JP5762005B2 - 加工位置調製方法及び加工装置 - Google Patents
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Description
6 第1切削手段
8 第2切削手段
11 半導体ウエーハ
12 アライメント手段
13,15 ストリート(切削予定ライン)
14 撮像手段
70 第1切削ブレード
70a 第2切削ブレード
82 第1調整用加工溝
84 第2調整用加工溝
86 撮像領域
88 第1基準線
90 第1補助線
92 第2基準線
94 第2補助線
Claims (2)
- 第1方向に伸長する複数の第1加工予定ラインが設定された被加工物を該第1加工予定ラインに沿って加工する第1加工手段と、被加工物を該第1加工予定ラインに沿って加工する該第1加工手段に対向して配設された第2加工手段と、該第1加工手段に隣接して配置され撮像領域内に該第1方向に伸長する第1基準線と該第1基準線に直交する第2基準線とを有する被加工物を撮像する撮像手段と、を備えた加工装置で該第1加工手段と該第2加工手段の加工位置をそれぞれ調整する加工位置調整方法であって、
該第1加工手段で被加工物の一端部の第1余剰領域を該第1方向に加工して第1調整用加工溝を形成するとともに、該第2加工手段で被加工物の該一端部と反対側の他端部の第2余剰領域を該第1方向に加工して第2調整用加工溝を形成する調整用加工溝形成ステップと、
該第1調整用加工溝を撮像手段で撮像して、該撮像手段の撮像領域内で該第1調整用加工溝の該第1基準線からの該第1方向に直交する第2方向における第1のずれ量とずれ方向を検出する第1の実加工位置ずれ検出ステップと、
該第1の実加工位置ずれ検出ステップで検出した該第1調整用加工溝のずれ方向を打ち消す方向に前記第1のずれ量だけ移動させた位置を該第1加工手段の実加工位置として補正する第1加工位置補正ステップと、
被加工物を90度回転して該第2調整用加工溝を該撮像手段に隣接して位置づける回転ステップと、
該回転ステップを実施した後、該第2調整用加工溝を該撮像手段で撮像して、該撮像手段の撮像領域内で該第2調整用加工溝の該第2基準線からの該第1方向における第2のずれ量とずれ方向を検出する第2の実加工位置ずれ検出ステップと、
該第2の実加工位置ずれ検出ステップで検出した該第2調整用加工溝のずれ方向を打ち消す方向に前記第2のずれ量だけ移動させた位置を該第2加工手段の実加工位置として補正する第2加工位置補正ステップと、
を具備したことを特徴とする加工位置調整方法。 - 第1方向に伸長する複数の第1加工予定ラインが設定された被加工物を該第1加工予定ラインに沿って加工する第1加工手段と、被加工物を該第1加工予定ラインで沿って加工する該第1加工手段に対向して配設された第2加工手段と、該第1加工手段又は該第2加工手段の何れか一方と一体的に移動するように配設された被加工物を撮像する撮像手段とを備えた加工装置であって、
該撮像手段は撮像領域内に該第1方向に直交する第2方向における該第1加工手段の加工位置を調整する第1基準線と、該第1方向における該第2加工手段の加工位置を調整する該第1基準線に直交する第2基準線とを有し、
該第1基準線は、該第1加工手段で被加工物に形成された第1調整用加工溝が該第1基準線に一致するように該第1加工手段を該第2方向に移動するために使用され、該第2基準線は、該第2加工手段により被加工物に形成された第2調整用加工溝が該第2基準線に一致するように該第2加工手段を該第1方向に移動するために使用されることを特徴とする加工装置。
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