CN100355538C - 圆盘状物品的基准位置自动示教、定位、运送方法及装置 - Google Patents

圆盘状物品的基准位置自动示教、定位、运送方法及装置 Download PDF

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Abstract

为实现具有定位装置与运送机器人的半导体制造装置设备组装时各部分的基准位置示教与正常生产过程中的定位自动化，提高生产率，本发明对晶圆等圆盘状物品47的圆周与检测装置的轨迹43的相交的两点W1、W2进行检测，用该两，连结这两点的线段的垂直平分线42上的特定点O以及圆盘状物品的半径r算出圆盘状物品的中心位置。这样，便可让运送机器人进行定位作业，用该结果，不仅可以修正运送路径，而且可以实现设备组装时的基准位置示教自动化。在有缺口部的情况下，用检测装置的两条轨迹检测圆盘状物品的圆周，找到正确的中心位置。另外，通过用检测装置的3条轨迹检测半径未知的圆盘状物品的圆周，求出半径，可使用直径不同的晶圆进行混合生产成为可能。

Description

圆盘状物品的基准位置自动示教、定位、运送方法及装置
技术领域
本发明涉及一种在多个场所之间进行半导体晶圆等圆盘状物品运送处理时所必需的、对作为包括处理装置位置在内的基准坐标系中的圆盘状物品位置的基准的基准位置进行自动示教的方法与装置，以及使用该示教中所用的中心位置求法的自动定位方法与装置，利用该定位方法对运送轨道进行自动修正的运送方法与装置。
背景技术
如图1与图2所示，半导体制造设备1一般都具有用机器人4将半导体晶圆从在架上存放着晶圆的晶圆匣6运送到作为各种各样的处理室7的运送口的装载闸室8，并从该装载闸室8运送到处理室7的运送装置2。该机器人4，如图3所示，具有带装载或固定晶圆的保持部14、能伸屈、转动与升降的运送臂12，机器人4的各轴的动作由控制部11进行控制。控制部11存贮着包括机器人4的位置坐标在内的基准坐标系中的运送顺序、路径与运送位置的坐标信息，根据这些信息向机器人4的各轴发出动作指令。这样，机器人4就能自动地将晶圆13等圆盘状物品运送到所定的运送位置，因此，控制部11必须分别识别上述的基准坐标系中的上述各种机器与晶圆的位置坐标。
图26表示在半导体制造设备进行组装时，为了确定原点坐标，图25所示的历来的运送装置2所进行的“示教”(teaching)工序的部分工艺流程图。这里所谓的“示教”，是指确定在运送机器人4与晶圆匣6、装载闸室8之间，与必要时另外设置的定位装置10等之间，递送晶圆13所用的基准位置的作业。
例如，在对将装在晶圆匣6中的晶圆13等圆盘状物品运送到装载闸室8的工序进行示教时，首先在步骤S1将运送机器人4的设计上的临时位置信息(初始值)输入控制部11，然后在步骤S2，通过手动操作(manual)将运送机器人4的保持部14一点一点地移动到作为基准位置的设计图上确定的给晶圆匣6的递送位置。但是，圆盘状物品仍装载在晶圆匣6内的架子上的正常位置，处于未被固定在保持部14上的状态。
接下来，在步骤S3，如图3所示，在保持部14上装上引导定位器20，通过目测确认圆盘状物品的装载位置与设计图上的保持位置是否完全一致。在有错位的情况下，在步骤S4，通过手动操作将运送机器人4一点一点地转动、伸屈、升降，使得保持部14的位置修正到正确的位置，然后在步骤S5，将在步骤S4获得的位置信息传送到控制部11，对初始位置信息进行更新。
如果在步骤S3确认没有错位，在步骤S6，将保持着的圆盘状物品运送到给装载闸室8的递送位置，接下来，在步骤S7，通过目测确认圆盘状物品的装载位置是否与设计图上表示的一样。在实际运送位置有错位的情况下，则回到步骤S4，再进行步骤S5，在没有错位的情况下，一个系列的示教结束。
接下来，同样按照步骤S1到步骤S7的顺序，进行运送机器人4与定位装置10及其他晶圆匣6、各装载闸室8之间，以及真空机器人31与各装载闸室8及各处理室7等其他部分之间的一个个的基准位置的示教作业。
另外，在历来的生产工艺中，每次的圆盘状物品的定位是如图25所示，用定位装置(专用机)10进行的。在图25所示的运送装置2中，为了防止运送中的晶圆13的轨道与晶圆匣6或各部分的边缘发生冲突，通常都是在将晶圆13送到在运送机器人4之外另设的圆盘转动式定位装置10上、放置到正常位置后，再由运送机器人4取出运送到目的场所的。
为了省略上述的递送工序，提高生产率，特公平7-27953号日本专利公报提出了一种在运送机器人保持着晶圆的情况下，让其运送臂移动，通过如图27所示的、装有带各发光部9a与受光部9b、用光束9c检测晶圆13的3个传感器9的门型定位装置，来算出晶圆的中心位置的方法。在该方法中，对晶圆的基准保持位置预先进行了示教，根据示教位置与上述门型定位装置测出的晶圆的中心位置的偏移量来修正保持部的轨道，在不与其他机器发生冲突的情况下送到目的场所。这样，就可以缩短送到定位装置10又从其取出所需的时间，因此上述方法可以提高生产率。
发明内容
发明要解决的课题
但是，上述历来的示教作业，如图26的流程图所示，运送机器人4与所有有关的机器之间要用引导定位器20，一边进行目测确认一边反复纠正试车的错误，设定基准位置，完全采用手动方式，所以是一种需要花费非常辛苦的劳动力的方法。这种工作需要熟练的技术人员连续进行紧张的作业，因此光是图25所示的运送装置就要花费整整一天或一天以上的时间。
另外，虽然如上所述，已经有人提出了图27所示的特公平7-27953号日本专利公报记载的门型定位装置作为生产中的圆盘状物品的定位装置，但是其初始的示教还是用的上述历来的方法，因此，在设备组装时所需的劳力没有任何改变。而且因为这是一种要让门通过的装置，所以必须在每个装载闸室与每个处理室各设置一台，另外因为这种装置是大于晶圆等圆盘状被检测物品直径的装置，所以投资额也大，存在着这样一些问题。还有，由于在圆盘状物品插入上述的门型定位装置之前，没有定位工序，所以必须进行如上所述的麻烦的手动定位来保证圆盘状物品不与装置发生冲突。万一发生了冲突，则一定会产生垃圾，接着就不可避免地要造成晶圆等被检测物品的损坏。
还有，在上述的特公平7-27953号日本专利公报记载的定位方法中，虽然附图中表示出了对缺口部的判断的几何学方法，但是却没有见到代数学的判断方法。因此，用属于近似式法的最小二乘法作为计算圆盘中心的方法，这用作检测装置的传感器9至少也要3个，必须对圆盘周缘上的6个点与圆盘保持部的中心的一个点，共计7个点进行检测。而且在周缘上的6个点中必定包含了在缺口部的边缘，却不在圆周上的点，难以严密地算出正确的位置，精度不良。另外，虽然提出了可以用公知的勾股定理，从不在缺口部的周缘上的4个点求出圆盘半径的计算公式，但是因为无法排除缺口部上的点，所以实际上不可能求出正确的半径。
发明要解决的课题
本发明是为了解决上述问题而进行认真研究的结果，开发出了新颖而且严密的计算方法，提出了新颖的检测、算出晶圆等圆盘状物品的中心位置的偏移量，实现半导体设备迅速组装的自动示教(auto-teaching)方法与自动定位方法。另外，还根据该理论，提出了进行运送轨道修正的自动运送方法，自动运送装置，并提出了利用这些方法与装置的圆盘状物品的自动制造设备。本发明中所谓的“示教”是指将基准位置，即作为进行圆盘状物品的运送等处理的处理装置的保持部等的动作基准的，包括该处理装置的位置在内的、放置圆盘状物品的场所的基准坐标系中的位置坐标，输入并存贮于该处理装置中。另外，本发明中所谓的“定位”是指求出装载在保持部上等任意位置的圆盘状物品及保持圆盘状物品的保持部等的位置与前面输入的基准位置有多大的错位。
首先，对本发明的原理进行说明。图4表示圆盘的圆周与一个传感器的圆弧形轨迹交叉的情况。要进行检测的圆盘47，如以已知半径r的上述圆周与传感器的已知半径R的圆弧形轨迹43的交点为W1，W2，以这些交点间的上述圆周的圆弧的顶点为W3，则形成圆弧W1，W3，W2。连结该圆弧两端的线段W1，W2的垂直平分线42通过检测圆盘47的中心A，也通过传感器的圆弧轨迹的中心O。该垂直平分线42与预先示教的方向41的偏移角度α，可以通过检测而求出。另外，垂直平分线42与圆弧的一端W1构成的角度θ也是可以通过检测而求出的。
接下来，求出检测圆盘47的中心位置，即未知长度的线段AO(＝L1)。从W1向垂直平分线42的线段W2O引垂线，以其交点为B，则
在△W1BO中，BO＝Rcosθ，W1B＝Rsinθ  ……   (式1)
在△W1BA中，BO＝rcosφ+L1，W1B＝rsinφ……  (式2)
即，Rcosθ＝rcosφ+L1，  …………           (式3)
Rsinθ＝rsinφ    …………                  (式4)
移项整理得rcosφ＝Rcosθ-L1  …………       (式5)
rsinφ＝Rcosθ  …………                    (式6)
将(式5)与(式6)乘方，左右两边分别相加，
因为cos2φ+sin2φ＝1，所以
r2＝(Rcosθ-L1)2+R2sin2θ  …………         (式7)
所以  L1＝Rcosθ±(r2-R2sin2θ)1/2  ……    (式8)
这里，如图4所示，要检测的圆盘的中心A对于传感器的检测轨迹43在该检测轨迹的圆的内侧时，
L1＝Rcosθ-(r2-R2sin2θ)1/2  ……           (式9)
在其外侧时，
L1＝Rcosθ+(r2-R2sin2θ)1/2  ……           (式10)。
这里，因为预先示教的圆盘4 6的中心位置C是已知的，所以如以线段CO为L0，则
直径方向的偏移长度△H＝L1-L0    ……        (式11)
因此，用上述的偏移角度α与用(式11)求出的偏移长度△H就可以进行圆盘的定位。
下面，用图5，对由一个传感器的直线形检测轨道43将作为基准的圆盘状物品46的圆周切成圆弧形的情况进行说明。如以处于预先示教位置的圆盘46的圆弧的两端之间的线段为EF，与其垂直平分线的交点为D，则可以知道其与中心C的距离CD＝(X0)，因为预先已示教。
同样用图5，对中心处于未知位置A的已知半径为r的要检测的圆盘状物品47的圆周被传感器的直线形轨道43切割成圆弧形的情况进行说明。如以上述圆弧的两个端点为W1，W2，线段W1W2的长度可以通过测量而得知。如以线段W1W2的垂直平分线与该线段W1W2的交点为B，未知的距离AB＝X1，则
因为△ABW2为直角三角形，
所以X1 2+(BW2)2＝r2    ……  (式12)
这里因为BW2＝W1W2/2，所以
X1＝±{r2-(W1W2/2)2}1/2    ……  (式13)
因此，X方向的偏移量
△X＝X0-X1    ……  (式14)
这里，检测轨道43上的D点是示教位置，所以是已知的，B点因为是线段检测点W1W2的中点，所以可以通过测量求出。
因此，Y方向的偏移量
△Y＝BD    ……  (式15)
也可以通过测量求出。
据此，可以算出偏移量(△X、△Y)。
权利要求1与权利要求2所述的发明，是关于用上述原理示教基准位置的方法。这就是说，本发明提出一种对圆盘状物品的处理装置进行关于作为包括处理装置位置在内的基准坐标系中的圆盘状物品位置的基准的基准位置的示教的方法，其特征是包括求出放置于成为基准位置的所定场所的半径已知的圆盘状物品在上述基准坐标系中的中心位置的工序，以及以根据上述中心位置通过运算求出的上述基准坐标系中的上述所定场所为基准位置，将其存贮在上述处理装置中的存贮工序，求出上述圆盘状物品的中心位置的工序包括将检测装置相对于上述圆盘状物品移动，使得上述检测装置的一条轨迹与上述圆盘状物品的圆周交叉的工序，求出上述交叉产生的两个交点在上述基准坐标系中的位置的工序，以及用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径算出上述中心位置的工序。权利要求7是关于实现该方法的装置。
这里所说的特定的点定义为已知的点或通过测量确定的点。也就是说，在检测装置的轨迹为圆时，就是该圆的旋转中心，这是已知的。另外，在检测装置的轨迹为直线的情况下，就是连结与上述圆周的两个交点的线段的中点，这是要通过测量求出的。在本示教方法中，在将圆盘设置于作为基准位置的所定场所时，最好用手动，这时如该圆盘状物品是市售的晶圆，放置时最好将缺口或定向平边等凹陷避开检测装置的轨道。另外，也可以用没有凹部或凸部圆盘状物品。还有，也可以用图像处理等技术，对凹部凸部的位置进行自动识别，自动地将凹部或凸部避开检测装置的轨道。
本发明还提出了同样根据上述原理，在圆盘状物品没有凹部或凸部的情况下，或者在凹部凸部已如上所述被避开的情况下，用一个检测装置的权利要求3所述的圆盘状物品的定位方法与权利要求9所述的定位装置。在上述的示教装置与定位装置中，作为具体的实施方式，包括公知的机器人、运送装置、定位专用装置等实现本发明方法的功能的全部装置。
在本发明中，可以将检测圆盘状物品的传感器固定，让圆盘状物品运动，或者可以让圆盘状物品固定，而让传感器运动。另外，该运动可以是直线运动，也可以是圆周运动。
另外，在权利要求3-权利要求5所述的方法中，必须进行对圆盘状物品的中心位置的预先示教，但是，这时可以用权利要求1或1权利要求2所述的方法。
[避开缺口的方法1]
权利要求4与权利要求10所述的发明提出了在半导体晶圆之类具有缺口、定向平边等作为周缘上的基准场所的缺口(凹部)，或具有装在圆盘上的把手之类的凸部的情况下的该定位方法与定位装置。
也就是说，在算出圆盘的中心位置时，如图6所示，用两个检测装置9，设置不同的检测轨道43、44。检测轨道43在通过凹部即缺口部51的情况下，与没有该缺口部的情况相比，与圆盘外周的两个交点之间的线段变短，用上述方法进行计算的话，算出的圆盘中心是偏离旋转中心O的。
下面更详细地进行说明，在检测轨道43、44一起通过缺口部的情况下，根据图6中垂直平分线4 2左侧的两个三角形(式16)算出的圆盘的中心A与旋转中心O的距离都是AO。
AO＝R1cosθ1-(r2-R1 2sin2θ1)1/2
  ＝R2cosθ11-(r2-R2 2sin2θ11)1/2    ……  (式16)
另一方面，在检测轨道4 3通过缺口部51的情况下，旋转中心与圆盘中心的距离CO，与没有缺口部51的情况相比，只短△L1，会被误认为是圆盘49，即算出：
CO＝R1cosθ1-(r2-R1 2sin2θ1)1/2
  ＝AO-△L1    ……  (式17)
因此，只要将(式16)与(式17)的计算结果进行比较，选大的结果就行。
在图7中，在缺口部处于检测轨道44的情况下，同样地只要选择大的距离AO即可。
也就是说，如果检测轨道通过缺口部的话，算出的圆盘中心必定是偏离旋转中心，要小一点的。只要将两个检测轨道分开，使得缺口部不会同时进入，将圆盘的圆周切为两个圆弧形，分别测量其两端，选择从旋转中心看过去处于外侧的圆盘中心，即距离AO的值较大的一个就可以了。
而在两个检测轨道43、44上都没有缺口部的情况下，找出的中心位置在同样的场所，采用哪一个都可以。
[避开缺口部的方法2，用一个传感器通过两次的方法]
在权利要求4中，可以如下面的图8、图9所示，用一个传感器进行两次旋转动作，形成两个不同的圆弧。也就是说，在算出圆盘状物品的中心时，第2次旋转时，从旋转中心O到检测轨道43的距离R不变，只是让圆盘状物品的中心位置错开一个距离m。但是这个距离m必须形成大到使得两次旋转动作不会都碰上缺口部，而又要比圆盘的直径小的间隔。
首先，对图8的检测轨道43不通过缺口部51与通过缺口部的情况下的检测顺序进行说明。首先，在检测轨道43不通过缺口部51的情况下，用计算式(式18)根据处于垂直平分线42的左侧的旋转角度θ1的三角形，识别圆盘47，算出其中心A。
AO＝Rcosθ1-(r2-R1 2sin2θ1)1/2    ……  (式18)
另一方面，在检测轨道43通过缺口部51的情况下，根据处于垂直平分线42的右侧的旋转角度θ2的三角形，在误认为圆弧两端间的距离较短的情况下识别圆盘47，将C误认为圆盘中心。
CO＝Rcosθ2-(r2-R1 2Sin2θ2)1/2    ……  (式19)
AO-CO＝△L1    ……  (式20)
接下来，对图9所示，就错开距离m进行第2次旋转动作的情况进行说明。在第1次旋转中，在检测轨道43通过圆盘47的缺口部51的情况下，误认为圆弧较小，通过与式19同样的计算，算出的圆盘中心在从本来的中心A’向旋转中心O偏离△L1的C’。接下来，将旋转半径向扩大的方向增加一个距离m，使得检测轨道43不会通过圆盘47的缺口部51，用式9识别出圆盘中心为A”。
因此，只要将CO(＝A’O-△L1)与A”-m进行比较，采用大的一个(A”-m)就可以了。
同样地，如果第1次的旋转动作没有发现缺口部，而在第2次的旋转动作中却发现了，也只要选用大的一个作为圆盘的正确中心与旋转中心的距离就可以了。
在圆盘的圆周上具有图中未表示出的凸部的情况下，其两个交点之间的线段必定比没有凸部的情况长。因此，在圆盘的圆周上具有凸部的情况下，算出的圆盘中心必定在比没有凸部的情况离旋转中心更远的部位。也就是说，在用式9根据两条线段计算出来的距离中，总是可以选用较小的一个作为圆盘中心与旋转中心的正确距离。因此，可以选出没有遇上凹部或凸部的检测轨道算出的圆盘中心。
在两个检测轨道上都没有凹部或凸部的情况下，与上述情况一样，由于发现中心位置在同样场所，因此可以采用任何一个。
另外，在权利要求4与权利要求10中，在两个检测轨道43、44为直线的情况下，情况也是一样，如图10、图11所示，检测轨道通过缺口部与没有通过缺口部的情况相比，算出的圆盘中心必定是向外偏离的。将两个检测轨道43、44隔开平行距离m，让它们不会都进入缺口部，将圆盘的圆周切出两个圆弧，分别检测其两端，选择从检测轨道看处于内侧的圆盘中心即可。
再进一步详细说明的话，在图10中，如果检测轨道43、44都没有缺口部，则根据各检测轨道分别算出的结果为圆盘状物品的中心位置是A，XAP＝XAB+m。
但是，在检测轨道44遇到了缺口部的情况下，本发明的计算方法会将圆弧误认为小圆49，算出其中心为A’。
因此，因为XAP＜XA’Q，所以XAB+m＜XA’Q
这就是说，可以将检测轨道43与检测轨道44的检测结果得到的中心位置信息进行比较，选择较小的距离XAB+m为正确值即可。
同样地，检测轨道43遇到缺口部的情况如图11所示。在检测轨道43没有缺口部的情况下算出的结果是XAP＝XAB+m。
在检测轨道43上有缺口部的情况下，识别的是圆49，因为XAB＜XA’B’，即XAP-m＜XA’B’。
因此，可以将检测轨道43与检测轨道44的检测结果得到的中心位置信息进行比较，选择没有缺口部的较小的距离XAP-m为正确值即可。也就是说，可以总是选择从检测轨道看靠得比较近的圆盘中心即可。
还有，权利要求4与权利要求10也包括了用一个传感器进行两次直线动作形成两个圆弧的情况。这就是说，在图10与图11中，检测装置的轨迹在第1次动作中描绘出检测轨道43，在第2次动作中描绘出检测轨道44，或者按与此相反的顺序描绘出轨迹，则正好与上述说明相符。
接下来，在权利要求6与权利要求12中，提出了在具有运送功能的装置中应用本发明的原理，在将晶圆之类的圆盘状物品从所求出的偏移量运送至目的场所时，从预定的轨道上对运送轨道进行修正，使其不发生冲突与干扰的方法以及用于此目的的运送装置。
[用3个检测轨道求出晶圆半径r的方法]
圆盘状物品中的半导体晶圆，根据国际半导体制造装置材料协会的SEMI标准，规定有3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、300mm6种规格，这些晶圆的半径也是标准化的，而且每种尺寸都收纳在专用的晶圆匣中。因此，在放置于晶圆匣内时，就是按晶圆的半径分的，所以在上述的计算过程中，可以作为已知值处理。但是，有时需要在运送工序中确认晶圆的尺寸，更具体的是，有时需要测定因制造厂家的不同而造成的晶圆的直径之差，以及测定因批量间的差异等造成的半径。
用本发明，可以按这样的需求，检测算出圆盘状物品的半径。
在权利要求13至权利要求16中记述了对半径未知的圆盘状物品进行检测，算出其半径与中心位置，并根据该算出的结果确定圆盘状物品的位置的定位方法与装置，另外在权利要求17中，记述了根据该算出的结果修正运送路径的运送装置。
这里，参照图12，对在让圆盘的圆周与3个传感器的旋转轨道交叉的情况下求出圆盘半径的原理进行说明。
旋转基线40是预定的。如果3个检测轨道43、44、45中的43通过缺口部，其他的检测轨道44与检测轨道45与晶圆的外周缘的各自的两个交点之间的线段各自的垂直平分线42是共同的，与旋转基线40构成的角度为α1，而检测轨道43的垂直平分线48与旋转基线40构成的角度为α2，与前面的α1不同。因此，只要将一个垂直平分线的角度不同的检测轨道除外。
检测轨道44与检测轨道45与晶圆的外周缘的各自的两个交点分别与旋转中心构成的三角形都是等腰三角形，线42构成4个直角三角形。旋转角度θ1、θ2都是检测角，旋转半径R1、R2都是设定距离，L为未知数。
r2＝(R1cosθ1-L)2+R1 2sin2θ1    ……      (式21)
r2＝(R2cosθ2-L)2+R2 2sin2θ2    ……      (式22)
在从旋转中心看检测轨道4 4与4 5处于比圆盘中心更远的距离的情况下，
L＝R1cosθ1-(r2-R1 2sin2θ1)1/2  ……  (式23)
L＝R2cosθ2-(r2-R2 2sin2θ2)1/2  ……  (式24)
将式24代入式21中，得
r2＝{R1cosθ1-R2cosθ2+(r2-R2 2sin2θ2)1/2}2+R1 2Sin2θ1  ……  (式25)
这里，设
S＝(r2-R2 2sin2θ2)1/2    ……  (式26)
将式26代入式25中，得
S2＝{R1cosθ1-R2cosθ2+S}2+R1 2sin2θ1-R2 2sin2θ2    ……     (式27)
S2＝(R1cosθ1-R2cosθ2+S)2+2(R1cosθ1-R2cosθ)S+
S2+R1 2sin2θ1-R2 2sin2θ2    ……  (式28)
求S的解，得
S＝{R2 2sin2θ2-R1 2sin2θ1-(R1cosθ1-R2cosθ2)2}
/2(R1cosθ1-R2cosθ2)    ……  (式29)
(r2-R2 2sin2θ2)1/2＝{R2 2sin2θ2-R1 2sin2θ1-(R1cosθ1-R2cosθ2)2}
/2(R1cosθ1-R2cosθ2)    ……  (式30)
两边乘方，得
r2＝{R2 2sin2θ2-R1 2sin2θ1-(R1cosθ1-R2cosθ2)2}2
/4(R1cosθ1-R2cosθ2)2+R2 2sin2θ2    ……  (式31)
将式31代入式2 4中，得
L＝R2cosθ2-[{R2 2sin2θ2-R1 2sin2θ1-(R2cosθ1-R2cosθ2)2}2
/4(R1cosθ1-R2cosθ2)2-R2 2sin2θ2+R2 2sin2θ2]1/2
＝R2cosθ2-{(R2 2sin2θ2-R1 2sin2θ1)
/(R1cosθ1-R2cosθ2)2-1)/2    ……  (式32)
这里，因为旋转角度θ1、θ2都是检测值，所以可以求出L，就可以求出圆盘状物品的中心A，即在共同的垂直平分线42上距离旋转中心L的位置。
另外，因为半径未知的圆盘状物品的半径r为正数，所以可以用(式33)求得。
r＝[{R2 2sin2θ2-R1 2sin2θ1-(R1cosθ1-R2cosθ2)2}2
/4(R1cosθ1-R2cosθ2)2+R2 2sin2θ2]1/2    ……  (式33)
这里说明的是检测装置的3条轨迹为圆弧的情况，但是，这些检测轨迹也可以是3条平行线。在这种情况下，不用旋转基线40，只要代之以3条平行线上的一点，或其他任意的一点为基点，则就同样可以求出半径未知的圆盘状物品的半径与中心位置。
用检测周缘上的至少3个点的本发明的第2种方法，也可以确定半径未知的圆盘状物品的中心位置。在该第2种方法中，为了检测圆盘状物品的周缘上的至少3个点，可以将检测装置固定，让圆盘状物品移动，也可以反过来，将圆盘状物品固定，让检测装置移动，从而描绘出相对于圆盘状物品的检测装置的轨迹。
在使用一个一点检测型检测装置的情况下，可以与圆盘状物品的周缘的圆在3个点以上交叉。例如，可以用作为检测装置的轨迹的三角函数曲线与圆盘状物品的周缘的圆交叉的方法，让检测装置沿2次以上的多次曲线横过圆盘状物品的周缘的圆，与其交叉(例如图28与图29就是让作为一点检测型检测装置的传感器沿2次曲线关于圆盘状物品作相对移动)的方法，用作为检测装置轨迹的直线在两点横切周缘再作V形折返又检测两点的方法，以及用直线在两点横切周缘再作U形折返又检测两点的方法等，总之最好是至少检测3点的方法。另外，还可以用一个检测装置的长径长于上述圆盘直径的椭圆形或长圆形、即O形的轨迹获得与周缘的圆的4个交点的方法。总而言之，只要将检测装置相对于圆盘状物品移动，检测出3个以上的点就行。
用两个以上的检测装置时的轨迹与圆盘状物品的周缘进行一次以上的交叉。V形、L形等钩形可以用两条直线的组合获得，另外为了排除锐角移动，可以用圆或上述各种曲线与直线的组合成的U形、C形或O形(椭圆或长圆)。在用3个至4个以上的一点检测型检测装置的情况下，可以让全部检测装置与圆盘状物品的周缘交叉一次。
在本发明中，只要检测出圆盘状物品的周缘上的至少3个点，就可以不算出连结圆弧两端的线段及其平分线，而用圆周公式算出该圆盘状物品的半径。在周缘为正圆的情况下，只要3点确定，圆就被确定，但是在象半导体晶圆那样有缺口部的情况下，必须至少有4点。
下面，参照图30对用半径未知的圆盘状物品的周缘的3个点求中心点(中心位置)的方法进行说明。但是，这里的圆盘状物品的周缘的3个点为不在缺口部中的正圆上的3个点。让用作一点检测型检测装置的传感器(例如只有一对发光部与受光部对的光学传感器等)的一个旋转轨道43与旋转中心到中心位置的距离各不相同的圆盘状物品47、50的周缘交叉，对旋转基准线到交点的旋转角度进行检测。这里，为方便起见，以基准坐标的0点为旋转轨道的中心，让旋转基线与水平面平行，与圆盘状物品47移动平面的X轴一致。另外，在传感器的旋转动作前，让传感器在旋转基线(X轴)上，该传感器从这里在旋转轨道43上移动。
没有缺口部的正圆形的圆盘状物品的周缘与旋转轨道43的交点的坐标，可以用测出的旋转角度，以下述方法求出。以移动前的圆盘状物品47的周缘与旋转轨道43的交点为W4、W5，从该圆盘状物品47的位置向旋转原点方向移动m的圆盘状物品50的周缘与旋转轨道43的交点为W6、W7，旋转基线(X轴)到交点W4、W5、W6、W7的旋转角度为θ4、θ5、θ6、θ7。另外，从旋转中心到传感器的距离为R。
Wn的坐标(Xn、Yn)用下述方法求出。其中，n＝4、5、6、7。
X n Y n = cos θ n - sin θ n sin θ n cos θ n R 0
下面，随着圆盘状物品从圆盘状物品47的位置向圆盘状物品50的位置的移动，W8、W9移动到圆盘状物品50的周缘上的点W6、W7，所以W8、W9的坐标可以表示如下。
另外，(θ6+θ7)/2是通过圆盘状物品4 7的中心点与旋转中心点的直线与旋转基准线构成的角度。
X 8 Y 8 = X 6 X 6 + M cos ( θ 6 + θ 7 ) / 2 M sin ( θ 6 + θ 7 ) / 2
用交点坐标求出圆盘状物品的中心位置的坐标(X0、Y0)的式如下。
基准坐标系上的圆盘状物品的圆周，用圆周公式，表为
r2＝(X-X0)2+(Y-Y0)2
将圆盘状物品50上的点W4、W5、W7、W8代入，得
r2＝(X1-X0)2+(Y4-Y0)2    ……  (式41)
r2＝(X5-X0)2+(Y5-Y0)2    ……  (式42)
r2＝(X8-X0)2+(Y8-Y0)2    ……  (式43)
r2＝(X9-X0)2+(Y9-Y0)2    ……  (式44)
用上述式41-式44中的3个式就可求出圆盘状物品的半径r与中心坐标(X0、Y0)，这里，可以用式41-式44表述如下。
交点W4、W5与W8因为在同周缘上，所以半径相等，所以
(X4-X0)2+(Y4-Y0)2＝(X5-X0)2+(Y5-Y0)2  ……  (式45)
(X5-X0)2+(Y5-Y0)2＝(X8-X0)2+(Y8-Y0)2  ……  (式46)
用式45，求X0的解，}
X0＝{(2Y0-Y4-Y5)(Y4-Y5)}/2(X4-X5)
+(X4+X5)/2……  (式47)
将式47代入式46，求Y0，
{(2Y0-Y4-Y5)(Y4-Y5)}/2(X4-X5)+(X4+X5)/2＝{(2Y0-Y5-Y8)(Y5-Y8)}/2(X5-X8)+(X5+X8)/2  ……  (式48)
将此进行整理
Y0＝{(Y4+Y5)(Y4-Y5)(X5-X8)+(Y5+Y8)(Y5-Y8)(X4-X5))+(X4-X5)(X5-X8)(X8-X4)}/2{(Y4-Y5)(X5-X6)+(Y5-Y6)(X4-X5)}  ……  (式49)
X0可以将式49代入式47，
X0＝{(Y4-Y5)(X5-X8)(X5+X8)+(Y5-Y8)(X4-X5)(X4+X5))+(Y4-Y5)(Y5-Y8)(Y8-Y4)}/2{(Y4-Y5)(X5-X8)+(Y5-Y8)(X4-X5)}  ……  (式50)
得到式50。
也可以不用式41到式43中的一个式，而代之以用W9点的式44，由于W4、W5、W8、W9也都在正圆上，因此可以得到相同的(X0、Y0)。
在任何一个交点在缺口部中的情况下，检测4个交点。在该4个交点中，3个点一组的组合有4种，而不含缺口部的组合只有一种，因此，如用上述方法求出的(X0、Y0)与式41-式44来求半径r，则没有缺口部的一个组合的r与有缺口部的3个组合的r的值是不同的。但是，因为没有识别选出该没有缺口部的一个组合的方法，因此在4个组合的r值不全部一致的情况下，将对圆盘状物品的轨迹位置改变一下，再检测4个点，重新进行计算处理，反复进行到4个组合的r的值全部一致，即可求出正确的半径r。
另外，也可以不求出半径r，而对用式41到式44中的3个式子的组合求出的圆盘状物品的中心点直接进行比较，在一致的情况下，就采用作为正确值的中心点，在不一致的情况下就进行再检测。
权利要求18、22、26、27、31与35涉及应用上述原理的自动示教方法，自动定位方法，自动示教装置与自动定位装置中用一个检测型传感器的新颖方法与装置。
权利要求2、5、14与权利要求8、11、16涉及应用上述原理的自动示教方法，自动定位方法，自动示教装置与自动定位装置中传感器轨迹为圆轨道的新颖方法与装置。既可以是传感器在该圆轨道上运动，也可以是圆盘状物品做旋转运动。
另外，在本发明的权利要求36中，提供了一种利用上述的自动示教装置与自动定位装置以及自动运送装置中的任何一个或多个的、经改良的半导体等的自动制造设备。
本发明既可以在定位专用装置中实现，也可以在运送专用装置中实现。另外，这里所说的自动运送装置包括具有旋转运动机构与/或直线运动机构的运送装置，例如，SCARA机器人，多关节机器人，XY轴移动式工作台等公知装置。
上述检测圆盘状物品的外周上两点的传感器的种类最好用非接触型的传感器。由于经常处理的是电子元件半导体晶圆，因此最好不要使用电磁传感器或机械传感器，而用透射型或反射型的光传感器，其中带图象处理装置的CCD等二维传感器，光量定量化的行传感器，开闭分明的点传感器都行。为了实现本发明，这种光传感器虽然最低限度只要一个一点检测型传感器就够了，但是如上所述，为了测出缺口或定向平边，可以用两个传感器，检测偏移角的传感器可以用编码器等公知的角度传感器，但是也可以用伺服马达或步进马达等脉冲马达，采用角度的脉冲值。
本发明中所记述的上述各计算式，可以用通常的计算机程序，通过运送装置的运送机器人的控制用计算机构成的计算装置容易地进行计算，其计算结果，如用于运送装置的机器人等的控制用计算机构成的控制装置，即可容易地反映在运送装置的各部的运动轨道中。
另外，本发明中的基准坐标系，不仅可以是直角坐标系，而且还可以是极坐标系，还有，在坐标系中的位置不仅可以用坐标值直接表达出来，而且也可以用运送机器人的各轴的工作量等间接地表达出来。
附图说明
图1是表示实施本发明的半导体制造设备的一个实施例的部分剖开立体图。
图2是表示上述实施例的半导体制造设备的平面图。
图3是表示上述实施例的半导体制造设备的运送机器人的部分剖开立体图。
图4是表示本发明的方法的原理的平面图。
图5是表示本发明的方法的原理的另一张平面图。
图6是表示本发明的方法的用两个检测装置的缺口部检测原理的平面图。
图7是表示本发明的方法的用两个检测装置的缺口部检测原理的另一张平面图。
图8是表示本发明的方法的用一个检测装置的缺口部检测原理的平面图。
图9是表示本发明的方法的用一个检测装置的缺口部检测原理的另一张平面图。
图10是表示本发明的方法的用两个检测装置的缺口部检测与定位原理的平面图。
图11是表示本发明的方法的用两个检测装置的缺口部检测与定位原理的另一张平面图。
图12是表示根据本发明的方法的圆盘半径算出原理的平面图。
图13是表示向用本发明的示教方法的一个实施例的运送装置进行的示教顺序的流程图。
图14是表示向用本发明的示教方法的一个实施例的运送装置进行的示教顺序的流程图。
图15是表示向用本发明的示教方法的一个实施例的运送装置进行的其他部分的示教顺序的流程图。
图16是表示实施本发明的运送装置的一个实施例的部分剖开立体图。
图17是表示实施本发明的定位装置的一个实施例的部分剖开立体图。
图18是表示实施本发明的定位装置的另一个实施例的部分剖开立体图。
图19是表示实施本发明的定位装置的另一个实施例的部分剖开立体图。
图20是表示实施本发明的定位装置的另一个实施例的部分剖开立体图。
图21是表示实施本发明的定位装置的另一个实施例的部分剖开立体图。
图22是表示本发明的用一个检测装置进行的缺口部检测与定位的一个实施例的部分剖开立体图。
图23是表示本发明的用两个检测装置进行的缺口部检测与定位的一个实施例的部分剖开立体图。
图24是表示实施本发明的运送装置的一个实施例的部分剖开立体图。
图25是表示历来的运送装置的部分剖开立体图。
图26是表示历来的运送装置的示教顺序的流程图。
图27是表示历来的定位装置例子的部分剖开立体图。
图28是表示本发明的方法与装置的用一个检测装置的圆盘状物品的周缘检测方法的一例的平面图。
图29是表示本发明的方法与装置的用一个检测装置的圆盘状物品的周缘检测方法的另一例的平面图。
图30是表示本发明的方法与装置中从圆盘状物品的周缘上的至少3个点求中心点的方法的平面图。
图31是表示根据本发明，从圆盘状物品的周缘上的4个点求中心点的方法与装置的一个实施例的平面图。
图32A与图32B是表示根据本发明，从圆盘状物品的周缘上的4个点求中心点的方法与装置的另一个实施例的平面图。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的半导体制造设备，圆盘状物品的定位方法的实施例进行说明。
图1所示的半导体制造设备1具有将圆盘状物品、即半导体晶圆13从晶圆匣6运送到装载闸室8等的运送装置2，以及与装载闸室8连接的、对晶圆13进行成膜、扩散、蚀刻等各种加工处理的处理装置3。其中的运送装置2具有可以放置在架上存放着晶圆的晶圆匣6的一个或多个载物台19，有运送臂12的SCARA运送机器人4，在与该运送机器人4并列的多个载物台前面、与其列平行移动的移动装置17，用作检测装置的传感器9，以及对运送机器人4、移动装置17以及传感器9的工作进行控制、具有通常的计算机的控制部11。另外，在运送装置2中还可以包括进行圆盘状物品的正确位置补正、检测晶圆缘部的凹陷等缺口部用的、如图25所示的历来的定位装置10。
同图1所示的处理装置3具有进行涂布光刻胶、曝光、蚀刻等各种处理的一个或多个处理室7，连结上述各处理室7的移置室16，设置于移置室16内的运送圆盘状物品的真空机器人31，用作检测装置的传感器9，递送运送装置2的SCARA运送机器人4运送来的圆盘状物品的装载闸室8，以及对处理室7，真空机器人31，传感器9，以及装载闸室8的后面将要说明的闸门的工作进行控制、与运送装置2共用的控制部11。
另外，在装载闸室8中，设置有多个将圆盘状物品放置于架上用的图中未表示出的匣子，另外，为了使装载闸室8内成真空状态，在运送部分设置有装载闸门32。
[基准位置示教方法(1)]
在各晶圆匣、各装载闸室、各处理室等各部分进行示教前，先对表示保持部与圆盘状物品的位置关系的原点坐标进行示教。
在图2中的半导体制造设备1内自动运送晶圆13时，有必要事前对作为运送装置2与处理装置3的控制部11进行包括运送机器人4与真空机器人31中的至少一个的位置在内的基准坐标系上的原点坐标的基准位置进行示教后，再进行运送轨道的示教。示教前的位置通常是含余量设计的，因此具体情况必须根据现场情况确定。图13的流程图表示了用一个装载闸室8的本发明的基准位置示教方法的一个实施例。
首先，在步骤S11，将上述坐标系的第1装载闸室8的临时位置信息(初始值)输入控制部11。接下来，在步骤S12，将运送机器人4的保持部14经由装载闸门32引入，由该保持部1 4保持并送出用手工作业放置于第1装载闸室8内的作为基准位置的所定场所的晶圆或与其同一直径的其他板材构成圆盘状物品(这里用与晶圆一样的标记来表示)13。
接下来，在步骤S13，运送机器人4将其保持的圆盘状物品13运送到作为检测装置的传感器9处，以机器人4的主体轴为中心旋转，通过传感器9的光，将圆盘状物品13的外周缘部切出圆弧，检测出该圆盘状物品13的外周缘部与传感器光的两个交点相对于保持部14的位置，进而测出在上述基准坐标系内的位置。然后，在步骤S14，将根据所得的外周缘上的两点的位置信息、用前面所述的计算式求出的、上述所定场所的圆盘状物品13的中心位置，作为基准位置传送给控制部11中的运送机器人工作控制程序，改写在步骤S11输入的临时位置信息，原点坐标示教作业结束。
这里要提一下，步骤S11-S14，是通过控制部11中预先装好的程序由控制部11自己完成的。
同样地，用真空机器人31对其他装载闸室8等各个部分也分别进行示教。也就是说，在本发明中，除了在各个部分最初要用手工将晶圆等基准圆盘放置在作为基准位置的所定场所外，其他的一切全部可以自动进行示教(auto-teaching)。这时，在保持部14保持圆盘状物品13时，保持部14的保持中心与圆盘状物品13的中心没有必要象历来的示教方法那样必须完全一致，只要运送机器人4的臂不会与装载闸门32或其他机器发生干涉，即使有些错位也没有关系。
[基准位置示教方法(2)]
在本发明的基准位置示教方法的另一个实施例中，可以使用历来的引导定位器。该方法是将保持部14移动至人工作业方便的适当位置，将图3所示的引导定位器20设置于保持部14上，将圆盘状物品13放置于保持部14上，用手推至该引导定位器20，以这时圆盘状物品的中心位置为基准位置。该引导定位器20是以与晶圆吻合一致的曲面以及由保持部14构成的平面为基准面物理地固定晶圆的位置的装置。图14所示的是在图3的装置中实施auto-teaching(自动示教)的处理顺序的流程，在该处理中，在各晶圆匣、各装载闸室等各个部分进行示教前，首先对保持部与圆盘状物品的位置关系进行基准位置示教。
首先，在步骤T1，将圆盘状物品相对于保持部14的临时位置信息(初始值)输入控制部11。接下来，在步骤T2，用手工作业将引导定位器20与圆盘状物品13放置于保持部14上，通过手工作业将圆盘状物品的中心位置调整到合适的正确位置。
接下来，在步骤T3，让圆盘状物品13在作为检测装置的传感器9处作旋转运动，检测出圆盘状物品13的外周缘与传感器光的两个交点相对于保持部1 4的位置，进而测出在上述基准坐标系内的位置。然后，在步骤T4，将根据所得的位置信息、用前面所述的计算式求出的圆盘状物品13在保持部14上的位置，作为保持部14上的基准位置，传送给控制部11中的运送机器人工作控制程序，存贮在控制部11中。
这里要提一下，步骤T1-T4，除了步骤T2外，都是通过控制部11中预先装好的程序由控制部11自己完成的。
[其他部分的示教方法]
图15的流程图表示了根据如上所述确定的基准位置，用自动示教方法对将圆盘状物品从晶圆匣中取出的情况进行示教(包括定位与轨道修正)的顺序。
首先，在步骤U1，将临时位置信息(初始值)与基准位置信息输入控制部11。接下来，在步骤U2，用手工作业将晶圆匣6与圆盘状物品13放置于设计位置。
接下来，在步骤U3，运送机器人4从晶圆匣6内的递送场所接受圆盘状物品13。然后，在步骤U4，运送机器人4移动至传感器9处，让其旋转，与上述步骤一样，检测出外周缘上的两点。
接下来，在步骤U5，将在步骤U4所得的信息(检测值)、传送给偏移量计算装置。然后，在步骤U6，通过偏移量计算装置对检测值与基准位置进行比较，算出偏移量。接下来，在步骤U7，在有错位的情况下，将偏移量传送给控制部11中的运送机器人的工作控制程序。
这里要提一下，步骤U1-U7，除了步骤U2外，都是通过控制部11中预先装好的程序，由控制部11自己作为偏移量计算装置等进行的。
然后，在步骤U8，控制部11考虑上述的偏移量，对运送机器人4的轨道进行修正。也就是说更新设计图上的运送位置即初始值，如果没有错位，则一个系列的示教结束。
对其他的晶圆匣6同各装载闸室8等各部分的递送也同样地分别按图15的步骤U1到步骤U8的顺序进行。采用本发明的示教方法，除了步骤U2用手工作业将圆盘状物品放置在设计图上的位置的工序之外，其他的工序全部可以自动进行。
另外，在进行维修时移动了晶圆匣6的情况下，历来都是要完全手动地重新进行图26的麻烦的步骤S1到S7的工序，但是，根据本发明的自动示教，只有图15的步骤U2要手动，之后就可自动进行。另外，在更换保持部14的情况下，可以从步骤U1起重作，将新旧信息进行对比，将偏移量反映在检测值中。这样，向装载闸室8的运送位置始终保持一定，各处理室7附近没有干扰，垃圾也减少了。
图16表示的是具有作为本发明的圆盘状物品的定位装置的一个实施例的运送机器人4与检测装置即光学式点传感器9的运送装置2。使该运送机器人4的运送臂12工作的驱动装置带有预先设定的基准点，偏移量通过对光学传感器9的输出信号与上述驱动装置的步进马达的脉冲的检测、运算而求出。在运送臂12开始动作时，控制部11确认运送机器人4的全轴处于基准点，根据控制部11的指令，运送机器人4的各轴伸屈、升降，在传感器9处旋转，实施晶圆13的定位。
图16还是对晶圆13的基准位置预先示教的本发明的定位方法的一个实施例进行说明的附图。将晶圆13从晶圆匣6中取出放置在运送臂12的保持部14上的运送机器人4以其主体的旋转轴为中心旋转，让晶圆13在作为检测装置的固定光学传感器9的凹字形框架间通过，让传感器光在晶圆13的外周缘部切出圆弧。这样，便可检测算出晶圆13的中心位置，用上述的偏移量计算装置算出偏移量与晶圆外周缘的位置坐标，确定在运送臂12的保持部14上的晶圆的位置。
算出的偏移量被送至控制运送臂12的动作的控制部11，考虑偏移量，在预先示教的运送位置的信息中加上补正值，对运送位置与运送轨道进行修正。另外，作为图16中的检测装置的传感器9设置于，在保持着晶圆13的运送臂12旋转时，相对于运送机器人4是固定的、并且能够检测出圆盘状物品13的位置上。
图16右侧的处理装置3内的真空机器人31也同样地用作为检测装置的传感器对各装载闸室8、各处理室7中的基准位置进行示教，实施为进行接受晶圆13后的位置补正所需的定位。
[在定位装置(调整器)中采用的情况1]
图17表示的是将本发明的定位方法用于定位装置的一个实施例。该定位装置10具有能真空吸附晶圆13的载物台19，在载物台19的下方有转动装置，可在一个轴向乃至两个轴向移动的X轴移动装置、Y轴移动装置，以及升降装置21。这里，由运送机器人4等放置的晶圆13处于静置的状态，设置于载物台上的检测臂24旋转，划出检测轨迹43，通过设置于检测臂24前端部、作为检测装置的光学传感器9测出晶圆13的外周缘上的两点。用该两点的位置，用前面所述的本发明的计算方法算出晶圆中心，进行X、Y轴方向的修正，让中心重新放置到正常位置的晶圆旋转，别的传感器对晶圆13的缺口部进行检测，旋转停止。
[在定位装置(调整器)中采用的情况2]
图18表示的是检测臂24比晶圆半径短的情况下的定位装置10，其工作方法与定位方法与图17一样。
[在定位装置(调整器)中采用的情况3]
图19表示的是在历来的定位装置中实施本发明的位置检测方法的情况。该定位装置10具有能旋转的载物台19，X轴移动装置、Y轴移动装置，升降装置，以及作为检测装置的点传感器9。在旋转的晶圆13偏心的情况下，通过旋转，与晶圆13半径相同的检测轨道43检测在晶圆缘部切出的两点。此后的定位方法与图17的装置一样。
历来，由运送机器人等运送至载物台的圆盘状物品，是用日本早期公开特开平6-224285号专利公报所述的、采用光学的行传感器的检测方法等获得圆盘状物品的中心位置信息的。在该方法中，必须驱动载物部旋转，检测出一周的缘部的位置信息，在如图20所示缘部的一部分在行传感器的检测范围外时，进行定位动作的前提是要驱动X轴、Y轴的移动装置，重新安置圆盘状物品，使其在检测范围之内。如采用本发明的定位方法，即使缘部的一部分在检测范围外，由于通过晶圆的旋转必定会有其他部分通过传感器的，因此，只要将行传感器上的一点定为检测点，就可以与图19一样，用本发明的中心位置算出方法算出圆盘状物品的中心位置信息。也就是说，完全不需要重新安置，便可以算出晶圆的中心。
另外，如果知道了晶圆的中心位置，则可以不要定位装置的X、Y驱动部，而如图21所示，通过让运送机器人4工作，在装载前将保持部14移动至正常位置，进行圆盘状物品13的定位。
[将传感器装在保持部]
如图22所示，将传感器8设置于运送机器人4的保持部14的前端或侧部，通过运送机器人4的旋转与伸屈动作，测出装好的圆盘状物品13的外周缘的两点，便可算出圆盘状物品13的中心位置。另外，在判断检测轨道山是否与缺口部等重合时，可以通过图10、图11所示的方法，在保持部14设置两个检测装置，或者用一个检测装置对圆盘状物品13进行两次扫描。
[将传感器装在各部分的闸门口]
在图23中，在运送装置2的晶圆匣用的闸门装有两个传感器9(图中只表示了一个)，驱动运送机器人4的运送臂12，使其作直线运动，在取出晶圆13时，算出其中心，进行定位，对要运送到其他部分去的轨道进行修正，使其成为正确的轨道。计算方法与图10、图11所示的一样。
[直线运动]
图24是权利要求9所述的本发明的定位装置的一个实施例。设置由一个传感器构成的检测装置9，附属于运送机器人4，驱动运送机器人4的运送臂12，使晶圆13作直线运动，测出晶圆13外周缘上的两点。以此算出中心，进行定位，对要运送到其他部分去的轨道进行修正，使其成为正确的轨道。计算方法与前面的(式12)至(式15)所示的一样。
下面，对用一个检测装置(传感器)对半径未知的圆盘状物品的周缘上的至少3个点进行检测的本发明的第2方法与装置的实施例，分别按图31所示的将圆盘状物品装在所定的场所、让检测装置移动的情况，以及图32A、32B所示的将检测装置固定、让圆盘状物品移动的情况进行说明。
[实施例A]
在图31所示的装置中，作为1点型检测装置的传感器9设置于运送装置的保持部的前端。该传感器9最好是光学式反射型传感器，但是，只要是能够检测圆盘状物品的周缘的传感器，公知的传感器都可以用。在该实施例中，作为运送装置的运送机器人与圆盘状物品4 7设置于基准坐标系上，为了方便起见，将原点的位置放在运送机器人的运送臂12的旋转中心点上，圆盘状物品47放置于已知的载物台60上，不移动。在该基准坐标系上，传感器9沿二次曲线的轨迹43移动，对圆盘状物品47的3个点或4个点的坐标进行检测。
[实施例B]
在图32的基准坐标系上，作为运送装置的运送机器人与传感器9都固定在已知的位置上。运送机器人的运送臂12的保持部14上吸附固定着圆盘状物品47，通过该保持部14的特定点沿二次曲线的轨迹4 9的移动，传感器9对圆盘状物品47的周缘的3个点进行检测。在如图32A所示，传感器9即将被圆盘状物品47挡住的时间点，通过从圆盘状物品47的位置到圆盘状物品46的映射(移动)，让保持部14上的特定点K1的象为原点K0，传感器9测出的周缘的点J2的象，与向原点的移动直线平行地移动，映射到点J1。
第2点的点J4，在如图32B所示，传感器9即将离开圆盘状物品47的时间点测出，随着这时的保持部14上的特定点K2向K0的映射，被映射为点J3(补偿了相当于保持部14的角度变化的圆盘状物品4 6的角度变化)。
周缘上剩下的两个点，可以在与J1、J3的对称位置测出，但是用这4个点中的3个点就可以测出圆盘状物品4 7的中心位置与半径。可以在检测出3个点后就停止保持部的动作。
可根据这些检测值算出交点坐标，进一步算出圆盘状物品的中心坐标，用于前面所述的基准位置示教方法或自动示教方法等。
另外，为实施本发明的自动示教方法、自动定位方法或自动运送方法而进行的位置计算等，在上述的实施例中是由运送装置2的控制部11进行的，但是本发明不限于此，也可以由与上述控制部11相连接的另外的计算机等来进行。
还有，图13的步骤S11、图1 4的步骤T1与图15的步骤U1中的初始值的输入，在上述实施例中是通过执行程序二自动进行的，但是也可以通过键盘操作等进行手工输入。
应用与产业的可能性
如上所述，采用本发明的圆盘状物品的基准位置自动示教方法与自动定位方法，由于不要定位专用机，因此可以节省空间，降低装置的费用。另外，检测装置，即传感器只要用一个或两个价格便宜的点传感器即可，因此可以降低费用。
值得一提的是，在用一个传感器的情况下，因为传感器的坐标是确定的，所以光轴多少有些错位也没有关系，因此可以降低费用。
另一方面，在进行一次动作，使用多个传感器的情况下，可以提高生产能力(生产率)，另外还可以方便地进行维修后的示教。
还有，如果采用本发明的自动示教方法与装置，在图1的半导体制造设备中采用的情况下，可以大幅度地缩短作业的工时，作业时间可以缩短到1-2个小时左右，位原来的约十分之一。另外，由于没有了运送位置的目测确认等人为的误差，所以即使进行了维修，也能够恢复到维修作业前的状态。还有，由于可以在圆盘状物品的运送中算出偏移量，所以可以省去向定位装置运送的往复时间，使生产率得到提高。检测装置是必须随时工作的，由于与此相适应，只要通过检测装置就可以进行错位检测，所以能对运送是否正常进行管理，始终保持正常运转。
另外，由于可以对未知的圆盘状物品的半径进行检测、判断，因此可以用本发明的装置对每片的半径进行确认，因此可以将大小尺寸不同的晶圆同时供给半导体处理装置进行处理，可以实现生产线的开工率与生产率的提高。

Claims (37)

1.一种对作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人进行关于作为包括该SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的圆盘状物品位置的基准的基准位置进行自动示教的方法，其特征在于包括：
求出放置于作为基准位置的所定场所的半径已知的圆盘状物品在上述基准坐标系中的中心位置的工序，
将根据上述中心位置通过运算求出的上述基准坐标系中的上述所定场所的位置作为基准位置存贮于上述SCARA型机械人的中的工序，
求出上述圆盘状物品的中心位置的工序包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于检测装置移动，相对于上述圆盘状物品的圆周，使与上述检测装置的一条轨迹交叉的工序，
求出上述交叉产生的两个交点在上述基准坐标系中的位置的工序，
用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径算出上述中心位置的工序。
2.根据权利要求1所述的圆盘状物品的基准位置的自动示教方法，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
3.一种进行包括作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的半径已知的上述圆盘状物品的自动定位的方法，其特征在于包括：
求出上述基准坐标系中的上述圆盘状物品的中心位置的工序，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的工序，
求出上述圆盘状物品的中心位置的工序包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于检测装置移动，相对于上述圆盘状物品的圆周，使与上述检测装置的一条轨迹交叉的工序，
求出上述交叉产生的两个交点在上述基准坐标系中的位置的工序，
用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径算出上述中心位置的工序。
4.一种进行包括圆盘状物品的处理装置位置在内的基准坐标系中的、周缘的一部分上有一个凹部或一个凸部、半径已知的圆盘状物品的自动定位的方法，其特征在于包括
求出上述基准坐标系中的、上述具有凹部或凸部的圆盘状物品的中心位置的工序，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的工序，
求出上述具有凹部于凸部的圆盘状物品的中心位置的工序包括
将检测装置相对于上述圆盘状物品移动，使得上述检测装置的两条轨迹与上述圆盘状物品的圆周交叉的工序，
求出上述圆盘状物品的周缘与上述的两条轨迹交叉产生的、各组由两个点构成的两个组的交点在上述基准坐标系中的位置的工序，
对上述的两个组，分别用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径，算出以这些交点位于含除上述凹部或凸部之外的上述周缘的圆周上的情况下的圆中心位置的工序，
将上述算出的两个中心位置进行对比，根据上述交点位于上述凹部或凸部时的中心点的位置错位方向，对上述圆盘状物品的中心位置进行选择的工序。
5.根据权利要求3或权利要求4所述的圆盘状物品的自动定位方法，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
6.一种圆盘状物品的自动运送方法，其特征在于包括
进行根据权利要求3或4所述的圆盘状物品的自动定位方法的工序，
根据用上述定位方法算出的偏移量，对作为上述处理装置和作为运送装置的上述SCARA型机械人的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的工序，
用上述SCARA型机械人的上述保持部，沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的工序。
7.一种对作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人进行关于作为包括该SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的圆盘状物品位置的基准的基准位置进行自动示教的装置，其特征在于包括
求出放置于作为基准位置的所定场所的半径已知的圆盘状物品在上述基准坐标系中的中心位置的装置，
将根据上述中心位置通过运算求出的上述基准坐标系中的上述所定场所的位置作为基准位置存贮于上述SCARA型机械人中的装置，
求出上述圆盘状物品的中心位置的装置包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于检测装置移动，相对于上述圆盘状物品的圆周，使与上述检测装置的一条轨迹交叉的装置，
求出上述交叉产生的两个交点在上述基准坐标系中的位置的装置，
用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径算出上述中心位置的装置。
8.根据权利要求7所述的圆盘状物品的基准位置的自动示教装置，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
9.一种进行包括作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的半径已知的上述圆盘状物品的自动定位的装置，其特征在于包括
求出上述基准坐标系中的上述圆盘状物品的中心位置的装置，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的装置，
求出上述圆盘状物品的中心位置的装置包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于检测装置移动，相对于上述圆盘状物品的圆周移动，使与上述检测装置的一条轨迹交叉的装置，
求出上述交叉产生的两个交点在上述基准坐标系中的位置的装置，
用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径算出上述中心位置的装置。
10.一种进行包括圆盘状物品的处理装置位置在内的基准坐标系中的、周缘的一部分上有一个凹部或一个凸部、半径已知的圆盘状物品的自动定位的装置，其特征在于包括
求出上述基准坐标系中的、上述具有凹部或凸部的圆盘状物品的中心位置的装置，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的装置，
求出上述具有凹部于凸部的圆盘状物品的中心位置的装置包括
将检测装置相对于上述圆盘状物品移动，使得上述检测装置的两条轨迹与上述圆盘状物品的圆周交叉的装置，
求出上述圆盘状物品的周缘与上述的两条轨迹交叉产生的、各组由两个点构成的两个组的交点在上述基准坐标系中的位置的装置，
对上述的两个组，分别用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径，算出以这些交点位于含除上述凹部或凸部之外的上述周缘的圆周上的情况下的圆中心位置的装置，
将上述算出的两个中心位置进行对比，根据上述交点位于上述凹部或凸部时的中心点的位置错位方向，对上述圆盘状物品的中心位置进行选择的装置。
11.根据权利要求9所述的圆盘状物品的自动定位装置，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
12.一种圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于具有
根据权利要求9所述的圆盘状物品的自动定位装置，
根据用上述圆盘状物品的定位装置算出的偏移量，对上述处理装置和作为运送装置的SCARA型机械人的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的装置，
对上述SCARA型机械人的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部，沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
13.一种进行包括圆盘状物品的处理装置位置在内的基准坐标系中的、周缘的一部分上有一个凹部或一个凸部、半径已知的圆盘状物品的自动定位的方法，其特征在于包括
求出上述基准坐标系中的、上述具有凹部或凸部的圆盘状物品的中心位置的工序，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的工序，
求出上述具有凹部于凸部的圆盘状物品的中心位置的工序包括
将检测装置相对于上述圆盘状物品移动，使得上述检测装置的轨迹与上述圆盘状物品的周缘3次交叉，求出1组由两个点构成的3个组的交点在上述基准坐标系中的位置的工序，
选择上述3个组各自的交点的3条垂直平分线中的共同垂直平分线的工序，
从上述共同的垂直平分线上的特定点与该共同垂直平分线的2组的交点算出上圆盘状物品的半径与中心位置的工序。
14.根据权利要求13所述的圆盘状物品的自动定位方法，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
15.一种进行包括圆盘状物品的处理装置位置在内的基准坐标系中的、周缘的一部分上有一个凹部或一个凸部、半径已知的圆盘状物品的自动定位的装置，其特征在于具有
求出上述基准坐标系中的、上述具有凹部或凸部的圆盘状物品的中心位置的装置，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的装置，
求出上述具有凹部于凸部的圆盘状物品的中心位置的装置有，
将检测装置相对于上述圆盘状物品移动，使得上述检测装置的轨迹与上述圆盘状物品的周缘3次交叉，求出1组由两个点构成的3个组的交点在上述基准坐标系中的位置的装置，
选择上述3个组各自的交点的3条垂直平分线中的共同垂直平分线的装置，
从上述共同的垂直平分线上的特定点与该共同垂直平分线的2组的交点算出上圆盘状物品的半径与中心位置的装置。
16.根据权利要求15所述的圆盘状物品的自动定位装置，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
17.一种在周缘的一部分上具有一个凹部或一个凸部的半径未知的圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于具有
根据权利要求15所述的圆盘状物品的自动定位装置，
根据用上述圆盘状物品的定位装置算出的偏移量，对运送装置的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的修正装置，
对上述运送装置的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部，沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
18.一种对包括作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的上述圆盘状物品位置的基准的基准位置进行自动示教的方法，其特征在于包括
将半径未知的圆盘状物品放置于作为基准位置的所定场所的工序，
求出上述基准坐标系中的圆盘状物品的中心位置的工序，
将根据上述中心位置通过运算求出的上述基准坐标系中的上述所定场所的位置作为基准位置存贮于上述SCARA型机械人中的工序，
求出上述圆盘状物品的中心位置的工序包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于一个一点检测型检测装置移动，以上述一点检测型检测装置对该圆盘状物品的周缘上的至少3点进行检测的工序，用上述检测出的至少3点的坐标位置与公式求出中心位置的工序。
19.根据权利要求18所述的圆盘状物品的自动示教方法，其特征在于上述检测至少3点的工序包括
上述一点检测型检测装置划出相对于上述圆盘状物品的O形、V形、U形、L形或C形的轨迹，与上述圆盘状物品的周缘交叉的工序。
20.根据权利要求18所述的圆盘状物品的自动示教方法，其特征在于
上述圆盘状物品为周缘有凸部或凹部的半径未知圆盘状物品，
上述圆盘状物品的周缘上被检测的至少3点为4点以上，
在用圆周公式对上述4点以上中的3点构成的全部组合求出的半径或中心位置全部一致的情况下，选择该值，在不一致的情况下，反复进行上述的4点以上的检测，直至一致。
21.一种对包括作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的半径未知的圆盘状物品的进行自动定位的方法，其特征在于包括
求出上述基准坐标系中的上述圆盘状物品的中心位置的工序，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的工序，
求出上述圆盘状物品的中心位置的工序包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于一个一点检测型检测装置移动，以上述一点检测型检测装置对该圆盘状物品的周缘上的至少3个点进行检测的工序，
用上述检测出的至少3个点的坐标位置与圆周公式求出中心位置的工序。
22.根据权利要求21所述的圆盘状物品的自动定位方法，其特征在于上述检测至少3点的工序包括
上述一点检测型检测装置划出相对于上述圆盘状物品的O形、V形、U形、L形或C形的轨迹，与上述圆盘状物品的周缘交叉的工序。
23.根据权利要求21所述的圆盘状物品的自动定位方法，其特征在于
上述圆盘状物品为周缘有凸部或凹部的半径未知圆盘状物品，
上述圆盘状物品的周缘上被检测的至少3点为4点以上，
在用圆周公式对上述4点以上中的3点构成的全部组合求出的半径或中心位置全部一致的情况下，选择该值，在不一致的情况下，反复进行上述的4点以上的检测，直至一致。
24.一种圆盘状物品的自动运送方法，其特征在于
在用根据权利要求21所述的圆盘状物品的自动定位方法的圆盘状物品的自动运送方法中，包括
根据用上述定位方法算出的偏移量，对作为上述处理装置以及作为运送装置的SCARA型机械人的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的工序，
用上述SCARA型机械人的上述保持部，沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的工序。
25.一种圆盘状物品的基准位置的自动示教装置，对作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人的进行关于包括该SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的圆盘状物品位置的基准的基准位置进行自动示教，其特征在于包括：
求出放置于作为基准位置的所定场所的半径未知的圆盘状物品在上述基准坐标系中的中心位置的装置，
将根据上述中心位置通过运算求出的上述基准坐标系中的上述所定场所的位置作为基准位置存贮于上述SCARA型机械人中的装置，
求出上述圆盘状物品的中心位置的装置包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于一个一点检测型检测装置移动，以上述一点检测型检测装置对该圆盘状物品的周缘上的至少3个点进行检测的工序，用上述检测出的至少3个点的坐标位置与圆周公式求出中心位置的工序。
26.根据权利要求25所述的圆盘状物品的基准位置的自动示教装置，其特征在于在上述检测至少3点的装置中，
上述一点检测型检测装置划出相对于上述圆盘状物品的O形、V形、U形、L形或C形的轨迹，与上述圆盘状物品的周缘交叉。
27.根据权利要求25所述的圆盘状物品的基准位置的自动示教装置，其特征在于
上述圆盘状物品为周缘有凸部或凹部的半径未知圆盘状物品，
用上述检测至少3点的装置检测出的上述圆盘状物品的周缘上的至少3点为4点以上，
在用圆周公式对上述4点以上中的3点构成的全部组合求出的半径或中心位置全部一致的情况下，选择该值，在不一致的情况下，反复进行上述的4点以上的检测，直至一致。
28.一种对包括作为圆盘状物品的处理装置的SCARA型机械人的位置在内的基准坐标系中的半径未知的圆盘状物品的进行自动定位的装置，其特征在于包括：
求出上述基准坐标系中的上述圆盘状物品的中心位置的装置，
从上述基准坐标系中的预先示教的中心位置算出离上述求出的中心位置的偏移量的装置，
求出上述圆盘状物品的中心位置的装置包括：
将上述圆盘状物品以上述SCARA型机械人的保持部加以保持，并通过上述SCARA型机械人，在多数个场所之间且以不包含在同一路径的来回移动的移载中，使上述圆盘状物品相对于一个一点检测型检测装置移动，以上述一点检测型检测装置对该圆盘状物品的周缘上的至少3个点进行检测的装置，用上述检测出的至少3个点的坐标位置与圆周公式求出中心位置的装置。
29.根据权利要求28所述的圆盘状物品的自动定位装置，其特征在于在上述检测至少3点的装置中，
上述检测装置划出相对于上述圆盘状物品的O形、V形、U形、L形或C形的轨迹，与上述圆盘状物品的周缘交叉。
30.根据权利要求28所述的圆盘状物品的自动定位装置，其特征在于
上述圆盘状物品为周缘有凸部或凹部的半径未知圆盘状物品，
用上述检测至少3点的装置检测出的上述圆盘状物品的周缘上的至少3点为4点以上，
在用圆周公式对上述4点以上中的3点构成的全部组合求出的半径或中心位置全部一致的情况下，选择该值，在不一致的情况下，反复进行上述的4点以上的检测，直至一致。
31.一种圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于
在用根据权利要求28所述的圆盘状物品的自动定位装置的圆盘状物品的自动运送装置中，包括：
根据用上述圆盘状物品的自动定位装置算出的偏移量，对上述处理装置以及作为运送装置的上述SCARA型机械人的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的装置，
对上述SCARA型机械人的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
32.根据权利要求31所述的圆盘状物品的自动定位装置，其特征在于上述检测装置的轨迹为圆弧。
33.一种圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于具有
根据权利要求10所述的圆盘状物品的自动定位装置，
根据用上述圆盘状物品的自动定位装置算出的偏移量，对运送装置的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的装置，
对上述运送装置的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部，沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
34.一种在周缘的一部分上具有一个凹部或一个凸部的半径未知的圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于具有
根据权利要求16所述的圆盘状物品的自动定位装置，
根据用上述圆盘状物品的自动定位装置算出的偏移量，对运送装置的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的修正装置，
对上述运送装置的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部，沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
35.一种圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于
在用根据权利要求29所述的圆盘状物品的自动定位装置的圆盘状物品的自动运送装置中，包括
根据用上述圆盘状物的自动定位装置算出的偏移量，对上述处理装置以及作为运送装置上述SCARA型机械人的的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的装置，
对上述SCARA型机械人的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
36.一种圆盘状物品的自动运送装置，其特征在于
在用根据权利要求30所述的圆盘状物品的自动定位装置的圆盘状物品的自动运送装置中，包括
根据用上述圆盘状物品的自动定位装置算出的偏移量，对上述处理装置以及作为运送装置上述SCARA型机械人的保持部的预先示教的运送轨道进行修正的装置，
对上述SCARA型机械人的上述保持部的动作进行控制，用上述保持部沿上述修正后的运送轨道将上述圆盘状物品运送至所定的运送位置的运送装置。
37.一种半导体自动制造设备，其特征在于包括以下任何一种：
权利要求7、权利要求27所述的圆盘状物品的基准位置自动示教装置，
权利要求9、权利要求10、权利要求15或权利要求28任何一项所述的圆盘状物品的自动定位装置，以及
权利要求12、权利要求17、或权利要求31所述的圆盘状物品的运送装置。
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