WO2019167359A1 - 化合物、樹脂、組成物及びそれを用いたリソグラフィー用膜形成材料 - Google Patents

化合物、樹脂、組成物及びそれを用いたリソグラフィー用膜形成材料 Download PDF

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越後　雅敏
牧野嶋　高史
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三菱瓦斯化学株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a compound, a resin, a composition, and a film forming material for lithography using the same.
  • (Poly) maleimide compounds or (poly) maleamic acids are generally known as high heat-resistant thermosetting resins, and are widely used in fields such as molding materials, composite materials, and electric / electronic parts. In recent years, the development of microelectronics has been remarkable in the field of electrical and electronic components. In particular, in a large computer, high-speed signal transmission is indispensable due to the use of a multilayer circuit board or the like. However, if the dielectric constant of the substrate material is large, signal transmission is delayed and becomes an obstacle to speed-up. (Poly) maleimide compound or (poly) maleamic acid is used for an interlayer insulating film having a multilayer wiring structure. For these reasons, the (poly) maleimide compound or (poly) maleimide compound having a low dielectric constant is maintained. There is a demand for poly) maleamic acid (see, for example, Patent Documents 1 to 3).
  • a resist underlayer film material containing a polymer having a specific repeating unit has been proposed as a material for realizing a resist underlayer film for lithography having a lower dry etching rate selectivity than a resist (see Patent Document 4).
  • a repeating unit of acenaphthylenes and a repeating unit having a substituted or unsubstituted hydroxy group are copolymerized.
  • a resist underlayer film material containing a polymer is proposed (see Patent Document 5).
  • an amorphous carbon underlayer film formed by chemical vapor deposition (CVD) using methane gas, ethane gas, acetylene gas or the like as a raw material is well known.
  • CVD chemical vapor deposition
  • methane gas, ethane gas, acetylene gas or the like is well known.
  • a resist underlayer film material capable of forming a resist underlayer film by a wet process such as spin coating or screen printing is required.
  • the present inventors have a composition for forming an underlayer film for lithography containing a compound having a specific structure and an organic solvent as a material having excellent etching resistance, high heat resistance, soluble in a solvent and applicable to a wet process.
  • the thing (refer patent document 6) is proposed.
  • JP-A-4-261411 Japanese Patent Laid-Open No. 7-215933 JP 2010-18791 A JP 2004-271838 A JP 2005-250434 A International Publication No. 2013/024779
  • an object of the present invention is to provide novel (poly) imide compounds or (poly) amic acids having excellent structure forming ability (film forming ability), heat resistance and solubility.
  • R X represents a 2n A valent group having 1 to 70 carbon atoms or a single bond
  • R 1A each independently has an optionally substituted alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, an optionally substituted aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or a substituent.
  • R 1A is any one of the alkyl group, the aryl group, the bridging group, and the alkoxy group, it is selected from the group consisting of an ether bond, a ketone bond, and an ester bond.
  • R 1A is maleamic acid groups have 1-4 carbon atoms which may 30 have a substituent, and substituents have also good maleimide groups having 4 to 30 carbon atoms having Either X represents an oxygen atom or a sulfur atom or may not be present;
  • Each R independently represents any one of a benzene ring, a naphthalene ring, and an anthracene ring;
  • each m is independently an integer from 0 to 9, wherein at least one of m is an integer from 1 to 9;
  • n A is an integer of 1 to 4.
  • R Y is a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a carbon atom having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • R Z represents an n A valent group or a single bond having 1 to 60 carbon atoms, and the total number of carbon atoms of R Y and R Z is 69 or less, X, R, n A , R 1A and m are as defined above.
  • R 2A is a hydrogen atom or a C 1-30 carbon atom which may have a substituent.
  • m 2A represents an integer of 1 to 5.
  • R 2A is a hydrogen atom or a straight chain of 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent. Or any of a branched or cyclic alkyl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a halogen atom
  • m 2A represents an integer of 1 to 5.
  • R, R 1A , m and R Y have the same meanings as described above, and R 2A is a straight chain having 1 to 30 carbon atoms which may have a hydrogen atom or a substituent. Any of a straight, branched or cyclic alkyl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a halogen atom In addition, m 2A represents an integer of 1 to 5.) [6] The compound according to [2] above, wherein the compound represented by the formula (1) is a compound represented by the following formula (1b-2).
  • R, R 1A and m are as defined above, and R 2A is a hydrogen atom or a linear or branched group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent. Or a cyclic alkyl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or a halogen atom M 2A represents an integer of 1 to 5.
  • R, R 1A , m, and m 2A have the same meanings as described above, and R 2A ′ is a linear group having 5 or more carbon atoms that may have a substituent. Or a branched or cyclic alkyl group.
  • R 2A ′ is a linear group having 5 or more carbon atoms that may have a substituent. Or a branched or cyclic alkyl group.
  • R 3A is each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent. Any of a group, an optionally substituted bridging group having 2 to 30 carbon atoms, an optionally substituted alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, and a halogen atom; m 6A is each independently an integer of 0 to 5; R Y , R Z , X, R, and n A are as defined above. ) [10] The compound according to [2] above, wherein the compound represented by the formula (1) is a compound represented by the following formula (3) or the formula (3 ′).
  • R 3A is each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent. Any one of a group, an optionally substituted bridging group having 2 to 30 carbon atoms, an optionally substituted alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, and a halogen atom, m 6A is each independently an integer of 0 to 5; R Y , R Z , X, R, and n A are as defined above.
  • the compound represented by the formula (1) is any one of the compounds represented by the following formulas (MIBiA-1) to (MIBiA-34) and (MABiA-1) to (MABiA-34): 2].
  • a resin comprising a monomer unit derived from the compound according to any one of [1] to [12].
  • L represents a linear or branched linking group having 1 to 30 carbon atoms or a single bond
  • R X , R 1A , X, R, m, and n A are as defined above.
  • [15] A composition comprising the compound or resin according to any one of [1] to [14] above.
  • [16] Hardened
  • [17] A film forming material for lithography comprising the compound or resin according to any one of [1] to [14] above.
  • a lithographic film forming composition comprising the lithographic film forming material according to any one of [17] to [21] above and a solvent.
  • composition for forming a film for lithography [24] according to the above [21] or [22], wherein the film for lithography is an underlayer film for lithography A lower layer film for lithography formed using the composition for forming a film for lithography according to the above [23].
  • a resist pattern forming method A resist pattern forming method.
  • the solvent used in the step of obtaining the organic phase includes a solvent that is not arbitrarily miscible with water.
  • novel (poly) imide compounds or (poly) amic acids having excellent structure forming ability (film forming ability), heat resistance and solubility. Furthermore, useful film-forming compositions for lithography and film-forming materials can be provided.
  • (poly) imide compounds includes “(poly) maleimide compounds” and “(poly) citraconimide compounds”, and “(poly) amic acids” includes “(poly). “Maleamic acid” and “(poly) citraconic acid”.
  • the “(poly) maleimide compound” refers to a monomaleimide compound or a polymaleimide compound. The same applies to other compounds.
  • the (poly) imide compounds or (poly) amic acids of the present embodiment are represented by the following formula (0).
  • the compound of this embodiment is excellent in structure forming ability (film forming ability), heat resistance and solubility, for example, and can be usefully used as a high heat resistant thermosetting resin and a cured product thereof.
  • the compound of this embodiment has excellent structure-forming ability (for example, film-forming ability, etc.), heat resistance, and solubility due to high aromatic density and low crystallinity.
  • R X represents a 2n A valent group having 1 to 70 carbon atoms or a single bond
  • R 1A each independently has an optionally substituted alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, an optionally substituted aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or a substituent.
  • R 1A is any one of the alkyl group, the aryl group, the bridging group, and the alkoxy group, at least selected from the group consisting of an ether bond, a ketone bond, and an ester bond Contains one bond
  • at least one of R 1A is maleamic acid of good having 4 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a maleimido group which may having 4 to 30 carbon atoms which may have a substituent, X
  • the “alkyl group” may be a linear or branched alkyl group or a cyclic alkyl group.
  • the “alkoxy group” may be a linear or branched alkoxy group or a cyclic alkoxy group.
  • R X is a 2n A valent group or a single bond, and is preferably a 2n A valent group.
  • the carbon number of the 2n A valent group is 1 to 70, preferably 3 to 50, more preferably 6 to 30.
  • the 2n A number of groups is not particularly limited, and examples thereof include hydrocarbon groups.
  • hydrocarbon group examples include a linear or branched hydrocarbon group alicyclic hydrocarbon group, and a combination of a linear or branched hydrocarbon group and an alicyclic hydrocarbon group.
  • the “alicyclic hydrocarbon group” herein may be a so-called polycyclic bridged alicyclic hydrocarbon group having a bridged structure in the aliphatic ring. Further, the hydrocarbon group may contain any of a double bond, a hetero atom, and an aromatic group having 6 to 60 carbon atoms. (1-1-1. Group Represented by Formula (0a)) Examples of the 2n A- valent group include a group represented by the following formula (0a).
  • each R x1 independently represents a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent.
  • R X2 is any one of a hydrogen atom and an n A valent group having 1 to 60 carbon atoms, and R X1 and R X2
  • the total number of carbon atoms is 69 or less, and n A represents an integer of 1 to 4.
  • R x1 examples of the linear or branched alkyl group represented by R x1 include, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, neopentyl group.
  • a linear or branched alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, and a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or A branched alkyl group is more preferred.
  • the cyclic alkyl group include a monocyclic group (monocyclic cycloalkyl group) and a polycyclic group (polycyclic cycloalkyl group).
  • Examples of the monocyclic group include a monocyclic group having 3 to 30 carbon atoms such as a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a cyclodecyl group, and a cycloicosyl group. Is mentioned.
  • Examples of the polycyclic group include C7-30 bicyclic groups such as a dicyclopentyl group, a dicyclohexyl group, a norbornyl group, an adamantyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group.
  • the alkyl group may have a substituent.
  • substituents include a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom), a nitro group, an amino group that may have a substituent, a carboxyl group, a thiol group, and a hydroxyl group.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • the aryl group is not particularly limited, and examples thereof include a phenyl group, a naphthyl group (for example, 1-naphthyl group and 2-naphthyl group), an anthryl group (for example, 1-anthryl group), and a phenanthryl group (for example, 1-naphthyl group).
  • a phenyl group is more preferable.
  • the aryl group may have a substituent.
  • substituents for example, in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), exemplified alkyl group as an alkyl group Is mentioned.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • Examples of the linear or branched alkyl group having 1 to 60 carbon atoms include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ), and the effects of the present invention are more effective and Examples of the alkyl group that is preferable from the viewpoint of sure performance include the alkyl groups exemplified as preferable alkyl groups in (1-1-1a.RX 1 ).
  • the alkyl group may have a substituent, and examples of the substituent include those exemplified as the substituent of the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the linear or branched alkylene group having 1 to 60 carbon atoms include groups in which one hydrogen atom has been removed from the alkyl group exemplified as the linear or branched alkyl group having 1 to 60 carbon atoms. It is done.
  • the alkylene group may have a substituent, and examples of the substituent include those exemplified as the substituent of the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the linear or branched alkyltriyl group having 1 to 60 carbon atoms include groups in which two hydrogen atoms have been removed from the alkyl group exemplified as the linear or branched alkyl group having 1 to 60 carbon atoms. Can be mentioned.
  • the alkyltriyl group may have a substituent, and examples of the substituent include the substituents exemplified as the substituent of the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the linear or branched alkyltetrayl group having 1 to 60 carbon atoms include groups in which three hydrogen atoms have been removed from the alkyl group exemplified as the linear or branched alkyl group having 1 to 60 carbon atoms. Can be mentioned.
  • the alkyltetrayl group may have a substituent, and examples of the substituent include those exemplified as the substituent of the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • aromatic hydrocarbon ring examples include a monocyclic aromatic hydrocarbon ring, a condensed cyclic aromatic hydrocarbon ring, and a ring in which a plurality of aromatic rings are bonded directly or through a linking group (ring assembly ring). Can be mentioned.
  • the aromatic hydrocarbon ring may include a hetero atom (for example, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom), and includes at least one bond selected from the group consisting of an ether bond, a ketone bond, and an ester bond. But you can.
  • a hetero atom for example, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom
  • Examples of the monocyclic aromatic hydrocarbon ring include a benzene ring and a 5-membered or 6-membered aromatic heterocycle containing a hetero atom.
  • Examples of the 5-membered ring or 6-membered aromatic heterocycle containing a hetero atom include a thiophene ring, a pyridine ring, a furan ring, a thiazole ring, an oxazole ring, a pyrazole ring, a pyrazine ring, a pyrimidine ring, a pyrrole ring, and an imidazole ring.
  • a benzene ring is preferable from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention.
  • These monocyclic aromatic hydrocarbon rings may have a substituent. Examples of the substituent in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), Exemplified alkyl group as an alkyl group It is done.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • the substitution position at which the substituent is substituted on the monocyclic aromatic hydrocarbon ring is not particularly limited.
  • the monocyclic aromatic hydrocarbon ring is preferably a benzene ring from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention.
  • the benzene ring has a substituent, it is preferable to have a substituent at the 4-position of the benzene ring.
  • n A 1, (i) a hydroxyphenyl group, (ii) a monoalkylphenyl group, (iii) a dialkylphenyl group , (Iv) a trialkylphenyl group, and (v) a cyclohexylphenyl group.
  • hydroxyphenyl group for example, (Ia) monohydroxyphenyl group (for example, 2-hydroxyphenyl group, 3-hydroxyphenyl group, and 4-hydroxyphenyl group); (Ib) dihydroxyphenyl group (for example, 2,3-dihydroxyphenyl group, 2,4-dihydroxyphenyl group, 2,5-dihydroxyphenyl group, 2,6-dihydroxyphenyl group, 3,4-dihydroxyphenyl group) , 3,5-dihydroxyphenyl group); (Ic) trihydroxyphenyl group (for example, 2,3,4-trihydroxyphenyl group, 2,3,5-trihydroxyphenyl group, 2,3,6-trihydroxyphenyl group, 2,4,5 -Trihydroxyphenyl group, 2,4,6-trihydroxyphenyl group).
  • monohydroxyphenyl group for example, 2-hydroxyphenyl group, 3-hydroxyphenyl group, and 4-hydroxyphenyl group
  • dihydroxyphenyl group for example, 2,3-dihydroxyphenyl group, 2,4-di
  • (Ii) As the monoalkylphenyl group, for example, 2-methylphenyl group, 3-methylphenyl group, 4-methylphenyl group, 2-ethylphenyl group, 3-ethylphenyl group, 4-ethylphenyl group, 2-propylphenyl group, 3-propylphenyl group, 4- Examples include propylphenyl group, 2-isopropylphenyl group, 3-isopropylphenyl group, 4-isopropylphenyl group, 2-butylphenyl group, 3-butylphenyl group, and 4-butylphenyl group.
  • dialkylphenyl group for example, (Iii-a) 2,3-dialkylphenyl group (for example, 2,3-dimethylphenyl group, 2,3-diethylphenyl group, 2,3-dipropylphenyl group, 2,3-diisopropylphenyl group, 2- Ethyl-3-methylphenyl group and 3-ethyl-2-methylphenyl group); (Iii-b) 2,4-dialkylphenyl group (for example, 2,4-dimethylphenyl group, 2,4-diethylphenyl group, 2,4-dipropylphenyl group, 2,4-diisopropylphenyl group, 2- Ethyl-4-methylphenyl group and 4-ethyl-2-methylphenyl group); (iii-c) 2,5-dialkylphenyl group (for example, 2,5-dimethylphenyl group, 2,5-diethylphenyl group, 2,3-d
  • (Iv) As the trialkylphenyl group for example, (Iv-a) trimethylphenyl group (for example, 2,3,4-trimethylphenyl group, 2,3,5-trimethylphenyl group, 2,3,6-trimethylphenyl group, 2,4,5-trimethylphenyl group) 2,4,6-trimethylphenyl group and 3,4,5-trimethylphenyl group); (Iv-b) an ethyldimethylphenyl group (for example, a group in which one methyl group of the trimethylphenyl group is substituted with one ethyl group); (Iv-c) a diethylmethylphenyl group (for example, a group in which two methyl groups of the trimethylphenyl group are each substituted with an ethyl group); (Iv-d) a triethylphenyl group (for example, a group in which three methyl groups of the trimethylphenyl group are each substituted with an ethyl group).
  • cycloalkylphenyl group examples include cyclohexylphenyl groups such as 2-cyclohexylphenyl group, 3-cyclohexylphenyl group, 4-cyclohexylphenyl group and the like.
  • n A 2
  • hydroxyphenylene obtained by removing one hydrogen atom from the phenyl group of the hydroxyphenyl group exemplified by the hydroxyphenyl group A group
  • a monoalkylphenylene group obtained by removing one hydrogen atom from a phenyl group of a monoalkylphenyl group exemplified by a monoalkylphenyl group
  • n A 3
  • hydroxyphenyl obtained by removing two hydrogen atoms from the phenyl group of the hydroxyphenyl group exemplified by the hydroxyphenyl group A triyl group
  • a monoalkylphenyl triyl group obtained by removing two hydrogen atoms from a phenyl group of a monoalkylphenyl group exemplified by a monoalkylphenyl group
  • a dialkylphenyl group exemplified by a dialkylphenyl group A dialkylphenyltriyl group obtained by removing two hydrogen atoms from the phenyl group of (iv), a ditrialkylphenyltriyl group obtained by removing two hydrogen atoms from the phenyl group of the trialkylphenyl group exemplified by the trialkylphenyl group
  • n A 3
  • hydroxyphenyl obtained by removing two hydrogen atoms from the phenyl group of the
  • n A 4
  • hydroxyphenyl obtained by removing three hydrogen atoms from the phenyl group of the hydroxyphenyl group exemplified by the hydroxyphenyl group A tetraalkyl group
  • a monoalkylphenyl tetrayl group obtained by removing three hydrogen atoms from a phenyl group of a monoalkylphenyl group exemplified by a monoalkylphenyl group
  • dialkylphenyl group exemplified by a dialkylphenyl group A dialkylphenyltetrayl group in which three hydrogen atoms have been removed from the phenyl group
  • a trialkylphenyltetrayl group in which three hydrogen atoms have been removed from the phenyl group of the trialkylphenyl group exempl
  • condensed cyclic aromatic hydrocarbon ring examples include a condensed bicyclic aromatic hydrocarbon ring (for example, naphthalene ring and indene ring) and a condensed tricyclic aromatic hydrocarbon ring (for example, anthracene ring and phenanthrene ring).
  • Condensed tetracyclic aromatic hydrocarbon rings for example, tetracene ring and pyrene ring
  • rings having an acenaphthene skeleton for example, acenaphthene ring and 1-acenaphthenone ring
  • rings having a fluorene skeleton for example, fluorene ring, 2, Benzofluorene rings such as 3-benzofluorene ring, and dibenzofluorene rings such as 2,3: 6,7-dibenzofluorene ring).
  • These condensed cyclic aromatic hydrocarbon rings may have a substituent.
  • substituents in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), Exemplified alkyl group as an alkyl group It is done.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • substitution position at which the substituent is substituted on the condensed cyclic aromatic hydrocarbon ring is not particularly limited.
  • biase ring examples include, for example, a ring in which two benzene rings are directly bonded (biphenyl ring), a ring in which two naphthalene rings are directly bonded (binaphthy ring), and a benzene ring And a ring in which a naphthalene ring is directly bonded (binaphthylphenyl ring).
  • the biarene ring may have a substituent.
  • substituents in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), Exemplified alkyl group as an alkyl group It is done.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • substitution position at which the substituent is substituted on the bialene ring is not particularly limited.
  • Examples of the ring in which a plurality of aromatic hydrocarbon rings are bonded via a linking group include, for example, a ring represented by the formula R b1 -L a -R b2 (wherein , R b1 and R b2 represent either a benzene ring or a naphthalene ring, and La represents a linking group.
  • L a includes, for example, an oxygen atom-containing group (for example, an ether group (—O—), a carbonyl group (—CO—), and an oxycarbonyl group (—OCO—)); Groups (for example, thio group (—S—)), alkylene groups (for example, linear or branched alkylene groups such as methylene group and ethylene group, and cycloalkylene groups such as cyclohexylidene group), From the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention, a group containing an oxygen atom is preferred, and an ether group is more preferred.
  • an oxygen atom-containing group for example, an ether group (—O—), a carbonyl group (—CO—), and an oxycarbonyl group (—OCO—)
  • Groups for example, thio group (—S—)
  • alkylene groups for example, linear or branched alkylene groups such as methylene group and ethylene group, and cycloal
  • the ring assembly ring bonded through these linking groups may have a substituent.
  • substituents in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), Exemplified alkyl group as an alkyl group It is done.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • substitution position at which the substituent is substituted into the ring assembly ring bonded via the linking group is not particularly limited.
  • Examples of the alicyclic hydrocarbon ring include a monocyclic aliphatic hydrocarbon ring and a polycyclic aliphatic hydrocarbon ring.
  • Examples of the monocyclic aliphatic hydrocarbon ring include cycloalkane rings such as a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, and a cycloheptane ring.
  • the monocyclic aliphatic hydrocarbon ring may have a substituent. Examples of the substituent in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), Exemplified alkyl group as an alkyl group It is done.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • the substitution position at which the substituent is substituted on the monocyclic aliphatic hydrocarbon ring is not particularly limited.
  • polycyclic aliphatic hydrocarbon ring examples include a decalin ring, an adamantane ring, a dicyclopentane ring, a norbornane ring, a tricyclodecane ring, and a ring having at least one double bond in these rings (for example, a dicyclic ring). Cyclopentadiene ring, etc.).
  • the polycyclic aliphatic hydrocarbon ring may have a substituent. Examples of the substituent in (1-1-1a.R X1), exemplified substituents as substituents for the alkyl group, and in (1-1-1a.R X1), Exemplified alkyl group as an alkyl group It is done.
  • the number of substituents is not particularly limited, and may be one or plural.
  • substitution position at which the substituent is substituted on the polycyclic aliphatic hydrocarbon ring is not particularly limited.
  • Typical R X2 includes those obtained by removing one hydrogen atom from the following rings (x1) to (x21).
  • R * represents any one of a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, a cyclohexyl group, and a hydroxyl group.
  • R X1 is any one of a hydrogen atom, a methyl group and a phenyl group
  • R X2 is a group (x1) to ( x21), and a combination in which n A is 1 can be exemplified.
  • cy1 is a divalent group obtained by removing one hydrogen atom from the cyclic alkyl group or aryl group exemplified as R x2 ;
  • cy2 is a tetravalent group obtained by removing three hydrogen atoms from an alkyl group or an aryl group ring exemplified as R x2,
  • cy3 is 1 a hydrogen atom from an alkyl group or an aryl group ring exemplified as R x2
  • Cy4 is an octavalent group obtained by removing one hydrogen atom from the cyclic alkyl group or aryl group exemplified as R x2 .
  • each R 1A independently represents an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • R 1A is any one of the alkyl group, the aryl group, the bridging group, and the alkoxy group, at least one selected from the group consisting of an ether bond, a ketone bond, and an ester bond is included. Also good. However, at least one of R 1A represents a maleamic acid group having 4 to 30 carbon atoms which may have a substituent and a maleimide group having 4 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • Examples of the alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • the number of carbon atoms such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, and tert-butyl group is one.
  • the substituent may be a halogen atom (a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom) from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. preferable.
  • the alkyl group substituted with a halogen atom is preferably a haloalkyl group having 1 to 6 carbon atoms such as a trifluoromethyl group, a trichloromethyl group, or a tetrafluoroethyl group.
  • Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ). Among these, a phenyl group and a naphthyl group (a 1-naphthyl group and a 2-naphthyl group) are preferable, and a phenyl group is more preferable, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention.
  • the substituent is preferably an amino group, and the substitution position of the amino group on the aryl group (particularly the phenyl group) is the 2-position or the 4-position. Is preferred.
  • Examples of the bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent include, for example, specific conditions (for example, acid or base catalyst presence conditions, heating conditions, conditions for radical reaction, visible light or invisible light (for example, , Ultraviolet irradiation, infrared irradiation, etc.), which are groups capable of forming new bonds with other compounds), for example, allyl group, (meth) acryloyl group, vinyl group, epoxy group, alkoxymethyl Groups and cyanato groups.
  • Examples of the optionally substituted alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms include a group represented by —O—R a1 (wherein R a1 is (1-1-1a.R X1 )).
  • R a1 is (1-1-1a.R X1 )
  • an alkyl group exemplified as an alkyl group is shown.).
  • the number of carbon atoms such as methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, isopropoxy group, n-butoxy group, isobutoxo group, tert-butoxy group, etc.
  • a linear or branched alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms is preferable, a linear or branched alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is more preferable, and a methoxy group or an ethoxy group is preferable. Further preferred.
  • Examples of the amino group having 0 to 30 carbon atoms which may have a substituent include, for example, a group represented by (R 4 ) 2 N— (in the formula, each R 4 independently represents a hydrogen atom, A linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent; Any of 2 to 30 carbon bridging groups that may be present), and when R 4 is any one of the alkyl group, the aryl group, and the bridging group, an ether bond And at least one bond selected from the group consisting of a ketone bond and an ester bond may be included.
  • Examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the bridging groups exemplified as the bridging group in (2.R 1A ).
  • the group represented by the formula (R 4 ) 2 N— is an amino group from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention; one R 4 is a hydrogen atom, and the other R 4 is An alkyl group (eg, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group) or an alkylcarbonyl group (eg, a methylcarbonyl group, ethyl A mono-substituted amino group which is a linear or branched alkylcarbonyl group having 2 to 5 carbon atoms, such as a carbonyl group, an n-propylcarbonyl group, and an n-butylcarbonyl group; and two R 4 are alkyl groups ( For example, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as a methyl group, an eth
  • At least one of R 1A is a group having any of a maleic acid group having 4 to 30 carbon atoms which may have a substituent and a maleimide group having 4 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • the number of the groups is not particularly limited as long as it is 1 or more, but is preferably 1 to 3, more preferably 1 or 2, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. .
  • each group may be substituted with the same aromatic ring or may be substituted with different aromatic rings.
  • X represents an oxygen atom or a sulfur atom, and X may not be present, but from the viewpoint of further improving the structure-forming ability, it is preferably an oxygen atom or a sulfur atom, More preferably it is an atom. On the other hand, X should not be present from the viewpoint of solvent solubility.
  • the compound represented by the formula (0) in which X represents an oxygen atom is represented by the following formula (0-1).
  • R X , R 1A , R, m and n A are as defined above.
  • Each m is independently an integer of 0 to 9. However, at least one of m is an integer of 1 to 9. m is preferably an integer of 1 to 5, more preferably an integer of 1 to 3, and an integer of 1 or 2 from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. Further preferred. (5.n A ) n A is an integer of 1 to 4, and is preferably an integer of 1 or 2, more preferably 1, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention.
  • R each independently represents a benzene ring, a naphthalene ring, or an anthracene ring.
  • R when R is a benzene ring, this indicates that one or more R 1A is substituted on the benzene ring, and the position of substitution of each R 1A on the benzene ring is not particularly limited.
  • the bonding position of benzene to the benzene ring is not particularly limited.
  • R when R is a naphthalene ring, it indicates that one or more R 1A is substituted on the naphthalene ring, and the position of substitution of each R 1A on the naphthalene ring is not particularly limited, and X The bonding position of the naphthalene ring is not particularly limited.
  • R when R is an anthracene ring, it indicates that one or more R 1A is substituted on the anthracene ring, and the position of substitution of each R 1A on the anthracene ring is not particularly limited. There is also no particular limitation on the position of bonding to the anthracene ring.
  • R is preferably a benzene ring or a naphthalene ring, more preferably a benzene ring, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention.
  • the compound represented by the above formula (0) has high aromatic density and low crystallinity, and has excellent structure forming ability (for example, film forming ability), heat resistance, and solubility. .
  • the compound of this embodiment can be usefully used as a high heat-resistant thermosetting resin and its hardened
  • High heat-resistant thermosetting resins and cured products are used for electrical insulating materials, solder resist resins, semiconductor sealing resins, printed wiring board adhesives, electrical equipment, electronic equipment, industrial equipment, etc.
  • the functional resin and the functional cured product are used in the form of a film or sheet when used in these materials.
  • Functional resins and functional hardened materials are plastic lenses (prism lenses, lenticular lenses, micro lenses, Fresnel lenses, viewing angle control lenses, contrast enhancement lenses, etc.), retardation films, electromagnetic wave shielding films, prisms, optical fibers Also, it is useful in parts such as solder resists for flexible printed wiring, plating resists, interlayer insulating films for multilayer printed wiring boards, and photosensitive optical waveguides.
  • the compound represented by the formula (0) is preferably a compound represented by the following formula (1) from the viewpoint of further improving the solubility in an organic solvent.
  • R Y may have a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent. Any of the preferred aryl groups having 6 to 30 carbon atoms, R Z is an n A valent group having 1 to 60 carbon atoms or a single bond, and the total number of carbon atoms of R Y and R Z is 69 or less
  • X, R, n A , R 1A , and m are as defined above.
  • the compound represented by the formula (1) is preferably a compound represented by the following formula (1a-1) from the viewpoint of further improving solubility and heat resistance. It is more preferable that it is a compound represented by.
  • R 2A is a hydrogen atom or a straight chain having 1 to 30 carbon atoms that may have a substituent.
  • M 2A represents an integer of 1 to 5.
  • the compound represented by the formula (1) is preferably a compound represented by the following formula (1a-2) from the viewpoint of further improving the solubility, and is represented by the following formula (1b-2). More preferably, it is a compound.
  • R, R 1A , m, and R Y are as defined above, and R 2A is a hydrogen atom or a straight chain of 1 to 30 carbon atoms that may have a substituent. Or a branched or cyclic alkyl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a halogen atom (for example, One of fluorine atom, chlorine atom and bromine atom). Further, m 2A is an integer of 1 to 5.
  • X, R, R 1A , R 2A , m, and m 2A are as defined above.
  • the compound represented by the formula (1a-2) is preferably a compound represented by the following formula (1a-3) from the viewpoint of further improving the solubility.
  • R, R 1A , R 2A , m, and m 2A have the same meaning as described above, and R Y ′ represents R Y obtained by removing a hydrogen atom.
  • R Y ′ represents R Y obtained by removing a hydrogen atom.
  • the compound represented by the formula (1b-2) is preferably a compound represented by the following formula (1b-3) from the viewpoint of further improving the fluidity during film formation.
  • R, R 1A , m, and m 2A have the same meaning as described above, and R 2A ′ is a linear or cyclic group having 5 or more carbon atoms that may have a substituent, or A branched or cyclic alkyl group is shown.
  • R Y is a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a carbon atom having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • One of aryl groups is shown.
  • Examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent include an alkyl group exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • the alkyl group preferable from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention the alkyl groups exemplified as preferable alkyl groups in (1-1-1a.R X1 ) can be mentioned.
  • Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • preferable aryl groups include those exemplified as preferred aryl groups in (1-1-1a.R X1 ).
  • R Y is preferably a hydrogen atom or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and more preferably a hydrogen atom or a phenyl group.
  • R Z is preferably an n A valent group having 1 to 60 carbon atoms from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention.
  • n A-valent group having 1 to 60 carbon atoms for example, include n A-valent group exemplified in (1-1-1b.R X2), as preferable groups, (1-1-1b.
  • preferable n A valent groups in R X2 include n A valent groups.
  • the compound represented by the formula (1) is preferably a compound represented by the following formula (2) or (2) ′ from the viewpoint of further improving the film forming ability.
  • each R 3A independently has a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms and a substituent, which may have a substituent.
  • R 3A is each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • Examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ). Can be mentioned. Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ). Examples of the bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the bridging groups exemplified as the bridging group in (2.R 1A ). Examples of the alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the alkoxy groups exemplified as the alkoxy group in (1-1-1a.R X1 ).
  • R 3A is a linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. It is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have The linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent has a preferable substituent in (2.R 1A ) of [Compound represented by the formula (0)].
  • the alkyl group exemplified as the alkyl group which may be used is preferable.
  • the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent is preferably an aryl group exemplified as an aryl group which may have a preferable substituent in (2.R 1A ).
  • (2.m 6A ) m 6A is each independently an integer of 0 to 5, and is preferably an integer of 0 to 3, and more preferably an integer of 0 to 2, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. It is more preferable.
  • the compound represented by the formula (1) is preferably a compound represented by the following formula (3) or (3) ′ from the viewpoint of further improving the film forming ability.
  • R 3A each independently has a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms and a substituent which may have a substituent.
  • each R 4A is independently a hydrogen atom or a straight chain of 1 to 30 carbon atoms that may have a substituent.
  • R 4A is any one of the alkyl group, the aryl group, and the bridging group. If the ether bond, ketone bond, and may contain at least one bond selected from the group consisting of an ester bond, m 6A are each independently an integer of 0 ⁇ 5, R Y , R Z , X, R, and n A are as defined above. (1.
  • R 3A is each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent.
  • Examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ). Can be mentioned. Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ). Examples of the bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the bridging groups exemplified as the bridging group in (2.R 1A ). Examples of the alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent include the alkoxy groups exemplified as the alkoxy group in (1-1-1a.R X1 ).
  • R 3A is a linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. It is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have The linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent has a preferable substituent in (2.R 1A ) of [Compound represented by the formula (0)].
  • the alkyl group exemplified as the alkyl group which may be used is preferable.
  • the aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent is preferably an aryl group exemplified as an aryl group which may have a preferable substituent in (2.R 1A ).
  • (2.m 6A ) m 6A is each independently an integer of 0 to 5, and is preferably an integer of 0 to 3, and more preferably an integer of 0 to 2, from the viewpoint of more effectively and reliably achieving the effects of the present invention. It is more preferable.
  • (poly) imide compounds or (poly) amic acids of this embodiment As typical (poly) imide compounds or (poly) amic acids of this embodiment, (poly) imide compounds or (poly) amic acids represented by the formulas (p1) to (p72) can be given.
  • Other representative (poly) imide compounds or (poly) amic acids of this embodiment include (poly) imide compounds or (poly) amic acids represented by formulas (p73) to (p504). It is done.
  • R A independently represents any one of a hydrogen atom, Formula (A1), Formula (A2), Formula (A3), and Formula (A4).
  • R A is any one of formula (A1), formula (A2), formula (A3), and formula (A4).
  • R 4 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, Cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group , Anthracene group, heptacene group, triacontenyl group, methoxy group, ethoxy group, triacontoxy
  • R 5 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 6 examples include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, an undecyl group, a dodecyl group, a triacontyl group, a cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a tria
  • R 7 examples include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, an undecyl group, a dodecyl group, a triacontyl group, a cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a tria
  • R 8 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 9 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 10 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 11 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 12 or R 13 examples include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclo Propyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, Anthracene group, heptacene group, triacontenyl group, methoxy group, ethoxy group, triacontoxy group and the like can
  • R 14 examples include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, an undecyl group, a dodecyl group, a triacontyl group, a cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a tria
  • R 15 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 16 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 17 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • R 18 for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, cyclopropyl group, Cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotriacontyl group, norbornyl group, adamantyl group, naphthyl group, anthracene group, Examples include a heptacene group, a triacontenyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a
  • Rx for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, triacontyl group, etc.
  • the compound represented by the formula (1) is one of the compounds represented by the following formulas (MIBiA-1 to 34) and (MABiA-1 to 34) from the viewpoint that the structure-forming ability is further improved. It is preferable.
  • the method for producing a compound represented by any one of formula (0), formula (1), formula (2), and formula (3) according to the present embodiment includes anilines, aldehydes, and / or ketones as reaction raw materials.
  • a more detailed polycondensation reaction method for example, Tetrahedron Letters; Vol. 46 (2005); p. Reference can be made to the methods described in 1119-112. You may perform a polycondensation process under a normal pressure, for example. [Polycondensation process] Hereinafter, the polycondensation step will be described.
  • (1. Anilines) Examples of the anilines include anilines represented by the following formula (0-a), and anilines represented by the following formula (1-b) are preferable.
  • R ⁇ 1A> , m, and R are synonymous with R ⁇ 1A> , m, and R in Formula (0), respectively.
  • each R 4A independently has a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent, or a substituent. Any of an aryl group having 6 to 30 carbon atoms and a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and R 4A represents the alkyl group, the aryl group, and the bridging group.
  • R 3A , m 6A , and R are each represented by the formula: It is synonymous with R 3A , m 6A and R in (1).
  • the alkyl group include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • the aryl group include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • the crosslinking group include the crosslinking groups exemplified as the crosslinking group in (1-1-1a.R X1 ).
  • anilines include aromatic amines and / or derivatives thereof that may have a substituent.
  • Specific anilines include aniline, toluidine, trimethylaniline, anisidine, hydroxyphenylamine, phenylaniline, biphenyldiamine, (trifluoromethyl) aniline, aminophenol, naphthylamine, dimethylaminobenzene, and acetanilide.
  • the position of the substituent is not particularly limited, and may be any of 2-position, 3-position, 4-position, 5-position, and 6-position, and the substituent may be one or plural. Also good.
  • These anilines can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • aldehydes examples include compounds represented by the following formula (0-b), and are preferably compounds represented by the following formula (3-a).
  • R z and n A are as defined R z and n A in the formula (0).
  • R 3A ′ is an optionally substituted linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, an optionally substituted amino group, and a substituent. Any one of an aryl group having 6 to 30 carbon atoms and a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and each R 1 is independently benzene ring, a naphthalene ring, and indicates one of an anthracene ring, n a is the same meaning as n a in the formula (1).
  • Examples of the alkyl group include the alkyl groups exemplified as the alkyl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the aryl group include the aryl groups exemplified as the aryl group in (1-1-1a.R X1 ).
  • Examples of the crosslinking group include the crosslinking groups exemplified as the crosslinking group in (1-1-1a.R X1 ).
  • formaldehydes include formaldehyde, trioxane, paraformaldehyde, benzaldehyde, acetaldehyde, propylaldehyde, phenylacetaldehyde, phenylpropylaldehyde, hydroxybenzaldehyde, chlorobenzaldehyde, nitrobenzaldehyde, methylbenzaldehyde, dimethylbenzaldehyde, ethylbenzaldehyde, propylbenzaldehyde, Examples include butyl benzaldehyde, fluorobenzaldehyde, biphenyl aldehyde, naphthaldehyde, anthracene carbaldehyde, phenanthrene carbaldehyde, pyrene carbaldehyde, and furfural.
  • formaldehydes can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • ketones examples include ketones represented by the following formula (0-c).
  • R Y, R Z, and n A are respectively the same meaning as R Y, R Z, and n A in the formula (2).
  • ketones may be, for example, ketones represented by the following formulas (cy1-c), (cy2-c), (cy3-c), (cy4-c).
  • cy1, cy2, cy3, and cy4 are synonymous with cy1, cy2, cy3, and cy4 in the above formulas (cy1), (cy2), (cy3), and (cy4).
  • ketones include acetone, methyl ethyl ketone, cyclobutanone, cyclopentanone, cyclohexanone, norbornanone, tricyclohexanone, tricyclodecanone, adamantanone, fluorenone, benzofluorenone, acenaphthenequinone, acenaphthenone, anthraquinone, acetophenone, diacetylbenzene.
  • Triacetylbenzene Triacetylbenzene, acetonaphthone, diphenylcarbonylnaphthalene, phenylcarbonylbiphenyl, diphenylcarbonylbiphenyl, benzophenone, diphenylcarbonylbenzene, triphenylcarbonylbenzene, benzonaphthone, diphenylcarbonylnaphthalene, phenylcarbonylbiphenyl, and diphenylcarbonylbiphenyl.
  • These ketones can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • (Poly) imide compounds or (poly Preferred from the viewpoint of imparting higher heat resistance to amic acids acetophenone, diacetylbenzene, triacetylbenzene, acetonaphthone, diphenylcarbonylnaphthalene, phenylcarbonylbiphenyl, diphenylcarbonylbiphenyl, benzophenone, diphenylcarbonylbenzene, triphenylcarbonylbenzene, benzonaphthone,
  • Use of at least one selected from the group consisting of diphenylcarbonylnaphthalene, phenylcarbonylbiphenyl, and diphenylcarbonylbiphenyl can provide higher etching resistance by the resulting (poly) imide compounds or (poly) amic acids To preferred.
  • a ketone having an aromatic ring from the viewpoint that higher heat resistance and refractive index can be imparted to the resulting (poly) imide compounds or (poly) amic acids.
  • an acid catalyst a well-known thing can be used and an inorganic acid and an organic acid are mentioned. Examples of inorganic acids include hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrobromic acid, and hydrofluoric acid.
  • Organic acids include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, adipic acid, sebacic acid, citric acid, fumaric acid, maleic acid, formic acid, p-toluenesulfonic acid, methanesulfonic acid, trifluoroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid , Trifluoromethanesulfonic acid, benzenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid, and naphthalenedisulfonic acid.
  • the acid catalyst may be a Lewis acid such as zinc chloride, aluminum chloride, iron chloride or boron trifluoride, or a solid acid such as silicotungstic acid, phosphotungstic acid, silicomolybdic acid or phosphomolybdic acid.
  • organic acids and solid acids are preferable, and hydrochloric acid or sulfuric acid is more preferable from the viewpoint of production (in terms of availability and handling).
  • An acid catalyst can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. The amount of the acid catalyst to be used can be appropriately set according to the raw material to be used, the type of catalyst, and further the reaction conditions. That's fine. (5.
  • the reaction raw materials may be reacted in a solvent.
  • a solvent any solvent may be used as long as the reaction between the anilines and the aldehydes and / or ketones can sufficiently proceed.
  • the solvent include water, methanol, ethanol, propanol, butanol, tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, or a mixed solvent thereof.
  • a solvent can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the amount of the solvent used can be appropriately set according to the type of raw material and catalyst to be used, reaction conditions, and the like. For example, it may be about 0 to 2000 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the whole reaction raw material.
  • the reaction temperature in the polycondensation reaction can be appropriately selected according to the reactivity of the reaction raw material, but it is usually in the range of 10 to 200 ° C. In order to obtain the (poly) amine compound of the present embodiment, the reaction temperature is preferably higher, and specifically in the range of 60 to 200 ° C.
  • anilines, aldehydes and / or ketones and a catalyst may be charged and reacted in a lump, and anilines, aldehydes and / or ketones may be added dropwise in the presence of the catalyst and reacted. Also good.
  • the obtained compound may be isolated by a known method. For example, in order to remove unreacted raw materials and catalyst existing in the system, the temperature of the reaction kettle is increased to 130 to 230 ° C., and volatile matter is removed at about 1 to 50 mmHg, whereby (poly) amine compound Is obtained.
  • reaction temperature is preferably 50 to 150 ° C. under normal pressure, and the reaction time is preferably about 20 minutes to 100 hours.
  • the (poly) amine compound may be isolated by a known method.
  • an isolation method for example, first, the reaction solution is concentrated, and pure water is added to precipitate the reaction product. Next, the precipitated reaction product is cooled to room temperature and then separated by filtration. The solid obtained by separation is further filtered and dried. The dried reaction product is separated and purified into a product and a by-product by column chromatography. Further, the reaction product separated and purified is evaporated, filtered, and dried to obtain the (poly) amine compound of the present embodiment, which is the target product.
  • the method for producing the (poly) maleamic acid or (poly) citraconic acid according to the present embodiment further comprises (poly) amine compound obtained in the polycondensation step and maleic anhydride or citraconic anhydride in an organic solvent. It can manufacture by making it react.
  • organic solvent examples include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, N, N-diethylmethoxyacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylcaprolactam, 1,2-dimethoxyethane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran, 1,3-dioxane, 1,4-dioxane, pyridine, picoline, dimethyl sulfoxide, dimethyl sulfone, tetramethyl urea, ethyl acetate, Examples thereof include methyl acetate, 2-butanone, toluene, xylene, mesitylene and the like.
  • the concentration of the reaction raw material is usually 2 to 50 wt%, preferably 5 to 30 wt%, and the reaction temperature is usually 60 ° C. or less, preferably 50 ° C. or less.
  • the reaction pressure is not particularly limited, and can usually be carried out at normal pressure.
  • the reaction time is usually 0.5 to 24 hours. By such a reaction, the (poly) amic acids of the present invention can be obtained.
  • the production method of the (poly) maleimide compound or (poly) citraconimide compound of this embodiment can be produced by dehydrating and ring-immobilizing (poly) maleamic acid or (poly) citraconamic acid.
  • a dehydrating agent such as acetic anhydride and a catalyst are added (for example, JP-A-4-261411), or an aromatic hydrocarbon solvent such as toluene or xylene in the presence of an acid catalyst.
  • a known reaction such as a method of imidization by heating and cyclization by dehydration (for example, JP-A-7-118230) can be used, but is not limited to these methods.
  • Examples of the imidization reaction solvent to which the dehydrating agent is added include butyl formate, isobutyl formate, t-butyl formate, ethyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, t-butyl acetate.
  • Fatty acid esters such as methyl propionate and ethyl propionate, ethylene glycol monoalkyl ethers such as methyl cellosolve and ethyl cellosolve, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, dipropyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether and diethylene glycol diethyl ether
  • the solvent is not limited to these as long as it is a solvent in which the bis-maleamic acid of the present invention dissolves.
  • these reaction solvents can be used individually or in mixture of 2 or more types.
  • the carboxylic anhydride used as the dehydrating agent is practically limited to acetic anhydride for economic reasons, but is not particularly limited.
  • the catalyst used for the dehydration and ring closure reaction includes alkali metal (preferably sodium, potassium, lithium) carbonate, hydrogen carbonate, sulfate, nitrate, phosphate, acetate, formate, higher fatty acid salt, or nickel. , Transition metal salts such as cobalt and manganese, halides and the like are used, and potassium acetate is preferred.
  • the total addition amount of the dehydrating agent and the catalyst is preferably 0.1 to 4.0 mol with respect to 1 mol of the amic acid group.
  • a tertiary amine or a pyridine derivative can be appropriately added for the purpose of promoting the reaction as necessary.
  • this include triethylamine, tripropylamine, tributylamine, triphenylamine, pyridine, methylpyridine, 2,6-dimethylpyridine and the like.
  • the addition amount of the reaction accelerator is about 0.1 to 2.0 moles per mole of amic acid group.
  • the reaction temperature is 0 to 60 ° C., preferably 10 to 40 ° C., and the reaction is carried out by reacting for 0.5 to 100 hours.
  • Examples of the solvent for the imidization reaction to be heated in the presence of the acid catalyst include aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, xylene, and ethylbenzene. If necessary, N, N-dimethylformamide, N , N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, and other aprotic polar solvents may be added.
  • the amount of the aprotic polar solvent used in the reaction solvent is 0.05 to 20% by weight, preferably 1 to 30% by weight, and dehydration is performed while azeotropically removing the water generated in the temperature range of 100 to 200 ° C. Cyclization yields bismaleimide.
  • Examples of the acid catalyst used in the dehydration cyclization reaction include phosphoric acid, polyphosphoric acid, sulfuric acid, and p-toluenesulfonic acid.
  • the amount of these acid catalysts used is in the range of 0.001 to 0.1 mol, preferably 0.005 to 0.05 mol, per mol of amic acid group.
  • the resin of the present embodiment includes monomer units derived from the compound of the present embodiment ((poly) maleimide compound or (poly) citraconic imide compound, (poly) maleamic acid, (poly) citraconic acid).
  • the resin of this embodiment has excellent structure-forming ability (for example, film-forming ability), heat resistance, and solubility by including the monomer unit of this embodiment.
  • the resin of the present embodiment may be composed only of the monomer units of the present embodiment, and may include other monomer units copolymerizable with the compound ((poly) imide compounds or (poly) amic acids). And a unit derived from a compound having crosslinking reactivity.
  • the monomer unit constituting the resin of the present embodiment includes, for example, the following formula (4).
  • X is preferably O (oxygen).
  • L is a linear or branched linking group having 1 to 30 carbon atoms or a single bond.
  • R X , R 1A , X, R, m, and n A are as defined above.
  • L is a linking group
  • examples of the linking group include a group (residue) derived from a compound capable of oligomerizing or polymerizing the (poly) imide compounds or (poly) amic acid of the present embodiment.
  • the group derived from the compound that can be oligomerized or polymerized will be described later.
  • the monomer unit constituting the resin represented by the above formula (4) is preferably a monomer unit represented by the following formula (4a-1) from the viewpoint of further improving solubility and heat resistance.
  • a monomer unit represented by the formula (4b-1) is more preferable.
  • R 2A has 1 to 30 carbon atoms that may have a hydrogen atom or a substituent.
  • a linear, branched or cyclic alkyl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a halogen One of atoms (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom) is shown.
  • m 2A is an integer of 1 to 5.
  • the monomer unit constituting the resin represented by the above formula (4) is preferably a monomer unit represented by the following formula (4a-2). -2) is more preferable.
  • R, R 1A , m and R Y are as defined above, and R 2A is a hydrogen atom or a straight chain of 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent. Or a branched or cyclic alkyl group, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, a bridging group having 2 to 30 carbon atoms which may have a substituent, and a halogen atom (for example, One of fluorine atom, chlorine atom and bromine atom). Further, m 2A is an integer of 1 to 5.
  • the monomer unit represented by the formula (4a-2) is preferably a monomer unit represented by the following formula (4a-3) from the viewpoint of further improving the solubility.
  • R, R 1A , R 2A , m, and m 2A have the same meaning as described above, and R Y ′ is a group in which a hydrogen atom is removed from R Y.
  • the monomer unit represented by the formula (4b-2) is preferably a monomer unit represented by the following formula (4b-3) from the viewpoint of further improving the fluidity during film formation.
  • R, R 1A , m, and m 2A have the same meanings as described above, and R 2A ′ is a straight-chain having 5 or more carbon atoms which may have a substituent or A branched or cyclic alkyl group is shown.
  • the resin of the present embodiment can be obtained by reacting the compound of the present embodiment with a compound having crosslinking reactivity as necessary.
  • the compound having crosslinking reactivity is not particularly limited as long as it is a compound capable of oligomerizing or polymerizing the compound of the present embodiment ((poly) imide compounds or (poly) amic acids). Specific examples thereof include aldehydes, ketones, carboxylic acids, carboxylic anhydrides, carboxylic acid halides, halogen-containing compounds, isocyanates, unsaturated hydrocarbon group-containing compounds, and the like.
  • L is a linking group
  • the linking group corresponds to a group derived from these compounds.
  • the resin of the present embodiment include, for example, the compound of the present embodiment ((poly) imide compounds or (poly) amic acids), and aldehydes and / or ketones that are crosslinkable compounds.
  • aldehydes for novolacization for example, formaldehyde, trioxane, paraformaldehyde, benzaldehyde, acetaldehyde, propylaldehyde, phenylacetaldehyde, phenylpropylaldehyde, hydroxybenzaldehyde, chlorobenzaldehyde, nitrobenzaldehyde, methylbenzaldehyde, ethylbenzaldehyde , Butylbenzaldehyde, biphenylaldehyde, naphthaldehyde, anthracenecarbaldehyde, phenanthrenecarbaldehyde, pyrenecarbaldehyde, and furfural.
  • ketones for making novolak examples include ketones exemplified as reaction raw materials. Among these, formaldehydes are preferable. In addition, these aldehydes and / or ketones can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the amount of the aldehyde and / or ketone used is not particularly limited, but is preferably 0.2 to 5 moles, preferably 0.5 to 2 moles per mole of the (poly) amine compound of the present embodiment. More preferably.
  • a catalyst can also be used in the condensation reaction of the compound ((poly) imide compound or (poly) amic acid) of the present embodiment with an aldehyde and / or ketone.
  • the acid catalyst used here include the acid catalysts exemplified in the section of the condensation step.
  • the amount of the acid catalyst used can be appropriately set according to the raw material to be used, the type of the catalyst, and the reaction conditions.
  • the amount of the acid catalyst used is preferably 0.01 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the reaction raw material.
  • the compound of this embodiment ((poly) imide compound or (poly) amic acid) is converted into indene, hydroxyindene, benzofuran, hydroxyanthracene, acenaphthylene, biphenyl, bisphenol, trisphenol, dicyclopentadiene, tetrahydroindene, 4-vinyl.
  • Aldehydes and / or ketones are not necessarily required for copolymerization with compounds having non-conjugated double bonds such as cyclohexene, norbornadiene, 5-vinylnorborna-2-ene, ⁇ -pinene, ⁇ -pinene and limonene. .
  • reaction solvent In the condensation reaction of the compound ((poly) imide compound or (poly) amic acid) of this embodiment with an aldehyde and / or a ketone, a reaction solvent can be used.
  • a reaction solvent the reaction solvent illustrated by the term at the polycondensation process can be illustrated.
  • the amount of solvent used, the reaction temperature, the reaction time, the isolation method after the reaction, etc. can also be exemplified by the amount of solvent used, the reaction temperature, the reaction time, and the isolation method after the reaction exemplified in the section of the polycondensation step. .
  • the resin of the present embodiment may be a homopolymer of the compound of the present embodiment ((poly) imide compounds or (poly) amic acids), that is, a polymer composed of Formula (4) alone, It may be a copolymer with a compound (for example, phenols) copolymerizable with (poly) imide compounds or (poly) amic acids.
  • copolymerizable phenols examples include phenol, cresol, dimethylphenol, trimethylphenol, butylphenol, phenylphenol, diphenylphenol, naphthylphenol, resorcinol, methylresorcinol, catechol, butylcatechol, methoxyphenol, methoxyphenol, Examples include propylphenol, pyrogallol, and thymol.
  • the resin of this embodiment may be copolymerized with a polymerizable monomer in addition to the other phenols described above.
  • the copolymerization monomer include naphthol, methylnaphthol, methoxynaphthol, dihydroxynaphthalene, indene, hydroxyindene, benzofuran, hydroxyanthracene, acenaphthylene, biphenyl, bisphenol, trisphenol, dicyclopentadiene, tetrahydroindene, 4-vinylcyclohexene, Examples include norbornadiene, vinyl norbornaene, pinene, and limonene.
  • the resin of the present embodiment is a binary system or more (for example, a 2-4 quaternary system) of the compound of the present embodiment ((poly) imide compound or (poly) amic acid) and the above-described phenols.
  • a copolymer may also be used. It may be a binary or more (for example, 2-4 quaternary) copolymer of the (poly) imide compound or (poly) amic acid of this embodiment and the above-mentioned copolymerization monomer.
  • a (poly) imide compound or (poly) amic acid according to the present embodiment a terpolymer (for example, a ternary to quaternary) copolymer of the above-described phenols and the above-described copolymerization monomer, Also good.
  • the weight average molecular weight of the resin of the present embodiment is not particularly limited, but is preferably from 500 to 300,000, more preferably from 750 to 200,000 in terms of polystyrene. Further, from the viewpoint of increasing the crosslinking efficiency and suppressing the volatile components in the baking, the resin of the present embodiment has a dispersity (weight average molecular weight Mw / number average molecular weight Mn) in the range of 1.2 to 7. Is preferred.
  • the resin of this embodiment preferably has a high solubility in a solvent from the viewpoint of easier application of a wet process. More specifically, these (poly) imide compounds or (poly) amic acids and / or resins include 1-methoxy-2-propanol (PGME) and / or propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) as a solvent. When it does, it is preferable that the solubility with respect to the said solvent is 10 mass% or more.
  • the solubility in PGM and / or PGMEA is defined as “resin mass ⁇ (resin mass + solvent mass) ⁇ 100 (mass%)”.
  • composition contains the 1 type (s) or 2 or more types of the compound ((poly) imide compound or (poly) amic acid) of this embodiment mentioned above and / or resin.
  • the composition includes a known epoxy resin, oxetane resin, polymerizable unsaturated group-containing compound, cyanate ester compound, benzoxazine resin, light and / or thermal polymerization initiator, photosensitizer, curing agent, etc. It is also possible to add.
  • epoxy resin generally known epoxy resins can be used.
  • bisphenol A type epoxy resin bisphenol F type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, xylene novolac type epoxy resin, triglycidyl isocyanurate, alicyclic epoxy resin, dicyclo
  • examples thereof include pentadiene novolac type epoxy resins, biphenyl novolac type epoxy resins, and epoxy resins having a PPE skeleton as disclosed in JP-A Nos. 2003-155340 and 2003-221990. These epoxy resins are used alone or in combination.
  • oxetane resins can be used.
  • alkyl oxetane such as oxetane, 2-methyloxetane, 2,2-dimethyloxetane, 3-methyloxetane, 3,3-dimethyloxetane, 3-methyl-3-methoxymethyloxetane, 3,3′-di ( Trifluoromethyl) perfluorooxetane, 2-chloromethyloxetane, 3,3-bis (chloromethyl) oxetane, OXT-101 (trade name, manufactured by Toagosei), OXT-121 (trade name, manufactured by Toagosei) .
  • These oxetane resins are used alone or in combination.
  • an epoxy resin curing agent and / or an oxetane resin curing agent can be used.
  • the epoxy resin curing agent generally known ones can be used.
  • 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl- Imidazole derivatives such as 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-methyl-N
  • An amine compound such as, N-dimethylbenzylamine, and phosphine compounds include phosphonium phosphorus compounds.
  • a known cationic polymerization initiator can be used as the oxetane resin curing agent.
  • cationic polymerization initiator can also be used as an epoxy resin curing agent. These curing agents are used alone or in combination of two or more.
  • the compound having a polymerizable unsaturated group generally known compounds can be used.
  • (Meth) acrylates of alcohols bisphenol A type epoxy (meth) acrylates, bisphenol F type epoxy (meth) acrylates, JP2003-183350, JP2003 Epoxy (meth) acrylates such as epoxy (meth) acrylate having a PPE skeleton shown in 38653, (meth) acrylates having a PPE skeleton shown in JP2003-252893, and JP2003-252833, benzocyclobutene resins, Examples include triallyl isocyanurate (TAIC) and triallyl cyanurate (TAC). These compounds having an unsaturated group are used alone or in combination.
  • TAIC triallyl isocyanurate
  • TAC triallyl cyanurate
  • cyanate ester compound generally known compounds can be used.
  • cyanate ester compounds can be used alone or in combination.
  • a known curing catalyst In curing the cyanate ester compound, a known curing catalyst can be used. Examples thereof include metal salts such as zinc octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, copper naphthenate, and acetylacetone iron, and compounds having an active hydroxyl group such as phenol, alcohol, and amine.
  • photopolymerization initiators can be used.
  • ⁇ -diketones such as benzyl and diacetyl
  • acyloin ethers such as benzoylethyl ether and benzoin isopropyl ether
  • thioxanthones such as thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone
  • benzophenone 4,4 ′
  • Benzophenones such as bis (dimethylamino) benzophenone, acetophenones such as acetophenone, 2,2′-dimethoxy-2-phenylacetophenone, ⁇ -methoxyacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]-
  • aminoacetophenones such as 2-morpholinopropan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(-4-morpholinophenyl
  • photopolymerization initiators and one or more known photosensitizers can be used in combination.
  • the photosensitizer include N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, triethanolamine, and triethylamine.
  • thermal polymerization initiator generally known ones can be used.
  • benzoyl peroxide parachlorobenzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, lauroyl peroxide, dicumyl peroxide, acetyl peroxide, methyl ethyl ketone peroxide, cyclohexanone peroxide, bis (1-hydroxycyclohexyl peroxide) ), 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroxyperoxide, t-butylperbenzoate, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, 2,5-dimethyl-2 , 5- (t-butylperoxy) hexyne-3,2,5-dimethylhexyl-2,5-di (peroxybenzoate), cumene hydroperoxide, t-butyl hydroperoxide, t-butyl peroxide,
  • the blending amount of the polymerization initiator is 0.01 to 10 parts by weight, particularly preferably 0.1 to 5 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the resin composition. Moreover, you may add a polymerization accelerator, a retarder, various pigments, a filler, etc. as needed.
  • polymerization inhibitors such as quinones such as hydroquinone, methylhydroquinone, t-butylhydroquinone, p-benzoquinone, chloranil, and trimethylquinone, aromatic diols, and copper salts may be added to adjust the curing degree.
  • quinones such as hydroquinone, methylhydroquinone, t-butylhydroquinone, p-benzoquinone, chloranil, and trimethylquinone, aromatic diols, and copper salts may be added to adjust the curing degree.
  • quinones such as hydroquinone, methylhydroquinone, t-butylhydroquinone, p-benzoquinone, chloranil, and trimethylquinone, aromatic diols, and copper salts may be added to adjust the curing degree.
  • quinones such as hydroquinone, methylhydroquinone, t-butylhydroquinone,
  • an amine compound having at least two amino groups is used, and the polymerization reaction proceeds by Michael addition of the amino group to the double bond of the imide ring of the bismaleimide compound.
  • amine compounds include aromatic diamines such as diaminodiphenylmethane, diaminodiphenylsulfone, phenylenediamine, and xylenediamine, and halogenated derivatives thereof.
  • a coupling agent when producing the composition of the present embodiment, a coupling agent, a thermoplastic resin, an inorganic filler, a color pigment, an antifoaming agent, a surface conditioner, a flame retardant, an ultraviolet absorber, an oxidation, if necessary.
  • Known additives such as inhibitors and flow regulators can be added.
  • the coupling agent for example, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, ⁇ methacryloxypropyltrimethoxysilane, ⁇ (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, ⁇ -glycidoxypropylmethyl Diethoxysilane, N- ⁇ (aminoethyl) ⁇ -aminopropylmethylmethoxysilane, ⁇ -aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl- ⁇ -aminopropyltrimethoxysilane, ⁇ -mercaptopropyltrimethoxysilane, ⁇ -chloro
  • silane coupling agents such as propyltrimethoxysilane, titanate coupling agents, aluminum coupling agents, zircoaluminate coupling agents, silicone coupling agents, and fluorine coupling agents. It is. These can be used alone or
  • thermoplastic resin examples include polyamideimide, polyimide, polybutadiene, polyethylene, polystyrene, polycarbonate, phenoxy resin, polyisoprene, polyester, polyvinyl butyral, polybutadiene, and the like.
  • the inorganic filler examples include silicas such as natural silica, fused silica and amorphous silica, white carbon, titanium white, aerosil, alumina, talc, natural mica, synthetic mica, kaolin, clay, aluminum hydroxide, aluminum hydroxide.
  • Heat-treated product aluminum hydroxide is heat-treated and part of crystal water is reduced
  • boehmite metal hydrate such as magnesium hydroxide, barium sulfate, E-glass, A-glass, NE-glass, C-glass, L-glass, D-glass, S-glass, M-glass G20 and the like.
  • Known flame retardants can be used.
  • brominated epoxy resin brominated polycarbonate, brominated polystyrene, brominated styrene, brominated maleimide, brominated phthalimide, tetrabromobisphenol A, pentabenzyl (meth) acrylate, pentabromotoluene, tribromophenol, hexabromobenzene , Decabromodiphenyl ether, bis-1,2-pentabromophenylethane, halogenated flame retardants such as chlorinated polystyrene, chlorinated paraffin, red phosphorus, tricresyl phosphate, triphenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, trixylenyl Phosphate, trialkyl phosphate, dialkyl phosphate, tris (chloroethyl) phosphate, phosphazene, 1,3-phen
  • antioxidant known ones can be used.
  • 2,6-di-t-butyl-4-methylphenol 2,2′-methylenebis (6-t-butyl-4-methylphenol), N, N′-hexane-1,6-diylbis [3 -(3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionamide], 2,6-di-tert-butyl-4- (4,6-bis (octylthio) -1,3,5-triazine
  • examples include phenol-based antioxidants such as -2-ylaminophenol, amine-based antioxidants, and sulfur-based antioxidants, which may be used alone or in combination of two or more. .
  • composition of this embodiment is, for example, dissolved in a solvent, impregnated with glass cloth, aramid nonwoven fabric, liquid crystal polyester nonwoven fabric, carbon fiber, etc., and then dried and removed from the solvent, or this is polycarbonate
  • a curable film applied to a substrate such as a film, a polyethylene terephthalate film, an ethylenetetrafluoroethylene copolymer film, a polyimide film, a copper foil, an aluminum foil, a glass plate, or a SUS plate. It is also possible to obtain a coating film by dissolving in a solvent and drying and removing the solvent on the substrate by spin coating.
  • the composition thus obtained includes insulating materials for printed wiring boards, resist resins, semiconductor packaging materials, semiconductor sealing resins, printed wiring board adhesives, build-up laminated board materials, and fiber reinforced plastic resins. It is useful for various applications such as liquid crystal display panel sealing resins, liquid crystal color filter resins, paints, various coating agents, and adhesives.
  • the cured product of the present embodiment is obtained by curing the composition of the present embodiment obtained by the above-described method according to a known method, for example, a curing method using an electron beam, ultraviolet rays, and heat.
  • the curable resin composition of the present invention is obtained by filling a mold or the like in a molten temperature range and then raising the temperature to a predetermined polymerization temperature or more to advance the crosslinking reaction.
  • the curing temperature is preferably 100 to 500 ° C.
  • the curing time is preferably 0.01 to 5 hours.
  • the film forming material for lithography of this embodiment can be applied to a wet process.
  • the film forming material for lithography of the present embodiment has an aromatic structure and has a rigid maleimide skeleton, the maleimide group or citraconimide group, maleamic acid group, Citraconamic acid groups cause a cross-linking reaction and exhibit high heat resistance alone.
  • deterioration of the film during high-temperature baking is suppressed, and a lower layer film having excellent etching resistance against oxygen plasma etching or the like can be formed.
  • the film forming material for lithography of this embodiment has an aromatic structure, it has high solubility in an organic solvent and high solubility in a safe solvent.
  • the lower layer film for lithography composed of the composition for forming a film for lithography of the present embodiment to be described later is not only excellent in the embedding property to the stepped substrate and the flatness of the film, and the stability of the product quality is good. Since the adhesiveness to the layer and the resist intermediate layer film material is also excellent, an excellent resist pattern can be obtained.
  • the film forming material for lithography of this embodiment contains a crosslinking agent as necessary from the viewpoint of suppressing a decrease in curing temperature and intermixing in addition to the compound and / or resin of this embodiment described above. May be.
  • the crosslinking agent is not particularly limited as long as it undergoes a crosslinking reaction with the maleimide group, citraconic imide group, maleamic acid group citraconic acid group of the present embodiment, and any known crosslinking agent can be applied.
  • Specific examples of the crosslinking agent include, for example, phenol compounds, epoxy compounds, cyanate compounds, amino compounds, benzoxazine compounds, acrylate compounds, melamine compounds, guanamine compounds, glycoluril compounds, urea compounds, isocyanate compounds, azide compounds, and the like. However, it is not particularly limited to these.
  • These crosslinking agents can be used alone or in combination of two or more. Among these, a benzoxazine compound, an epoxy compound, or a cyanate compound is preferable, and a benzoxazine compound is more preferable from the viewpoint of improving etching resistance.
  • a maleamic acid group, or a citraconic acid group for example, an active group (phenolic hydroxyl group, epoxy group, cyanate group, amino group, or benzoxazine fat possessed by these crosslinking agents.
  • the phenolic hydroxyl group formed by ring opening of the ring portion is crosslinked by addition reaction with the carbon-carbon double bond constituting the maleimide group, citraconic imide group, maleamic acid group, or citraconic acid group. Two carbon-carbon double bonds possessed by the compound are polymerized and crosslinked.
  • phenol compound known compounds can be used.
  • phenols include phenols, alkylphenols such as cresols and xylenols, polyhydric phenols such as hydroquinone, polycyclic phenols such as naphthols and naphthalenediols, and bisphenols such as bisphenol A and bisphenol F.
  • polyfunctional phenol compounds such as phenol novolac and phenol aralkyl resin.
  • a phenol aralkyl resin is preferable from the viewpoint of heat resistance and solubility.
  • epoxy compound known compounds can be used and selected from those having two or more epoxy groups in one molecule.
  • the epoxy compound include bisphenol A, bisphenol F, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, 2,2′-biphenol, 3,3 ′, 5,5 Epoxidized dihydric phenols such as' -tetramethyl-4,4'-dihydroxybiphenol, resorcin, naphthalenediols, tris- (4-hydroxyphenyl) methane, 1,1,2,2-tetrakis (4 -Hydroxyphenyl) ethane, tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate, trimethylolmethane triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triethylolethane triglycidyl ether, phenol novolac, o-cresol novol
  • the cyanate compound is not particularly limited as long as it is a compound having two or more cyanate groups in one molecule, and a known one can be used.
  • Examples of the cyanate compound include those described in International Publication No. 2011/108524. Among them, a compound having a structure in which a hydroxyl group of a compound having two or more hydroxyl groups in one molecule is substituted with a cyanate group is used. preferable. Further, the cyanate compound preferably has an aromatic group, and a cyanate compound having a structure in which the cyanate group is directly connected to the aromatic group can be suitably used.
  • cyanate compounds include bisphenol A, bisphenol F, bisphenol M, bisphenol P, bisphenol E, phenol novolac resin, cresol novolac resin, dicyclopentadiene novolac resin, tetramethylbisphenol F, bisphenol A novolac resin, bromine.
  • Bisphenol A brominated phenol novolak resin, trifunctional phenol, tetrafunctional phenol, naphthalene type phenol, biphenyl type phenol, phenol aralkyl resin, biphenyl aralkyl resin, naphthol aralkyl resin, dicyclopentadiene aralkyl resin, alicyclic phenol, phosphorus
  • cyanate compounds may be used alone or in combination of two or more.
  • the cyanate compound described above may be in any form of a monomer, an oligomer, and a resin.
  • amino compound examples include m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3 , 3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl Sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene
  • the structure of oxazine of the benzoxazine compound is not particularly limited, and examples thereof include a structure of oxazine having an aromatic group including a condensed polycyclic aromatic group such as benzoxazine and naphthoxazine.
  • benzoxazine compound examples include compounds represented by the following general formulas (a) to (f).
  • the bond displayed toward the center of the ring indicates that it is bonded to any carbon that forms the ring and can be bonded to a substituent.
  • R 1 and R 2 independently represent an organic group having 1 to 30 carbon atoms.
  • R 3 to R 6 independently represent hydrogen or a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
  • X is independently a single bond, —O—, —S—, —SS—, —SO 2 —, —CO—, — CONH—, —NHCO—, —C (CH 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2 —, — (CH 2 ) m—, —O— (CH 2 ) m—O—, —S— (CH 2 ) m—S— is shown.
  • m is an integer of 1-6.
  • Y is independently a single bond, —O—, —S—, —CO—, —C (CH 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2 —. Or an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms.
  • Benzoxazine compounds include oligomers and polymers having an oxazine structure in the side chain and oligomers and polymers having a benzoxazine structure in the main chain.
  • the benzoxazine compound can be produced by the same method as described in International Publication No. 2004/009708, JP-A-11-12258, and JP-A-2004-352670.
  • the melamine compound examples include hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, a compound in which 1 to 6 methylol groups of hexamethylol melamine are methoxymethylated or a mixture thereof, hexamethoxyethyl melamine, hexaacyloxymethyl.
  • examples thereof include compounds in which 1 to 6 methylol groups of melamine and hexamethylolmelamine are acyloxymethylated, or mixtures thereof.
  • the guanamine compound include, for example, tetramethylolguanamine, tetramethoxymethylguanamine, a compound in which 1 to 4 methylol groups of tetramethylolguanamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, tetramethoxyethylguanamine, tetraacyloxyguanamine And compounds in which 1 to 4 methylol groups of tetramethylolguanamine are acyloxymethylated, or a mixture thereof.
  • glycoluril compound examples include, for example, tetramethylol glycoluril, tetramethoxyglycoluril, tetramethoxymethylglycoluril, a compound in which 1 to 4 methylol groups of tetramethylolglycoluril are methoxymethylated, or a mixture thereof, Examples thereof include compounds in which 1 to 4 methylol groups of tetramethylol glycoluril are acyloxymethylated or mixtures thereof.
  • urea compound examples include tetramethylol urea, tetramethoxymethyl urea, a compound in which 1 to 4 methylol groups of tetramethylol urea are methoxymethylated, or a mixture thereof, tetramethoxyethyl urea, and the like.
  • a crosslinking agent having at least one allyl group may be used from the viewpoint of improving the crosslinkability.
  • Specific examples of the crosslinking agent having at least one allyl group include 2,2-bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) propane, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2,2 -Bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) propane, bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) ) Allylphenols such as ether, 2,2-bis (3-allyl-4-cyanatophenyl) propane, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2,2-bis (3 -Allyl-4-cyanatophenyl) propane, bis (3-allyl-4-cyanatosiphenyl) sulfone, bis (3-allyl-4-cyanatophenyl) sulfide, bis (3- Ally
  • crosslinking agents may be used alone or as a mixture of two or more.
  • 2,2-bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) propane, 1,1,2 is preferred from the viewpoint of excellent compatibility with maleimide compounds and / or citraconic imide compounds, maleamic acid, and citraconic acid.
  • 1,3,3,3-hexafluoro-2,2-bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) propane, bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-allyl-4-hydroxy) Allylphenols such as phenyl) sulfide and bis (3-allyl-4-hydroxyphenyl) ether are preferred.
  • the film forming material for lithography of this embodiment is a compound for the lithography of this embodiment and / or a resin alone, or after blending the above-mentioned crosslinking agent, and then crosslinked and cured by a known method to be used for lithography of this embodiment.
  • a film can be formed.
  • the crosslinking method include methods such as thermosetting and photocuring.
  • the content of the crosslinking agent is usually in the range of 0.1 to 10000 parts by mass when the total mass of the compound of the present embodiment and the resin is 100 parts by mass, and preferably has heat resistance and solubility. From the viewpoint, it is in the range of 0.1 to 1000 parts by mass, more preferably in the range of 0.1 to 100 parts by mass, still more preferably in the range of 1 to 50 parts by mass, and particularly preferably 1 to 30 parts by mass. It is the range of mass parts.
  • ⁇ Crosslinking accelerator> In the film forming material for lithography of the present embodiment, a crosslinking accelerator for accelerating the crosslinking and curing reaction can be used as necessary.
  • the crosslinking accelerator is not particularly limited as long as it promotes crosslinking and curing reaction, and examples thereof include amines, imidazoles, organic phosphines, and Lewis acids. These crosslinking accelerators can be used alone or in combination of two or more. Among these, imidazoles or organic phosphines are preferable, and imidazoles are more preferable from the viewpoint of lowering the crosslinking temperature.
  • crosslinking accelerator examples include, but are not limited to, for example, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl).
  • Tertiary amines such as phenol, 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2,4,5-tri Imidazoles such as phenylimidazole, tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, diphenylphosphine, organic phosphines such as phenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetraphenyl Tetraphenylboron such as Suphonium ⁇ Ethyltriphenylborate, Tetra-substituted phosphonium ⁇ Tetra-substituted borate such as Tetrabutylphosphonium ⁇ Tetrabutylborate, 2-Ethyl-4-methylimidazole ⁇ Te
  • the blending amount of the crosslinking accelerator is usually preferably in the range of 0.1 to 10 parts by mass, more preferably controlled when the total mass of the compound of the present embodiment and the resin is 100 parts by mass. From the viewpoint of ease of processing and economy, it is in the range of 0.1 to 5 parts by mass, and more preferably in the range of 0.1 to 3 parts by mass.
  • a radical polymerization initiator can be blended in the film forming material for lithography of the present embodiment as necessary.
  • the radical polymerization initiator may be a photopolymerization initiator that initiates radical polymerization with light or a thermal polymerization initiator that initiates radical polymerization with heat.
  • the radical polymerization initiator is not particularly limited, and those conventionally used can be appropriately employed.
  • 2-phenylazo-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile 1-[(1-cyano-1-methylethyl) azo] formamide, 1,1′-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile), 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile), 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis ( 2-methylpropionamidine) dihydrochloride, 2,2′-azobis (2-methyl-N-phenylpropionamidine) dihydrochloride, 2,2′-azobis [N- (4-chlorophenyl) -2-methylpropionamidine] Dihydride chloride, 2,2'-azobis [N- (4-hydrophenyl) -2-methylpropionamidine] dihydrochloride 2,2′-azobis [2-methyl-N- (phenylmethyl) propionamidine] dihydrochloride, 2,2′-azo
  • the content of the radical polymerization initiator may be a stoichiometrically required amount with respect to the total mass of the compound and resin of the present embodiment, but the total mass of the compound and resin of the present embodiment When it is 100 parts by mass, it is preferably 0.05 to 25 parts by mass, and more preferably 0.1 to 10 parts by mass.
  • the content of the radical polymerization initiator is 0.05 parts by mass or more, the compound and / or the resin of the present embodiment tends to be sufficiently cured, while the content of the radical polymerization initiator is When the amount is 25 parts by mass or less, the long-term storage stability of the film forming material for lithography at room temperature tends to be good.
  • the film forming material for lithography can be purified by washing with an acidic aqueous solution.
  • the method for purifying the film forming material for lithography of the present embodiment is, for example, A step of dissolving a film forming material for lithography in a solvent to obtain an organic phase; A first extraction step of contacting the organic phase with an acidic aqueous solution to extract impurities in the film forming material for lithography; Including The solvent used in the step of obtaining the organic phase includes a solvent that is arbitrarily immiscible with water.
  • the organic phase and the aqueous phase are separated.
  • the content of various metals in the film forming material for lithography can be significantly reduced by the purification method of the present embodiment.
  • the solvent that is not arbitrarily miscible with water is not particularly limited, but an organic solvent that can be safely applied to a semiconductor manufacturing process is preferable.
  • the amount of the solvent to be used is usually about 1 to 100 times by mass with respect to the compound to be used.
  • organic solvent examples include those described in International Publication No. 2015/080240.
  • toluene, 2-heptanone, cyclohexanone, cyclopentanone, methyl isobutyl ketone, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl acetate and the like are preferable, and cyclohexanone and propylene glycol monomethyl ether acetate are particularly preferable.
  • These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.
  • the acidic aqueous solution is appropriately selected from aqueous solutions in which generally known organic and inorganic compounds are dissolved in water. Examples thereof include those described in International Publication No. 2015/080240. These acidic aqueous solutions can be used alone or in combination of two or more.
  • the acidic aqueous solution include a mineral acid aqueous solution and an organic acid aqueous solution.
  • the mineral acid aqueous solution include an aqueous solution containing at least one selected from the group consisting of hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid.
  • organic acid aqueous solution examples include acetic acid, propionic acid, succinic acid, malonic acid, succinic acid, fumaric acid, maleic acid, tartaric acid, citric acid, methanesulfonic acid, phenolsulfonic acid, p-toluenesulfonic acid and trifluoroacetic acid.
  • the aqueous solution containing 1 or more types chosen from the group which consists of can be mentioned.
  • the acidic aqueous solution is preferably an aqueous solution of sulfuric acid, nitric acid, and carboxylic acid such as acetic acid, succinic acid, tartaric acid, and citric acid, more preferably an aqueous solution of sulfuric acid, succinic acid, tartaric acid, and citric acid, and particularly an aqueous solution of succinic acid.
  • carboxylic acid such as acetic acid, succinic acid, tartaric acid, and citric acid
  • polyvalent carboxylic acids such as succinic acid, tartaric acid, and citric acid are coordinated to metal ions to produce a chelate effect, it is considered that the metal can be removed more.
  • the water used here is preferably one having a low metal content, such as ion-exchanged water, for the purpose of the present invention.
  • the pH of the acidic aqueous solution is not particularly limited, but if the acidity of the aqueous solution becomes too large, it may adversely affect the compound or resin used, which is not preferable.
  • the pH range is about 0 to 5, more preferably about pH 0 to 3.
  • the amount of the acidic aqueous solution used is not particularly limited, but if the amount used is too small, it is necessary to increase the number of extractions for removing the metal. Conversely, if the amount of the aqueous solution used is too large, the total amount of the solution is reduced. Increases can cause operational problems.
  • the amount of the aqueous solution used is usually 10 to 200 parts by mass, preferably 20 to 100 parts by mass with respect to the solution of the film forming material for lithography.
  • the metal component can be extracted by bringing the acidic aqueous solution into contact with a film forming material for lithography and a solution containing an organic solvent that is arbitrarily immiscible with water.
  • the temperature at the time of performing the extraction treatment is usually 20 to 90 ° C., preferably 30 to 80 ° C.
  • the extraction operation is performed, for example, by mixing the mixture well by stirring or the like and then allowing it to stand. Thereby, the metal component contained in the solution containing the compound to be used and the organic solvent is transferred to the aqueous phase. Moreover, the acidity of a solution falls by this operation, and the quality change of this compound to be used can be suppressed.
  • the solution is separated into a solution phase containing the compound and the organic solvent and an aqueous phase, and the solution containing the organic solvent is recovered by decantation or the like.
  • the standing time is not particularly limited. However, if the standing time is too short, the separation between the solution phase containing the organic solvent and the aqueous phase is not preferable. Usually, the time to stand still is 1 minute or more, More preferably, it is 10 minutes or more, More preferably, it is 30 minutes or more.
  • the extraction process may be performed only once, but it is also effective to repeat the operations of mixing, standing, and separation a plurality of times.
  • the organic phase containing the recovered organic solvent is used to further extract with water (first step).
  • Two extraction steps) are preferably performed.
  • the extraction operation is performed by allowing the mixture to stand after mixing well by stirring or the like.
  • the water used here is preferably one having a low metal content, such as ion-exchanged water, for the purpose of the present invention.
  • the extraction process may be performed only once, but it is also effective to repeat the operations of mixing, standing, and separation a plurality of times.
  • the use ratio of both in the extraction process, conditions such as temperature and time are not particularly limited, but may be the same as in the case of the contact process with the acidic aqueous solution.
  • the water mixed in the solution containing the film forming material for lithography and the organic solvent thus obtained can be easily removed by performing an operation such as distillation under reduced pressure. If necessary, an organic solvent can be added to adjust the concentration of the compound to an arbitrary concentration.
  • the method for obtaining only the film forming material for lithography from the obtained solution containing an organic solvent can be performed by a known method such as removal under reduced pressure, separation by reprecipitation, and a combination thereof. If necessary, known processes such as a concentration operation, a filtration operation, a centrifugal separation operation, and a drying operation can be performed.
  • composition for forming a film for lithography contains the said film formation material for lithography and a solvent.
  • the lithography film is, for example, a lithography lower layer film.
  • the composition for forming a film for lithography of the present embodiment may be applied to a substrate, then heated as necessary to evaporate the solvent, and then heated or irradiated to form a desired cured film. it can.
  • the method for applying the composition for forming a film for lithography of the present embodiment is arbitrary, for example, spin coating method, dipping method, flow coating method, ink jet method, spray method, bar coating method, gravure coating method, slit coating method, A roll coating method, a transfer printing method, a brush coating method, a blade coating method, an air knife coating method, or the like can be appropriately employed.
  • the heating temperature of the film is not particularly limited for the purpose of evaporating the solvent, and can be performed at 40 to 400 ° C., for example.
  • the heating method is not particularly limited, and for example, it may be evaporated using a hot plate or an oven in an appropriate atmosphere such as air, an inert gas such as nitrogen, or in a vacuum.
  • the heating temperature and the heating time may be selected under conditions suitable for the process steps of the target electronic device, and the heating conditions may be selected such that the physical properties of the obtained film meet the required characteristics of the electronic device.
  • the conditions for light irradiation are not particularly limited, and an appropriate irradiation energy and irradiation time may be employed depending on the lithography film forming material to be used.
  • the solvent used in the composition for forming a film for lithography according to the present embodiment is not particularly limited as long as the compound and / or the resin according to the present embodiment can be dissolved at least, and known ones can be appropriately used.
  • solvents include those described in International Publication No. 2013/024779. These solvents can be used alone or in combination of two or more.
  • cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, methyl hydroxyisobutyrate and anisole are particularly preferable from the viewpoint of safety.
  • the content of the solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of solubility and film formation, when the total mass of the compound of the present embodiment and the resin in the film forming material for lithography is 100 parts by mass, The amount is preferably 25 to 9,900 parts by mass, more preferably 400 to 7,900 parts by mass, and still more preferably 900 to 4,900 parts by mass.
  • the film forming composition for lithography of the present embodiment may contain an acid generator as necessary from the viewpoint of further promoting the crosslinking reaction.
  • the acid generator those that generate an acid by thermal decomposition and those that generate an acid by light irradiation are known, and any of them can be used.
  • Examples of the acid generator include those described in International Publication No. 2013/024779. Among these, in particular, ditertiary butyl diphenyl iodonium nonafluoromethanesulfonate, diphenyliodonium trifluoromethanesulfonate, trifluoromethanesulfonic acid (p-tert-butoxyphenyl) phenyliodonium, p-toluenesulfonate diphenyliodonium, p-toluenesulfonate Toluenesulfonic acid (p-tert-butoxyphenyl) phenyliodonium, trifluoromethanesulfonic acid triphenylsulfonium, trifluoromethanesulfonic acid (p-tert-butoxyphenyl) diphenylsulfonium, trifluoromethanesulfonic acid tris (p-tert-butoxyphenyl)
  • the content of the acid generator is not particularly limited, but the total mass of the compound of the present embodiment and the resin in the film forming material for lithography is 100 parts by weight. In such a case, the amount is preferably 0 to 50 parts by mass, more preferably 0 to 40 parts by mass.
  • the composition for forming a lower layer film for lithography of the present embodiment may further contain a basic compound from the viewpoint of improving storage stability.
  • the basic compound serves as a quencher for the acid to prevent the acid generated in a trace amount from the acid generator from causing the crosslinking reaction to proceed.
  • Examples of such basic compounds include, but are not limited to, primary, secondary or tertiary aliphatic amines, hybrid amines described in International Publication No. 2013-024779, for example.
  • Aromatic amines, heterocyclic amines, nitrogen-containing compounds having a carboxy group, nitrogen-containing compounds having a sulfonyl group, nitrogen-containing compounds having a hydroxyl group, nitrogen-containing compounds having a hydroxyphenyl group, alcoholic nitrogen-containing compounds, amide derivatives Or an imide derivative etc. are mentioned.
  • the content of the basic compound is not particularly limited, but the total weight of the compound of this embodiment and the resin in the film forming material for lithography is 100 parts by mass. In such a case, the amount is preferably 0 to 2 parts by mass, more preferably 0 to 1 part by mass.
  • the composition for forming a film for lithography of the present embodiment may contain a known additive.
  • known additives include, but are not limited to, ultraviolet absorbers, antifoaming agents, colorants, pigments, nonionic surfactants, anionic surfactants, and cationic surfactants.
  • the underlayer film for lithography of this embodiment is formed using the composition for forming a film for lithography of this embodiment.
  • the pattern forming method of the present embodiment includes a step (A-1) of forming a lower layer film on a substrate using the film forming composition for lithography of the present embodiment, and at least one layer on the lower layer film.
  • another pattern forming method of this embodiment includes a step (B-1) of forming a lower layer film on a substrate using the film forming composition for lithography of the present embodiment, and on the lower layer film, A step (B-2) of forming an intermediate layer film using a resist intermediate layer film material containing silicon atoms, and a step (B-3) of forming at least one photoresist layer on the intermediate layer film
  • a step (B-4) of irradiating a predetermined region of the photoresist layer with radiation and developing to form a resist pattern and the step (B-4)
  • the intermediate layer film is etched using the resist pattern as a mask
  • the lower layer film is etched using the obtained intermediate layer film pattern as an etching mask
  • the substrate is etched using the obtained lower layer film pattern as an etching mask.
  • the formation method of the underlayer film for lithography of the present embodiment is not particularly limited as long as it is formed from the composition for forming a film for lithography of the present embodiment, and a known method can be applied.
  • a known method can be applied.
  • the organic solvent is volatilized and removed, An underlayer film can be formed.
  • the baking temperature is not particularly limited, but is preferably in the range of 80 to 450 ° C., more preferably 200 to 400 ° C.
  • the baking time is not particularly limited, but is preferably within a range of 10 to 300 seconds.
  • the thickness of the lower layer film can be appropriately selected according to the required performance, and is not particularly limited, but is usually preferably 30 to 20,000 nm, more preferably 50 to 15,000 nm, More preferably, it is 50 to 1000 nm.
  • a silicon-containing resist layer thereon in the case of a two-layer process, a silicon-containing resist layer thereon, or a single-layer resist made of ordinary hydrocarbon, in the case of a three-layer process, a silicon-containing intermediate layer thereon, It is preferable to form a single layer resist layer not containing silicon thereon. In this case, a well-known thing can be used as a photoresist material for forming this resist layer.
  • a silicon-containing resist material for a two-layer process from the viewpoint of oxygen gas etching resistance, a silicon atom-containing polymer such as a polysilsesquioxane derivative or a vinylsilane derivative is used as a base polymer, and an organic solvent, an acid generator, If necessary, a positive photoresist material containing a basic compound or the like is preferably used.
  • a silicon atom-containing polymer a known polymer used in this type of resist material can be used.
  • a polysilsesquioxane-based intermediate layer is preferably used as the silicon-containing intermediate layer for the three-layer process.
  • the intermediate layer With a function as an antireflection film, reflection tends to be effectively suppressed.
  • the k value increases and the substrate reflection tends to increase, but the reflection is suppressed in the intermediate layer.
  • the substrate reflection can be reduced to 0.5% or less.
  • the intermediate layer having such an antireflection effect is not limited to the following, but for 193 nm exposure, a polysilsesquioxy crosslinked with an acid or heat into which a light absorbing group having a phenyl group or a silicon-silicon bond has been introduced. Sun is preferably used.
  • an intermediate layer formed by a Chemical-Vapor-deposition (CVD) method can be used.
  • the intermediate layer having a high function as an antireflection film manufactured by the CVD method is not limited to the following, but for example, a SiON film is known.
  • the formation of the intermediate layer by a wet process such as spin coating or screen printing has a simpler and more cost-effective advantage than the CVD method.
  • the upper layer resist in the three-layer process may be either a positive type or a negative type, and the same one as a commonly used single layer resist can be used.
  • the lower layer film of this embodiment can also be used as an antireflection film for a normal single layer resist or a base material for suppressing pattern collapse. Since the lower layer film of this embodiment is excellent in etching resistance for the base processing, it can be expected to function as a hard mask for the base processing.
  • a wet process such as spin coating or screen printing is preferably used as in the case of forming the lower layer film.
  • prebaking is usually performed, but this prebaking is preferably performed at 80 to 180 ° C. for 10 to 300 seconds.
  • a resist pattern can be obtained by performing exposure, post-exposure baking (PEB), and development.
  • the thickness of the resist film is not particularly limited, but is generally preferably 30 to 500 nm, more preferably 50 to 400 nm.
  • the exposure light may be appropriately selected and used according to the photoresist material to be used.
  • high energy rays having a wavelength of 300 nm or less, specifically, 248 nm, 193 nm, 157 nm excimer laser, 3 to 20 nm soft X-ray, electron beam, X-ray and the like can be mentioned.
  • the resist pattern formed by the above-described method is one in which pattern collapse is suppressed by the lower layer film of this embodiment. Therefore, by using the lower layer film of this embodiment, a finer pattern can be obtained, and the exposure amount necessary for obtaining the resist pattern can be reduced.
  • gas etching is preferably used as the etching of the lower layer film in the two-layer process.
  • gas etching etching using oxygen gas is suitable.
  • oxygen gas it is also possible to add an inert gas such as He or Ar, or CO, CO 2 , NH 3 , SO 2 , N 2 , NO 2, or H 2 gas.
  • gas etching can be performed only with CO, CO 2 , NH 3 , N 2 , NO 2, and H 2 gas without using oxygen gas.
  • the latter gas is preferably used for side wall protection for preventing undercut of the pattern side wall.
  • gas etching is also preferably used for etching the intermediate layer in the three-layer process.
  • the gas etching the same gas etching as described in the above two-layer process can be applied.
  • the processing of the intermediate layer in the three-layer process is preferably performed using a fluorocarbon gas and a resist pattern as a mask.
  • the lower layer film can be processed by, for example, oxygen gas etching using the intermediate layer pattern as a mask.
  • a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film is formed by a CVD method, an ALD method, or the like.
  • the method for forming the nitride film is not limited to the following, but for example, the methods described in JP-A No. 2002-334869 and International Publication No. 2004/066377 can be used.
  • a photoresist film can be formed directly on such an intermediate film, but an organic antireflection film (BARC) is formed on the intermediate film by spin coating, and a photoresist film is formed thereon. May be.
  • an intermediate layer based on polysilsesquioxane is also preferably used.
  • the resist intermediate layer film With a function as an antireflection film, reflection tends to be effectively suppressed.
  • Specific materials of the polysilsesquioxane-based intermediate layer are not limited to the following, but for example, those described in JP2007-226170A and JP2007-226204A can be used.
  • Etching of the next substrate can also be performed by a conventional method.
  • the substrate is SiO 2 or SiN
  • etching mainly using a chlorofluorocarbon gas if p-Si, Al, or W is chlorine or bromine, Etching mainly with gas can be performed.
  • the substrate is etched with a chlorofluorocarbon gas, the silicon-containing resist of the two-layer resist process and the silicon-containing intermediate layer of the three-layer process are peeled off simultaneously with the substrate processing.
  • the silicon-containing resist layer or the silicon-containing intermediate layer is separately peeled, and generally, dry etching peeling with a chlorofluorocarbon-based gas is performed after the substrate is processed. .
  • the lower layer film of this embodiment is characterized by excellent etching resistance of these substrates.
  • a known substrate can be appropriately selected and used, and is not particularly limited. Examples thereof include Si, ⁇ -Si, p-Si, SiO 2 , SiN, SiON, W, TiN, and Al. .
  • the substrate may be a laminate having a film to be processed (substrate to be processed) on a base material (support). Examples of such processed films include various low-k films such as Si, SiO 2 , SiON, SiN, p-Si, ⁇ -Si, W, W-Si, Al, Cu, and Al-Si, and their stopper films. In general, a material different from the base material (support) is used.
  • the thickness of the substrate or film to be processed is not particularly limited, but it is usually preferably about 50 to 1,000,000 nm, more preferably 75 to 500,000 nm.
  • the obtained crude compound was purified by column chromatography to obtain 0.9 g of a (poly) amino compound (BiA-26) represented by the following formula (BiA-26). As a result of measuring the molecular weight of the obtained compound (BiA-26), it was 364. Further, when 1 H-NMR measurement of the obtained compound (BiA-26) was carried out, the following peaks were found and confirmed to have a chemical structure of the following formula (BiA-26). ⁇ (ppm) 7.0 to 7.8 (17H, Ph—H), 4.1 (4H, NH2), 2.3 (3H, CH3)
  • Example 1-1 Synthesis of MABiA-1
  • a 100 mL container equipped with a stirrer, a condenser tube and a burette 1.0 g of BiA-1 and 10 ml of acetone were charged, and maleic anhydride (product of Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.).
  • maleic anhydride product of Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
  • 0.62 g (6.3 mmol) was added and the reaction was allowed to stir at room temperature for 2 hours.
  • the precipitate was filtered off to obtain a crude compound.
  • the obtained crude compound was purified by column chromatography to obtain 0.3 g of (poly) maleamic acid (MABiA-1) represented by the following formula (MIBiA-1).
  • Example 2-1 to 34-1 Synthesis of MABiA-2 to MABiA-34 In place of BiA-1 and maleic anhydride in Example 1-1, (poly) amine compounds described in Table 4 below, (Poly) amic acids represented by the following formulas (MABiA-2) to (MABiA-34) were obtained in the same manner as Example 1-1 except that anhydrides were used.
  • Example 1-2 Synthesis of MIBiA-1
  • MABiA-1 and 6.2 ml of NMP were charged and dissolved, and sodium acetate (anhydrous) 1 .66 g and acetic anhydride 3.08 g were added, and the reaction was carried out by stirring at 50 ° C. for 2 hours. After adding 1000 mL of pure water to this reaction liquid, it filtered and obtained the crude compound. The obtained crude compound was purified by column chromatography to obtain 0.3 g of (poly) maleimide (MIBiA-1) represented by the following formula (MIBiA-1).
  • Example 2-2 to 34-2 Synthesis of MIBiA-2 to MIBiA-34
  • the (poly) amic acids listed in Table 5 below were used in place of MABiA-1 in Example 1-2.
  • (poly) imides represented by the following formulas (MIBiA-2) to (MIBiA-34) were obtained.
  • the molecular weight of the obtained dimethylnaphthalene formaldehyde resin was number average molecular weight (Mn): 562, weight average molecular weight (Mw): 1168, and dispersity (Mw / Mn): 2.08.
  • a four-necked flask with an internal volume of 0.5 L equipped with a Dimroth condenser, a thermometer, and a stirring blade was prepared.
  • This four-necked flask was charged with 100 g (0.51 mol) of the dimethylnaphthalene formaldehyde resin obtained as described above and 0.05 g of paratoluenesulfonic acid in a nitrogen stream, and the temperature was raised to 190 ° C. Stir after heating for hours. Thereafter, 52.0 g (0.36 mol) of 1-naphthol was further added, and the temperature was further raised to 220 ° C. to react for 2 hours. After the solvent was diluted, neutralization and water washing were performed, and the solvent was removed under reduced pressure to obtain 126.1 g of a dark brown solid modified resin (CR-1).
  • CR-1 dark brown solid modified resin
  • the obtained resin (CR-1) was Mn: 885, Mw: 2220, and Mw / Mn: 4.17.
  • Examples 36 to 80, Comparative Examples 2 to 3> Using the film forming material for lithography obtained in Examples 1-2 to 34-2 and 35 and the resin obtained in Production Example 1 so as to have the composition shown in Table 8, Examples 36 to 80 were used. And the compositions for film formation for lithography of Comparative Examples 2 to 3 were prepared. Next, the film forming compositions for lithography of Examples 36 to 80 and Comparative Examples 2 to 3 were spin-coated on a silicon substrate, and then baked at 240 ° C. for 60 seconds and further at 400 ° C. for 120 seconds to obtain a film thickness. Each 200 nm lower layer film was produced. The film thickness reduction rate (%) was calculated from the film thickness difference before and after baking at 400 ° C., and the film heat resistance of each lower layer film was evaluated. And etching resistance was evaluated on the conditions shown below.
  • crosslinking agent When a crosslinking agent or a crosslinking accelerator was used, the following was used.
  • Cross-linking agent benzoxazine represented by the following formula (BF-BXZ; manufactured by Konishi Chemical Co., Ltd.) or biphenyl aralkyl type epoxy resin represented by the following formula (NC-3000-L; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
  • Cross-linking accelerator 2,4,5-triphenylimidazole (TPIZ)
  • n is an integer of 1 to 4.
  • S Film thickness reduction rate before and after baking at 400 ° C. ⁇ 10%
  • A Film thickness reduction rate before and after baking at 400 ° C. ⁇ 15%
  • B Film thickness reduction rate before and after baking at 400 ° C. ⁇ 20%
  • C Film thickness reduction rate before and after baking at 400 ° C.> 20%
  • Etching resistance was evaluated according to the following procedure.
  • a novolak underlayer film was used under the same conditions as in Example 36 except that novolak (PSM4357 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.) was used instead of the film forming material for lithography in Example 36 and the drying temperature was 110 ° C. Was made. And the above-mentioned etching test was done for the lower layer film of this novolak, and the etching rate at that time was measured.
  • novolak PSM4357 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.
  • the etching resistance was evaluated according to the following evaluation criteria based on the etching rate of the novolak underlayer film. From a practical viewpoint, the following S evaluation is particularly preferable, and A evaluation and B evaluation are preferable.
  • the composition for forming a film for lithography was applied on a 60 nm line and space SiO 2 substrate having a film thickness of 80 nm, and baked at 240 ° C. for 60 seconds to form a 90 nm lower layer film.
  • a cross section of the obtained film was cut out and observed with an electron beam microscope, and the embedding property to the stepped substrate was evaluated.
  • ⁇ Evaluation criteria> A The lower layer film is embedded in the concavo-convex part of the 60 nm line and space SiO 2 substrate without defects.
  • a composition for forming a film for lithography is formed on a SiO 2 stepped substrate in which a trench (aspect ratio: 1.5) having a width of 100 nm, a pitch of 150 nm, and a depth of 150 nm and a trench (open space) having a width of 5 ⁇ m and a depth of 180 nm are mixed. Each was applied. Thereafter, baking was performed at 240 ° C. for 120 seconds in an air atmosphere to form a resist underlayer film having a thickness of 200 nm.
  • Examples 81 to 84 Lithographic film-forming compositions of Examples 81 to 84 were prepared so that the compositions shown in Table 9 were obtained. Next, the film forming compositions for lithography of Examples 81 to 84 were spin-coated on a silicon substrate, then baked at 110 ° C. for 60 seconds to remove the solvent of the coating film, and then subjected to cumulative exposure with a high-pressure mercury lamp. It was cured in an amount of 600 mJ / cm 2 and an irradiation time of 20 seconds, and further baked at 400 ° C. for 120 seconds to produce 200 nm-thick underlayer films.
  • the film thickness reduction rate (%) was calculated from the film thickness difference before and after baking at 400 ° C., and the film heat resistance of each lower layer film was evaluated. Then, etching resistance, embedding in a stepped substrate, and flatness were evaluated under the conditions described above.
  • Cross-linking agent benzoxazine represented by the above formula (BF-BXZ; manufactured by Konishi Chemical Industry Co., Ltd.)
  • Radical polymerization initiator IRGACURE 184 represented by the following formula (manufactured by BASF)
  • Examples 85 and 86 and Reference Example 1 The compositions for film formation for lithography of Examples 85 and 86 and Reference Example 1 were prepared so as to have the compositions shown in Table 10. Next, the lithographic film-forming composition of Examples 85 and 86 and Reference Example 1 was spin-coated on a silicon substrate, then baked at 110 ° C. for 60 seconds to remove the solvent of the coating film, and then a high-pressure mercury lamp. Then, the film was cured with an integrated exposure amount of 600 mJ / cm 2 and an irradiation time of 20 seconds, and further baked at 400 ° C. for 120 seconds to prepare lower layer films each having a thickness of 200 nm.
  • the film thickness reduction rate (%) was calculated from the film thickness difference before and after baking at 400 ° C., and the film heat resistance of each lower layer film was evaluated. Then, etching resistance, embedding in a stepped substrate, and flatness were evaluated under the conditions described above.
  • a phenol compound (BisN-1) represented by the following formula described in International Publication No. 2013/024779 was used as the main agent.
  • Example 87 The composition for forming a film for lithography in Example 71 was applied on a 300 nm thick SiO 2 substrate and baked at 240 ° C. for 60 seconds and further at 400 ° C. for 120 seconds to form a lower film having a thickness of 70 nm. did. On this lower layer film, an ArF resist solution was applied and baked at 130 ° C. for 60 seconds to form a 140 nm-thick photoresist layer.
  • the compound of the following formula (ArF-R) was prepared as follows. That is, 4.15 g of 2-methyl-2-methacryloyloxyadamantane, 3.00 g of methacryloyloxy- ⁇ -butyrolactone, 2.08 g of 3-hydroxy-1-adamantyl methacrylate, 0.38 g of azobisisobutyronitrile, The reaction solution was dissolved in 80 mL. This reaction solution was polymerized for 22 hours under a nitrogen atmosphere while maintaining the reaction temperature at 63 ° C., and then the reaction solution was dropped into 400 mL of n-hexane. The product resin thus obtained was coagulated and purified, and the resulting white powder was filtered and dried overnight at 40 ° C. under reduced pressure to obtain a compound represented by the following formula.
  • each numerical value of 40, 40, 20 indicates the ratio of each structural unit, and does not indicate a block copolymer.
  • Example 88> A positive resist pattern was obtained in the same manner as in Example 87 except that the composition for forming an underlayer film for lithography in Example 72 was used instead of the composition for forming an underlayer film for lithography in Example 71. . The evaluation results are shown in Table 11.
  • Example 89> A positive resist pattern was obtained in the same manner as in Example 87 except that the composition for forming an underlayer film for lithography in Example 73 was used instead of the composition for forming an underlayer film for lithography in Example 71. .
  • the evaluation results are shown in Table 11.
  • ⁇ Comparative Example 3> A photoresist layer was directly formed on the SiO 2 substrate in the same manner as in Example 87 except that the lower layer film was not formed, and a positive resist pattern was obtained. The evaluation results are shown in Table 11. [Evaluation] For each of Examples 87 to 89 and Comparative Example 4, the shape of the obtained resist pattern of 80 nm L / S (1: 1) was observed using an electron microscope (S-4800) manufactured by Hitachi, Ltd. Regarding the shape of the resist pattern after development, the resist pattern was evaluated as “good” when the pattern was not collapsed and the rectangularity was good, and “bad” when it was not.
  • Examples 87 to 89 using the film forming composition for lithography containing the maleimide compound or maleimide resin of the present embodiment have a resist pattern shape after development as compared with Comparative Example 4. It was confirmed that there was no pattern collapse and the rectangularity was good. From the difference in resist pattern shape after development, it was shown that the lower layer films of Examples 87 to 89 obtained from the compositions for forming a film for lithography of Examples 71 to 73 had good adhesion to the resist material.
  • the compound of the present invention ((poly) imide compounds or (poly) amic acids) and a resin containing units derived therefrom are excellent in, for example, structure-forming ability (film-forming ability), heat resistance and solubility, and high It can be usefully used as a heat-resistant thermosetting resin.

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Abstract

下記式（０）で表される化合物。 （上記式（０）中、　ＲXは、炭素数１～７０の２ｎＡ価の基又は単結合を示し、　Ｒ１Ａは、各々独立して、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基、ハロゲン原子、ニトロ基、置換基を有していてもよい炭素数０～３０のアミノ基、カルボキシル基、チオール基、及び水酸基のいずれかを示し、Ｒ１Ａが、前記アルキル基、前記アリール基、前記架橋基、及び前記アルコキシ基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、Ｒ１Ａの少なくとも１つは、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、及び置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基のいずれかであり、　Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を示すか、存在していなくてもよく、　Ｒは、各々独立して、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環のいずれかを示し、　ｍは、各々独立して、０～９の整数であり、ここで、ｍの少なくとも１つは１～９の整数であり、　ｎＡは、１～４の整数である。）

Description

化合物、樹脂、組成物及びそれを用いたリソグラフィー用膜形成材料
　本発明は、化合物、樹脂、組成物及びそれを用いたリソグラフィー用膜形成材料に関する。
　（ポリ）マレイミド化合物又は（ポリ）マレアミック酸は、高耐熱性熱硬化性樹脂として一般に知られており、成形材料、複合材料、電気・電子部品等の分野において幅広く用いられている。近年の電気・電子部品分野においては、マイクロエレクトロニクス化の発達が著しい。特に、大型コンピュータでは、多層回路基板の採用等により信号の高速伝送が不可欠となるが、基板材料の誘電率が大きいと信号の伝送に遅延が生じ高速化の障害となる。（ポリ）マレイミド化合物又は（ポリ）マレアミック酸は、多層配線構造の層間絶縁膜に用いられるが、これらの理由から十分な耐熱性を維持し、かつ低い誘電率を有する（ポリ）マレイミド化合物又は（ポリ）マレアミック酸が求められている（例えば、特許文献１～３参照）。
　また、半導体デバイスの製造において、フォトレジスト材料を用いたリソグラフィーによる微細加工が行われているが、近年、ＬＳＩ（大規模集積回路）の高集積化と高速度化に伴い、パターンルールによる更なる微細化が求められている。また、レジストパターン形成の際に使用するリソグラフィー用の光源は、ＫｒＦエキシマレーザー（２４８ｎｍ）からＡｒＦエキシマレーザー（１９３ｎｍ）へと短波長化されており、極端紫外光（ＥＵＶ、１３．５ｎｍ）の導入も見込まれている。
　しかしながら、レジストパターンの微細化が進むと、解像度の問題若しくは現像後にレジストパターンが倒れるといった問題が生じてくるため、レジストの薄膜化が望まれるようになる。ところが、単にレジストの薄膜化を行うと、基板加工に十分なレジストパターンの膜厚を得ることが難しくなる。そのため、レジストパターンだけではなく、レジストと加工する半導体基板との間にレジスト下層膜を作製し、このレジスト下層膜にも基板加工時のマスクとしての機能を持たせるプロセスが必要になっている。
　現在、このようなプロセス用のレジスト下層膜として、種々のものが知られている。例えば、レジストに比べて小さいドライエッチング速度の選択比を持つリソグラフィー用レジスト下層膜を実現するものとして、特定の繰り返し単位を有する重合体を含むレジスト下層膜材料が提案されている（特許文献４参照）。さらに、半導体基板に比べて小さいドライエッチング速度の選択比を持つリソグラフィー用レジスト下層膜を実現するものとして、アセナフチレン類の繰り返し単位と、置換又は非置換のヒドロキシ基を有する繰り返し単位とを共重合してなる重合体を含むレジスト下層膜材料が提案されている（特許文献５参照）。
　一方、この種のレジスト下層膜において高いエッチング耐性を持つ材料としては、メタンガス、エタンガス、アセチレンガスなどを原料に用いたＣｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｕｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＣＶＤ）によって形成されたアモルファスカーボン下層膜がよく知られている。しかしながら、プロセス上の観点から、スピンコート法やスクリーン印刷等の湿式プロセスでレジスト下層膜を形成できるレジスト下層膜材料が求められている。
　また、本発明者らは、エッチング耐性に優れるとともに、耐熱性が高く、溶媒に可溶で湿式プロセスが適用可能な材料として、特定の構造の化合物及び有機溶媒を含有するリソグラフィー用下層膜形成組成物（特許文献６を参照。）を提案している。
特開平４－２６１４１１号公報 特開平７－２１５９３３号公報 特開２０１０－１８７９１号公報 特開２００４－２７１８３８号公報 特開２００５－２５０４３４号公報 国際公開第２０１３／０２４７７９号
　しかしながら、新規材料開発の観点からは、特許文献１～３に記載された（ポリ）マレイミド化合物又は（ポリ）マレアミック酸の構造体形成能（膜形成能）、耐熱性及び溶解性は十分ではなく、これらの物性をより一層向上させることが求められている。
　一方、リソグラフィ用膜形成材料としては、有機溶媒に対する溶解性、エッチング耐性、及びレジストパターン形成性を高い次元で同時に満たしつつ、更に高い耐熱性が求められている。
　そこで、本発明は、構造体形成能（膜形成能）、耐熱性及び溶解性に優れた、新規な（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類を提供することを目的とする。
　本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、特定の構造を有する新規な（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
　すなわち、本発明は、次のとおりである。
［１］
　下記式（０）で表される化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
　（上記式（０）中、
　ＲXは、炭素数１～７０の２ｎＡ価の基又は単結合を示し、
　Ｒ１Ａは、各々独立して、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基、ハロゲン原子、ニトロ基、置換基を有していてもよい炭素数０～３０のアミノ基、カルボキシル基、チオール基、及び水酸基のいずれかを示し、Ｒ１Ａが、前記アルキル基、前記アリール基、前記架橋基、及び前記アルコキシ基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、Ｒ１Ａの少なくとも１つは、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、及び置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基のいずれかであり、
　Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を示すか、存在していなくてもよく、
　Ｒは、各々独立して、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環のいずれかを示し、
　ｍは、各々独立して、０～９の整数であり、ここで、ｍの少なくとも１つは１～９の整数であり、
　ｎＡは、１～４の整数である。）
［２］
　前記式（０）で表される化合物が下記式（１）で表される化合物である、上記［１］記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
（上記式（１）中、
　ＲＹは、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、及び置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基のいずれかを示し、
　ＲＺは、炭素数１～６０のｎＡ価の基又は単結合を示し、ＲＹとＲＺの炭素数の合計は、６９以下であり、
　Ｘ、Ｒ、ｎＡ、Ｒ１Ａ及びｍは、前記と同義である。）
［３］
　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ａ－１）で表される化合物である、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000025
（上記式（１ａ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
［４］
　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ｂ－１）で表される化合物である、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000026
（上記式（１ｂ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、及びｍは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
［５］
　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ａ－２）で表される化合物である、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000027
（上記式（１ａ－２）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
［６］
　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ｂ－２）で表される化合物である、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000028
（上記式（１ｂ－２）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、及びｍは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
［７］
　前記式（１ａ－２）で表される化合物が下記式（１ａ－３）で表される化合物である、上記［５］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
（上記式（１ａ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、ＲＹ’は、ＲＹから水素原子を除いたものを示す。）
［８］
　前記式（１ｂ－２）で表される化合物が下記式（１ｂ－３）で表される化合物である、上記［６］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000030
（上記式（１ｂ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、Ｒ２Ａ’は、置換基を有していてもよい炭素数５以上の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基を示す。）
［９］
　前記式（１）で表される化合物が下記式（２）または式（２’）で表される化合物である、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000031
（上記式（２）及び（２）’中、
　Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子のいずれかを示し、
　ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、
　ＲＹ、ＲＺ、Ｘ、Ｒ、及びｎＡは、前記と同義である。）
［１０］
　前記式（１）で表される化合物が下記式（３）または式（３’）で表される化合物である、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000032
（上記式（３）及び（３）’中、
　Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子のいずれかであり、
　ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、
　ＲＹ、ＲＺ、Ｘ、Ｒ、及びｎＡは、前記と同義である。）
［１１］
　前記式（０）、（１）、（２）、（２）’、（３）又は（３）’中、Ｘが酸素原子である、上記［１］～［１０］のいずれか記載の化合物。
［１２］
　前記式（１）で表される化合物が、下記式（ＭＩＢｉＡ－１）～（ＭＩＢｉＡ－３４）及び（ＭＡＢｉＡ－１）～（ＭＡＢｉＡ－３４）で表される化合物のいずれかである、上記［２］に記載の化合物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000033
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000034
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000035
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000036
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000037
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000038
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000039
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000040
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000041
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000042
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000043
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000044
［１３］
　上記［１］～［１２］のいずれかに記載の化合物由来のモノマー単位を含む樹脂。
［１４］
　前記モノマー単位が下記式（４）で表される単位である、上記［１３］に記載の樹脂。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000045
（上記式（４）中、
　Ｌは、炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状の連結基又は単結合を示し、
　ＲX、Ｒ１Ａ、Ｘ、Ｒ、ｍ、及びｎＡは前記と同義である。）
［１５］
　上記［１］～［１４］のいずれかに記載の化合物又は樹脂を含む組成物。
［１６］
　上記［１５］に記載の組成物が硬化した硬化物。
［１７］
　上記［１］～［１４］のいずれかに記載の化合物又は樹脂を含むリソグラフィー用膜形成材料。
［１８］
　架橋剤をさらに含有する、上記［１７］に記載のリソグラフィー用膜形成材料。
［１９］
　架橋促進剤をさらに含有する、上記［１７］又は［１８］に記載のリソグラフィー用膜形成材料。
［２０］
　ラジカル重合開始剤をさらに含有する、上記［１７］～［１９］のいずれかに記載のリソグラフィー用膜形成材料。
［２１］
　上記［１７］～［２１］のいずれかに記載のリソグラフィー用膜形成材料と溶媒とを含有する、リソグラフィー用膜形成用組成物。
［２２］
　酸発生剤をさらに含有する、上記［２１］に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物。
［２３］
　リソグラフィー用膜がリソグラフィー用下層膜である、上記［２１］又は［２２］に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物
［２４］
　上記［２３］に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて形成される、リソグラフィー用下層膜。
［２５］
　基板上に、上記［２３］に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて下層膜を形成する工程、
　前記下層膜上に、少なくとも１層のフォトレジスト層を形成する工程、及び
　前記フォトレジスト層の所定の領域に放射線を照射し、現像を行う工程、
を含む、レジストパターン形成方法。
［２６］
　基板上に、上記［２３］に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて下層膜を形成する工程、
　前記下層膜上に、珪素原子を含有するレジスト中間層膜材料を用いて中間層膜を形成する工程、
　前記中間層膜上に、少なくとも１層のフォトレジスト層を形成する工程、
　前記フォトレジスト層の所定の領域に放射線を照射し、現像してレジストパターンを形成する工程、
　前記レジストパターンをマスクとして前記中間層膜をエッチングする工程、
　得られた中間層膜パターンをエッチングマスクとして前記下層膜をエッチングする工程、及び
　得られた下層膜パターンをエッチングマスクとして基板をエッチングすることで基板にパターンを形成する工程、
を含む、回路パターン形成方法。
［２７］
　上記［１７］～［２０］のいずれかに記載のリソグラフィー用膜形成材料を、溶媒に溶解させて有機相を得る工程と、
　前記有機相と酸性の水溶液とを接触させて、前記リソグラフィー用膜形成材料中の不純物を抽出する第一抽出工程と、
を含み、
　前記有機相を得る工程で用いる溶媒が、水と任意に混和しない溶媒を含む、リソグラフィー用膜形成材料の精製方法。
　本発明によれば、構造体形成能（膜形成能）、耐熱性及び溶解性に優れた、新規な（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類を提供可能である。さらに、有用なリソグラフィー用膜形成組成物、及び膜形成材料を提供可能である。
　以下、本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」という。）について詳細に説明する。なお、本実施形態において、「（ポリ）イミド化合物類」には「（ポリ）マレイミド化合物」および「（ポリ）シトラコンイミド化合物」が含まれ、「（ポリ）アミック酸類」には「（ポリ）マレアミック酸」および「（ポリ）シトラコンアミック酸」が含まれる。また、「（ポリ）マレイミド化合物」とは、モノマレイミド化合物又はポリマレイミド化合物をいう。他の化合物についても同様である。
［式（０）で表される化合物］
　本実施形態の（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類（以下、単に「本実施形態の化合物」ともいう。）は、下記式（０）で表される。本実施形態の化合物は、例えば、構造体形成能（膜形成能）、耐熱性及び溶解性に優れ、高耐熱性熱硬化性樹脂及びその硬化物として有用に用いることができる。特に、本実施形態の化合物は、高い芳香族密度及び低い結晶性に起因して、優れた構造体形成能（例えば、膜形成能など）、耐熱性及び溶解性を有する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000046
　上記式（０）中、ＲXは、炭素数１～７０の２ｎＡ価の基又は単結合を示し、
　Ｒ１Ａは、各々独立して、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基、ハロゲン原子、ニトロ基、置換基を有していてもよい炭素数０～３０のアミノ基、カルボキシル基、チオール基、及び水酸基のいずれかを示し、Ｒ１Ａが、前記アルキル基、前記アリール基、前記架橋基、前記アルコキシ基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、Ｒ１Ａの少なくとも１つは、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基であり、
　Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を示すか、存在していなくてもよく、
　Ｒは、各々独立して、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環のいずれかを示し、
　ｍは、各々独立して、０～９の整数であり、ここで、ｍの少なくとも１つは１～９の整数であり、
　ｎＡは、１～４の整数である。
　本明細書において、「アルキル基」は、直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であってもよく、環状のアルキル基であってもよい。また、「アルコキシ基」についても、直鎖状若しくは分岐状のアルコキシ基であってもよく、環状のアルコキシ基であってもよい。
（１．ＲＸ）
　上記式（０）中、ＲXは、２ｎＡ価の基又は単結合であり、２ｎＡ価の基であることが好ましい。２ｎＡ価の基の炭素数は、１～７０であり、好ましくは３～５０、より好ましくは６～３０である。
（１－１．２ｎＡ価の基）
　２ｎＡ価の基としては、特に限定されないが、例えば、炭化水素基が挙げられる。炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状炭化水素基脂環式炭化水素基、並びに直鎖状又は分岐状炭化水素基及び脂環式炭化水素基の組み合わせが挙げられる。ここでいう「脂環式炭化水素基」は、脂肪族環内に橋かけ構造を有する、いわゆる多環の有橋脂環式炭化水素基であってもよい。また、前記炭化水素基は、二重結合、ヘテロ原子、及び炭素数６～６０の芳香族基のいずれかを含んでもよい。
（１－１－１．式（０ａ）で表される基）
　２ｎＡ価の基としては、例えば、下記式（０ａ）で表される基が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000047
　上記式（０ａ）中、Ｒｘ１は、各々独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、及び置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基（炭化水素基）のいずれかであり、ＲＸ１が、前記アルキル基又は前記アリール基である場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、ＲＸ２は、水素原子、及び炭素数１～６０のｎＡ価の基のいずれかであり、ＲＸ１とＲＸ２の炭素数の合計は、６９以下であり、ｎＡは１～４の整数を示す。
（１－１－１ａ．ＲＸ１）
　Ｒｘ１が直鎖状若しくは分岐状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、２，２，４－トリメチルペンチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｎ－ノニル基、ｎ－デシル基、ｎ－ウンデシル基、ｎ－ドデシル基、ｎ－トリデシル基、ｎ－テトラデシル基、ｎ－ペンタデシル基、ｎ－ヘキサデシル基、ｎ－ヘプタデシル基、ｎ－オクタデシル基、ｎ－ノナデシル基、ｎ－ヘンエイコシル基、ｎ－トリコシル基、ｎ－ペンタコシル基、ｎ－ヘプタコシル基、ｎ－ノナコシル基などの炭素数が１～３０の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基が例示でき、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、炭素数が１～２０の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であることが好ましく、炭素数が１～１０の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であることがより好ましい。環状のアルキル基としては、例えば、単環式基（単環式シクロアルキル基）及び多環式基（多環式シクロアルキル基）が挙げられる。単環式基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基、シクロイコシル基などの炭素数３～３０の単環式基が挙げられる。多環式基としては、例えば、ジシクロペンチル基、ジシクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基などの炭素数７～３０の複環式基が挙げられる。
　前記アルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）、ニトロ基、置換基を有してもよいアミノ基、カルボキシル基、チオール基、及び水酸基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。
　前記アリール基としては、特に限定されないが、例えば、フェニル基、ナフチル基（例えば、１－ナフチル基及び２－ナフチル基）、アントリル基（例えば、１－アントリル基）、フェナントリル基（例えば、１－フェナントリル基）などの炭素数６～３０のアリール基が挙げられ、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、フェニル基、ナフチル基などの炭素数６～１０のアリール基であることが好ましく、フェニル基であることがより好ましい。
　前記アリール基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。
（１－１－１ｂ．ＲＸ２）
　炭素数１～６０のｎＡ価の基としては、例えば、炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状の置換基を有してもよいアルキル基（ｎＡ＝１）、炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状の置換基を有してもよいアルキレン基（ｎＡ＝２）、炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状の置換基を有してもよいアルキルトリイル基（ｎＡ＝３）、炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状の置換基を有してもよいアルキルテトライル基（ｎＡ＝４）、炭素数６～６０のｎＡ価の置換基を有してもよい芳香族炭化水素環及び炭素数３～６０のｎＡ価の置換基を有してもよい脂環式炭化水素環が挙げられる。
　炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状のアルキル基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられ、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から好ましいアルキル基もまた、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、好ましいアルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。アルキル基は、置換基を有してもよく、置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基が挙げられる。
　炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状のアルキレン基としては、前記炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状のアルキル基として例示したアルキル基から水素原子を１つ取り除いた基が挙げられる。アルキレン基は、置換基を有してもよく、置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基が挙げられる。
　炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状アルキルトリイル基としては、前記炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状のアルキル基として例示したアルキル基から水素原子を２つ取り除いた基が挙げられる。アルキルトリイル基は、置換基を有してもよく、置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基が挙げられる。
　炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状アルキルテトライル基としては、前記炭素数１～６０の直鎖状又は分岐状のアルキル基として例示したアルキル基から水素原子を３つ取り除いた基が挙げられる。アルキルテトライル基は、置換基を有してもよく、置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基が挙げられる。
　芳香族炭化水素環としては、単環式芳香族炭化水素環、縮合環式芳香族炭化水素環、及び複数の芳香族環が直接結合又は連結基を介して結合した環（環集合環）が挙げられる。
　前記芳香族炭化水素環は、ヘテロ原子（例えば、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子）を含んでもよく、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合を含んでもよい。
　単環式芳香族炭化水素環としては、例えば、ベンゼン環、及びヘテロ原子を含む５員環又は６員環の芳香族複素環が挙げられる。ヘテロ原子を含む５員環又は６員環の芳香族複素環としては、例えば、チオフェン環、ピリジン環、フラン環、チアゾール環、オキサゾール環、ピラゾール環、ピラジン環、ピリミジン環、ピロール環、イミダゾール環、ピリダジン環、イソチアゾール環、及びイソオキサゾール環が挙げられる。これらの単環式芳香族炭化水素環の中でも、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、ベンゼン環であることが好ましい。これらの単環式芳香族炭化水素環は、置換基を有してもよい。置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。置換基が単環式芳香族炭化水素環に置換する置換位置もまた特に限定されない。
　単環式芳香族炭化水素環としては、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、ベンゼン環であることが好ましい。ベンゼン環が置換基を有する場合、ベンゼン環の４位に置換基を有することが好ましい。
　より詳細には、置換基を有する単環式芳香族炭化水素環としては、例えば、ｎＡが１の場合、（ｉ）ヒドロキシフェニル基、（ii）モノアルキルフェニル基、（iii）ジアルキルフェニル基、（iｖ）トリアルキルフェニル基、及び（ｖ）シクロヘキシルフェニル基が挙げられる。
　（ｉ）ヒドロキシフェニル基としては、例えば、
（ｉ－ａ）モノヒドロキシフェニル基（例えば、２－ヒドロキシフェニル基、３－ヒドロキシフェニル基、及び４－ヒドロキシフェニル基）；
（ｉ－ｂ）ジヒドロキシフェニル基（例えば、２，３－ジヒドロキシフェニル基、２，４－ジヒドロキシフェニル基、２，５－ジヒドロキシフェニル基、２，６－ジヒドロキシフェニル基、３，４－ジヒドロキシフェニル基、３，５－ジヒドロキシフェニル基）；
（ｉ－ｃ）トリヒドロキシフェニル基（例えば、２，３，４－トリヒドロキシフェニル基、２，３，５－トリヒドロキシフェニル基、２，３，６－トリヒドロキシフェニル基、２，４，５－トリヒドロキシフェニル基、２，４，６－トリヒドロキシフェニル基）が挙げられる。
　（ii）モノアルキルフェニル基としては、例えば、
２－メチルフェニル基、３－メチルフェニル基、４－メチルフェニル基、２－エチルフェニル基、３－エチルフェニル基、４－エチルフェニル基、２－プロピルフェニル基、３－プロピルフェニル基、４－プロピルフェニル基、２－イソプロピルフェニル基、３－イソプロピルフェニル基、４－イソプロピルフェニル基、２－ブチルフェニル基、３－ブチルフェニル基、及び４－ブチルフェニル基が挙げられる。
　（iii）ジアルキルフェニル基としては、例えば、
（iii－ａ）２，３－ジアルキルフェニル基（例えば、２，３－ジメチルフェニル基、２，３－ジエチルフェニル基、２，３－ジプロピルフェニル基、２，３－ジイソプロピルフェニル基、２－エチル－３－メチルフェニル基、及び３－エチル－２－メチルフェニル基）；
（iii－ｂ）２，４－ジアルキルフェニル基（例えば、２，４－ジメチルフェニル基、２，４－ジエチルフェニル基、２，４－ジプロピルフェニル基、２，４－ジイソプロピルフェニル基、２－エチル－４－メチルフェニル基、及び４－エチル－２－メチルフェニル基）；（iii－ｃ）２，５－ジアルキルフェニル基（例えば、２，５－ジメチルフェニル基、２，５－ジエチルフェニル基、２，５－ジプロピルフェニル基、２，５－ジイソプロピルフェニル基、２－エチル－５－メチルフェニル基、及び５－エチル－２－メチルフェニル基）；
（iii－ｄ）２，６－ジアルキルフェニル基（例えば、２，６－ジメチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２，６－ジプロピルフェニル基、２，６－ジイソプロピルフェニル基、２－エチル－６－メチルフェニル基、及び６－エチル－２－メチルフェニル基）；
（iii－ｅ）３，４－ジアルキルフェニル基（例えば、３，４－ジメチルフェニル基、３，４－ジエチルフェニル基、３，４－ジプロピルフェニル基、３，４－ジイソプロピルフェニル基、３－エチル－４－メチルフェニル基、及び４－エチル－３－メチルフェニル基）；
（iii－ｆ）３，５－ジアルキルフェニル基（例えば、３，５－ジメチルフェニル基、３，５－ジエチルフェニル基、３，５－ジプロピルフェニル基、３，５－ジイソプロピルフェニル基、３－エチル－５－メチルフェニル基、及び５－エチル－３－メチルフェニル基）が挙げられる。
（iｖ）トリアルキルフェニル基としては、例えば、
（iｖ－ａ）トリメチルフェニル基（例えば、２，３，４－トリメチルフェニル基、２，３，５－トリメチルフェニル基、２，３，６－トリメチルフェニル基、２，４，５－トリメチルフェニル基、２，４，６－トリメチルフェニル基、及び３，４，５－トリメチルフェニル基）；
（iｖ－ｂ）エチルジメチルフェニル基（例えば、前記トリメチルフェニル基の１つのメチル基が１つのエチル基に置換した基）；
（iｖ－ｃ）ジエチルメチルフェニル基（例えば、前記トリメチルフェニル基の２つのメチル基がそれぞれエチル基に置換した基）；
（iｖ－ｄ）トリエチルフェニル基（例えば、前記トリメチルフェニル基の３つのメチル基がそれぞれエチル基に置換した基）が挙げられる。
（ｖ）シクロアルキルフェニル基としては、例えば、２－シクロヘキシルフェニル基、３－シクロヘキシルフェニル基、４－シクロヘキシルフェニル基などのシクロヘキシルフェニル基が挙げられる。
　置換基を有する単環式芳香族炭化水素環としては、例えば、ｎＡが２の場合、（ｉ）ヒドロキシフェニル基で例示されたヒドロキシフェニル基のフェニル基から水素原子を一つ取り除いたヒドロキシフェニレン基、（ii）モノアルキルフェニル基で例示されたモノアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を一つ取り除いたモノアルキルフェニレン基、（iii）ジアルキルフェニル基で例示されたジアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を一つ取り除いたジアルキルフェニレン基、（iｖ）トリアルキルフェニル基で例示されたトリアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を一つ取り除いたジトリアルキルフェニレン基、及び（ｖ）シクロヘキシルフェニル基で例示されたシクロヘキシルフェニル基から水素原子を一つ取り除いたシクロヘキシルフェニレン基が挙げられる。
　置換基を有する単環式芳香族炭化水素環としては、例えば、ｎＡが３の場合、（ｉ）ヒドロキシフェニル基で例示されたヒドロキシフェニル基のフェニル基から水素原子を二つ取り除いたヒドロキシフェニルトリイル基、（ii）モノアルキルフェニル基で例示されたモノアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を二つ取り除いたモノアルキルフェニルトリイル基、（iii）ジアルキルフェニル基で例示されたジアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を二つ取り除いたジアルキルフェニルトリイル基、（iｖ）トリアルキルフェニル基で例示されたトリアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を二つ取り除いたジトリアルキルフェニルトリイル基、及び（ｖ）シクロヘキシルフェニル基で例示されたシクロヘキシルフェニル基から水素原子を二つ取り除いたシクロヘキシルフェニルトリイル基が挙げられる。
　置換基を有する単環式芳香族炭化水素環としては、例えば、ｎＡが４の場合、（ｉ）ヒドロキシフェニル基で例示されたヒドロキシフェニル基のフェニル基から水素原子を三つ取り除いたヒドロキシフェニルテトライル基、（ii）モノアルキルフェニル基で例示されたモノアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を三つ取り除いたモノアルキルフェニルテトライル基、（iii）ジアルキルフェニル基で例示されたジアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を三つ取り除いたジアルキルフェニルテトライル基、（iｖ）トリアルキルフェニル基で例示されたトリアルキルフェニル基のフェニル基から水素原子を三つ取り除いたジトリアルキルフェニルテトライル基、及び（ｖ）シクロヘキシルフェニル基で例示されたシクロヘキシルフェニル基から水素原子を三つ取り除いたシクロヘキシルフェニルテトライル基が挙げられる。
　縮合環式芳香族炭化水素環としては、例えば、縮合二環式芳香族炭化水素環（例えば、ナフタレン環及びインデン環）、縮合三環式芳香族炭化水素環（例えば、アントラセン環及びフェナントレン環）、縮合四環式芳香族炭化水素環（例えば、テトラセン環及びピレン環）、アセナフテン骨格を有する環（例えば、アセナフテン環及び１－アセナフテノン環）、フルオレン骨格を有する環（例えば、フルオレン環、２，３－ベンゾフルオレン環などのベンゾフルオレン環、２，３：６，７－ジベンゾフルオレン環などのジベンゾフルオレン環）が挙げられる。
　これらの縮合環式芳香族炭化水素環は、置換基を有してもよい。置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。置換基が縮合環式芳香族炭化水素環に置換する置換位置もまた特に限定されない。
　複数の芳香族環が直接結合した環（ビアレーン環）としては、例えば、２つのベンゼン環が直接結合した環（ビフェニル環）、２つのナフタレン環が直接結合した環（ビナフチ環）、及びベンゼン環及びナフタレン環が直接結合した環（ビナフチルフェニル環）が挙げられる。
　前記ビアレーン環は、置換基を有してもよい。置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。置換基がビアレーン環に置換する置換位置もまた特に限定されない。
　複数の芳香族炭化水素環が連結基を介して結合した環（連結基を介して結合した環集合環）としては、例えば、式Ｒｂ１－Ｌａ―Ｒｂ２で表される環（式中、Ｒｂ１及びＲｂ２は、ベンゼン環及びナフタレン環のいずれかを示し、Ｌａは連結基を示す）が挙げられる。上記式において、Ｌａとしては、例えば、酸素原子を含む基（例えば、エーテル基（－Ｏ－）、カルボニル基（－ＣＯ－）、及びオキシカルボニル基（－ＯＣＯ－））；硫黄原子を含む基（例えば、チオ基（－Ｓ－））、アルキレン基（例えば、メチレン基、エチレン基などの直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、及びシクロヘキシリデン基などのシクロアルキレン基）が挙げられ、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、酸素原子を含む基であることが好ましく、エーテル基であることがより好ましい。
　これらの連結基を介して結合した環集合環は、置換基を有してもよい。置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。置換基が前記連結基を介して結合した環集合環に置換する置換位置もまた特に限定されない。
　脂環式炭化水素環としては、例えば、単環式脂肪族炭化水素環及び多環式脂肪族炭化水素環が挙げられる。
　単環式脂肪族炭化水素環としては、例えば、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環などのシクロアルカン環が挙げられる。単環式脂肪族炭化水素環は、置換基を有していてもよい。置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。置換基が単環式脂肪族炭化水素環に置換する置換位置もまた特に限定されない。
　多環式脂肪族炭化水素環としては、例えば、デカリン環、アダマンタン環、ジシクロペンタン環、ノルボルナン環、トリシクロデカン環、及びこれらの環に二重結合を少なくとも１つ有する環（例えば、ジシクロペンタジエン環など）が挙げられる。多環式脂肪族炭化水素環は、置換基を有していてもよい。置換基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基の置換基として例示した置換基、及び（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基の数は、特に限定されず、１つであってもよく、複数であってもよい。置換基が多環式脂肪族炭化水素環に置換する置換位置もまた特に限定されない。
　代表的なＲＸ２としては、以下に示す環（ｘ１）～（ｘ２１）から水素原子を一つ取り除いたものが挙げられる。下記式（ｘ１），（ｘ２），（ｘ３）中、Ｒ＊は、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、シクロヘキシル基、及び水酸基のいずれかを示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000048
　式（０ａ）における、代表的なＲＸ１，ＲＸ２，及びｎＡの組み合わせとしては、ＲＸ１が水素原子、メチル基、及びフェニル基のいずれかであり、ＲＸ２が基（ｘ１）～（ｘ２１）のいずれかであり、ｎＡが１である組み合わせが例示できる。
　また、２ｎＡ価の基は、ｎＡ＝１である場合、下記式（Ｃｙ１）で表される基であってもよく、ｎＡ＝２である場合、下記式（Ｃｙ２）で表される基であってもよく、ｎＡ＝３である場合、下記式（Ｃｙ３）で表される基であってもよく、炭素数３～７０のシクロアルカンテトライル基を示し、ｎＡ＝３である場合、ｎＡ＝４である場合、下記式（Ｃｙ４）で表される基であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000049
　上記式（ｃｙ１），（ｃｙ２），（ｃｙ３），及び（ｃｙ４）中、ｃｙ１は、Ｒｘ２として例示した環状のアルキル基又はアリール基から水素原子を１つ取り除いた２価の基であり、ｃｙ２は、Ｒｘ２として例示した環状のアルキル基又はアリール基から水素原子を３つ取り除いた４価の基であり、ｃｙ３は、Ｒｘ２として例示した環状のアルキル基又はアリール基から水素原子を１つ取り除いた６価の基であり、ｃｙ４は、Ｒｘ２として例示した環状のアルキル基又はアリール基から水素原子を１つ取り除いた８価の基である。
　より詳細には、式（ｃｙ１）～（ｃｙ４）で表される基としては、（ｘ９），（ｘ１０），（ｘ１１），及び（ｘ１４）～（ｘ２１）から水素原子を２ｎＡ（ｎＡ＝１，２，３，４）個取り除いたものが挙げられる。
（２．Ｒ１Ａ）
　式（０）中、Ｒ１Ａは、各々独立して、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）、ニトロ基、置換基を有していてもよい炭素数０～３０のアミノ基、カルボキシル基、チオール基、及び水酸基のいずれかを示す。Ｒ１Ａが前記アルキル基、前記アリール基、前記架橋基、及び前記アルコキシ基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１種が含まれてもよい。但し、Ｒ１Ａの少なくとも１つは、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基を示す。
　置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルキル基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。これらの中でも、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基などの炭素数１～６の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であることが好ましく、炭素数１～３の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基であることがより好ましく、メチル基又はエチル基であることがさらに好ましい。また、これらのアルキル基が置換基を有する場合、置換基としては、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）であることが好ましい。ハロゲン原子で置換されたアルキル基としては、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、テトラフルオロエチル基などの炭素数１～６のハロアルキル基であることが好ましい。
　置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が挙げられる。これらの中でも、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、フェニル基及びナフチル基（１－ナフチル基及び２－ナフチル基）であることが好ましく、フェニル基であることがより好ましい。また、これらのアリール基が置換基を有する場合、置換基としては、アミノ基であることが好ましく、アミノ基のアリール基（特にフェニル基）への置換位置は、２位又は４位であることが好ましい。
　置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基としては、例えば、特定条件（例えば、酸また塩基触媒存在条件、加熱条件、ラジカル反応に供する条件、可視光線又は不可視光線（例えば、紫外線照、赤外線など）照射条件など）により、他の化合物と新たな結合を生成することが可能な基であり、例えば、アリル基、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、エポキシ基、アルコキシメチル基、及びシアナト基が挙げられる。
　置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基としては、例えば、－Ｏ－Ｒａ１で表される基（式中、Ｒａ１は、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基を示す。）が挙げられる。これらの中でも、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、イソブトキソ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基などの炭素数１～６の直鎖状若しくは分岐状のアルコキシ基であることが好ましく、炭素数１～３の直鎖状若しくは分岐状のアルコキシ基であることがより好ましく、メトキシ基又はエトキシ基であることがさらに好ましい。
　置換基を有していてもよい炭素数０～３０のアミノ基としては、例えば、（Ｒ４）２Ｎ－で表される基（式中、Ｒ４は、各々独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、及び置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基のいずれかを示す。）が挙げられ、Ｒ４が、前記アルキル基、前記アリール基、及び前記架橋基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよい。炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が例示できる。置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が例示できる。置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基としては、例えば、（２．Ｒ１Ａ）において、架橋基として例示した架橋基が例示できる。
　前記式（Ｒ４）２Ｎ－で表される基としては、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、アミノ基；一方のＲ４が水素原子であり、他方のＲ４がアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基などの炭素数１～４の直鎖状又は分岐状のアルキル基）又はアルキルカルボニル基（例えば、メチルカルボニル基、エチルカルボニル基、ｎ－プロピルカルボニル基、及びｎ－ブチルカルボニル基などの炭素数２～５の直鎖状又は分岐状のアルキルカルボニル基）である一置換アミノ基；２つのＲ４が、アルキル基（例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、及びｎ－ブチル基などの炭素数１～４の直鎖状又は分岐状のアルキル基）又はアルキルカルボニル基（例えば、メチルカルボニル基、エチルカルボニル基、ｎ－プロピルカルボニル基、及びｎ－ブチルカルボニル基などの炭素数２～５の直鎖状又は分岐状のアルキルカルボニル基）である二置換アミノ基であることが好ましく、アミノ基；一方のＲ４が水素原子であり、他方のＲ４がメチル基又はメチルカルボニル基である一置換アミノ基；２つのＲ４が、メチル基又はメチルカルボニル基である二置換アミノ基であることがより好ましい。
　Ｒ１Ａの少なくとも１つは、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、及び置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基のいずれかの基を示す。前記基の数は、１つ以上であれば特に限定されないが、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、１～３であることが好ましく、１又は２であることがより好ましい。前記基が複数ある場合、例えば、互いの基は、同一の芳香族環に置換していてもよく、異なる芳香族環に置換していてもよい。
（３．Ｘ）
　式（０）中、Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を示し、Ｘは存在しなくてもよいが、構造体形成能がより一層優れる観点から、酸素原子又は硫黄原子であることが好ましく、酸素原子であることがより好ましい。一方、溶媒溶解性の観点からは、Ｘは存在しないほうがよい。なお、Ｘが酸素原子を示す式（０）で表される化合物は、下記式（０－１）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000050
（上記式（０－１）中、ＲX、Ｒ１Ａ、Ｒ、ｍ、及びｎＡは、前記と同義である。）
（４．ｍ）
　ｍは、各々独立して０～９の整数である。但し、ｍの少なくとも１つは１～９の整数である。ｍは、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、１～５の整数であることが好ましく、１～３の整数であることがより好ましく、１又は２の整数であることがさらに好ましい。
（５．ｎＡ）
　ｎＡは、１～４の整数であり、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、好ましくは１又は２の整数であり、より好ましくは１である。
（６．Ｒ）
　Ｒは、各々独立して、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環のいずれかを示す。上記式（０）において、Ｒがベンゼン環である場合、ベンゼン環に１又は複数のＲ１Ａが置換されていることを示し、各Ｒ１Ａのベンゼン環への置換位置は特に限定されず、Ｘのベンゼン環への結合位置もまた特に限定されない。上記式（０）において、Ｒがナフタレン環である場合、ナフタレン環に１又は複数のＲ１Ａが置換されていることを示し、各Ｒ１Ａのナフタレン環への置換位置は特に限定されず、Ｘのナフタレン環の結合位置もまた特に限定されない。上記式（０）において、Ｒがアントラセン環である場合、アントラセン環に１又は複数のＲ１Ａが置換されていることを示し、各Ｒ１Ａのアントラセン環への置換位置は特に限定されず、Ｘのアントラセン環への結合位置もまた特に限定されない。Ｒは、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、好ましくはベンゼン環又はナフタレン環であり、より好ましくはベンゼン環である。
　上記式（０）で表される化合物は、前述のように、高い芳香族密度及び低い結晶性を有し、優れた構造体形成能（例えば、膜形成能）、耐熱性及び溶解性を有する。
　このため、本実施形態の化合物は、高耐熱性熱硬化性樹脂及びその硬化物として有用に用いることができる。高耐熱性熱硬化性樹脂及びその硬化物は、電気用絶縁材料、ソルダーレジスト用樹脂、半導体用封止樹脂、プリント配線板用接着剤、電気機器、電子機器、産業機器等に搭載される電気用積層板、電気機器、電子機器、産業機器等に搭載されるプリプレグのマトリックス樹脂、ビルドアップ積層板材料、繊維強化プラスチック用樹脂、液晶表示パネルの封止用樹脂、塗料、各種コーティング剤、接着剤、半導体用のコーティング剤、半導体リソグラフィー用のレジスト用樹脂、下層膜形成用樹脂、及び添加剤に有用に用いられる。機能性樹脂及び機能性硬化物は、これらの材料に用いられる場合、フィルム状、シート状の形態で用いられる。また、機能性樹脂及び機能性硬化物は、プラスチックレンズ（プリズムレンズ、レンチキュラーレンズ、マイクロレンズ、フレネルレンズ、視野角制御レンズ、コントラスト向上レンズ等）、位相差フィルム、電磁波シールド用フィルム、プリズム、光ファイバー、フレキシブルプリント配線用ソルダーレジスト、メッキレジスト、多層プリント配線板用層間絶縁膜、感光性光導波路等の部品等においても、有用に用いられる。
[式（１）で表される化合物]
　式（０）で表される化合物は、有機溶媒に対する溶解性がより一層向上する観点から、下記式（１）で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000051
　上記式（１）中、ＲＹは、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、及び置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基のいずれかであり、ＲＺは、炭素数１～６０のｎＡ価の基又は単結合であり、ＲＹ及びＲＺの炭素数の合計は、６９以下であり、Ｘ、Ｒ、ｎＡ、Ｒ１Ａ、及びｍは、前記と同義である。
　前記式（１）で表される化合物は、溶解性、及び耐熱性が一層向上するという観点から、下記式（１ａ－１）で表される化合物であることが好ましく、下記式（１ｂ－１）で表される化合物であることがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000052
　上記式（１ａ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000053
　上記式（１ｂ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義である。
　前記式（１）で表される化合物は、溶解性が一層向上するという観点から、下記式（１ａ－２）で表される化合物であることが好ましく、下記式（１ｂ－２）で表される化合物であることがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000054
　上記式（１ａ－２）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000055
　上記式（１ｂ－２）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義である。
[式（１ａ－２）で表される化合物]
　前記式（１ａ－２）で表される化合物は、溶解性が一層向上するという観点から、下記式（１ａ－３）で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000056
　上記式（１ａ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、ＲＹ’は、ＲＹから水素原子を除いたものを示す。
[式（１ｂ－２）で表される化合物]
　前記式（１ｂ－２）で表される化合物は、膜形成時の流動性が一層向上するという観点から、下記式（１ｂ－３）で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000057
　上記式（１ｂ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、Ｒ２Ａ’は、置換基を有していてもよい炭素数５以上の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基を示す。
（１．ＲＹ）
　ＲＹは、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、及び置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基のいずれかを示す。置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられ、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から好ましいアルキル基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、好ましいアルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が挙げられ、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、好ましいアリール基としては、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、好ましいアリール基として例示したアリール基が挙げられる。これらの中でも、ＲＹは、水素原子、又は置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基であることが好ましく、水素原子、又はフェニル基であることがより好ましい。
（２．ＲＺ）
　ＲＺは、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、炭素数１～６０のｎＡ価の基であることが好ましい。炭素数１～６０のｎＡ価の基としては、例えば、（１－１－１ｂ．ＲＸ２）において例示したｎＡ価の基が挙げられ、好ましい基としては、（１－１－１ｂ．ＲＸ２）において好ましいｎＡ価の基として例示したｎＡ価の基が挙げられる。
[式（２）または（２）’で表される化合物（（ポリ）イミド化合物類）]
　式（１）で表される化合物は、膜形成能がより一層向上する観点から、下記式（２）または（２）’で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000058
　式（２）及び（２）’中、Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかであり、ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、ＲＹ、ＲＺ、Ｘ、Ｒ、及びｎＡは、前記と同義である。
（１．Ｒ３Ａ）
　Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかを示す。置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が挙げられる。置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基としては、例えば、（２．Ｒ１Ａ）において、架橋基として例示した架橋基が挙げられる。置換基を有してもよい炭素数１～３０のアルコキシ基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルコキシ基として例示したアルコキシ基が挙げられる。
　Ｒ３Ａは、これらの中でも、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状又は分岐状のアルキル基、及び置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基であることが好ましい。置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状又は分岐状アルキル基としては、[式（０）で表される化合物]の（２．Ｒ１Ａ）において、好ましい置換基を有していてもよいアルキル基として例示したアルキル基であることが好ましい。置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基としては、（２．Ｒ１Ａ）において、好ましい置換基を有していてもよいアリール基として例示したアリール基であることが好ましい。
（２．ｍ６Ａ）
　ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、０～３の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましい。
（３．Ｘ）
　式（２）または（２）’で表される化合物は、Ｘは、酸素原子又は硫黄原子であり、Ｘは存在していなくてもよい。
[式（３）または（３）’で表される化合物（（ポリ）アミック酸類）]
　式（１）で表される化合物は、膜形成能がより一層向上する観点から、下記式（３）または（３）’で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000059
　式（３）及び（３）’中、Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかであり、Ｒ４Ａは、各々独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、及び置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基のいずれかであり、Ｒ４Ａが、前記アルキル基、前記アリール基、及び前記架橋基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、ＲＹ、ＲＺ、Ｘ、Ｒ、及びｎＡは、前記と同義である。
（１．Ｒ３Ａ）
　Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかを示す。置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が挙げられる。置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基としては、例えば、（２．Ｒ１Ａ）において、架橋基として例示した架橋基が挙げられる。置換基を有してもよい炭素数１～３０のアルコキシ基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルコキシ基として例示したアルコキシ基が挙げられる。
　Ｒ３Ａは、これらの中でも、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状又は分岐状のアルキル基、及び置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基であることが好ましい。置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状又は分岐状アルキル基としては、[式（０）で表される化合物]の（２．Ｒ１Ａ）において、好ましい置換基を有していてもよいアルキル基として例示したアルキル基であることが好ましい。置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基としては、（２．Ｒ１Ａ）において、好ましい置換基を有していてもよいアリール基として例示したアリール基であることが好ましい。
（２．ｍ６Ａ）
　ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、本発明の作用効果をより有効かつ確実に奏する観点から、０～３の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましい。
（３．Ｘ）
　式（３）または（３）’で表される化合物は、Ｘは、酸素原子又は硫黄原子であり、Ｘは存在していなくてもよい。
　本実施形態の代表的な（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類としては、式（ｐ１）～（ｐ７２）で表される（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000060
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000061
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000062
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000063
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000064
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000065
　本実施形態の別の代表的な（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類としては、式（ｐ７３）～（ｐ５０４）で表される（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類が挙げられる。
　ここで、式（ｐ７３）～式（ｐ５０４）において、ＲＡは、それぞれ独立して、水素原子、式（Ａ１）、式（Ａ２）、式（Ａ３）、式（Ａ４）のいずれかを示し、ＲＡの少なくとも１つは、式（Ａ１）、式（Ａ２）、式（Ａ３）、式（Ａ４）のいずれかである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000066
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000067
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000068
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000069
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000070
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000071
　上記式中、Ｒ４としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ４の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000072
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000073
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000074
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000075
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000076
　Ｒ５としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ５の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000077
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000078
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000079
　Ｒ６としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ６の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000080
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000081
　Ｒ７としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ７の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000082
　Ｒ８としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ８の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000083
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000084
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000085
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000086
　Ｒ９としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ９の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000087
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000088
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000089
　Ｒ１０としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１０の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000090
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000091
　Ｒ１１としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１１の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000092
　Ｒ１２又はＲ１３としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１２又はＲ１３の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000093
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000094
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000095
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000096
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000097
　Ｒ１４としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１４の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000098
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000099
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000100
　Ｒ１５としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１５の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000101
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000102
　Ｒ１６としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１６の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000103
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000104
　Ｒ１７としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１７の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000105
　Ｒ１８としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリアコンチル基、ノルボニル基、アダマンチル基、ナフチル基、アントラセン基、ヘプタセン基、トリアコンテニル基、メトキシ基、エトキシ基、トリアコンチキシ基などが挙げられ、各例示は、異性体を含んでいる。例えば、ブチル基には、ｎ－ブチル基、イソブチル基、sｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基が含まれる。Ｒ１８の数は１以上であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000106
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000107
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000108
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000109
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000110
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000111
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000112
　上記式中、Ｒｘとしては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリアコンチル基などの１価のアルキル基から水素原子を１つ取り除いた２価のアルキレン基、及びシクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル、シクロデシル、シクロウンデシル、シクロドデシル、シクロトリアコンチル、ノルボニル、アダマンチルなどの脂環構造を有する１価の基から水素原子を１つ取り除いた２価の基が挙げられる。
　式（１）で表される化合物は、構造体形成能がより一層優れるという観点から、下記式（ＭＩＢｉＡ－１～３４）及び（ＭＡＢｉＡ－１～３４）で表される化合物のいずれかであることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000113
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000114
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000115
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000116
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000117
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000118
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000119
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000120
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000121
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000122
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000123
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000124
［式（１）で表される化合物（（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類）］
　本実施形態の式（０）、式（１）、式（２）、式（３）のいずれかで表される化合物の製造方法は、反応原料として、アニリン類と、アルデヒド類及び／又はケトン類とを酸触媒下で重縮合反応させる工程（重縮合工程）を含む。より詳細な重縮合反応の方法としては、例えば、Ｔｅｔｒａｈｅｄｒｏｎ　Ｌｅｔｔｅｒｓ；Ｖｏｌ．４６（２００５）；ｐ．１１１９－１１２２に記載された方法などが参照できる。重縮合工程は、例えば、常圧の下で行ってもよい。
[重縮合工程]
　以下、重縮合工程について説明する。
（１．アニリン類）
　前記アニリン類としては、下記式（０－ａ）で表されるアニリン類が挙げられ、下記式（１－ｂ）で表されるアニリン類であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000125
　上記式中、Ｒ１Ａ，ｍ，及びＲは、それぞれ、式（０）中のＲ１Ａ，ｍ，及びＲと同義である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000126
　上記式中、Ｒ４Ａは、各々独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、及び置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基のいずれかであり、Ｒ４Ａが、前記アルキル基、前記アリール基、及び前記架橋基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、Ｒ３Ａ，ｍ６Ａ，及びＲは、それぞれ、式（１）中のＲ３Ａ，ｍ６Ａ，及びＲと同義である。前記アルキル基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。前記アリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が挙げられる。前記架橋基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、架橋基として例示した架橋基が挙げられる。
　アニリン類としては、置換基を有しても良い芳香族アミン及び／又はその誘導体が挙げられる。具体的なアニリン類としては、アニリン、トルイジン、トリメチルアニリン、アニシジン、ヒドロキシフェニルアミン、フェニルアニリン、ビフェニルジアミン、（トリフルオロメチル）アニリン、アミノフェノール、ナフチルアミン、ジメチルアミノベンゼン、及びアセトアニリドが挙げられる。置換基の位置は、特に限定されず、２位、３位、４位、５位、及び６位のいずれかであってもよく、置換基は１つであってもよく、複数であってもよい。これらのアニリン類は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、アニリン、ジメチルアミノベンゼン、及びアミノフェノールのいずれかを用いることが、原料の安定供給性の観点から好ましい。
（２．アルデヒド類）
　前記アルデヒド類としては、例えば、下記式（０－ｂ）で表される化合物が挙げられ、下記式（３－ａ）で表される化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000127
　上記式中、Ｒｚ及びｎＡは、式（０）におけるＲｚ及びｎＡと同義である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000128
　上記式中、Ｒ３Ａ’は、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有していてもよいアミノ基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、及び置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基のいずれかであり、Ｒ１は、各々独立して、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環のいずれかを示し、ｎＡは、式（１）におけるｎＡと同義である。前記アルキル基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アルキル基として例示したアルキル基が挙げられる。前記アリール基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、アリール基として例示したアリール基が挙げられる。前記架橋基としては、例えば、（１－１－１ａ．ＲＸ１）において、架橋基として例示した架橋基が挙げられる。
　具体的なホルムアルデヒド類としては、ホルムアルデヒド、トリオキサン、パラホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピルアルデヒド、フェニルアセトアルデヒド、フェニルプロピルアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、クロロベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、メチルベンズアルデヒド、ジメチルベンズアルデヒド、エチルベンズアルデヒド、プロピルベンズアルデヒド、ブチルベンズアルデヒド、フルオロベンズアルデヒド、ビフェニルアルデヒド、ナフトアルデヒド、アントラセンカルボアルデヒド、フェナントレンカルボアルデヒド、ピレンカルボアルデヒド、及びフルフラールが挙げられる。これらのホルムアルデヒド類は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、ベンズアルデヒド、フェニルアセトアルデヒド、フェニルプロピルアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、クロロベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、メチルベンズアルデヒド、エチルベンズアルデヒド、ブチルベンズアルデヒド、シクロヘキシルベンズアルデヒド、ビフェニルアルデヒド、ナフトアルデヒド、アントラセンカルボアルデヒド、フェナントレンカルボアルデヒド、ピレンカルボアルデヒド、及びフルフラールからなる群より選択される少なくとも１種を用いることが、得られる（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類により一層高い耐熱性を付与できる観点から好ましく、ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、クロロベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、メチルベンズアルデヒド、エチルベンズアルデヒド、ブチルベンズアルデヒド、シクロヘキシルベンズアルデヒド、ビフェニルアルデヒド、ナフトアルデヒド、アントラセンカルボアルデヒド、フェナントレンカルボアルデヒド、ピレンカルボアルデヒド、及びフルフラールからなる群より選択される少なくとも１種を用いることが、得られる（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類により一層高いエッチング耐性を付与できる観点から好ましい。また、芳香環を有するアルデヒドを用いると、得られる（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類により一層高い耐熱性及び屈折率を付与できる観点から好ましい。
（３．ケトン類）
　前記ケトン類としては、例えば、下記式（０－ｃ）で表されるケトン類が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000129
　上記式中、ＲＹ，ＲＺ，及びｎＡは、それぞれ、式（２）におけるＲＹ，ＲＺ，及びｎＡと同義である。
　前記ケトン類としては、例えば、下記式（ｃｙ１－ｃ），（ｃｙ２－ｃ），（ｃｙ３－ｃ），（ｃｙ４－ｃ）で表されるケトン類であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000130
　上記式中、ｃｙ１，ｃｙ２，ｃｙ３，及びｃｙ４は、前記式（ｃｙ１），（ｃｙ２），（ｃｙ３），及び（ｃｙ４）中のｃｙ１，ｃｙ２，ｃｙ３，及びｃｙ４と同義である。
　具体的なケトン類としては、アセトン、メチルエチルケトン、シクロブタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、ノルボルナノン、トリシクロヘキサノン、トリシクロデカノン、アダマンタノン、フルオレノン、ベンゾフルオレノン、アセナフテンキノン、アセナフテノン、アントラキノン、アセトフェノン、ジアセチルベンゼン、トリアセチルベンゼン、アセトナフトン、ジフェニルカルボニルナフタレン、フェニルカルボニルビフェニル、ジフェニルカルボニルビフェニル、ベンゾフェノン、ジフェニルカルボニルベンゼン、トリフェニルカルボニルベンゼン、ベンゾナフトン、ジフェニルカルボニルナフタレン、フェニルカルボニルビフェニル、及びジフェニルカルボニルビフェニルが挙げられる。これらのケトン類は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中でも、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、ノルボルナノン、トリシクロヘキサノン、トリシクロデカノン、アダマンタノン、フルオレノン、ベンゾフルオレノン、アセナフテンキノン、アセナフテノン、アントラキノン、アセトフェノン、ジアセチルベンゼン、トリアセチルベンゼン、アセトナフトン、ジフェニルカルボニルナフタレン、フェニルカルボニルビフェニル、ジフェニルカルボニルビフェニル、ベンゾフェノン、ジフェニルカルボニルベンゼン、トリフェニルカルボニルベンゼン、ベンゾナフトン、ジフェニルカルボニルナフタレン、フェニルカルボニルビフェニル、及びジフェニルカルボニルビフェニルからなる群より選択される少なくとも１種を用いることが、得られる（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類により一層高い耐熱性を付与できる観点から好ましく、アセトフェノン、ジアセチルベンゼン、トリアセチルベンゼン、アセトナフトン、ジフェニルカルボニルナフタレン、フェニルカルボニルビフェニル、ジフェニルカルボニルビフェニル、ベンゾフェノン、ジフェニルカルボニルベンゼン、トリフェニルカルボニルベンゼン、ベンゾナフトン、ジフェニルカルボニルナフタレン、フェニルカルボニルビフェニル、及びジフェニルカルボニルビフェニルからなる群より選択される少なくとも１種を用いることが、得られる（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類により一層高いエッチング耐性を付与できる観点から好ましい。また、芳香環を有するケトンを用いると、得られる（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類により一層高い耐熱性及び屈折率を付与できる観点から好ましい。
（４．酸触媒）
　酸触媒としては、公知のものを用いることができ、無機酸、有機酸が挙げられる。無機酸としては、例えば、塩酸、硫酸、リン酸、臭化水素酸、及びフッ酸が挙げられる。有機酸としては、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、クエン酸、フマル酸、マレイン酸、蟻酸、ｐ－トルエンスルホン酸、メタンスルホン酸、トリフルオロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、及びナフタレンジスルホン酸が挙げられる。また、酸触媒としては、塩化亜鉛、塩化アルミニウム、塩化鉄、三フッ化ホウ素等のルイス酸、ケイタングステン酸、リンタングステン酸、ケイモリブデン酸、リンモリブデン酸などの固体酸であってもよい。これらの中でも、製造上の観点（入手容易性及び取扱い性の観点）から、有機酸及び固体酸であることが好ましく、塩酸又は硫酸であることがより好ましい。酸触媒は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。酸触媒の使用量は、使用する原料及び触媒の種類、さらには反応条件などに応じて適宜設定でき、例えば、反応原料全体の１００質量部に対して、０．０１～１００質量部程度であればよい。
（５．反応溶媒）
　重縮合工程では、溶媒中で反応原料を反応させてもよい。溶媒としては、反応原料として用いる、アニリン類と、アルデヒド類及び／又はケトン類との反応が十分に進行可能な溶媒であればよい。溶媒としては、例えば、水、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル又はこれらの混合溶媒等が例示される。溶媒は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
　溶媒の使用量は、使用する原料及び触媒の種類、さらには反応条件などに応じて適宜設定でき、例えば、反応原料全体の１００質量部に対して、０～２０００質量部程度であればよい。
　重縮合反応における反応温度は、反応原料の反応性に応じて適宜選択できるが、通常、１０～２００℃の範囲程度であればよい。本実施形態の（ポリ）アミン化合物を得るためには、反応温度は高い方が好ましく、具体的には６０～２００℃の範囲であることが好ましい。
　重縮合工程において、アニリン類、アルデヒド類及び／又はケトン類並びに触媒を一括で仕込んで反応させてもよく、アニリン類、アルデヒド類及び／又はケトン類を触媒存在下で順次滴下して反応させてもよい。重縮合反応終了後、得られた化合物を公知の方法で単離してもよい。例えば、系内に存在する未反応原料及び触媒を除去するために、反応釜の温度を１３０～２３０℃ にまで上昇させ、１～５０ｍｍＨｇ程度で揮発分を除去することにより、（ポリ）アミン化合物が得られる。
　アルデヒド類及び／又はケトン類１．０モルに対し、アニリン類の添加量を１．０モル以上添加し、かつ酸触媒を０．００１～１モルの範囲で添加することが好ましい。また、常圧下で、反応温度が５０～１５０℃であり、反応時間が２０分～１００時間程度であることが好ましい。
　反応終了後、公知の方法により（ポリ）アミン化合物を単離してもよい。単離方法としては、例えば、まず、反応液を濃縮し、純水を加えて反応生成物を析出させる。次に、析出させた反応生成物を室温まで冷却した後、濾過により分離させる。分離して得られた固形物をさらに濾過し、乾燥させる。乾燥した反応生成物をカラムクロマトにより、生成物と副生成物とに分離精製する。さらに分離精製した反応生成物を溶媒留去し、濾過し、さらに乾燥を行うことにより目的物である本実施形態の（ポリ）アミン化合物が得られる。
　本実施形態の（ポリ）マレアミック酸、もしくは（ポリ）シトラコンアミック酸の製造方法は、さらに重縮合工程で得られた（ポリ）アミン化合物と無水マレイン酸、もしくは無水シトラコン酸とを、有機溶媒中で反応させることにより製造することができる。
　有機溶媒としては、例えば、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルメトキシアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルメトキシアセトアミド、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ－メチルカプロラクタム、１，２－ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，３－ジオキサン、１，４－ジオキサン、ピリジン、ピコリン、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、テトラメチル尿素、酢酸エチル、酢酸メチル、２－ブタノン、トルエン、キシレン、メシチレン等を挙げることができる。これらの有機溶媒は、単独でまたは２種以上混合して使用することができる。反応原料の濃度としては、通常２～５０ｗｔ％、好ましくは５～３０ｗｔ％であり、反応温度は、通常、６０℃以下、好ましくは５０℃以下である。反応圧力は特に限定されず、通常、常圧で実施することができる。また、反応時間は、通常、０．５～２４時間である。このような反応により、本発明の（ポリ）アミック酸類を得ることができる。
　本実施形態の（ポリ）マレイミド化合物、もしくは（ポリ）シトラコンイミド化合物の製造方法は、（ポリ）マレアミック酸、もしくは（ポリ）シトラコンアミック酸を脱水閉環してイミド化することにより製造することができる。前記イミド化の方法としては、無水酢酸などの脱水剤と触媒を添加する方法（例えば、特開平４－２６１４１１）、あるいは酸触媒存在下でトルエンやキシレンなどの芳香族炭化水素系の溶媒中で加熱し、脱水環化することによりイミド化する方法（例えば、特開平７－１１８２３０）など、公知の反応を利用することができるが、これらの方法に限定されるものではない。
　前記の脱水剤を添加するイミド化反応の溶媒としては、例えば、ぎ酸ブチル、ぎ酸イソブチル、ぎ酸ｔ－ブチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸ｔ－ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル等の脂肪酸エステル類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類等が挙げられるが、本発明のビスマレアミック酸が溶解する溶媒であれば、これらに限定されることはない。また、これらの反応溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
　脱水剤として用いるカルボン酸無水物は経済的理由により事実上無水酢酸に限られるが、特に限定する必要はない。また、脱水閉環反応に用いる触媒としては、アルカリ金属（好ましくはナトリウム、カリウム、リチウム）の炭酸塩、炭酸水素塩、硫酸塩、硝酸塩、燐酸塩、酢酸塩、蟻酸塩、高級脂肪酸塩、またはニッケル、コバルト、マンガンなどの遷移金属の塩、ハロゲン化物などが用いられるが、酢酸カリウムが好ましい。脱水剤および触媒の合計添加量は、アミック酸基1モルに対し０．１～４．０モルが好ましい。更に、必要に応じて、脱水閉環反応においては反応の促進を目的に第三級アミンやピリジン誘導体を適宜くわえることができる。これの例としては、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリフェニルアミン、ピリジン、メチルピリジン、２，６－ジメチルピリジンなどが挙げられる。また、反応促進剤の添加量は、アミック酸基１モルあたり０．１～２．０モル程度である。反応温度は０～６０℃、好ましくは１０～４０℃であり、０．５～１００時間反応させることにより実施される。
　前記の酸触媒存在下で加熱するイミド化反応の溶媒としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素系の溶媒が挙げられ、必要に応じて、Ｎ,Ｎ-ジメチルホルムアミド、Ｎ,Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、ジメチルスルホキシド等の非プロトン性極性溶媒を添加してもよい。反応溶媒中の非プロトン性極性溶媒の使用量は、０．０５～２０重量%、好ましくは１～３０重量%であり、１００～２００℃の温度範囲で生成する水を共沸除去しながら脱水環化しビスマレイミドを得る。
　脱水環化反応に用いる酸触媒としては、リン酸、ポリリン酸、硫酸、p-トルエンスルホン酸等が挙げられる。これらの酸触媒の使用量は、アミック酸基１モルあたり０．００１～０．１モル、好ましくは０．００５～０．０５モルの範囲である。
　また、前述の（ポリ）アミンと無水マレイン酸、もしくは無水シトラコン酸を反応させて得られる（ポリ）マレアミック酸、もしくは（ポリ）シトラコン酸を単離した後にイミド化反応を行う方法、あるいはビスマレアアミック酸を単離せずにそのままイミド化反応を行う方法、いずれも用いることができる。
[樹脂]
　本実施形態の樹脂は、本実施形態の化合物（（ポリ）マレイミド化合物又は（ポリ）シトラコンイミド化合物、（ポリ）マレアミック酸、（ポリ）シトラコンアミック酸）由来のモノマー単位を含む。本実施形態の樹脂は、本実施形態の前記モノマー単位を含むことにより、優れた構造体形成能（例えば、膜形成能）、耐熱性及び溶解性を有する。
　本実施形態の樹脂は、本実施形態の前記モノマー単位のみで構成されてもよく、化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）と共重合可能なその他のモノマー単位を含んでもよく、架橋反応性を有する化合物由来の単位を含んでもよい。
　本実施形態の樹脂を構成するモノマー単位は、例えば、下記式（４）が挙げられる。有機溶媒に対する溶解性がより一層向上する観点から、ＸがＯ（酸素）であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000131
　上記式（４）中、Ｌは、炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状の連結基又は単結合である。ＲX、Ｒ１Ａ、Ｘ、Ｒ、ｍ、及びｎＡは前記と同義である。
　Ｌが連結基である場合、連結基としては、本実施形態の（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸をオリゴマー化又はポリマー化可能な化合物由来の基（残基）が挙げられる。オリゴマー化又はポリマー化可能な化合物由来の基については後述する。
 
[式（４）で表されるモノマー単位]
　上記式（４）で表される樹脂を構成するモノマー単位は、溶解性及び耐熱性が一層向上するという観点から、下記式（４ａ－１）で表されるモノマー単位であることが好ましく、下記式（４ｂ－１）で表されるモノマー単位であることがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000132
　上記式（４ａ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、ＲＹ、及びＬは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000133
　上記式（４ｂ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義である。
　上記式（４）で表される樹脂を構成するモノマー単位は、溶解性が一層向上するという観点から、下記式（４ａ－２）で表されるモノマー単位であることが好ましく、下記式（４ｂ－２）で表されるモノマー単位であることがより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000134
　上記式（４ａ－２）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子）のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000135
　上記式（４ｂ－２）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義である。
[式（４ａ－３）で表されるモノマー単位]
　前記式（４ａ－２）で表されるモノマー単位は、溶解性が一層向上するという観点から、下記式（４ａ－３）で表されるモノマー単位であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000136
　上記式（４ａ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、ＲＹ’は、ＲＹから水素原子を除いたものである。
[式（４ｂ－３）で表されるモノマー単位]
　前記式（４ｂ－２）で表されるモノマー単位は、膜形成時の流動性が一層向上するという観点から、下記式（４ｂ－３）で表されるモノマー単位であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000137
　上記式（４ｂ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、Ｒ２Ａ’は、置換基を有していてもよい炭素数５以上の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基を示す。
［本実施形態の樹脂の製造方法］
　本実施形態の樹脂は、本実施形態の化合物と、必要に応じて、架橋反応性のある化合物とを反応させることにより得られる。
　架橋反応性のある化合物としては、本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）をオリゴマー化又はポリマー化可能な化合物であれば、特に限定されない。その具体例としては、例えば、アルデヒド、ケトン、カルボン酸、カルボン酸無水物、カルボン酸ハライド、ハロゲン含有化合物、イソシアネート、不飽和炭化水素基含有化合物等が挙げられる。式（４）において、Ｌが連結基である場合、連結基は、これらの化合物由来の基に対応する。
　本実施形態の樹脂の具体例としては、例えば、本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）と、架橋反応性のある化合物であるアルデヒド類及び／又はケトン類とを縮合反応等により、ノボラック化した樹脂が挙げられる。
　ここで、ノボラック化するためのアルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、トリオキサン、パラホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピルアルデヒド、フェニルアセトアルデヒド、フェニルプロピルアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、クロロベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、メチルベンズアルデヒド、エチルベンズアルデヒド、ブチルベンズアルデヒド、ビフェニルアルデヒド、ナフトアルデヒド、アントラセンカルボアルデヒド、フェナントレンカルボアルデヒド、ピレンカルボアルデヒド、及びフルフラールが挙げられる。ノボラック化するためのケトン類としては、例えば、反応原料として例示したケトン類が挙げられる。これらの中でも、ホルムアルデヒド類が好ましい。なお、これらのアルデヒド類及び／又はケトン類は、１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。また、上記アルデヒド及び／又はケトン類の使用量は、特に限定されないが、本実施形態の（ポリ）アミン化合物１モルに対して、０．２～５モルが好ましく、０．５～２モルであることがより好ましい。
　本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）とアルデヒド及び／又はケトンとの縮合反応において、触媒を用いることもできる。ここで使用する酸触媒は、縮合工程の項で例示した酸触媒が挙げられる。
　また、酸触媒の使用量は、使用する原料及び触媒の種類、さらには反応条件などに応じて適宜設定できる。酸触媒の使用量は、反応原料１００質量部に対して、０．０１～１００質量部であることが好ましい。
　本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）を、インデン、ヒドロキシインデン、ベンゾフラン、ヒドロキシアントラセン、アセナフチレン、ビフェニル、ビスフェノール、トリスフェノール、ジシクロペンタジエン、テトラヒドロインデン、４－ビニルシクロヘキセン、ノルボルナジエン、５－ビニルノルボルナ－２－エン、α－ピネン、β－ピネン、リモネンなどの非共役二重結合を有する化合物と共重合反応させる場合は、必ずしもアルデヒド類及び／又はケトン類は必要ない。
　本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）とアルデヒド及び／又はケトンとの縮合反応において、反応溶媒を用いることもできる。反応溶媒としては、重縮合工程に項で例示した反応溶媒が例示できる。
　また、溶媒の使用量、反応温度、反応時間、反応後の単離方法などもまた重縮合工程の項で例示した溶媒の使用量、反応温度、反応時間、反応後の単離方法が例示できる。
　本実施形態の樹脂は、本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）の単独重合体、すなわち式（４）単独で構成された重合体であってもよいが、（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類と共重合可能な化合物（例えば、フェノール類）との共重合体であってもよい。ここで共重合可能なフェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、ジメチルフェノール、トリメチルフェノール、ブチルフェノール、フェニルフェノール、ジフェニルフェノール、ナフチルフェノール、レゾルシノール、メチルレゾルシノール、カテコール、ブチルカテコール、メトキシフェノール、メトキシフェノール、プロピルフェノール、ピロガロール、及びチモール等が挙げる。
　本実施形態の樹脂は、上述した他のフェノール類以外に、重合可能なモノマーと共重合させてもよい。共重合モノマーとしては、例えば、ナフトール、メチルナフトール、メトキシナフトール、ジヒドロキシナフタレン、インデン、ヒドロキシインデン、ベンゾフラン、ヒドロキシアントラセン、アセナフチレン、ビフェニル、ビスフェノール、トリスフェノール、ジシクロペンタジエン、テトラヒドロインデン、４－ビニルシクロヘキセン、ノルボルナジエン、ビニルノルボルナエン、ピネン、及びリモネンが挙げられる。なお、本実施形態の樹脂は、本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）と、上述したフェノール類との２元系以上の（例えば、２～４元系）共重合体であってもよい。本実施形態の（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類と、上述した共重合モノマーとの２元以上（例えば、２～４元系）共重合体であってもよい。本実施形態の（ポリ）イミド化合物類または（ポリ）アミック酸類と、上述したフェノール類と、上述した共重合モノマーとの３元以上の（例えば、３～４元系）共重合体であってもよい。
　本実施形態の樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、ポリスチレン換算で５００～３００，０００であることが好ましく、７５０～２００，０００であることがより好ましい。また、架橋効率を高めるとともにベーク中の揮発成分を抑制する観点から、本実施形態の樹脂は、分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）が１．２～７の範囲内であることが好ましい。
　本実施形態の樹脂は、湿式プロセスの適用がより容易になる等の観点から、溶媒に対する溶解性が高いことが好ましい。より具体的には、これらの（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類及び／又は樹脂は、１－メトキシ－２－プロパノール（ＰＧＭＥ）及び／又はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を溶媒とする場合、当該溶媒に対する溶解度が１０質量％以上であることが好ましい。ここで、ＰＧＭＥ及び／又はＰＧＭＥＡに対する溶解度は、「樹脂の質量÷（樹脂の質量＋溶媒の質量）×１００（質量％）」と定義される。例えば、前記樹脂１０ｇがＰＧＭＥＡ９０ｇに対して溶解する場合は、前記樹脂のＰＧＭＥＡに対する溶解度は、「１０質量％以上」となり、溶解しない場合は、「１０質量％未満」となる。
［組成物］
　本実施形態の組成物について説明する。組成物は、上述した本実施形態の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）及び／又は樹脂の１種又は２種以上を含有する。組成物には、公知のエポキシ樹脂、オキセタン樹脂、重合可能な不飽和基を有する化合物、シアン酸エステル化合物、ベンゾオキサジン樹脂、光及び／又は熱重合開始剤、光増感剤、硬化剤等を添加することも可能である。
　エポキシ樹脂としては、一般に公知のものが使用できる。例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、キシレンノボラック型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、脂環式エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、特開２００３－１５５３４０、特開２００３－２１２９９０に示されるＰＰＥ骨格を有するエポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は１種あるいは２種以上混合して用いられる。
　オキセタン樹脂としては、一般に公知のものが使用できる。例えば、オキセタン、２－メチルオキセタン、２，２－ジメチルオキセタン、３－メチルオキセタン、３，３－ジメチルオキセタン、等のアルキルオキセタン、３－メチル－３－メトキシメチルオキセタン、３，３’－ジ（トリフルオロメチル）パーフルオロオキセタン、２－クロロメチルオキセタン、３，３－ビス（クロロメチル）オキセタン、ＯＸＴ－１０１（東亞合成製商品名）、ＯＸＴ－１２１（東亞合成製商品名）等が挙げられる。これらのオキセタン樹脂は１種あるいは２種以上混合して用いられる。
　本実施形態の組成物にエポキシ樹脂及び／又はオキセタン樹脂を使用する場合にはエポキシ樹脂硬化剤および／またはオキセタン樹脂硬化剤を使用することができる。該エポキシ樹脂硬化剤としては、一般に公知のものが使用でき、例えば、２－メチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、４－メチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、ホスフィン系はホスホニウム系のリン化合物を挙げることができる。該オキセタン樹脂硬化剤としては公知のカチオン重合開始剤が使用できる。例えば、市販のものではサンエードＳＩ－６０Ｌ、サンエードＳＩ－８０Ｌ、サンエードＳＩ－１００Ｌ（三新化学工業製）、ＣＩ－２０６４（日本曹達製）、イルガキュア２６１（チバスペシャリティーケミカル製）、アデカオプトマーＳＰ－１７０、アデカオプトマーＳＰ－１５０（旭電化製）、サイラキュアーＵＶＩ－６９９０（ＵＣＣ製）等が挙げられる。カチオン重合開始剤はエポキシ樹脂硬化剤としても使用できる。これらの硬化剤は１種あるいは２種以上組み合わせて使用される。
　重合可能な不飽和基を有する化合物としては、一般に公知のものが使用できる。例えば、エチレン、プロピレン、スチレン、特開２００４－５９６４４に示されるＰＰＥ骨格を有するビニル化合物等のビニル化合物、メチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の１価または多価アルコールの（メタ）アクリレート類、ビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、特開２００３－１８３３５０、特開２００３－２３８６５３に示されるＰＰＥ骨格を有するエポキシ（メタ）アクリレート等のエポキシ（メタ）アクリレート類、特開２００３－２５２９８３、特開２００３－２５２８３３に示されるＰＰＥ骨格を有する（メタ）クリレート、ベンゾシクロブテン樹脂、トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ）、シアヌル酸トリアリル（ＴＡＣ）等が挙げられる。これらの不飽和基を有する化合物は１種あるいは２種以上混合して用いられる。
　シアン酸エステル化合物としては、一般に公知のものが使用できる。例えば、ビスフェノールＡジシアン酸エステル、ビスフェノールＦジシアン酸エステル、ビスフェノールＭジシアン酸エステル、ビスフェノールＰジシアン酸エステル、ビスフェノールＥジシアン酸エステル、フェノールノボラック型シアン酸エステル、クレゾールノボラック型シアン酸エステル、ジシクロペンタジエンノボラック型シアン酸エステル、テトラメチルビスフェノールＦジシアン酸エステル、ビフェノールジシアン酸エステル、特開２００６－３２８２８６号公報に示されるシアン酸エステル等が挙げられる。これらのシアン酸エステル化合物は１種または２種以上混合して用いることができる。
　シアン酸エステル化合物を硬化させる際には、公知の硬化触媒を用いることができる。例えば、オクチル酸亜鉛、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ナフテン酸銅、アセチルアセトン鉄等の金属塩、フェノール、アルコール、アミン等の活性水酸基を有する化合物等が挙げられる。
　光重合開始剤としては、一般に公知のものが使用できる。例えば、ベンジル、ジアセチル等のα－ジケトン類、ベンゾイルエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類、チオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン類、ベンゾフェノン、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、アセトフェノン、２，２’－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、β－メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン類、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（－４－モルフォリノフェニル）－ブタノン－１等のアミノアセトフェノン類が挙げられる。これらの光重合開始剤は１種あるいは２種以上組み合わせて使用される。
　さらに、これらの光重合開始剤と公知の光増感剤の１種または２種以上を組み合わせて使用できる。該光増感剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、トリエタノールアミン、トリエチルアミン等を挙げることができる。
　熱重合開始剤としては、一般に公知のものが使用できる。例えば、ベンゾイルパーオキシド、パラクロロベンゾイルパーオキシド、２，４－ジクロロベンゾイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、ジクミルパーオキシド、アセチルパーオキシド、メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、ビス（１－ヒドロキシシクロヘキシルパーオキシド）、２，５－ジメチルヘキサン－２，５－ジヒドロキシパーオキシド、ｔ－ブチルパーベンゾエート、２，５－ジメチル－２，５－ジ（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５－ジメチル－２，５－（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキシン－３、２，５－ジメチルヘキシル－２，５－ジ（パーオキシベンゾエート）、クメンヒドロパーオキシド、ｔ－ブチルヒドロパーオキシド、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシオクテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ジベンジルパーオキシド、ジ－ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ジイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシカーボネート等の過酸化物、およびアゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物等が挙げられる。これらを１種あるいは２種以上組み合わせて使用される。
　重合開始剤の配合量としては、樹脂組成物１００重量部に対して、０．０１～１０重量部であるが、特に好ましくは０．１～５重量部である。また必要に応じて重合促進剤、遅延剤や各種顔料、充填剤等を加えてもよい。
　また、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ｔ－ブチルハイドロキノン、ｐ－ベンゾキノン、クロラニル、トリメチルキノン等のキノン類、芳香族ジオール類、銅塩類等の公知の重合禁止剤を硬化度の調整のために配合することができる。これらは単独または２種類以上混合して用いることができる。
　硬化剤としては、少なくともアミノ基を２個以上有するアミン系化合物が用いられ、アミノ基がビスマレイミド化合物のイミド環が有する二重結合とマイケル付加して重合反応が進行する。このようなアミン系化合物としては、例えば、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルフォン、フェニレンジアミン、キシレンジアミン等の芳香族ジアミン類や、これらのハロゲン化誘導体などが例示される。
　さらに本実施形態の組成物を製造する際には、必要に応じて、カップリング剤、熱可塑性樹脂、無機充填剤、着色顔料、消泡剤、表面調整剤、難燃剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、流動調整剤等の公知の添加剤を添加することができる。
　カップリング剤としては、例えば、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γメタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、β（３、４エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ－β（アミノエチル）γ－アミノプロピルメチルメトキシシラン、γ－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－フェニル－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン、γ－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ－クロロプロピルトリメトキシシラン等のシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、ジルコアルミネート系カップリング剤、シリコーン系カップリング剤、フッ素系カップリング剤等が挙げられる。これらは単独または２種類以上混合して用いることができる。
　熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリカーボネート、フェノキシ樹脂、ポリイソプレン、ポリエステル、ポリビニルブチラール、ポリブタジエン、等が挙げられる。
　無機充填剤としては、例えば、天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ等のシリカ類、ホワイトカーボン、チタンホワイト、アエロジル、アルミナ、タルク、天然マイカ、合成マイカ、カオリン、クレー、水酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム加熱処理品（水酸化アルミニウムを加熱処理し、結晶水の一部を減じたもの）、ベーマイト、水酸化マグネシウム等の金属水和物、硫酸バリウム、Ｅ－ガラス、Ａ－ガラス、ＮＥ－ガラス、Ｃ－ガラス、Ｌ－ガラス、Ｄ－ガラス、Ｓ－ガラス、Ｍ－ガラスＧ２０等が挙げられる。
　難燃剤としては、公知のものが使用できる。例えば、臭素化エポキシ樹脂、臭素化ポリカーボネート、臭素化ポリスチレン、臭素化スチレン、臭素化マレイミド、臭素化フタルイミド、テトラブロモビスフェノールＡ、ペンタベンジル（メタ）アクリレート、ペンタブロモトルエン、トリブロモフェノール、ヘキサブロモベンゼン、デカブロモジフェニルエーテル、ビス－１，２－ペンタブロモフェニルエタン、塩素化ポリスチレン、塩素化パラフィン等のハロゲン系難燃剤、赤リン、トリクレジルホスフェート、トリフェニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、トリアルキルホスフェート、ジアルキルホスフェート、トリス（クロロエチル）ホスフェート、ホスファゼン、１，３－フェニレンビス（２，６－ジキシレニルホスフェート）、１０－（２，５－ジヒドロキシフェニル）－１０Ｈ－９－オキサ－１０－ホスファフェナントレン－１０－オキサイド、等のリン系難燃剤、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ベーマイト、部分ベーマイト、ほう酸亜鉛、三酸化アンチモン等の無機系難燃剤、シリコーンゴム、シリコーンレジン等のシリコン系難燃剤が挙げられる。これらの難燃剤は単独で用いても、２種類以上を併用してもよい。
　酸化防止剤としては、公知のものが使用できる。たとえば、２，６－ジ－ｔ－ブチル－４－メチルフェノール、２，２’－メチレンビス（６－ｔ－ブチル－４－メチルフェノール）、Ｎ，Ｎ’－ヘキサン－１，６－ジイルビス［３－（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオンアミド］、２，６－ジ－ｔ－ブチル－４－（４，６－ビス（オクチルチオ）－１，３，５－トリアジン－２－イルアミノフェノール等のフェノール系酸化防止剤、アミン系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤が挙げられる。これらの酸化防止剤は単独で用いても、２種類以上を併用してもよい。
　本実施形態の組成物は、例えば、溶剤に溶解させて、これをガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリエステル不織布、炭素繊維等に含浸させた後で溶剤を乾燥除去したプリプレグとして、あるいは、これをポリカーボネートフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、銅箔、アルミ箔、ガラス板、SUS板等の基材に塗布した硬化性フィルムとして用いることができる。また溶剤に溶解させて、基材にスピンコート法により溶剤を乾燥除去させつつ塗布膜を得ることもできる。
　このようにして得られた組成物は、プリント配線板用絶縁材料、レジスト用樹脂、半導体パッケージ材料、半導体封止用樹脂、プリント配線板用接着剤、ビルドアップ積層板材料、繊維強化プラスチック用樹脂、液晶表示パネルの封止用樹脂、液晶のカラーフィルター用樹脂、塗料、各種コーティング剤、接着剤等の各種用途に有用である。
［硬化物］
　本実施形態の硬化物は、前述の方法で得られた本実施形態の組成物を、公知の方法、例えば、電子線、紫外線および熱による硬化方法に従って硬化することにより得られる。紫外線を用いて硬化を行う場合、紫外線の光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプあるいはメタルハライドランプ等が使用できる。熱により硬化させる場合、本発明の硬化性樹脂組成物を、溶融状態の温度範囲で金型等に充填後、所定の重合温度以上に昇温させ、架橋反応を進めることにより得られる。硬化温度としては１００～５００℃、硬化時間としては０．０１～５時間が好ましい。
［リソグラフィー用膜形成材料］
　本実施形態におけるリソグラフィー用膜形成材料は、上述した化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）及び／又は樹脂を含む。
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料は、湿式プロセスへの適用が可能である。また、本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料は、芳香族構造を有しており、また剛直なマレイミド骨格を有しているため、高温ベークによって、そのマレイミド基又はシトラコンイミド基、マレアミック酸基、シトラコンアミック酸基が架橋反応を起こし、単独でも高い耐熱性を発現する。その結果、高温ベーク時の膜の劣化が抑制され、酸素プラズマエッチング等に対するエッチング耐性に優れた下層膜を形成することができる。さらに、本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料は、芳香族構造を有しているにも関わらず、有機溶媒に対する溶解性が高く、安全溶媒に対する溶解性が高い。さらに、後述する本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物からなるリソグラフィー用下層膜は段差基板への埋め込み特性及び膜の平坦性に優れ、製品品質の安定性が良好であるだけでなく、レジスト層やレジスト中間層膜材料との密着性にも優れるので、優れたレジストパターンを得ることができる。
＜架橋剤＞
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料は、上述した本実施形態の化合物及び／又樹脂に加え、硬化温度の低下やインターミキシングを抑制する等の観点から、必要に応じて架橋剤を含有していてもよい。
　架橋剤としては本実施形態のマレイミド基又はシトラコンイミド基、マレアミック酸基シトラコンアミック酸基と架橋反応すれば特に限定されず、公知のいずれの架橋剤を適用できる。架橋剤の具体例としては、例えば、フェノール化合物、エポキシ化合物、シアネート化合物、アミノ化合物、ベンゾオキサジン化合物、アクリレート化合物、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物、ウレア化合物、イソシアネート化合物、アジド化合物等が挙げられるが、これらに特に限定されない。これらの架橋剤は、１種を単独で、或いは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でもベンゾオキサジン化合物、エポキシ化合物又はシアネート化合物が好ましく、エッチング耐性向上の観点から、ベンゾオキサジン化合物がより好ましい。
　マレイミド基又はシトラコンイミド基、マレアミック酸基、シトラコンアミック酸基との架橋反応では、例えば、これらの架橋剤が有する活性基（フェノール性水酸基、エポキシ基、シアネート基、アミノ基、又はベンゾオキサジンの脂環部位が開環してなるフェノール性水酸基）が、マレイミド基又はシトラコンイミド基、マレアミック酸基、シトラコンアミック酸基を構成する炭素－炭素二重結合と付加反応して架橋する他、本実施形態の化合物が有する２つの炭素－炭素二重結合が重合して架橋する。
　前記フェノール化合物としては、公知のものが使用できる。例えば、フェノール類としては、フェノールの他、クレゾール類、キシレノール類等のアルキルフェノール類、ヒドロキノン等の多価フェノール類、ナフトール類、ナフタレンジオール類等の多環フェノール類、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ等のビスフェノール類、あるいはフェノールノボラック、フェノールアラルキル樹脂等の多官能性フェノール化合物等が挙げられる。上記の中でも、耐熱性及び溶解性の観点から、フェノールアラルキル樹脂が好ましい。
　前記エポキシ化合物としては、公知のものが使用でき、１分子中にエポキシ基を２個以上有するものの中から選択される。エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、３，３'，５，５’－テトラメチル－ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳ、フルオレンビスフェノール、２，２'－ビフェノール、３，３'，５，５’－テトラメチル－４，４’－ジヒドロキシビフェノール、レゾルシン、ナフタレンジオール類等の２価のフェノール類のエポキシ化物、トリス－（４－ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，２，２－テトラキス（４－ヒドロキシフェニル）エタン、トリス（２，３－エポキシプロピル）イソシアヌレート、トリメチロールメタントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリエチロールエタントリグリシジルエーテル、フェノールノボラック、ｏ－クレゾールノボラック等の３価以上のフェノール類のエポキシ化物、ジシクロペンタジエンとフェノール類の共縮合樹脂のエポキシ化物、フェノール類とパラキシリレンジクロライド等から合成されるフェノールアラルキル樹脂類のエポキシ化物、フェノール類とビスクロロメチルビフェニル等から合成されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂のエポキシ化物、ナフトール類とパラキシリレンジクロライド等から合成されるナフトールアラルキル樹脂類のエポキシ化物等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、単独でもよいし、２種以上を併用してもよい。上記の中でも、耐熱性と溶解性の観点から、フェノールアラルキル樹脂類、ビフェニルアラルキル樹脂類から得られるエポキシ樹脂等の、常温で固体状のエポキシ樹脂が好ましい。
　前記シアネート化合物としては、１分子中に２個以上のシアネート基を有する化合物であれば特に制限なく、公知のものを使用することができる。シアネート化合物としては、例えば、国際公開２０１１／１０８５２４号に記載されているものが挙げられるが、中でも、１分子中に２個以上の水酸基を有する化合物の水酸基をシアネート基に置換した構造のものが好ましい。また、シアネート化合物は、芳香族基を有するものが好ましく、シアネート基が芳香族基に直結した構造のものを好適に使用することができる。このようなシアネート化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＭ、ビスフェノールＰ、ビスフェノールＥ、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ、ビスフェノールＡノボラック樹脂、臭素化ビスフェノールＡ、臭素化フェノールノボラック樹脂、３官能フェノール、４官能フェノール、ナフタレン型フェノール、ビフェニル型フェノール、フェノールアラルキル樹脂、ビフェニルアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、ジシクロペンタジエンアラルキル樹脂、脂環式フェノール、リン含有フェノール等の水酸基をシアネート基に置換した構造のものが挙げられる。これらのシアネート化合物は、単独で又は２種以上を適宜組み合わせて使用してもよい。また、上記したシアネート化合物は、モノマー、オリゴマー及び樹脂のいずれの形態であってもよい。
　前記アミノ化合物としては、ｍ－フェニレンジアミン、ｐ－フェニレンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルプロパン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，３’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、４，４’－ジアミノジフェニルスルフィド、３，４’－ジアミノジフェニルスルフィド、３，３’－ジアミノジフェニルスルフィド、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２－ビス［４－（３－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４'－ビス（３－アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４－（３－アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレン、９，９－ビス（４－アミノ－３－クロロフェニル）フルオレン、９，９－ビス（４－アミノ－３－フルオロフェニル）フルオレン、Ｏ－トリジン、ｍ－トリジン、４，４’－ジアミノベンズアニリド、２，２’－ビス（トリフルオロメチル）－４，４’－ジアミノビフェニル、４－アミノフェニル－４－アミノベンゾエート、２－（４－アミノフェニル）－６－アミノベンゾオキサゾール等が例示される。これらの中でも、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルプロパン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，４’－ジアミノジフェニルエーテル、３，３’－ジアミノジフェニルエーテル、４，４’－ジアミノジフェニルスルホン、３，３’－ジアミノジフェニルスルホン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２－ビス［４－（３－アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４'－ビス（３－アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４－（３－アミノフェノキシ）フェニル］エーテル等の芳香族アミン類、ジアミノシクロヘキサン、ジアミノジシクロヘキシルメタン、ジメチルジアミノジシクロヘキシルメタン、テトラメチルジアミノジシクロヘキシルメタン、ジアミノジシクロヘキシルプロパン、ジアミノビシクロ［２．２．１］ヘプタン、ビス（アミノメチル）－ビシクロ［２．２．１］ヘプタン、３（４），８（９）－ビス（アミノメチル）トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン、１，３－ビスアミノメチルシクロヘキサン、イソホロンジアミン等の脂環式アミン類、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン等の脂肪族アミン類等が挙げられる。
　前記ベンゾオキサジン化合物のオキサジンの構造は特に限定されず、ベンゾオキサジンやナフトオキサジン等の、縮合多環芳香族基を含む芳香族基を有するオキサジンの構造が挙げられる。
　ベンゾオキサジン化合物としては、例えば下記一般式（ａ）～（ｆ）で表される化合物が挙げられる。なお下記一般式において、環の中心に向けて表示されている結合は、環を構成しかつ置換基の結合が可能ないずれかの炭素に結合していることを示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000138
　一般式（ａ）～（ｃ）中、Ｒ１及びＲ２は、独立して炭素数１～３０の有機基を示す。また、一般式（ａ）～（ｆ）中、Ｒ３乃至Ｒ６は、独立して水素又は炭素数１～６の炭化水素基を示す。また前記一般式（ｃ）、（ｄ）及び（ｆ）中、Ｘは独立して、単結合、－Ｏ－、－Ｓ－、－Ｓ－Ｓ－、－ＳＯ２－、－ＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＮＨＣＯ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－Ｃ（ＣＦ３）２－、－（ＣＨ２）ｍ－、－Ｏ－（ＣＨ２）ｍ－Ｏ－、－Ｓ－（ＣＨ２）ｍ－Ｓ－を示す。ここでｍは１～６の整数である。また一般式（ｅ）及び（ｆ）中、Ｙは独立して、単結合、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－、－Ｃ（ＣＨ３）２－、－Ｃ（ＣＦ３）２－又は炭素数１～３のアルキレン基を示す。
　また、ベンゾオキサジン化合物には、オキサジン構造を側鎖に有するオリゴマーやポリマー、ベンゾオキサジン構造を主鎖中に有するオリゴマーやポリマーが含まれる。
　ベンゾオキサジン化合物は、国際公開２００４／００９７０８号、特開平１１－１２２５８号公報、特開２００４－３５２６７０号公報に記載の方法と同様の方法で製造することができる。
　前記メラミン化合物の具体例としては、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンの１～６個のメチロール基がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１～６個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物等が挙げられる。
　前記グアナミン化合物の具体例としては、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１～４個のメチロール基がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１～４個のメチロール基がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物等が挙げられる。
　前記グリコールウリル化合物の具体例としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１～４個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１～４個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物等が挙げられる。
　前記ウレア化合物の具体例としては、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１～４個のメチロール基がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルウレア等が挙げられる。
　また、本実施形態において、架橋性向上の観点から、少なくとも１つのアリル基を有する架橋剤を用いてもよい。少なくとも１つのアリル基を有する架橋剤の具体例としては、２，２－ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロ－２，２－ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）スルフィド、ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）エ－テル等のアリルフェノール類、２，２－ビス（３－アリル－４－シアナトフェニル）プロパン、１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロ－２，２－ビス（３－アリル－４－シアナトフェニル）プロパン、ビス（３－アリル－４－シアナトシフェニル）スルホン、ビス（３－アリル－４－シアナトフェニル）スルフィド、ビス（３－アリル－４－シアナトフェニル）エ－テル等のアリルシアネート類、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、トリアリルイソシアヌレート、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、ペンタエリスリトールアリルエーテル等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらの架橋剤は、単独でも、２種類以上の混合物であってもよい。上記の中でも、マレイミド化合物及び／又はシトラコンイミド化合物、マレアミック酸、シトラコンアミック酸との相溶性に優れるという観点から、２，２－ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロ－２，２－ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）プロパン、ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）スルフィド、ビス（３－アリル－４－ヒドロキシフェニル）エ－テル等のアリルフェノール類が好ましい。
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料は、本実施形態の化合物及び／又は樹脂を単独で、あるいは前記架橋剤を配合させた後、公知の方法で架橋、硬化させて、本実施形態のリソグラフィー用膜を形成することができる。架橋方法としては、熱硬化、光硬化等の手法が挙げられる。
　架橋剤の含有割合は、通常、本実施形態の化合物と樹脂との合計質量を１００質量部とした場合に、０．１～１００００質量部の範囲であり、好ましくは、耐熱性及び溶解性の観点から０．１～１０００質量部の範囲であり、より好ましくは、０．１～１００質量部の範囲であり、さらに好ましくは、１～５０質量部の範囲であり、特に好ましくは１～３０質量部の範囲である。
＜架橋促進剤＞
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料には、必要に応じて架橋、硬化反応を促進させるための架橋促進剤を用いることができる。
　架橋促進剤としては、架橋、硬化反応を促進させるものであれば、特に限定されないが、例えば、アミン類、イミダゾール類、有機ホスフィン類、ルイス酸等が挙げられる。これらの架橋促進剤は、１種を単独で、或いは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でもイミダゾール類又は有機ホスフィン類が好ましく、架橋温度の低温化の観点から、イミダゾール類がより好ましい。
　架橋促進剤としては、以下に限定されないが、例えば、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン－７、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等の三級アミン、２－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチルイミダゾール、２－へプタデシルイミダゾール、２，４，５－トリフェニルイミダゾール等のイミダゾール類、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフイン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・エチルトリフェニルボレート、テトラブチルホスホニウム・テトラブチルボレート等のテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート、２－エチル－４－メチルイミダゾール・テトラフェニルボレート、Ｎ－メチルモルホリン・テトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩等が挙げられる。
　架橋促進剤の配合量としては、通常、本実施形態の化合物と樹脂との合計質量を１００質量部とした場合に、好ましくは０．１～１０質量部の範囲であり、より好ましくは、制御のし易さ及び経済性の観点からの０．１～５質量部の範囲であり、さらに好ましくは０．１～３質量部の範囲である。
＜ラジカル重合開始剤＞
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料には、必要に応じてラジカル重合開始剤を配合することができる。ラジカル重合開始剤としては、光によりラジカル重合を開始させる光重合開始剤であってもよいし、熱によりラジカル重合を開始させる熱重合開始剤であってもよい。
　ラジカル重合開始剤としては、特に制限されず、従来用いられているものを適宜採用することができる。例えば、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジメチルケタール、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－［４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル］－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニル－フォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルフォスフィンオキサイド等のケトン系光重合開始剤、メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイド、アセチルアセテートパーオキサイド、１，１－ビス（ｔ－ヘキシルパーオキシ）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサン、１，１－ビス（ｔ－ヘキシルパーオキシ）－シクロヘキサン、１，１－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）－３，３，５－トリメチルシクロヘキサン、１，１－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）－２－メチルシクロヘキサン、１，１－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）－シクロヘキサン、１，１－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）シクロドデカン、１，１－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）ブタン、２，２－ビス（４，４－ジ－ｔ－ブチルパーオキシシクロヘキシル）プロパン、ｐ－メンタンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、１，１，３，３－テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ｔ－ヘキシルハイドロパーオキサイド、ｔ－ブチルハイドロパーオキサイド、α，α’－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキサン、ｔ－ブチルクミルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、２，５－ジメチル－２，５－ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）ヘキシン－３、イソブチリルパーオキサイド、３，５，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ステアロイルパーオキサイド、スクシン酸パーオキサイド、ｍ－トルオイルベンゾイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｎ－プロピルパーオキシジカーボネート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ビス（４－ｔ－ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ－２－エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ－２－エトキシヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ－３－メトキシブチルパーオキシジカーボネート、ジ－ｓ－ブチルパーオキシジカーボネート、ジ（３－メチル－３－メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、α，α’－ビス（ネオデカノイルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、クミルパーオキシネオデカノエート、１，１，３，３－テトラメチルブチルパーオキシネオデカノエート、１－シクロヘキシル－１－メチルエチルパーオキシネオデカノエート、ｔ－ヘキシルパーオキシネオデカノエート、ｔ－ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔ－ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ－ブチルパーオキシピバレート、１，１，３，３－テトラメチルブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノオエート、２，５－ジメチル－２，５－ビス（２－エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサノエート、１－シクロヘキシル－１－メチルエチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ヘキシルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシマレート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメトルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシラウレート、ｔ－ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキシルモノカーボネート、ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシ－ｍ－トルイルベンゾエート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ビス（ｔ－ブチルパーオキシ）イソフタレート、２，５－ジメチル－２，５－ビス（ｍ－トルイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ－ヘキシルパーオキシベンゾエート、２，５－ジメチル－２，５－ビス（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ－ブチルパーオキシアリルモノカーボネート、ｔ－ブチルトリメチルシリルパーオキサイド、３，３’，４，４’－テトラ（ｔ－ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，３－ジメチル－２，３－ジフェニルブタン等の有機過酸化物系重合開始剤が挙げられる。
　また、２－フェニルアゾ－４－メトキシ－２，４－ジメチルバレロニトリル、１－［（１－シアノ－１－メチルエチル）アゾ］ホルムアミド、１，１’－アゾビス（シクロヘキサン－１－カルボニトリル）、２，２’－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオンアミジン）ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス（２－メチル－Ｎ－フェニルプロピオンアミジン）ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［Ｎ－（４－クロロフェニル）－２－メチルプロピオンアミジン］ジヒドリドクロリド、２，２’－アゾビス［Ｎ－（４－ヒドロフェニル）－２－メチルプロピオンアミジン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－メチル－Ｎ－（フェニルメチル）プロピオンアミジン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－メチル－Ｎ－（２－プロペニル）プロピオンアミジン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［Ｎ－（２－ヒドロキシエチル）－２－メチルプロピオンアミジン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－（５－メチル－２－イミダゾリン－２－イル）プロパン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－（２－イミダゾリン－２－イル）プロパン］ジヒドロクロリド、２，２´－アゾビス［２－（４，５，６，７－テトラヒドロ－１Ｈ－１，３－ジアゼピン－２－イル）プロパン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－（３，４，５，６－テトラヒドロピリミジン－２－イル）プロパン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－（５－ヒドロキシ－３，４，５，６－テトラヒドロピリミジン－２－イル）プロパン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－［１－（２－ヒドロキシエチル）－２－イミダゾリン－２－イル］プロパン］ジヒドロクロリド、２，２’－アゾビス［２－（２－イミダゾリン－２－イル）プロパン］、２，２’－アゾビス［２－メチル－Ｎ－［１，１－ビス（ヒドロキシメチル）－２－ヒドロキシエチル］プロピオンアミド］、２，２’－アゾビス［２－メチル－Ｎ－［１，１－ビス（ヒドロキシメチル）エチル］プロピオンアミド］、２，２’－アゾビス［２－メチル－Ｎ－（２－ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオンアミド）、２，２’－アゾビス（２，４，４－トリメチルペンタン）、２，２’－アゾビス（２－メチルプロパン）、ジメチル－２，２－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、４，４’－アゾビス（４－シアノペンタン酸）、２，２’－アゾビス［２－（ヒドロキシメチル）プロピオニトリル］等のアゾ系重合開始剤も挙げられる。本実施形態におけるラジカル重合開始剤としては、これらのうちの１種を単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよく、他の公知の重合開始剤をさらに組み合わせて用いてもよい。
　ラジカル重合開始剤の含有量としては、本実施形態の化合物と樹脂との合計質量に対して化学量論的に必要な量であればよいが、本実施形態の化合物と樹脂との合計質量を１００質量部とした場合に０．０５～２５質量部であることが好ましく、０．１～１０質量部であることがより好ましい。ラジカル重合開始剤の含有量が０．０５質量部以上である場合には、本実施形態の化合物及び／又は樹脂の硬化が十分となる傾向にあり、一方で、ラジカル重合開始剤の含有量が２５質量部以下である場合には、リソグラフィー用膜形成材料の室温での長期保存安定性が良好となる傾向にある。
［リソグラフィー用膜形成材料の精製方法］
　リソグラフィー用膜形成材料は酸性水溶液で洗浄して精製することが可能である。
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成材料の精製方法は、例えば、
　リソグラフィー用膜形成材料を、溶媒に溶解させて有機相を得る工程と、
　前記有機相と酸性の水溶液とを接触させて、リソグラフィー用膜形成材料中の不純物を抽出する第一抽出工程と、
を含み、
　前記有機相を得る工程で用いる溶媒が、水と任意に混和しない溶媒を含む。
　前記第一抽出工程においては、リソグラフィー用膜形成材料と有機溶媒とを含む有機相に含まれる金属分を水相に移行させた後、有機相と水相とを分離する。
　本実施形態の精製方法により、リソグラフィー用膜形成材料中の種々の金属の含有量を著しく低減させることができる。
　水と任意に混和しない溶媒としては、特に限定されないが、半導体製造プロセスに安全に適用できる有機溶媒が好ましい。使用する溶媒の量は、使用する化合物に対して、通常１～１００質量倍程度使用される。
　有機溶媒の具体例としては、例えば、国際公開２０１５／０８０２４０号に記載のものが挙げられる。これらの中でも、トルエン、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸エチル等が好ましく、特にシクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましい。これらの有機溶媒はそれぞれ単独で用いることもできるし、２種以上を混合して用いることもできる。
　酸性の水溶液としては、一般に知られる有機、無機系化合物を水に溶解させた水溶液の中から適宜選択される。例えば、国際公開２０１５／０８０２４０号に記載のものが挙げられる。これら酸性の水溶液は、それぞれ単独で用いることもできるし、また２種以上を組み合わせて用いることもできる。酸性の水溶液としては、例えば、鉱酸水溶液及び有機酸水溶液を挙げることができる。鉱酸水溶液としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸及びリン酸からなる群より選ばれる１種以上を含む水溶液を挙げることができる。有機酸水溶液としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、蓚酸、マロン酸、コハク酸、フマル酸、マレイン酸、酒石酸、クエン酸、メタンスルホン酸、フェノールスルホン酸、ｐ－トルエンスルホン酸及びトリフルオロ酢酸からなる群より選ばれる１種以上を含む水溶液を挙げることができる。また、酸性の水溶液としては、硫酸、硝酸、及び酢酸、蓚酸、酒石酸、クエン酸等のカルボン酸の水溶液が好ましく、さらに、硫酸、蓚酸、酒石酸、クエン酸の水溶液が好ましく、特に蓚酸の水溶液が好ましい。蓚酸、酒石酸、クエン酸等の多価カルボン酸は金属イオンに配位し、キレート効果が生じるために、より金属を除去できると考えられる。また、ここで用いる水は、本発明の目的に沿って、金属含有量の少ないもの、例えばイオン交換水等が好ましい。
　前記酸性の水溶液のｐＨは特に制限されないが、水溶液の酸性度があまり大きくなると、使用する化合物又は樹脂に悪影響を及ぼすことがあり好ましくない。通常、ｐＨ範囲は０～５程度であり、より好ましくはｐＨ０～３程度である。
　前記酸性の水溶液の使用量は特に制限されないが、その使用量が少な過ぎると、金属除去のための抽出回数多くする必要があり、逆に水溶液の使用量が多過ぎると、全体の液量が多くなり操作上の問題を生ずることがある。水溶液の使用量は、通常、リソグラフィー用膜形成材料の溶液に対して１０～２００質量部であり、好ましくは２０～１００質量部である。
　前記酸性の水溶液と、リソグラフィー用膜形成材料及び水と任意に混和しない有機溶媒を含む溶液とを接触させることにより金属分を抽出することができる。
　前記抽出処理を行う際の温度は、通常２０～９０℃であり、好ましくは３０～８０℃の範囲である。抽出操作は、例えば、撹拌等により、よく混合させたあと、静置することにより行われる。これにより、使用する該化合物と有機溶媒を含む溶液に含まれていた金属分が水相に移行する。また本操作により、溶液の酸性度が低下し、使用する該化合物の変質を抑制することができる。
　抽出処理後、化合物及び有機溶媒を含む溶液相と、水相とに分離させ、デカンテーション等により有機溶媒を含む溶液を回収する。静置する時間は特に制限されないが、静置する時間があまりに短いと有機溶媒を含む溶液相と水相との分離が悪くなり好ましくない。通常、静置する時間は１分間以上であり、より好ましくは１０分間以上であり、さらに好ましくは３０分間以上である。また、抽出処理は１回だけでもかまわないが、混合、静置、分離という操作を複数回繰り返して行うのも有効である。
　酸性の水溶液を用いてこのような抽出処理を行った場合は、処理を行ったあとに、該水溶液から抽出し、回収した有機溶媒を含む有機相を用いて、さらに水との抽出処理（第二抽出工程）を行うことが好ましい。抽出操作は、撹拌等により、よく混合させたあと、静置することにより行われる。そして得られる溶液は、化合物と有機溶媒とを含む溶液相と、水相とに分離するのでデカンテーション等により溶液相を回収する。また、ここで用いる水は、本発明の目的に沿って、金属含有量の少ないもの、例えばイオン交換水等が好ましい。抽出処理は１回だけでもかまわないが、混合、静置、分離という操作を複数回繰り返して行うのも有効である。また、抽出処理における両者の使用割合や、温度、時間等の条件は特に制限されないが、先の酸性の水溶液との接触処理の場合と同様で構わない。
　こうして得られた、リソグラフィー用膜形成材料と有機溶媒とを含む溶液に混入する水分は減圧蒸留等の操作を施すことにより容易に除去できる。また、必要により有機溶媒を加え、化合物の濃度を任意の濃度に調整することができる。
　得られた有機溶媒を含む溶液から、リソグラフィー用膜形成材料のみを得る方法は、減圧除去、再沈殿による分離、及びそれらの組み合わせ等、公知の方法で行うことができる。必要に応じて、濃縮操作、ろ過操作、遠心分離操作、乾燥操作等の公知の処理を行うことができる。
 
［リソグラフィー用膜形成用組成物］
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物は、前記リソグラフィー用膜形成材料と溶媒とを含有する。リソグラフィー用膜は、例えば、リソグラフィー用下層膜である。
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物は、基材に塗布し、その後、必要に応じて加熱して溶媒を蒸発させた後、加熱又は光照射して所望の硬化膜を形成することができる。本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物の塗布方法は任意であり、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法等の方法を適宜採用できる。
　前記膜の加熱温度は、溶媒を蒸発させる目的では特に限定されず、例えば、４０～４００℃で行うことができる。加熱方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ホットプレートやオーブンを用いて、大気、窒素等の不活性ガス、真空中等の適切な雰囲気下で蒸発させればよい。加熱温度及び加熱時間は、目的とする電子デバイスのプロセス工程に適合した条件を選択すればよく、得られる膜の物性値が電子デバイスの要求特性に適合するような加熱条件を選択すればよい。光照射する場合の条件も特に限定されるものではなく、用いるリソグラフィー用膜形成材料に応じて、適宜な照射エネルギー及び照射時間を採用すればよい。
＜溶媒＞
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物に用いる溶媒としては、本実施形態の化合物及び／又は樹脂が少なくとも溶解するものであれば、特に限定されず、公知のものを適宜用いることができる。
　溶媒の具体例としては、例えば、国際公開２０１３／０２４７７９号に記載のものが挙げられる。これらの溶媒は、１種を単独で、或いは２種以上を組み合わせて用いることができる。
　前記溶媒の中でも、安全性の点から、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、ヒドロキシイソ酪酸メチル、アニソールが特に好ましい。
　前記溶媒の含有量は、特に限定されないが、溶解性及び製膜上の観点から、リソグラフィー用膜形成用材料中における本実施形態の化合物と樹脂との合計質量を１００質量部とした場合に、２５～９，９００質量部であることが好ましく、４００～７，９００質量部であることがより好ましく、９００～４，９００質量部であることがさらに好ましい。
＜酸発生剤＞
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物は、架橋反応をさらに促進させる等の観点から、必要に応じて酸発生剤を含有していてもよい。酸発生剤としては、熱分解によって酸を発生するもの、光照射によって酸を発生するもの等が知られているが、いずれのものも使用することができる。
　酸発生剤としては、例えば、国際公開２０１３／０２４７７９号に記載のものが挙げられる。これらのなかでも、特に、ジターシャリーブチルジフェニルヨードニウムノナフルオロメタンスルホナート、トリフルオロメタンスルホン酸ジフェニルヨードニウム、トリフルオロメタンスルホン酸（ｐ－ｔｅｒｔ－ブトキシフェニル）フェニルヨードニウム、ｐ－トルエンスルホン酸ジフェニルヨードニウム、ｐ－トルエンスルホン酸（ｐ－ｔｅｒｔ－ブトキシフェニル）フェニルヨードニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸（ｐ－ｔｅｒｔ－ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリス（ｐ－ｔｅｒｔ－ブトキシフェニル）スルホニウム、ｐ－トルエンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、ｐ－トルエンスルホン酸（ｐ－ｔｅｒｔ－ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウム、ｐ－トルエンスルホン酸トリス（ｐ－ｔｅｒｔ－ブトキシフェニル）スルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリナフチルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸シクロヘキシルメチル（２－オキソシクロヘキシル）スルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸（２－ノルボニル）メチル（２－オキソシクロヘキシル）スルホニウム、１，２’－ナフチルカルボニルメチルテトラヒドロチオフェニウムトリフレート等のオニウム塩；ビス（ベンゼンスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｐ－トルエンスルホニル）ジアゾメタン、ビス（シクロヘキシルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｎ－ブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（イソブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｓｅｃ－ブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｎ－プロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（イソプロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｔｅｒｔ－ブチルスルホニル）ジアゾメタン等のジアゾメタン誘導体；ビス－（ｐ－トルエンスルホニル）－α－ジメチルグリオキシム、ビス－（ｎ－ブタンスルホニル）－α－ジメチルグリオキシム等のグリオキシム誘導体、ビスナフチルスルホニルメタン等のビススルホン誘導体；Ｎ－ヒドロキシスクシンイミドメタンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシスクシンイミドトリフルオロメタンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシスクシンイミド１－プロパンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシスクシンイミド２－プロパンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシスクシンイミド１－ペンタンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシスクシンイミドｐ－トルエンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシナフタルイミドメタンスルホン酸エステル、Ｎ－ヒドロキシナフタルイミドベンゼンスルホン酸エステル等のＮ－ヒドロキシイミド化合物のスルホン酸エステル誘導体等が好ましく用いられる。
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物において、酸発生剤の含有量は、特に限定されないが、リソグラフィー用膜形成材料中における本実施形態の化合物と樹脂との合計質量を１００質量部とした場合に、０～５０質量部であることが好ましく、より好ましくは０～４０質量部である。上述の好ましい範囲にすることで、架橋反応が高められる傾向にあり、また、レジスト層とのミキシング現象の発生が抑制される傾向にある。
＜塩基性化合物＞
　本実施形態のリソグラフィー用下層膜形成用組成物は、保存安定性を向上させる等の観点から、塩基性化合物をさらに含有していてもよい。
　前記塩基性化合物は、酸発生剤より微量に発生した酸が架橋反応を進行させるのを防ぐための、酸に対するクエンチャーの役割を果たす。このような塩基性化合物としては、以下に限定されないが、例えば、国際公開２０１３－０２４７７９号に記載されている、第一級、第二級又は第三級の脂肪族アミン類、混成アミン類、芳香族アミン類、複素環アミン類、カルボキシ基を有する含窒素化合物、スルホニル基を有する含窒素化合物、水酸基を有する含窒素化合物、ヒドロキシフェニル基を有する含窒素化合物、アルコール性含窒素化合物、アミド誘導体又はイミド誘導体等が挙げられる。
　本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物において、塩基性化合物の含有量は、特に限定されないが、リソグラフィー用膜形成材料中における本実施形態の化合物と樹脂との合計質量を１００質量部とした場合に、０～２質量部であることが好ましく、より好ましくは０～１質量部である。上述の好ましい範囲にすることで、架橋反応を過度に損なうことなく保存安定性が高められる傾向にある。
　さらに、本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物は、公知の添加剤を含有していてもよい。公知の添加剤としては、以下に限定されないが、例えば、紫外線吸収剤、消泡剤、着色剤、顔料、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤等が挙げられる。
［リソグラフィー用下層膜及びパターンの形成方法］
　本実施形態のリソグラフィー用下層膜は、本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて形成される。
　また、本実施形態のパターン形成方法は、基板上に、本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて下層膜を形成する工程（Ａ－１）と、前記下層膜上に、少なくとも１層のフォトレジスト層を形成する工程（Ａ－２）と、前記工程（Ａ－２）の後、前記フォトレジスト層の所定の領域に放射線を照射し、現像を行う工程（Ａ－３）と、を有する。
　さらに、本実施形態の他のパターン形成方法は、基板上に、本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて下層膜を形成する工程（Ｂ－１）と、前記下層膜上に、珪素原子を含有するレジスト中間層膜材料を用いて中間層膜を形成する工程（Ｂ－２）と、前記中間層膜上に、少なくとも１層のフォトレジスト層を形成する工程（Ｂ－３）と、前記工程（Ｂ－３）の後、前記フォトレジスト層の所定の領域に放射線を照射し、現像してレジストパターンを形成する工程（Ｂ－４）と、前記工程（Ｂ－４）の後、前記レジストパターンをマスクとして前記中間層膜をエッチングし、得られた中間層膜パターンをエッチングマスクとして前記下層膜をエッチングし、得られた下層膜パターンをエッチングマスクとして基板をエッチングすることで基板にパターンを形成する工程（Ｂ－５）と、を有する。
　本実施形態のリソグラフィー用下層膜は、本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物から形成されるものであれば、その形成方法は特に限定されず、公知の手法を適用することができる。例えば、本実施形態のリソグラフィー用膜形成用組成物をスピンコートやスクリーン印刷等の公知の塗布法或いは印刷法等で基板上に付与した後、有機溶媒を揮発させる等して除去することで、下層膜を形成することができる。
　下層膜の形成時には、上層レジストとのミキシング現象の発生を抑制するとともに架橋反応を促進させるために、ベークを施すことが好ましい。この場合、ベーク温度は、特に限定されないが、８０～４５０℃の範囲内であることが好ましく、より好ましくは２００～４００℃である。また、ベーク時間も、特に限定されないが、１０～３００秒間の範囲内であることが好ましい。なお、下層膜の厚さは、要求性能に応じて適宜選定することができ、特に限定されないが、通常、３０～２０，０００ｎｍであることが好ましく、より好ましくは５０～１５，０００ｎｍであり、さらに好ましくは５０～１０００ｎｍである。
　基板上に下層膜を作製した後、２層プロセスの場合はその上に珪素含有レジスト層、或いは通常の炭化水素からなる単層レジスト、３層プロセスの場合はその上に珪素含有中間層、さらにその上に珪素を含まない単層レジスト層を作製することが好ましい。この場合、このレジスト層を形成するためのフォトレジスト材料としては公知のものを使用することができる。
　２層プロセス用の珪素含有レジスト材料としては、酸素ガスエッチング耐性の観点から、ベースポリマーとしてポリシルセスキオキサン誘導体又はビニルシラン誘導体等の珪素原子含有ポリマーを使用し、さらに有機溶媒、酸発生剤、必要により塩基性化合物等を含むポジ型のフォトレジスト材料が好ましく用いられる。ここで珪素原子含有ポリマーとしては、この種のレジスト材料において用いられている公知のポリマーを使用することができる。
　３層プロセス用の珪素含有中間層としてはポリシルセスキオキサンベースの中間層が好ましく用いられる。中間層に反射防止膜としての機能を持たせることによって、効果的に反射を抑えることができる傾向にある。例えば、１９３ｎｍ露光用プロセスにおいて、下層膜として芳香族基を多く含み基板エッチング耐性が高い材料を用いると、ｋ値が高くなり、基板反射が高くなる傾向にあるが、中間層で反射を抑えることによって、基板反射を０．５％以下にすることができる。このような反射防止効果がある中間層としては、以下に限定されないが、１９３ｎｍ露光用としてはフェニル基又は珪素－珪素結合を有する吸光基が導入された、酸或いは熱で架橋するポリシルセスキオキサンが好ましく用いられる。
　また、Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＣＶＤ）法で形成した中間層を用いることもできる。ＣＶＤ法で作製した反射防止膜としての機能が高い中間層としては、以下に限定されないが、例えば、ＳｉＯＮ膜が知られている。一般的には、ＣＶＤ法よりスピンコート法やスクリーン印刷等の湿式プロセスによる中間層の形成の方が、簡便でコスト的なメリットがある。なお、３層プロセスにおける上層レジストは、ポジ型でもネガ型でもどちらでもよく、また、通常用いられている単層レジストと同じものを用いることができる。
　さらに、本実施形態の下層膜は、通常の単層レジスト用の反射防止膜或いはパターン倒れ抑制のための下地材として用いることもできる。本実施形態の下層膜は、下地加工のためのエッチング耐性に優れるため、下地加工のためのハードマスクとしての機能も期待できる。
　前記フォトレジスト材料によりレジスト層を形成する場合においては、前記下層膜を形成する場合と同様に、スピンコート法やスクリーン印刷等の湿式プロセスが好ましく用いられる。また、レジスト材料をスピンコート法等で塗布した後、通常、プリベークが行われるが、このプリベークは、８０～１８０℃で１０～３００秒の範囲で行うことが好ましい。その後、常法にしたがい、露光を行い、ポストエクスポジュアーベーク（ＰＥＢ）、現像を行うことで、レジストパターンを得ることができる。なお、レジスト膜の厚さは特に制限されないが、一般的には、３０～５００ｎｍが好ましく、より好ましくは５０～４００ｎｍである。
　また、露光光は、使用するフォトレジスト材料に応じて適宜選択して用いればよい。一般的には、波長３００ｎｍ以下の高エネルギー線、具体的には２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍのエキシマレーザー、３～２０ｎｍの軟Ｘ線、電子ビーム、Ｘ線等を挙げることができる。
　上述の方法により形成されるレジストパターンは、本実施形態の下層膜によってパターン倒れが抑制されたものとなる。そのため、本実施形態の下層膜を用いることで、より微細なパターンを得ることができ、また、そのレジストパターンを得るために必要な露光量を低下させ得る。
　次に、得られたレジストパターンをマスクにしてエッチングを行う。２層プロセスにおける下層膜のエッチングとしては、ガスエッチングが好ましく用いられる。ガスエッチングとしては、酸素ガスを用いたエッチングが好適である。酸素ガスに加えて、Ｈｅ、Ａｒ等の不活性ガスや、ＣＯ、ＣＯ２、ＮＨ３、ＳＯ２、Ｎ２、ＮＯ２、Ｈ２ガスを加えることも可能である。また、酸素ガスを用いずに、ＣＯ、ＣＯ２、ＮＨ３、Ｎ２、ＮＯ２、Ｈ２ガスだけでガスエッチングを行うこともできる。特に後者のガスは、パターン側壁のアンダーカット防止のための側壁保護のために好ましく用いられる。
　一方、３層プロセスにおける中間層のエッチングにおいても、ガスエッチングが好ましく用いられる。ガスエッチングとしては、上述の２層プロセスにおいて説明したものと同様のものが適用可能である。とりわけ、３層プロセスにおける中間層の加工は、フロン系のガスを用いてレジストパターンをマスクにして行うことが好ましい。その後、上述したように中間層パターンをマスクにして、例えば酸素ガスエッチングを行うことで、下層膜の加工を行うことができる。
　ここで、中間層として無機ハードマスク中間層膜を形成する場合は、ＣＶＤ法やＡＬＤ法等で、珪素酸化膜、珪素窒化膜、珪素酸化窒化膜（ＳｉＯＮ膜）が形成される。窒化膜の形成方法としては、以下に限定されないが、例えば、特開２００２－３３４８６９号公報、国際公開２００４／０６６３７７号に記載された方法を用いることができる。このような中間層膜の上に直接フォトレジスト膜を形成することができるが、中間層膜の上に有機反射防止膜（ＢＡＲＣ）をスピンコートで形成して、その上にフォトレジスト膜を形成してもよい。
　中間層として、ポリシルセスキオキサンベースの中間層も好ましく用いられる。レジスト中間層膜に反射防止膜としての機能を持たせることによって、効果的に反射を抑えることができる傾向にある。ポリシルセスキオキサンベースの中間層の具体的な材料については、以下に限定されないが、例えば、特開２００７－２２６１７０号、特開２００７－２２６２０４号に記載されたものを用いることができる。
　また、次の基板のエッチングも、常法によって行うことができ、例えば、基板がＳｉＯ２、ＳｉＮであればフロン系ガスを主体としたエッチング、ｐ－ＳｉやＡｌ、Ｗでは塩素系、臭素系ガスを主体としたエッチングを行うことができる。基板をフロン系ガスでエッチングする場合、２層レジストプロセスの珪素含有レジストと３層プロセスの珪素含有中間層は、基板加工と同時に剥離される。一方、塩素系或いは臭素系ガスで基板をエッチングした場合は、珪素含有レジスト層又は珪素含有中間層の剥離が別途行われ、一般的には、基板加工後にフロン系ガスによるドライエッチング剥離が行われる。
　本実施形態の下層膜は、これら基板のエッチング耐性に優れる特徴がある。なお、基板は、公知のものを適宜選択して使用することができ、特に限定されないが、Ｓｉ、α－Ｓｉ、ｐ－Ｓｉ、ＳｉＯ２、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ、Ｗ、ＴｉＮ、Ａｌ等が挙げられる。また、基板は、基材（支持体）上に被加工膜（被加工基板）を有する積層体であってもよい。このような被加工膜としては、Ｓｉ、ＳｉＯ２、ＳｉＯＮ、ＳｉＮ、ｐ－Ｓｉ、α－Ｓｉ、Ｗ、Ｗ－Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｌ－Ｓｉ等種々のＬｏｗ－ｋ膜及びそのストッパー膜等が挙げられ、通常、基材（支持体）とは異なる材質のものが用いられる。なお、加工対象となる基板或いは被加工膜の厚さは、特に限定されないが、通常、５０～１，０００，０００ｎｍ程度であることが好ましく、より好ましくは７５～５００，０００ｎｍである。
　以下、本実施形態を、実施例を用いて説明するが、本実施形態は、実施例に限定されない。
［分子量］
　化合物の分子量は、Ｗａｔｅｒ社製Ａｃｑｕｉｔｙ　ＵＰＬＣ／ＭＡＬＤＩ－Ｓｙｎａｐｔ　ＨＤＭＳを用いて、ＬＣ－ＭＳ分析により測定した。ＮＭＲの測定条件を以下に示す。
　［化合物の構造］
　化合物の構造は、Ｂｒｕｋｅｒ社製「Ａｄｖａｎｃｅ６００ＩＩ　ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ」を用いて、以下の条件で、１Ｈ－ＮＭＲ測定を行い、確認した。
　周波数：４００ｍｈｚ
　溶媒：ｄ６－ＤＭＳＯ
　内部標準：ＴＭＳ
　測定温度：２３℃
（合成例１）ＢｉＡ－１の合成
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積１００ｍＬの容器に、アニリン塩酸塩（シグマ－アルドリッチ社製試薬）２．２ｇ（２０ｍｍｏｌ）を仕込み、４－ビフェニルアルデヒド（シグマ－アルドリッチ社製試薬）１．８ｇ（１０ｍｍｏｌ）を添加して、反応温度１９０℃、反応時間６時間で内容物を撹拌して反応を行った。この反応液に、純水１０００ｍＬを添加した後、濾別して粗化合物を得た。得られた粗化合物を、カラムクロマト法により精製し、下記式（ＢｉＡ－１）で表される（ポリ）アミノ化合物（ＢｉＡ－１）が０．３ｇ得られた。得られた化合物（ＢｉＡ－１）の分子量を測定した結果、３５０であった。また、得られた化合物（ＢｉＡ－１）の１Ｈ－ＮＭＲ測定を行ったところ、以下のピークが見出され、下記式（ＢｉＡ－１）の化学構造を有することを確認した。
δ（ｐｐｍ）６．５～７．６（１７Ｈ，Ｐｈ－Ｈ）、５．２（１Ｈ，Ｃ－Ｈ）、４．９（４Ｈ，ＮＨ２）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000139
（合成例２～１７）ＢｉＡ－２～１７の合成
　合成例１のｍ－アミノフェノール及び４－ビフェニルアルデヒドに代えて、下記の表１に記載のアニリン類、アルデヒド類を用いた以外は、合成例１と同様にして下記式（ＢｉＡ－２）～（ＢｉＡ－１７）で表される（ポリ）アミン化合物が得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000140
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000141
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000142
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000143
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000144
（合成例１８）ＢｉＡ－１８の合成
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積１００ｍＬの容器に、アニリン（シグマ－アルドリッチ社製試薬）４．４ｇ（４０ｍｍｏｌ）、及び塩化水素の１，４－ジオキサン溶液２０．０ｍｌを仕込み、４－ビフェニルジアルデヒド（シグマ－アルドリッチ社製試薬）１．８ｇ（１０ｍｍｏｌ）を添加して、反応温度１１０℃、反応時間８時間で内容物を撹拌して反応を行った。この反応液に、純水１０００ｍＬを添加した後、濾別して粗化合物を得た。得られた粗化合物を、カラムクロマト法により精製し、下記式（ＢｉＡ－１８）で表される（ポリ）アミノ化合物（ＢｉＡ－１８）が０．７ｇ得られた。得られた化合物（ＢｉＡ－１８）の分子量を測定した結果、５４６であった。また、得られた化合物（ＢｉＡ－１８）の１Ｈ－ＮＭＲ測定を行ったところ、以下のピークが見出され、下記式（ＢｉＡ－１８）の化学構造を有することを確認した。
δ（ｐｐｍ）７．０～７．８（２４Ｈ，Ｐｈ－Ｈ）、６．６（２Ｈ，Ｃ－Ｈ）、４．２（８Ｈ， ＮＨ２）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000145
（合成例１９～２５）ＢｉＡ－１９～ＢｉＡ－２５の合成
　合成例１８のアニリン及び４－ビフェニルジアルデヒドに代えて、下記の表２に記載のアニリン類、アルデヒド類を用いた以外は、合成例１８と同様にして下記式（ＢｉＡ－１９）～（ＢｉＡ－２５）で表される（ポリ）アミン化合物が得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000146
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000147
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000148
（合成例２６）ＢｉＡ－２６の合成
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積１００ｍＬの容器に、アニリン（シグマ－アルドリッチ社製試薬）２．２ｇ（２０ｍｍｏｌ）、及び塩化水素の１，４－ジオキサン溶液２０．０ｍｌを仕込み、４－アセチルビフェニル（シグマ－アルドリッチ社製試薬）１．３ｇ（１０ｍｍｏｌ）を添加して、反応温度８０℃、反応時間１８時間で内容物を撹拌して反応を行った。この反応液に、純水１０００ｍＬを添加した後、濾別して粗化合物を得た。得られた粗化合物を、カラムクロマト法により精製し、下記式（ＢｉＡ－２６）で表される（ポリ）アミノ化合物（ＢｉＡ－２６）が０．９ｇ得られた。得られた化合物（ＢｉＡ－２６）の分子量を測定した結果、３６４であった。また、得られた化合物（ＢｉＡ－２６）の１Ｈ－ＮＭＲ測定を行ったところ、以下のピークが見出され、下記式（ＢｉＡ－２６）の化学構造を有することを確認した。
δ（ｐｐｍ）７．０～７．８（１７Ｈ，Ｐｈ－Ｈ）、４．１（４Ｈ， ＮＨ２）、２．３（３Ｈ，ＣＨ３）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000149
（合成例２７～３３）ＢｉＡ－２７～ＢｉＡ－３３の合成
　合成例２６のアニリン及び４－アセチルビフェニルに代えて、下記の表３に記載のアニリン類、ケトン類を用いた以外は、合成例２６と同様にして下記式（ＢｉＡ－２７）～（ＢｉＡ－３３）で表される（ポリ）アミン化合物が得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000150
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000151
（実施例１－１）ＭＡＢｉＡ－１の合成
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積１００ｍＬの容器に、ＢｉＡ－１　１．０ｇ、アセトン１０ｍｌを仕込み、無水マレイン酸（三菱瓦斯化学社製製品）０．６２ｇ（６．３ｍｍｏｌ）を添加して、室温で２時間撹拌して反応を行った。析出物を濾別して粗化合物を得た。得られた粗化合物を、カラムクロマト法により精製し、下記式（ＭＩＢｉＡ－１）で表される（ポリ）マレアミック酸（ＭＡＢｉＡ－１）が０．３ｇ得られた。得られた化合物（ＭＡＢｉＡ－１）の分子量を測定した結果、５４６であった。また、得られた化合物（ＭＡＢｉＡ－１）の１Ｈ－ＮＭＲ測定を行ったところ、以下のピークが見出され、下記式（ＭＡＢｉＡ－１）の化学構造を有することを確認した。
δ（ｐｐｍ）１３．２（２Ｈ，－ＣＯＯ－Ｈ）、１０．４（２Ｈ， Ｎ－Ｈ）、７．１～７．６（１７Ｈ，Ｐｈ－Ｈ）、６．３～６．５（４Ｈ，－ＣＨ＝ＣＨ－）、５．６（１Ｈ，Ｃ－Ｈ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000152
（実施例２－１～３４－１）ＭＡＢｉＡ－２～ＭＡＢｉＡ－３４の合成
　実施例１－１のＢｉＡ－１及び無水マレイン酸に代えて、下記の表４に記載の（ポリ）アミン化合物、無水酸類を用いた以外は、実施例１－１と同様にして下記式（ＭＡＢｉＡ－２）～（ＭＡＢｉＡ－３４）で表される（ポリ）アミック酸類が得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000153
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000154
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000155
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000156
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000157
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000158
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000159
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000160
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000161
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000162
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000163
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000164
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000165
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000166
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000167
（実施例１－２）ＭＩＢｉＡ－１の合成
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積１００ｍＬの容器に、ＭＡＢｉＡ－１　１．８７ｇ、ＮＭＰ６．２ｍｌを仕込み溶解させ、酢酸ナトリウム（無水物）１．６６ｇ、無水酢酸　３．０８ｇを添加して、５０℃で２時間撹拌して反応を行った。この反応液に、純水１０００ｍＬを添加した後、濾別して粗化合物を得た。得られた粗化合物を、カラムクロマト法により精製し、下記式（ＭＩＢｉＡ－１）で表される（ポリ）マレイミド（ＭＩＢｉＡ－１）が０．３ｇ得られた。得られた化合物（ＭＩＢｉＡ－１）の分子量を測定した結果、５１０であった。また、得られた化合物（ＭＩＢｉＡ－１）の１Ｈ－ＮＭＲ測定を行ったところ、以下のピークが見出され、下記式（ＭＩＢｉＡ－１）の化学構造を有することを確認した。
δ（ｐｐｍ）７．２～７．７（２１Ｈ，Ｐｈ－Ｈ＋マレイミド骨格のメチンＨ）、５．８（１Ｈ，Ｃ－Ｈ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000168
（実施例２－２～３４－２）ＭＩＢｉＡ－２～ＭＩＢｉＡ－３４の合成
　実施例１－２のＭＡＢｉＡ－１に代えて、下記の表５に記載の（ポリ）アミック酸類を用いた以外は、実施例２－１と同様にして下記式（ＭＩＢｉＡ－２）～（ＭＩＢｉＡ－３４）で表される（ポリ）イミド類が得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000169
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000170
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000171
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000172
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000173
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000174
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000175
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000176
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000177
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000178
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000179
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000180
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000181
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000182
　実施例１－１～３４－１及び１－２～３４－２で得られた化合物、及び比較例１としてビス（４－マレイミドフェニル）メタン（ＢＭＩ）（ケイ・アイ化成社製品）の室温での酢酸エチルに対する溶剤溶解性を評価した。各化合物及び酢酸エチルの全量を１００質量部としたとき、各化合物が２０質量部以上可溶である場合を○とし、そうでない場合を×とした。評価結果を表６及び７に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000183
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000184
　表６及び７から分かるように、本実施形態の（ポリ）イミド化合物類及び（ポリ）アミック酸類は、ＢＭＩと比較して汎用溶剤である酢酸エチルに対する溶解性に優れることが分かった。
（実施例３５）ＲＭＩＢｉＡ－１の合成
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積５００ｍＬの容器に、アニリン塩酸塩４３ｇ（３２９ｍｍｏｌ）と４－ビフェニルアルデド２０ｇ（１０９ｍｍｏｌ）を加え、窒素雰囲気下で、反応温度１９０℃、反応時間６時間で内容物を攪拌して反応を行った。この反応液に５Ｍ水酸化ナトリウム水溶液４８ｍＬと水３００ｍＬを加え析出物を濾別した。析出物に水を加えて水洗し、濾別後に乾燥して、下記式（ＲＭｉＡ－１）で表されるアニリン樹脂（ＲＭｉＡ－１）が２６ｇ得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000185
　攪拌機、冷却管及びビュレットを備えた内容積１００ｍＬの容器に、上記で得られた樹脂（ＲＭｉＡ－１）２ｇを、γ－ブチロラクトン１０ｍＬに溶解して加え、窒素雰囲気下でマレイン酸無水物０．７ｇを加えて、室温で５時間攪拌し反応した。次にメタンスルホン酸０．２ｍＬを加え、反応温度１２０℃、反応時間４時間で内容物を攪拌し反応した。この反応液を水１００ｍＬにゆっくり加え、さらに飽和炭酸水素ナトリウム１０ｍＬを加えた。析出物を濾別、乾燥し、下記式（ＲＭＩＢｉＡ－１）で表される樹脂（ＲＭＩＢｉＡ－１）が２．６ｇ得られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000186
＜製造例１＞
　ジムロート冷却管、温度計及び攪拌翼を備えた、底抜きが可能な内容積１０Ｌの四つ口フラスコを準備した。この四つ口フラスコに、窒素気流中、１，５－ジメチルナフタレン１．０９ｋｇ（７ｍｏｌ、三菱ガス化学（株）製）、４０質量％ホルマリン水溶液２．１ｋｇ（ホルムアルデヒドとして２８ｍｏｌ、三菱ガス化学（株）製）及び９８質量％硫酸（関東化学（株）製）０．９７ｍｌを仕込み、常圧下、１００℃で還流させながら７時間反応させた。その後、希釈溶媒としてエチルベンゼン（和光純薬工業（株）製、試薬特級）１．８ｋｇを反応液に加え、静置後、下相の水相を除去した。さらに、中和及び水洗を行い、エチルベンゼン及び未反応の１，５－ジメチルナフタレンを減圧下で留去することにより、淡褐色固体のジメチルナフタレンホルムアルデヒド樹脂１．２５ｋｇを得た。
　得られたジメチルナフタレンホルムアルデヒド樹脂の分子量は、数平均分子量（Ｍｎ）：５６２、重量平均分子量（Ｍｗ）：１１６８、分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）：２．０８であった。
　続いて、ジムロート冷却管、温度計及び攪拌翼を備えた内容積０．５Ｌの四つ口フラスコを準備した。この四つ口フラスコに、窒素気流下で、上述のようにして得られたジメチルナフタレンホルムアルデヒド樹脂１００ｇ（０．５１ｍｏｌ）とパラトルエンスルホン酸０．０５ｇとを仕込み、１９０℃まで昇温させて２時間加熱した後、攪拌した。その後さらに、１－ナフトール５２．０ｇ（０．３６ｍｏｌ）を加え、さらに２２０℃まで昇温させて２時間反応させた。溶剤希釈後、中和及び水洗を行い、溶剤を減圧下で除去することにより、黒褐色固体の変性樹脂（ＣＲ－１）１２６．１ｇを得た。
　得られた樹脂（ＣＲ－１）は、Ｍｎ：８８５、Ｍｗ：２２２０、Ｍｗ／Ｍｎ:４．１７であった。
＜実施例３６～８０、比較例２～３＞
　表８に示す組成になるように、前記実施例１－２～３４－２、３５で得られたリソグラフィー用膜形成材料、前記製造例１で得られた樹脂を用いて、実施例３６～８０及び比較例２～３のリソグラフィー用膜形成用組成物を各々調製した。次いで、実施例３６～８０、比較例２～３のリソグラフィー用膜形成用組成物をシリコン基板上に回転塗布し、その後、２４０℃で６０秒間、さらに４００℃で１２０秒間ベークして、膜厚２００ｎｍの下層膜を各々作製した。４００℃でベーク前後の膜厚差から膜厚減少率（％）を算出して、各下層膜の膜耐熱性を評価した。そして、下記に示す条件にてエッチング耐性を評価した。
　また、下記に示す条件にて、段差基板への埋め込み性、及び平坦性を評価した。
　架橋剤、架橋促進剤を用いる場合には、以下を用いた。
　架橋剤：下記式で表されるベンゾオキサジン（ＢＦ－ＢＸＺ；小西化学工業株式会社製）もしくは下記式で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂（ＮＣ－３０００－Ｌ；日本化薬株式会社製）
　架橋促進剤：２，４，５－トリフェニルイミダゾール（ＴＰＩＺ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000187
（上記式中、ｎは１～４の整数である。）
［膜耐熱性の評価］
＜評価基準＞
　Ｓ：４００℃ベーク前後の膜厚減少率≦１０％
　Ａ：４００℃ベーク前後の膜厚減少率≦１５％
　Ｂ：４００℃ベーク前後の膜厚減少率≦２０％
　Ｃ：４００℃ベーク前後の膜厚減少率＞２０％
［エッチング試験］
　エッチング装置：サムコインターナショナル社製　ＲＩＥ－１０ＮＲ
　出力：５０Ｗ
　圧力：４Ｐａ
　時間：２ｍｉｎ
　エッチングガス
　ＣＦ４ガス流量：Ｏ２ガス流量＝５：１５（ｓｃｃｍ）
［エッチング耐性の評価］
　エッチング耐性の評価は、以下の手順で行った。
　まず、実施例３６におけるリソグラフィー用膜形成材料に代えてノボラック（群栄化学社製ＰＳＭ４３５７）を用い、乾燥温度を１１０℃にすること以外は、実施例３６と同様の条件で、ノボラックの下層膜を作製した。そして、このノボラックの下層膜を対象として、上述のエッチング試験を行い、そのときのエッチングレートを測定した。
　次に、実施例３６～８０、及び比較例２～３の下層膜を対象として、前記エッチング試験を同様に行い、そのときのエッチングレートを測定した。
　そして、ノボラックの下層膜のエッチングレートを基準として、以下の評価基準でエッチング耐性を評価した。実用的観点からは、下記Ｓ評価が特に好ましく、Ａ評価及びＢ評価が好ましい。
　＜評価基準＞
Ｓ：ノボラックの下層膜に比べてエッチングレートが、－３０％未満
Ａ：ノボラックの下層膜に比べてエッチングレートが、－３０％以上～－２０％未満
Ｂ：ノボラックの下層膜に比べてエッチングレートが、－２０％以上～－１０％未満
Ｃ：ノボラックの下層膜に比べてエッチングレートが、－１０％以上０％以下
［段差基板埋め込み性の評価］
　段差基板への埋め込み性の評価は、以下の手順で行った。
　リソグラフィー用膜形成用組成物を膜厚８０ｎｍの６０ｎｍラインアンドスペースのＳｉＯ２基板上に塗布して、２４０℃で６０秒間ベークすることにより９０ｎｍ下層膜を形成した。得られた膜の断面を切り出し、電子線顕微鏡にて観察し、段差基板への埋め込み性を評価した。
＜評価基準＞
　Ａ：６０ｎｍラインアンドスペースのＳｉＯ２基板の凹凸部分に欠陥無く下層膜が埋め込まれている。
　Ｃ：６０ｎｍラインアンドスペースのＳｉＯ２基板の凹凸部分に欠陥があり下層膜が埋め込まれていない。
［平坦性の評価]
　幅１００ｎｍ、ピッチ１５０ｎｍ、深さ１５０ｎｍのトレンチ（アスペクト比：１．５）及び幅５μｍ、深さ１８０ｎｍのトレンチ（オープンスペース）が混在するＳｉＯ２段差基板上に、リソグラフィー用膜形成用組成物をそれぞれ塗布した。その後、大気雰囲気下にて、２４０℃で１２０秒間焼成して、膜厚２００ｎｍのレジスト下層膜を形成した。このレジスト下層膜の形状を走査型電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ社の「Ｓ－４８００」）にて観察し、トレンチ又はスペース上におけるレジスト下層膜の膜厚の最大値と最小値の差（ΔＦＴ）を測定した。
＜評価基準＞
　Ｓ：ΔＦＴ＜１０ｎｍ（平坦性最良）
　Ａ：１０ｎｍ≦ΔＦＴ＜２０ｎｍ（平坦性良好）
　Ｂ：２０ｎｍ≦ΔＦＴ＜４０ｎｍ（平坦性やや良好）
　Ｃ：４０ｎｍ≦ΔＦＴ（平坦性不良）
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000188
＜実施例８１～８４＞
　表９に示す組成となるように、実施例８１～８４のリソグラフィー用膜形成用組成物を各々調製した。次いで、実施例８１～８４のリソグラフィー用膜形成用組成物をシリコン基板上に回転塗布し、その後、１１０℃で６０秒間ベークして塗膜の溶媒を除去した後、高圧水銀ランプにより、積算露光量６００ｍＪ／ｃｍ２、照射時間２０秒で硬化させて、さらに４００℃で１２０秒間ベークして、膜厚２００ｎｍの下層膜を各々作製した。４００℃でベーク前後の膜厚差から膜厚減少率（％）を算出して、各下層膜の膜耐熱性を評価した。そして、上記に示す条件にてエッチング耐性、段差基板への埋め込み性、及び平坦性を評価した。
　架橋剤、ラジカル重合開始剤を用いる場合には、以下を用いた。
　架橋剤：上記式で表されるベンゾオキサジン（ＢＦ－ＢＸＺ；小西化学工業株式会社製）
　ラジカル重合開始剤：下記式で表されるイルガキュア（ＩＲＧＡＣＵＲＥ）１８４（ＢＡＳＦ社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000189
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000190
＜実施例８５及び８６並びに参考例１＞
　表１０に示す組成となるように、実施例８５及び８６並びに参考例１のリソグラフィー用膜形成用組成物を各々調製した。次いで、実施例８５及び８６並びに参考例１のリソグラフィー用膜形成用組成物をシリコン基板上に回転塗布し、その後、１１０℃で６０秒間ベークして塗膜の溶媒を除去した後、高圧水銀ランプにより、積算露光量６００ｍＪ／ｃｍ２、照射時間２０秒で硬化させて、さらに４００℃で１２０秒間ベークして、膜厚２００ｎｍの下層膜を各々作製した。４００℃でのベーク前後の膜厚差から膜厚減少率（％）を算出して、各下層膜の膜耐熱性を評価した。そして、上記に示す条件にてエッチング耐性、段差基板への埋め込み性、及び平坦性を評価した。
　主剤としては、国際公開２０１３／０２４７７９号に記載されている下記式で表されるフェノール化合物（ＢｉｓＮ－１）を用いた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000191
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000192
＜実施例８７＞
　実施例７１におけるリソグラフィー用膜形成用組成物を膜厚３００ｎｍのＳｉＯ２基板上に塗布して、２４０℃で６０秒間、さらに４００℃で１２０秒間ベークすることにより、膜厚７０ｎｍの下層膜を形成した。この下層膜上に、ＡｒＦ用レジスト溶液を塗布し、１３０℃で６０秒間ベークすることにより、膜厚１４０ｎｍのフォトレジスト層を形成した。ＡｒＦ用レジスト溶液としては、下記式（ＡｒＦ－Ｒ）の化合物：５質量部、トリフェニルスルホニウムノナフルオロメタンスルホナート：１質量部、トリブチルアミン：２質量部、及びＰＧＭＥＡ：９２質量部を配合して調製したものを用いた。
　なお、下記式（ＡｒＦ－Ｒ）の化合物は、次のように調製した。すなわち、２－メチル－２－メタクリロイルオキシアダマンタン４．１５ｇ、メタクリルロイルオキシ－γ－ブチロラクトン３．００ｇ、３－ヒドロキシ－１－アダマンチルメタクリレート２．０８ｇ、アゾビスイソブチロニトリル０．３８ｇを、テトラヒドロフラン８０ｍＬに溶解させて反応溶液とした。この反応溶液を、窒素雰囲気下、反応温度を６３℃に保持して、２２時間重合させた後、反応溶液を４００ｍＬのｎ－ヘキサン中に滴下した。このようにして得られる生成樹脂を凝固精製させ、生成した白色粉末をろ過し、減圧下４０℃で一晩乾燥させて下記式で表される化合物を得た。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000193
　前記式（ＡｒＦ－Ｒ）中、４０、４０、２０の各数値は、各構成単位の比率を示すものであり、ブロック共重合体を示すものではない。
　次いで、電子線描画装置（エリオニクス社製；ＥＬＳ－７５００，５０ｋｅＶ）を用いて、フォトレジスト層を露光し、１１５℃で９０秒間ベーク（ＰＥＢ）し、２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液で６０秒間現像することにより、ポジ型のレジストパターンを得た。評価結果を表１１に示す。
＜実施例８８＞
　前記実施例７１におけるリソグラフィー用下層膜形成用組成物の代わりに実施例７２におけるリソグラフィー用下層膜形成用組成物を用いること以外は、実施例８７と同様にして、ポジ型のレジストパターンを得た。評価結果を表１１に示す。
＜実施例８９＞
　前記実施例７１におけるリソグラフィー用下層膜形成用組成物の代わりに実施例７３におけるリソグラフィー用下層膜形成用組成物を用いること以外は、実施例８７と同様にして、ポジ型のレジストパターンを得た。評価結果を表１１に示す。
＜比較例３＞
　下層膜の形成を行わないこと以外は、実施例８７と同様にして、フォトレジスト層をＳｉＯ２基板上に直接形成し、ポジ型のレジストパターンを得た。評価結果を表１１に示す。
［評価］
　実施例８７～８９、及び比較例４それぞれについて、得られた８０ｎｍＬ／Ｓ（１：１）のレジストパターンの形状を（株）日立製作所製の電子顕微鏡（Ｓ－４８００）を用いて観察した。現像後のレジストパターンの形状については、パターン倒れがなく、矩形性が良好なものを「良好」とし、そうでないものを「不良」として評価した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000194
　表１１から明らかなように、本実施形態のマレイミド化合物又はマレイミド樹脂を含むリソグラフィー用膜形成用組成物を用いた実施例８７～８９は、比較例４と比較して、現像後のレジストパターン形状もパターン倒れがなく、矩形性が良好であることが確認された。現像後のレジストパターン形状の相違から、実施例７１～７３のリソグラフィー用膜形成用組成物から得られる実施例８７～８９の下層膜は、レジスト材料との密着性が良いことが示された。
　本出願は、２０１８年２月２８日に日本国特許庁へ出願された日本特許出願（特願２０１８－０３４３２７）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
　本発明の化合物（（ポリ）イミド化合物類又は（ポリ）アミック酸類）及びそれら由来の単位を含有する樹脂は、例えば、構造体形成能（膜形成能）、耐熱性及び溶解性に優れ、高耐熱性熱硬化性樹脂として有用に用いることができる。

Claims (27)

  1. 　下記式（０）で表される化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     　（上記式（０）中、
    　ＲXは、炭素数１～７０の２ｎＡ価の基又は単結合を示し、
    　Ｒ１Ａは、各々独立して、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基、ハロゲン原子、ニトロ基、置換基を有していてもよい炭素数０～３０のアミノ基、カルボキシル基、チオール基、及び水酸基のいずれかを示し、Ｒ１Ａが、前記アルキル基、前記アリール基、前記架橋基、及び前記アルコキシ基のいずれかである場合は、エーテル結合、ケトン結合、及びエステル結合からなる群より選択される少なくとも１つの結合が含まれていてもよく、Ｒ１Ａの少なくとも１つは、置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレアミック酸基、及び置換基を有していてもよい炭素数４～３０のマレイミド基のいずれかであり、
    　Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を示すか、存在していなくてもよく、
    　Ｒは、各々独立して、ベンゼン環、ナフタレン環、及びアントラセン環のいずれかを示し、
    　ｍは、各々独立して、０～９の整数であり、ここで、ｍの少なくとも１つは１～９の整数であり、
    　ｎＡは、１～４の整数である。）
  2. 　前記式（０）で表される化合物が下記式（１）で表される化合物である、請求項１記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
     （上記式（１）中、
    　ＲＹは、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、及び置換基を有していてもよい炭素数６～３０のアリール基のいずれかを示し、
    　ＲＺは、炭素数１～６０のｎＡ価の基又は単結合を示し、ＲＹとＲＺの炭素数の合計は、６９以下であり、
    　Ｘ、Ｒ、ｎＡ、Ｒ１Ａ及びｍは、前記と同義である。）
  3. 　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ａ－１）で表される化合物である、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     （上記式（１ａ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
  4. 　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ｂ－１）で表される化合物である、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
     （上記式（１ｂ－１）中、Ｘ、Ｒ、Ｒ１Ａ、及びｍは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
  5. 　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ａ－２）で表される化合物である、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
     （上記式（１ａ－２）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びＲＹは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
  6. 　前記式（１）で表される化合物が下記式（１ｂ－２）で表される化合物である、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
     （上記式（１ｂ－２）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、及びｍは、前記と同義であり、Ｒ２Ａは水素原子あるいは置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、及びハロゲン原子のいずれかを示す。また、ｍ２Ａは１～５の整数を示す。）
  7. 　前記式（１ａ－２）で表される化合物が下記式（１ａ－３）で表される化合物である、請求項５に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
     （上記式（１ａ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、ＲＹ’は、ＲＹから水素原子を除いたものを示す。）
  8. 　前記式（１ｂ－２）で表される化合物が下記式（１ｂ－３）で表される化合物である、請求項６に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
     （上記式（１ｂ－３）中、Ｒ、Ｒ１Ａ、ｍ、及びｍ２Ａは、前記と同義であり、Ｒ２Ａ’は、置換基を有していてもよい炭素数５以上の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基を示す。）
  9. 　前記式（１）で表される化合物が下記式（２）または式（２’）で表される化合物である、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
     （上記式（２）及び（２）’中、
    　Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子のいずれかを示し、
    　ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、
    　ＲＹ、ＲＺ、Ｘ、Ｒ、及びｎＡは、前記と同義である。）
  10. 　前記式（１）で表される化合物が下記式（３）または式（３’）で表される化合物である、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
     （上記式（３）及び（３）’中、
    　Ｒ３Ａは、各々独立して、置換基を有してもよい炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状又は環状のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数６～３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数２～３０の架橋基、置換基を有していてもよい炭素数１～３０のアルコキシ基、及びハロゲン原子のいずれかであり、
    　ｍ６Ａは、各々独立して、０～５の整数であり、
    　ＲＹ、ＲＺ、Ｘ、Ｒ、及びｎＡは、前記と同義である。）
  11. 　前記式（０）、（１）、（２）、（２）’、（３）又は（３）’中、Ｘが酸素原子である、請求項１～１０のいずれか１項記載の化合物。
  12. 　前記式（１）で表される化合物が、下記式（ＭＩＢｉＡ－１）～（ＭＩＢｉＡ－３４）及び（ＭＡＢｉＡ－１）～（ＭＡＢｉＡ－３４）で表される化合物のいずれかである、請求項２に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
  13. 　請求項１～１２のいずれか１項に記載の化合物由来のモノマー単位を含む樹脂。
  14. 　前記モノマー単位が下記式（４）で表される単位である、請求項１３に記載の樹脂。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
     （上記式（４）中、
    　Ｌは、炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐状の連結基又は単結合を示し、
    　ＲX、Ｒ１Ａ、Ｘ、Ｒ、ｍ、及びｎＡは前記と同義である。）
  15. 　請求項１～１４のいずれか１項に記載の化合物又は樹脂を含む組成物。
  16. 　請求項１５に記載の組成物が硬化した硬化物。
  17. 　請求項１～１４のいずれか１項に記載の化合物又は樹脂を含むリソグラフィー用膜形成材料。
  18. 　架橋剤をさらに含有する、請求項１７に記載のリソグラフィー用膜形成材料。
  19. 　架橋促進剤をさらに含有する、請求項１７又は１８に記載のリソグラフィー用膜形成材料。
  20. 　ラジカル重合開始剤をさらに含有する、請求項１７～１９のいずれか一項に記載のリソグラフィー用膜形成材料。
  21. 　請求項１７～２１のいずれか一項に記載のリソグラフィー用膜形成材料と溶媒とを含有する、リソグラフィー用膜形成用組成物。
  22. 　酸発生剤をさらに含有する、請求項２１に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物。
  23. 　リソグラフィー用膜がリソグラフィー用下層膜である、請求項２１又は２２に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物
  24. 　請求項２３に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて形成される、リソグラフィー用下層膜。
  25. 　基板上に、請求項２３に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて下層膜を形成する工程、
    　前記下層膜上に、少なくとも１層のフォトレジスト層を形成する工程、及び
    　前記フォトレジスト層の所定の領域に放射線を照射し、現像を行う工程、
    を含む、レジストパターン形成方法。
  26. 　基板上に、請求項２３に記載のリソグラフィー用膜形成用組成物を用いて下層膜を形成する工程、
    　前記下層膜上に、珪素原子を含有するレジスト中間層膜材料を用いて中間層膜を形成する工程、
    　前記中間層膜上に、少なくとも１層のフォトレジスト層を形成する工程、
    　前記フォトレジスト層の所定の領域に放射線を照射し、現像してレジストパターンを形成する工程、
    　前記レジストパターンをマスクとして前記中間層膜をエッチングする工程、
    　得られた中間層膜パターンをエッチングマスクとして前記下層膜をエッチングする工程、及び
    　得られた下層膜パターンをエッチングマスクとして基板をエッチングすることで基板にパターンを形成する工程、
    を含む、回路パターン形成方法。
  27. 　請求項１７～２０のいずれか一項に記載のリソグラフィー用膜形成材料を、溶媒に溶解させて有機相を得る工程と、
    　前記有機相と酸性の水溶液とを接触させて、前記リソグラフィー用膜形成材料中の不純物を抽出する第一抽出工程と、
    を含み、
    　前記有機相を得る工程で用いる溶媒が、水と任意に混和しない溶媒を含む、リソグラフィー用膜形成材料の精製方法。
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