JP2015103752A - ダイシング装置及びその切削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベベルカットなどにおける溝形成工程において、ワークのストリートに沿って形成された溝が湾曲している場合に、切断工程において溝の中心線が切削予定ライン90として設定される。このとき、切削予定ライン90も湾曲するが、ブレード20の回転軸21に対して直交するX軸方向にワークを相対的に移動させる(切削送り)と共に、Y軸に対して平行な回転軸21の方向にも移動させて(Y軸補正送り)、切削予定ライン90に沿って精度良く切削する。
【選択図】図10
Description
Claims (7)
- ストリートに沿って溝が形成された板状のワークを表面に保持するワークテーブルと、
回転軸の周りに回転しながら前記ワークに接触することによって前記ワークを切削するブレードと、
前記ワークテーブルのテーブル面に対して平行する第1の方向に前記ブレードを相対的に移動させる第1駆動手段と、
前記ワークテーブルのテーブル面に対して平行する第2の方向であって、前記第1の方向と異なる第2の方向に前記ブレードを相対的に移動させる第2駆動手段と、
前記ワークに形成された溝の領域を検出する溝領域検出手段と、
前記溝領域検出手段により検出された溝の領域内を通過する切削予定ラインを割り出す切削予定ライン割出手段と、
前記ブレードを前記ワークに接触させている前記ワークの切削中において、前記第1駆動手段及び前記第2駆動手段により前記ブレードを前記第1の方向及び前記第2の方向に移動させることによって、前記切削予定ライン割出手段により割り出された切削予定ラインに沿った位置を前記ブレードで切削する切削制御手段と、
を備えたダイシング装置。 - 前記ワークテーブルのテーブル面に対して直交する旋回軸周りに前記ブレードの前記回転軸を相対的に旋回させる旋回駆動手段を備え、
前記切削制御手段は、前記切削予定ラインの切削中において、前記旋回駆動手段により前記ブレードの回転軸を旋回させることにより、前記ブレードの回転軸の方向を、加工点における前記切削予定ラインの方向に直交させる請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記ブレードが取り付けられ、前記回転軸に対して平行する方向に沿ったスピンドルシャフトを有し、前記ブレードを前記回転軸周りに回転させるスピンドルを備え、
前記第2駆動手段は、前記スピンドルシャフトを前記回転軸に沿った方向に進退移動させる手段である請求項1又は2に記載のダイシング装置。 - 前記切削予定ライン割出手段は、前記溝領域検出手段により検出された溝の領域の中心線の位置を切削予定ラインとして割り出す請求項1、2、又は3に記載のダイシング装置。
- 前記切削予定ライン割出手段は、前記溝領域検出手段により検出された溝の領域に基づいて、前記ワークに形成された各溝の複数箇所における溝幅の中心位置を検出し、該中心位置を結ぶ曲線又は直線を各溝に対応する切削予定ラインとして割り出す請求項4に記載のダイシング装置。
- 前記切削予定ライン割出手段は、前記溝領域検出手段により検出された溝の領域に基づいて、前記ワークに形成された溝のうち最長の溝の複数箇所における溝幅の中心位置を検出し、該中心位置を結ぶ曲線又は直線を前記最長の溝に対応する切削予定ラインとして割り出すと共に、該最長の溝に対応する切削予定ラインに基づいて、一定間隔のストリートに沿って形成された各溝の切削予定ラインを割り出す請求項4に記載のダイシング装置。
- ストリートに沿って溝が形成された板状のワークを表面に保持するワークテーブルと、回転軸の周りに回転しながら前記ワークに接触することによって前記ワークを切削するブレードと、前記ワークテーブルのテーブル面に対して平行する第1の方向に前記ブレードを相対的に移動させる第1駆動手段と、前記ワークテーブルのテーブル面に対して平行する第2の方向であって、前記第1の方向と異なる第2の方向に前記ブレードを相対的に移動させる第2駆動手段と、前記ワークに形成された溝の領域を検出する溝領域検出手段と、前記溝領域検出手段により検出された溝の領域内を通過する切削予定ラインを割り出す切削予定ライン割出手段と、を備えたダイシング装置の切削方法であって、
前記ブレードを前記ワークに接触させている前記ワークの切削中において、前記第1駆動手段により前記ブレードを前記第1の方向に移動させる切削送り工程と、
前記切削送り工程の実施中において、前記ブレードとワークとが接触する加工点と、前記切削予定ライン割出手段により割り出された切削予定ラインとの前記第2の方向に関する距離を算出する距離算出工程と、
前記切削送り工程の実施中において、前記距離算出工程により算出された距離が所定の閾値以上か否かを判定する判定工程と、
前記切削送り工程の実施中において、前記判定工程による判定が肯定された場合に、前記ブレードを前記第2の方向であって、前記切削予定ラインに近づく方向に前記距離算出工程により算出された距離分だけ移動させる補正送り工程と、
を実施するダイシング装置の切削方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017041616A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | サンケン電気株式会社 | 化合物半導体素子 |
CN108511391A (zh) * | 2017-02-27 | 2018-09-07 | 株式会社迪思科 | 封装基板的分割方法 |
CN113838775A (zh) * | 2020-06-24 | 2021-12-24 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57113443U (ja) * | 1980-12-27 | 1982-07-13 | ||
JPS57128044A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Nec Home Electronics Ltd | Cutting method for semiconductor wafer |
JPH0499607A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 精密切削装置におけるブレードの位置調整方法 |
JPH1154461A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの円形カット方法及び曲線カット方法 |
JP2007007668A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2009289786A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの切削方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57113443U (ja) * | 1980-12-27 | 1982-07-13 | ||
JPS57128044A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Nec Home Electronics Ltd | Cutting method for semiconductor wafer |
JPH0499607A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 精密切削装置におけるブレードの位置調整方法 |
JPH1154461A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの円形カット方法及び曲線カット方法 |
JP2007007668A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2009289786A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの切削方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017041616A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | サンケン電気株式会社 | 化合物半導体素子 |
CN108511391A (zh) * | 2017-02-27 | 2018-09-07 | 株式会社迪思科 | 封装基板的分割方法 |
JP2018142572A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社ディスコ | パッケージ基板の分割方法 |
CN108511391B (zh) * | 2017-02-27 | 2023-08-04 | 株式会社迪思科 | 封装基板的分割方法 |
CN113838775A (zh) * | 2020-06-24 | 2021-12-24 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
CN113838775B (zh) * | 2020-06-24 | 2024-01-30 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
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