WO2004101254A1 - 成膜用金型、金型を用いた成膜方法および成膜制御システム - Google Patents

Description

明 細 書 成膜用金型、 金型を用いた成膜方法および成膜制御システム 技術分野

本発明は、 車両等に搭載されるフロントランプ、 ウィンカー （サイドウィン力 一を含む） 、 テールランプ等を含んだ各種の成型体の成膜用金型、 金型を用いた 成膜方法および成膜制御システムの技術分野に属するものである。 背景技術 '

一般に、 この種成型体のなかには、 車両用のフロントランプ等の燈体のように 、 射出整形された成型体に反射面となる鏡状面を成膜して光量を増加したり広い 照射範囲を確保するようにしたものがある。 ところで従来、 燈体の製造方法とし ては、 電球 （バルブ） が組込まれる燈本体と透光性榭脂材で形成されるレンズ部 とを突き合わせ （型合わせ） し、 該突き合わせ面を接着するようにして製造され るものがあり、 このようなものの製造方法として、 ダイスライドインジヱクショ ン方式が知られている （例えば、 特公平 2— 3 8 3 7 7号公報参照。 ） 。 このも のは、 可動型と固定型とを対向配設した状態で一次製品である燈本体とレンズ部 とをそれぞれ射出成形した後、 可動型をスライド移動して各一次製品同志を突き 合わせるべく型合わせをし、 一次製品同志の突合せ部に樹脂材を二次射出して燈 体を一体成形するようにしている。

ところがこのようなものにおいて、 前述したように燈本体に反射面を成膜する 場合の対応ができず、 そのため反射面を成膜する場合、 金型で射出成型された燈 本体を金型から取り外した後、 成膜室に該取り外した多数の燈本体をセットし、 該多数の成型体の内面に真空蒸着装置やスパッタリング装置等の成膜手段を用い て反射面を成膜し、 しかる後、 燈本体とレンズ部とを一体化することが試みられ ている。

ところが、 前記成膜室は、 効率を高めるため多数の成型体をセットして成膜す るものであるため、 部屋面積がどうしても大きくなつて成膜室を真空にするため の時間が長くかかるばかりでなく、 成型された燈本体と成膜手段との距離が長い ため真空度を高くする必要があって作業性が悪いという問題がある。'

さらに、 成膜するため成膜空間を真空にする必要がある場合、 開閉手段が真空 ポンプ側に設けられているため、 開閉手段から成膜空間までの体積が大きくなつ て成腠空間を真空にするための時間が長く、 作業性が悪レ、という問題がある。 さらにまた、 成膜作業を従来にない型成型で行う場合に、 成膜空間を真空にし たり該真空となった成膜空間に型開き時において外気を流入させる場合、 その作 業の迅速性、 作業効率の向上を図ることが問題視されるが、 このようなことは従 来考えられたことがなく、 これらのことを解決せんとすることに本発明の解決す べき課題がある。 発明の開示

本発明は、 上記の如き実情に鑑みこれらの課題を解決することを目的として創 作されたものであって、 次の発明である。

請求項 1の発明は、 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワークに 成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型とを備えて構成されることを特 徴とする成膜用金型である。

請求項 2の発明は、 請求項 1において、 第二金型は、 ワークを成型するための '金型であることを特徴とする成膜用金型である。

請求項 3の発明は、 請求項 1または 2において、 第一金型が可動型、 第二金型 が固定型であることを特徴とする成膜用金型である。

請求項 4の発明は、 請求項 1乃至 3の何れかにおいて、 成膜手段は、 スパッタ リング装置または真空蒸着装置であることを特徴とする成膜用金型である。 請求項 5の発明は、 請求項 1乃至 4の何れかにおいて、 成膜手段は第二金型に 形成した有底筒状の凹穴に設けられ、 成膜手段とワークとのあいだに成膜空間が 確保されるものであることを特徴とする成膜用金型である。

請求項 6の発明は、 請求項 1乃至 4の何れかにおいて、 成膜手段は、 第二金型 に設けた貫通孔を気密状に封止するようにして設けられ、 成膜手段とワークとの あいだに成膜空間が確保されるものであることを特徴とする成膜用金型である。 請求項 7の発明は、 請求項 1乃至 6の何れかにおいて、 第二金型には、 成膜空 間を真空にするための真空流路と、 -該真空流路を開閉するための第一の開閉手段 とが設けられていることを特徴とする成膜用金型である。

請求項 8の発明は、 請求項 1乃至 7の何れかにおいて、 第二金型には、 第一金 型に取り付けられたワークをマスキングするためのマスキング部があることを特 徴とする成膜用金型である。

請求項 9の発明は、 請求項 1乃至 8の何れかにおいて、 第一または第二金型に は、 成膜空間に外気を流入するための外気流入路と、 該外気流入路を開閉するた めの第二の開閉手段とが設けられていることを特徴とする成膜用金型である。 請求項 1 0の発明は、 請求項 9において、 外気流入路および第二の開閉手段は 、 成膜されたワークを第一金型から脱型するためのェジェクタ手段に設けられて いることを特徴とする成膜用金型である。

請求項 1 1の発明は、 請求項 9または 1 0において、 第二金型には、 真空流路 と外気流入路とのあいだに位置して成膜空間の開閉をする第三の開閉手段が設け られていることを特徴とする成膜用金型である。

請求項 1 2の発明は、 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワーク に成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型とを型合わせする型合わせェ 程、 ワークに成膜をする成膜工程、 第一、 第二金型を型開きする型開き工程を少 なくとも順次有することを特徵とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 1 3の発明は、 請求項 1 2において、 第一金型が可動型、 第二金型が固 定型であることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 1 4の発明は、 請求項 1 2または 1 3において、 成膜手段は、 スパッタ リング装置または真空蒸着装置であることを特徴とする金型を用いた成膜方法で ある。

請求項 1 5の発明は、 請求項 1 2乃至 1 4の何れかにおいて、 型合わせ工程と 成膜工程とのあいだに、 成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするた めの真空工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 1 6の発明は、 請求項 1 5において、 第二金型に、 成膜空間を真空にす るため真空ポンプに連通される真空流路と、 該真空流路を開閉するための第一の 開閉手段とが設けられ、 真空工程は、 該第一の開閉手段を開放することで実行さ れることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 1 7の発明は、 請求項 1 2乃至 1 6の何れかにおいて、 第二金型には、 第一金型に取り付けられたワークをマスキングするマスキング部があり、 型合わ せ工程でワークがマスキングされるものであることを特徴とする金型を用いた成 膜方法である。

請求項 1 8の発明は、 請求項 1 6または 1 7の何れかにおいて、 第一または第 二金型には、 成膜空間に外気を流入するための外気流入路と、 該外気流入路を開 閉するための第二の開閉手段とが設けられ、 成膜工程と型開き工程との間に、 第 一の開閉手段を閉鎖する第一開閉手段閉鎖工程、 第二の開閉手段を開放する第二 開閉手段開放工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 1 9の発明は、 請求項 1 8において、 外気流入路および第二の開閉手段 は、 成膜されたワークを第一金型から脱型するためのェジェクタ手段に設けられ 、 第二開閉手段開放工程は、 ェジェクタ手段によるワークの脱型に連動して実行 されることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 2 0の発明は、 請求項 1 8において、 外気流入路は第一および第二金型 の型合せ面であり、 第二開閉手段は、 型合わせ工程による型合わせで外気流入路 を閉鎖し、 型開き工程で外気流入路を開放するようにして構成されることを特徴 とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 2 1の発明は、 請求項 1 6乃至 2 0の何れかにおいて、 第二金型には、 真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第三の開閉手段が設け られ、 成膜工程後、 第二開閉手段開放工程までのあいだに第三の開閉手段を閉鎖 する第三開閉手段閉鎖工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である 請求項 2 2の発明は、 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワーク に真空雰囲気下で成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、 該成膜手 段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、 該真空流路を 開閉する第一の開閉手段と、 前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための 第二の開閉手段とが設けられ、 前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型と を型合わせする型合わせ工程、 第二の開閉手段を閉鎖し、 第一の開閉手段を開放 した状態で成膜空間を真空にする真空工程、 第一の開閉手段を開放または閉鎖し 、 第二の開閉手段を閉鎖した状態で成膜手段による成膜をする成膜工程、 第一の 開閉手段を開放または閉鎖した状態で、 第二の開閉手段を開放して成膜空間に外 気を流入する外気流入工程、 型合わせされている金型を型開きする型開き工程が あることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 2 3の発明は、 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワーク に真空雰囲気下で成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、 該成膜手 段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、 該真空流路を 開閉する第一の開閉手段と、 前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための 第二の開閉手段と、 真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第 三の開閉手段とが設けられ、 前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型とを 型合わせする型合わせ工程、 第二の開閉手段を閉鎖し、 第一、 第二の開閉手段を 開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、 第一の開閉手段を開放または閉 鎖し、 第二の開閉手段を閉鎖し、 第三の開閉手段を閉鎖した状態で成膜手段によ る成膜をする成膜工程、 第一の開閉手段を開放または閉鎖し、 第三の開閉手段を 閉鎖した状態で、 第二の開閉手段を開放して成膜空間の第三の開閉手段よりもヮ ーク側空間に外気を流入する外気流入工程、 型合わせされている金型を型開きす る型開き工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。

請求項 2 4の発明は、 真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、 成膜されるヮ ークが組み込まれる第一金型およぴ前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の 型合わせ一型開き作動をするための型作動手段、 成膜手段とワークとのあいだの 成膜空間を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共 に、 前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、 第一の開閉手段に対して 開放作動指令の出力、 成膜手段に対して成膜作動指令の出力、 成膜手段に対して 成膜停止指令の出力、 第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、 型作動手段 に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御部を備えてい ることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。

請求項 2 5の発明は、 真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、 成膜されるヮ 一クが組み込まれる第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の 型合わせ一型開き作動をするための型作動手段、 成膜手段とワークとのあいだの 成膜空間を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共 に、 前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、 第一の開閉手段に対して 開放作動指令の出力、 第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、 成膜手段に 対して成膜作動指令の出力、 成膜手段に対して成膜停止指令の出力、 型作動手段 に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御部を備えてい ることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。

請求項 2 6の発明は、 請求項 2 3乃至 2 5の何れかにおいて、 前記成膜空間に 外気を流入するための外気流路と、 該外気流路の開閉をするための第二の開閉手 段とを備え、 制御部は、 型開き作動指令の出力と同時または該出力の前に第二の 開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設定されていることを特徴 とする金型を用いた成膜制御システムである。

請求項 2 7の発明は、 請求項 2 6において、 真空流路と第二の開閉手段とのあ いだの成膜空間を開閉するための第三の開閉手段が設けられ、 制御部は、 第一の 開閉手段に対する開放作動指令出力と同時または該出力の前に第三の開閉手段に 対して閉鎖作動指令を出力し、 型作動手段に対する型開き作動指令出力と同時ま たは該出力の前に第三の開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設 定されていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。

請求項 1の発明とすることにより、 ワークの成膜が、 第一、 第二金型を用いて 簡単にできることになる。

請求項 2の発明とすることにより、 ワークの成膜が、 該ワークを型形成するた めの金型を有効利用してできると共に、 ワークの成形に続いて成膜されるため、 ワーク表面に指紋がついたり他部材に接触して傷ついたりすることがない状態で の成膜ができることになる。

•請求項 3の発明とすることにより、 成膜手段が組み込まれる第二金型を固定金 型として、 成膜手段から引き出される （接続される） リード線、 配管等の引き出 し物が、 型成型に当たって移動のないものにでき、 繰り返し折り曲げられたりす ることによる繰り返し歪みの発生のないものにできる。 請求項 4の発明とすることにより、 スパッタリングゃ真空蒸着に実施できるこ とになる。

請求項 5の発明とすることにより、 成膜手段の第二金型への組み込みが、 型合 わせ面側からできることになる。

請求項 6の発明にすることにより、 成膜手段の第二金型への組み込みが、 型合 わせ面とは反対側からできることになる。

請求項 7の発明とすることにより、 第二金型自体に真空流路とこれを開閉する 第一開閉手段が設けられたものとなって、 第二金型の簡略化と共に、 第一開閉手 段よりも成膜空間側の体積を、 第一開閉手段を真空ポンプ側に設けた場合のより も小さくできて、 真空状態にするための時間を短縮でき、 作業性の向上が図れる 請求項 8の発明とすることにより、 ワークのマスキングを成膜手段が設けられ る第二金型を有効に利用して行うことができることになる。

請求項 9の発明とすることにより、 真空となった成膜空間に外気を流入した状 態にしての型開きができることになつて円滑かつ穩かな型開きができる。

請求項 1 0の発明とすることにより、 外気の流入を、 成膜されたワークを第一 金型から脱型させるため設けられるェジェクタ一手段を有効に利用してできるこ とになる。

請求項 1 1の発明とすることにより、 成膜空間の真空流路と外気流入路との間 を、 型開き時等において成膜空間の第三開閉手段よりも成膜手段側を真空状態に 維持できることになる。

請求項 1 2の発明とすることにより、 ワークの金型を用いての成膜が簡単にで きることになる。

請求項 1 3の発明とすることにより、 成膜手段が組み込まれる第二金型を固定 金型として、 成膜手段から引き出される （接続される） リード線、 配管等の引き 出し物が、 型成型に当たって移動のないものにでき、 繰り返し折り曲げられたり することによる繰り返し歪みの発生のないものにできる。

請求項 1 4の発明とすることにより、 スパッタリングゃ真空蒸着に実施できる ことになる。 請求項 1 5の発明とすることにより、 スパッタリングや真空蒸着に実施する場 合に、 成膜空間の真空化が容易に果たせることになる。

請求項 1 6の発明とすることにより、 第二金型自体に設けられた真空流路を第 一開閉手段で開閉することができ、 これによつて第二金型の簡略化と共に、 第一 開閉手段よりも成膜空間側の体積を、 第一開閉手段を真空ポンプ側に設けた場合 のよりも小さくできて、 真空状態にするための時間を短縮でき、 作業性の向上が 図れる。

請求項 1 7の発明とすることにより、 ワークのマスキングを成膜手段が設けら れる第二金型を有効に利用して行うことができることになる。

請求項 1 8の発明とすることにより、 成膜時に真空となった成膜空間を、 外気 を流入した状態にして型開きができることになつて円滑かつ穏かな型開きができ る。

請求項 1 9の発明とすることにより、 外気の流入を、 成膜されたワークを第一 金型から脱型させるため設けられるェジヱクタ一手段を有効に利用してできるこ とになる。

請求項 2 0の発明とすることにより、 専用の外気流入路、 第二開閉手段を形成 することなく真空となった成膜空間に外気を流入することができる。

請求項 2 1の発明とすることにより、 成膜空間の真空流路と外気流入路との間 を、 型開き時等において成膜空間の第三開閉手段よりも成膜手段側を真空状態に 維持できることになる。

請求項 2 2または 2 3の発明とすることにより、 ワークを、 成膜空間を真空に し、 成膜をするという一連の成膜工程を連続して実施できることになる。

請求項 2 4または 2 5の発明とすることにより、 ワークの成膜を、 制御部を用 いて自動的に実施することができる。

請求項 2 6の発明とすることにより、 成膜後、 型開きする間において、 真空と なつた成膜空間に外気を流入する制御を自動的に行うことができる。

請求項 2 7の発明とすることにより、 成膜空間の第三開閉手段より成膜手段側 の空間を、 型開きした状態でも真空状態に維持できる制御を自動的に行うことが できる。 · 図面の簡単な説明

第 1図は、 サイドウィンカーの縦断面図である。

第 2図 （A) 〜 （C ) は、 一次射出するまでの工程概略図である。

第 3図 （A) • ( C ) は、 二次の突合せまでの工程概略図である。

第 4図 （A) ' ( C ) は、 燈本体とレンズ部とが対向するまでの工程概略図 でめ 。

第 5図 （A) ■ ( C ) は、 燈体取出しまでの工程概略図である。

第 6図 （A) ( B ) は、 第二の実施の形態の金型部の概略断面図である。 第 7図は、 第二の実施の形態の制御状態を示すプロック回路図である。 第 8図は、 第二の実施の形態の制御工程の一部を示すフローチャート図であ る。

第 9図は、 第二の実施の形態の制御工程における第一の残りの工程を示すフ ローチャート図である。

第 1 0図は、 第二の実施の形態の制御工程における第二の残りの工程を示す フローチヤ一ト図である。

第 1 1図は、 第三の実施の形態の型合わせした金型部の概略断面図である。 第 1 2図 （A) は第三の実施の形態のワークを半脱型した状態の金型部の概 略断面図、 （B ) は垂直型面部の拡大断面図である。

第 1 3図は、 第三の実施の形態の制御状態を示すプロック回路図である。 第 1 4図は、 第三の実施の形態の制御工程を示すフローチャート図である。 発明を実施するための最良の形態

次ぎに、 第 1図〜第 5図の図面の記載に基づいて本発明の第一の実施の形態に ついて説明する。 図面において、 1は可動金型 （第一金型） 、 2は固定金型 （第 二金型） であって、 可動金型 1は、 固定金型 2に対して対向方向に離接移動でき ると共に、 固定金型 2から離間した状態で固定金型 2に対して面に沿う方向の移 動 （平行移動） ができるように構成されているが、 移動機構の詳細については従 来のダイスライドインジェクションに用いた技術をそのまま採用できるのでその 詳細は省略する。 尚、 金型の移動は相対的なものでよいから、 第一金型を固定、 第二金型を移動させるように構成してもよく、 また両者を相対移動するように構 成しても勿論良い。 また移動は、 面に沿う方向の移動であれば、 直線方向の平行 移動に限らず、 軸を中心とする回転移動であっても良いものである。 そしてこれ ら金型の移動制御の例については後述する。

前記可動金型 1には、 燈本体 （本発明の 「ワーク」 に相当する） 3の外側面を 形成するための凹型面 1 aとレンズ部 4の内側面を形成するための凸型面 1 bと がそれぞれ形成される一方、 固定金型 2には、 前記燈本体 3の内側面を形成する ための凸型面 2 aとレンズ部 4の外側面を形成するための凹型面 2 bとがそれぞ れ形成されると共に、 さらに成膜手段 （装置） として本実施の形態で採用の真空 蒸着装置 5を収容 （内装） するための凹型面 2 cが形成されているが、 該凹型面 2 cは、 燈本体 3の内側面形成用の凸型面 2 aとレンズ部 4の外側面形成用の凹 型面 2とのあいだに形成されている。 前記真空蒸着装置 5は公知のものが設けら れるが、 その概略として、 真空ポンプ Pに第一開閉バルブ 6 aを介して接続され る真空流路 6、 蒸着する金属 （例えばアルミニウムやクロム） を入れるボート （ ターゲット） 7、 該ボート 7を加熱するためのヒータ 8とを備えて構成されてい る。

燈体 9は、 本実施の形態ではサイドウインカ一であって、 端子 1 0、 バルブ （ 電球） 1 1が必要部品として組込まれ、 不透光樹脂材で成形される燈本体 3と、 透光性 （透明） 樹脂材から成形されるレンズ部 4とからなり、 後述するように、 一次射出の工程でこれら燈本体 3、 レンズ部 4とを成型した後、 可動型 1を移動 させ （ダイスライド） て燈本体 3、 レンズ部 4とを突き合わせ、 その突き合わせ 面部に榭脂材 1 2を二次射出することによって一体化して燈体 9を成形するよう になっている。

次に、 燈体 9の製造方法について、 図面を用いて説明する。 第 2図 （A) は、 両金型 1、 2について、 燈本体 3を形成する型面 1 a、 2 a同志、 レンズ部 4を 形成する型面 l b、 2 b同志がそれぞれ互いに離間した状態 （型開きした状態） で対向しており、 この離間状態から可動金型 1を固定金型 2側に移動して前記対 向する型面同志が型合わせされる （一次の突き合わせ工程：第 2図 （B ) 参照） 。 この型合わせ状態で、 一次の射出が行われて燈本体 3とレンズ部 4とがそれぞ れ射出成形される （一次の射出工程：第 2図 （C ) 参照） 。

しかる後、 第 3図 （A) に示すように、 可動金型 1が固定金型 2から離型 （型 開き） する方向に移動する離型 （型開き） 工程が実行されるが、 このとき、 可動 金型 1側に燈本体 3が脱型されずに支持され （残り） 、 固定金型 2側にレンズ部 4が脱型されずに支持される （残る） ように型設計されている。 次いで可動型 1 は、 燈本体 3が真空蒸着装置 5と対向するよう平行移動 （第 3図 （B) 参照） し た後、 固定金型 2側に移動して型合わせ状態となり （二次の型合わせ工程：第 3 図 （C) 参照） 、 凹型面 2 c内と燈本体 3との対向間に形成される成膜空間 Sが 外気と封止される。

そして前記平行移動をする前、 あるいは後の両金型 1、 2が離間している状態 において、 真空蒸着をしたくない部所、 ここでは燈本体 3の端子 1 0やバルブ 1 1の揷入部 3 aをマスキングする （覆う） ためのマスキング部材 （覆い部材） 1 3が燈本体 3に組み込まれる （差し込まれる） （マスキング部材組込み工程） が 、 本実施の形態では、 平行移動する前の段階でマスキング部材 1 3を組込むよう になっている。 また、 真空蒸着装置 5の本体を内装する凹型面 2 cの開口側周縁 部 2 dは、 燈本体 3のレンズ部 4との突き合わせ面 3 bをマスキングしここが真 空蒸着されないようように型設計されている。

前記燈本体 3と真空蒸着装置 5とが対向した型合わせ状態となって封止状の成 膜空間 Sが形成された後、 第一開閑バルブ 6 aを開放して該成膜空間 S内の空気 が真空流路 6から抜かれて成膜空間 6を内部を真空状態にし、 この状態で、 加熱 したヒータ 8によりボート 7に供給される溶融した金属が蒸気化することになつ て燈本体 3の露出する内面が真空蒸着されて反射面 1 4が （成膜） される （成膜 (反射面） 形成工程：第 4図 （A) 参照） 。 次いで成膜終了後、 可動金型 1を固 定金型 2から離間 （型開き） させた （第 4図 （B ) 参照） 後、 可動金型 1を固定 金型 2に対して平行移動させて燈本体 3とレンズ部 4とを対向させる （第 4図 （ C ) 参照） 。 因みに、 前記可動金型 1を平行移動させる前後において、 マスキン グ部材 1 3を取り去る取り去り工程、 必要部品である端子 1 0、 バルブ 1 1を組 み込む組み込み工程が実行されるが、 本実施の形態では、 平行移動させる前の離 間移動が終わった工程で前記取り去り工程、 組み込み工程が実行される。 また、 成膜空間 sは真空状態となっているが、 成膜空間 Sは小さいため、 可動金型 1の 型開き作動の作動力によつて型開きをし、 成膜空間 sに外気が流入するようにな つている。

しかる後、 可動金型 1を固定金型 2側に移動させて燈本体 3とレンズ部 4とを 突合せ （三次の突き合わせ工程：第 5図 （A) 参照） 、 燈本体 3とレンズ部 4と の突き合わせ面に樹脂材 1 2を二次射出し （二次の射出工程：第 5図 （B ) 参照 ) 、 これによつて燈本体 3とレンズ部 4とが一体化され、 反射面 1 4が形成され た燈体 9となる。 そして可動金型 1が固定金型 2から離間し、 あわせて前記成型 された燈体 9の取り出し （脱型） （第 5図 （C ) 参照） があり、 しかる後、 可動 金型 1が第 2図 （A) の最初の位置まで平行移動し、 以降、 この工程が繰り返さ れるようになっている。

叙述の如く構成された本発明の実施の形態において、 燈体 9を製造するに際し 、 燈本体 3、 レンズ部 4を形成する一次の射出成形の工程と、 該燈本体 3、 レン ズ部 4とを一体化するための二次の射出工程とのあいだに、 燈本体 3の内面に反 射面 1 4を形成する成膜工程を設けた結果、 従来のように、 一旦、 金型から取り 出した燈本体 3に反射面を成膜し、 しかる後、 再び金型にセットしなければなら ない従来の場合のように、 燈本体 3の取り出し、 再セッ トの作業が不要になって 一連のダイスライドの工程で燈本体 3の製造と反射面の成膜とができ、 作業能率 が向上する。 しかも燈本体 3の取り出し、 再セットがないため、 反射面 1 4を手 でさわって指紋がついたり物が当つて傷がついたりすることもなく、 不良品発生 を大幅に低減できることになる。

しかもこのものでは、 前記成膜工程において燈本体 3は表面 （第一金型 1に覆 われている面） が第一金型 1に対して脱型されることなく支持されたままの目隠 し状態であるため、 該燈本体 3の表面 （製品となった場合の表面） は第一金型 1 自体がマスキング部材となって機能し、 燈本体 3の表面が成膜されてしまうこと がない。 さらにこのものでは、 真空蒸着装置 5の本体が収容される凹型面 2 cが 固定金型である第二金型 2に形成されるため、 真空蒸着装置 5は固定されたもの となって、 可動金型 1側に設けた場合のように、 真空蒸着装置 5に設けられるポ ンプ配管や配線等について移動を考慮した構成にする必要はなく、 構造の簡略化 と共に耐久性の向上が図れることになる。

さらにまた、 このものでは反射面を成膜したくない部位、 つまり端子 1 0とバ ルブ 1 1の取付け部 3 aに金属膜の反射面を成膜すると、 絶縁性が損なわれて回 路が短絡してしまうことになり、 そこでこの部分をマスキング部材 1 3で塞いで から反射面 1 4を形成するようにしたため、 前記短絡という問題のない燈体 9と なる。 しかもこのものでは、 反射面 1 4を形成後、 塞ぎ部材 1 3を取り除いてか ら端子 1 0、 バルブ 1 1を組込むことになるので、 一連のダイスライドの工程で 成膜も含めた全ての製造作業が円滑に実行され、 効率の良い燈体 9の製造ができ る。

さらにまた、 燈体 9は、 燈本体 3とレンズ部 4との突き合わせ部を二次の射出 工程で接合 （接着） することになるが、 燈本体 3の成膜時においてこの接合部位 は蒸着装置 5本体を収容する凹型面 2 cの開口側周縁部によってマスキングされ ていて反射面が成膜されることがない。 この結果、 第一金型 1の脱型で露出する 部分のマスキングを、 前記専用のマスキング部材 1 3を用いる必要がなく、 第二 金型 2を用いてマスキングすることができ、 二次の射出工程で射出される部位が 成膜されてしまうことがなく、 燈本体 3とレンズ部 4との接着が確実となって作 業の効率化が図れることになる。

また、 固定金型 2に形成される蒸着装置 5の本体を収容する凹型面 2 cは、 燈本 体 3とレンズ部 4とを形成するための型面 2 a、 2 bのあいだにあるため、 一次 の射出工程から反射面形成工程への可動金型 1の移動方向と、 反射面形成工程か ら二次の射出工程への可動金型 1の移動方向とが同じ方向となる結果、 ダイスラ ィド機構の構成を簡略化できるという利点がある。

尚、 本発明は前記実施の形態に限定されないものであって、 成膜は、 鏡状面等 の反射面に限定されないものであつて塗装等の成膜であっても良く、 さらに成膜 手段としては、 真空蒸着装置に限定されず、 例えば真空蒸着装置に限定されず、 例えばスパッタリング蒸着等の物理蒸着法 （P V D ) 、 熱蒸着やプラズマ蒸着等 の化学蒸着法 （C V D ) 等、 通常知られた各種の成膜装置を採用することができ る。 また、 燈体等の成型体である場合、 端子やバルブ等の付属品は成型後に後付 けするタイプのものとすることもできる。 さらにまた、 成膜手段において、 ター ゲットである金属の種類 （例えば銅、 アルミニウム、 ニッケル等） や真空度、 さ らには充填ガスの種類によって成膜した膜の色を変えることもできる。

また本発明は、 成型工程としては射出成型により実施するようにしたが、 これ に限定されず、 型成型するものとして例えばプレス成型、 ブロー成型等の通常知 られた型成型に対して実施することができる。 さらにまた、 完成品が燈体である 場合を例として説明すると、 該燈体を、 前記実施の形態のように最後まで連続成 形するのではなく、 燈本体 3に鏡状面 1 4を成膜した半製品までの成型について 実施し、 該成型されたものを脱型して部品として用いるようにするものにも実施 することができる。 さらにまた、 成膜手段としては、 鏡状面となる面を形成する 金型と同じ金型に設けたものではなく、 別の金型に設けたものとしても実施する ことができる。

また、 金型としては、 前記実施の形態では第一、 第二の二つの金型を用いたも のとして説明したが、 形状が複雑な成型体で、 二つの金型では成型できないよう な成型体を型成型するものであるような場合、 第三、 第四の金型等、 必要におい て金型の数を増やすことができ、 この場合において、 少なくとも一つの金型でマ スキングするように構成することで本発明を実施できることは言うまでもない。 さらに本発明の第二の実施の形態について第 6図〜第 1 0図を用いて説明する 。 ここでは、 可動金型である第一金型 1 5に組み込まれたワーク （成型品） 1 6 の露出面に、 固定金型である第二金型 1 7に組み込まれたスパッタリング装置 1 8を用いて膜面 1 9を成膜するものであり、 その制御手順について併せて説明す る。

前記第一金型 1 5にはワーク 1 6を組み込み支持するための型面 1 6 aが形成 される一方、 第二金型 1 7には、 不活性ガスとしてアルゴンを採用したスパッタ リング装置 1 8を組み込むための貫通孔 1 7 aが開設され、 該貫通孔 1 7 aの外 側から挿入されたスパッタリング装置 1 8は、 緊締ボルト 1 8 aを介して第二金 型 1 7に封止状に取り付けられている。 この場合において、 前記第一金型 1 5は 、 第一の実施の形態の第一金型 1のようにワーク （燈本体） 1 6を型形成するも のとし、 そしてその型面 1 5 aを第一の実施の形態の型面 1 aのようにすること ができる。 そして前記第一金型 1 5は、 油圧シリンダ等のァクチユエータを作動 用ァクチユエータ 2 0として型締め一型開きの作動をするように設定されている 一方、 第二金型 1 7と第一金型 1 5との型合わせ状態で、 スパッタリング装置 1 8とワーク 1 6とのあいだに成膜空間 Xが形成されている。 第二金型 1 7には 、 前記スパッタリング装置 1 8よりもワーク 1 6側に、 真空ポンプ 1 9と連通連 結するため筒状になっていて、 真空ポンプ Pに接続する真空流路 2 1が穿設され ている。 さらにこのものでは、 前記真空流路 2 1を開閉するための第一の開閉バ ルブ （本発明の第一の開閉手段に相当する） 2 2が設けられるが、 該第一開閉パ ルブ 2 2は、 本実施の形態では電磁弁方式、 油圧パイロット弁方式等、 汎用のも のを採用できるので、 その具体的構造については省略するが、 ここでは電磁ソレ ノィドまたはパイロット弁切換手段等の作動手段を第一開閉バルブ 2 2の開閉作 動をするものが第一ァクチユエータ 2 3として採用しているとして以降説明する さらに第二金型 1 7には、 前記真空流路 2 0よりも第一金型 1 5側 （ワーク側 ) に位置して外気に連通する外気連通路 2 4が開設されると共に、 該外気連通路 2 4を開閉する第二の開閉バルブ 2 5が設けられ、 さらに該外気連通路 2 4と真 空流路 2 0との間に成膜空間 Xを開閉するための第三の開閉バルブ 2 6が設けら れているが、 これら第二、 第三の開閉バルブ 2 5、 2 6についても第一開閉バル ブ 2 2と同じく、 電磁ソレノィドまたはパイロット弁切換手段等の作動手段を第 二、 第三の開閉バルブ 2 5、 2 6の開閉作動をするものとして第二、 第三の第一 ァクチユエータ 2 7、 2 8を採用しているとして以降説明する。 尚、 第二金型 1 7には、 図 6 ( B ) に示すようにワーク 1 6の周縁部をマスキングするためのマ スキング部 1 7 bが形成されている。

2 9はマイク口コンピュータ等の各種部材装置を用いて構成される制御部であ つて、 該制御部 2 9は、 前記各ァクチユエータ 2 0、 2 3、 2 7、 2 8に対して 後述するように対応する制御指令を出力することになるが、 制御部 2 9には、 ヮ ーク 1 6が第一金型 1 5に組み込まれているか否かを検知するワーク組み込み検 知センサ 3 0、 第二金型 1 7が第一金型 1 5に対して型合わせ位置か型開き位置 の何れの位置にいるかを検知する型状態検知センサ 3 1、 前記第一〜第三の開閉 バルブ 2 3、 2 7、 2 8の開閉検知をそれぞれする第一〜第三の開閉検知センサ 3 2、 3 3、 3 4、 成膜空間 Xが成膜条件 （成膜雰囲気） に達成したか否かを検 知する成膜条件達成検知センサ 3 5からの検知信号がそれぞれ入力するようにな つている。

ここでワーク組み込み検知センサ 3 0は、 例えばワーク 1 6について、 前記第 一の実施の形態のように一連の成型工程で成型と成膜とをするものであれば、 成 型工程を実行したか否かを認識し、 実施したことの判断により検知するものとす ることができ、 また、 別途成型したワーク 1 6を第一金型 1 5に組み込むもので ある場合、 あるいは前記型成型で成型したワーク 1 6にマスキング部材を組み込 むものである場合に、 第一金型 1 5に組み込まれたワーク 1 6を直接検知すべく 第一金型 1 5に直接センサを設けてもよいが、 ワークやマスキング部材の組み込 み装置を、 例えば組み込みアームを備えたロボット （図示しない） で構成し、 該 組み込みアームにワーク 1 6の存否を検出する検出センサを設け、 ワーク 1 6が 第一金型 1 5に組み込まれているか否かの検知をするようにしても実施すること ができる。

また、 型状態検知センサ 3 1は、 例えば第一金型 1 5が型合わせ位置と型開き 位置の何れに位置するかを検知する検知センサ （二点位置検知センサ） として実 施することができるが、 これら各位置を各別に検知する各専用のセンサを用いて も実施することができる。

さらにまた、 開閉検知センサ 3 2、 3 3、 3 4は、 対応する各作動用ァクチュ エータ 2 3、 2 7、 2 8が開閉何れの状態にあるかの検知をするセンサを用いて 実施することができる。 またさらに、 成膜条件達成検知センサ 3 5は、 成膜空間 Xが成膜するに必要な真空状態に達したか否かの判断をするもので、 例えば真空 流路 2 1 (第一開閉バルブ 2 2よりも真空ポンプ P側であっても成膜空間 X側の 何れであってもよい） 、 該真空流路 2 1から真空ポンプ Pに至るまでの管路 2 1 a等に設けられた気圧計 （真空度を検出できるもの） を用いて実施することがで きる。 尚、 真空ポンプ Pは、 本実施の形態においてはスィッチ始動により常時駆 動しているものとするが、 例えば後述する成膜制御工程時のみ駆動するように制 御しても勿論よレ、。

次に、 制御部 2 9による成膜制御工程について、 第 7図に示す制御のブロック 回路図、 第 8図〜第 1 0図のフローチャート図を用いて第二の実施の形態につい て説明する。 図面において、 制御部 2 9は、 電源投入をしてシステムスタートが 実行され、 必要なデータを読み込む、 ァクチユエータを初期状態にセットする等 の初期作業を実行する初期設定がなされる。 この実施の形態において初期状態で は、 第一金型作動用ァクチユエータ 2 0は型開き状態、 第一、 第三開閉バルブ作 動用ァクチユエータ 2 3、 2 8は閉鎖状態、 第二開閉バルブ作動用ァクチユエ一 タ 2 7は開放状態となるよう初期制御されるものとする。

そして成膜制御工程において、 まず制御部 2 9は、 ワーク 1 6が第一金型 1 5 に組み込まれてレ、るか否かの判断をワーク組み込み検知センサ 3 0からの検知信 号により実行する。 そして制御部 2 9は、 ワーク 1 6が組み込まれていると判断 した場合に、 第一金型作動用ァクチユエータ 2 0に対し型合わせ作動すべく制御 指令を出力し、 そして第一金型 1 5が型合わせ位置に位置したことを型状態検知 センサ 3 1が検知すると、 第二開閉バルブ用ァクチユエータ 2 7に対して閉鎖の 制御指令を出力し、 これに対応して第二開閉パルプ開閉検知センサ 3 3が第二開 閉バルブ 2 5の閉鎖信号を入力する。 しかる後、 第一、 第三開閉バルブ作動用ァ クチユエータ 2 3、 2 8に対して開放制御指令を出力して成膜空間 Xを真空ボン プ Pに連通して全成膜空間 Xを真空にすると共に、 該成膜空間 Xが真空になった か否かを成膜条件達成検知センサ 3 5によつて検知される。

尚、 第二開閉パルブ用ァクチユエータ 2 7に対する閉鎖制御指令の出力は、 前 記型合わせ工程の前でも良いが、 本実施の形態のように型合わせ工程の後とする ことで、 型合わせ工程時において封止される成膜空間 X内の圧力を大気圧状態に することができ、 このようにすることで、 型合わせ工程の前に閉成した場合のよ うに、 型合わせの最終段階で殆んど封止状になったものをさらに強く型合わせす して成膜空間 Xの体積を小さくすることで成膜空間 X内の気圧が大気圧より高く なってしまい、 真空工程で真空にするための時間が長くなつてしまうことを回避 できるという利点がある。

第 9図、 第 1 0図に成膜条件に達した以降の制御について、 二つの実施の形態 の制御手順を示すが、 まず、 第 9図に示す実施の形態のものは、 成膜装置 1 8に 対して成膜作動の制御指令を出力し、 成膜作動を実行する。 この成膜工程は、 例 えば、 成膜が完了する時間として予め設定される成膜時間のあいだ実行された後 、 停止するよう制御される。 しかる後、 第一、 第三開閉バルブ用ァクチユエータ 2 3、 2 8に対して閉鎖作動指令を出力し、 これら第一、 第三の開閉バルブ 2 2 、 2 6が閉鎖したことを各対応する第一、 第三の開閉検知センサ 3 2、 3 4によ つて検知されると、 第二開閉バルブ作動用ァクチユエータ 2 7に対して開放作動 指令が出力され、 該第二開閉バルブ 2 5が開放したことを第二開閉検知センサ 3 3が検知すると、 第一金型作動用ァクチユエータ 2 0に対して型開き作動の制御 指令が出力される。 そして型開き検知が型状態検知センサ 3 1によって検知され ることで一連の成膜工程が終了し、 成膜 1 9されたワーク 1 6の取り出しの工程 や、 前記第一の実施の形態のようにさらなる型成型の工程に移り、 これら工程を 終了後、 前記初期設定が終了した初期制御状態に復帰するよう制御される。 このように制御した実施の形態とすることにより、 金型 1 5、 1 7を用いての ワーク 1 6に対する成膜を、 一連の制御工程によって連続して行うことができ、 しかもこの工程を繰り返し反復して実行することも現実できることになつて成膜 作業の簡略化が達成される。 そしてこのものでは、 型開き工程の前工程において 第一、 第三の開閉パルプ 2 6を閉じると共に、 第二の開閉バルブ 2 5を開放する ようになつているため、 前記型開き工程において、 成膜装置 1 8と第三の開閉バ ルブ 2 6とのあいだの成膜装置 1 8側の成膜空間 Xは真空状態に維持される一方 で、 型開きされる第三開閉バルブ 2 6とワーク 1 6との間のワーク側の成膜空間 Xは外気が流入して大気圧状態になる結果、 型開き作動するに際し、 前記第一の 実施の形態のように真空状態下での強制的な型開き作動を必要とすることがなく 、 大気条件下での円滑で穏かな型開きがなされることになる。

しかも該型開きをした場合に、 成膜装置 1 8と第三の開閉バルブ 2 6とのあい だの成膜装置側の成膜空間 Xは真空状態に維持されるため、 次回の成膜作業をす るに当たり、 第三開閉パルプ 2 6とワーク 1 6との間のワーク側成膜空間 X分の 空気を吸引して真空状態にすればよいから、 全成膜空間 Xを成膜条件にするため の真空工程が短時間で行われることになって作業性が向上するという利点がある そしてこのように実施する場合、 本実施の形態では、 第三の開閉バルブ 2 6に より、 少なくとも型開き工程から型合わせ工程に至るまでのあいだ、 前記成膜装 置 1 8側成膜空間 Xを閉鎖するものであるため第一開閉バルブ 2 2を不要とする ことができるが、 作業開始の段階において、 型合わせを行うまでの段階で、 第一 開閉バルブ 2 2を閉鎖した状態で予め真空ポンプ Pを作動させておけば、 第一開 閉バルブ 2 2から真空ポンプ Pまでの流路を予め真空状態にしておくことができ 、 このようにすることで、 真空工程では、 第一開閉バルブ 2 2よりも成膜空間 X 側の真空量路 2 1と該成膜空間 Xとを真空にするだけでよいことになつて真空ェ 程の短時間かを達成できる。 そして最初の成膜工程が終了した後は、 第一開閉パ ルプ 2 2は開放したままに制御するようにしても良いことになる。

次に、 第 1 0図に示す実施の形態のものは、 成膜工程の前段階で第一開閉バル ブ 2 2を閉鎖制御するようにした点で前記実施の形態のものとは相違するもので あり、 このようにすることで、 成膜工程時、 第一開閉バルブ 2 2が閉鎖している ことになつて、 成膜空間 Xが、 真空ポンプ Pの吸引作動により発生する脈動の影 響を受けることがなくなって、 静止空間での成膜がなされ、 より均一で精度のよ い成膜ができるという利点がある。

尚、 本発明は、 第 1 1図、 第 1 2図に示す第三の実施の形態のように第三の開 閉バルブ 2 6のないものとしても実施することができるが、 このようにした場合 には、 型開き工程等において全成膜空間 Xに外気が流入することになつて、 前記 実施の形態のものに対して真空工程において成膜条件達成 （真空状態達成） まで の時間が長くなるという点で若干劣るが、 成膜空間 Xが小さいものにおいては殆 んど問題にならないものである。

前記第三の実施の形態のものは、 第一金型 3 6、 第二金型 3 7を備えたもので あり、 そして該第二金型 3 7に、 第三の開閉バルブ 2 6がない点に加えて、 ヮー ク 1 6の周縁をマスキングするマスキング部がない点で第二の実施の形態のもの と相違する。 そしてこのものは、 第一金型 3 6に、 前記第一、 第二金型では記載 を省略したェジヱクタ一体 （ェジェクタ一手段） 3 8が設けられていて、 成膜ェ 程後、 型開きの前または型開きと同時に、 ェジヱクタ一体 3 8が型面から突出し て成膜されたワーク 1 6を第一金型 3 6から脱型するものであるが、 このェジヱ クタ一体 3 8を出没自在に揷通する揷通路 3 9に外気流入路 4 0を形成しておく 。 そしてこの場合において、 ェジェクタ一体 3 8が没入した非脱型姿勢では前記 外気流入路 4 0は封止されていて成膜空間 Xへの外気流入は阻止されるが、 突出 してェジェクタ一体 3 8がワーク 1 6の仮脱型姿勢となると同時に外気流入路 4 0を開放して真空となつた成膜空間 Xに外気を流入するようになっており、 この ようにしても実施することができる。 尚、 ェジェクタ一体 3 8は、 ワーク 1 6を 完全に脱型しても良いが、 この場合にはワーク 1 6が第一金型 3 6に対してフリ 一になるため、 型開き時等において、 第一金型 3 6からのワーク 1 6の脱落とい う問題がある。 そこでワーク 1 6が第一金型 3 6に対して半脱型、 つまり完全に 脱型する以前であってワーク 1 6の一部が第一金型 3 6に残っていてワーク 1 6 が第一金型 3 6から脱落することがない仮支持状態、 つまり半脱型状態にするこ とで、 型開き時、 ワーク 1 6の脱落回避ができるという利点があり、 本実施の形 態ではこの半脱型作動、 そして取り出し時の本脱型作動を行うものとすることが できる。

因みに、 第一金型 3 6のワーク 1 6を支持する垂直型面 3 6 a、 3 6 bがある 場合に、 該垂直型面 3 6 a、 3 6 bに、 ワーク 1 6を脱型しやすいよう型開口端 側ほど広くなるよう僅かではあるがテーパ （抜きテーパ） を存するように形成す ることが型成型の分野において一般に行われており （第 1 2図 （B ) 参照） 、 そ してこの場合、 前記半脱型をすることで、 このテーパ面とワーク 1 6とのあいだ にできる僅かな隙間 Yが外気流入路となって外気の流入が果たされることになる という利点がある。 尚、 成膜空間 X内の気圧は、 型開き時、 必ずしも大気圧にす る必要はなく、 外気の流入はあるものの大気圧よりは低い気圧状態であれば、 型 開き時の作動負荷の軽減に寄与することはいうまでもない。

そしてこのようにしたものでは、 第二の実施の形態のように専用の外気流入路 や第二開閉バルブを設ける必要がなく、 ェジェクタ一体 3 8とこれを出没させる ため設けられる貫通路 3 9を有効に利用して外気の流入制御ができることになる という利点があり、 都合が良い。

ここで、 第 1 3図、 第 1 4図にェジェクタ一体 3 8を用いた場合のブロック回 路図、 フローチャート図を示す。 このものは、 制御部 4 0に、 第二の実施の形態 と同じワーク組み込み検知センサ 3 0、 型状態検知センサ 3 1、 第一開閉パルプ 開閉検知センサ 3 2、 成膜状態検知センサ 3 5のほかに、 ェジェクタ一体 3 8の 姿勢を検知するェジ クタ一姿勢検知センサ 4 1からの検知信号が入力するよう になっている一方、 第一金型作動用ァクチユエータ 2 0、 第一開閉バルブ作動用 ァクチユエータ 2 3、 成膜装置 1 8のほかに、 ェジェクタ一作動用ァクチユエ一 タ 4 2に対して対応する制御指令を出力するようになっている。

ここにおいて、 ェジ工クタ一姿勢検知センサ 4 1は、 ェジェクタ一体 3 8自体 の出没移動の検知をするもので構成しても良いが、 ェジェクタ一体 3 8の前記作 動用ァクチユエータ 4 2に対して出力される制御信号を読み取って姿勢判断する ものとしても実施することができる。

第 1 4図において、 システムスタートがなされ、 初期設定が実行されると、 ヮ ーク組み込み検知センサ 3 0によってワーク 1 6が組み込まれているか否かの信 号が入力し、 組み込まれているとの検知信号が制御部 4 0に入力すると、 制御部 4 0は、 第一金型作動用ァクチユエータ 2 0に対して型合わせ制御指令を出力す ると共に第一金型 ₃ 6が型合わせ状態になっているか否かの判断を金型状態検知 センサ 3 1によってなされる第一金型 3 6の型合わせ制御が実行される。 そして 第一金型 3 6が型合わせされたと判断されると、 第一開閉バルブ作動用ァクチュ エータ 2 3に対して開放指令信号が出力され、 該第一開閉バルブ 2 2が開放した との検知信号が第一開閉バルブ開閉検知センサ 3 2から制御部 4 0に入力すると 共に、 成膜条件達成検知センサ 3 5により成膜空間 Xが真空状態、 つまり成膜条 件に達成したか否かの判断がなされる。 そして、 成膜条件に達成したとの判断が なされると、 成膜装置 1 8に対して成膜作動制御の指令を予め設定した成膜時間 のあいだ出力し、 該時間の経過に伴い成膜を停止する成膜作動制御が実行された 後、 第一開閉バルブ作動用ァクチユエータ 2 3に対して閉鎖指令信号が出力され 、 該第一開閉バルブ 2 2が閉鎖したとの検知信号が第一開閉バルブ開閉検知セン サ 3 2から入力する第一開閉バルブ 2 2の閉鎖制御が実行される。

このように、 ワーク 1 6に成膜がなされ、 第一開閉バルブ 2 2が閉鎖状態にな つた後、 ェジヱクタ一作動用ァクチユエータ 4 2に対し半脱型姿勢とする制御指 令を出力し、 これがェジェクタ一姿勢検知セン 4 1によって検知された検知信 号が入力して成膜空間 Xに外気が流入したことが認識されると、 第一金型作動用 ァクチユエータ 2 0に対して型開き指令が出力されて該型開き作動が実行され、 型開き検知が型状態検知センサ 3 1によつて検知されることで一連の成膜工程が 終了し、 さらにェジヱクタ一体 3 8を突出させてワーク 1 6を第一金型から脱型 させて取り出しする取り出し工程等の次工程制御が実行されるようになっている 。 因みに、 次工程作業がワーク 1 6の取り出しである場合、 取り出しロボットを 前記半脱型されたワーク 1 6に当てがい、 この状態でェジェクタ一体 3 8をさら に突出させて完全な脱型姿勢としたものを取り出しロボットでキャッチする等し て取り出すことで、 ワーク 1 6の第一金型 3 6からの脱落を回避できることにな る。

このように実施した第三の実施の形態のものでは、 成膜したワーク 1 6を取り 出すために設けられるェジェクタ一体 3 8とその揷通路 3 9を有効に利用して真 空となった成膜空間 Xに外気を流入できることになって金型構造を簡略ができる という利点がある。

そしてこのものでは、 外気流入路とその開閉手段がェジヱクタ一手段を有効に 利用してできる、 という利点があるが、 外気流入路とその開閉手段を第一金型に 形成しても実施できるこはいうまでもない。 産業上の利用可能性

本発明は、 車両等に搭載されるフロントランプ、 ウィンカー （サイドウィン力 一を含む） 、 テールランプ等を含んだ各種の成型体 （ワーク） を成膜するための 金型、 該金型を用いた成膜方法および成膜制御システムとして有用である。

Claims

請 求 の 範 囲

成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワークに成膜するための成 膜手段が組み込まれる第二金型とを備えて構成されることを特徴とする成膜 用金型。

請求項 1において、 第二金型は、 ワークを成型するための金型であることを 特徴とする成膜用金型。

請求項 1または 2において、 第一金型が可動型、 第二金型が固定型であるこ とを特徴とする成膜用金型。

請求項 1乃至 3の何れかにおいて、 成膜手段は、 スパッタリング装置または 真空蒸着装置であることを特徴とする成膜用金型。

請求項 1乃至 4の何れかにおいて、 成膜手段は第二金型に形成した有底筒状 の凹穴に設けられ、 成膜手段とワークとのあいだに成膜空間が確保されるも のであることを特徴とする成膜用金型。

請求項 1乃至 4の何れかにおいて、 成膜手段は、 第二金型に設けた貫通孔を 気密状に封止するようにして設けられ、 成膜手段とワークとのあいだに成膜 空間が確保されるものであることを特徴とする成膜用金型。

請求項 1乃至 6の何れかにおいて、 第二金型には、 成膜空間を真空にするた めの真空流路と、 該真空流路を開閉するための第一の開閉手段とが設けられ ていることを特徴とする成膜用金型。

請求項 1乃至 7の何れかにおいて、 第二金型には、 第一金型に取り付けられ たワークをマスキングするためのマスキング部があることを特徴とする成膜 用金型。

請求項 1乃至 8の何れかにおいて、 第一または第二金型には、 成膜空間に外 気を流入するための外気流入路と、 該外気流入路を開閉するための第二の開 閉手段とが設けられていることを特徴とする成膜用金型。

. 請求項 9において、 外気流入路および第二の開閉手段は、 成膜されたヮー クを第一金型から脱型するためのェジェクタ手段に設けられていることを特 徴とする成膜用金型。

. 請求項 9または 1 0において、 第二金型には、 真空流路と外気流入路との あいだに位置して成膜空間の開閉をする第三の開閉手段が設けられているこ とを特徴とする成膜用金型。

. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワークに成膜するための 成膜手段が組み込まれる第二金型とを型合わせする型合わせ工程、 ワークに 成膜をする成膜工程、 第一、 第二金型を型開きする型開き工程を少なくとも 順次有することを特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 2において、 第一金型が可動型、 第二金型が固定型であることを 特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 2または 1 3において、 成膜手段は、 スパッタリング装置または 真空蒸着装置であることを特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 2乃至 1 4の何れかにおいて、 型合わせ工程と成膜工程とのあい だに、 成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空工程 があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 5において、 第二金型に、 成膜空間を真空にするため真空ポンプ に連通される真空流路と、 該真空流路を開閉するための第一の開閉手段とが 設けられ、 真空工程は、 該第一の開閉手段を開放することで実行されること を特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 2乃至 1 6の何れかにおいて、 第二金型には、 第一金型に取り付 けられたワークをマスキングするマスキング部があり、 型合わせ工程でヮー クがマスキングされるものであることを特徴とする金型を用いた成膜方法。. 請求項 1 6または 1 7の何れかにおいて、 第一または第二金型には、 成膜 空間に外気を流入するための外気流入路と、 該外気流入路を開閉するための 第二の開閉手段とが設けられ、 成膜工程と型開き工程との間に、 第一の開閉 手段を閉鎖する第一開閉手段閉鎖工程、 第二の開閉手段を開放する第二開閉 手段開放工程があることを特徴とする金型を用いた成 B莫方法。

. 請求項 1 8において、 外気流入路および第二の開閉手段は、 成膜されたヮ ークを第一金型から脱型するためのェジェクタ手段に設けられ、 第二開閉手 段開放工程は、 ェジェクタ手段によるワークの脱型に連動して実行されるこ とを特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 8において、 外気流入路は第一および第二金型の型合せ面であ り、 第二開閉手段は、 型合わせ工程による型合わせで外気流入路を閉鎖し、 型開き工程で外気流入路を開放するようにして構成されることを特徴とする 金型を用いた成膜方法。

. 請求項 1 6乃至 2 0の何れかにおいて、 第二金型には、 真空流路と第二開 閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第三の開閉手段が設けられ、 成膜ェ 程後、 第二開閉手段開放工程までのあいだに第三の開閉手段を閉鎖する第三 開閉手段閉鎖工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワークに真空雰囲気下で 成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、 該成膜手段とワークと のあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、 該真空流路を開閉する 第一の開閉手段と、 前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための第二 の開閉手段とが設けられ、 前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型と を型合わせする型合わせ工程、 第二の開閉手段を閉鎖し、 第一の開閉手段を 開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、 第一の開閉手段を開放また は閉鎖し、 第二の開閉手段を閉鎖した状態で成膜手段による成膜をする成膜 工程、 第一の開閉手段を開放または閉鎖した状態で、 第二の開閉手段を開放 して成膜空間に外気を流入する外気流入工程、 型合わせされている金型を型 開きする型開き工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。

. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、 該ワークに真空雰囲気下で 成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、 該成膜手段とワークと のあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、 該真空流路を開閉する 第一の開閉手段と、 前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための第二 の開閉手段と、 真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第 三の開閉手段とが設けられ、 前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型 とを型合わせする型合わせ工程、 第二の開閉手段を閉鎖し、 第一、 第三の開 閉手段を開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、 第一の開閉手段を 開放または閉鎖し、 第二の開閉手段を閉鎖し、 第三の開閉手段を開放した状 態で成膜手段による成膜をする成膜工程、 第一の開閉手段を開放または閉鎖 し、 第三の開閉手段を閉鎖した状態で、 第二の開閉手段を開放して成膜空間 の第三の開閉手段よりもワーク側空間に外気を流入する外気流入工程、 型合 わせされている金型を型開きする型開き工程があることを特徴とする金型を 用いた成膜方法。

. 真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、 成膜されるワークが組み込まれ る第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の型合わせ一型 開き作動をするための型作動手段、 成膜手段とワークとのあいだの成膜空間 を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共に、 前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、 第一の開閉手段に対して 開放作動指令の出力、 成膜手段に対して成膜作動指令の出力、 成膜手段に対 して成膜停止指令の出力、 第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、 型 作動手段に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御 部を備えていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。

. 真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、 成膜されるワークが組み込まれ る第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の型合わせ—型 開き作動をするための型作動手段、 成膜手段とワークとのあいだの成膜空間 を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共に、 前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、 第一の開閉手段に対'して 開放作動指令の出力、 第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、 成膜手 段に対して成膜作動指令の出力、 成膜手段に対して成膜停止指令の出力、 型 作動手段に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御 部を備えていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。

. 請求項 2 3乃至 2 5の何れかにおいて、 前記成膜空間に外気を流入するた めの外気流路と、 該外気流路の開閉をするための第二の開閉手段とを備え、 制御部は、 型開き作動指令の出力と同時または該出力の前に第二の開閉手段 に対して開放作動指令を出力するように制御設定されていることを特徴とす る金型を用いた成膜制御システム。

. 請求項 2 6において、 真空流路と第二の開閉手段とのあいだの成膜空間を 開閉するための第三の開閉手段が設けられ、 制御部は、 第一の開閉手段に対 する開放作動指令出力と同時または該出力の前に第三の開閉手段に対して閉 鎖作動指令を出力し、 型作動手段に対する型開き作動指令出力と同時または 該出力の前に第三の開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設 定されていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。