die Werkstückeinheit 21 (Werkstück 11) ansaugt und hält.
  • Indessen wird ein Teil des einfallenden Lichts an den Strömungsleitungen der Haltekomponente 12, wie beispielsweise der ersten Ansaugleitung 12c1, der zweiten Ansaugleitung 12c2, den Öffnungsteilen 12d, der äußeren Ansaugleitung 12e und der Ansaugleitung 12f gestreut oder reflektiert. Deswegen sind die Strömungsleitungen der Haltekomponente 12 in einer Ansicht von der einen Oberfläche 12a oder der anderen Oberfläche 12b nicht komplett transparent für sichtbares Licht und weisen in einigen Fällen eine Transluzenz auf und sind in anderen Fällen opak. Allerdings sind vorgegebene Bereiche, welche die Strömungsleitungen in der Haltekomponente 12 ausschließen, von der einen Oberfläche 12a zur anderen Oberfläche 12b transparent. Insbesondere sind Bereiche, die aus einem Teilen durch die erste Ansaugleitung 12c1 und die zweite Ansaugleitung 12c2 in Viertel entstehen und relativ zur äußeren Ansaugleitung 12e in der radialen Richtung der Haltekomponente 12 innerhalb angeordnet sind, von der einen Oberfläche 12a zur anderen Oberfläche 12b transparent.
  • Ein aus einem metallischen Material wie beispielsweise Edelstahl ausgebildeter kreisförmiger zylindrischer Rahmenkörper 16 ist am äußeren Teil der Haltekomponente 12 angeordnet. Ein Öffnungsteil 16a ist am oberen Teil des Rahmenkörpers 16 ausgebildet (siehe 5) und die Haltekomponente 12 ist angeordnet, um den Öffnungsteil 16a zu schließen. Wie in 3 und 4 dargestellt ist, ist der Rahmenkörper 16 durch einen X-Achsenbewegungstisch 18 getragen. Der X-Achsenbewegungstisch 18 weist eine Bodenplatte 18a mit einer in einer Ansicht aus der Z-Achsenrichtung rechteckigen Form auf. Das untere Ende einer Seitenplatte 18b mit einer in einer Ansicht aus der Y-Achsenrichtung rechteckigen Form ist mit einem Ende der Bodenplatte 18a an der vorderen Seite (+Y-Richtung) verbunden.
  • Ein Ende der vorderen Seite in einer oberen Platte 18c mit der gleichen rechteckigen Form wie die Bodenplatte 18a in einer Ansicht aus der Z-Achsenrichtung ist mit dem oberen Ende der Seitenplatte 18b verbunden. Ein Raum 18d, in dem ein Ende an der hinteren Seite (-Y-Richtung) und beide Enden in der X-Achsenrichtung geöffnet sind, ist zwischen der Bodenplatte 18a und der oberen Platte 18c ausgebildet. An der unteren Seite (-Z-Richtung) der Bodenplatte 18a ist ein Paar im Wesentlichen zu der Z-Achsenrichtung paralleler X-Achsenführungsschienen 20 auf eine solche Weise angeordnet, dass die Bodenplatte 18a daran verschiebbar ist. Das Paar X-Achsenführungsschienen 20 ist an der oberen Oberfläche einer stationären Basis (nicht dargestellt) befestigt.
  • Eine X-Achsen-Linearskala 20a, die bei einer Detektion der Position des X-Achsenbewegungstischs 18 in der X-Achsenrichtung verwendet wird, ist an einer Position neben der X-Achsenführungsschienen 20 angeordnet. Ferner ist ein (nicht dargestellter) Lesekopf an der Seite der unteren Oberfläche des X-Achsenbewegungstischs 18 angeordnet. Zum Zeitpunkt einer Bewegung des X-Achsenbewegungstischs 18 werden die Position (Koordinate) des X-Achsenbewegungstischs 18 in der X-Achsenrichtung und der Bewegungsbetrag davon in der X-Achsenrichtung durch ein Detektieren einer Skala der X-Achsen-Linearskala 20a durch den Lesekopf berechnet.
  • Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an der Seite der unteren Oberfläche der Bodenplatte 18a des X-Achsenbewegungstischs 18 angeordnet und eine im Wesentlichen zu den X-Achsenführungsschienen 20 parallele X-Achsenkugelgewindespindel 22 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden. Ein X-Achsenpulsmotor 24 ist mit einem Endteil der X-Achsenkugelgewindespindel 22 verbunden. Wenn die X-Achsenkugelgewindespindel 22 durch den X-Achsenpulsmotor 24 gedreht wird, bewegt sich der X-Achsenbewegungstisch 18 entlang der X-Achsenführungsschienen 20 in der X-Achsenrichtung. Die X-Achsenführungsschienen 20, die X-Achsenkugelgewindespindel 22, der X-Achsenpulsmotor usw. bilden einen X-Achsenbewegungsmechanismus 26 aus, der den X-Achsenbewegungstisch 18 bewegt.
  • An der Seite der oberen Oberfläche der oberen Platte 18c des X-Achsenbewegungstischs 18 ist der Rahmenkörper 16 durch die obere Platte 18c drehbar um eine im Wesentlichen zur Z-Achsenrichtung parallele Drehachse getragen. Der Rahmenkörper 16 weist einen Rollenteil 16b auf, der eine kreisförmige zylindrische Seitenoberfläche ist. Der Rollenteil 16b ist relativ zur oberen Platte 18c an der oberen Seite angeordnet, wenn der Rahmenkörper 16 vom X-Achsenbewegungstisch 18 getragen wird. Eine Drehantriebsquelle 30 wie beispielsweise ein Motor ist an der Seitenplatte 18b des X-Achsenbewegungstischs 18 angeordnet. Eine Rolle 30a ist an der Drehachse der Drehantriebsquelle 30 angeordnet. Ein Rotations-Endlosriemen (Riemen 28) ist um die Rolle 30a und den Rollenteil 16b erstreckt.
  • Wenn die Drehantriebsquelle 30 betätigt wird, um die Rolle 30a zu drehen, dreht sich der Rahmenkörper 16 um die im Wesentlichen zur Z-Achsenrichtung parallele Drehachse durch eine durch den Riemen 28 übertragene Kraft. Durch ein Steuern der Drehung der Rolle 30a kann der Einspanntisch 10 um die Drehachse um einen beliebigen Winkel gedreht werden. Ein Y-Achsenbewegungsmechanismus 32 ist an einer erstreckten Linie des X-Achsenbewegungsmechanismus 26 in der X-Achsenrichtung angeordnet. Der Y-Achsenbewegungsmechanismus 32 weist ein Paar im Wesentlichen zur Y-Achsenrichtung paralleler Y-Achsenführungsschienen 34 auf. Das Paar Y-Achsenführungsschienen 34 ist an der oberen Oberfläche der stationären Basis (nicht dargestellt) befestigt.
  • Ein Y-Achsenbewegungstisch 36 ist verschiebbar an den Y-Achsenführungsschienen 34 angebracht. Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an der Seite der unteren Oberfläche des Y-Achsenbewegungstischs 36 angeordnet und eine im Wesentlichen zu den Y-Achsenführungsschienen 34 parallele Y-Achsenkugelgewindespindel 38 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden. Ein Y-Achsenpulsmotor 40 ist mit einem Endteil der Y-Achsenkugelgewindespindel 38 verbunden. Wenn die Y-Achsenkugelgewindespindel 38 durch den Y-Achsenpulsmotor 40 gedreht wird, bewegt sich der Y-Achsenbewegungstisch 36 entlang der Y-Achsenführungsschienen 34 in der Y-Achsenrichtung.
  • Eine bei einer Detektion der Position des Y-Achsenbewegungstischs 36 in der Y-Achsenrichtung verwendete (nicht dargestellte) Y-Achsen-Linearskala ist an einer Position neben der Y-Achsenführungsschiene 34 angeordnet. Ferner ist ein (nicht dargestellter) Lesekopf an der Seite der unteren Oberfläche des Y-Achsenbewegungstischs 36 angeordnet. Während einer Bewegung des Y-Achsenbewegungstischs 36 werden die Position (Koordinate) des Y-Achsenbewegungstischs 36 in der Y-Achsenrichtung und der Bewegungsbetrag davon in der Y-Achsenrichtung durch ein Detektieren einer Skala der Y-Achsen-Linearskala durch den Lesekopf berechnet.
  • Ein Z-Achsenbewegungsmechanismus 42 ist an der oberen Oberfläche des Y-Achsenbewegungstischs 36 angeordnet. 6 ist eine vergrößerte Perspektivansicht des Z-Achsenbewegungsmechanismus 42 usw. Der Z-Achsenbewegungsmechanismus 42 weist eine an der oberen Oberfläche des Y-Achsenbewegungstischs 36 befestigte Tragstruktur 42a auf. Ein Paar im Wesentlichen zur Z-Achsenrichtung paralleler Z-Achsenführungsschienen 44 ist an der Seitenoberfläche der Tragstruktur 42a an der Seite des X-Achsenbewegungstischs 18 befestigt. Eine Z-Achsenbewegungsplatte 46 ist verschiebbar an den Z-Achsenführungsschienen 44 angebracht.
  • Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an der Seite der hinteren Oberfläche (Seitenoberfläche an der Seite der Z-Achsenführungsschienen 44) der Z-Achsenbewegungsplatte 46 angeordnet und eine im Wesentlichen zu den Z-Achsenführungsschienen 44 parallele Z-Achsenkugelgewindespindel 48 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden. Ein Z-Achsenpulsmotor 50 ist mit einem Endteil der Z-Achsenkugelgewindespindel 48 verbunden. Wenn die Z-Achsenkugelgewindespindel 48 durch den Z-Achsenpulsmotor 50 gedreht wird, bewegt sich die Z-Achsenbewegungsplatte 46 entlang der Z-Achsenführungsschienen 44 in der Z-Achsenrichtung.
  • Eine (nicht dargestellte) Z-Achsen-Linearskala ist an einer Position neben der Z-Achsenführungsschiene 44 angeordnet und ein (nicht dargestellter) Lesekopf ist an der Z-Achsenbewegungsplatte 46 an der Seite der Z-Achsenführungsschienen 44 angeordnet. Während einer Bewegung der Z-Achsenbewegungsplatte 46 werden die Position (Koordinate) der Z-Achsenbewegungsplatte 46 in der Z-Achsenrichtung usw. durch ein Detektieren einer Skala der Z-Achsen-Linearskala durch den Lesekopf berechnet. Eine Abbildungseinheit der unteren Seite (zweite Abbildungseinheit) 54 ist an der Z-Achsenbewegungsplatte 46 unter Zwischenschaltung eines Tragarms 52, der sich in der X-Achsenrichtung erstreckt, befestigt. Die Abbildungseinheit 54 für die untere Seite der vorliegenden Ausführungsform weist eine Kamera 56 mit einer geringen Vergrößerung und eine Kamera 58 mit einer hohen Vergrößerung auf.
  • Sowohl die Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung als auch die Kamera 58 mit der hohen Vergrößerung weisen ein vorgegebenes optisches System mit einer Linse usw. und einem Abbildungselement (zweites Abbildungselement) wie beispielsweise einem CCD-Abbildungssensor oder einem CMOS-Abbildungssensor auf. Die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite ist relativ zum Einspanntisch 10 an der unteren Seite angeordnet und ist auf eine solche Weise der anderen Oberfläche 12b gegenüber angeordnet, dass die optische Achse jeder Linse im Wesentlichen senkrecht zur anderen Oberfläche 12b der Haltekomponente 12 ist. Eine Beleuchtungsvorrichtung 56a, die ein Objekt (beispielsweise das Werkstück 11), das an der oberen Seite angeordnet ist, mit sichtbarem Licht bestrahlt, ist an einer seitlichen Seite der Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung angeordnet. Ähnlich ist eine Beleuchtungsvorrichtung 58a an einer seitlichen Seite der Kamera 58 mit der großen Vergrößerung angeordnet.
  • Im Fall eines Abbildens des Werkstücks 11 durch die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite wird der X-Achsenbewegungstisch 18 zur Seite des Y-Achsenbewegungstischs 36 bewegt und die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite wird im Raum 18d angeordnet. Dann wird das an der Seite der einen Oberfläche 12a der Haltekomponente 12 angeordnete Werkstück 11 von der unteren Seite abgebildet. Auf diese Weise kann eine normale Abbildung (d.h. eine wie tatsächlich gesehene Abbildung) der Seite der vorderen Oberfläche 11a erfasst werden. Die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite muss nicht notwendigerweise die zwei Kameras der Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung und der Kamera 58 mit der großen Vergrößerung aufweisen. Die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite könnte nur eine Kamera mit einer vorgegebenen Vergrößerung aufweisen.
  • Hier werden, wieder auf 1 bezugnehmend, andere Bestandteile der Schneidvorrichtung 2 beschrieben werden. An der Seite der +X-Richtung und der Seite der -X-Richtung relativ zur oberen Platte 18c des X-Achsenbewegungstischs 18 wird eine akkordeonförmige, staubdichte, tropfdichte Abdeckung, die sich frei erstrecken und zusammenziehen kann, auf eine solche Weise angebracht, dass sie die Öffnung 4b abdeckt. Über der Öffnung 4b ist eine torförmige Tragstruktur 4c so angeordnet, dass sie die Öffnung 4b überspannt. Zwei Bearbeitungseinheit-Bewegungsmechanismen (Indexzuführeinheit, Einschneidzuführeinheit) 60 sind an einer an der Seite der Öffnung 4a angeordneten Seitenoberfläche in den Seitenoberflächen der Tragstruktur 4c angeordnet.
  • Die jeweiligen Bearbeitungseinheit-Bewegungsmechanismen 60 teilen sich ein Paar Y-Achsenführungsschienen 62, die an der einen Seitenoberfläche der Tragstruktur 4c befestigt sind und im Wesentlichen parallel zur Y-Achsenrichtung sind. Zwei Y-Achsenbewegungsplatten 64 sind an den Y-Achsenführungsschienen 62 auf eine solche Weise angebracht, dass sie in der Lage sind, unabhängig voneinander zu gleiten. Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an einer Oberfläche der Y-Achsenbewegungsplatte 64, die an der Seite der Tragstruktur 4c angeordnet ist, angeordnet, und eine im Wesentlichen zu den Y-Achsenführungsschienen 62 parallele Y-Achsenkugelgewindespindel 66 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden. Die Mutterteile der jeweiligen Y-Achsenbewegungsplatten 64 sind mit den unterschiedlichen Y-Achsenkugelgewindespindeln 66 verbunden.
  • Ein Y-Achsenpulsmotor 68 ist mit einem Endteil jeder Y-Achsenkugelgewindespindel 66 verbunden. Wenn die Y-Achsenkugelgewindespindel 66 durch den Y-Achsenpulsmotor 68 gedreht wird, bewegt sich die Y-Achsenbewegungsplatte 64 entlang der Y-Achsenführungsschienen 62 in der Y-Achsenrichtung. Ein Paar im Wesentlichen zur Z-Achsenrichtung paralleler Z-Achsenführungsschienen 72 sind jeweils an der anderen Oberfläche jeder Y-Achsenbewegungsplatte 64, die an der gegenüberliegenden Seite der Tragstruktur 4c angeordnet ist, angeordnet. Z-Achsenbewegungsplatten 70 sind verschiebbar an den Z-Achsenführungsschienen 72 angebracht.
  • Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an einer Oberfläche der Z-Achsenbewegungsplatte 70 angeordnet, die an der Seite der Tragstruktur 4c angeordnet ist, und eine zu den Z-Achsenführungsschienen 72 parallele Z-Achsenkugelgewindespindel 74 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden. Ein Z-Achsenpulsmotor 76 ist mit einem Endteil der Z-Achsenkugelgewindespindel 74 verbunden. Wenn die Z-Achsenkugelgewindespindel 74 durch den Z-Achsenpulsmotor 76 gedreht wird, bewegt sich die Z-Achsenbewegungsplatte 70 entlang der Z-Achsenführungsschienen 72 in der Z-Achsenrichtung.
  • Schneideinheiten (Bearbeitungseinheiten) 78 sind an den unteren Enden der Z-Achsenbewegungsplatten 70 angeordnet. Die Schneideinheit 78 weist ein zylindrisches Spindelgehäuses 80 auf. Ein Teil einer kreisförmigen säulenartigen Spindel 82a (siehe 9) ist drehbar im Spindelgehäuse 80 untergebracht. Ein Drehantriebsmechanismus (nicht dargestellt) wie beispielsweise ein Servomotor, der die Spindel 82a dreht, ist mit einem Ende der Spindel 82a verbunden. Ferner ist eine Schneidklinge 82b mit einem kreisförmigen ringförmigen Schneidrand am anderen Ende der Spindel 82a angebracht.
  • Abbildungseinheiten der oberen Seite (erste Abbildungseinheit) 84 sind mit den unteren Teilen der Z-Achsenbewegungsplatten 70 auf eine solche Weise verbunden, dass sie neben der Schneideinheit 78 angeordnet sind. Die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite weist ein vorgegebenes optisches System mit einer Linse usw. und ein Abbildungselement (erstes Abbildungselement) auf. Die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite ist über dem Einspanntisch 10 angeordnet und ist der einen Oberfläche 12a der Haltekomponente 12 gegenüber auf eine solche Weise angeordnet, dass die optische Achse der Linse im Wesentlichen senkrecht zur einen Oberfläche 12a ist. Die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite bildet die hintere Oberfläche 11b des Werkstücks 11, dessen Seite der vorderen Oberfläche 11a von der einen Oberfläche 12a gehalten wird, ab. Auf diese Weise kann eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b erhalten werden.
  • Eine Öffnung 4d ist an einer Position an der in Bezug auf die Öffnung 4b gegenüberliegenden Seite der Öffnung 4a ausgebildet. Eine Reinigungseinheit 86 zum Reinigen des Werkstücks 11 usw. nach einem Schneiden ist in der Öffnung 4d angeordnet. Die Reinigungseinheit 86 weist einen Reinigungstisch 88, der das Werkstück 11 ansaugt und hält, und eine Düse 90 mit einer dem Reinigungstisch 88 gegenüber angeordneten Ausstoßöffnung auf. Ein Gehäuse, das im Diagramm nicht dargestellt ist, ist an der Basis 4 angeordnet und ein Touchpanel (Anzeigevorrichtung) 92, das sowohl als ein Eingabeteil als auch als ein Anzeigeteil dient, ist an einer Seitenoberfläche des Gehäuses an der vorderen Seite angeordnet. Am Touchpanel 92 werden eine durch ein Abbilden durch die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite und/oder die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite erhaltene Abbildung, Bearbeitungsbedingungen, ein graphisches User Interface (GUI) usw. angezeigt.
  • Der Eingabeteil und der Anzeigeteil könnten getrennt sein. In diesem Fall sind anstelle des Touchpanels 92 eine Anzeigevorrichtung wie beispielsweise ein Videomonitor oder ein Computerbildschirm und eine Eingabevorrichtung wie beispielsweise eine Tastatur und eine Maus, die als eine Nutzerschnittstelle dient, beispielsweise an der Seitenoberfläche des Gehäuses an der vorderen Seite angeordnet. Die Schneidvorrichtung 2 weist einen Steuerungsteil 94, der die Ansaugquelle 14, den X-Achsenbewegungsmechanismus 26, die Drehantriebsquelle 30, den Y-Achsenbewegungsmechanismus 32, den Z-Achsenbewegungsmechanismus 42, die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite, die Bearbeitungseinheitbewegungsmechanismen 60, die Abbildungseinheiten 84 der oberen Seite, die Schneideinheiten 78, das Touchpanel 92 usw. steuert, auf.
  • Beispielsweise ist der Steuerungsteil 94 durch einen Computer mit einer Bearbeitungsvorrichtung wie beispielsweise einem Prozessor wie beispielsweise einer zentralen Verarbeitungseinheit (CPU), einer Hauptspeichervorrichtung wie beispielsweise einem dynamischen Arbeitsspeicher (DRAM), einem statischen Arbeitsspeicher (SRAM) und einem Festspeicher (ROM) und einer Hilfsspeichervorrichtung wie beispielsweise einem Flashspeicher, einer Festplatte und einer Solid-State-Festplatte ausgestaltet. Eine ein vorgegebenes Programm enthaltende Software ist in der Hilfsspeichervorrichtung gespeichert. Funktionen des Steuerungsteils 94 werden implementiert, indem bewirkt wird, dass die Bearbeitungsvorrichtung usw. gemäß dieser Software arbeiten. Ein Teil der Hilfsspeichervorrichtung dient als eine Speichervorrichtung 96, die ein Programm speichert, das bewirkt, dass der Steuerungsteil 94 eine vorgegebene Bildbearbeitung ausführt.
  • In der Speichervorrichtung 96 ist ein Programm gespeichert, das eine Abbildungsbearbeitung eines Invertierens einer Abbildung in einer vorgegebenen Richtung ausführt. Durch die Abbildungsbearbeitung wird beispielsweise eine Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a in der X-Achsenrichtung invertiert (Links-Rechts-Inversion). Ein Beispiel eines Algorithmus zum Invertieren einer Abbildung in der X-Achsenrichtung wird kurz beschrieben werden. Es wird eine Betrachtung des Falles erfolgen, in dem die Koordinaten der vier Ecken der Abbildung (x1, y1), (x1, y2), (x2, y1) und (x2, y2) sind. In diesem Fall sind ein Pixelwert am Pixel bei (x1, y1) und ein Pixelwert am Pixel bei (x2, y1) in Bezug auf ((x1+x2)/2, y1) vertauscht. Die Abbildung kann in der X-Achsenrichtung invertiert werden, indem ein ähnlicher Vorgang auch auf Pixel an anderen Koordinaten in Bezug auf die gerade Linie, durch die (x1+x2)/2 verläuft und parallel zur Y-Achse ist, ausgeführt wird. Das Verfahren zur Abbildungsinversion ist nicht auf dieses Beispiel beschränkt und ein anderer Algorithmus zum Invertieren einer Abbildung in einer vorgegebenen Richtung könnte eingesetzt werden.
  • Ferner ist ein Programm, das eine Abbildungsbearbeitung eines Mustervergleichs usw. ausführt, in der Speichervorrichtung 96 gespeichert. Dieses Programm ist bekannt und ein an der Seite der vorderen Oberfläche 11a ausgebildetes vorgegebenes Muster wird unter Verwendung dieses Programms aus einer Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a extrahiert. Das vorgegebene Muster ist beispielsweise die Kontur der geplanten Teilungslinie 13, des Bauelements 15, der Spur 98 und eines Schaltkreises 100 (siehe 7A usw.). Die Spur 98 wird in einigen Fällen als eine Ausrichtungsspur, ein Schlüsselmuster, ein Zielmuster oder dergleichen bezeichnet.
  • 7A ist ein Beispiel einer Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a. Im Fall eines Bewirkens, dass das Touchpanel 92 eine von der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite erhaltene normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a und eine von der Abbildungseinheit 84 der oberen Seite erhaltene normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b so, wie sie sind, anzeigt, wird die in 7A dargestellte normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a im Vergleich zur normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b in der X-Achsenrichtung invertiert. Folglich entspricht beispielsweise die linke Richtung in der Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a der rechten Richtung in der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b. Deswegen ist es für den Bediener nicht leicht, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Dies stellt eine Schwierigkeit für den Bediener dar, der die Schneidvorrichtung 2 bedient.
  • In der vorliegenden Ausführungsform führt der Steuerungsteil 94 eine Abbildungsbearbeitung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a aus, um zu bewirken, dass diese normale Abbildung am Touchpanel 92 in dem Zustand angezeigt wird, in dem sie in Bezug auf die X-Achsenrichtung (vorgegebene Richtung) invertiert ist (d.h. einem Zustand einer Spiegelabbildung), so dass die Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b der Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a entspricht. 7B ist ein Beispiel der Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a, die in der vorgegebenen Richtung so invertiert ist, dass die Orientierung davon der Orientierung der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b entspricht. 7B ist eine Spiegelabbildung von 7A. Die normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a wird am Touchpanel 92 in dem Zustand der in 7B dargestellten Spiegelabbildung angezeigt. Dies ermöglicht es, dass der Bediener die Seite der vorderen Oberfläche 11a so sieht, als ob der Bediener die vordere Oberfläche 11a (untere Seite) von der hinteren Oberfläche 11b (obere Oberfläche) durch das Werkstück 11 sehen würde. Deswegen wird es einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen und die Schwierigkeiten für den Bediener werden reduziert.
  • Die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a und die Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b könnten wahlweise am Touchpanel 92 angezeigt werden und die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a könnte gemeinsam mit der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b am Touchpanel 92 angezeigt werden. Beispielsweise werden eine eines Bereichs, der eine an der Seite der hinteren Oberfläche 11b ausgebildete Schneidnut (Kerbe) aufweist und eine eines Bereichs an der Seite der vorderen Oberfläche 11a, der diesem Bereich an der Seite der hinteren Oberfläche 11b in der Dickenrichtung des Werkstücks 11 entspricht, gleichzeitig am Touchpanel 92 angezeigt (siehe 8A). Die jeweiligen Positionen der Abbildungseinheit 84 der oberen Seite und der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite relativ zum Einspanntisch 10 werden durch den Steuerungsteil 94 erkannt. Deswegen können in dem von der einen Oberfläche 12a des Einspanntischs 10 gehaltenen Werkstück 11 ein vorgegebener Bereich an der Seite der hinteren Oberfläche 11b und ein diesem Bereich entsprechender Bereich an der Seite der vorderen Oberfläche 11a identifiziert werden.
  • 8A ist ein Beispiel eines Anzeigeverfahrens der einer Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der einer normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b, die jeweils an dem Touchpanel 92 angezeigt werden. Durch ein Anzeigen sowohl der als auch der wird eine Ausführung einer Kerbenüberprüfung im Vergleich zu dem Fall, in dem die und die alternativ angezeigt werden, erleichtert. Die und die müssen nicht notwendigerweise Seite-an-Seite wie in 8A angezeigt werden. 8B ist ein weiteres Beispiel des Anzeigeverfahrens der der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der der Seite der hinteren Oberfläche 11b.
  • Wie in 8B dargestellt ist, könnte die der Seite der hinteren Oberfläche 11b an einem Teil der der Seite der vorderen Oberfläche 11a angezeigt werden. Natürlich könnte ein anderes Anzeigeverfahren eingesetzt werden, solange der Bediener gleichzeitig die und die beobachten kann. Ferner könnte, wenn sowohl die Spiegel- als auch die normale Abbildunge der Seite der vorderen Oberfläche 11a angezeigt werden, eine Abbildung einer Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a als die eingesetzt werden, es könnte eine Abbildung einer normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a als die eingesetzt werden und die und die könnten am Touchpanel 92 wie in 8A angezeigt werden. Stattdessen könnte eine Abbildung einer normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a als die eingesetzt werden und eine Abbildung einer Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a könnte als die eingesetzt werden.
  • Als nächstes wird ein Bearbeitungsverfahren des Werkstücks 11 unter Verwendung von 9, 10 usw. beschrieben werden. Zunächst wird die Werkstückeinheit 21 an der einen Oberfläche 12a des Einspanntischs 10 auf eine solche Weise platziert, dass die Seite der hinteren Oberfläche 11b nach oben freiliegt (Platzierungsschritt S10). Nach dem Platzierungsschritt S10 wird die Ansaugquelle 14 betätigt, um die Seite der vorderen Oberfläche 11a des Werkstücks 11 durch die eine Oberfläche 12a unter Zwischenschaltung des Bandes 17 zu erhalten und den Rahmen 19 durch die Rahmenansaugplatte (nicht dargestellt) zu halten (Halteschritt S20). Nach dem Halteschritt S20 wird ein Lernschritt S30 ausgeführt.
  • Im Lernschritt S30 wird beispielsweise eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a durch ein Verwenden der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite abgebildet und der Bediener sucht die Spur 98 an der Seite der vorderen Oberfläche 11a in dem Zustand, in dem eine durch ein Umwandeln dieser normalen Abbildung in eine Spiegelabbildung erhaltene Abbildung in Echtzeit am Touchpanel 92 angezeigt wird. Nachdem die gewünschte Spur 98 gefunden ist, wird eine Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a, beinhaltend die Spur 98, durch die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite erfasst. Die Form, Koordinaten usw. der Spur 98 werden beispielsweise in der Speichervorrichtung 96 als eine Vorlage für ein Mustervergleichen gespeichert. Ferner werden die Distanz zwischen der Spur 98 und der Mittenlinie der geplanten Teilungslinie 13 und die Distanz zwischen zwei geplanten Teilungslinien 13, die in der Y-Achsenrichtung benachbart sind (Straßenabstand) in der Speichervorrichtung 96 gespeichert. Die jeweiligen gespeicherten Koordinaten sind XY-Koordinaten, die definiert sind, wobei der oben beschriebene Schnitt 12c3 der Ursprung ist.
  • Nach dem Lernschritt S30 wird eine Ausrichtung des Werkstücks 11 ausgeführt (Ausrichtungsschritt S40). Auch im Ausrichtungsschritt S40 führt der Bediener eine Betätigung in dem Zustand durch, in dem eine durch ein Umwandeln einer durch die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite erfassten normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a in eine Spiegelabbildung erhaltene Abbildung in Echtzeit am Touchpanel 92 angezeigt wird. Im Ausrichtungsschritt S40 werden zunächst Abbildungen der Seite der vorderen Oberfläche 11a durch ein Verwenden der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite (beispielsweise der Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung) an mehreren voneinander getrennten Stellen in einer geplanten Teilungslinie 13 entlang der X-Achsenrichtung erfasst.
  • Dann wird in den an den mehreren Stellen erfassten Abbildungen der Seite der vorderen Oberfläche 11a das gleiche Muster wie die als die Vorlage gespeicherte Spur 98 durch ein vorgegebenes Bearbeiten wie beispielsweise einen Mustervergleich detektiert. Basierend auf dem detektierten Muster, welches das gleiche wie die Spur 98 ist, wird eine Abweichung der geplanten Teilungslinie 13 in einer θ-Richtung um die Mittenachse der Haltekomponente 12 identifiziert. Danach wird die Drehantriebsquelle 30 betätigt und der Riemen 28 wird um einen vorgegebenen Betrag gedreht, um die Abweichung der geplanten Teilungslinie 13 in der θ-Richtung zu korrigieren. Die geplante Teilungslinie 13 wird dadurch im Wesentlichen parallel zur X-Achsenrichtung positioniert. Im Ausrichtungsschritt S40 könnten ein vorgegebenes Bearbeiten, eine Betätigung usw. statt der Korrektur in der θ-Richtung ausgeführt werden.
  • Nach dem Ausrichtungsschritt S40 wird das Werkstück 11 geschnitten (bearbeitet) (Schneidschritt S50). 9 ist ein Diagramm, das den Schneidschritt S50 darstellt. Im Schneidschritt S50 wird zunächst die Schneidklinge 82b, die sich mit einer hohen Geschwindigkeit dreht, an einer erstreckten Linie der geplanten Teilungslinie 13 positioniert. Zu diesem Zeitpunkt wird das untere Ende der Schneidklinge 82b zwischen der vorderen Oberfläche 11a und der hinteren Oberfläche 11b des Werkstücks 11 positioniert. Dann werden der Einspanntisch 10 und die Schneidklinge 82b durch den X-Achsenbewegungsmechanismus 26 relativ entlang der X-Achsenrichtung bewegt.
  • Das Werkstück 11 wird dadurch durch die Schneidklinge 82b von der Seite der hinteren Oberfläche 11b auf eine vorgegebene Tiefe geschnitten (bearbeitet) (das heißt, halbgeschnitten), welche die vordere Oberfläche 11a in der Dickenrichtung des Werkstücks 11 nicht erreicht, sodass eine Schneidnut 11c entlang der geplanten Teilungslinie 13 ausgebildet wird. Das Schneiden im Schneidschritt S50 ist nicht auf das Halbschneiden beschränkt. Im Schneidschritt S50 könnte das Werkstück 11 geschnitten werden, um von der hinteren Oberfläche 11b zur vorderen Oberfläche 11a getrennt (das heißt, vollgeschnitten) zu werden.
  • Nachdem das Werkstück 11 entlang der einen geplanten Teilungslinie 13 parallel zur X-Achsenrichtung geschnitten ist, wird ein Indexzuführen der Schneideinheit 78 ausgeführt, um die Schneidklinge 82b an einer in der Y-Achsenrichtung benachbarten erstreckten Linie der geplanten Teilungslinie 13 zu positionieren. Dann wird das Werkstück 11 ähnlich entlang der geplanten Teilungslinie 13 geschnitten. Nachdem das Werkstück 11 entlang aller zu einer ersten Richtung parallelen geplanten Teilungslinien 13 auf diese Weise geschnitten ist, wird die Drehantriebsquelle 30 betätigt, um den Einspanntisch 10 um 90 Grad zu drehen. Dann wird eine zur ersten Richtung orthogonale zweite Richtung parallel zur X-Achsenrichtung positioniert und das Werkstück 11 wird entlang aller zu der zweiten Richtung parallelen geplanten Teilungslinien 13 geschnitten.
  • Nach dem Schneidschritt S50 wird ein Kerbenüberprüfungsschritt S60 ausgeführt. 10 ist ein Diagramm, das den Kerbenüberprüfungsschritt S60 darstellt. Im Kerbenüberprüfungsschritt S60 werden ein Bereich an der Seite der hinteren Oberfläche 11b, beinhaltend die Schneidnuten 11c und ein Bereich an der Seite der vorderen Oberfläche 11a, die gemeinsam diesem Bereich in der Dickenrichtung des Werkstücks 11 entsprechen, abgebildet. Dann wird am Touchpanel 92 eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b als die angezeigt und eine Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a wird als die angezeigt. Dies erleichtert es, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen und demgemäß werden die Schwierigkeiten für den Bediener während einer Kerbenüberprüfung reduziert. Indessen könnte, auch wenn in der vorliegenden Ausführungsform die Spiegelabbildung durch ein Ausführen einer Abbildungsbearbeitung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a erzeugt wird, die Spiegelabbildung durch ein Ausführen einer Abbildungsbearbeitung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b erzeugt werden. Auf diese Weise wird am Touchpanel 92 die normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a als die angezeigt und die Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b wird als die angezeigt.
  • Als nächstes wird ein erstes Modifikationsbeispiel beschrieben werden. Im ersten Modifikationsbeispiel erfasst die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b und die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite (dritte Abbildungseinheit) erfasst eine Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a. Dann bewirkt der Steuerungsteil 94 ohne ein Ausführen einer Inversionsbearbeitung für die Abbildungen der Seite der hinteren Oberfläche 11b und der Seite der vorderen Oberfläche 11a, dass beide am Touchpanel 92 angezeigt werden. 11 ist ein Diagramm, das die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite usw. gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel darstellt. In 11 ist die Seitenplatte 18b der Einfachheit halber weggelassen. In der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel sind die Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung und die Kamera 58 mit der hohen Vergrößerung, die jeweils eine Linse, ein Abbildungselement (drittes Abbildungselement) usw. aufweisen, zwischen beiden Enden des Tragarms 52 in der Linksrichtung angeordnet.
  • Die optische Achse der Linse sowohl der Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung als auch der Kamera 58 mit der hohen Vergrößerung ist im Wesentlichen parallel zur X-Achsenrichtung angeordnet. Beleuchtungsbauelemente 56a und 58a sind für die jeweiligen Kameras angeordnet, aber auf eine Darstellung davon im Diagramm wird verzichtet. Am Spitzenteil des Tragarms 52 ist eine Spiegeleinheit 54b angeordnet, die eine zur X-Achse um 45 Grad in der XZ-Ebene geneigte Spiegeloberfläche 54a aufweist, welche reflektiertes Licht von der Seite der vorderen Oberfläche 11a zur Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung und der Kamera 58 mit der hohen Vergrößerung führt.
  • Jede Kamera bildet die Seite der im Spiegel von der Spiegeleinheit 54b reflektierten vorderen Oberfläche 11a ab und dadurch kann die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite eine in der X-Achsenrichtung invertierte Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a (d.h. eine Spiegelabbildung) erfassen. Dann werden die Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a und die normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b so, wie sie sind, am Touchpanel 92 angezeigt. Dies ermöglicht es, dass der Bediener die Seite der vorderen Oberfläche 11a so sieht, als ob der Bediener die vordere Oberfläche 11a durch das Werkstück 11 von der hinteren Oberfläche 11b aus sehen würde. Deswegen wird es einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Deswegen werden die Schwierigkeiten für den Bedieners reduziert. Die Spiegeleinheit 54b könnte sowohl bei der Kamera 56 mit der geringen Vergrößerung als auch bei der Kamera 58 mit der großen Vergrößerung zwischen der Linse und dem Abbildungselement angeordnet sein. In diesem Fall ist jede Linse auf eine solche Weise angeordnet, dass sich die optische Achse der Linse entlang der Z-Achsenrichtung befindet.
  • Indessen könnte eine Abbildungsbearbeitung unter Verwendung des Steuerungsteils 94 im ersten Modifikationsbeispiel ausgeführt werden. Beispielsweise führt der Steuerungsteil 54 eine Abbildungsbearbeitung sowohl einer normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b als auch einer Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a aus, um zu bewirken, dass die normale Abbildung und die Spiegelabbildung am Touchpanel 92 in dem Zustand angezeigt werden, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung so invertiert sind, dass die Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b der Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a entspricht. Dies ermöglicht es, dass der Bediener die Seite der hinteren Oberfläche 11b sieht, als ob der Bediener die hintere Oberfläche 11b durch das Werkstück 11 von der vorderen Oberfläche 11a aus sehen würde. Deswegen wird es einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Deswegen werden die Schwierigkeiten für den Bedieners reduziert.
  • Als nächstes wird ein zweites Modifikationsbeispiel beschrieben werden. Im zweiten Modifikationsbeispiel erfasst die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite (vierte Abbildungseinheit) eine Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b und die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite (zweite Abbildungseinheit) erfasst eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a. Dann bewirkt der Steuerungsteil 94, ohne ein Ausführen einer Inversionsbearbeitung für die Abbildungen der Seite der hinteren Oberfläche 11b und der Seite der vorderen Oberfläche 11a, dass beide am Touchpanel 92 angezeigt werden. 12 ist ein Diagramm, das die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite usw. gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel darstellt. In 12 ist die Seitenplatte 18b der Einfachheit halber weggelassen.
  • In der Abbildungseinheit 84 der oberen Seite gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel ist die Kamera 84b mit einer Linse, einem Abbildungselement (viertes Abbildungselement) usw. zwischen beiden Enden eines Tragarms 84a in der Längsrichtung angeordnet. Die optische Achse der Linse der Kamera 84b ist im Wesentlichen parallel zur X-Achsenrichtung angeordnet. Am Spitzenteil des Tragarms 84a ist eine Spiegeleinheit 84d, die eine zur X-Achse um 45 Grad in der XZ-Ebene geneigte Spiegeloberfläche 84c aufweist und reflektiertes Licht von der Seite der hinteren Oberfläche 11b zur Kamera 84b führt, angeordnet.
  • Die Kamera 84b bildet die von der Spiegeleinheit 84d im Spiegel reflektierte Seite der hinteren Oberfläche 11b ab und dadurch kann die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite eine in der X-Achsenrichtung invertierte Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b (d.h. eine Spiegelabbildung) erfassen. Dann werden die Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b und die normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a am Touchpanel 92 so angezeigt, wie sie sind. Der Bediener kann die Seite der hinteren Oberfläche 11b so sehen, als ob der Bediener die hintere Oberfläche 11b durch das Werkstück 11 von der vorderen Oberfläche 11a aus sehen würde. Deswegen wird es einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Folglich werden die Schwierigkeiten für den Bediener reduziert. Die Spiegeleinheit 84d könnte zwischen der Linse und dem Abbildungselemente in der Kamera 84b angeordnet sein. In diesem Fall ist die Linse auf eine solche Weise angeordnet, dass sich die optische Achse der Linse entlang der Z-Achsenrichtung befindet.
  • Auch im zweiten Modifikationsbeispiel könnte eine Abbildungsbearbeitung unter Verwendung des Steuerungsteils 94 ausgeführt werden. Beispielsweise führt der Steuerungsteil 94 eine Abbildungsbearbeitung sowohl einer Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b als auch einer normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a aus, um zu bewirken, dass die Spiegelabbildung und die normale Abbildung am Touchpanel 92 in dem Zustand angezeigt werden, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert sind, sodass die Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b der Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a entspricht. Dies ermöglicht es, dass der Bediener die Seite der vorderen Oberfläche 11a sieht, als ob der Bediener die vordere Oberfläche 11a durch das Werkstück 11 von der hinteren Oberfläche 11b aus sehen würde. Deswegen wird es einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Folglich werden die Schwierigkeiten für den Bediener reduziert.
  • Als nächstes wird ein drittes Modifikationsbeispiel beschrieben werden. Im dritten Modifikationsbeispiel erfasst die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite (vierte Abbildungseinheit) eine Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b und die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite (dritte Abbildungseinheit) erfasst eine Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a. Dann führt der Steuerungsteil 94 eine Inversionsbearbeitung für eine der Abbildungen der Seite der hinteren Oberfläche 11b oder der Seite der vorderen Oberfläche 11a aus und bewirkt danach, dass beide am Touchpanel 92 angezeigt werden. 13 ist ein Diagramm, das die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite, die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite usw. gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel darstellt. In 13 ist die Seitenplatte 18b der Einfachheit halber weggelassen.
  • Die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel ist die gleiche wie im ersten Modifikationsbeispiel und die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel ist die gleiche wie im zweiten Modifikationsbeispiel. Entweder die Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b oder die Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a wird einer Abbildungsbearbeitung unterzogen und wird am Touchpanel 92 in dem Zustand angezeigt, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist. Beispielsweise werden eine Spiegelabbildung der von der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite erfassten Seite der vorderen Oberfläche 11a und eine normale Abbildung der durch ein Invertieren einer Spiegelabbildung der durch die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite erfassten Seite der hinteren Oberfläche 11b in der X-Achsenrichtung durch die Abbildungsbearbeitung erhaltenen Seite der hinteren Oberfläche 11b am Touchpanel 92 angezeigt. Ferner werden beispielsweise eine normale Abbildung der durch ein Invertieren einer Spiegelabbildung der von der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite erfassten Seite der vorderen Oberfläche 11a in der X-Achsenrichtung durch die Abbildungsbearbeitung erhaltenen Seite der vorderen Oberfläche 11a und eine Spiegelabbildung der durch die Abbildungseinheit 84 der oberen Seite erfassten Seite der hinteren Oberfläche 11b am Touchpanel 92 angezeigt.
  • Das heißt, dass die Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b und die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a am Touchpanel 92 auf eine solche Weise angezeigt werden, dass die Orientierungen davon einander entsprechen. Aufgrund dessen wird es für den Bediener einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Deswegen werden die Schwierigkeiten für den Bediener reduziert. Ähnlich wie im ersten und zweiten Modifikationsbeispiel könnten die Spiegeleinheiten 54b und 84d zwischen der Linse und dem Abbildungselement angeordnet sein. In diesem Fall ist jede Linse auf eine solche Weise angeordnet, dass sich die optische Achse der Linse entlang der Z-Achsenrichtung befindet.
  • Als nächstes wird eine zweite Ausführungsform beschrieben werden. In der zweiten Ausführungsform wird das Werkstück 11 unter Verwendung einer Laserbearbeitungsvorrichtung (Bearbeitungsvorrichtung) 104 anstelle der Schneidvorrichtung 2 bearbeitet. Allerdings werden der oben beschriebene Platzierungsschritt S10 bis zum Ausrichtungsschritt S40 wie in der ersten Ausführungsform ausgeführt. 14 ist eine Perspektivansicht der Laserbearbeitungsvorrichtung 104 gemäß der zweiten Ausführungsform. Die gleichen Bestandteile wie bei der Schneidvorrichtung 2 gemäß der ersten Ausführungsform werden mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Im Folgenden wird hauptsächlich der Unterschied zur Schneidvorrichtung 2 beschrieben werden.
  • In der Laserbearbeitungsvorrichtung 104 ist die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite an einer stationären Basis 106 befestigt. Die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite könnte in der X-Achsenrichtung oder der Y-Achsenrichtung bewegbar angeordnet sein. Der X-Achsenbewegungstisch 18 ist über der stationären Basis 106 angeordnet. Der X-Achsenbewegungstisch 18 ist auf eine solche Weise angeordnet, dass die Abbildungseinheit 54 der unteren Seite in den Raum 18d aus einem an der gegenüberliegenden Seite der Seitenplatte 18b des X-Achsenbewegungstischs 18 angeordneten Bereich eintreten kann.
  • Der X-Achsenbewegungstisch 18 kann verschiebbar an einem Paar X-Achsenführungsschienen 20 angeordnet sein. Das Paar X-Achsenführungsschienen 20 ist an einem Y-Achsenbewegungstisch 108 befestigt. Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an der Seite der unteren Oberfläche der Bodenplatte 18a des X-Achsenbewegungstischs 18 angeordnet und die im Wesentlichen zu den X-Achsenführungsschienen 20 parallele X-Achsenkugelgewindespindel 22 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden.
  • Der X-Achsenpulsmotor 24 ist mit einem Endteil der X-Achsenkugelgewindespindel 22 verbunden. Wenn die X-Achsenkugelgewindespindel 22 durch den X-Achsenpulsmotor 24 gedreht wird, bewegt sich der X-Achsenbewegungstisch 18 entlang der X-Achsenführungsschienen 20 in der X-Achsenrichtung. Der Y-Achsenbewegungstisch 108, der den X-Achsenbewegungstisch 18 trägt, ist verschiebbar an einem Paar an der oberen Oberfläche der stationären Basis 106 befestigter Y-Achsenführungsschienen 110 angebracht. Eine bei einer Detektion der Position des Y-Achsenbewegungstischs 108 in der Y-Achsenrichtung verwendete Y-Achsenskala 110a ist an einer Position neben den Y-Achsenführungsschienen 110 angeordnet.
  • Ein (nicht dargestellter) Mutterteil ist an der Seite der unteren Oberfläche des Y-Achsenbewegungstischs 108 angeordnet und eine im Wesentlichen zu den Y-Achsenführungsschienen 110 parallele Y-Achsenkugelgewindespindel 112 ist drehbar mit diesem Mutterteil verbunden. Ein Y-Achsenpulsmotor 114 ist mit einem Endteil der Y-Achsenkugelgewindespindel 112 verbunden. Wenn die Y-Achsen-Kugelgewindespindel 112 durch den Y-Achsen-Pulsmotor 114 gedreht wird, bewegt sich der Y-Achsenbewegungstisch 108 entlang der Y-Achsenführungsschienen 110 in der Y-Achsenrichtung. Die Y-Achsenführungsschienen 110, die Y-Achsenkugelgewindespindel 112, der Y-Achsenpulsmotor 114 usw. bilden einen Y-Achsenbewegungsmechanismus 116 aus, der den Y-Achsenbewegungstisch 108 bewegt.
  • An einer Position neben der Abbildungseinheit 54 der unteren Seite ist eine Säule 118 auf eine solche Weise angeordnet, dass sie von der oberen Oberfläche der stationären Basis 106 nach oben vorsteht. Ein Gehäuse 120 mit einem im Wesentlichen zur X-Achsenrichtung parallelen Längsteil ist an der Säule 118 angeordnet. Zumindest ein Teil einer Laserbestrahlungseinheit 122 ist im Gehäuse 120 angeordnet. Die Laserbestrahlungseinheit 122 weist einen Laseroszillator 122a auf, der einen gepulsten Laserstrahl erzeugt, der eine solche Wellenlänge aufweist, dass er durch das Werkstück 11 absorbiert wird, oder eine solche Wellenlänge aufweist, dass er durch das Werkstück 11 usw. transmittiert wird.
  • Ein Bestrahlungskopf 124, aufweisend eine Sammellinse 124a, ist am Spitzenteil der Laserbestrahlungseinheit 122 in der X-Achsenrichtung angeordnet. Der vom Laseroszillator 122a emittierte Laserstrahl wird durch die Sammellinse 124a gesammelt und eine Bestrahlung der unteren Seite mit dem Laserstrahl vom Bestrahlungskopf 124 wird ausgeführt. In 14 ist ein Laserstrahl L, mit dem die untere Seite vom Bestrahlungskopf 124 bestrahlt wird, durch einen gestrichelten Pfeil dargestellt. Am Spitzenteil des Gehäuses 120 ist die oben beschriebene Abbildungseinheit 84 der oberen Seite an einer Position neben dem Bestrahlungskopf 124 angeordnet.
  • Der Steuerungsteil 94 der zweiten Ausführungsform bewirkt, dass das Touchpanel 92 eine durch ein Invertieren einer normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a in der X-Achsenrichtung erhaltene Spiegelabbildung und eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche 11b ähnlich wie in der ersten Ausführungsform anzeigt. Dies macht es einfach, die Korrespondenzbeziehung zwischen der Seite der vorderen Oberfläche 11a und der Seite der hinteren Oberfläche 11b zu erkennen. Deswegen werden die Schwierigkeiten für den Bediener reduziert. Daneben können Strukturen, Verfahren usw. gemäß den oben beschriebenen Ausführungsformen mit geeigneten Änderungen ausgeführt werden, ohne vom Bereich des Ziels der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Beispielsweise können die ersten bis dritten Modifikationsbeispiele auch in der Laserbearbeitungsvorrichtung 104 angewandt werden. Indessen ist in den oben beschriebenen Ausführungsformen und Modifikationsbeispielen der Fall beschrieben worden, bei dem eine Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche 11a in der X-Achsenrichtung invertiert wird. Allerdings könnte eine Invertierung in der Y-Achsenrichtung (vorgegebene Richtung) abhängig von der Ausgestaltung der Bearbeitungsvorrichtung, beinhaltend die zur X-Achse um 45° in der XZ-Ebene geneigte Spiegelabbildung, ausgeführt werden. Die Spiegeleinheiten 54b und 84d könnten statt den Spiegeloberflächen 54a und 84c eine Alternative wie beispielsweise eine Linse aufweisen, die getrennt von der Kamera angeordnet ist und eine Spiegelabbildung erzeugen kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2006 [0004]
    • JP 140341 [0004]
    • JP 2010087141 [0005]

Claims (14)

  1. Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist; eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt; eine erste Abbildungseinheit, die ein erstes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst; eine zweite Abbildungseinheit, die ein zweites Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem von der ersten Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht; eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die erste Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die zweite Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt; und einen Steuerungsteil, der eine Speichervorrichtung, in welcher ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor aufweist, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet, wobei der Steuerungsteil die Abbildungsbearbeitung entweder der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche oder der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die der Abbildungsbearbeitung unterzogene normale Abbildung an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt wird, in dem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht.
  2. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche an der Anzeigevorrichtung zusammen mit der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche angezeigt wird.
  3. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Bearbeitungseinheit eine Schneideinheit mit einer Spindel, wobei eine Schneidklinge ausgestaltet ist, um an einem Ende der Spindel angebracht zu werden, oder eine Laserbestrahlungseinheit mit einem Laseroszillator, der einen Laserstrahl erzeugt, und einer Sammellinse, die den vom Laseroszillator emittierten Laserstrahl sammelt, ist.
  4. Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist; eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt; eine erste Abbildungseinheit, die ein erstes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst; eine dritte Abbildungseinheit, die ein drittes Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem von der ersten Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht; und eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die erste Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die dritte Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt.
  5. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4, ferner aufweisend: einen Steuerungsteil, aufweisend eine Speichervorrichtung, in der ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet, wobei der Steuerungsteil die Abbildungsbearbeitung sowohl der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche als auch der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die normale und die Spiegelabbildung, die der Abbildungsbearbeitung unterzogen sind, an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt werden, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert sind, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der normalen Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht.
  6. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche an der Abbildungsvorrichtung gemeinsam mit der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche angezeigt wird.
  7. Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei die Bearbeitungseinheit eine Schneideinheit mit einer Spindel, wobei eine Schneidklinge ausgestaltet ist, um an einem Ende der Spindel angebracht zu werden, oder eine Laserbestrahlungseinheit mit einem Laseroszillator, der einen Laserstrahl erzeugt, und einer Sammellinse, die den vom Laseroszillator emittierten Laserstrahl sammelt, ist.
  8. Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist; eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt; eine vierte Abbildungseinheit, die ein viertes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst; eine zweite Abbildungseinheit, die ein zweites Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine normale Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem durch die vierte Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht; und eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die vierte Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die zweite Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt.
  9. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 8, ferner aufweisend: einen Steuerungsteil, aufweisend eine Speichervorrichtung, in der ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet, wobei der Steuerungsteil die Abbildungsbearbeitung sowohl der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche als auch der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die Spiegel- und die normale Abbildung, die der Abbildungsbearbeitung unterzogen sind, an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt werden, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert sind, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der normalen Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht.
  10. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche an der Anzeigevorrichtung gemeinsam mit der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche angezeigt wird.
  11. Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei die Bearbeitungseinheit eine Schneideinheit mit einer Spindel, wobei eine Schneidklinge ausgestaltet ist, um an einem Ende der Spindel angebracht zu werden, oder eine Laserbestrahlungseinheit mit einem Laseroszillator, der einen Laserstrahl erzeugt, und einer Sammellinse, die den vom Laseroszillator emittierten Laserstrahl sammelt, ist.
  12. Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: einen Einspanntisch, der eine Oberfläche und die an einer der einen Oberfläche gegenüber angeordneten Seite angeordnete andere Oberfläche aufweist und der eine plattenförmige Haltekomponente mit einem aus einem transparenten Material von der einen Oberfläche zur anderen Oberfläche ausgebildeten vorgegebenen Bereich aufweist; eine Bearbeitungseinheit, die ein Werkstück mit einem vorgegebenen Muster an einer Seite einer vorderen Oberfläche in einem Zustand bearbeitet, in welchem die Seite der vorderen Oberfläche des Werkstücks durch die eine Oberfläche des Einspanntischs gehalten wird und eine Seite einer hinteren Oberfläche des Werkstücks nach oben frei liegt; eine vierte Abbildungseinheit, die ein viertes Abbildungselement aufweist und die über dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche erfasst; eine dritte Abbildungseinheit, die ein drittes Abbildungselement aufweist und die unter dem Einspanntisch angeordnet ist und eine Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche in einem Bereich erfasst, der einem von der vierten Abbildungseinheit abgebildeten Bereich in einer Dickenrichtung des Werkstücks entspricht; eine Anzeigevorrichtung, die eine durch die erste vierte Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche und/oder eine durch die dritte Abbildungseinheit erfasste Abbildung der Seite der vorderen Oberfläche anzeigt; und einen Steuerungsteil, der eine Speichervorrichtung, in welcher ein Programm zum Ausführen einer Abbildungsbearbeitung gespeichert ist, und einen Prozessor aufweist, der eine Abbildung gemäß dem Programm bearbeitet, aufweist, wobei der Steuerungsteil die Abbildungsbearbeitung entweder der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche oder der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche ausführt, um zu bewirken, dass die der Abbildungsbearbeitung unterzogene Spiegelabbildung an der Anzeigevorrichtung in einem Zustand angezeigt wird, in welchem sie in einer vorgegebenen Richtung invertiert ist, um zu ermöglichen, dass eine Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der hinteren Oberfläche einer Orientierung der Spiegelabbildung der Seite der vorderen Oberfläche entspricht.
  13. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Abbildung der vorderen Oberfläche an der Anzeigevorrichtung zusammen mit der Abbildung der Seite der hinteren Oberfläche angezeigt wird.
  14. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Bearbeitungseinheit eine Schneideinheit mit einer Spindel, wobei eine Schneidklinge ausgestaltet ist, um an einem Ende der Spindel angebracht zu werden, oder eine Laserbestrahlungseinheit mit einem Laseroszillator, der einen Laserstrahl erzeugt, und einer Sammellinse, die den vom Laseroszillator emittierten Laserstrahl sammelt, ist.
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