BRPI0911090B1 - design estrutural de arranjo de células de bit de memória magnetoresistiva de acesso aleatório (mram) - Google Patents

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Abstract

"design estrutural de arranjo de células de bit de memória magnetoresistiva de acesso aleatório (mram) " são descritas células de bit de memórias 5 magnetoresistivas de acesso aleatório de transferência de torque por spin (stt-mram). as células de bit incluem uma linha fonte formada em um primeiro plano e uma linha de bits formada em um segundo plano. a linha de bits possui um eixo longitudinal, que é paralelo a um eixo longitudinal da 10 linha fonte e a linha fonte se sobrepõe a pelo menos uma parte da linha de bits.

Description

"DESIGN ESTRUTURAL DE ARRANJO DE CÉLULAS DE BIT DE MEMÓRIA MAGNETORESISTIVA DE ACESSO ALEATÓRIO (MRAM) " .
Campo da Invenção Modalidades exemplares da invenção estão relacionadas a designs estruturais de arranjo de células de bit de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva (MRAM Magnetoresistive Random Access Memory). Mais especificamente, modalidades da invenção estão relacionadas a designs estruturais de arranjo de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM - Spin Transfer Torque Magnetoresistive Random Access Memory).
Descrição da Técnica Anterior A Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva (MRAM) consiste de uma tecnologia de memória não volátil que utiliza elementos magnéticos. Como exemplo, a Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) usa elétrons que se tornam polarizados por spin à medida que os elétrons passam através de um filme ou película fina (filtro de spin). A STT-MRAM é também conhecida como RAM de Transferência de Torque por Spin (STT-RAM - Spin Transfer Torque RAM), RAM de Comutação por Magnetização de Transferência de Torque por Spin (Spin-RAM) , e RAM de Transferência de Momento de Spin (SMT-RAM - Spin Momentum Transfer RAM).
Fazendo referência à Figura 1, é ilustrado um diagrama de uma célula STT-MRAM 100 convencional. A célula de bit STT-MRAM 100 inclui um elemento de armazenamento de junção de túnel magnética (MTJ) 105, um transistor 110, uma linha de bits 120 e a linha de palavras 130. O elemento de armazenamento MTJ é formado, por exemplo, a partir de uma camada fixa e uma camada livre, cada uma das quais podendo manter um campo magnético, separadas por uma camada isolante (barreira de túnel), tal como ilustrado na Figura 1. A célula de bit STT-MRAM 100 inclui também uma linha de fonte 140, um amplificador sensor 150, circuitos de leitura/escrita 160 e referências de linha de bits 170. Os técnicos na área notarão que a operação e a montagem da célula de memória 100 são conhecidas na técnica. Detalhes adicionais podem ser encontrados, por exemplo, em M. Hosomi etc., A Novel Nonvolatile Memory with Spin Transfer Torque Magnetoresistive Magnetization Switching: Spin-RAM, Proceedings of IEDM Conference (2005) , que é aqui incorporado em sua totalidade pela presente referência.
Fazendo referência à Figura 2, nos esquemas convencionais, as linhas de fonte (SL - Source Line) dos arranjos de células de bit de junção de túnel magnética (MTJ) são dispostas de modo a serem paralelas à linha de bits (BL) ou à linha de palavras. No entanto, nos esquemas convencionais não existe qualquer sobreposição direta e paralela entre a linha de fonte (SL) e a linha de bits (BL) devido às regras de espaçamento de metais e vias. Portanto, o tamanho minimo das células de bit dos esquemas convencionais não pode ser reduzido ou minimizado como consequência das regras de espaçamento de metais e vias. A Figura 3 é uma vista superior de um arranjo de células de bit da junção de túnel magnética (MTJ) possuindo linhas de fonte (SL) dispostas em paralelo às linhas de bits (BL) . Tal como mostrado na Figura 3, as linhas de fonte (SL) não se sobrepõem às linhas de bits (BL) e, portanto, o tamanho das células de bit é limitado pelas regras de espaçamento entre as linhas de fonte (SL) e as linhas de bits (BL).
Resumo da Invenção Modalidades exemplares da invenção estão direcionadas a esquemas estruturais de arranjo de células de bit de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva (MRAM). Mais especificamente, as modalidades da invenção estão relacionadas a esquemas estruturais de arranjos de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM). Assim sendo, uma modalidade exemplar da invenção inclui uma célula de bit de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) compreendendo uma linha de fonte formada em um primeiro plano; e uma linha de bits formada em um segundo plano e possuindo um eixo longitudinal, que é paralelo a um eixo longitudinal da linha de fonte, em que a linha de fonte se sobrepõe em pelo menos uma parte da linha de bits.
Outra modalidade exemplar da invenção inclui uma célula de bit de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) que compreende uma primeira camada de metal formando uma linha de bit possuindo um eixo longitudinal em um primeiro plano, e uma segunda camada de metal formando uma linha de fonte possuindo um eixo longitudinal em um segundo plano, em que o eixo longitudinal da primeira camada de metal é paralelo ao eixo longitudinal da segunda camada de metal, e em que a primeira camada de metal sobrepõe pelo menos uma parte da segunda camada de metal.
Outra modalidade exemplar da invenção inclui um arranjo de células de bit de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) que compreende uma pluralidade de células de bit. Cada célula de bit pode incluir uma linha de fonte formada em um primeiro plano, e uma linha de bits formada em um segundo plano e possuindo um eixo longitudinal que é paralelo a um eixo longitudinal da linha de fonte, em que a linha de fonte sobrepõe pelo menos uma parte da linha de bits.
Breve Descrição das Figuras Os desenhos anexos são apresentados para auxiliar a descrição de modalidades da invenção, sendo providos apenas como ilustração das mesmas e não como uma limitação destas.
Figura 1 - ilustra uma célula de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) convencional.
Figura 2 - ilustra um arranjo de células de bit 5 MRAM convencional.
Figura 3 - ilustra uma vista superior de um arranjo de células de bit MRAM convencional.
Figura 4 - ilustra um esquema de uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM. 0 Figura 5 - ilustra uma vista superior de uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM.
Figura 6 - ilustra uma vista superior de uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM.
Figura 7 - ilustra outra vista superior de uma 5 modalidade de um arranjo de células de bit MRAM.
Figura 8 - ilustra uma vista em corte da modalidade de arranjo de células de bit MRAM da Figura 5 ao longo da linha A8-A8.
Figura 9 - ilustra uma vista em corte da 0 modalidade de arranjo de células de bit MRAM da Figura 5 ao longo da linha A9-A9.
Figura 10 - ilustra uma vista em perspectiva de uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM.
Descrição Detalhada da Invenção 5 Aspectos da invenção são descritos na descrição a seguir e nos desenhos relacionados direcionados às modalidades especificas da invenção. Modalidades alternativas podem ser desenvolvidas sem se afastar do escopo da invenção. Além disso, elementos bem conhecidos da 0 invenção não serão descritos em detalhes, ou serão omitidos, de forma a não obscurecer os detalhes relevantes da invenção. O termo "exemplar" é aqui usado exclusivamente com o significado de "servindo como exemplo, caso, ou 5 ilustração". Qualquer modalidade aqui descrita como "exemplar" não deve ser necessariamente considerada como preferida ou vantajosa em relação a outras modalidades. Do mesmo modo, o termo "modalidades da invenção" não requer que todas as modalidades da invenção incluam a característica discutida, vantagem ou modo de operação. A terminologia aqui utilizada serve apenas ao propósito de descrever modalidades especificas, não tencionando limitar modalidades da invenção. Como utilizadas aqui, as formas singulares "um", "uma", "o" e "a" tencionam incluir também as formas plurais, a menos que o contexto indique claramente o contrário. Deve também ficar claro que os termos "compreende", "compreendendo", "inclui" e/ou "incluindo", quando aqui utilizados, especificam a presença de características, recursos, etapas, operações, elementos e/ou componentes descritos, porém não impedem a presença ou adição de um ou mais outros características, recursos, etapas, operações, elementos, componentes e/ou grupos destes.
Modalidades da invenção podem prover um arranjo de células de bit MRAM, que pode reduzir o tamanho da célula de bit. Como exemplo, uma modalidade de um arranjo de células de bit STT-MRAM pode reduzir o tamanho médio da célula de bit ao posicionar pelo menos uma parte da linha de fonte (SL) no topo da linha de bits (BL) , de forma a superar as limitações impostas por regras convencionais de espaçamento de interconexão de metal e via.
As modalidades podem solucionar os problemas dos arranjos de célula de bit MRAM convencionais. As modalidades podem reduzir os tamanhos da célula de bit MTJ ao adicionar interconexões de vias à linha de fonte (SL) e adicionar uma camada de metal fina de topo (por exemplo, M7), de tal forma que a linha de fonte (SL) seja configurada diretamente no topo ou acima (por exemplo, sobrepondo e paralela à) da linha de bits (BL) para superar as limitações das regras de esquemas convencionais de metal e via, dessa forma economizando espaço de silício.
Fazendo referência às Figuras 4 a 10, as modalidades da invenção podem prover um arranjo de células de bit MRAM, que reduz ou minimiza o tamanho da célula de bit. Como exemplo, a Figura 4 ilustra de forma esquemática uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM. Uma modalidade do arranjo de células de bit STT-MRAM pode reduzir o tamanho médio da célula de bit ao posicionar a linha de fonte (SL) sobreposta e paralela (por exemplo, acima) à linha de bits (BL) para solucionar ou superar as limitações resultantes das regras convencionais de espaçamento de interconexões de metal e vias.
Como mostrado na Figura 5, uma célula de bit STT-MRAM 500 exemplar inclui uma linha de fonte (SL) formada em um primeiro plano e uma linha de bits (BL) formada em um segundo plano. A linha de bits (BL) possui um eixo longitudinal, que é paralelo a um eixo longitudinal da linha de fonte (SL) . De acordo com as modalidades exemplares, a linha de fonte (SL) sobrepõe pelo menos uma parte da largura da linha de bits (BL) , reduzindo, desse modo, o tamanho da célula de bit. Em uma modalidade, a linha de fonte (SL) pode se sobrepor substancialmente à largura da linha de bits (BL), desse modo, reduzindo também o tamanho da célula de bit. Como outro exemplo, e tal como mostrado na modalidade exemplar da Figura 5, a linha de fonte (SL) pode se sobrepor completamente à linha de bits (BL) , desse modo, reduzindo também o tamanho da célula de bit.
Na modalidade exemplar ilustrada na Figura 5, o tamanho da célula de bit MTJ é reduzido pela adição de uma camada de metal fina de topo (M7) para formar a linha de fonte (SL) diretamente no topo ou acima (por exemplo, sobrepondo e paralela) da linha de bits (BL). As camadas de metal M5 e M7 são estendidas em uma direção perpendicular - —— ao eixo longitudinal da linha de fonte (SL) e da linha de bits (BL), e no mesmo plano das respectivas camadas de metal M5 e M7, de tal forma que pelo menos uma parte das camadas de metal M5 e M7 não se sobreponha à linha de bits (BL). Uma interconexão de vias conecta (por exemplo, conecta eletricamente) as partes das camadas de metal M5 e M7, entre si, as quais não sobrepõem à linha de bits (BL).
Como exemplo, em uma modalidade, uma parte das camadas de metal M5 e M7 são estendidas em uma direção perpendicular ao eixo longitudinal da linha de fonte (SL) e da linha de bits (BL) , e no mesmo plano das respectivas camadas de metal M5 e M7, para formar extensões laterais (por exemplo, primeira e segunda extensões laterais) . Uma interconexão de via conecta (por exemplo, eletricamente) as extensões laterais uma à outra.
Em uma modalidade, uma camada de metal M6 é formada na área das extensões laterais entre as camadas de metal M5 e M7. A modalidade ilustrativa apresentada na Figura 5 inclui uma interconexão de vias V5 para conectar a extensão lateral da camada de metal M5 à camada de metal M6 e uma interconexão de vias V6 para conectar a camada de metal M6 à extensão lateral da camada de metal M7. Dessa forma, a modalidade pode evitar curtos ou interconexões da linha de fonte (por exemplo, M7) para a linha de bits (BL), o que iria, de outra forma, resultar da sobreposição paralela da linha de fonte (SL) e da linha de bits (BL) . Vistas em corte da modalidade do arranjo de células de bit MRAM da Figura 5 serão descritas mais adiante com referência às Figuras 8 e 9.
Em outra modalidade exemplar, a célula MTJ pode ser deslocada para baixo por uma camada de metal, de tal forma que o metal fino de topo existente (por exemplo, M6) possa ser usado como a linha de fonte (SL) . Assim sendo, nesta modalidade ilustrativa, uma camada de metal adicional (por exemplo, M7) não está incluida na célula de bit. A Figura 6 é uma vista superior de uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM 600, de um modo geral correspondendo à modalidade ilustrada na Figura 5, com elementos similares marcados da mesma forma. A Figura 7 é i outra vista superior de uma modalidade de um arranjo de células de bit MRAM 700, ilustrando uma integração em maior escala das células de bit. A Figura 8 é uma vista em corte da modalidade de um dreno 800 do arranjo de células de bit MRAM da Figura 5 ) ao longo da linha A8-A8. Como apresentado na Figura 8, as camadas de metal Ml, M2, M3, M4, M5 e M6 (BL) estão conectadas entre si através das interconexões de vias VI, V2, V3, V4 e V5, respectivamente. A linha de fonte M7 está configurada em paralelo e em sobreposição à camada de metal > M6 (BL), porém não interconectada. A Figura 9 é uma vista em corte da modalidade de uma fonte 900 do arranjo de células de bit MRAM da Figura 5 ao longo da linha A9-A9. Como mostrado na Figura 9, as camadas de metal Ml, M2, M3, M4 e M5, estão conectadas ) entre si através das interconexões de vias VI, V2, V3 e V4, respectivamente. As camadas de metal M5 e M7 estendem em uma direção perpendicular ao eixo longitudinal da linha de fonte (SL) e da linha de bits (BL) , e no mesmo plano que as respectivas camadas de metal M5 e M7 para formar extensões > laterais (por exemplo, primeira extensão lateral 910 e segunda extensão lateral 920) . Uma camada de metal (por exemplo, M6 na Figura 9) é formada na área das extensões laterais entre as camadas de metal M5 e M7. Por exemplo, como mostrado na modalidade da Figura 9, a camada de metal ) (por exemplo, M6) pode ser formada no mesmo plano da linha de bits (BL), porém eletricamente isolada da linha de bits (BL). A modalidade inclui as interconexões de vias V5 e V6 para conectar a extensão lateral 920 da camada de metal M5 à camada de metal M6 e, a camada de metal M6 à extensão > lateral 910 da camada de metal M7, respectivamente.
Como mostrado na Figura 10, a qual é uma vista em perspectiva de uma modalidade de uma fonte 900 de um arranjo de células de bit MRAM, a linha de fonte (SL) (por exemplo, M7) é configurada em paralelo e em sobreposição à linha de bits (BL), porém não interconectada (por exemplo, não interconectada eletricamente). Dessa forma, as modalidades exemplares podem evitar o curto da linha de fonte (SL) (por exemplo, M7) com a linha de bits (BL) , que iria de outra forma resultar da sobreposição em paralelo da linha de fonte (SL) e da linha de bits (BL), minimizando ou reduzindo o tamanho médio da célula de bit em comparação ao esquema de célula de bit convencional.
De acordo com uma modalidade, uma ou mais interconexões de vias (por exemplo, V5 e V6) e uma camada de metal fina de topo (M7) pode ser projetada para conectar a linha de fonte (SL) do transistor de acesso em uma célula de bit MTJ, de forma que a linha de fonte (SL) possa ser posicionada diretamente no topo ou acima (por exemplo, em sobreposição e paralela) da linha de bits (BL) sem causar curtos ou interconexões da linha de fonte (SL) (por exemplo, M7) com a linha de bits (BL), desse modo reduzindo a área média da célula de bit.
Assim sendo, uma modalidade da invenção pode ser uma célula de bit de uma Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin, (STT-MRAM) incluindo uma linha de fonte (SL) formada em um primeiro plano, e uma linha de bits (BL) formada em um segundo plano, e possuindo um eixo longitudinal, que é paralelo a um eixo longitudinal da linha de fonte (SL), em que a linha de fonte (SL) sobrepõe pelo menos uma parte da linha de bits (BL) . Em uma modalidade, a linha de fonte (SL) pode se sobrepor substancialmente à linha de bits (BL) .
Em uma modalidade, a linha de fonte (SL) inclui uma primeira extensão lateral 910, que estende no primeiro plano e em uma direção perpendicular ao eixo longitudinal da linha de fonte (SL) , de tal forma que uma parte da primeira extensão lateral 910 não se sobreponha à linha de bits (BL).
Em outra modalidade, a linha de fonte é uma primeira camada de metal (por exemplo, M7 (SL)), e a linha de bits é uma segunda camada de metal (por exemplo, BL). A célula de bit pode também incluir uma terceira camada de metal (por exemplo, M5) formada em um terceiro plano e possuindo um eixo longitudinal, que é paralelo ao eixo longitudinal da primeira camada de metal (por exemplo, M7), em que a segunda camada de metal (por exemplo, BL) interpõe a primeira camada de metal (por exemplo, M7) e a terceira camada de metal (por exemplo, M5) . A primeira camada de metal (por exemplo, M7) e/ou a segunda camada de metal (por exemplo, BL) podem sobrepor pelo menos uma parte da terceira camada de metal (por exemplo, M5). A terceira camada de metal (por exemplo, M5) pode incluir uma segunda extensão lateral 920, que estende no terceiro plano e em uma direção perpendicular ao eixo longitudinal da terceira camada de metal (por exemplo, M5). A primeira extensão lateral 910 pode sobrepor à segunda extensão lateral 920 e pode estar eletricamente conectada à segunda extensão lateral 920.
Em uma modalidade, pelo menos uma interconexão de vias (por exemplo, V5, V6, etc.) conecta a primeira extensão lateral 910 à segunda extensão lateral 920. Em outra modalidade, uma quarta camada de metal (por exemplo, M6) interpõe a primeira extensão lateral 910 e a segunda extensão lateral 920. Uma primeira interconexão de vias (por exemplo, V6) conecta a primeira extensão lateral 910 à quarta camada de metal (por exemplo, M6) , e uma segunda interconexão de vias (por exemplo, V5) conecta a quarta camada de metal (por exemplo, M6) à segunda extensão lateral 920. Em uma modalidade, a quarta camada de metal (por exemplo, M6) é formada no segundo plano e pode estar eletricamente isolada da segunda camada de metal (por exemplo, BL).
Em outras modalidades, a célula de bit STT-MRAM pode incluir uma linha de palavra, um elemento de armazenamento, e um transistor de linha de palavra acoplado ao elemento de armazenamento. 0 elemento de armazenamento pode ser uma junção de túnel magnética (MTJ), como ilustrado, por exemplo, na Figura 9, e o transistor de linha de palavra pode estar acoplado em série com a MTJ.
Em outra modalidade, uma célula de bit de uma Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) pode incluir uma primeira camada de metal (por exemplo, M7) formando uma linha de fonte que possua um eixo longitudinal em um primeiro plano, e uma segunda camada de metal (por exemplo, BL) formando uma linha de bits que possua um eixo longitudinal em um segundo plano, em que o eixo longitudinal da primeira camada de metal (por exemplo, M7) é paralelo ao eixo longitudinal da segunda camada de metal (por exemplo, BL) , e em que a primeira camada de metal (por exemplo, M7) sobrepõe pelo menos uma parte da segunda camada de metal (por exemplo, BL).
Em outra modalidade, um arranjo de células de bit de uma Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM) inclui uma pluralidade de células de bit. Cada célula de bit inclui uma linha de fonte formada em um primeiro plano, e uma linha de bits formada em um segundo plano, e possui um eixo longitudinal, que é paralelo a um eixo longitudinal da linha de fonte, em que a linha de fonte sobrepõe (por exemplo, no topo ou abaixo) pelo menos uma parte da linha de bits. As modalidades exemplares de um arranjo de células de bit STT-MRAM podem reduzir o tamanho médio da célula de bit ao posicionar a linha de fonte (SL) sobrepondo, e de um modo geral em paralelo, à linha de bits (BL) para reduzir a área usada em configurações convencionais de interconexões de metal e vias. As modalidades dos arranjos de células de bit MRAM podem reduzir os tamanhos das células de bit ao adicionar interconexões de vias à linha de fonte (SL) e ao adicionar uma camada de metal fina de topo (por exemplo, M7) , tal que a linha de bits (BL) é configurada para estar diretamente no topo ou acima da linha de bits (BL) , para superar as limitações convencionais das regras de esquemas de metal e vias, desse modo economizando espaço.
Enquanto a descrição acima apresenta modalidades ilustrativas da invenção, deve ser observado, que várias mudanças e modificações poderíam ser feitas aqui sem sair do escopo da invenção como definido pelas reivindicações apensas. As funções, etapas e/ou ações das reivindicações de método de acordo com as modalidades da invenção descritas aqui não necessitam ser realizadas em qualquer ordem particular. Em adição, embora elementos da invenção possam ser descritos ou reivindicados no singular, o plural é contemplado a menos que uma limitação ao singular seja explicitamente indicada.
REIVINDICAÇÕES

Claims (8)

1. Célula de bit de Memória de Acesso Aleatório Magneto-resistiva de Transferência de Torque por Spin (STT-MRAM), caracterizada por compreender: uma linha de fonte formada em um primeiro plano, incluindo uma primeira extensão lateral (910) que estende a linha de fonte no primeiro plano em uma direção perpendicular ao eixo longitudinal da linha de fonte de modo que uma porção da primeira extensão lateral (910) não esteja se sobrepondo com uma segunda camada de metal, a qual forma uma linha de bits; e a segunda camada de metal formada em um segundo plano e possuindo um eixo longitudinal que é paralelo ao eixo longitudinal da primeira camada de metal, em que a primeira camada de metal se sobrepõe a pelo menos uma porção da segunda camada de metal, a célula de bit compreendendo ainda: uma terceira camada de metal formada em um terceiro plano e possuindo um eixo longitudinal que é paralelo ao eixo longitudinal da primeira camada de metal, a terceira camada de metal incluindo uma segunda extensão lateral que se estende no terceiro plano e em uma direção perpendicular ao eixo longitudinal da terceira camada de metal, em que a segunda camada de metal interpõe a primeira camada de metal e a terceira camada de metal, em que a primeira extensão lateral (910) sobrepõe a segunda extensão lateral e é conectada eletricamente à segunda extensão lateral, por pelo menos uma interconexão de vias, em uma fonte (900) da célula de bit, compreendendo ainda: uma interconexão de vias adicional entre a segunda camada de metal e a terceira camada de metal em um dreno (800) da célula de bit; e um elemento de armazenamento eletricamente conectado à linha de bits e à terceira camada de metal pela dita interconexão de vias; em que a linha de fonte é eletricamente conectada à uma fonte de um transistor e a linha de bits é eletricamente conectada a um dreno do transistor.
2. Célula de bit STT-MRAM, de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pela primeira camada de metal e/ou a segunda camada de metal sobreporem pelo menos uma parte da terceira camada de metal.
3. Célula de bit STT-MRAM, de acordo com a reivindicação 1, caracterizada por compreender também: uma quarta camada de metal interpondo a primeira extensão lateral e a segunda extensão lateral; uma primeira interconexão de vias que conecta a primeira extensão lateral a quarta camada de metal; e uma segunda interconexão de vias que conecta a quarta camada de metal a segunda extensão lateral.
4. Célula de bit STT-MRAM, de acordo com a reivindicação 3, caracterizada pela quarta camada de metal ser formada no segundo plano e estar eletricamente isolada da segunda camada de metal.
5. Célula de bit STT-MRAM, de acordo com a reivindicação 1, caracterizada pela linha de fonte sobrepor substancialmente a linha de bits.
6. Célula de bit STT-MRAM, de acordo com a reivindicação 1, caracterizada por compreender também: uma linha de palavras; um elemento de armazenamento; e um transistor de linha de palavras acoplado ao elemento de armazenamento.
7. Célula de bit STT-MRAM, de acordo com a reivindicação 6, caracterizada pelo elemento de armazenamento ser uma junção de túnel magnética (MTJ) e em que o transistor de linha de palavra está acoplado em série com a MTJ.
8. Arranjo de célula de bit STT-MRAM caracterizada por compreender: uma pluralidade de células de bit conforme definidas na reivindicação 1.
BRPI0911090 2008-04-04 2009-03-23 design estrutural de arranjo de células de bit de memória magnetoresistiva de acesso aleatório (mram) BRPI0911090B1 (pt)

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