JP2000068359A

JP2000068359A - ウエハ搬送装置

Info

Publication number: JP2000068359A
Application number: JP23710698A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Mizutani; 康博水谷; Fumio Miyamoto; 文夫宮本
Original assignee: Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1998-08-24
Filing date: 1998-08-24
Publication date: 2000-03-03

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送ロボットの移動距離は、ウエハの略中心
位置と回転テーブルの回転中心の距離に基づき設定して
いる。従って、アライメントユニット内でのウエハ粗位
置決めに用いる光センサの取付位置に誤差が生じている
場合には、ハンドに載置したウエハの略中心位置を誤っ
て算出するため、設定した搬送ロボットの移動距離が適
切でない。【解決手段】ＣＣＤセンサにより算出したウエハの中
心位置と、アライメントユニットに設けた光センサによ
りアライメントユニットからの退避時に検出したウエハ
外周点から算出した中心点の座標が異なる場合に、光セ
ンサの取付位置誤差を求め、該誤差に基づきアライメン
トユニット内に設けた光センサの位置を算出補正し、搬
送ロボットの移動距離を決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備の
ウエハ搬送装置に係わり、ウエハの中心位置を検出する
位置合わせ装置を用いた際に生じる中心位置の誤検出に
よる後工程への影響を低減するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造設備においては、本来の処理
を行う処理装置（例えばウエハにプラズマエッチング等
の処理を行う基板処理装置）の外部にウエハの搬出入を
行う搬出入部が設けてある。図１に搬出入部の概略レイ
アウトを示す。

【０００３】図１に示すように、基板処理装置１の外部
にはウエハ搬送部２が設けてあり、ウエハ搬送部２は、
ウエハ３を収納するカセット４（収納容器）を載置する
複数のカセット載置台５と、ウエハ３の偏心量を検出す
るアライメントユニット６（位置合わせ装置）を設けた
ウエハ待機部２ａと、ウエハ３を搬送する搬送ロボット
８が移動する中継部２ｂから成っている。基板処理装置
１とウエハ待機部２ａとの間に設けた中継部２ｂに位置
する搬送ロボット８は、中継部２ｂにおいて各カセット
載置台５とアライメントユニット６間を横方向に移動可
能であり、またカセット４内の最下部から最上部まで上
下動可能な構造を有している。搬送ロボット８の動作は
コントローラ９により制御される。

【０００４】搬送ロボット８は基板処理装置１に面した
カセット４の前面に移動してウエハ３を取り出し、アラ
イメントユニット６に搬送する。

【０００５】図２は図１に示すアライメントユニット６
の内部を示す図であり、搬送ロボット８との位置関係も
示している。

【０００６】アライメントユニット６は光センサをウエ
ハ３の搬出入側に３箇所有している。例えば透過型の光
センサを用いた場合には、搬送ロボット８は保持したウ
エハ３により光センサの光軸を遮断する形でアライメン
トユニット６内にウエハ３を挿入する。たとえば、図２
に示すように、アライメントユニット６にはウエハ３の
挿入口６ａ下部に受光側素子１０ａ，１０ｂ，１０ｃが
設けてあり、受光側素子１０ａ，１０ｂ，１０ｃに対向
してウエハ３の挿入口６ａ上部に発光側素子が設けてあ
るが、説明の便宜上発光側素子の図示は省略している。
以下、光センサ１０ａ、１０ｂ、１０ｃのいずれかを代
表的に、またはこれらを総称して光センサ１０と呼ぶ。

【０００７】なお、搬送ロボット８がアライメントユニ
ット６に正対した時の位置関係を基準として、搬送ロボ
ット８の図面上左右方向をＸ軸方向、ウエハ３の挿入方
向をＹ軸方向とし、搬送ロボット８の駆動中心を原点
（０，０）とする。この座標系を用いて、ハンド８ａの
所定位置８Ｇや光センサ１０の取付位置を座標値として
得ることができる。なお、以下では説明の都合上、搬送
ロボット８がアライメントユニット６正面に位置した状
態を原点（０，０）とする。

【０００８】ウエハ３を保持した搬送ロボット８は予め
機械的に定められた距離ｒ１だけＹ軸方向に移動する。
距離ｒ１はハンド８ａの所定位置８Ｇと光センサ１０ａ
間の距離Ｌ１と、光センサ１０ａと回転テーブル１１の
回転中心位置１１Ｇ間の距離Ｌ２との合計である。な
お、ハンドの移動量を、以下一般的にＲで表す。

【０００９】ハンドの移動の際、ウエハ３の略中心位置
を光センサにより算出し、回転テーブル１１（ウエハ保
持部）上にウエハ３を載置する際に、あらかじめウエハ
３の中心位置が回転テーブル１１の回転中心１１Ｇ近傍
に位置するように搬送ロボットの移動量Ｒを補正する。
すなわち、移動量Ｒは距離ｒ１と補正値を加えたものと
なる。

【００１０】なお、回転テーブル１１は、吸着保持部１
１ａと図示しない真空吸着手段によりウエハ３を裏面か
ら吸着保持して回転中心１１Ｇを中心に所定角度回転す
る。アライメントユニット６に設けたＣＣＤ（電荷結合
素子）センサ１２は、回転テーブル１１の回転によりウ
エハ３の外周を検出して偏心量を求め中心位置を算出す
る。

【００１１】搬送ロボットの移動量Ｒの補正を行うため
に必要なウエハの略中心位置の検出について図３を用い
て説明する。

【００１２】ウエハ３を保持したハンド８ａが移動量ｒ
１の移動を開始（アライメントユニット内にウエハを挿
入）すると、図３（ａ）に示すように、まず光センサ１
０ａがウエハ３のＡ点により遮断される。更に移動する
と、光センサ１０ｂがウエハ３のＢ点、光センサ１０ｃ
がＣ点によりそれぞれ遮断される。更なる移動で光セン
サ１０ｂがウエハのＤ点、光センサ１０ｃがウエハ３の
Ｅ点によりそれぞれ受光する。

【００１３】ウエハ３による遮光および受光状態を光セ
ンサ１０からのＯＮ・ＯＦＦ信号により検出し、ハンド
８ａ上にウエハ３を載置し、回転テーブル１１上方に位
置した状態でウエハ３の外周５点の位置を算出すること
ができる。図３（ｃ）は図３（ａ）に示す光センサ１０
の検出信号に基づき外周５点の座標位置を算出したもの
である。Ｘ軸座標位置は、回転テーブルの中心位置１１
Ｇを基準とする光センサ１０ａ，１０ｂ，１０ｃそれぞ
れの取付位置におけるＸ軸座標値から求めて算出する。
Ｙ軸座標値は、光センサ１０ａ，１０ｂ，１０ｃのＯＮ
・ＯＦＦ信号とハンドの移動量から求まる。

【００１４】次に、以上算出したウエハ３の外周５点が
オリフラ（オリエンテーションフラットの略、以下同
じ）またはＶノッチにかかっていないかどうか判断する
手順を図４を用いて説明する。なお、以下の説明では、
簡略化のため、オリフラを有するウエハとして説明す
る。

【００１５】検出した外周５点を点Ａ〜点Ｅとすると、
検出した点Ｂおよび点Ｄを結ぶ線分ＢＤの垂直二等分線
と、点Ｃおよび点Ｅを結ぶ線分ＣＥの交点を求め交点Ｆ
とする。

【００１６】次に式（１）を用いてしきい値ｋと比較す
る。

【００１７】

【数１】｜ＣＦ−ＥＦ｜≦ｋ ……（１）

【００１８】式（１）を満足する場合、つまり点Ｅとし
て実線で示すウエハ上の点Ｅ１を光センサ１０ｃが検出
した場合には、オリフラが点Ｂ，点Ｃ，点Ｄ，点Ｅのい
ずれにもかかっていないと判断し、点Ｂ，点Ｃ，点Ｄの
三点を円周上に有する円の中心と、点Ｄ，点Ｅ，点Ｃの
三点を円周上に有する円の中心とを求め、これらの中心
を結ぶ線分の中点をウエハ略中心Ｇとして演算する。

【００１９】円周上の３点の位置から円の中心を求める
方法は、たとえば２点を結ぶ弦の垂直２等分線を求め、
それらの交点を求めることによって実行できる。円の方
程式に３点の座標を代入した３つの連立方程式を解いて
もよい。異なるデータに基づき、同一の算出方法で２つ
以上の値を出し、平均を求めることでウエハ中心検出の
精度が向上する。

【００２０】式（１）を満足しない場合、つまり点Ｅと
して破線で示すウエハ上の点Ｅ２を光センサ１０ｃが検
出した場合には、オリフラがいずれかの点にかかってい
ると判断し、式（２）を用いて線分ＣＦと線分ＥＦの長
さを比較する。

【００２１】

【数２】｜ＣＦ｜≧｜ＥＦ｜ ……（２）

【００２２】式（２）を満足する場合には点Ｂまたは点
Ｅのどちらかがオリフラ上にあると判断し、点Ａ，点
Ｃ，点Ｄの三点を円周上に有する円の中心をウエハ中心
とする。式（２）を満足しない場合は、点Ｄまたは点Ｃ
のどちらかがオリフラ上にあると判断し、点Ｂ，点Ａ，
点Ｅの三点を円周上に有する円の中心をウエハ中心とす
る。ここでは、前者を選択することになる。

【００２３】以上述べたように、ウエハ円周上の５点と
オリフラの位置から２組また１組の３点を選択し、ウエ
ハの略中心位置Ｇを演算する。

【００２４】搬送ロボット８の移動量Ｒはハンド８ａ上
の所定位置８Ｇとアライメントユニット６の回転テーブ
ル１１の中心位置１１Ｇの２点間距離ｒ１であり、ハン
ド８ａ上でウエハが位置ずれしている場合にはウエハの
偏心量つまりウエハ３の略中心位置Ｇとハンド８の所定
位置８Ｇとのずれ量を算出し、アライメントユニット６
内でアラインメントユニット６の回転テーブル１１の中
心位置１１Ｇとウエハ３の略中心位置Ｇが一致するよう
に、コントローラ９は搬送ロボット８の移動量Ｒに補正
値を加える。回転テーブル１１上方で搬送ロボット８
は、コントローラ９が演算した補正値に基づき移動して
下降する。搬送ロボット８が下降すると回転テーブル１
１上面がウエハ３裏面に接触し、更に搬送ロボット８が
下降することにより、回転テーブル１１の回転中心１１
Ｇとウエハ３の略中心位置Ｇとが略一致した状態でウエ
ハ３を回転テーブル１１上に保持する。

【００２５】このようにして、予めＣＣＤセンサ１２に
よりウエハ３の外周が確実に検出できる位置にウエハ３
を載置するため、ウエハ３の中心位置を求め、所望の方
向にオリフラ位置（方向）を揃えることができる。

【００２６】以上述べたように、精密な中心位置の検出
と方向合せを行ったウエハ３は、再び搬送ロボット８が
取出し搬入口１ａから基板処理装置１内に搬送する。

【００２７】なお、３個の光センサやＣＣＤセンサを持
ったものを示すものとして特開平５−２９４４１号公報
がある。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、搬送ロボット８がアライメントユニット６内に最初
にウエハ３を搬入する際の移動量は予め定められた距離
ｒ１であるが、その後ウエハの略中心位置Ｇとハンド８
ａの所定位置８Ｇの座標値のずれ量に基づき補正してい
る。しかし、光センサの取り付け位置がずれていた場合
には、かえって誤差を生じてしまう。

【００２９】例えば図３（ｃ）に示すように、光センサ
１０ｂが破線で示す正しい位置（光センサ１０ａから距
離αの位置）に取付られていた場合には、図３（ａ）に
示す光センサ１０ｂの検出信号に基づき点Ｂ１および点
Ｄ１を算出するが、実線で示す位置（光センサ１０ａか
ら距離α＋β）に光センサ１０ｂを取付けていた場合に
は点Ｂ２および点Ｄ２を検出しているのに、点Ｂ１およ
びＤ１を検出しているかのように判断し、ウエハ中心を
算出してしまう。

【００３０】つまりＸ軸方向の座標にずれが生じるた
め、誤差が生じている検出点座標を用いて検出点Ｊ１を
略中心位置とみなしてしまう。従って実際の略中心位置
Ｇ（ここでは中心位置１１Ｇと同一）とは異なる点Ｊ１
を中心とみなしてしまう。コントローラ９はウエハの略
中心位置で無いにも関らず検出点Ｊ１を略中心位置とみ
なし、ウエハの中心位置を回転テーブル１１の中心位置
１１Ｇと一致させてウエハを回転テーブル上に載置する
よう搬送ロボットの移動量Ｒを補正する。このため、搬
送ロボットが回転テーブル上にウエハを載置した場合に
は、図３（ｃ）において点Ｇ’の位置に実際のウエハ中
心位置が位置する。

【００３１】すなわち、不適切な補正となりウエハの略
中心位置と回転テーブルの中心位置が一致しない不具合
が生じる。搬送ロボットは回転テーブル上に載置するウ
エハの中心位置を（ＣＣＤセンサの走査領域内にウエハ
周縁が位置するために必要な）偏心許容領域内に位置す
る必要があるが、上記不適切な補正の度合によっては偏
心許容領域からはずれてしまう。

【００３２】言い換えると、図２においてウエハ３の中
心位置Ｇとハンド８ａ上の所定位置８Ｇが一致していて
も、光センサ１０の取付位置がずれていると搬送ロボッ
ト８は偏心した状態で回転テーブル１１上にウエハ３を
載置するため、回転テーブル１１を所望角度回転させて
もウエハ３の裏面によりＣＣＤセンサ１２の走査領域を
全て覆ってしまったり、ウエハ３の周縁がＣＣＤセンサ
１２の走査領域に全くかからなくなり、ＣＣＤセンサ１
２によるウエハの周縁検出を行うことができない。従っ
て精密な中心位置を算出することができないという不具
合が生じる。また、偏心量によっては、ハンド８ａを降
下すると、ウエハ３でなく、ハンド８ａの裏面が当接し
てしまい、回転テーブル１１上にウエハ３を載置できな
い。

【００３３】本発明の目的は、光センサの取付位置ずれ
に起因するウエハ中心位置の誤検出が生じても、搬送ロ
ボットの移動量に対する補正を適切に行い、ウエハの精
密な中心位置を認識して後工程に送ることができるウエ
ハ搬送装置を提供することにある。

【００３４】また、本発明の他の目的は光センサの取付
・交換に伴う調整時間を短縮するウエハ搬送装置を提供
することにある。

【００３５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の特徴とするところは、ハンドに保持したウエ
ハを搬送する搬送ロボットと、該搬送ロボットが搬入し
たウエハを保持して回転するウエハ保持部と、ウエハ保
持部が回転することによりウエハの外周を検出する周縁
検出センサと、周縁検出センサの検出値に基づき回転テ
ーブル上のウエハ中心位置を算出する中心算出手段と、
ウエハの搬出入側に設けたウエハの外周を検出する少な
くとも３つの光センサと、ウエハ保持部への搬出入時に
少なくとも３つの光センサで検出したウエハ外周の少な
くとも３点の検出値に基づいてウエハの略中心位置を算
出する略中心位置算出手段とを有する位置合わせ装置を
備えたウエハ搬送装置において、中心算出手段により算
出したウエハの中心位置に基づいて搬送ロボットの移動
量を決定する移動量決定手段と、移動量決定手段により
決定した搬送ロボットの移動量に従う移動に際し、略中
心位置検出手段でウエハの略中心位置を算出し、その算
出結果と既に得ている中心算出手段によるウエハ中心位
置を比較し、該比較結果に基づき光センサの取付位置を
算出する取付位置算出手段と、該取付位置算出手段によ
り算出した光センサの取付位置に基づき搬送ロボットの
搬出入の移動量を補正する移動量補正手段とを備えたこ
とにある。

【００３６】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態によるウエハ
搬送装置を図１乃至図８を用いて説明する。なお、図１
乃至図４は従来技術の説明の際に用いているが、装置の
構造および光センサによるウエハの外周検出は従来と同
一のため同じ図を使用する。図５乃至図８は本発明の一
実施形態における組立作業手順とそれに伴う制御手段に
おける演算手順を示すフローチャートである。図１乃至
図４に対する細かい説明は省略する。

【００３７】図２に示すように、アライメントユニット
６の正面（回転テーブル１１の回転中心１１Ｇと同一の
Ｘ座標値）に位置した搬送ロボット８の駆動中心を原点
（０，０）とすると、ハンド８の所定位置８Ｇは駆動原
点からＹ方向に距離Ｌの位置に位置しており、アライメ
ントユニット６の搬入口６ａからは距離Ｌ１の位置とな
っている。また、回転テーブル１１の回転中心１１Ｇは
アライメントユニット６の搬入口６ａからＹ方向に距離
Ｌ２の位置となっており、ハンド８の所定位置８Ｇと回
転テーブル１１の回転中心１１Ｇとの距離は距離（Ｌ１
＋Ｌ２）であり、これを距離ｒ１とする。

【００３８】従って、ハンド８の所定位置８Ｇは座標値
（０，−Ｌ）、回転テーブル１１の回転中心１１Ｇの座
標値は（０，−（Ｌ＋ｒ１））で表される。

【００３９】また、光センサ１０ａは回転テーブル１１
の中心位置１１Ｇと同一のＸ軸座標値となるよう取り付
けられており座標値は（０，−（Ｌ＋Ｌ１））となる。
光センサ１０ｃは、設計では光センサ１０ａに対して図
面上右側に距離αの位置に取り付けられ、その座標値は
（α，−（Ｌ＋Ｌ１））となる。光センサ１０ｂは設計
上は光センサ１０ａに対して図面上左側に距離αの位置
（正常な位置）に取付けられ、その座標値は（−α，−
（Ｌ＋Ｌ１））となる。

【００４０】ここで光センサ１０ｂが、交換等の原因に
より、図面上左側に距離βの位置ずれを起こして取り付
けられている、つまり光センサ１０ａからは図面上距離
α＋βの位置に取付られているとする。すなわち光セン
サ１０ｂの座標値は（−（α＋β），−（Ｌ＋Ｌ１））
となる。このような状況は、光センサ１０ｂの交換、組
立ての際等に起こり得る。以下このような場合を説明す
る。

【００４１】図５に示すように、ステップＳ１００で組
立作業が完了すると、ステップＳ２００で作業者は搬送
ロボットの移動量Ｒを初期設定に基づき、距離ｒ１（Ｌ
１＋Ｌ２）に設定する。次にステップＳ３００で作業者
はオリフラの無いダミーウエハをハンド８上に載置し、
ダミーウエハ（円板）の中心位置Ｇとハンド８上の所定
位置８Ｇをほぼ一致させる。

【００４２】ダミーウエハを載置すると作業者は調整開
始の指示をコントローラ９に与える。例えばタッチパネ
ル等の入力手段により指示を与え、コントローラ９が調
整作業を開始する（ステップＳ４００）。このとき、光
センサ１０も作動を開始する。

【００４３】図６〜８は、ステップＳ４００の調整作業
の詳細を示す。図６に示すように、コントローラ９の指
示により初期設定された搬送ロボットの移動量Ｒ（＝ｒ
１）に基づき、搬送ロボット８が移動する（ステップＳ
４０１）。この時の移動方向は図２に示す白抜きの矢印
方向である。搬送ロボット８の移動によりハンド８ａが
アライメントユニット６内にダミーウエハを搬入する
（ステップＳ４０２）。

【００４４】ダミーウエハの搬入に伴い、光センサ１０
はダミーウエハの端部を検出した信号を発生する。コン
トローラ９は光センサ１０の出力に基づき、ダミーウエ
ハの５箇所の検出点（点Ａ〜点Ｅ）座標を算出する（ス
テップＳ４０３）。ステップＳ４０３における光センサ
１０の出力は、図３（ａ）に示すような出力信号とな
る。続いて、得られた５箇所の検出点のうち３点を円周
上に有する円の中心Ｊの座標を算出する（ステップＳ４
０４）。

【００４５】図３（ｃ）中実線で示すように、光センサ
１０ｂが光センサ１０ａから距離α＋βの位置に取り付
けられている。このため、ウエハ３外周の検出点である
Ａ点〜Ｅ点は点Ａ１，点Ｂ２，点Ｃ１，点Ｄ２，点Ｅ１
の座標となる。

【００４６】コントローラ９においては光センサ１０ｂ
が光センサ１０ａから距離αの位置（破線）にあるもの
として点Ａ１、点Ｂ１、点Ｃ１の三点を円周上に有する
円の中心Ｊを算出する。すなわち、点Ｂ２が直線１０
ｂ’上でｙ軸方向には点Ｂ２と同一位置の点Ｂ１にある
ものとして円の中心Ｊを算出する。このようにして得た
中心Ｊを図３（ｃ）中、Ｊ１で示す。

【００４７】ステップＳ４０４において中心Ｊの座標を
算出した後、ステップＳ４０５に進み、算出した中心Ｊ
１を回転テーブル１１の回転中心１１Ｇに合わせるよう
にハンド８ａの移動量を補正した場合に、回転テーブル
１１にハンド８の裏面が接触しないかどうか判別する。
接触する場合には、ステップＳ３００に戻り、作業者は
ダミーウエハを載置し直す。接触しない場合には、ステ
ップＳ４０６に進み、回転テーブル１１上にダミーウエ
ハを移載し、ハンド８ａが退避する。ダミーウエハの中
心Ｇは、点Ｊ１から点１１Ｇに向かうベクトル量分移動
され、図３（ｃ）中Ｇ’の位置となる。

【００４８】図７に示すように、ステップＳ４０７に進
み回転テーブル１１を回転してダミーウエハの円周から
ダミーウエハの中心位置Ｇの座標を算出する。

【００４９】ステップＳ４０７で中心位置Ｇの座標を算
出するとステップＳ４０８に進む。ステップＳ４０８で
はステップＳ４０７で求めた中心位置Ｇとハンド８ａの
所定位置８Ｇの２つの座標値の差から初期設定値ｒ１を
減算してハンド８ａの補正量ｒ２を算出する。ステップ
Ｓ４０９で補正量ｒ２を取り込んで移動量Ｒを補正す
る。移動量Ｒの初期設定はｒ１であったが、ここで補正
量ｒ２を取り込み、ｒ１＋ｒ２を移動量Ｒに代入する。

【００５０】補正後の移動量Ｒ（＝ｒ１＋ｒ２）に基づ
き搬送ロボット８はハンド８ａをアライメントユニット
内に挿入し、中心を合わせてダミーウエハをハンド８ａ
上に載置する（ステップＳ４１０）。ステップＳ４１１
でコントローラ９により光センサ１０を活性化し、アラ
イメントユニット６からダミーウエハを取り出す（ステ
ップＳ４１２）。

【００５１】ステップ４１２では、ハンド８ａの移動量
Ｒをｒ１＋ｒ２としてアライメントユニット６からハン
ド８ａが退避する。たとえば、まずｒ２の移動を行い、
次にｒ１の移動を行う。但し、挿入時と退避時は向きが
逆になる。ステップＳ４１３（図８）でダミーウエハの
外周５点の座標を検出する。この時の光センサ１０の検
出信号を図３（ｂ）とする。ハンド８ａの退避によりダ
ミーウエハが光センサ１０ｃの光軸を遮りＥ点を検出
し、次いで光センサ１０ｂの光軸を遮りＤ点を検出し光
センサ１０ｂの光軸を遮断しなくなった時点でＢ点を検
出する。更に、光センサ１０ｃの光軸の遮断が終了して
Ｃ点を検出し、最後に光センサ１０ａの光軸をダミーウ
エハが遮らなくなった時点がＡ点の検出となる。

【００５２】これらの点を図３（ｃ）にも示す。前述同
様に、Ａ点、Ｂ点、Ｃ点を用いて退避時に中心を算出す
るが、光センサ１０ｂが正規の位置（光センサ１０ａか
ら距離αの位置）に位置していないため、検出点はたと
えば点Ａ３，点Ｂ３，点Ｃ３となる。この３点を円周上
に有する円の中心を退避時の中心２Ｊとして求める。光
センサ１０ｂの位置がずれているため、求まる円の中心
は真の中心Ｇからずれる。図３（ｃ）においてはこのよ
うにして求めた退避時の円の中心を点Ｊ３で表す。

【００５３】ステップＳ４１３で退避時の中心（点Ｊ３
の座標値）を算出すると、ステップＳ４１４に進む。ス
テップＳ４１４ではステップＳ４１３で求めた退避時の
中心２Ｊつまり点Ｊ３の座標値と、ステップＳ４０７で
求めた中心位置Ｇの座標値が一致するかどうか判別す
る。すなわち、ここでＣＣＤセンサ１２を利用したダミ
ーウエハの中心位置の算出結果と光センサ１０を利用し
た算出結果との間に不一致が生じていないか確認する。

【００５４】ステップＳ４１４で一致する場合は光セン
サ１０の取付位置がずれていない（寸法値通り）と判断
しステップＳ４１５に進み、センサ１０の位置データは
適切とし、ステップＳ４１６で調整終了し図１に示すス
テップＳ５００に進み、装置を本稼動する。

【００５５】ステップＳ４１４で一致しない場合には、
光センサ１０の取付位置がずれていると判断し、ステッ
プＳ４２０で光センサ１０の取付位置を算出する。

【００５６】ステップＳ４２０ではステップＳ４１３で
求めた５点の座標値とハンド８の所定位置８Ｇとを利用
して、点Ｄと点Ｂを通る直線ＤＢと点８Ｇとの距離を求
め、点８Ｇに対する光センサ１０ｂの取付位置ｍ２を算
出する。また、同様に点Ｃと点Ｅを通る直線ＥＣと点８
Ｇとの距離を求め、点８Ｇに対する光センサ１０ｃの取
付位置ｍ３を算出する。同様に、点８Ｇに対する光セン
サ１０ａの取付位置ｍ１を算出する。

【００５７】ステップＳ４２１では取付位置ｍ１、ｍ
２、ｍ３をそれぞれセンサ１０のＸ軸方向の位置データ
とする。例えば、ｍ１＝０、ｍ２＝α＋β、ｍ３＝αと
なる。

【００５８】ステップＳ４１５またはステップＳ４２１
でセンサ１０のＸ軸方向の位置データを得て、調整終了
してステップＳ５００に進む。

【００５９】ステップＳ５００では、センサ１０の位置
データに基づき、本稼動する。なお、光センサ１０を交
換した場合にはステップＳ１００から再度開始する。

【００６０】以上述べたように、本実施形態によれば、
コントローラ９により光センサ１０の取付位置を自動的
に算出することができ、光センサ１０の取付位置のずれ
により検出したウエハの略中心位置がＣＣＤセンサによ
り算出した中心位置と異なっていた場合には、搬送ロボ
ットの移動量に対する補正を適正に行うことができる。
従って、ハンドの所定位置にウエハの中心位置を一致さ
せた状態で保持できるため、後工程として例えば基板処
理装置の搬入口内に搬入する際に、ハンドの所定位置と
ウエハの中心位置が不一致のためウエハ端部が搬入口に
接触して破損すること等がなく、また基板処理装置内に
おけるウエハ載置場所に対する位置合わせを正確に行う
ことができる。

【００６１】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。

【００６２】更に、光センサ１０の取付や交換を行った
際に、従来であれば作業者がかなり正確な位置に取付な
ければならなかったが、取付位置に若干の誤差が生じて
いても、従来の微調整程度であれば作業者が改めて取付
直さなくてもよいため、取付や交換に要する時間を短縮
することができる。

【００６３】

【発明の効果】本発明によれば、ウエハの精密な中心位
置を検出した後で、ウエハの搬出時に更に光センサによ
る略中心位置を検出し、光センサの取付位置ずれ量を算
出するため、光センサの取付・交換に伴う作業者の調整
時間を短縮することができるウエハ搬送装置を提供する
ことができる。

【００６４】また、本発明によれば、光センサの取付位
置ずれに起因するウエハ中心位置の誤検出が生じても、
搬送ロボットの移動量補正を適切に行うことができ、ウ
エハの精密な中心位置を認識して後工程に送ることがで
きるウエハ搬送装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板処理装置の概略レイアウトを示す図であ
る。

【図２】図１に示す図５に示す基板処理装置におけるア
ライメントユニットと搬送ロボットの位置関係を示す図
である。

【図３】図１乃至図２に示す光センサの検出信号及び検
出信号に基づくウエハ外周の検出点の位置関係を示す図
である。

【図４】図１乃至図３に示すウエハ搬送装置においてウ
エハの中心位置を算出する模式図である。

【図５】本発明の一実施形態におけるウエハ中心位置を
演算するフローチャートである。

【図６】本発明の一実施形態におけるウエハ中心位置を
演算するフローチャートである。

【図７】本発明の一実施形態におけるウエハ中心位置を
演算するフローチャートである。

【図８】本発明の一実施形態におけるウエハ中心位置を
演算するフローチャートである。

【符号の説明】

１基板処理装置１ａ搬入口２ウエハ搬送部２ａウエハ待機部２ｂ中継部３ウエハ４カセット５カセット載置台６アライメントユニット７ａ、７ｂ…センサ昇降孔８…搬送ロボット８ａハンド８Ｇハンドの所定位置９コントローラ１０光センサ１０ａ，１０ｂ，１０ｃ光センサの受光部１１回転テーブル１１Ｇ回転テーブルの回転中心１２ＣＣＤセンサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ハンドに保持したウエハを搬送する搬送ロ
ボットと、該搬送ロボットが搬入したウエハを保持して回転するウ
エハ保持部と、ウエハ保持部が回転することによりウエ
ハの外周を検出する周縁検出センサと、周縁検出センサ
の検出値に基づき回転テーブル上のウエハ中心位置を算
出する中心算出手段と、ウエハの搬出入側に設けたウエ
ハの外周を検出する少なくとも３つの光センサと、ウエ
ハ保持部への搬出入時に少なくとも３つの光センサで検
出したウエハ外周の少なくとも３点の検出値に基づいて
ウエハの略中心位置を算出する略中心位置算出手段とを
有する位置合わせ装置とを備えたウエハ搬送装置におい
て、中心算出手段により算出したウエハの中心位置に基づい
て搬送ロボットの移動量を決定する移動量決定手段と、移動量決定手段により決定した搬送ロボットの移動量に
従う移動に際し、略中心位置検出手段でウエハの略中心
位置を算出し、その算出結果と既に得ている中心算出手
段によるウエハ中心位置を比較し、該比較結果に基づき
光センサの取付位置を算出する取付位置算出手段と、該取付位置算出手段により算出した光センサの取付位置
に基づき搬送ロボットの搬出入の移動量を補正する移動
量補正手段とを備えたことを特徴とするウエハ搬送装
置。