JP6998231B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
4:ストリート
12:切削装置(加工装置)
14:保持手段
16:切削手段(加工手段)
18:撮像手段
20:表示手段
34:切削ブレード
36:顕微鏡
38:画像表示部
40:ストリート補正ボタン
42:加工溝補正ボタン
46:Y軸作動部
48:可動線
50:可動線作動部
54:切削溝(加工溝)
L:基準線
Claims (4)
- 複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、
ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に相対的に加工送りするX軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りするY軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、
該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Y軸送り手段を作動するY軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、
該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定された場合と、加工溝の幅と認識される間隔に設定された場合とで該一対の可動線の色が変化し、
該ストリート補正ボタンの色は、ストリートの幅と認識される間隔に設定された場合の該一対の可動線の色と同色に設定され、
該加工溝補正ボタンの色は、加工溝の幅と認識される間隔に設定された場合の該一対の可動線の色と同色に設定される加工装置。 - 該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に該ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、
該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される請求項1記載の加工装置。 - 該画像表示部に表示されたストリートの位置を該Y軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線をストリートの幅に一致させた場合に該ストリート補正ボタンにタッチするとストリートの移動距離がストリートの補正値として記憶され、
該画像表示部に表示された加工溝の位置を該Y軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線を加工溝の幅に一致させた場合に該加工溝補正ボタンにタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として記憶される請求項1記載の加工装置。 - 該加工手段は、切削ブレードを回転可能に備えた切削手段であり、該加工溝は切削溝である請求項1記載の加工装置。
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