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Die
Erfindung betrifft allgemein elektronische Vorrichtungen einschließlich elektronischer
Zündvorrichtungen
zur Verwendung in Brennkraftmaschinen, die in Motorräumen von
Straßenfahrzeugen
angebracht sind, ohne jedoch darauf eingeschränkt zu sein, und insbesondere
elektronische Vorrichtungen mit harzgekapseltem Gehäuse.
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Eine
bekannte Struktur eines Halbleitergehäuses zur Verwendung in Brennkraftmaschinen, insbesondere
von Zündvorrichtungsmodulen,
ist aus
JP 2 590 601
B2 , auch als
JP
04-361 484 A veröffentlicht,
bekannt.
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Die
Zündvorrichtung-Gehäusestruktur,
die dort gelehrt wird, ist so beschaffen, dass eine Leiterplatte
und ein Leistungstransistor durch eine Pressspritztechnik unter
Verwendung von Kunstharz und einer als Kühlkörper dienenden Wärmeabführungsplatte
zu einem einzigen Bauteil zusammengefügt sind. Hierbei ist der Leistungstransistor
mit dem Kühlkörper über einen
Wärmeverteiler
und eine dazwischenliegende dielektrische Platte gekoppelt.
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Aus
JP 8-69 926 A ist
eine weitere für
Brennkraftmaschinen geeignete Zündvorrichtung
bekannt. Bei dieser Zündvorrichtung
sind im Innenraum eines kastenförmigen
Kühlkörpers eine
Steuerschaltungskarte und eine Leistungsschaltvorrichtung angebracht.
Die Leistungsschaltvorrichtung ist über ein Lötmittel, das eine Sn-Sb-Legierung
enthält,
mit dem Kühlkörper verbunden,
wobei die Legierung ein Gemisch aus Zinn (Sn) und Antimon (Sb) in
geeigneten Mischungsverhältnissen
umfasst. Die Steuerschaltungskarte ist durch einen Klebstoff auf
Silizumbasis mit dem Kühlkörper verklebt.
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Wenn
diese Teile oder Komponenten in der Gehäusestruktur angebracht worden
sind, wird ein Gel auf Siliziumbasis in den Kühlkörper eingespritzt. Aus
JP 8-69126 A ist
außerdem
bekannt, dass die obenerwähnte
Leistungstransistor-Verbindungstechnik unter Verwendung eines Lötmittels
auf harzgekapselte Transistorgehäuseeinheiten
(Pressspritzverfahren unter Verwendung von Epoxid), wovon jede lediglich
einen Leistungstransistor enthält,
anwendbar ist.
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Ein
nochmals weiterer Zugang des Standes der Technik ist aus
JP 9-17 7647 A bekannt,
der eine Zündvorrichtung
lehrt, die einen Halbleiter-IC-Chip aufweist, in den funktionale
Schaltungsanordnungen integriert sind.
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Die
Druckschrift
DE 40
06 153 C2 zeigt eine Epoxidharzmasse zum Einkapseln von
Halbleitern, die ein Epoxidharz, einen Härter, einen Füllstoff
aus α-Aluminiumoxid
mit einer Reinheit von mindestens 99,5 Gew.-% einem Na
2O-Gehalt
von bis zu 0,03 Gew.-% einem durch die Extraktion mit Wasser bei 100°C bestimmten
Na-Ionen-Gehalt von bis zu 5 ppm und einem analog bestimmten Cl-Ionen-Gehalt
von bis zu 1 ppm, wobei das α-Aluminiumoxid
eine mittlere Teilchengröße von 5
bis 60 μm
mit einem Anteil von bis zu 1 Gew.-% von Teilchen mit einer Teilchengröße von mindestens
250 μm aufweist,
und ein aus der Gruppe der Silikon-modifizierten Epoxidharze und
Silikon-modifizierten Phenolharze ausgewähltes Harz umfasst.
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Die
Druckschrift
DE 196
10 112 A1 offenbart ein Verfahren zum positionsgenauen
Auflöten
von flächigen
Halbleiterchips auf ein Substrat, bei dem ein Vakuum in einem Lötraum ein
Oberteil gegenüber einem
Unterteil relativbewegt und die an dem Oberteil seitenstabil gehaltenen
Chips in das erwähnte
Lot hineindrückt,
sowie eine Vorrichtung für
die Durchführung
dieses Verfahrens. Das Lot enthält
körner, bei
denen es sich beispielweise um Kupferkügelchen handeln kann.
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Typischerweise
werden elektronische Vorrichtungen, die für einen Einsatz in Brennkraftmaschinen
vorgesehen sind, etwa Zündvorrichtungen, unter
schwierigen Temperaturbedingungen verwendet, weshalb an die Komponenten
strenge Anforderungen. hinsichtlich der Dauerhaftigkeit und/oder
der Robustheit (lange Lebensdauer) gestellt werden. Weiterhin müssen in
Abhängigkeit
von den erforderlichen Spezifikationen einige Zündvorrichtungen mehrere Funktionen
erfüllen.
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Diese
Anforderungen werden von dem oben diskutierten herkömmlichen
Einchip-IC-Gehäusemodul
nicht erfüllt.
Daher besteht ein Bedarf an der getrennten Herstellung der Leistungshalbleitervorrichtung
und ihres zugehörigen
Substrats oder ihrer zugehörigen
Leiterplatte in getrennten Prozessschritten, um die erforderliche
Spezifikation vollständig
zu erfüllen.
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In
einer für
Brennkraftmaschinen geeigneten Halbleitergehäusestruktur muss vor allem
die Leistungshalbleiter-Schaltvorrichtung
mit erheblicher Eigenwärmeerzeugung
die Forderung nach einer langen Lebensdauer erfüllen.
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Da
derzeit erhältliche
Leistungshalbleiter-Vorrichtungen typischerweise aus Silizium (Si) hergestellt
sind, bewirken insbesondere in Fällen,
in denen das Silizium auf oder über
dem Kühlkörper gestapelt
ist, mögliche
Differenzen zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten von Silizium
und der Kühlkörperwerkstoffe
(beispielsweise beträgt
der lineare Ausdehnungskoeffizient von Silizium ungefähr 3 × 10–6/°C, während der
Kühlkörper, der
aus Kupfer hergestellt ist, einen linearen Ausdehnungskoeffizienten
von ungefähr
17 × 10–6/°C besitzt),
dass an den Lötabschnitten
unerwünschte
Beanspruchungen entstehen, die die Lebensdauer der gesamten Vorrichtung
beherrschen.
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Hochtemperatur-Lötmittel
auf Pb-Sn-Legierungsbasis (Pb:Sn = 90:10), die herkömmlicherweise als
Lötmittel
zur Verwendung mit elektronischen Komponenten dieses Typs verwendet
worden sind, können
die Differenzen zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten nicht
ausreichend absorbieren, so dass es nach wie vor schwierig ist,
die erforderliche lange Lebensdauer zu erzielen. Ein bekann ter Lösungsweg
zur Vermeidung dieses Problems besteht darin, zusätzlich ein
Wärmeentspannungselement
(das beispielsweise aus Molybdän
hergestellt ist) zu verwenden, das auflaminiert wird, um die Differenzen
zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten zu verringern und
dadurch die sich ergebenden Beanspruchungskräfte abzuschwächen oder
zu ”entspannen”.
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Es
könnte
in Betracht gezogen werden, das obengenannte Lötmittel auf Pb-Sn-Legierungsbasis durch
ein Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis (das beispielsweise aus Sn gebildet ist
und Sb in einem Anteil von 5 bis 8%, Ni in einem Anteil von 0,0
bis 0,8% sowie P in einem Anteil von 0,0 bis 0,1% enthält) zu ersetzen,
um eine Kopplung oder Haftung zwischen einer Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und ihrem zugeordneten Kühlkörper zu
erzielen, wie dies etwa aus
JP
8-69926 A bekannt ist.
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Das
Lötmittel
auf Sn-Sb-Basis besitzt eine inhärent
hohe physikalische Robustheit oder Steifigkeit, was eine Absenkung
der Ausbreitungsgeschwindigkeit thermischer Stöße, die aufgrund der Differenzen
zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten der Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und des Kühlkörpers auftreten,
ermöglicht
und daher erwarten lässt,
dass die Dauerhaftigkeit der Lötabschnitte
verbessert wird.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine harzgekapselte elektronische
Vorrichtung zur Verwendung in Brennkraftmaschinen zu schaffen, mit der
eine erhöhte
Dauerhaftigkeit (lange Lebensdauer) der Lötabschnitte einer Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und ferner eine erhöhte
Steifigkeit der gesamten Struktur erzielt werden können und
mit der ein erhöhter
Widerstand gegenüber
Biegebeanspruchungen und eine verringerte Verformbarkeit bei voller
Nutzung der Vorteile von Lötmitteln
auf Sn-Sb- Legierungsbasis
erhalten werden können.
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Der
Erfindung liegt die weitere Aufgabe zugrunde, für die Gesamtstruktur elektronischer
Vorrichtungen im Hinblick auf Umweltprobleme bleifreie Hochtemperatur-Lötmittel
zu verwenden.
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Diese
Aufgaben werden gelöst
durch eine harzgekapselte elektronische Vorrichtung nach Anspruch
1. Weiterbildungen der Erfindung sind in dem abhängigen Anspruch angegeben.
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Eine
elektronische Vorrichtung zur Verwendung in Brennkraftmaschinen
zur Erläuterung
der Erfindung besitzt die folgenden Merkmale: an einem aus Metall
hergestellten Kühlkörper sind
ein Substrat mit einer Hybrid-IC (im folgenden mit ”Hybrid-IC-Substrat” bezeichnet)
und eine Leistungshalbleiter-Vorrichtung befestigt; die Leistungshalbleiter-Vorrichtung
ist mit dem Kühlkörper unter
Verwendung eines eine Sn-Sb-Legierungsbasis enthaltenden Lötmittels in
Kontakt; und die Leistungshalbleiter-Vorrichtung und das Hybrid-IC-Substrat
sowie der Kühlkörper und
ein oder mehrere Eingangs-/Ausgangsanschlüsse mit
Ausnahme eines Teils der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse sind in ein Gehäuse eingebettet, das
aus Epoxid mit einem anorganischen Füllstoff in einem Anteil von
70 bis 80 Gew.-% mittels Pressspritztechniken hergestellt ist.
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Die
Erfindung lehrt eine harzgekapselte elektronische Vorrichtung zur
Verwendung in Brennkraftmaschinen, mit einem aus Metall hergestellten
Kühlkörper, an
dem ein Hybrid-IC-Substrat und eine Leistungshalbleiter-Vorrichtung
befestigt sind, und einem Gehäuse
aus Epoxid, in das die Leistungshalbleiter-Vorrichtung, das Hybrid-IC-Substrat
sowie der Kühlkörper und
eine oder mehrere Eingangs- /Ausgangsanschlüsse mit
Ausnahme eines Abschnitts der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse eingebettet sind,
die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Leistungshalbleiter-Vorrichtung
mit dem Kühlkörper über ein
Lötmittel
in Kontakt ist, das eine Sn-Sb-Legierung enthält, und das Gehäuse aus
einem Epoxid mit einem anorganischen Füllstoff in einem Anteil von
70 bis 90 Gew.-% mittels Pressspritztechniken hergestellt ist, und
das Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis
sphärische
Metallteile mit einem Durchmesser von 30 bis 150 μm enthält, um dadurch
die Filmdicke des Lötmittels
zu steuern.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung sind die Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und das Hybrid-IC-Substrat sowie der Kühlkörper und ein Teil der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse in ein
mittels Pressspritzen hergestelltes Epoxidgehäuse eingebettet, wobei das
Epoxid vorzugsweise so beschaffen ist, dass der Anteil des anorganischen
Füllstoffs spezifisch
in der Weise eingestellt ist, dass der resultierende lineare Ausdehnungskoeffizient des
Epoxids zwischen dem linearen Ausdehnungskoeffizienten der Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und demjenigen des Kühlkörpers liegt.
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Wenn
als Lötmittel
ein Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis verwendet wird, um einen Kontakt oder
eine Kopplung zwischen der Leistungshalbleiter-Vorrichtung (die
beispielsweise aus Silizium hergestellt ist) und dem Kühlkörper (der
beispielsweise aus Kupfer hergestellt ist) zu schaffen, ermöglicht die
Steuerung einer geeigneten Lötmitteldicke, dass
das Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis eine thermische Verformung (Ausdehnung,
Schrumpfung), die aufgrund der Differenzen zwischen den linearen
Ausdehnungskoeffizienten zwischen Silizium und dem Kühlkörperwerkstoff
auftritt, unterdrücken kann.
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Da
wie oben erwähnt
das Sn-Sb-Lötmittel
inhärent
eine hohe physikalische Steifigkeit besitzt und da es gleichzeitig
möglich
ist, dass das mittels Pressspritzen hergestellte Epoxidgehäuse einen
hohen Anteil eines anorganischen Füllstoffs aufweist (viel höher als
in Standardzusammensetzungen), damit der lineare Ausdehnungskoeffizient
des Epoxidgehäuses
zwischen dem linearen Ausdehnungskoeffizienten von Silizium und
demjenigen des aus Kupfer hergestellten Kühlkörpers liegt und beispielsweise ungefähr 10 × 10–6/°C beträgt, kann
eine Verformung aufgrund einer thermischen Ausdehnung oder Schrumpfung
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung und/oder des Kühlkörpers verhindert
werden.
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Da
das Epoxid anorganische Füllstoffe
in einem hohen Anteil enthält,
ist zu erwarten, dass hierdurch im Gehäuse angebrachte elektronische
Teile oder Komponenten mit größerer Steifigkeit
befestigt sind, da es härter
ist als herkömmliche
Epoxidwerkstoffe, die für
dielektrische Strukturen verwendet werden.
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Folglich
ist es möglich,
die Ausbreitungsgeschwindigkeit thermischer Stöße, die aufgrund von Differenzen
zwischen dem linearen Ausdehnungskoeffizienten zwischen der Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und dem Kühlkörper auftreten,
zu reduzieren. Dadurch kann die Dauerhaftigkeit oder Beständigkeit der
Lötabschnitte
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung verbessert
werden.
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Es
wird ferner angemerkt, dass bei der Anwendung von Pressspritzprozessen
auf Hybrid-IC-Substrate die Entstehung von Biegebeanspruchungen
beachtet werden sollte, da derartige Hybrid-IC-Substrate im allgemeinen
Keramikwerkstoffe auf Aluminiumoxidbasis verwenden.
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In
diesem Fall ermöglicht
die Verwendung eines Lötmittels
auf Sn-Sb-Legierungsbasis mit erhöhter Steifigkeit für die Kopplung
oder Verbindung der Leistungshalbleiter-Vorrichtung, die Steifigkeit des das
Hybrid-IC-Substrat unterstützenden
Kühlkörpers zu
erhöhen,
wodurch mögliche
Verformungen selbst bei Ausübung
von Biegebeanspruchungen auf das Hybrid-IC-Substrat und/oder den
Kühlkörper reduziert
werden können.
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Eine
harzgekapselte elektronische Vorrichtung gemäß der Erfindung kann die folgenden
Merkmale aufweisen: an einem aus einem Metall hergestellten Kühlkörper sind
ein Hybrid-IC-Substrat und eine Leistungshalbleiter-Vorrichtung befestigt;
die Leistungshalbleiter-Vorrichtung ist mit dem Kühlkörper unter
Verwendung eines Lötmittels,
das eine Sn-Sb-Legierung enthält,
in Kontakt; ein leitendes Material auf dem Hybrid-IC-Substrat enthält einen Leiter
auf Ag-Pt-Legierungsbasis oder einen Leiter auf Cu-Basis, während das
zum Verlöten
mehrerer Komponenten mit dem Hybrid-IC-Substrat verwendete Lötmittel
ein Lötmittel
auf Sn-Ag-Legierungsbasis oder ein Lötmittel auf Sn-Ag-Cu-Legierungsbasis sein
kann; und die Leistungshalbleiter-Vorrichtung und das Hybrid-IC-Substrat sowie der
Kühlkörper und
ein oder mehrere der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse sind mit Ausnahme eines
Teils der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse in einem aus Kunstharz mittels
Pressspritzen hergestellten Gehäuse
eingebettet.
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Mit
einer solchen Anordnung können
thermische ”Entspannungs”-Stöße bei der
Leistungshalbleiter-Vorrichtung
und beim Kühlkörper unterdrückt werden,
wobei gleichzeitig die Vorteile von Lötmitteln auf Sn-Sb-Legierungsbasis vollständig genutzt
werden können
und wobei es ferner möglich
ist, dass die Lötabschnitte
dieser Leistungshalbleiter-Vorrichtung und andere Teile oder Komponenten,
die ihr zugehören,
unter Verwendung von bleifreien Hochtemperatur-Lötmitteln befestigt werden können.
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Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deutlich beim Lesen der
folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, die
auf die Zeichnung Bezug nimmt; es zeigen:
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1A eine
Seitenschnittansicht einer harzgekapselten elektronischen Vorrichtung
gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung;
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1B eine
Draufsicht der Vorrichtung nach 1A;
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2 eine
perspektivische Ansicht zur Erläuterung
des inneren Aufbaus der Vorrichtung nach 1A oder 1B;
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3 eine
Seitenschnittansicht: einer herkömmlichen
Zündvorrichtung;
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4 einen
Ablaufplan zur Erläuterung
der Montageprozessschritte für
eine herkömmliche Zündvorrichtung;
und
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5 einen
Ablaufplan zur Erläuterung
der Montageprozessschritte für
eine Zündvorrichtung
der Erfindung.
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Die 1A, 1B und 2 zeigen
eine Zündvorrichtung,
die ein Beispiel einer harzgekapselten elektronischen Vorrichtung
zur Verwendung in Brennkraftmaschinen gemäß einer Ausführungsform der
Erfindung darstellt. Hierbei zeigt 1A eine
Seitenschnittansicht dieser Ausführungsform,
während 1B eine
Draufsicht und 2 eine perspektivische Ansicht
hiervon zeigen, wobei das Außengehäuse zur
Erläuterung
wegggelassen ist.
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In
der Zeichnung bezeichnet das Bezugszeichen 1 einen Kühlkörper, der
entweder aus Kupfer oder Aluminium hergestellt ist; das Bezugszeichen 2 bezeichnet
ein Hybrid-IC-Substrat
(Hybrid-Leiterplatte); und das Bezugszeichen 3 bezeichnet
eine Leistungshalbleiter-Vorrichtung.
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Am
Substrat sind mehrere Teile oder Komponenten angebracht (befestigt),
die die geforderten Funktionen der Zündvorrichtung ausführen. Diese Komponenten
umfassen einen Hybrid-IC 10, einen Chipkondensator 11,
einen Mikroprozessor-IC (MIC) und dergleichen. Die Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 wird
als Schaltelement verwendet, das einen Primärstrom an eine oder mehrere
(nicht gezeigte) Zündspulen
durchlässt
oder unterbricht und typischerweise aus einem Leistungstransistor
oder alternativ als Isolierschicht-Bipolartransistor (IGBT) oder dergleichen
gebildet ist.
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Wenn
ein IGBT verwendet wird, kann die Wärmeerzeugung der Schaltvorrichtung
reduziert werden, was die thermischen Beanspruchungen, die aufgrund
der Eigenwärmeerzeugung
auftreten, reduziert oder minimiert.
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Die
Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 ist mit dem Kühlkörper 1 durch
ein Lötmittel 4 auf
Sn-Sb-Legierungsbasis starr gekoppelt. Das Lötmittel auf Sn-Sb-Legierungsbasis
kann einen Werkstoff auf Sn-Basis umfassen, der Sb in einem Anteil
von 5 ± 0,5
Gew.-%, Ni in einem Anteil von 0,6 ± 0,2 Gew.-% und P in einem
Anteil von 0,05 ± 0,015
Gew.-% enthält.
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Das
Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis besitzt eine inhärent geringere Benetzbarkeit
in Bezug auf Kupfer oder Aluminium; wenn daher diese Lötabschnitte
des Kühlkörpers 1 einer
Ni-Metallisierungsbehandlung oder Ni-Plattierungsbehandlung mit
guter Affinität
bis zu einer vorgegebenen Dicke von 2 bis 10 Mikrometern (μm) unterworfen
werden, um die erforderlichen Plattierungsprozesse abzuschließen, sind
optimale Ergebnisse zu erwarten, wenn das hierbei verwendete Ni-Lötmittel
keinen Phosphor (P) enthält,
wobei bessere Ergebnisse bereits erhalten werden können, so
lange das Material höchstens
10 Gew.-% Phosphor enthält.
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Ferner
ist das Lötmittel 4 auf
Sn-Sb-Legierungsbasis ohne weiteres oxidierbar; daher werden die
Lötprozesse
unter Verwendung von Oxidations-/Reduktionsöfen in einer Wasserstoff- oder Stickstoffatmosphäre oder
alternativ in einer Atmosphäre
aus Gemischen hiervon ausgeführt.
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Es
wird angemerkt, dass das Lötmittel 4 auf Sn-Sb-Legierungsbasis
insbesondere sphärische metallische
Partikel oder ”Mikrometallkugeln” mit einem
Durchmesser von 30 bis 150 μm
enthält,
die ermöglichen,
dass das resultierende Lötmittel
eine gleichmäßige Dicke
besitzt.
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Die
Mikrometallkugeln 9 können
typischerweise aus bestimmten Metallwerkstoffen hergestellt sein,
die einen ähnlichen
linearen Ausdehnungskoeffizienten wie Sn besitzen, das die Hauptkomponente des
Lötmittels
auf Sn-Sb-Legierungsbasis
bildet, d. h. 10 bis 30 × 10–6/°C. In dieser
Weise wird die erwünschte
Lötverbindung
bei stark erhöhter
Zuverlässigkeit
und Stabilität
erzielt.
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Wegen
der Tatsache, dass das Hybrid-IC-Substrat 2 unter Verwendung
von Keramikwerkstoffen auf Aluminiumoxid-Basis bearbeitet wird und
keine nennenswerte Wärmemenge
erzeugt, wird dieses Substrat am Kühlkörper unter Verwendung eines
Klebstoffs 13 auf Harzbasis angebracht oder angeklebt.
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Ein
leitender Werkstoff (nicht gezeigt) auf dem Hybrid-IC-Substrat 2 ist
aus einem Leiter auf Silber-Platin-Legierungsbasis (Ag-Pa-Legierungsbasis) oder
alternativ auf Kupfer-Basis (Cu-Basis) hergestellt, wobei als Lötmittel
zum Verlöten
der am Hybrid-IC-Substrat 2 anzubringenden Komponenten (einschließlich des
Kondensators 11, der Bonddraht-Anschlussflächen 8 und
dergleichen) ein Lötmittel
auf Sn-Ag-Legierungsbasis oder auf ein Lötmittel auf Sn-Ag-Cu-Legierungsbasis
verwendet werden können.
Eine typische Zusammensetzung eines Lötmittels auf Sn-Ag-Legierungsbasis enthält Ag in
einem Anteil von 1 bis 4 Gew.-% in Sn.
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Im
Fall eines Lötmittels
auf Sn-Ag-Cu-Legierungsbasis ist Ag in Sn in einem Anteil von 3
bis 4 Gew.-% und Cu in Sn in einem Anteil von 0,1 bis 1 Gew.-% enthalten.
Diese Lötmittel
besitzen ein inhärent
höheren
Schmelzpunkt als Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis und schaffen daher die Möglichkeit,
eine unerwünschte
Ausdiffundierung der leitenden Substratmaterialien und Lötmittel
bei hohen Temperaturen in Betriebsumgebungen zu unterdrücken, ferner
kann mit ihnen die Lebensdauer der Lötabschnitte verbessert werden,
wobei gleichzeitig die Schmelzbarkeit bei jenen Temperaturen während der Lötmontage
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 niedrig ist.
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Die
Bezugszeichen 6-1 bis 6-3 bezeichnen Eingangs-/Ausgangsanschlüsse; beispielsweise
wird ein Signaleingangsanschluss 6-1 zum Eingeben oder Empfangen
eines von einer Motorsteuereinheit (ECU) ankommenden Zündsignals
verwendet, während
ein Ausgangsanschluss 6-2 mit dem Kollektor der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 verbunden
ist und ein Anschluss 6-3 ein Masseanschluss ist.
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Die
Eingangs-/Ausgangsanschlüsse 6-1 bis 6-3 werden
zunächst
mittels Pressbearbeitung einteilig mit dem Kühlkörper 1 hergestellt,
indem sie aus derselben Metallplatte gebildet werden. Von diesen Anschlüssen werden
die beiden Anschlüsse 6-1 und 6-3,
die über
Leiter mit der Hybrid-IC 10 elektrisch verbunden werden
sollen, vom Kühlkörper 1 abgeschnitten
und getrennt, um über
Drähte 5 und
Anschlussflächen 8 sowie über einen
oder mehrere Leiter mit der Hybrid-IC 10 elektrisch verbunden
zu werden.
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Der
verbleibende Anschluss 6-2, der mit der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 2 elektrisch
verbunden werden soll, wird mit dieser über den Kühlkörper 1 und ein Lötmittel
auf Sn-Sb-Legierungsbasis elektrisch verbunden, wobei er mit dem
Kühlkörper 1 einteilig
verbunden bleibt.
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Für eine primärseitige
Stromsteuerung und einen Masseanschluss der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 ist
das Hybrid-IC-Substrat 2 mit der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 über Aluminiumdrähte 5 und
Anschlussflächen 8 elektrisch
verbunden.
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Die
sich ergebende Montagestruktur der elektronischen Vorrichtung (einschließlich des
Kühlkörpers 1,
des Hybrid-IC-Substrats 2,
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3, der Aluminiumdrähte 5,
des Chipkondensators 4, der Mikroprozessor-IC(MIC) und
der Anschlussflächen 8)
und ein Teil der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse 6-1 bis 6-3 sind
in ein mittels Pressspritzen hergestelltes Epoxidgehäuse 7, das
einen anorganischen Füllstoff
in einem Anteil von 70 bis 90 Gew.-% enthält, eingebettet.
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Der
anorganische Füllstoff,
der in das Epoxidgehäuse 7 gemischt
ist, kann ein gerundeter Füllstoff
wie etwa geschmolzenes Siliziumoxid sein, um die Gefahren einer
Beschädigung
der Halbleiterkomponenten zu reduzieren oder zu minimieren, wobei die
Verwendung des anorganischen Füllstoffs
in einem hohen Anteil ermöglicht,
dass das Epoxid hinsichtlich seines minimalen Ausdehnungskoeffizienten
so eingestellt werden kann, dass dieser zwischen dem linearen Ausdehnungskoeffizienten
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung
(Silizium) von 3 × 10–6/°C und demjenigen
des Kühlkörpers (Kupfer)
von 17 × 10–6/°C liegt;
vorzugsweise liegt der Wert des linearen Ausdehnungskoeffizienten
des mit dem anorganischen Füllstoff
angereicherten Epoxids bei ungefähr
10 × 10–6/°C oder etwas
mehr oder etwas weniger. Es wird angemerkt, dass im Fall von Aluminiumoxid-Keramiken
der lineare Ausdehnungskoeffizient bei ungefähr 7 × 10–6/°C liegt.
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Wenn
in die Vorrichtung der Erfindung von der externen ECU über den
Anschluss 6-1 ein Zündsignal
eingegeben wird, arbeitet die Hybrid-IC 10 in der Weise,
dass die Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 entsprechend
einer Primärstromsteuerung
eingeschaltet und ausgeschaltet wird, wodurch auf der Sekundärseite der
(nicht gezeigten) Zündspule
hohe Spannungen erzeugt werden.
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Obwohl
die Differenz zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten des
konstitutiven Materials der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3,
also Silizium, und dem Material des Kühlkörpers 1, also Kupfer oder
Aluminium, erheblich ist, ist es möglich, die Widerstandsfähigkeit
gegenüber
Stößen an den
Lötkontaktabschnitten
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung zu erhöhen und die Lebensdauer dieser
Abschnitte zu verlängern,
da das Lötmittel 4 auf Sn-Sb-Legierungsbasis eine
höhere
Steifigkeit als derzeit erhältliche
Standard-Hochtemperatur-Lötmittel
(Pb:Sn = 90:10 oder ähnlich)
und somit in Verbindung mit der Verwendung des Epoxids mit einem
hohen Anteil eines anorganischen Füllstoffs (Pressspritzen) eine
ausgezeichnete Widerstandsfähigkeit
gegenüber
Wärmezyklen
besitzt.
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Genauer
ist das Lötmittel 4 auf
Sn-Sb-Legierungsbasis aufgrund seiner hohen Steifigkeit in der Lage,
eine thermische Verformung (Ausdehnung, Schrumpfung), die aufgrund
einer Differenz zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten von
Silizium und des Kühlkörperwerkstoffs
auftritt, zu unterdrücken
und gleichzeitig zuzulassen, dass das mittels Pressspritzen hergestellte
Epoxidgehäuse 7 einen spezifischen
anorganischen Füllstoff
in einem hohen Anteil (viel höher
als der Standardanteil) enthält.
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Da
der lineare Ausdehnungskoeffizient zwischen dem linearen Ausdehnungskoeffizienten
von Silizium und demjenigen des Kühlkörpers (Kupfer) liegt und beispielsweise
10 × 10–6/°C beträgt und da eine
mögliche
thermische Ausdehnungs- oder Schrumpfungsverformung
der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 und/oder
des Kühlkörpers 1 unterdrückt werden
kann, weil das Epoxid einen anorganischen Füllstoff in einem sehr hohen
Anteil enthält,
ist zu erwarten, dass elektronische Komponenten im Gehäuse 1 starr
befestigt werden können,
da der Werkstoff härter
ist als herkömmliche
Epoxidwerkstoffe, die in dielektrischen Strukturen verwendet werden.
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Daher
können
die Ausbreitungsgeschwindigkeiten thermischer Stöße, die aufgrund von Differenzen
zwischen den linearen Ausdehnungskoeffizienten zwischen der Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 und
dem Kühlkörper 1 auftreten,
stärker
als jemals zuvor abgesenkt werden, so dass es möglich ist, die Dauerhaftigkeit
der Lötabschnitte
zu verbessern.
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Da
bei Pressspritzprozessen in Verbindung mit dem Hybrid-IC-Substrat 2 die
Entstehung von Biegebeanspruchungen berücksichtigt werden muss, wird
das Hybrid-IC-Substrat typischerweise aus Keramikwerkstoffen auf
Aluminiumoxid-Basis
hergestellt.
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In
der erläuternden
Ausführungsform
ermöglicht
die Verwendung des Lötmittels 4 auf
Sn-Sb-Legierungsbasis mit erhöhter
Steifigkeit für
die Verbindung der Leistungshalbleiter-Vorrichtung die Erhöhung der
sich ergebenden Steifigkeit des Kühlkörpers, an dem das Hybrid-IC-Substrat
angebracht ist, wodurch wiederum jegliche Verformbarkeit bei Ausübung von
Biegebeanspruchungen auf das Hybrid-IC-Substrat und/oder den Kühlkörper reduziert oder
minimiert wird.
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Ein
weiterer Vorteil dieser Ausführungsform betrifft
die Fähigkeit,
bleifreie Hochtemperatur-Lötmittel
für die
Lötabschnitte
in der gesamten Vorrichtung dieses Typs zu verwenden, was zu einem
erhöhten
Umweltschutz beiträgt.
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Ein
nochmals weiterer Vorteil dieser Ausführungsform ist, dass die Anzahl
der erforderlichen Teile oder Komponenten gegenüber herkömmlichen Produkten verringert
ist, wobei die Herstellungskosten durch eine optimale Auslegung
der Prozessschritte der Herstellung gesenkt werden können.
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In 3 ist
eine Seitenschnittansicht einer herkömmlichen Zündvorrichtung gezeigt. In 3 werden
die gleichen Bezugszeichen verwendet, um gleiche oder ähnliche
Teile wie in den 1A, 1B und 2 zu
bezeichnen.
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Das
Bezugszeichen 20 bezeichnet einen Kühlkörper, der Kastenform besitzt
und in dem ein Hybrid-IC-Substrat 2 und eine Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 angebracht
sind. Die Leistungshalbleiter-Vorrichtung 3 ist unter Verwendung
eines Lötmittels 24 auf
Pb-Sn-Legierungsbasis mit einer Molybdän-Platte (die als Wärmestoß-Entspannungsmaterial
dient) 22 gekoppelt, wobei die Molybdän-Platte 22 ihrerseits
mittels Silber (Bezugszeichen 23) mit dem Kühlkörper 20 verlötet ist.
Das Hybrid-IC-Substrat 2 ist durch einen Klebstoff 27 auf
Silizium-Basis oder dergleichen an den Kühlkörper 20 geklebt.
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An
einer gegossenen Anschlusshalterung (Anschlusseinheit-Baueinheit) 26 sind
Eingangs-/Ausgangsanschlüsse 6 in
der Weise starr befestigt, dass sie mit dieser ein einziges Bauteil
bilden, wobei die Anschlusshalterung 26 am Kühlkörper 20 befestigt
ist. In 4 ist eine Reihe von Montageprozessschritten
hiervon gezeigt.
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In 5 ist
der Ablauf von Montageprozessschritten zur Herstellung der erfindungsgemäßen elektronischen
Vorrichtung gezeigt. Wie dem Fachmann bei Betrachtung von 5 im
Vergleich zu 4 ohne weiteres deutlich wird,
ist diese Ausführungsform
so beschaffen, dass die konstitutiven Komponenten der elektronischen
Vorrichtung mit Ausnahme eines Teils der Eingangs-/Ausgangsanschlüsse (externe
Verbindungsanschlüsse)
in ein mittels Pressspritzen hergestelltes Epoxidgehäuse eingebettet
sind, was im Vergleich zum Stand der Technik die folgenden Vorteile
bietet:
Diese Ausführungsform
erfordert keine Molybdän-Platten
mehr und vermeidet die Notwendigkeit, die Anschlussbaueinheit am
Kühlkörper durch
Kleben und durch Siliziumgeleinspritz- und -härtungsprozesse zu befestigen,
was wiederum eine erhebliche Verringerung der Anzahl der Teile und
der Prozessschritte mit sich bringt.
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Erfindungsgemäß ist es
möglich,
die Robustheit (lange Lebensdauer) der Lötabschnitte einer Leistungshalbleiter-Vorrichtung zur Verwendung
in Brennkraftmaschinen, die unter schwierigen Umgebungstemperaturbedingungen
verwendet wird, zu verbessern, gleichzeitig können niedrige Herstellungskosten
für die
hochzuverlässige
elektronische Vorrichtung erzielt werden. Die elektronische Vorrichtung
ist gegenüber
Biegebeanspruchungen widerstandsfähig und somit aufgrund der
erhöhten
Steifigkeitseigenschaften der gesamten Vorrichtung weniger verformbar
ist.
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Für die gesamte
elektronische Vorrichtung kann ein bleifreies Hochtemperatur-Lötmittel
verwendet werden, was einen Beitrag zum Umweltschutz darstellt.