WO2005100220A1

WO2005100220A1 - カバーレイフィルム貼り合わせ装置

Info

Publication number: WO2005100220A1
Application number: PCT/JP2005/000921
Authority: WO
Inventors: Kazuhiko Kato
Original assignee: Beac Co., Ltd.
Priority date: 2004-04-13
Filing date: 2005-01-25
Publication date: 2005-10-27
Also published as: TWI308901B; TW200533583A; KR100853342B1; KR20060032213A; CN1910100B; JP4097679B2; JPWO2005100220A1; CN1910100A

Description

明細書

カバーレイフイルム貼り合わせ装置

技術分野

[0001] 本発明は、フレキシブル基板形成用のベースフィルムにカバーレイフイルムを貼り合わせるためのカバーレイフイルム貼り合わせ装置に関する。

背景技術

[0002] 一般に、フレキシブル基板を形成する工程には、銅箔等の導体パターンが形成されたポリイミド樹脂、 PET樹脂、ポリエステル樹脂等からなるベースフィルムのパターン形成面に、熱硬化性の接着層を有するポリイミド樹脂、 PET樹脂等からなるカバーレイフイルムを貼り合わせる工程があることが知られている。

[0003] 従来、この種のカバーレイフイルムの貼り合わせ作業は、作業台上に立設された多数の位置決め用ピンに対し人手によりベースフィルム及びカバーレイフイルムを揷通して位置決めしてから行われている。

[0004] ところで、カバーレイフイルムには通常ベースフィルムの導体パターンに対応した多数の孔が開いているため、カバーレイフイルムの貼り合わせ作業を行うためにカバーレイフイルムから離型フィルムや離型紙（以下、この明細書では「離型フィルム」という

。）を剥離するとカバーレイフイルムの腰がなくなり、極めて取り扱いにくいのが実情である。

[0005] このため、このようなカバーレイフイルムの貼り合わせ作業における生産性は極めて低ぐカバーレイフイルム貼り合わせ装置を用いてその貼り合わせ作業を自動化することが望まれていた。

[0006] 図 10は、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置を説明するために示す図である。従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 800は、図 10に示すように、ベースフィノレム繰り出しローノレ 801 A、カバーレイフイルム繰り出しロール 802A、離型フィルム繰り出しローノレ 803A, 804A,二対のローノレ 805, 805, 807, 807、積層フイノレム卷き取りロール 801B、離型フィルム卷き取りロール 803B, 804B及びカロ熱プレス 80 6, 806を備えている（例えば、特許文献 1参照。）。 [0007] そして、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 800においては、ベースフィルム繰り出しロール 801 Aから繰り出されたベースフィルム Wl 1とカバーレイフイルム繰り出しロール 802Aから繰り出されたカバーレイフイルム W12とは一体に重ね合わされ、さらに離型フィルム繰り出しロール 803A， 804Aから繰り出された離型フィルム W1 3, W14に挟まれた状態で、加熱プレス 806， 806によって一体に貼り合わされて積層フィルム W15とされた後、積層フィルム卷き取りロール 801Bに卷き取られる。

[0008] このため、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 800によれば、ベースフィルム W11とカバーレイフイルム W12との貼り合わせ作業を自動化することができ、その結果、ベースフィルム W11とカバーレイフイルム W12との貼り合わせ作業における生産性を高くすることができる。

[0009] 特許文献 1 :特開平 2— 226793号公報（図 1)

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0010] し力ながら、上記したカバーレイフイルム貼り合わせ装置 800においては、ベースフィルム W11とカバーレイフイルム W12との貼り合わせを、ともに長尺のフィルム同士を一体に重ね合わせた状態で行うこととしている。このため、これらのフィルムの繰り出しを行えば行うほどベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積することになるため、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度を確保することは困難である。また、これらのフィルムの繰り出しを行うことによって発生する蛇行現象によって、ベースフィルムにおける短尺方向の位置合わせ誤差が発生するため、ベースフィルムの短尺方向における位置合わせ精度を確保することも容易ではない。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることは容易ではなぐその結果、フレキシブル基板の品質を高くすることが容易ではないという問題があった。

[0011] そこで、本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、ベースフィノレムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易で、その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることが容易なカバーレイフイルム貼り合わせ装置を提供することを目的とする。課題を解決するための手段

[0012] (1)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置は、ロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置と、このベースフィノレム供給装置によって繰り出されたシート状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフイルムを仮圧着して、ベースフィルムにカバーレイフイルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、この仮圧着装置によって形成されたシート状の積層フィルムをロール状に卷き取るための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって、前記仮圧着装置は、ベースフィルムにカバーレイフイルムを仮圧着する領域（以下「仮圧着領域」とレ、う。）と力バーレィフィルムを前記仮圧着領域に向けて供給する位置 (以下「カバーレイフイルム供給位置」という。 )とを結ぶカバーレイフイルム供給路に沿ってカバーレイフイルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とする。

[0013] このため、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、間欠的に繰り出されたシート状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフイルムが仮圧着されることとなるため、長尺のベースフィルムを用いた場合であっても、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積することがなくなり、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することがなくなる。

また、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、カバーレイフイルムは、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルによって仮圧着領域に供給されることとなるため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となり、本発明の目的が達成される。

[0014] なお、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを貼り合わせるには、少なくとも、カバーレイフイルムをベースフィルム供給路上の貼り合わせ領域に供給する力バーレィフィルム供給工程と、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを貼り合わせる貼り合わせ工程とが必要になる力ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを一段階で完全に貼り合わせることとした場合には、この貼り合わせ工程が極めて長くなり、全体としての生産性を向上することが困難となる。

このため、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを完全に貼り合わせて積層フィルムを形成する代わりに、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを仮圧着して積層フィルムを形成することとしている。これにより、上記の貼り合わせ工程を大幅に短縮化して、全体としての生産性の向上を図っている。この場合、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを完全に貼り合わせるには、カバーレイフイルムが仮圧着された積層フィルムを圧着（本圧着)するための専用の本圧着装置 (例えば真空プレス機。）を別途準備して、この本圧着装置を用いてベースフィルムに対してカバーレイフイルムを完全に貼り合わせれは'よレ、。

[0015] ここで、この明細書において「短冊状」とは、必ずしも平面から見て細長い形状のみを意味しているものではなぐ正方形状も含む略矩形状のことを意味しているものである。

[0016] (2)上記（1)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記力バーレィフィルム供給路は、前記ベースフィルム供給装置と前記積層フィルム回収装置とを結ぶベースフィルム供給路に対して直交することが好ましい。

[0017] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給路がベースフィルム供給路と交差する部分の面積を小さくできる結果、ベースフィルム供給路の長さを短くして装置をコンパクトなものにすることができる。

[0018] (3)上記（1)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルムとしてロール状のベースフィルムを用いている力 S、本発明はこれに限定されるものではない。ベースフィルムとして短冊状のベースフィルムを用いた場合であっても、上記（1)に記載したカバーレイフイルム貼り合わせ装置の場合と同様の効果を有する。

[0019] すなわち、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置は、短冊状のベースフィルムを仮圧着領域に向けて供給するためのベースフィルム供給装置と、このベースフィルム供給装置によって供給された短冊状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフイルムを仮圧着して、短冊状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、この仮圧着装置によって形成された短冊状の積層フィルムを回収するための積層フイルム回収装置とを備えたカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって、前記仮圧着装置は、仮圧着領域とカバーレイフイルム供給位置とを結ぶカバーレイフイルム供給路に沿ってカバーレイフイルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とする

[0020] このため、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、短冊状のベースフィルムを用いていることから、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積するおそれが生じないため、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することもない。

また、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、上記（1)に記載した力バーレイフイルム貼り合わせ装置の場合と同様に、カバーレイフイルムは、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルによつて仮圧着領域に供給されることとなるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となり、本発明の目的が達成される。

[0021] (4)上記（1)一 (3)のレ、ずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉレ、ては、前記仮圧着テーブルは、互いに直交する 2つの水平方向に移動可能であり、かつ、水平面内の仮想点を回転中心とする円周方向に回動可能であることが好ましレ、

[0022] このように構成することにより、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを位置（及び姿勢)精度良く配置することができるようになるため、ベースフィルムに対する力バーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。

[0023] この場合において、互いに直交する 2つの水平方向としては、ベースフィルム供給路に沿った方向及びカバーレイフイルム供給路に沿った方向を選択することが好ましレ、。また、水平面内の仮想点としては、仮圧着テーブルのカバーレイフイルムが載置される面における中心点を選択することが好ましい。

[0024] (5)上記 (4)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉレ、ては、前記仮圧着テ一ブルには、互いに離隔して配置された少なくとも 2つの撮像用孔が設けられ、これら各撮像用孔のそれぞれに対応して撮像素子が設けられていることが好ましい。

[0025] このように構成することにより、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を少なくとも 2つの撮像素子により精度良く測定することができるようになる。このため、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを位置（及び姿勢)精度良く配置することができるようになり、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。

[0026] この場合において、少なくとも 2つの撮像用孔は、仮圧着テーブルの両端部に配置されることが好ましい。

[0027] (6)上記（1)一 (5)のレ、ずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉレ、ては、前記仮圧着テーブルは、前記仮圧着領域において上方に移動することにより仮圧着動作を行うことが好ましい。

[0028] このように構成することにより、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを位置（及び姿勢)精度良く配置した状態で、仮圧着テーブルがそのまま上方に移動することにより、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態を維持したまま仮圧着することができるようになる。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。

[0029] (7)上記（6)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉレ、ては、前記仮圧着装置は、前記仮圧着領域において前記仮圧着テーブルが仮圧着動作を行うときに前記仮圧着テーブルを受ける緩衝機構をさらに有することが好ましい。

[0030] このように構成することにより、カバーレイフイルム全体をベースフィルムに対して均一な力で仮圧着することができるようになる。

[0031] (8)上記（7)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉレ、ては、前記緩衝機構にはベースフィルムを吸着するための多数のベースフィルム吸着孔が設けられてレ、ることが好ましい。

[0032] このように構成することにより、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルムを吸着させることができ、仮圧着領域にぉレ、てベースフィルムを固定することができる。

[0033] (9)上記（8)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉレ、ては、前記仮圧着装置は、仮圧着動作が行われる前にベースフィルムを前記緩衝機構に対して押さえつける押さえ機構をさらに有することが好ましい。

[0034] このように構成することにより、押さえ機構がベースフィルムを緩衝機構に対して押さえつけるため、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルムをより確実に吸着させること力 Sできるようになる。

また、仮圧着動作が行われる前に押さえ機構による押さえ動作が行われるため、仮圧着テーブルによる仮圧着動作に邪魔されることなく押さえ動作を円滑に行うことができる。仮圧着動作が行われる前とは、仮圧着動作が終了した仮圧着テーブルが仮圧着領域からカバーレイフイルム供給位置に移動し、新たなカバーレイフイルムを載置して再び仮圧着領域へと戻ってくるまでの間のことであり、この時間を利用して押さえ機構による押さえ動作を行うことから、押さえ動作を行うための特別の時間をかけなくてもょレ、ため、全体としての生産性を低下させることもなレ、。

[0035] この場合、前記仮圧着テーブルが前記仮圧着領域から前記カバーレイフイルム供給位置に向けて移動すると、前記押さえ機構が前記仮圧着領域外から前記仮圧着領域内に移動し、前記押さえ機構が前記仮圧着領域内から前記仮圧着領域外に移動すると、前記仮圧着テーブルが前記カバーレイフイルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて移動するように構成されてレ、ることが好ましレ、。

これにより、仮圧着テーブルによる仮圧着動作及び押さえ機構による押さえ動作の両方の動作を円滑に行うことができる。

[0036] (10)上記（1)一（9)のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、カバーレイフイルムを加熱するためのヒータを有することが好ましい。

[0037] このように構成することにより、仮圧着に先立って、カバーレイフイルムをベースフィルムに対して供給する過程で、カバーレイフイルムの温度を予め高くすることができるようになるため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの仮圧着をより短時間に円滑に行うことができるようになる。

[0038] (11)上記（1)一（10)のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ロール状のカバーレイフイルムをシート状にして間欠的に繰り出すための力バーレイフイルム繰り出し装置と、このカバーレイフイルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフイルムを裁断して短冊状のカバーレイフイルムを形成するためのカバーレイフイルム裁断装置と、このカバーレイフイルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフイルムを前記仮圧着テーブル上に載置するための力バーレイフイルム載置装置とを有するカバーレイフイルム裁断'載置装置をさらに備えることが好ましい。

[0039] このように構成することにより、ロール状のカバーレイフイルム力短冊状の力バーレィフィルムを形成し、その短冊状のカバーレイフイルムを仮圧着テーブルに供給することが可能になるため、ロール状のカバーレイフイルムを用いることができるようになる。このため、全体としての生産性をさらに高くすることができる。

[0040] (12)上記（11)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバ一レイフイルム裁断装置は、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及びこの押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、前記カバーレイフイルム裁断'載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを卷き取る刃受けシート卷き取り装置とをさらに有することが好ましい。

[0041] このように構成することにより、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置によって繰り出される刃受けシートが常に押し切り刃を受けることが可能になるため、カバーレイフイルムを良好に裁断することができる。また、押し切り刃の刃先が損傷するのを防止することができる。

[0042] (13)上記（1)一（12)のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルには、短冊状のカバーレイフイルムを吸着するための多数のカバーレイフイルム吸着孔が設けられていることが好ましい。

[0043] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給位置において供給された力バーレイフイルムを、仮圧着テーブルにより仮圧着領域まで円滑に搬送することができるようになる。

[0044] (14)上記（13)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバ一レイフイルム裁断 ·載置装置は、前記多数のカバーレイフイルム吸着孔に吸着されたカバーレイフイルムにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィルム把持装置をさらに有し、この離型フィルム把持装置が前記離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフイルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて前記仮圧着テーブルが移動することによって、前記カバーレイフイルムから離型フィルムを剥離することが好ましい。

[0045] このように構成することにより、カバーレイフイルムを仮圧着領域まで搬送する工程中にカバーレイフイルムから離型フィルムを剥離することができるようになるため、わざわざカバーレイフイルムから離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ作業を短縮化することができる。

また、仮圧着テーブルにカバーレイフイルムを載置するまでは、カバーレイフイルムを離型フィルムの付いた状態で取り扱うことができるようになるため、取り扱いが極めて容易になる。

[0046] (15)上記（14)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバ一レイフイルム裁断.載置装置は、カバーレイフイルムを裁断するのに先立って、カバ一レイフイルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することが好ましい。

[0047] このように構成することにより、仮圧着テーブルに載置されたカバーレイフイルムは、離型フィルム剥離刃によって予め部分剥離部が形成されるようになるため、離型フィルム把持装置が離型フィルムの端部を容易に把持することができるようになる。

[0048] (16)上記（15)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバ一レイフイルム載置装置は、前記カバーレイフイルム裁断装置によって裁断された力バーレイフイルムを前記仮圧着テーブルに搬送するための吸着パッドを有し、この吸着パッドは、前記仮圧着テーブル上にカバーレイフイルムを載置してから前記離型フイルム把持装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することが好ましい。

[0049] このように構成することにより、仮圧着テーブルに載置されたカバーレイフイルムにおいては、吸着パッドによって離型フィルムの部分剥離部が吸着されてめくれ上がつた状態となるため、離型フィルム把持装置が離型フィルムの端部をさらに容易に把持すること力 Sできるようになる。

[0050] (17)上記（1)一（16)のレ、ずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルム供給路内における前記仮圧着装置の前記積層フィルム回収装置側に配設され、前記仮圧着装置によってベースフィルムに仮圧着されたカバーレイフイルムをベースフィルムに対してさらに強固に仮圧着するための補助仮圧着装置をさらに備えることが好ましい。

[0051] 上記（17)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの仮圧着を行って積層フィルムを形成する工程の後に、積層フィルムを補助仮圧着を行う領域に供給するとともに新たなベースフィルムを仮圧着領域に供給する工程と、仮圧着テーブルの移動動作を行って、ベースフィルム供給路上の仮圧着領域に新たなカバーレイフイルムを供給する工程とが行われる。この場合、後者の工程が前者の工程よりも所要時間がかなり長くなるため、これらの工程間における時間差を利用して補助仮圧着処理を行うことにより、補助仮圧着を行う工程のための特別の時間をかけなくとも補助仮圧着工程を行うことができるようになる。このため、最初の仮圧着の時間を短縮することができるようになり、全体としての生産性をさらに向上することができる。

[0052] (18)上記（17)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルム供給路内における前記補助仮圧着装置と前記積層フィルム回収装置との間に少なくとも 2つの撮像素子が互いに離隔して配設されていることが好ましい。

[0053] このように構成することにより、撮像素子が積層フィルムを撮影することで、積層フィルム回収装置が積層フィルムを回収する前にその仮圧着状態を確認することが可能となる。仮に、上記の撮像素子による撮影の結果、ベースフィルムに対する力バーレィフィルムの貼り付け位置がずれていたり仮圧着が不完全であったりした場合には、装置の運転を停止させることで、爾後、そのような仮圧着が不完全な積層フィルムが形成されるのを未然に防止することができるようになる。

[0054] (19)上記（17)又は（18)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記ベースフィルム供給装置及び前記積層フィルム回収装置、前記仮圧着装置並びに前記補助仮圧着装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えることが好ましい。

[0055] このように構成することにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着工程及び補助仮圧着工程を行うことができるようになるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として生産性の高い仮圧着を行うことができるようになる。

図面の簡単な説明

[0056] [図 1]実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を示す平面図である。

[図 2]実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。

[図 3]実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を示す正面図である。

[図 4]仮圧着装置を説明するために示す要部拡大図である。

[図 5]仮圧着装置及びカバーレイフイルム裁断 ·載置装置を説明するために示す側面図である。

[図 6]カバーレイフイルム裁断 ·載置装置を示す背面図である。

[図 7]カバーレイフイルム裁断 ·載置装置を示す側面図である。

[図 8]ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの仮圧着方法を説明するために示すフローチャートである。

[図 9]実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。

[図 10]従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置を示す正面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0057] 以下、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。

[0058] [実施形態 1]

まず、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置について、図 1一図 7を用いて説明する。

図 1は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を示す平面図である。図 2は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。図 3は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を示す正面図である。図 4は、仮圧着装置を説明するために示す要部拡大図である。図 5は、仮圧着装置及びカバーレイフイルム裁断 ·載置装置を説明するために示す側面図である。図 6は、カバーレイフイルム裁断'載置装置を示す背面図である。図 7は、カバーレイフイルム裁断 ·載置装置を示す側面図である。

[0059] なお、以下の説明においては、互いに直交する 3つの方向をそれぞれ X軸方向（図 1における紙面に平行で左右方向）、 y軸方向（図 1における紙面に平行かつ X軸に直交する方向）及び z軸方向（図 1における紙面に垂直な方向）とする。

[0060] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1は、図 1一図 3に示すように、各種の装置 (後述する。）を搭載'固定するための装置本体 100と、ロール状のベースフイルム Wbをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置 20 0と、ベースフィルム供給装置 200によって繰り出されたシート状のベースフィルム W bに対して短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着して、ベースフィルム Wbにカバ一レイフイルム Wcが仮圧着されたシート状の積層フィルム Wsを形成するための仮圧着装置 400と、仮圧着装置 400によって形成されたシート状の積層フィルム Wsを口ール状に卷き取るための積層フィルム回収装置 300と、ベースフィルム供給装置 200 と積層フィルム回収装置 300との間に介在する一対のテンション装置 250, 350と、仮圧着装置 400によつてベースフィルム Wbに仮圧着されたカバーレイフイルム Wcをベースフィルム Wbに対してさらに強固に仮圧着するための補助仮圧着装置 500と、装置本体 100の後方に配置され、短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着装置 40 0に供給するカバーレイフイルム裁断'供給装置 600とを備えている。

なお、積層フィルム Wsは、ベースフィルム Wbの一方のパターン形成面側に短冊状のカバーレイフイルム Wcが仮圧着された構造を有している。

[0061] 装置本体 100は、平面視略矩形状の機台によって構成されている。装置本体 100 の右側部には、図 3に示すように、ベースフィルム供給装置 200及び積層フィルム回収装置 300、仮圧着装置 400並びに補助仮圧着装置 500を同期して動作させるためのコントローラを内蔵するコントローラボックス 110が配設されている。

[0062] 装置本体 100には、図 2に示すように、ベースフィルム供給装置 200と積層フィルム回収装置 300とを結ぶベースフィルム供給路 LIと、カバーレイフイルム供給位置 P1 と仮圧着領域 P2とを結ぶカバーレイフイルム供給路 L2と、後述するカバーレイフィルム繰り出し装置 610とカバーレイフイルム供給位置 P1とを結ぶカバーレイフイルム搬送路 L3とが形成されてレ、る。

[0063] ベースフィルム供給装置 200は、図 3に示すように、繰り出しローラ 210及びガイド口ーラ 220を有している。

繰り出しローラ 210は、ローラ支持台 150の上方端部に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ 212の駆動による回転によってロール状のベースフィルム Wb をシート状に繰り出すように構成されている。

ガイドローラ ₂₂₀は、装置本体 100に回転自在に支承され、シート状のベースフィルム Wbを積層フィルム回収装置 300側に案内するように構成されている。

[0064] 積層フィルム回収装置 300は、図 3に示すように、卷き取りローラ 310及びガイド口ーラ 320を有してレ、る。

卷き取りローラ 310は、ローラ支持台 152の上方端部に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ 312の駆動による回転によってシート状の積層フィルム Wsを口ール状に卷き取るように構成されてレ、る。

ガイドローラ 320は、装置本体 100に回転自在に支承され、シート状の積層フィルム Wsを卷き取りローラ 310側に案内するように構成されている。

[0065] ベースフィルム供給装置 200側のテンション装置 250は、図 3に示すように、昇降口ーラ 252を有し、ベースフィルム供給装置 200の下方に配設されている。昇降ローラ 252は、ローラ軸 254が昇降ガイド 256に回転 ·昇降自在に軸支されている。そして、シリンダ（図示せず。）の駆動による上昇によってベースフィルム Wbを弛緩させ、また自重による下降によってベースフィルム Wbを緊張させるように構成されてレ、る。

[0066] 積層フィルム回収装置 300側のテンション装置 350は、図 3に示すように、昇降口一ラ 352を有し、積層フィルム回収装置 300の下方に配設されている。昇降ローラ 352 は、ローラ軸 354が昇降ガイド 356に回転 ·昇降自在に軸支されている。そして、シリンダ（図示せず。）の駆動による上昇によって積層フィルム Wsを弛緩させ、また自重による下降によって積層フィルム Wsを緊張させるように構成されてレ、る。 [0067] 仮圧着装置 400は、図 1一図 5に示すように、カバーレイフイルム供給路 L2に沿つてカバーレイフイルム Wcを供給可能で、かつ、ベースフィルム Wbに対する力バーレィフィルム Wcの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル 410と、仮圧着領域 P2 において仮圧着テーブル 410が仮圧着動作を行うときに仮圧着テーブル 410を受ける緩衝機構 480と、仮圧着動作が行われる前にベースフィルム Wbを緩衝機構 480 に対して押さえつける押さえ機構 490とを有している。

[0068] 仮圧着テーブル 410は、図 4に示すように、第 1移動装置 420、第 2移動装置 430、第 3移動装置 440、第 4移動装置 450及びカバーレイフイルム Wcが載置されるカバ一レイフイルム載置部 460を有してレ、る。

[0069] 第 1移動装置 420は、図 4及び図 5に示すように、サーボモータ 422、サーボモータ 422に軸支されたスクリューシャフト 424、第 1テーブル 426及び y軸方向に沿って延在するガイド 428を有し、装置本体 100上に配設されている。第 1移動装置 420は、サーボモータ 422の駆動によるスクリューシャフト 424の回転により、第 1テーブル 42 6がガイド 428上を y軸方向に沿って移動するように構成されている。

[0070] 第 2移動装置 430は、サーボモータ 432、サーボモータ 432に軸支されたスクリューシャフト 434、第 2テーブル 436及び X軸方向に沿って延在するガイド 438を有し、第 1テーブル 426上に配設されている。第 2移動装置 430は、サーボモータ 432の駆動によるスクリューシャフト 434の回転により、第 2テーブル 436がガイド 438上を X軸方向に沿って移動するように構成されてレ、る。

[0071] 第 3移動装置 440は、サーボモータ 442、サーボモータ 442に軸支されたスクリューシャフト 444、第 3テープノレ 446、第 3テーブル 446に回転力を付与する移動子 447 を有し、第 2テーブル 436上に配設されている。第 3テーブル 446は、第 2テーブル 4 36上の枢軸 448に枢支され、テーブル受け 449を介して揺動自在に配設されている。第 3移動装置 440は、サーボモータ 442の駆動によるスクリューシャフト 444の回転により、枢軸 448を回転中心とする円周方向（z軸まわり）に回動するように構成されている。

[0072] 第 4移動装置 450は、サーボモータ 452、サーボモータ 452に軸支されたスクリューシャフト 454、第 4テーブル 456及び X軸方向に沿って延在するガイド 458を有し、第 3テーブル 446上に配設されている。第 4移動装置 450は、サーボモータ 452の駆動によるスクリューシャフト 454の回転により、第 4テーブル 456がガイド 458上を X軸方向に沿って移動するように構成されてレ、る。

[0073] カバーレイフイルム載置部 460は、図 4に示すように、左側部力、ら右側部に向かって上る勾配をもつ傾斜部 462及びローラ 464を介して、第 4テーブル 456上に配設されている。また、第 4テーブル 456及びカバーレイフイルム載置部 460には、スプリング 466が係止されている。これにより、第 4テーブル 456が図 4の左方向へ移動すると、カバーレイフイルム載置部 460が上昇し、第 4テーブル 456が図 4の右方向へ移動すると、カバーレイフイルム載置部 460が下降することとなる。

[0074] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、仮圧着テープノレ 410は、互いに直交する 2つの水平方向（X軸方向及び y軸方向）に移動可能であり、かつ、水平面内の仮想点を回転中心とする円周方向（z軸まわり）に回動可能である。

これにより、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを位置（及び姿勢）精度良く配置することができるようになるため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフィルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。

[0075] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、互いに直交する 2つの水平方向（X軸方向及び y軸方向）としては、ベースフィルム供給路 L1に沿つた方向及びカバーレイフイルム供給路 L2に沿った方向である（図 2参照。）。また、水平面内の仮想点としては、仮圧着テーブル 410のカバーレイフイルム載置部 460における中心点である。

[0076] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、図 2及び図 4に示すように、仮圧着テーブル 410には、互いに離隔して配置された 2つの撮像用孔 4 70aが設けられ、これら各撮像用孔 470aのそれぞれに対応して撮像素子 470が設けられている。

これにより、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を 2 つの撮像素子 470により精度良く測定することができるようになる。このため、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを位置（及び姿勢）精度良く配置することができるようになり、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。

なお、 2つの撮像用孔 470aは、仮圧着テーブル 410の両端部に配置されている（図 2参照。）。

[0077] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、仮圧着テープル 410は、仮圧着領域 P2において上方に移動することにより仮圧着動作を行うように構成されている。

これにより、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態で、仮圧着テーブル 410がそのまま上方に移動することにより、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態を維持したまま仮圧着することができるようになる。このため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。

[0078] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、仮圧着装置 40 0は、図 4及び図 5に示すように、仮圧着領域 P2において仮圧着テーブル 410が仮圧着動作を行うときに仮圧着テーブル 410を受ける緩衝機構 480をさらに有しているこれにより、カバーレイフイルム Wc全体をベースフィルム Wbに対して均一な力で仮圧着すること力 Sできるようになる。

[0079] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、緩衝機構 480 にはベースフィルム Wbを吸着するための多数のベースフィルム吸着孔（図示せず。 ) が設けられている。

これにより、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルム Wbを吸着させることができ、仮圧着領域 P2においてベースフィルム Wbを固定することができる。

[0080] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、図 1及び図 5に示すように、仮圧着装置 400は、仮圧着動作が行われる前にベースフィルム Wbを緩衝機構 480に対して押さえつける押さえ機構 490をさらに有している。

これにより、押さえ機構 490がベースフィルム Wbを緩衝機構 480に対して押さえつけるため、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルム Wbをより確実に吸着させることができるようになる。

また、仮圧着動作が行われる前に押さえ機構 490による押さえ動作が行われるため、仮圧着テーブル 410による仮圧着動作に邪魔されることなく押さえ動作を円滑に行うことができる。仮圧着動作が行われる前とは、仮圧着動作が終了した仮圧着テープノレ 410が仮圧着領域 P2からカバーレイフイルム供給位置 P1に移動し、新たなカバ一レイフイルム Wcを載置して再び仮圧着領域 P2へと戻ってくるまでの間のことであり、この時間を利用して押さえ機構 490による押さえ動作を行うことから、押さえ動作を行うための特別の時間をかけなくてもよいため、全体としての生産性を低下させることもない。

[0081] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、仮圧着テープノレ 410が仮圧着領域 P2からカバーレイフイルム供給位置 P1に向けて移動すると、押さえ機構 490が仮圧着領域外から仮圧着領域内に移動し、押さえ機構 490が仮圧着領域内力仮圧着領域外に移動すると、仮圧着テーブル 410がカバーレイフィルム供給位置 P1から仮圧着領域 P2に向けて移動するように構成されている。

これにより、仮圧着テーブル 410による仮圧着動作及び押さえ機構 490による押さえ動作の両方の動作を円滑に行うことができる。

[0082] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、仮圧着テープノレ 410は、カバーレイフイルム Wcを加熱するためのヒータ（図示せず。）を有しているこれにより、仮圧着に先立って、カバーレイフイルム Wcをベースフィルム Wbに対して供給する過程で、カバーレイフイルム Wcの温度を予め高くすることができるようになるため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの仮圧着をより短時間に円滑に行うことができるようになる。

[0083] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、仮圧着テープノレ 410には、短冊状のカバーレイフイルム Wcを吸着するための多数のカバーレイフイルム吸着孔（図示せず。）が設けられている。

これにより、カバーレイフイルム供給位置 P1において供給されたカバーレイフイルム Wcを、仮圧着テーブル 410により仮圧着領域 P2まで円滑に搬送することができるようになる。

[0084] 図 1一図 3に示すように、ベースフィルム供給路 L1における仮圧着装置 400の上流側（ベースフィルム供給装置 200側）及び下流側 (積層フィルム回収装置 300側）には固定クランパ 120, 130が配設され、後述する補助仮圧着装置 500と積層フィルム回収装置 300との間には、移動クランパ 140が配設されている。

[0085] 補助仮圧着装置 500は、図 1一図 3に示すように、ベースフィルム供給路 L1内における仮圧着装置 400の積層フィルム回収装置 300側に配設され、仮圧着装置 400によってベースフィルム Wbに仮圧着されたカバーレイフイルム Wcをベースフィルム Wb に対してさらに強固に仮圧着するように構成されてレ、る。

補助仮圧着装置 500による補助仮圧着時間は、コントローラ 110によって所望の時間に設定されている。

[0086] カバーレイフイルム裁断 ·載置装置 600は、図 1及び図 2に示すように、ロール状のカバーレイフイルム WcOをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィノレム繰り出し装置 610と、カバーレイフイルム繰り出し装置 610により繰り出されたシート状のカバーレイフイルム WcOを裁断して短冊状のカバーレイフイルム Wcを形成するためのカバーレイフイルム裁断装置 630と、カバーレイフイルム裁断装置 630によつて形成された短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着テーブル 410上に載置するためのカバーレイフイルム載置装置 650とを有している。

これにより、ロール状のカバーレイフイルム WcOから短冊状のカバーレイフイルム W cを形成し、その短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着テーブル 410に供給することが可能になるため、ロール状のカバーレイフイルム WcOを用いることができるようになる。このため、全体としての生産性をさらに高くすることができる。

[0087] カバーレイフイルム繰り出し装置 610は、図 6及び図 7に示すように、繰り出しローラ 612、駆動ローラ 616及びガイドローラ 620を有している。

繰り出しローラ 612は、ローラ支持台 160の上方端部に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ 614の駆動による回転によってロール状のカバーレイフイルム WcOをシート状に繰り出すように構成されている。駆動ローラ 616は、ローラ支持台 162に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ 618の駆動による回転によってシート状のカバーレイフイルム WcOをガイド口ーラ 620側に繰り出すように構成されている。

ガイドローラ 620は、装置本体 100に回転自在に支承され、シート状のカバーレイフィルム WcOをカバーレイフイルム裁断装置 630側に案内するように構成されている

[0088] カバーレイフイルム繰り出し装置 610の下方には、カバーレイフイルム WcOを弛緩' 緊張させるための昇降ローラ 622が配設されている。

[0089] ガイドローラ 620のカバーレイフイルム裁断装置 630側には、カバーレイフイルム繰り出し装置 610からシート状のカバーレイフイルム WcOを牽引するための引き出し口ーラ 624と、移動クランパ 626とが配設されている。

[0090] カバーレイフイルム裁断装置 630は、図 6に示すように、シート状のカバーレイフィルム WcOを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型 632及び押し切り刃金型 632を受ける受け金型 634を有している。また、カバーレイフイルム裁断. 載置装置 600は、押し切り刃を受ける刃受けシート Whを押し切り刃金型 632と受け金型 634との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置 640と、刃受けシート Whを卷き取る刃受けシート卷き取り装置 642とをさらに有している。

これにより、シート状のカバーレイフイルム WcOを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置 640によって繰り出される刃受けシート Whが常に押し切り刃を受けることが可能になるため、カバーレイフイルムを良好に裁断することができる。また、押し切り刃の刃先が損傷するのを防止することができる。

[0091] カバーレイフイルム載置装置 650は、図 2に示すように、カバーレイフイルム裁断装置 630によって裁断された短冊状のカバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム受け渡し位置 P3に受け渡すための移動クランパ 652と、カバーレイフイルム受け渡し位置 P3に載置されたカバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム供給位置 P1の仮圧着テーブル 410まで搬送するための吸着パッド 654とを有している。この吸着パッド 65 4は、 X軸方向に移動可能であり、カバーレイフイルム供給位置 P1及びカバーレイフイルム受け渡し位置 P3において昇降可能である。 [0092] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、カバーレイフィルム裁断'載置装置 600は、図 1、図 2及び図 5に示すように、カバーレイフイルム載置装置 650によつて仮圧着テーブル 410に載置されたカバーレイフイルム Wcにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィルム把持装置 660をさらに有している。そして、離型フィルム把持装置 660が離型フィルムの端部を把持した状態で、力バーレィフィルム供給位置 P 1から仮圧着領域 P2に向けて仮圧着テーブル 410が移動することによって、カバーレイフイルム Wcから離型フィルムを剥離するように構成されている。

これにより、カバーレイフイルム Wcを仮圧着領域 P2まで搬送する工程中にカバーレイフイルムから離型フィルムを剥離することができるようになるため、わざわざカバーレイフイルム Wcから離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ作業を短縮化することができる。

また、仮圧着テーブル 410にカバーレイフイルム Wcを載置するまでは、カバーレイフィルム Wcを離型フィルムの付いた状態で取り扱うことができるようになるため、取り扱いが極めて容易になる。

[0093] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、カバーレイフィルム裁断'載置装置 600は、図 7に示すように、カバーレイフイルム WcOを裁断するのに先立って、カバーレイフイルム WcOから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃 670をさらに有している。

これにより、仮圧着テーブル 410に載置されたカバーレイフイルム Wcは、離型フィルム剥離刃 670によって予め部分剥離部が形成されるようになるため、離型フィルム把持装置 660が離型フィルムの端部を容易に把持することができるようになる。

[0094] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、上記した吸着パッド 654は、仮圧着テーブル 410上にカバーレイフイルム Wcを載置してから離型フィルム把持装置 660によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、部分剥離部を吸着するように構成されてレ、る。

これにより、仮圧着テーブル 410に載置されたカバーレイフイルム Wcにおいては、吸着パッド 654によって離型フィルムの部分剥離部が吸着されてめくれ上がった状態となるため、離型フィルム把持装置 660が離型フィルムの端部をさらに容易に把持すること力 Sでさるようになる。

[0095] カバーレイフイルム供給路 L2における、カバーレイフイルム供給位置 P1と仮圧着領域 P2との中間位置には、図 5に示すように、照明用の 2つの発光素子 170が配設されている。

[0096] 以上のように、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1は、ロール状のベースフィルム Wbをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置 200と、ベースフィルム供給装置 200によって繰り出されたシート状のベースフィルム Wbに対して短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着して、ベースフィルム Wb にカバーレイフイルム Wcが仮圧着されたシート状の積層フィルム Wsを形成するための仮圧着装置 400と、仮圧着装置 400によって形成されたシート状の積層フィルム W sをロール状に卷き取るための積層フィルム回収装置 300とを備えている。また、仮圧着装置 400は、カバーレイフイルム供給路 L2に沿ってカバーレイフイルム Wcを供給可能で、かつ、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル 410を有している。

[0097] このため、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1によれば、間欠的に繰り出されたシート状のベースフィルム Wbに対して短冊状のカバーレイフイルム W cが仮圧着されることとなるため、長尺のベースフィルムを用いた場合であっても、ベ一スフイルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積することがなくなり、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することがなくなる。

また、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1によれば、カバーレイフィルム Wcは、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル 410によって仮圧着領域 P2に供給されることとなるため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすること力 S容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となる。

[0098] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、図 1及び図 3に示すように、ベースフィルム供給路 LI内における補助仮圧着装置 500と積層フィルム回収装置 300との間に 2つの撮像素子 180が互いに離隔して配設されている。これにより、撮像素子 180が積層フィルム Wsを撮影することで、積層フィルム回収装置 300が積層フィルム Wsを回収する前にその仮圧着状態を確認することが可能となる。仮に、撮像素子 180による撮影の結果、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフィルム Wcの貼り付け位置がずれていたり仮圧着が不完全であったりした場合には、装置の運転を停止させることで、爾後、そのような仮圧着が不完全な積層フィルムが形成されるのを未然に防止することができるようになる。

[0099] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、上記したように、ベースフィルム供給装置 200及び積層フィルム回収装置 300、仮圧着装置 400並びに補助仮圧着装置 500を同期して動作させるためのコントローラ 110をさらに備えている。

これにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着工程及び補助仮圧着工程を行うことができるようになるため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として生産性の高レ、仮圧着を行うことができるようになる。

[0100] 次に、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1を用いたときのベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの仮圧着方法について、図 2及び図 8を参照して説明する。図 8は、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの仮圧着方法を説明するために示すフローチャートである。

[0101] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1を用いたときのベースフィノレム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの仮圧着方法は、ベースフィルム Wbを仮圧着装置 400に向けて供給する「ベースフィルム供給工程」と、短冊状のカバーレイフィルム Wcを仮圧着テーブル 410に供給する「カバーレイフイルム供給工程」と、ベースフイルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを仮圧着する「仮圧着'補助仮圧着工程」と、カバーレイフイルム Wcが仮圧着された積層フィルム Wsを回収する「積層フィルム回収工程」とを有している。以下、これらの各工程を順次説明する。

なお、カバーレイフイルムの貼り合わせを実施するにあたり、図 2に示すように、移動クランパ 140は補助仮圧着装置 500の近傍に配置され、カバーレイフイルム載置装置 650の移動クランパ 652はカバーレイフイルム裁断装置 630の近傍に配置され、力バーレイフイルム載置装置 650の吸着パッド 654はカバーレイフイルム受け渡し位置 P3に配置されているものとする。また、仮圧着テーブル 410はカバーレイフイルム供給位置 P1に配置されているものとする。

[0102] 1.ベースフィルム供給工程

まず、ベースフィルム供給装置 200、移動クランパ 140及び積層フィルム回収装置 300を駆動することにより、ベースフィルム Wbをベースフィルム供給路 L1に沿って間欠的に繰り出す（図 8のステップ Ql)。

[0103] ベースフィルム Wbにおけるカバーレイフイルム貼り付け位置が仮圧着領域 P2に来たら、ベースフィルム Wbの繰り出し動作を一時停止して、固定クランパ 120， 130によりベースフィルム Wbを把持する。このとき、押さえ機構 490がベースフィルム Wbを緩衝機構 480に対して押さえつけることにより、仮圧着領域 P2内のベースフィルム W bは緩衝機構 480に設けられた多数のベースフィルム吸着孔によって真空吸着'固定される（図 8のステップ Q2)。

[0104] 2.カバーレイフイルム供給工程

まず、カバーレイフイルム繰り出し装置 610を駆動して、ロール状のカバーレイフィルム WcOをシート状にして、カバーレイフイルム搬送路 L3に沿って間欠的に繰り出す（図 8のステップ Rl)。このときカバーレイフイルム WcOは、離型フィルム剥離刃 67 0によってカバーレイフイルム WcOにおける離型フィルムが部分的に剥離され、部分剥離部が形成されることとなる。

[0105] カバーレイフイルム繰り出し装置 610から繰り出されたシート状のカバーレイフィノレム WcOは、移動クランパ 626によってカバーレイフイルム裁断装置 630における押し切り刃金型 632と受け金型 634との間に供給される。そして、移動クランパ 652によつてシート状のカバーレイフイルム WcOにおけるカバーレイフイルム受け渡し位置 P3側端縁が把持された状態で、カバーレイフイルム裁断装置 630により裁断される（図 8のステップ R2)。このとき、シート状のカバーレイフイルム WcOと受け金型 634との間に刃受けシート Whが常に繰り出された状態で、カバーレイフイルム WcOが裁断されることとなる。

[0106] カバーレイフイルム裁断装置 630により短冊状に裁断されたカバーレイフイルム Wc は、移動クランパ 652によりカバーレイフイルム受け渡し位置 P3に配置される。カバ一レイフイルム受け渡し位置 P3に配置されたカバーレイフイルム Wcは、吸着パッド 6 54により吸着され、カバーレイフイルム受け渡し位置 P3からカバーレイフイルム供給位置 P1の仮圧着テーブル 410上へ搬送.載置される（図 8のステップ R3)。

[0107] 仮圧着テーブル 410に載置されたカバーレイフイルム Wcにおいて、カバーレイフィルム Wcの下面は、仮圧着テーブル 410に設けられた多数のカバーレイフイルム吸着孔により吸着される。また、カバーレイフイルム Wcの上面、すなわち離型フィルム面においては、部分剥離部以外の部分を吸着している吸着パッド 654の吸着が解除される。この状態で仮圧着テーブル 410が下降すると、仮圧着テーブル 410に載置されたカバーレイフイルム Wcにおいては、吸着パッド 654によって離型フィルムの部分剥離部が吸着されてめくれ上がった状態となる。そして、このめくれ上がった部分剥離部を離型フィルム把持装置 660によって把持するとともに、仮圧着テーブル 410が仮圧着領域 P2に向けて移動することにより、カバーレイフイルム Wcから離型フィルムが容易に剥離されることとなる（図 8のステップ R4)。

なお、この剥離された離型フィルムは、カバーレイフイルム供給位置 P1の傍に配設された離型フィルム回収ボックス（図示せず。）に回収される。

[0108] 3.仮圧着 ·補助仮圧着工程

まず、カバーレイフイルム供給位置 P1でカバーレイフイルム Wcが供給された仮圧着テーブル 410を、カバーレイフイルム供給路 L2における発光素子 170が配設された位置まで移動させる。この位置で、仮圧着テーブル 410に配設された 2つの撮像素子 470によってカバーレイフイルム Wcを撮影し、この撮影結果に基づいて、仮圧着テーブル 410上におけるカバーレイフイルム Wcの位置を測定する（図 8のステップ Sl)。

[0109] 次に、仮圧着テーブル 410を仮圧着領域 P2まで移動させる。このとき、押さえ機構 490は、仮圧着領域外に配置されている。仮圧着領域 P2で、 2つの撮像素子 470によってベースフィルム Wbを撮影し、この撮影結果に基づいて、仮圧着テーブル 410 の位置を基としたベースフィルム Wbの位置を測定する（図 8のステップ S2)。そして、これらカバーレイフイルム Wc及びベースフィルム Wbの測定値から相対ずれ量を算出し、この算出結果に基づいて、仮圧着テーブル 410を駆動して水平方向（X軸方向及び y軸方向）の移動調整及び Z又は円周方向（z軸まわり）の回動調整を行い、ベ一スフイルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置合わせをする（図 8のステップ S3)。

[0110] ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置合わせが終了したら、仮圧着テーブル 410の第 4移動装置 450を駆動して仮圧着テーブル 410を上方に移動させて、ベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wcを仮圧着させる（図 8のステツプ S4)。これにより、ベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wbが仮圧着された積層フィルム Wsが形成される。仮圧着動作の終了後、固定クランパ 120, 130の把持が解除される。

この仮圧着動作が終了すると、仮圧着テーブル 410は、カバーレイフイルム裁断' 載置装置 600から新たなカバーレイフイルム Wcを受け取るために、カバーレイフィルム供給位置 P1へと移動する。

[0111] 仮圧着装置 400により形成されたシート状の積層フィルム Wsは、ベースフィルム供給装置 200、移動クランパ 140及び積層フィルム回収装置 300の駆動により補助仮圧着装置 500へと送られる。そして、補助仮圧着装置 500によって補助仮圧着が行われることにより、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcがさらに強固に仮圧着された積層フィルム Wsが形成される（図 8のステップ S5)。

[0112] 4.積層フィルム回収工程

補助仮圧着が行われた積層フィルム Wsは、移動クランパ 140によって積層フィルム回収装置 300に向けて送られる。このとき、移動クランパ 140の幅方向両端部に配設された撮像素子 180によって積層フィルム Wsの仮圧着状態の確認作業が行われる（図 8のステップ SQ1)。そして、ベースフィルム供給装置 200、移動クランパ 140及び積層フィルム回収装置 300を駆動することにより、シート状の積層フィルム Wsを卷き取りローラ 310に卷き取る（図 8のステップ SQ2)。これにより、シート状の積層フィルム Wsがロール状に卷き取られ、ロール状の積層フィルム Wsとして回収されることとなる [0113] 以上の工程により、ベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wcが仮圧着された積層フィルム Wsを形成することができる。

[0114] なお、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを貼り合わせるには、少なくとも、カバーレイフイルム Wcをベースフィルム供給路上の貼り合わせ領域に供給するカバーレイフイルム供給工程と、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wc を貼り合わせる貼り合わせ工程とが必要になる力ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを一段階で完全に貼り合わせることとした場合には、この貼り合わせ工程が極めて長くなり、全体としての生産性を向上することが困難となる。

このため、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、ベースフイルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを完全に貼り合わせて積層フィルムを形成する代わりに、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを仮圧着して積層フィルム Wsを形成することとしている。これにより、上記の貼り合わせ工程を大幅に短縮化して、全体としての生産性の向上を図っている。

実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1においては、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcを完全に貼り合わせるために、カバーレイフィルム Wcが仮圧着された積層フィルム Wsを圧着（本圧着）するための真空プレス機を別途準備して、この真空プレス機を用いてベースフィルム Wbに対してカバーレイフィルム Wcを完全に貼り合わせることとしてレ、る。

[0115] 上記したベースフィルムに対するカバーレイフイルムの仮圧着方法においては、ベ一スフイルム Wbに対するカバ一レイフイルム Wcの仮圧着を行つて積層フィルム Ws を形成する工程の後に、積層フィルム Wsを補助仮圧着を行う領域に供給するとともに新たなベースフィルム Wbを仮圧着領域 P2に供給する工程と、仮圧着テーブル 41 0の移動動作を行って、ベースフィルム供給路 L1上の仮圧着領域 P2に新たなカバ一レイフイルム Wcを供給する工程とが行われる。この場合、後者の工程が前者のェ程よりも所要時間がかなり長くなるため、これらの工程間における時間差を利用して補助仮圧着処理を行うことにより、補助仮圧着を行う工程のための特別の時間をかけなくとも補助仮圧着工程を行うことができるようになる。実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1によれば、上記のように構成された補助仮圧着装置 500を備えているため、最初の仮圧着の時間を短縮することができるようになり、全体としての生産性をさらに向上することができる。

[0116] [実施形態 2]

実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置について、図 9を用いて説明する。図 9は、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。なお、図 9において図 2と同一の部材については同一の符号を付し

、詳細な説明は省略する。

[0117] 実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1と基本的には同様の構成を有している力ベースフィルムとして、ロール状ではなく短冊状のベースフィルム Wbを用いている点が異なっている。

[0118] すなわち、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2は、短冊状のベ一スフイルム Wbを仮圧着領域 P2に向けて供給するためのベースフィルム供給装置 1200と、ベースフィルム供給装置 1200によって供給された短冊状のベースフィルム Wbに対して短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着して、短冊状の積層フィルム W sを形成するための仮圧着装置 400と、仮圧着装置 400によって形成された短冊状の積層フィルム Wsを回収するための積層フィルム回収装置 1300とを備えたカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって、仮圧着装置 400は、仮圧着領域 P2とカバーレイフイルム供給位置 P1とを結ぶカバーレイフイルム供給路 L2に沿ってカバーレイフイルム Wcを供給可能で、かつ、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル 410を有している。

[0119] このため、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2によれば、短冊状のベースフィルム Wbを用いてレ、ること力、ら、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積するおそれが生じないため、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することもなレ、。

また、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2によれば、実施形態 1 に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1の場合と同様に、カバーレイフイルム Wc は、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル 410によって仮圧着領域 P2に供給されることとなるため、ベースフイルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となる。

[0120] このように、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2は、ベースフィルムとして、ロール状ではなく短冊状のベースフィルム Wbを用いている点で、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1の場合とは異なっている力その他の点では実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1と同様の構成を有しているため、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1が有する効果をそのまま有する。

[0121] なお、ベースフィルム供給路 L1に沿って短冊状のベースフィルム Wb及び短冊状の積層フィルム Wsを搬送するための搬送手段としては、吸着パッドや移動テーブルなどの公知の搬送手段を用いることができる。

Claims

請求の範囲

[1] ロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィノレム供給装置と、

このベースフィルム供給装置によって繰り出されたシート状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフイルムを仮圧着して、ベースフィルムにカバーレイフイルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、

この仮圧着装置によって形成されたシート状の積層フィルムをロール状に卷き取るための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって前記仮圧着装置は、ベースフィルムにカバーレイフイルムを仮圧着する領域 (以下「仮圧着領域」という。 )とカバーレイフイルムを前記仮圧着領域に向けて供給する位置 (以下「カバーレイフイルム供給位置」という。 )とを結ぶカバーレイフイルム供給路に沿ってカバーレイフイルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とするカバ一レイフイルム貼り合わせ装置。

[2] 請求項 1に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム供給路は、前記ベースフィルム供給装置と前記積層フィルム回収装置とを結ぶベースフィルム供給路に対して直交することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[3] 短冊状のベースフィルムを仮圧着領域に向けて供給するためのベースフィルム供給装置と、

このベースフィルム供給装置によって供給された短冊状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフイルムを仮圧着して、短冊状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、

この仮圧着装置によって形成された短冊状の積層フィルムを回収するための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって、

前記仮圧着装置は、仮圧着領域とカバーレイフイルム供給位置とを結ぶカバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフイルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[4] 請求項 1一 3のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブルは、互いに直交する 2つの水平方向に移動可能であり、かつ、水平面内の仮想点を回転中心とする円周方向に回動可能であることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[5] 請求項 4に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記仮圧着テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも 2つの撮像用孔が設けられ、

これら各撮像用孔のそれぞれに対応して撮像素子が設けられていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[6] 請求項 1一 5のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブルは、前記仮圧着領域において上方に移動することにより仮圧着動作を行うことを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[7] 請求項 6に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記仮圧着装置は、前記仮圧着領域において前記仮圧着テーブルが仮圧着動作を行うときに前記仮圧着テーブルを受ける緩衝機構をさらに有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[8] 請求項 7に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記緩衝機構にはベースフィルムを吸着するための多数のベースフィルム吸着孔が設けられていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[9] 請求項 8に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記仮圧着装置は、仮圧着動作が行われる前にベースフィルムを前記緩衝機構に対して押さえつける押さえ機構をさらに有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[10] 請求項 1一 9のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブルは、カバーレイフイルムを加熱するためのヒータを有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[11] 請求項 1一 10のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、ロール状のカバーレイフイルムをシート状にして間欠的に繰り出すための力バーレィフィルム繰り出し装置と、このカバーレイフイルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフイルムを裁断して短冊状のカバーレイフイルムを形成するためのカバーレイフイルム裁断装置と、このカバーレイフイルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフイルムを前記仮圧着テーブル上に載置するための力バーレィフィルム載置装置とを有するカバーレイフイルム裁断 ·載置装置をさらに備えたことを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[12] 請求項 11に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム裁断装置は、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及びこの押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、

前記カバーレイフイルム裁断 ·載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを卷き取る刃受けシート卷き取り装置とをさらに有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[13] 請求項 1一 12のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブルには、短冊状のカバーレイフイルムを吸着するための多数のカバーレイフイルム吸着孔が設けられていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[14] 請求項 13に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム裁断.載置装置は、前記多数のカバーレイフイルム吸着孔に吸着されたカバーレイフイルムにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィノレム把持装置をさらに有し、

この離型フィルム把持装置が前記離型フィルムの端部を把持した状態で、前記力バーレイフイルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて前記仮圧着テーブルが移動することによって、前記カバーレイフイルムから離型フィルムを剥離することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[15] 請求項 14に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム裁断 ·載置装置は、カバーレイフイルムを裁断するのに先立って、カバーレイフイルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[16] 請求項 15に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム載置装置は、前記カバーレイフイルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフイルムを前記仮圧着テーブルに搬送するための吸着パッドを有し、

この吸着パッドは、前記仮圧着テーブル上にカバーレイフイルムを載置してから前記離型フィルム把持装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[17] 請求項 1一 16のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、ベースフィルム供給路内における前記仮圧着装置の前記積層フィルム回収装置側に配設され、前記仮圧着装置によってベースフィルムに仮圧着されたカバーレイフィルムをベースフィルムに対してさらに強固に仮圧着するための補助仮圧着装置をさらに備えたことを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[18] 請求項 17に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

ベースフィルム供給路内における前記補助仮圧着装置と前記積層フィルム回収装置との間に少なくとも 2つの撮像素子が互いに離隔して配設されていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[19] 請求項 17又は 18に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記ベースフィルム供給装置及び前記積層フィルム回収装置、前記仮圧着装置並びに前記補助仮圧着装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えたことを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。