CN104339045B - 线放电加工装置、其控制方法和程序 - Google Patents

Abstract

在用排列设置的线丝对工件进行放电加工的情况下，有时由于排列设置的每个线丝与工件的放电状态分别变化而对于每个线丝来说工件的加工槽的加工进度变化，进行适合于这样加工进度变化的情况的控制。按照排列设置的线丝的间隔对工件进行切片的线放电加工装置通过监视放电加工的状况的摄像机进行摄影，取得包含通过排列设置的线丝进行了放电加工后的多个位置的加工槽的工件的图像，根据包含在取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式，判断放电加工是否按照排列设置的线丝的间隔进展，在判断为未进展的情况下，进行控制使得停止或抑制与判断为进展的情况下的放电加工的进展相关联的动作。

Description

线放电加工装置、其控制方法和程序

技术领域

本发明涉及一种线放电加工装置及其控制方法和程序的技术。

背景技术

以前，作为用于将硅锭切片为许多薄片的装置已知有钢丝锯，但今年存在使用线放电加工技术将工件切片为薄板的技术。

例如，在专利文献1中，公开了以下的技术，即通过对与收线卷轴相邻地配置的摄像机摄影的图像进行分析，检测线丝的至少一个物理状态的变化。

例如，在专利文献2中，公开了以下的技术，即在线切割放电加工装置中，具备将行走移动的电极丝和通电元件之间的接触部形成为遮光状态的暗室、对在接触部产生的放电光进行受光而变换为电信号的光电元件、与电信号对应地输出操作输出的单元、根据操作输出而工作的工作体，由此能够确实地检测放电光的产生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-94959号公报

专利文献2：日本特开平8-336728号公报

发明内容

但是，专利文献1公开的技术并不监视加工槽的均匀性。

另外，在如专利文献2公开的技术那样通过放电光进行检测的情况下，不了解放电加工向哪个方向进展，不监视加工槽的均匀性。

本发明的目的在于能够提供以下结构：在用排列设置的线丝对工件进行放电加工的情况下，存在由于针对每个排列设置的线丝与工件 的放电状态分别变化而对于每个线丝来说工件的加工槽的加工进度变化的情况，在这样加工进度变化的情况下进行恰当的控制。

本发明是一种线放电加工装置，其按照排列设置的线丝的间隔对工件进行切片，其特征在于，具备：图像取得单元，通过监视放电加工的状况的摄像机进行摄影，取得包含通过排列设置的线丝进行了放电加工的多个位置的加工槽的工件的图像；判断单元，根据包含在上述取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式，判断放电加工是否按照上述排列设置的线丝的间隔进展；以及动作控制单元，在由上述判断单元判断为未进行上述进展的情况下，进行控制以便停止或抑制与由上述判断单元判断为进行上述进展的情况下的放电加工的进展相关联的动作。

另外，其特征在于，还具备：波形强度生成单元，根据上述取得的工件的图像，按照分别与上述多个位置的加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形强度来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的强度差；以及加工延迟检测单元，根据上述分析出的强度差，检测包含在上述取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件移动的方向上是否均匀，上述判断单元使用由上述加工延迟检测单元产生的结果进行判断。

另外，其特征在于，还具备：波形间隔生成单元，根据上述取得的工件的图像，按照分别与上述多个位置的加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形间隔来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的间隔差；以及加工抖动检测单元，根据上述分析出的间隔差，检测包含在上述取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件振动的方向上是否均匀，上述判断单元使用由上述加工抖动检测单元产生的结果进行判断。

另外，其特征在于：由上述图像取得单元取得在上述判断单元判断为放电加工未按照排列设置的线丝的间隔进展后经过了规定时间后的上述工件的图像，该线放电加工装置还包括：再分析单元，使用经过了上述规定时间后取得的图像，再次分析放电加工是否按照上述排列设置的线丝的间隔进展；以及恢复判断单元，根据上述再次分析的结果，判断由于放电加工未按照线丝的间隔进展而造成的加工不良 是否恢复，在上述恢复判断单元判断为恢复的情况下，使与由上述动作控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作复原为正常。

另外，其特征在于：对用于上述恢复判断单元判断由于放电加工未按照线丝的间隔进展而造成的加工不良是否恢复的多个不同的加工不良水平进行管理，与上述不同的加工不良水平对应地切换上述动作控制单元将与放电加工的进展相关联的动作控制为停止或抑制的控制种类。

另外，其特征在于：在上述恢复判断单元判断为未恢复的情况下，将与由上述动作控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作切换为不同的控制种类。

根据本发明能够提供一种结构，即在用排列设置的线丝对工件进行放电加工的情况下，存在由于针对每个排列设置的线丝与工件的放电状态分别变化而对于每个线丝来说工件的加工槽的加工进度变化的情况，在这样加工进度变化的情况下进行恰当的控制。

附图说明

图1是从正面看本发明的线放电加工系统的图。

图2是从正面看本发明的线放电加工装置的放大图。

图3是表示本发明的极间状态(电压和电流)、加工电源的脉冲(开/关)周期。

图4是表示本发明的电气电路和各种部件的配置的图。

图5是表示本发明的电气电路和各种部件的配置的图。

图6是表示本发明的线放电加工装置的用于监视电极丝和被加工物之间的放电状况的结构图的图。

图7是表示从观察点b侧监视多个加工电极丝中的一个的加工的进展延迟时的状态的图像信息的一个例子的图。

图8是使正常时的加工进展状况和当时的变化的脉冲序列信号(浓淡数据)关联起来的图。

图9是使发生加工延迟时的加工进展状况和当时的变化的脉冲 序列信号(浓淡数据)关联起来的图。

图10是使发生线丝抖动时的加工进展状况和当时的变化的脉冲序列信号(浓淡数据)关联起来的图。

图11是表示示出本发明的加工状况的监视处理的流程的流程的图。

图12是表示本发明的图像分析流程的图。

图13是表示本发明的控制计算机的硬件结构的图。

图14是表示作为现有技术的个别地向每个线丝供电的方式的电气电路的图。

图15是表示示出本发明的发生加工延迟时的电源装置的对应处理的流程的图。

图16是表示示出本发明的发生加工抖动时的线放电加工装置的对应处理的流程的图。

具体实施方式

说明图1。图1是从前方看本发明的实施方式的线放电加工装置1的外观图。此外，图1所示的各机构的结构是一个例子，与目的、用途对应地当然有各种结构例子。

图1表示本发明的线放电加工系统(半导体基板或太阳能电池基板的制造系统)的结构。线放电加工系统由线放电加工装置1、电源装置2、加工液供给装置50构成。线放电加工系统能够按照排列设置的多个线丝的间隔通过放电将被加工物切片为薄片。

在线放电加工装置1中，被伺服电动机驱动的工件输送装置3设置在线丝103的上部，能够使工件105向上下方向移动。在本发明中，向下(重力)方向输送工件105，在工件105和线丝103之间进行放电加工。此外，在本说明书中，上下分别与重力方向的上方向和下方向对应，左右分别与从正面看线放电加工装置的情况的左和右对应。

在电源装置2中，控制伺服电动机的放电伺服控制电路为了对应 于放电的状态而高效地产生放电，而进行控制以便将放电间隙保持为固定的间隙，另外进行工件定位，使放电加工进展。

加工电源电路(图4)向线丝103供给用于放电加工的放电脉冲，并且进行与在放电间隙产生的短路等状态适应的控制，另外向放电伺服控制电路供给放电间隙信号。

加工液供给装置50通过泵向工件105和线丝103输送放电加工部的冷却、加工碎片(碎屑)的除去所需要的加工液，并且进行加工液中的加工碎片的除去、因离子交换产生的电导度(1μs～250μs)的管理、液温(20℃附近)的管理。主要使用水，但也可以使用放电加工油。

向主辊8、9上按照预先决定的间距、个数形成有槽使得能够按照希望的厚度加工工件，以必要的次数将来自线丝供给绕线管的被张力控制的线丝卷绕到2个主辊上，向收线绕线管输送。线丝速度使用100m/min～900m/min左右。2个主辊以相同的方向并且相同的速度联动旋转，由此从线丝抽出部输送的1个线丝103在主辊(2个)的外周盘绕，能够使排列设置的多个线丝103向同一方向行走(即为行走单元)。

线丝103如图5所示，是1个连接的线丝，从未图示的绕线管抽出，嵌入到主辊的外周面的导槽(未图示)，同时在多次(最大200次左右)螺旋状地卷绕到该主辊的外侧后，收线到未图示的绕线管上。

线放电加工装置1经由电线513与电源单元2连接，通过从电源单元2供给的电力工作。

线放电加工装置1如图1所示，具备作为线放电加工装置1的基座而发挥功能的模块15、设置在模块15的上部的中间的、工件输送装置3、粘接部4、工件105、加工液槽6、主辊8、线丝103、主辊9、供电元件单元10、供电元件104。

说明图2。图2是图1所示的虚线16框内的放大图。

线丝103多次地卷绕在主辊8、9上，依照刻在主辊上的槽，以规定的间距排列线丝103。主辊的构造是中心使用金属，用树脂覆盖 外侧。

在2个主辊之间，在主辊8、9的内部的大致中央部上面的位置，配置安装在供电元件单元10上的供电元件104，供电元件104向通过使向上露出的表面与线丝接触而行走的多个线丝103统一地供电加工电压。

供电元件104通过统一地与10个线丝103接触，向10个线丝供给来自加工电源部的放电脉冲503(图3)。配置供电元件104的位置设置在线丝相对于工件105的两端的长度大致相等(511L1＝511L2)的位置。对于供电元件104，要求对机械磨损抗性强具有导电性，使用了超硬合金。

在2个主辊之间，在主辊8、9的内部的大致中央部下面的位置，配置安装在工件输送装置3上的工件105，工件输送装置3向下方向送出工件105，由此切片加工进展。

在主辊下面的位置设置加工液槽6，浸渍线丝103和工件105，进行放电加工部的冷却、加工碎片的除去。加工液槽6用于贮留加工液，浸渍送出的工件。

相对于线丝103的个数为10个，统一接触的供电元件104表示了一个，但当然能够与需要个数对应地变更每个供电元件的线丝个数、供电元件的总数。

模块15与工件输送装置3接合。另外，工件输送装置3通过工件105和粘接部4粘接(接合)。

在本实施例中，作为加工材料(工件105)，以硅锭为例进行说明。

粘接部4只要是用于粘接(接合)工件输送装置3和工件105则几个都可以，例如使用导电性的粘接剂。

工件输送装置3是具备使通过粘接部4粘接(接合)的工件105向上下方向移动的机构的装置，在保持工件105的状态下工件输送装置3向下方向(重力方向)移动，由此能够使工件105向线丝103的方向接近。工件输送装置3配置在比供电元件104低的位置。工件输 送装置3向与盘绕主辊8、9的线丝接近的方向送出工件105，以使得保持的工件105浸渍到加工液中。

加工液槽6是用于贮留加工液的容器，配置在盘绕多个主辊8、9的线丝的外侧。加工液例如是电阻值高的脱离子水。在线丝103和工件105之间设置加工液，由此能够在线丝103和工件105之间引起放电，切削工件105。

在主辊8、9上形成用于卷绕线丝103的多列槽，将线丝103卷绕到该槽上。另外，主辊8、9左或右旋转，由此线丝103行走。另外，如图2所示，线丝103被卷绕在主辊8、9上，在主辊8、9的上侧和下侧形成了线丝列。

另外，线丝103是传导体，从电源装置2被供给电压的供电元件单元10的供电元件104和线丝103接触，由此从供电元件104向线丝103施加该供给的电压。即，供电元件104向线丝103施加电压。

另外，能够在线丝103和工件105之间引起放电而切削工件105，制作薄板状的硅(硅晶圆)。

说明图3。图3表示本发明的极间的放电电压(Vgn)以及极间的放电电流(Ign)的变化、Tr1、Tr2的开/关动作(定时图)。图表的横轴表示时间。

首先，晶体管Tr1 504接通，施加诱发电压。这时，线丝103和工件105之间(极间)是绝缘的，因此几乎不流过极间的放电电流。然后，如果开始流过极间的放电电流而开始放电，则Vgn进行电压降，由此检测出放电开始，接通Tr2，得到大的极间的放电电流。在经过规定时间后，关断Tr2。在Tr2的关断后经过了规定时间后，再次重复进行一连串的动作。

说明图4。图4表示本发明的统一地向多个线丝(10个)供电加工电压的统一供电方式下的电气电路2和线放电加工装置1之间的关系。表示出流过作为加工电流的线电流和极间的放电电流的状态。图4表示出与图5所示的电气电路2等价的电路。

如果假设直接将图14所示的现有方式的电气电路400导入到统 一地向多个线丝(10个)供电加工电压的统一供电方式下的电气电路，则为了在从加工电源部到供电点之间控制加工电流，在从加工电源部到供电点之间设置将Rm除以盘绕主辊8、9的盘绕数(10次)所得的电阻值即电流限制电阻体，使得供给向多个线丝(10个)供给的线丝电流的合计(10倍)的加工电流即可。首先，说明这样在加工电源部到供电元件之间设置具有固定为Rm/10的电阻值的电流限制电阻体的情况。

在全部10个线丝和工件之间均匀地同时引起放电状态的情况下，在10个线丝中放电电流均等地分散，向各线丝和工件之间供给与固定的电阻值(Rm/10)对应的放电电流，因此过剩的放电电流的供给不成为问题。

但是，在全部10个线丝和工件之间没有均匀并且同时地引起放电状态的情况下，集中地向成为了放电状态的线丝和工件之间供给与固定的电阻值(Rm/10)对应的线电流，因此过剩的线电流的供给成为问题。即，在10个中只有1个成为了放电状态的情况下，向成为放电状态的线丝和工件供给本来应该向1个线丝和工件供给的线电流的10倍的线电流，线丝会断线。

布线513是具有电阻(impedance)505的与加工电源部(Vmn)负侧连接的上行用的电缆。布线513从加工电源部(Vmn)向供电元件104供给加工电压。布线514是具有电阻(impedance)520的与加工电源部(Vmn)正侧连接的下行用的电缆。

本发明的布线513的电阻值Rmn505并不如现有方式的加工电流限制电阻体那样将电阻值固定为规定的值，本实施方式的线放电加工装置具备在10个中只有1个成为放电状态的情况下，也能够控制为电阻值与成为了放电状态的个数对应地变动的机构。

进而，通过在与线电阻Rwn509相比充分小的电阻值的范围内使用本发明的电阻值Rmn505，在限制加工电流时线电阻Rwm509成为支配性的，能够大致无视电阻值Rmn505的影响。

即，也可以不具备限制从加工电源部501到供电元件104之间流 过而在极间成为向工件105放电的放电电流的加工电流的上限的电流限制电阻体。或者，设为将Rmn单纯地除以盘绕主辊8、9的盘绕数(10次)所得的电阻值更小的电阻值即可。

即，通过利用作为线丝的电阻Rwn509的电阻，来稳定地提供各线丝的线电流Iwn，因此能够不引起线电流的集中。电阻(Rwn)509是每个线丝的线丝的电阻。

在此，从供电元件104到放电部的线丝电阻值是基于行走的线丝(1个)的从与供电元件104接触到放电部为止的线丝的长度的电阻。例如，分别将统一地向10个线丝(10周地盘绕主辊8、9)供电的情况下的各线电阻设为Rw1、Rw2、……、Rw10。

并不如现有方式那样将Rm设为限制每个的线电流(Iw)、放电电流(Ig)的电阻，而是将Rwn设为限制每个的线电流(Iw)、放电电流(Ig)的电阻，由此能够限制每个的线电流(Iwn)、放电电流(Ign)。即，通过改变供电点(供电元件)和放电点(放电部)之间的距离(长度L)，能够设定为任意的电阻值。即，在Vmn＝60V、Vgn＝30V、Rwn＝10Ω的情况下，Iwn(Ign)＝(60V-30V)/10Ω＝30A。

此外，在上述计算公式中，将因线电阻(Rwn)造成的从供电点到放电点的电压降设为30V，但并没有考虑到因引起从加工电源部到供电点的电压降的电阻(Rwn)造成的从供电点到放电点的电压降。

即，在本发明的统一供电方式的情况下，Iwn由Rwn决定，因此为了对每个得到希望的线电流(Iwn)、放电电流(Ign)，将引起从加工电源部到供电点的电压降的电阻Rwn设定为Rmn<Rwn的关系。

另外，能够根据(1)因线丝的材质造成的电阻值ρ、(2)线丝的截面积B、(3)线丝的长度L的3个参数，通过Rwn＝(ρ×B)/L的关系式，确定各线丝个别的线电阻Rwn。

加工电源部501供给加工电压Vmn。在此，Vmn是为了供给放电加工所需要的加工电流而设定的加工电压。能够将Vmn设定为任意的加工电压。进而，加工电流的供给量比现有方式大，因此加工电 源部501供给比加工电源部401大的电力(加工电压和加工电流的积)。加工电源部501向供电元件104供给加工电压(Vmn)。

加工电源部502供给感应电压Vsn。在此，Vsn是为了诱发放电而设定的诱发电压。还为了以下的目的使用加工电源部502，即在线丝和工件之间监视放电电压(放电电流)的状态，在工件输送装置3的控制中利用。能够将Vsn设定为任意的诱发电压。进而，诱发电流的供给量比现有方式大，因此加工电源部502供给比加工电源部402大的电力。加工电源部502向供电元件104供给诱发电压Vsn。

晶体管(Tr2)503通过开关来切换加工电压Vmn的接通(导通)状态和关断(非导通)状态。晶体管(Tr1)504通过开关来切换诱发电压Vsn的接通(导通)状态和关断(非导通)状态。

极间的放电电压(Vgn)507是在放电中施加到线丝103和工件105之间的电压。例如，分别将统一地向10个线丝供电的情况下的各放电电压设为Vg1、Vg2、……、Vg10。

通过放电向线丝103和工件105之间施加放电极间电压的部分是放电部。在放电部中，统一地向由于行走的多个线丝和供电元件的接触而行走的多个线丝供电的加工电压向工件放电。

极间的放电电流(Ign)508是在放电中流过线丝103和工件105之间的电流。例如，分别将统一地向10个线丝供电的情况下的各放电电流设为Ig1、Ig2、……、Ig10。

通过放电在线丝103和工件105之间流过放电极间电流的部分是放电部。在放电部中，统一地向由于行走的多个线丝和供电元件的接触而行走的多个线丝供电的加工电压向工件放电。

个别地向每个线丝供给线电流(Iwn)510。例如，分别将统一地向10个线丝供电的情况下的各线电流设为Iw1、Iw2、……、Iw10。

从供电点到放电点的距离L 511是从供电点(供电元件)到放电点(线丝)的线丝的长度。

说明图5。图5表示通过本发明的统一地向多个线丝(10个)供电加工电压电流的统一供电方式的电气电路2向多个线丝统一供电的 情况。此外，图5所示的线放电加工装置1的结构的配置与图1和图2所示的线放电加工装置1的结构的配置不同，但应该注意电气结构分别是相同的。

供电元件104统一地与行走的多个线丝接触。从设置在与工件105相对的位置的1个位置的供电元件104施加放电脉冲，进行放电加工。针对盘绕主辊的线丝103的个数(10个)，连接有一个电源电路2。以下，参照图5的配置，说明流过线丝的加工电流(各线电流的合计)。

如图5所示，从供电点(供电元件104和线丝103接触的位置)向放电点(线丝103和工件105之间)流过的线电流向左右的主辊的2个方向流动，因此存在向各方向的线电阻。长度511 L1是电流向左的主辊方向流动的情况下的供电点和放电点之间的长度(距离)，将在该长度为L1的情况下确定的线电阻设为Rw1a。长度511 L2是电流向右的主辊方向流动的情况下的放电点和供电点之间的长度(距离)，将在该长度为L2的情况下确定的线电阻设为Rw1b。

将线丝103盘绕主辊8、9一周的长度设为2m。将供电元件104和工件105配置在盘绕一周的长度的大致一半的距离，因此将放电点和供电点之间的距离(线丝的长度L)设为1m。在此，从供电元件到放电部行走的线丝的距离比0.5m长即可。

线丝103的材质的主成分是铁，线丝的直径是0.12mm(截面积0.06×0.06×πmm²)。对于线丝的电阻值Rw1a、Rw1b，线丝的长度分别是相同的长度(L1＝L2＝1m)，因此如果将各个线丝电阻值设为相同的20Ω左右，则因Rw1a和Rw1b产生的1个(盘绕主辊8、9一周)的合成的线电阻值为10Ω左右。

另外，如图5所示，为了使因L1和L2的长度产生的线电阻值成为相同的电阻值，理想的是以L1和L2的长度相同的方式配置供电元件104，但即使将供电元件104配置得L1和L2的长度的不同为10％左右(例如L1是1m，L2是1.1m)的不同，也没有特别问题。在放电电压Vg1～Vg10大致相等的情况下，向各个Rw1～Rw10施加Vmn， 因此Iw1～Iw10全部是相同的线电流。在此，根据因线电阻产生的电压降值(Rw1×Iw1)和放电电压(Vgn)求出Vmn。从供电元件104到放电部的电压降是因行走的线丝的电阻产生的电压降。

Rw1＝10Ω(从供电元件104到放电部的电阻值)。如果设Iw1＝3A、Vgn＝30V，则Vmn如下。Vmn＝10(Ω)×3(A)+30V＝60V。由此，从供电元件到放电部的电压降比10V大、从供电元件到放电部的电阻值比1Ω大即可。此外，也可以根据Rwn＝(ρ×B)/L的关系式，根据线丝的参数设定因线电阻产生的电压降值。

由此，如果计算在全部10个线丝和工件之间均匀并且同时地引起放电状态的情况下的Rmn，则在全部的线丝中成为放电状态，在10个线丝中流过Iw1＝3A的情况下，在从加工电源部到供电点之间，整体需要10个×3A＝30A的加工电流，如果将从该加工电源部到供电点之间的电压降设为Vmn的100分之一(0.6V)，则该情况下的Rmn如下。从加工电源部到供电元件104的电压降比1V小、从加工电源部到供电元件的电压降比从供电元件到放电部的电压降小即可。Rmn(从加工电源部501到供电元件104的电阻值)＝0.6V/30V＝0.02Ω。由此，从加工电源部到供电元件的电阻值比0.1Ω小、从加工电源部到供电元件的电阻值比从供电元件到放电部的电阻值小即可。另外，从加工电源部到供电元件104的电压降和从供电元件104到放电部的电压降之比是10倍以上。进而，从加工电源部到供电元件104的电阻值和从供电元件到放电部的电阻值之比是10倍以上。在此，如果考虑到Rmn而求出10个加工电流，则为(60V-30V)/((10Ω/10个)+0.02Ω)＝29.41A，每个线丝的加工电流为2.941A。

另外，在全部10个线丝和工件之间没有均匀并且同时地引起放电状态的情况下，即使流过1个线电流，每个线丝的加工电流为(60V-30V)/(10Ω＝0.02Ω)＝2.994A，与在全部10个线丝和工件之间均匀并且同时地引起放电状态的情况相比，也没有产生很大的差。

另外，作为其他效果，在一个位置向多个即N个(卷绕主辊8、9N周)的线丝供电的情况下，与个别地向每个线丝供电时的加工速 度相比，加工速度成为1/N，但根据本发明，在一个位置(统一)向N个线丝供电的情况下，也能够维持与个别地向1个线丝供电时同等的加工速度。

说明图6。图6是本发明的线放电加工装置1的用于监视电极丝和被加工物之间的放电状况的结构图。

能够监视被加工物(工件)和电极丝之间的放电(加工部分)的地方存在电极丝接近工件一侧(观察点a)、电极丝从工件离开一侧(观察点b)、以及电极丝对工件进行加工的区域(观察点c)的3个位置。

901a是设置在观察点a的监视摄像机，实时地监视放电加工的工件的加工槽的影像(图像)。

901b是设置在观察点b的监视摄像机，实时地监视放电加工的工件的加工槽的影像(图像)。

901c是设置在观察点c(水中)的监视摄像机，实时地监视放电加工的工件的加工槽的影像(图像)。

其中，通过观察观察点a和b的任意1点或2点，能够掌握多个线丝的加工的进展状况。进而，通过观察观察点C，能够一边从各部观察，一边还掌握工件内部的加工状态。

作为摄像/受光元件，直接或经由光纤等设置CCD、CMOS等的摄像机，作为将信息作为图像取入的单元，在监视观察点a、b、c的工件和电极丝之间的放电状态的位置分别固定摄像/受光元件901a、901b、901c，始终向分析(图像处理)系统供给放电加工中的图像信息。

103z是表示在作为多个加工电极的线丝103中只有1个的加工进展延迟时的状态的一个例子，在本例子中，一个的进展延迟，因此加工槽的长度比其他槽浅。

另外，图6是从直角方向看观察点B的图，如果延迟继续增大，则进展延迟的线丝103z与正常的线丝位置相比被向下方按下，与工件105接触，因此会断线。

说明图7。图7是从观察点b侧监视在多个加工电极线丝103中只有1个的加工进展延迟时的状态的图像信息的一个例子，在本例子中，从左开始第3个线丝即103z的进展延迟，因此加工槽的长度比其他槽短。

说明图8。图8是在图12的图像分析流程中，分析各线丝的加工前端近旁的取得图像，对二维地扫描加工后的槽的形状而得到的电信号进行二值化处理。该二值化处理后的浓淡数据的X轴是加工槽的有无，Y轴是加工槽的有的长度。在正常的加工时，与加工进展状况对应地得到如(1)那样变化的脉冲序列信号(浓淡数据)。如(1)那样浓淡数据的X轴和Y轴的位置的脉冲波形始终均匀，因此判断为是正常(均匀)的。

说明图9。图9是在图12的图像分析流程中，分析各线丝的加工前端近旁的取得图像，对二维地扫描加工后的槽的形状而得到的电信号进行二值化处理。该二值化处理后的浓淡数据的X轴是加工槽的有无，Y轴是加工槽的有的长度。在加工延迟时，与加工进展状况对应地得到如(2)那样变化的脉冲序列信号(浓淡数据)。如(2)那样浓淡数据的Y轴的位置的脉冲波形不均匀，因此判断为是异常(加工延迟)的。

说明图10。图10是在图12的图像分析流程中，分析各线丝的加工前端近旁的取得图像，对二维地扫描加工的槽的形状而得到的电信号进行二值化处理。该二值化处理后的浓淡数据的X轴是加工槽的有无，Y轴是加工槽的有的长度。在发生线丝抖动时，与加工进展状况对应地得到如(3)那样变化的脉冲序列信号(浓淡数据)。如(3)那样浓淡数据的X轴的位置的脉冲波形不均匀，因此判断为是异常(线丝抖动)的。

说明图11。图11是表示本发明的加工状况的监视处理的流程的主流程图。

在步骤S101中，线放电加工装置1取入来自摄像/受光元件的图像信息。即，线放电加工装置1通过配置在工件105的近旁的监视摄 像机901进行摄影，以规定的间隔(例如以10秒间隔摄影1张)顺序地取得包含通过多个线丝加工的多个位置的加工槽的工件图像(图像取得单元)。

即，在此，通过监视供电加工的状况的摄像机进行摄影，取得包含通过排列设置的线丝进行放电加工后的多个位置的加工槽的工件图像。

在步骤S102中，线放电加工装置1按照图12的图像分析(图像处理)的流程进行变换/分析，进行正常/异常的判断。

在步骤S103中，线放电加工装置1根据S102中的判断结果，针对电源装置2执行的与工件输送相关联的控制、与加工电源相关联的控制，进行异常对应处理。此外，在图15中详细说明步骤S103。

在步骤S104中，线放电加工装置1根据S102中的判断结果，针对线放电加工装置1执行的与线丝的行走相关联的控制，进行异常对应处理。此外，在图16中详细说明步骤S104。

说明图12。

图12是本发明的图像分析流程图，图8～图10是取得图像和从该取得图像变换为正常/异常的分析用的脉冲信号的一个例子。

在将摄像/受光元件作为摄像机的情况下，图像分析流程在取得所得到的数据后立即进行分析，与预先存储有放电加工槽的排列方式(X或Y方向)的正常图案图像的加工槽的排列方式进行比较(图像匹配)，判断放电的状况是正常/异常。另外，也可以将各电极丝通过放电而发光的X、Y坐标作为取得的二维图像内的加工槽放电光的X、Y坐标信息而进行分析，确定加工槽的排列方式，如图7那样检测因加工延迟线丝103z产生的加工槽的延迟、横偏差。

在步骤S200中，线放电加工装置1为了判断是否继续监视加工槽的状态，而判断加工顺利结束的加工是否结束。在加工没有结束(否)的情况下，前进到S201。在判断为加工结束(是)的情况下，前进到S208。

在步骤S201中，线放电加工装置1进行在S101中取得的图像的上述二值化处理。

在二值化处理中，首先对取得的每个工件图像，以分别与多个位置的加工槽的加工状况相当的脉冲波形中的波形强度生成高低差(Y轴的峰值高低)(波形强度生成单元)。

在二值化处理中，接着，线放电加工装置1对取得的每个工件图像，以分别与多个位置的加工槽的加工状况相当的脉冲波形中的波形间隔生成间隔差(X轴的峰值间隔)(波形间隔生成单元)。

在步骤S202中，线放电加工装置1对在S201中进行了二值化处理后的脉冲波形进行分析。即，线放电加工装置1为了判断多个位置的加工槽的加工状况是否大致均匀，从分析后的脉冲波形中检测能够对取得的每个工件图像判断是否大致均匀的信息(图像分析单元)。

根据这样在步骤S201和步骤S202中取得的工件的图像，以分别与多个位置的每个加工槽的加工状况相当的波形强度生成脉冲波形，分析基于加工状况的进度的强度差。进而，根据在步骤S201和步骤S202中取得的工件的图像，以分别与多个位置的每个加工槽的加工状况相当的波形间隔生成脉冲波形，还分析基于上述加工状况的进度的间隔差。

在步骤S203中，线放电加工装置1与正常的脉冲波形进行比较，判断与正常的脉冲波形相同的高度(Y轴)的峰值数是否比规定数少。在判断为少(≠)的情况下，前进到S204。在判断为相同(＝)的情况下，前进到S205(判断单元)。即，线放电加工装置1在判断为在S201中生成的波形强度的高低差满足规定条件的情况下，在S203中检测出应该判断为多个位置的加工槽的加工状况在工件的移动方向上不是大致均匀的信息。即，在此，根据包含在取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式，判断放电加工是否直接按照排列设置的线丝的间隔进展。

在此，进而根据分析出的强度差，检测包含在取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件移动的方向上是否均匀(加工延迟检测单元)。此处的(≠)或(＝)的判断使用加工延迟的检测的结果进行判断。

在步骤S204中，线放电加工装置1判定为发生了图9那样的加工延迟。在此，在步骤S204中在监视区域的一部分或全部中检测到放电的异常、部分的加工延迟的情况下，向脉冲电源和钢丝锯通知加工异常的信息，在步骤S103或步骤S104中进行必要的对应，例如在操作面板上显示异常，或通过蜂鸣器进行通知，或返回加工延迟的量的工件，或将加工条件自动地变更为缓和部分延迟的设定，或调整电极丝的张力。

此外，在此，脉冲电源是指用于控制电源装置2内部的加工电源501、502的脉冲电压的设定值的脉冲电压的控制部(未图示)。

此外，在此，钢丝锯是指用于控制线放电加工装置1内部的主辊8、9的线丝行走速度的设定值的行走速度的控制部(未图示)。

此外，在此，钢丝锯是指用于控制线放电加工装置1内部的工件输送装置3的伺服电压的设定值的伺服电压的控制部(未图示)。

即，线放电加工装置1在S202中检测出应该判断为不是大致均匀的信息的情况下，进行控制以便停止或抑制与多个线丝对工件105的加工相关联的线放电加工装置的任意一个动作(动作控制单元)。在步骤S203中判断为没有进展(≠)的情况下，进行控制以便停止或抑制与在判断为进展的情况下(＝)的放电加工的进展相关联的动作。

在步骤S205中，线放电加工装置1与正常(或在一定时间前已经分析过的)脉冲波形进行比较，判断与正常的脉冲波形相同的位置(X轴)的峰值坐标是否相对于规定位置偏离。进行比较的脉冲波形也可以是预先存储的基准的脉冲波形。在判断为偏离(≠)的情况下，前进到S206。在判断为是相同位置(＝)的情况下，前进到S207(判断单元)。即，线放电加工装置1在判断为在S201中生成的波形间隔的间隔差满足规定条件的情况下，在S205中检测为应该判断为多个位置的加工槽的加工状况在工件的振动方向上不是大致均匀的信息。

即，在此，也根据包含在取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式，判断放电加工是否直接按照排列设置的工件的间隔进展。

在此，进而根据分析出的间隔差，检测包含在取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件振动的方向上是否均匀(加工抖动检测单元)。此处的“≠”或(＝)的判断使用加工抖动的检测的结果进行判断。

在步骤S206中，线放电加工装置1判定为发生了图10那样的工件抖动。在此，在步骤S206中在监视区域的一部分或全部中检测到放电的异常、部分的工件的抖动的情况下，向脉冲电源和钢丝锯通知加工异常的信息，在图11的步骤S103或步骤S104中进行必要的对应。例如，在操作面板上显示异常，或通过蜂鸣器进行通知，或返回加工延迟的量的工件，或将加工条件自动地变更为缓和部分延迟的设定，或调整电极丝的张力。

即，线放电加工装置1在S202中检测出应该判断为不是大致均匀的信息的情况下，进行控制使得停止或抑制与多个线丝对工件105的加工相关联的线放电加工装置的任意一个动作(动作控制单元)。在步骤S205中判断为没有进展(≠)的情况下，进行控制使得停止或抑制与在判断为进展的情况下(＝)的放电加工的进展相关联的动作。

在步骤S207中，线放电加工装置1如图8那样判定为加工正常进展，保持原样地继续进行加工处理，进而还继续进行监视。

在步骤S208中，线放电加工装置1结束监视(图像分析)。

另外，在将摄像/受光元件设为在一维方向上排列了许多受光元件的线性传感器的情况下，能够更简易地监视放电加工状态。分析(图像处理)系统即时地分析从线性传感器得到的数据，但原始的信息不是图像，而是因排列在线上的各受光元件接受的放电的强度而产生的光量的信息，因此，将预先存储的正常状态的光量作为基准值而比较各个受光元件的光量，在光量比基准值少的情况下，判断为放电异常。

说明图13。图13是线放电加工装置1内置的控制计算机1000 的硬件结构图。

此外，也可以分体地将控制计算机1000设置在线放电加工装置1的外部。

在图13中，MPU(CPU)1001统一地控制与系统总线1004连接的各设备、控制器。另外，在ROM1002或外部存储器1011中，存储有CPU1001的控制程序即BIOS(基本输入输出系统)、操作系统(以下称为OS)、为了实现各服务器或各PC所执行的功能所需要的后述的各种程序等。

RAM1003作为CPU1001的主存储器、工作存储器等发挥功能。CPU1001将执行处理时需要的程序等从ROM1002或外部存储器1011中装载到RAM1003中，执行该装载的程序，从而实现各种动作。

输入控制器1005控制来自键盘(KB)1009、未图示的鼠标等指示设备等的输入。视频控制器1006控制向显示部1010的显示。此外，显示部1010不只是CRT，也可以是液晶显示器等其他显示器。根据需要由管理者使用它们。另外，显示部也可以包含用户用手指、笔等指定显示画面内的对象位置的触摸屏功能。

存储器控制器1007控制向存储各种应用程序、字体数据、用户文件、编辑文件、各种数据等的硬盘(HD)、软盘(FD)、或经由适配器与PCMCIA卡槽连接的CF闪存(注册商标)存储器等外部存储器1011的访问。

通信I/F控制器1008经由LAN1012或WAN等网络(通信线路)与外部装置连接/通信，执行网络上的通信控制处理。例如，能够进行使用了TCP/IP的通信等。

此外，CPU1001例如通过执行将轮廓字体展开(rasterize)到RAM1003内的显示信息用区域的处理，能够在显示部1010上进行显示。另外，CPU1001能够通过CRT上的未图示的鼠标光标等进行用户指示。

用于实现本发明的后述的各种程序被记录在外部存储器1011中，根据需要装载到RAM1003中，由此被CPU1001执行。进而，在 执行上述程序时使用的数据文件、数据表等也被存储在外部存储器1011或存储部中。

另外，本发明的程序是能够由控制计算机1000执行依照线放电加工方法的线放电加工动作的程序，本发明的存储介质存储为能够执行线放电加工动作的程序。

(本发明的其他实施方式)

如以上那样，通过将记录了实现上述实施方式的功能的程序的记录介质供给到线放电加工装置1，由该系统或线放电加工装置内的计算机(或CPU、MPU)读出并执行存储在非暂时的计算机可读的记录介质中的程序，也当然达到本发明的目的。

在该情况下，从记录介质读出的程序自身实现了本发明的新功能，存储该程序的非暂时的计算机可读取的记录介质构成本发明。

作为用于供给程序的记录介质例如可以使用软盘、硬盘、光盘、光磁盘、CD-ROM、CD-R、DVD-ROM、BD-ROM、磁带、非易失性的存储卡、ROM、EEPROM、硅盘等。

另外，不只是通过执行读出的程序来实现上述的实施方式的功能，当然也包括以下的情况，即根据该程序的指示，由在计算机上运转的OS(操作系统)等进行实际的处理的一部分或全部，通过该处理实现上述的实施方式的功能。

进而，也包括以下的情况，即在将从记录介质读出的程序写入到插入计算机的功能扩展板、与计算机的连接的功能扩展单元所具备的存储器中后，根据该程序代码的指示，由该功能扩展板、功能扩展单元所具备的CPU等进行实际的处理的一部分或全部，通过该处理实现上述的实施方式的功能。

另外，本发明既可以应用于由多个机械构成的线放电加工系统，也可以应用于由一个机械构成的线放电加工装置。另外，本发明当然也能够应用于将程序供给到线放电加工系统或线放电加工装置而达成的情况。在该情况下，通过将存储了用于达成本发明的程序的记录介质读出到该系统或装置，该线放电加工系统或线放电加工装置能够 具有本发明的效果。

进而，通过通信程序从网络上的服务器、数据库等下载读出用于达成本发明的程序，由此该系统或装置能够具有本发明的效果。

此外，组合上述各实施方式及其变形例子的结构也全部包含在本发明中。

说明图14。图14表示作为现有方式的个别地向每个线丝供电加工电压的个别供电方式下的电气电路400和线放电加工装置4000。

加工电源部401供给加工电压Vm。在此，Vm是为了供给供电加工所需要的电流而设定的加工电压。可以在60V～150V中将VVm设定为任意的加工电压。

加工电源部402供给诱发电压Vs。在此，Vs是为了诱发放电而设定的诱发电压。还为了监视线丝和工件之间的极间的电压(放电电流)的状态的目的而使用加工电源部402。可以在60V～300V中将Vs设定为任意的诱发电压。

晶体管(Tr2)403通过开关来切换加工电压Vm的接通(导通)状态和关断(非导通)状态。晶体管(Tr1)404通过开关来切换诱发电压Vs的接通(导通)状态和关断(非导通)状态。

通过使用电流限制电阻体设定固定的电阻值(Rm)405，来限制每个线电流(Iw)、极间的放电电流(Ig)。可以在1Ω～100Ω中将Rm设定为任意的电阻值。即，在Vm＝60V(伏特)、Vg＝30V、Rm＝10Ω的情况下，Iw(Ig)＝(60V-30V)/10Ω＝30A(安培)。

此外，在上述计算公式中，将从加工电源(Vm)到供电点(供电元件)的电压降设为30V，但并没有考虑到因线电阻(Rw)造成的从供电点到放电点的电压降。

即，在作为现有方式的个别供电方式的情况下，加工电流Iw的值由电流限制电阻体的电阻Rm决定，因此为了对每个得到希望的线电流、放电电流(Ig)，而设定为线电阻Rw成为Rm>Rw的关系。

通过使用电流限制电阻体设定固定的电阻值(Rs)406，来限制诱发放电的诱发电流。可以在1Ω～100Ω中将Rs设定为任意的电阻 值。

放电电压(Vg)407是在放电中施加到线丝103和工件105之间(极间)的极间的放电电压。放电电流(Ig)408是在放电中流过线丝103和工件105之间(极间)的极间的放电电流。个别地向每个线丝供给加工电流(Iw)410。

说明图15。图15是表示本发明的发生加工延迟时的电源装置2的对应处理的流程图。

在步骤S301中，线放电加工装置1变更脉冲电源的伺服控制参数。

在步骤S302中，线放电加工装置1如图8那样判定为加工正常地进展，保持原样地继续进行加工处理，进而还继续进行监视。

在步骤S303中，线放电加工装置1判断在步骤S203中判断为放电加工没有直接按照排列设置的线丝的间隔进展后是否经过了规定时间(例如10分钟后)，取得经过规定时间后的工件的图像。

在步骤S304中，线放电加工装置1使用在经过规定时间后取得的图像，再次分析放电加工是否直接按照排列设置的线丝的间隔进展(再分析单元)。

在步骤S305中，线放电加工装置1根据在步骤S304中再次分析的结果，判断因放电加工没有直接按照线丝的间隔进展造成的加工不良是否恢复(恢复判断单元)。

在步骤S306中，线放电加工装置1在步骤S305中判断为恢复了的情况下，使与通过动作控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作恢复正常。在恢复了的情况下，将在步骤S301中变更了的参数复原。

在步骤S307中，线放电加工装置1如图8那样判定为加工正常进展，保持原样地继续进行加工处理，进而还继续进行监视。

在步骤S308中，线放电加工装置1在步骤S305中判断为没有恢复的情况下，将与在步骤S204中控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作切换为不同的控制种类。线放电加工装置1在使放电 暂时停止后使工件位置后退。

在步骤S309中，线放电加工装置1在确保放电间隙后，再开始加工。

在步骤S310中，线放电加工装置1判断是否经过了规定时间(例如10分钟后)，取得经过规定时间后的工件的图像。

在步骤S311中，线放电加工装置1对用于在步骤S305中判断因放电加工没有直接按照线丝的间隔进展造成的加工不良是否恢复的多个不同的加工不良水平(加工不良大)进行管理。

在步骤S312中，线放电加工装置1根据在S311中再次分析的结果，判断因放电加工没有直接按照线丝的间隔进展造成的加工不良是否恢复(第二恢复判断单元)。

在步骤S313中，线放电加工装置1与不同的加工不良水平对应地切换动作控制单元控制为停止或抑制与放电加工的进展相关联的动作的控制种类。线放电加工装置1通知警报。

在步骤S314中，线放电加工装置1中止放电加工。

说明图16。图16是表示本发明的发生加工抖动时的线放电加工装置1的对应处理的流程图。

在步骤S401中，加工抖动的主要原因大多是线丝行走状态的控制不良，因此线放电加工装置1在检测出加工抖动的情况下，变更线丝行走速度和(或)线丝张力。

在步骤S402中，线放电加工装置1如图8那样判定为加工正常进展，保持原样地继续进行加工处理，进而还继续进行监视。

在步骤S403中，线放电加工装置1判断在步骤S205中判断为放电加工没有直接按照排列设置的线丝的间隔进展后是否经过了规定时间(例如10分钟后)，取得经过规定时间后的工件的图像。

在步骤S404中，线放电加工装置1使用经过规定时间后取得的图像，再次分析放电加工是否直接按照排列设置的线丝的间隔进展(再分析单元)。

在步骤S405中，线放电加工装置1根据在步骤S404中再次分析 的结果，判断因放电加工没有直接按照线丝的间隔进展造成的加工不良是否恢复。

在步骤S406中，线放电加工装置1在恢复了的情况下，将在步骤S401中变更了的线丝行走速度和(或)线丝张力复原。

在步骤S407中，线放电加工装置1如图8那样判定加工是否正常进展，保持原样地继续进行加工处理，进而还继续进行监视。

在步骤S408中，线放电加工装置1通知警报。

在步骤S409中，线放电加工装置1中止放电加工。

附图标记说明

1：线放电加工装置；2：电源装置；3：工件输送装置；10：供电元件单元；103：线丝；104：供电元件(统一)；105：工件(硅锭)；204：供电元件(个别)；901：监视摄像机。

Claims (9)

1.一种线放电加工装置，具备对排列设置并行走的多个线丝统一地供给加工电源的供电元件，使用该多个线丝产生的放电对铸锭进行加工，所述线放电加工装置的特征在于包括：

取得单元，取得以沿着所述多个线丝的行走方向的方向所摄影的图像，所述图像能够识别通过该多个线丝所设置的所述铸锭的多个加工槽；

判断单元，根据由所述取得单元取得的所述图像，判断在所述多个加工槽中是否存在加工深度不同的加工槽；以及

控制单元，进行控制，以便在由上述判断单元判断为存在上述加工深度不同的加工槽的情况下，在拉开所述多个线丝与所述铸锭的相对距离后，使所述多个线丝与所述铸锭的相对距离靠近而再次开始加工。

2.根据权利要求1所述的线放电加工装置，其特征在于还包括：

波形强度生成单元，根据所取得的工件的上述图像，按照分别与上述多个加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形强度来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的强度差；以及

加工延迟检测单元，根据分析出的上述强度差，检测包含在取得的上述图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件移动的方向上是否均匀，

上述判断单元使用由上述加工延迟检测单元产生的结果进行判断。

3.根据权利要求1所述的线放电加工装置，其特征在于还包括：

波形间隔生成单元，根据取得的工件的上述图像，按照分别与上述多个加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形间隔来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的间隔差；以及

加工抖动检测单元，根据分析出的上述间隔差，检测包含在所取得的上述图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件振动的方向上是否均匀，

上述判断单元使用由上述加工抖动检测单元产生的结果进行判断。

4.根据权利要求2所述的线放电加工装置，其特征在于还包括：

波形间隔生成单元，根据取得的工件的上述图像，按照分别与上述多个加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形间隔来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的间隔差；以及

加工抖动检测单元，根据分析出的上述间隔差，检测包含在所取得的上述图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件振动的方向上是否均匀，

上述判断单元使用由上述加工抖动检测单元产生的结果进行判断。

5.根据权利要求1～4的任意一项所述的线放电加工装置，其特征在于：

由上述取得单元取得在上述判断单元判断为放电加工未按照排列设置的线丝的间隔进展起经过了规定时间后的上述工件的图像，

该线放电加工装置还包括：

再分析单元，使用经过上述规定时间后取得的图像，再次分析放电加工是否按照上述排列设置的线丝的间隔进展；以及

恢复判断单元，根据上述再次分析的结果，判断由于放电加工未按照线丝的间隔进展而造成的加工不良是否恢复，

在上述恢复判断单元判断为恢复的情况下，使与由上述控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作复原为正常。

6.根据权利要求5所述的线放电加工装置，其特征在于：

对用于上述恢复判断单元判断由于放电加工未按照线丝的间隔进展而造成的加工不良是否恢复的多个不同的加工不良水平进行管理，

与上述不同的加工不良水平对应地切换上述动作控制单元将与放电加工的进展相关联的动作控制为停止或抑制的控制种类。

7.根据权利要求5所述的线放电加工装置，其特征在于：在上述恢复判断单元判断为未恢复的情况下，将与由上述控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作切换为不同的控制种类。

8.根据权利要求6所述的线放电加工装置，其特征在于：在上述恢复判断单元判断为未恢复的情况下，将与由上述控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作切换为不同的控制种类。

9.一种控制方法，是线放电加工装置的控制方法，所述线放电加工装置具备对排列设置并行走的多个线丝统一地供给加工电源的供电元件，使用该多个线丝产生的放电对铸锭进行加工，所述控制方法的特征在于包括：

取得工序，上述线放电加工装置的取得单元取得以沿着所述多个线丝的行走方向的方向所摄影的图像，所述图像能够识别通过该多个线丝所设置的所述铸锭的多个加工槽；

判断工序，上述线放电加工装置的判断单元根据由所述取得单元取得的所述图像，判断在所述多个加工槽中是否存在加工深度不同的加工槽；以及

控制工序，上述线放电加工装置的控制单元进行控制，以便在由上述判断工序判断为存在上述加工深度不同的加工槽的情况下，在拉开所述多个线丝与所述铸锭的相对距离后，使所述多个线丝与所述铸锭的相对距离靠近而再次开始加工。