WO2018212277A1

WO2018212277A1 - 電気コネクターおよびその製造方法

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Publication number: WO2018212277A1
Application number: PCT/JP2018/019101
Authority: WO
Inventors: 昌俊土屋
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2017-05-18
Filing date: 2018-05-17
Publication date: 2018-11-22
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Abstract

第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクター（１０）であって、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔（２１）を有する弾性体（２０）と、貫通孔（２１）の内壁に接合され、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材（３０）と、を有する複合体（４０）を備え、導電部材（３０）は、少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部が中空である電気コネクター（１０）。

Description

電気コネクターおよびその製造方法

　本発明は、電気コネクターおよびその製造方法に関する。
　本願は、２０１７年５月１８日に、日本に出願された特願２０１７－０９８９５０号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　表面実装型の半導体パッケージと回路基板の検査を行う場合、または表面実装型の半導体パッケージと回路基板を接続する場合には、圧接型のコネクターが用いられている。
　このようなコネクターとしては、例えば、複数の導電線（導電部材）の向きを揃えて互いに絶縁を保って配線された複数のシートが、導電線の向きを一定にして積層される。得られた積層物の複数枚が、導電線の向きを揃えて、一定の角度で階段状に配列積層一体化してブロック体とされる。得られたブロック体がスライス用基板面に接着され、その基板面に平行にかつ導電線を横切る平行な２面で切断されてなる圧接型コネクター（例えば、特許文献１参照）が知られている。

日本国特許第２７８７０３２号公報

　特許文献１に記載されている圧接型コネクターは、デバイスの接続端子と接続する際に、その接続端子に対して、圧接型コネクターの導電部材から過剰な力が加えられるという課題がある。また、この圧接型コネクターは、デバイスの接続端子に対して安定に接続することが難しいという課題がある。

　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、電気コネクターに接続するデバイスの接続端子に対して、電気コネクターの導電部材から過剰な力が加えられることがなく、安定した接続を可能とする電気コネクターおよびその製造方法を提供することを目的とする。

［１］　第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであって、
　厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有する複合体を備え、
　前記導電部材は、少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部が中空である電気コネクター。
［２］　前記導電部材は、貴金属からなる少なくとも１層の金属層を有する［１］に記載の電気コネクター。
［３］　前記貫通孔は、前記弾性体の厚さ方向に対して斜めに貫通している［１］または［２］に記載の電気コネクター。
［４］　前記導電部材は、端部が前記弾性体の一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出している［１］～［３］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［５］　前記導電部材の端部にメッキ層が形成されている［１］～［４］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［６］　前記複合体は、前記弾性体の一方の主面および他方の主面において、前記導電部材が接合された前記貫通孔を含む複数の導通領域と、前記複数の導通領域の間に設けられ、前記導電部材が接合されていない前記貫通孔を含む非導通領域と、を有する［１］～［５］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［７］　前記複合体は、前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記弾性体の厚さ方向に突出する突出部を有する［１］～［６］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［８］　前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記突出部よりも厚さが薄い薄層部の少なくとも一部に樹脂製のシート状部材が積層されている［７］に記載の電気コネクター。
［９］　前記導電部材は、前記導電部材の全長にわたって中空である、［１］～［８］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［１０］　弾性体からなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯材と、前記芯材の外周面に形成された貴金属からなる少なくとも１層の金属層を有する導電部材とを含む複数の複合部材を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
　前記第一の樹脂層の第一の面側に弾性体からなる第二の樹脂層を形成し、導電部材含有シートを形成すること、
　複数の前記導電部材含有シートを、前記複数の複合部材の向きを揃えて積層し、前記導電部材含有シートの積層体を形成すること、
　前記積層体を、前記複数の複合部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、及び
　前記前駆シートから前記芯材の少なくとも一部を除去して、電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
［１１］　前記芯材の少なくとも一部を除去することが、溶解液で前記芯材の少なくとも一部を溶解することである［１０］に記載の電気コネクターの製造方法。
［１２］　前記前駆シートが備える前記導電部材の端部を、前記前駆シートの切断面および前記切断面と反対側の面の少なくとも一方から突出させることを有する［１０］または［１１］に記載の電気コネクターの製造方法。
［１３］　前記導電部材の端部にメッキ加工を施すことを有する［１０］～［１２］のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
［１４］　前記電気コネクターの一方の主面および他方の主面の少なくとも一部にマスキング層を形成すること、
　前記電気コネクターにおける前記マスキング層が形成されていない部分において、前記導電部材を除去し、前記電気コネクターに、前記電気コネクターの一方の主面および他方の主面において、前記導電部材が接合されていない前記貫通孔を含む非導通領域を形成すること、及び
　前記マスキング層を除去し、前記電気コネクターに、前記電気コネクターの一方の主面および他方の主面において、前記非導通領域を挟んで、前記導電部材が接合された前記貫通孔を含む複数の導通領域を形成すること、を有する［１０］～［１３］のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
［１５］　前記電気コネクターの少なくとも一方の主面側から、前記電気コネクターの一部を厚さ方向に除去し、前記電気コネクターに、薄層部を形成することを有する［１０］～［１４］のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
［１６］　前記薄層部に樹脂製のシート状部材を積層することを有する［１５］に記載の電気コネクターの製造方法。
［１７］前記導電部材の厚さが、０．０５μｍ～２５μｍであることが好ましく、０．１～２０μｍであることがより好ましく、０．５～１５μｍであることがさらに好ましく、特に好ましくは１μｍ～５μｍである、［１］～［９］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［１８］前記弾性体の一方の主面の垂線に対する前記貫通孔の角度が、好ましくは０°超６０°以下であり、より好ましくは１°以上６０°以下であり、さらに好ましくは１０°以上３０°以下である、［３］～［９］、及び［１７］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［１９］隣接する２つの前記導電部材の中心間距離が、６μｍ～１０００μｍである、［１］～［９］、及び［１７］～［１８］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［２０］前記溶解液が、硝酸、水、酸、アルカリ、及び有機溶媒からなる群から選択される少なくとも１種を含む、［１０］～［１６］のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
［２１］前記芯材が、鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン、及びポリビニルアルコールからなる群から選択される少なくとも１種を含む、［１０］～［１６］、及び［２０］のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。

　本発明によれば、電気コネクターに接続するデバイスの接続端子に対して、電気コネクターの導電部材から過剰な力が加えられることがなく、安定した接続を可能とする電気コネクターおよびその製造方法を提供することができる。

第１の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）における領域αの拡大図、（ｃ）は（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面図である。第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す斜視図である。第２の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。第３の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。第３の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。第４の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。第４の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。第５の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。第５の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。比較例１の電気コネクターの走査過型電子顕微鏡像である。実施例１の電気コネクターの走査過型電子顕微鏡像である。実施例２の電気コネクターの走査過型電子顕微鏡像である。実施例３の電気コネクターの走査過型電子顕微鏡像である。比較例１、実施例１～実施例３の電気コネクターについて、２つのデバイス間の抵抗値と電気コネクターに加えられる荷重との関係を示す図である。比較例２、実施例４、実施例７の電気コネクターについて、２つのデバイス間の抵抗値と電気コネクターに加えられる荷重との関係を示す図である。実施例６、実施例１３、実施例１４の電気コネクターについて、電気コネクターに加えられる荷重と電気コネクターの圧縮距離（変位量）との関係を示す図である。実施例７、実施例８の電気コネクターについて、電気コネクターに加えられる荷重と電気コネクターの圧縮距離（変位量）との関係を示す図である。

　本発明の電気コネクターおよびその製造方法の実施の形態について説明する。
　なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。

（第１の実施形態）
［電気コネクター］
　図１は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）における領域αの拡大図、（ｃ）は（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面図である。
　図１に示すように、本実施形態の電気コネクター１０は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。
　電気コネクター１０は、図示略の第一デバイスの接続端子と、図示略の第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続するためのものである。電気コネクター１０において、導電部材３０は、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子の電気的接続を行う部材である。デバイスとしては、例えば、半導体パッケージや回路基板が挙げられる。

　弾性体２０は、その厚さ方向に沿って貫通する複数の貫通孔２１を有する。この貫通孔２１の内壁に導電部材３０が接合されている。「接合」とは、貫通孔２１の内壁に導電部材３０の少なくとも一部が接している状態を意味する。

　弾性体２０（複合体４０）における導電部材３０を設ける位置、すなわち、弾性体２０における貫通孔２１の配置は、特に限定されず、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。複合体４０が均一に変形する（撓む）ようにするためには、弾性体２０において、導電部材３０（貫通孔２１）が等間隔に設けられていることが好ましい。

　弾性体２０（複合体４０）における導電部材３０の数、すなわち、弾性体２０における貫通孔２１の数は、特に限定されず、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置や、必要とされる接続端子に対する導電部材３０の押圧力等に応じて適宜調整される。

　貫通孔２１は、弾性体２０を、その厚さ方向に対して平行または斜めに貫通する。「弾性体２０の厚さ方向」とは、主面に対して垂直な方向を意味する。「主面」とは、面積が最も広い面を意味する。
　貫通孔２１が、弾性体２０を、その厚さ方向に対して斜めに貫通する場合、一方の主面２０ａの垂線に対する貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する鋭角側の角度は、０°超６０°以下であることが好ましく、１°以上６０°以下であることがより好ましく、１０°以上３０°以下であることがさらに好ましい。上記角度の範囲であると、低い荷重で安定した接続が得られやすく、接続するデバイスの端子を傷付けるおそれが少ない。貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。ここで貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、５つの貫通孔２１について弾性体２０の厚さ方向に対する角度をデジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。

　貫通孔２１の形状、すなわち、貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、貫通孔２１に接合する導電部材３０の長手方向と垂直な断面の形状に応じて適宜調整される。貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状としては、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。

　貫通孔２１の孔径は、特に限定されず、貫通孔２１に接合される導電部材３０の直径（外径）に応じて適宜調整される。貫通孔２１の孔径は、５μｍ～３００μｍであることが好ましい。なお、貫通孔２１の形状が円形以外である場合には、貫通孔２１の孔径は、貫通孔２１の外縁（開口部の縁部）の最も幅広い部分の長さとする。

　弾性体２０の厚さは、０．０３ｍｍ～５ｍｍであることが好ましい。なお、導電部材３０が弾性体２０の主面から突出していない場合、複合体４０の厚さは、弾性体２０の厚さに等しい。導電部材３０が弾性体２０の主面から突出している場合、複合体４０の厚さは、弾性体２０の厚さを複合体４０の厚さとみなす。
　複合体４０の厚さは、３０μｍ～５ｍｍが好ましく、５０μｍ～１ｍｍがより好ましく、７０μｍ～５００μｍがさらに好ましく、１００～２５０μｍが最も好ましい。上記厚さの範囲の下限値以上であると、電気コネクターの機械的強度や剛性が向上し、取り扱いが容易になる。上記厚さの範囲の上限値以下であると、導電部材の長さが高周波特性の向上に適したものとなる。
　なお、本明細書において「厚さ」は、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で厚さを５箇所測定し、平均した値である。

　導電部材３０は、第一デバイスの接続端子側および第二デバイスの接続端子側の少なくとも一方の先端近傍、すなわち、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側の少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部が中空体５０である。「先端近傍」とは、導電部材の先端から導電部材の全長の１／２の長さまでの範囲を意味する。「少なくとも一部が中空体」とは、導電部材の少なくとも一部が中空であることを意味する。中空体５０は、導電部材３０において、少なくとも第一デバイスの接続端子および第二デバイスの接続端子のうち被測定体側の先端近傍の少なくとも一部に設けられていればよく、第一デバイスの接続端子側および第二デバイスの接続端子側の先端近傍の少なくとも一部に設けられていることが好ましい。また、中空体５０は、導電部材３０において、必ずしも連続に設けられている必要はなく、不連続に設けられていてもよい。複合部材３０’は、例えば、芯材およびその芯材の外周面に形成された貴金属からなる少なくとも１層の金属層を有する導電部材３０を有するものである。弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側の少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部において、複合部材３０’は、芯材が除去され、金属層を有する導電性部材３０のみからなる中空体５０となる。すなわち、導電部材３０は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側の少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部が中空体５０であり、その他の部分が中実（芯材が、その芯材の外周面に形成された金属層から構成される導電部材の内側を埋めており、導電性部材の内側が中空でない状態）であってもよい。導電部材３０の全長にわたって均一な導電性や可撓性を有するためには、中空体５０が、被測定体と電気コネクター１０との間の安定した接触抵抗値が得られるために必要な荷重を、被測定体に与えるとともに、電気コネクター１０を厚さ方向に圧縮することが好ましい。このとき、（電気コネクター（弾性体）が厚さ方向に圧縮される距離（電気コネクターの押圧方向の距離））≦（電気コネクターの厚さ方向に沿う（弾性体の一方の主面に垂直な方向の）中空体の長さの合計）であることが好ましい。すなわち、電気コネクター１０（弾性体２０）が厚さ方向に圧縮された場合、その圧縮された距離が、電気コネクター１０の厚さ方向に沿う中空体５０の長さの合計以下であることが好ましい。電気コネクター１０の厚さ方向に沿う中空体５０の長さの合計が長いほど、被測定体と接続するために電気コネクター１０を厚さ方向に圧縮しても、低荷重で安定した抵抗値が得られ、かつ被測定体の接続端子が損傷することを防止できる。
　第一デバイスの接続端子側および第二デバイスの接続端子側に中空体５０が設けられている場合、第一デバイスの接続端子側の中空体５０の長さと第二デバイスの接続端子側の中空体５０の長さの比は１：１であることがより好ましい。また、導電部材３０の耐蝕性の観点から、導電部材３０は、図１（ｃ）に示すように、全長にわたって中空体５０であることがさらに好ましい。

　中空体５０は、必ずしも完全な筒状の部材でなくてもよい。中空体５０の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、Ｃ形状や三日月形状のように、筒の一部に穴が開いている形状であってもよい。また、中空体５０は、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方において、貫通孔２１の一部が露出する形態であってもよい。

　導電部材３０は、弾性体２０の貫通孔２１に接合されている。これにより、導電部材３０は、弾性体２０を、その厚さ方向に対して垂直または斜めに貫通するように配置されている。

　また、導電部材３０は、端部３０ａ又は端部３０ｂが弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出していることが好ましい。「端部」とは、導電部材の先端から導電部材の全長の１／４の長さまでの範囲を意味する。導電部材３０は、その一方の端部３０ａが弾性体２０の一方の主面２０ａから突出し、その他方の端部３０ｂが弾性体２０の他方の主面２０ｂから突出していることがより好ましい。なお、導電部材３０が貫通孔２１に接合された状態で、その一方の端部３０ａの最表面（端面）が少なくとも弾性体２０の一方の主面２０ａと同一面上に存在し、その他方の端部３０ｂの最表面（端面）が少なくとも弾性体２０の他方の主面２０ｂと同一面上に存在していればよい。
　導電部材３０の一方の端部３０ａおよび他方の端部３０ｂの弾性体２０からの突出量は、特に限定されず、電気コネクター１０によって電気的に接続する２つのデバイスの接続端子の形状、配置等に応じて適宜調整される。

　隣接する２つの導電部材３０間の間隔、すなわち、隣接する２つの導電部材３０の中心間距離（ピッチ）は、特に限定されず、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。隣接する２つの導電部材３０の中心間距離（図１（ｂ）におけるＰ_１、Ｐ_２）は、６μｍ～１０００μｍであることが好ましい。なお、隣接する２つの導電部材３０の中心間距離は、隣接する２つの貫通孔２１の中心間距離に相当する。

　導電部材３０の形状、すなわち、導電部材３０の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。

　導電部材３０の直径（外径）は、特に限定されないが、５μｍ～３００μｍであることが好ましい。なお、導電部材３０の形状が円形以外である場合には、導電部材３０の直径は、導電部材３０の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
　導電部材３０の内径は、０．１～２６０μｍであることが好ましく、１～３０μｍがより好ましい。
　なお、本明細書において外径は、顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所の外径を測定し、平均した値である。また、本明細書において内径は、顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所の内径を測定し、平均した値である。
　導電部材３０の厚さは、０．０５μｍ～２５μｍであることが好ましく、０．１～２０μｍであることがより好ましく、０．５～１５μｍであることがさらに好ましく、１μｍ～５μｍが特に好ましい。
　なお、導電部材の厚さは、顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所の厚さを測定し、平均した値である。

　弾性体２０の材質としては、弾性体２０とした場合に弾性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、アクリロニトリル－ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン－クロロプレンゴム、エチレン－プロピレン－ジエンゴム、スチレン－ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。

　芯材は、電解メッキ、無電解メッキまたは蒸着によって、その外周面に金属層を形成することができ、かつ、後述する方法によって容易に除去することができるものであれば特に限定されない。芯材の材質としては、例えば、硝酸によるウエットエッチングにより容易に除去することができる、鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属が挙げられる。また、芯材の材質としては、例えば、水や有機溶媒に溶解するため、容易に除去することができる、ポリビニルアルコール等の樹脂が挙げられる。

　芯材の形状、すなわち、芯材の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。
　芯材の直径（外径）は、特に限定されないが、５μｍ～２６０μｍであることが好ましい。なお、芯材の形状が円形以外である場合には、芯材の直径は、芯材の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。

　導電部材３０の金属層の材質としては、電解メッキまたは無電解メッキによって金属層を形成することができ、かつ、硝酸によるウエットエッチングや、水、酸、アルカリおよび有機溶媒によって腐食しないものであれば特に限定されない。金属層の材質としては、貴金属が挙げられる。貴金属としては、例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、黒ルテニウム等の金属や、これらの金属の合金が挙げられる。なかでも、標準電極電位が高い金、白金、銀、銅がより好ましく、低硬度の金、銀がさらに好ましい。金属層は、同一若しくは複数の材質が積層してもよい。
　なお、金属層が２層以上である場合、それぞれの層の材質は同一であってもよく、異なっていてもよい。

　金属層の厚さは、少なくとも芯材を除去した状態で金属層のみからなる中空体５０を形成できる程度であれば特に限定されない。例えば、電気コネクター１０を高周波電流用途のデバイス同士の接続に用いる場合、金属層の厚さは、０．０１μｍ～２５μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１μｍ～２０μｍであり、さらに好ましくは１μｍ～２０μｍであり、特に好ましくは１μｍ～５μｍである。金属層の厚さが上記範囲の下限値以上であると、接続の安定性が向上する。金属層の厚さが上記範囲の上限値以下であると、隣接する導電部材同士の離間距離やピッチを狭くすることができる。なお、金属層の厚さは、顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所の厚さを測定し、平均した値である。
　また、金属層が２層以上である場合、それぞれの層の厚さは特に限定されない。この場合、金属層全体として厚さが上記の範囲内であることが好ましい。

　本実施形態の電気コネクター１０によれば、厚さ方向に複数の貫通孔２１を有する弾性体２０と、貫通孔２１に接合され、２つのデバイスの接続端子を電気的に接続するための導電部材３０と、を有する複合体４０を備え、導電部材３０は、２つのデバイスの接続端子側の少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部が中空体５０である。そのため、より小さな力で、弾性体２０と、導電部材３０とを有する複合体４０が、弾性体２０の厚さ方向に変形する（撓む）。これにより、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子と導電部材３０との接続時に、デバイスの接続端子に対して導電部材３０から過剰な力が加えられることがなく、その接続端子が損傷することを防止できるとともに、デバイスの接続端子に対して安定に接続することができる。

［電気コネクターの製造方法］
　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、弾性体からなる第一の樹脂層上に、芯材と、芯材の外周面に形成された貴金属からなる少なくとも１層の金属層を有する導電部材とを有する複数の複合部材を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置した後、第一の樹脂層上に弾性体からなる第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に複数の複合部材を固定し、導電部材含有シートを形成する工程（以下、「工程Ａ」と言う。）と、導電部材含有シートの複数枚を、複数の複合部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シートの積層体を形成する工程（以下、「工程Ｂ」と言う。）と、積層体を、複数の複合部材の延在する方向に対して垂直方向に切断し、輪切りした導電部材が接合された貫通孔を備えた弾性体からなる前駆シートを得る工程（以下、「工程Ｃ」と言う。）と、芯材の少なくとも一部を除去して、導電部材における、前駆シートの切断面側および切断面と反対側の面側の先端近傍の少なくとも一方の少なくとも一部を中空とし、電気コネクターを得る工程（以下、「工程Ｄ」と言う。）と、を有する。なお、工程Ａは、後述する工程Ａ－１と工程Ａ－２とからなる。

　以下、図２（ａ）～図２（ｄ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。
　図２（ａ）～図２（ｄ）は、本実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す斜視図である。なお、図２において、図１に示した本実施形態における電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

　図２（ａ）に示すように、基材１０００上に形成した第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、芯材及び導電部材３０を有する複数の複合部材３０’を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置する（工程Ａ－１）。
　ここでは、図２（ａ）に示すように、複数の複合部材３０’は、基材１０００の長手方向と垂直な方向に延在するように配置されている。
　「第一の面」とは、面積が最も広い面を意味する。
　「任意の間隔」とは、隣接する２つの導電部材３０の中心間距離が６μｍ～１０００μｍであることが好ましい。

　基材１０００としては、導電部材含有シートを形成した後、導電部材含有シートから容易に剥離できるものが用いられる。基材１０００の材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等が挙げられる。

　第一の樹脂層１１００の材質としては、弾性体２０の材質と同様のものが挙げられる。
　基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法としては、例えば、上記の材料からなるシート状またはフィルム状の部材を基材１０００上に貼着するか、あるいは、上記の材料となる液状またはペースト状の材料を基材１０００上に塗布し、加熱、加湿または光照射等により硬化して塗膜を形成する方法が挙げられる。基材１０００上にシート状またはフィルム状の部材を貼着する場合には、接着剤を用いてもよく、その部材を基材１０００上に表面処理により活性化させて化学結合してもよい。

　第一の樹脂層１１００の厚さは、特に限定されないが、２μｍ～５００μｍであることが好ましい。

　次いで、図２（ｂ）に示すように、複数の複合部材３０’が配置された第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、第二の樹脂層１２００を形成し、第二の樹脂層１２００を第一の樹脂層１１００と一体化するとともに、第一の樹脂層１１００と第二の樹脂層１２００の間に複合部材３０’を固定し、導電部材含有シート１３００を形成する（工程Ａ－２）。

　第二の樹脂層１２００の材質としては、第一の樹脂層１１００の材質と同様のものが挙げられる。
　第一の樹脂層１１００の第一の面上に第二の樹脂層１２００を形成する方法としては、基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法と同様の方法が用いられる。

　第二の樹脂層１２００の厚さは、特に限定されないが、２μｍ～５００μｍであることが好ましい。

　次いで、図２（ｃ）に示すように、導電部材含有シート１３００の複数枚を、互いに複合部材３０’の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート１３００の積層体１４００を形成する（工程Ｂ）。
　なお、工程Ｂにおいて、複合部材３０’の向きを揃えるだけでなく、複合部材３０’の配置も揃えて、導電部材含有シート１３００の複数枚を積層することが好ましい。
　工程Ｂにおいて、複合部材３０’の配置を揃えるとは、積層体１４００を、その主面１４００ａから見た場合に、複数枚の導電部材含有シート１３００のそれぞれに含まれる複合部材３０’同士が重なり合うようにすることである。なお、図２（ｃ）では、全ての複合部材３０’が重なり合っている場合を例示したが、一部の複合部材３０’は重なっていなくてもよい。

　工程Ｂにおいて、導電部材含有シート１３００を、その厚さ方向に積層する場合、最も下の層をなす導電部材含有シート１３００を除いて、導電部材含有シート１３００から基材１０００を剥離する。

　導電部材含有シート１３００を積層するには、接着剤を用いてもよく、導電部材含有シート１３００同士を表面処理により活性化させて化学結合してもよい。
　接着剤を用いる場合、接着剤としては、第一の樹脂層１１００と材質が同じものを用いてもよく、第一の樹脂層１１００と材質が異なるものを用いてもよい。

　次いで、図２（ｄ）に示すように、積層体１４００を、所定の厚さとなるように、複合部材３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断し、輪切りした導電部材３０が接合された貫通孔２１を備えた弾性体からなる前駆シート１５００を得る（工程Ｃ）。

　工程Ｃにおいて、積層体１４００を切断する方法としては、例えば、レーザー加工、切削等の機械的加工等が用いられる。

　次いで、貫通孔２１内における複合部材３０’の芯材を除去して、複合部材３０’における、前駆シート１５００の切断面（一方の主面）１５００ａ側および切断面１５００ａと反対側の面（他方の主面）１５００ｂ側の少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部を中空として、中空体５０を形成し、図１に示す電気コネクター１０を得る（工程Ｄ）。

　工程Ｄでは、溶解液を用いて、複合部材３０’の芯材を溶解することにより、芯材を除去する。具体的には、芯材が鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属からなる場合、硝酸によるウエットエッチングにより芯材を除去する。すなわち、硝酸を含むエッチング液に前駆シート１５００を浸漬して、エッチング液により芯材を腐食溶解することにより、複合部材３０’から芯材を除去する。芯材がポリビニルアルコール等の樹脂からなる場合、水や有機溶媒に前駆シート１５００を浸漬して、水や有機溶媒により芯材を溶解することにより、複合部材３０’から芯材を除去する。
　溶解液に浸漬させる際の温度は１０～５０℃が好ましい。

　以上の工程Ａ～工程Ｄの後、積層体１４００から基材１０００を剥離すると、図１に示す電気コネクター１０が得られる。

　電気コネクター１０の厚さは、５０μｍ～１ｍｍであることが好ましく、７０～５００μｍであることがより好ましく、１００～２５０μｍがさらに好ましい。

　なお、本実施形態では、積層体１４００を、複合部材３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、工程Ｃにおいて、積層体を、導電部材の延在する方向に対して斜め方向に切断してもよい。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子に対して導電部材３０から過剰な力が加えられることがなく、デバイスの接続端子に対して安定した接続を可能とする電気コネクター１０が得られる。

　また、本実施形態の電気コネクターの製造方法は、前駆シートを得る工程Ｃの後であって、且つ芯材を除去する工程Ｄの前に、前駆シート１５００が備える導電部材３０を、前駆シート１５００の一方の主面１５００ａおよび他方の主面１５００ｂの少なくとも一方から突出させる工程Ｅを有していてもよい。

　この工程Ｅにおいて、導電部材３０を、前駆シート１５００の一方の主面１５００ａおよび他方の主面１５００ｂの少なくとも一方から突出させる方法としては、例えば、レーザーエッチング、ケミカルエッチング、切削等の機械的加工により前駆シート１５００の一方の主面１５００ａおよび他方の主面１５００ｂの少なくとも一方から弾性体の一部を削る方法が用いられる。

（第２の実施形態）
［電気コネクター］
　図３は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。なお、図３において、図１に示した第１の実施形態の電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
　図３に示すように、本実施形態の電気コネクター１００は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。

　本実施形態の電気コネクター１００では、導電部材３０が、貫通孔２１に接合された状態で、その一方の端部３０ａが弾性体２０の一方の主面２０ａから突出し、その他方の端部３０ｂが弾性体２０の他方の主面２０ｂから突出している。さらに、導電部材３０の一方の端部３０ａおよび他方の端部３０ｂにメッキ加工が施されて、一方の端部３０ａにメッキ層３５が形成され、他方の端部３０ｂにメッキ層３６が形成されている。

　メッキ層３５，３６の材質は、特に限定されず、導電部材３０の材質に応じて適宜選択される。

　本実施形態の電気コネクター１００によれば、導電部材３０の一方の端部３０ａにメッキ層３５が形成され、導電部材３０の他方の端部３０ｂにメッキ層３６が形成されている。そのため、メッキ層３５，３６により導電部材３０の両端（一方の端部３０ａ、他方の端部３０ｂ）の表面積（断面積）が増加し、導電部材３０の両端（一方の端部３０ａ、他方の端部３０ｂ）と、２つのデバイスの接続端子との接触面積が確保され、これらの電気的な接続状態を安定に保つことができる。

　なお、本実施形態では、導電部材３０が、貫通孔２１に接合された状態で、その一方の端部３０ａが弾性体２０の一方の主面２０ａから突出し、その他方の端部３０ｂが弾性体２０の他方の主面２０ｂから突出している。さらに、導電部材３０の一方の端部３０ａおよび他方の端部３０ｂにメッキ加工が施されて、一方の端部３０ａにメッキ層３５が形成され、他方の端部３０ｂにメッキ層３６が形成されている場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、導電部材３０は、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出した状態で貫通孔２１に接合されていればよい。また、導電部材３０は、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出した端部３０ａ，３０ｂにメッキ層３５，３６が形成されていればよい。

［電気コネクターの製造方法］
　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、上述の導電部材含有シートを形成する工程（工程Ａ）と、上述の導電部材含有シートの積層体を形成する工程（工程Ｂ）と、上述の積層体を切断し、前駆シートを得る工程（工程Ｃ）と、前駆シートが備える導電部材を、前駆シートの切断面およびその切断面と反対側の面の少なくとも一方から突出させる工程（以下、「工程Ｅ」と言う。）と、上述の電気コネクターを得る工程（工程Ｄ）と、電気コネクターの一方の主面および他方の主面の少なくとも一方における導電部材の端部にメッキ加工を施す工程（以下、「工程Ｆ」と言う。）と、を有する。

　以下、図２（ａ）～図２（ｄ）および図３を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、第１の実施形態の電気コネクターの製造方法と同様にして、工程Ａ～工程Ｅを行い、導電部材３０の両端部３０ａ，３０ｂが、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂから突出した電気コネクター１０を得る。

　次いで、電気コネクター１０の一方の主面１０ａにおける導電部材３０の端部３０ａおよび他方の主面１０ｂにおける導電部材３０の端部３０ｂにメッキ加工を施し、導電部材３０の一方の端部３０ａにメッキ層３５を形成し、他方の端部３０ｂにメッキ層３６を形成する（工程Ｆ）。

　工程Ｆでは、メッキ加工の方法としては、例えば、電解メッキ、無電解メッキ等が用いられる。
　メッキ層３５の厚さは、０．０５μｍ～２５μｍであることが好ましく、０．１～２０μｍであることがより好ましく、０．５～１５μｍであることがさらに好ましく、１μｍ～５μｍが特に好ましい。
　メッキ層は、図３に示すように、中空体５０の開口部を塞ぐように形成されることが好ましい。

　以上の工程Ａ～工程Ｆにより、図３に示す電気コネクター１００が得られる。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、工程Ｆにて、導電部材３０の一方の端部３０ａおよび他方の端部３０ｂにメッキ加工を施すため、メッキ層３５，３６により導電部材３０の両端（一方の端部３０ａ、他方の端部３０ｂ）の表面積（断面積）が増加し、導電部材３０の両端（一方の端部３０ａ、他方の端部３０ｂ）と、２つのデバイスの接続端子との接触面積が確保され、これらの電気的な接続状態を安定に保つことが可能な電気コネクター１００を作製することができる。

　なお、本実施形態では、導電部材３０の一方の端部３０ａを弾性体２０の一方の主面２０ａから突出させ、導電部材３０の他方の端部３０ｂを弾性体２０の他方の主面２０ｂから突出させて、さらに、導電部材３０の一方の端部３０ａおよび他方の端部３０ｂにメッキ加工を施して、一方の端部３０ａにメッキ層３５を形成し、他方の端部３０ｂにメッキ層３６を形成する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、導電部材３０を、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出させて、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出した端部３０ａ，３０ｂにメッキ層３５，３６を形成すればよい。

（第３の実施形態）
［電気コネクター］
　図４は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。なお、図４において、図１に示した第１の実施形態の電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
　図４に示すように、本実施形態の電気コネクター２００は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。

　本実施形態の電気コネクター２００は、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおいて、導電部材３０が接合された貫通孔２１を含む複数の導通領域６１と、複数の導通領域６１の間に設けられ、導電部材３０が接合されていない貫通孔２１を含む非導通領域６２と、を有する。

　導通領域６１を設ける位置は、特に限定されず、電気コネクター２００（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。

　導通領域６１の大きさ、すなわち、弾性体２０を、その一方の主面２０ａから平面視した場合の導通領域６１の面積は、特に限定されず、電気コネクター２００（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の大きさ等に応じて適宜調整される。個々の導通領域６１の平面視の面積としては、例えば、デバイスの１つの接続端子の平面視の面積に対して５０面積％～１５０面積％の範囲とすることができる。

　導通領域６１の形状、すなわち、弾性体２０を、その一方の主面２０ａから平面視した場合の導通領域６１の形状は、特に限定されず、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の形状等に応じて適宜調整される。導通領域６１を平面視した場合の形状としては、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形等が挙げられる。

　導通領域６１に含まれる導電部材３０を設ける位置、すなわち、導通領域６１における貫通孔２１の配置は、特に限定されず、電気コネクター２００（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。導通領域６１が均一に変形する（撓む）ようにするためには、導通領域６１において、導電部材３０（貫通孔２１）が等間隔に設けられていることが好ましい。

　導通領域６１に含まれる導電部材３０の数、すなわち、導通領域６１に含まれる貫通孔２１の数は、特に限定されず、電気コネクター２００（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置や、必要とされる接続端子に対する導電部材３０の押圧力等に応じて適宜調整される。

　非導通領域６２を設ける位置は、複数の導通領域６１の間であれば特に限定されない。
　非導通領域６２は、例えば、電気コネクター２００が変形した際に、導通領域６１の応力が及ぶ範囲に配置される。

　非導通領域６２の大きさ、すなわち、弾性体２０を、その一方の主面２０ａから平面視した場合の非導通領域６２の面積は、特に限定されず、非導通領域６２に求められる弾性や可撓性等に応じて適宜調整される。

　非導通領域６２の形状、すなわち、弾性体２０を、その一方の主面２０ａから平面視した場合の非導通領域６２の形状は、特に限定されず、電気コネクター２００（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の形状等に応じて適宜調整される。

　非導通領域６２における貫通孔２１の配置は、特に限定されず、非導通領域６２に求められる弾性や可撓性等に応じて適宜調整される。非導通領域６２における貫通孔２１は、例えば、電気コネクター２００が変形した際に、導通領域６１の応力が及ぶ範囲に配置されていればよく、それ以外は導電部材３０が存在していてもよい。非導通領域６２が均一に変形する（撓む）ようにするためには、非導通領域６２において、貫通孔２１が等間隔に設けられていることが好ましい。

　非導通領域６２における貫通孔２１の数は、特に限定されず、非導通領域６２に求められる弾性や可撓性等に応じて適宜調整される。

　本実施形態の電気コネクター２００によれば、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおいて、導電部材３０が接合された貫通孔２１を含む複数の導通領域６１と、複数の導通領域６１の間に設けられ、導電部材３０が接合されていない貫通孔２１を含む非導通領域６２と、を有する。そのため、より小さな力で導通領域６１およびその近傍の非導通領域６２が、弾性体２０の厚さ方向に変形する（撓む）。これにより、デバイスの接続端子と導通領域６１の導電部材３０との接続時に、接続端子に対して導電部材３０から過剰な力が加えられることがなく、接続端子が損傷することを防止できる。本実施形態の電気コネクター２００では、中空の貫通孔２１を含む非導通領域６２が、弾性体２０の厚さ方向に変形しやすい（撓みやすい）。その結果、電気コネクター２００全体がより小さな力で、その厚さ方向に変形する（撓む）ことができる。

　なお、本実施形態では、電気コネクター２００が複数の導通領域６１と、複数の導通領域６１の間に設けられた非導通領域６２と、を有する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、導通領域６１の領域以外は、全て非導通領域６２であってもよい。

　また、本実施形態においても、導電部材３０が、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出した状態で貫通孔２１に接合されていてもよい。また、導電部材３０は、弾性体２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出した端部３０ａ，３０ｂにメッキ層３５，３６が形成されていてもよい。

［電気コネクターの製造方法］
　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、上述の導電部材含有シートを形成する工程（工程Ａ）と、上述の導電部材含有シートの積層体を形成する工程（工程Ｂ）と、上述の積層体を切断し、前駆シートを得る工程（工程Ｃ）と、上述の電気コネクターを得る工程（工程Ｄ）と、電気コネクターの一方の主面および他方の主面にマスキング層を形成する工程（以下、「工程Ｇ」と言う。）と、電気コネクターの一方の主面において、マスキング層の一部を除去する工程（以下、「工程Ｈ」と言う。）と、電気コネクターにおけるマスキング層を除去した部分において、導電部材を除去し、電気コネクターに、電気コネクターの一方の主面および他方の主面において、導電部材が接合されていない貫通孔を含む非導通領域を形成する工程（以下、「工程Ｉ」と言う。）と、マスキング層の残部を除去し、電気コネクターに、電気コネクターの一方の主面および他方の主面において、非導通領域を挟んで、導電部材が接合された貫通孔を含む複数の導通領域を形成する工程（以下、「工程Ｊ」と言う。）と、を有する。

　以下、図２（ａ）～図２（ｄ）、図４および図５（ａ）～（ｄ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、第１の実施形態の電気コネクターの製造方法と同様にして、工程Ａ～工程Ｄを行い、電気コネクター１０を得る。

　次いで、図５（ａ）に示すように、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂにマスキング層２０００，２０００を形成する（工程Ｇ）。
　電気コネクター１０の一方の主面１０ａは弾性体２０の一方の主面２０ａに相当し、電気コネクター１０の他方の主面１０ｂは弾性体２０の他方の主面２０ｂに相当する。

　工程Ｂにおいて、マスキング層２０００を形成する方法としては、例えば、フィルム状またはシート状の樹脂部材を貼合する方法、塗料を積層する方法等が用いられる。
　樹脂部材を貼合する方法としては、例えば、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂに、粘着材を介して樹脂部材を貼合して、樹脂部材からなるマスキング層２０００を形成する方法、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂに、シリコーンからなる部材を貼合し、シリコーンからなるマスキング層２０００を形成する方法、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂに、ドライフィルムレジストを貼合し、ドライフィルムレジストからなるマスキング層２０００を形成する方法等が挙げられる。
　塗料を積層する方法としては、例えば、未硬化または半硬化状態のアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、エステル系樹脂、ウレタン系樹脂、イミド系樹脂等をスクリーン印刷法または一般的な塗装方法により、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂに塗料を塗布した後、その塗料を硬化させて塗膜とし、その塗膜からなるマスキング層２０００を形成する方法等が挙げられる。

　なお、工程Ｇにおいて、スクリーン印刷法により、電気コネクター１０の一方の主面１０ａに、上述の導通領域６１に相当する形状を有するマスキング層２０００を形成すれば、後述する工程Ｈを省略することができる。

　次いで、図５（ｂ）に示すように、電気コネクター１０の一方の主面１０ａにおいて、マスキング層２０００の一部を除去する（工程Ｈ）。
　これにより、マスキング層２０００を除去した部分（マスキング層２０００の開口部２０００ａ）において、電気コネクター１０の一方の主面１０ａに、導電部材３０の一方の端部３０ａを露出する。

　マスキング層２０００を除去する方法としては、例えば、レーザーエッチングが挙げられる。また、マスキング層２０００を形成するために、未硬化の樹脂やドライフィルムレジストを用いる場合、これらに部分的に紫外線や電子線を照射し、これらを部分的に硬化させ、未硬化の部分を洗浄して除去する方法が挙げられる。

　次いで、図５（ｃ）に示すように、電気コネクター１０におけるマスキング層２０００を除去した部分において、導電部材３０を除去し、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂにおいて、導電部材３０が接合されていない貫通孔２１を含む非導通領域６２を形成する（工程Ｉ）。なお、工程Ｇにおいて、導通領域６１に相当する形状を有するマスキング層２０００を形成した場合、工程Ｉでは、電気コネクター１０におけるマスキング層２０００が形成されていない部分において、導電部材３０を除去し、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂにおいて、導電部材３０が接合されていない貫通孔２１を含む非導通領域６２を形成する。

　工程Ｉにおいて、導電部材３０を除去する方法としては、例えば、ウエットエッチングが用いられる。
　ウエットエッチングに用いられるエッチング液としては、特に限定されず、導電部材３０の材質に応じて適宜選択される。

　次いで、図５（ｄ）に示すように、電気コネクター１０におけるマスキング層２０００の残部を除去し、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の主面１０ｂにおいて、非導通領域６２を挟んで、導電部材３０が接合された貫通孔２１を含む複数の導通領域６１を形成する（工程Ｊ）。

　工程Ｊにおいて、マスキング層２０００を除去する方法としては、例えば、レーザーエッチング、切削等の機械的加工、剥離液を用いた剥離方法等が用いられる。

　以上の工程Ａ～工程Ｊにより、図４に示す電気コネクター２００が得られる。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、工程Ｇにてマスキング層２０００を形成し、工程Ｈにてマスキング層２０００の一部を除去し、工程Ｉにてマスキング層２０００を除去した部分において、導電部材３０を除去して非導通領域６２を形成し、工程Ｊにて残りのマスキング層２０００の残部を除去して導通領域６１を形成するため、より小さな力で導通領域６１およびその近傍の非導通領域６２が、弾性体２０の厚さ方向に変形する電気コネクター２００が得られる。

　また、本実施形態の電気コネクターの製造方法では、前駆シートを得る工程Ｃの後に、前駆シート１５００が備える導電部材３０を、前駆シート１５００の一方の主面１５００ａおよび他方の主面１５００ｂの少なくとも一方から突出させる工程を有していてもよい。
　また、電気コネクターを得る工程Ｄの後に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の１０ｂの少なくとも一方における導電部材３０の端部３０ａ，３０ｂにメッキ加工を施す工程を有していてもよい。

（第４の実施形態）
［電気コネクター］
　図６は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。なお、図６において、図１に示した第１の実施形態の電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
　図６に示すように、本実施形態の電気コネクター３００は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。

　本実施形態の電気コネクター３００では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、電気コネクター３００の厚さ方向（図６では紙面の上方）に突出する突出部７１を有する。これにより、本実施形態の電気コネクター２００は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、突出部７１と、突出部７１よりも厚さが薄い領域（以下、「薄層部」と言う。）７２とによって形成される凹凸面を有する。

　突出部７１の配置や数は、特に限定されず、電気コネクター２００に接続されるデバイスの接続端子の形状等に応じて適宜調整される。より詳細には、デバイスにおける接続端子が設けられている面が凹凸をなし、接続端子が陥没している場合に、その接続端子に対応するように、突出部７１の配置や数が適宜調整される。
　薄層部７２から突出部７１までの高さは、５～１０００μｍが好ましく、１０～５００μｍがより好ましい。
　なお、薄層部７２から突出部７１までの高さは、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段を用いて突出部７１における５箇所の厚さを測定し、平均値を算出する。デジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段を用いて薄層部７２における５箇所の厚さを測定し、平均値を算出する。算出された値から以下の式に基づいて高さを算出する。
　薄層部から突出部までの高さ＝突出部の平均厚さ－薄層部の平均厚さ

　本実施形態の電気コネクター３００によれば、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、電気コネクター３００の厚さ方向に突出する突出部７１を有するため、電気コネクター３００に接続するデバイスの接続端子が陥没していても、導電部材３０とデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことができる。また、本実施形態の電気コネクター３００によれば、電気コネクター３００に接続するデバイスの接続端子の構造が陥没状と凸状が組み合わされたものである場合にも、導電部材３０とデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことができる。

　なお、本実施形態では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、電気コネクター３００の厚さ方向に突出する突出部７１を有する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。複合体４０は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、電気コネクター３００の厚さ方向に突出する突出部７１を有していてもよい。

　また、本実施形態では、電気コネクター２００に接続されるデバイスの接続端子の形状等に応じて、突出部７１または薄層部７２の一部が、上述の第３の実施形態における非導通領域６２をなしていてもよい。

［電気コネクターの製造方法］
　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、上述の導電部材含有シートを形成する工程（工程Ａ）と、上述の導電部材含有シートの積層体を形成する工程（工程Ｂ）と、上述の積層体を切断し、前駆シートを得る工程（工程Ｃ）と、上述の電気コネクターを得る工程（工程Ｄ）と、電気コネクターの少なくとも一方の主面側から、電気コネクターの一部を厚さ方向に除去し、電気コネクターに、薄層部を形成する工程（以下、「工程Ｋ」と言う。）と、を有する。

　以下、図２（ａ）～図２（ｄ）、図６および図７（ａ）、（ｂ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、第１の実施形態の電気コネクターの製造方法と同様にして、工程Ａ～工程Ｄを行い、図７（ａ）に示す電気コネクター１０を得る。

　次いで、図７（ｂ）に示すように、電気コネクター１０の一方の主面１０ａ側から、電気コネクター１０の一部を厚さ方向に除去し、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の厚さ方向に凹む薄層部７２を形成する（工程Ｋ）。

　工程Ｋにおいて、電気コネクター１０を除去する方法としては、例えば、レーザーエッチング、切削等の機械的加工等が用いられる。

　以上の工程Ａ～工程Ｋにより、図６に示す電気コネクター３００が得られる。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、電気コネクター３００に接続するデバイスの接続端子が陥没していても、導電部材３０とデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことが可能な電気コネクター３００を作製することができる。

　なお、本実施形態では、工程Ｋにて、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａ側において、電気コネクター１０の厚さ方向に凹む薄層部７２を形成する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。前駆シートを得る工程Ｃの後に、前駆シート１５００をなす電気コネクター１０に、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、電気コネクター１０の厚さ方向に凹む薄層部７２を形成してもよい。

（第５の実施形態）
［電気コネクター］
　図８は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。なお、図８において、図１に示した第１の実施形態の電気コネクターおよび図６に示した第４の実施形態の電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
　図８に示すように、本実施形態の電気コネクター４００は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。

　本実施形態の電気コネクター４００では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、電気コネクター４００の厚さ方向（図８では紙面の上方）に突出する突出部７１と、突出部７１よりも厚さが薄い薄層部７２とを有し、薄層部７２に樹脂製のシート状部材８０が積層されている。

　薄層部７２においては、導電部材３０の一方の端部３０ａの最表面（端面）が少なくともシート状部材８０の表面（上面）８０ａと同一面上に存在しており、シート状部材８０の表面（上面）８０ａから突出していることが好ましい。

　シート状部材８０の厚さは、特に限定されず、複合体４０に要求される弾性に応じて適宜調整される。シート状部材８０の厚さは、０．０１ｍｍ～０．５ｍｍであることが好ましい。
　シート状部材８０の平面視の大きさは、薄層部７２の平面視における全面積に対して、５０～９８面積％であることが好ましい。

　シート状部材８０の材質としては、シート状部材８０とした場合に耐熱性および寸法安定性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル、ポリブタジエン、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性および寸法安定性に優れる点から、ポリイミド（ＰＩ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）が好ましい。
　なお、シート状部材８０としては、これらの樹脂からなる不織布であってもよい。

　本実施形態の電気コネクター４００によれば、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、電気コネクター４００の厚さ方向に突出する突出部７１と、突出部７１よりも厚さが薄い薄層部７２とを有し、薄層部７２に樹脂製のシート状部材８０が積層されているため、複合体４０とシート状部材８０からなる積層体が、複合体４０のみの場合よりも、耐熱性や寸法安定性に優れ、導電部材３０と電気コネクター４００に接続するデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことができる。

　なお、本実施形態では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、電気コネクター４００の厚さ方向に突出する突出部７１と、薄層部７２とを有し、薄層部７２の全てに樹脂製のシート状部材８０が積層されている場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。薄層部７２の一部に樹脂製のシート状部材８０が積層されていてもよい。また、複合体４０は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、電気コネクター４００の厚さ方向に突出する突出部７１と、薄層部７２とを有し、両側の薄層部７２に樹脂製のシート状部材８０が積層されていてもよい。また、突出部７１上にも樹脂製のシート状部材８０が積層されていてもよい。

　また、本実施形態においても、電気コネクター４００に接続されるデバイスの接続端子の形状等に応じて、突出部７１または薄層部７２の一部が、上述の第３の実施形態における非導通領域６２をなしていてもよい。

［電気コネクターの製造方法］
　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、上述の導電部材含有シートを形成する工程（工程Ａ）と、上述の導電部材含有シートの積層体を形成する工程（工程Ｂ）と、上述の積層体を切断し、前駆シートを得る工程（工程Ｃ）と、上述の電気コネクターを得る工程（工程Ｄ）と、上述の突出部を形成する工程（工程Ｋ）と、電気コネクターの少なくとも一方の主面側において、電気コネクターの一部を除去した領域の少なくとも一部に樹脂製のシート状部材を積層する工程（以下、「工程Ｌ」と言う。）と、を有する。

　以下、図２（ａ）～図２（ｄ）、図８および図９（ａ）～図９（ｃ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法は、第１の実施形態の電気コネクターの製造方法と同様にして、工程Ａ～工程Ｄを行い、図９（ａ）に示す電気コネクター１０を得る。

　次いで、図９（ｂ）に示すように、電気コネクター１０の一方の主面１０ａ側から、電気コネクター１０の一部を厚さ方向に除去し、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の厚さ方向に突出する突出部７１を形成する（工程Ｋ）。

　次いで、図９（ｃ）に示すように、電気コネクター１０の一方の主面１０ａ側において、電気コネクター１０の一部を除去した領域の少なくとも一部に樹脂製のシート状部材８０を積層する（工程Ｌ）。

　工程Ｌにおいて、シート状部材８０を積層する方法としては、例えば、接着剤を介してシート状部材８０を貼合する方法、エキシマの照射による表面処理によりシート状部材８０を貼合する方法等が用いられる。
　また、工程Ｌにおいて、シート状部材８０を貼合する際の位置決め方法としては、例えば、電気コネクター１０における導電部材３０が配置されていない部分やシート状部材８０の端部近傍に位置決めの印（マーキング）を示して、画像認識により位置決めする方法や、電気コネクター１０に位置決め用の凸部や凹部を設けて嵌合する方法等が挙げられる。

　以上の工程Ａ～工程Ｌにより、図８に示す電気コネクター４００が得られる。

　本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、複合体４０とシート状部材８０からなる積層体が、複合体４０のみの場合よりも、耐熱性や寸法安定性に優れ、導電部材３０と電気コネクター４００に接続するデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことが可能な電気コネクター４００を作製することができる。

　なお、本実施形態では、工程Ｋにて、電気コネクター１０に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａ側において、電気コネクター４００の厚さ方向に突出する突出部７１を形成する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。前駆シートを得る工程Ｃの後に、前駆シート１５００をなす電気コネクター１０に、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、電気コネクター４００の厚さ方向に突出する突出部７１を形成してもよい。

　また、本実施形態では、工程Ｌにて、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、薄層部７２に樹脂製のシート状部材８０を積層する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。工程Ｌにて、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、薄層部７２に樹脂製のシート状部材８０を積層してもよい。また、突出部７１の上にもシート状部材８０を積層してもよい。

　また、本実施形態の電気コネクターの製造方法では、前駆シートを得る工程Ｃの後に、前駆シート１５００が備える導電部材３０を、前駆シート１５００の一方の主面１５００ａおよび他方の主面１５００ｂの少なくとも一方から突出させる工程を有していてもよい。
　また、電気コネクターを得る工程Ｄの後に、電気コネクター１０の一方の主面１０ａおよび他方の１０ｂの少なくとも一方における導電部材３０の端部３０ａ，３０ｂにメッキ加工を施す工程を有していてもよい。また、第３の実施形態と同様に、突出部７１または薄層部７２の一部に非導通領域６２を形成してもよい。

　本発明の電気コネクターは、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するために使用される。
　本発明の電気コネクターの使用方法は、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置して、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子とを電気的に接続すること、を含む。

　以下、実施例、比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

［比較例１］
　ポリエチレンテレフタレート基材上に形成したシリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第一の樹脂層の一方の面上に、複数の複合部材を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置した。
　複合部材としては、真鍮からなる直径２５μｍの円柱状の芯材と、その芯材の外周面に形成された金からなる厚さ０．２μｍの金属層とを有するものを用いた。
　次いで、複数の複合部材が配置された第一の樹脂層の一方の面上に、シリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に複合部材を固定し、導電部材含有シートを形成した。
　次いで、導電部材含有シートの２００枚を、互いに複合部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シートの積層体を形成した。
　次いで、積層体を、厚さ１５０μｍとなるように、切削加工により、複合部材の延在する方向に対して角度６３°で切断し、輪切りした導電部材が接合された貫通孔を備えた弾性体からなる前駆シートを得た。前駆シートの主面の厚さ方向に対する導電部材の延在方向の鋭角側の角度は２７°であった。
　比較例１では、この前駆シートを電気コネクターとした。
　比較例１の電気コネクターを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（型番：ＪＣＭ－６０００、日本電子社製）により観察した。結果を図１０に示す。図１０の結果から、比較例１の電気コネクターは、導電部材が長さ方向に渡って中実であることが確認された。

［実施例１］
　比較例１で得た前駆シートを、硝酸を含むエッチング液に浸漬して、エッチング液により芯材を腐食溶解することにより、貫通孔内における複合部材の芯材を除去して、導電部材における、前駆シートの切断面および切断面と反対側の面側の先端近傍の少なくとも一部を中空として、実施例１の電気コネクターを得た。
　実施例１の電気コネクターを、比較例１と同様にして走査型電子顕微鏡により観察した。結果を図１１に示す。図１１の結果から、実施例１の電気コネクターは、少なくとも導電部材の両端からそれぞれ１０μｍ～３０μｍが中空であることが確認された。

［実施例２］
　比較例１で得た前駆シートを、硝酸を含むエッチング液に実施例１より長時間浸漬して、エッチング液により芯材を腐食溶解することにより、貫通孔内における複合部材の芯材を除去して、導電部材における、前駆シートの切断面および切断面と反対側の面側の先端近傍の少なくとも一部を中空として、実施例２の電気コネクターを得た。
　実施例２の電気コネクターを、比較例１と同様にして走査型電子顕微鏡により観察した。結果を図１２に示す。図１２の結果から、実施例２の電気コネクターは、少なくとも導電部材の両端からそれぞれ５０μｍ以上が中空であることが確認された。また、電気コネクターの反対側の面から光を照射すると切断面における導電部材から光が認められなかった。

［実施例３］
　比較例１で得た前駆シートを、硝酸を含むエッチング液に実施例２より長時間浸漬して、エッチング液により芯材を腐食溶解することにより、貫通孔内における複合部材の芯材を除去して、導電部材における、前駆シートの切断面および切断面と反対側の面側の先端近傍の少なくとも一部を中空として、実施例３の電気コネクターを得た。
　実施例３の電気コネクターを、比較例１と同様にして走査型電子顕微鏡により観察した。結果を図１３に示す。図１３の結果から、実施例３の電気コネクターは、少なくとも導電部材の両端からそれぞれ５０μｍ以上が中空であることが確認された。また、電気コネクターの反対側の面から光を照射すると切断面における導電部材から光が認められることから、導電部材は長さ方向に渡って中空である、すなわち貫通孔を有していることが確認された。

［評価］
　比較例１、実施例１～実施例３の電気コネクターを、直径１．０ｍｍの金メッキされたプローブと金メッキされた接続端子を有する基板との間に配置して、積層体（試験装置）を形成した。
　また、プローブと基板の間の抵抗値を測定するために、プローブと基板に抵抗測定器（商品名：ＲＭ３５４５－０１、日置電機社製）を接続した。
　この状態で、積層体を、その厚さ方向に圧縮しながら、プローブと基板の間の抵抗値を測定し、積層体の変位量（積層体が厚さ方向に圧縮された量）と、プローブと基板の間の抵抗値との関係を調べた。なお、積層体の変位量は、電気コネクターの変位量に等しい。
　また、積層体を圧縮する際に、自動荷重試験機（商品名：ＭＡＸ－１ＫＮ－Ｓ－１、日本計測システム社製）により、積層体に加えられる荷重を測定し、積層体の変位量と、荷重との関係を調べた。
　以上の結果から、プローブと基板の間の抵抗値と電気コネクターに加えられる荷重との関係を調べた。結果を図１４に示す。
　図１４の結果から、実施例１～３の電気コネクターは、少ない荷重でも抵抗値が低くなることから、デバイスの接続端子に対して導電部材から過剰な力が加えられることがなく、接続端子が損傷することを防止できることが分かった。

（比較例２）
　ポリエチレンテレフタレート基材上に形成したシリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第一の樹脂層の一方の面上に、複数の複合部材を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置した。
　複合部材としては、真鍮からなる直径２５μｍの円柱状の芯材と、その芯材の外周面に形成された金からなる厚さ０．１μｍの金属層とを有するものを用いた。
　次いで、複数の複合部材が配置された第一の樹脂層の一方の面上に、シリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に複合部材を固定し、導電部材含有シートを形成した。
　次いで、導電部材含有シートの２００枚を、互いに複合部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シートの積層体を形成した。
　次いで、積層体を、厚さ１５０μｍとなるように、切削加工により、複合部材の延在する方向に対して角度６３°で切断し、輪切りした導電部材が接合された貫通孔を備えた弾性体からなる前駆シートを得た。前駆シートの主面の厚さ方向に対する導電部材の延在方向の鋭角側の角度は２７°であった。
　比較例２では、この前駆シートを電気コネクターとした。前駆シートにおける各導電部材の中心同士のピッチは、図１のＰ_１，Ｐ_２を参照して、Ｐ_１＝Ｐ_２＝５０μｍであった。
　比較例２の電気コネクターを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（型番：ＪＣＭ－６０００、日本電子社製）により観察した。比較例２の電気コネクターは、導電部材が長さ方向に渡って中実であることが確認された。

（実施例４）
　比較例２で得た前駆シートを、硝酸を含むエッチング液に浸漬して、エッチング液により芯材を腐食溶解することにより、芯材を除去して、複合部材における、前駆シートの切断面および切断面と反対側の面側の先端近傍の少なくとも一部を中空として、実施例４の電気コネクターを得た。
　実施例１の電気コネクターを、比較例２と同様にして走査型電子顕微鏡により観察した。実施例４の電気コネクターは、導電部材が内径２５μｍの中空体であることが確認された。

（実施例５～１２）
　電気コネクターの厚さ、金属層の厚さ、電気コネクターの厚さ方向に対する貫通孔の角度を表１のように変更したこと以外は、実施例４と同様にして電気コネクターを得た。

（実施例１３）
　実施例６と同様にして電気コネクターを得た後、炭酸ガスレーザーを用いて電気コネクターの両方の主面の表面をレーザーエッチングすることにより、各主面を形成するシリコーンゴムを約１５μｍの深さまで切削した。この結果、各主面の表面から、各導電部材の端部が約１５μｍの高さで突出した。

（実施例１４）
　実施例６と同様にして電気コネクターを得た後、炭酸ガスレーザーを用いて電気コネクターの両方の主面の表面をレーザーエッチングすることにより、各主面を形成するシリコーンゴムを約３０μｍの深さまで切削した。この結果、各主面の表面から、各導電部材の端部が約３０μｍの高さで突出した。　各例で得られた電気コネクターを用いて、接続安定性試験、接続端子損傷性試験、耐久性試験を以下の通りに行った。

＜試験方法１＞
　試験する電気コネクターを、円筒状の金メッキされた導電性プローブと、金メッキされた接続端子を有する基板との間に設置した。また、導電性プローブと基板の間の抵抗値を測定する前述の抵抗測定器と、電気コネクターの圧縮時に加わる荷重を測定する前述の自動荷重試験機を接続した。
　この試験装置において、電気コネクターの第一面に露出する導電部材の端部に対して、導電性プローブの直径０．１４ｍｍの先端部を押し当て、移動速度０．０５ｍｍ／分の条件で導電性プローブを押し込むことにより、電気コネクターを圧縮し、圧縮荷重が０．１５Ｎになるまで圧縮した。圧縮中、プローブと基板の間の抵抗値を測定した。

＜接続安定性試験＞
　試験方法１で測定した圧縮荷重が０．１５Ｎのときの抵抗値に基づいて、以下の評価基準で接続安定性を評価した。結果を表１に示す。
　Ａ：５０ｍΩ未満。抵抗値が低く、安定に接続できた。
　Ｂ：５０ｍΩ以上１５０ｍΩ未満。抵抗値はやや高いが、接続できている。
　Ｃ：１５０ｍΩ以上。抵抗値が高く、接続が不安定である。

　接続安定性試験の結果として、比較例２、実施例４、実施例７の抵抗値と荷重の関係を示すグラフを図１５に示す。比較例２では、荷重を０．１５Ｎまで加えても接続が安定しなかった。一方、実施例４，７では、抵抗値が漸次減少しており、荷重０．１２Ｎ以上で１５０ｍΩ以下となり、接続が低い荷重で安定していた。実施例４と実施例７を比べると、金属層が厚い実施例７の方が、より低い荷重で安定した接続が得られていることが判った。

　接続安定性試験の結果として、実施例６、実施例１３、実施例１４の荷重と変位量（圧縮距離）の関係を示すグラフを図１６に示す。電気コネクターの主面から導電部材の端部が突出する長さが長くなるほど、変位量に対する荷重が低下した。この結果は、前記端部の突出が導電部材を弾性変形し易くさせ、低い荷重で安定に接続できることを示している。

　接続安定性試験の結果として、実施例７、実施例８の荷重と変位量（圧縮距離）の関係を示すグラフを図１７に示す。電気コネクターの主面に対して、貫通孔及び導電部材が垂直に交わる実施例８よりも、斜めに交わる（貫通孔の厚み方向に対して２７°の角度である）実施例７の方が、変位量に対する荷重が低下していた。この結果は、電気コネクターの厚さ方向に対して導電部材が傾きを有すると、導電部材が弾性変形し易くなり、低い荷重で安定に接続できることを示している。

＜試験方法２＞
　ガラス基板の表面に、厚さ３５μｍの銅層と厚さ２５μｍの導電性粘着剤とからなる銅箔テープを貼付し、銅層の上に試験する電気コネクターの第一面が接触するように置いた。第一面の反対側の第二面に露出する各導電部材の端部に対して、円筒状の圧縮プローブの直径１ｍｍの先端部を押し当てた。
　移動速度０．０５ｍｍ／分の条件で圧縮プローブを押し付けることにより、電気コネクターを圧縮し、圧縮荷重が８Ｎになるまで圧縮した後、プローブを引き離して圧縮を解除した。圧縮後の電気コネクターを試験装置から取り外し、銅箔における圧縮プローブが押し付けた領域を電子顕微鏡によって観察し、銅箔の表面における傷の有無を調べた。

＜接続端子損傷性試験＞
　試験方法２で銅箔の表面を電子顕微鏡で観察した結果に基づいて、以下の評価基準で接続端子損傷性を評価した。結果を表１に示す。
　Ａ：明らかな傷が観察されない。接続端子を傷付けるおそれがない。
　Ｃ：明らかな傷が観察される。接続端子を傷付けるおそれがある。

＜試験方法３＞
　試験方法１と同様に、試験する電気コネクターを、円筒状の金メッキされた導電性プローブと、金メッキされた接続端子を有する基板との間に設置し、抵抗測定器と自動荷重試験機を接続した。
　この試験装置において、電気コネクターの第一面に露出する導電部材の端部に対して、導電性プローブの直径０．１４ｍｍの先端部を押し当て、移動速度１００ｍｍ／分の条件で導電性プローブを０．０６０ｍｍ押し込み、次いで引き離す圧縮動作を３．５万回繰り返した。その後、プローブと銅層の間の抵抗値を測定した。

＜耐久性試験＞
　試験方法３で測定した抵抗値に基づいて、以下の評価基準で耐久性を評価した。結果を表１に示す。
　Ａ：３．５万回圧縮後の抵抗値が２００ｍΩ未満。耐久性が優れている。
　Ｂ：３．５万回圧縮後の抵抗値が２００ｍΩ以上５００ｍΩ未満。耐久性が良好である。
　Ｃ：３．５万回圧縮後の抵抗値が５００ｍΩ以上。耐久性が低い。
　ＮＴ：試験を行わなかった。

１０，１００，２００，３００，４００　電気コネクター
２０　弾性体
２１　貫通孔
３０　導電部材
３０’　複合部材
３５，３６　メッキ層
４０　複合体
５０　中空体
６１　導通領域
６２　非導通領域
７１　突出部
７２　薄層部
８０　シート状部材
１０００　基材
１１００　第一の樹脂層
１２００　第二の樹脂層
１３００　導電部材含有シート
１４００　積層体
１５００　前駆シート
２０００　マスキング層

Claims

　第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであって、
　厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有する複合体を備え、
　前記導電部材は、少なくとも一方の先端近傍の少なくとも一部が中空である電気コネクター。
　前記導電部材は、貴金属からなる少なくとも１層の金属層を有する請求項１に記載の電気コネクター。
　前記貫通孔は、前記弾性体の厚さ方向に対して斜めに貫通している請求項１または２に記載の電気コネクター。
　前記導電部材は、端部が前記弾性体の一方の主面および他方の主面の少なくとも一方から突出している請求項１～３のいずれか１項に記載の電気コネクター。
　前記導電部材の端部にメッキ層が形成されている請求項１～４のいずれか１項に記載の電気コネクター。
　前記複合体は、前記弾性体の一方の主面および他方の主面において、前記導電部材が接合された前記貫通孔を含む複数の導通領域と、前記複数の導通領域の間に設けられ、前記導電部材が接合されていない前記貫通孔を含む非導通領域と、を有する請求項１～５のいずれか１項に記載の電気コネクター。
　前記複合体は、前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記弾性体の厚さ方向に突出する突出部を有する請求項１～６のいずれか１項に記載の電気コネクター。
　前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記突出部よりも厚さが薄い薄層部の少なくとも一部に樹脂製のシート状部材が積層されている請求項７に記載の電気コネクター。
　前記導電部材は、前記導電部材の全長にわたって中空である、請求項１～８のいずれか１項に記載の電気コネクター。
　弾性体からなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯材と、前記芯材の外周面に形成された貴金属からなる少なくとも１層の金属層を有する導電部材とを含む複数の複合部材を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
　前記第一の樹脂層の第一の面側に弾性体からなる第二の樹脂層を形成し、導電部材含有シートを形成すること、
　複数の前記導電部材含有シートを、前記複数の複合部材の向きを揃えて積層し、前記導電部材含有シートの積層体を形成すること、
　前記積層体を、前記複数の複合部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、及び
　前記前駆シートから前記芯材の少なくとも一部を除去して、電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
　前記複数の芯材の少なくとも一部を除去することが、溶解液で前記芯材の少なくとも一部を溶解することである請求項１０に記載の電気コネクターの製造方法。
　前記前駆シートが備える前記導電部材の端部を、前記前駆シートの切断面および前記切断面と反対側の面の少なくとも一方から突出させることを有する請求項１０または１１に記載の電気コネクターの製造方法。
　前記導電部材の端部にメッキ加工を施すことを有する請求項１０～１２のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
　前記電気コネクターの一方の主面および他方の主面の少なくとも一部にマスキング層を形成すること、
　前記電気コネクターにおける前記マスキング層が形成されていない部分において、前記導電部材を除去し、前記電気コネクターに、前記電気コネクターの一方の主面および他方の主面において、前記導電部材が接合されていない前記貫通孔を含む非導通領域を形成すること、及び
　前記マスキング層を除去し、前記電気コネクターに、前記電気コネクターの一方の主面および他方の主面において、前記非導通領域を挟んで、前記導電部材が接合された前記貫通孔を含む複数の導通領域を形成すること、を有する請求項１０～１３のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
　前記電気コネクターの少なくとも一方の主面側から、前記電気コネクターの一部を厚さ方向に除去し、前記電気コネクターに、薄層部を形成することを有する請求項１０～１４のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
　前記薄層部に樹脂製のシート状部材を積層することを有する請求項１５に記載の電気コネクターの製造方法。