JP6998232B2

JP6998232B2 - 加工装置

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Publication number: JP6998232B2
Application number: JP2018027609A
Authority: JP
Inventors: 諭宮田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-02-20
Filing date: 2018-02-20
Publication date: 2022-01-18
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Description

本発明は、複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスがストリート（分割予定ライン）によって区画され表面に形成されたウエーハは切削装置によってストリートが切削され個々のデバイスに分割され、分割された各デバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

切削装置は、ウエーハを保持する保持手段と、保持手段に保持されたウエーハのストリートを切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、保持手段と切削手段とをＸ軸方向に相対的に切削送りするＸ軸送り手段と、保持手段と切削手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび切削溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備えていて、ウエーハのストリートを高精度に切削することができる（たとえば特許文献１参照。）。

すなわち、表示手段には、撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、切削溝と基準線とのズレ量を補正値として記憶するための切削溝補正ボタンと、Ｘ軸送り手段を作動するＸ軸作動部と、Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、基準線を挟み線対称を保ち基準線に接近および離反する一対の可動線と、一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、Ｙ軸作動部を作動してストリートの中央が基準線に位置づけられると共に一対の可動線の間隔がストリートの幅に位置づけられた場合にストリート補正ボタンにタッチするとストリートの移動距離がＹ軸方向の補正値と記憶され次のストリートの割り出し送りにおいて基準線とストリートの中央が一致するように補正される。

また、Ｙ軸作動部を作動して切削溝の中央が基準線に位置づけられると共に一対の可動線の間隔が切削溝の幅に位置づけられた場合に切削溝補正ボタンにタッチすると切削溝のＹ軸方向の移動距離がＹ軸方向の補正値と記憶され次のストリートの割り出し送りにおいて基準線と切削溝の中央が一致すると共にストリートの中央に切削溝が形成されるように補正される。

特開２０１４－１１３６６９号公報

しかし、Ｙ軸作動部を作動してストリートの中央が基準線に位置づけられると共に一対の可動線の間隔がストリートの幅に位置づけられた場合に切削溝補正ボタンをタッチするとストリートの補正値が切削溝の補正値として記憶され高精度な割り出し送りができずストリートを高精度に切削できないという問題がある。

また、Ｙ軸作動部を作動して切削溝の中央が基準線に位置づけられると共に一対の可動線の間隔が切削溝の幅に位置づけられた場合にストリート補正ボタンをタッチすると切削溝の補正値がストリートの補正値として記憶されストリートの中央を高精度に切削できないという問題がある。

上記した問題は、ストリートにレーザー光線を照射して分割溝を形成するレーザー加工装置にも起こり得る。

上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、ストリートのズレの補正と、切削溝、分割溝を含む加工溝のズレの補正とを間違えることのない加工装置を提供することである。

上記課題を解決するために本発明が提供するのは以下の加工装置である。すなわち、複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に該ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される加工装置である。

好ましくは、該画像表示部に表示されたストリートの位置を該Ｙ軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線をストリートの幅に一致させた場合に該ストリート補正ボタンにタッチするとストリートの移動距離がストリートの補正値として記憶され、該画像表示部に表示された加工溝の位置を該Ｙ軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線を加工溝の幅に一致させた場合に該加工溝補正ボタンにタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として記憶される。該加工手段は、切削ブレードを回転可能に備えた切削手段であり、該加工溝は切削溝であるのが好適である。

本発明が提供する加工装置は、ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に該ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知されるので、ストリートと基準線とのズレ量を加工溝の補正値として記憶することがないと共に、加工溝と基準線とのズレ量をストリートの補正値として記憶することがなく、高精度に割り出し送りしてストリートに高精度な加工溝を形成することができる。

ウエーハの斜視図。本発明に従って構成された加工装置の斜視図。補正が行われる際の撮像手段およびウエーハの斜視図。図２に示す表示手段に表示される画像の模式図。補正が行われる前の画像の模式図。図５に示す状態からストリートの位置を基準線まで移動した状態における画像の模式図。図６に示す状態から一対の可動線をストリートの幅に一致させた状態における画像の模式図。図７に示す状態から加工溝の位置を基準線まで移動した状態における画像の模式図。図８に示す状態から一対の可動線を加工溝の幅に一致させた状態における画像の模式図。

以下、本発明に従って構成された加工装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。

図１には、本発明に従って構成された加工装置によって加工が施され得る円盤状のウエーハ２が示されている。このウエーハ２の表面２ａは、格子状に形成された複数のストリート４によって複数の矩形領域に区画され、複数の矩形領域のそれぞれにはＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイス６が形成されている。図示の実施形態におけるウエーハ２は、周縁が環状フレーム８に固定された粘着テープ１０に貼り付けられている。

図２に示す切削装置１２は、本発明に従って構成された加工装置の一例であり、ウエーハ２を保持する保持手段１４と、保持手段１４に保持されたウエーハ２のストリート４に加工溝を形成する加工手段としての切削手段１６と、保持手段１４と切削手段１６とをＸ軸方向（図１に矢印Ｘで示す方向）に相対的に加工送りするＸ軸送り手段（図示していない。）と、保持手段１４と切削手段１６とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向（図１に矢印Ｙで示す方向）に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段（図示していない。）と、撮像手段１８と、表示手段２０と、を少なくとも備える。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定する平面は実質上水平である。また、図１に矢印Ｚで示すＺ軸方向はＸ軸方向とＹ軸方向とに直交する上下方向である。

保持手段１４は、回転自在かつＸ軸方向に移動自在に装置ハウジング２２に装着された円形状のチャックテーブル２４を含む。このチャックテーブル２４は、装置ハウジング２２に内蔵されたチャックテーブル用モータ（図示していない。）によってＺ軸方向に延びる軸線を中心として回転される。図示の実施形態における上記Ｘ軸送り手段は、チャックテーブル２４に連結されＸ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ（図示していない。）とから構成されていて、切削手段１６に対してチャックテーブル２４をＸ軸方向に相対的に加工送りする。チャックテーブル２４の上端部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の円形状吸着チャック２６が配置され、チャックテーブル２４においては、吸引手段で吸着チャック２６に吸引力を生成することにより、上面に載せられたウエーハ２を吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル２４の周縁には、環状フレーム８を固定するための複数のクランプ２８が周方向に間隔をおいて配置されている。

切削手段１６は、Ｙ軸方向に移動自在かつＺ軸方向に移動自在（昇降自在）に装置ハウジング２２に支持されたスピンドルハウジング３０と、Ｙ軸方向を軸心として回転可能にスピンドルハウジング３０に支持されたスピンドル３２と、スピンドル３２を回転させるモータ（図示していない。）と、スピンドル３２の先端に固定された切削ブレード３４とを含む。このように、ウエーハ２のストリート４に加工溝を形成する加工手段としての切削手段１６は切削ブレード３４を回転可能に備えており、図示の実施形態においてウエーハ２に形成される加工溝は切削ブレード３４によって形成される切削溝である。上記Ｙ軸送り手段は、スピンドルハウジング３０に連結されＹ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ（図示していない。）とから構成されていて、保持手段１４に対してスピンドルハウジング３０をＹ軸方向に相対的に割り出し送りする。また、スピンドルハウジング３０は、Ｚ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ（図示していない。）とから構成され得るＺ軸送り手段によってＺ軸方向に切り込み送り（昇降）されるようになっている。

図２に示すとおり、撮像手段１８は、チャックテーブル２４の移動経路の上方に設けられている。図３および図４を参照して説明すると、撮像手段１８は、保持手段１４に保持されたウエーハ２を撮像しストリート４および加工溝（図示の実施形態では切削溝）を検出する基準線Ｌ（図４参照。）を備えた顕微鏡３６を有する。Ｘ軸方向に延びる基準線Ｌは顕微鏡３６のレンズまたはＣＣＤ等の撮像素子（図示していない。）に形成されている。また、顕微鏡３６は、スピンドルハウジング３０に支持されており、スピンドルハウジング３０と共にＹ軸送り手段によってＹ軸方向に移動され、かつＺ軸送り手段によってＺ軸方向に移動されるようになっている。

図示の実施形態における表示手段２０は、装置ハウジング２２の前面上部に設けられたタッチパネルから構成されている。図４に示すとおり、表示手段２０には、撮像手段１８が撮像した画像を表示する画像表示部３８と、ストリート４と基準線Ｌとのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタン４０と、加工溝と基準線Ｌとのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタン４２と、Ｘ軸送り手段を作動するＸ軸作動部４４と、Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部４６と、基準線Ｌを挟み線対称を保ち基準線Ｌに接近および離反する一対の可動線４８と、一対の可動線４８を作動する可動線作動部５０と、補正値表示部５２と、が表示される。

横軸をＸ軸方向とし縦軸をＹ軸方向として撮像手段１８が撮像した画像を表示する画像表示部３８は、撮像手段１８の基準線Ｌと共に、基準線Ｌを対称軸とする線対称の一対の可動線４８をＸ軸方向と平行に表示する。ストリート補正ボタン４０は、ストリート４と基準線Ｌとのズレ量を補正値として切削装置１２の記憶手段（図示していない。）に記憶するためのボタンであり、画像表示部３８に表示されたストリート４の位置をＹ軸作動部４６を作動して基準線Ｌまで移動すると共に可動線作動部５０を作動して一対の可動線４８をストリート４の幅に一致させた場合にストリート補正ボタン４０にタッチするとストリート４の移動距離がストリート４の補正値として上記記憶手段に記憶される。また、加工溝補正ボタン４２は、加工溝と基準線Ｌとのズレ量を補正値として上記記憶手段に記憶するためのボタンであり、画像表示部３８に表示された加工溝の位置をＹ軸作動部４６を作動して基準線Ｌまで移動すると共に可動線作動部５０を作動して一対の可動線４８を加工溝の幅に一致させた場合に加工溝補正ボタン４２にタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として上記記憶手段に記憶される。そして図示の実施形態では、一対の可動線４８の間隔が、ストリート４の幅（たとえば５０～６０μｍ）と認識される間隔（たとえば４５μｍ以上）に設定されていない場合にストリート補正ボタン４０をタッチするとエラーが報知され、一対の可動線４８の間隔が、加工溝の幅（たとえば２５～３５μｍ）と認識される間隔（たとえば４５μｍ未満）に設定されていない場合に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知されるようになっている。したがって、ストリート４と基準線Ｌとのズレ量を補正値として記憶する際に作業員が誤って加工溝補正ボタン４２にタッチしてしまっても、ストリート４の補正値が加工溝の補正値として上記記憶手段に記憶されることがない。また、加工溝と基準線Ｌとのズレ量を補正値として記憶する際に作業員が誤ってストリート補正ボタン４０にタッチしてしまっても、加工溝の補正値がストリート４の補正値として上記記憶手段に記憶されることがない。なお、エラーの報知としては、表示手段２０へのエラー表示、警告ランプ（図示していない。）の点滅または点灯、警告音による報知等を挙げることができる。

Ｘ軸作動部４４は、Ｘ軸送り手段を作動して撮像手段１８による撮像領域を図４における右方向に移動させる右方向作動部４４ａと、Ｘ軸送り手段を作動して撮像手段１８による撮像領域を図４における左方向に移動させる左方向作動部４４ｂとを有する。また、Ｙ軸作動部４６は、Ｙ軸送り手段を作動して図４における上方向に撮像手段１８を移動させる上方向作動部４６ａと、Ｙ軸送り手段を作動して図４における下方向に撮像手段１８を移動させる下方向作動部４６ｂとを有する。また、可動線作動部５０は、基準線Ｌを対称軸とする線対称の関係を保ちつつ一対の可動線４８を基準線Ｌに向かって接近させる可動線接近部５０ａと、基準線Ｌを対称軸とする線対称の関係を保ちつつ一対の可動線４８を基準線Ｌから離反させる可動線離反部５０ｂとを有する。

上述したとおりの切削装置１２を用いてウエーハ２のストリート４に切削溝を形成する際は、まず、ウエーハ２の表面２ａを上に向けて、チャックテーブル２４の上面にウエーハ２を吸引保持させる。また、複数のクランプ２８で環状フレーム８を固定する。次いで、撮像手段１８で上方からウエーハ２を撮像し、撮像手段１８で撮像したウエーハ２の画像に基づいて、Ｘ軸送り手段、Ｙ軸送り手段およびチャックテーブル用モータを作動して、ストリート４をＸ軸方向に整合させると共に、Ｘ軸方向に整合させたストリート４の上方に切削ブレード３４を位置づける。次いで、切削ブレード３４をスピンドル３２と共にモータで回転させる。次いで、Ｚ軸送り手段でスピンドルハウジング３０を下降させ、Ｘ軸方向に整合させたストリート４に切削ブレード３４の刃先を切り込ませると共に、Ｘ軸送り手段を作動して切削手段１６に対してチャックテーブル２４を相対的にＸ軸方向に加工送りすることによって、ウエーハ２を個々のデバイス６に分割するための切削溝をストリート４に沿って形成する切削加工を施す。次いで、予め設定された割り出し送り量の分（切削加工が施される前の状態におけるストリート４のＹ軸方向間隔）だけ、チャックテーブル２４に対して切削手段１６をＹ軸送り手段でＹ軸方向に割り出し送りする。そして、切削加工と割り出し送りとを交互に繰り返すことにより、Ｘ軸方向に整合させたストリート４のすべてに切削加工を施すところ、上記のとおりにして切削装置１２により切削溝を形成していると、切削加工に伴うストリート４のＹ軸方向のズレや、スピンドル３２の熱膨張による切削ブレード３４のＹ軸方向のズレが生じる。このようなズレが生じた状態において、予め設定された割り出し送り量で割り出し送りしながら切削加工を繰り返すと、ストリート４から外れた位置を切削してしまいデバイス６を損傷させてしまうおそれがある。そこで、切削装置１２により切削溝を形成する際には、切削加工を数回行った後に加工位置の補正（すなわち、ストリート４と切削溝とのズレの補正）を行う。加工位置の補正では、まず、ストリート４と基準線ＬとのＹ軸方向におけるズレ量を求めストリート４の補正値として記憶するストリート補正を実施し、次いで切削溝と基準線ＬとのＹ軸方向のズレ量を求め切削溝の補正値として記憶する加工溝補正を実施する。なお、ストリート４に沿って形成された切削溝を図３に符号５４で示す。

ストリート補正では、まず図３に示すとおり、Ｘ軸送り手段およびＹ軸送り手段を作動してウエーハ２と撮像手段１８との位置合わせを行い、直近に切削溝５４が形成されたストリート４を撮像手段１８で撮像する。撮像手段１８で撮像された画像は、たとえば図５に示すとおりであり、表示手段２０の画像表示部３８に表示される。なお、ストリート４にＴＥＧ（Test Element Group）と称される金属パターンが周期的に設けられている場合には、ＴＥＧを切断した箇所の切削溝には金属バリ等が発生し、この箇所の切削溝を撮像してしまうと金属バリ等を切削溝として誤認するおそれがあることから、このような場合にはＸ軸作動部４４を作動することにより撮像手段１８で撮像するストリート４の位置の調整し、ＴＥＧが設けられていない箇所の切削溝を撮像する。次いで、撮像した画像に基づいて、図６に示すとおり、画像表示部３８に表示されたストリート４のＹ軸方向中央位置を、Ｙ軸作動部４６を作動して基準線Ｌに向かって移動する。この際、作業者は撮像した画像を見て、ストリート４のＹ軸方向中央位置が基準線Ｌに一致するように目分量でストリート４の位置を調整しているので、Ｙ軸作動部４６の１回の作動でストリート４のＹ軸方向中央位置を基準線Ｌに正確に位置づけるのは困難である。このため、一対の可動線４８の間隔をストリート４の幅に合わせるように可動線作動部５０を作動して、ストリート４のＹ軸方向中央位置が基準線Ｌに一致しているか否か確認する。上記のとおり、一対の可動線４８は、基準線Ｌを対称軸とする線対称の関係を保ちつつ接近および離反するので、一対の可動線４８の間隔がストリート４の幅に一致すると、ストリート４のＹ軸方向の中央位置と基準線Ｌとが一致したことになる。そして、Ｙ軸作動部４６の作動と可動線作動部５０の作動とを適宜繰り返し、図７に示すとおりに一対の可動線４８の間隔がストリート４の幅に一致したときに、ストリート補正ボタン４０にタッチする。そうすると、補正前の位置からのストリート４のＹ軸方向の移動距離（ストリート４と基準線Ｌとのズレ量）がストリート４のＹ軸方向の補正値として切削装置１２の上記記憶手段に記憶される。このストリート４の補正値は表示手段２０の補正値表示部５２に表示される（図示の実施形態では－５．５μｍ）。図示の実施形態では、このようなストリート補正の際に、作業員が誤って加工溝補正ボタン４２をタッチしてしまっても、一対の可動線４８の間隔が、切削溝５４の幅と認識される間隔に設定されていない場合にはエラーが報知されるので、ストリート４の補正値が切削溝５４の補正値として記憶されることはない。なお、図７には、便宜上、ストリート４の幅よりも若干広い間隔で一対の可動線４８を記載している。

次に加工溝補正について説明する。加工溝補正は、ストリート４のＹ軸方向中央位置を基準線Ｌに一致させた状態から開始し、まず、図８に示すとおり、画像表示部３８に表示された切削溝５４のＹ軸方向中央位置を、Ｙ軸作動部４６を作動して基準線Ｌに向かって移動する。次いで、一対の可動線４８の間隔を切削溝５４の幅に合わせるように可動線作動部５０を作動して、切削溝５４のＹ軸方向中央位置が基準線Ｌに一致しているか否か確認する。そして、Ｙ軸作動部４６の作動と可動線作動部５０の作動とを適宜繰り返し、図９に示すとおりに一対の可動線４８の間隔が切削溝５４の幅に一致したときに加工溝補正ボタン４２にタッチする。そうすると、ストリート４のＹ軸方向中央位置を基準線Ｌに一致させた状態からの切削溝５４のＹ軸方向の移動距離が切削溝５４のＹ軸方向の補正値として切削装置１２の上記記憶手段に記憶される。この切削溝５４の補正値は表示手段２０の補正値表示部５２に表示される（図示の実施形態では＋１．２μｍ）。図示の実施形態では、このような加工溝補正の際に、作業員が誤ってストリート補正ボタン４０をタッチしてしまっても、一対の可動線４８の間隔が、ストリート４の幅と認識される間隔に設定されていない場合にはエラーが報知されるので、切削溝５４の補正値がストリート４の補正値として記憶されることはない。なお、図９には、便宜上、切削溝５４の幅よりも若干広い間隔で一対の可動線４８を記載している。

上述したとおり加工位置の補正では、まずストリート補正において、補正前の位置からのストリート４のＹ軸方向の移動距離（ストリート４と基準線Ｌとのズレ量）を求め、次いで加工溝補正において、ストリート４のＹ軸方向中央位置を基準線Ｌに一致させた状態からの切削溝５４のＹ軸方向の移動距離（切削溝５４と基準線Ｌとのズレ量）を求めることにより、基準線Ｌを用いてストリート４と切削溝５４とのズレ量を正確に求めることができる。そして、予め設定された割り出し送り量に切削溝５４の補正値を加入した補正後の割り出し送り量で割り出し送りすることにより、ストリート４のＹ軸方向中央位置に切削溝５４を形成することができる。

以上のとおり図示の実施形態においては、一対の可動線４８の間隔が、ストリート４の幅と認識される間隔に設定されていない場合にストリート補正ボタン４０をタッチするとエラーが報知され、一対の可動線４８の間隔が、切削溝５４の幅と認識される間隔に設定されていない場合に加工溝補正ボタン４２をタッチするとエラーが報知されるので、ストリート４と基準線Ｌとのズレ量を切削溝５４の補正値として記憶することがないと共に、切削溝５４と基準線Ｌとのズレ量をストリート４の補正値として記憶することがなく、高精度に割り出し送りしてストリート４に高精度な切削溝５４を形成することができる。

なお、図示の実施形態では、保持手段１４に保持されたウエーハ２のストリート４を切削する切削ブレード３４を回転可能に備えた切削手段１６を備える切削装置１２について説明したが、保持手段に保持されたウエーハ２のストリート４にレーザー光線を照射して分割溝を形成するレーザー光線照射手段を備えるレーザー加工装置であってもよい。

２：ウエーハ
４：ストリート
１２：切削装置（加工装置）
１４：保持手段
１６：切削手段（加工手段）
１８：撮像手段
２０：表示手段
３４：切削ブレード
３６：顕微鏡
３８：画像表示部
４０：ストリート補正ボタン
４２：加工溝補正ボタン
４６：Ｙ軸作動部
４８：可動線
５０：可動線作動部
５４：切削溝（加工溝）
Ｌ：基準線

Claims

複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、
ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、
該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Ｙ軸送り手段を作動するＹ軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、
該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に該ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、
該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される加工装置。
該画像表示部に表示されたストリートの位置を該Ｙ軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線をストリートの幅に一致させた場合に該ストリート補正ボタンにタッチするとストリートの移動距離がストリートの補正値として記憶され、
該画像表示部に表示された加工溝の位置を該Ｙ軸作動部を作動して該基準線まで移動すると共に該可動線作動部を作動して該一対の可動線を加工溝の幅に一致させた場合に該加工溝補正ボタンにタッチすると加工溝の移動距離が加工溝の補正値として記憶される請求項１記載の加工装置。
該加工手段は、切削ブレードを回転可能に備えた切削手段であり、該加工溝は切削溝である請求項１記載の加工装置。