KR100612497B1

KR100612497B1 - 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치

Info

Publication number: KR100612497B1
Application number: KR1020000007975A
Authority: KR
Inventors: 변규식
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2000-02-19
Filing date: 2000-02-19
Publication date: 2006-08-14
Also published as: KR20010081819A

Abstract

자동으로 폴리이미드 테이프를 절단하여 보트에 접착하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치가 개시된다. 개시된 본 발명은, 폴리이미드 테이프롤에서 폴리이미드 테이프를 일정 길이로 절단하는 폴리이미드 테이프 절단부와, 보트를 이동하는 보트이동부와, 절단된 폴리이미드 테이프을 흡착하여 상기 보트이동부의 보트지그 상에 안착시키는 폴리이미드 테이프 픽업수단과, 폴리이미드 테이프 접착용 테이프롤에서 폴리이미드 테이프를 일정 길이로 절단하여 상기 폴리이미드 테이프와 보트를 접착하는 폴리이미드 테이프 접착부와, 다수의 보트를 적재하며 최상단의 보트를 일정한 높이로 유지하는 보트매거진과, 폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 반출하는 보트반출부와, 보트를 보트매거진에서 보트이동부로 이송하고 폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 보트이동부에서 보트반출부로 이송하는 보트픽업수단을 포함한다.

테이프절단장치, 테이프접착장치, 폴리이미드테이프, 보트, 테이프절단및접착장치

Description

폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치{Apparatus for cutting and attaching Polymide tape}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치를 나타내는 전체 사시도.

도 2는 폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 나타낸 평면도.

도 3은 도 1의 폴리이미드 테이프 픽업수단의 테이프 지그를 나타내는 도면.

도 4는 도 1의 보트이동수단의 보트 지그를 나타내는 도면.

도 5는 도 1의 테이프접착부의 정면도.

도 6은 폴리이미드 테이프와 보트의 흐름을 나타내는 흐름도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1;폴리이미드 테이프 10,10';보트

20;테이프 90;메인프레임

100;폴리이미드 테이프 절단부 110;폴리이미드 테이프롤

130,132;안내롤 150,151;폴리이미드 테이프 피딩롤

170;폴리이미드 테이프 절단기 200;보트이동부

210;보트 지그 220;보트스테이션

230;보트이동수단 300;폴리이미드 테이프 픽업수단

340;폴리이미드 테이프 지그 400;테이프접착부

411;제 1 안내롤 416;테이프흡착헤드

424;커터 432,434;접착롤

500;보트매거진 600;보트반출부

700;보트픽업수단 740;보트흡착지그

본 발명은 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 폴리이미드 테이프을 절단하여 테이프로 보트에 접착하는 작업을 하나의 장치에서 자동적으로 할 수 있는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치에 관한 것이다.

일반적으로, CSP형 반도체는 웨이퍼로부터 가공되는 반도체 디바이스와 이 반도체 디바이스의 입출력회로가 형성되어 있는 폴리이미드 테이프를 본딩하여 제조된다. 그런데 본딩공정에서는 폴리이미드 테이프를 가열,가압하기 때문에, 폴리이미드 테이프에 일정한 강도가 필요하다. 그러나 통상적으로 폴리이미드 테이프 자체만으로는 강도가 부족하기 때문에, 일정한 강도가 있는 금속프레임(이하, '보 트'라 한다)에 부착하여 사용한다. 따라서 본딩공정 전에 폴리이미드 테이프를 일정한 길이로 절단하여 보트에 부착하는 공정이 필요하게 된다.

이를 위하여 종래에는 폴리이미드 테이프를 일정한 길이로 절단하는 폴리이미드 테이프 절단장치와 상기 절단된 폴리이미드 테이프를 보트에 접착하는 테이프접착장치를 사용하였다. 즉, 상기 폴리이미드 테이프 절단장치가 롤에 감긴 폴리이미드 테이프를 일정길이로 절단하면, 작업자가 이 절단된 폴리이미드 테이프를 테이프접착장치로 운반하여 보트에 접착한 후, 보트매거진에 담아 본딩장치로 운반하여 본딩을 하였다.

그러나, 상기와 같은 종래 기술에 의하면, 폴리이미드 테이프의 절단작업과 보트에 폴리이미드 테이프을 접착하는 작업은 각각 자동으로 할 수 있으나, 폴리이미드 테이프 절단공정과 테이프 접착공정이 일련의 연속된 작업으로 진행될 수 없고 수작업으로 하여야 하며, 또한 보트에 폴리이미드 테이프을 접착하기 위해 작업자가 폴리이미드 테이프와 보트를 테이프접착장치에 하나하나 로딩시켜 주어야 하기 때문에, 생산효율이 낮고, CSP형 반도체 생산라인의 전자동화가 이루어지지 않는다는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 폴리이미드 테이프를 절단하는 공정과 절단된 폴리이미드 테이프를 보트에 접착하는 공정이 일련의 연속된 동작으로 자동으로 이루어짐으로써 작업자가 필요없어 생산효율을 높 일 수 있고, CSP형 반도체 생산라인의 전자동화를 이룰 수 있는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치는, 폴리이미드 테이프롤에서 폴리이미드 테이프를 일정 길이로 절단하는 폴리이미드 테이프 절단부와, 보트를 이동하는 보트이동부와, 절단된 폴리이미드 테이프를 흡착하여 상기 보트이동부의 보트지그 상에 안착시키는 폴리이미드 테이프 픽업수단과, 폴리이미드 테이프 접착용 테이프롤에서 테이프를 일정 길이로 절단하여 상기 폴리이미드 테이프와 보트를 접착하는 테이프접착부와, 다수의 보트를 적재하며 최상단의 보트를 일정한 높이로 유지하는 보트매거진과, 폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 반출하는 보트반출부와, 보트를 보트매거진에서 보트이동부로 이송하고 폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 보트이동부에서 보트반출부로 이송하는 보트픽업수단을 포함한다.

폴리이미드 테이프 픽업수단은, 폴리이미드 테이프를 흡착하는 지그와, 이 지그를 승강시키는 공압실린더와, 지그를 폴리이미드 테이프 절단부와 보트이동부 상에서 직선운동시키는 직선이동수단을 포함한다.

보트이동부는, 보트 및/또는 폴리이미드 테이프를 흡착하여 고정하는 지그와, 폴리이미드 테이프 절단부와 보트매거진 사이에서 보트지그를 직선이동시키는 직선이동수단을 포함한다.

보트픽업수단은, 보트를 흡착하는 흡착지그와, 이 흡착지그를 승강시키는 공압실린더와, 흡착지그를 보트매거진, 보트이동부, 보트반출부 상에서 직선운동시키는 직선이동수단을 포함한다.

테이프접착부는, 접착프레임과, 상기 접착프레임에 고정되며 폴리이미드 테이프 접착용 테이프를 공급하는 테이프롤과, 테이프를 상기 폴리이미드 테이프와 보트상에 접착시키는 제 1 및 제 2 접착롤과, 테이프를 상기 테이프롤로 부터 상기 접착롤까지 안내하는 안내수단과, 테이프를 일정길이로 절단하는 절단유니트를 포함한다.

안내수단은, 테이프의 이동경로를 이루며 공압실린더에 의해 승강운동을 하는 제 1 안내롤과, 테이프의 이동경로가 되는 제 2 내지 제 4 안내롤과, 테이프의 시작단을 흡착하며 공압실린더의 승강운동에 의해 상기 테이프의 시작단을 보트에 접착시키는 테이프 흡착부와, 제 1 안내롤과 테이프 흡착부가 하강하였을 때 테이프의 장력을 유지시키는 에어블로우를 포함한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.

첨부된 도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치의 전체 사시도이고, 도 2는 폴리이미드 테이프가 접착된 보트의 평면도이다. 도 3은 도 1의 폴리이미드 테이프 픽업수단의 지그를 나타내는 도면이고, 도 4는 도 1의 보트이동수단의 보트지그를 나타내는 도면이다. 도 5는 도 1의 테이프접착부를 도시한 정면도이고, 도 6은 도 1에 나타낸 장치에서 폴리이미드 테이프와 보 트의 흐름을 나타내는 흐름도이다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치는, 크게 폴리이미드 테이프 절단부(100), 보트이동부(200), 폴리이미드 테이프 픽업수단(300), 테이프접착부(400), 보트매거진(500), 보트반출부(600) 및 보트픽업수단(700)을 포함한다.

폴리이미드 테이프 절단부(100)는 롤에 감겨 공급되는 폴리이미드 테이프를 일정길이로 절단하는 것으로, 폴리이미드 테이프 공급수단과 폴리이미드 테이프 절단수단으로 이루어진다.

폴리이미드 테이프 공급수단은, 폴리이미드 테이프가 감긴 롤을 걸어두는 테이프롤(110)과, 이 폴리이미드 테이프롤(5)에서 분리되는 폴리이미드 테이프 보호용 테이프를 감는 보호롤(120)과, 폴리이미드 테이프를 가이드하는 한 쌍의 안내롤(130)(132)로 구성된다. 테이프롤(110)은 메인프레임(90)에 고정된 테이프프레임(112)의 상단에 고정되고, 한 쌍의 안내롤(130)(132)은 테이프롤의 하부에 설치된다. 여기서, 하부롤(130)은 테이프프레임(112)에 고정된 스프링(134)에 의해 상부롤(132) 방향으로 힘을 받는 이동판(136)에 장착된다. 이 이동판(136)은 테이프프레임(112)에 상부롤(132)의 방향으로 장착된 가이드레일을 따라 승강하며, 그 상단에는 공압실린더(138)의 로드가 결합되어 있어 승강이 가능하다.

폴리이미드 테이프 절단수단은, 테이프피딩롤(150,151), 테이프센서(160) 및 테이프절단기(170)를 포함한다. 테이프피딩롤은 한 쌍의 롤로 구성되며 접촉부가 상기 안내롤(130,132)의 테이프 공급높이와 동일한 높이를 갖는다. 하부롤(150)은 직결된 모터에 의해 구동되는 구동롤이며 상부롤(151)은 가이드레일, 공압실린더(153) 및 스프링(155)으로 지지되는 이동판에 설치되어 항상 하부롤(150)과 일정압력을 유지하며 필요시 간격을 벌릴 수 있다. 테이프센서(160)는 테이프피딩롤(150,151)에 의해 공급되는 폴리이미드 테이프의 길이를 제어하여 폴리이미드 테이프를 일정길이로 절단하기 위한 것으로, 테이프피딩롤과 테이프절단기(170) 사이의 테이프공급경로 상부에 설치된다. 테이프절단기(170)는 테이프센서(160)의 후단에 설치되며, 공압실린더(171)에 의해 상하로 승강하는 커터(173), 스프링에 의해 커터(173)와 항상 밀착되는 커터가이드 및 절단된 폴리이미드 테이프가 안착되는 테이프안착부(175)로 구성된다.

보트이동부(200)는 보트 및 폴리이미드 테이프가 안착되는 보트지그(210)와, 이 보트지그(210)가 결합되는 보트스테이션(220)과, 이 보트스테이션(220)을 이동시키는 이동수단(230)으로 이루어진다. 보트지그(210)에는 보트(10) 및 폴리이미드 테이프(1)을 위치결정하는 제 1 및 제 2 기준핀(211,212)과, 보트(10) 및 폴리이미드 테이프(1)를 흡착하기 위한 다수의 보트흡착구멍(214) 및 테이프흡착구멍(213)이 형성되어 있다. 보트스테이션(220)은 보트흡착용 공기관로와 테이프흡착용 공기관로가 격리되도록 형성되며 상기 보트지그(210)와 결합되어 보트(10)와 폴리이미드 테이프(1)를 별도로 각각 흡착할 수 있다. 또한, 그 하측에는 이동수단(230)과 결합되는 볼너트가 결합되어 있다.

보트이동수단(230)은 메인프레임(90)의 상면에 폴리이미드 테이프 절단부(100)와 보트매거진(500)을 연결하도록 설치된다. 이 보트이동수단(230)은 상기 보트스테이션(220)이 가이드되는 가이드블록과, 이 가이드블록내에서 회전가능하도록 지지되며 보트스테이션의 볼너트와 나사결합된 볼스크류와, 볼스크류를 구동하는 모터로 구성된다.

폴리이미드 테이프 픽업수단(300)은 절단프레임(310), 직선이동유니트(320), 공압실린더 (330) 및 테이프지그(340)로 구성된다. 절단프레임(310)은 폴리이미드 테이프 절단부(100)와 보트이동수단(200)을 상측에서 연결하기 위해 메인프레임(90) 상면에 설치된다. 직선이동유니트(320)는 절단프레임(310)상에 고정된 가이드블록과 가이드블록에 의해 가이드되는 이동판과, 이동판을 이동시키는 볼스크류와, 볼너트와, 모터를 포함한다. 테이프지그(340)는 상기 직선이동유니트(320)의 이동판에 장착된 공압실린더(330)에 조립된다. 이 테이프지그(340)에는 폴리이미드 테이프의 위치결정을 위한 복수의 가이드핀(341), 보트지그(210)의 가이드핀(212)이 삽입되는 복수의 가이드홈(343) 및 폴리이미드 테이프(1)를 흡착하는 흡착공(345)이 형성되어 있다.

테이프접착부(400)는 테이프로 폴리이미드 테이프(1)의 양측을 보트(10)의 상면 양측에 길이 방향으로 접착시키는 것으로, 접착프레임(401), 테이프장착롤(403), 테이프안내수단(410), 커터유니트 및 접착롤을 포함한다. 접착프레임(401)은 보트이동부(200)의 중간부에 보트가이드블록과 평행하게 메인프레임(90)의 상면에 설치된다. 테이프장착롤(403)은 폴리이미드 테이프(1)와 보트(10)를 접착하는 테이프가 감겨있는 롤(25) 2개를 폴리이미드 테이프(1)의 접착폭만큼 이격시켜 장착하는 롤로 접착프레임(401)의 상단에 고정된다. 테이프안내 수단(410)은, 제 1 안내롤(411), 제 2 내지 제 4 안내롤 (412,413,414), 테이프흡착부 및 에어블로우(417)로 이루어지며, 2개의 테이프롤(25)에서 풀리는 테이프(20)를 지지한다. 제 1 안내롤(411)은 테이프장착롤(403)의 중심보다 약간 높은 위치에 설치되어 테이프롤(25)로부터 분리되는 테이프(20)의 이동경로를 이루며, 공압실린더(418)에 의해 승강운동을 한다. 제 2 내지 제 4 안내롤(412,413,414)은 제 1 안내롤(411)의 하측의 접착프레임(401)에 일정한 간격을 두고 고정되어 테이프(20)의 이동경로를 이룬다. 테이프흡착부는 2개의 테이프가 절단된 부분 즉, 테이핑이 시작되는 단의 후면을 진공으로 흡착하도록 형성된 흡착헤드(416)와 흡착헤드(416)를 승강시키는 공압실린더(419)로 이루어진다. 테이프흡착헤드(416)는 공압실린더(419)의 승강운동에 의해 상기 테이프(20)의 시작단을 보트(10)에 접착시킨다. 에어블로우(air blower)(417)는 제 1 안내롤(411)과 제 2 안내롤(412) 사이에서 안내되는 테이프의 상측에 설치되며, 상기 테이프흡착부가 테이프를 보트(10)상에 접착시키기 위하여 제 1 안내롤(411)과 함께 하강할 때 테이프가 안내롤을 벗어나지 않도록 테이프에 대해 공기를 분사한다. 커터유니트는 공압실린더(422)에 의해 승강하는 커터(424)와 커터(424)가 테이프를 절단하는 것을 지지하는 커터베이스(426)로 구성된다. 커터베이스(426)는 테이프흡착헤드(416) 전단에 보트이동면보다 높게 설치되어, 공압실린더(428)에 의해 커팅시만 커터(424)를 지지하고 테이프 접착시는 후퇴한다. 커터(424)는 테이프 흡착수단의 뒤에 병렬로 설치된 공압실린더(422)에 의해 선택적으로 전진과 후퇴에 의해 테이프(20)를 커팅한다. 접착롤은 제 1 및 제 2 접착롤로 구성되며, 제 1 접착롤(432) 은 제 2 접착롤(434)축보다 0.2~0.3mm 상측으로 이격되어 설치되어 제 2 접착롤(434)의 테이프 접착이 원할하게 되도록 하고, 제 2 접착롤(434)은 보트이동수단(200)의 보트지그(210) 상면과 구름운동을 하여 테이프(20)를 접착할 수 있도록 접착프레임(401)에 설치되어 있다.

보트매거진(500)은 폴리이미드 테이프가 접착되지 않은 보트(10)를 적재하는 것으로 메인프레임(90)의 상면 하측에 설치되어 상하로 승강하는 1축의 직선운동축과 보트가이드로 구성된다. 보트공급 높이는 보트가이드에 설치된 센서에 의해 일정하게 유지된다.

보트반출부(600)는 폴리이미드 테이프가 접착된 보트(10')를 다음 공정인 본더장치로 공급하거나 보트매거진에 자동적으로 적재하도록 보트(10')를 한개씩 반출시키는 것으로 2개의 공압실린더로 구성된다.

보트픽업수단(700)은 픽업프레임(710), 직선이동유니트(720), 승강실린더 (730), 회전실린더(740) 및 보트흡착지그(750)를 포함한다. 픽업프레임(710)은 보트흡착지그(750)가 보트를 보트매거진(500), 보트이동부(200), 보트반출부(600)상으로 운반할 수 있도록 메인프레임(90)의 상면에 설치된다. 직선이동유니트(720)는 상기 폴리이미드 테이프 픽업수단(300)의 직선이동유니트(320)와 동일하게 구성된 것으로 픽업프레임(710)상에 장착된다. 보트흡착지그(750)는 상기 직선이동유니트(720)의 이동판에 장착된 공압실린더(730)와 회전실린더(740)의 일단에 조립되며, 보트(10)를 흡착하기 위한 다수의 진공패드와 2매검출센서로 이루어진다.

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치의 동작을 구체적으로 설명한다.

도 6은 상술한 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치에서 폴리이미드 테이프(1)와 보트(10)의 이동경로를 나타내는 도면이다. 경로 A는 폴리이미드 테이프(1)의 이동경로, 경로 B는 보트(10)의 이동경로, 경로 C는 보트(10) 위에 폴리이미드 테이프(1)가 안착된 상태로 이동되는 경로, 경로 D는 폴리이미드 테이프가 테이프에 의해 접착된 보트(10')가 이동되는 경로를 표시한다.

작업자가 폴리이미드 테이프가 감긴 롤(5)과 테이프롤(25)을 각각의 롤에 장착하고, 보트매거진(500)에 보트(10)를 적재하여 작업준비를 한다. 폴리이미드 테이프롤(5)은 테이프롤(110)에 폴리이미드 테이프가 감긴 롤을 장착하고 테이프 일부의 보호테이프를 벗겨 테이프을 한 쌍의 안내롤의 상부롤(132)과 하부롤(130) 사이에 끼운다. 이 때 하부롤(130)에 부착된 공압실린더(138)를 작동시켜 상부롤(132)과 하부롤(130)의 간격을 벌린다. 또한 벗겨진 보호테이프는 보호테이프롤(120)에 감아둔다.

테이프롤(25)은 테이프 장착롤(403)에 테이프롤 2개를 끼운 후, 각각의 테이프 일부를 풀어 제 1 내지 제 4 안내롤(411,412,413,414)에 건 다음 테이프흡착헤드(416)가 테이프의 시작단을 흡착하고 있도록 한다. 테이프는 접착면이 안내롤의 반대편을 향하도록 장착된다.

폴리이미드 테이프 절단수단의 테이프피딩롤(150,151)이 동작하면 폴리이미드 테이프(1)가 롤에서 풀리면서 테이프안착부(175)로 공급된다. 이 때 테이프센서(160)가 테이프 길이를 측정하여 일정 길이가 공급되면 피딩롤(150)을 정지시킨다. 폴리이미드 테이프가 정지되면 폴리이미드 테이프 픽업수단(300)의 테이프지그(340)가 하강하여 테이프안착부(175)의 테이프을 누른 상태에서, 테이프절단기의 커터(171)가 하강하여 폴리이미드 테이프를 절단한다.

폴리이미드 테이프가 절단되면 테이프지그(340)가 절단된 폴리이미드 테이프(1)를 흡착하여 상승한 뒤 직선이동유니트(320)에 의해 보트이동부(200) 상으로 이동한다(도 6의 경로A 참조).

한편, 보트 공급을 위해 적재된 보트(10)가 보트공급높이에 위치하면, 보트픽업수단(700)의 보트흡착지그(750)가 하강하여 보트(10)를 흡착한다. 보트(10)를 흡착하여 상승한 상태에서 보트(10)가 한장인지를 확인한다. 보트는 재활용을 하는 것으로 전회에 접착되었던 테이프의 접착력이 남아 있는 경우는 보트가 2장이상 흡착될 수 있기 때문에, 한장인지를 검사하는 단계가 필요하다. 보트가 한장인 경우는 보트이동부(200)상으로 픽업프레임(710)에 설치된 직선이동유니트(720)에 의해 이동시켜 보트지그(210) 상에 안착시키고, 두장 이상인 경우는 보트매거진(500)과 보트이동부(200) 사이에 마련된 보트수거함(510)에 버린다. 그리고, 보트흡착지그(750)가 흡착한 보트의 안내구멍(10a,10b)을 보트지그상의 안내핀(211)에 끼워지도록 하여 보트(10)를 언로딩한다.

보트지그(210)상에 테이핑이 안된 보트(10)가 놓이면 보트스테이션(220)의 보트흡착용 공기구멍(214)에 의해 보트(10)가 흡착되고, 흡착된 상태로 보트이동부(200)에 의해 테이프공급위치(200a)로 이동된다(도 6의 경로B 참조).

보트(10)를 실은 보트지그(210)가 테이프공급위치(200a)에 위치하면 테이프(1)을 흡착하고 있는 폴리이미드 테이프 픽업수단(300)이 하강하여 폴리이미드 테이프(1)를 보트지그(210) 상면에 안착시킨다. 이 때 보트지그(210)와 테이프지그(340)에는 상호 가이드핀(212,341)과 홀(215,343)이 각각 형성되어 있어 폴리이미드 테이프(1)의 정확한 위치결정이 가능하다. 보트지그(210)와 테이프지그(340)가 서로 맞닿은 상태에서 테이프지그(340)가 진공을 깨고, 보트지그(210)는 테이프흡착용 진공을 발생시켜 폴리이미드 테이프(1)를 보트지그(210)상에 흡착시킨다. 이 후 테이프지그(340)는 상승하여 폴리이미드 테이프 절단부(100)로 이동된다.

보트(10)상에 폴리이미드 테이프(1)가 안착된 상태인 보트지그(210)는 보트가이드블록을 따라 이동하여 테이프접착부(400) 하측의 테이핑 개시위치(200b)에 정지한다(도 6의 경로C 참조).

보트지그(210)가 테이프접착부(400) 하측에 정지하면 제 1 안내롤(411)과 테이프흡착헤드(416)가 동시에 하강하여 상기 흡착헤드(416)가 흡착하고 있는 테이프의 일단을 보트지그(210)상의 보트(10)와 폴리이미드 테이프(1)의 접착부에 접착시킨다. 이 때 테이프접착부(400)의 에어블로우(417)가 동작하여 테이프에 공기를 불어 테이프가 안내롤을 벗어나는 것을 방지한다.

테이프가 보트(10)위에 접착되면 흡착헤드(416)와 제 1 안내롤(411)은 상승하고 보트지그(210)는 보트공급위치(200c)로 이동하기 시작한다. 보트지그(210)와 제 1 및 제 2 접착롤(432,434)의 구름 운동에 의해 보트(10)와 폴리이미드 테이프(1)가 테이핑된다. 보트(10)가 일정량 이송되면 보트(10)는 정지되고 커터유니트의 커터베이스(426)가 커터(424) 하측으로 전진한다. 커터베이스(426)가 전진하면 흡착헤드(416)도 진공을 발생시켜 하측의 테이프를 흡착한 상태에서 커터(424)가 하강하여 양쪽의 테이프를 절단한다. 절단 후의 새로운 테이프 끝은 흡착헤드(416)가 잡고 있게 된다. 한편, 절단되고 보트(10)에 접착되지 않은 상태인 테이프의 일부는 보트(10)가 다시 이동을 하면 접착롤(432,434)에 의해 보트(10)와 폴리이미드 테이프(1)에 접착된다(도 6 경로D 참조).

폴리이미드 테이프가 접착된 보트(10')가 보트이동부(200)의 보트가이드블록을 따라 보트공급위치(200c)로 이동되면 보트픽업수단(700)의 보트흡착지그(750)가 하강하여 상기 보트(10')를 흡착하여 보트반출부(600)로 운반한다. 흡착된 보트(10')를 보트반출부(600)에 내려 놓기 전에 다음 공정의 연결작업을 위해 회전실린더(740)에 의해 180도 선회시킨 후 보트반출부(600)에 안치한다.

보트반출부(600)에 놓인 폴리이미드 테이프가 접착된 보트(10')는 2개의 공압실린더에 의해 다음 공정으로 이송된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 하나의 장치에서 폴리이미드 테이프을 절단하고, 절단된 폴리이미드 테이프를 테이프로 보트에 접착시키는 작업을 일련의 연속된 동작으로 자동으로 하기 때문에, 작업자가 필요하지 않아 생산효율을 높일 수 있으며, CSP형 반도체 생산라인의 전자동화를 이룰 수 있게된다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고, 또한 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형실시가 가능할 것이다.

Claims

폴리이미드 테이프롤에서 폴리이미드 테이프를 일정 길이로 절단하는 폴리이미드 테이프 절단부;

보트를 이동하는 보트이동부;

상기 절단된 폴리이미드 테이프를 흡착하여 상기 보트이동부의 보트지그 상에 안착시키는 폴리이미드 테이프 픽업수단;

폴리이미드 테이프 접착용 테이프롤에서 테이프를 일정 길이로 절단하여 상기 폴리이미드 테이프와 보트를 접착하는 테이프접착부;

다수의 보트를 적재하며, 최상단의 보트를 일정한 높이로 유지하는 보트매거진;

폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 반출하는 보트반출부; 및

보트를 상기 보트매거진에서 상기 보트이동부로 이송하고, 폴리이미드 테이프가 접착된 보트를 상기 보트이동부에서 상기 보트반출부로 이송하는 보트픽업수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치
제 1 항에 있어서, 상기 폴리이미드 테이프 픽업수단은,

폴리이미드 테이프를 흡착하는 테이프지그;

상기 테이프지그를 승강시키는 공압실린더; 및

상기 테이프지그를 상기 폴리이미드 테이프 절단부와 보트이동부 상에서 직선운동시키는 직선이동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 보트이동부는,

상기 보트 및 폴리이미드 테이프를 흡착하여 고정하는 보트지그; 및

상기 폴리이미드 테이프 절단부와 상기 보트매거진 사이에서 상기 보트지그를 직선이동시키는 직선이동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 보트픽업수단은,

보트를 흡착하는 보트흡착지그;

상기 보트흡착지그를 승강시키는 공압실린더; 및

상기 보트흡착지그를 상기 보트매거진, 보트이동부, 보트반출부 상에서 직선운동시키는 직선이동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.
제 2 항 내지 제 4 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 직선이동수단은,

가이드블록;

상기 가이드블록의 일단에 고정된 모터, 상기 가이드블록의 내부에서 회전가능하도록 지지되며 상기 모터에 의해 회전되는 볼스크류;

상기 볼스크류에 나사결합된 볼너트; 및

상기 볼너트에 결합되며 상기 가이드블록에 의해 직선이동이 안내되는 이동판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 테이프접착부는,

접착프레임;

상기 접착프레임에 고정되며, 폴리이미드 테이프 접착용 테이프를 공급하는 테이프롤;

테이프를 상기 폴리이미드 테이프와 보트상에 접착시키는 제 1 및 제 2 접착롤;

상기 테이프를 상기 테이프롤로 부터 상기 접착롤까지 안내하는 안내수단; 및

상기 테이프를 일정길이로 절단하는 절단유니트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.
제 6 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 접착롤은,

제 1 접착롤의 고정높이가 제 2 접착롤의 고정높이 보다 높은 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.
제 6 항에 있어서, 상기 안내수단은,

테이프의 이동경로를 이루며, 공압실린더에 의해 승강운동을 하는 제 1 안내롤;

테이프의 이동경로가 되는 제 2 내지 제 4 안내롤;

테이프의 시작단을 흡착하며, 공압실린더의 승강운동에 의해 상기 테이프의 시작단을 보트에 접착시키는 테이프 흡착헤드; 및

상기 제 1 안내롤과 상기 테이프 흡착헤드가 하강하였을 때 테이프의 장력을 유지시키는 에어블로우;를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 테이프 절단 및 접착장치.