JP2017049382A - 感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびタッチパネル - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、比誘電率が低く、かつ、耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物、ならびに、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびタッチパネルを提供すること課題とする。【解決手段】酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分A1と、光酸発生剤B1と、溶剤Cと、を含有し、共役ジエン構造およびジエノフィル構造を含む、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
Description
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびタッチパネルに関する。
液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの画像表示装置や、タッチパネルなどの入力装置には、一般的に、パターン形成された層間絶縁膜が設けられている。
この層間絶縁膜の形成には、必要とするパターン形状を得るための工程数が少なく、しかも十分な平坦性が得られるという理由から、感光性樹脂組成物が広く使用されている。
この層間絶縁膜の形成には、必要とするパターン形状を得るための工程数が少なく、しかも十分な平坦性が得られるという理由から、感光性樹脂組成物が広く使用されている。
例えば、特許文献1には、感光性樹脂組成物として、「(A)アセタール系樹脂、(B)光酸発生剤、および、(C)溶剤を含み、(A)アセタール系樹脂が、酸によりカルボキシル基を生成する構造を有する構造単位(a1)、カルボキシル基またはフェノール性水酸基を有する構造単位(a2)、エポキシ基またはオキセタニル基を有する構造単位(a3)、および、水酸基またはアルキレンオキシ基を有する構造単位(a4)を含有し、且つ、アセタール構造またはケタール構造を有する重合体である感光性樹脂組成物」が記載されている([請求項1])。
近年、画像表示装置の低消費電力化や絶縁膜の薄層化のために、従来よりも比誘電率が低い硬化膜を得る試みがなされている。
本発明者らは、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物について検討したところ、アセタール系樹脂の種類によっては、感光性樹脂組成物により得られた硬化膜は比誘電率が高いか、また、耐薬品性が十分でない場合があることを明らかとした。
本発明者らは、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物について検討したところ、アセタール系樹脂の種類によっては、感光性樹脂組成物により得られた硬化膜は比誘電率が高いか、また、耐薬品性が十分でない場合があることを明らかとした。
そこで、本発明は、比誘電率が低く、かつ、耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物、ならびに、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびタッチパネルを提供することを課題とする。
本発明者らは、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、共役ジエン構造およびジエノフィル構造を含み、これらの構造のいずれか一方または両方を重合体の構成単位として含む組成物が、比誘電率が低く、かつ、耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができることを見出し、本発明を完成させた。
[1] 酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分A1と、
光酸発生剤B1と、
溶剤Cと、を含有し、
以下の条件1〜3のいずれか1つを満たす、感光性樹脂組成物。
1:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
[2] 酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、
キノンジアジド化合物B2と、
溶剤Cと、を含有し、
以下の条件1’〜3’のいずれか1つを満たす、感光性樹脂組成物。
1’: 上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
[3] 上記条件1〜3のうち、上記条件1を満たす、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 上記条件1’〜3’のうち、上記条件1’を満たす、[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[5] 上記ジエノフィル構造がエチレン性不飽和二重結合を含む基である、[1]〜[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[6] 上記共役ジエン構造が下記式(B−1)〜(B−6)のいずれかで表される構造である、[1]〜[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
式(B−1)〜(B−6)中、X1〜X29は、それぞれ独立に、水素原子または1価の置換基を表す。なお、*は結合位置を表す。式(B−1)中のW1は、酸素原子、硫黄原子または窒素原子を表し、式(B−1)中のW2、式(B−2)中のW3、および、式(B−5)中のW5は、−O−、−S−、−SO−、−SO2−、−C(X30)(X31)−、または、−N(X32)−を表し、式(B−3)中のW4は、−C(X33)<、または、窒素原子を表す。X30〜X33は、それぞれ独立に、水素原子または置換基を表す。
[7] 上記共役ジエン構造がアントラセン、2−ピロン、フラン、チオフェン、シクロペンタジエン、および、2,4−ヘキサジエンのいずれか1つである、[1]〜[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[8] [1]〜[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程と、
塗布された感光性樹脂組成物から溶剤Cを除去する工程と、
溶剤Cが除去された感光性樹脂組成物を活性光線で露光する工程と、
露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程と、
現像された感光性樹脂組成物を熱処理して硬化膜を得る工程とを含む、硬化膜の製造方法。
[9] 上記現像する工程の後、かつ上記熱処理する工程の前に、現像された上記感光性樹脂組成物を露光する工程を含む、[8]に記載の硬化膜の製造方法。
[10] [1]〜[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
[11] 層間絶縁膜である、[10]に記載の硬化膜。
[12] [10]または[11]に記載の硬化膜を有する、液晶表示装置。
[13] [10]または[11]に記載の硬化膜を有する、有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
[14] [10]または[11]に記載の硬化膜を有する、タッチパネル。
光酸発生剤B1と、
溶剤Cと、を含有し、
以下の条件1〜3のいずれか1つを満たす、感光性樹脂組成物。
1:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
[2] 酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、
キノンジアジド化合物B2と、
溶剤Cと、を含有し、
以下の条件1’〜3’のいずれか1つを満たす、感光性樹脂組成物。
1’: 上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
[3] 上記条件1〜3のうち、上記条件1を満たす、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 上記条件1’〜3’のうち、上記条件1’を満たす、[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[5] 上記ジエノフィル構造がエチレン性不飽和二重結合を含む基である、[1]〜[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[6] 上記共役ジエン構造が下記式(B−1)〜(B−6)のいずれかで表される構造である、[1]〜[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[7] 上記共役ジエン構造がアントラセン、2−ピロン、フラン、チオフェン、シクロペンタジエン、および、2,4−ヘキサジエンのいずれか1つである、[1]〜[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[8] [1]〜[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程と、
塗布された感光性樹脂組成物から溶剤Cを除去する工程と、
溶剤Cが除去された感光性樹脂組成物を活性光線で露光する工程と、
露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程と、
現像された感光性樹脂組成物を熱処理して硬化膜を得る工程とを含む、硬化膜の製造方法。
[9] 上記現像する工程の後、かつ上記熱処理する工程の前に、現像された上記感光性樹脂組成物を露光する工程を含む、[8]に記載の硬化膜の製造方法。
[10] [1]〜[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
[11] 層間絶縁膜である、[10]に記載の硬化膜。
[12] [10]または[11]に記載の硬化膜を有する、液晶表示装置。
[13] [10]または[11]に記載の硬化膜を有する、有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
[14] [10]または[11]に記載の硬化膜を有する、タッチパネル。
本発明によれば、比誘電率が低く、かつ、耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物、ならびに、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびタッチパネルを提供することができる。
以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、「アクリレート」または「メタクリレート」を表す表記であり、「(メタ)アクリル」は、「アクリル」または「メタクリル」を表す表記であり、「(メタ)アクリロイル」は、「アクリロイル」または「メタクリロイル」を表す表記である。
本明細書において、固形分は、25℃における固形分である。本明細書でいう固形分とは、重合体成分、化合物、光酸発生剤、キノンジアジド化合物、密着改良剤、増感剤、塩基性化合物、界面活性剤、および、その他の成分、を含むものである。
本明細書において、ポリマーの重量平均分子量および数平均分子量は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフ)測定によるポリスチレン換算値として定義される。ポリマーの重量平均分子量および数平均分子量は、例えば、HLC−8120(東ソー製)を用い、カラムとしてTSKgelMultiporeHXL−M(東ソー製、7.8mmID×30.0cmを、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)またはNMP(N−メチルピロリドン)を用いることによって求めることができる。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、「アクリレート」または「メタクリレート」を表す表記であり、「(メタ)アクリル」は、「アクリル」または「メタクリル」を表す表記であり、「(メタ)アクリロイル」は、「アクリロイル」または「メタクリロイル」を表す表記である。
本明細書において、固形分は、25℃における固形分である。本明細書でいう固形分とは、重合体成分、化合物、光酸発生剤、キノンジアジド化合物、密着改良剤、増感剤、塩基性化合物、界面活性剤、および、その他の成分、を含むものである。
本明細書において、ポリマーの重量平均分子量および数平均分子量は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフ)測定によるポリスチレン換算値として定義される。ポリマーの重量平均分子量および数平均分子量は、例えば、HLC−8120(東ソー製)を用い、カラムとしてTSKgelMultiporeHXL−M(東ソー製、7.8mmID×30.0cmを、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)またはNMP(N−メチルピロリドン)を用いることによって求めることができる。
本発明の第1の態様に係る感光性樹脂組成物(以下、単に「本発明の第1の態様」ともいう。)は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分A1と、光酸発生剤B1、溶剤Cとを含有し、後述する条件1〜3のいずれか1つを満たす感光性樹脂組成物である。
本発明の第2の態様に係る感光性樹脂組成物(以下、単に「本発明の第2の態様」ともいう。)は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、キノンジアジド化合物B2、溶剤Cとを含有し、後述する条件1’〜 3’のいずれか1つを満たす感光性樹脂組成物である。
本発明の第2の態様に係る感光性樹脂組成物(以下、単に「本発明の第2の態様」ともいう。)は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、キノンジアジド化合物B2、溶剤Cとを含有し、後述する条件1’〜 3’のいずれか1つを満たす感光性樹脂組成物である。
本発明の第1の態様および本発明の第2の態様に係る感光性樹脂組成物は、共役ジエン構造およびジエノフィル構造を含み、これらの構造のいずれか一方または両方を重合体の構成単位として含むことにより、比誘電率が低く、かつ、耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができる。
これは、詳細には明らかではないが、本発明者らは以下のように推測している。
最初に、本発明者らは、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物を用いた場合において、得られる硬化膜の比誘電率が高くなる原因を検討した。検討の結果、後述する比較例2、3に示すように、カルボキシ基とエポキシ基とが反応する硬化反応を利用した場合には、硬化膜中に2級のアルコール性水酸基が生起することになり、硬化膜中のアルコール性水酸基量が増加してしまい、低極性の構造を取り込むことができず、その結果、硬化膜の比誘電率が上昇してしまうと考えられる。また、上記の硬化反応を利用しない場合には、硬化膜の強度が十分でなく、耐薬品性が悪化してしまうと考えられる。
これに対し、本発明においては、共役ジエン構造およびジエノフィル構造を含有し、かつ、これらの構造のいずれか一方または両方を重合体の構成単位として含んでいるため、共役ジエン構造とジエノフィル構造とのディールスアルダー反応が進行した際に、硬化膜の強度が十分に向上する。そして、ディールスアルダー反応による硬化反応では、形成される硬化膜中にアルコール性水酸基が生じないため、硬化膜の耐薬品性が向上し、かつ比誘電率を低いまま維持できると考えられる。
これは、詳細には明らかではないが、本発明者らは以下のように推測している。
最初に、本発明者らは、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物を用いた場合において、得られる硬化膜の比誘電率が高くなる原因を検討した。検討の結果、後述する比較例2、3に示すように、カルボキシ基とエポキシ基とが反応する硬化反応を利用した場合には、硬化膜中に2級のアルコール性水酸基が生起することになり、硬化膜中のアルコール性水酸基量が増加してしまい、低極性の構造を取り込むことができず、その結果、硬化膜の比誘電率が上昇してしまうと考えられる。また、上記の硬化反応を利用しない場合には、硬化膜の強度が十分でなく、耐薬品性が悪化してしまうと考えられる。
これに対し、本発明においては、共役ジエン構造およびジエノフィル構造を含有し、かつ、これらの構造のいずれか一方または両方を重合体の構成単位として含んでいるため、共役ジエン構造とジエノフィル構造とのディールスアルダー反応が進行した際に、硬化膜の強度が十分に向上する。そして、ディールスアルダー反応による硬化反応では、形成される硬化膜中にアルコール性水酸基が生じないため、硬化膜の耐薬品性が向上し、かつ比誘電率を低いまま維持できると考えられる。
[本発明の第1の態様]
本発明の第1の態様に係る感光性樹脂組成物は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分A1と、光酸発生剤B1、溶剤Cと、を含有し、後述する条件1〜3のいずれか1つを満たす感光性樹脂組成物である。
ここで、後述する条件1〜3は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1中もしくは重合体A1−1とは別の重合体中または感光性樹脂組成物中に、共役ジエン構造を含む成分が必要であることと、ジエノフィル構造を含む成分が必要であることを示すものである。
共役ジエン構造を含む成分とは、共役ジエン構造を有する構成単位d1、または、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を示すものである。
ジエノフィル構造を含む成分とは、ジエノフィル構造を有する構成単位e1、または、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を示すものである。
(条件)
1:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
以下の説明においては、重合体ごとではなく、重合体成分として必要な重合体中の構成単位および感光性樹脂組成物中の化合物を中心に説明する。
本発明の第1の態様に係る感光性樹脂組成物は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分A1と、光酸発生剤B1、溶剤Cと、を含有し、後述する条件1〜3のいずれか1つを満たす感光性樹脂組成物である。
ここで、後述する条件1〜3は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1中もしくは重合体A1−1とは別の重合体中または感光性樹脂組成物中に、共役ジエン構造を含む成分が必要であることと、ジエノフィル構造を含む成分が必要であることを示すものである。
共役ジエン構造を含む成分とは、共役ジエン構造を有する構成単位d1、または、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を示すものである。
ジエノフィル構造を含む成分とは、ジエノフィル構造を有する構成単位e1、または、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を示すものである。
(条件)
1:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
以下の説明においては、重合体ごとではなく、重合体成分として必要な重合体中の構成単位および感光性樹脂組成物中の化合物を中心に説明する。
<酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1>
構成単位a1は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(以下、構成単位a1ともいう。)であり、後述する重合体A1−1に含有される単位である。
本発明における「酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸を触媒(または開始剤)として脱保護反応を起こし、酸基と再生された酸と分解された構造とを生じる基を意味する。重合体成分A1が、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を有することにより、高感度な感光性樹脂組成物とすることができる。
本発明における「酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸基および酸分解性基として公知のものを使用でき、特に限定されない。具体的な酸基としては、カルボキシル基、および、フェノール性水酸基が好ましく挙げられる。また、具体的な酸分解性基としては、酸により比較的分解し易い構造(例えば、エステル構造、テトラヒドロピラニルエステル基、または、テトラヒドロフラニルエステル構造等のアセタール構造)や、酸により比較的分解し難い構造(例えば、tert−ブチルエステル構造等の第三級アルキルエステル構造、tert−ブチルカーボネート構造等の第三級アルキルカーボネート構造)などが挙げられる。
構成単位a1は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(以下、構成単位a1ともいう。)であり、後述する重合体A1−1に含有される単位である。
本発明における「酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸を触媒(または開始剤)として脱保護反応を起こし、酸基と再生された酸と分解された構造とを生じる基を意味する。重合体成分A1が、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を有することにより、高感度な感光性樹脂組成物とすることができる。
本発明における「酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸基および酸分解性基として公知のものを使用でき、特に限定されない。具体的な酸基としては、カルボキシル基、および、フェノール性水酸基が好ましく挙げられる。また、具体的な酸分解性基としては、酸により比較的分解し易い構造(例えば、エステル構造、テトラヒドロピラニルエステル基、または、テトラヒドロフラニルエステル構造等のアセタール構造)や、酸により比較的分解し難い構造(例えば、tert−ブチルエステル構造等の第三級アルキルエステル構造、tert−ブチルカーボネート構造等の第三級アルキルカーボネート構造)などが挙げられる。
以下に、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1で表される具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1は、カルボキシル基が酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位(以下、「保護カルボキシル基を有する構成単位」ともいう。)、または、フェノール性水酸基が酸分解性基で保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位(以下、「保護フェノール性水酸基を有する構成単位」ともいう。)であることが好ましい。
以下、保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−Bと、保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aについて、順にそれぞれ説明する。
酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1は、カルボキシル基が酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位(以下、「保護カルボキシル基を有する構成単位」ともいう。)、または、フェノール性水酸基が酸分解性基で保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位(以下、「保護フェノール性水酸基を有する構成単位」ともいう。)であることが好ましい。
以下、保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−Bと、保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aについて、順にそれぞれ説明する。
<<保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−B>>
上記保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−Bは、フェノール性水酸基を有する構成単位のフェノール性水酸基が、上述した酸分解性基によって保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位である。
上記保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−Bに用いることができる上記フェノール性水酸基を有する構成単位としては、特に制限はなく公知の構成単位を用いることができる。例えば、ヒドロキシスチレン、またはα−メチルヒドロキシスチレンに由来する構成単位が、感度の観点から好ましい。
また、フェノール性水酸基を有する構成単位として、特開2014−238438号公報の段落0065〜0073に記載の構成単位も、感度の観点から好ましい。
上記保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−Bは、フェノール性水酸基を有する構成単位のフェノール性水酸基が、上述した酸分解性基によって保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位である。
上記保護フェノール性水酸基を有する構成単位a1−Bに用いることができる上記フェノール性水酸基を有する構成単位としては、特に制限はなく公知の構成単位を用いることができる。例えば、ヒドロキシスチレン、またはα−メチルヒドロキシスチレンに由来する構成単位が、感度の観点から好ましい。
また、フェノール性水酸基を有する構成単位として、特開2014−238438号公報の段落0065〜0073に記載の構成単位も、感度の観点から好ましい。
<<保護カルボキシル基を有する構成単位a1−A>>
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aは、カルボキシル基を有する構成単位のカルボキシル基が、上述した酸分解性基によって保護された保護カルボキシル基を有する構成単位である。
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aに用いることができる上記カルボキシル基を有する構成単位としては、特に制限はなく公知の構成単位を用いることができる。例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの、分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1や、エチレン性不飽和結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2が挙げられる。
以下、分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1と、エチレン性不飽和結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2について、それぞれ順に説明する。
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aは、カルボキシル基を有する構成単位のカルボキシル基が、上述した酸分解性基によって保護された保護カルボキシル基を有する構成単位である。
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aに用いることができる上記カルボキシル基を有する構成単位としては、特に制限はなく公知の構成単位を用いることができる。例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの、分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1や、エチレン性不飽和結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2が挙げられる。
以下、分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1と、エチレン性不飽和結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2について、それぞれ順に説明する。
<<<分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1>>>
上記分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1として本発明で用いられる不飽和カルボン酸としては、例えば、特開2014−238438号公報の段落0043に記載の化合物が挙げられる。
中でも、現像性の観点から、上記構成単位a1−1−1を形成するためには、アクリル酸、メタクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−コハク酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−フタル酸、または不飽和多価カルボン酸の無水物等を用いることが好ましく、アクリル酸、メタクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸を用いることがより好ましい。
上記分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1は、1種単独で構成されていてもよいし、2種以上で構成されていてもよい。
上記分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1として本発明で用いられる不飽和カルボン酸としては、例えば、特開2014−238438号公報の段落0043に記載の化合物が挙げられる。
中でも、現像性の観点から、上記構成単位a1−1−1を形成するためには、アクリル酸、メタクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−コハク酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−フタル酸、または不飽和多価カルボン酸の無水物等を用いることが好ましく、アクリル酸、メタクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸を用いることがより好ましい。
上記分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位a1−A−1は、1種単独で構成されていてもよいし、2種以上で構成されていてもよい。
<<<エチレン性不飽和二重結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2>>>
エチレン性不飽和二重結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2は、エチレン性不飽和二重結合を有する基を有する構成単位中に存在する水酸基と酸無水物とを反応させて得られたモノマーに由来する単位であることが好ましい。
上記酸無水物としては、公知のものが使用でき、具体的には、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸等の二塩基酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物などの酸無水物が挙げられる。これらの中では、現像性の観点から、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、又は、無水コハク酸が好ましい。
上記酸無水物の水酸基に対する反応率は、現像性の観点から、好ましくは10〜100mol%、より好ましくは30〜100mol%である。
エチレン性不飽和二重結合を有する基と酸無水物由来の構造とを共に有する構成単位a1−A−2は、エチレン性不飽和二重結合を有する基を有する構成単位中に存在する水酸基と酸無水物とを反応させて得られたモノマーに由来する単位であることが好ましい。
上記酸無水物としては、公知のものが使用でき、具体的には、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸等の二塩基酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物などの酸無水物が挙げられる。これらの中では、現像性の観点から、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、又は、無水コハク酸が好ましい。
上記酸無水物の水酸基に対する反応率は、現像性の観点から、好ましくは10〜100mol%、より好ましくは30〜100mol%である。
(保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aに用いることができる酸分解性基)
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aに用いることができる上記酸分解性基としては上述の酸分解性基を用いることができる。
これらの酸分解性基の中でもカルボキシル基がアセタールの形で保護された保護カルボキシル基であることが、樹脂組成物の基本物性、特に感度やパターン形状、コンタクトホールの形成性、樹脂組成物の保存安定性の観点から好ましい。更に酸分解性基の中でもカルボキシル基が下記式(a1−Z)で表されるアセタールの形で保護された保護カルボキシル基であることが、感度の観点からより好ましい。なお、カルボキシル基が下記式(a1−Z)で表されるアセタールの形で保護された保護カルボキシル基である場合、保護カルボキシル基の全体としては、−(C=O)−O−CR101R102(OR103)の構造となっている。
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aに用いることができる上記酸分解性基としては上述の酸分解性基を用いることができる。
これらの酸分解性基の中でもカルボキシル基がアセタールの形で保護された保護カルボキシル基であることが、樹脂組成物の基本物性、特に感度やパターン形状、コンタクトホールの形成性、樹脂組成物の保存安定性の観点から好ましい。更に酸分解性基の中でもカルボキシル基が下記式(a1−Z)で表されるアセタールの形で保護された保護カルボキシル基であることが、感度の観点からより好ましい。なお、カルボキシル基が下記式(a1−Z)で表されるアセタールの形で保護された保護カルボキシル基である場合、保護カルボキシル基の全体としては、−(C=O)−O−CR101R102(OR103)の構造となっている。
上記式(a1−Z)中、R101及びR102はそれぞれ独立に、水素原子又は炭化水素基を表し、ただし、R101とR102とが共に水素原子の場合を除く。R103は、アルキル基を表す。R101又はR102と、R103とが連結して環状エーテルを形成してもよい。
上記式(a1−Z)中、R101及びR102はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、上記アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。ここで、R101及びR102の双方が水素原子を表すことはなく、R101及びR102の少なくとも一方はアルキル基を表す。
上記式(a1−Z)において、R101、R102及びR103がアルキル基を表す場合、上記アルキル基は直鎖状、分岐鎖状又は環状のいずれであってもよい。
上記直鎖状のアルキル基としては、炭素数1〜12であることが好ましく、炭素数1〜6であることがより好ましく、炭素数1〜4であることが更に好ましい。分岐鎖状としては、炭素数3〜6であることがより好ましく、炭素数3または4であることが更に好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、ネオペンチル基、n−ヘキシル基、テキシル基(2,3−ジメチル−2−ブチル基)、n−ヘプチル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、n−ノニル基、n−デシル基等を挙げることができる。
上記直鎖状のアルキル基としては、炭素数1〜12であることが好ましく、炭素数1〜6であることがより好ましく、炭素数1〜4であることが更に好ましい。分岐鎖状としては、炭素数3〜6であることがより好ましく、炭素数3または4であることが更に好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、ネオペンチル基、n−ヘキシル基、テキシル基(2,3−ジメチル−2−ブチル基)、n−ヘプチル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、n−ノニル基、n−デシル基等を挙げることができる。
上記環状アルキル基としては、炭素数3〜12であることが好ましく、炭素数4〜8であることがより好ましく、炭素数4〜6であることが更に好ましい。上記環状アルキル基としては、例えばシクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基等を挙げることができる。
上記アルキル基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、ハロゲン原子、アリール基、アルコキシ基が例示できる。置換基としてハロゲン原子を有する場合、R101、R102、R103はハロアルキル基となり、置換基としてアリール基を有する場合、R101、R102、R103はアラルキル基となる。
上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、これらの中でも、フッ素原子又は塩素原子が好ましい。
また、上記アリール基としては、炭素数6〜20のアリール基が好ましく、炭素数6〜12のアリール基がより好ましい。具体的には、フェニル基、α−メチルフェニル基、ナフチル基等が例示でき、アリール基で置換されたアルキル基全体、すなわち、アラルキル基としては、ベンジル基、α−メチルベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基等が例示できる。
上記アルコキシ基としては、炭素数1〜6のアルコキシ基が好ましく、炭素数1〜4のアルコキシ基がより好ましく、メトキシ基又はエトキシ基が更に好ましい。
また、上記アルキル基が環状のアルキル基である場合、上記環状のアルキル基は置換基として炭素数1〜10の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を有していてもよく、アルキル基が直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基である場合には、炭素数3〜12の分岐アルキル基を有していてもよい。
これらの置換基は、上記置換基で更に置換されていてもよい。
上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、これらの中でも、フッ素原子又は塩素原子が好ましい。
また、上記アリール基としては、炭素数6〜20のアリール基が好ましく、炭素数6〜12のアリール基がより好ましい。具体的には、フェニル基、α−メチルフェニル基、ナフチル基等が例示でき、アリール基で置換されたアルキル基全体、すなわち、アラルキル基としては、ベンジル基、α−メチルベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基等が例示できる。
上記アルコキシ基としては、炭素数1〜6のアルコキシ基が好ましく、炭素数1〜4のアルコキシ基がより好ましく、メトキシ基又はエトキシ基が更に好ましい。
また、上記アルキル基が環状のアルキル基である場合、上記環状のアルキル基は置換基として炭素数1〜10の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を有していてもよく、アルキル基が直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基である場合には、炭素数3〜12の分岐アルキル基を有していてもよい。
これらの置換基は、上記置換基で更に置換されていてもよい。
上記式a1−Zにおいて、R101、R102及びR103がアリール基を表す場合、上記アリール基は炭素数6〜12であることが好ましく、炭素数6〜10であることがより好ましい。上記アリール基は置換基を有していてもよく、上記置換基としては炭素数1〜6のアルキル基が好ましく例示できる。アリール基としては、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、1−ナフチル基等が例示できる。
また、R101、R102及びR103は互いに結合して、それらが結合している炭素原子または酸素原子と一緒になって環を形成することができる。R101とR102、R101とR103又はR102とR103が結合した場合の環構造としては、例えばシクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、テトラヒドロフラニル基、アダマンチル基及びテトラヒドロピラニル基等を挙げることができる。
なお、上記式(a1−Z)において、R101及びR102のいずれか一方が水素原子であることが好ましい。
上記式(a1−Z)で表される保護カルボキシル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体は、市販のものを用いてもよいし、公知の方法で合成したものを用いることもできる。例えば、特開2011−221494号公報の段落0037〜0040に記載の合成方法などで合成することができる。
上記酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aの第一の好ましい態様は、下記式で表される構成単位である。
式中、R1及びR2はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、少なくともR1及びR2のいずれか一方がアルキル基又はアリール基であり、R3は、アルキル基又はアリール基を表し、R1又はR2と、R3とが連結して環状エーテルを形成してもよく、R4は、水素原子又はメチル基を表し、Xは単結合又はアリーレン基を表す。
R1及びR2がアルキル基の場合、炭素数は1〜10のアルキル基が好ましい。R1及びR2がアリール基の場合、フェニル基が好ましい。R1及びR2はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基が好ましい。
R3は、アルキル基又はアリール基を表し、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。
Xは、単結合又はアリーレン基を表し、単結合が好ましい。
R3は、アルキル基又はアリール基を表し、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。
Xは、単結合又はアリーレン基を表し、単結合が好ましい。
上記酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aの第二の好ましい態様は、下記式で表される構成単位である。
式中、R121は水素原子又はメチル基を表し、L1はカルボニル基を表し、R122〜R128はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、水素原子が好ましい。
上記保護カルボキシル基を有する構成単位a1−Aの好ましい具体例としては、下記の構成単位が例示できる。なお、Rは水素原子又はメチル基を表す。
以下に、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1の他の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、Rは水素原子又はメチル基を表す。
<<酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1の好ましい態様>>
本発明の第1の態様は、全重合体中の全構成単位に対して、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1が5〜50mol%含有されていることが好ましく、10〜45mol%含有されていることがより好ましく、12〜40mol%含有されていることが更に好ましい。酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1の使用割合を上記範囲とすることで、より耐溶剤性を最適化すると共に、より感度に優れる硬化膜が得られる。
本発明の第1の態様は、全重合体中の全構成単位に対して、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1が5〜50mol%含有されていることが好ましく、10〜45mol%含有されていることがより好ましく、12〜40mol%含有されていることが更に好ましい。酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1の使用割合を上記範囲とすることで、より耐溶剤性を最適化すると共に、より感度に優れる硬化膜が得られる。
<共役ジエン構造を有する構成単位d1>
構成単位d1は、共役ジエン構造を有する構成単位(以下、「構成単位d1」ともいう。)である。
上述した条件1および2を満たす場合には、構成単位d1は重合体A1−1に含まれる態様であるか、または重合体A1−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。構成単位d1が重合体A1−1に含まれる態様である場合、構成単位d1は後述の構成単位e1と同一の重合体中に含まれてもよいし、異なる重合体中に含まれていてもよい。
構成単位d1は、共役ジエン構造を有する構成単位(以下、「構成単位d1」ともいう。)である。
上述した条件1および2を満たす場合には、構成単位d1は重合体A1−1に含まれる態様であるか、または重合体A1−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。構成単位d1が重合体A1−1に含まれる態様である場合、構成単位d1は後述の構成単位e1と同一の重合体中に含まれてもよいし、異なる重合体中に含まれていてもよい。
<<共役ジエン構造>>
構成単位d1に含まれる共役ジエン構造は、後述するジエノフィル構造と付加的に反応して環式構造を与えれば特に限定されず、鎖状または環状の構造であってもよい。
ここで、共役ジエン構造は、耐薬品性と経時安定性を両立させる理由から、下記式(B−1)〜(B−6)のいずれかで表される構造が好ましい。
構成単位d1に含まれる共役ジエン構造は、後述するジエノフィル構造と付加的に反応して環式構造を与えれば特に限定されず、鎖状または環状の構造であってもよい。
ここで、共役ジエン構造は、耐薬品性と経時安定性を両立させる理由から、下記式(B−1)〜(B−6)のいずれかで表される構造が好ましい。
式(B−1)〜(B−6)中、X1〜X29は、それぞれ独立に、水素原子または1価の置換基を表す。なお、*は結合位置を表す。式(B−1)中のW1は、酸素原子、硫黄原子または窒素原子を表し、式(B−1)中のW2、式(B−2)中のW3、および、式(B−5)中のW5は、−O−、−S−、−SO−、−SO2−、−C(X30)(X31)−、または、−N(X32)−を表し、式(B−3)中のW4は、−C(X33)<、または、窒素原子を表す。X30〜X33は、それぞれ独立に、水素原子または置換基を表す。
上記式(B−1)〜(B−6)中、X1〜X29の1価の置換基としては、具体的には、例えば、ハロゲン原子、アミノ基、置換アミノ基、置換アミド基、アルデヒド基、置換カルボニル墓、置換カルボニルオキシ基、カルボキシル基、水酸基、置換オキシ基、チオール基、チオエーテル基、シリル基、置換シリル基、ニトロ基、シアノ基、アルキル基、置換アルキル基、アルケニル基、置換アルケニル基、アリール基、置換アリール基、ヘテロ環基、置換ヘテロ環基、スルホ基、置換スルホニル基、スルホナト基、置換スルフィニル基、ホスホノ基、置換ホスホノ基、ホスホナト基、置換ホスホナト基等が挙げられる。ここで、1価の置換基に導入され得る置換基としては、上記1価の置換基として例示した置換基から適宜選択することができる。
上記式(B−1)〜(B−6)で表される共役ジエン構造は下記式(D−1)〜(D−17)で表されることが好ましい。なお、*は結合位置を表す。
なかでも、熱等に対する安定性が優れるため、環状共役ジエン構造が好ましく、特に、式(D−1)で表されるシクロペンタジエン、式(D−3)で表されるフラン、式(D−4)で表されるチオフェン、式(D−10)で表される2−ピロン、式(D−16)で表されるアントラセン、式(D−17)で表される2,4−ヘキサジエンが好ましい。
なお、式(D−1)〜(D−17)中、Y1〜Y26、Y29〜Y31、Y33〜Y38、Y40〜Y42、Y44〜Y46、Y48〜Y50、Y52〜Y55、Y57〜Y65は、それぞれ独立に、水素原子または置換基を表す。置換基としては、例えば、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基、ケイ素原子含有基、またはそれらを組み合わせた基が挙げられる。なかでも、アルキル基、アリール基、アルコキシ基が好ましい。式(D−1)〜(D−17)中、Y27、Y28、Y32、Y39、Y43、Y47、Y51、Y56は、それぞれ独立に、水素原子または1価の置換基を表す。ここで、1価の置換基に導入され得る置換基としては、上記式(B−1)〜(B−6)中、X1〜X29の1価の置換基として例示した置換基から適宜選択することができる。
なお、式(D−1)〜(D−17)中、Y1〜Y26、Y29〜Y31、Y33〜Y38、Y40〜Y42、Y44〜Y46、Y48〜Y50、Y52〜Y55、Y57〜Y65は、それぞれ独立に、水素原子または置換基を表す。置換基としては、例えば、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基、ケイ素原子含有基、またはそれらを組み合わせた基が挙げられる。なかでも、アルキル基、アリール基、アルコキシ基が好ましい。式(D−1)〜(D−17)中、Y27、Y28、Y32、Y39、Y43、Y47、Y51、Y56は、それぞれ独立に、水素原子または1価の置換基を表す。ここで、1価の置換基に導入され得る置換基としては、上記式(B−1)〜(B−6)中、X1〜X29の1価の置換基として例示した置換基から適宜選択することができる。
<<共役ジエン構造を有する構成単位d1の好ましい態様>>
下記に、共役ジエン構造を有する構成単位d1の具体例として、下記式(C−1)〜(C−6)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
下記に、共役ジエン構造を有する構成単位d1の具体例として、下記式(C−1)〜(C−6)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
式(C−1)〜(C−6)中、Rは水素原子又はメチル基を表す。式(C−1)〜(C−6)中、X1〜X29は、それぞれ独立に、水素原子、または1価の置換基を表す。1価の置換基は上記式(B−1)〜(B−6)と同様である。Zは、アルキレン基、又は−O−およびこれらの組み合わせから選ばれる基が挙げられる。なかでも表し、メチル基、エチル基又は−O−およびこれらの組み合わせから選ばれる基が好ましい。
以下に、共役ジエン構造を有する構成単位d1の他の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、Rは水素原子又はメチル基を表す。
共役ジエン構造を有する構成単位d1の含有量は、全重合体中の全構成単位に対して、15mol%以上であることが好ましく、15〜50mol%であることがより好ましく、30〜50mol%であることが更に好ましい。
共役ジエン構造を含む構成単位d1を有する重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性や成膜性を向上させる観点から好ましい。
共役ジエン構造を含む構成単位d1を有する重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性や成膜性を向上させる観点から好ましい。
<共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2>
化合物d2は、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物d2」ともいう。)である。
上述した条件3を満たす場合には、化合物d2が感光性樹脂組成物中に含まれる必要がある。また、条件1または2において任意の添加剤として含むこともできる。化合物d2が有する共役ジエン構造は、上述した構成単位d1において説明したものと同様のものを用いることができ、好ましい範囲も同様である。
化合物d2は、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物d2」ともいう。)である。
上述した条件3を満たす場合には、化合物d2が感光性樹脂組成物中に含まれる必要がある。また、条件1または2において任意の添加剤として含むこともできる。化合物d2が有する共役ジエン構造は、上述した構成単位d1において説明したものと同様のものを用いることができ、好ましい範囲も同様である。
<<共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の好ましい態様>>
下記に、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の具体例として、式(D2−1)〜(D2−10)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
下記に、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の具体例として、式(D2−1)〜(D2−10)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含有する場合、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、5〜35質量部が好ましく、10〜30質量部がより好ましい。
上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
また、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の分子量としては、1000以下が好ましく、200〜1000であることがより好ましく、200〜800であることがさらに好ましい。
上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
また、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の分子量としては、1000以下が好ましく、200〜1000であることがより好ましく、200〜800であることがさらに好ましい。
<ジエノフィル構造を有する構成単位e1>
構成単位e1は、ジエノフィル構造を有する構成単位(以下、「構成単位e1」ともいう。)である。
ここで、構成単位e1が含まれる態様は、上述した条件1および3を満たす観点から、重合体A1−1に含まれる態様、または重合体A1−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。構成単位e1が重合体A1−1に含まれる態様である場合、構成単位e1は前述の構成単位d1と同一の重合体中に含まれてもよいし、異なる重合体中に含まれていてもよい。
構成単位e1は、ジエノフィル構造を有する構成単位(以下、「構成単位e1」ともいう。)である。
ここで、構成単位e1が含まれる態様は、上述した条件1および3を満たす観点から、重合体A1−1に含まれる態様、または重合体A1−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。構成単位e1が重合体A1−1に含まれる態様である場合、構成単位e1は前述の構成単位d1と同一の重合体中に含まれてもよいし、異なる重合体中に含まれていてもよい。
<<ジエノフィル構造>>
構成単位e1に含まれるジエノフィル構造は、上記の共役ジエン構造と付加的に反応して環式構造を与えるエチレン性不飽和二重構造であれば特に限定されず、例えば、炭素−炭素二重結合を有するアルケニル基や、炭素−炭素三重結合を有するアルキニル基などが挙げられる。
また、ジエノフィル構造は、上記エチレン性不飽和二重構造が熱(例えば、後述する硬化膜の製造方法におけるポストベーク工程における加熱など)によって別のエチレン性不飽和二重構造を生じる構造であってもよい。さらに、エチレン性不飽和二重構造を持たない構造が熱によってエチレン性不飽和二重構造を生じる構造を含んでいてもよい。
構成単位e1に含まれるジエノフィル構造は、上記の共役ジエン構造と付加的に反応して環式構造を与えるエチレン性不飽和二重構造であれば特に限定されず、例えば、炭素−炭素二重結合を有するアルケニル基や、炭素−炭素三重結合を有するアルキニル基などが挙げられる。
また、ジエノフィル構造は、上記エチレン性不飽和二重構造が熱(例えば、後述する硬化膜の製造方法におけるポストベーク工程における加熱など)によって別のエチレン性不飽和二重構造を生じる構造であってもよい。さらに、エチレン性不飽和二重構造を持たない構造が熱によってエチレン性不飽和二重構造を生じる構造を含んでいてもよい。
ここで、ジエノフィル構造は、低誘電率、高耐薬品性と経時安定性を両立する理由から、エチレン性不飽和二重結合を含む基であることが好ましい。
エチレン性不飽和二重結合を含む基としては下記式(E−1)〜(E−8)で表されることが好ましい。なお、*は結合位置を表し、Lは単結合又は二価の連結基を表す。
なかでも、低誘電率と高耐薬品性の両立という観点からは、式(E−1)、(E−2)、(E−3)、(E−4)、(E−5)、(E−6)で表される基が好ましい。
式(E−1)〜(E−8)中、Y1〜Y9はそれぞれ独立に、水素原子又は1価の置換基を表す。1価の置換基としては、上述した式(B−1)〜(B−6)中の1価の置換基と同義であり、好ましい範囲も同様である。なお、*は結合位置を表す。
式(E−3)中、Lは単結合又は二価の連結基を表し、なかでもアルキレン基、−O−、−S−が好ましい。アルキレン基としてはメチレン基が好ましく、−O−またはメチレンがさらに好ましい。
式(E−1)〜(E−8)中、Y1〜Y9はそれぞれ独立に、水素原子又は1価の置換基を表す。1価の置換基としては、上述した式(B−1)〜(B−6)中の1価の置換基と同義であり、好ましい範囲も同様である。なお、*は結合位置を表す。
式(E−3)中、Lは単結合又は二価の連結基を表し、なかでもアルキレン基、−O−、−S−が好ましい。アルキレン基としてはメチレン基が好ましく、−O−またはメチレンがさらに好ましい。
<<ジエノフィル構造を有する構成単位e1の好ましい態様>>
下記に、ジエノフィル構造を有する構成単位e1の具体例として、式(e1−1)〜(e1−15)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
下記に、ジエノフィル構造を有する構成単位e1の具体例として、式(e1−1)〜(e1−15)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
後述する重合体A1−1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合、ジエノフィル構造を含む構成単位e1の含有量は、全重合体に対して、15mol%以上であることが好ましく、30〜50mol%であることがより好ましい。
後述する重合体A1−1以外の重合体がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合も、好ましい含有量については同様である。
ジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
後述する重合体A1−1以外の重合体がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合も、好ましい含有量については同様である。
ジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
<ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2>
ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2は、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物e2」ともいう。)である。
ここで、化合物e2が含まれる態様は、上述した条件2を満たす観点から、感光性樹脂組成物中に含まれる態様である必要がある。
また、化合物e2が有するジエノフィル構造は、上述した構成単位e1において説明したものと同様である。
ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2は、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物e2」ともいう。)である。
ここで、化合物e2が含まれる態様は、上述した条件2を満たす観点から、感光性樹脂組成物中に含まれる態様である必要がある。
また、化合物e2が有するジエノフィル構造は、上述した構成単位e1において説明したものと同様である。
<<ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の好ましい態様>>
下記に、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の具体例として、式(E2−1)〜(E2−10)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
下記に、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の具体例として、式(E2−1)〜(E2−10)の好ましい例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含有する場合、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、5〜40質量部が好ましく、10〜30質量部がより好ましい。
上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
また、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の分子量としては、1000以下が好ましく、200〜1000であることがより好ましい。
上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
また、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の分子量としては、1000以下が好ましく、200〜1000であることがより好ましい。
次に、本発明の第1の態様で用いる重合体成分等の各成分について、詳細に説明する。
本発明の第1の態様は、以下の重合体成分A1と、光酸発生剤B1、溶剤Cとを含有する。
本発明の第1の態様は、以下の重合体成分A1と、光酸発生剤B1、溶剤Cとを含有する。
〔重合体成分A1〕
<重合体A1−1>
重合体成分A1は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分である。
ここで、重合体成分A1は、後述する光酸発生剤B1から生じる触媒量の酸性物質の作用により、上記重合体A1−1中の酸分解性基の脱保護反応が進行し、酸基が生じることにより、硬化反応が可能となる。
また、重合体成分A1は、上記重合体A1−1に加えて、上述の条件を満たす観点から必要に応じて添加される他の重合体を含めたものであり、任意の重合体または他の重合体を含めたものを意味する。
<重合体A1−1>
重合体成分A1は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分である。
ここで、重合体成分A1は、後述する光酸発生剤B1から生じる触媒量の酸性物質の作用により、上記重合体A1−1中の酸分解性基の脱保護反応が進行し、酸基が生じることにより、硬化反応が可能となる。
また、重合体成分A1は、上記重合体A1−1に加えて、上述の条件を満たす観点から必要に応じて添加される他の重合体を含めたものであり、任意の重合体または他の重合体を含めたものを意味する。
本発明においては、重合体成分A1が含有する重合体は、付加重合型の重合体であることが好ましく、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位を含む重合体であることがより好ましい。
また、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位以外の構成単位、例えば、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位等を有していてもよい。
また、「(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位」を「アクリル系構成単位」ともいう。
また、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位以外の構成単位、例えば、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位等を有していてもよい。
また、「(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位」を「アクリル系構成単位」ともいう。
本発明の第1の態様は、下記1〜3に示す条件をいずれか1つ満たす。
(条件)
1:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
(条件)
1:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
本発明の第1の態様における上記条件1〜3のうち、成膜性や耐薬品性、パターニング性の理由から、上記条件1を満たすと、好ましい。特に、本発明の第1の態様における下記条件1の第1の実施形態がより好ましい。
<他の構成単位>
条件1の第1の態様において、重合体成分A1は、上述した構成単位d1および構成単位e1に加えて、酸基を有する構成単位や、これら以外の構成単位(以下、上記以外の構成単位ともいう。)を有する重合体を含有していてもよい。条件1の第2の態様、条件1の第3の態様及び条件1の第4の態様においても同様である。
上述した構成単位a1、構成単位d1および構成単位e1を有する重合体は、上述した条件1〜3を満たすものであれば、構成単位の組み合わせや、重合体の数は特に限定されない。
条件1の第1の態様において、重合体成分A1は、上述した構成単位d1および構成単位e1に加えて、酸基を有する構成単位や、これら以外の構成単位(以下、上記以外の構成単位ともいう。)を有する重合体を含有していてもよい。条件1の第2の態様、条件1の第3の態様及び条件1の第4の態様においても同様である。
上述した構成単位a1、構成単位d1および構成単位e1を有する重合体は、上述した条件1〜3を満たすものであれば、構成単位の組み合わせや、重合体の数は特に限定されない。
<<酸基を有する構成単位>>
本発明の重合体成分A1は酸基を有する構成単位を含有することが好ましい。重合体成分A1が酸基を有することにより、アルカリ性の現像液に溶けやすくなり、現像性が良くなるだけでなく、感度に優れる。酸基を有する構成単位は、酸基を形成しうるモノマーを用いて、重合体に組み込まれる。
酸基としては公知のものを使用でき、特に限定されない。具体的な酸基としては、カルボキシル酸基、スルホンアミド基、ホスホン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基等が例示され、カルボキシル基および/またはフェノール性水酸基が好ましい。特に、本発明で用いられる酸基を有する構成単位は、カルボキシル基および/またはフェノール性水酸基を有する構成単位であることが好ましい。
本発明の第1の態様で用いられる酸基を有する構成単位は、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位も好ましい。例えば、特開2012−88459号公報の段落番号0021〜0023および段落番号0029〜0044記載の化合物を用いることができる。なかでも、p−ヒドロキシスチレン、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸に由来する構成単位が好ましい。
本発明の第1の態様では、特に、カルボキシル基を有する構成単位、または、フェノール性水酸基を有する構成単位を含有することが、感度の観点でより好ましい。例えば、特開2012−88459号公報の段落番号0021〜0023および段落番号0029〜0044記載の酸基を有する構成単位を用いることができる。
酸基を有する構成単位a3としては、感度の観点から、カルボキシル基を有する構成単位、又は、フェノール性水酸基を有する構成単位が好ましく、カルボキシル基を有する構成単位がより好ましい。
本発明の重合体成分A1は酸基を有する構成単位を含有することが好ましい。重合体成分A1が酸基を有することにより、アルカリ性の現像液に溶けやすくなり、現像性が良くなるだけでなく、感度に優れる。酸基を有する構成単位は、酸基を形成しうるモノマーを用いて、重合体に組み込まれる。
酸基としては公知のものを使用でき、特に限定されない。具体的な酸基としては、カルボキシル酸基、スルホンアミド基、ホスホン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基等が例示され、カルボキシル基および/またはフェノール性水酸基が好ましい。特に、本発明で用いられる酸基を有する構成単位は、カルボキシル基および/またはフェノール性水酸基を有する構成単位であることが好ましい。
本発明の第1の態様で用いられる酸基を有する構成単位は、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位も好ましい。例えば、特開2012−88459号公報の段落番号0021〜0023および段落番号0029〜0044記載の化合物を用いることができる。なかでも、p−ヒドロキシスチレン、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸に由来する構成単位が好ましい。
本発明の第1の態様では、特に、カルボキシル基を有する構成単位、または、フェノール性水酸基を有する構成単位を含有することが、感度の観点でより好ましい。例えば、特開2012−88459号公報の段落番号0021〜0023および段落番号0029〜0044記載の酸基を有する構成単位を用いることができる。
酸基を有する構成単位a3としては、感度の観点から、カルボキシル基を有する構成単位、又は、フェノール性水酸基を有する構成単位が好ましく、カルボキシル基を有する構成単位がより好ましい。
<<酸基を有する構成単位の好ましい態様>>
酸基を含む構成単位は、全重合体成分の構成単位に対し、1〜80モル%が好ましく、1〜50モル%がより好ましく、1〜30モル%が好ましく、3〜20モル%がより好ましく、5〜15モル%が更に好ましい。酸基を有する構成単位の使用割合を上記範囲とすることで、より耐溶剤性を最適化すると共に、より感度に優れる硬化膜が得られる。
酸基を含む構成単位は、全重合体成分の構成単位に対し、1〜80モル%が好ましく、1〜50モル%がより好ましく、1〜30モル%が好ましく、3〜20モル%がより好ましく、5〜15モル%が更に好ましい。酸基を有する構成単位の使用割合を上記範囲とすることで、より耐溶剤性を最適化すると共に、より感度に優れる硬化膜が得られる。
<<上記以外の構成単位>>
上記以外の構成単位は、本発明の効果を阻害しない限度において、硬化性の観点から、上述の共役ジエン構造とジエノフィル構造とのディールスアルダー反応を利用する架橋基以外の架橋性基を含有していてもよい。具体的には、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、−NH−CH2−O−R(Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)で表される基、及びブロックイソシアナート基よりなる群から選ばれた少なくとも1つを含む構成単位が挙げられ、エポキシ基、オキセタニル基、−NH−CH2−O−R(Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)で表される基、及びブロックイソシアナート基よりなる群から選ばれた少なくとも1種を含む構成単位であることが好ましく、エポキシ基、オキセタニル基、及び、−NH−CH2−O−R(Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)で表される基よりなる群から選ばれた少なくとも1種を含む構成単位を含有していてもよい。
上記以外の構成単位は、本発明の効果を阻害しない限度において、硬化性の観点から、上述の共役ジエン構造とジエノフィル構造とのディールスアルダー反応を利用する架橋基以外の架橋性基を含有していてもよい。具体的には、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、−NH−CH2−O−R(Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)で表される基、及びブロックイソシアナート基よりなる群から選ばれた少なくとも1つを含む構成単位が挙げられ、エポキシ基、オキセタニル基、−NH−CH2−O−R(Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)で表される基、及びブロックイソシアナート基よりなる群から選ばれた少なくとも1種を含む構成単位であることが好ましく、エポキシ基、オキセタニル基、及び、−NH−CH2−O−R(Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)で表される基よりなる群から選ばれた少なくとも1種を含む構成単位を含有していてもよい。
<<<エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位>>>
本発明の効果を阻害しない限度において、硬化性の観点から、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位を有する重合体を含有していてもよい。なお、3員環の環状エーテル基はエポキシ基とも呼ばれ、4員環の環状エーテル基はオキセタニル基とも呼ばれる。
上記エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位は、1つの構成単位中にエポキシ基およびオキセタニル基の少なくとも一方を有していてもよく、1つ以上のエポキシ基及び1つ以上オキセタニル基、2つ以上のエポキシ基、又は、2つ以上のオキセタニル基を有していてもよく、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を合計1〜3つ有していてもよく、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を合計1又は2つを有していてもよく、エポキシ基又はオキセタニル基を1つ有していてもよい。
本発明の効果を阻害しない限度において、硬化性の観点から、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位を有する重合体を含有していてもよい。なお、3員環の環状エーテル基はエポキシ基とも呼ばれ、4員環の環状エーテル基はオキセタニル基とも呼ばれる。
上記エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位は、1つの構成単位中にエポキシ基およびオキセタニル基の少なくとも一方を有していてもよく、1つ以上のエポキシ基及び1つ以上オキセタニル基、2つ以上のエポキシ基、又は、2つ以上のオキセタニル基を有していてもよく、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を合計1〜3つ有していてもよく、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を合計1又は2つを有していてもよく、エポキシ基又はオキセタニル基を1つ有していてもよい。
エポキシ基を有する構成単位を形成するために用いられるエポキシ基を有する重合性単量体(ラジカル重合性単量体)の具体例としては、例えば、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、α−エチルアクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、特許第4168443号公報の段落0031〜0035に記載の脂環式エポキシ骨格を含有する化合物などが挙げられる。
オキセタニル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体の具体例としては、例えば、特開2001−330953号公報の段落0011〜0016に記載のオキセタニル基を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。
上記エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体の具体例としては、メタクリル酸エステル構造を含有するモノマー、アクリル酸エステル構造を含有するモノマーであってもよい。
オキセタニル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体の具体例としては、例えば、特開2001−330953号公報の段落0011〜0016に記載のオキセタニル基を有する(メタ)アクリル酸エステルなどが挙げられる。
上記エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体の具体例としては、メタクリル酸エステル構造を含有するモノマー、アクリル酸エステル構造を含有するモノマーであってもよい。
これらの中でも好ましいものは、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、メタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、アクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル、及び、メタクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルである。これらの構成単位は、1種単独又は2種類以上を組み合わせて使用してもよい。
エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有する構成単位の好ましい具体例としては、下記の構成単位が例示できる。なお、Rは、水素原子又はメチル基を表す。
また、上記以外の構成単位は、本発明の効果を阻害しない限度において、硬化性の観点から、具体的には、例えば、スチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、メトキシスチレン、エトキシスチレン、クロロスチレン、ビニル安息香酸メチル、ビニル安息香酸エチル、4−ヒドロキシ安息香酸(3−メタクリロイルオキシプロピル)エステル、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、アクリロニトリル、エチレングリコールモノアセトアセテートモノ(メタ)アクリレートなどによる構成単位を挙げることができる。この他、特開2004−264623号公報の段落0021〜0024に記載の化合物を有していてもよい。
更にまた、上記以外の構成単位は、本発明の効果を阻害しない限度において、硬化性の観点から、(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位が、密着性の観点で好ましい。具体的には(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル等が挙げられ、(メタ)アクリル酸メチルを有していてもよい。重合体を構成する全構成単位中、上記以外の構成単位の含有率は、60mol%以下有していてもよく、50mol%以下有していてもよく、40mol%以下有していてもよい。下限値としては、0mol%有していてもよいが、例えば、1mol%以上有していてもよく、5mol%以上有していてもよい。
<分子量>
重合体成分A1における重合体の分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、好ましくは5000〜50000、より好ましくは7000〜30000、更に好ましくは8000〜25000の範囲である。上記の数値の範囲内であると、諸特性が良好である。数平均分子量Mnと重量平均分子量Mwとの比(分散度、Mw/Mn)は1.0〜3.0が好ましく、1.0〜2.5がより好ましい。
重合体成分A1における重合体の分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、好ましくは5000〜50000、より好ましくは7000〜30000、更に好ましくは8000〜25000の範囲である。上記の数値の範囲内であると、諸特性が良好である。数平均分子量Mnと重量平均分子量Mwとの比(分散度、Mw/Mn)は1.0〜3.0が好ましく、1.0〜2.5がより好ましい。
<調製方法>
重合体成分A1における重合体の合成法についても、様々な方法が知られているが、一例を挙げると、上述した各構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体を含むラジカル重合性単量体混合物を有機溶剤中、ラジカル重合開始剤を用いて重合することにより合成することができる。また、いわゆる高分子反応で合成することもできる。
重合体成分A1における重合体の合成法についても、様々な方法が知られているが、一例を挙げると、上述した各構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体を含むラジカル重合性単量体混合物を有機溶剤中、ラジカル重合開始剤を用いて重合することにより合成することができる。また、いわゆる高分子反応で合成することもできる。
<含有量>
本発明の第1の態様においては、重合体成分A1の含有量が、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、25〜99質量部であることが好ましく、30〜98質量部であることがより好ましく、35〜98質量部であることが更に好ましい。含有量がこの範囲であると、より耐薬品性の良好な硬化膜が得られる。
本発明の第1の態様においては、重合体成分A1の含有量が、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、25〜99質量部であることが好ましく、30〜98質量部であることがより好ましく、35〜98質量部であることが更に好ましい。含有量がこの範囲であると、より耐薬品性の良好な硬化膜が得られる。
〔光酸発生剤B1〕
本発明の第1の態様は、光酸発生剤B1を含有する。
光酸発生剤B1としては、波長300nm以上、好ましくは波長300〜450nmの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、波長300nm以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長300nm以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。本発明で使用される光酸発生剤としては、pKaが4以下の酸を発生する光酸発生剤が好ましく、pKaが3以下の酸を発生する光酸発生剤がより好ましく、2以下の酸を発生する光酸発生剤が最も好ましい。なお本発明において、pKaは、25℃の水中におけるpKaを指す。水中で測定できないものは、測定に適する溶剤に変更し測定したものを指す。具体的には、化学便覧等に記載のpKaが参考にできる。pKaが3以下の酸としては、スルホン酸またはホスホン酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましい。
本発明の第1の態様は、光酸発生剤B1を含有する。
光酸発生剤B1としては、波長300nm以上、好ましくは波長300〜450nmの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、波長300nm以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長300nm以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。本発明で使用される光酸発生剤としては、pKaが4以下の酸を発生する光酸発生剤が好ましく、pKaが3以下の酸を発生する光酸発生剤がより好ましく、2以下の酸を発生する光酸発生剤が最も好ましい。なお本発明において、pKaは、25℃の水中におけるpKaを指す。水中で測定できないものは、測定に適する溶剤に変更し測定したものを指す。具体的には、化学便覧等に記載のpKaが参考にできる。pKaが3以下の酸としては、スルホン酸またはホスホン酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましい。
光酸発生剤B1として、具体的には、特開2015−99320号公報の段落0068〜0087に記載の光酸発生剤を使用することができる。中でも、オキシムスルホネート化合物、イミドスルホネート化合物及びオニウム塩化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物を使用することが好ましい。
これらの光酸発生剤は、単独でまたは2種類以上を組み合わせて用いることができる。本発明の第1の態様における光酸発生剤B1の配合量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、0.3〜5質量部であることが好ましく、0.5〜4質量部であることがより好ましく、1〜3質量部であることがさらに好ましい。
い。
光酸発生剤B1の配合量を上記範囲とすることで、硬化膜の耐溶剤性がより良好となる。
い。
光酸発生剤B1の配合量を上記範囲とすることで、硬化膜の耐溶剤性がより良好となる。
〔溶剤C〕
本発明の第1の態様は、溶剤Cを含有する。
溶剤Cは特に限定されず、公知の溶剤を用いることができる。なお、本発明の感光性樹脂組成物は、上述した必須成分と、後述する任意成分を溶剤に溶解した溶液として調製されることが好ましい。また、溶剤としては、必須成分および任意成分を溶解し、各成分と反応しないものが好ましい。
本発明の第1の態様は、溶剤Cを含有する。
溶剤Cは特に限定されず、公知の溶剤を用いることができる。なお、本発明の感光性樹脂組成物は、上述した必須成分と、後述する任意成分を溶剤に溶解した溶液として調製されることが好ましい。また、溶剤としては、必須成分および任意成分を溶解し、各成分と反応しないものが好ましい。
溶剤Cの例として、具体的には、特開2015−99320号公報の段落0102〜0105に記載の溶剤を使用することができる。
本発明の第1の態様における溶剤Cの含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、100〜1000質量部であることが好ましく、200〜800質量部であることがより好ましく、250〜500質量部であることがさらに好ましい。
本発明の第1の態様における溶剤Cの含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、100〜1000質量部であることが好ましく、200〜800質量部であることがより好ましく、250〜500質量部であることがさらに好ましい。
<密着改良剤>
本発明の第1の態様は、密着改良剤を含有してもよい。密着改良剤としてはアルコキシシラン化合物などが挙げられる。
密着改良剤の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対し、0.001〜15質量部であることが好ましく、0.005〜10質量部であることがより好ましい。
密着改良剤は、1種類のみ用いてもよいし、2種類以上用いてもよい。2種類以上用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の第1の態様は、密着改良剤を含有してもよい。密着改良剤としてはアルコキシシラン化合物などが挙げられる。
密着改良剤の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対し、0.001〜15質量部であることが好ましく、0.005〜10質量部であることがより好ましい。
密着改良剤は、1種類のみ用いてもよいし、2種類以上用いてもよい。2種類以上用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
密着改良剤の例として、具体的には、例えば、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどが挙げられる。これらのうち、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましく、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランがより好ましい。これらは1種単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
<増感剤>
本発明の第1の態様は、増感剤を含有してもよい。増感剤は、活性光線を吸収して電子励起状態となる。電子励起状態となった増感剤は、光酸発生剤と接触して、電子移動、エネルギー移動、発熱などの作用が生じる。これにより光酸発生剤は化学変化を起こして分解し、酸を生成する。このため、増感剤を含有させることで、光酸発生剤の分解を促進させることができる。好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ350〜450nmの波長域に吸収波長を有する化合物を挙げることができる。
本発明の第1の態様は、増感剤を含有してもよい。増感剤は、活性光線を吸収して電子励起状態となる。電子励起状態となった増感剤は、光酸発生剤と接触して、電子移動、エネルギー移動、発熱などの作用が生じる。これにより光酸発生剤は化学変化を起こして分解し、酸を生成する。このため、増感剤を含有させることで、光酸発生剤の分解を促進させることができる。好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ350〜450nmの波長域に吸収波長を有する化合物を挙げることができる。
増感剤の例として、具体的には、例えば、特開2015−99320号公報の段落0107〜0109に記載の増感剤を使用することができる。
<塩基性化合物>
本発明の第1の態様は、塩基性化合物を含有してもよい。塩基性化合物としては、化学増幅型ポジ型レジストで用いられるものの中から任意に選択して使用することができる。例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、カルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの具体例としては、特開2011−221494号公報の段落番号0204〜0207に記載の化合物が挙げられる。
本発明の第1の態様は、塩基性化合物を含有してもよい。塩基性化合物としては、化学増幅型ポジ型レジストで用いられるものの中から任意に選択して使用することができる。例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、カルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの具体例としては、特開2011−221494号公報の段落番号0204〜0207に記載の化合物が挙げられる。
塩基性化合物の例として、具体的には、例えば、特開2015−99320号公報の段落0119〜0121に記載の塩基性化合物を使用することができる。
<界面活性剤>
本発明の第1の態様は、界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、または、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン界面活性剤である。界面活性剤は、例えば、特開2012−88459号公報の段落番号0201〜0205に記載のものや、特開2011−215580号公報の段落番号0185〜0188に記載のものを用いることができる。
本発明の第1の態様は、界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、または、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン界面活性剤である。界面活性剤は、例えば、特開2012−88459号公報の段落番号0201〜0205に記載のものや、特開2011−215580号公報の段落番号0185〜0188に記載のものを用いることができる。
界面活性剤の例として、具体的には、例えば、特開2015−99320号公報の段落0122〜0126に記載の界面活性剤を使用することができる。
<その他の成分>
本発明の第1の態様は、必要に応じて、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を、それぞれ独立に1種または2種以上、加えることができる。
本発明の第1の態様は、必要に応じて、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を、それぞれ独立に1種または2種以上、加えることができる。
[本発明の第2の態様]
次に、本発明の感光性樹脂組成物の第2の態様について説明する。
本発明の第2の態様に係る感光性樹脂組成物は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、キノンジアジド化合物B2、溶剤Cとを含有し、後述する条件1’〜 3’をいずれか1つ満たす感光性樹脂組成物である。
ここで、後述する条件1〜3は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1中もしくは重合体A2−1以外の重合体中または感光性樹脂組成物中に、共役ジエン構造を含む成分が必要であることと、ジエノフィル構造を含む成分が必要であることを示すものである。
共役ジエン構造を含む成分とは、共役ジエン構造を有する構成単位d1、または、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を示すものである。
ジエノフィル構造を含む成分とは、ジエノフィル構造を有する構成単位e1、または、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を示すものである。
(条件)
1’:上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
以下の説明においては、重合体ごとではなく、重合体成分として必要な重合体中の構成単位および感光性樹脂組成物中の化合物を中心に説明する。
次に、本発明の感光性樹脂組成物の第2の態様について説明する。
本発明の第2の態様に係る感光性樹脂組成物は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、キノンジアジド化合物B2、溶剤Cとを含有し、後述する条件1’〜 3’をいずれか1つ満たす感光性樹脂組成物である。
ここで、後述する条件1〜3は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1中もしくは重合体A2−1以外の重合体中または感光性樹脂組成物中に、共役ジエン構造を含む成分が必要であることと、ジエノフィル構造を含む成分が必要であることを示すものである。
共役ジエン構造を含む成分とは、共役ジエン構造を有する構成単位d1、または、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を示すものである。
ジエノフィル構造を含む成分とは、ジエノフィル構造を有する構成単位e1、または、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を示すものである。
(条件)
1’:上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:上記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
以下の説明においては、重合体ごとではなく、重合体成分として必要な重合体中の構成単位および感光性樹脂組成物中の化合物を中心に説明する。
<酸基を有する構成単位a2>
酸基を有する構成単位a2(以下、構成単位a2ともいう。)は、後述する重合体A2−1に含有される単位である。酸基を有する構成単位a2としては、前述の第一の態様における酸基を有する構成単位と同様のものを用いることができる。
酸基を有する構成単位a2(以下、構成単位a2ともいう。)は、後述する重合体A2−1に含有される単位である。酸基を有する構成単位a2としては、前述の第一の態様における酸基を有する構成単位と同様のものを用いることができる。
<<酸基を有する構成単位a2の好ましい態様>>
本発明の第2の態様は、重合体の全構成単位中、酸基を有する構成単位a2が3〜30mol%含有されていることが好ましく、5〜25mol%含有されていることがより好ましく、8〜23mol%含有されていることが更に好ましい。酸基を有する構成単位a2の使用割合を上記範囲とすることで、より耐溶剤性を最適化すると共に、より感度に優れる硬化膜が得られる。
本発明の第2の態様は、重合体の全構成単位中、酸基を有する構成単位a2が3〜30mol%含有されていることが好ましく、5〜25mol%含有されていることがより好ましく、8〜23mol%含有されていることが更に好ましい。酸基を有する構成単位a2の使用割合を上記範囲とすることで、より耐溶剤性を最適化すると共に、より感度に優れる硬化膜が得られる。
<共役ジエン構造を有する構成単位d1>
構成単位d1は、共役ジエン構造を有する構成単位(以下、「構成単位d1」ともいう。)である。
上述した条件1’および2’を満たす場合には、構成単位d1は重合体A2−1に含まれる態様であるか、または重合体A2−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。
構成単位d1は、共役ジエン構造を有する構成単位(以下、「構成単位d1」ともいう。)である。
上述した条件1’および2’を満たす場合には、構成単位d1は重合体A2−1に含まれる態様であるか、または重合体A2−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。
<<共役ジエン構造>>
構成単位d1に含まれる共役ジエン構造は、後述するジエノフィル構造と付加的に反応して環式構造を与えれば特に限定されず、鎖状および環状のいずれの構造をとることができる。
ここで、共役ジエン構造は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
構成単位d1に含まれる共役ジエン構造は、後述するジエノフィル構造と付加的に反応して環式構造を与えれば特に限定されず、鎖状および環状のいずれの構造をとることができる。
ここで、共役ジエン構造は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
<<共役ジエン構造を有する構成単位d1の好ましい態様>>
共役ジエン構造を有する構成単位d1の具体例は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有し、後述の共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含まない様態の場合、共役ジエン構造を有する構成単位d1の含有量は、全重合体に対して、15〜50mol%が好ましく、20〜40mol%がより好ましい。
共役ジエン構造を含む構成単位d1を有する重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
共役ジエン構造を有する構成単位d1の具体例は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有し、後述の共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含まない様態の場合、共役ジエン構造を有する構成単位d1の含有量は、全重合体に対して、15〜50mol%が好ましく、20〜40mol%がより好ましい。
共役ジエン構造を含む構成単位d1を有する重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
<共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2>
化合物d2は、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物d2」ともいう。)である。
上述した条件3’を満たす場合には、化合物d2が感光性樹脂組成物中に含まれる必要がある。また、条件1’または2’において任意の添加剤として含むこともできる。化合物d2が有する共役ジエン構造は、上述した構成単位d1において説明したものと同様のものを用いることができ、好ましい範囲も同様である。
化合物d2は、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物d2」ともいう。)である。
上述した条件3’を満たす場合には、化合物d2が感光性樹脂組成物中に含まれる必要がある。また、条件1’または2’において任意の添加剤として含むこともできる。化合物d2が有する共役ジエン構造は、上述した構成単位d1において説明したものと同様のものを用いることができ、好ましい範囲も同様である。
<<共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の好ましい態様>>
共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の好ましい態様は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の好ましい態様は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含有する場合、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、5〜25質量部であることが好ましく、10〜20質量部であることがより好ましい。
上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
<ジエノフィル構造を有する構成単位e1>
構成単位e1は、ジエノフィル構造を有する構成単位(以下、「構成単位e1」ともいう。)である。
上述した条件1’および3’を満たす場合には、重合体A2−1に含まれる態様であるか、または重合体A2−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。
構成単位e1は、ジエノフィル構造を有する構成単位(以下、「構成単位e1」ともいう。)である。
上述した条件1’および3’を満たす場合には、重合体A2−1に含まれる態様であるか、または重合体A2−1以外の重合体に含まれる態様のいずれかである必要がある。
<<ジエノフィル構造>>
構成単位e1に含まれるジエノフィル構造は、上記の共役ジエン構造と付加的に反応して環式構造を与える不飽和構造であれば特に限定されず、例えば、炭素−炭素二重結合を有するアルケニル基や、炭素−炭素三重結合を有するアルキニル基などが挙げられる。
さらに、不飽和構造を持たない構造が熱によって不飽和構造を生じる構造を含んでいても良い。
ここで、ジエノフィル構造は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
構成単位e1に含まれるジエノフィル構造は、上記の共役ジエン構造と付加的に反応して環式構造を与える不飽和構造であれば特に限定されず、例えば、炭素−炭素二重結合を有するアルケニル基や、炭素−炭素三重結合を有するアルキニル基などが挙げられる。
さらに、不飽和構造を持たない構造が熱によって不飽和構造を生じる構造を含んでいても良い。
ここで、ジエノフィル構造は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
<<ジエノフィル構造を有する構成単位e1の好ましい態様>>
ジエノフィル構造を有する構成単位e1の好ましい態様は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
ジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有し、後述の共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含まない様態の場合、ジエノフィル構造を含む構成単位e1の含有量は、全重合体に対して、15〜40mol%が好ましく、20〜30mol%がより好ましい。
ジエノフィル構造を含む構成単位e1を有する重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
ジエノフィル構造を有する構成単位e1の好ましい態様は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
ジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有し、後述の共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含まない様態の場合、ジエノフィル構造を含む構成単位e1の含有量は、全重合体に対して、15〜40mol%が好ましく、20〜30mol%がより好ましい。
ジエノフィル構造を含む構成単位e1を有する重合体を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
<ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2>
化合物e2は、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物e2」ともいう。)である。
ここで、化合物e2が含まれる態様は、上述した条件3を満たす観点から、感光性樹脂組成物中に含まれる態様である必要がある。
また、化合物e2が有するジエノフィル構造は、上述した構成単位e1において説明したものと同様である。
化合物e2は、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物(以下、「化合物e2」ともいう。)である。
ここで、化合物e2が含まれる態様は、上述した条件3を満たす観点から、感光性樹脂組成物中に含まれる態様である必要がある。
また、化合物e2が有するジエノフィル構造は、上述した構成単位e1において説明したものと同様である。
<<ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の好ましい態様>>
ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の具体例は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の具体例は、上述した本発明の第1の態様において説明したものと同様である。
上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含有する場合、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、10〜30質量部であることが好ましく、15〜25質量部であることがより好ましい。
上記感光性樹脂組成物がジエノフィル造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
上記感光性樹脂組成物がジエノフィル造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜における耐薬品性を向上させる観点から好ましい。
次に、本発明の第2の態様で用いる重合体成分等の各成分について、詳細に説明する。
本発明の第2の態様は、以下の重合体成分A2と、キノンジアジド化合物B2、溶剤Cとを含有する。
本発明の第2の態様は、以下の重合体成分A2と、キノンジアジド化合物B2、溶剤Cとを含有する。
〔重合体成分A2〕
<重合体A2−1>
重合体成分A2は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分である。
また、重合体成分A2は、上記重合体A2−1に加えて、上述の条件を満たす観点から必要に応じて添加される他の重合体を含めたものであり、任意の重合体または他の重合体を含めたものを意味する。
<重合体A2−1>
重合体成分A2は、酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分である。
また、重合体成分A2は、上記重合体A2−1に加えて、上述の条件を満たす観点から必要に応じて添加される他の重合体を含めたものであり、任意の重合体または他の重合体を含めたものを意味する。
本発明においては、重合体成分A2が含有する重合体は、付加重合型の重合体であることが好ましく、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位を含む重合体であることがより好ましい。
また、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位以外の構成単位、例えば、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位等を有していてもよい。
また、「(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位」を「アクリル系構成単位」ともいう。
また、(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位以外の構成単位、例えば、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位等を有していてもよい。
また、「(メタ)アクリル酸および/またはそのエステルに由来する構成単位」を「アクリル系構成単位」ともいう。
本発明の第2の態様は、下記1’〜3’に示す条件をいずれか1つ満たす。
(条件)
1’:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
(条件)
1’:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:上記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、上記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、上記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。
本発明の第2の態様における上記条件1’〜 3’のうち、成膜性や耐薬品性、パターニング性の理由から、条件1’を満たすと、好ましい。特に、本発明の第2の態様における下記条件1’の第1の実施形態がより好ましい。
<他の構成単位>
条件1’の第2の態様において、重合体成分A2は、上述した構成単位d1および構成単位e1に加えて、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位や、これら以外の構成単位を有する重合体を含有していてもよい。条件1’の第2の態様、条件1’の第3の態様及び条件1’の第4の態様においても同様である。
上述した構成単位a1、構成単位d1および構成単位e1を有する重合体は、上述した条件1’〜 3’を満たすものであれば、構成単位の組み合わせや、重合体の数は特に限定されない。
条件1’の第2の態様において、重合体成分A2は、上述した構成単位d1および構成単位e1に加えて、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位や、これら以外の構成単位を有する重合体を含有していてもよい。条件1’の第2の態様、条件1’の第3の態様及び条件1’の第4の態様においても同様である。
上述した構成単位a1、構成単位d1および構成単位e1を有する重合体は、上述した条件1’〜 3’を満たすものであれば、構成単位の組み合わせや、重合体の数は特に限定されない。
<分子量>
重合体成分A2における重合体の分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、好ましくは5000〜50000、より好ましくは7000〜30000、更に好ましくは8000〜25000の範囲である。上記の数値の範囲内であると、諸特性が良好である。数平均分子量Mnと重量平均分子量Mwとの比(分散度、Mw/Mn)は1.0〜3.0が好ましく、1.0〜2.5がより好ましい。
重合体成分A2における重合体の分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、好ましくは5000〜50000、より好ましくは7000〜30000、更に好ましくは8000〜25000の範囲である。上記の数値の範囲内であると、諸特性が良好である。数平均分子量Mnと重量平均分子量Mwとの比(分散度、Mw/Mn)は1.0〜3.0が好ましく、1.0〜2.5がより好ましい。
<調製方法>
重合体成分A2における重合体の合成法についても、様々な方法が知られているが、一例を挙げると、上述した各構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体を含むラジカル重合性単量体混合物を有機溶剤中、ラジカル重合開始剤を用いて重合することにより合成することができる。また、いわゆる高分子反応で合成することもできる。
重合体成分A2における重合体の合成法についても、様々な方法が知られているが、一例を挙げると、上述した各構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性単量体を含むラジカル重合性単量体混合物を有機溶剤中、ラジカル重合開始剤を用いて重合することにより合成することができる。また、いわゆる高分子反応で合成することもできる。
<含有量>
本発明の第2の態様においては、重合体成分A2の含有量が、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、40〜85質量部であることが好ましく、45〜80質量部であることがより好ましく、49〜75質量部であることが更に好ましい。含有量がこの範囲であると、より耐薬品性の良好な硬化膜が得られる。
本発明の第2の態様においては、重合体成分A2の含有量が、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、40〜85質量部であることが好ましく、45〜80質量部であることがより好ましく、49〜75質量部であることが更に好ましい。含有量がこの範囲であると、より耐薬品性の良好な硬化膜が得られる。
〔キノンジアジド化合物B2〕
本発明の第2の態様は、キノンジアジド化合物B2を含有する。
本発明の第2の態様に用いられるキノンジアジド化合物としては、活性光線の照射によりカルボン酸を発生する1,2−キノンジアジド化合物を用いることができる。1,2−キノンジアジド化合物としては、フェノール性化合物またはアルコール性化合物と1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとの縮合物を用いることができる。これらの化合物の具体例としては、例えば特開2012−088459公報の段落番号0075〜0078の記載を参酌することができる。
本発明の第2の態様は、キノンジアジド化合物B2を含有する。
本発明の第2の態様に用いられるキノンジアジド化合物としては、活性光線の照射によりカルボン酸を発生する1,2−キノンジアジド化合物を用いることができる。1,2−キノンジアジド化合物としては、フェノール性化合物またはアルコール性化合物と1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとの縮合物を用いることができる。これらの化合物の具体例としては、例えば特開2012−088459公報の段落番号0075〜0078の記載を参酌することができる。
キノンジアジド化合物B2の例として、具体的には、例えば特開2012−088459公報の段落番号0075〜0078に記載のキノンジアジド化合物を使用することができる。
これらのキノンジアジド化合物は、単独でまたは2種類以上を組み合わせて用いることができる。本発明の第2の態様におけるキノンジアジド化合物B2の配合量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、15〜40質量部であることが好ましく、20〜35質量部であることがより好ましく、25〜30質量部であることがさらに好ましい。
キノンジアジド化合物B2の配合量を上記範囲とすることで、現像液となるアルカリ水溶液に対する活性光線の照射部分と未照射部分との溶解度の差が大きく、パターニング性能がより良好となり、また得られる硬化膜の耐溶剤性がより良好となる。
キノンジアジド化合物B2の配合量を上記範囲とすることで、現像液となるアルカリ水溶液に対する活性光線の照射部分と未照射部分との溶解度の差が大きく、パターニング性能がより良好となり、また得られる硬化膜の耐溶剤性がより良好となる。
〔溶剤C〕
本発明の第2の態様は、溶剤Cを含有する。
本発明の第2の態様に含まれる溶剤Cは、上述した本発明の第1の態様における溶剤の説明と同様である。
本発明の第2の態様における溶剤の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、100〜1000質量部であることが好ましく、200〜8000質量部であることがより好ましく、250〜500質量部であることがさらに好ましい。
本発明の第2の態様は、溶剤Cを含有する。
本発明の第2の態様に含まれる溶剤Cは、上述した本発明の第1の態様における溶剤の説明と同様である。
本発明の第2の態様における溶剤の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形成分100質量部に対して、100〜1000質量部であることが好ましく、200〜8000質量部であることがより好ましく、250〜500質量部であることがさらに好ましい。
<その他の成分>
本発明の第2の態様は、上述した本発明の第1の態様におけるその他の成分の説明と同様であり、必要に応じて、密着改良剤、増感剤、塩基性化合物、界面活性剤、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を、それぞれ独立に1種または2種以上、加えることができる。
本発明の第2の態様は、上述した本発明の第1の態様におけるその他の成分の説明と同様であり、必要に応じて、密着改良剤、増感剤、塩基性化合物、界面活性剤、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を、それぞれ独立に1種または2種以上、加えることができる。
〔感光性樹脂組成物の調製方法〕
本発明の第1の態様および第2の態様に係る感光性樹脂組成物(以下、これらをまとめて単に「本発明の感光性樹脂組成物」ともいう。)は、各成分を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解して調製することができる。例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、これらを所定の割合で混合して本発明の感光性樹脂組成物を調製することもできる。以上のように調製した組成物溶液は、例えば孔径0.2μmのフィルター等を用いてろ過した後に、使用することもできる。
本発明の第1の態様および第2の態様に係る感光性樹脂組成物(以下、これらをまとめて単に「本発明の感光性樹脂組成物」ともいう。)は、各成分を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解して調製することができる。例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、これらを所定の割合で混合して本発明の感光性樹脂組成物を調製することもできる。以上のように調製した組成物溶液は、例えば孔径0.2μmのフィルター等を用いてろ過した後に、使用することもできる。
[硬化膜の製造方法]
本発明の硬化膜の製造方法は、以下の(1)〜(5)の工程を含む。
(1)溶剤Cを含有する本発明の感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程(塗布工程)
(2)塗布された感光性樹脂組成物から溶剤Cを除去する工程(溶剤除去工程)
(3)溶剤Cが除去された感光性樹脂組成物を活性光線で露光する工程(露光工程)
(4)露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程(現像工程)
(5)現像された感光性樹脂組成物を熱硬化して硬化膜を得る工程(ポストベーク工程)
以下に各工程を順に説明する。
(1)の工程では、本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布して溶剤を含む湿潤膜とすることが好ましい。
本発明の硬化膜の製造方法は、以下の(1)〜(5)の工程を含む。
(1)溶剤Cを含有する本発明の感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程(塗布工程)
(2)塗布された感光性樹脂組成物から溶剤Cを除去する工程(溶剤除去工程)
(3)溶剤Cが除去された感光性樹脂組成物を活性光線で露光する工程(露光工程)
(4)露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程(現像工程)
(5)現像された感光性樹脂組成物を熱硬化して硬化膜を得る工程(ポストベーク工程)
以下に各工程を順に説明する。
(1)の工程では、本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布して溶剤を含む湿潤膜とすることが好ましい。
(1)の工程を行う前に、基板に対してアルカリ洗浄やプラズマ洗浄などの洗浄を行ってもよい。また、洗浄後の基板に対してヘキサメチルジシラザンなどで基板表面を処理してもよい。ヘキサメチルジシラザンで基板表面を処理する方法としては、特に限定されないが、例えば、ヘキサメチルジシラザン蒸気中に基板を晒しておく方法等が挙げられる。
基板としては、無機基板、樹脂基板、樹脂材料および無機材料の複合材料を用いた基板などが挙げられる。
無機基板としては、例えばガラス基板、石英基板、シリコーン基板、シリコンナイトライド基板、および、これらの基板上にモリブデン、チタン、アルミ、銅などを蒸着した複合基板が挙げられる。
樹脂基板としては、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリコールカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリベンズアゾール、ポリフェニレンサルファイド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン等のフッ素樹脂、液晶ポリマー、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アイオノマー樹脂、シアネート樹脂、架橋フマル酸ジエステル、環状ポリオレフィン、芳香族エーテル、マレイミドーオレフィン、セルロース、エピスルフィド化合物等の合成樹脂からなる基板が挙げられる。
これらの基板は、最終製品の形態によって、例えば、薄膜トランジスター(TFT)素子のような多層積層構造が形成されていてもよい。
基板への感光性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されず、例えば、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法等の方法を用いることができる。
スリットコート法の場合には基板とスリットダイとの相対移動速度を50〜120mm/secとすることが好ましい。
感光性樹脂組成物を塗布したときの湿潤膜厚は特に限定されるものではなく、用途に応じた膜厚で塗布することができる。例えば、0.5〜10μmが好ましい。
基板に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する前に、特開2009−145395号公報に記載されているような、所謂プリウェット法を適用することも可能である。
基板としては、無機基板、樹脂基板、樹脂材料および無機材料の複合材料を用いた基板などが挙げられる。
無機基板としては、例えばガラス基板、石英基板、シリコーン基板、シリコンナイトライド基板、および、これらの基板上にモリブデン、チタン、アルミ、銅などを蒸着した複合基板が挙げられる。
樹脂基板としては、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリコールカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリベンズアゾール、ポリフェニレンサルファイド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン等のフッ素樹脂、液晶ポリマー、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アイオノマー樹脂、シアネート樹脂、架橋フマル酸ジエステル、環状ポリオレフィン、芳香族エーテル、マレイミドーオレフィン、セルロース、エピスルフィド化合物等の合成樹脂からなる基板が挙げられる。
これらの基板は、最終製品の形態によって、例えば、薄膜トランジスター(TFT)素子のような多層積層構造が形成されていてもよい。
基板への感光性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されず、例えば、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法等の方法を用いることができる。
スリットコート法の場合には基板とスリットダイとの相対移動速度を50〜120mm/secとすることが好ましい。
感光性樹脂組成物を塗布したときの湿潤膜厚は特に限定されるものではなく、用途に応じた膜厚で塗布することができる。例えば、0.5〜10μmが好ましい。
基板に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する前に、特開2009−145395号公報に記載されているような、所謂プリウェット法を適用することも可能である。
(2)の工程では、感光性樹脂組成物を塗布して形成した上記の湿潤膜から、減圧(バキューム)および/または加熱等により、溶剤を除去して基板上に乾燥膜を形成させる。溶剤除去工程の加熱条件は、好ましくは70〜130℃で30〜300秒間程度である。温度と時間が上記範囲である場合、後述する(4)の工程を行う際にパターンの密着性がより良好で、且つ残渣もより低減できる傾向にある。
(3)の工程では、乾燥膜を設けた基板に所定のパターンの活性光線を照射する。この工程では、露光部において、酸基(カルボキシル基またはフェノール性水酸基など)が生成され、露光部における現像液への溶解性が向上する。
すなわち、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体成分と、光酸発生剤とを含む態様においては、活性光線の照射によって、光酸発生剤が分解して酸が発生する。そして、発生した酸の触媒作用により、乾燥膜中に含まれる酸分解性基が加水分解されて、酸基としてカルボキシル基またはフェノール性水酸基が生成する。
また、キノンジアジド化合物を含む態様においては、活性光線の照射によって、キノンジアジド化合物から酸基としてカルボキシル基が生成される。
活性光線の光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、発光ダイオード(LED)光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)などの波長300nm以上450nm以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターを通して照射光を調整することもできる。露光量は好ましくは1〜500mJ/cm2である。
露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レンズスキャナ、レーザー露光、など各種方式の露光機を用いることができる。また、いわゆる超解像技術を用いた露光をすることもできる。超解像技術としては、複数回露光する多重露光や、位相シフトマスクを用いる方法、輪帯照明法などが挙げられる。これら超解像技術を用いることでより高精細なパターン形成が可能となり、好ましい。
すなわち、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体成分と、光酸発生剤とを含む態様においては、活性光線の照射によって、光酸発生剤が分解して酸が発生する。そして、発生した酸の触媒作用により、乾燥膜中に含まれる酸分解性基が加水分解されて、酸基としてカルボキシル基またはフェノール性水酸基が生成する。
また、キノンジアジド化合物を含む態様においては、活性光線の照射によって、キノンジアジド化合物から酸基としてカルボキシル基が生成される。
活性光線の光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、発光ダイオード(LED)光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)などの波長300nm以上450nm以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターを通して照射光を調整することもできる。露光量は好ましくは1〜500mJ/cm2である。
露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レンズスキャナ、レーザー露光、など各種方式の露光機を用いることができる。また、いわゆる超解像技術を用いた露光をすることもできる。超解像技術としては、複数回露光する多重露光や、位相シフトマスクを用いる方法、輪帯照明法などが挙げられる。これら超解像技術を用いることでより高精細なパターン形成が可能となり、好ましい。
(4)の工程では、感光性樹脂組成物を、現像液を用いて現像する。現像液に溶解しやすい酸基(カルボキシル基またはフェノール性水酸基など)を有する露光部領域を除去することにより、ポジ画像が形成する。
現像工程で使用する現像液には、塩基性化合物の水溶液が含まれることが好ましい。塩基性化合物としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物類;炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸セシウムなどのアルカリ金属炭酸塩類;重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウムなどのアルカリ金属重炭酸塩類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ジエチルジメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類:コリン等の(ヒドロキシアルキル)トリアルキルアンモニウムヒドロキシド類;ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどのケイ酸塩類;エチルアミン、プロピルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のアルキルアミン類;ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類;1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の脂環式アミン類を使用することができる。
これらのうち、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、コリン(2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド)が好ましい。
また、上記アルカリ類の水溶液にメタノールやエタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。
現像液のpHは、好ましくは10.0〜14.0である。
現像時間は、好ましくは30〜500秒間であり、また、現像の手法は液盛り法(パドル法)、シャワー法、ディップ法等の何れでもよい。
現像する工程の後に、リンス工程を行うこともできる。リンス工程では、現像後の基板を純水などで洗うことで、付着している現像液除去、現像残渣除去を行う。リンス方法は公知の方法を用いることができる。例えばシャワーリンスやディップリンスなどを挙げる事ができる。また、現像する工程の後に、かつ上記熱処理する工程の前に、現像された上記感光性樹脂組成物を露光する工程を行うこともできる。
現像工程で使用する現像液には、塩基性化合物の水溶液が含まれることが好ましい。塩基性化合物としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物類;炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸セシウムなどのアルカリ金属炭酸塩類;重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウムなどのアルカリ金属重炭酸塩類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ジエチルジメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類:コリン等の(ヒドロキシアルキル)トリアルキルアンモニウムヒドロキシド類;ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどのケイ酸塩類;エチルアミン、プロピルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のアルキルアミン類;ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類;1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の脂環式アミン類を使用することができる。
これらのうち、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、コリン(2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド)が好ましい。
また、上記アルカリ類の水溶液にメタノールやエタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。
現像液のpHは、好ましくは10.0〜14.0である。
現像時間は、好ましくは30〜500秒間であり、また、現像の手法は液盛り法(パドル法)、シャワー法、ディップ法等の何れでもよい。
現像する工程の後に、リンス工程を行うこともできる。リンス工程では、現像後の基板を純水などで洗うことで、付着している現像液除去、現像残渣除去を行う。リンス方法は公知の方法を用いることができる。例えばシャワーリンスやディップリンスなどを挙げる事ができる。また、現像する工程の後に、かつ上記熱処理する工程の前に、現像された上記感光性樹脂組成物を露光する工程を行うこともできる。
(5)の工程では、得られたポジ画像を加熱することにより、酸分解性基を熱分解して酸基(カルボキシル基またはフェノール性水酸基など)を生成させ、架橋性基、架橋剤等と架橋させることにより、硬化膜を形成することができる。この加熱は、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を用いて行うことが好ましい。加熱温度は200℃〜350℃が好ましく、250℃〜350℃がより好ましい。加熱時間は、ホットプレート上なら5〜90分間、オーブンなら30〜120分間が好ましい。加熱によって環化反応または架橋反応を進行させることにより、耐熱性、硬度等がより優れた硬化膜を形成することができる。また、加熱処理を行う際は窒素雰囲気下で行うことにより、透明性をより向上させることもできる。
ポストベークの前に、比較的低温でベークを行った後にポストベークすることもできる(ミドルベーク工程の追加)。ミドルベークを行う場合は、90〜150℃で1〜60分加熱した後に、200℃以上の高温でポストベークすることが好ましい。また、ミドルベーク、ポストベークを3段階以上の多段階に分けて加熱する事もできる。このようなミドルベーク、ポストベークの工夫により、パターンのテーパー角を調整することができる。これらの加熱は、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなど、公知の加熱方法を使用することができる。
なお、パターンを形成した基板に活性光線により全面再露光(ポスト露光)した後、ポストベークすることもできる。この場合、未露光部分に存在する光酸発生剤から酸を発生させ、架橋工程を促進する触媒として機能させることができ、膜の硬化反応を促進することができる。ポスト露光工程を含む場合の好ましい露光量としては、100〜3,000mJ/cm2が好ましく、100〜500mJ/cm2が特に好ましい。
ポストベークの前に、比較的低温でベークを行った後にポストベークすることもできる(ミドルベーク工程の追加)。ミドルベークを行う場合は、90〜150℃で1〜60分加熱した後に、200℃以上の高温でポストベークすることが好ましい。また、ミドルベーク、ポストベークを3段階以上の多段階に分けて加熱する事もできる。このようなミドルベーク、ポストベークの工夫により、パターンのテーパー角を調整することができる。これらの加熱は、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなど、公知の加熱方法を使用することができる。
なお、パターンを形成した基板に活性光線により全面再露光(ポスト露光)した後、ポストベークすることもできる。この場合、未露光部分に存在する光酸発生剤から酸を発生させ、架橋工程を促進する触媒として機能させることができ、膜の硬化反応を促進することができる。ポスト露光工程を含む場合の好ましい露光量としては、100〜3,000mJ/cm2が好ましく、100〜500mJ/cm2が特に好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物より得られた硬化膜は、ドライエッチングレジストとして使用することもできる。ポストベーク工程により熱硬化して得られた硬化膜をドライエッチングレジストとして使用する場合、エッチング処理としてはアッシング、プラズマエッチング、オゾンエッチングなどのドライエッチング処理を行うことができる。
[硬化膜]
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜である。また、本発明の硬化膜は、上述した本発明の硬化膜の製造方法により得られた硬化膜であることが好ましい。
本発明の硬化膜は、層間絶縁膜および保護膜として好適に用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、高温でベークされた場合においても高い透明性を有する層間絶縁膜が得られる。本発明の感光性樹脂組成物を用いてなる層間絶縁膜は、高い透明性を有し、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、タッチパネル等の用途に有用である。
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜である。また、本発明の硬化膜は、上述した本発明の硬化膜の製造方法により得られた硬化膜であることが好ましい。
本発明の硬化膜は、層間絶縁膜および保護膜として好適に用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、高温でベークされた場合においても高い透明性を有する層間絶縁膜が得られる。本発明の感光性樹脂組成物を用いてなる層間絶縁膜は、高い透明性を有し、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、タッチパネル等の用途に有用である。
[液晶表示装置]
本発明の液晶表示装置は、本発明の硬化膜を有する。
本発明の液晶表示装置としては、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の液晶表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の液晶表示装置が具備する薄膜トランジスター(TFT)の具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶駆動方式としてはTN(Twisted Nematic)方式、VA(Vertical Alignment)方式、IPS(In−Plane−Switching)方式、FFS(Fringe Field Switching)方式、OCB(Optically Compensated Bend)方式などが挙げられる。
パネル構成においては、COA(Color Filter on Allay)方式の液晶表示装置でも本発明の硬化膜を用いることができ、例えば、特開2005−284291号公報の有機絶縁膜(115)や、特開2005−346054号公報の有機絶縁膜(212)として用いることができる。また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶配向膜の具体的な配向方式としてはラビング配向法、光配向方などが挙げられる。また、特開2003−149647号公報や特開2011−257734号公報に記載のPSA(Polymer Sustained Alignment)技術によってポリマー配向支持されていてもよい。
また、本発明の感光性樹脂組成物および本発明の硬化膜は、上記用途に限定されず種々の用途に使用することができる。例えば、平坦化膜や層間絶縁膜以外にも、カラーフィルターの保護膜や、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーや固体撮像素子においてカラーフィルター上に設けられるマイクロレンズ等に好適に用いることができる。
液晶表示装置の詳細については、特開2007−328210号公報および特開2014−238438号公報の記載を参酌できる。
本発明の液晶表示装置は、本発明の硬化膜を有する。
本発明の液晶表示装置としては、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の液晶表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の液晶表示装置が具備する薄膜トランジスター(TFT)の具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶駆動方式としてはTN(Twisted Nematic)方式、VA(Vertical Alignment)方式、IPS(In−Plane−Switching)方式、FFS(Fringe Field Switching)方式、OCB(Optically Compensated Bend)方式などが挙げられる。
パネル構成においては、COA(Color Filter on Allay)方式の液晶表示装置でも本発明の硬化膜を用いることができ、例えば、特開2005−284291号公報の有機絶縁膜(115)や、特開2005−346054号公報の有機絶縁膜(212)として用いることができる。また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶配向膜の具体的な配向方式としてはラビング配向法、光配向方などが挙げられる。また、特開2003−149647号公報や特開2011−257734号公報に記載のPSA(Polymer Sustained Alignment)技術によってポリマー配向支持されていてもよい。
また、本発明の感光性樹脂組成物および本発明の硬化膜は、上記用途に限定されず種々の用途に使用することができる。例えば、平坦化膜や層間絶縁膜以外にも、カラーフィルターの保護膜や、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーや固体撮像素子においてカラーフィルター上に設けられるマイクロレンズ等に好適に用いることができる。
液晶表示装置の詳細については、特開2007−328210号公報および特開2014−238438号公報の記載を参酌できる。
[有機エレクトロルミネッセンス表示装置]
本発明の有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示装置は、本発明の硬化膜を有する。
本発明の有機EL表示装置としては、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の各種有機EL表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の有機EL表示装置が具備するTFTの具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
有機EL表示装置の詳細については、特開2014−238438号公報の記載を参酌できる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示装置は、本発明の硬化膜を有する。
本発明の有機EL表示装置としては、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の各種有機EL表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の有機EL表示装置が具備するTFTの具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
有機EL表示装置の詳細については、特開2014−238438号公報の記載を参酌できる。
[タッチパネル]
本発明のタッチパネルは、絶縁層及び/又は保護層の、全部又は一部が本発明の感光性組成物の第1の態様の硬化膜又は第2の態様の硬化膜からなるタッチパネルである。また、本発明のタッチパネルは、透明基板、電極及び絶縁層及び/又は保護層を少なくとも有することが好ましい。
静電容量方式のタッチパネルとしては、特開2010−28115号公報に開示されるものや、国際公開第2012/057165号に開示されるものが挙げられる。
静電容量方式のタッチパネルは、前面板と、前面板の非接触側に、少なくとも下記(1)〜(5)の要素を有し、(4)の絶縁層が本発明の感光性樹脂組成物を用いた硬化膜であることが好ましい。
(1)額縁層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)第一の透明電極パターンと第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)第一の透明電極パターンおよび第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、第一の透明電極パターンおよび第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
静電容量方式のタッチパネルは、さらに上記(1)〜(5)の要素の全てまたは一部を覆うように透明保護層を設置することが好ましく、透明保護層が本発明の第1の態様の硬化膜又は第2の態様の硬化膜であることがより好ましい。
本発明のタッチパネルは、絶縁層及び/又は保護層の、全部又は一部が本発明の感光性組成物の第1の態様の硬化膜又は第2の態様の硬化膜からなるタッチパネルである。また、本発明のタッチパネルは、透明基板、電極及び絶縁層及び/又は保護層を少なくとも有することが好ましい。
静電容量方式のタッチパネルとしては、特開2010−28115号公報に開示されるものや、国際公開第2012/057165号に開示されるものが挙げられる。
静電容量方式のタッチパネルは、前面板と、前面板の非接触側に、少なくとも下記(1)〜(5)の要素を有し、(4)の絶縁層が本発明の感光性樹脂組成物を用いた硬化膜であることが好ましい。
(1)額縁層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)第一の透明電極パターンと第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)第一の透明電極パターンおよび第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、第一の透明電極パターンおよび第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
静電容量方式のタッチパネルは、さらに上記(1)〜(5)の要素の全てまたは一部を覆うように透明保護層を設置することが好ましく、透明保護層が本発明の第1の態様の硬化膜又は第2の態様の硬化膜であることがより好ましい。
以下に実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は質量基準である。
〔酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーa1−1)の合成〕
メタクリル酸(和光純薬工業(株)製、86g、1mol)を15℃に冷却しておき、カンファースルホン酸(東京化成工業(株)製、4.6g、0.02mol)を添加した。
次いで、反応溶液に、2,3−ジヒドロフラン(川研ファインケミカル(株)製、71g、1mol、1.0当量)を滴下した。
1時間撹拌した後に、飽和炭酸水素ナトリウム(500mL)を加え、酢酸エチル(500mL)で抽出した。
次いで、硫酸マグネシウムで乾燥させた後、不溶物を濾過後40℃以下で減圧濃縮し、さらに残渣の黄色油状物を減圧蒸留することにより、沸点(bp.)54〜56℃/3.5mmHg留分のモノマーa1−1を無色油状物として125g得た(収率80%)。
メタクリル酸(和光純薬工業(株)製、86g、1mol)を15℃に冷却しておき、カンファースルホン酸(東京化成工業(株)製、4.6g、0.02mol)を添加した。
次いで、反応溶液に、2,3−ジヒドロフラン(川研ファインケミカル(株)製、71g、1mol、1.0当量)を滴下した。
1時間撹拌した後に、飽和炭酸水素ナトリウム(500mL)を加え、酢酸エチル(500mL)で抽出した。
次いで、硫酸マグネシウムで乾燥させた後、不溶物を濾過後40℃以下で減圧濃縮し、さらに残渣の黄色油状物を減圧蒸留することにより、沸点(bp.)54〜56℃/3.5mmHg留分のモノマーa1−1を無色油状物として125g得た(収率80%)。
〔酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーa1−2〜a1−13)の合成〕
a1−1と同様にして、対応するカルボン酸あるいはフェノールとビニルエーテルからモノマーa1−2〜a1−9およびa1−11〜a1−13を合成した。
a1−10:メタクリル酸 tert-ブチル(東京化成工業(株)製)
a1−1と同様にして、対応するカルボン酸あるいはフェノールとビニルエーテルからモノマーa1−2〜a1−9およびa1−11〜a1−13を合成した。
a1−10:メタクリル酸 tert-ブチル(東京化成工業(株)製)
<酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(モノマーa1−1)を含む重合体P1の合成>
PGMEA(90.0g)を窒素気流下、90℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーa1−1(76.05g(全単量体成分中の52mol%に相当))、MAA(6.45g(全単量体成分中の8mol%に相当))、MMA(37.5g(全単量体成分中の40mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−601(5.82g)、および、PGMEA(90.0g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させ、重合体P1の溶液(固形分:40wt%)を得た。
得られた重合体P1のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、11,000であった。
PGMEA(90.0g)を窒素気流下、90℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーa1−1(76.05g(全単量体成分中の52mol%に相当))、MAA(6.45g(全単量体成分中の8mol%に相当))、MMA(37.5g(全単量体成分中の40mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−601(5.82g)、および、PGMEA(90.0g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させ、重合体P1の溶液(固形分:40wt%)を得た。
得られた重合体P1のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、11,000であった。
なお、実施例で用いている略語は、以下の通りである。
<略語>
V−65:2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル) (和光純薬工業(株)製)
V−601:ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート) (和光純薬工業(株)製)
MAEVE:メタクリル酸1−エトキシエチル (和光純薬工業(株)製)
MATHF:2−テトラヒドロフリルメタクリレート
PGMEA:プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート
HS−EDM:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル((株)ダイセル製)
GMA:グリシジルメタクリレート(和光純薬工業(株)製)
OXE−30:メタクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル (大阪有機化学工業(株)製)
MMA:メタクリル酸メチル (和光純薬工業(株)製)
MAA:メタクリル酸 (和光純薬工業(株)製)
HEMA:メタクリル酸2−ヒドロキシエチル (和光純薬(株)製)
DCPMA:ジシクロペンタニルメタクリレート(日立化成(株)製)
St:スチレン (和光純薬工業(株)製)
<略語>
V−65:2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル) (和光純薬工業(株)製)
V−601:ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート) (和光純薬工業(株)製)
MAEVE:メタクリル酸1−エトキシエチル (和光純薬工業(株)製)
MATHF:2−テトラヒドロフリルメタクリレート
PGMEA:プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート
HS−EDM:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル((株)ダイセル製)
GMA:グリシジルメタクリレート(和光純薬工業(株)製)
OXE−30:メタクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル (大阪有機化学工業(株)製)
MMA:メタクリル酸メチル (和光純薬工業(株)製)
MAA:メタクリル酸 (和光純薬工業(株)製)
HEMA:メタクリル酸2−ヒドロキシエチル (和光純薬(株)製)
DCPMA:ジシクロペンタニルメタクリレート(日立化成(株)製)
St:スチレン (和光純薬工業(株)製)
<重合体P2〜P41の合成>
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第1表(その1〜その3)に従って変更した以外は、重合体P1と同様の方法で、重合体P2〜P41を合成した。なお、下記第1表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第1表(その1〜その3)に従って変更した以外は、重合体P1と同様の方法で、重合体P2〜P41を合成した。なお、下記第1表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
〔酸基を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーa2−4)の合成〕
塩酸2−アミノエチルメタクリレート(Aldrich製、10.9g、0.066mol)とTHF(和光純薬工業(株)製、45mL)を室温で混合し、トリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、8.0g、0.079mol)を添加後、氷冷し、cis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物(東京化成工業(株)製、10.1g、0.066mol)とTHF(和光純薬工業(株)製、5mL)の混合溶液を滴下した。室温まで昇温し、5時間攪拌した後、0.2規定塩酸(150mL)を滴下し、酢酸エチル(150mL)で分液した。水層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して得られた粗結晶を、トルエン/水中でリスラリーして、ろ過、乾燥し、モノマーa2−4を11.8g得た(収率63%)。
塩酸2−アミノエチルメタクリレート(Aldrich製、10.9g、0.066mol)とTHF(和光純薬工業(株)製、45mL)を室温で混合し、トリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、8.0g、0.079mol)を添加後、氷冷し、cis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物(東京化成工業(株)製、10.1g、0.066mol)とTHF(和光純薬工業(株)製、5mL)の混合溶液を滴下した。室温まで昇温し、5時間攪拌した後、0.2規定塩酸(150mL)を滴下し、酢酸エチル(150mL)で分液した。水層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して得られた粗結晶を、トルエン/水中でリスラリーして、ろ過、乾燥し、モノマーa2−4を11.8g得た(収率63%)。
〔酸基を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーa2−1〜a2−3、a2−5〜a2−8)〕
a2−1:メタクリル酸 (和光純薬工業(株)製)
a2−2:4−ビニル安息香酸(和光純薬工業(株)製)
a2−3:4−ビニルフェノール(Alfa Aesar製)
a2−1:メタクリル酸 (和光純薬工業(株)製)
a2−2:4−ビニル安息香酸(和光純薬工業(株)製)
a2−3:4−ビニルフェノール(Alfa Aesar製)
〔モノマーa2−5の合成〕
モノマーa2−4の合成におけるcis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物を無水フタル酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−5を合成した。
モノマーa2−4の合成におけるcis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物を無水フタル酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−5を合成した。
〔モノマーa2−6の合成〕
モノマーa2−4の合成における塩酸2−アミノエチルメタクリレートを4−ビニルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)に変更し、cis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物を無水こはく酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−6を合成した。
モノマーa2−4の合成における塩酸2−アミノエチルメタクリレートを4−ビニルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)に変更し、cis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物を無水こはく酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−6を合成した。
〔モノマーa2−7の合成〕
モノマーa2−4の合成におけるcis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物をcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−7を合成した。
〔モノマーa2−8の合成〕
モノマーa2−4の合成におけるcis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−8を合成した。
モノマーa2−4の合成におけるcis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物をcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−7を合成した。
〔モノマーa2−8の合成〕
モノマーa2−4の合成におけるcis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はa2−4の合成と同様にして、モノマーa2−8を合成した。
<酸基を有する構成単位(モノマーa2−4)を含む重合体Q6の合成>
NMP(11.63g)を窒素気流下、70℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーa2−6(4.25g(全単量体成分中の30mol%に相当))、MMA(3.50g(全単量体成分中の70mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−65(0.62g)、および、NMP(11.63g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間70℃で反応させ、重合体Q6の溶液(固形分:25wt%)を得た。
得られた重合体Q6のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、8,800であった。
NMP(11.63g)を窒素気流下、70℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーa2−6(4.25g(全単量体成分中の30mol%に相当))、MMA(3.50g(全単量体成分中の70mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−65(0.62g)、および、NMP(11.63g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間70℃で反応させ、重合体Q6の溶液(固形分:25wt%)を得た。
得られた重合体Q6のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、8,800であった。
<重合体Q1〜Q5およびQ7〜10の合成>
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第2表に従って変更した以外は、重合体Q6と同様の方法で、重合体Q1〜Q5およびQ7〜Q10を合成した。なお、下記第2表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第2表に従って変更した以外は、重合体Q6と同様の方法で、重合体Q1〜Q5およびQ7〜Q10を合成した。なお、下記第2表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
〔共役ジエン構造を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーd1−2)の合成〕
アセトニトリル(80mL)中に、4−ヒドロキシ−6−メチル−2−ピロン(和光純薬工業(株)製、20.0g、0.16mol)を添加して攪拌し、トリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、24.1g、0.24mol)、次いで2−ブロモエタノール(和光純薬工業(株)製、19.8g、0.16mol)を滴下し、還流下で6時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(200mL)、酢酸エチル(150mL)を添加して分液し、水層を酢酸エチル(100mL)で2回抽出した。得られた有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して中間体d1−2Aの粗体を5.5g得た。
続いて、d1−2A(5.21g、0.032mol)をアセトン(25mL)に溶解し、氷冷下でトリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、4.65g、0.046mol)を滴下後、メタクリロイルクロリド(東京化成工業(株)製、3.84g、0.037mol)とアセトン(5mL)の混合液を滴下し、室温まで昇温して1時間攪拌した。次いで、蒸留水(50mL)、酢酸エチル(50mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮してd1−2の粗体(7.4g)を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーd1−2を5.2g得た(2工程収率14%)。
アセトニトリル(80mL)中に、4−ヒドロキシ−6−メチル−2−ピロン(和光純薬工業(株)製、20.0g、0.16mol)を添加して攪拌し、トリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、24.1g、0.24mol)、次いで2−ブロモエタノール(和光純薬工業(株)製、19.8g、0.16mol)を滴下し、還流下で6時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(200mL)、酢酸エチル(150mL)を添加して分液し、水層を酢酸エチル(100mL)で2回抽出した。得られた有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して中間体d1−2Aの粗体を5.5g得た。
〔共役ジエン構造を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーd1−1、d1−3〜d1〜6)〕
d1−1:メタクリル酸9−アントリルメチル(東京化成工業(株)製)
d1−3:メタクリル酸フルフリル(東京化成工業(株)製)
d1−1:メタクリル酸9−アントリルメチル(東京化成工業(株)製)
d1−3:メタクリル酸フルフリル(東京化成工業(株)製)
〔モノマーd1−4の合成〕
モノマーd1−2の合成におけるモノマーd1−2Aを2−チオフェンメタノール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はモノマーd1−2の合成と同様にして、モノマーd1−4を合成した。
モノマーd1−2の合成におけるモノマーd1−2Aを2−チオフェンメタノール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はモノマーd1−2の合成と同様にして、モノマーd1−4を合成した。
〔モノマーd1−5の合成〕
モノマーd1−2の合成におけるd1−2Aを1,3−シクロペンタジエニルメタノールに変更した以外はd1−2の合成と同様にして、モノマーd1−5を合成した。
モノマーd1−2の合成におけるd1−2Aを1,3−シクロペンタジエニルメタノールに変更した以外はd1−2の合成と同様にして、モノマーd1−5を合成した。
〔モノマーd1−6の合成〕
モノマーd1−2の合成におけるd1−2Aを2,4−ヘキサジエン−1−オール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はモノマーd1−2の合成と同様にして、モノマーd1−6を合成した。
モノマーd1−2の合成におけるd1−2Aを2,4−ヘキサジエン−1−オール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はモノマーd1−2の合成と同様にして、モノマーd1−6を合成した。
<共役ジエン構造を有する構成単位(モノマーd1−2)を含む重合体R1の合成>
シクロヘキサノン(8.86g)を窒素気流下、70℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーd1−2(5.00g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(0.90g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−65(0.22g)、p−メトキシフェノール(0.006g)および、シクロヘキサノン(8.86g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間70℃で反応させ、重合体R1の溶液(固形分:25wt%)を得た。
得られた重合体R1のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、11,000であった。
シクロヘキサノン(8.86g)を窒素気流下、70℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーd1−2(5.00g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(0.90g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−65(0.22g)、p−メトキシフェノール(0.006g)および、シクロヘキサノン(8.86g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間70℃で反応させ、重合体R1の溶液(固形分:25wt%)を得た。
得られた重合体R1のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、11,000であった。
<重合体R2〜R14の合成>
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第3表に従って変更した以外は、重合体R1と同様の方法で、重合体R2〜R14を合成した。なお、下記第3表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第3表に従って変更した以外は、重合体R1と同様の方法で、重合体R2〜R14を合成した。なお、下記第3表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
〔共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物(D2−1)の合成〕
アセトニトリル(80mL)中に、9−ヒドロキシメチルアントラセン(東京化成工業(株)製、20.8g、0.10mol)を添加して攪拌し、トリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、30.3g、0.30mol)、次いで1,4−ジブロモブタン(東京化成工業(株)製、10.8g、0.05mol)を滴下し、還流下で6時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(200mL)、酢酸エチル(200mL)を添加して分液した。得られた有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮してD2−1の粗体を得た。得られた粗体をヘキサン/酢酸エチルでリスラリーして、ろ過、乾燥し、D2−1を12.2g得た(収率26%)。
アセトニトリル(80mL)中に、9−ヒドロキシメチルアントラセン(東京化成工業(株)製、20.8g、0.10mol)を添加して攪拌し、トリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、30.3g、0.30mol)、次いで1,4−ジブロモブタン(東京化成工業(株)製、10.8g、0.05mol)を滴下し、還流下で6時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(200mL)、酢酸エチル(200mL)を添加して分液した。得られた有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮してD2−1の粗体を得た。得られた粗体をヘキサン/酢酸エチルでリスラリーして、ろ過、乾燥し、D2−1を12.2g得た(収率26%)。
〔共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物(D2−2〜D2−10)の合成〕
〔D2−2の合成〕
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンを4−ヒドロキシ−6−メチル−2−ピロン(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−2を合成した。
〔D2−2の合成〕
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンを4−ヒドロキシ−6−メチル−2−ピロン(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−2を合成した。
〔D2−3の合成〕
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンをクマリン酸(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−3を合成した。
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンをクマリン酸(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−3を合成した。
〔D2−4の合成〕
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンをフルフリルアルコール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−4を合成した。
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンをフルフリルアルコール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−4を合成した。
〔D2−5の合成〕
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンを2−チオフェンメタノール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−5を合成した。
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンを2−チオフェンメタノール(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−5を合成した。
〔D2−6の合成〕
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンを1,3−シクロペンタジエニルメタノールに変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−6を合成した。
D2−1の合成における9−ヒドロキシメチルアントラセンを1,3−シクロペンタジエニルメタノールに変更した以外はD2−1の合成と同様にして、D2−6を合成した。
〔D2−7の合成〕
D2−2の合成における1,4−ジブロモブタンを1,2−ジブロモエタン(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はD2−2の合成と同様にして、D2−7を合成した。
D2−2の合成における1,4−ジブロモブタンを1,2−ジブロモエタン(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はD2−2の合成と同様にして、D2−7を合成した。
〔D2−8の合成〕
D2−2の合成における1,4−ジブロモブタンを1,8−ジブロモオクタン(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−2の合成と同様にして、D2−8を合成した。
D2−2の合成における1,4−ジブロモブタンを1,8−ジブロモオクタン(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−2の合成と同様にして、D2−8を合成した。
〔D2−9の合成〕
D2−2の合成における1,4−ジブロモブタンをビス(2−ブロモエチル)エーテル(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−2の合成と同様にして、D2−9を合成した。
D2−2の合成における1,4−ジブロモブタンをビス(2−ブロモエチル)エーテル(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−2の合成と同様にして、D2−9を合成した。
〔D2−10の合成〕
D2−3の合成における1,4−ジブロモブタンをペンタエリトリチルテトラブロミド(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−3の合成と同様にして、D2−10を合成した。
D2−3の合成における1,4−ジブロモブタンをペンタエリトリチルテトラブロミド(東京化成工業(株)製)に変更した以外はD2−3の合成と同様にして、D2−10を合成した。
〔ジエノフィル構造を有する構成単位を与えるモノマー(e1−5、e1−7、e1−8〜e1−13)の合成〕
〔ジエノフィル構造を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーe1−5)の合成〕
文献(Tetrahedron, 1978 , vol. 34, p.1907-1913)記載の方法に従って合成した1−(クロロメチル)−無水マレイン酸(10.0g、0.068mol)をNMP(50mL)に溶解し、メタクリル酸(和光純薬工業(株)製、10.36g、0.102mol)、炭酸水素ナトリウム(6.88g、0.082mol)、フェノチアジン(和光純薬工業(株)製、0.005g)と混合して、100℃で8時間攪拌した。放冷後、蒸留水(100mL)、酢酸エチル(100mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して中間体e1−5の粗体を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーe1−5を8.4g得た(収率63%)。
〔ジエノフィル構造を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーe1−5)の合成〕
文献(Tetrahedron, 1978 , vol. 34, p.1907-1913)記載の方法に従って合成した1−(クロロメチル)−無水マレイン酸(10.0g、0.068mol)をNMP(50mL)に溶解し、メタクリル酸(和光純薬工業(株)製、10.36g、0.102mol)、炭酸水素ナトリウム(6.88g、0.082mol)、フェノチアジン(和光純薬工業(株)製、0.005g)と混合して、100℃で8時間攪拌した。放冷後、蒸留水(100mL)、酢酸エチル(100mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して中間体e1−5の粗体を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーe1−5を8.4g得た(収率63%)。
〔ジエノフィル構造を有する構成単位(モノマーe1−7)の合成〕
マレイン酸モノメチル(東京化成工業(株)製、13.0g、0.1mol)をNMP(50mL)に溶解し、炭酸水素ナトリウム(10.1g、0.12mol)、2−ブロモエチルメタクリレート(19.3g、0.1mol)、フェノチアジン(和光純薬工業(株)製、0.005g)と混合して、80℃で6時間攪拌した。放冷後、蒸留水(150mL)、酢酸エチル(150mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して中間体e1−7の粗体を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーe1−7を13.8g得た(収率57%)。
マレイン酸モノメチル(東京化成工業(株)製、13.0g、0.1mol)をNMP(50mL)に溶解し、炭酸水素ナトリウム(10.1g、0.12mol)、2−ブロモエチルメタクリレート(19.3g、0.1mol)、フェノチアジン(和光純薬工業(株)製、0.005g)と混合して、80℃で6時間攪拌した。放冷後、蒸留水(150mL)、酢酸エチル(150mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮して中間体e1−7の粗体を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーe1−7を13.8g得た(収率57%)。
〔ジエノフィル構造を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーe1−8)の合成〕
4−ビニルアニリン(東京化成工業(株)製、10.0g、0.084mol)をTHF(50mL)に溶解し、氷冷下、cis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸(和光純薬工業(株)製、12.9g、0.084mol)を添加した。室温まで昇温後、4時間攪拌させた後、酢酸エチルを添加してリスラリーし、ろ過、乾燥して、中間体e1−8Aを21.5g得た(収率94%)。
続いて、得られたe1−8A(10.0g、0.037mol)を無水酢酸(和光純薬工業(株)製、37.6g、0.37mol)、酢酸ナトリウム(1.81g、0.022mol)、フェノチアジン(0.002g)と混合し、90℃で2時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(300mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ取後、メタノールでリスラリーしてろ過、乾燥し、e1−8を7.8g得た(収率84%)。
4−ビニルアニリン(東京化成工業(株)製、10.0g、0.084mol)をTHF(50mL)に溶解し、氷冷下、cis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸(和光純薬工業(株)製、12.9g、0.084mol)を添加した。室温まで昇温後、4時間攪拌させた後、酢酸エチルを添加してリスラリーし、ろ過、乾燥して、中間体e1−8Aを21.5g得た(収率94%)。
〔ジエノフィル構造を有する構成単位を与えるモノマー(モノマーe1−13)の合成〕
3−シクロヘキセン−1−カルボン酸(東京化成工業(株)製、10.0g、0.079mol)をNMP(50mL)に溶解し、炭酸水素ナトリウム(7.99g、0.095mol)、4−クロロメチルスチレン(12.1g、0.079mol)、フェノチアジン(和光純薬工業(株)製、0.005g)と混合して、80℃で8時間攪拌した。放冷後、蒸留水(150mL)、酢酸エチル(150mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮してe1−13の粗体を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーe1−13を12.4g得た(収率65%)。
3−シクロヘキセン−1−カルボン酸(東京化成工業(株)製、10.0g、0.079mol)をNMP(50mL)に溶解し、炭酸水素ナトリウム(7.99g、0.095mol)、4−クロロメチルスチレン(12.1g、0.079mol)、フェノチアジン(和光純薬工業(株)製、0.005g)と混合して、80℃で8時間攪拌した。放冷後、蒸留水(150mL)、酢酸エチル(150mL)を添加して分液し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過、減圧濃縮してe1−13の粗体を得た。得られた粗体をシリカラムカラムクロマトグラフィー精製して、モノマーe1−13を12.4g得た(収率65%)。
〔モノマーe1−9の合成〕
モノマーe1−8の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−9を合成した。
モノマーe1−8の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−9を合成した。
〔モノマーe1−10の合成〕
モノマーe1−8の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸をexo−3,6−エポキシ−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物(東京化成工業(株)製)に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−10を合成した。
モノマーe1−8の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸をexo−3,6−エポキシ−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物(東京化成工業(株)製)に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−10を合成した。
〔モノマーe1−11の合成〕
モノマーe1−8の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸をexo−3,6−チオエポキシ−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−11を合成した。
モノマーe1−8の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸をexo−3,6−チオエポキシ−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−11を合成した。
〔モノマーe1−12の合成〕
モノマーe1−8の合成における4−ビニルアニリンを4−ビニルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−12を合成した。
モノマーe1−8の合成における4−ビニルアニリンを4−ビニルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)に変更した以外はe1−8の合成と同様にして、モノマーe1−12を合成した。
〔モノマーe1−14の合成〕
モノマーe1−12の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はe1−12の合成と同様にして、モノマーe1−14を合成した。
モノマーe1−12の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はe1−12の合成と同様にして、モノマーe1−14を合成した。
〔モノマーe1−15の合成〕
モノマーe1−12の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸をexo−3,6−エポキシ−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物(東京化成工業(株)製)に変更した以外はe1−12の合成と同様にして、モノマーe1−15を合成した。
モノマーe1−12の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸をexo−3,6−エポキシ−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物(東京化成工業(株)製)に変更した以外はe1−12の合成と同様にして、モノマーe1−15を合成した。
<ジエノフィル構造を有する構成単位(モノマーe1−1)を含む重合体T1の合成>
NMP(13.10g)を窒素気流下、90℃に加熱撹拌した。
次いで、4−ビニルアニリン(6.42g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(2.31g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−601(0.67g)、および、NMP(13.10g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させ、重合体T1の中間体T1−Bの溶液を得た。
得られたT1−Bの溶液に、無水マレイン酸(和光純薬工業(株)製、5.28g、0.054mol)を添加し、1時間攪拌した。反応液を蒸留水(150mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ過、乾燥して、T1の中間体T1−Aを得た。
得られたT1−Aに無水酢酸(和光純薬工業(株)製、55g、0.54mol)、酢酸ナトリウム(和光純薬工業(株)製、2.65g、0.032mol)、BHT(0.002g)を添加し、90℃で2時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(200mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ取後、メタノールでリスラリーしてろ過、乾燥し、重合体T1の固体11.2gを得た。最後に、得られた固体をNMPに再溶解させ、25質量%の溶液とした。
NMP(13.10g)を窒素気流下、90℃に加熱撹拌した。
次いで、4−ビニルアニリン(6.42g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(2.31g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−601(0.67g)、および、NMP(13.10g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させ、重合体T1の中間体T1−Bの溶液を得た。
得られたT1−Bの溶液に、無水マレイン酸(和光純薬工業(株)製、5.28g、0.054mol)を添加し、1時間攪拌した。反応液を蒸留水(150mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ過、乾燥して、T1の中間体T1−Aを得た。
得られたT1−Aに無水酢酸(和光純薬工業(株)製、55g、0.54mol)、酢酸ナトリウム(和光純薬工業(株)製、2.65g、0.032mol)、BHT(0.002g)を添加し、90℃で2時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(200mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ取後、メタノールでリスラリーしてろ過、乾燥し、重合体T1の固体11.2gを得た。最後に、得られた固体をNMPに再溶解させ、25質量%の溶液とした。
<重合体T2の合成>
T1の合成における4−ビニルアニリンを4−ビニルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)に変更した以外は、T1の合成と同様にして、重合体T2のNMP溶液(固形分濃度:25%)を合成した。
得られた重合体T2のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、9,400であった。
T1の合成における4−ビニルアニリンを4−ビニルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)に変更した以外は、T1の合成と同様にして、重合体T2のNMP溶液(固形分濃度:25%)を合成した。
得られた重合体T2のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、9,400であった。
<重合体T3の合成>
T1の合成における4−ビニルアニリンを塩酸2−アミノエチルメタクリレート(Aldrich製)とトリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、塩酸2−アミノエチルメタクリレートに対して150mol%添加)に変更した以外は、T1の合成と同様にして、重合体T3のNMP溶液(固形分濃度:25%)を合成した。
得られた重合体T3のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、9,300であった。
T1の合成における4−ビニルアニリンを塩酸2−アミノエチルメタクリレート(Aldrich製)とトリエチルアミン(和光純薬工業(株)製、塩酸2−アミノエチルメタクリレートに対して150mol%添加)に変更した以外は、T1の合成と同様にして、重合体T3のNMP溶液(固形分濃度:25%)を合成した。
得られた重合体T3のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、9,300であった。
<重合体T4の合成>
PGMEA(12.32g)を窒素気流下、90℃に加熱撹拌した。
次いで、4−クロロメチルスチレン(6.41g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(1.80g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−601(0.48g)、および、PGMEA(12.32g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させ、重合体T4の中間体T4−Aの溶液を得た。
得られたT1−Aの溶液に、アクリル酸(和光純薬工業(株)製、3.03g、0.042mol)、炭酸水素ナトリウム(5.29g、0.063mol)、フェノチアジン(0.001g)を添加し、80℃で6時間加熱攪拌した。放冷後、反応液を蒸留水(150mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ過、乾燥して、重合体T4の固体9.0gを得た。最後に、得られた固体をPGMEAに再溶解させ、25質量%の溶液とした。
得られた重合体T4のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、10,800であった。
PGMEA(12.32g)を窒素気流下、90℃に加熱撹拌した。
次いで、4−クロロメチルスチレン(6.41g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(1.80g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−601(0.48g)、および、PGMEA(12.32g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させ、重合体T4の中間体T4−Aの溶液を得た。
得られたT1−Aの溶液に、アクリル酸(和光純薬工業(株)製、3.03g、0.042mol)、炭酸水素ナトリウム(5.29g、0.063mol)、フェノチアジン(0.001g)を添加し、80℃で6時間加熱攪拌した。放冷後、反応液を蒸留水(150mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ過、乾燥して、重合体T4の固体9.0gを得た。最後に、得られた固体をPGMEAに再溶解させ、25質量%の溶液とした。
<ジエノフィル構造を有する構成単位(モノマーe1−5)を含む重合体T5の合成>
HS−EDM(12.71g)を窒素気流下、70℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーe1−5(6.97g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(1.50g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−65(0.44g)、p−メトキシフェノール(0.025g)、および、HS−EDM(12.71g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させることにより、重合体T5の溶液(固形分:30wt%)を得た。
得られた重合体T5のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、11,500であった。
HS−EDM(12.71g)を窒素気流下、70℃に加熱撹拌した。
次いで、モノマーe1−5(6.97g(全単量体成分中の70mol%に相当))、MMA(1.50g(全単量体成分中の30mol%に相当))、ラジカル重合開始剤V−65(0.44g)、p−メトキシフェノール(0.025g)、および、HS−EDM(12.71g)の混合溶液を2時間かけて滴下し、さらに2時間90℃で反応させることにより、重合体T5の溶液(固形分:30wt%)を得た。
得られた重合体T5のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、11,500であった。
<重合体T6の合成>
4−ビニルアニリン(東京化成工業(株)製、3.89g、0.033mol)、4−メトキシフェノール(0.01g)をPGMEA(32.41g)に溶解し、SMA−2000P(Cray Valley製、スチレン/無水マレイン酸=66.7/33.3共重合体、10.0g)を徐々に添加した後、室温で8時間攪拌して重合体T6のPGMEA溶液(固形分濃度:30%)を得た。
得られた重合体T6のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、9,400であった。
4−ビニルアニリン(東京化成工業(株)製、3.89g、0.033mol)、4−メトキシフェノール(0.01g)をPGMEA(32.41g)に溶解し、SMA−2000P(Cray Valley製、スチレン/無水マレイン酸=66.7/33.3共重合体、10.0g)を徐々に添加した後、室温で8時間攪拌して重合体T6のPGMEA溶液(固形分濃度:30%)を得た。
得られた重合体T6のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、9,400であった。
<重合体T7〜T13の合成>
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第4表に従って変更した以外は、重合体T5と同様の方法で、重合体T7〜T13を合成した。なお、下記第3表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
モノマー、開始剤および溶媒の種類を、下記第4表に従って変更した以外は、重合体T5と同様の方法で、重合体T7〜T13を合成した。なお、下記第3表の各単量体成分の欄に記載した数値は、単量体成分の総量に対するそれぞれの単量体の使用量(mol%)である。また、開始剤の欄に記載した数値は、単量体成分の総量を100mol%とした場合の、mol%である。
〔ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物(E2−2)の合成〕
2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン(東京化成工業(株)製、25.0g、0.075mol)とTHF(50mL)を混合して攪拌し、無水マレイン酸(和光純薬工業(株)製、14.7g、0.15mol)を徐々に添加して1時間攪拌した。析出した固体をろ過し、酢酸エチルで洗浄して、E2−2の中間体E2−2Aを38.0g得た(収率96%)。
続いて、得られたE2−2A(35.0g、0.066mol)に無水酢酸(和光純薬工業(株)製、134.7g、1.32mol)、酢酸ナトリウム(和光純薬工業(株)製、6.49g、0.079mol)、BHT(0.03g)を添加し、90℃で2時間加熱攪拌した。放冷後、蒸留水(500mL)に注ぎ込み、析出した結晶をろ取後、メタノールでリスラリーしてろ過、乾燥し、E2−2を28.8g得た(収率88%)。
2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン(東京化成工業(株)製、25.0g、0.075mol)とTHF(50mL)を混合して攪拌し、無水マレイン酸(和光純薬工業(株)製、14.7g、0.15mol)を徐々に添加して1時間攪拌した。析出した固体をろ過し、酢酸エチルで洗浄して、E2−2の中間体E2−2Aを38.0g得た(収率96%)。
〔ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物(E2−2〜E2−10)〕
E2−1:BMI−5100(大和化成工業(株)製)
E2−3:BMI−4000(大和化成工業(株)製) ※構造修正
E2−8:A−DPH(新中村工業(株)製)
E2−9:アロニクスTO−2349(東亞合成(株)製)
E2−1:BMI−5100(大和化成工業(株)製)
E2−3:BMI−4000(大和化成工業(株)製) ※構造修正
E2−8:A−DPH(新中村工業(株)製)
E2−9:アロニクスTO−2349(東亞合成(株)製)
〔E2−4の合成〕
E2−2の合成における2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパンを2,4,5,6−テトラフルオロ−1,3−フェニレンジアミン(東京化成工業(株)製)に変更した以外はE2−2の合成と同様にして、E2−4を合成した。
E2−2の合成における2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパンを2,4,5,6−テトラフルオロ−1,3−フェニレンジアミン(東京化成工業(株)製)に変更した以外はE2−2の合成と同様にして、E2−4を合成した。
〔E2−5の合成〕
E2−2の合成における2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパンを4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)(東京化成工業(株)製)に、無水マレイン酸をcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はE2−2の合成と同様にして、E2−5を合成した。
E2−2の合成における2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパンを4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)(東京化成工業(株)製)に、無水マレイン酸をcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はE2−2の合成と同様にして、E2−5を合成した。
〔E2−6の合成〕
E2−5の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はE2−5の合成と同様にして、E2−6を合成した。
E2−5の合成におけるcis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はE2−5の合成と同様にして、E2−6を合成した。
〔E2−7の合成〕
E2−2の合成における無水マレイン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はE2−2の合成と同様にして、E2−7を合成した。
E2−2の合成における無水マレイン酸を5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(和光純薬工業(株)製)に変更した以外はE2−2の合成と同様にして、E2−7を合成した。
〔E2−10の合成〕
トルエン(400mL)中でジペンタエリトリトール(東京化成工業(株)製、25.4g、0.1mol)、3−シクロヘキセン−1−カルボン酸(東京化成工業(株)製、75.7g、0.6mol)、p−トルエンスルホン酸(和光純薬工業(株)製、0.95g、0.005mol)を混合し、Dean−Starkを設置して昇温し、還流下6時間加熱した。放冷後、炭酸水素ナトリウム水溶液(400mL)を添加して分液し、有機層を蒸留水(400mL)で洗浄後、減圧濃縮してE2−10を81.4g得た(収率90%)。
トルエン(400mL)中でジペンタエリトリトール(東京化成工業(株)製、25.4g、0.1mol)、3−シクロヘキセン−1−カルボン酸(東京化成工業(株)製、75.7g、0.6mol)、p−トルエンスルホン酸(和光純薬工業(株)製、0.95g、0.005mol)を混合し、Dean−Starkを設置して昇温し、還流下6時間加熱した。放冷後、炭酸水素ナトリウム水溶液(400mL)を添加して分液し、有機層を蒸留水(400mL)で洗浄後、減圧濃縮してE2−10を81.4g得た(収率90%)。
〔光酸発生剤B1〕
光酸発生剤B1として、以下に示すものを使用した。
B1−1:下記構造のオキシムスルホネート 合成品
B1−2:下記構造のオキシムスルホネート 合成品
B1−3:PAG−103(BASF製)
B1−4:下記構造のスルホニウム塩 合成品
光酸発生剤B1として、以下に示すものを使用した。
B1−1:下記構造のオキシムスルホネート 合成品
B1−2:下記構造のオキシムスルホネート 合成品
B1−3:PAG−103(BASF製)
B1−4:下記構造のスルホニウム塩 合成品
〔キノンジアジド化合物B2〕
キノンジアジド化合物B2として、以下に示すものを使用した。
B2−1:2,3,4,4‘−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル
キノンジアジド化合物B2として、以下に示すものを使用した。
B2−1:2,3,4,4‘−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル
〔増感剤〕
増感剤として、以下に示すものを使用した。
B3−1:9,10−ジブトキシアントラセン(川崎工業(株)製)
増感剤として、以下に示すものを使用した。
B3−1:9,10−ジブトキシアントラセン(川崎工業(株)製)
〔溶剤C〕
溶剤Cとして、以下に示すものを使用した。
C−1:PGMEA((株)ダイセル製)
C−2:シクロヘキサノン((株)ダイセル製)
C−3:NMP(和光純薬工業(株)製)
C−4:HS−EDM((株)ダイセル製)
溶剤Cとして、以下に示すものを使用した。
C−1:PGMEA((株)ダイセル製)
C−2:シクロヘキサノン((株)ダイセル製)
C−3:NMP(和光純薬工業(株)製)
C−4:HS−EDM((株)ダイセル製)
〔塩基性化合物〕
塩基性化合物として、以下に示すものを使用した。
F−1:下記構造の化合物 (DSP五協フード&ケミカル(株)製)
F−2:1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン (和光純薬工業(株)製)
F−3:トリフェニルイミダゾール(東京化成工業(株)製)
塩基性化合物として、以下に示すものを使用した。
F−1:下記構造の化合物 (DSP五協フード&ケミカル(株)製)
F−2:1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン (和光純薬工業(株)製)
F−3:トリフェニルイミダゾール(東京化成工業(株)製)
〔密着改良剤〕
密着改良剤として、以下に示すものを使用した。
G−1:KBM−403(信越化学工業(株)製)
密着改良剤として、以下に示すものを使用した。
G−1:KBM−403(信越化学工業(株)製)
〔界面活性剤〕
W−1:メガファックF554 (DIC(株)製)、フッ素系界面活性剤
W−1:メガファックF554 (DIC(株)製)、フッ素系界面活性剤
〔その他の成分〕
H−1:イルガノックス1035(BASF製)
H−2:セロキサイド2021P((株)ダイセル製)
H−3:デュラネート17B−60P(旭化成ケミカルズ(株)製)
H−4:タケネートB−870N(三井化学(株)製)
H−1:イルガノックス1035(BASF製)
H−2:セロキサイド2021P((株)ダイセル製)
H−3:デュラネート17B−60P(旭化成ケミカルズ(株)製)
H−4:タケネートB−870N(三井化学(株)製)
〔実施例1〜130および比較例2〜7、9、10〕
下記第5表(その1〜その4)に示す各成分を溶剤(PGMEA)に固形分濃度が18mol%となるまで溶解混合し、口径0.2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターでろ過して、各実施例および比較例の感光性樹脂組成物を得た。なお、表中の添加量は各成分の固形分での添加量を表し、単位はmol%である。
下記第5表(その1〜その4)に示す各成分を溶剤(PGMEA)に固形分濃度が18mol%となるまで溶解混合し、口径0.2μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターでろ過して、各実施例および比較例の感光性樹脂組成物を得た。なお、表中の添加量は各成分の固形分での添加量を表し、単位はmol%である。
〔比較例1〕
下記第5表(その4)に示すように、特開2011−221494の実施例1に相当する。なお、特開2011−221494の実施例1は、酸基を有する重合体および光酸発生剤を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない重合体である。
下記第5表(その4)に示すように、特開2011−221494の実施例1に相当する。なお、特開2011−221494の実施例1は、酸基を有する重合体および光酸発生剤を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない重合体である。
〔比較例8〕
下記第5表(その4)に示すように、特開2001−354822の実施例1に相当する。なお、特開2001−354822の実施例1は、酸基を有する重合体およびキノンジアジド化合物を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない重合体である。
下記第5表(その4)に示すように、特開2001−354822の実施例1に相当する。なお、特開2001−354822の実施例1は、酸基を有する重合体およびキノンジアジド化合物を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない重合体である。
〔感度〕
ガラス基板(コーニング1737、0.7mm厚(コーニング社製))上に、各感光性樹脂組成物をスリット塗布した後、90℃/120秒ホットプレート上でプリベークして溶剤を揮発することにより、膜厚3.0μmの感光性樹脂組成物層を形成した。
次に、得られた感光性樹脂組成物層を、キヤノン(株)製PLA−501F露光機(超高圧水銀ランプ)を用いて、所定のマスクを介して露光した。そして、露光後の感光性組成物層を、アルカリ現像液(0.7重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液)で23℃/60秒間現像した後、超純水で20秒リンスした。
これらの操作により10μmのコンタクトホールパターンを解像する時の最適i線露光量(Eopt)を感度とした。評価基準は以下に示す通りである。なお、基準2以上は実用上問題がない範囲であり、基準3以上がより好ましい。基準1は問題があると判断した。
4:100mJ/cm2未満
3:100mJ/cm2以上150mJ/cm2未満
2:150mJ/cm2以上300mJ/cm2未満
1:300mJ/cm2以上
ガラス基板(コーニング1737、0.7mm厚(コーニング社製))上に、各感光性樹脂組成物をスリット塗布した後、90℃/120秒ホットプレート上でプリベークして溶剤を揮発することにより、膜厚3.0μmの感光性樹脂組成物層を形成した。
次に、得られた感光性樹脂組成物層を、キヤノン(株)製PLA−501F露光機(超高圧水銀ランプ)を用いて、所定のマスクを介して露光した。そして、露光後の感光性組成物層を、アルカリ現像液(0.7重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液)で23℃/60秒間現像した後、超純水で20秒リンスした。
これらの操作により10μmのコンタクトホールパターンを解像する時の最適i線露光量(Eopt)を感度とした。評価基準は以下に示す通りである。なお、基準2以上は実用上問題がない範囲であり、基準3以上がより好ましい。基準1は問題があると判断した。
4:100mJ/cm2未満
3:100mJ/cm2以上150mJ/cm2未満
2:150mJ/cm2以上300mJ/cm2未満
1:300mJ/cm2以上
〔比誘電率の評価〕
ベアウエハ(N型低抵抗)(SUMCO社製)上に、上記の感光性樹脂組成物をシクロヘキサノンで2.5倍に希釈してスピンコート塗布した後、90℃、120秒のプリベークを行い、膜厚0.35μmの硬化性組成物層を形成した。次に、オーブンにて230℃で1時間加熱することにより、硬化膜を作製した。この硬化膜について、CVmap92A(Four Dimensions Inc.社製)を用い、測定周波数1MHzで比誘電率を測定した。なお、基準4または3は実用上問題がない範囲であり、基準2または1は問題があると判断した。
4:比誘電率が3.2未満である。
3:比誘電率が3.2以上3.5未満である。
2:比誘電率が3.5以上3.8未満である。
1:比誘電率が3.8以上である。
ベアウエハ(N型低抵抗)(SUMCO社製)上に、上記の感光性樹脂組成物をシクロヘキサノンで2.5倍に希釈してスピンコート塗布した後、90℃、120秒のプリベークを行い、膜厚0.35μmの硬化性組成物層を形成した。次に、オーブンにて230℃で1時間加熱することにより、硬化膜を作製した。この硬化膜について、CVmap92A(Four Dimensions Inc.社製)を用い、測定周波数1MHzで比誘電率を測定した。なお、基準4または3は実用上問題がない範囲であり、基準2または1は問題があると判断した。
4:比誘電率が3.2未満である。
3:比誘電率が3.2以上3.5未満である。
2:比誘電率が3.5以上3.8未満である。
1:比誘電率が3.8以上である。
〔耐薬品性の評価〕
ガラス基板(イーグル2000 コーニング社製)に上記感光性樹脂組成物をスピン塗布した後、90℃で120秒間ホットプレート上においてプリベークして膜厚3μmの塗膜を形成した。得られた塗膜をキヤノン(株)製PLA−501F露光機(超高圧水銀ランプ)で積算照射量が300mJ/cm2(照度:20mW/cm2)となるように露光し、その後、この基板をオーブンにて230℃で1時間加熱して硬化膜を得た。得られた硬化膜を70℃10分間N−メチルピロリドン(NMP)に浸漬させ、浸漬前後での膜厚を触針式膜厚計(DektakXT、Bruker社製)により測定した。以下を「膜厚変化率」と定義し、評価基準は以下に示す通りである。なお、基準4または3は実用上問題がない範囲であり、基準2または1は問題があると判断した。
膜厚変化率(%)=|浸漬後の膜厚(μm)/浸漬前の膜厚(μm)×100−100|
4:膜厚変化率2%未満
3:膜厚変化率2%以上5%未満
2:膜厚変化率5%以上10%未満
1:膜厚変化率10%以上
ガラス基板(イーグル2000 コーニング社製)に上記感光性樹脂組成物をスピン塗布した後、90℃で120秒間ホットプレート上においてプリベークして膜厚3μmの塗膜を形成した。得られた塗膜をキヤノン(株)製PLA−501F露光機(超高圧水銀ランプ)で積算照射量が300mJ/cm2(照度:20mW/cm2)となるように露光し、その後、この基板をオーブンにて230℃で1時間加熱して硬化膜を得た。得られた硬化膜を70℃10分間N−メチルピロリドン(NMP)に浸漬させ、浸漬前後での膜厚を触針式膜厚計(DektakXT、Bruker社製)により測定した。以下を「膜厚変化率」と定義し、評価基準は以下に示す通りである。なお、基準4または3は実用上問題がない範囲であり、基準2または1は問題があると判断した。
膜厚変化率(%)=|浸漬後の膜厚(μm)/浸漬前の膜厚(μm)×100−100|
4:膜厚変化率2%未満
3:膜厚変化率2%以上5%未満
2:膜厚変化率5%以上10%未満
1:膜厚変化率10%以上
本発明の第1の態様は第6表(その1〜その3)、本発明の第2の態様は第6表(その4)として表す。
第5表(その1〜その4)および第6表(その1〜その4)に示す結果から、酸基を有する重合体および光酸発生剤を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない重合体である場合は、比誘電率又は耐薬品性が劣ることが分かった(比較例1〜3)。
また、酸基が酸分解性基で保護された基を有する重合体および光酸発生剤を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない場合は、耐薬品性および感度がいずれもが劣ることが分かった(比較例4)。
また、重合体成分が共役ジエン構造を含む構成単位を含まない場合は、比誘電率および感度がいずれもが劣ることが分かった(比較例5)。
また、重合体成分がジエノフィル構造を含む構成単位を含まない場合は、比誘電率および感度がいずれもが劣ることが分かった(比較例6)。
また、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位がともに低分子の場合は、比誘電率および耐薬品性がいずれもが劣ることが分かった(比較例7)。
また、酸基を有する重合体およびキノンジアジド化合物を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない場合は、耐薬品性および感度が劣ることが分かった(比較例8〜10)。
また、酸基が酸分解性基で保護された基を有する重合体および光酸発生剤を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない場合は、耐薬品性および感度がいずれもが劣ることが分かった(比較例4)。
また、重合体成分が共役ジエン構造を含む構成単位を含まない場合は、比誘電率および感度がいずれもが劣ることが分かった(比較例5)。
また、重合体成分がジエノフィル構造を含む構成単位を含まない場合は、比誘電率および感度がいずれもが劣ることが分かった(比較例6)。
また、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位がともに低分子の場合は、比誘電率および耐薬品性がいずれもが劣ることが分かった(比較例7)。
また、酸基を有する重合体およびキノンジアジド化合物を含み、共役ジエン構造を含む構成単位およびジエノフィル構造を含む構成単位を含まない場合は、耐薬品性および感度が劣ることが分かった(比較例8〜10)。
これに対し、本発明の第1の態様において、上述した条件1〜3をいずれか1つ満たし、かつ、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含む重合体を配合した感光性樹脂組成物は、比誘電率および耐薬品性が良好となり、更に感度に優れた硬化膜となることが分かった(実施例1〜97)。また、本発明の第2の態様において、上述した条件1〜3をいずれか1つ満たし、かつ、酸基を有する構成単位を含む重合体を配合した感光性樹脂組成物は、比誘電率および耐薬品性が良好な硬化膜となることが分かった(実施例98〜130)。
また、本発明の第1の態様において、実施例17と、実施例66〜78との対比から、ジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物を有するよりも、ジエノフィル構造を含む構成単位を含む重合体を有すると、比誘電率、耐薬品性および感度がいずれも更に向上することが分かった。
また、本発明の第1の態様において、実施例23と、実施例89〜91との対比から、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物を有するよりも、共役ジエン構造を含む構成単位を含む重合体を有すると、比誘電率、耐薬品性および感度がいずれも更に向上することが分かった。
これらから、本発明の第1の態様においては、上述した条件1を満たすことが有効であることが分かった。
また、本発明の第1の態様において、実施例23と、実施例89〜91との対比から、共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物を有するよりも、共役ジエン構造を含む構成単位を含む重合体を有すると、比誘電率、耐薬品性および感度がいずれも更に向上することが分かった。
これらから、本発明の第1の態様においては、上述した条件1を満たすことが有効であることが分かった。
また、本発明の第1の態様において、実施例23と実施例24との対比から、共役ジエン構造を含む構成単位が30mol%以上であると、耐薬品性が向上することが分かった。また、本発明の第1の態様において、実施例23と実施例26との対比から、ジエノフィル構造を含む構成単位が30mol%以上であると、耐薬品性が向上することが分かった。
更に、本発明の第1の態様において、実施例79〜88と実施例25との対比から、共役ジエン構造を含む構成単位を重合体として含有すると、比誘電率および感度がいずれも向上することが分かった。また、本発明の第1の態様において、実施例66〜75と実施例17との対比から、ジエノフィル構造を含む構成単位を重合体として含有すると、耐薬品性、比誘電率および感度がいずれも向上することが分かった。
Claims (14)
- 酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を含む重合体A1−1を含有する重合体成分A1と、
光酸発生剤B1と、
溶剤Cと、を含有し、
以下の条件1〜3のいずれか1つを満たす、感光性樹脂組成物。
1:前記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2:前記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、前記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、前記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3:前記重合体成分A1がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、前記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、前記重合体成分A1が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。 - 酸基を有する構成単位a2を含む重合体A2−1を含有する重合体成分A2と、
キノンジアジド化合物B2と、
溶剤Cと、を含有し、
以下の条件1’〜3’のいずれか1つを満たす、感光性樹脂組成物。
1’:前記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1およびジエノフィル構造を有する構成単位e1を同一重合体中または異なる重合体中に含む。
2’:前記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含み、かつ、前記感光性樹脂組成物がジエノフィル構造を分子中に2つ以上有する化合物e2を含む。ただし、前記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含有する場合を除く。
3’:前記重合体成分A2がジエノフィル構造を有する構成単位e1を含む重合体を含み、かつ、前記感光性樹脂組成物が共役ジエン構造を分子中に2つ以上有する化合物d2を含む。ただし、前記重合体成分A2が共役ジエン構造を有する構成単位d1を含む重合体を含有する場合を除く。 - 前記条件1〜3のうち、前記条件1を満たす、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記条件1’〜3’のうち、前記条件1’を満たす、請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ジエノフィル構造がエチレン性不飽和二重結合を含む基である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記共役ジエン構造が下記式(B−1)〜(B−6)のいずれかで表される構造である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記共役ジエン構造がアントラセン、2−ピロン、フラン、チオフェン、シクロペンタジエン、および、2,4−ヘキサジエンのいずれか1つである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程と、
塗布された感光性樹脂組成物から溶剤Cを除去する工程と、
溶剤Cが除去された感光性樹脂組成物を活性光線で露光する工程と、
露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程と、
現像された感光性樹脂組成物を熱処理して硬化膜を得る工程とを含む、硬化膜の製造方法。 - 前記現像する工程の後、かつ前記熱処理する工程の前に、現像された前記感光性樹脂組成物を露光する工程を含む、請求項8に記載の硬化膜の製造方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
- 層間絶縁膜である、請求項10に記載の硬化膜。
- 請求項10または11に記載の硬化膜を有する、液晶表示装置。
- 請求項10または11に記載の硬化膜を有する、有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
- 請求項10または11に記載の硬化膜を有する、タッチパネル。
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