TWM290610U - Electronic device manufacturing chamber - Google Patents

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TWM290610U
TWM290610U TW094209202U TW94209202U TWM290610U TW M290610 U TWM290610 U TW M290610U TW 094209202 U TW094209202 U TW 094209202U TW 94209202 U TW94209202 U TW 94209202U TW M290610 U TWM290610 U TW M290610U
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TW
Taiwan
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chamber
piece
electronic component
central
component manufacturing
Prior art date
Application number
TW094209202U
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English (en)
Inventor
Shinichi Kurita
Wendell T Blonigan
Makoto Inagawa
Original Assignee
Applied Materials Inc
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Description

M290610 捌、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係有關於一種平板顯示器和/或電子元件製造，詳 言之’係有關於一種電子元件製造室及其形成方法。 【先前技術】 由於平板顯示器中使用的基板尺寸增大，用於製造大型 平板顯示器的電子元件製造室（如處理和/或料室）的尺寸 也必須增大。但是’基於該室的外形尺寸和/或重量，製造和 運輸這種室的難度也隨著該室的尺寸而增大。因此，需要改 進的用於製造大型平板顯示器的電子元件製造室，包括改進 的運輸這種室的方法。 在某些實施例中，提供一種多 具有第-側面和第二側面；（2) “匕括.（1)中央件， 2)第一側件，適合與中水杜 的第一側面連接；（3 )帛二側 、中央件 面連接。當中央件、第_側# &與中央件的第二側 田Τ兴仵第側件和第二 成實質上里圓筒形的室内區域。 千連接在一起時，構 在某些實施例中，提供一種中央件， 口側；（2 )第二開口側，與第 、 （1 )第一開 、弟一開口側相對；f 面，位於第-開口側和第二開D (3)第一平 具有其大小允許基板通過的開口 ·，（ * 、σ、與至連接，並 平面相對，位於第一開口側和第 第一平面，與第一 第-開口側之間。該第二平面 5
隹呆些貫施 M290610 適'與至連接’並具冑至少兩個其大小允許基板通過的垂直 隹且的開口。該多件室還包括··（ 1 )第一侧件，適合與中 央件的第-開口側連接，並具有至少第一平面，該第一平面 有開口’該開口的大小允許基板通過；（2 )第二側件， 適口與中央件的第二開口側連接，並具有至少第一平面，該 第平面有開口，該開口的大小允許基板通過。當第_側 件、第二側件和中央件連接在一起時，第一側件的第一平面 的開口、第二側件的第一平面的開口以及中央件的第二平面 的第一開口實質上位於同一高度。 在某些實施例中，提供一種多件室，包括：（丨）第一件； (2)至少第二件，與第一件相連，以形成多件室。每個件 的尺寸符合陸地和航空運輸規定其中之一，第三個多件室的 外形尺寸不符合陸地和航空運輸規定其中之一。 在某些實施例中，提供一種多件室，包括：（丨）中央件， 具有第-側面、第二側面和具有半球形部分的底部；⑴ 第-側件，適合與中央件的第一側面連接；（2)帛二侧件， 適合與中央件的第二側面連接。 〒至，包括：中央件，該 中央件具有第一側面和第二侧面和罝右主 /、有牛球形部分和平坦 部分的底部。平坦部分具有第一厚声，坐… 一 序度+球形部分具有小於 第-厚度的第二厚度。多件室還包括：⑴第一側 、 合與中央件的第-侧面連接；（2)第二側件，適合與中= 件的第二側面連接。 、 在某些實施例中，提供一種多件室 包括中央件，具有： 6 M290610 (0第一側面·， （ 2)第二侧面；（3 )第一平面，包括至 少一個開口，其大小允許基板通過；（4)第二平面，包括 至少三個開口，每一個的大小都允許基板通過。該多件室還 包括··（ 1 )第一側件，適合與中央件的第一側面連接；（2 ) 第一側件，適合與中央件的第二側面連接。
在某些實施例中，提供一種多件室，包括：（1 )中央件， 八有第 側面和第二側面；（2 )第一側件，適合與中央件 的第側面連接；（3 )第二側件，適合與中央件的第二側 面連接。中央件的第一侧面包括至少第一凹口，適合允許基 板在多件室中旋轉，並將基板從多件室傳送到與多件室的第 一側件相連的室。 在某些實施例中，提供一種多件室，包括：（丨）中央件， 具有第一側面和第二側面；（2 )第一側件，適合與中央件 的第一側面連接，具有至少一個翼片狀結構，適合減小第一 側件的侧壁的移動；（3 )第二側件，適合與中央件的第二 側面連接。 在某些實施例中，提供一種多件室，包括：（1 )中央件， 具有第一側面和第二側面；（2 )第一側件，適合與中央件 的第一側面連接。該第一側件包括至少一個支撐結構，適合 減小第一側件的側壁的移動。該多件室還包括第二側件，適 δ /、中央件的第二側面連接。該第二側件包括至少一個支撐 結構，適合減小第二側件的側壁的移動。另外，中央件、第 側件和第二側件連接在一起時，形成實質上呈圓筒形室内 區域。 7 M290610 某二實施例中’提供-種多件室，包括：（1 )中央件， -有第側面和第二側面；（2 )第一側件，適合與中央件 、側面連接，（3 )第二侧件，適合與中央件的第二側 面連接’（4)蓋，適合覆蓋至少該中央件。該蓋包括一平 t 刀和多個支撐構件，適合減小平坦部分在垂直方向上的 移動。 在某些實施例中，提供一種多件室，包括：（i )中央件， 具有第-側面和第二側面；⑺第一侧件，適合與中央件 的第一侧面連接；（3 )第二側件，適合與中央件的第二側 面連接；（4)蓋，適合覆蓋至少該中央件。肖蓋包括至少 一個凹口，適合在不需移走該蓋的情況下，進出該多件室的 内部區域。 在某些實施例中，提供一種多件電子元件製造室，包括 (1)確定電子元件製造室的一個或多個外形尺寸；（2)確 定如何將電子元件製造室分割成多個件，使多個件中每一個 的尺寸符合陸地和航空運輸規定其中之一；（3)製造多個 件。該多件室的外形尺寸不符合陸地和航空運輸規定其中之 — 〇 在某些實施例中，提供一種運輸多件室的方法，包括（1) 藉由陸地或航空運輸多個室件的第一件；（2)藉由陸地或 航空運輸多個室件的第二件·， （3)運輸第一和第二件時， 符合必要的運輸規定其中之一。該多件室的外形尺寸違反了 陸地和航空運輸規定其中之一。 在某些實施例中，提供一種運輸多件室的方法，該多件 M290610 室具有中央件、第一側件和第二側件。該方法包括（丨）將 真空自動控制裝置的至少一部分放在該室的中央件中；（2) 一 藉由陸地或航空運輸中央件；（3 )將第一側件與第二側件 ^ 相連；（4 )藉由陸地或航空將第一和第二側件一起運輸； • ( 5 )運輸中央件、第一側件和第二側件時，符合必要的運 • 輸規疋。多件至的外形尺寸違反了陸地和航空運輸規定其中 〇 • 在某些實施例中，提供一種支撐電子元件製造室的方 法，包括：（1)將電子元件製造室與電子元件製造室支撐 件的一個或多個滑動構件相連；（2 )使用一個或多個滑動 構件’以接納電子元件製造室的膨脹，從而阻止電子元件製 造室移出電子元件製造室支撐件上的位置。 在某些實施例中，提供一種支樓電子元件製造室的設 備。該設備包括底座，該底座包括：（1) 一個或多個支撐 構件；（2 ) —個或多個滑動構件，該一個或多個滑動構件 適合與電子元件製造室相連並接納電子元件製造室的膨 ® 脹，從而阻止電子元件製造室移出底座上的位置。 在某些實施例中，提供一種設備，包括一種單元，該單 … 元具有：（1 )多件室的中央件，適合與第一側件和第二側 ^ 件相連，以形成多件室；（2 )真空自動控制裝置，位於中 央件内；（3)中央件的底座，與該中央件相連。該單元的 尺寸符合陸地和航空運輸規定其中之一。 在某些實施例中，提供一種設備，包括一種單元，該單 元具有：（1 )多件室的第一側件；（2 )多件室的第二側件。 9 M290610 該第一和第二側件適合與中央件相連，以形成多件室。該單 元還包括··（ 1 )第一底座件，與第一側件相連；（2 )第二 底座件，與第二侧件相連。該單元的尺寸符合陸地和航空運 輸規定其中之一。還提供許多其他方面，與本創作的上述及 其它方面一致。 【實施方式】 本創作的其他特徵和態樣，藉由下面的具體描述、附帶 的申請專利範圍和圖示會變得更容易明白。 關於中央傳送室，由單一鋁塊“現場，，加工中央傳送室 以及將中央傳送室分解為多個元件，已經作為進一步測量傳 送室的可能方法進行了探討。例如，參見“ LCD大尺寸基板 期刊’基板增大：尺寸限制在何處？” （ LCD Large-Area
Substrate Issues,Substrate Enlargement:Where is the Size Limitation?” ），平板顯示器（Flat Panel Display) 2003 (面板研时會（panel discussion))，其中 Applied Komatsu Technologies (AKT)的 i.D.Kang 認為： 如果傳送室進一步增大，一種裝備方案是，使單一鋁塊 的加工在亞洲本地完成......另一種選擇是將中央傳送室分 解為多個元件。儘管由單一鋁塊加工傳送室能保證真空條 件’但也可以形成由元件構成的大型傳送室，並進行現場組 裝，該元件由若干紹塊製成。 本方法和設備的第一態樣係有關於一種改進的方法和設 10 M290610 備’用於哥找大型電子元件製造室，如傳送室的可測量性 本方法和設備的第二態樣係有關於動態支撐一種電子元件。 製造室。 電子元件製造室 第1圖是按照本創作某些實施例，第一典型多件電子元 件製造室的俯視圖。參見第！圖，多件電子元件製造室：【 為傳送室’用於在製造電子元件期間傳送基板。該傳送室在 製造電子元件期間與一個或多個處理室和/或負載鎖定室 (l〇acilocks) 103連接。該傳送室可包括末端受動器1〇5, 用於在製造電子元件期間在處理室和/或負載鎖定室ι〇3中 傳送基板107。基板1〇7可包括如玻璃件、聚合體基板、半 導體片或類似物。 按照本創作的某些實施例，傳送室i 〇丨可包括相互連接 的夕個件。更詳言之，傳送室101可包括與第三件113(如 中央件）相連的第一件109 (如第一側件）和第二件1 i “如 第一側件）。第一件109和第二件111可藉由〇型環（未示 出）與第一件113相連。第一件109和第二件111可利用定 位裝置如螺釘、銷或類似物定位於第三件1 13。儘管第1圖 的夕件電子元件製造室101包括三個件，但是該多件電子元 件製Xe至可包括更多或更少的件（如2個，4個，5個，6個 等等）。 ^ 傳送至（如單件傳送室）的寬度被陸地和/或航空運 輸規疋、傳送能力或建築設計大體限制在約3m或更小。例 如大於約3瓜的傳送室，可能會被本地的運輸規定禁止由 11 M290610 最普通容量的747貨運飛機運送，，並可能因為過大而不能 通過標準電子元件製造設備的入口通道。相反地，在本創作 的一個或更多實施例中，當該多件傳送室組裝起來時，其寬 度（如總寬度）W1為4·2米。因此，本創作的電子元件製造 室101可比習知的單件傳送室容納更大的基板。電子元件製 造室101的寬度可大於或小於4.2米。 當典型多件電子元件製造室1〇1組裝起來時，其形狀（如 外部形狀）為六角形。但是，多件電子元件製造室1〇1可具 有其他外部形狀（例如，如果有八個室連接於傳送室i 〇 i， 則為八角开>，在這種情況第一和第二件1Q9、111可呈梯形 而非三角形，如圖所示）。 第2A圖是按照本創作的某些實施例，第一典型多件電子 元件製造至101的分解立體圖。第一至第三件一 113的 每一個可水平連接，以形成多件電子元件製造室1〇1。第一 件109的長度以LSI表示，寬度以WS1表示。第二件m 的長度以LS2表示，寬度以WS2表示。第三件113的長度 以LC1表示，寬度以WC1表示。 在一個或多個實施例中，第三件i丨3的寬度wc丨約為 2.4m，長度LC1約為4.2m。更大或更小的長度和/或寬度可 用於第三件113。在所示的實施例中，第三件113的長度lci 形成室101的總寬度W卜如圖所示，第一件1〇9的長度LS1 和第二件m的長度LS2與第三件113的長度lci相等。但 是，第一件109的長度LS1和/或第二件1U的長度LS2可 能不同。在一個實施例中，第一件109的寬度WS1和/或第 12 M290610 二件111的寬度WS2約4 1>2 ^卡。但是，第一件1〇9的寬度 wsi和/或第二件lu的寬度WS2可能不同（如更大或更又 小）。（在一個特別實施例中，儘管可利用第一、第二和第 三件109、111和113的寬度之間的其他關係但是第三件 Π3的寬度可約等於或小於第一件1〇9的寬度加上第二件 in的寬度）^多件電子元件製造室101的每個件i〇9〜m 可由例如鋁、不鏽鋼或適於用作傳送室的任何可利用的相對3 的惰性材料製成。 儘管多件電子元件製造室101的外形尺寸不符合陸地和/ 或航空運輸規定，但是多件電子元件製造室1〇1的每個件 一 113的尺寸符合陸地和/或航空運輸規定。更詳言之，在上 述實施例中，多件電子元件製造室1〇1的總寬度Wl為 4.2m，不符合陸地和/或航空運輸規定。但是，第一件 的寬度WS1和第二件iu的寬度WS2為1 2ln，第三件113 的寬度WC1為2.4m,每個都符合陸地和/或航空運輸規定。 (在另一個實施例中，第三件113的寬度WC1約為3m至 3.2m，第一和第二件1〇9、ill的寬度WS 1、WS2約為i.5m 至 1 ·6m 〇 ) 另外，多件電子元件製造室101的每個件1〇9— 113可在 習知加工中心或商店中製造。因此，多件電子元件製造室1〇1 的製造者可選擇多個習知加工中心或商店中的一家或多 家，來製造多件電子元件製造室101的件109 — 113。多家習 知加工中心或商店之間的競爭使多件電子元件製造室1〇1的 製造者獲得了更低的價格。相反地，可製造單件電子元件製 13
M290610 造室的加工中心或商庄沾私θ β 置疋有限的，該單件電子元件製 造室的尺寸可容納更大^ 尺大的基板，類似於多件電子元件製造室 101。這種有限的加工中心志贪由奴θ播t 甲〜或商店數董導致競爭減弱。由於 競爭減弱，製造者為製iik ;含接留4 — 4巧表每乂種早件室，要支付比製造多件半 導體製造室101更多的#用。里从 m , 夕旳賈用。另外，因為這種單件室不符合 陸地和/或航空運輸規定 #錄s Μ ™祝疋，k種早件室的製造者運輸這種裝置 時，需要獲得特別的遷就，例如警衛護送、“特大規格載運” 標記或其他。而多件電子元件製造室101不需要這種遷就。 下面參照第2A圖和第2B— 2D圖描述第一多件電子元件 製造室ιοί的其他特徵，其中第2B圖是第一室ι〇ι組裝起 來的立體圖’第2C圖是第一室1()1的俯視圖；第2D圖是第 一室101的側視圖（表示了第一室1〇1的一個平面，該平面 適於連接到下面進一步所述的三基板堆疊的負載鎖定室）。 參見第2A — 2B圖，第一室1〇1包括多個平面2〇la 一炙第 2C圖）。在所示的實施例中，具有六個平面，但也可具有更 多或更少的平面（如上所述）。 每個平面201a— f提供平坦的側壁，處理室、負载鎖定 室或其他室可密封連接於其上（例如，藉由〇形圈或其他密 封件），例如，參見室103，如第1圖所示。儘管具有平面 201 a— f，但是第一室ι〇1的總體結構實質上上呈圓筒形。例 如’如圖2A — 2C所示，第一（側）件1〇9包括圓筒形壁2〇3， 平面201b、201c在其中形成，第二（側）件ιη包括圓筒 形壁20 5’平面20le、201f在其中形成。第三（中央）件U3 具有實質上平坦的相對側壁2〇7、2〇9，如圖所示（第2a圖）， 14 M290610 分別形成平面201a、201 d。 基於第一和第二件109、111的圓筒形壁203、2〇5，第 一室101的内部區域實質上為圓筒形（·例如參見第2A圖和 - 第2C圖）。圓尚形結構減小了第一室ι〇1的内部容積，而 - 允許位於第一室101中的真空自動控制裝置（第7圖）自由 旋轉。這種旋轉可發生在例如自動控制裝置旋轉以便向與第 一室101 (第1圖）連接的各種室之間傳送基板時。 φ 為了通過室101的第三（中央）件113適應真空自動控 制裝置的旋轉，第三件113包括有凹口的區域2Ua—d (見 第2A圖，其中僅示出了凹口 2Ua—c)。基板通過在第一和 第一側件1 09、1 1 1的各個平面中形成的開口（如狹長開口） 進仃傳送時，凹口 2丨丨a — d還提供附加間隙。也就是說，基 板通過为別與平面201卜2016、201〇、2011)對應的開口213、 215 ' 217、219進行傳送時，凹口 211a — d可提供附加間隙 (如第2A圖和第2B圖所示）。 而所示的平面201b、201c、201e、201f僅有一個開口， •每個平面可包括附加開口（如2個、3個、4個或更多開口）。 同樣所不的第三（中央）件113的平面201a具有單個的 ’ ^ 221(第2A圖）’但可包括附加開口（如2個、3個、 個等）。第二件113的平面2〇ld包括三個垂直堆疊的開口 223a c (第2A圖和第2c圖），但可包括其他數量的開口 個2個、4個、5個等）。在本創作的至少一個實施 j列 ij? , 一 .. 二件113的平面201d的底部開口 223c與第二側件 的平面201e的開口 215和第一側件ι〇9的平面2〇lc的 15
如弟2Α圖進一步所示 至的第 M290610 開口 217垂直排列（如第2D圖所示）。注意每個開口 2】3 —223c的尺寸應允許基板通過。也可使用其他結構。 再參見第2A_ 2C圖，第一和第二側件1〇9、i i t包括多 個翼片狀結構225,每一個適於向第一室1〇1提供結構的整 體性。例如，由於在第一室1〇1和與其相連的任一處理室的 内部區域，和/或第一室1〇1的外部環境之間的壓力差翼片 狀結構225可減小第一和第二側# 1〇9、m的圓筒形側;頂 壁的偏轉。另夕卜，使用翼片狀結構225可使第一和第二件 1〇9、m的壁厚減小，並減小了第一室1〇1的總重。在一個 實施例中，翼片狀結構225在第一和第二側件1〇9、ιη的 外部側/頂壁旁邊具有大約〇·55英寸的厚度，在與中央件"3 (不鏽鋼材料）接觸的第一和第二側件1〇9、⑴的密封表 面旁邊具有大約以英寸的厚度，但也可使用其他材料和/ 或厚度。 113的底部227包括—平坦部分229和半球形部分如（另 見第2D圖）。由於半球形部分231具有半球形的形狀它 向底部2 2 7提供改進的強膚，廿 、減小了底部227的材料厚度 在一個典型實施例中，當使用不鏽鋼材料時，半球形 部分231可具有大約3/8，，或 可且右“次更小的厚度，而平坦部分227 口J具有大約3/4，，一 1，，戎® ,丨从培★ 厚产值一 、又。可使用其他材料和/或 =值和/或平坦部分229和半球形部分231之間的厚产差。 為了進一步增加半球形部分231的強度，翼片狀 / 支撐紝谣，W 1 ★ · 没異月狀結構或類似 支撐、4 233可在半球形部分川 「囬心圾如第2D圖所 16 M290610 不。使用翼片狀結構233可減小 偏轉。 如牛球形部分231的垂直 第2B 2C圖和第8圖表示可用於第 出。例如，蓋235適於密封第―室的第P的頂蓋 (藉由在蓋235和第1⑴ 第二（中央）件113 件）。 之間使用0型環或類似密封元 參見第2B〜2C圖和第8圖，頂蓋 撐結構，例如试- 匕括藉由多個支 封邱八 不的桿239而增強的平坦密封部分237。密 。为237可具有與室1〇1的 2…類似的厚产，"39接V 27的千坦部分229 (第 ^ . θ又柃239楗供附加結構支撐（使蓋235 =戈降小）。蓋235可包括用於相對於第-… 似物）蓋235的連接單元241(例如藉由起重機或類 出口基Λ蓋235的重量，希望在蓋235中提供—個或多個進 可進口 ’以使整個蓋235不需從第-室⑻移走便 至101内部（例如維護或其他維修工作 圖是使用替換蓋設計235，的第_室1()1的立體圖蓋235, 包括兩個進出口 243a_b。每個進出口 243a_b可打開，以 進出第一 t 101的-内部區域’不需整個蓋235，從第一室 移走。也可採用其他數量的進出σ (如1個、3個、4個等卜 -第3圖是按照本創作的某些實施例，第二典型多件電子 疋件製造室3〇1的立體圖。第二典型多件電子元件製造室gw 包括連接在-起的第—至第五件3()3_3U。但第二业型多件 電子元件製造室301可包括更多或更少的件。與第一… 17 M290610 件電子元件製造室101相比，第二典型多件電子元件製造室 301的每個件可垂直連接，以形成第二典型多件電子元件製 造室301 。 第4圖是按照本創作的某些實施例，第二典型多件電子 元件製造室301的分解立體圖。第二典型多件電子元件製造 室301的第一件303為半球形頂蓋。半球形頂蓋3〇3的直徑 D1約為例如4·2米。半球形頂蓋303可由不鏽鋼或其他材料 製成，並可利用旋壓成型技術或其他技術製造。 在第二典型多件電子元件製造室301中，半球形頂蓋 與第二件305相連，第二件305與第三件307相連，第三件 307與第四件309相連。第二典型多件電子元件製造室3〇1 的第二至第四件305 — 309構成了第二典型多件電子元件製 造室301的主體。第二至第四件3 〇5— 3 〇9中的每一個的寬 度W2約為例如4.2米。第二件305、第三件3〇7和/或第四 件309的寬度可以不同，儘管每個第二至第四件3〇5—3〇9 呈六角形，但也可使用其他形狀。在一個方面，每個第二至 第四件305 — 309的材料為鋁，但也可使用其他材料。另外， 可使用單個的件作為主體。 ^第五件311為用於第二典型多件電子元件製造室3〇1的 半球形底蓋。第五件311與第四件309的底部相連。類似該 半球形頂蓋’該半球形底蓋直徑D2約為例如4 2米。也可 使用其他尺寸。 為了製造多件電子元件製造室1〇1、3〇1，用戶例如製造 者可使用下述創造性的方法。按照該創造性的方法確定該 18 M290610 多件電子元件製造室的一個或多個外形尺寸。更詳士之，製 =需：製造所需尺寸的基板。基於所需尺寸，製：者可確 =如叹汁）能製造這種基板的多件電子元件製造室的一個 :多個㈣尺寸。如果所需基板的尺寸^夠大，則該室的外 /尺寸不符合陸地和航空運輸規定其中之一。 然後’製造者例如要確定如何將該多件電子元件製造室 ^解為多個件，以使多個件中的每—個的尺寸符合陸地和航 ::輸規定其中之一 ’同時’當該室組裝起來時，其結構的 體性足夠執行製造過程。例如，製造者可藉由第卜2圖 所示電子元件製造室1〇1的垂直分割或第3一4圖所示電子 =件製造室斯的水平分割將設計好的該多件電子元件製造 室分解為#。製造者也可決定藉由其他方向或組合方向的分 割將該電子元件製造室分解為多個件。 然後製造多個件。例如，製造者可通過加工中心或商店 來製造多個件。藉由這種方式，製造多件電子元件製造室 1〇1 、 3〇1 〇 一旦製造了多件電子元件製造室1〇1、3〇1，多件電子元 件製造室101、3〇1可運輸到例如客戶地點。為了運輸多件 電子π件製造室1 01、3 (H，製造者可利用按照本創作一個或 夕個實施例的運輸這種室的方法。例如，多個電子元件製造 室件的第一件可藉由陸地或航空運輸進行運輸。第一件可放 置在符合運輸規定的貨櫃中，使第一件與該貨櫃的側面（如 底面）形成一個角度。這樣，第一件的實際高度或寬度尺寸 就會大於不以這種角度放置在該貨櫃時的允許值，但仍能放 19
M290610 入符合運輸規定的貨樞D水運姑 K連較大件的能力使該創造性的多 件室由較少的件形成。因此，雖然不需要，但最好將該件以 -個角度放置在水運貨櫃中。在某些實施例中，最好製造多 件室，使主件或中央件盡可能地大，並仍能放入標準尺寸的 水運貨櫃，而剩餘件盡可能地小，以使組裝更容易。 第5圖表示按照本創作的某些實施例，貨櫃5〇1中所示 的第二典型多件電子元件製造室的第一件。參照第5圖，貨 櫃501的寬度W3可為例如3米，符合陸地和/或航空運輸規 定。也可使用較小寬度的貨櫃。第一件3〇3(如半球形頂蓋） 可放置在貨櫃501中’使第一件3〇3與貨櫃5〇1的側面503 (如底面）約成50度的角度a。第一件303也可與貨櫃501 的側面503形成更大或更小的角度。在一個實施例中，第一 件3 03與貨櫃501的側面503形成大於等於50°且小於等於 9〇°的角度A。因此，儘管第一件303的寬度為4 2米，但它 適合放入更小寬度的貨櫃中。然後，貨櫃501經過陸地或航 空運輸進行運輸。在這種方式下，運輸該第一件時符合必要 的運輸規定。 類似地，電子元件製造室301的第二件305經過陸地或 銳空運輸進行運輸。第二件305放置在符合運輸規定的貨櫃 中，使第二件305與該貨櫃的底面形成一個角度。例如，第 6圖表示按照本創作的至少一個實施例，貨櫃5 0 1中的第二 典型多件電子元件製造室301的第二件305的側視圖。參照 第6圖，第二件305以類似第一件303的方式放置在貨櫃50i 中。 20 M290610 組裝起來的多件電子元件製造室301的外形尺寸違反陸 地和航空運輸規定其中之一。例如，電子元件製造室301的 總寬度不小於3米，因此，不符合陸地和/或航空運輸規定。 因此，將第一和/或第二件例如在貨櫃501中分別進行運輸。
藉由這種方式，多件電子元件製造室1〇1、3〇1可在加工 中心或商店進行製造，克服了製造類似尺寸的單件電子元件 製造室的缺點（如成本）。進一步地，多件電子元件製造室 101、301可運輸到客戶地點，克服了運輸類似尺寸的單件電 子元件製造室的缺點（如成本、時間等）。 支撐電子元件製造室 第7圖表示按照本創作，電子元件製造室支撐件7〇丨的 立體圖。參照第7圖’電子元件製造室支撐件7()1包括底座 703。底座703的一個或多個部分可安裝在地件上（例如藉 由地件固定器704固定）。 應注意在習知製造室支擇件中，底座的—個或多個部分 安裝（如固定）於電子元件製造室底部。按照本創作此 實施例，與習知製造室支撐件相反，電子元件製造室支料 7〇1附加地或可選地可包括—個或多個滑動構件而， 子凡件製造室7〇9的底部707處提供動態支撐件。-個或， 個滑動構件705包括可滑動轴承，例 夕 (PTFE)的軸承，還包括呈 既乙席 (~)。還可在―個戈” 或類似物的彈性支座 合的材料。 或夕個滑動構件7。5上使用其他適 或者 一個或多個滑動構件 7〇5可包括代替或附加於滑 21 M290610 動軸承的滾輪。在某些實施例中，電子元件製造室彻可藉 由垂直、斜向、和/或水平的軟管線路懸掛起來，具有膨服能 力的該軟管線路許可該室的任何膨脹，該膨脹能力超過電子 元件製造室709最大可能的膨脹量。 個或夕個β動構件7〇5適於接納電子元件製造室 的 處 攝 滑 熱量或其他膨脹。例如，在製造電子元件期間，來自相鄰 理至的熱量可引起電子元件製造冑1〇ι、3〇ι的溫度超過 氏200度或攝氏3〇〇度，引起電子元件製造室7〇9膨脹。 動構件705阻止電子元件製造室7〇9移出電子元件製造室 支撐件701上的位置 (例如在底座703上） 。滑動構件705 可有效接納電子元件製造室任何可能的膨脹量，從而阻止電 子元件製造室7G9移出電子元件製造室支撐件7gi，甚至阻 止其僅移出其位置。 第8圖表tf按照本創作的某些實施例，典型電子元件製 造室支撐件801的立體圖。參照第8圖，典型電子元件製造 室支料謝可以是多件支揮件。更詳言之，典型電子元件 製化至支撲件801可包括多件底座8〇3。例如，底座可 匕括第件805 ’第二件8〇7和第三件8〇9。底座_也可 包括更多或更少的件°典型電子元件製造室支撐件801的件 對應於由典型電子元件製造室支撐件謝支撐 件製造室icn的件（如109_113)。 午電子疋 在第8圖所示的實例中，底座80S的第三件809 (如中 央件）包括八個滑動構件705。第三件8〇9可包括更 少的滑動構件705。如第7圖所示’一個或多個滑動構件· 22
M290610 可與地件固定器704排列在一起Γ知古垃μ +、 %〈如直接上方）。但是，滑 動構件705也可位於不同位置。類 顯似地，底座803的第一和 第二件805、807可包括多個滑動槿 月助構件705。儘管上面已經描 述了多件電子元件製造室支禮件 . 又饵仵801，但典型電子元件製造 至支擇件801可以是單件支撐件。 應注意如果熱膨脹引起—個或多個滑動構件豁到達其 個鱧範圍的邊緣，在某些實施例中，其他滑動構件7〇5會開 始接納任何進一步朝向肩私、紅 : 朝勹原始⑺動構件705的熱膨脹。也就是 說’-旦使滑動構件705移至其個體範圍的極限的外力碰到 (Stop frame )(如下所述），膨脹力將被重新引向 相反方向，由其他滑動構件7〇5進行接納。 ^ —第9圖表示按照本創作的某些實施例，典型電子元件製 仏至支撐件8〇 i的細節部分的放大立體圖。參照第9圖，典 ，.子凡件製仏至支撐件8〇1包括一個或多個具有滑動轴承 905和彈性支座9〇7的滑動構件7〇5。 滑動軸承905可包括安裝於腳或滑動盤9〇1的軸或螺桿 9〇3 '月動盤9〇1位於凹口 904中，凹口 904塗覆有低摩擦 力的‘ s氟聚合物樹脂例如杜邦公司生產的Tefl〇n⑧。該凹口 或 止口 ”彳“ 、stop frame” ）9〇4可以是方形或圓形或任 何口適的形狀’以適應滑動盤901的水平運動的期望範圍。 7⑺動盤901可以是方形或圓形或任何合適的形狀，以 、1 904内的水平運動的期望範圍。滑動轴承905可由 鋼或任何合適的材料製成。在某些實施例中，滑動盤901的 面或側表面也可塗覆有低摩擦力的含氟聚合物樹脂例 23 M290610 如Teflon®，使潘叙缸j Λ 便π動軸承905在凹口 9〇4中 步地，滑動盤901可包括 自由移動。進一 輪或球形軸承。在竿此膏 _不覆盍層的滾 牡杲二實施例中，任何合適 用來代替滑動軸承9〇5。 移動軸承可 可安裝於電子元件 903可擰入電子元 或利用任何合適的 安裝於滑動盤901的軸或螺桿903也 製造室709的底部7〇7 (第7圖）。螺桿 件製造室709的底部7〇7的螺紋凹口中， 緊固裝置如釘或其他緊固件進行固定。 彈ί生支座907可包括彈性材料’如載重軸承硫化橡膠， 在安裝盤908a-b之間並固定在其中。也可使用其他合適 的彈性材料，如金屬彈簧。該安裝盤可由鋼或任何合適的材 料製成，並可包括使安裝盤分別固定於電子元件製造室709 的底部707和底座803的支架9〇9部分的孔。 在操作中，滑動軸承905可承載電子元件製造室7〇9的 重量’還使電子元件製造室709膨脹肖，在可接受的範圍内 移動。同時，彈性支座907可有效地使電子元件製造室7〇9 偏向電子元件製造室支撐件801上的理想位置。如上所述， 電子元件製造室709的可接受移動範圍可由位於凹口 9〇4中 的滑動盤901的大小確定。該凹口的位置和幾何形狀也會影 響該移動範圍。在某些實施例中，彈性支座907可附加地或 替代地限制電子元件製造室7 0 9的移動範圍。 為了進一步闡述本創作，提供實例尺寸。然而應注意， 下列尺寸僅是對特殊實施例的闡述，僅用來概括相對適當的 尺寸的實例。在某些實施例中，滑動盤901的直徑D3約為 24
M290610 100mm，凹口 904橫向約為125mm，滑動 J述川1的高度hl 約為25mm，軸或螺桿903的直徑D4約兔” a為25mm，螺桿9〇3 的高度h2約為137mm。在某些實施例中，M25的螺釘（iso 965—卜Sect.5,公制緊固件尺寸名稱）可用作螺桿9们。典 動構件705可具有與圖中不同的形狀和/ : 〜〜丁在某些實施 例中，彈性支座9〇7可偏轉或伸長 八4 15mm。彈性支座 907可具有與圖中不同的形狀和/或尺寸。 第10圖是第9圖所示的典型電子元件製造室支揮件8〇1 的立體圖，表示其支撐著電子元件製造室1〇1。參照第1〇圖， 每個支推件8〇1的彈性支座907和滑動軸承9〇5與電子元件 製造室101的底部相連。 在製造電子元件時，電子元件製造室101可基於熱膨脹 或其他力而伸長。更詳言之，支撐件801上方的電子元件製 造室101的一部分可垂直地和水平地膨脹。電子元件製造室 ιοί的伸長或膨脹使彈性支座907壓縮或拉長，並使滑動軸 承705移動。藉由這種方式，每個滑動構件—接納電子元 件製造t 101的任-膨脹部分的增大或偏#。剩冑的滑動構 件7〇5以類似方式使用，以接納該電子元件製造室的膨脹， 從而阻止電子元件製造室1〇1移出電子元件製造室支撐件 8(Π上的位置。在製造電子元件時，藉由這種方式，電子元 件製這至1 〇 1實質上保持平衡和水平。相反地，由僅固定連 接於該電子元件製造室的習知支撐件支撐的製造室的熱膨 脹會引起該電子元件製造室移出、掉落和/或破壞該支撐件。 為了支撐電子元件製造室，可使用按照本創作的某些實 25 M290610 施例的支撐該電子元件製造室的方法。 子元件製谱定、击° ’該支掉電 個滑動構件7〇t 子元件製造室支樓件8〇1的-個或多 件二：〇5。一個或多個滑動構件_用於接納電子元 件“至的膨脹，從而阻止該電子元 子， 子元件製造室支撐件8〇1 災 至移出或掉洛電 支擇件801。例如，滑動構件7〇5的彈性 907可拉長或堡縮，以接納電子元件製造室的膨脹。 上述内容僅揭示了本創作的典型實施例。顯而易見地， 本技術領域中具有通常技術，在不離開本創作之範圍内，者 可以對上述揭示之設備和方法作各種修改。例如，儘管上： 某些實施例係有關於傳送室’但本方法和設備也可用於盆他 類型的電子元件製造室，如PVD、CVD或類似物的的處理 室。進-步地’在一個或多個實施例中，在將多件電子元件 製造室^、則的件運輸到客戶地點之前，自動控制裝置 可插入（如組裝到）該件中。例如，真空自動控制裝置的底 部可安裝在底座803的第三（中央）件8〇9 (第8圖）中， 如底座803的底座環811中，真空自動控制裝置的頂部可安 裝在室101的第二（中央）件1 13中。然後室101的第三件 113可連接於底座803的第三件8〇9，底座/中央室的件元件 可作為一個整體進行運輸。第U圖是準備運輸的包括真空 自動控制裝置（未示出）的典型底座/中央室的組合件 的立體圖。在至少一個實施例中，水運之前，覆蓋單元U03a 一 b安裝於室101的第三（中央）件丨丨3的開口側以上，覆 盍卓元1105安裝於第二件113的任一面的開口以上。覆蓋 單元1103a— b、1105可由鋁或任何其他合適的材料製成， 26 M290610 在水運時可保護室1G1„W或安裝在其中的任何元件。 在本創作的一個或多個眘^; y t i 飞夕個實施例中，組合件1101的尺寸符 5陸地和航空運輸規定的至少-個。例如，組合件1101可 具有大約3m或更小的高度。 在本創作的另一個實施例中，第-和第二側室件109、 111以及第一和第二底座株 底座件807、8〇5可組裝在一起和/或作 為整體一起運輸。例如，第 ^ ^ 弟12圖疋可作為整體運輪的側件/ 底座組合件1201的立體圖。例如可藉由將室1fn μ # 將至101的第一側 連接於底座件807，藉由將室ΗΗ的第二側件ln連 接於底座件805’藉由將該側件/底座元件組裝在—起，形成 2件1201，如圖所示。然後將組合件⑽作為整趙進行 運輪。類似於第11圖所示覆蓋單元⑽的覆蓋單元⑽ 可用於在水運之前覆蓋任何平面開口（例如保護 部）。 斤在本創作的一個或多個實施例中，組合件1201的尺寸， 符合至少一個陸地和航空運輸規定。例如，組合件1201可 具有大約3m或更小的高度。 一至ιοί、103的件和/或底座8〇3可利用任何合適的方法 進仃運輸。在至少-個實施例中，室1〇1的側件1〇9、lu 可利用第一運輸模式（如陸地、船、航空等）進行運輪 :〇1的中央件⑴可利用第二運輸模式（如陸地、船、航空 等）進仃運輸。在另一個實施例中，第一和/或第二側件1〇9、 =藉由第一載重汽車進行運輸，中央件ii3可藉由第二 載重况車進行運輸。 27 M290610 田…在本創作的至少一個實施例中，真空自動控制裝置可利 汗動密封件將該自動控制裝置與該室底部的移動相分 制乂！：：所不（例如藉由利用波紋管式密封將該自動控 國專利申請us 10/601185類似，在此將其全部引入 不需如二2八’圖所示’第一室101的側件109、iu都是 需早獨的蓋或底部的單個的件。 側件109、/ 或底部可用於 … 的其中一個或全部，但需要可能降解和/或泄 漏的附加的密封介面。 f，世 雖然本創作主要針對平板顯示器進行 解該創造性的多件室可用於值$ #田^ 仁了以理 基 至了用於傳送、處理和/或製造任何類型的 平板顯示…= 製造任何類型的裝置（例如 σ 太陽此件和/或電池等）。 日本可1理解運輸規定在國家7地區之料能不同（如美國、 曰本、韓國、臺灣、中國笤 、國 運輪參數在國家… 例如，尺寸限制或其他相關 在國豕與S豕之間可能不同。但是 =以適應任何國“特殊的運輪規定（仍落 =榜丁 砷和範圍内）。 々引邗的猜 因此，雖然已經結合典型實施例揭 =:施例也可能落入…申請專利範圍應:理 創作的精神和範圍内。 心町本 28 M290610 【圖式簡早說明】 第1圖是按照本創作某些實施例，第一典&少件子元 * 件製造室的俯視圖。 * 第2A圖是按照本創作的某些實施例，第〆典型多件電子 . 元件製造室的分解立體圖。 第2B圖是第2A圖所示的第一室組裝起來的立體圖。 • 第2C圖是第2A圖所示的第一室的俯視圖。 第2D圖是第2A圖所示的第一室的側視圖。 第2E圖是第2A圖所示的使用替換蓋設計的第一室的立 體圖。 第3圖是按照本創作的某些實施例，第二典型夕件電子 元件製造室的立體圖。 第4圖是按照本創作的某些實施例，第二典型多件電子 疋件製造室的分解立體圖。 ^ 第5圖是按照本創作的某些實施例，表示位於貨櫃中的 第二典型多件電子元件製造室的第一件的側視圖。 第6圖表示按照本創作的某些實施例，表示位於貨櫃中 的第二典型多件電子元件製造室的第二件的側視圖。 ' 第7圖表示按照本創作的某些實施例，電子元件製造室 支樓件的立體圖。 ^第8圖表示按照本創作的某些實施例，典型電子元件製 ^至支樓件的立體圖。 第9圖表示按照本創作的某些實施例，第8圖所示的典 29 M290610 型電子元件製造室支撐件的立體圖。 第10圖是第9圖所示的典型電子元件製造室支撐件用於 支撐電子元件製造室的立體圖。 第11圖是可作為整體運輸的典型底座/中央室件組合件 的立體圖。 第12圖是可作為整體運輸的側件/底座組合件的立體圖。
【主要元件符號說明】 101 製造室 103 負載鎖定室 105 末端受動器 107 傳送基件 109 第一件 111 第二件 113 第三件 201a—f 平面 203 圓筒形壁 205 圓筒形壁 207'209 相對側壁 211a—d 凹口的區域 213 、 215 217、219 、開口 221 單個的開口 223a—c 堆疊的開口 225 翼片狀結構 227 底部 229 平坦部分 231 半球形部分 235、235， 蓋 237 平坦密封部分 239 桿 241 連接單元 233 支撐結構 243a—b 進出口 301 製造室 303-311 第一至第五件 501 貨櫃 503 面 701 支撐件 703 底座 704 地件固定器 705 滑動構件 707 底部 709 製造室 801 支撐件 803 多件底座 805 第一件 807 第二件 809 第三件 901 滑動盤 903 桿 904 凹口 905 滑動軸承 907 彈性支座 908a~b 安裝盤 909 支架 1101 組合件 1103a—b 覆蓋單元 1105 覆蓋單元 1201 組合件 1203 覆蓋單元 30

Claims (1)

  1. M290610 玖、申請專利範園： 1、 一種多件室，包括： • 一中央件，具有一第一側面和一第二側面； • 一第一側件，適合與該中央件的該第一側面連接；以及 ， 一第二側件，適合與該中央件的該第二側面連接； 其中，當該中央件、該第一側件和該第二側件連接在一 起時，構成實質上呈圓筒狀的室内區域。 2、 如申請專利範圍第1項之多件室，其中該中央件、該 第一側件和該第二側件連接在一起時形成一傳送室。 3、 如申請專利範圍第1項之多件室，其中該中央件實質 上呈矩形。 4、 如申請專利範圍第1項之多件室，其中該中央件具有 大約3米或更長的長度。 • 5、 如申請專利範圍第4項之多件室，其中該中央件具有 大約2.4米或更寬的寬度。 6、 如申請專利範圍第1項之多件室，其中該中央件包括 一具有半球形部分的底部。 7、 如申請專利範圍第6項之多件室，其中該半球形部分 31 M290610 適於容納一真空自動控制裝置（vaccum r()bC)t)。 8、如申請專利範圍第6項之多件室，其中該半球形部分 包括至少一個翼片狀支撐件，適於減小該半球形部分在垂直 方向上的移動。 9、如申請專利範圍第8項之多件室，其中該半球形部分 包括多個翼片狀支撐件，每個翼片狀支撐件適於減小該半球 形部分在垂直方向上的移動。 10、 如申請專利範圍第6項之多件室，其中該中央件的 底部包括一平坦部分D 11、 如申請專利範圍第10項之多件室，其中該平垣部分 具有一第一厚度，該半球形部分具有小於該第一厚度的一第 二厚度。 12、 如申請專利範圍第項之多件室，其中該第一厚度 、勺為0.75至ι·〇英寸或更小，該第二厚度約為〇 375英寸或 更小。 13如申請專利範圍第1 1項之多件室，其中該平垣部分 和該半球形部分由不鏽鋼材料形成。 32 M290610 14、如申請專利範圍第1項之多件室，其中該中央件具 有一第一平面和一第二平面，其中， 該第 平面包括至少一個開口，其大小允許一基板通過 該開口；以及 - 該第_平面包括至少兩個開口，每一個的大小都允許該 基板通過該開口。 _ 15、如申請專利範圍第14項之多件室，其中該第二平面 包括至少三個開口，每一個的大小都允許該基板通過該開 口 〇 16、 如申請專利範圍第14項之多件室，其中該第一平面 適於密封連接至一處理室。 17、 如申請專利範圍第16項之多件室，其中該第二平面 適於密封連接至一負載鎖定室。 18、 如申請專利範圍第17項之多件室，其中該第二平面 適於密封連接至該負載鎖定室，該室健存至少三個垂直堆疊 的基板，其中，該第二平面具有： 一第一開口，其大小允許該基板在一第一高度上在該中 央件和該負載鎖定室之間通過； 一第二開口，其大小允許該基板在一第二高度上在該中 央件和該負載鎖定室之間通過；以及 33 M290610 一第三開口，其大小允許該基板在一第三高度上在該中 央件和該負載鎖定室之間通過。 19、如申請專利範圍第18項之多件室，其中： 該第-側件包括至少一第一平面，該平面具有一開口 其大小允許該基板通過該開口； 該第二側件包括至少一第一平面，該平面具有一開口， 其大小允許該基板通過該開口；以及 該第一側件、該第二側件和該中央件連接在一起時，該 第一側件的第_平面㈣口、該第二側件的第—平面的開口 以及該中央件的第二平面的第一開口實質上位於同一高度。 2〇、如申請專利範圍帛i項之多件室，其中該中央件的 第一側面包括至少第一凹口，適於允許該基板在該多件室中 旋轉，並從該多件室傳送到一與該多件室的第一側件相連的 室。 2 1、如申請專利範圍第20項之多件室，其中該中央件的 第二側面包括至少第一凹口，適於允許該基板在該多件室中 旋轉，並從該多件室傳送到一與該多件室的第二側件相連的 室。 22、如申請專利範圍第1項之多件室，其中該第一側件 和該第二側件具有一第一寬度，該中央件具有一第二寬度， 34 M290610 一第一側件，適合與該中央件的第一開口側連接， 、具有至少一第一平面，其開口的大小允許一基板通過該開 口；以及 一第二側件， 並具有至少一第一平面 適合與該中央件的第二開口側連接， 其開口的大小允許一基板通過該開
    在一 · ，τ、钱乐一侧件和該中央件連接 :時’該第一側件的第一平面的開口、該第二側件的第 =的開口以及該中央件的第二平面的第一開口實質上 位於同一高度。 其中該中央件的 口實質上位於 34、如申請專利範圍第33項之多件室， 第平面的開口與該中央件的第二平面的開 同一高度。
    35、如 件、該第一 圓筒形的— 申請專利範圍第33項之多件室， 側件和該第二側件連接在一起時 室内區域。 其中當該中央 ’構成實質上呈 括一具有半球形部分的底部 其中該半球形部 37、如申請專利範圍第36項之多件室 刀適合與一真空自動控制裝置相連接。 37 M290610 • 38、如申請專利範圍第36項之多件室，其中該半球形部 刀包括至少一個翼片狀支撐件，該翼片狀支撐件適於減小該 半象幵^錚分在垂直方向上的移動。 . 39、如申請專利範圍第36項之多件室，其中該中央件的 底部包括一平坦部分。 40、 如申請專利範圍第39項之多件室，其中該平坦部分 具有一第一厚度，該半球形部分具有小於該第一厚度的一第 二厚度。 41、 一種設備，包括： 一電子元件製造室支撐件，其具有一個或多個滑動構 件；以及 電子疋件製造室，與一個或多個滑動構件相連； • 其中，該一個或多個滑動構件可接納該電子元件製造室 的膨脹’並阻止該電子元件製造室在該電子元件製造室支擇 件上的移位。 ' 42、如申請專利範圍第41項之多件室，其中，一個或多 個滑動構件藉由壓縮來接納該電子元件製造室的膨脈。 43、一種多件電子元件製造室，包括·· 一第一件；以及 38 M290610 一件相連的一第二件 至少與該第 元件製造室； 其中，每個件的尺寸符合至 以及 該多件電子元件製造室的整 韻1空運輪規定。 ’從而構成該多件電子 少一陸地和航空運輸規定； 體尺寸不符合至少一陸地和 44、如巾請專利範圍第43項之多件室，更包括： 一 〇型環，位於該第一件和該第二件之間； -連接構#，用以連接該第一件與至少一第二件。 其中該第二件與 其中該第二件與 :45、如申請專利範圍第幻項之多件室 該第一件係水平連接。 :46、如申請專利範圍第43項之多件室 該第一件係垂直連接。 47、一種用以支撐-電子元件製造室的設備，包括： 一底座，該底座包括： 一或多個支撐構件；以及 一或多個滑動構件，適於： , 與該電子元件製造室相連並接納該電子元件 製造室的膨脹， 從而阻止該電子元件製造室移出底座上的位 39 M290610 置。 48、 如申請專利範圍第47項之多件室其中該一或多個 滑動構件更適於被壓縮以回應該電子元件製造室的膨脹。 49、 一種多件室，包括·· -中央件’其具有一第一側面、一第二側面和一具有半 球形部分的底部； 第側件，適合與該中央件的第一側面連接；以及 一第二側件，適合與該中央件的第二側面連接。 八、5〇、如申請專利範圍第49項之多件室，其中該半球形部 刀適於容納一真空自動控制裝置。 5 1、如申請專利範圍第49項之多件室，其中該半球形部 分包 “至少一個翼片狀支撐件，該翼片狀支樓件適於減小該 半球形部分在垂直方向上的移動。 5 2、如申請專利範圍第5 1項之多件室，其中該半球形部 、G括多個翼片狀支撐件，每個翼片狀支撐件都適於減小該 東化部分在垂直方向上的移動。 53、如申請專利範圍第49項之多件室，其中該中央件的 底邛包括一平坦部分。 40 M290610 54、如申請專利範圍第53項之多件室，其中該 具有一第一厚度，該半球形部分具有小於該第一厚 二厚度。 平坦部分 度的一第
    55、如申請專利範圍第54項之多件室，其中該 約為0.7 5英寸至1.0英寸或更小，該第二厚度約為 寸或更小。 第一厚度 0.375 英 56、一種多件室，包括： 一中央件，具有一第一側面、一第二側面、和 球形部分和平坦部分的底部，其中，該平坦部分具 厚度，該半球形部分具有小於該第一厚度的一第二 一第一側件，適合與該中央件的第一側面連接 一第二側件，適合與該中央件的第二側面連接 一具有半 有一第一 厚度； ；以汲
    57、如申請專利範圍第56項之多件室，其中該 約為0.75英寸至1.0英寸或更小，該第二厚度約為 寸或更小。 第一厚度 0.375 ^ 58、一種多件室，包括： 一中央件，具有： 一第一側面； 一第二側面； 一第一平面，包括至少一個開口，其大小 允許一基 41 M290610 板通過該開口；以及 一第二平面’包括至少三個開口，每一個開口的大 ' 小都允許一基板通過該開口； 一第一側件，適合與該中央件的第一側面連接；且 • 一第二側件’適合與該中央件的第二側面連接。 59、 一種多件室，包括： • 一中央件，具有一第一側面和一第二側面； 一第一側件，適合與該中央件的第一側面連接；以及 一第二側件’適合與該中央件的第二側面連接； 其中’該中央件的第一側面包括至少一個第一凹口，該 凹口適於允許一基板在該多件室中旋轉，並從該多件室傳送 到與一該多件室的第一側件相連的室。 60、 如申請專利範圍第59項之多件室，其中該中央件的 第一側面包括至少一個第一凹口，該凹口適於允許一基板在 該多件室中旋轉，並從多件室傳送到一與該多件室的第二側 件相連的室。 61、 一種多件室，包括： 一中央件，具有一第一側面和一第二側面； 一第一側件，適合與該中央件的第一側面連接，其中， 該第一側件包括至少一個翼片狀結構，該翼片狀結構適於減 少該第一側件之側壁的移動；以及 42 M290610 第二側件，適合與該中央件的第二侧面連接 61項之多件室，其中該第二側件 適於減小該第二側件之側壁的移 62、如申請專利範圍第 包括至少一個翼片狀結構， 動。 禋多件室，包括 一中央件，具有—第-側面和1二侧面； 一第一側件，適合與該中央件的第-側面連接，其中， 該第一側件包括至少一個支撐結構， 側壁的移動；以及 適於減小該第一側件的 -第二側件’適合與該中央件的第二側面連接，其中， 該第二側件包括至少一個支撐結構， 側壁的移動； 適於減小該第二側件的 其中’當該中央件、該第—側件和該第二側件連接在一 起時，形成實質上呈圓筒形的一室内區域。 64、一種多件室，包括： 一中央件，具有一第一側面和— 第二側面； 一第一側件，適合與該中央件的 W第一側面連接； 一第二側件，適合與該中央件的 乐一側面連接；以及 一適合覆蓋至少該中央件的蓋，其 ^ 部分在垂直方向上的 部分和多個支撐構件，適於減小該平㈤“蓋匕括平坦 移動。 43
    M290610 65、如申請專利範圍第64項之多件室，其中該蓋包括至 少一個開口，適於在不需移走該蓋的情況下，進出該多件室 的一^内部區域。 66、一種多件室，包括： 一中央件，具有一第一側面和一第二側面； 一第一側件，適合與該中央件的第一側面連接； 一第二側件，適合與該中央件的第二側面連接；以及 一蓋，適合覆蓋至少該中央件，其中，該蓋包括至少一 個開口，其適於在不需移走該蓋的情況下，進出該多件室的 一内部區域。 67、一種設備，包括： 一單元，該單元具有： 一多件室的一第一側件； 該多件室的一第二側件，其中，該第一和第二側件 適合與該中央件連接，以形成該多件室； 一第一底座件，與該第一側件相連；以及 一第二底座件，與該第二側件相連； 其中，該單元的尺寸符合至少一陸地和航空運輸規定。 44
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