JP6599142B2 - 異方導電性フィルム - Google Patents
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Description
表面および裏面を有する異方導電性フィルムであって、
複数の貫通孔を有し、複数の前記貫通孔の各々が導電材料によって覆われた内壁面によって規定される樹脂フィルムを備え、
前記導電材料は、内部に前記表面から前記裏面まで延びる空孔を有する筒状体を構成している、異方導電性フィルムを提供する。
ダイヤルゲージ(株式会社ミツトヨ製)を用いて各サンプルの膜厚を任意に選択した5点について測定し、その平均値を膜厚とした。
各サンプルの表面および裏面を走査型電子顕微鏡(SEM:JEOL社(日本電子株式会社)製、JSM−6510LV)により観察し、得られたSEM像から任意に選択した10の貫通孔の径を求め、その平均値を貫通孔の径(貫通孔径)とした。また、同じSEMを用いて各サンプルの断面SEM像を観察し、得られた断面SEM像から任意に選択した10の貫通孔の角度を求め、その平均値を貫通孔の角度とした。
サンプルの表面および裏面を上記SEMにより観察し、得られたSEM像における単位面積当たりの貫通孔の数を目視にて数えた。次に、上記手法で測定した貫通孔径から求めた貫通孔の面積を算出した。貫通孔の数と貫通孔の面積との積をSEM像の面積で割って得た値に100を乗じて各サンプルの開口率を特定した。
サンプルの表面および裏面のSEM像における単位面積当たりの貫通孔の数を目視にて数え、貫通孔の密度(孔密度、単位:個/cm2)に換算した。
各サンプルの断面を上記SEMにより観察し、得られた断面SEM像から任意に選択した10点について貫通孔壁面の筒状体の肉厚を測定し、その平均値を筒状体の肉厚とした。
貫通孔径から筒状体の肉厚の2倍を差し引くことによって、空孔の径(空孔径)を計算した。
各サンプルの表面抵抗は、抵抗率計(株式会社三菱化学アナリテック製、MCP−HT450型)を用いてサンプルの表面および裏面に各々10V印加した際の値を測定した。なお、この抵抗率計は、JIS−K6911に準拠した測定を行うものである。
各サンプルの体積抵抗は、以下のように測定した。まず、サンプルをカットすることによって3cm×3cmの小片を得た。次に、金メッキを施した正負極間に小片を挟み、この状態で正負極間に1mAの電流を流し、このときの正負極間の電圧を測定し、電圧を電流で割ることによって体積抵抗を測定した。
各サンプルの膜厚方向の透過率を分光光度計(日本分光株式会社製、V560)で測定した。測定波長領域は300〜800nmとした。
厚さ方向に複数の貫通孔が形成された市販のPETフィルム(it4ip製、Track etched membrane)を準備した。このフィルムは、無孔のPETフィルムにイオンビームを照射し、照射後のフィルムを化学エッチングして製造された樹脂フィルムである。このフィルムの膜厚は5〜115μmであり、貫通孔径は0.8〜10μmであり、開口率は7.5〜45%である。スパッタリングによって、これらPETフィルムの表面と、裏面と、貫通孔の内壁面とに、300〜900nmのCu層を形成した。ターゲットとしては、住友金属鉱山株式会社製のCuターゲットを用いた。スパッタリングでは、スパッタ蒸着装置(ULVC(株式会社アルバック)社製、SMH−2306RE)を用いた。印加電圧は直流0.5〜3.0kVとした。Arガス流量を50〜300SCCMとした。スパッタリングの後に、60℃〜80℃で10〜30wt%の水酸化カリウム水溶液に樹脂フィルムを浸漬させた。このようにして樹脂フィルムの表面および裏面をエッチングすることによってCu層を除去した(エッチングによる樹脂フィルムの厚さの減少幅は、ダイヤルゲージでは測定できないほど小さかった)。このようにして、各サンプルを作製した。
無孔のPETフィルムにレーザーを照射することによって、膜厚が45μmであり、貫通孔径が30μmであり、開口率が25%である樹脂フィルムを作製した。スパッタリングによって、PETフィルムの表面と、裏面と、貫通孔の内壁面とに、300nmのCu層を形成した。ターゲットとしては、住友金属鉱山株式会社製のCuターゲットを用いた。スパッタリングでは、スパッタ蒸着装置(ULVC(株式会社アルバック)社製、SMH−2306RE)を用いた。印加電圧は直流0.5〜3.0kVとした。Arガス流量を50SCCMとした。スパッタリングの後に、65℃で12wt%の水酸化カリウム水溶液に樹脂フィルムを浸漬させた。このようにして樹脂フィルムの表面上および裏面上のCu層を除去した。このようにして、サンプルを作製した。
特許文献1の実施例の方法(レーザー加工とメッキ法とを組み合わせた方法)に倣って、サンプルを作製した。得られたサンプルでは、ポリイミドフィルムに形成された複数の貫通孔が、ニッケルによって完全に塞がれていた。
11 表面
12 裏面
15 空孔
20 樹脂フィルム
21 表面
22 裏面
24 内壁面
25 貫通孔
27 中実の部分
30 筒状体
33 導電材料
39 外輪郭
Claims (10)
- 表面および裏面を有する異方導電性フィルムであって、
複数の貫通孔を有し、複数の前記貫通孔の各々が導電材料によって覆われた内壁面によって規定される樹脂フィルムを備え、
前記導電材料は、内部に前記表面から前記裏面まで延びる空孔を有する筒状体を構成し、
前記樹脂フィルムは、内部が樹脂で詰まった中実の部分と、前記複数の貫通孔によって構成されており、
前記貫通孔の径が1〜15μmであり、
前記異方導電性フィルムを厚さ方向から観察したときの前記異方導電性フィルムの輪郭で規定される面積に対する全ての前記貫通孔の断面積の総和の割合が0.2〜0.4である、異方導電性フィルム。 - 前記導電材料は、前記内壁面のみを覆っている、請求項1に記載の異方導電性フィルム。
- 前記樹脂フィルムの厚さが10〜130μmである、請求項1または2に記載の異方導電性フィルム。
- 表面および裏面を有する異方導電性フィルムであって、
複数の貫通孔を有し、複数の前記貫通孔の各々が導電材料によって覆われた内壁面によって規定される樹脂フィルムを備え、
前記導電材料は、内部に前記表面から前記裏面まで延びる空孔を有する筒状体を構成し、
前記異方導電性フィルムの厚さ方向の体積抵抗が1.0×10-2〜1.0×1013Ω・cmであり、
前記厚さ方向に垂直である膜面方向の表面抵抗が1.0×1014Ω/□以上であり、
波長300〜800nmの光の前記厚さ方向に関する透過率が25〜90%である、異方導電性フィルム。
ただし、前記体積抵抗は、前記異方導電性フィルムをカットすることによって3cm×3cmの小片を作製し、金メッキを施した正負極間に前記小片を挟んだ状態で前記正負極間に1mAの電流を流し、このときの前記正負極間の電圧を測定し、前記電圧を前記電流で割ることによって測定したものである。前記表面抵抗は、JIS−K6911に準拠したものである。 - 前記筒状体の肉厚が100〜1000nmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の異方導電性フィルム。
- 前記導電材料が、金、銀、銅、インジウム酸化錫およびインジウム酸化亜鉛からなる群より選ばれる少なくとも一種を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の異方導電性フィルム。
- 前記樹脂フィルムの厚さ方向と前記複数の貫通孔の軸方向との間の角度が0〜30°である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の異方導電性フィルム。
- 前記貫通孔が、円柱形状、円錐台形状、または2つの円錐台が組み合わされた形状であって各々の面積が小さい側の底面が接続された形状を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の異方導電性フィルム。
- 前記樹脂フィルムの材料が、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミドおよびポリフッ化ビニリデンからなる群より選ばれる少なくとも一種を含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の異方導電性フィルム。
- 液晶ディスプレイパネルに貼り付けられる液晶ディスプレイ用シートであって、
前記液晶ディスプレイパネルの導電部に接するべき表面と、相手材と接するべき裏面とを有し、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の異方導電性フィルムによって構成されている、液晶ディスプレイ用シート。
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