CN1753600A - 多层结构形成方法、配线基板和电子仪器的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明是用喷墨法形成稳定的多层结构的发明。该多层结构形成方法包括：由第1喷嘴向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；由第2喷嘴向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和使上述导电性材料层的图案活性化而在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)。

Description

多层结构形成方法、配线基板和电子仪器的制造方法
技术领域
本发明涉及用液滴喷出装置的多层结构形成方法，特别是涉及适宜于配线基板的制造和电子仪器的制造的多层结构形成方法。
背景技术
使用由印刷法的添加法(Additive Process)制造配线基板和电路基板的方法备受关注。这是由于与重复薄膜涂布工序和光刻工序制造配线基板和电路基板的方法相比添加法工序的成本低。
作为利用这样的添加法的技术之一周知由喷墨法形成导电性图案的技术(例如特许文献1)。
【专利文献1】特开2004-6578号公报
使用喷墨法配置树脂材料和导电性材料的液滴设绝缘层和其绝缘层上的配线图案的情况下，有时会发生配线图案的断线。
发明内容
鉴于上述课题，本发明的目的之一是使用喷墨法形成稳定的多层结构。
本发明的多层结构形成方法使用液滴喷出装置。该多层结构的形成方法包括：向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和使上述导电性材料层的图案活性化，在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)。
由上述构成得到的效果之一是，由于在第1绝缘材料层固化后形成配线图案，所以不会发生配线图案的断线。
根据本发明的实施方式，上述多层结构形成方法还包括：使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(E)；向上述第1绝缘层和上述导电层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层和上述导电层的第2绝缘材料层的步骤(F)；和使上述第2绝缘材料层固化的步骤(G)。
根据上述构成，由于使第1绝缘层的表面亲液化，所以在整个第1绝缘层上可以形成表面平坦的第2绝缘层。
优选上述步骤(B)包括向上述第1绝缘材料层照射第1波长的光，使上述第1绝缘材料层固化的步骤。而且，上述步骤(E)包括向上述第1绝缘层的表面照射与上述第1波长不同的第2波长的光，使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤。
由上述构成得到的效果之一是，仅用包括光照射的步骤就可以达成第1绝缘材料层的固化和第1绝缘层的亲液化。
本发明的多层结构形成方法使用液滴喷出装置。该多层结构的形成方法包括：向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(C)；向上述第1绝缘层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层的第2绝缘材料层的步骤(D)；和使上述第2绝缘材料层固化的步骤(E)。
根据上述构成，由于使第1绝缘层的表面亲液化，所以在第1绝缘层上可以形成厚度均匀的第2绝缘层。
优选上述步骤(B)包括向上述第1绝缘材料层照射第1波长的光，使上述第1绝缘材料层固化的步骤。而且，上述步骤(C)包括向上述第1绝缘层的表面照射与上述第1波长不同的第2波长的光，使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤。
由上述构成得到的效果之一是，仅用包括光照射的步骤就可以达成第1绝缘材料层的固化和第1绝缘层的亲液化。
另外，本发明可以在各种方式中实现。例如，本发明可以在配线基板的制造方法和电子仪器的制造方法的方式中实现。
附图说明
图1是表示本实施方式的液滴喷出装置的模式图。
图2(a)和(b)是表示液滴喷出装置中的喷墨头的模式图。
图3是液滴喷出装置中的控制部的功能方块图。
图4的(a)至(d)是说明本实施方式的配线基板的制造方法的图。
图5的(a)至(c)是说明本实施方式的配线基板的制造方法的图。
图6的(a)至(d)是说明本实施方式的配线基板的制造方法的图。
图7是本实施方式的液晶显示装置的模式图。
图8是表示本实施方式的移动电话机的模式图。
图9是表示本实施方式的个人计算机的模式图。
图中：
7-绝缘层，7A-第1绝缘材料，7B-第1绝缘材料层，8-导电层，8A-导电性材料，8B-导电性材料层，9-第1绝缘层，9A-第2绝缘材料，9B-第2绝缘材料层，10-配线基板，10A-基板，10B-基体，25-半导体元件，32-液晶面板，34-液晶显示装置，1、2、3-液滴喷出装置，104-第1位置控制装置，106-台架108-第2位置控制装置，112-控制部，114-喷墨头，118-喷嘴，140-光照射装置，500-移动电话机520-电光学装置，600-个人计算机，620-电光学装置
具体实施方式
(A.液滴喷出装置的整体构成)
本实施方式的制造装置具有3个液滴喷出装置。3个液滴喷出装置是分别喷出绝缘材料7A(图1)、导电性材料8A、绝缘材料9A的装置。另外，如后所述，这些绝缘材料7A、导电性材料8A、绝缘材料9A都是液状材料的一种。
图1所示的喷出装置1是基本的喷墨装置。更具体地说，液滴喷出装置1备有：保持液状材料111的容器101、导管110、基础台架GS、喷头部103、台架106、第1位置控制装置104、第2位置控制装置108、控制部112、光照装置140和支持部104a。而且，其它2个液滴喷出装置2、3的结构和功能与液滴喷出装置1的结构和功能基本相同，因此，省略该2个液滴喷出装置2、3的结构和功能的说明。
喷头部103保持喷墨头114(图2)。该喷墨头114根据来自控制部112的信号喷出液状材料111的液滴。另外，喷头部103中的喷墨头114由管道110与容器101连接着，因此，可以将液状的材料111从容器101供给喷墨头114。
台架106提供用于固定基板10A的平面。另外，台架106具有用吸引力固定基板10A的位置的功能。这里，基板10A是由聚酰亚胺构成的挠性基板，其形状是带状。而且，基板10A的两端由未图示的一对卷筒所固定。
第1位置控制装置104通过支持部104a被固定在由基础台架GS所定的高度的位置上。该第1位置控制装置104具有根据来自控制部112的信号使喷头部103沿X轴方向和与X轴方向垂直的Z轴方向移动的功能。另外，第1位置控制装置104还具有在旋转与Z轴平行的轴时旋转喷头部103的功能。这里，在本实施方式中，Z轴方向是与垂直方向(即，重力加速度方向)平行的方向。
第2位置控制装置108根据来自控制部112的信号使台架106在基础台架GS上沿Y轴方向移动。这里，Y轴方向是与X轴方向和Z轴方向的双方垂直的方向。
具有上述那样功能的第1位置控制装置104的构成和第2位置控制装置108的构成可以使用利用线性马达和伺服马达的公知的XY自动装置来实现。因此在此省略其详细的构成的说明。另外，在本说明书中，将第1位置控制装置104和第2位置控制装置108表记为“自动装置”或者“扫描部”。
如上所述，通过第1位置控制装置104喷头部103沿X轴方向移动。而且，通过第2位置控制装置108，基板10A与台架106一起沿Y轴方向移动。其结果，相对于基板10A的喷墨头114的相对位置被改变。更具体地说，通过这些动作，喷头部103、喷墨头114或者喷嘴118(图2)相对于基板10A在Z轴方向上保持所定的距离，同时在X轴方向和Y轴方向上相对地移动，即，相对地扫描。所谓“相对移动”或者“相对扫描”是指喷出液状材料111的一侧和由那里的喷出物弹落的一侧(被喷出部)的至少一方相对于另一方相对移动。
控制部112构成为根据由外部信息处理装置，接收表示应该喷出液状材料111的液滴的相对位置的喷出数据。控制部112将接收的喷出数据存储在内部的存储装置中，同时根据存储的喷出数据控制第1位置控制装置104、第2位置控制装置108和喷墨头114。另外，喷出数据是用于将液状的材料111以所定的图案赋予在基板10A上的数据。在本实施方式中，喷出数据具有位图数据的形式。
具有上述构成的液滴喷出装置1，根据喷出数据相对于基板10A相对移动喷墨头114的喷嘴118(图2)，同时由喷嘴118向被喷出部喷出液状材料111。另外，将由液滴喷出装置1的喷墨头114的相对移动，和由喷墨头114的液状材料111的喷出归纳起来，表记为“涂布扫描”或者“喷出扫描”。
在本说明书中，将液状材料111的液滴弹落的部分表记为“被喷出部”。而且，将弹落的液滴湿润扩展的部分表记为“被涂布部”。“被喷出部”和“被涂布部”的任一方都是根据液状材料呈所希望的接触角那样，通过对基底的物体实施表面改质处理而形成的部分。但是，在不进行表面改质处理而基底的物体的表面，相对于液状材料呈希望的疏液性或者亲液性(即，弹落的液状材料在基底的物体的表面上呈希望的接触角)的情况下，基底的物体的表面本身也可以是“被喷出部”或者“被涂布部”。另外，在本说明书中，将“被喷出部”表记为“目标”或者“接受部”。
返回图1，光照装置140是对赋予基板10A的液状材料111照射紫外光的装置。光照装置140的紫外光照射的接通·断开(ON·OFF)也由控制部112控制。
另外，所谓由喷墨法形成层、膜或者图案是用上述那样的液滴喷出装置1，在所定的物体上形成层、膜或者图案。
(B.喷墨头)
如图2(a)和(b)所示，喷出装置1中的喷墨头114是具有多个喷嘴118的油墨喷头。具体地说，喷墨头114备有振动板126和所定喷嘴118的开口的喷嘴板128。而且，贮液室129位于振动板126和喷嘴板128之间，借助于孔131从未图示的外部容器将供给的液状的材料111经常填充到该贮液室129中。
另外，在振动板126和喷嘴板128之间设置有多个隔壁122。而且由振动板126、喷嘴板128和一对隔壁122围住的部分是空腔120。由于空腔120与喷嘴118相对应而设，所以空腔120的数量与喷嘴118的数量相同。借助于位于一对隔壁122间的供给口130，将液状的材料111从贮液室129供给空腔120。另外，在本实施方式中，喷嘴118的直径是约27μm。
另外，在振动板126上与各自的空腔120对应设置各自的振动器124。振动器124的各自含有压电元件124C和夹持压电元件124C的一对电极124A、124B。控制部112将驱动电压赋予该一对电极124A、124B之间时，从对应的喷嘴118中喷出液状的材料111的液滴D。这里，从喷嘴118喷出的材料的体积在0pl或其以上、42pl(皮可升)或其以下之间可变。另外，根据由喷嘴118在Z轴方向上可以喷出液状的材料111的液滴D那样调整喷嘴118的形状。
在本说明书中，有时也将包含1个喷嘴118、与喷嘴118对应的空腔120和与空腔120对应的振动器124的部分表记为“喷出部127”。根据这样表记，1个喷墨头114具有与喷嘴118数量相同数量的喷出部127。喷出部127也可以具有电热转换元件来代替压电元件。即，喷出部127也可以具有利用由电热转换元件产生的材料的热膨胀而喷出材料的构成。
(C.控制部)
以下说明控制部112的构成。如图3所示，控制部112备有：输入缓冲存储器200、存储装置202、处理部204、光源驱动部205、扫描驱动部206和喷墨头驱动部208。输入缓冲存储器200和处理部204可相互通信地连接着。处理部204、存储装置202、光源驱动部205、扫描驱动部206和喷墨头驱动部208通过未图示的总线可相互通信地连接着。
光源驱动部205与光照装置140可通信地连接着。另外，扫描驱动部206与第1位置控制装置104和第2位置控制装置108可互相通信地连接着。同样，喷墨头驱动部208与喷墨头114可相互通信地连接着。
输入缓冲存储器200，从位于液滴喷出装置1外部的外部信息处理装置(未图示)，接收用于喷出液状材料111的液滴的喷出数据。输入缓冲存储器200将喷出数据供给处理部204，处理部204将喷出数据存储在存储装置202中。图3中，存储装置202是RAM。
处理部204根据存储装置202内的喷出数据，将表示与被喷出部相对的喷嘴118的相对位置的数据赋予扫描驱动部206。扫描驱动部206将与该数据和喷出周期对应的台架驱动信号，赋予第1位置控制装置104和第2位置控制装置108。其结果，相对于被喷出部的喷出喷墨头部103的相对位置被改变。另一方面，处理部204根据存储装置202存储的喷出数据，将对液状材料111的喷出所必要的喷出信号赋予喷墨头114。其结果，从喷墨头114中的对应的喷嘴118中喷出液状材料111的液滴D。
另外，处理部204根据存储装置202内的喷出数据，使光照装置140呈接通状态和断开状态的任一种状态。具体地说，以光源驱动部205能够设定光照装置140的状态的方式，处理部204将表示接通状态或者断开状态的各自的信号供给光源驱动部205。
控制部112是包括CPU、ROM、RAM、总线的计算机。因而，控制部112的上述功能可以通过由计算机实行的软件程序实现。不言而喻，控制部112也可以通过专用电路(硬件)实现。
(D.液状材料)
所谓上述的“液状材料111”是指从喷墨头114的喷嘴118作为液滴D喷出的具有粘度的材料。这里，液状材料111不管是水性还是油性都行。只要是具备从喷嘴118喷出可能的流动性(粘度)的液状材料即可，即使混入固体物质，只要作为全体是流动体即可。这里，优选液状材料111的粘度是1mPa·s或其以上、50mPa·s或其以下。粘度在1mpa·s或其以上的情况下，喷出液状材料111的液滴D时，喷嘴118的周边部难以被液状材料111污染。另一方面，粘度在50mPa·s或其以下的情况下，喷嘴118的孔堵塞频率小，因此可以实现顺利的液滴D的喷出。
后述的导电性材料8A(图4(d))是上述液状材料111的一种。本实施方式的导电性材料8A含有平均粒径是10nm左右的银粒子和分散剂。而且，在导电性材料8A中，银粒子被稳定分散在分散剂中。另外，银粒子也可以由涂覆剂被覆。这里，所谓涂覆剂是与银原子可配位的化合物。
作为这样的涂覆剂周知有胺、醇、硫醇等。更具体地说，作为涂覆剂可以使用2-甲基氨基乙醇、二乙醇胺、二乙基甲基胺、2-二甲基氨基乙醇、甲基二乙醇胺等的胺的化合物、烷基胺类、乙二胺、烷基醇类、二甘醇、丙二醇、烷基硫醇类、乙二硫醇。
作为分散剂(或者溶剂)只要是可以分散银的毫微粒子等的导电性微粒子、不发生凝聚就不作特别的限定。例如，除水以外，可以例示出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇类、正庚烷、正辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、甲苯、二甲苯、异丙基甲苯、杜烯、茚、二聚戊烯、四氢化萘、十氢化萘、环己基苯等的烃类化合物、或者乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲基乙基醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚、1，2-二甲氧基乙烷、二(2-甲氧基乙基)醚、对二噁烷等的醚类化合物、以及碳酸丙二酯、γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲亚砜、环己酮等的极性化合物。其中，从导电性微粒子的分散性和分散液的稳定性及适用于液滴喷出法的容易度出发，优选水、醇类、烃类化合物、醚类化合物，作为更优选的分散剂可举出水、烃类化合物。
另外，将从平均粒径1nm左右至数100nm的粒子表记为“毫微粒子”。根据这样的表记，导电性材料8A含有银的毫微粒子。
另外，后述的绝缘材料7A(图4)和绝缘材料9A(图6)都是液状材料111。绝缘材料7A和绝缘材料9A含有感光性树脂。而且，本实施方式的感光性树脂含有光聚合引发剂、丙烯酸的单体和/或低聚物。本实施方式的丙烯酸系的感光性树脂与本发明的“第1感光性树脂”和“第2感光性树脂”相对应。这样，在本实施方式中“第1感光性树脂”和“第2感光性树脂”是互相相同的。
以下说明利用本实施方式的多层结构形成方法的配线基板的制造方法。
(E.制造方法)
首先，UV洗涤基板10A的1个表面S。通过UV洗涤，不仅洗涤表面S，而且使表面S相对于后述的液状绝缘材料7A呈适宜的亲液性。因此，在本实施方式中，UV洗涤后的表面S成为上述的被喷出部和被涂布部。另外，在本实施方式中，表面S是本发明的“物体表面”的一例。
然后，如图4(a)所示，用液滴喷出装置1在表面S的全部面上形成绝缘材料层7B。具体地说，首先，决定基板10A在液滴喷出装置1的台架106上的位置。这样作时，2维(即X轴方向和Y轴方向)地改变液滴喷出装置1相对于表面S的喷嘴118的相对位置。而且，液滴喷出装置1根据第1喷出数据以所定的周期从喷嘴118向表面S喷出液状的绝缘材料7A的液滴D。这样作时，多个液滴D以所定的间距在整个表面S的全域弹落并湿润扩展。而且，弹落的多个液滴D湿润扩展时，得到覆盖表面S的绝缘材料层7B。另外，以后述的固化工序后得到的绝缘层7(图4(c))的厚度成为约10μm那样，设定被喷出的绝缘材料7A的液滴D的体积和数量。
这里，将液滴喷出装置1的喷墨头114中的喷嘴118表记为“第1喷嘴”。
另外，在本实施方式中，将基板10A和设在基板10A上的1层或其以上的层归纳一起表记为“基体10B”。
形成绝缘材料层7B后，如图4(b)和(c)所示，使得到的绝缘材料层7B固化，形成绝缘层7。具体地说，由光照装置140将属于紫外区域的具有第1波长的光照射绝缘材料层7B约60秒(sec)，得到绝缘层7。在本实施方式中，照射绝缘材料层7B的光的波长是365nm。
这样，由于在形成后述的导电性材料层8B的图案(图4(d))之前使成为其基底的绝缘材料层7B固化，所以导电性材料层8B的图案不发生断线。
然后，如图4(d)所示，用液滴喷出装置2在绝缘层7上形成导电性材料层8B的图案。具体地说，首先，决定基板10A在液滴喷出装置2的台架106上的位置。这样作时，2维(即X轴方向和Y轴方向)地改变液滴喷出装置2相对于绝缘层7的表面的喷嘴118的相对位置。而且，液滴喷出装置2根据第2喷出数据，喷嘴118每到达与导电性材料层8B的图案对应的位置，就从喷嘴118向绝缘层7的表面喷出液状的导电性材料8A的液滴D。这样作时，多个液滴D在绝缘层7上弹落并湿润扩展。而且，弹落的多个液滴D湿润扩展时，在绝缘层7上形成导电性材料层8B的图案。另外，以后述的加热工序后得到的导电层8(图5(b))的厚度成为约4μm那样，设定被喷出的导电性材料8A的液滴D的体积和数量。
这里，将液滴喷出装置2的喷墨头114中的喷嘴118表记为“第2喷嘴”。
另外，在本实施方式中，如图5(a)所示，导电性材料层8B的图案含有互相平行的2个带状部。2个带状部分别位于绝缘层7的一部分上。另外，2个带状部的宽度分别是约50μm，其长度方向沿与图5(a)的纸面垂直的方向延长。
然后，使如图5(a)所示那样的导电性材料层8B的图案活性化，形成如图5(b)所示的导电层8的图案。具体地说，使用洁净加热器在150℃的温度下使导电性材料层8B的图案烧成(加热)30分钟(min)。这样作时，导电性材料层8B中的银粒子烧结或热粘结，得到导电层8的图案。这里，导电层8的图案与本发明的“配线图案”相对应。另外，在本说明书中，将导电层8的图案表记为“导电图案”。
这样，在本实施方式中设覆盖绝缘层7和配线图案的绝缘材料层9B(后述)前，预先烧成导电性材料层8B而形成导电层8。这样作时，得到的导电层8由绝缘材料层9B的固化产生的应力导致变形的可能性更低。这是由于绝缘层7和导电层8之间的粘合力比绝缘层7和导电性材料层8B(被活性化前的导电层8)之间的粘合力更强。
形成配线图案(导电层8的图案)后，如图5(c)所示，使绝缘层7的表面和配线图案的表面亲液化。具体地说，将与上述第1波长不同的第2波长的光均匀地照射绝缘层7的表面和导电层8的表面约60秒。在本实施方式中，第2波长是172nm。这样作时，绝缘层7的表面和配线图案的表面相对于后述的液状的绝缘材料9A(图6(a))呈亲液性。这里，表示亲液性程度的指标之一是“接触角”。在本实施方式中，绝缘材料9A的液滴与亲液化的绝缘层7的表面或者配线图案的表面接触的情况下，其表面和液滴D形成的接触角是20度或其以下。
使绝缘层7的表面和配线图案的表面亲液化的理由如下所述。经过用于得到绝缘层7的固化工序或者用于得到配线图案的烧成(加热)工序时，其表面相对于液状的绝缘材料9A呈疏液性。这里，在物体表面呈疏液性的情况下，难以在广的面积上形成均匀的层。与此相反，在本实施方式中，由于在烧成工序后使绝缘层7的表面和配线图案的表面亲液化，所以在绝缘层7的表面和配线图案25的表面上绝缘材料9A的液滴湿润扩展的程度(亲液性的程度)再增大。因此，在其整个表面上可以形成具有平坦表面的绝缘层9。而且，在绝缘层7上和配线图案上，绝缘层9的厚度分别是均匀的。
进行上述亲液化后，如图6(a)所示，用液滴喷出装置3形成覆盖绝缘层7和导电层8的图案的绝缘材料层9B。具体地说，将基板10A在液滴喷出装置3的台架106上定位。这样作时，2维地改变液滴喷出装置3相对于绝缘层7和绝缘层8的图案的喷嘴118的相对位置。而且，液滴喷出装置3根据第3喷出数据，以所定的周期从喷嘴118向绝缘层7和导电层8的图案喷出液状的绝缘材料9A的液滴D。这样作时，多个液滴D以所定的间距在绝缘层7和导电层8的图案的全部区域内弹落并湿润扩展。而且，弹落的多个液滴D湿润扩展时，得到覆盖绝缘层7和导电层8的图案的绝缘材料层9B。另外，以后述的加热工序后得到的绝缘层9(图6(d))的厚度成为约10μm那样，设定被喷出的绝缘材料9A的液滴D的体积和数量。
这里，将液滴喷出装置3的喷墨头114中的喷嘴118表记为“第3喷嘴”。
形成绝缘材料层9B后，如图6(b)所示，使得到的绝缘材料层9B半固化，形成绝缘材料层9B’。具体地说，由光照装置140将具有紫外区域的波长的光照射绝缘材料层9B约4秒，得到处于半固化状态的绝缘材料层9B’。在本实施方式中，照射绝缘材料层9B的光的波长是365nm。
这里，所谓使绝缘材料层或者绝缘材料半固化是指构成绝缘材料层的感光性树脂成为喷出时的状态和由光照射造成的实际的固化状态之间的状态。在本实施方式中，这样的中间状态是上述的“半固化状态”。另外，所谓喷出时的状态是感光性树脂(绝缘材料7A)从喷嘴118喷出的具有粘性的状态。
另外，也可以使光照射绝缘材料层9B的时间更长(例如60秒)使绝缘层9B实际上固化来代替绝缘材料层9B的半固化。
得到处于半固化状态的绝缘材料层9B’后，如图6(c)所示，使基体10B加热，赋予热量Q。在本实施方式中，使用清洁干燥器在150℃的温度下使基体10B加热60分钟。由这样的加热，进一步促进绝缘材料层9B’中的感光性树脂的聚合反应，使绝缘材料层9B’固化。其结果，绝缘材料层9B’成为绝缘层9。另外，在通过光照射使绝缘材料层9B固化的情况下优选进行这样的加热工序。
这里，即使在先形成的绝缘层7中存在聚合反应不完全的单体和低聚物的情况下，通过用于使绝缘材料层9B’固化的加热工序也可以使绝缘层7中的聚合反应确实地结束。同样，由于通过该加热工序导电层8中的银的毫微粒子的烧结或热粘结可以完全地进行，所以导电层8中的电导通成为更可靠。
由以上工序，如图6(d)所示，得到由覆盖基板10A的绝缘层7、位于绝缘层7上的导电层8的图案、覆盖绝缘层7和导电层8的图案的绝缘层9构成的多层结构。在本实施方式中，绝缘层7和绝缘层9是丙烯酸树脂，导电层8是银配线。另外，将设导电层8的基板10A表记为“配线基板10”。
(F.实装工序)
以下，如图7所示，在配线基板10上安装液晶面板32和半导体元件25。具体地说，在配线基板10的一部分上形成导电层8的图案不被绝缘层9覆盖的部分。而且使液晶面板的底座或者半导体元件25对应的底座与露出的导电层8的图案接合。这样进行，得到液晶显示装置34。这样，本实施方式的制造方法可以适用于液晶显示装置34的制造。另外，在本实施方式中，半导体元件25是液晶驱动电路。
另外，本实施方式的制造方法不仅适用于液晶显示装置的制造，而且可以适用于各种电光学装置的制造。这里，所谓“电光学装置”不限于利用双折射性变化、旋光性变化和光漫射性变化等的光学特性的变化(所谓电光学效果)的装置，还意味着根据施加信号电压而射出、透过或者反射的全面装置。
具体地说，电光学装置是包括液晶显示装置、电致发光显示装置、等离子显示装置、使用表面传导型电子发射元件的显示装置(SED：Surface-Conduction Electron-Emitter Display)、场发射显示装置(FED：Field Emission Display)等的用语。
另外，本实施方式的多层结构形成方法可以适用于各种电子仪器的制造方法。例如图8所示的具备电光学装置520的移动电话机500的制造方法和图9所示的具备电光学装置620的个人计算机600的制造方法都适用本实施方式的制造方法。
(变形例1)
根据上述实施方式，3个不同的液滴喷出装置1、2、3分别喷出绝缘材料7A、导电性材料8A、绝缘材料9A。也可以是1个液滴喷出装置(例如液滴喷出装置1)喷出必须的上述的绝缘材料7A、导电性材料8A和绝缘材料9A来代替这样的构成。此时，这些绝缘材料7A、导电性材料8A、绝缘材料9A既可以从液滴喷出装置1中的分别的喷嘴118中喷出，也可以从液滴喷出装置1中的1个喷嘴118中喷出。从1个喷嘴118中喷出3种液状材料的情况下更换液状材料时，只要增加洗涤从容器101至喷嘴118的经路的工序即可。
这里，从1个喷嘴喷出3种液状材料的情况下，所谓上述的“第1喷嘴”、“第2喷嘴”和“第3喷嘴”与一个相同的喷嘴118相对应。
(变形例2)
上述实施方式是在由聚酰亚胺构成的基板10A上设多层结构。但是，即使利用陶瓷基板、玻璃基板、环氧树脂基板、玻璃环氧树脂基板和硅基板代替这样的基板10A，也可以得到与上述实施方式说明的效果同样的效果。
(变形例3)
在上述实施方式的导电性材料8A中含有银的毫微粒子。但是也可以用其它金属的毫微粒子代替银的毫微粒子。这里，作为其它金属例如既可以利用金、白金、铜、钯、铑、锇、钌、铱、铁、锡、锌、钴、镍、铬、钛、钽、钨、铟的任一种，或者也可以利用任2种或其以上组合的合金。但是，如果是银由于可以在比较低的温度下还原、处理容易，所以从该点出发，在利用液滴喷出装置的情况下，优选利用含银的毫微粒子的导电性材料8A。
另外，导电性材料8A也可以含有有机金属化合物代替金属的毫微粒子。这里，所谓有机金属化合物是通过由加热的分解而可以析出金属的化合物。这样的有机金属化合物有氯三乙基膦金(I)、氯三甲基膦金(I)、氯三苯基膦金(I)、银(I)2，4-戊硫醇配位化合物、三甲基膦(六氟乙酰丙酮盐)银(I)配位化合物、铜(I)六氟戊二醇环辛二烯配位化合物等。
这样，液状导电性材料8A中含有的金属的形态，既可以是毫微粒子代表的粒子的形态，也可以是有机金属化合物那样的化合物的形态。
另外，导电性材料8A也可以含有聚苯胺、聚噻吩、聚亚苯基乙烯撑等的高分子系的可溶性材料来代替金属。
(变形例4)
在上述实施方式中，绝缘层7和绝缘层9由互相相同的材料构成。但是，绝缘层7和绝缘层9也可以由互相不同的材料构成。例如，绝缘层7是丙烯酸树脂，绝缘层9也可以是聚酰亚胺树脂。该情况下，只要绝缘材料7A是含有感光性丙烯酸树脂的单体或者低聚物的液状材料、绝缘材料9A是含有感光性聚酰亚胺前体的液状材料即可。也就是说，该情况下本发明的“第1感光性树脂”和“第2感光性树脂”相互不同。
(变形例5)
根据上述实施方式，在绝缘层7上形成导电层8的图案。但是，上述实施方式的多层结构形成方法不作于这样的结构的形成。具体地说，绝缘层7上的导电层8的图案也可以省略。而且，也可以根据层叠的多个绝缘层的厚度的合计成为希望值那样重复以下操作：用液滴喷出装置形成绝缘材料层、使形成的绝缘材料层固化而得到绝缘层、使绝缘层的表面亲液化、在亲液化的绝缘层上用液滴喷出装置再形成绝缘材料层。
从由喷出形成的绝缘材料层来看，由重复绝缘材料层的形成、亲液化和固化工序形成希望厚度的绝缘层的方法与由1次固化工序得到希望的厚度的绝缘层相比，其合计的干燥时间短，而且最终的绝缘层的厚度容易均匀。
(变形例6)
根据上述实施方式，照射紫外区域的波长的光使绝缘层7的表面和配线图案的表面亲液化。但是，在大气气氛中以氧作为处理气体实施O2等离子体处理来代替这样的亲液化也可以使绝缘层7的表面和配线图案的表面亲液化。O2等离子体处理是由未图示的等离子体放电电极以等离子体状态的氧照射基板10A(基体10B)的处理。O2等离子体处理的条件只要等离子体功率是50～1000W、氧气流量是50～100mL/min、相对于等离子体放电电极的基体10的相对移动速度是0.5～10mm/sec、基体温度是70～90℃即可。

Claims (7)

1.一种多层结构形成方法，是使用液滴喷出装置的多层结构的形成方法，其特征在于，包括：
向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；
使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；
向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和
使上述导电性材料层的图案活性化，在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)。
2.根据权利要求1所述的多层结构形成方法，其特征在于，还包括：
使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(E)；
向上述第1绝缘层和上述导电层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层和上述导电层的第2绝缘材料层的步骤(F)；和
使上述第2绝缘材料层固化的步骤(G)。
3.根据权利要求2所述的多层结构形成方法，其特征在于，
上述步骤(B)包括向上述第1绝缘材料层照射第1波长的光，使上述第1绝缘材料层固化的步骤；
上述步骤(E)包括向上述第1绝缘层的表面照射与上述第1波长不同的第2波长的光，使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤。
4.一种多层结构形成方法，是使用液滴喷出装置的多层结构的形成方法，其特征在于，包括：
向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；
使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；
使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(C)；
向上述第1绝缘层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层的第2绝缘材料层的步骤(D)；和
使上述第2绝缘材料层固化的步骤(E)。
5.根据权利要求4所述的多层结构形成方法，其特征在于，
上述步骤(B)包括向上述第1绝缘材料层照射第1波长的光，使上述第1绝缘材料层固化的步骤；
上述步骤(C)包括向上述第1绝缘层的表面照射与上述第1波长不同的第2波长的光，使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤。
6.一种配线基板的制造方法，其特征在于，包括权利要求1～5的任一项所述的多层结构形成方法。
7.一种电子仪器的制造方法，其特征在于，包括权利要求1～5的任一项所述的多层结构形成方法。
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