CN105810241A - 电阻式存储器的控制方法 - Google Patents

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Abstract

一种电阻式存储器的控制方法。首先,开始对该电阻式存储器进行一动作,使得电阻式存储器为一特定状态。接着,开始一运作周期。在运作周期的一第一子周期时,提供一第一极性的一第一控制信号。在运作周期的一第二子周期时,提供一第二极性的一第二控制信号。在运作周期的一第三子周期时,提供该第一极性的一第三控制信号。在运作周期的一第四子周期时,提供一读取信号,使得该电阻性存储器产生一读取电流。而根据读取电流,控制电路即据以验证该电阻式存储器是否为该特定状态。

Description

电阻式存储器的控制方法
技术领域
本发明涉及一种存储器的控制方法,且特别涉及一种电阻式存储器(resistiverandom-accessmemory)的控制方法。
背景技术
电阻式存储器(resistiverandom-accessmemory,RRAM)是一种非易失性存储器(non-volatilememory)。由于电阻式存储器具有大存储容量、快速存取速度的优势,因此存储器厂商已经开始投入电阻式存储器的开发与研究。
请参照图1,其所绘示为电阻式存储器的结构。如图1所示,电阻式存储器100包括堆迭的上电极102、绝缘层104、下电极106。当电阻式存储器制造完成之后,其为初始状态(initialstate)。
在电阻式存储器100开始正式运作之前,需要先进行一形成动作(formingaction)。在形成动作时,在上电极102与下电极106之间加上第一电压差(例如+3V)。例如,上电极102接收+3V,下电极106接收接地电压。在形成动作时,绝缘层104中聚集的氧空位会形成可导电的裂缝108,且可导电的裂缝108连接在上电极102与下电极106之间。当电阻式存储器100中形成裂缝108之后,即完成形成动作。此时,上电极102与下电极106之间为低电阻值的设定状态(setstate)。而电阻式存储器100经过形成动作之后,电阻式存储器100即可以正常运作。
在低电阻值的设定状态时,可经由一重置动作(resetaction)将电阻式存储器100变更为高电阻值的重置状态(resetstate)。在重置动作时,在上电极102与下电极106之间加上第二电压差(例如-3V)。此时,上电极102接收-3V,下电极106接收接地电压。在重置动作时,绝缘层104中的裂缝108会经由氧化还原程序(redoxprocess),使得裂缝108不会连接在上电极102与下电极106之间。当重置动作完成后,上电极102与下电极106之间为高电阻值的重置状态。
在高电阻值的重置状态时,可经由一设定动作(setaction)将电阻式存储器100变更为低电阻值的设定状态。在设定动作时,在上电极102与下电极106之间加上第三电压差(例如+3V)。此时,上电极102接收+3V,下电极106接收接地电压。在设定动作时,绝缘层104中的裂缝108会再次连接在上电极102与下电极106之间。当设定动作完成后,上电极102与下电极104之间为低电阻值的设定状态。
由以上的说明可知,在编程周期(programcycle)的编程动作(programaction)时,电阻式存储器100可经由设定动作或者重置动作而成为设定状态或者重置状态。而上述设定状态与重置状态即为电阻式存储器100的二种存储状态。
再者,在读取周期(readcycle)的读取动作(readaction)时,在上电极102与下电极106之间提供读取电压(例如0.1V~0.5V),即可根据电阻式存储器100所产生的读取电流来判定电阻式存储器100为开启状态或者断开状态。亦即,当电阻式存储器100为设定状态时会产生较大的读取电流;当电阻式存储器100为重置状态时会产生较小的读取电流。
然而,由于现今电阻式存储器100的工艺不稳定,造成电阻式存储器100的可靠度(reliability)太低。因此需要利用多个运作周期(operationperiod)来完成一次设定动作或者重置动作。
请参照图2A,其所绘示为已知电阻式存储器进行设定动作与重置动作时的波形(waveform)示意图。基本上,电阻式存储器会连接至一控制电路(未绘示),并由控制电路来对电阻式存储器进行设定动作或者重置动作。
在设定动作与重置动作的过程皆需要多个运作周期Oper1~Oper4。再者,在设定动作中,每一个运作周期更区分为一设定周期(settingperiod)与一验证周期(verifyingperiod)。在重置动作中,每一个运作周期更区分为一重置周期(resettingperiod)与一验证周期。
如图2A中的设定动作所示,在第一运作周期Oper1中的设定周期时,提供设定电压Vset(例如,+3V)至电阻式存储器的上电极与下电极,用以使得电阻式存储器呈现设定状态。在之后的验证周期时,提供读取电压Vv至电阻式存储器的上电极与下电极,使得电阻式存储器产生读取电流供控制电路进行验证。
当控制电路根据读取电流确认电阻式存储器为设定状态时,则不再进行后续的第二运作周期Oper2。反之,当控制电路根据读取电流确认电阻式存储器不为设定状态时,则继续进行后续的第二运作周期Oper2。换句话说,在设定动作的过程,控制电路可能会执行多次的运作周期,直到电阻式存储器被确认为设定状态为止。
同理,如图2A中的重置动作所示,在第一运作周期Oper1中的重置周期时,提供重置电压Vreset(例如,-3V)至电阻式存储器的上电极与下电极,用以使得电阻式存储器呈现重置状态。在之后的验证周期时,提供读取电压Vv至电阻式存储器的上电极与下电极,使得电阻式存储器产生读取电流供控制电路进行验证。
当控制电路根据读取电流确认电阻式存储器为重置状态时,则不再进行后续的第二运作周期Oper2;反之,当控制电路根据读取电流确认电阻式存储器不为重置状态时,则继续进行后续的第二运作周期Oper2。换句话说,在重置动作的过程,控制电路可能会执行多次的运作周期,直到电阻式存储器被确认为重置状态为止。
请参照图2B,其所绘示为已知电阻式存储器进行设定动作与重置动作时的另一波形(waveform)示意图。基本上,设定动作与重置动作的过程需要多个运作周期Oper1~Oper3。而每个运作周期中更区分为一设定周期、一重置周期与一验证周期。其中,在设定动作时依序经过设定周期、验证周期与重置周期;在重置动作时依序经过重置周期、验证周期与设定周期。
其中,在设定周期时,控制电路提供设定电压Vset(例如,+3V)至电阻式存储器的上电极与下电极,用以使得电阻式存储器呈现设定状态。在验证周期时,控制电路提供读取电压Vv至电阻式存储器的上电极与下电极,使得电阻式存储器产生读取电流供控制电路进行验证。在重置周期时,提供重置电压Vreset(例如,-3V)至电阻式存储器的上电极与下电极,用以使得电阻式存储器呈现重置状态。
如图2B中的设定动作所示,在第一运作周期Oper1中的设定周期时,先控制电阻式存储器呈现设定状态。在之后的验证周期时,再根据电阻式存储器产生的读取电流供控制电路进行验证。
接着,当控制电路确认电阻式存储器为设定状态时,则不进行第一运作周期Oper1中的重置周期,并结束设定动作。反之,当控制电路根据读取电流确认电阻式存储器不为设定状态时,则进行重置周期后继续进行后续的第二运作周期Oper2。
由图2B所示可知,在设定动作的流程中,共执行了三次运作周期Oper1~Oper3。并且直到第三运作周期Oper3的验证周期才确认电阻式存储器呈现设定状态,并且不再执行重置周期。
如图2B中的重置动作所示,在第一运作周期Oper1中的重置周期时,先控制电阻式存储器呈现重置状态。在之后的验证周期时,再根据电阻式存储器产生的读取电流供控制电路进行验证。
接着,当控制电路确认电阻式存储器为重置状态时,则不进行第一运作周期中的设定周期,并结束重置动作;反之,当控制电路根据读取电流确认电阻式存储器不为重置状态时,则进行重置周期后继续进行后续的第二运作周期Oper2。
由图2B所示可知,在重置动作的流程中,共执行了二次运作周期Oper1~Oper2。并且直到第二运作周期Oper2的验证周期才确认电阻式存储器呈现重置状态,并且不再执行设定周期。
利用上述所述的信号来对电阻式存储器进行设定动作后,仍无法稳定的控制电阻式存储器呈现设定状态。同理,利用上述所述的信号来对电阻式存储器进行重置动作后,仍无法稳定的控制电阻式存储器呈现重置状态。
发明内容
本发明的主要目的在于提出一种电阻式存储器的控制方法,此控制方法提供各种信号运用于电阻式存储器的设定动作与重置动作。
本发明涉及一种电阻式存储器的控制方法,包括下列步骤:(a1)开始对该电阻式存储器进行一动作,用以变更该电阻式存储器至一特定状态;(a2)开始一运作周期;(a3)在该运作周期的一第一子周期时,提供一第一极性的一第一控制信号至该电阻式存储器;(a4)在该运作周期的一第二子周期时,提供一第二极性的一第二控制信号至该电阻式存储器;(a5)在该运作周期的一第三子周期时,提供该第一极性的一第三控制信号至该电阻式存储器;以及(a6)在该运作周期的一第四子周期时,提供一读取信号至该电阻式存储器,使得该电阻性存储器产生一读取电流用以验证该电阻式存储器是否为该特定状态。
为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解,下文特举优选实施例,并配合附图,作详细说明如下:
附图说明
图1所绘示为电阻式存储器的结构。
图2A所绘示为已知电阻式存储器进行设定动作与重置动作时的波形(waveform)示意图。
图2B所绘示为已知电阻式存储器进行设定动作与重置动作时的另一波形(waveform)示意图。
图3A所绘示为本发明电阻式存储器的控制方法的第一实施例。
图3B所绘示为第一实施例在设定动作与重置动作所产生的波形(waveform)示意图。
图4A所绘示为本发明电阻式存储器的控制方法的第二实施例。
图4B所绘示为第二实施例在设定动作与重置动作所产生的波形(waveform)示意图。
图5A所绘示为本发明电阻式存储器的控制方法的第三实施例。
图5B所绘示为第三实施例在设定动作与重置动作所产生的波形(waveform)示意图。
图6所绘示为第四实施例在设定动作与重置动作所产生的波形(waveform)示意图。
【符号说明】
100:电阻式存储器
102:上电极
104:绝缘层
106:下电极
108:裂缝
S310~S392:步骤流程
具体实施方式
请参照图3A,其所绘示为本发明电阻式存储器的控制方法的第一实施例。基本上,电阻式存储器会连接至一控制电路(未绘示),并由控制电路来进行图3A的流程。
首先,动作开始(步骤S310)。接着,开始一运作周期(步骤S320)。其中,运作周期依序被区分为四个子周期。
在第一子周期时,提供第一极性(polarity)的第一控制信号至电阻式存储器(步骤S330);在第二子周期时,提供第二极性的第二控制信号至电阻式存储器(步骤S340);在第三子周期时,提供第一极性的第三控制信号至电阻式存储器(步骤S350);在第四子周期时,提供读取信号(或者读取电压)至电阻式存储器,使得电阻式存储器产生一读取电流,用以验证电阻式存储器是否成为一特定状态(步骤S360)。
接着,根据读取电流判断出电阻式存储器为特定状态时(步骤S370),则结束动作(步骤S380);反之,根据读取电流判断出电阻式存储器不为特定状态时(步骤S370),则回到步骤S320。
请参照图3B,其所绘示为第一实施例在设定动作与重置动作所产生的波形(waveform)示意图。基本上,第一实施例中所述的动作可为针对电阻式存储器所进行的设定动作,而特定状态即为设定状态。或者,上述的动作可为针对电阻式存储器所进行的重置动作,而特定状态即为重置状态。以下详细说明的:
如图3B所示,在设定动作时,开始第一运作周期Oper1。其中,第一运作周期Oper1依序被区分为四个子周期I~IV,且第一控制信号c1、第二控制信号c2、第三控制信号c3与读取信号c4组成第一运作周期Oper1中的波形(waveform)。
在第一子周期I时,提供正极性的第一控制信号c1至电阻式存储器,用以控制电阻式存储器呈现设定状态。接着,在第二子周期II时,提供负极性的第二控制信号c2至电阻式存储器。接着,在第三子周期III时,提供正极性的第三控制信号c3至电阻式存储器,用以控制电阻式存储器呈现设定状态。接着,在第四子周期IV时,提供读取信号c4至电阻式存储器,使得电阻式存储器产生一读取电流,用以验证电阻式存储器是否成为设定状态。
接着,当电阻式存储器被确认为设定状态时,即结束设定动作;反之,当电阻式存储器被确认不为设定状态时,则继续开始第二运作周期Oper2。
根据以上的说明可知,在设定动作的过程,控制电路可能会执行多次的运作周期,直到电阻式存储器被确认为设定状态为止。
再者,上述的第一控制信号c1、第二控制信号c2与第三控制信号c3可为电压信号或者电流信号。并且,该第三控制信号c3的振幅(amplitude)Vs2大于或等于第一控制信号c1的振幅Vs1,第一控制信号c1的振幅Vs1大于第二控制信号c2的振幅Vsr。再者,读取信号c4的振幅为读取电压Vv约为+0.1V~+0.5V。
在实际的运用中,第一控制信号c1振幅Vs1的范围为+2V~+3V,脉冲宽度约为100ns;第二控制信号c2振幅Vsr的范围为-0.8V~-1.5V,脉冲宽度约为20ns;第三控制信号c3振幅Vs2的范围为+3V~+3.5V,脉冲宽度约为2μs。
由以上的说明可知,在设定动作的过程,依序提供交替极性的第一控制信号c1、第二控制信号c2与第三控制信号c3。如此可以大幅改善电阻式存储器的稳定度(stability)、数据维持(dataretention)、可靠度(reliability)。
同理,如图3B所示,在重置动作时,开始第一运作周期Oper1。其中,第一运作周期依序被区分为四个子周期I~IV,且第一控制信号c1、第二控制信号c2、第三控制信号c3与读取信号c4组成第一运作周期Oper1中的波形(waveform)。
在第一子周期I时,提供负极性的第一控制信号c1至电阻式存储器,用以控制电阻式存储器呈现重置状态。接着,在第二子周期II时,提供正极性的第二控制信号c2至电阻式存储器。接着,在第三子周期III时,提供负极性的第三控制信号c3至电阻式存储器,用以控制电阻式存储器呈现重置状态。接着,在第四子周期IV时,提供读取信号c4至电阻式存储器,使得电阻式存储器产生一读取电流,用以验证电阻式存储器是否成为重置状态。
接着,当电阻式存储器被确认为重置状态时,即结束重置动作;反之,当电阻式存储器被确认不为重置状态时,则继续开始第二运作周期Oper2。
根据以上的说明可知,在重置动作的过程,控制电路可能会执行多次的运作周期,直到电阻式存储器被确认为重置状态为止。
再者,上述的第一控制信号c1、第二控制信号c2与第三控制信号c3可为电压信号或者电流信号;并且,该第三控制信号c3的振幅(amplitude)Vr2大于或等于第一控制信c1的振幅Vr1,第一控制信号c1的振幅Vr1大于第二控制信号c2的振幅Vss。再者,读取信号c4的振幅为读取电压Vv约为+0.1V~+0.5V。
在实际的运用中,第一控制信号c1振幅Vr1的范围为-2V~-3V,脉冲宽度约为100ns;第二控制信号c2振幅Vss的范围为+0.8V~+1.5V,脉冲宽度约为20ns;第三控制信号c3振幅Vr2的范围为-3V~-3.5V,脉冲宽度约为2μs。
由以上的说明可知,在重置动作的过程,依序提供交替极性的第一控制信号c1、第二控制信号c2与第三控制信号c3。如此可以大幅改善电阻式存储器的稳定度(stability)、数据维持(dataretention)、可靠度(reliability)。
请参照图4A,其所绘示为本发明电阻式存储器的控制方法的第二实施例。相较于第一实施例,增加了步骤S390的流程。以下仅介绍此步骤,其于步骤不再赘述。
根据本发明的第二实施例,在确认电阻式存储器不为特定状态时,先更新第一控制信号、第二控制信号或者第三控制信号的振幅(步骤S390)。之后,再执行步骤S320。
由第二实施例的流程可知,进入下一个运作周期之前,需要先更新第一控制信号、第二控制信号或者第三控制信号的振幅。基本上,第二实施例的步骤S390可以同时更新三个控制信号的振幅、任二个控制信号的振幅、或者任一个控制信号的振幅。
请参照图4B,其所绘示为第二实施例在设定动作与重置动作所产生的波形示意图。
由设定动作的波形(waveform)可知,进入第二运作周期Oper2时,会依序提供更新的第一控制信号c1'、更新的第二控制信号c2'、更新的第三控制信号c3'至电阻式存储器。同理,进入第三运作周期Oper3时,会依序提供更新的第一控制信号c1”、更新的第二控制信号c2”、更新的第三控制信号c3”至电阻式存储器。
再者,在设定动作流程中,每个动作周期中的第三控制信号的振幅大于或等于第一控制信号的振幅,第一控制信号的振幅大于第二控制信号的振幅。例如,第二运作周期Oper2中,该第三控制信号c3'的振幅Vs2'大于或等于第一控制信c1'的振幅Vs1',第一控制信号c1'的振幅Vs1'大于第二控制信号c2'的振幅Vsr'。以及,第三运作周期Oper3中,该第三控制信号c3”的振幅Vs2”大于或等于第一控制信c1'的振幅Vs1”,第一控制信号c1”的振幅Vs1”大于第二控制信号c2”的振幅Vsr”。
另外,由重置动作的波形(waveform)可知,进入第二运作周期Oper2时,会依序提供更新的第一控制信号c1'、更新的第二控制信号c2'、更新的第三控制信号c3'至电阻式存储器。同理,进入第三运作周期Oper3时,会依序提供更新的第一控制信号c1”、更新的第二控制信号c2”、更新的第三控制信号c3”至电阻式存储器。
再者,在重置动作流程中,每个动作周期中的第三控制信号的振幅大于或等于第一控制信号的振幅,第一控制信号的振幅大于第二控制信号的振幅。
例如,第二运作周期Oper2中,该第三控制信号c3'的振幅Vr2'大于或等于第一控制信c1'的振幅Vr1',第一控制信号c1'的振幅Vr1'大于第二控制信号c2'的振幅Vss'。以及,第三运作周期Oper3中,该第三控制信号c3”的振幅Vr2”大于或等于第一控制信c1”的振幅Vr1”,第一控制信号c1”的振幅Vr1”大于第二控制信号c2”的振幅Vss”。
请参照图5A,其所绘示为本发明电阻式存储器的控制方法的第三实施例。相较于第一实施例,增加了步骤S392的流程。以下仅介绍此步骤,其于步骤不再赘述。
根据本发明的第三实施例,在确认电阻式存储器不为特定状态时,先更新第一控制信号、第二控制信号或者第三控制信号的脉冲宽度(pulsewidth)(步骤S392)。之后,再执行步骤S320。
由第三实施例的流程可知,进入下一个运作周期之前,需要先更新第一控制信号、第二控制信号或者第三控制信号的脉冲宽度,而振幅维持不变。基本上,第三实施例的步骤S392可以同时更新三个控制信号的脉冲宽度、任二个控制信号的脉冲宽度、或者任一个控制信号的脉冲宽度。
请参照图5B,其所绘示为第三实施例在设定动作与重置动作所产生的波形示意图。
由设定动作的波形(waveform)可知,进入第二运作周期Oper2时,会提供更新脉冲宽度的第一控制信号c1'、第二控制信号c2'、第三控制信号c3'至电阻式存储器。同理,入第三运作周期Oper3时,会提供更新脉冲宽度的第一控制信号c1”、第二控制信号c2”、第三控制信号c3”至电阻式存储器。
另外,由重置动作的波形(waveform)可知,进入第二运作周期Oper2时,会依序更新脉冲宽度的第一控制信号c1'、第二控制信号c2'、第三控制信号c3'至电阻式存储器。同理,进入第三运作周期Oper3时,会提供更新脉冲宽度的第一控制信号c1”、第二控制信号c2”、第三控制信号c3”至电阻式存储器。
再者,根据第二实施例以及第三实施例的说明,在此领域的技术人员也可以修改控制流程。在进入下一个动作周期之前,同时更新控制信号的振幅与脉冲宽度,并实现本发明的设定动作与重置动作。
再者,上述的三个实施例中,在每一个子周期中皆提供单一脉冲的控制信号来进行说明。然而,本发明并不限定于此,上述的三个实施例中,在每个子周期中的控制信号皆可以由多个脉冲所组成。
请参照图6,其所绘示为本发明的第四实施例在设定动作与重置动作所产生的波形示意图。相较于第一实施例,在每一个子周期中的控制信号皆由多个脉冲所组成。
举例来说,在设定动作的过程中,在第一子周期I中提供正极性的第一控制信号c1至电阻式存储器,且第一控制信号c1由振幅为Vs1的多个脉冲所组成,用以控制电阻式存储器呈现设定状态。接着,在第二子周期II时,提供负极性的第二控制信号c2至电阻式存储器,且第二控制信号c2由振幅为Vsr的多个脉冲所组成。接着,在第三子周期III时,提供正极性的第三控制信号c3至电阻式存储器,且第三控制信号c3由振幅为Vs2的多个脉冲所组成,用以控制电阻式存储器呈现设定状态。接着,在第四子周期IV时,提供读取电压Vv至电阻式存储器,使得电阻式存储器产生一读取电流,用以验证电阻式存储器是否成为设定状态。
举例来说,在重置动作的过程中,在第一子周期I中提供负极性的第一控制信号c1至电阻式存储器,且第一控制信号c1由振幅为Vr1的多个脉冲所组成,用以控制电阻式存储器呈现重置状态。接着,在第二子周期II时,提供正极性的第二控制信号c2至电阻式存储器,且第二控制信号c2由振幅为Vss的多个脉冲所组成。接着,在第三子周期III时,提供负极性的第三控制信号c3至电阻式存储器,且第三控制信号c3由振幅为Vr2的多个脉冲所组成,用以控制电阻式存储器呈现重置状态。接着,在第四子周期IV时,提供读取电压Vv至电阻式存储器,使得电阻式存储器产生一读取电流,用以验证电阻式存储器是否成为设定状态。
由以上的说明可知,本发明提出一种电阻式存储器的控制方法,此控制方法提供各种信号运用于电阻式存储器的设定动作与重置动作。在设定动作的过程,依序提供交替极性的第一控制信号c1、第二控制信号c2与第三控制信号c3至电阻式存储器。同理,在重置动作的过程,依序提供交替极性的第一控制信号c1、第二控制信号c2与第三控制信号c3至电阻式存储器。如此可以大幅改善电阻式存储器的稳定度(stability)、数据维持(dataretention)、可靠度(reliability)。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例公开如上,然其并非用以限定本发明。本发明所属领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰。因此,本发明的保护范围当视所附权利要求书界定范围为准。

Claims (12)

1.一种电阻式存储器的控制方法,包括下列步骤:
(a1)开始对该电阻式存储器进行一动作,用以变更该电阻式存储器至一特定状态;
(a2)开始一运作周期;
(a3)在该运作周期的一第一子周期时,提供一第一极性的一第一控制信号至该电阻式存储器;
(a4)在该运作周期的一第二子周期时,提供一第二极性的一第二控制信号至该电阻式存储器;
(a5)在该运作周期的一第三子周期时,提供该第一极性的一第三控制信号至该电阻式存储器;以及
(a6)在该运作周期的一第四子周期时,提供一读取信号至该电阻式存储器,使得该电阻性存储器产生一读取电流用以验证该电阻式存储器是否为该特定状态。
2.如权利要求1所述的控制方法,其中该第三控制信号的振幅大于或等于该第一控制信号的振幅;该第一控制信号的振幅大于该第二控制信号的振幅。
3.如权利要求2所述的控制方法,其中(a6)步骤中还包括下列步骤:
(b1)当确认该电阻式存储器为该特定状态时,结束该动作;以及
(b2)当确认该电阻式存储器不为该特定状态时,回到步骤(a2)。
4.如权利要求2所述的控制方法,其中(a6)步骤中还包括下列步骤:
(c1)当确认该电阻式存储器为该特定状态时,结束该动作;以及
(c2)当确认该电阻式存储器不为该特定状态时,更新该第一控制信号、该第二控制信号或者该第三控制信号后,回到步骤(a2)。
5.如权利要求4所述的控制方法,其中在(c2)步骤中,更新该第一控制信号、该第二控制信号或者该第三控制信号的振幅或者脉冲宽度。
6.如权利要求2所述的控制方法,其中该动作为一设定动作,且该特定状态为一设定状态。
7.如权利要求2所述的控制方法,其中该动作为一重置动作,且该特定状态为一重置状态。
8.如权利要求2所述的控制方法,其中该第一控制信号、该第二控制信号以及该第三控制信号为一电压信号或者一电流信号。
9.如权利要求2所述的控制方法,其中该读取信号为一读取电压。
10.如权利要求2所述的控制方法,其中该第一控制信号为一单一脉冲控制信号或者一多脉冲控制信号。
11.如权利要求2所述的控制方法,其中该第二控制信号为一单一脉冲控制信号或者一多脉冲控制信号。
12.如权利要求2所述的控制方法,其中该第三控制信号为一单一脉冲控制信号或者一多脉冲控制信号。
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