TWI278640B - Circuit pattern inspection device, circuit pattern inspection method, and recording medium - Google Patents

Description

1278640 五、發明說明（1) 發明之詳細說明 枯術領域

本發明係有關於可檢查配設於基板上的導電圖案， 形成於玻璃基板上的列狀導電圖案良否的電路圖案 ° 置暨電路圖案檢查方法及記錄媒體。 一欢—展 背景技雜f 為了檢查形 抵接供檢查之 另一端部的檢 未檢測 態，若 或者 對從另 棟針是 檢測信 不過 針的分 探針會 性。 更且 變得非 又， 給檢測 雜，檢 本發 ，不僅 一端檢 否自鄰 號，檢 ，習知 子交換 因微屑 风於丞板上 導電圖案之 查抓針檢測 出，即判定 自待檢查導 測出檢查信 接待檢查導 測鄰接圖案 措施會因圖 或損傷，發 而不貫通， ，若對象工件因溫 常困難，會有測定 如果在檢測短路狀 信號，即無法檢查 測控制亦複雜。 明是旨在解決上述 〜屯吩丨日j圃荼良否，過去 一端部供給檢查信號，若 出檢查信號，即判定為導 為斷開（open)。 電圖案之一端部供給檢查 號事宜加以確認，且判斷 電圖案的圖案的另一端部 的短路（短路狀態）。 案與探針接觸而發生圖案 生對工件性能的不良影響 即使正常品，也有跳斷的 度變化而發生形狀變化， f誤等不當情形發生。二2際，不專對特定導電 圖案的短路狀態，其 以探針 自抵接 通狀 信號， 藉檢查 檢測出 部與探 0又， 可能 探測即 圖案供 構造複 1278640

決上述問題，例如，減少對導電圖案供給檢測信號方面所 受限制，町藉簡單構造，並且藉由簡單檢測控制，確實於 查列狀圖案良否的電路圖案檢查裝置。 n双 發明揭疋 達成此目的之裝置例如具備以下構造。 · 亦即，其係檢查配設列狀導電圖案的基板的前述導電 · 案狀態的電路圖案檢查裝置，特徵在於具備：檢查作號 給裝置，其供給信號至前述列狀導電圖案之一端部 部附近；第1檢測裝置，其可自至少藉前述檢查信號供給而 裝置供給前述檢查信號的導電圖案之一導電圖案另一端部|| 附近檢、/則如述檢查# 5虎，苐2檢測裂置，其可自異於可夢 前述第1檢測装置檢測如述松查k號的前述列狀導電圖宰 的導電圖案的相鄰至少2列圖案檢測前述檢查信號；以及 辨別裝置，其由前述第1檢測裝置及前述第2檢測裝置所檢 測出來的檢查信號變化辨別前述列狀導電圖案的狀態。 並且，例如特徵在於，前述基板主要由玻璃構成，前述 列狀導電圖案是以預定寬度、預定間隔大致呈棒狀形成於 · 玻璃上的導電圖案。 又’例如特徵在於，前述第2檢測裝置可自鄰接於前述 第1檢測裝置可檢測出檢測信號的前述導電圖案的至少2列|| 圖案列檢測出前述檢查信號。 更且，例如特徵在於，前述檢查信號供給裝置將檢查信 號供至檢查對象列狀導電圖案之一端部所有圖案的前端^ 附近。

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1278640 ' _ 五、發明說明（3) ___ 工τ圖案:查：導導電圖案 2〜、將檢查信號供至前述列狀導電：〜信號供給 ?Πϊ:第1檢測裝置，其可檢測藉前述檢杳—圖案的前 裝置自成為檢查對象的前述列狀 双查信號供給 的前述檢查信號；第2檢測裝置，其可…、另—端部供給 檢查信號供給裝置所供給之前述檢香俾接於利用前述 二導電圖案檢測前述檢查信L移—動/置供给圖案的至少 則述第1檢測裝置及前述第2檢測®"裝置，其相對移動 對象圖案位置，並定位移動俾二哲置以及前述檢查 第2檢測裝置依序掃描前述對别边苐1檢测裝置及前述 由伴隨著前述移動裝置的移動控圖案’以及辨別裝置，其 和前述第2檢測裝置檢測出工刺1，错珂述第1檢測裝置 列狀導電圖案的狀態。 双一 ^號的變化，辨別前述 並且，例如特徵在於··前述 裝置包含以預定間隔與前述列狀仏測裝置及前述第2檢測 非接觸方式電容耦合前述板極斑^電圖案對向的板極，以 測前述檢查信號。 〃則述列狀導電圖案，可檢 又，例如特徵在於，前述檢查 述檢查信號供給裝置·包含以預二^就是預定交流信號，前 對向的寬度小於前述列狀導電^間隔與前述列狀導電圖案 非接觸方式電容耦合前述板極^ ^的間距寬度的板極，以 前述預定交流信號供至前述列彳大1述列狀導電圖案，可將 更且，例如特徵在於，前述電圖案。 *襄置主要由前述第1檢 $ 6頁 91112628.ptd 1278640 五、發明說明（4) 測裝置所檢出結果辨別列狀導電圖案是否短路，主要由前 述第2檢測裝置所檢出結果辨別前述列狀導電圖案是否斷 開。 又，本發明為一種電路圖案檢查方法，係檢查配設列狀 導電圖案的基板的前述導電圖案狀態的電路圖案檢查裝置 的圖案檢查方法，其特徵在於，將檢查信號供至前述列狀 導電圖案之一端部的前端部附近，自至少供有前述檢查信 號的導電圖案中一導電圖案之另一端部附近檢測第1檢查 信號，同時，自異於檢出前述檢查信號之相鄰至少2列導 電圖案檢測第2檢查信號，由前述第1及前述第2檢查信號 的變化辨別前述列狀導電圖案的狀態。 更且，本發明又為一種電路圖案檢查方法，係檢查配設 列狀導電圖案的基板的前述導電圖案狀態的電路圖案檢查 裝置的圖案檢查方法，其特徵在於，將檢查信號供至前述 列狀導電圖案中一圖案之一端部的前端部附近，檢測供自 檢查對象的前述列狀導電圖案之另一端部的第1個前述檢 查信號，同時，檢測來自鄰接前述第1檢查信號檢測導電 圖案的至少2列導電圖案的第2檢查信號，依序掃描前述第 1檢查信號及前述第2檢查信號之檢測位置，由掃描位置移 動伴生的檢查信號變化辨別前述列狀導電圖案的狀態。 用來實施發明的最佳形態 以下參考圖式詳細說明有關本發明之一發明實施形態 例。以下舉檢查配設列狀導電圖案的基板的前述導電圖案 狀態的電路圖案檢查裝置為例進行說明。具體而言，舉檢 B1 1

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五、發明說明（5) 查貼附於液晶顯示面板或觸摸面板之前的列狀導電圖$ 否的電路圖案檢查裝置為例進行說明。 $ & 不過，本發明不限於以下說明之例子，若是不且士 >、有共用 配線，導電圖案相互獨立配設的圖案，即無任何限制，^ 間隔超過後述供電部3 0的寬度，就算是圖案間彼此間隔^ 同，仍可對應。只要供電部3 0的形狀取最適當者，即可對 應所有圖案。 圖1是用來說明有關本發明之一發明實施形態例的圖案 檢查原理的示意圖。

於圖1中，1 0是供配設本實施形態例的待檢查列狀導電 圖案2 0的基板，本實施形態例使用用在液晶顯示面板等的 玻璃製基板。 於玻璃製基板1 0表面上配設本實施形態例電路圖案檢查 裝置所檢查，供形成液晶顯示面板的列狀導電圖案2 0。如 圖1所示，可藉本實施形態例檢查的導電圖案作成與兩端 彼此獨立的相鄰導電圖案分離的圖案。

不過，本實施形態例不限於以上例子，即使是圖案相互 連接於後述斷路感測器1 〇的對向位置的共用圖案（梳齒上 圖案），亦可檢測圖案良否。本實施形態例具有即使不是 共用圖案亦可檢測的特徵。 2 0是至少大致配設成列狀的列狀導電圖案，其與兩端部 相互鄰接的圖案分離。於圖1中，固然雙方圖案的兩端部 的間隔大致相同，惟亦可如上述，一端部相互連接，又， 即使圖案間隔不一定，例如每一個圖案的間隔、圖案寬度

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^荦T不亦：根據檢查信號的檢出位準的變化程度 μ ^否，因此，可毫無問題地檢查圖案良否。 置，預定距離’背離列狀導電圖案2。的位 觸方式；預ίίΠ圖案寬度以下的平板板極，可藉非接 部。 疋頻革的父流信號供至列狀導電圖案的供電 連ii供預。定Γ的交流信號的檢查信號產生部u。 流信號，將直幹出^查化號產生部110產生預定頻率的交 日 將輸出至供電部30。 :ί I |對^導電圖案是否處於斷路狀態（圖 二作，1檢測裝置的斷路檢測感測器，其係 一對不的各列狀導電圖案的全部配設寬 二f疋位於隔f定距離背離列狀導電圖案20之位置的5長 3 〇 : f極’、T藉非接觸方式，經由電容耦合檢測自供電部 列狀導電圖案的檢查信號（預定頻率的交流0 斷路感測器。 又机彳口說）的 5〇是自列狀導電圖案的大致2列份寬度的供電部3〇， 略微靠近斷路感測器40的供電部3〇，檢測配設於隔導電 案20的大致1列配設間隔背離位置的導電圖案短路的 第1檢測裝置的短路感測器。 … 斷路感測器40的檢查信號檢測結果及短路感測器4〇的檢 查信號檢測結果，係於感測器輸出處理電路丨2 〇導出，於 此放大成預定位準並解析變化程度，可檢出檢測位準變動 比例多之處的導電圖案是不良處所。

1278640 五、發明說明（7) 雷：:之於Ϊ f施形態中’斷路感測器40控制於盘列狀導 號位準的強弱檢出流至任一 ^尤檢測信 號)的檢測結果。 口茶的檢查“虎(交流信 =n面使供電部30沿圖i的箭頭方 面V出畊路感測器40的檢測結果變化 動，一 =對向位置被掃描到時的供電部3〇的板； 的對應面積成正比的檢查信號成可供至導電圖案案 ，有檢查信號的導電圖案未斷開，㉛由斷路感=二 =信號’在供電部3。來到導電圖案2。之間時/，、供：： 電圖案的檢查信號極微弱，斷路感測器4〇的輸低、‘° 、二：Γ’若於導電圖案有斷路處，檢查信號：：合超 ^路處，從而，斷路感測器4〇的檢測信號位 j ::若檢測出斷路感測器40的輸出判： 處為圖案斷路處。 丨Γ判斷5亥 於：二方面’在圖1之8所示相鄰圖案成短路狀態情形下， ^號固然亦供至處於短路狀態之另一檢： =到達斷路感測器4〇。因I雖然略有檢測位準“:; =月匕性’㈣得與大致正常狀態相同的檢測結果。因此， 可2精斷路感測器40來檢測圖案斷路，目案的短 的可靠性卻降低。 因此’本實施形態例作成具備偏離供電部3〇的短路感測 :50的料，將短路感測器5〇的寬度作成大致是導電圖案 的2列份。且，此短路感測器5〇的寬度不限於大致2列份，

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說明（8) #可在2列份以 k/f路感測為4 0較佳，例如，定位於供電部3 〇附近的位置。 由於本貫施形態例的短路感測器5 〇具備圖1的構造，故 通常自供電部30供至導電圖案2〇之一端部的檢查信號供至 導電圖案2 0之另一端部，到達斷路感測器4 〇位置。藉由導 電圖案與斷路感測器40處於電容耦合狀態，使一部份檢查 ri^8640 五、發明 供，且，將短路感測器5 0的移動方向下游側端部定位在與 y、電部3 0相隔大致1導電圖案列間隔份程度的位置，例 固疋於感測器面板。又’由於可如後述經由斷路感測 器40檢測檢查信號，故短路感測器5〇的位置以盡可能遠離 信號成亦可供至鄰接導電圖案之狀態。 、因^ ’ 一部份檢查信號亦經由鄰接之導電圖案到達短海 感測态5 0位置’亦於此檢測出而將其送至感測器輸出處^ 電路12。因此’在正常圖案狀態下，短路感測器50並非：! 接測，自* 電部3 0供給檢查信號的導電圖案的檢查^ 號，而是間接檢測。

由於即使導電圖案的—部 50亦經由另一導電圖案接受 有那麼大的檢測信號位準_ 另一方面’在由供電部^ 動方向上游側的相鄰導電图 供自供電部3 0的檢查信號亦 案。 ’、 份處於斷路狀態，短路感測器 檢查信號的供給，因此，不會 動等發生。 供給檢查信號的導電圖案與移 案萬一短路情形下（圖1之B)， 經由短路處供至相鄰之導電圖 斷路感測器4 0檢出檢查信號之位 於此情形下，比較經由

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第11頁 1278640 五、發明說明（9) 準，成電連接狀態，檢測出較大位準 如圖“勺下段所卜㈣位準大幅上昇。才双並查:又。因此： 路感測器50超過短路處’僅供電部3〇到達短路導電於在安短 Ϊ下二時供自供電部30的檢查信號既供至供給導；ϋ :位=短路導電圖案部’相反地，短路感測器心 因此，藉由如圖1所示配設斷路感測器4〇和短路感測哭

，即使是列狀導電圖案，亦可藉簡單構造，正 電圖案的斷路·短路。 隹杈列V ，1的下段顯示此斷路感測器4 〇的檢測信號例。斷路感 測=40固然輸出與供電部3〇和導電圖案的對應面積成正比 的檢查信號，不過，在導電圖案2 〇處於斷開狀態（斷路狀 態）下，對來自供電部30的檢查信號的檢測不充份，於 電圖案的斷路圖案部，輸出信號低下。圖1之Α顯 態。 狀 另一方面，在如圖1之B所示，導電圖案2〇短路情形下， 到達斷路感測器40的檢查信號能量變化很少，檢測不 圖1所示那麼大的變化。 如 不過，本實施形態例具備短路感測器5〇，短路感測界仙 的檢測結果在導電圖案發生斷路情形下並無多大變化， 過’在導電圖案短路情形下，卻可檢測出最初輪出上曰不 此後下降的檢測信號。 汁’ 茲參考以下圖2的流程圖，就以上說明的本實施形態例 的導電圖案的檢查控制加以說明。圖2是用來說明本實施

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第12頁 !278640 五、發明說明（10) 形態例的導電圖案的檢查控制的流程圖 於本實施形態例中，配設以導電性材料（例如金、銅、 I TO等）形成的列狀導電圖案的基板係玻璃基板，於步 1中，者未圖示的搬送路徑’將表面上例如形成圖/ 所示檢查對象導電圖案的玻璃基板搬送至本實施形態例的 電路圖形檢查裝置位置（工件位置）。 方、步称S2中，搬送至本實施形態例的電路圖案檢查裝置 位置的檢查對象基板藉未圖示之夾具（基板載台）保持。 此夾具配置成可藉由χΥΖ Θ角度之4軸控制進行三次元位 控制’將檢查對象基板定位於隔感測器位置一定距離北 $的作為測定前基準的位置。例如，將供電部3〇定位於^ 兔圖案的圖1所示最左側導電圖案的左端部位置。、 押二二ΐ Ϊ ΐ將檢查基板定位於測定位置，故於步驟S3， 杳生部110，控制將預定頻率的交流信號（檢 直k唬）供至供電部30。 双 位ΐ且，於步驟S5，自供電部與左端部的導電圖案對向的 置。同時，於步爾，；狀導電圖案位 大成-定信號位準，經由多工；的檢測信號放 變換成數位信號，存^措@比'數位變換電路等 盆-欠，π牛U 圖示的内裝記憶體中。 查對象導電圖案配設間隔份力距離是否達到檢 丨阳知加以檢查。在檢查基板的移動 第13頁 1278640 五、發明說明（11) 距離未達到檢 驟S5，繼續進 另一方面， 象導電 感測器 並且 號於導 圍内的 圍内的 圖案若 置，载 檢查情 度進行 另一 内的信 位準變 設圖案 置於搬 出搬送 根據 電圖案 形下， 案短路 之輸出 圖案配 4 0、短 ，於步 電圖案 信號位 信號位 正常， 置於搬 形下， 步驟S2 方面， 號位準 動情形 不良， 送路徑 路徑外 本實施 各自分 發生斷 情形下 即降低 查對象導電 行檢查。 在步驟S7中 設間隔份情 路感測器5 0 驟S 9，檢查 位置的感測 準。例如， 準情形下， 該處理即結 送路上，搬 於次一檢查 以下的處理 於步驟S9中 情形下，例 下，進至步 結束處理， 上，搬送至 等的處理。 形態例，即 離獨立的圖 路感測器4 0 ’短路感測 ，因此可容 圖案配設間隔份情形下，回到步 檢查基板的移動距離達到檢查對 形下，進至步驟S8，解析各斷路 的檢測結果’檢查輸出變動。 進行解析結果，是否所有檢測信 器檢測信號的信號位準為預定範 在檢測信號的信號位準為預定範 進至步驟S1 0，基板的全部導電 束，將檢查基板下降至搬送位 送至次一載台。且，在進行連續 基板搬送至工件位置之時刻，再 〇 檢測信號的信號位準非預定範圍 如於有圖1之A或B所示大的信號 驟S11 ’判斷檢查對象基板的配 將檢查基板下降至搬送位置，載 二欠一步驟’或進行將不良基板排 使是在兩端部開放狀態下雙方導 案’亦在導電圖案斷路（斷開）情 的檢測位準大幅降低，於導電圖 器5 0的輸出位準一旦上昇，此後 易辨識導電圖案良否。

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圖3顯示本實施形態例中實際檢查裝f的檢查結果例。 圖3是顯示本實施形態例的導電圖^檢測例的圖面。 於圖3中，上段所示檢測信號顯示自斷路感測器40檢出 結果，下段所示者顯示自短路感測器5〇檢出結果。 於圖3中，A所示部份是導電圖案的斷路（斷開）檢測結 果，B所不處是導電圖案的短路處的檢測結果，兩導電圖 案的檢測結果與其他正常處的檢測結果大相逕庭，可易於 具體指出、辨認基板圖案的不良處。

且在雜訊混入感測器情形下，兩感測器之輸出均幾乎起 極大變化，可容易與如上述檢查結果，僅一感測器的檢測 結果發生極大不同的情形區分。 且 以上說明固然就僅配設圖1所示圖案的例子加以說 明’惟檢查對象基板亦可配設複數組圖1所示檢查圖案， 於後續製程中分離而製品化。於此情形下，較佳地，於每 圖案具備供電面板和感測器面板。感測器輸出處理電路 12 0可藉由分時處理來自各感測器的檢測信號，為各組所 共用。

在例如並聯形成複數組圖案情形下，亦可於一基板上縱 橫並且每逢複數組配設多數圖案。又，圖案的形成例亦不 限於圖1所示例子，當然，亦可將其適用於矩陣數多的大 型面板。 i 利用性 如以上說明，根據本發明，可確實檢測檢查對象圖案的 不良。

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1278640 五、發明說明（13) 更且，亦可容易辨認圖案不良狀況，例如即使雜訊等混 入檢查結果中，亦可容易藉由比較二個檢測信號予以除 去。 元件編號之說明 10 基 板 20 列 狀 導 電 圖 案 30 供 電 部 40 斷 路 檢 測感 測 器 50 短 路 感 測 器 110 檢 查 信 號 產 生 部 120 感 測 器 輸 出 處 理電路

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Claims (1)

1. 1 ·種電路圖案檢查裝置，係檢查配設列狀導電圖案的 基板的前述導電圖案的狀態者，其特徵在於，具備 2信號供給裝置’丨以非接觸方式將檢查信號供至前 列狀導電圖案之一端部的前端部附近； 檢測裝置，其可自至少藉前述檢查信號供給裝置供 述檢查信號的導電圖案之—的導電圖案另一端部附近 以非接觸方式檢測前述檢查信號；

   =檢測裝置’其可以非接觸方式檢測來自異於可藉前 2第1檢測裝置檢測前述檢查信號的前述列狀導電圖案的 導電圖案的相鄰至少2列圖案的前述檢查信號；以及/、 烚：ϋ ί Ϊ，其由藉前述第1檢測裝置及前述第2檢測裝裏 檢出的檢查信號的變化辨別前述列狀導電圖案的狀態。 2甘如申晴專利範圍第丨項之電路圖案檢查裝置，其中前 =土板主要由玻璃構成，前述列狀導電圖案是以預定寬 度、預定間隔，大致呈棒狀形成於玻璃上的導電圖案。 t巾·專利範圍第1或2項之電路圖案檢查裝置，其中 it 號的别述導電圖案的至少2列圖案檢測前述

   r專利圍第1或2項之電路圖案檢查裝置，其中 供給裝置將檢查信號供至檢查對象列狀導電 圖案之鳊邛的所有圖案的前端部附近。 某板的ίίΞ檢查裝置’係檢查配設列狀導電圖案的 基板的刖4導電圖案的狀態者，其特徵在於，具備：

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   檢查信號供給裝置，装4 1 迷列狀導電圖案之一的=非接觸方式將檢查信號供至前 第1檢測裝置，其可自部的前端部附近； 案的另-端部以非接觸方Ί檢查對象的前述列狀導電圖 供給的前述檢查信號；式檢測前述檢查信號供給裝置所 第2檢測裝置，其可白妥丨& 给之前述檢查信號供給圖幸用相别^ 接觸方式檢測前述檢查^相4之至少2列導電圖案以非

   f: 3 f U ϊ對移動前述第1檢測裝置和前述第2檢測 使前述第】檢測裝置及前—述第，並定位移動，俾 對象㈣；U 第檢測裝置依序掃描前述檢查 第1 辨ΛΓΛ，及其?Λ著前述移動裝置的移動控制，藉前& ί 檢測裝置檢出的檢查信號的變化！ 別刖述列狀導電圖案的狀態。 6.如申請專利範圍第丨或5項之電路圖案 ，直1 前述第1檢測裝置及前述第2檢測裝置包含與^述列狀導$

   圖案隔一定間隔對向的板極’以電容耦合前述板極與前由 列狀導電圖案’可檢測前述檢查信號。 7·如申請專利範圍第6項之電路圖案檢查裝置，其中前 述檢查信號是預定交流信號，前述檢查信一號'"供給裝置包含 隔一定間隔與前述列狀導電圖案對向的寬度小於前述列狀 導電圖案間距寬度的板極’前述板極與前述列狀導電圖案 以非接觸方式電容耦合’可將前述預定交流信號供至前述

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   修正 列狀導電圖案。 乂8·、如申請專利範圍第1或5項之電路圖案檢查裝置，其中 前述辨別裝置主要由前述第1檢測裝置所檢出結果辨別列 狀導電圖案是否短路，主要由前述第2檢測裝置所檢出結 果辨別前述列狀導電圖案是否斷開。 9 · 一種電路圖案檢查方法，係檢查配設列狀導電圖案的 H反#前述導電圖案狀態的電路圖案檢查裝置之圖案檢查 方法’其特徵在於：

   以非接觸方式將檢查信號供至前述列狀導電圖案之一端 部的前端部附近； ^至少供有前述檢查信號的導電圖案之一的導電圖案另 一端部=近以非接觸方式檢測第1檢查信號，同時，自異 於檢出前述檢查信號的前述列狀導電圖案的相鄰至少2列 導電^案以非接觸方式檢測第2檢查信號；以及 由刖述第1及前述第2檢查信號的變化辨別前述列狀導電 圖案的狀態。 •如申請專利範圍第9項之電路圖案檢查方法，其中前 ^ ΐ 要由玻璃構成，前述列狀導電圖案是以預定寬

   又、定間隔，大致呈棒狀形成於基板上之導電圖案。 中寸、/健t晴專利範圍第9或10項之電路圖案檢查方法，其 號=^、f道檢φ查乜唬之檢測係自鄰接於檢出前述第1檢查信 气導電圖案的至少2列圖案列進行。 巾"t、t、> 專利靶圍第9或1 0項之電路圖案檢查方法，其 中刚边檢查信號對前述導電圖案之供給係供至檢查對象列

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   狀導電圖案之一媳卹 —錄4的所有圖案的前端部附近。 案檢查方法，態的電路圖案檢查裝置之電路圖 圖荦一，==土將檢查信號供至前述列狀導電圖案之一的 圖案*而邛的别端部附近； 牵的ΐ =f式檢測供自成為檢查對象的前述列狀導電圖 :測來：鄰：ί前述第1檢查信號，同時，以非接觸方式 電圖案的第2二=檢查信號檢測導電圖案的至少2列導 罟依ί t ϋ前述第1檢查信號及前述第2檢查信號的檢測位 雷圖宏ί=ΐ置移動伴生的檢查信號變化辨別前述列狀導 电園荼的狀態。 由^、+如雄申印專利範圍第9或13項之電路圖案檢查方法，其 〜別V 1檢查彳§號及前述第2檢查信號係以非接觸方式 2 J隔預定間隔與前述列狀導電圖案對向的板極 列狀導電圖案來檢測。 ^ ▲ 15·如申請專利範圍第14項之電路圖案檢查方法，其中 刖述檢查信號是預定交流信號，以非接觸方式電容耦合 與前述列狀導電圖案對向的寬度小於前述列狀Ϊ 圖案的間距寬度的板極與前述列狀導電圖案，可同時 =前述板極將前述預定交流信號供至檢查對所壯 導電圖案。 4 ^ 1 6 ·如申請專利範圍第9或丨3項之電路圖案檢查方法，其

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   2006 2 1 DEC 替换頁 中前述列狀導電圖案狀態的辨別 、 的檢測結果辨別列狀導電圖案是否要由前述第1檢查信號 檢查信號的檢測結果辨別前述列狀^路，主要由前述第2 17 · —種電腦可讀記錄媒體，其電圖案是否斷開。 制實現申請專利範圍第9或1 3項^斤，圮憶用來藉由電腦抑 法的電腦程式。 、圮載之電路圖案檢查=

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