KR100981053B1 - 커버레이 가접 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 롤 형태로 감겨 있는 기판을 언와인더에서 풀어 공급하고 그 기판에 커버레이 필름을 가접한 후 리와인더로 다시 되감는 커버레이 가접 장치에 있어서, 상기 언와인더와 상기 리와인더가 설치되고, 상기 언와인더와 상기 리와인더의 사이에 배치되는 메인 테이블이 설치되며 좌우방향으로 이송 가능한 기판 이송 테이블;과 커버레이 필름을 흡착하는 메인 헤드와, 상기 메인 헤드를 전후방향으로 이송하는 커버레이 이송부와, 상기 메인 헤드를 상하방향으로 이송하여 상기 메인 테이블 위의 기판에 대해 가압하는 승강 장치를 포함하는 메인 모듈;을 포함하는 점에 특징이 있다.

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Description

커버레이 가접 장치{Apparatus for attaching coverlay}

본 발명은 커버레이 가접 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패턴이 인쇄된 기판에 커버레이 필름을 정확한 위치와 자세로 부착하기 위한 커버레이 가접 장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판(Printed circuit board), 연성인쇄회로기판(Flexible printed circuit board) 등의 기판에는 회로를 구성하는 도전성을 갖는 패턴(Pattern)이 인쇄되어 있다. 기판의 제조 공정 및 사용 중에 패턴을 보호하기 위하여 폴리이미드 필름(Polyimide film)과 같은 커버레이 필름을 기판의 표면에 가접(Pre-attach)하고 있으며, 전자부품이 실장되어야 하는 기판의 자리에는 커버레이를 부착하지 않고 있다.

커버레이의 일면에는 점착제(Adhesive)가 도포되어 있으며, 이 점착제는 열이 가해지면 녹아 기판의 표면에 부착된다. 커버레이의 점착제는 이형 필름에 의하여 보호되어 있으며, 커버레이 필름, 점착제와 이형 필름으로 구성되는 커버레이시트(Coverlay sheet)는 롤(Roll)로 감겨져 있다.

일반적으로 커버레이 가접 장치는 롤 방식과 단책 방식이 있다.

롤 방식의 커버레이 가접 장치는 롤형태로 감겨 있는 기판이 언와인더에서 풀려나와 커버레이 필름이 가접된 후 리와인더에 다시 감기는 구조로 되어 있다.

종래의 롤 방식의 커버레이 가접 장치는 상기 언와인더와 리와인더의 사이에 기판 테이블이 배치되고 그 기판 테이블 위에 놓인 기판에 대해 커버레이 필름을 부착하는 구조로 되어 있다.

이와 같이 커버레이 필름을 기판에 부착하기 전에, 상기 기판 테이블을 움직여서 커버레이 필름과 기판 사이의 위치를 보정한 후 부착하게 된다.

그런데, 종래의 커버레이 가접 장치는 상기 언와인더와 리와인더는 고정된 상태에서 상기 기판 테이블이 움직이기 때문에 상기 언와인더와 기판 사이 그리고 상기 리와인더와 기판 사이의 기판이 요동하면서 손상되는 일이 발생한다.

특히, 커버레이 필름과 기판을 가접하는 장치를 고속으로 운전하게 되면 기판의 손상 가능성이 더욱 높아지는 문제가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 기판을 손상시키지 않으면서도 커버레이 필름과 기판 사이의 위치를 정확하게 보정하여 고속으로 가접할 수 있는 커버레이 가접 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 커버레이 가접 장치는, 롤 형태로 감겨 있는 기판을 언와인더에서 풀어 공급하고 그 기판에 커버레이 필름을 가접한 후 리와인더로 다시 되감는 커버레이 가접 장치에 있어서, 상기 언와인더와 상기 리와인더가 설치되고, 상기 언와인더와 상기 리와인더의 사이에 배치되는 메인 테이블이 설치되며 좌우방향으로 이송 가능한 기판 이송 테이블;과 커버레이 필름을 흡착하는 메인 헤드와, 상기 메인 헤드를 전후방향으로 이송하는 커버레이 이송부와, 상기 메인 헤드를 상하방향으로 이송하여 상기 메인 테이블 위의 기판에 대해 가압하는 승강 장치를 포함하는 메인 모듈;을 포함하는 점에 특징이 있다.

이와 같은 본 발명에 따른 커버레이 가접 장치에 따르면, 기판을 손상시키지 않으면서도 고속으로 커버레이 필름을 기판에 가접할 수 있는 효과가 있다.

또한, 기판을 손상시키지 않으면서도 고속으로 정확하게 커버레이 필름과 기판 사이의 자세 및 각도를 보정하여 정확한 위치에서 기판과 커버레이 필름을 가접 할 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 커버레이 가접 장치의 일례를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 정면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 커버레이 가접 장치는 커버레이 필름 공급 장치(100)와 메인 모듈(200)과 기판 이송 테이블(300)을 포함하여 이루어진다.

지면 위에 베이스(500)가 높여지고 상기 커버레이 필름 공급 장치(100)와 메인 모듈(200)과 기판 이송 테이블(300)이 그 베이스(500) 위에 설치된다.

도 4를 참조하면, 상기 커버레이 필름 공급 장치(100)는 웨지 테이블(110)과 롤피더(120)와 절단 장치(130)와 보조 테이블(140)을 포함하여 이루어진다.

커버레이 필름(C)과 이형 필름(B)이 서로 붙어 있는 상태에서 롤러(101) 사이에 끼워져 상기 웨지 테이블(110)로 공급된다.

상기 커버레이 필름(C)과 이형 필름(B)은 웨지 테이블(110)에서 서로 분리되어 상기 커버레이 필름(C)은 수평 방향으로 이송되고, 상기 이형 필름(B)은 상기 웨지 테이블(110)에 대해 아래쪽으로 꺾여서 하측으로 이송된다.

상기 롤피더(120)는 상기 웨지 테이블(110)의 하측에 설치되어 상기 이형 필름(B)을 잡아 당기도록 되어 있다.

상기 웨지 테이블(110)에 대해 상기 커버레이 필름(C)의 진행 방향(Y 방향)으로 상기 절단 장치(130)가 설치되어 있다. 상기 절단 장치(130)는 상하로 승강되는 칼날에 의해 상기 커버레이 필름(C)을 정해진 길이로 절단한다.

상기 절단 장치(130)에 대해 상기 커버레이 필름(C)의 진행 방향에는 상기 보조 테이블(140)이 설치되어 있다. 상기 절단 장치(130)에서 절단된 커버레이 필름(C)을 클램프(미도시)가 이송하면 상기 보조 테이블(140)은 그 커버레이 필름(C)을 흡착하여 고정한다. 상기 보조 테이블(140)에는 진공 펌프가 연결되어 있어서, 상기 커버레이 필름(C)을 흡착할 수 있도록 되어 있다.

상기 보조 테이블(140)에는 회전 실린더(141)가 설치되어 있어서 상기 보조 테이블(140)을 상하 방향(Z 방향) 중심축에 대해 회전시킬 수 있도록 되어 있다. 본 실시예에서는 상기 보조 테이블(140)은 90°범위 내에서 회전할 수 있도록 설치된다.

도 1과 도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 메인 모듈(200)은 커버레이 이송부(210)와 승강 장치(220)와 메인 모듈(200)을 포함하여 이루어진다.

상기 커버레이 이송부(210)는 가이드(212)와 볼스크류(213)와 서보 모터(214)를 포함하여 이루어진다.

상기 베이스(500) 위에는 2개의 기둥(211)이 설치되고, 상기 가이드(212)는 전후 방향(X 방향)으로 배치되어 상기 2개의 기둥(211)의 상단을 연결하도록 수평하게 배치된다.

상기 커버레이 이송부(210)의 볼스크류(213)는 상기 가이드(212)에 설치되 고, 상기 서보 모터(214)에 의해 상기 볼스크류(213)가 작동된다.

상기 커버레이 이송부(210)에는 상기 승강 장치(220)가 설치되어, 상기 서보 모터(214)의 작동에 의해 상기 승강 장치(220)는 전후방향(X 방향)으로 이송된다.

도 5를 참조하면, 상기 승강 장치(220)는 서보 모터(221)와 볼스크류(222)와 가이드(223)에 의해 그 하측에 설치된 상기 메인 헤드(230)를 상하 방향(Z 방향)으로 이송한다.

상기 승강 장치(220)과 상기 메인 헤드(230) 사이에는 회전 엑튜에이터(231)가 설치되어 있어서, 상기 메인 헤드(230)를 상하 방향(Z 방향) 중심축에 대해 회전시킬 수 있도록 되어 있다. 본 실시예의 커버레이 가접 장치는 상기 회전 엑튜에이터(231)에 의해 상기 메인 헤드(230)가 약 180°내외의 각도로 회전할 수 있도록 되어 있다.

상기 메인 헤드(230)에는 진공 펌프가 연결되어 있어서, 상기 커버레이 필름(C)을 흡착할 수 있도록 되어 있다.

이와 같은 구성에 의해, 상기 메인 헤드(230)는 상기 보조 테이블(140) 위에 놓여 있는 커버레이 필름(C)을 흡착하고, 상기 커버레이 이송부(210)는 그 메인 헤드(230)를 전방으로 이송하며, 상기 승강 장치(220)는 그 메인 헤드(230)를 상하로 움직일 수 있게 된다.

또한, 상기 회전 엑튜에이터(231)는 상기 메인 헤드(230)를 회전시켜 상기 메인 헤드(230)에 흡착된 커버레이 필름(C)의 각도를 조절할 수 있게 된다.

한편, 상기 메인 헤드(230)에는 상부 카메라(240)가 설치되어 있다. 상기 상 부 카메라(240)는 그 아래쪽에 배치될 기판(M)을 촬영하여, 상기 메인 헤드(230)에 흡착된 커버레이 필름(C)과 기판(M) 사이의 상대적인 위치를 감지할 수 있도록 한다.

도 1과 도 8 내지 도 11을 참조하면, 상기 기판 이송 테이블(300)은 상기 베이스(500) 위에 좌우 방향(Y 방향)으로 이송이 가능하도록 설치된다.

상기 기판 이송 테이블(300)과 베이스(500) 사이에는 서보 모터(304)와 볼스크류(305)와 가이드(306)가 설치되어 상기 기판 이송 테이블(300)을 상기 베이스(500)에 대해 좌우 방향으로 이송될 수 있도록 한다.

상기 기판 이송 테이블(300) 위에는 언와인더(310)와 리와인더(320)가 설치된다. 상기 언와인더(310)와 리와인더(320)의 사이에는 메인 테이블(330)이 설치된다. 상기 언와인더(310)와 메인 테이블(330)과 리와인더(320)는 좌우방향(Y 방향)으로 일렬로 배치된다.

상기 언와인더(310)에 감겨 있는 기판(M)은 풀려서 상기 메인 테이블(330) 위에서 상기 커버레이 필름(C)이 가접되어 다시 상기 리와인더(320)에 감기게 된다.

상기 메인 테이블(330)과 리와인더(320)의 사이에는 리니어 피더(303)가 설치되고, 그 리니어 피더(303)와 메인 테이블(330) 사이에는 고정 클램프(301)가 설치된다. 또한, 상기 메인 테이블(330)과 상기 리와인더(320) 사이에는 장력 클램프(302)가 설치된다.

상기 리니어 피더(303)는 상기 기판(M)을 정해진 길이만큼 리와인더(320) 방 향으로 피치 이송시킨다.

상기 메인 테이블(330) 위에 놓여 있는 기판(M)에 상기 커버레이 필름(C)이 가접될 때 상기 고정 클램프(301)는 상기 기판(M)을 클램핑하여 고정시킨다. 동시에, 상기 장력 클램프(302)는 상기 기판(M)의 일측을 클램핑 한 상태에서 미세한 힘으로 상기 언와인더(310) 방향으로 잡아당겨 상기 기판(M)이 상기 메인 테이블(330) 위에 평평하게 펴지도록 한다.

상기 장력 클램프(302)에는 에어 실린더가 설치되어, 그 에어 실린더)에 가해지는 일정한 공기압에 의해 상기 기판(M)에 장력을 가할 수 있도록 되어 있다.

상기 리니어 피더(303)가 작동할 때에는, 상기 기판(M)이 이송될 수 있도록 상기 고정 클램프(301)와 장력 클램프(302)는 열린 상태가 된다.

상기 메인 테이블(330)에는 하부 카메라(340)가 설치된다. 상기 메인 헤드(230)가 상기 메인 테이블(330)의 위쪽에 위치할 때, 상기 하부 카메라(340)는 상기 메인 헤드(230)에 흡착된 커버레이 필름(C)을 촬영하여 상기 커버레이 필름(C)과 상기 기판(M)의 사이의 상대적인 위치를 감지하도록 한다.

이하, 상술한바와 같이 구성된 커버레이 가접 장치의 기능에 대해 설명하기로 한다.

먼저, 도 4에 도시한 바와 같이, 커버레이 필름(C)이 커버레이 필름 공급 장치(100)의 롤러(101)에 끼워져서 상기 웨지 테이블(110)로 이송되면, 상기 커버레이 필름(C)에서 이형 필름(B)가 분리되어 그 이형지(B)는 상기 롤피더(120)에 의해 이송된다.

상기 이형 필름(B)가 분리된 상기 커버레이 필름(C)은 상기 절단 장치(130)에 의해 가접하기 적당한 크기로 절단된다. 절단된 상기 커버레이 필름(C)은 상기 클램프에 의해 상기 보조 테이블(140) 위에 놓여지고, 상기 보조 테이블(140)은 그 커버레이 필름(C)을 흡착한다.

이와 같은 상태에서, 상기 메인 모듈(200)의 커버레이 이송부(210)는 상기 메인 헤드(230)를 상기 보조 테이블(140) 위쪽에 오도록 위치시킨다.

상기 승강 장치(220)에 의해 상기 메인 헤드(230)는 상기 보조 테이블(140)에 근접하게 되고, 상기 메인 헤드(230)는 상기 보조 테이블(140) 위에 놓여 있는 상기 커버레이 필름(C)을 흡착하게 된다.

다시, 상기 커버레이 이송부(210)와 승강 장치(220)의 작동에 의해 상기 메인 헤드(230)는 상기 기판 이송 테이블(300) 위의 메인 테이블(330) 위로 이송된다.

한편, 상기 기판(M)은 상기 언와인더(310)에서 풀려서 상기 메인 테이블(330)을 거쳐서 상기 리와인더(320)에 감긴 상태로 놓여 있다.

상기 고정 클램프(301)와 장력 클램프(302)가 열려 있는 상태에서 상기, 리니어 피더(303)가 상기 기판(M)을 클램핑한 상태에서 Y 방향으로 움직여 상기 기판(M)을 피치 이송시킨다.

다음으로, 상기 고정 클램프(301)와 장력 클램프(302)가 상기 메인 테이블(330) 양측에서 기판(M)을 클램핑한다. 상기 장력 클램프(302)가 상기 메인 테이블(330)에서 멀어지는 방향으로 미세하게 움직여서 상기 기판(M)에 장력을 주면서 상기 메인 테이블(330) 위의 기판(M)을 평평하게 펴지도록 한다.

이와 같은 상태에서 상기 메인 헤드(230)는 상기 커버레이 이송부(210)에 의해 X 방향으로 움직이고 상기 기판 이송 테이블(300)은 상기 서보 모터(304)와 볼스크류(305)에 의해 Y 방향으로 움직이면서, 상기 상부 카메라(240)와 상기 하부 카메라(340)는 각각 기판(M)과 커버레이 필름(C)을 촬영한다.

상기 상부 카메라(240)와 하부 카메라(340)에 의해 각각 촬영된 이미지로부터 각각 상기 기판(M)와 커버레이 필름(C)의 마커의 위치를 감지하여, 상기 커버레이 필름(C)과 기판(M)의 상대적인 위치를 감지하게 된다.

상기 커버레이 이송부(210)에 의해 상기 메인 헤드(230)를 X 방향으로 움직이고 상기 서보 모터(304)와 볼스크류(305)에 의해 상기 메인 테이블(330)을 포함한 기판 이송 테이블(300)을 Y 방향으로 움직이고 상기 회전 엑튜에이터(231)에 의해 상기 메인 헤드(230)를 회전시키면, 상기 커버레이 필름(C)과 기판(M)의 X, Y 방향 오차뿐만 아니라 각도까지도 정확하게 정렬시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 기판 이송 테이블(300)을 고정된 채로 상기 메인 테이블(330)만 움직이는 것이 아니라, 상기 기판 이송 테이블(300)과 언와인더(310), 리와인더(320), 메인 헤드(230)을 일체로 함께 움직이기 때문에 상기 기판(M)이 뒤틀리거나 틀어지지 않게 된다. 따라서, 상기 기판 이송 테이블(300)이 고속으로 움직이더라도 상기 기판(M)은 손상되지 않는 장점이 있다.

상기 기판(M)과 커버레이 필름(C) 사이의 상대적인 위치와 각도의 보정이 완료되면, 상기 승강 장치(220)에 의해 상기 메인 헤드(230)는 아래쪽으로 움직여서 상기 커버레이 필름(C)을 상기 기판(M)에 대해 가접하게 된다.

가접이 완료되면, 상기 메인 헤드(230)는 다시 상기 보조 테이블(140)로 움직이고, 상기 고정 클램프(301)와 장력 클램프(302)가 열리면서 상기 리니어 피더(303)는 상기 기판(M)을 다음 부착 위치까지 이송한다.

이와 같은 과정을 반복함으로써, 상기 커버레이 필름(C)을 기판(M)에 부착하는 과정을 자동화할 수 있다.

상술한바와 같은 본 실시예의 커버레이 가접 장치의 기능은 도 12에 개략적으로 도시한바와 같이, 커버레이 필름(C)과 기판(M)의 패턴 방향이 동일한 경우에 대한 설명이다.

경우에 따라서는, 도 13에 도시한 것과 같이 커버레이 필름(C1)과 기판(M1)이 패턴 방향이 90°위상차가 나는 경우도 있다.

이 경우에는 도 13에 도시한 바와 같이 상기 보조 테이블(140)을 미리 시계 방향으로 90°회전시킨 상태에서 상기 커버레이 필름(C2)이 상기 보조 테이블(140)에 흡착되도록 한다. 흡착이 완료되면 도 14에 도시한 바와 같이, 상기 보조 테이블(140)을 다시 반시계 방향으로 90°회전시켜 원위치에 돌아오게 한 후에, 상기 메인 헤드(230)가 커버레이 필름(C2)을 흡착하여 이송하게 하면, 상기 기판(M1)과 커버레이 필름(C2)의 패탄 방향을 나란하게 하여 부착할 수 있게 된다.

또한, 도 15에 도시한 바와 같이, 커버레이 필름(C3)의 패턴과 기판(M2)의 패턴이 180°위상차가 나는 경우에는 상기 보조 테이블(140)과 메인 헤드(230)를 각각 회전시켜 패턴 방향을 일치시킬 수 있다.

즉, 도 15에 도시한 바와 같이, 미리 상기 보조 테이블(140)을 시계 방향으로 90°회전시킨 후에 커버레이 필름(C4)을 흡착하도록 하고, 상기 메인 헤드(230)가 커버레이 필름(C3)을 흡착하기 전에 다시 상기 보조 테이블(140)을 반시계 방향으로 90°회전시켜 원위치로 돌아오게 한다.

상기 메인 헤드(230)는 시계 방향으로 90°회전된 상태의 커버레이 필름(C4)을 흡착하여 다시 시계방향으로 90°회전시켜 상기 기판(M2)에 가접한다.

이와 같이 상기 보조 테이블(140)와 메인 헤드(230)가 각각 회전할 수 있으므로, 커버레이 필름(C)과 기판(M)의 패턴 방향이 90°, 180°, 270°위상차가 나더라도 쉽게 그 패턴 방향을 일치시켜 부착시킬 수 있는 장점이 있다.

동시에 상기 메인 헤드(230)의 미세한 회전에 의해 커버레이 필름(C)과 기판(M)의 상대적인 각도 오차도 보정할 수 있게 되는 장점이 있다.

일반적으로 상기 메인 헤드(230)에 설치되는 카메라의 배선 및 공압 케이블의 배선으로 인해 상기 메인 헤드(230)는 약 180°내외의 각도로만 회전 가능하도록 하는 것이 제작상 용이하다. 따라서, 본 실시예에서는 상기 보조 테이블(140)에 상기 회전 실린더(141)를 설치하여 90°회전 가능하게 함으로써, 기판(M)과 커버레이 필름(C)의 패턴 사이에 90°, 180°, 270°위상차가 생기는 경우에도 패턴의 방향을 일치시킬 수 있도록 하였다.

그러나, 경우에 따라서는 상기 보조 테이블은 회전하지 않도록 하고, 상기 메인 헤드를 360°회전되도록 하는 본 발명의 커버레이 가접 장치의 다른 실시예를 구성함으로써, 어떠한 경우에 대해서도 기판(M)과 커버레이 필름(C)의 패턴 방향을 일치시킬 수 있다.

이상, 본 발명에 따른 커버레이 가접 장치를 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명의 커버레이 가접 장치가 앞에서 설명되고 도면에 도시된 형태로 한정되는 것은 아니다.

예들 들어, 앞에서 상기 상부 카메라(240)는 상기 메인 헤드(230)에 설치되는 것으로 설명하였으나, 상부 카메라는 승강 장치에 설치될 수도 있다. 또한, 앞에서 상기 하부 카메라는 상기 메인 테이블에 설치되는 것으로 설명하였으나, 하부 카메라는 기판 이송 테이블에 설치될 수도 있다.

또한, 경우에 따라서는 상기 상부 카메라(240)와 하부 카메라(340) 중 하나만을 구비하는 커버레이 가접 장치를 구성할 수도 있다.

또한, 앞에서 상기 메인 헤드(230)와 기판 이송 테이블(300)은 각각 서보 모터, 볼스크류 등을 용하여 정해진 방향으로 이송되는 것으로 설명하였으나, 서보 모터와 볼스크류 외에 다른 구성을 이용하여 이송하는 것도 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 커버레이 가접 장치의 일례를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 평면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 정면도이다.

도 4는 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 커버레이 필름 공급 장치를 나타낸 정면도이다.

도 5는 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 메인 모듈을 나타낸 측면도이다.

도 6은 도 5에 도시된 메인 모듈의 정면도이다.

도 7은 도 5에 도시된 메인 모듈의 평면도이다.

도 8은 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 기판 이송 테이블을 나타낸 사시도이다.

도 9는 도 8에 도시된 기판 이송 테이블의 정면도이다.

도 10은 도 8에 도시된 기판 이송 테이블의 평면도이다.

도 11은 도 8에 도시된 기판 이송 테이블의 측면도이다.

도 12 내지 도 15는 도 1에 도시된 커버레이 가접 장치의 작동 방법을 설명하기 위한 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

커버레이 필름 공급 장치 : 100 웨지 테이블 : 110

롤피더 : 120 절단장치 :130

보조 테이블 : 140 회전 실린더 : 141

메인 모듈 : 200 커버레이 이송부 : 210

승강 장치 : 220 메인 헤드 : 230

회전 엑튜에이터 : 231 상부 카메라 : 240

기판 이송 테이블 : 300 언와인더 : 310

리와인더 : 320 메인 테이블 : 330

하부 카메라 : 340 고정 클램프 : 301

장력 클램프 : 302 리니어 피더 : 303

Claims (11)

1. 롤 형태로 감겨 있는 기판을 언와인더에서 풀어 공급하고 그 기판에 커버레이 필름을 가접한 후 리와인더로 다시 되감는 커버레이 가접 장치에 있어서,

   상기 언와인더와 상기 리와인더가 설치되고, 상기 언와인더와 상기 리와인더의 사이에 배치되는 메인 테이블이 설치되며 좌우방향으로 이송 가능한 기판 이송 테이블;

   커버레이 필름을 흡착하는 메인 헤드와, 상기 메인 헤드를 전후방향으로 이송하는 커버레이 이송부와, 상기 메인 헤드를 상하방향으로 이송하여 상기 메인 테이블 위의 기판에 대해 가압하는 승강 장치를 포함하는 메인 모듈; 및

   상기 커버레이 필름과 기판 사이의 각도를 조절할 수 있도록 상기 메인 헤드를 회전시킬 수 있는 회전 엑튜에이터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 메인 헤드에 흡착된 커버레이 필름을 촬영하는 하부 카메라와 상기 메인 테이블 위의 기판을 촬영하는 상부 카메라 중 적어도 하나를 구비하는 것을 특 징으로 하는 커버레이 가접 장치.
4. 삭제
5. 제1항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 기판 이송 테이블에는, 메인 테이블의 일측에서 기판을 고정하는 고정 클램프와, 메인 테이블의 타측에서 작은 장력으로 기판을 잡아당기는 장력 클램프가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 기판 이송 테이블에는, 기판을 정해진 길이만큼 피치 이송시키는 리니어 피더가 설치되며,

   상기 리니어 피더가 기판을 이송할 때에는 상기 고정 클램프와 장력 클램프가 열리는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.
7. 제1항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 승강 장치는, 서보 모터와 볼스크류를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.
8. 제1항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 기판 이송 테이블은 서보 모터와 볼스크류를 이용하여 좌우방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.
9. 제1항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 메인 모듈이 커버레이 필름을 흡착하여 기판에 가접할 수 있도록 커버레이 필름을 상기 메인 헤드에 공급하는 커버레이 필름 공급 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.
10. 제9항에 있어서,

    상기 커버레이 필름 공급 장치는, 커버레이 필름을 흡착하고 있다가 상기 메인 헤드에 그 커버레이 필름을 넘겨주는 보조 테이블을 포함하며,

    상기 보조 테이블은 상하 방향 중심축을 중심으로 회전가능한 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치
11. 제10항에 있어서,

    상기 커버레이 필름 공급 장치는,

    커버레이 필름과 이형지를 분리하는 웨지 테이블과, 이형지를 잡아 당기는 롤피더와 이형지가 분리된 커버레이 필름을 정해진 길이로 절단하는 절단장치를 더 포함하며,

    상기 절단 장치에서 절단된 커버레이 필름은 클램프에 의해 상기 보조 테이블로 이송되는 것을 특징으로 하는 커버레이 가접 장치.

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