TWI307311B - Miniature cell array structure and manufacturing method of miniaturized composite component using such a miniature cell array structure - Google Patents

Description

1307311 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係大體上有關於一種塑膠構件的模製技術，及 更明確地係有關於由複數個部件所形成之高度微型化的塑 '膠合成物的高精密度模製技術。本發明的技術可應用到使 I 用於影印機，傳真機，固態掃描式印表機，及類此者的光 學掃描系統上的微型塑膠鏡片陣列的製造上，或內建有用 φ 於光傳輸之微型化鏡片陣列的光學波導的製造上，數位相 機的鏡片的製造上，用在投影機螢幕，觸控面板，用於電 子攝影處理的光敏體，顯示裝置及類此者上的光纖陣列的 製造上。 【先前技術】 傳統上，存在有藉由模製來形成由複數的微型化構件 構成的高精密度塑膠產品的技術。詳言之，現在存在有形 φ 成（1 )微型鏡片陣列：及（2 )微光纖陣列的技術。 (1 )與微型鏡片陣列有關的傳統技術 . 關於和微型鏡片陣列或微鏡片陣列有關的傳統技術’ -日本公開專利申請案第1-1〇72〇2號（專利參考文獻1) ’ 日本公開專利申請案第2004-34 1 474號（專利參考文獻2 );日本公開專利申請案第2004-45586號（專利參考文 獻3 )被引用。 詳言之，專利參考文獻1揭示一種鏡片陣列的製造方 -5- (2) 1307311 法’其包含的步驟爲：將GRIN (分級指標）圓柱鏡片排 列在一模子內使得鏡片的光軸對齊於一預定的方向上；及 將一熔融的樹脂注入到該模子內用以形成一壓模（ molding)，該鏡片陣列與樹脂都被整合於壓模內。 '又’專利參考文獻2揭示一種藉由射出成型處理來製 1 造一光學構件的方法。詳言之，專利參考文獻2的技術是 關於一光學構件的製造方法，其特徵在於該模子的長的使 φ 用壽命’在沒有扭曲或光學缺陷下形成鏡片的能力及高精 確性地將鏡片輕易地整合至一主要設備內的能力。 因此，一鏡片固持件以一種該鏡片固持件上被形成有 一大數量的鏡片孔且鏡片被放置在該鏡片固持件的各鏡片 孔內的方式被放置在一下模內。藉此，該下模與該上模分 別被形成有直徑小於鏡片孔的直徑之一下鏡片模表面及一 上鏡片模表面，且鏡片則藉由將該下模與該上模彼此壓在 一起來形成。藉由使用不同的材質來形成鏡片及鏡片固持 φ 件，即可抑制鏡片的光學雜訊。詳言之，藉由使用金屬來 形成該鏡片固持件，即可輕易地以焊接的方式將該鏡片陣 列安裝到一主要設備上。 -又，專利參考文獻4提供一種製造一高精度合成模的 •方法，該模子有一薄的光學遮蔽部。該參考文獻藉由對該 模製的產品施加一次級模製處理而消除了介於一模製的產 品與一模製設備之間的誤對準問題，及藉由模製處理以在 尺寸上及圖案轉移精度上具有工精確度的方式製造一合成 鏡片。在此前技中，參考點分別被界定在被第一模製處理 -6 - (3) 1307311 所製造出來的產品上及用於第二模製處理中之模子上，用 以在該次級模製處理的初始架設期間彼此對準。又，尺寸 的調整可藉由將該初級模或該模子膨脹或收縮，或藉由機 械上的尺寸調整來達成。又，將該初級模固持在該次級模 _ 設備中的啓始時間可藉由偵測它們之間的相互位置關係或 二藉由以線性熱膨脹係數爲基礎偵測溫度來評估相互的位置 關係來加以控制。或者，該啓始時間可依據從溫度與尺寸 φ 所計算得出的時間來加以控制。藉此，該次級模製的啓始 時間被界定爲該初級模的溫度已到達高於該玻璃轉移點（ glass transition point)溫度約 3-25 °C 的時點。 日本專利第3,52 1,469號（專利參考文獻5)描述一 種樹脂鏡片陣列的製造方法，其處理步驟包括：藉由施加 一具有一均一厚度之透明的樹脂來形成一樹脂層於一扁平 的基板的一側上；將該樹脂層朝向一由可遮光的物質所製 成且其上形成有複數個穿孔的遮光板推進；藉由將一部分 # 的樹脂層擠入到該遮光板的穿孔中來形成鏡片；將該樹脂 層硬化育影形成鏡片陣列薄板；及藉由該樹脂層來固定該 基板及該遮光板。 ' 又，日本公開專利申請案第2004-45586號提供一種 '製造一具有一遮光層之微型鏡片陣列薄板的方法，其包含 的步驟爲：用紫外線照射一包含一微型鏡片陣列薄板其包 含一連續的層壓片（lamination )其一側爲用來載負微型 鏡片之透明的支撐基板及其另一側爲一透明的光敏層或一 熱塑性樹脂層；一黑色的UV硬化黏性樹脂層；及一保護 (4) 1307311 膜層，使得該紫外線照射被施加到鏡片被形成的一側上； 將該UV硬化樹脂層之UV照射被被微性鏡片聚焦的部分 硬化，用以將對應於被聚焦的部分之該被硬化的樹脂層轉 移至該保護膜層上；藉由將該保護膜層剝下來將該被硬化 的樹脂層上之被聚焦的部分從該透明的光敏層或該熱塑層 :上剝下來並形成該UV硬化樹脂層的一遮光圖案，其對應 於未曝露在UV照射且保持著與該透明的光敏層緊密接觸 Φ 的部分。 (2 )與光纖陣列有關的傳統技術 有多種傳統的技藝與製造光纖陣列有關。 日本專利公開申請案第2004- 1 1 8 1 1 9號（專利參考文 獻6 )揭示一種與塑膠光纖陣列及其製造方法有關的技術 。此前案技術能夠以低成本用一簡單的製造設備在短時間 內製造有光滑的線芯（core )表面及低光傳輸損失的光纖 # 陣列，且包含以下的步驟：降低梳形模其具有多根桿形指 件彼此平行地朝向一液態的UV硬化熔融樹脂延伸，使得 該等桿形指件的端部同時與該熔融樹脂接觸；將該桿形指 -件拉起；將由該熔融的樹脂中拉起之帶有前述端部的樹脂 ‘ 硬化用以同步形成複數個核心部；藉由將所有核心部浸到 一熔融的UV硬化樹脂（包覆樹脂溶液）中來形成一包覆 層用以形成一包覆層合成物；將該包覆層合成物與一熔融 的低黏滯性的熱塑性樹脂一起放入到一容器內；將該容器 加熱用以與該熔融的樹脂及該包覆層合成物一起形成整個 -8 - (5) 1307311 熱塑性樹脂來形成一保護部件；將其內包括有在桿形指件 的端部有該梳形部件之如此形成的模製物切割；及將如此 形成的端部的截面加以硏磨。 日本公開專利申請案第8-1 K 8 7 3號（專利參考文獻7 )揭示與一多孔本體及其製造方法有關的技術。 • 詳言之，此參考文獻係有關於一種有絕佳的隔熱及壓 縮強度之質輕的多孔本體並提供一種板形的多孔本體其包 φ 含：方形細胞其形成一窗格式的圖案於一熱塑性樹脂本體 中；及一可高度膨脹的熱塑性樹脂合成物其形成在每一細 胞中，該可高度膨脹的熱塑性樹脂合成物具有一膨脹比， 其形成該等細胞的熱塑性樹脂的膨脹比大20倍。 又，日本公開專利申請案第1 0-80964號（專利參考 文獻8)揭示一種蜂巢式構及其製造技術。 詳言之，該參考文獻教導一種經過一段長時間之後還 能有穩定的品質之堅強的透明蜂巢結構及其製造方法，其 # 中該蜂巢結構包括高密度之多邊形截面形狀之柱狀細胞的 三維度集成於一樹脂中。藉此，該該等細胞係以細胞壁之 間沒有設接合部的方式來形成，且該等細胞係藉由將一可 ' 膨脹的物質放入到一具有一三維度之規則的結構之樹脂中 -及藉由誘發該可膨脹的物質的膨脹來形成。 專利參考文獻1，官方公報之日本公開專利申請案第 1-107202 號 專利參考文獻2，官方公報之日本公開專利申請案第 2004-341474 號 -9- (6) 1307311 專利參考文獻3，官方公報之日本公開專利申請案第 2004-45586 號 專利參考文獻4，官方公報之日本公開專利申請案第 2003- 80543 號 專利參考文獻5，官方公報之曰本專利案第3,521，469 號 專利參考文獻6，官方公報之日本公開專利申請案第 2004- 118119 號 專利梦考文獻7，官方公報之日本公開專利申請案第 8 - 1 1 2 8 7 3 號 專利參考文獻8，官方公報之日本公開專利申請案第 10-80964 專利參考文獻9，官方公報之日本專利公告第56-34780 號 【發明內容】 [鏡片陣列製造上的問題] 當製造一微型的合成物（composite )蜂巢結構時，其 典型的例子爲第1圖所示者，多於一百個鏡片72藉由模 製的方式以窗格的形式被集合於一遮光部分7 1內用以形 成一微鏡片陣列。 此一蜂巢結構有下列的問題需要加以解決： (a )將該遮光部分製造的儘可能地薄；及 (b )在形成該合成物之後保持高精密度。 -10- (7) 1307311 在專利參考文獻1的技術中，該遮光部分是在鏡片排 列好之後才被注入的’因此不會產生上述（a )點的問題 。在另一方面’此一技術可在形成該光部分之後才形成鏡 片。然而，在此例子中，該遮光部分有可能在將該合成物 從該模子中取除時受損害。 ·_ 又，在該微型鏡片陣列被微型化且該遮光部分的厚度 被減小至約20微米的例子中，由於樹脂的黏滯性太大而 φ 不可能用一般的射出模製處理來塡入這麼小的空間內，且 不可能以模製處理來形成該遮光部分。 爲了要解決上述的問題點（b )，專利參考文獻2描 述了藉由將鏡片注入到形成在該遮光部分上的孔內，然後 擠壓來形成鏡片陣列的處理。然而，專利參考文獻2的此 一處理有一項缺點，即它對於該遮光部分的尺寸要求高精 確度及對於遮光部分的對準要求高精確度。 爲了要解決專利參考文獻2的前述問題，專利參考文 ^ 獻4提出一種藉由溫度控制的尺寸控制處理。然而，專利 參考文獻4的處理具有成本過高的缺點，因爲它需要使用 昂貴的設備及該形成處理的循環時間太長。 •又，專利參考文獻5提出解決上述問題的方案。詳言 •之’專利參考文獻5的處理藉由將一透明板片朝向該遮光 部分推近並造成該板片物質的塑性變形來形成鏡片部分。 雖然此處理封於消除鏡片與遮光部分之間的誤對準很有效 ’但仍存在著鏡片形狀因爲沒有鏡片模而無法加以控制的 問題。 -11 - (8) 1307311 在另一方面，專利參考文獻3教導了形成微鏡片陣列 的方法，其係藉由在行成該微鏡片之後將一黏性的UV硬 化樹脂層放置在該等鏡片後面並穿過鏡片讓該UV照射聚 焦到該UV硬化樹脂層來形成該遮光圖案。雖然此方法對 '於消除介於鏡片與遮光部分之間的誤對準很有效，但該遮 : 光部分的大小及/或形狀卻受限於鏡片的形式。詳言之， 此處理在該遮光圖案因爲硬化與該UV照射的聚焦一起發 Φ 生而無可避免地具有一逐漸變細的形狀。 [光纖陣列製造上的問題] 裩關於形成塑膠光纖陣列的方法，讓光纖一條一條地 並排形成光纖陣列要花相當長的時間。 因此，第19A圖顯示一種用來形成一梳子狀的模子1 其具有多根桿狀的指件1 b彼此平行地從一橋接部1 a延伸 出並藉由將該梳子狀的模子1朝向一熔融的樹脂2降下而 # 造成該等桿狀的指件1 b同時與該熔融的樹脂2接觸。 之後，該梳子狀的模子1在第1 9 B圖所示的步驟中被 緩緩地向上拉起於一向上的方向上，同時用一微弱的UV ' 輻射加以照射，藉此’該熔融的樹脂1 b與該梳子狀的模 ' 子1 —起被拉起用以形成線芯（c 〇 r e ) 4，其相對應於該 梳子狀的模子1之指件1 b彼此平行地延伸。 又，在第1 9 C圖所示的步驟中，一樹脂件3被黏附在 該等線芯4的遠端部用以將線芯4保持在各自的位置，且 紫外線照射被施加用以將線芯4完全地硬化。 -12- (9) 1307311 接下來，在第1 9D圖的步驟中，如此形成的線芯4在 其被保持在該梳子狀的模子！與該樹脂件3之間的狀態下 被浸入到一裝在一容器內的樹脂6中，藉此一包覆層被形 成在每一線芯4上。 又’在第19E圖的步驟中，包含了其上帶有該包覆層 • 且被保持在該梳子狀的模子1與該樹脂件3之間的該等線 芯4的一個構件被浸入到一裝在一容器9內的熱固性樹脂 鲁 8中，該梳子狀的模子〗與該樹脂件3在第19F圖的步驟 中被分離開。此爲揭示在專利參考文線6中的技術。 在另一方面，此專利參考文線6具有一項與其形成線 芯的原理有關的缺點，亦即，線芯4無可避免地具有一逐 漸變細的（tapered )形狀。因此，用這種方法形成的光纖 陣列具有光應用效率低的問題。 本發明首先藉由用一延伸處理來形成該包覆層，接著 將線芯物質注入到一在該包覆層內的中空的空間中以形成 Φ 一塑膠光纖陣列來解決上述的問題。 在一開始時之形成該包覆層的處理需要提供形成一細 胞陣列結構的技術，在該細胞陣列結構中柱狀的細胞被並 '排地形成。 • 傳統上，由一種依據日本專利公告第56_3478〇號（ 專利參考文獻9 )之形成一蜂巢結構的處理，其包含的步 驟爲將一塑膠材料保持在具有塑膠材料逃逸孔之加熱板之 間；將介於板之間的樹脂擠壓並加熱；及將板子彼此分開 用以將塑膠材料膨脹。然而，使用塑膠材料來形成此蜂巢 -13- (10) 1307311 結構的此傳統的處理具有一項缺點，即該蜂巢結構有一厚 的壁。 又，類似的問題亦發生在專利參考文獻7或專利參考 文獻8所描述的技術中，因爲其所使用的是熱塑性樹脂。 ’同時，藉由將一含水的表面活性劑膨脹（如肥皂泡般 來形成細胞壁薄的細胞是已知的。藉由此處理，可形成 一壁厚在數奈米至數微米之間的細胞。在另一方面，肥皂 φ 泡運用靜電排斥作用，厭水基團之間的交互作用， Marangoni作用及類此者，其中這些作用在薄膜乾掉及肥 皂泡塌陷時變得很不重要。又，在塑膠的例子中，上述的 作用沒有任何一種是存在的。 在形成一細長柱狀蜂巢結構或細胞陣列結構的氣泡化 處理中’在同一時間形成氣泡化是很重要的。當氣泡被彼 此毫無關聯地一個接著一個形成時，氣泡會具有一球形的 形狀’而不會形成所想要的梳子狀結構。 • 應被注意到的是，專利參考文獻7及專利參考文獻8 企圖藉由加熱的方式來氣泡化，然而此種以加熱來成氣泡 無法形成所想要的梳子狀結構，除非該加熱是以均勻的溫 • 度來達成。 • 又’專利參考文獻9藉由如上文提及之將板子彼此分 離的操作來形成，在此處理中將塑膠的黏性控制的很均勻 是很重要的。因此，用此種方法來形成梳子狀的結構亦是 很困難的。 在一態樣中，本發明提供一種形成一細胞陣結構的方 -14- (11) 1307311 法’在該細胞陣列中有複數個柱狀細胞被彼此相鄰地設置 ，該方法包含： 一第一步驟，將一可變形層層疊在一形成有複數個凹 陷的基材上’該等凹陷係以一種彼此隔離的方式被形成在 •該基材上’該可變形層被層疊在該基材上使得該等凹陷界 '.定出彼此隔離之各自的空間；及 一第二步驟，藉由造成在該可變形層內之塑性變形來 Φ 造使該空間在該等凹陷內膨脹，使得該等柱狀細胞被形成 在分別對應於該等凹陷中之該可變形層內。 依據本發明，可用一簡單且可靠的處理來形成一細胞 陣列結構’在該陣列結構中複數個由非常小的細胞壁厚度 所界定之柱狀細胞被彼此相鄰地設置。 在另一態樣中，本發明提供一種製自一微型複合構件 的方法’在該微型複合構件中有複數個柱狀件被設置成一 矩陣，該方法包含： • 一第—步驟’將一可變形層層疊在一形成有複數個凹 陷的基材上，該等凹陷係以一種彼此隔離的方式被形成在 該基材上’該可變形層被層疊在該基材上使得該等凹陷界 • 定出彼此隔離之各自的空間； • 一第二步驟’藉由造成在該可變形層內之塑性變形來 造使該空間在該等凹陷內膨脹，使得該等柱狀細胞被形成 在分別對應於該等凹陷中之該可變形層內；及 將該等柱狀件分別形成在該等柱狀細胞內， 該可變形件形成該矩陣。 -15- (12) 1307311 依據本發明，可形成一微型複合構件，在該微型複合 構件中有複數個柱狀件以一陣列的形式被設置成矩陣。詳 言之，本發明可形成微型鏡片陣列形式之柱狀構件，該微 型鏡片陣列是用形成一遮光部分之薄的殻所界定的。 在另一態樣中，本發明提供一種微型鏡片陣列，其包 :含： 複數個透光部分，每一透光部分在其至少一端部載負 φ 一微型鏡片；及 一邊界部分，其被提供在每一透光部分， 該等透光部分被設置成彼此相鄰橫跨該邊界部分，用 以形成一微型鏡片陣列。 依據本發明，一微型鏡片陣列可被形成使得形成該陣 列的每一微型鏡片載有一不透明的薄膜，在其側壁表面上 具有一厚度爲數微米左右的薄膜。因爲該不透光薄膜的厚 度很小，所以本發明的微型鏡片陣列可提供一大的孔徑且 ^ 在同一時間可抑制迷光（stray light)。 本發明的其它目的及進一步的特徵從下文中參照附圖 之詳細說明中將會變得更加明顯。 •【實施方式】 [本發明的槪述] 有鑑於上文所述之先前技術，本發明的主要目的爲： (1 )提供一種製造一微型細胞陣列結構的方法，該 微型細胞陣列結構內包括一陣列的微型柱狀細胞，該方法 -16 - (13) 1307311 包含的步驟爲：在一共同的方向上以彼此相同的屏脹時間 及膨脹量來膨脹複數個彼此隔離的細胞，使得該等微型註 狀細胞被形成爲彼此相鄰橫跨一薄的殼壁；及將該等被膨 脹的柱狀細胞適當地固定同時保持各自的形狀。 又，本發明具有一第一次要的目的： ‘-(1 · 1 )提供一簡單且容易的方法來製造一微型鏡片 陣列，構成該陣列之各別的微型鏡片具有高精密度且該陣 ^ 列係以一種各鏡片被一薄的遮光部分彼此隔離的方式來形 成。 又，本發明具有一第二次要的目的： (1_2)提供一簡單且容易的方法來製造一光纖陣列 ’其能夠以高精確度及高的光線利用效率來形成一光纖陣 列。 本發明的該主要目的是由該製造一微型細胞結構的方 法來達成，該方法包含：一第一步驟，用一具有塑性變形 # 功能之第一材料覆蓋一第一基材，在該基材的各個位置處 形成有複數個彼此獨立的凹陷，使得空間被形成在各個凹 陷內；及一第二步驟，藉由一在前述空間內的氣體壓力來 ‘ 將則述的空間同時膨脹於一預定的方向上來形成被一薄的 - 細胞壁隔離之細長形的柱狀細胞。 依據本發明的上述製造方法可藉由降低在該基材之被 該第一材料覆蓋的一側的壓力來造成該第一材料的膨脹。 在此處，應被瞭解的是上述之”相互獨立的凹陷”係指 各個凹陷形成一不與該第一材料的後側相連通或不與其它 -17- (14) 1307311 凹陷相連通之彼此隔離的空間。 本發明之第一次目的可藉由該製造一微型複合構件的 方法來達成，該方法包含：一第一步驟，用一具有塑性變 形功能之第一材料覆蓋一第一基材，在該基材的各個位置 處形成有複數個彼此獨立的凹陷，使得空間被形成在各個 • 凹陷內，及—第二步驟，藉由該等空間內之氣體壓力在複 數個位置處同時膨脹該第一材料用以形成具有薄的細胞壁 φ 的細長形的細胞，使得該等細胞在一預定的共同方向上被 伸長；及一第三步驟，藉由在不將該第一材料與該第一基 材分離之下注入一第二材料來形成該細胞形狀及該等凹陷 〇 上述的凹陷可具有鏡片的形狀。在此例子中，本發明 提供一種藉由使用該第一材料的微型細胞陣列結構作爲該 遮光部分及在不將該鏡片模子與該微型細胞陣列結構（遮 光部分）彼此分離下將鏡片材料注入該微型細胞結構中來 φ 形成鏡片之製造一鏡片陣列作爲該微型複合構件的方法。 本發明之第二次要目的係由該製造一光纖板的方法來 達成，在該方法中該細胞陣列結構被注入一線芯件其具有 • 一折射率其大於該細胞陣列結構的折射率。在此處理中， • 該細胞陣列結構隨後被去除掉，且去除掉該細胞陣列所形 成的間隙被塡入一包覆材料。 爲了要達到該第二次要的目的及獲得一其內包括用薄 細胞壁所界定之細長的柱狀細胞之微型細胞陣列結構’本 發明揭示一種方法，其將數個氣泡或細胞排成陣列於一添 -18- (15) 1307311 加了一表面活性劑的液體溶液中並在同步擴張之後以一種 氣泡的形狀在固化處理期間被保持的方式將該等氣泡固化 〇 詳言之，本發明提供獨立的下凹空間（凹陷）於該基 材的上表面上並使用控制該基材所在之環境的壓力的機構 又，爲了要在不造成該細胞陣列結構的形狀崩潰下將 φ 該細胞陣列結構乾燥，本發明揭示一種使用凝膠化溶液的 方法，其可造成該可變形材料的一隨著溫度改變之溶膠凝 膠（sol-gel )轉變。藉此，該凝膠化溶液被改變成爲凝膠 用以在實施該乾燥處理之前提高其硬度。在此處，應被瞭 解的是’上文中提到之"可變形材料"係指當接受依據本發 明的處理時會形成該細胞陣列結構的材料。 依據本發明，製造該細胞陣列結構的方法包含的步驟 爲：藉由將一可變形材料（B)施用在一基材（A)的一上 # 表面上來用該可變形材料（B)施用在該基材（A)的上表 面上’其中該基材的上表面上形成有高密度的微型凹陷’ 該可變形材料在一預定的條件下具有延展性變形的功能； '用在形成於該等凹陷與該可變形材料之間的閉合空間內的 — 氣體壓力來造成該可變形材料（B)的膨脹，使得複數個 空間被同步拉長及使得有數個細長的細胞被形成，它們以 彼此被微米厚度的薄壁隔開來的狀態延伸於一預定的方向 上，其中該在該基材（A )上的該等凹陷係以一種彼此隔 離的方式被形成。 -19- (16) 1307311 關於該細胞陣列結構的製造方法，可用降低在該基材 (A)之被該可變形材料（B )覆蓋住的一側的壓力來將該 可變形材料拉長。 藉由上述的細胞陣列結構的製造方法，該可變形材料 可使用一添加了表面活性劑之凝膠化液體溶液。 * 又，該製造細胞陣列結構的方法可藉由提供一通風空 間於該可變形材料（B )的背後來實施，使得該可變形材 φ 料（B )可由此側被乾燥。 關於該製造細胞陣列結構的方法，最好是將該通風空 間形成在被提供於該基材（A )上之該可變形材料（B )的 背後且讓一構件從該背後與該可變形的細胞陣列結構（B )接觸，使得該構件被形成有多個穿透孔，穿透孔之間的 間距小於形成在該可變形材料（B )上的柱狀細胞的間距 。因此，該可變形材料（B )的乾燥係經由這些穿孔來實 施的。 φ 又’將該等凹陷加以處理是較佳的，使得該等凹陷具 有一防水表面。又，將該等凹陷形成爲其在該基材（A) 的內部的直徑大於在該上表面的直徑是較佳的。 • 接下來’該第二次要目的的解決方案將被說明。 1 )用來將該細胞陣列結構膨脹的機構 關於用來將該細胞陣列結構膨脹使得複數個柱狀細胞 被並排地形成的機構，有一種基材結構被提供，在該基材 結構中有複數個凹陷被形成在一基材的表面上，加上用來 -20- (17) 1307311 施加該可變形材料的機構，使得在各個凹陷與形成在該基 材上的該可變形材料之間形成有空間。 2 )用來形成薄的細胞壁的機構 (1 )爲了要形成具有薄的細包壁的柱狀細胞，本 * 發明使用一種水溶液，其含有表面活性劑且溶解了 一會在 溫度改變時造成一溶膠凝膠轉變的凝膠以作爲形成該薄的 Φ 細胞壁。 (2 )又’本發明使用造成乾燥收縮的機構。在此 處’應被瞭解的是，此用來造成乾燥收縮的機構係指一藉 由使用一壓力控制設備來實施之降壓處理。在該降處理中 ，包含在該凝膠內之水分的蒸發被加速，藉此透過形成該 細胞壁的物質的體積的收縮來造成該細胞壁的薄化，而這 是藉由水的蒸發來造成的。 φ 3 )又’本發明在不限制該可變形材料的膨脹之下獲 得一可促進該可變形材料的乾燥的空間。藉此，因爲減壓 的關係而促進水的蒸發’且因爲該可變形材料的膨脹而形 • 成的該細胞陣列結構會因爲乾燥而被固化。 4 )其它機構 又，本發明藉由使用減壓機構來降壓而同時獲得細胞 的同步膨脹及可變形材料的高速乾燥。 -21 - (18) 1307311 [製造光纖陣列的方法] 又’本發明提供一種根據前述之製造一細胞陣列結構 的方法之製造一光纖陣列的方法。因此，本發明形成一光 纖陣列，在該光纖陣列中一大數量的光纖以一種將折射率 高於該可變形材料（B )的折射率之線芯材料注入到由該 可變形材料（B )形成之現在形成爲細胞壁的該微型細胞 陣列結構的細胞內之高密度陣列的形式被設置。 又，本發明提供一種"製造一光纖陣列的方法”，其包 含的步驟爲：將一線芯材料注入到一用"一微型細胞陣列 結構的方法”所形成之微型細胞陣列結構的細胞內；將該 可變形材料（B )去除掉；及藉由用包覆材料同時塡入到 如此形成的空間內來以一陣列的形式形成一大數量的光纖 於去除該可變形材料（B )的步驟所產生的空間內。 (1)本發明的第一態樣 依據一第一態樣，本發明提供一種製造一微型細胞陣 列結構的方法，其包含：一第一步驟，用一在一預定的條 件下具有延展性變形的功能之第一材料覆蓋一第一基材的 表面，在該第一基材上各預定的位置處形成有一大數量之 彼此獨立的凹陷（不與外部或其它凹陷連通之凹陷），便 得在前述之第一基材上的凹陷內形成有空間；及一第二歩 驟’藉由在前述之複數個空間內之氣體壓力將該第一材料 同步地膨脹及拉伸用以形成一微型細胞陣列於該第一材料 中’使得該等細胞平行地延伸於一預定的方向上。 -22- (19) 1307311 依具該第一態樣，可形成複數個彼此隔離的細胞，其 中該等細胞在同一時間以高密度及高精密度被第一材料形 成的細胞壁所隔離。 (2 )本發明的第二態樣 :依據本發明的第二態樣，該第一材料遭受到來自該等 空間內之氣體壓力的膨脹與拉伸，其中該氣體壓力係藉由 Φ 將該第一基材之被該第一材料覆蓋的一側減壓所造成的。 依據本發明，可用一簡單及快速的處理來高密度地形成一 大數量之被第一材料的細胞壁隔開來之彼此獨立的細胞。 (3 )本發明的第三態樣 依據一第三態樣，本發明提供一種製造一微型複合構 件的方法’其包含：一第一步驟，用一在—預定的條件下 具有延展性變形的功能之第一材料覆蓋—第一基材的表面 • ’在該第一基材上各預定的位置處形成有一大數量之彼此 獨II的凹陷’使得空間被形成在前述之第一基材上的凹陷 內；一第二步驟’藉由在前述之複數個空間內之氣體壓力 . 將該第一材料同步地膨脹及拉伸用以形成一微型細胞陣列 •於該第一材料中，使得該等細胞平行地延伸於一預定的方 向上；及一第三步驟，在不將該第一材料與該第一基材彼 此分離之下將一第二材料注入到該等複數個細胞內，用以 形成該等細胞使得該等細胞具有對應於該第一基材上的凹 陷之個別的端部。 -23- (20) 1307311 依據本發明的第三態樣，該等空間在第一 在該等凹陷內及該第一材料在第二步驟被膨脹 此可同步地形成該等複數個細胞。 又’藉由在桌二步驟注入該第二材料，而 成該等複數個細胞，使得每一個細胞都包括一 :一基材上的凹陷之端部。 詳言之，本發明可在第一及第二步驟之後 ^ 第三步驟及在不使該第一材料與該第一基材彼 ，在第一及第二步驟中形成的部分與在第三步 部分之間沒有誤對準的情形下製造該等細胞。 (4)本發明的第四態樣 依據第四態樣，本發明提供一種製造一微 的方法，其包含：一第一步驟，，用一在一預 具有延展性變形的功能之第一材料覆蓋一第一 ® ，在該第一基材上各預定的位置處形成有一大 獨立的凹陷（不與外部或其它凹陷連通之凹陷 前述之第一基材上的凹陷內形成有空間；一第 由在前述之複數個空間內之氣體壓力將該第一 膨脹及拉伸用以形成一微型細胞陣列於該第一 得該等細胞平行地延伸於一預定的方向上；一 將一第三材料黏附到該等複數個細胞的細胞壁 第一材料與該第一基材彼此分離；及一第四步 該第一材料與該第一基材彼此分離下將一第二 步驟被形成 及拉伸，因 可同步地形 對應於該第 緊接著實施 此分離之下 驟中形成的 型複合構件 定的條件下 基材的表面 數量之彼此 )，使得在 二步驟，藉 材料同步地 材料中，使 第三步驟， 上且不使該 驟，在不使 材料注入該 -24- (21) 1307311 等複數個細胞中用以形成該等細胞，使得具有對應於該第 一基材上的凹陷之個別的端部。 依據本發明’可以與本發明的第三態樣相同之高精密 度形成微型複合構件’因爲第三及第四步驟是在不使該第 一材料與該第一基材彼此分離下實施的。 (5 )本發明的第五態樣 Φ 依據第五態樣，本發明是在該第一材料被夾在該第一 基材與該第二基材之間的狀態下實施該第一材料的膨脹及 拉伸。 依據該第五態樣，本發明可在使用第二基材下在細胞 的形狀上達成高精密度。藉由使用一扁平的板片作爲該第 二基材’可讓該等細胞具有一均一的長度。 (6)本發明的第六態樣 Φ 依據第六態樣，可在第一步驟中藉由造成減壓而在對 應於該等凹陷的空間內產生氣體壓力。藉由減壓的使用， 使得在所有對應於前述的複數凹陷的所有空間的氣體壓力 • 在任何時間都是均一的，且可將該等細胞形成爲具有一均 • 一的體積及形狀。 (7 )本發明的第七態樣 依據第七態樣，該第二材料在一減壓狀態下被施加至 該等細胞的開口部分，且如此被施加的該第二材料係藉由 -25- (22) 1307311 將壓力提高至超過大氣壓力而被注入到該等細胞內。 依據本發明，因爲使用了氣體壓力差所以產生均一的 靜壓力’該第二材料的注入被均勻地實施且沒有變動。又 ’該第一及第二步驟可在製造時於同一設備上連續地實施 ，且可降低製造微型複合構件的成本。 (8 )本發明的第八態樣 φ 依據第八態樣，本發明可藉由在一減壓狀態下並施加 一離心力來將該第二材料施加到該等細胞的開口部分處而 將該第二材料注入該等細胞。藉由使用該離心力，不同比 重的物質可輕易地被分離，因此可輕易地將該等細胞內的 氣體排出並將液體狀態的第二物質注入到該等細胞內。 (9 )本發明的第九態樣 依據第九態樣，本發明可製造一用於微型複合構件之 φ 微型鏡片陣列（微鏡片陣列）。 (10) 本發明的第十態樣 '依據第十態樣，本發明使用一厭水本質的板片來作爲 •該第二基材。藉此，該第一材料在第二步驟被輕易地與該 第一材料分開來，因而可輕易地形成該等穿透的細胞。 (11) 本發明的第Η —態樣 依據第十一態樣’該等被形成在該第一基材上的凹陷 -26 - (23) 1307311 具有一鏡片的形狀。因此’依據本發明可在本發明的第三 態樣的第三步驟中或在第四態樣的第四步驟中藉由在第一 步驟中造成的氣體擴張將鏡片的形狀移轉至該等細胞，且 可在此第十一態樣中形成一用於該微型複合構件的鏡片陣 列。 (1 2 )本發明的第十二態樣 • 依據第十二態樣，本發明提供一種微型鏡片陣列，在 該陣列中構長該鏡片陣列的鏡片彼此之間被具有遮光功能 的第一材料所分隔開，其中該第二材料用的是一透明的材 料及該第一材料用的是一不透光的材料。藉此，可消除在 該鏡片正列中的耀光或迷光。 (1 3 )本發明的第十三態樣 依據第十三態樣，本發明的微型鏡片陣列（微鏡片陣 • 列）是用至少具有隔離功能的第一材料，具有透光功能的 第一材料’及具有遮光功能的第三材料所形成的。藉此， 可獲得一沒有耀光或迷光之微型鏡片陣列（微鏡片陣列） •。因爲第十三實施例的該微型鏡片陣列具有前述三種不同 材料的三項功能’所以與本發明的第十二態樣比較起來可 加強各項功能。又’在製造該微型鏡片陣列的時候可獲得 更大的自由度。 (1 4 )本發明的第十四態樣 -27- (24) 1307311 依據第十四態樣，本發明提供一種製造一微型細胞陣 列結構的方法，其包含的步驟爲：用一可變形材料（B ) 覆蓋一其上以高密度形成有微型凹陷的基材（A)的上表 面’該可變形材料（B )具有在一預定的條件下可延展性 變形的功能；用在複數個由該等複數個凹陷與該可變形材 料所形成的複數個空間內的氣體壓力來將該可變形材料C B )伸展’使得該等複數個空間被膨脹及拉長於一預定的 ® 方向上’用以形成被一微米厚的細胞壁彼此隔開的複數個 細胞，其中該等凹陷被獨立地形成在該基材（A)上。 依據本發明，在該基材（A)上的凹陷被彼此獨立地 开$成’因此當減壓被實施時該等凹陷的膨賬時間及膨脹量 胃相同的。藉此，長形的柱狀細胞以一種彼此被該可變形 材料形成的細胞壁隔開的方式被均一地形成。 (1 5 )本發明的第十五態樣 ® 依據第十五態樣，本發明將該基材（A )之被該可變 形材料（B )覆蓋的一側減壓，因此在相鄰的凹陷之間的 膨脹時間及膨脹量即會相同。藉此，可均一地長出一由複 數個彼此獨立的柱狀細胞所形成之細胞陣列。 (1 6 )本發明的第十六態樣 依據第十六態樣，本發明使用一添加了表面活性劑的 凝膠化液體溶液來作爲該可變形材料（B )。因此’該等 細胞被長成與肥皂泡類似之具有非常薄的細胞壁的形狀’ -28- (25) 1307311 其中如此長成的該等細胞之後會轉變成爲一凝膠。藉此’ 該等細胞被乾燥同時保持其形狀。又’因爲該溶膠凝膠轉 變是在約4 0。(：的溫度下發生，所以可提高在低溫下的膨脹 量同時抑制水的沸騰，且可使用高度的減壓來生長該等細 胞陣列結構。 (1 7 )本發明的第十七態樣 0 依據第十七態樣，本發明提供一種一通風空間於該基 材（A)之被該可變形材料（B )所覆蓋的一側上。藉此， 可從此側來將該可變形材料（B )乾燥。 (1 8 )本發明的第十八態樣 依據第十八態樣，本發明造成一結構本體其上形成有 複數個穿孔，其間距小於在該細胞陣列結構中的細胞之間 的間距，用以與覆蓋該基材（A )之上表面的該可變形材 φ 料（B )接觸於形成凹陷之處。藉此，可控制在形成於該 結構本體的穿孔內之空間與該基材（A )之間的關係，且 施用在該基材（A)上的可變形材料（B )的厚度會變得均 ‘勻。又，因爲該等穿孔之間的間距小於在該可變形材料（ B )上的細胞之間的間距，所以該等細胞可在不損失它們 的形狀下生長。又，藉由透過該等穿孔來讓該可變形材料 (B )背後的空間通風，該等細胞亦可被適當地乾燥。 (1 9 )本發明的第十九態樣 -29- (26) 1307311 依據第十九態樣’本發明應用一種處理來讓該等凹陷 厭水。在此態樣中，該可變形材料（B )不會在將該可變 形材料（B)施用於該基材（A)上時進入該等凹陷內。 (20)本發明的第二十態樣 •依據本發明的第二十態樣，該等凹陷被形成於該基材 (A )中使得該等凹陷的直徑比形成在該基材（a )的上 φ 表面上的開口部分的直徑大。 依據該第二十態樣，可在不造成該可變形材料（B ) 侵入到該基材（A )上的凹陷內之下將該可變形材料（b ) 施用到該基材（A )的表面上。又，因爲開孔部分的接觸 面積變小，所以在施用該可變形材料（B )之後之從該等 凹陷中去除空氣可被減少，且可在相同的減壓時間內造成 該等細胞的最大膨脹。 • ( 2 1 )本發明的第二十一態樣 依據第二十一態樣，本發明將一線芯材料注入到形成 在該可變形材料（B )上的細胞內，該線芯材料的折射率 大於該可變形材料（B )的折射率。因此，可用低成本及 高製造率來製造一種具有高度尺寸精密度及高光線利用效 率的光纖陣列。 (22 )本發明的第二十二態樣 依據第二十二態樣，本發明在將該線芯材料注入到形 -30- (27) 1307311 成在該可變形材料（B )內的細胞裝之後將該可變形材料 (B )移除，並用一包覆材料塡入到該可變形材料（B )移 除之後形成的間隙內。因此’可製造一種使用不同的材料 作爲線芯之可防水的光纖陣列。 ‘·本發明的工作實例 接下來，將對（1 )"鏡片陣列的製造”，及（2 ),，光 φ 纖板（光纖陣列）的製造”加以描述。 1.鏡片陣列的製造 [例1] 首先，關於本發明的第三態樣的處理方法將參照第1 圖及第2A-2F圖加以說明。 鏡片模子（第一基材） • 參照第2A圖，應被瞭解的是一鏡片模子80 (第一基 材）爲一可決定一將被形成之鏡片陣列的鏡片之間的間距 。又，鏡片模子8 0決定藉由將被提供於其上的可變形不 ' 透光的材料8 2膨脹形成之細胞陣列的基本結構，用以在 ' 其內形成柱狀細胞形式的空間並用來容納該鏡片陣列的鏡 片元件。又，該鏡片模子8 0被用作爲在細胞陣列形成之 後實施的處理中之鏡片元件的模子。 在實例1中，鏡片模子8〇是用一具有一防水表面的 矽膠所製成的且鏡片部分80a以一具有200微米的間距之 -31 - (28) 1307311 窗格圖案被形成在該鏡片模子80內。每一 都具有一半徑爲180微米之半球形表面，其 九個鏡片部分8 0 a以十三行乘十三列的矩陣 片模子8 0內。 • 不透光的材料（第一材料） 該不透光的材料82爲形成該細胞陣列 • 形的材料’該細胞陣列結構包括由細胞壁界 狀細胞。當光學元件被形成在該等細胞內時 材料82用來抑制耀光或迷光。在實施例1 爲1.56之UV硬化的丙烯酸樹脂被用作爲該 82。藉此，爲了要作爲一不透光的遮光件’ 料82被添加〇.5重量百分比（〇.5wt%)的 爲該不透光的材料82具有與將被形成在該 片相同的折射率’所以不會有光的全反射被 φ 效呂地獲得光吸收。 鏡片材料（第二材料） ' 在實例1中，一折射率爲1.56之UV硬 • 脂被用作爲形成在該不透光的材料8 2中之 細胞的鏡片8 3。 壓力控制設備 一種壓力控制設備1 00壓縮及/或排空 鏡片部分8 0 a 中有一百六十 被形成在該鏡 結構的一可變 定之細長的柱 ，該不透光的 中，一折射率 不透光的材料 該不透光的材 碳黑粒子。因 等細胞內之鏡 造成，且可有 化的丙烯酸樹 對應該等柱狀 氣體且被用來 -32- (29) 1307311 控制形成在該不透光的材料8 2內之細胞壁的細胞陣列結 構的尺度，主要是控制高度。 [功能] 實例1的處理如在第2 B - 2 F圖所示地進行。 (1)在第2B圖的步驟中，該不透光的材料82被旋 轉塗佈在一讓紫外線透過且具有極高的平坦度之扁平的玻 璃基材81上’其在該玻璃基材81被放置在該鏡片模子80 內的狀態下具有〇 · 1 -1 0 0微米的薄膜厚度。在實例1中， 該不透光的材料被旋轉塗佈且具有20微米的厚度（第一 步驟）。 該壓力控制設備1 〇〇爲能夠將環境壓力控制在一預定 的壓力的設備。在實例1中，該環境壓力通常被控制在 0.1 MP a。應被瞭解的是，此壓力被選來控制發生在後續步 驟中之氣體擴張。 (2 )在第一步驟中獲得之第2 B圖的結構被結合到該 壓力控制設備 1〇〇中且其內的環境壓力被降低至 〇.〇〇3MPa ° 在此減壓處理中，在對應於該等鏡片部分8 0 a之空間 內的氣體的膨脹或擴張會開始發生，因此藉由造成在該不 透明的材料82的變形，隨著氣體的膨脹會造成在鏡片部 分8 0 a內之空間的膨脹。 在此處，應被瞭解的是’在該鏡片模子80的所有鏡 片部分80a內的膨賬是同步發生的’因此該等空間的側向 -33- (30) 1307311 膨脹會因爲相鄰空間的干擾而受到限制。因此，膨脹只發 生在向上的方向上’因而導致一細胞陣列結構的形成，在 此陣列結構中與該等鏡片部分8 0 a相對應之複數個柱狀細 胞以一種該等複數個細胞彼此平行地延伸於從該基材8 0 向上的方向上的方式被彼此相鄰地形成於該變形的不透光 .材料82中。藉此，該不透光材料8 2形成不透光的細胞壁 84，其界定形成於其內的柱狀細胞。在第2C圖的狀態中 φ ’紫外線輻射被施用約十秒鐘用以將被變形的該不透光材 料8 2硬化’藉此’該不透光的細胞壁84被固化且該細胞 陣列結構被固定（第二步驟）。 接下來，在第2D圖的步驟中，其上載負著該細胞陣 列結構的該基材8 0從該壓力控制設備1 〇 〇上被取下。又 ，在取下該玻璃基材8 1之後，形成在該不透光材料8 2上 的細胞陣列的該等細胞被注入一形成鏡片的樹脂，其中此 樹脂的注入是在一3 000G的離心力下於一離心分離機中實 φ 施3 0秒鐘（第三步驟）。 在此處，注意到該鏡片模子8 0與細胞壁8 4在此處理 期間並沒有彼此分離是很重要的。 ' 接下來，在第2 E圖的步驟中，一可讓紫外線輻射透 -過之反射板8 5被放置在第2 D圖的結構上且紫外線輻射被 施加約1 〇秒鐘用來將該鏡片材料8 3硬化。藉此，鏡片元 件8 6以鏡片陣列的形式被形成在該細胞陣列結構的細胞 內（第四步驟）。 最後，鏡片模子8 0及反射板8 5被取下，且該鏡片陣 -34- (31) 1307311 列被獲得，使得微計片元件8 6被保持在由不透光的細胞 壁84所界定的細長形柱狀細胞中。 雖然沒有被示出，但將如此獲得的該結構退火是較佳 的，使得硬化在鏡片元件8 6更徹底地進行及使得不會有 未硬化的地方存在，特別是不透光的細胞壁84。

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[實例2] φ 實例2爲一對應到本發明的第二態樣的實施例且在兩 個步驟中形成該不透光部分，這將參照第3A-3G圖加以以 說明。應被瞭解的是，實例2的處理在下面所述的方面不 同於實例1 : (a) —對應於實例1的不透光的細胞壁84之細胞壁 94包括一不透光的薄膜94a其覆蓋一細胞壁94b ;及 (b) —丙烯酸UV硬化樹脂被用作爲該細胞壁94b 的材料（第一材料），而該不透光的薄膜（第三材料） # 94a係藉由添加碳黑粒子至該細胞壁94b來形成的。 除此之外，實例2與實例1相同。 [功能] '實例2的處理被示於第3A-3G圖中，其與實例1的處 理沒有不同，除了碳黑粒子被散佈於一揮發性溶劑中的一 不透光的液體在第3 D圖的步驟中於細胞壁94b被形成之 後被注入到該等細胞中之外。在第3 A - 3 G圖中，應被注意 到的是’與參照實例1被描述的部分相對應的部分被標以 -35- (32) 1307311 相同的標號且它們的描述將被省略掉。 因爲鏡片模子8 0具有防水性，所以該不透光的液體 選擇性地黏附至細胞壁94b，且該等碳黑粒子黏附到細胞 壁94，形成前述之不透光的薄膜94a (第三步驟）。 因爲對應於實例1的材料8 2之材料9 2在實例2中沒 '•有不透光的材料，所以第3 C圖的UV硬化處理可有效率 地進行，且細胞壁9 4b的硬化可自短時間內獲得。又，因 φ 爲可大量地使用該不透光的材料，所以實例2消除耀光或 迷光的效果亦被增強，且可有效地抑制該透鏡陣列的光線 洩漏。 [實例3] 示於第4A及4B圖中的實例3提供一種利用實例1及 實例2的處理所形成的光纖陣列。 因此，在第4 A圖的結構中，一包覆層1 01形成一細 # 胞陣列結構，其將線芯1 02保持在該細胞陣列結構的細胞 中，其中實例3藉由使用折射率爲1.45之一 UV硬化的甲 基丙烯酸酯樹脂作爲形成該等細胞壁的第一材料，同時使 •用折射率爲1.56之UV硬化的丙烯酸樹脂作爲用於該線芯 •的第二材料來形成該包覆層1 〇 1。 藉此，可藉由將光纖元件形成爲具有如第4A圖所示 之半圓形來提供可產生光纖元件之鏡片。 或者，可將光纖元件形成爲具有如第4B圖所示之一 圓錐形的端部用以讓光線漫射。 -36- (33) 1307311 [實例4] 與鏡片元件被安排成一窗格形式之第1圖的微鏡片陣 列相反地，示於第5圖中之實例4提供一種鏡片陣列，鏡 片元件在該鏡片陣列中是被安排成一交錯的陣列。 _.因此，本發明可在使用與上文所描述的處理類似的處 理下製造一如第5圖所示之鏡片元件交錯安排的微型鏡片 φ 陣列。在此例子中，應注要到的是，形成該包覆層1 0 1的 該等不透光的細胞壁在其內形成六角柱形狀的細胞，如第 5圖所示，且塡入該等細胞的線芯1 〇 2具有與六角柱相對 應的形狀。 接下來，使用厭水性本質的第二基材之本發明的第八 態樣將參照第6圖加以說明。 (例1 )第二基材並不防水 • 在第二基材8 1缺少防水性的例子中，該等細胞被形 成在一如第6圖所示的第二材料〗i 2的細胞陣列中，該第 一材料對應於第2A-2F圖所示的可變形材料82，其中應 被注意的是’每一細胞在其面向該第二基材8 1的一側都 • 具有一閉合端。這是因爲該材料1 1 2的薄膜在該等細胞的 1W部由於第二材料i〗2與第二基材8 1之間的高濕潤度而 保持著與該第二基材8 1相接觸的關係。 (例2)第二基材是防水的 -37- (34) 1307311 在第二基材81是防水的例子中，有一與第2a_2f圖 或第3A-3G圖的實例1及實例2類似的細胞陣列結構，在 該結構中每一細胞都具有開口端。此一結構是因爲該材料 112的薄膜已因爲介於該第二材料112與第二基材81之間 不佳的濕潤性的關係移動至它處所造成的。 • 從上述的例1及例2可知’細胞陣列結構的控制可藉 由該第一基材80的防水本質來達成。 2.製造光纖板的實例 [實例5]形成細長柱狀細胞的一細胞陣列結構的方法 第7-9圖顯示依據實例5製造一光纖板（光纖陣列） 的處理。 參照圖時，一溫度控制設備22被提供在一塗佈機2 1 上，且一其上表面具有一大數量之高密度的凹陷的基材（ A )被安裝到該溫度控制設備2 2上。 φ 在此實施例中’一包含了高密度的微小柱狀細胞的細 胞陣列結構被形成在此一基材（A )上。 實例5的結構及操作將於下文中加以說明。 • 1 ·實例5的結構 第7圖的基材（A )用作爲供一細胞陣列結構生長於 其上的模子並決定在該細胞陣列結構中之細胞之間的間距 。詳言之，基材（A )是由一矽膠所製成且以間距3 8微米 間距的交錯圖案形成具有一 2 5微米直徑的半球形凹陷。 -38- (35) 1307311 (2 )細胞結構材料（B ) 第7圖之細胞陣列結構材料（b )形成該細胞陣列結 構的本體，該細胞陣列結構上形成有複數個細長的柱狀細 胞。對於該細胞陣列結構材料（B )而言，可使用一市場 上可獲得之以純水稀釋五倍且添加了百分之1重量百分比 (1 wt% )的表面活性劑之黏膠（商標名爲Jellice )的液 φ 體溶液。在此例子中，爲了該細胞陣列結構之該溶膠凝膠 轉變是在約3 8 °C的溫度發生。 (3 )溫度控制設備 溫度控制設備22藉由控制該細胞陣列結構材料（B ) 的溫度來控制黏性。 (4 )壓力控制設備 φ 第7圖的壓力控制設備是一種可壓縮及排空氣體並可 控制該細胞陣列結構的尺度’特別是高度’的設備。又， 該壓力控制設備可促進該細胞陣列結構材料（B )的乾燥 (5 )射出機 第7圖的射出機2 5是一種用來將該細胞陣列結構材 料（B )的以一預定的量射到該基材（A )上的裝置。 -39 - (36) 1307311 (6 )塗佈機 第7圖的塗佈機2 1是一種將射到該基材（a )的上表 面上的該細胞陣列結構材料（B )抹開來，用以形成一預 定厚度的薄膜。在此所示的例子中，該塗佈機2 1爲一運 用離心力的一旋轉塗佈機。 實例1的操作 φ (1)首先’該塗佈機21的環境壓力藉由使用該壓力 設備24而被控制在一預定的壓力，譬如〇」MPa。此處理 是爲了控制在後面處理中之氣體擴張量而被實施的。 (2 )該基材（A )的溫度藉由使用該溫度控制設備 22來加以控制。藉此，可用任何的加熱器，紅外線光線， 吾波’及類此者來實施加熱。在實例1的例子中，一電匣 加熱器被用作爲該溫度控制設備22。該溫度可被設定爲接 近該溶膠凝膠轉變溫度，譬如3 8 °C。此溫度是爲了控制黏 φ 性’及該細胞陣列結構材料（B )而被選用的。 (3 )藉由使用該射出機2 5將該細胞陣列結構材料（ B )射至該基材（A )上。幾乎同一時間，該被射出之細胞 ' 陣列結構材料（B )藉由擠壓或旋轉塗佈而被分佈到該基 • 材（A )上，使得在該等凹陷23內形成有空的空間。在此 塗佈的步驟中，該細胞陣列結構材料（B )可形成一具有 I -1 〇〇微米薄膜厚度的薄膜，在實例5的例子中，該細胞 陣列結構材料（B )形成一 1 0微米厚度的薄膜。從該射出 機2 5射出該細胞陣列結構材料（B )是在4 5 °C的溫度下 -40- (37) 1307311 實施的，因此是在低黏性的溶膠狀態下實施的。 (4 )在降低該基材（A )的溫度之後，降低該塗佈機 21的環境壓力，使得在該細胞陣列結構材料（B )發生黏 膠轉變。 在實例5中，該溫度控制設備22的溫度被降低至20 ' °C且環境壓力藉由使用該壓力控制設備24而被降低至 〇.3MPa。藉此，在該等凹陷的空間內的氣體開始擴張且該 # 等空間造成膨脹，如第8圖所示。 藉此，因爲在相鄰的凹陷2 3內之同步的擴張，所以 該等空間的側向膨脹被限制且該等空間的擴張只發生在從 該基材（A )向上的方向上。因此，有複數個細胞以彼此 獨立的長形氣泡的形式同時形成在該細胞陣列結構材料（ B )內，而且這些氣泡或細胞3 1形成一柱狀細胞陣列結構 30 ° 之後，該基材（A )的溫度被該溫度控制設備22降低 # ’且被形成有該細胞制列結構的該細胞陣列結構材料（B )在保持它們的形狀之下被固化及乾燥。藉此，由於使用 該壓力控制設備24排空該周圍環境所以用於固化的時間 - 可被大幅地減少。 # ( 5 )接下來，該壓力控制設備24的處理室被打開且 相應於被如此形成之該細胞陣列結構的成果被拿到外面來 〇 第8圖以放大圖式的方式顯示在該擴張處理之後的10 分鐘之後該細胞陣列結構從該壓力控制結構2 4中被取出 -41 - (38) 1307311 的狀態下及在該基材（A )被移走的狀態下之被如此形成 之該細胞陣列結構。 如此形成的該細胞陣列結構經證實已被充分乾燥且舉 有一足以保持其形狀之機械強度。在所示的例子中，在該 細胞陣列結構3 0中的每一細胞3 1具有一 3 5微米的直徑 ，及120微米的長度，及3微米的壁厚。 φ [實例6]對應於本發明的第十八態樣的實施例 接下來，對應於本發明的第十八態樣的實施例將被加 以說明。 本發明的第十八態樣對應到第1 0圖所示的結構，其 中一其上形成有多個穿孔之扁平的板材結構26與在該基 材（A)上的可變形材料（B )相接觸。藉此，該等穿孔之 間的間距小於該細胞陣列結構中之細胞之間的間距。 應被瞭解的是，這些微型的穿孔可藉由造成在一厚對 φ 爲200微米的鋁板上的陽極氧化來輕易地形成具有〇. 1微 米或更小的直徑。因爲該等穿孔之間的間距小於在該細胞 陣列結構中之細胞之間的間距，所以可在不傷及該等細胞 • 3 1的形狀下藉由讓該板片結構2 6與該可變形材料（B ) -接觸來造成該可變形材料（B )的擴張。 [實例7]對應於本發明的第二十態樣的實施例 第1 1 A圖示意地顯示當一可變形材料（b )被施用到 其上形成有半球形凹陷2 3的該基材（A )的表面上時會發 -42- (39) 1307311 生的問題。 詳言之，第1 1 A圖顯示在該凹陷23內的氣體被溶解 到該可變形材料（B )中或穿過該可變形材料（B )逃逸到 外面，如在該圖的左邊所示。與此去除氣體相關的是，在 第1 1 A圖可看出該可變形材料（B )侵入到一些凹陷2 3中 〇 第11B圖顯示Young-Laplace公式。 根據Young-Laplace公式，一介於氣體壓力Pi與一液 體壓力Pl之間的壓力差ΛΡ係用一形成在該液體中之橢圓 形的泡泡來代表 Δ P = Pi-Pl= 〇 ( I/R1 + I/R2) 其中R!及R2分別代表沿著鏡軸測量的泡泡的半徑及沿著 主軸測量之泡泡半徑。 因此’前述的公式代表壓力差ΛΡ會在半徑Rl及r2 減小時變大。在此處’ σ代表液體的表面張力。 因此，當該凹陷2 3的直徑便成3 0微米或更小時，根 據該 Young-Laplace公式，該泡泡的壓力的會變大，造成 氣體被液體所吸收。或者’氣體從凹陷23藉由穿過該可 變形材料（B )逃逸到外面。在任何—種情形中，都會產 生如第1 1 A圖所示之該可變形材料侵入到凹陷23中。 因此，實例7藉由減少凹陷Η在該基材（A )的表面 處開口的面積’如第1 2 A圖所示，來減輕此問題，其中在 -43- (40) 1307311 該基材（A)上形成有多個球形氣隙（v〇id) ’使得每一 球形氣隙在該基材（A )的表面的—開口處被外露’該開 口具有一直徑其比該氣隙本身的直徑要小許多。 應被注要到的是，第1 2 A圖的結構可藉由以下的步驟 而被輕易地獲得：將聚苯乙烯微型球在該基材（A )的表 • 面上排成陣列；用衣UV硬化樹脂層覆蓋該等微型球；及 用一有機溶劑，譬如丙酮，將該等聚苯乙烯微型球去除掉 籲。 第12B圖顯示基材（a)的另一個例子，在該基材（ A)上形成有複數個深凹陷23b。第12B圖的結構可用微 影成像技術來形成。 [實例8 ]對應於本發明的第二十態樣的實施例 第13A-13D圖及第14A與14B圖顯示製造一·依據本 發明的第二十態樣的光纖陣列的處理。 φ 在第二十態樣中，一種細胞陣列結構3 0被形成，其 中該等細胞在該基材（A )側具有一閉合端，而與該閉合 端相反的一端爲一開口端。 ' (1 )用實例5的處理所獲得的該細胞陣列結構3 0如 • 第13A圖所示的被顛倒過來，且在此狀態下一透明的線芯 材料4 1被注入到該等細胞中。在所示的例子中，一未被 硬化的UV硬化的樹脂被用作爲該線芯材料4 1。詳言之， 該所示的例子使用一折射率爲1 0 5 6之丙烯酸U V硬化樹 脂來作爲該線芯材料4 1。 -44 - (41) 1307311 爲了要確保確實地將該線芯材料4 1注入到該微型細 胞3 1內而無氣隙’此實施例如第丨4 A圖所示地使用離心 心離機5 0 ’且該線芯材料4 1是在第1 4 B圖的步驟中藉由 操作該離心分離機5 0用3 000G的壓力持續3 0秒的時間來 加以注入。 ' 因此’在第14 A的步驟中，該細胞陣列3 0是被安裝 在該離心分離機50的一轉動鼓51上且該線芯材料41被 φ 倒在該細胞陣列結構3 0上。 接下來’在第14B圖的步驟中，該鼓51在高速下被 轉動且該線芯材料4 1因爲作用於線芯材料4 1上的李心力 而被壓入到細胞3 1中。藉此，在該細胞3 1中的任何氣泡 52都會被分離且細胞31會被完整地裝塡該線芯材料41。 (2 )接下來’在第1 3 B圖的步驟中，形成該線芯材 料4 1的UV硬化樹脂藉由照射UV光線而被硬化。 (3 )接下來，凝膠化的該細胞陣列3 0被能夠實施遮 Φ 光功能的其它不透光物質所取代，因爲形成該細胞陣列3 0 的凝膠的防水性不佳且折射率較高。 因此，第1 3 B圖的光纖陣列在第1 3 C圖的步驟中被浸 • 入到水中用以去除掉凝膠形成的細胞壁，藉此介於線芯材 • 料4 1之間對應於凝膠細胞壁處形成有間隙42。

(4)又，在第13C圖的步驟中’一包覆材料43藉由 使用第14A圖及04B圖的離心分離機50而被注入到該等 間隙4 2中。在所示的例子中’ 一 Ρ Μ Μ A溶液被使用，該 PMMA溶液中具有1 折射率的聚甲基丙烯酸酯（pmMA -45- (42) 1307311 )被溶解在一揮發性溶劑中且添加了 〇 · 5重量百分比（ 0.5 w t % )的碳黑粒子。 在注入該包覆材料43之後’該包覆結構44在如第 1 3 D圖所示的乾燥之後即被形成。 (5)藉由以上所述的處理’可用一簡單的處理及在 短時間內製造一如第13D圖或第15圖所示之微型光纖板 或光纖陣列40，使得具有35微米直徑且載負3微米厚的 包覆層之光纖被安排成爲12〇微米高度的陣列形式。 應被注意的是，此一光纖板4 0的光線利用效率在與 光源的距離被設定爲1 5微米或更小的例子中可高達22% [實例9] 雖然以上所述之實施例中所用的基材或”模子”具有一 形成有凹陷之扁平的上表面’但本發明並不偏限於此種扁 φ 平的基材且可使用如第16A圖所示的圓柱形基材201。在 第16A-16C圖的每一圖中，應注要到的是，右邊的圖顯示 該圓柱形基材20 1及形成於其上的構件的立體圖，而左邊 ' 的圖顯示沿著平面L所取的剖面圖。 -如第1 6A圖所示的，該圓柱形基材20 1上形成有複數 個凹陷202其對應於第2A圖的凹陷80a，及一可變形材 料203覆蓋在該基材202的圓柱表面上，其對應於第2B 圖的可變形材料料8 2。藉此，在該圓柱形基材2 Ο 1的表面 上形成有對應於凹陷2〇2之隔離開的空間。 -46- (43) 1307311 又’在第iec圖的步驟中，環境壓力被降低且造成塡 充該等凹陷202之氣體的擴張，並在現在構成一細胞陣列 結構之該可變形材料2〇3內形成細長形細胞203A，使得 細胞203 A對齊於垂直該基材的圓柱表面的方向上。 [實例10] 第17圖顯示一依據本發明的實例1〇之電子式可重複 φ 使用紙張。 參照第17圖，該電子式可重複使用紙張400包括— 由基材401A所形成的背板401，該基材401A上載有一電 極層4 0 1 B其包括各式的電極與主動元件，及一前板402 經由一黏性層4〇3而黏附在該背板40 1上。 前板402包括一透明的基材402A及一形成於基材 402A上之透明的電極層402B，其中該透明的電極層402B 黏附到一細胞結構402D上，該細胞結構包括彼此隔離的 φ 細胞402c且這些細胞是被細胞壁402d所隔開。細胞402c 被塡入一電泳物質402e且被一密封層402E所覆蓋，其中 該透明的電極層402B係經由一黏性層402C而黏附到該密 • 封層402E上。 '因此，藉由施加一跨越該背板401的電極層4〇1B與 該前板402的透明電極層4〇2B內的電極圖案的電壓’在 會造成細胞4 0 2 c內之電泳物質4 0 2 e中的電泳遷移’且影 像即藉由被如此誘發的電泳遷移而被顯示出來。 在一個例子中’該細胞結構402D具有50微米的厚度 -47- (44) 1307311 t’且每一細胞4〇2c都具有—150微米的寬度W。又，細 胞壁402d具有一 8微米或更小的厚度。 第18A-18G顯示第17圖之電子式可重複使用紙張 400的製程。 參照第1 8 A圖’ 一矽膠的模子5〇ι被提供使得該模子 . 501上形成有交錯設置的凹陷501A，與第2A圖的步驟類 似，除了凹陷5 0 1 A是被形成在一 1 〇 〇微米直徑的圓柱形 凹坑內，且其間距爲150微米。 又，在第18A圖的步驟中，一混合了 〇.5重量百分比 (0.5wt% )的碳黑粒子之UV硬化的丙烯酸樹脂在一塗佈 處理中被施加到該基材501上，用以形成一可變形層502 ，且在第1 8B圖的步驟中，在該可變形層502的背後的周 圍環境被排空至〇.〇 3 MPa的壓力，用以造成塡滿該等空間 5 〇 1 A之空氣的膨脹。 在用UV輻射將該可變形層502硬化之後，基材501 φ 被移走，且第1 7圖的結構的細胞結構402D因爲被硬化的 材料502而被獲得，使得細胞402c以彼此之間被細胞壁 402d隔開的形式被形成在該細胞結構402D中。如此形成 • 的該細胞結構具有A5的大小（148公釐X210公釐）’ • 50-70微米的厚度，150微米的細胞間距Λ，及8微米的 細胞壁厚d。 接下來，在第18D圖的步驟中，細胞402c被塡入電 泳物質，典型地是用鈦氧化物粒子，碳黑粒子及異構烷烴 所構成的，在第18E圖的步驟中’氨基鉀酸酯·樹脂的密封 -48- (45) 1307311 層402E被提供來覆蓋開口的細胞402c，使得氣泡不存在 〇 接下來，在第1 8F圖的步驟中，該黏性層4〇2C被施 加到該密封層402E上，且在第18E圖的步驟中，其上帶 有ITO的透明電極402B之透明的基材402A以上下顛倒 '•的狀態被黏附到該黏性層402C上。 又’在第18G圖的步驟中，第18E圖的結構藉由該黏 φ 性層4 0 2而被黏附到該背板4 0 1，而獲得如第1 7圖所示之 該電子式可重複使用的紙張。 又’本發明並不侷限於本文中所描述的實施例，而是 各式的修改及變化可在不偏離本發明的範圍下被達成。 本發明是依據2005年9月9日及2005年11月7日 提申的日本申請案第2005-262202及2005-322493號，這 兩個申請案藉由此參照被倂於本文中。 Φ 【圖式簡單說明】 圖1爲一斜角度立體圖，其顯示本發明的鏡片陣列的 例子； 圖2 A - 2 F顯示依據本發明的實施例1之該鏡片陣列的 _ 製造方法； 圖3 A-3G顯示依據本發明的實施例2之該鏡片陣列的 製造方法； 圖4A及4B顯示本發明的鏡片陣列的剖面圖； 圖5爲一斜角度立體圖，其顯示本發明的鏡片陣列； -49- (46) 1307311 圖6爲一說明本發明的效果的圖式； 圖7爲一側視圖，其顯示依據本發明的實例3之一光 纖陣列的製造方法； 圖8爲一放大的側視圖’其顯示依據圖7的實例3形 成一柱狀細胞陣列結構的處理； •圖9爲放大的斜角度丛體圖，其顯示依據圖7的實 例3所形成之梳子狀結構； | 圖1 0爲一側視圖，其顯示一具本發明的實施例4之 一光纖陣列的製造方法； 圖1 1 A及1 1 B爲說明當該可變形層的材料被施加到其 上形成有半球形凹陷的基材上時會發生的問題的圖式； 圖1 2 A爲顯示其上形成有球形凹陷的基材的另一側視 圖； 圖12B爲另一側視圖’其顯示其上有用微影技術（ photolithography)形成梳齒狀凹陷之基材； φ 圖13A-13D顯示光纖陣列用—模製處理的製造方法； 圖1 4A及1 4B說明在製造一光纖陣列的實施例中藉由 使用一離心分離機來將線芯材料塡入到一細胞陣列結構中 ' 的處理； •圖1 5顯示依據本發明的模製處理所製造的光纖陣列 » 圖16A-16C顯示本發明的其它變化例； 圖17顯示依據本發明的一實施例之一電子式可重複 使用紙張的結構； -50 - (47) 1307311 圖ISA-ISH顯示圖17之電子式可重複使用紙張的製 造處理；及 圖1 9A-1 9F顯示依據一先前技術之光纖陣列的製造方 法。 - 【主要元件符號說明】 80 :鏡片模子（第一基材） φ 82 :可變形之不透光的材料 8〇a :鏡片部分 8 3 :鏡片 8 1 :玻璃基材（第二基材） 1 〇 〇 :壓力控制設備 84:不透光的細胞壁 8 5 :反射板 8 6 :微鏡片元件 φ 94 :細胞壁 94a :不透光的薄膜 94b :細胞壁 • 9 2 :材料 • 1 01 :包覆層 1 〇 2 :線芯 1 1 2 :第二材料 2 1 :塗佈機 22 :溫動控制設備 -51 - (48) (48)1307311 2 3 :凹陷 2 4 :壓力控制設備 2 5 :射出機 3 1 :細胞 3 0 :細胞陣列結構 2 6 :扁平板片結構 41 :線芯材料 5 0 =離心分離機 5 1 :轉動鼓 52 :氣泡 42 :間隙 4 3 :包覆材料 4 4 :包覆結構 45 :光纖 40 :光纖板 2 0 1 :圓柱形基材 202 :凹陷 203 :可變形材料 2 0 3 A :細胞 400 :電子式可重複使用的紙張 401 :背板 4 0 1 A :基材 4 01 B :電極層 4 0 2 :前板 -52- (49) 1307311

4 0 3 :黏性層 402A:透明的基材 402B ：透明的電極層 4 0 2 c :細胞 4 0 2 C :黏性層 402D ：細胞結構 4 0 2 d :細胞壁 4 0 2 e :電泳物質 4 0 2 E :密封層 5 0 1 :模子 5 0 1 A :凹陷 5 0 2 :可變形層

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Claims (1)

1307311 十、申請專利範園 第9 5 1 3 3 0 7 6號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國97年9月25日修正 1. 一種製造一細胞陣結構的方法，該方法包含： 一第一步驟，將一能夠造成塑性變形之可變形層層疊 0 在一形成有複數個凹陷的基材上，該基材在其一上表面上 形成有複數個彼此分離的凹陷，使得該可變形層在每一凹 陷內形成一彼此隔離的空間：及 一第二步驟，藉由造成在該可變形層內之塑性變形來 將在該等複數個凹陷的每一凹陷內的空間延伸，使得有複 數個柱狀細胞分別被形成在相對應之該等複數個凹陷中， 其中該第二步驟包含降低一在該層疊於該基材上的可 變形層的外面的空間的壓力的步驟，該材料層的塑性變形 φ 是由在該等複數個凹陷內之氣體壓力所引發的。 2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該等複數個細 胞延伸於一大致垂直於該基材的上表面的方向上。 . 3 · —種製造一微型複合材料的方法，該方法包含： -一第一步驟，將一能夠造成塑性變形之可變形層層疊 在一形成有複數個凹陷的基材上，該基材在其一上表面上 形成有複數個彼此分離的凹陷，使得該可變形層在該等複 數個凹陷的每一凹陷內形成一彼此隔離的空間； 一第二步驟’藉由造成在該可變形層內之塑性變形來 1307311 將在該等複數個凹陷的每一凹陷內的空間延伸’使得有複 數個柱狀細胞分別被形成在相對應之該等複數個凹陷中； 及 —第三步驟，形成複數個柱狀構件於各柱狀細胞內， 其中該第三步驟更包含：一第一子步驟，在形成有該 多數柱狀細胞的狀態下將該可變形層固化用以形成細胞壁 ;及一第二子步驟，在該等細胞壁被貼附於該基材的狀態 0 下將該柱狀構件的材料注入該等細胞內。 4 · 一種製造一微型複合材料的方法，該方法包含： 一第一步驟，將一能夠造成塑性變形之可變形層層疊 在一形成有複數個凹陷的基材上，該基材在其一上表面上 形成有複數個彼此分離的凹陷，使得該可變形層在該等複 數個凹陷的每一凹陷內形成一彼此隔離的空間； 一第二步驟’藉由造成在該可變形層內之塑性變形來 將在該等複數個凹陷的每一凹陷內的空間延伸，使得有複 φ 數個柱狀細胞分別被形成在相對應之該等複數個凹陷中； 及 一第二步驟’形成複數個柱狀構件於各柱狀細胞內， ' 其中該第三步驟更包含：一第一子步驟，在一形成有 .該多數柱狀細胞的狀態下將該可變形層固化用以形成細胞 壁’一第一子步驟’將一第一材料黏附到該等細胞壁上用 以形成一層第一材料覆蓋該等細胞壁；及一第三子步驟， 在該寺細胞壁用該第一材料加以覆蓋之後，將該柱狀構件 的一第二材料注入到該等細胞內。 -2 - 1307311 5 _如申請專利範圍第4項之方法’其中該第一材料爲 一種可選擇性地黏附到該等細胞壁上的材料，該第三子步 驟被實施使得該第二材料與該基材在該等複數個細胞的每 一* 0包內的凹陷處直接接觸。 6 .如申請專利範圍第3項之方法，其中該第三步驟包 含：一第一子步驟’在形成有該等複數個柱狀細胞的狀態 下將該可變形層固化用以形成細胞壁；一第二子步驟，將 ^ 該柱狀構件的材料注入到該等細胞內作爲第一材料；將該 第一材料固化用以形成該等柱狀構件於該等複數個細胞的 各細胞內；將該等柱狀構件的細胞壁選擇性地去除；及用 一第二材料塡入到一介於該等複數個柱狀構件之間的間隙 內。 7 ·如申請專利範圍第6項之方法，其中該可變形層包 含一可造成溶膠凝膠轉變的材料’及其中將該可變形層固 化的該第一子步驟包含促成該可變形層從一溶膠狀態變成 φ —凝膠狀態的轉變的步驟。 8_如申請專利範圍第7項之方法，其中該可變形層包 含一添加了表面活性劑的凝膠化溶液。 • 9.如申請專利範圍第6項之方法，其中該第二材料包 •含一不透光的物質。 I 0.如申請專利範圍第3項之方法，其中該可變形層 包含一紫外線硬化樹脂。 II ·如申請專利範圍第1 〇項之方法，其中該可變形層 包含一不透光物質。 1307311 1 2 .如申請專利範圍第3項之方法，其中該第二步驟 包含：用該柱狀構件的材料塡入到該等細胞內；及施加一 壓力至該等柱狀構件的材料上，的步驟。 13. 如申請專利範圍第3項之方法，其中該第三步驟 包含：用該柱狀構件的材料塡入到該等細胞內；及施加一 離心力至該等柱狀構件的材料上，的步驟。 14. 如申請專利範圍第3項之方法，其中該第二步驟 包含：將一板片黏附至該可變形層之遠離該基材的一側上 ;及將該板片背後的區域排空，等步驟。 1 5 _如申請專利範圍第1 4項之方法，其中該板片包含 一可透紫外線輻射的玻璃板片。 1 6 ·如申請專利範圍第1 4項之方法，其中該板片包括 多個穿孔，穿孔之間的間距小於在該基材上之該等凹陷之 間的間距。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之方法，其中該第二步驟 包含透過該板片讓該區域通風的步驟。 18.如申請專利範圍第3項之方法，其中在該基材上 的凹陷形成在該基材的上表面上之具有一開孔寬度的開孔 ，使得橫跨該凹陷內部的壁的寬度的尺寸大於該開孔寬度 -4 -