WO2007138687A1

WO2007138687A1 - カバーレイフィルム貼り合わせ装置

Info

Publication number: WO2007138687A1
Application number: PCT/JP2006/310820
Authority: WO
Inventors: Kazuhiko Kato
Original assignee: Beac Co., Ltd.
Priority date: 2006-05-30
Filing date: 2006-05-30
Publication date: 2007-12-06
Also published as: JP4892551B2; JPWO2007138687A1

Abstract

　カバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００は、ベースフィルム供給装置１４００と、ｘ軸方向及びｙ軸方向に移動可能で、かつ、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフィルム供給テーブル１３００と、仮圧着テーブル１２００とを備える。仮圧着テーブル１２００の下面には、ベースフィルムＷｂを吸着するためのベースフィルム吸着孔が配設され、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃの位置及び／又は姿勢を調整する機能を有し、仮圧着テーブル１２００は、仮圧着領域Ｐ２において鉛直方向に沿って移動可能である。　カバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００は、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置となる。

Description

明細書

カバーレイフイルム貼り合わせ装置

技術分野

[0001] 本発明は、カバーレイフイルム貼り合わせ装置、積層フィルム、フレキシブル基板及び電子機器に関する。

背景技術

[0002] 一般に、フレキシブル基板を形成する工程には、銅箔等の導体パターンが形成されたポリイミド榭脂、 PET榭脂、ポリエステル榭脂等力もなるベースフィルムのパターン形成面に、熱硬化性の接着層を有するポリイミド榭脂、 PET樹脂等カゝらなるカバーレイフイルムを貼り合わせる工程があることが知られている。

[0003] 従来、ベースフィルムにカバーレイフイルムを貼り合わせるためのカバーレイフィルム貼り合わせ装置として、ベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフイルムを仮圧着して積層フィルムを形成する仮圧着テーブルを備えたカバーレイフイルム貼り合わせ装置が知られている (例えば、特許文献 1参照。 ) o

[0004] 図 11は、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1を説明するために示す図である。

従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1は、図 11に示すように、ロール状のベ一スフイルム Wbをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置 2 00と、ベースフィルム供給装置 200によって繰り出されたシート状のベースフィルム Wbに対して短冊状のカバーレイフイルム Wcを仮圧着して、ベースフィルム Wbに力バーレイフイルム Wcが仮圧着された積層フィルム Wsを形成するための仮圧着テーブル 400と、仮圧着テーブル 400によって形成されたシート状の積層フィルム Wsを口ール状に巻き取るための積層フィルム回収装置 300とを備える。

[0005] 仮圧着テーブル 400は、仮圧着領域 P2とカバーレイフイルム供給位置 P1とを結ぶカバーレイフイルム供給路 L2に沿ってカバーレイフイルム Wcを供給可能で、かつ、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を調整可能な力バーレイフイルム供給テーブル 410を有する。カバーレイフイルム供給テーブル 410は、 2つの水平方向（X軸方向及び y軸方向）に移動可能で、 z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能で、かつ、仮圧着領域 P 2にお、て上方に移動することにより仮圧着動作を行うように構成されて、る。なお、仮圧着領域 P2とは、ベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wcを供給する領域のことである。

[0006] 従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1によれば、カバーレイフイルム供給路 L 2に沿って、かつ、水平方向（X軸方向及び y軸方向）に移動可能なカバーレイフィルム供給テーブル 410を備えているため、仮圧着領域 P2にカバーレーフイルム Wcを供給することが可能となる。

[0007] また、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1によれば、カバーレイフイルム供給テーブル 410は、 z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能であるため、ベースフィルム Wbに対してカバーレーフイルム Wcを位置及び姿勢精度よく配置することが可能となる。このため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすることが可能となる。

[0008] また、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1によれば、カバーレイフイルム供給テーブル 410は、仮圧着領域 P2において上方に移動することにより仮圧着動作を行うように構成されているため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置精度が高い状態でベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wcを仮圧着させることが可能となる。

[0009] 特許文献 1：国際公開第 2005Z100220号パンフレット

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0010] しかしながら、従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1にお、ては、カバーレイフィルム供給テーブル 410は、カバーレイフイルム供給位置 P1と仮圧着領域 P2との間で移動する機能（水平移動機能）と、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフィルム Wcの位置及び姿勢を調整する機能 (位置姿勢調整機能)と、仮圧着領域 P2にお V、て上方に移動することによりベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wcを仮圧着させる機能 (昇降機能）との少なくとも 3つの機能を有するため、カバーレイフイルム供給テーブル 410が大掛りで複雑な構成となってしまい、その結果、カバーレイフィルム Wcとベースフィルム Wbとの貼り合わせ効率を高くすることが困難となり、メンテナンス作業が煩雑になる。このため、貼り合わせコストを低減することが容易ではないという問題がある。

[0011] そこで、本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、ベースフィルムとカバーレイフイルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフイルム貼り合わせ装置を提供することを目的とする。また、本発明は、このような優れたカバーレイフイルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムを提供することを目的とする。また、本発明は、このような優れた積層フィルムを用いて製造されたフレキシブル基板及び当該フレキシブル基板を用いて製造された電子デバイス実装基板を提供することを目的とする。課題を解決するための手段

[0012] (1)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置は、ベースフィルムを仮圧着領域に供給するベースフィルム供給装置と、カバーレイフイルム供給位置と仮圧着領域とを結ぶカバーレイフイルム供給路に直交する X軸方向及び前記 X軸方向に直交する y 軸方向に移動可能で、かつ、前記 X軸方向及び前記 y軸方向にともに直交する z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフイルム供給テーブルと、前記べ一スフイルム供給装置によって供給されたベースフィルムと前記カバーレイフイルム供給テーブルによって供給されたカバーレイフイルムとを仮圧着させる仮圧着テープルとを備えるカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって、前記仮圧着テーブルの下面には、前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムを吸着するためのベースフィルム吸着孔が配設され、前記カバーレイフイルム供給テーブルは、前記仮圧着テーブルにおける前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムに対してカバーレイフイルムの位置及び Z又は姿勢を調整する機能を有し、前記仮圧着テーブルは、仮圧着領域にお!、て鉛直方向に沿って移動可能であることを特徴とする。

[0013] このため、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、カバーレイフィルム供給テーブルは、 X軸方向及び y軸方向に移動可能であるため、仮圧着領域に力バーレーフイルムを供給することが可能となる。

[0014] また、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、カバーレイフイルム供給テーブルは、 z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能であるため、ベースフィルムに対してカバーレーフイルムを位置及び姿勢精度よく配置することが可能となる。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが可能となる。

[0015] また、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、仮圧着テーブルが仮圧着領域において鉛直方向に沿って移動可能であるため、仮圧着テーブルを鉛直方向に沿って移動させることにより、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置精度が高い状態でベースフィルムにカバーレイフイルムを仮圧着させることが可能となる。

[0016] また、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置によれば、仮圧着のための昇降動作を、カバーレイフイルム供給テーブルではなく仮圧着テーブルに行わせて、るため、カバーレイフイルム供給テーブルの構成を従来より簡素なものとすることが可能となる。このため、カバーレイフイルムとベースフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能となり、メンテナンス作業が容易となる。

[0017] 従って、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置は、ベースフィルムと力バーレィフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフイルム貼り合わせ装置となる。

[0018] (2)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも 2つの撮影用孔が設けられ、前記カバーレイフイルム供給テーブルには、前記少なくとも 2つの撮影用孔のそれぞれに対応して少なくとも 2つの撮像装置が配設されていることが好ましい。

[0019] このように構成することにより、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの位置及び姿勢を少なくとも 2つの撮像装置により測定することが可能となる。このため、ベースフイルムに対してカバーレイフイルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。 [0020] なお、カバーレイフイルムには 2つの撮影用孔に対応させた位置にァライメント用孔を形成しておき、ベースフィルムには 2つの撮影用孔に対応させた位置にァライメント用マークを形成しておくことが好まし!/、。このようなカバーレイフイルム及びベースフィルムを用いることにより、ァライメント用孔を通してァライメント用マークを撮影し、ァラィメント用孔の中央部にァライメント用マークが配置されるようにカバーレイフイルムの位置及び姿勢を調整すれば、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。

[0021] (3)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフイルムの位置及び姿勢を計測するためのカバーレイフイルム用撮像装置をさらに備え、前記カバーレイフイルム供給テーブルには、前記仮圧着テーブルにおける前記ベースフィルム吸着孔に吸着されているベ一スフイルムの位置及び姿勢を計測するためのベースフィルム用撮像装置が配設されていることが好ましい。

[0022] このように構成することにより、カバーレイフイルムの位置及び姿勢をカバーレイフィルム用撮像装置により測定し、ベースフィルムの位置及び姿勢をベースフィルム用撮像装置により測定することが可能となる。このため、ベースフィルムに対して力バーレィフィルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。

[0023] また、上記（2)に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置における 2つの撮像装置に力からないような、小さいサイズのカバーレイフイルムの位置及び姿勢をも精度よく測定することが可能となるため、 1枚のベースフィルムに対して複数のカバーレイフイルムを貼り合わせることが可能となる。このため、複数のカバーレイフイルムそれぞれについて位置及び姿勢を精度良く配置することが可能となるため、また、ベースフイルムとカバーレイフイルムとの間の収縮率の違いに起因してベースフィルムとカバーレイフイルムとの貼り合わせ精度が低下することを抑制することが可能となるため、ベ一スフイルムとカバーレイフイルムとの貼り合せ位置精度をさらに高くすることが可能となる。 [0024] (4)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、供給するカバーレイフイルムの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有することが好まし、。

[0025] このように構成すること〖こより、 1つのカバーレイフイルム供給テーブルで様々な形状のカバーレイフイルムに対応することが可能となる。

[0026] なお、カバーレイフイルム供給テーブルは、吸着不要な領域を覆うことによって吸着領域を変更可能にするための吸着領域変更用マスクを装着可能に構成されていることが好ましい。このように構成することにより、吸着領域を容易に変更することが可能となる。

[0027] (5)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、回動軸を中心に半回転以上回動可能であることが好ましい。

[0028] このように構成することにより、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの向きを任意なものとすることが可能となるため、様々な形状のカバーレイフイルムをべ一スフイルムに対して貼り合わせることが可能となる。

[0029] (6)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、仮圧着動作を行うときに前記カバーレイフイルム供給テーブルからの圧力を受ける緩衝機構を有することが好まし、。

[0030] このように構成することにより、ベースフィルムとカバーレイフイルムとを均一な力で仮圧着させることが可能となる。

[0031] (7)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、カバーレイフイルムを加熱するためのヒータを有することが好ましい。

[0032] このように構成することにより、カバーレイフイルムを供給する過程で、仮圧着に先立ってカバーレイフイルムの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルムとカバーレイフイルムとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。

[0033] (8)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムを加熱するためのヒータを有することが好ましい。

[0034] このように構成することにより、カバーレイフイルムを供給する過程で、仮圧着に先立ってベースフィルムの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルムとカバーレイフイルムとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。

[0035] (9)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルの上面には、カバーレイフイルムを吸着するためのカバーレイフィルム吸着孔が配設され、前記カバーレイフイルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムにおける離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフイルム供給路に沿ってカバーレイフイルム供給テーブルを移動することによって、カバーレイフイルム力離型フィルムを剥離する離型フィルム剥離装置をさらに備えることが好ましい。

[0036] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給テーブルがカバーレイフィルムをカバーレイフイルム供給位置力ゝら仮圧着領域まで搬送する工程中にカバーレイフィルム力離型フィルムを剥離することが可能となるため、わざわざカバーレイフィルムカも離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルムとカバーレイフイルムとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。

[0037] また、仮圧着テーブルにカバーレイフイルムを載置するまでは、カバーレイフイルムを離型フィルムがついた状態で取り扱うことが可能となるため、カバーレイフイルムの取り扱いが極めて容易となる。

[0038] (10)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、ロール状の力バーレィフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフイルム繰り出し装置と、前記カバーレイフイルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムを裁断して短冊状のカバーレイフイルムを形成するためのカバーレイフイルム裁断装置と、前記カバーレイフイルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフィルムを前記カバーレイフイルム供給テーブルに載置するためのカバーレイフィルム載置装置とを有するカバーレイフイルム裁断'載置装置をさらに備えることが好ましい。

[0039] このように構成することにより、ロール状のカバーレイフイルムを出発材料として用いることが可能となるため、全体としての生産性をさらに高くすることが可能となる。

[0040] (11)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム裁断装置は、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及び前記押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、前記カバーレイフイルム裁断'載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート卷取り装置とをさらに有することが好ましい。

[0041] このように構成することにより、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置によって繰り出される刃受けシートが常に押し切り刃を受けることが可能となるため、カバーレイフイルムを適切に裁断することが可能となる。また、押し切り刃の刃先が損傷してしまうことを防止することが可能となる。

[0042] (12)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム裁断'載置装置は、カバーレイフイルムを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することが好ま、。

[0043] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給テーブルに載置されたカバ一レイフイルムは、離型フィルム離型刃によって予め部分剥離部が形成されるようになる。このため、離型フィルム剥離装置は、離型フィルムの端部を容易に把持することが可能となる。

[0044] (13)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム載置装置は、前記カバーレイフイルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフイルムを前記カバーレイフイルム供給テーブルに搬送するためのカバーレイフイルム吸着パッドを有し、前記カバーレイフイルム吸着パッドは、前記カバーレイフイルム供給テーブル上にカバーレイフイルムを載置してカゝら前記離型フィルム剥離装置によつて離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することが好ましい。

[0045] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給テーブルに載置されたカバ一レイフイルムは、離型フィルムの部分剥離部がカバーレイフイルム吸着パッドによつて吸着されてめくれ上がった状態となるため、離型フィルム剥離装置が離型フィルムの端部をさらに容易に把持することが可能となる。

[0046] (14)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記ベースフィルム供給装置は、前記仮圧着領域とベースフィルム供給位置とを結ぶベースフィルム供給路に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブルと、ベースフイルムを前記ベースフィルム供給テーブルに供給するためのベースフィルム供給用吸着パッドと、ベースフィルムにカバーレイフイルムが仮圧着された積層フィルムを前記ベースフィルム供給テーブルから回収するための積層フィルム回収用吸着パッドとを有することが好ましい。

[0047] このように構成することにより、短冊状のベースフィルムを出発部材として用いて力バーレイフイルムとベースフィルムとを仮圧着させることが可能となる。

[0048] (15)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の一方方向側から前記仮圧着領域にカバーレイフイルムを供給可能に配設され、前記ベースフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の他方方向側から前記仮圧着領域にベースフィルムを供給可能に配設されていることが好ましい。

[0049] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給テーブルが移動するカバーレイフイルム供給路とベースフィルム供給テーブルが移動するベースフィルム供給路とが経路の途中で交差しな、ため、カバーレイフイルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルは互いに邪魔し合うことなく移動可能となる。このため、カバーレイフィルムの供給、ベースフィルムの供給及び積層フィルムの回収を効率よく行うことが可能となる。

[0050] (16)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給テーブルは、前記カバーレイフィルム供給路及び前記ベースフィルム供給路に沿って延在する同一のレールに配設されていることが好ましい。

[0051] このように構成することにより、カバーレイフイルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルが個々にレールを備える必要がなくなるため、カバーレイフイルム貼り合わせ装置の構成を従来よりもさらに簡素なものとすることが可能となる。

[0052] また、カバーレイフイルム供給テーブルとベースフィルム供給テーブルとが同一のレールに配設されて、るため、ベースフィルムとカバーレイフイルムとの位置合わせ精度を高めることが可能となる。

[0053] (17)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記ベースフィルム供給装置は、前記 X軸方向に沿ってロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム繰り出し装置と、前記ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フイルム巻き取り装置とを有することが好まし、。

[0054] このように構成することにより、ロール状に巻かれたベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフイルムをベースフィルムに貼り合わせることが可能となる。

[0055] (18)本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブル、前記カバーレイフイルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えることが好ましい。

[0056] このように構成することにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着することが可能となるため、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度を高く保つたまま、全体として積層フィルムの生産性を高くすることが可能となる。

[0057] (19)本発明の積層フィルムは、上記した本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムである。

[0058] このため、本発明の積層フィルムは、ベースフィルムとカバーレイフイルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフイルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムであるため、安価な積層フィルムとなる。

[0059] (20)本発明のフレキシブル基板は、本発明の積層フィルムを用いて製造されたフレキシブル基板である。

[0060] このため、本発明のフレキシブル基板は、安価なフレキシブル基板となる。

[0061] (21)本発明の電子機器は、本発明のフレキシブル基板を用いて製造された電子機器である。 [0062] このため、本発明の電子機器は、安価な電子機器となる。

図面の簡単な説明

[0063] [図 1]実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000を示す平面図である

[図 2]実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000を簡略ィ匕して示す平面図である。

[図 3]実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000を y軸方向に沿って見たときの図である。

[図 4]カバーレイフイルム裁断'載置装置 1500を説明するために示す側面図である。

[図 5]カバーレイフイルム裁断'載置装置 1500を y軸方向に沿って見たときの図である。

[図 6]実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000を簡略ィ匕して示す側面図である。

[図 7]実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000におけるカバーレイフィルム供給テーブル 2300を簡略ィ匕して示す平面図である。

[図 8]仮圧着テーブル 2200を下側から見た図である。

[図 9]実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000を簡略ィ匕して示す側面図である。

[図 10]実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000を簡略ィ匕して示す平面図である。

[図 11]従来のカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1を説明するために示す図である。発明を実施するための最良の形態

[0064] 以下、本発明のカバーレイフイルム貼り合わせ装置、積層フィルム、フレキシブル基板及び電子デバイス実装基板にっヽて、図に示す実施の形態に基づヽて説明する

[0065] [実施形態 1]

図 1は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000を示す平面図である。図 2は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000を簡略ィ匕して示す平面図である。図 3は、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000¾y軸方向に沿って見たときの図である。図 4は、カバーレイフイルム裁断 '載置装置 1500を説明するために示す側面図である。図 5は、カバーレイフイルム裁断' 載置装置 1500 軸方向に沿って見たときの図である。

[0066] なお、以下の説明においては、互いに直交する 3つの方向をそれぞれ X軸方向（図 1における紙面に平行で左右方向）、 y軸方向（図 1における紙面に平行かつ X軸に直交する方向）及び z軸方向（図 1における紙面に垂直な方向）とする。

[0067] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000は、図 1〜図 3に示すように、各種の装置 (後述する。）を搭載 ·固定するための基台 1100と、ベースフィルム Wbを仮圧着領域 P2に供給するベースフィルム供給装置 1400と、 X軸方向及び y軸方向に移動可能で、かつ、 z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能な力バーレィフィルム供給テーブル 1300と、ベースフィルム供給装置 1400によって供給されたベースフィルム Wbとカバーレイフイルム供給テーブル 1300によって供給されたカバ一レイフイルム Wcとを仮圧着させる仮圧着テーブル 1200と、短冊状のカバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム供給テーブル 1300に供給するカバーレイフイルム裁断'供給装置 1500と、カバーレイフイルム Wc力ゝら離型フィルム Weを剥離する離型フイルム剥離装置 1600とを備えている。

[0068] 基台 1100には、図 2に示すように、仮圧着領域 P2とベースフィルム供給位置 P4とを結ぶベースフィルム供給路 L1と、仮圧着領域 P2とカバーレイフイルム供給位置 P1 とを結ぶカバーレイフイルム供給路 L2と、ベースフィルム Wbをベースフィルム供給位置 P4に供給し、積層フィルム Wsをベースフィルム供給位置 P4から回収するベースフィルム供給'積層フィルム回収路 L4と、カバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム供給位置 P1に供給するカバーレイフイルム搬送路 L3とが形成されて、る。

[0069] なお、積層フィルム Wsは、ベースフィルム Wbの一方のパターン形成面側に短冊状のカバーレイフイルム Wcが仮圧着された構造を有する。

[0070] 基台 1100には、カバーレイフイルム供給路 L2及びベースフィルム供給路 L1に沿つて X軸方向に延在するレール 1110が配設されて!/、る。カバーレイフイルム供給テ一ブル 1300及び後述するベースフィルム供給テーブル 1410は、このレール 1110 に配設されている。そして、カバーレイフイルム供給テーブル 1300は、仮圧着領域 P 2の一方方向側（図 2における左側）力仮圧着領域 P2にカバーレイフイルム Wcを供給可能に配置され、ベースフィルム供給テーブル 1410は、仮圧着領域 P2の他方方向側（図 2における右側）力仮圧着領域 P2にベースフィルム Wbを供給可能に配置されている。

[0071] また、基台 1100には、仮圧着テーブル 1200、カバーレイフイルム供給テーブル 1 300及びベースフィルム供給装置 1400を同期して動作させるためのコントローラ（図示せず。）が配設されている。

[0072] 仮圧着テーブル 1200は、図 3に示すように、緩衝機構 1210と、ベースフィルム吸着部 1220とを有し、仮圧着テーブル移動装置 1250を介して仮圧着テーブル支持体 1260に配設されている。仮圧着テーブル 1200の下面には、ベースフィルム供給装置 1400によって供給されたベースフィルム Wbを吸着するためのベースフィルム吸着孔（図示せず。）が配設されている。

[0073] 仮圧着テーブル移動装置 1250は、仮圧着テーブル 1200を鉛直方向（z軸方向）に沿って移動させるためのァクチユエータ 1212を有し、仮圧着テーブル支持体 126 0に配設されている。これにより、仮圧着テーブル 1200は、仮圧着領域 P2において鉛直方向（上下方向）に沿って移動することが可能となる。

[0074] カバーレイフイルム供給テーブル 1300は、図 3に示すように、第 1移動装置 1310と、第 2移動装置 1320と、第 3移動装置 1330と、カバーレイフイルム Wcを載置する力バーレイフイルム載置部 1340とを有する。

[0075] 第 1移動装置 1310は、サーボモータ 1312と、サーボモータ 1312に軸支されたスクリューシャフト 1314 (図示せず。）と、第 1テーブル 1316を有する。第 1移動装置 13 10は、第 1移動装置 1310及び後述するベースフィルム供給テーブル 1410の軌道となる X軸方向に沿って延在するレール 1110を介して基台 1100に配設されて、る。第 1移動装置 1310は、サーボモータ 1312の駆動によるスクリューシャフト 1314の回転により、第 1テーブル 1316がレール 1110上を X軸方向に沿って移動するように構成されている。

[0076] 第 2移動装置 1320は、サーボモータ 1322と、サーボモータ 1322に軸支されたスクリューシャフト 1324と、第 2テーブル 1326とを有し、 y軸方向に沿って延在するレール 1328を介して第 1テーブル 1316に配設されている。第 2移動装置 1320は、サーボモータ 1322の駆動によるスクリューシャフト 1324の回転により、第 2テーブル 132 6がレール 1328上を y軸方向に沿って移動するように構成されて、る。

[0077] 第 3移動装置 1330は、サーボモータ 1332と、ベノレト 1334と、第 3テープノレ 1336と、第 3テーブル 1336に回転力を付与するプーリ 1338とを有し、第 2テーブル 1326 に配設されている。第 3テーブル 1336は、第 2テーブル 1326上の枢軸に枢支され、サーボモータ 1332及びベルト 1334によって駆動されるプーリ 1338の回転により、枢軸を回動中心として半周以上回動可能に構成されている。

[0078] カバーレイフイルム載置部 1340は、カバーレイフイルム Wcをカ卩熱するためのヒータ

(図示せず。）を有し、第 3テーブル 1336に配設されている。カバーレイフイルム載置部 1340には、互いに離隔して配置された 2つの撮影用孔 1342が設けられ、各撮像用孔 1342のそれぞれに対応して設けられた撮像素子 1710が配設されている（図 1 参照。；)。また、カバーレイフイルム載置部 1340の上面には、カバーレイフイルム Wc を吸着するためのカバーレイフイルム吸着孔（図示せず。 )が配設されている。

[0079] ベースフィルム供給装置 1400は、図 1〜図 3に示すように、ベースフィルム供給路 L1に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブル 1410と、ベースフイルム Wbをベースフィルム供給テーブル 1410に供給するためのベースフィルム供給用吸着パッド 1420と、ベースフィルム Wbにカバーレイフイルム Wcが仮圧着された積層フィルム Wsをベースフィルム供給テーブル 1410から回収するための積層フィルム回収用吸着パッド 1430 (図示せず。 )とを有する。

[0080] ベースフィルム供給テーブル 1410は、ここでは図示による説明を一部省略するが、ベースフィルム供給テーブル移動装置 1440を有する。ベースフィルム供給テープル移動装置 1440は、サーボモータ 1442と、サーボモータ 1442に軸支されたスクリユーシャフト 1444とを有し、レール 1110を介して基台 1100に配設されている。ベースフイルム供給テーブル移動装置 1440は、サーボモータ 1442の駆動によるスクリュ一シャフト 1444の回転により、ベースフィルム供給テーブル 1410がレール 1110上を X軸方向に沿って移動するように構成されて、る。 [0081] カバーレイフイルム裁断 ·供給装置 1500は、図 4及び図 5に示すように、ロール状のカバーレイフイルム WcOをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置 1510と、カバーレイフイルム繰り出し装置 1510により繰り出されたシート状のカバーレイフイルム WcOを裁断して短冊状のカバーレイフイルム Wcを形成するためのカバーレイフイルム裁断装置 1520と、カバーレイフイルム Wcから離型フィルム Weを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃 1 540とを有する。

[0082] カバーレイフイルム繰り出し装置 1510は、繰り出しローラ 1512と、駆動ローラ 1514 と、ガイドローラ 1516とを有する。繰り出しローラ 1512は、トルクモータ 1518の駆動による回転によってロール状のカバーレイフイルム WcOをシート状に繰り出すように構成されている。

[0083] カバーレイフイルム裁断装置 1520は、シート状のカバーレイフイルム WcOを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型 1522及び押し切り刃金型 152 2を受ける受け金型 1524と、押し切り刃を受ける刃受けシート Whを押し切り刃金型 1 522と受け金型 1524との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置 1526と、刃受けシート Whを巻き取る刃受けシート巻き取り装置 1528とを有する。

[0084] カバーレイフイルム載置装置 1530は、図 2及び図 3に示すように、カバーレイフィルム裁断装置 1520によって裁断された短冊状のカバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム受け渡し位置 P3にに受け渡すための移動クランパ 1532と、カバーレイフィルム受け渡し位置 P4に載置されたカバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム供給位置 P1のカバーレイフイルム供給テーブル 1300まで搬送するためのカバーレイフィルム吸着パッド 1534とを有する。カバーレイフイルム吸着パッド 1534は、 y軸方向に移動可能であり、カバーレイフイルム供給位置 P1及びカバーレイフイルム受け渡し位置 P4において昇降可能である。

[0085] 離型フィルム剥離装置 1600は、図 1〜図 3に示すように、離型フィルム把持装置 16 10を有する。離型フィルム把持装置 1610は、カバーレイフイルム載置装置 1530によってカバーレイフイルム供給テーブル 1300に載置されたカバーレイフイルム Wcにおける離型フィルム Weの端部を把持した状態で、カバーレイフイルム供給位置 P1から仮圧着領域 P2に向けてカバーレイフイルム供給テーブル 1300が移動することによつて、カバーレイフイルム Wcから離型フィルム Weを剥離するように構成されて、る。

[0086] 以上のように構成された実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000 によれば、カバーレイフイルム供給テーブル 1300は、 X軸方向及び y軸方向に移動可能であるため、仮圧着領域 P2にカバーレーフイルム Wcを供給することが可能となる。

[0087] また、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000によれば、カバーレイフイルム供給テーブル 1300は、 z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能であるため、ベースフィルム Wbに対してカバーレーフイルム Wcを位置及び姿勢精度よく配置することが可能となる。このため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフィルム Wcの貼り合わせ位置精度を高くすることが可能となる。

[0088] また、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000によれば、仮圧着テーブル 1200が仮圧着領域 P2にお、て鉛直方向に沿って移動可能であるため、仮圧着テーブル 1200を鉛直方向に沿って移動させることにより、ベースフィルム Wb に対するカバーレイフイルム Wcの位置精度が高い状態でベースフィルム Wbにカバ一レイフイルム Wcを仮圧着させることが可能となる。

[0089] また、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000によれば、仮圧着のための昇降動作を、カバーレイフイルム供給テーブル 1300ではなく仮圧着テープル 1200に行わせているため、カバーレイフイルム供給テーブル 1300の構成を従来より簡素なものとすることが可能となる。このため、カバーレイフイルム Wcとベースフィルム Wbとの貼り合わせ効率を高くすることが可能となり、メンテナンス作業が容易となる。

[0090] 従って、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000は、ベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフイルム貼り合わせ装置となる。

[0091] なお、ベースフィルムとカバーレイフイルムとを圧着（本圧着）させるのに要する時間としては、少なくとも、カバーレイフイルム及びベースフィルムを仮圧着領域に供給する時間と、供給されたベースフィルム及びカバーレイフイルムを本圧着装置 (例えば真空プレス機。）によって圧着 (本圧着）させる時間とが必要になる力ベースフィルムとカバーレイフイルムとを一段階で完全に圧着させることとした場合には、本圧着装置による圧着時間が極めて長くなるため、全体としての生産性を向上することが困難となる。

[0092] これに対し、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000によれば、ベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを完全に圧着させて積層フィルムを形成する代わりに、ベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを仮圧着させて仮圧着状態の積層フィルム Wsを形成することとしている。これにより、本圧着装置による圧着時間を大幅に短縮して、全体としての生産性の向上を図ることが可能となる。この場合、ベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを完全に圧着させるには、力バーレィフィルム Wcが仮圧着された積層フィルム Wsを圧着 (本圧着）するための専用の本圧着装置 (例えば真空プレス機。）を別途準備して、この本圧着装置を用いてベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを完全に圧着させることとすればよい。

[0093] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 1300には、互、に離隔して配置された 2つの撮影用孔 1342 が設けられ、少なくとも 2つの撮影用孔 1342のそれぞれに対応して 2つの撮像装置 1 710が配設されているため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を少なくとも 2つの撮像装置 1710により測定することが可能となる。このため、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。

[0094] なお、カバーレイフイルム Wcには 2つの撮影用孔 1342に対応させた位置にァライメント用孔を形成しておき、ベースフィルム Wbには 2つの撮影用孔 1342に対応させた位置にァライメント用マークを形成しておくことが好ましい。このようなカバーレイフィルム Wc及びベースフィルム Wbを用いることにより、ァライメント用孔を通してァラィメント用マークを撮影し、ァライメント用孔の中央部にァライメント用マークが配置されるようにカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を調整すれば、ベースフィルム Wbに対してカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となるため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。

[0095] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 1300は、回動軸を中心に半回転以上回動可能であるため、ベースフィルム Wbに対するカバーレイフイルム Wcの向きを任意なものとすることが可能となる。このため、様々な形状のカバーレイフイルム Wcをベースフィルム Wbに対して貼り合わせることが可能となる。

[0096] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、仮圧着テ一ブル 1200は、仮圧着動作を行うときにカバーレイフイルム供給テーブル 1300からの圧力を受ける緩衝機構 1210を有するため、ベースフィルム Wbとカバーレイフィルム Wcとを均一な力で仮圧着させることが可能となる。

[0097] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 1300は、カバーレイフイルム Wcをカ卩熱するためのヒータを有する。これにより、カバーレイフイルム Wcを供給する過程で、仮圧着に先立ってカバ一レイフイルム Wcの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。

[0098] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、仮圧着テ一ブル 1200は、ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルム Wbをカ卩熱するためのヒータを有する。これにより、カバーレイフイルム Wcを供給する過程で、仮圧着に先立ってベースフィルム Wbの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフイルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。

[0099] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 1300の上面には、カバーレイフイルム Wcを吸着するための力バーレイフイルム吸着孔が配設されている。また、カバーレイフイルム吸着孔に吸着されたカバーレイフイルム Wcにおける離型フィルムの端部を把持した状態で、カバーレイフイルム供給路 L2に沿ってカバーレイフイルム供給テーブル 1300を移動することによって、カバーレイフイルム Wc力ゝら離型フィルムを剥離する離型フィルム剥離装置 1600をさらに備える。これにより、カバーレイフイルム供給テーブル 1300がカバーレイフイルム Wcをカバーレイフイルム供給位置 P1から仮圧着領域 P2まで搬送する工程中にカバーレイフイルム Wc力ゝら離型フィルムを剥離することが可能となるため、わざわざカバーレイフイルム Wc力ゝら離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルム Wbとカバーレイフイルム Wcとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。

[0100] また、仮圧着テーブル 1200にカバーレイフイルム Wcを載置するまでは、力バーレィフィルム Wcを離型フィルムがついた状態で取り扱うことが可能となるため、力バーレィフィルム Wcの取り扱いが極めて容易となる。

[0101] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム繰り出し装置 1510と、カバーレイフイルム裁断装置 1520及びカバーレイフィルム載置装置 1530を有するカバーレイフイルム裁断'載置装置 1500をさらに備える。これにより、ロール状のカバーレイフイルムを出発材料として用いることが可能となるため、全体としての生産性をさらに高くすることが可能となる。

[0102] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム裁断装置 1520は、押し切り刃金型 1522及び受け金型 1524を有し、カバーレイフイルム裁断 ·載置装置 1500は、刃受けシート Whを押し切り刃金型 1522と受け金型 1524との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置 1526と、刃受けシート卷取り装置 1528とをさらに有する。これにより、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置 1526によって繰り出される刃受けシート Wh が常に押し切り刃を受けることが可能となるため、カバーレイフイルムを適切に裁断することが可能となる。また、押し切り刃の刃先が損傷してしまうことを防止することが可能となる。

[0103] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム裁断'載置装置 1500は、カバーレイフイルム Wcを裁断するのに先立って、カバーレイフイルム Wcから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃 1540をさらに有する。これにより、カバーレイフイルム供給テーブル 1300に載置されたカバーレイフイルム Wcは、離型フィルム離型刃 1540 によって予め部分剥離部が形成されるようになる。このため、離型フィルム剥離装置 1 600は、離型フィルムの端部を容易に把持することが可能となる。

[0104] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム載置装置は、カバーレイフイルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムをカバーレイフイルム供給テーブルに搬送するためのカバーレイフイルム吸着パッドを有し、カバーレイフイルム吸着パッドは、カバーレイフイルム供給テーブル上にカバーレイフイルムを載置して力離型フィルム剥離装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、部分剥離部を吸着するため、カバーレイフイルム供給テーブル 1300に載置されたカバーレイフイルム Wcは、離型フィルムの部分剥離部が力バーレイフイルム吸着パッドによって吸着されてめくれ上がった状態となる。このため、離型フィルム剥離装置が離型フィルムの端部をさらに容易に把持することが可能となる。

[0105] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、ベースフィルム供給装置 1400は、仮圧着領域とベースフィルム供給位置とを結ぶベースフィルム供給路に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブル 1410と、ベースフィルムをベースフィルム供給テーブル 1410に供給するためのベースフィルム供給用吸着パッドと、ベースフィルムにカバーレイフイルムが仮圧着された積層フィルムを前記ベースフィルム供給テーブルから回収するための積層フィルム回収用吸着パッドとを有するため、短冊状のベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフイルムとベースフィルムとを仮圧着させることが可能となる。

[0106] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 1300は、仮圧着領域の一方方向側から仮圧着領域にカバーレイフイルムを供給可能に配設され、ベースフィルム供給テーブル 1410は、仮圧着領域の他方方向側から仮圧着領域にベースフィルムを供給可能に配設されている。これにより、カバーレイフイルム供給テーブルが移動するカバーレイフイルム供給路とベースフィルム供給テーブルが移動するベースフィルム供給路とが経路の途中で交差しな!/、ため、カバーレイフイルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルは互いに邪魔し合うことなく移動可能となる。このため、カバーレイフイルムの供給、ベ一スフイルムの供給及び積層フィルムの回収を効率よく行うことが可能となる。

[0107] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 1300及びベースフィルム供給テーブル 1410は、カバーレイフィルム供給路 L2及びベースフィルム供給路 L1に沿って延在する同一のレール 11 10に配設されている。これにより、カバーレイフイルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルが個々にレールを備える必要がなくなるため、カバーレイフイルム貼り合わせ装置の構成を従来よりもさらに簡素なものとすることが可能となる。

[0108] また、カバーレイフイルム供給テーブルとベースフィルム供給テーブルとが同一のレールに配設されて、るため、ベースフィルムとカバーレイフイルムとの位置合わせ精度を高めることが可能となる。

[0109] 実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000においては、仮圧着テ一ブル 1200、カバーレイフイルム供給テーブル 1300及びベースフィルム供給装置 1400を同期して動作させるためのコントローラをさらに備える。これにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着することが可能となるため、ベースフィルム Wbに対するカバ一レイフイルム Wcの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として積層フィルムの生産性を高くすることが可能となる。

[0110] 実施形態 1に係る積層フィルム Wsは、上記した実施形態 1に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置 1000を用いて製造された積層フィルムである。

[0111] このため、実施形態 1に係る積層フィルム Wsは、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフイルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムであるため、安価な積層フィルムとなる。

[0112] 実施形態 1に係るフレキシブル基板（図示せず。 )は、実施形態 1に係る積層フィルム Wsを用いて製造されたフレキシブル基板であるため、安価なフレキシブル基板となる。

[0113] 実施形態 1に係る電子機器（図示せず。 )は、実施形態 1に係るフレキシブル基板を用いて製造された電子機器であるため、安価な電子機器となる。

[0114] [実施形態 2]

図 6は、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000を簡略ィ匕して示す側面図である。図 7は、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000 におけるカバーレイフイルム供給テーブル 2300を簡略ィ匕して示す平面図である。図 8は、仮圧着テーブル 2200を下側から見た図である。図 8においては、ベースフィルム Wbに 4枚のカバーレイフイルム Wcが仮圧着された状態を模式的に示している。

[0115] 実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000は、実施形態 1に係る力バーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と基本的には同様の構成を有している力ベ一スフイルム用撮像装置及びカバーレイフイルム用撮像装置をさらに備える点と、力バーレイフイルム供給テーブルが吸着領域を変更可能な構成を有する点で、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と異なる。

[0116] すなわち、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000においては、図 6に示すように、カバーレイフイルム供給テーブル 2300には、仮圧着テーブル 22 00におけるベースフィルム吸着孔（図示せず。）に吸着されているベースフィルム Wb の位置及び姿勢を計測するための撮像素子 2720が配設されている。また、カバーレイフイルム供給テーブル 2300に載置されたカバーレイフイルム Wcの位置及び姿勢を計測するための撮像素子 2730をさらに備えている。

[0117] また、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000においては、カバ一レイフイルム供給テーブル 2300は、供給するカバーレイフイルム Wcの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有する。

[0118] 実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000においては、図 7に示すように、吸着領域を変更可能な構成として、吸着不要な領域における吸着孔 2360を覆うことによって吸着領域を変更可能にするための吸着領域変更用マスク 2350が装着されている。

[0119] このように、実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000は、ベースフイルム用撮像装置及びカバーレイフイルム用撮像装置をさらに備える点と、力バーレィフィルム供給テーブルが吸着領域を変更可能な構成を有する点で、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と異なる力その他の点では実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と同様の構成を有して、るため、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000が有する効果をそのまま有する。

[0120] 実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000においては、カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフイルムの位置及び姿勢を計測するためのカバーレイフイルム用撮像装置をさらに備え、カバーレイフイルム供給テープルには、仮圧着テーブルにおけるベースフィルム吸着孔に吸着されているベースフィルムの位置及び姿勢を計測するためのベースフィルム用撮像装置が配設されているため、カバーレイフイルムの位置及び姿勢をカバーレイフイルム用撮像装置により測定し、ベースフィルムの位置及び姿勢をベースフィルム用撮像装置により測定することが可能となる。このため、ベースフィルムに対してカバーレイフイルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムに対するカバーレイフイルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。

[0121] また、実施形態 1で説明した 2つの撮像装置 1710 (図 1参照。）に力からないような、小さいサイズのカバーレイフイルムの位置及び姿勢をも精度よく測定することが可能となるため、 1枚のベースフィルムに対して複数のカバーレイフイルムを貼り合わせることが可能となる。このため、複数のカバーレイフイルムそれぞれについて位置及び姿勢を精度良く配置することが可能となるため、また、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの間の収縮率の違いに起因してベースフィルムとカバーレイフイルムとの貼り合わせ精度が低下することを抑制することが可能となるため、ベースフィルムと力バーレィフィルムとの貼り合せ位置精度をさらに高くすることが可能となる。

[0122] 実施形態 2に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 2000においては、カバーレイフィルム供給テーブル 2300は、供給するカバーレイフイルムの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有するため、 1つのカバーレイフイルム供給テ一ブルで様々な形状のカバーレイフイルムに対応することが可能となる。

[0123] [実施形態 3]

図 9は、実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000を簡略ィ匕して示す側面図である。図 10は、実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 300 0を簡略化して示す平面図である。

[0124] 実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000は、実施形態 1に係る力バーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と基本的には同様の構成を有している力ベ一スフイルム Wbとして、シート状ではなくロール状のベースフィルムを用いる点で、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と異なる。

[0125] すなわち、実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000においては、図 9及び図 10に示すように、ベースフィルム供給装置 3400は、カバーレイフイルム供給路 L2に直交する方向に沿ってロール状のベースフィルム Wbをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム巻き取り装置 3410と、ベースフィルム Wbに力バーレイフイルム Wcが仮圧着されたシート状の積層フィルム Wsをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置 3800とを有する。

[0126] このように、実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000は、ベースフイルム Wbとして、シート状ではなくロール状のベースフィルムを用いる点で、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と異なる力その他の点では実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000と同様の構成を有して、るため、実施形態 1に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 1000が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。

[0127] 実施形態 3に係るカバーレイフイルム貼り合わせ装置 3000においては、ベースフィルム供給装置 3400は、 X軸方向に沿ってロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム繰り出し装置 3410と、ベースフィルムに力バーレイフイルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム巻き取り装置 3800とを有するため、ロール状に巻かれたベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフイルムをベースフィルムに貼り合わせることが可能となる。

符号の説明

[0128] Wb…カバーレイフイルム、 Wc…カバーレイフイルム、 WcO…シート状のカバーレイフイルム、 We…離型フィルム、 Ws…積層フィルム、 Wh…刃受けシート、 PI…カバーレイフイルム供給位置、 Ρ2···仮圧着領域、 Ρ3···カバーレイフイルム受け渡し位置、 P4…ベースフィルム供給位置、 L1…ベースフィルム供給路、 L2"'カバーレイフイルム供給路、 L3'"カバーレイフイルム搬送路、 L4…ベースフィルム供給'積層フイノレム回収路、 1000, 2000, 3000···カノく一レイフイノレム貝占り合わせ装置、 110 0···基台、 1110···レール、 1200, 2200, 3200···仮圧着テーブル、 1210···緩衝機構、 1212···ァクチユエータ、 1220···ベースフィルム吸着部、 1250···仮圧着テーブル移動装置、 1260···仮圧着テーブル支持体、 1300, 2300···カノく一レイフィルム供給テーブル、 1310···第 1移動装置、 1312, 1322, 1332,…サーボモータ、 1 314, 1324···スクリューシャフト、 1316···第 1テーブル、 1320···第 2移動装置、 13 26···第 1テーブル、 1328···レール、 1330···第 3移動装置、 1340···カノ一レイフィルム載置部、 1342···撮像用孔、 2350···マスク、 2360···吸着孔、 1400, 2400, 3 400…ベースフィルム供給装置、 1410, 2410, 3410…ベースフィルム供給テープル、 1420…ベースフィルム供給用吸着パッド、 1430…積層フィルム回収用吸着パッド、 1440···ベースフィルム供給テーブル移動装置、 1442···サーボモータ、 1444··· スクリューシャフト、 1450···ベースフィルム載置部、 1500, 3500···カノく一レイフィルム裁断'供給装置、 1510, 3510···カバーレイフイルム繰り出し装置、 1512…繰り出しローラ、 1514···駆動ローラ、 1515···トルクモータ、 1516···ガイドローラ、 1518··· トルクモータ、 1520, 3520···カノ一レイフイルム裁断装置、 1522···押し切り刃金型、 1524···受け金型、 1526···刃受けシート繰り出し装置、 1528…刃受けシート巻き取り装置、 1530···カノく一レイフイルム載置装置、 1532···移動クランパ、 1534···力バーレイフイルム搬送用吸着パッド、 1540…離型フィルム剥離刃、 1600···離型フィルム剥離装置、 1610…離型フィルム把持装置、 1710, 2720, 2730…撮像素子、 3800· · '積層フィルム回収装置

Claims

請求の範囲

[1] ベースフィルムを仮圧着領域に供給するベースフィルム供給装置と、

カバーレイフイルム供給位置と仮圧着領域とを結ぶカバーレイフイルム供給路に直交する X軸方向及び前記 X軸方向に直交する y軸方向に移動可能で、かつ、前記 X 軸方向及び前記 y軸方向にともに直交する z軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフイルム供給テーブルと、

前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムと前記カバーレイフィルム供給テーブルによって供給されたカバーレイフイルムとを仮圧着させる仮圧着テーブルとを備えるカバーレイフイルム貼り合わせ装置であって、

前記仮圧着テーブルの下面には、前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムを吸着するためのベースフィルム吸着孔が配設され、

前記カバーレイフイルム供給テーブルは、前記仮圧着テーブルにおける前記べ一スフイルム吸着孔に吸着されたベースフィルムに対してカバーレイフイルムの位置及び Z又は姿勢を調整する機能を有し、

前記仮圧着テーブルは、仮圧着領域にお!、て鉛直方向に沿って移動可能であることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[2] 請求項 1に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉヽて、

前記カバーレイフイルム供給テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも 2 つの撮影用孔が設けられ、

前記カバーレイフイルム供給テーブルには、前記少なくとも 2つの撮影用孔のそれぞれに対応して少なくとも 2つの撮像装置が配設されていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[3] 請求項 1又は 2に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム供給テーブルに載置されたカバーレイフイルムの位置及び姿勢を計測するためのカバーレイフイルム用撮像装置をさらに備え、

前記カバーレイフイルム供給テーブルには、前記仮圧着テーブルにおける前記べ一スフイルム吸着孔に吸着されているベースフィルムの位置及び姿勢を計測するためのベースフィルム用撮像装置が配設されていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。

[4] 請求項 1〜3のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記カバーレイフイルム供給テーブルは、供給するカバーレイフイルムの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。

[5] 請求項 1〜4の、ずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉヽて、前記カバーレイフイルム供給テーブルは、回動軸を中心に半回転以上回動可能であることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[6] 請求項 1〜5のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブルは、仮圧着動作を行うときに前記カバーレイフイルム供給テーブル力の圧力を受ける緩衝機構を有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[7] 請求項 1〜6の、ずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉヽて、前記カバーレイフイルム供給テーブルは、カバーレイフイルムを加熱するためのヒータを有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[8] 請求項 1〜7のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブルは、前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムを加熱するためのヒータを有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[9] 請求項 1〜8の、ずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉヽて、前記カバーレイフイルム供給テーブルの上面には、カバーレイフイルムを吸着するためのカバーレイフイルム吸着孔が配設され、

前記カバーレイフイルム吸着孔に吸着されたカバーレイフイルムにおける離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフイルム供給路に沿ってカバーレイフイルム供給テーブルを移動することによって、カバーレイフイルム力離型フィルムを剥離する離型フィルム剥離装置をさらに備えることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[10] 請求項 9に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

ロール状のカバーレイフイルムをシート状にして間欠的に繰り出すための力バーレィフィルム繰り出し装置と、前記カバーレイフイルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフイルムを裁断して短冊状のカバーレイフイルムを形成するためのカバーレイフイルム裁断装置と、前記カバーレイフイルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフイルムを前記カバーレイフイルム供給テーブルに載置するためのカバーレイフイルム載置装置とを有するカバーレイフイルム裁断'載置装置をさらに備えることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[11] 請求項 10に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム裁断装置は、シート状のカバーレイフイルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及び前記押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、

前記カバーレイフイルム裁断'載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート卷取り装置とをさらに有することを特徴とする力バーレイフイルム貼り合わせ装置。

[12] 請求項 11に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置にぉヽて、

前記カバーレイフイルム裁断'載置装置は、カバーレイフイルムを裁断するのに先立って、カバーレイフイルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[13] 請求項 12に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム載置装置は、前記カバーレイフイルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフイルムを前記カバーレイフイルム供給テーブルに搬送するためのカバーレイフイルム吸着パッドを有し、

前記カバーレイフイルム吸着パッドは、前記カバーレイフイルム供給テーブル上にカバーレイフイルムを載置して力前記離型フィルム剥離装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することを特徴とする力バーレィフィルム貼り合わせ装置。

[14] 請求項 1〜13のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記ベースフィルム供給装置は、

前記仮圧着領域とベースフィルム供給位置とを結ぶベースフィルム供給路に沿つてベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブルと、

ベースフィルムを前記ベースフィルム供給テーブルに供給するためのベースフィルム供給用吸着パッドと、

ベースフィルムにカバーレイフイルムが仮圧着された積層フィルムを前記ベースフィルム供給テーブルから回収するための積層フィルム回収用吸着パッドとを有することを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[15] 請求項 14に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の一方方向側から前記仮圧着領域にカバーレイフイルムを供給可能に配設され、

前記ベースフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の他方方向側から前記仮圧着領域にベースフィルムを供給可能に配設されていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[16] 請求項 15に記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、

前記カバーレイフイルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給テーブルは、前記カバーレイフイルム供給路及び前記ベースフィルム供給路に沿って延在する同一のレールに配設されていることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[17] 請求項 1〜13のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記ベースフィルム供給装置は、

前記 X軸方向に沿ってロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム繰り出し装置と、

前記ベースフィルムにカバーレイフイルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム巻き取り装置とを有することを特徴とするカバ一レイフイルム貼り合わせ装置。

[18] 請求項 1〜17のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置において、前記仮圧着テーブル、前記カバーレイフイルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えることを特徴とするカバーレイフイルム貼り合わせ装置。

[19] 請求項 1〜18のいずれかに記載のカバーレイフイルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルム。

[20] 請求項 19に記載の積層フィルムを用いて製造されたフレキシブル基板。

[21] 請求項 20に記載のフレキシブル基板を用いて製造された電子デバイス実装基板。