CN1817767A - 空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置 - Google Patents

空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置 Download PDF

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Abstract

一种空气浮起运送装置，从配置在平面基板的下方的空气浮起单元喷出空气，将平面基板浮起，并由送给机构向前方移送，其中，位于上述平面基板的移送方向的前端的空气浮起单元的下游端附近设置增大上述平面基板的浮起量的机构。

Description

空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置
技术领域
本发明涉及半导体衬底、液晶基板等的薄板的运送装置，特别是涉及利用空气浮起而能无破损和损伤地进行运送的空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置。
背景技术
一般，将液晶基板等薄的平面基板利用气体浮起并运送的装置被提出有多种。
例如，在图4所示的空气浮起运送装置中，朝向平面基板1的下面喷出空气的多个喷嘴2的空气浮起单元3隔开规定间隔配置。这样的结构的空气浮起运送装置中，由图外的送给机构将平面基板1向箭头A方向运送时，平面基板1的刚性小的情况下，如图所示在空气浮起单元3的非连续部分的不喷出空气的位置产生挠曲量T。因此，平面基板1越过空气浮起单元3的间隙时，与空气浮起单元3干涉，可能使平面基板1破损或受伤。
另外，如图5所示，在配置成多个的空气浮起单元3的高度调整不充分而出现高度偏移H的情况下，即使平面基板1的刚性足够大而几乎不产生挠曲时，平面基板1和空气浮起单元3也有可能干涉。
为解决该缺陷而考虑图6所示的结构的空气浮起运送装置。该空气浮起运送装置考虑到平面基板1的挠曲量T或高度偏移H，要将平面基板1的整体的浮起量提高，为此而将来自喷嘴2的空气喷出量设定得大。
另外，如特开2003-292153号公报、特开2002-151571号公报、特开2002-151570号公报中公开了与上述技术相关的内容。
但是，这些现有的技术中，即将来自喷嘴的空气喷出量设定得大而增大平面基板整体的浮起量的空气浮起运送装置中，存在空气消耗量显著增加的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而研发的，其提供抑制空气消耗量的增加，防止平面基板的挠曲及空气浮起单元的高度位置偏移而造成平面基板和空气浮起单元干涉的空气浮起单元、运送方法以及空气浮起运送装置。
本发明的空气浮起单元，其从运送面喷出空气而使被浮起物浮起，其特征在于，设置有从单元的运送面、从被浮起物的下面和单元端部朝中央部喷出空气的喷嘴。
本发明的运送方法，其特征在于，在从运送面喷出空气而使被浮起物浮起的浮起单元中，从单元的运送面、从被浮起物的下面和单元端部朝中央部喷出空气，并运送被浮起物。
本发明的空气浮起运送装置，其从配置在平面基板的下方和/或侧方的空气浮起单元喷出空气，使平面基板浮起，并由送给机构向前方移送，其特征在于，位于上述平面基板的移送方向的前端的空气浮起单元的下游端附近设置增大上述平面基板的浮起量的机构。
另外，本发明的上述空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是空气喷出量大的喷嘴。
另外，本发明的上述空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是具有与上述平面基板的移送方向反向的流动成分的喷嘴。
另外，本发明的上述空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是从空气浮起单元的下游端朝中央喷出空气的喷嘴。
另外，本发明的上述空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是设于空气浮起单元的下游端附近的分立的喷出喷嘴。另外，本发明的上述空气浮起运送装置，其特征在于，上述空气浮起单元设置多个，该浮起单元的某一个的浮起力与其他浮起单元的浮起力不同。
由于上述结构，本发明具有以下效果。
根据本发明，空气浮起运送装置从配置在平面基板的下方的空气浮起单元喷出空气而使平面基板浮起，并由送给机构向前方移送，由于在位于上述平面基板的移送方向的前端的空气浮起单元的下游端附近设置增大上述平面基板的浮起量的机构，故可防止平面基板的挠曲和空气浮起单元的高度偏移造成的平面基板和空气浮起单元干涉而损伤的问题。另外，可抑制空气消耗量的增加。
另外，本发明中，由于上述增大浮起量的机构是空气喷出量大的喷嘴，所以平面基板的前端部大幅度浮起而不会在空气浮起单元的间隙与下一个空气浮起单元接触，不会损坏平面基板。
另外，本发明由于上述增大浮起量的机构是具有与上述平面基板的移送方向反向的流动成分的喷嘴，所以通过与平面基板的前进反向反向的空气而使前端部大幅度浮起，不会在空气浮起单元的间隙与下一个空气浮起单元接触。另外，喷嘴的空气消耗量也不会增加。
另外，本发明中，上述增大浮起量的机构是从空气浮起单元的下游端朝中央喷出空气的喷嘴，所以平面基板的前端附近的空气的喷出被妨碍，滞留的空气量增加，平面基板的浮起量增加。而且，喷嘴的空气消耗量也不会增加。另外，由于上述增大浮起量的机构是设于空气浮起单元的下游端附近的独立的喷出喷嘴，空气浮起单元自身的结构不改变，而能够防止平面基板的挠曲和空气浮起单元的高度偏移造成的平面基板和空气浮起单元干涉而损伤的问题。另外，空气浮起单元的浮起力存在差异，而在由柔性材料构成被运送物的情况下，则使其变形成所希望的形状，并且进行运送或支承。
另外，由于在位于平面基板的运送反向上的空气浮起单元的下游端附近设有增大平面基板的浮起量的机构，所以可实现防止平面基板的挠曲和空气浮起单元的高度偏移造成的平面基板和空气浮起单元干涉而损伤的目的。
本发明的上述目的、其他目的、特征、优点等，根据附图和实施例的记载，本领域技术人员可清楚明白。
附图说明
图1是表示本发明的空气浮起运送装置的第一实施例的立体图；
图2是表示该空气浮起运送装置的第二实施例的立体图；
图3是表示该空气浮起运送装置的第三实施例的立体图；
图4是表示用空气浮起运送装置运送刚性小的平面基板的情况的说明图；
图5是表示空气浮起运送装置高度调整不充分的情况下的说明图；
图6是表示空气浮起运送装置中增加来自全部喷嘴的空气喷出量的情况的说明图；
图7是表示本发明的空气浮起运送装置的第四实施例的立体图。
具体实施方式
以下参照附图详细说明实施例。
(第一实施例)
图1是表示本发明的空气浮起运送装置的第一实施例的说明图。在此，空气浮起运送装置从配置在平面基板10的下方的空气浮起单元11喷出空气将平面基板10浮起，并且由图外的送给机构向前方运送，位于平面基板10的运送方向A的前端的空气浮起单元11的下游端附近11a设置增大平面基板10的浮起量的机构即具有与平面基板10的运送方向A反向的流动成分的倾斜喷嘴12。
本实施例中，空气浮起单元11具有朝上开设的多个垂直喷嘴13。从空气供给管14向垂直喷嘴13一并提供空气。另外，空气浮起单元11的下游端附近11a设置的倾斜喷嘴12也同样从空气供给管14提供空气。倾斜喷嘴12从空气浮起单元11的下游端朝中央部喷出空气。
下面说明以上构成的空气浮起运送装置的动作和运送方法。首先，如图1所示，在空气浮起单元11的下游端设置倾斜喷嘴12，故向平面基板10的运送方向A的空气流动被阻止，并且由反向的空气流使其附近滞留的空气量增加，平面基板10的前端向上升起L的量。因此，即使平面基板10的刚性小而产生挠曲或空气浮起单元11的高度调整不充分，平面基板10在越过空气浮起单元的间隙时也不会与空气浮起单元11接触而破损。另外，倾斜喷嘴12的空气喷出量由于与垂直喷嘴13的空气喷出量相同，故不会导致装置整体的空气消耗量的增加。
(第二实施例)
另外，图2是表示本发明的空气浮起运送装置的第二实施例的立体图。该实施例中，如图2所示在空气浮起单元21的下游设有增大平面基板10的浮起量的机构即分体的喷出喷嘴15。喷出喷嘴15从空气浮起单元21的下游端朝中央部喷出空气。
在具有上述那样的结构的空气浮起运送装置中，也是从空气浮起单元21的下游端朝中央部喷出空气，向平面基板10的运送反向A的空气流动被阻止，由反向的空气流使平面基板10的前端向上升起L的量。因此，即使平面基板10的刚性小而产生挠曲，或空气浮起单元21的高度调整不充分，平面基板10在越过空气浮起单元的间隙时也不会与空气浮起单元21接触而破损。另外，倾斜喷嘴15的空气喷出量由于与垂直喷嘴13的空气喷出量大致相同，故不会导致空气消耗量的增加。另外，由于分体设置有喷出喷嘴15，故可自由调整喷出方向和喷出量。
(第三实施例)
图3表示本发明的空气浮起运送装置的第三实施例的说明图。该实施例中，增大浮起量的机构是设于空气浮起单元31的下游端附近的空气喷出量大的喷嘴30。喷嘴30与配置于空气浮起单元31的空气供给管32连通，垂直喷出空气。另外，垂直喷嘴13也分别与空气供给管32连通。另外，也可以代替空气喷出量大的喷嘴30，增大垂直喷嘴13的配置密度，增大喷出空气量。
其次，具有上述结构的空气浮起运送装置在空气浮起单元31的下游端喷出空气量增加，故平面基板10的前端向上升起L的量。因此，即使平面基板10的刚性小而产生挠曲，或空气浮起单元21的高度调整不充分，平面基板10在越过空气浮起单元的间隙时也不会与空气浮起单元21接触而破损。
另外，与增大空气浮起单元整体的空气喷出量、整体增大平面基板10的浮起量的方法比较，可减少空气消耗量。
另外，在本发明的第二实施例中，分体的喷出喷嘴15也可以是垂直喷出空气的喷出空气量大的喷嘴。
(第四实施例)
图7表示本发明的第四实施例。
该第四实施例中，在平面基板10的周围的四个方向分别设置空气浮起单元31，从这些空气浮起单元31，从平面基板10的下面的外侧朝向内侧喷出空气。
该第四实施例中，也能够由喷出的空气浮起平面基板10。
另外，在上述第一～第四实施例中，通过对多个空气浮起单元的空气的浮起力(空气的风量和/或压力)赋予强弱，则例如柔性材料形成的被运送物可在弯成规定形状的状态下进行运送。
上面参照特定的实施例详细记载和图示了本发明，但是该记载并不意味着是对本发明的限定。即，图示的实施例的各种变形和本发明的其他实施例可参照本发明的说明书被本领域技术人员知晓。因此，只要不脱离本发明权利要求书记载的发明范围，可进行各种变更。
另外，本发明主张2005年2月9日在日本申请的专利申请第2005-033040号的优先权，并援引其内容。

Claims (8)

1.一种空气浮起单元，其从运送面喷出空气而使被浮起物浮起，其特征在于，设置有从单元的运送面、从被浮起物的下面和单元端部朝中央部喷出空气的喷嘴。
2.一种运送方法，其特征在于，在从运送面喷出空气而使被浮起物浮起的浮起单元中，从单元的运送面、从被浮起物的下面和单元端部朝中央部喷出空气，并运送被浮起物。
3.一种空气浮起运送装置，其从配置在平面基板的下方和/或侧方的空气浮起单元喷出空气，使平面基板浮起，并由送给机构向前方移送，其特征在于，位于上述平面基板的移送方向前端的空气浮起单元的下游端附近设置增大上述平面基板的浮起量的机构。
4.如权利要求3所述的空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是空气喷出量大的喷嘴。
5.如权利要求3所述的空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是具有与上述平面基板的移送方向反向的流动成分的喷嘴。
6.如权利要求3所述的空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是从空气浮起单元的下游端朝中央喷出空气的喷嘴。
7.如权利要求3所述的空气浮起运送装置，其特征在于，上述增大浮起量的机构是设于空气浮起单元的下游端附近的独立的喷出喷嘴。
8.如权利要求3所述的空气浮起运送装置，其特征在于，上述空气浮起单元设置多个，该浮起单元的某一个的浮起力与其他浮起单元的浮起力不同。
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