TWI297085B - - Google Patents

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TWI297085B
TWI297085B TW095108801A TW95108801A TWI297085B TW I297085 B TWI297085 B TW I297085B TW 095108801 A TW095108801 A TW 095108801A TW 95108801 A TW95108801 A TW 95108801A TW I297085 B TWI297085 B TW I297085B
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Tatsuo Makii
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Sony Corp
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Description

1297085 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係㈣-種透鏡驅動機構、透鏡單元及攝 之技術區域。更詳細地說,係關於-種使㈣電元件作: :可動部移動的驅動震置’檢測有關該壓電元件二 =便謀求提高對於可動部之位置控制的可靠性等的: 【先前技術】 /-種透鏡單元,其係於鏡筒中配置可動透鏡等攝像光學 系統、或使可動透鏡向特定方向移動之透鏡驅動機構等而 成者。該透鏡單元被組裝於除了攝影機或靜物攝影機之 外、行動電料各種攝料置中。可動透鏡以及固定該可 動透鏡的透鏡架共同構成可動部,該可動部藉由透鏡驅動 機構向光軸方向移動,而聚焦或變焦、及爲了修正振動, 向與光軸垂直之方向移動。 於此種透鏡驅動機構上,具有包含線性致動器者,該線 性致動器藉由驅動用線圈或驅動用磁鐵等構成(例如參照 專利文獻1)。 [專利文獻1]日本專利第3387173號公報 [發明欲解決之問題] 但是,上述先前之攝像裝置,由於設置有作爲透鏡驅動 機構而藉由驅動用線圈或驅動用磁鐵等構成之線性致動 器’因此’具有驅動用線圈或驅動用磁鐵等之必要銬部 分’且構造複雜’並且配置空間亦變大,招致大型化之問 107586.doc 1297085 題0 而且,除了使可動部在其可動範圍中移動時之外,即使 將可動部保持於教的位置時,亦必須經常對驅動用線圈 進行通電’該部分有消耗電力大的問題。 另方面,雖然可動部在事先設定的可動範圍中移動, 但是於所製造的各攝像裝置中,因各零件的組裝誤差等會 產生可動範圍的參差不齊’故最好能對各攝像裝置進行對 於可動部特有的位置控制。特別是,關於在可動範圍之可 動部之移動端之初期位置’有必要進行正確的設定。 【發明内容】 因此,本發明為克服上述問題點,纟目的在於提供一種 藉由簡化機構實現小型化,以及謀求提高可動部位置控制 之可靠性等。 解決問題之方法] 用=Γ—種透鏡驅動機構、透鏡單元及攝像裝置,矣 、解/、上述課題,包含··壓電元件,其係 :形’作爲賦予可動部移動力的驅動裝置之:能:·限制 ;置,其係限制可動部向上述特定方向移動者;:: 置’其係檢測有關壓電元件之特定量者·且、 件之變形而銘#Λ Μ 寸疋里f,且,利用壓電元 千之U而移動的可動部藉由 測裝置所檢测之特定量中…置限制時,基於以檢 付疋里中之轉換點,作爲 範圍之移動端的位置而進行初期位置之設定\ 可動 因此’本發明之透鏡驅動機構、透鏡 在利用限制裝置限制可動部時, :攝象裝置, J勒峥的初期位置之 107586.doc 1297〇85 設定。
[發明效果J 本發明之透鏡驅動機構, 的可動部向特定方向移^=在二:使具有可動透鏡 通電產生變形,作爲賦 :^電70件,其係藉由 者;限制裝置,其係限制可動驅動裝置之功能 , j- ,. ,. B上述特定方向移動者; I収置,其係檢洌有關壓電元件 用壓電元件之變形而移里者,且’利 基於以檢财_時’ 、以…置所檢測之特定量中之轉換 二Π圍之移動端的位置而進行初期位置之設定 可動部時爲驅動裝置’利用限制裝置限制 Η 4仃可動部之初期位置之設定,所以可 透鏡驅動機構的小型化,並且f旦 … 設定。 』i化並且此夠輕易地進行初期位置之 於請求項2之發明’因為根據所設定的可動部 =於而進行可動部之可動範圍之設定,所以能夠輕易 ^;可動部的動作控制以及提高對於可動部動作 靠性。 4 一於請求項3之發明’因為上述檢測裝置係使用檢測壓電 1所產生之應變量之應變計,所以不必提高製造成本即 可簡單地進行檢測。 ^印求項4之發明,因為上述檢測裝置係使用檢測累積 於壓電元件的電荷量之電荷感測器’所以不必 造: 本即可簡單地進行H 成 107586.doc 1297085 隔:: = 5之發明’因為在可動部之移動方向上,相間 而移=兩個上述限制裝置’且根據利用壓電元件之變形 、可動部精由各限制裝置限料所設定的各初期位 而進仃可動部之可動範圍之設定 對於可動部移動控制的可靠性。 约4求“ 可^明之透鏡單元,其特徵在於:具備具有可動透鏡之 者.二:及使該可動部向特定方向移動之透鏡驅動機構 =,錢鏡驅動機構包含:壓電元件,其係藉由通電產生 ,作爲賦予可動部移動力的驅動裝置 其係限制可動部向上述特定方向㈣者;及檢測裝 …係檢測有關壓電元件之特定量者;纟,利用麼電元 形:移動的可動部藉由限制裝置限制時,基於以檢 二、所檢測之特定量巾之轉換點,作爲於可動部之可動 乾圍之移動端的位置而進行初期位置之設定。 因為使用壓電元件作爲驅動裝置,利用限制裝置 :制:動部時’設定可動部之初期位置,所以,能夠謀求 透鏡單元之/j、w ,並且能夠輕易地進行初期位置之設 定0 本發明之攝像1置,其特徵在於:具備具有可動透鏡之 可:部、使該可動部向特定方向移動之透鏡驅動機構、及 將猎由攝像光學系統成像的圖像轉換成電性信號之攝像元 牛者/亥透鏡驅動機構包含:壓電元件’其係藉由通電產 生憂开/ β爲賦予可動部移動力的驅動裝置之功能者;限 制裝置’其係限制可動部向上述㈣方向移動者;及檢測 107586.doc 1297085 裝置,其係檢測有關壓電元件之特 元件之變形而移動的可動部藉由二限二=電 檢測裝置所檢測之特定量中之轉換點… 動範圍之移動端的位置而進行初期位置之設定。部之可 因此,因為使㈣電元件作爲驅動裝置= :制可動部時,設定可動部之初期位置,所以, =像裝置之小型化,並且能夠輕易地進行初期位置:設 疋0 【實施方式】 以下,參照所附圖式説明用以實施本發明的較佳形態。 本發明可適用於行動電話、攝影機、靜物攝影機等具有動 晝攝影或者靜止畫攝影之功能之各種攝像裝置、或該等攝 像裝置中所使用的各種透鏡單元、透鏡驅動機構。 首先,就攝像裝置1的整體構成進行説明(參照圖丨)。 攝像裝置1,其包含相機區塊(camera block) 2、相機數 位 L 號處理器(DSP,Digital Signal Processor) 3、同步動 I、Pic 枝存取 δ己憶體(SDRAM,Synchronous Dynamic Random Access Memory) 4、媒體介面5、控制區塊6、操 作部 7、液晶顯示器(LCD,Liquid Crystal Display) 8及外 部介面9,記錄媒體100可裝卸。 作為記錄媒體100,可使用使用半導體記憶體的所謂記 憶卡、可記錄的 DVD (Digital Versatile Disk)或 CD (Compact Disc)等碟片狀記錄媒體等。 相機區塊(camera block) 2具備可動部1 0、電荷耦合裝置 107586.doc -10- 1297085 (CCD,Charge Coupled Device)等攝像元件 u、類比/數位 (A/D,Analog/Digital)轉換電路12、第j驅動器13、第2驅 動器14、時序產生電路15等。 了動410例如具有I焦透鏡或變焦透鏡等可動透鏡 16、以及保持該可動透鏡16之透鏡架17等(參照圖。可動 部10可自由滑動地被支持於透鏡架17向光軸方向延伸的導 引軸18、18,且被導引軸18、18引導,並向光軸方向移 動。 於透鏡架17上,例如設置有向下突出的突出部19,於該 突出部19形成有上下方向之長支持孔19a。 如圖1所示,攝像元件U,按照來自第2驅動器14之驅動 仏號動作,讀取經由可動透鏡丨6讀取的被攝體的圖像,並 根據由時序產生電路1 5輸出之時序訊號,該時序產生電路 1 5係由控制區塊6所控制者,把所讀取的被攝體之圖像(圖 像資訊)作爲電性信號,輸出到A/D轉換電路丨2。 再者’攝像元件11不限於CCD,例如,也可以使用互補 式金氧半導體(CMOS,Complementary Metal-Oxide Semiconductor)等其他元件。 A/D轉換電路12,係對所輸入之圖像資訊之電性信號, 進行相關一重取樣(CDS,Correlated Double Sampling)處 理保持良好的信號雜訊比(Signalto Noise Ratio,簡稱 S/N 比)、進行自動增益控制(agc,Automatic Gain Control) 處理’而控制增益、進行A/D (Analog/Digital)變換,產生 作為數位信號之圖像資料。 107586.doc 1297085 第1驅動器13,係根據控制區塊6之下述中央處理器 (CPU)之指令,對於下述㈣元件送出驅動信號。 第2驅動器,係根據由時序產生電路15輸出之時序訊 號’對於攝像元件11送出驅動信號。 時序產生電路15,係根據控制區塊6的控制,產成提供 特定之時序之時序訊號。 於相機區塊(camera block) 2上,設置有壓電元件2〇,該 壓電70件20係具有作為使可動部1〇例如向光軸s方向(參照 圖1)移動之驅動裝置之功能者。壓電元件20藉由通電,其 大致曲率半徑以一定狀態變形。此時,壓電元件2〇上累積 電荷。壓電元件之一端部(下端部)被固定於固定部21,向 對應於光軸方向之方向變形。 壓電元件20上大致區分為雙壓電晶片型和單壓電晶片 型,於相機區塊(camera block) 2上例如使用雙壓電晶片型 的壓電元件20。又,也可以使用單壓電晶片型作為壓電一 件20〇 如圖2所示,於壓電元件20的前端部(上端部)褒設有卡 合銷22,該卡合銷22可自由滑動地被支持於支持孔1 該支持孔19a係形成於可動部10的透鏡架17上。 相機區塊(camera block) 2上裝設有限制裝置23、23 制裝置23、23相間隔並設置於光軸方向,例如,師m N π,配置於可 與透鏡架17之突出部19相接觸之位置,用於限制可 a 、 口 P於 光轴方向上的移動。 。檢測裳 相機區塊(camera block) 2上裝設有檢測裂置24 107586.doc -12- 1297085 置24使用檢測有關壓電元件20之特定量,例如壓電元件20 所產生之應變量之應變計,並黏貼在壓電元件20上。應變 計之輸出,例如藉由未圖式的橋接電路處理。 相機DSP 3,係對於從A/D轉換電路12輸入的圖像資料, 進行自動聚焦(AF,Auto Focus)、自動曝光(AE,Auto Exposure)、自動白平衡(AWB,Auto White Balance)等信 號處理。進行後AF、AE、AWB等信號處理之圖像資料, 用特定的方式進行資料壓縮,再經由控制區塊6輸出至記 錄媒體100,作為檔案記錄在該記錄媒體100。 相機DSP 3上裝設有SDRAM控制器25,根據該SDRAM 控制器25之指令,以高速對SDRAM4進行資料的讀寫。 控制區塊6係經由系統匯流排30連接以下各部分而構成 之微電腦,即:中央處理器(CPU,Central Processing Unit) 26、隨機存取記憶體(RAM,Random Access Memory) 27、快閃准讀記憶體(ROM,Read Only Memory) 28及時鐘電路29等各部分,且具有控制攝像裝置1之各部 分之功能。 CPU 26經由第1驅動器13和時序產生電路15,向第2驅動 器14等送出指令信號,使這些部分動作。 RAM 27主要作為作業區域使用,暫時記憶處理的中間 結果等。 於快閃ROM 28記憶於CPU 26中執行之各種程式或於各 處理上必要的資料等。 時鐘電路29係輸出現在的年月日、星期、時間、攝影曰 107586.doc • 13 - 1297085 期等之電路。 操作部7係設置於攝像裝置1之框體中的觸控面板或控制 鍵等’對應對於操作部7之操作信號被輸入Cpu 26,藉由 该CPU 26,按照輸入之信號,向各部分送出指令信號。 LCD 8,例如,設置於框體,藉由連接於系統匯流排3〇 之LCD控制器31進行控制。LCD 8上顯示各種資訊,其係 基於LCD控制器31之驅動信號的圖像資料等。 外部介面9連接於系統匯流排30。經由外部介面9與外部 機器200例如外部的個人電腦(personai compUter)連接, 可從省個人電腦I買取圖像資料,並記憶於記錄媒體1 〇〇、 或者了以把3己憶於記錄媒體i 〇〇之圖像資料,輸出到外部 的個人電腦等。且記錄媒體丨〇〇經由連接於系統匯流排 之媒體介面5,連接於控制區塊6。 再者,藉由於外部介面9連接外部設備2〇〇,例如通訊模 、、且可例如連接於網際網路等的網路,經由該網路獲取各 種圖像^料或其他資訊’把這些資料或資訊記錄於記錄媒 體1〇〇、或將記錄於記錄媒體⑽之資料經由網路傳送到目 的之對象。 再者’外部介面9,亦可作為IEEE (Institute 〇f mectrical and Electr〇mcs Englneers) 1394、通用串列匯流排⑽b,
UniVerSal Sedal BUS)等有線用介面裝設,也可以作爲利用 光或電波之無線用介面裝設。 —另卜°己隐於5己錄媒體1 00的圖像資料,按照對應對於 藉由用戶所進仃之操作部7之操作的操作信號,而從記錄 107586.doc 1297085 媒體被讀取,經由媒體介面5送出到相機DSP 3。 相機DSP 3,對從記錄媒體1 〇〇中讀取、輸入並被壓縮的 圖像資料進行壓縮資料的解壓縮處理(展開處理),並經由 系統匯流排30將解壓縮後的圖像資料送到LCD控制器3 1。 LCD控制器31向LCD 8送出基於該圖像資料的圖像信號。 LCD 8上顯示基於圖像信號的圖像。
如上方法所構成之攝像裝置1中,壓電元件2〇、卡合銷 22、限制裝置23、23、檢測裝置24為透鏡驅動機構32的構 成要素’該透鏡驅動機構32用於進行可動部丨〇之移動控 制’和可動部10同為透鏡單元33之構成要素(參照圖。 攝像裝置1中,根據CPU 26的指令,從第1驅動器13對於 壓電元件20輸出驅動信號時,從未圖示的電源電路對於壓 電元件2 0施加驅動電壓。 對於壓電元件2〇施加驅動電壓時,壓電元件發生變 形,伴隨該變形,可動部職導引軸18、18引導向光轴方 向移動,進行聚焦動作或變焦動作(參照圖2和圖3)。此 女统於壓電元件2〇之卡合銷22於透鏡架17之支持孔 19a内滑動。 /電元件20㈣定部21作為基準,以大致曲率相同的狀 =形,但如圖3所示,透鏡架17之突出部以接觸限制裝 所Μ二限制可動部1G向光軸方向移動時,壓電元件20 之應變量劇,。該應變量之劇增是 移動藉由限制穿署a 』動。丨1〇之 限制而產生的壓電元件2〇的變形被 107586.doc -15- 1297085 圖4係表示壓電元件20之變位量和應變量的關係之曲線 圖’該應變量係藉由檢測裝置(應變計)24所檢測者。 如圖4之曲線圖所示,壓電元件20之變形被限制時,出 現轉換點P、P。因此,可以把該轉換點p、p所出現之位 置’判斷為可動軸10在光軸方向之可動範圍之移動端,且 在攝像裝置1上,根據轉換點p、P檢測作爲可動部10之可 動範圍中之移動端位置的初期位置。檢測初期位置時,則 可以設定可動部10之於可動範圍中之各位置與藉由第1驅 動器13之控制上的位址之間的關係。該兩者關係,例如, 作爲地圖資訊而記憶於快閃ROM 28,於藉由第1驅動器13 之對於壓電元件20之驅動控制時,被讀取並使用。 再者’進行上述初期位置之檢測時,爲了進行可動部i 〇 只能在特定範圍内移動之控制,進行可動範圍的設定。可 動範圍之設定可例如藉由以下等進行,例如,「以初期位 置作為基準,而在〇〇mnl範圍之内作為可動部10之可動 範圍」。該設定狀態,例如記憶於快閃ROM 28。 又,如圖2和圖3所示,藉由構造成把限制裝置23、23配 置於壓電元件20之前端側,與構造成把限制裝置23、23配 置於位在壓電元件20之固定部21側相比,在可動部1〇之移 動藉由限制裝置23、23所限制的狀態下,配置於固定部21 侧時比配置於前端側時,在壓電元件2〇上產生的力矩和應 、憂里較大。因此,藉由將限制裝置23、23配置於壓電元件 20之前端側之構造,可以容易地進行檢測裝置以之轉換點 P、P的檢測。 107586.doc -16· 1297085 如上所述,作爲壓電元件20之特定量,其係用於進行初 期位置之檢測和可動範圍之設定而檢測者,使用了壓電元 件20所產生之應變量為例,但作爲所檢測的壓電元件之 特定量’例如,如下述説明,也可以使用累積於壓電元件 20的電荷量。 與上述相同,壓電元件20以固定部21為基準,以大致曲 率相同的狀態產生變形’但透鏡架17之突出部19接觸於限 制裝置23、23 ’限制可動部1()向光軸方向移動時,除了因 通電所產生的電荷的累積外,藉由對壓電元件20作用的外 力累積電荷,壓電元件20上所累積的電荷量劇增。作爲進 行該電荷量之檢測的檢測裝置24A,例如,使用可組裝於 檢測電路的電荷量感測器。 圖5係表不壓電疋件2〇之變位量和利用檢測裝置(電荷量 感測器)24Α所檢測的電荷量之關係之曲線圖。 如圖5之曲線圖所示,麗電元件20之變形被限制時,出 現轉換點Q、Q。因此’根據該轉換點qq,檢測可動部 1〇之初期位置,進行可動範圍之設定。 又,上述初期位置的檢測及可動範圍的設定,也可以在 攝像波置1之製造時之調整步驟中預先進行,而且,也可 設定為用戶在使用時可隨時進行之模式。如果Μ為用戶 在使用時可隨時進行之模式的話,即使例如在由於經時性 變化等而各零件之間的相對位置產生變化之狀態下,也可 以精由新的初期位置之檢測 高對於可動部_動控制之可靠性。 107586.doc 1297085 可動範圍之設定亦可藉由如下進行,即:在利用一方的 限制裝置23限制可動部1〇移動時,檢測轉換點,並且 利用另-方限制裝置23限制可動部1〇移動時,檢測轉換點 P或Q。此時,根據2個轉換點P、p或兩個轉換點Q、Q設定 各_位置,以各初期位置作為基準,訂定可動部10之可 動範圍’例如,在藉由經時性變化等,使限制裝置23、23 之相對位置發生變化時,特別有效。 Φ 又於核測了 2個轉換點P、P或2個轉換點Q、Q時,例 如,也可以把檢測2個轉換點P、!>或2個轉換點Q、Q之位 置的中央位置作爲基準點,訂定可動部1〇之可動範圍。以 該中央位置為基準,訂定可動範圍時,可以把該可動範圍 作為可動部10和限制裝置23不接觸之範圍’能夠謀求提高 對於可動部10移動控制之可靠性。 如上所述’攝像裝置1上,使用壓電元件20作爲使可動 部10移動之驅動裝置。 • 因此,可以謀求可動部10之輕量化、透鏡驅動機構32之 簡化、佈線之安排作業之簡單化及減小驅動裝置的配置空 間之小型化。 再者,壓電元件20在不通電狀態下,也保持其變形狀 態,所以不對壓電元件20通電,也能夠保持可動部ι〇位於 可動範圍内之各位置,故能夠省電。 進而,壓電元件20在變形時,利用限制裝置23、23限制 可動部1〇時,利用檢測裝置24檢測特定量,根據該特定量 中的轉換點P、P和Q、Q設定可動部1〇之初期位 Ο人月匕 107586.doc -18- 1297085 夠輕易地設定初期位置,並且提高初期位置之精度。 進而又,由於基於檢測裝置24、24A所檢測之特定量, 設定初期位置,以該初期位置為基準,設定可動部ι〇之可 動範圍’故能夠便於控制可動部1〇之動作,以及提高可動 部10之動作之可靠性。 另外’由於利用廣泛被應用作爲檢測裝置的應變計或電 荷量感測器之檢測裝置24、24A,檢測有關壓電元件20之 特定量,故不會造成製造成本的高張,可以容易地進行檢 測。 、又,於上述中,係以藉由透鏡驅動機構32使可動部10向 光軸方向移動,產生聚焦動作和變焦動作時為例説明,但 並不僅僅限於透鏡驅動機構32作爲使可動部向光轴方向移 動10之機構而使用時,例如,也可以作爲用以使可動部1〇 於和光軸垂直之面内移動,以修正振動之機構而使用。於 作爲修正振動之機構使用透鏡驅動機構32時,只要使壓電 7L件20向與光軸垂直之方向變形地配置各部即可。 又上述之上下方向是爲了便於説明,在本發明之適用 上’並不限於這些方向。 在上述較佳的形態中所説明的各部分之具體形狀和構 造’都只是具體實施本發明時的一個示例,不能憑其等而 限定地解釋本發明之技術範圍。 【圖式簡單説明】 SU是與圖2至圖5共同顯示本發明的較佳形態’本圖是 顯示攝像裝置之整體構成之方塊圖。 107586.doc 19 1297085 圖2是顯示壓電元件變形前之狀態和可動部之部分剖面 放大側視圖。 圖3是顯示壓電元件變形後之狀態和可動部之部分剖面 放大側視圖。 圖4是顯示壓電元件之變位量和利用檢測裝置所檢測的 應變量之關係之曲線圖。 圖5是顯示壓電元件之變位量和利用檢測裝置所檢測的 電荷量之關係之曲線圖。 【主要元件符號説明】 1 攝像裝置 10 可動部 11 攝像元件 16 可動透鏡 20 壓電元件 23 限制裝置 24 檢測裝置 32 驅動機構 33 透鏡單元 107586.doc -20-

Claims (1)

1297085 、申請專利範圍: 一種透鏡驅動機構,其特徵在於:使具有可動透鏡之可 動部向特定方向移動者,包含有·· 壓電元件’其係藉由通電產生變形,作爲賦予可動部 移動力之驅動裝置之功能者; 限制裝置,其係限制可動部向上述特定方向移動者丨及 檢測裝置,其係檢測有關壓電元件之特定量者;且 利用壓電元件變形而移動的可動部藉由限制裝置限制 時,基於以檢測裝置所檢測之特定量中之轉換點,作爲 於可動部之可動範圍之移動端的位置而進行初期之 設定。 2. 3. 如請求们之透鏡驅動機構’其中根據所設定的可動部 之上述初期位置,而進行可動部之可動範圍之設定。 4. 如請求们之透鏡驅動機構,其中作爲上述檢測裝置係 使用檢測屢電元件所產生之應變量之應變計。 、 如請求们之透鏡驅動機構,其中作爲上述檢測裝置係 使用榀測壓電兀件中所累積的電荷量之電荷感測器。 5.如⑺求項!之透鏡驅動機構,其中在可動部之移動方向 上’相間隔並設置兩個上述限制裝置,且根據利用屋電 一之文形而移動的可動部藉由各限制裝置限制時所設 各初期位置,而進行可動部之可動範圍之設定。 6、種透鏡早凡’其特徵在於··具備具有可動透鏡之可動 ::及使該可動部向特定方向移動之透鏡驅動機構者; 该透鏡驅動機構包含·· I07586.doc 1297085 壓電7G件,其係藉由通電產生變形,作爲賦予可動部 移動力之驅動裝置之功能者; 限制裝置,其係限制可動部向上述特定方向移動者;及 檢測裝置,其係檢測有關壓電元件之特定量者;且 利用壓電70件之變形而移動的可動部藉由限制裝置限 制時,基於以檢測裝置所檢測之特定量中之轉換點,作 爲於可動部之可動範圍之移動端的位置而進行初期位置 之設定。 裡爾像裝置 付傲在於:具備具有可動透鏡之可動 =使該可動部向特定方向移動之透鏡驅動機構、及將 =攝像光學系統成像㈣像轉換成電性㈣之攝像元 ’ 5亥透鏡驅動機構包含·· 移=件’其係藉由通電產生變形,作爲賦予可動部 移動力的驅動裝置之功能者; =置’其係限制可動部向上述特定方向移動者;及 •、置,其係檢測有關壓電元件之特定量者,· 利用壓電7L件之變形而移動 制時,Λ於以认、丨 丨錯由限制裝置限 爲於可^ 檢測之特定量中之轉換點,作 之設定,可動範圍之移動端的位置而進行初期位置 107586.doc
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