KR100785682B1 - 원반형물의 기준위치 자동 교시방법, 자동 위치결정방법 및자동 반송방법, 그리고 이러한 방법을 사용하는원반형물의 기준위치 자동 교시장치, 자동 위치결정장치,자동 반송장치 및, 반도체 자동 제조설비 - Google Patents
원반형물의 기준위치 자동 교시방법, 자동 위치결정방법 및자동 반송방법, 그리고 이러한 방법을 사용하는원반형물의 기준위치 자동 교시장치, 자동 위치결정장치,자동 반송장치 및, 반도체 자동 제조설비 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (30)
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇에 그 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 위치의 기준이 되는 기준위치를 자동 교시하는 방법에 있어서,기준위치로 하는 소정 장소에 놓인 반경이 이미 알려진 원반형물의 상기 기준 좌표계에서의 중심위치를 구하는 공정과,상기 중심위치에 의거하여 연산으로 구한 상기 기준 좌표계에서의 상기 소정 장소의 위치를 기준위치로서 상기 스칼라형 로봇에 기억시키는 공정을 포함하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 원반형물의 원주에 대하여 상기 검출수단의 1개의 궤적을 교차시키는 공정과,상기 교차에 의한 2개의 교점의, 상기 기준 좌표계에서의 위치를 구하는 공정과,상기 2개의 교점을 연결하는 선분의 수직이등분선상의 특정 점과 상기 2개의 교점과 상기 원반형물의 반경을 사용하여 상기 중심위치를 산출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 기준위치 자동 교시방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 검출수단의 궤적은 원호인 것을 특징으로 하는, 원반형물의 기준위치 자동 교시방법.
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의, 반경이 이미 알려진 상기 원반형물의 자동 위치결정을 실시하는 방법에 있어서,상기 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정과,상기 기준 좌표계에서의 미리 교시된 중심위치로부터 상기 구해진 중심위치로의 편이량을 산출하는 공정을 포함하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 원반형물의 원주에 대하여 상기 검출수단의 1개의 궤적을 교차시키는 공정과,상기 교차에 의한 2개의 교점의, 상기 기준 좌표계에서의 위치를 구하는 공정과,상기 2개의 교점을 연결하는 선분의 수직이등분선상의 특정 점과 상기 2개의 교점과 상기 원반형물의 반경을 사용하여 상기 중심위치를 산출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 검출수단의 궤적은 원호인 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정방법.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 기재된 원반형물의 자동 위치결정방법을 실시하는 공정과,상기 위치결정방법으로 산출한 편이량에 의거하여, 상기 취급장치 및 반송장치로서의 상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부의 미리 교시된 반송궤도를 수정하는 공정과,상기 수정한 반송궤도를 따라 상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부에서 상기 원반형물을 소정의 반송위치에 반송하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 반송방법.
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇에 그 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 위치의 기준이 되는 기준위치를 자동 교시하는 장치에 있어서,기준위치로 하는 소정 장소에 놓여진 반경이 이미 알려진 원반형물의, 상기 기준 좌표계에서의 중심위치를 구하는 수단과,상기 중심위치에 의거하여 연산으로 구한 상기 기준 좌표계에서의 상기 소정 장소의 위치를 기준위치로서 상기 스칼라형 로봇에 기억시키는 수단을 구비하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 원반형물의 원주에 대하여 상기 검출수단의 1개의 궤적을 교차시키는 수단과,상기 교차에 의한 2개의 교점의, 상기 기준 좌표계에서의 위치를 구하는 수단과,상기 2개의 교점을 연결하는 선분의 수직이등분선상의 특정 점과 상기 2개의 교점과 상기 원반형물의 반경을 사용하여 상기 중심위치를 산출하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 기준위치 자동 교시장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 검출수단의 궤적은 원호인 것을 특징으로 하는, 원반형물의 기준위치 자동 교시장치.
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의, 반경이 이미 알려진 상기 원반형물의 자동 위치결정을 실시하는 장치에 있어서,상기 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단과,상기 기준 좌표계에서의, 미리 교시된 중심위치로부터 상기 구해진 중심위치로의 편이량을 산출하는 수단을 구비하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 원반형물의 원주에 대하여 상기 검출수단의 1개의 궤적을 교차시키는 수단과,상기 교차에 의한 2개의 교점의, 상기 기준 좌표계에서의 위치를 구하는 수단과,상기 2개의 교점을 연결하는 선분의 수직이등분선상의 특정 점과 상기 2개의 교점과 상기 원반형물의 반경을 사용하여 상기 중심위치를 산출하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 검출수단의 궤적은 원호인 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정장치.
- 제 8 항에 기재된 원반형물의 자동 위치결정장치와,상기 원반형물의 위치결정장치가 산출한 편이량에 의거하여 상기 취급 장치 및 반송장치로서의 상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부의 미리 교시된 반송궤도를 수정하는 수단과,상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부의 작동을 제어하고, 상기 수정한 반송궤도를 따라 상기 유지부에서 상기 원반형물을 소정의 반송위치에 반송하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 반송장치.
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 위치의 기준이 되는 기준위치를 자동 교시하는 방법에 있어서,기준위치로 하는 소정 장소에 반경이 알려지지 않은 원반형물을 두는 공정과,상기 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정과,상기 중심위치에 의거하여 연산으로 구한 상기 기준 좌표계에서의 상기 소정 장소의 위치를 기준위치로서 상기 스칼라형 로봇에 기억시키는 공정을 포함하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 1개의 1점 검출형 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 1점 검출형 검출수단으로 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 적어도 3점을 검출하는 공정과,상기 검출한 적어도 3점의 좌표위치와 원주의 공식을 사용하여 중심위치를 구하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 교시방법.
- 삭제
- 제 11 항에 있어서, 상기 적어도 3점을 검출하는 공정은,상기 1점 검출형 검출수단이 상기 원반형물에 대하여 상대적으로 O자형, V자형, U자형, L자형 또는 C자형의 궤적을 그려 상기 원반형물의 둘레가장자리와 교차하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 교시방법.
- 삭제
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의, 반경이 알려지지 않은 상기 원반형물의 자동 위치결정방법에 있어서,상기 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정과,상기 기준 좌표계에서의, 미리 교시된 중심위치로부터 상기 구해진 중심위치로의 편이량을 산출하는 공정을 포함하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 공정은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 1개의 1점 검출형 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 1점 검출형 검출수단으로 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 적어도 3점을 검출하는 공정과,상기 검출한 적어도 3점의 좌표위치와 원주의 공식을 사용하여 중심위치를 구하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정방법.
- 삭제
- 제 15 항에 있어서, 상기 적어도 3점을 검출하는 공정은,상기 1점 검출형 검출수단이 상기 원반형물에 대하여 상대적으로 O자형, V자형, U자형, L자형 또는 C자형의 궤적을 그려 상기 원반형물의 둘레가장자리와 교차하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정방법.
- 삭제
- 제 15 항에 기재된 원반형물의 자동 위치결정방법을 사용한 원반형물의 자동 반송방법에 있어서,상기 위치결정방법으로 산출한 편이량에 의거하여, 상기 취급장치 및 반송장치로서의 상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부의 미리 교시된 반송궤도를 수정하는 공정과,상기 수정한 반송경로를 따라 상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부에서 상기 원반형물을 소정의 반송위치에 반송하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 반송방법.
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇에 그 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 위치의 기준이 되는 기준위치를 자동 교시하는 장치에 있어서,기준위치로 하는 소정 장소에 놓여진 반경이 알려지지 않은 원반형물의, 상기 기준 좌표계에서의 중심위치를 구하는 수단과,상기 중심위치에 의거하여 연산으로 구한 상기 기준 좌표계에서의 상기 소정 장소의 위치를 기준위치로서 상기 스칼라형 로봇에 기억시키는 수단을 구비하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 1개의 1점 검출형 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로 상기 1점 검출형 검출수단으로 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 적어도 3점을 검출하는 수단과,상기 검출한 적어도 3점의 좌표위치와 원주의 공식을 사용하여 중심위치를 구하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 기준위치 자동 교시장치.
- 삭제
- 제 20 항에 있어서, 상기 적어도 3점을 검출하는 수단으로는,상기 1점 검출형 검출수단이 상기 원반형물에 대하여 상대적으로 O자형, V자형, U자형, L자형 또는 C자형의 궤적을 그려 상기 원반형물의 둘레가장자리와 교차하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 교시장치.
- 삭제
- 원반형물의 취급장치로서의 스칼라형 로봇의 위치를 포함하는 기준 좌표계에서의, 반경이 알려지지 않은 상기 원반형물의 자동 위치결정을 실시하는 장치에 있어서,상기 기준 좌표계에서의 상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단과,상기 기준 좌표계에서의, 미리 교시된 중심위치로부터 상기 구해진 중심위치로의 편이량을 산출하는 수단을 구비하고,상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단은,상기 원반형물을, 상기 스칼라형 로봇의 유지부에서 유지하여 그 스칼라형 로봇에 의해 복수 장소 사이에서, 동일 경로에서의 왕복 이동을 포함하지 않고, 이동 탑재 중에, 1개의 1점 검출형 검출수단에 대하여 이동 탑재시켜, 상대적으로, 상기 1점 검출형 검출수단으로 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 적어도 3점을 검출하는 수단과,상기 검출한 적어도 3점의 좌표위치와 원주의 공식을 사용하여 상기 원반형물의 중심위치를 구하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정장치.
- 삭제
- 제 24 항에 있어서, 상기 적어도 3점을 검출하는 수단으로는,상기 1점 검출형 검출수단이 상기 원반형물에 대하여 상대적으로 O자형, V자형, U자형, L자형 또는 C자형의 궤적을 그려 상기 원반형물의 둘레가장자리와 교차하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 위치결정장치.
- 삭제
- 제 24 항에 기재된 원반형물의 자동 위치결정장치를 사용하는 원반형물의 자동 반송장치에 있어서,상기 위치결정 수단이 산출한 편이량에 의거하여, 상기 취급장치 및 반송장치로서의 상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부의 미리 교시된 반송궤도를 수정하는 수단과,상기 스칼라형 로봇의 상기 유지부의 작동을 제어하고, 상기 수정한 반송경로를 따라 상기 유지부에서 상기 원반형물을 소정의 반송위치에 반송하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 원반형물의 자동 반송장치.
- 삭제
- 제 6 항 또는 제 20 항에 기재된 원반형물의 기준위치 교시장치와,제 8 항 또는 제 24 항에 기재된 원반형물의 위치결정장치와,제 10 항 또는 제 28 항에 기재된 원반형물의 반송장치 중 어느 하나를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 자동 제조설비.
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