TWI257515B - Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device - Google Patents

Description

1257515 五、發明說明（1) " """ ' -- 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種製造液晶顯示裝置的設備，特別是 一種在製造液晶顯示裝置時使用之基板接合設備。 【先前技術】 P遺著各式各樣的資訊裝置蓬勃發展，且供應至消費 者，資訊裝置所利用到的顯示器的需求也隨之增加，為了 滿足這樣的需求，便有許多不同類型的平面顯示裝置在發 展丄例如液晶顯示裝置（LCD)、電漿顯示器（pDp)、電致光 顯不Is(ELD)及真空螢光顯示器（VFD)等。 在這許夕不同類型的平面顯示器中，Lcd裝置常因其 便於攜帶，所以為常使用的顯示裝置之一，另因其有一些 便2的優點，例如絕佳的影像性質（如高解析度與亮度）、 重里輕、體積薄、大顯示面積及低電力銷耗等，常會在一 ，應用t被用來取代先前的陰極管螢幕（CRT)，例如，lcd ，置常用作筆記型電腦的螢幕、桌上型電腦的螢幕及作為 能夠接收而顯示播放訊號的電視使用。 一般LCD裝置係以液晶注入或液晶點膠（dispensing) 的方法製造而成，在習知的液晶注入方法中，LCD裝置係 在真空裡以密封劑材料將基板接合而製造而成，其中該密 封劑接合材料會被圖樣化以定義出液晶注入孔，在接合完 之後’液晶材料會透過液晶注入孔注入於接合的基板之間 。日本公開號2〇〇〇 —284295(日本申請號1999-089612)及日 本公開號20〇1-〇〇5405(日本申請號19 9·9-172903)中揭露了 已成習知之液晶點膠（dispens][ng)方法，其中液晶材料係

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五、發明說明（2) =接點膠（dispensing)於第一基板上，接著第一基板在 空中與第二基板接合，點膠的液晶材料會在第一基板與^ 人基板之間配置，因此液晶點膠（d i S P e n s丨n g )方法係 合可將液晶直接點膠於第一基板上，所以許多在液晶注接 方法中耗費時間的步驟在此便不需要（如形成液晶注入孔入 的步驟，注入液晶的步驟、密封液晶注入孔的步驟等）， 亨尤如同以上所述’利用液晶點膠（d i S p e n s i n g )方法製造夜 ，顯示裝置所需的時間會比液晶注入方法來得少，因^ $ 夕的研九便朝向發展能以液晶點膠（d i s P e n s i n g )方法夢、生 液晶顯示裝置的設備。 k 第1圖及第2圖顯示習知技術之以液晶點膠方法製造液 曰曰曰顯示裝置的基板接合設備。 彳 如第1圖及第2圖所示，習知技術的基板接合設備包含 —基架1 0、一上平台2 1、一下平台2 2、一密封劑點膠機 (圖未顯示）、一液晶點膠機3 0、一上腔室3 1、一下腔室 32、腔室移動裝置及平台移動裝置。密封劑點膠機及液晶 點膠機3 0係設置於基架1 〇的旁邊位置，上腔室3 1可選擇性 的與下腔室32結合一起，腔室移動裝置包含一驅動馬達4〇 用以將下腔室3 2移至位置S1，此時密封劑材料及液晶材料 可被點膠在基板上，然後移至S2，此時基板可被接合在一 起。平台移動裝置包含一驅動馬達50用以在基板接合前、 基板接合時及基板接合後，上升或下降上平台21，以上已 詳細描述習知之基板接合設備，接者以下將配合上述之基 板接合設備詳細敘述其製程。

第10頁 1257515 -------—____ 五、發明說明（3) ' --— ----—... 睹，上述的習知基板接合設備來製造液晶顯示裝置 此日士證弟1圖所示，第一基板51會被上平台21所固定住， 置板52係被下平台22所固定住，接著腔室移動裝 姑枓a、、、著下平台22的下腔室32移至位置S1，然後密封劑 5 2 :，液^材料會被點膠於被下平台2 2固定住之第二基板 ^ ，始、封劑材料及液晶材料被點膠於第二基板5 2之 1 如^ 2圖所示’腔室移動裝置會將下腔室3 2移至位置 一起在ί個位置’第一基板51與第二基板52可以被接合在 ^ ^ δ下腔室31位於位置S2時，腔室移動裝置會將上腔 至與下腔室32結合，在結合之後，上腔室31與下腔室32 更可形成内部空間將上平台2丨與下平台2 2封閉地圍起來， 而係饮外部環境以密封裝置（圖未顯示）將其密封。接著利 用真空裝置（圖未顯示）將内部空間抽成真空，在已真空 的内部空間裡’平台移動裝置會將上平台2丨降低，也就是 f被上平台固定住的第一基板51朝向被下平台22固定住的 第一基板52移動，當上平台21下降時，第一基板51與第二 基板52便變成彼此接合，如此就完成了液晶顯示裝置的製 造 ° 然而’利用習知基板接合設備來製造液晶顯示裝置並 非有利的’因習知之基板接合設備需供應密封劑及液晶顯& 示材料至支持薄膜電晶體及彩色濾光層的基板，並將兩基 板接合在一起’如此會使得習知之基板接合設備的整個尺 寸大小變的過大。特別當習知之基板接合設備係被設計用 於大尺寸液晶顯示裝置時，此問題係更加明顯。

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要高等級的 接合。然 高等級的校 曰守間的製 時間。 五、發明說明（4) 且，在將下腔室32擺放至適當 對準製程以幫助第一基板與第_ f才而 二 rn 木—基板係正確的 而，因下腔室32會被重覆地擺放 士 準便會變的愈加的困難，且奋 k樣 程，而整個地延長了液晶續；3 一特別耗費 ^ j狀日日4不裝置的整個製造 密封可能會 自外部環境 传成接合的 會先被校準 際操作時， 際厚度通常 合設備以適 度的製程有 2、,在、‘合的上腔室3 2與下腔室3 2之間的 不夠元吴’使得會有漏氣產生或是外部物質合 跑進上腔室與下腔室所定義的内部空間裡，^ 過程中基板會損壞，而形成有缺陷的接合。 進一步來說，上述的習知之基板

以將基板接合為一預定的參考厚度，然而在^ 載入習知基板接合設備後出來的接合基板的實 會偏離其參考厚度，而重新校準習知的基板接 當的處理基板使其實際厚度不致於偏離參考厚 其困難度，且耗費過多的時間。 更進一步來說，習知之基板接合設備通常係將密封劑 點膠在基板與基板載入機接觸的同一面，因此密封劑會被 基板載入機引入的外來物質所污染。 最後，當習知之基板接合設備裡的密封裝置用以將内 部空間密封以隔離外部環境時，密封裝置會因為磨損，使 得它實際上不適宜用於密封結合的腔室單元之間的内部空 間。 【發明内容】 鑒於以上的問題，本發明的主要目的在於提供一種用

第12頁 1257515 五、發明說明（5) 於液晶顯不 題。 本發明 板接合設備 完成。 本發明 基板接合設 相對齊的。 本發明 基板接合設 本發明 基板接合設 基板的上表 避免接觸到 本發明 基板接合設 合。 本發明 敘述，其敘 發明之技術 的從本說明 解。 因此， 於製造液晶 裝置的基板接合設備，藉以解決習知技術的問 之一優點係提出一用於製造液晶顯示裝置之基 ，其中液晶顯示裝置係可於最短的時間内製造 之另一優點係提出一用於製造液晶顯示裝置之 備，使相對的兩基板為水平互相對準且垂直互 之另一優點係提出一用於製造液晶顯示裝置之 備，能接合各種厚度的基板。 之另一優點係提出一用於製造液晶顯示裝置之 備，此基板接合設備具有一基板載入機係接觸 面來固定住基板以移至上平台，因此密封劑可 基板載入機。 之另一優點係提出一用於製造液晶顯示裝置之 備，其具有一密封裝置幫助基板在真空中接 的特徵及優點將在發明内容及實施方式中詳細 述内容足以使任何熟習相關技藝者從中了解本 ，且任何與本發明相關之優點及目的係可輕易 書所揭露之内容、申請專利範圍及圖示中理 為達上述目的，本發明第一實施例所揭露之用 顯示裝置之基板接合設備，包括有一基架；一 ❿

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上腔室’上腔室包含—上義 ― 鑲&於基架含一下基；；平板’ ·-下腔室 上腔室上平台鑲嵌；上二；π裝置用以上升或下降 -下平台鑲嵌於下腔室用以固定住二；：i:弟： 上平台水平對準於下平j::…卜對準裝置用以將 台與下平台對準。。，及-弟二對準裝置用以將上平 本發明第二實施例所揭露 基板接合設備，包括有_基架 上基部及一上腔室平板；一下 含一下基部及一上腔室平板， 腔室連接；腔室移動裝置用以 台鑲嵌於上腔室用以固定住一 下腔室用以固定住一第二基板 配置於上腔室平板及下腔室平 封裝置配置至上腔室平板及下 一表面；及平板移動裝置用以 本發明第三實施例所揭露 基板接合設備’包括一基架； 之用於製造液晶顯示裝置之 ;一上腔室，上腔室包含一 腔室鑲嵌於基架，下腔室包 其中下腔室係選擇性地與上 上升或下降上腔室；一上平 第一基板；一下平台鑲嵌於 ;至少一第一間隔控制溝槽 板其中之一之一表面；二密 腔室平板其中之另一平板的 平行移動下腔室平板。 之用於製造液晶顯示裝置之 一上腔室，上腔室包含一上

基部及一上腔室平板；一下腔室鑲嵌於基架，下腔室包含 一下基部及一下腔室平板，其中下腔室係選擇性地與上腔 室連接；一上平台鑲嵌於上腔室用以固定住一第一基板； 一下平台鑲嵌於下.腔室用以固定住一第二基板；至少一第

第14頁 1257515 五、發明說明（7) 一間隔控制溝槽配置於上腔 之一表面；一密封裝置配置 其中之另一平板的一表面， 於其中；至少一第二間隔控 腔室平板其中之一之該表面 室平板及下腔室平板中其中 第二間隔控制溝槽配置於其 移動下腔室平板。 本發明第四實施例所揭 基板接合設備，包括有一基 於基架，下腔室包含一下基 室係選擇性地與上腔室連接 降上腔室；一上平台鑲嵌於 板，一下平台錶喪於下腔室 對準裝置用以將上平台水+ 固定於上腔室及下腔室其中 及下腔室其中之另一；—密 中的一表面。 室平板及下腔室平板其中之一 至上腔室平板及下腔室平板中 至少一第一間隔控制溝槽配置 制溝槽配置於上腔室平板及下 ;一輔助密封元件配置於上腔 之另一平板的一表面，至少一 中；及平板移動裝置用以平行 露之用於製造液晶顯示裝置之 架；一上腔室；一下腔室鑲嵌 部及一下腔室平板，其中下腔 ;腔室移動裝置用以上升或下 上腔至用以固定住一第一基 用以固定住一第二基板；第一 對準於下平台；間隔控制裝置 之一之—表面用以推離上腔室 封裝置配置於上腔室或下腔室 本發明第五實施例所姐+

基板接合設備，包括_上平^之用於製造液晶顯不裝置 表面，其中上平台包含至小：用：固定住-第-基板之 機之相對應指狀體，其中二：：¥溝槽用以接受基板載 機之指狀體固定住；及一相土板之上表面係被基板載 住一第二基板。 4對於上平台之下平台用以固

第15頁 1257515 五、發明說明（8) 本發明第六實施例所揭露之用於製造液晶顯示裝置之 基板接合設備，包括一上平台，用以固定住一第一基板之 上表面；通道，配置於上平台裡且與上平台之一下表面交 叉；一下平台，用以固定住一第二基板；吸力傳送器配置 於通道中，其中每一吸力傳送器包含一傳送源，係可自每 一通道裡傳送至自上平台之下表面上之一預定距離，用以 固定住第一基板之上表面；及一基板載入器用以將第一基 板可操作地靠近於上平台。 有關本發明的特徵與實作，茲配合圖示作最佳實施例 詳細說明如下。 【實施方式】 以下會將文字說明配合圖示以詳細說明本發明之較佳 實施例，其中於圖示及詳細說明中會附加參考標號以清楚 說明本發明方法及其裝置，因此在本文中，相同的元件或 是功能相近的元件會以相同的參考標號表示。 第3圖至第2 5圖係顯示本發明第一實施例之用於製造 液晶顯示裝置之基板接合設備。 如第3 A圖所示，本發明第一實施例之用於製造液晶顯 示裝置之基板接合設備，包含一基架100、一上腔室210、 一下腔室220、腔室移動裝置、一上平台230、一下平台 240、密封裝置、第一對準裝置、第二對準裝置、真空幫 浦裝置及支撐裝置。 基架1 0 0可固定於支撐結構或表面（如地面）上，形成 基板接合設備的外觀及用以支撐以下所敘述之各種不同的

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元件。 上腔室2 1 Ο，例如是包含 上丞厓1 --------- 係可動地連接 於基架100，而上腔室平板2丨2，係不可動地連接於上基 2 11的底部週圍表面，在本發明之一概念裡，上腔室平板Α 212定義上空間，其中上平台23〇係被配置且耦合於上基座 211，耦合於上基座211的上平台230可以和上基座211及上 腔室平板2 1 2 —致地移動。在本發明之另一概念中，上密 封元件21 3可配置於上基座2 11與上腔室平板2 1 2之間以避 免，於上基座2 1 1與上腔室平板2丨2之間形成縫隙而有漏

氣，上猎封元件213，例如是襯墊（gasket)、〇型環（0一 r 1 ng)等，且係由適合密封的材料所組成（如橡膠、塑膠 等）。 夕

下腔室2 2 0，例如包含一下基座2 2 1，係不可動地連接 於基架100上，及一下腔室平板222，係可動地配置於下基 座221的頂週圍表面的上方，在本發明之第一概念中，下 腔室220包含一固定平板223，用以不可動地將下基座221 固定於基架100，在本發明之第二概念裡，下腔室平板222 定義一下空間，其中下平台240可配置並耦合於下基座 221 °在本發明之第三概念中，本發明之下腔室平台222可 相對於下基座2 2 1左、右、前、後（即橫向）的移動，在本 發明之第四概念中，下密封元件224配置於下基座221與下 腔室平板222之間，用以避免於下基座221與下腔室平板 2 2 2之間形成缝隙而有漏氣，下密封元件2 2 4，例如是襯墊 (gasket)、〇型環（〇 —ring)等.，且係由適合密封的材料所

第17頁 I257515 五、發明說明（10) 組成（如橡膠、塑膠等）。 至少一支#元件225配置於下基座221與下腔室平板 ^2之^間以確保下腔室平板222與下基座22；1的上表面維持 預定的距離，支撐元件22 5，例如包含一第一末端連接 於下腔室平台2 2 2的底部部位及一第二末端係可相對於下 基座2 2 1橫向的移動。本發明之一概念，支撐元件2 2 5的第 二末端係接合於一塊狀物，該塊狀物係耦合於下基座221 底部部位’因此支撐元件22 5能使下腔室平板222相對於下 基座2 2 1前、後、左、右的移動。

上腔室2 1 0及下腔室2 2 〇可選擇性地彼此連接以定義一 内部空間’在本發明之一概念中，内部空間週圍的邊界可 以藉始、封裝置定義，以下將詳細敘述其過程。本發明之另 概心’上腔至2 1 〇與下腔室2 2 0可選擇性地經由一腔室移 動裝置彼此連接，腔室移動裝置，例如包含驅動馬達 3 1 0 ’固疋於基架1 〇 〇 ;驅動桿3 2 〇搞合於驅動馬達3 1 〇 ;連 接桿330重直地配置於驅動桿32〇，用以自驅動桿32〇接收 驅動力，一連接元件3 4 0，用以將驅動桿3 2 0連接於連接桿 330，及一起重機元件（jack part)350，鑲嵌於連接桿330 的，端。

驅動馬達3 1 0配置於基架1 〇 〇的内部底部裡，且可為一 左右對稱的馬達，具有自驅動馬達3丨〇兩端平行伸出的 桿，驅動桿320連接於驅動馬達310且將驅動力延著平行方 向傳遞至連接元件340，而連接桿3 30係連接於連接元件 3 4 〇以將驅動力延著相對於驅動桿3 2 0的垂直方向傳遞至起

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五、發明說明（11) 重機元件（jack part) 3 5 0。位於連接桿3 3 0 —端沾A 土 崎的起重機 元件3 5 0連接於上腔室2 1 0，且包含一螺帽蓋用以柄 很據連接 桿3 3 0的旋轉方向將上腔室2 1 0上升或下降，連梃_ ^ 逻钱兀件3 4 0 可為一斜齒輪（b e v e 1 g e a r)系統將驅動桿提供的# ^ 、^々疋轉力延 著水平方向轉化成垂直的旋轉力至連接桿330。

上平台230與下平台240，係分別經由上固定平板23ι 及下固定平板241耦合於上基座211及下基座221。在本發 明之一概念中，上平台230及下平台240分別包含—l 平板23 2及一下固定平板242，分別用以固定所提供之A 板。本發明之另一概念，上平台2 3 0及下平台2 4 0可分別包 含多數個上固定塊233及下固定塊243，分別配置於上固定 平板231與上固定平板2 3 2之間，下固定平板241與下固定 平板242之間。本發明之再一概念，上固定平板23 2與下固 定平板242皆包含靜電吸座（electrostatic chuck，ESC) (如第5圖所示之2 4 2 b)，係由能夠傳遞靜電荷的材料所組 成，藉此，分別將靜電荷傳遞至基板（如聚亞醯胺 (polyimide))以將基板固定至平台。 第4A圖顯示第3A圖中區域ΠΑΠ的放大截面圖。第4B圖 顯示第3Α圖中區域” Β”的放大截面圖。

如第4Α圖及第4Β圖所示，上固定住平板232與下固定 住平板242皆分別包含多數個上真空孔232a及下真空孔 2 4 2a，用以傳遞吸力至各別的基板，使其被固定於各自的 平台上，因此，多數個真空孔232a及242a係與各別的上真 空管線271及下.真空管線2 72處於一個流體流動的狀態，分

第19頁 1257515 五、發明說明（12) 別形成於上平台2 3 0及下平台2 4 0裡。本發明之一概念裡， 每一真空管線2 71及272係連接於一真空幫浦622用以產生 一吸力。

請回去參閱第3A圖，密封裝置配置於上腔室與下腔室 之間，使得由上腔室2 1 0及下腔室2 2 0定義的内部空間可被 封住與外部環境隔離，本發明之第一概念為，密封裝置可 為一中央密封元件250延著下腔室之下腔室平板2 22的上表 面安裝。本發明之第二概念為，中央密封元件2 5 0，例如 是〇型環，且由橡膠所組成。本發明之第三概念為，中央 密封元件250自下腔室平板22 2的上表面延伸，至一預定高 度’以形成一預定厚度，以避免在上腔室210與下腔室220 開始彼此連接時’被各別平台固定的基板會彼此黏結一 起，本發明之第四概念為，中央密封元件25〇的預定厚度 係足以讓它被壓縮時使基板彼此結合。 第一對準裝置，用以使上平台230對準下平台240，第 一對準裝置，例如包含至少一第一致動器（actuat〇r) 5 1 〇、至少一第一桿5 11及至少一接收溝槽2 2 2 a。

第一致動器510可耦合於上腔室21〇，第一致動器5丨〇， 例如包含一線性致動器，用以將對應的第一桿5丨i相對於 上腔室上升或下降，每一第一桿5丨丨係分別地經過上腔 平板212並降至各別的接收溝槽222&，接收溝槽222&^ 成於下腔室平板212的上表面。 、夕 本，明之一概念係第一對準裝置，例如包含單一的 一致動器5 1 0，另一概念則係第一對準裝置例如包含第一 1257515 五、發明說明（13) 致動态5 1 0置於上腔室2 1 〇的至少兩相對角落，其中第一致 動器510的數量增加，其上平台23〇與下平台24〇的對準精 準度會隨之增加，第一對準裝置，或者例如包含配置於上 腔室2 1 0的四個相對角落的第一致動器5〗〇。

如同以上所述，至少一接收溝槽222a於下腔室平板 2 2 2的上表面裡，用以接收各別的第一桿5丨j，接收溝槽 2J 2 a的規格係與各別的第一桿5 1 1的末端部位的尺寸規格 符合，舉例來說，第一桿5丨丨的末端部位係逐漸變得尖 細:且具有傾斜的結構，因此接收溝槽222a的尺寸規格， ，是接收溝槽222a的中央部位係比接收溝槽的週邊區域要 殊’所以即便第一桿511與接收溝槽222a開始時沒有完美 的對準，第一桿511的末端部位與各別接收溝槽222a的傾 斜結構接觸時，會被引導，而使得第一桿5丨丨與接收溝槽 2 2 2 a可以很完美的被對準。

第一對準裝置更包含一感測裝置，此感測裝置，例如 包§載入胞至5 5 0配置於第一致動器5 1 〇裡以決定第一桿 51 ^是否與下腔室平板222的一表面接觸。舉例來說，當第 才干511與下腔室平板222的表面接觸時，載入胞室5 5 0會 偵測到第一致動器載入的一個改變，而如第3β圖所示，載 入肊至550配置於與第一桿511接觸之下腔室平板的一 部位裡，或者載入胞室55〇可置於支撐元件225上並於下基 座與下腔平板222之間，再者，載入胞室5 5 0可配置 =第一，動器510的一部位上且與第一桿^接觸，最後， •、入胞至5 5 0可位於任何先前所提過的位置的結合裡。感

1257515 五、發明說明（14) 測裝置，例如包含一間隙感測器920，用以測量下腔室平 板222與第一桿511之間的間隙，間隙感測器92〇可配置於 下腔室平板222的上表面裡。 根據以上所述，第一對準裝置之第一致動器5丨〇可以 選擇性地將各別的第一桿降至一接收溝槽22。裡，或是以 預定大小的力將第一桿511推離接收溝槽222a，因此第一 對準裝置可藉由調整上平台23〇的位向，使其平行於下平 台240的位向，來幫助上平台23〇對準下平台24〇。 請參閱第3A圖（或第3B圖）及第5圖，第二對準裝置， 係用以將上平台2 3 0平行的對準下平台2 4 〇，第二對準裝 置’例如包含多數個對準攝影機5 2 〇、多數個凸輪5 3 〇及多 數個恢復裝置5 4 0。 在本發明中，對準攝影機5 2 0可配置於上基座21 1裡或 下基座2 2 1裡，其位置係分別對應於上基座丨丨〇及下基座 12〇之至少兩個角落，使得分別配置於基板11〇及12()的校 準標記可被觀察到。 如苐5圖所示，凸輪5 3 0可旋轉地配置於以可選擇性地 接觸下腔室平板2 2 2的週邊表面，在本發明之一概念中， 三個凸輪5 3 0係位於基本接合設備裡，在本發明之另一概 念裡，每一凸輪透過馬達5 3 1係可離心地旋轉的，在旋轉 的情形下，下腔室平板222會被推至一預定的方向，下腔 室可被定義為四邊，其中第一對對邊可比第二對對邊長， 因此兩個凸輪5 3 0可被設置以選擇性地接觸第一對對邊的 一邊，而一凸輪5 3 0可被設置以選擇性地接觸第二對對邊

第22頁 1257515 五、發明說明（15) 的一邊的中間部位，使得下腔室平板22 2可以前、後、 左右的移動。個別的恢设裝置5 4 0可相鄰於各別的凸輪 5 3 0且施加恢復力相反於對應的凸輪5 3 0推下腔室平板222 的方向，恢復裝置540可為彈簧，例如此彈簀可具有第一 末端連接於基架1〇〇，第二末端連接於下腔室平板222的週 邊表面。根據本發明，第二對準裝置可很近的置於下腔室 平板222的邊旁、下腔室平板222的對邊旁或其組合的旁 邊，使下腔室平板能左、右、前、後移動。 根據以上所述，第二對準裝置，因接收溝槽222裡接 收到第一桿5 11，而可依次移動下腔室2 2 〇的下腔室平板 222及上腔室210的上腔室平板212，因上腔室平板212係固 定不動地連接，上基座2 1 1係與下腔室平板一致地移動， 再者，因上平台2 3 0係連接於上基座21〇，所以上平台可以 與下腔室平板2 22 —致地移動，且可與下基座221連接的下 平台2 4 0對準。 第6圖顯示本發明第一實施例，用於製造液晶顯示裝 置的基板接合設備的真空幫浦的連接狀態。 如第3A圖（或第3B圖）及第6圖所示，先前所提到的真 空幫满裝置可提供至至少一上腔室2 1 〇及下腔室2 2 〇，以抽 空上腔至2 1 0與下腔室2 2 0結合一起所密封的内部空間，真 空幫浦裝置，例如包含一高真空幫浦（渦輪分子幫 浦，Turbo Molecular Pump/TMP^BIO 及一第一與第二低 真空幫浦（乾幫浦）6 2 1、6 2 2。 第一低真空幫浦621連接於高真空腔室管線63 0，供至

第23頁 I257515 五、發明說明（16) 1腔室210的中央部位，以使高真空幫浦61〇與上腔室平板 及^下腔室平板2 2 2所定義的内部空間能夠彼此流動，再 第一低真空幫浦可抽空密封的内部空間至一預定的壓 力該内部空間係由結合的上腔室2 1 0與下腔室2 2 0所定義 的。

第一低真空幫浦622連接於低真空腔室管繞mi及 m，，過上腔室21。及下腔室22。的邊區一41 步及來 及，苐一低真空幫浦6 2 2係分別連接於上平台2 3 〇及下平台 240裡的上真空官線271及下真空管線272，且與平台230及 2 4 0連接之基板安全管線6 5 〇連接，用以將吸力傳遞至基 板，使基板被固定於其各別的平台上，管線63〇、641、 642及650可包含至少一閉合閥66丨、662、6β3、664及 6 6 5，问壓真空官線6 3 0可包含一壓力感測器6 7 〇，用以測 虽？部空間裡的壓力，其中有基板固定於内部空間裡。 低真空腔室官線641及642與基板安全管線65〇，與第二低 真空幫，6 2 2流通，係用作執行排放（venting)製程，將在 以下作詳細敛述’因此’氣體（如氮氣）可被注入進由上腔 至2 1 0及下腔室2 2 0所定義的密封内部空間裡，用以將其中 真空狀態的壓力恢復至一般大氣壓。

第一低真空幫浦6 2 1及第二低真空幫浦6 2 2可分別用作 抽空上低真空腔室4 1 〇及下低真空腔室4 2 〇，根據本發明， 上低真空腔室4 1 0及下低真空腔室4 2 〇，分別地可包含能夠 被抽真空的内部空間，進一步來說，上低真空腔室4丨〇與 下低真空腔室4 2 0可分別接觸上腔室2 1 〇的頂部表面及下腔

第24頁 1257515 五、發明說明（17) 室220的底部表面。當上腔室210與下腔室220結合時，藉 由結合的腔室單元定義並密封出一内部空間。因上平台 230及下平台240係位於密封的内部空間内，上平台23〇及 下平台2 4 0會因密閉的内部空間為真空與外部環境一大氣 壓之間的壓力差關係，變的有點彎曲，因此上低真空腔室 4 1 0與下低真空腔室4 2 0的内部空間所創造出來的真空可減 少上平台230與下平台240彎曲的程度。 第7圖顯示本發明第一實施例，用於製造液晶顯示裝 置的基板接合設備的支撐裝置。 t

根據第3A圖（或第3B圖）及第7圖，支撐裝置，例如包 含升降座（lift pin)710，其厚度係足以支撐至少一基

板，並避免至少一基板彎曲，升降座（Hft pin)71〇的中 央區域係包含至少一向下彎曲的部位用以讓基板載入器 910支撐至少一基板而不會干擾到升降座丨丨丨^ pin)7l〇 (请參閲第12圖），再者，升降座（Uft pin)71〇的部位係 ，過下平台240上升並高於下平台24〇的上表面以幫助基板 安全的置於下平台240上，根據本發明，當基板沒有載入 於下平台240上時，升降座（iift pin)71〇的上表面會位於 低於下平台240的上表面的位置。多數個第二致動器72〇可 根據需求將升降座（Π f t p i η ) 7 1 〇上升或下降，因此，支 撐衣置幫助了結合的或非結合的基板相對於下平台2 4 〇的 載入及载出。 根據第3Α圖（或第3Β圖），且依照本發明，光硬化裝置 8〇〇可配置於至少上腔室21〇及下腔室22〇中的其中之一，

第25頁 1257515 五、發明說明（18) -- 用以部份地硬化置於載入基板預定區域上的密封材料，其 中基板係分別被相對應的平台23 0及240固定住，在本發明 中，光硬化裝置80 0例如係包含了ϋν導向元件用以將ϋν光 導向密封材料。 在第3圖至第7圖中已敘述了用在製造液晶顯示裝置的 基ί接合設^備，而在第8圖至第25圖中，將會詳細敘述利 用第3圖至第7圖中的基板接合設備來製造液晶顯示裝置的 如第8圖所示，一開始，係利用基板載入器g丨〇將第一

基板110載入於第3Α圖（或第3Β圖）的上平台23 0與下平台 240之間」基板上係具有密封材料。 、 接著，如第9圖所示，上腔室2 1 〇會被自其原始位置降 2二，ΐ上平台230係靠近於第一基板110，第一基板110 會藉著第二低真空幫浦622產生的吸力及/或藉著固定平板 所士產生的靜電荷固定於上平台230上，第一基板11〇係 可同日守=用吸力及靜電荷來固定於上平台2 3 0上，或者係 在使用靜電荷之前或之後，利用吸力來固定於上平台2 3 0 ;、、;、而’如果係先使用靜電荷，則在基板1 1 0與固定平 板232之間’可能會有火花產生，因此先使用吸力，接著

再，用邊電街將第一基板11 0固定於上平台2 3 0上會較好。 弟 图所示’在第一基板110被固定於上平台230後，上 月空室2 1 0备 " 曰上升至它的原始位置且基板載入器91〇會自基板 接合設備移開。 接著’如第11圖所示，支撐第二基板的基板載入器

1257515 五、發明說明（19) 9 1 0會再被插入基板接合設備，在載入第二基板1 2 〇進基板 接合設備時’升降座71 〇會自它的原始位置上方，自低於 下平台230的上表面的地方，經過下平台230，以將第二基 板120推離基板載入器91〇，因此，升降座可支撐第二 基板120於咼於基板載入器之一預定高度（如第圖所 示），當第二基板120被支撐於預定高度，基板載入器91〇 可自基板接合設備移開。

接著，如第1 3圖所示，升降座7 1 〇可降低，讓第二基 板120女置於下平台240，且被下平台240所支撐，利用吸 力及靜電荷可將第二基板120固定於下平台240上，當第一 基板110及第二基板120皆被固定於其各別的平台230及240 時，基板接合設備之載入便完成了。

請參閱第14圖’在基板接合設備之載入完成後，腔室 移動裝置的驅動馬達310會旋轉驅動桿32 0及連接桿330以 降低起重機元件（jack part)350，因此，上腔室210會跟 起重機元件（jack part) 350 —起降低，進一步來說，第一 致動器5 1 0會降低多數個苐一桿5 11，使得第一桿& 11伸至 自上腔室平板2 1 2的底部表面的一預定高度，降低上腔室 2 1 0及第一桿5 1 1伸出的結果，第一桿5丨1的末端部位會與 接收溝槽2 2 2 a的相對應處的内部表面接觸並被接收，其中 接收溝槽係形成於下腔室平板2 2 2裡。 在上腔室210沒有適當地與下腔室220對準時，第一桿 5 11會連續地接觸接收溝槽2 2 2 a裡的内部表面，如同以上 所述，載入胞室5 5 0會決定何時第一桿5 1 1的其中之一會比 1257515 、發明說明（20) /、匕，先接觸到相對應的接收溝槽2228，進一步來說，載 室5 5 0會決定何時第一桿511的其中之一係以比其它第 一桿j的力量推離相對應的接收溝槽222a，基於上述，載 入胞室5 5 0會偵測上腔室2 1 〇相對於下腔室2 2 〇的位向，及 上平台230相對於下平台240的位向。 如第1 5圖所示，如果判斷上腔室2丨〇係沒有與下腔室 220對準，腔室移動裝置會將上腔室21〇上升，其中包含第 一致動器5 1 0及第一桿5 11，接著，第一致動器5 1 〇選擇性 地將預先決定的第一桿5 1 1上升或下降一個預定距離，以

確保上腔室2 1 0是適當地對準下腔室2 2 〇，以彼此連接，並 定義出内部空間，且因此確保上平台2 3 〇係平行於下平台 240 〇 如第1 6圖所示，上腔室2 1 〇係被下降的，第一桿5丨丄的 末端部位被接收於接收溝槽裡2 2 2 a，因此，腔室移動裝置 將上腔室2 1 0下降，使得上腔室單平板2 1 2的底部表面接觸 到中央密封元件2 5 0的底部表面，該中央密封元件2 5 0係符 合下腔室平板2 22的週邊。 如第1 7圖所示，當起重機元件3 5 0進一步的被降低， 它們會移出上腔室2 1 0與下腔室2 2 0之間，使得可創造出上 腔室2 1 0與下腔室2 2 0所定義的密封的内部空間，因上腔室 _ 2 1 0壓在中央密封元件上有重量存在，其内部空間係密封 的並與外部空間隔離，所以，當第一基板11 〇與第二基板 1 2 0彼此以一預定距離隔開時，係與外部環境隔離的。 一旦密封了 ，由上腔室210與下腔室220所定義的内部 -·

第28頁 1257515 、發明說明（21) =j便會利用第一低真空幫浦621將其抽真空，第一低直 二％浦621可將密封的内部空間抽至一第一壓力，其係由 =力感測器670所測量，在它感測到第一低真空幫浦621將 部空間抽至第一壓力時，高真空幫浦61〇會被啟始以繼 了抽空其内部空間。高真空幫浦61 0與第一低真空幫浦62丄 連，至同一個管線630，所以，當高真空幫浦61〇被啟 /吩’第一低真空幫浦β 2 1會被關掉，在内部空間被抽空 後’置於抽空的、密封的内部空間裡的第一基板丨丨〇與第 一基板120，可以藉由第二對準裝置校準。

在校準第一基板11 〇及第二基板丨2 〇時，對準攝影機 5 20會顯示形成於第一基板丨丨〇及第二基板丨2〇上的校準標 記（圖未顯示），接著在第一測定步驟中，會測定基板 f基板120之間校準的任何偏差；根據第一測定步驟，在 第二測定步驟中，會需要水平移動上平台一距離以更正此 偏^丄為了更正校準的偏差，凸輪53〇需要轉動的度數係 在第二測定步驟中來決定；第三測定步驟中，凸輪53〇會 旋轉一預先定好的量以將下腔室平板222水平移動以更^ 校準的偏差。舉例來說，如果上平台2 3 〇必須往基板接合 设備的後面移動lmm並往左邊移動〇· 5mm，則凸輪53〇必須 旋轉以移動下腔室平板22 2往基板接合設備的後面移動^^ 並往左邊移動0.5mm。凸輪5 3 0可被配置於選擇性地可接觸 下腔室平板2 22的週邊前面（或後面）及其左邊（或右邊）的 地方。恢復裝置5 4 0用以啟始下腔室平板2 2 2，使保持與下 腔室平板2 22的接觸並幫助第一基板11〇與第二基板12〇的

1257515 五、發明說明（22) 校準。 根據本發明，下腔室平板222經由第一致動器耦合於 上腔室210，進一步來說，下腔室平板22 2會經由支撐元件 225置於下基座221上方的一個預定距離，所以上腔室21〇 可藉由凸輪5 3 0的旋轉及恢復裝置5 4 0的支配，與下腔室平 板222 —致性地移動，再者因下腔室平板22 2與下平台24() 係分離的（如能夠獨立於下平台2 4 〇的移動），被各別的平 台230及240固定住的第一基板11〇及第二基板12〇，係可藉 由僅移動上平台2 3 0平順地被校準。

第基板1 1 0及第二基板1 2 0係可藉由校準形成於基板 上的校準標記來校準，校準標記可為粗的校準標記及精細 的校準標記，粗的校準標記及精細的校準標記係可藉由在 基板上預定區域雕刻形成，因此校準製程，例如係包含執 行利用粗校準標記的粗校準製程，及接著執行利用精細校 準標s己的精細校準製程。 、如第18圖所示，在第一基板11〇及第二基板12〇的校準 完成之後，供應至上平台23 0用以產生靜電荷的電力會被 關掉，腔室移動裝置將上腔室21〇上升至一個預定的高 度” h” ，且内部空間會被破真空至例如是一大氣壓。

根據本發明，預定高度” h”，需夠大以使第一基板11() 與上平台2 3 0分開以黏附至第二基板12〇，其中内部空間經 由中央禮封兀件250保持密封，與外部環境隔離，密封内 ，空間的破真空（venting)係可經上真空管線271及下真空 官線272，及由上平台2 30的固定住平板232與下平台24〇的 1257515

五、發明說明（23) 固定住平板242裡的低真空孔232a及242a注入例如是氮氣 的氣體進入内部空間，其中上真空管線2 7 1及下真空管線 2 7 2係連接於第一低真空幫浦6 2 2，或者密封内部空間的破 真空（venting)係可經與第二低真空幫浦622連接的低真空 管線641及642注入例如是氮氣的氣體進入内部空間。 根據以上所述’在關掉供應至上平台2 3 〇的電力時， 第一基板110會變成與上平台2 3 0分離且保持位於被下平台 240固疋的苐一基板120上’再者第一基板11〇及第二基板 120會因流經上通道232a及下通道2 42a的氣體所產生的壓 力而接合在一起，進一步來說，第一基板11〇及第二基板 1 2 0會因接合基板的胞室間隙裡的壓力差及上腔室2丨〇及下 腔至2 2 0所定義的密封内部空間裡的壓力差變的接合在一 起。 在上腔室2 1 0及下腔室2 2 0所定義的密封内部空間破真 空完成之後’接合的基板會自基板接合設備載出，而先前 所敘述之製程會以另一組基板重覆進行。

根據本發明，且根據第1 9圖，接合的基板1 1 〇及1 2 0 -藉著將下平台2 4 0所應用的靜電荷及吸力關掉，使其載出 基台接合設備，而利用吸力及靜電荷將接合的基板固定； 上平台230，將上平台230上升至一預定的高度，使得接； 插入的基板載入器9 1 0不會損壞固定於上平台2 3 〇的接合； 板0 根據第20圖’支標裝置的升降座71〇會上升超過下平 240的上表面，靠近於固定於上平台的接合基板u〇及

第31頁 1257515

120，接著，上平台23〇所提供的 將接合的基板自上平台2 3 〇釋放， P牛座71〇的上表面所支樓。 吸力及靜電荷會被關掉， 且讓接合的基板係被升 如第21圖所不，基板載入器91 〇會被插入基板接合設 裡且很近的置於升降座7丨〇的較低部位，接著如第2 2圖 2不，升降座710會下降，使得接合的基板會被基板載入 為9 1 0所支撐，基板載入器9丨〇接著會移出基板接合設備， 如此便完成接合基板1 1 〇及丨2 〇的載出。 。根據本發明之一概念，接合的基板2〇載出的過 私包合’將接合的基板110及丨20固定於上平台230 ;上升 上平台23 0 ;將基板載入器91〇插入基板接合設備並靠近於< 固定於上平台230的接合基板；將接合的基板直接釋放於 基板載入裔9 1 0上；及將支撐接合基板的基板載入器9丨〇自 基板接合設備移出，接著，基板載入器9丨〇會將未接合的 第一基板110載入基板接合設備以固定於上平台230上 根據本發明之另一概念，及根據第2 3圖，接合的基板11 〇 及120移出的過程可包含，關掉上平台230提供的吸力及靜 電荷’並將上腔室2 1 0上升至一預定的準備高度，其中該 接合的基板沒有固定於上平台230上，接著，如第24圖所 示，升降座71 0會上升以舉起接合的基板11 〇及丨2〇，使其 _ 高於下平台240，如第25圖所示，基板載入器910會被插入 基板接合設備裡，並靠近於接合的基板，升降座7 1 〇會下 降以使接合的基板係被基板載入器9 1 0所支樓，接著支撑 接合基板的基板載入器9 1 0可以被移出基板接合設備，便

第32頁 1257515 五、發明說明（25) 完成了接合的基板110及12〇的載出。 —根據本發明之一概念，置於第一基板與第二基板之間 ，岔封材料（圖未顯示）可以在以一預定高度” h”舉起上腔 室210之前，利用光硬化裝置80 0將其以UV光曝光，其製程 也可在破真空（^^]11：丨叫）之前、或在破真空（“1^；[叫）之 後，將UV光直接導至密封材料，這樣可以減少因破真空 (jenting)所導致的第一基板丨1〇及第二基板12〇之間校準 秩差的程度。在破真空（venting)之後，將uv光導至密封 材料，可以減少接合的基板，因在傳送的過程中，因外部 的撞擊所造成的對準誤差的程度。 口

根據以上所述，中央密封元件25〇係有預定的厚度且 伸出於下腔室平板222的上表面的一預定高度，再者，中 ^密封元件25G的厚度係配合，帛—實施例中要在基板接 a设備裡接合的基板的參考厚度，因此當載入於第一 例裡的基板接合設備裡基板的實際厚度與參考厚度有所^ :時二若要抽真空的内部空間裡的載入基板係適當輸 二痒! 一貫施例的基板接合設備裡的中*㈣幻牛250的 厚度也必須要跟著改變。 斤乂，如第26圖至第30圖所示，本發明的第二實施

合設備，例如包含了至少第—間隔控制溝槽 21〇a，置於上腔室平板212的底部表面，及荐槽 裝置，用以相對於上腔室平板212水平的移動下腔 由 222，或相對於下腔室平板222水平的移 / + ⑴，根據本發明，當第-間隔控制溝槽2l〇a被配千置板於， 1257515

中央密封元件2 5 Ο ’係可配置於上腔室 腔室平板222裡時 平板2 1 2的表面上 根據本發明，保持與上腔室210接觸的同 封元件250自下腔室平板222的底部表面伸出至一預定的 度以讓基板能彼此接合，並使得内部空 ' ^二 -基板Η0與第二基板12。適當的接：;確2平〇; ^ … 心田’文口 Μ々隹保内部空間#穷 封的距離，係根據第一基板與第二基板的厚度來決y ς 以位於上腔室平板2丨2裡第一間隔控制、 :腔;：rr:/罙度)係配合載入基板的= 選擇性地接觸^的厗度，中央密封元件25〇可被校準以 k擇！·生地接觸上腔室平板21 〇的底 溝槽_的天花板(或其令的一預定部位)戈。弟間^控制 根據本發明，至少一第一間隔 -的第-間隔控制溝槽210a，另外#槽21°1含-早 溝槽21 〇a ★可勹人…‘ 主夕一弟一間隔控制 匕s衩數個第一間隔控制溝槽2 j 〇 個集中配置的第—間隔栌制、、盖 且複數 忘却本二間隔控制溝槽2l〇a可置於上腔室平板 -产俜V著里，其中複數個第—間隔控制溝槽2l〇a的 # 2^2又所定/的Γ —第一間隔控制溝槽21 〇a與上腔室平板 212所疋義的上面空間的距離作改變。 十販 根據本發明，平板移動裝置如斤 可包含至少份，因此平板移動裝置，例如 凸輪馬達531鑲嵌於下基座221 輪5 3 0可旋轉地，阶署於垃艇_卜丞上，至少一凸 配置於接觸下腔室平板222的週邊表面，

1257515 五、發明說明（27) 及至少一恢復裝置相鄰於各別的凸輪530以將恢復力施加 予，與凸輪530推下腔室平板222相反的方向，因此至少一 凸輪530可藉由凸輪馬達531離心地旋轉。 先前已敘述了本發明第二實施例的基板接合設備，以 下將在第26圖至第30圖中，利用第26圖中所示的基板接合 設備，詳細描述其製造液晶顯示裝置的方法。 在載入任合基板於本發明之第二實施例之前，需先測 定第一基板1 1 0及第二基板1 2 0的厚度，根據本發明，要被 載入的基板的厚度係可藉由量測基板的實際厚度或藉著定 出基板的參考厚度來決定，根據要被載入的第/基板丨i 〇 及苐一基板1 2 0的已測定好的厚度，會計算出移動的距離 (即上腔室210與它的元件（如上基座2U、上腔室平板21 2 及上平台230等）下降以接合第一與第二基板的距離），因 此’此移動距離係與正對於中央密封元件2 1 2的上腔室平 板2 1 2的第一部位與上腔室平板2丨2裡的第一間隔控制溝槽 2 1 0 a的一部位之間的距離一致，根據所計算出的移動距 ，，中央密封兀件250會接觸上腔室平板2i2的底部表面或 是接觸第一間隔控制溝槽2 1 〇a的天花板。 舉例來說，如第27圖所示，若測定出要彼此接合的基 =相對來說係較薄的，平板移動裝置的凸輪馬達531會被 =動以離心地旋轉凸輪530以平行地將下腔室平板222朝向 接合設備的一邊移動（如左邊）’更明確一點的說，凸 輪30係離心地轉離下腔室平板222，#中恢復裝置54〇係 & σ火復力至下腔室平板22?以保持凸輪53〇與下腔室平板

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222的接觸’目此如第28圖所示，中央密封元件25〇會垂直 地置於第-間隔控制溝槽2 i 0a的下方以讓第一間隔控制溝 槽21 Oa接，：在另一個例子中，若測定出要彼此接合的基 板相對來說係較厚的，平板移動裝置的凸輪馬達531會被 驅動以離心地旋轉凸輪53 0以平行地將下腔室平板222朝向 基板接合設備的另一邊移動（如右邊），更明確一點的說， 凸輪5 3 0係離心地轉向下腔室平板2 22，其中恢 係施加恢復力至下腔室平板222以保持凸輪53◦與下腔室平 板222的接觸，因此如第26圖所示，中央密封元件25〇會被

配置，以於第一間隔控制溝槽2 1 〇 a外接觸上腔室平板2工2 的底部表面。

士 f下腔室平板222相對於上腔室平板212的位置被決定 時第一基板110及第二基板120可以如同之前第一實施例 所描述的方式被載入，在第一基板丨1〇及第二基板12〇被载 入，’下腔室平板222會根據第一基板丨丨〇與第二基板丨2〇 =厚度相對於上腔室平板212被放置，接著，如第29圖及 第30圖所示，上腔室21〇會被下降。因此，上腔室平板21 2 ^才艮據弟基板110及第二基板120的厚度配置在靠近下腔 室平板222的地方，使得第一基板11〇與第二基板丨2〇能夠 彼此接合’根據本發明，第一基板110及第二基板120可藉 ，之4第一實施例所描述過的同樣接合製釋來彼此接合。 第31圖係顯示本發明第三實施例之用於製造液晶顯示裝置 的基板接合設備。 如第3 1圖所示，本發明第三實施例之用於製造液晶顯

第36頁 1257515 、發明說明（29) ::ΐ:ί ΐ接合設備，例如包含先前第二實施例中所描 備，備之同樣結#，第三實施例之基板接合設 間隔ί告丨、备=3至少一輔助的密封元件25ΐ及至少一第二 间1同控制溝槽21〇b。 根據本發明，5 ,卜 ^ 板222的表面上，曰/士一輔助禮封元件25i置於下腔室平 隔，第二間P批生丨、塞、中央密封兀件25〇以一預定距離間 表面裡，i =制溝槽21 〇b可置於上腔室平板212的底部 與第二間密封元件251，第一間隔控制溝槽2l〇a 和制、、婆祕网二制溝槽2 1 〇b會以一預定距離隔開，第—間隔 於中央二U〇a與第二間隔控制溝槽21 〇b之間的距離會等同 央雄、封元件25 0與辅助密封元件251之間的距 ^ 二封-件251置於上腔室平板212的表面上的同時，第：二 =制溝槽210b係置於下腔室平板222的上表面曰 於辅助密封元件2 5 1。 丁 μ 根據本發明，中央密封元件25 0可能會因與上腔室 = 222重覆的接觸而品質變差，因此輔助密封元件π}以 桌助上腔室平板21 2與下腔室平板2 22之間保持一個 ，離’以確保第一基板與第二基板係適當的接合，且^助 ，封由上腔室210及下腔室22 0所定義的内部空間，來盥 部環境隔離。上腔室平板212裡的第二間隔控制溝槽以帅 的數目、配置及高度皆與上腔室平板212裡第一 ^ 冓槽2 1 0a的數目、配置及高度相同，且需搭配要接合的其 板的厚度及辅助密封元件2 5 1的數目及配置，根據本發土 明’基板接合設備可以具有一輔助密封元件2 5 1及一二一 弟-— 1257515 、發明說明（30) 間隔控制溝槽21〇b。 士 第3 2圖係顯示本發明第四實施例之用於製造液晶顯示 衣置的基板接合設備。

一 如第3 2圖所示，本發明第三實施例之用於製造液晶顯 示衣置的基板接合設備’例如包含先前第一實施例中所描 述之基板接合設備之同樣結構，第三實施例之基板接合設 備’然而能以較其它所描述過的基板接合設備為佳的準確 性來控制上平台230與下平台240之間的距離，其它曾描述 過的基板接合設備，例如是本發明所揭露之第二實施例。 舉例來說，本發明之基板接合設備可包含一間隔控制裝 置’其具有一第一末端及一第二末端，其中第一末端可固 疋於上腔室210或下腔室220的其中之一，且該第二末端可 以被上升或下降以推動另一個上腔室或下腔室，利用此間 隔控制裝置’上平台2 3 0與下平台2 4 0之間的接合距離係可 被適當的控制。

根據本發明’間隔控制裝置’例如包含一移動元件 560固定於上基座211，並耦合於一第二桿561，其中一第 二致動器5 6 0可以將第二桿561相對於上腔室210上升或下 降，移動元件5 6 0可包含一第二致動器、一步進馬達（step motor)、線性馬達或其它能夠將第二桿一點一點移動的裝 置。 " 根據本發明，每一個第二桿5 6 1的末端部位可接觸於 下腔室平板2 2 2的一表面’間隔密封元件2 5 2配合著各別的 第二桿561的配置於下腔室平板222的表面上，係用以避免

第38頁 1257515 五、發明說明（31) 下腔室平板2 22的表面於接觸第二桿561時被損毀。 根據本發明，第二桿5 6 1會下降於相對上腔室2 1 0的一 預定高度，第二桿5 6 1下降的程度會跟著要被接合的基板 的測定厚度改變，舉例來説，第二桿5 6 1開始時會置於上 腔室2 1 0裡，使得第二桿5 6 1的一末端不會突出於上膣室平 板2 1 2的底部表面，接著，第二桿5 6 1會下降到突出上腔室 平板212的底部表面的一個預定距離，藉由將第二桿561相 對於上腔室210下降，上腔室平台230與下腔室平台24〇彼 此分開距離的準確度便會增加。 先前已敘述了本發明第四實施例的基板接合設備，以 下將在第33圖至第34圖中，利用第32圖中所示的基板接合 設備，詳細描述其製造液晶顯示裝置的方法。 在載入任何基板於第四實施例中的基板接合設備之

㈤’須先測定第一基板與第二基板的厚度，根據本發明， 第一基板與第二基板的厚度係如同於第二實施例所揭露的 方法來測定，根據第一基板與第二基板測定出來的厚度， 可以測定第二桿561下降的預定距離，因此根據第33圖， 移動το件5 6 0將第二桿561下降，以使第二桿561的末端部 位大出於上腔至平板2 1 2底部表面的一個預定距離。

>长弟一’丨丁…丨孤1丨卞〜復，第一基板與第二基板被 :弟四實施例之基板接合設備，在载入製程完成後、 ς 30與下平台240可耩由先前所提的第一對準裝置來4 ^,上腔室21。與下腔室咖可藉由先前所提的腔' 動衣置來結合一起，根據本發明，上平二平a，*

第39頁 1257515 五、發明說明（32) 室與下腔室可分別被對準及結合，其方式係等同於先前第 一實施例。 如第34圖所示，在結合了上腔室21〇及下腔室220之 後，先前所提的内部空間便被定義出來，被密封與外部環 立兄隔離，且蘢罩著分別固定著第一基板11〇與第二基板12〇 的上平台230及下平台240，進一步來說，第二桿561，突 出於上腔室平板212底部表面的一預定距離，接觸著置於 了腔室平板222上表面的間隔密封元件25 2，如第34圖所 示，第一基板11〇與第二基板120，被固定於上腔室21〇盥 下腔室22 0所定義的内部空間裡，可藉由密封材料（圖未顯 \彼此黏著，但並不是完全的接合，在完全的接合之 岫，第一基板1 1 0與第二基板丨2 〇的校準可以被調整，因 此，即使厚度與參考厚度偏差，第二桿561 細會讓上平台230及下平台24〇彼此之間係準確二： 開，例如，使得在密封内部空間裡的第_ 基板120可以被對準。 土微m、弟一 在第一基板110與第二基板12〇的校 間合被抽至直允业自t 敗後 内部空 間曰被抽至真玉狀恶，而已對準的基板會 據本發明’内部空間係可以先前第一 1接5 ，根 iiir，&同樣的以先前第-實施例中所述的方法來 元王接合一起。舉例來說’在第一實施 =末 程中，腔室移動裝置會將上腔室210上升至―达―的接古5過 度，並同時保持中央密封元件2 5 0與上腔室平板7、： 觸’然而’根據第四實施例，間隔控制裝置，會將二室 i 第40頁 1257515

2=升下腔室220。舉例來說，移動元件5 6 0會被 =動以將弟二移動桿561伸出抵著間隔 腔室210上升高於下沪官22〇，盅本 ：兀忏UZU將上 r ^ ? 1 〇 μ 41- - ^ 工 者，間隔控制裝置會將上 :=〇上升冋於下腔室2 2 0的—個預定高度，同時會保持 中央後封元件2 50與上腔室平板212之間的接觸。 才】據士發明之第一至第四實施例，第—基板ιι〇會因 =板载入态9 1 0的上表面所導入的外來物質而受到污染， 再者，外來物質可能會攙進置於第—基板11〇的密封材料 ’而使得利用第一實施例至第四實施例中之基板接合設 備所W造出來的液晶顯示裝置的品質變差。 、所以，如第3 5圖至第4 0圖所示，本發明第五實施例所 田述^的基板接合設備，可以使基板载入器9丨〇將第一基板 10罪近於上平台230，其中基板載入器91〇會與第一基板 110沒有塗佈密封材料的表面上接觸。

人 f，，第五實施例中的基板接合設備，其本體除了包 含先前第一實施例至第四實施例所述之结構，更包含了至 少一引導溝槽234置於上平台23()的上固定平板232的表面 裡’、根據本發明，引導溝槽2 3 4的數目與其配置係配合基 板载入器9 1 0的相對應的指狀體9丨1的數目及配置，其用以 於载入第一基板1 1 0進基板接合設備時，使得每一引導溝 ，2 3 4接收一相對應的指狀體9丨丄，在有引導溝槽2 3 4形成 日守’在上平板2 3 0的表面上係不會有先前所述的上真空孔 232a及靜電吸座23 2b。 如第3 5圖及第3 6圖所示，每一指狀體9 1 1，例如是包

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^ 一真空官線911a，及至少一第一通孔9i lb，用以與真空 官線9 Π a流體流動，及貫穿指狀體9丨1的下表面，因此， 基板載入器910會將第一基板u〇置的靠近於上平台23〇， 其中該第一基板係被基板載入器9丨〇固定住，使得第一基 板1 1 0上未塗佈密封劑的表面會與基板載入器9丨〇的指狀體 9 11接觸’再者’因指狀體g 11會被接收於接收溝槽2 3 4 中，第一基板11 0的控制便可很順地自基板載入器9丨Q及上 平台2 3 0轉移。

先W已敘述了本發明第五實施例的基板接合設備，以 下將在第37圖至第40圖中，詳細描述其基板載入的方法。 如第37圖所示，基板載入器91〇，固定住第一基板ιι〇的上 表面，會將其置於靠近上平台23〇的下表面，根據本發 基板載入器910藉著將真空幫浦（圖未顯示）產生^吸 力經由真空管線911a傳遞至通孔9Ub來固定住第一基板 如第38圖所示，在將基板載入器91〇很近的靠近於上 哭9 口Μ下表面時’上平台23 0會被降低，使得基板載入 W 勺母一指狀體9 1 1會被接收於對應的引導溝；2 Μ， :得第-基板11〇係可操作地靠近上平台23〇的 板的载，^ 了 9j〇的母一指狀體911係被對應的引導溝槽234所接 面，弟—基板1 1 0會可操作地被靠近於上平台23〇的下表 接著.， 如第39圖所示，在第—基板丨1〇係被操作地靠 1257515 五、發明說明（35) 近地置於上平台230下表面之後，吸力會藉由每一形成於 上平台23 0的真空孔2 32a傳遞，使得第一基板11〇係被固定 於上平台23 0的下表面，根據本發明，第一基板11〇會利用 例如是靜電吸座232b所產生的靜電荷來被固定於上平台 2 3 0的下表面，在吸力傳遞及/或靜電吸座的靜電荷產生之 後，藉由每一指狀體9 11的第一通孔9丨丨b傳遞的吸力會被 釋放’在第一基板110被固定於上平台230之後，會藉著將 基板載入器910水平移出上平台2 30，來將每一指 自引導槽234裡移出。 如第40圖所示，固定住第一基板11〇的上 於基板接合設備裡上升至一預定高度，使第二基板12〇可曰 ’第二基板120可以如同先前第一實施例所描述的 万式載入於基板接合設備中，根據本發明， 與第二基板120會以先前第一實施例所述的方式一 ί 的被接合。 < w乃八樣 第4】圖係顯示基板載入器、的透視圖 顯不裝置的基板接合設備的第六實施例。用於。液晶 如第41圖至第46圖，基板接合設備的第丄每 =…上升或下降上平台或基板載；/ 器二下: 固疋於上平台的下表面。 j I月小卜破 因此，第五實施例中的基板接合設備，1 2前：一實施例至第四實施例所述之結構了 务迗=配置於上平台2 3 0裡形成的通道2 3 5裡。匕3 " 如第41圖及第42圖所#，多數個通道235可形成於上

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千台23 0裡’且與上平台23〇的下表面貫穿，根據本發明， 吸力傳送器於各別的通道235中係可移動的，每一吸力傳 送器？包含一襯墊23 6、一移動管線237及—驅動元件 239，母-襯墊236可包含至少一真空孔ma用以將吸力傳 到基板的可刼作的靠近部位’移動管線m係與各別的襯 墊236裡的每-真空孔236“體流動，每一移動管線237可 以將各別的概塾上升或下降以移進或移出各別的通道 235，進-步來說’每-移動管線2 37係與真空幫浦238流 體流動’其中真空幫浦2 3 8可產生先前所述的吸力。驅動 元件2 39，例如係一致動器、一步進馬達、一線性馬達， 其中移動管線237為一桿。 . 根據本發明之第六貫施例，基板載入器9丨〇可如同先 前第五實施例所述之基板載入器910。舉例來說，基板載 入器910可包含多數個指狀體911及多數個第一通孔9111)形 成於每一指狀體911裡。引導溝槽234，如同先前第五實施 例所述之引導溝槽，可位於上平台230的下表面裡，因此 先前所述之真空孔232a，及靜電吸座232b可以位於上平台 230的表面引導溝槽形成的地方。

先前已敘述了本發明第五實施例的基板接合設備，以 下將在第43圖至第46圖中，詳細描述其基板載入的方法。 如第43圖所示，基板載入器910，將第一基板丨1()的上表面 (即沒有密封材料的第一基板11 〇的那一面），會被置於近 於上平台230的下表面。 如第44圖所示，在將基板載入器910靠近的置於上平

1257515 五、發明說明（37) 台230的下表面時’驅動元件239會被驅動以將每一管線相 對於上平台2 3 0降低，在降低移動管複2 S 7 0士 ^ 的真空孔236a ’會被配置於可控制/的23第7知其f塾236裡 ⑻刊的弟一基板1 1 〇的部 :以ίί 一移動Γ:23?Λ下降之後，A空幫浦238會被驅 ，以產生吸力，因此，產生的吸力會藉每—移動 傳至襯墊的各別真空孔236a裡，以可操作的靠近第二基 11 〇的部位，結果，第一基板丨丨0便可被固定於吸力傳$哭 的襯墊236上，在吸力自襯墊236傳遞至第—基板11〇，以111 將第一基板固定於襯墊236上時，經每一指狀體911的第— 通孔911b傳遞之吸力便會被釋放，而基板载入器91〇 自上平台230移出。 曰 如第45圖所示，每一驅動元件239會再被驅動以將各 別的移動管線237上升預定距離，根據本發明，移動管線 237會被舉起，使得每一襯墊236的下表面會與上平台23〇 H表广斑齊平，從另一方面來講，％第46圖所示，移動管 線被舉起，使得第一基板11〇係直接抵著上平台23〇的 表面，固定住，而在第46圖中，真空幫浦238所產生的 吸力可藉由配置於上平台230裡的每一真空孔232a來傳 遞’在第一基板被舉起接觸上平台23 0的下表面時，至吸 力傳达器的吸力係被切斷，使得第一基板1 1 0僅經真空孔 232a固又於上平台230，便完成了第一基板110的載入。 根據本發明的原則，先前所述之第一實施例至第六實施例 中的各種概念，係可根據需求，任意結合或作變化。 再者，利用上述之第一實施例至第六實施例中之基板

第45頁 1257515 五、發明說明（38) 接合設備，基於下 明的基板接合設備 發明的基板接合設 小。第二，本發明 對準基板。第三， 間可被密封與外部 間。第四，内有基 以減少接合前内部 封元件已變的過度 仍可保持密封狀態 ，離可以根據被接 第七，基板載入器 材料的表面，因此 -導入的外來物質 雖然本發明以 用以限定本發明， 之精神和範圍内， 之專利保護範圍須 者為準。 述的理由 係僅使用 備的大小 的基板接 連接的上 環境隔離 板接合的 空間抽真 磨損，藉 。第六， 合基板的 的指狀體 基板上的 所污染。 前述之較 任何熟習 當可作些 視本說明 ，有若 於將基 會比習 合設備 腔室與 ，能避 内部空 空的時 著輔助 在上平 決定厚 可以避 後、封材 干的優點 板接合^一 知之基板 可有效率 下腔室所 免外來物 間的體積 間。第五 密封元件 台與下平 度，被很 免接觸到 料便可避 。第一 起，因 接合設 地、及 定義的 質進入 可被減 ，即使 ，其内 台之間 準確的 基板上 免被基 ，本發 此，本 備要 準確地 内部空 内告F空 小，所 中央密 部空間 的接合 控制。 有密封 板載入

仏貝施例揭露如上，然其； f像技藝者，在不脫離本, 2之更動與潤飾，因此本^ 曰斤附之申請專利範圍所J

第46頁 1257515 圖式簡單說明 第1圖及第2圖顯示習知技術之以液晶分滴方法製造液晶顯 示裝置的基板接合設備； 第3A圖係顯示本發明第一實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備圖示； 第3B圖係顯示本發明第一實施例之第一對準裝置之載入胞 室之鑲嵌位置之圖示； 第4A圖係顯示第3A圖中A區的放大截面圖； 第4B圖係顯示第3A圖中B區的放大截面圖； 第5圖係顯示本發明第一實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備中，第二對準裝置與下腔室之平面圖示； 第6圖係顯示本發明第一實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備中，真空幫浦裝置之圖示； 第7圖係顯示本發明第一實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備中，支撐裝置之透視圖示； 第8圖係顯示利用本發明第一實施例之用於製造液晶顯示 裝置之基板接合設備，來載入基板的圖示； 第9圖及第1 0圖係顯示將第一基板固定於本發明第一實施 例之用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備中上平台的圖 示； 第11圖至第1 3圖係顯示將第一基板載入及固定於本發明第 一實施例之用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備中下平 台的圖示； 第1 4圖至第1 8圖係顯示於本發明第一實施例之用於製造液 晶顯.示裝置之基板接合設備中，第一基板與第二基板接合

第47頁 1257515 圖式簡單說明 的圖不， 第19圖至 晶顯示裝 第23圖至 晶顯不裝 第2 6圖係 之基板接 第2 7圖係 之基板接 示； 第2 8圖係 之基板接 第2 9圖係 之基板接 第3 0圖係 之基板接 第3 1圖係 之基板接 第3 2圖係 之基板接 第33圖及 顯示裝置 第3 5圖係 之基板接 第2 2圖係顯示自本發明第一實施例之用於製造液 置之基板接合設備9載出基板的圖不， 第2 5圖係顯示自本發明第一實施例之用於製造液 置之基板接合設備，載出基板的圖示； 顯示本發明第二實施例之用於製造液晶顯示裝置 合設備圖示； 顯示本發明第二實施例之用於製造液晶顯示裝置 合設備中，平板移動裝置與下腔室配置之平面圖 顯示本發 合設備的 顯示本發 合設備中 顯示本發 合設備中 顯示本發 合設備圖 顯示本發 合設備圖 第3 4圖係 之基板接 顯示本發 合設備中 明第二 ，根據 明第二 ，基板 明第二 ，接合 明第三 示； 明第四 不 ， 顯示本 合設備 明第五 ，基板 造液晶顯示裝置 的操作； 造液晶顯示裝置 實施例之用於製 基板厚度所進行 實施例之用於製 的接合； 實施例之用於製造液晶顯示裝置 的基板， 實施例之用於製造液晶顯示裝置 實施例之用於製造液晶顯示裝置 發明第四實施例之用於製造液晶 中的一操作； 實施例之用於製 載入裝置與上平 造液晶顯示裝置 台之透視圖不，

第48頁 1257515 圖式簡單說明 第3 6圖係顯示本發明第五實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備中，指狀體之侧面剖面圖示； 第37圖至第40圖係顯示載入第一基板於本發明第五實施例 之用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備的過程圖示； 第41圖係顯示本發明第六實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備中，基板載入裝置元件與上平台之透視圖 示； 第42圖係顯示本發明第六實施例之用於製造液晶顯示裝置 之基板接合設備中，上平台之侧面剖面圖示；及 第43圖至第46圖係顯示載入第一基板於本發明第六實施例 之用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備的過程圖示。 【圖式符號說明】 10 基架 21 上平台 22 下平台 30 液晶點膠機 31 上腔室 32 下腔室 40 驅動馬達 50 驅動馬達 51 第一基板 52 第二基板 100 基架 110 上基板

第49頁 1257515 圖式簡單說明 120 下 基 板 210 上 腔 室 210a 第 一 間 隔 控 制 溝 槽 210b 第 二 間 隔 控 制 溝 槽 211 上 基 座 212 上 腔 室 平 板 213 上 密 封 元 件 220 下 腔 室 221 下 基 座 222 下 腔 室 平 板 2 2 2a 接 收 溝 槽 223 固 定 平 板 224 下 密 封 元 件 225 支 撐 元 件 230 上 平 台 231 上 固 定 平 板 232 上 固 定 平 板 2 32a 上 真 空 孔 232b 靜 電 吸 座 233 上 固 定 塊 234 引 導 溝 槽 235 通 道 236 襯 墊 2 3 6a 真 空 孔 Φ #

第50頁 1257515 圖式簡單說明 237 移 動 管 線 238 真 空 幫 浦 239 驅 動 元 件 240 下 平 台 241 下 固 定 平 板 242 下 固 定 平 板 242a 下 真 空 孔 242b 靜 電 吸 座 243 下 固 定 塊 250 中 央 密 封 元 件 251 輔 助 密 封 元 件 252 間 隔 密 封 元 件 271 上 真 空 管 線 272 下 真 空 管 線 310 焉區 動 馬 達 320 驅 動 桿 330 連 接 桿 340 連 接 元 件 350 起 重 機 元 件 410 上 低 真 空 腔 室 420 下 低 真 空 腔 室 510 第 — 致 動 器 511 第 一 桿 510 第 一 致 動 器

1257515 圖式簡單說明 511 第 一 桿 520 對 準 攝 影 機 530 凸 輪 531 馬 達 540 恢 復 裝 置 550 載 入 胞 室 560 移 動 元 件 561 第 二 桿 610 真 空 幫 浦 621 第 二 低 真 空 幫 622 第 二 低 真 空 幫 630 高 壓 真 空 管 線 641 高 壓 真 空 管 線 642 高 壓 真 空 管 線 650 基 板 安 全 管 線 661 閉 合 閥 662 閉 合 閥 663 閉 合 閥 664 閉 合 閥 665 閉 合 閥 670 壓 力 感 測 器 710 升 降 座 720 第 二 致 動 器 800 光 硬 化 裝 置

第52頁 1257515

圖式簡單說明 910 基板載入器 911 指狀體 911a 真空管線 911b 第一通孔 920 間隙感測器

Claims (1)

1257515 六、申請專利範圍 - 1. 一種用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備，包含： 一基架； 一上腔室； 一下腔室鑲嵌於該基架，其中該下腔室係選擇性地連接 於該上腔室； - 一腔室移動裝置，用以將該上腔室上升及下降； 一上平台鑲嵌於該上腔室； 一下平台鑲嵌於該下腔室； 一密封裝置，被配置於該上腔室及該下腔室其中之一之 一表面； 一第一對準裝置，用以將該上平台對齊於該下平台；及 一第二對準裝置，用以平行地將該上平台對準於該下平 台。 2. 如申請專利範圍第1項所述之基板接合設備，其中該密 封裝置將一内部空間密封以與一外部環境隔開，其中該 内部空間係藉該上腔室及該下腔室組合成一體所定義。 3. 如申請專利範圍第2項所述之基板接合設備，其中該上 平台與該下平台於該内部空間裡係可配置的；及該密封 裝置包含一中央密封元件，其中該中央密封元件定義該 内部空間的侧面邊界。 4. 如申請專利範圍第3項所述之基板接合設備，其中該中 央密封元件包含一彈性材料。 ’ / 5. 如申請專利範圍第3項所述之基板接合設備，其中該中 央密封元件包含一〇型環（o-ring)。

第54頁 1257515 六、申請專利範圍 6 ·如申請專利範圍第1項所述之基板接合設備，其中該第 一對準裝置包含： 至少一第一致動器，固定於上腔室； 至少一第一桿，固定於各別的一第一致動器，其中該第 一桿的一末端係可相對於該上腔室移動；及 一感測裝置，用以感測每一該第一桿與該下腔室之間的 一接觸。 7 ·如申請專利範圍第6項所述之基板接合設備，其中該感 測裝置包含一載入胞室配置於每一第一致動器中。 8·如申請專利範圍第6項所述之基板接合設備，其中該感 測裝置包含一載入胞室配置於該下腔室之一上表面中。 9 ·如申請專利範圍第8項所述之基板接合設備，其中該載 入胞室藉著各別的一第一致動器係可接觸的。 I 0 ·如申請專利範圍第6項所述之基板接合設備，其中該感 測裝置包含一間隙感測器，用以量測該下腔室與該第 一桿之該末端之間的一間隙。 II ·如申請專利範圍第6項所述之基板接合設備，更包含複 數個第一致動器配置於該上腔室的角落。 1 2 ·如申睛專利範圍第6項所述之基板接合設備，更包含至 ^ 接收溝槽，配置於該下腔室的一上表面裡，用以 接收各別的一第一桿。' 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項所述之基板接合設備，其中該 接收/冓槽的規袼係符合該第一桿之該末端的規格。 1 4.如申睛專利範圍第1 3項所述之基板接合設備，其中該

第55頁 1257515 六、申請專利範圍 第 構 1 5 ·如 腔 桿之該末端包含一圓錐形的、逐漸變得尖細的結 1 6 ·如 上 該 17.如 腔 1 8.如 下 1 9 ·如 下 該 20.如 申請專 室包含 上基座 上腔室 邊表 申請專 腔室平 上平台 申請專 室包含 下基座 下腔室 上。 申請專 腔室平 申請專 腔室平 下平台 申請專 對準裝 利範圍第1項所述之基板接合設備，其中該上 地麵合於該基架，·及 不可動地耦合於該上基座之一底部週 ，可動 平板， 面。 利範圍第1 5項所述之基板接合設備，其中該 板定義一上空間；及 係連接 利範圍 於該上空間裡的該上基座。 第1項所述之基板接合設備’其中該下 ’不可 平板， 動地搞合於該基架；及 可動地配置於該下基座之一上表面 第1 7項所述之基板接合設備 行地相對於該下基座移動。 第1 7項所述之基板接合設備 其中該 至少一對 複數個凸 利範圍 板係平 利範圍 板定義一下空間；及 係連接 利範圍 置包含 準攝影 輪，其中每一該凸輪係,旋轉地可接觸於該下 其中該 於該下空間裡的該下基座。 第1項所述之基板接合設備，其中該第 機；

第56頁 1257515 六、申請專利範圍 腔室之一部位；及 複數個恢復裝置，連接於該下基座與該下腔室之間。 2 1.如申請專利範圍第2 0項所述之基板接合設備，其中該 恢復裝置包含一彈簧線圈。 2 2.如申請專利範圍第1項所述之基板接合設備，更包含至 少一第一間隔控制溝槽，配置於該上腔室及該下腔室 其中之另一之一表面裡，其中每一該第一間隔控制溝 槽係用以接收該密封裝置，並容有該密封裝置。 2 3 .如申請專利範圍第2 2項所述之基板接合設備，其中該 第一間隔控制溝槽的深度係隨著該第一間隔控制溝槽 與該上腔室及該下腔室其中之另一之一表面中央的距 離而改變，其中該第一間隔控制溝槽係配置於該上腔 室及該下腔室其中之另一之一表面裡，及其中係容有 該密封裝置。 24.如申請專利範圍第22項所述之基板接合設備，其中該 密封裝置包含一中央密封元件，該中央密封元件具有 一預定厚度對應於該第一間隔控制溝槽的深度，其中 該第一間隔控制溝槽係配置於該上腔室及該下腔室其 中之另一之一表面裡，及其中係容有該密封裝置。 2 5.如申請專利範圍第24項所述之基板接合設備，其中該 中央密封元件包含一彈性材料。 2 6.如申請專利範圍第24項所述之基板接合設備，其中該 中央密封元件包含一〇型環（o-ring)。 2 7.如申請專利範圍第2 4項所述之基板接合設備，更包含

第57頁 1257515 六、申請專利範圍 輔助密封元件，配置於上腔室與下腔室其中之 裡。 2 8.如申請專 輔助密封 開。 2 9.如申請專利範圍 利範圍第2 7項所述之基板接合設備，其中該 元件係以一預定距離與該中央密封元件分 間隔控制 中 3 0.如 第 下 及 及 件 31.如 室 之另 之 表 申請專利範圍 一間隔控制溝 中之另 間隔控 3 2 ·如 腔室其 該第二 該下腔 ，其中 申請專 移動裝 驅動馬 驅動桿 連接元 起重機 連接桿 第二末 力。 申請專 室其中 該第一 利範圍 置包含 達，固 ，耦合 件，連 元件， ，包含 端連接 第1 8項所述之基板接合設備，更包含： 溝槽，配置於該上腔室及該下腔室其 面裡，其中係容有該辅助密封元件。 第2 9項所述之基板接合設備，其中該 槽，具有一第一深度於該上腔室及該 一裡，其中係容有該輔助密封元件； 制溝槽，具有一第二深度於該上腔室 之另一裡，其中係容有該輔助密封元 深度係不同於該第二深度。 第1項所述之基板接合設備，其中該腔 定於該基架； 於該驅動馬達； 接於該驅動桿， 連接於該上腔室；及 一第一末端連接於該起重機元件，及 用以接收由該連接元件轉移之一驅動 利範圍第1項所述之基板接合設備，更包含

第58頁 1257515 六、申請專利範圍 間隔控制裝置 一，用以推離 固定有該間隔 3 3 .如申請專利範 間隔控制裝置 至 至 3 4 ·如 少 3 5 ·如 少 3 6 ·如 少 少一移動元 少一第二桿 相對於上 申請專利範 一該移動元 申請專利範 一該移動元 申請專利範 一該移動元 37.如申請專利範 一間隔密封元 間隔密封元 申請專利範 隔密封元件 3 9.如申請專利範 一引導溝槽 基台載入器 該 38.如 間 少 ，固定於該上腔室及該下腔室之其中之 該上腔室及該下腔室其中之另一，其中 控制裝置。 圍第3 2項所述之基板接合設備，其中該 包含： 件，固定於該上腔室；及 ，耦合於該移動元件，其中該第二桿係 腔室移動以推離該下腔室。 圍第3 3項所述之基板接合設備，其中至 件包含一線性致動器。 圍第3 3項所述之基板接合設備，其中至 件包含一步進馬達（step motor)。 圍第33項所述之基板接合設備，其中至 件包含一線性馬達。 圍第3 3項所述之基板接合設備 件，配置於該下腔室之該表面 件係與該第二桿接觸。 圍第3 7項所述之基板接合設備 係配置於該下腔室之該表面裡 圍第1項所述之基板接合設備 ，配置於該上平台之一下表面裡，其中 之指狀體係可被各別之一引導溝槽接 更包含 -，其中 其中該 更包含至 收。 、 4 0 .如申請專利範圍第3 9項所述之基板接合設備，其中該

第59頁 1257515 六、申請專利範圍 上平台包含： 複數個真空孔，其中該吸力係藉該複數個真空孔傳 遞；及 複數個靜電吸座，其中係藉該複數個靜電吸座產生一 靜電荷。 4 1.如申請專利範圍第4 0項所述之基板接合設備，其中至 少一該引導溝槽不包含該真空孔。 4 2.如申請專利範圍第4 0項所述之基板接合設備，其中至 少一該引導溝槽不包含該靜電吸座。 4 3.如申請專利範圍第1項所述之基板接合設備，更包含： 至少一通道，配置於該上平台裡，並貫穿該上平台之 一下表面；及 一吸力傳送器，配置於每一該通道裡，該吸力傳送器 包含一傳送源，自該通道裡延伸出至一預定距 離，該預定距離係起自該上平台之該下表面，其 中該吸力係自該上平台之該下表面傳送至該預定 距離。 4 4.如申請專利範圍第43項所述之基板接合設備，其中該 傳送源包含一概墊，具有至少一通過孔，其中該吸力 係可藉由至少一該通過孔傳送；及 該吸力傳送器更包含： 一真空幫浦，用以產生該吸力； 一管線，與至少一該通過孔及該真空幫浦流體交流， .其中該管線於該通道中係可移動的；及

1257515 六、申請專利範圍 一驅動元件，用以移動該通道裡的該管線。 4 5.如申請專利範圍第44項所述之基板接合設備，其中該 驅動元件包含一致動器；及 該管線係該致動器之一桿。 4 6 .如申請專利範圍第44項所述之基板接合設備，其中該 驅動元件包含一步進馬達；及 該管線係該步進馬達之一桿。 4 7.如申請專利範圍第4 3項所述之基板接合設備，更包含 至少一引導溝槽於該上平台之一下表面裡，其中該基 板載入器之指狀體係可被接收於一對應的引導溝槽 裡。 4 8. —種基板接合設備裡的對準平台方法，包含： 驅動複數個致動器以降低相對應的複數個第一桿； 將降低的複數個第一桿接觸於一下腔室平板之一上表 面； 偵測降低的該複數個第一桿其中之一先於其它該複數 個第一桿接觸於該下腔室平板之該上表面；及 根據該偵測，補償其它該複數個第一桿被降低的距 離。 4 9.如申請專利範圍第4 8項所述之對準平台方法，其中驅 動複數個致動器以降低相對應的複數個第一桿的步驟 中，包含驅動複數個致動器，直至各別的該第一桿接 觸於該下腔室平板之該上表面。 5 0.如申請專利範圍第48項所述.之對準平台方法，更包含

第61頁 1257515 六、申請專利範圍 降低複數個致動器，直至至少一該第一桿接觸於該下 51 腔室平板之 如申請專利 償其它該複 降低其它該 表面。 該上表面。 範圍第48項所述之對準平台方法，其中補 數個第一桿被降低的距離的步驟中，包含 複數個第一桿以接觸該下腔室平板之該上 52. 種用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備，包含： 基架； 上腔室，其中該上腔室包含一上基座及一上腔室平 板， 一下腔室鑲 及一下 接於該 一上平台鑲 一下平台鑲 至少一第一 下腔室 架，其中該下腔室包含一下基座 及其中該下腔室係選擇性地連 嵌於該基 腔室平板 上腔室； 嵌於該上基座； 嵌於該下基座； 間隔控制溝槽，配置於該上腔室平板與該 平板之其中之一的一表面裡； 密封裝置，配置於該上腔室平板與該下腔室平板之 其中之另一之一表面裡，其中配置有至少一控制 溝槽；及 平板移動裝置，用 範圍第5 2 動地搞合 板係不可 5 3 .如申請專利 上基座係可 該上腔室平 以水平地移動至少一腔室平板。 項所述之基板接合設備，其中該 於該基架；及 動地耦合於該上基座之一底部週

第62頁 1257515 六、申請專利範圍 邊表面。 5 4.如申請專利範圍第5 2項所述之基板接合設備，其中該 下基座係不可動地耦合於該基架；及 該下腔室平板係可動地配置於該下基座之一上表面 上。 5 5 .如申請專利範圍第5 4項所述之基板接合設備，其中該 下腔室平板係平行地相對於該下基座移動。 5 6 .如申請專利範圍第5 2項所述之基板接合設備，其中該 密封裝置包含一中央密封元件，其中該中央密封元件 定義該内部空間之該邊界，及其中該中央密封元件係 正對於該第一間隔控制溝槽配置。 5 7.如申請專利範圍第5 6項所述之基板接合設備，其中該 第一間隔控制溝槽，係配置於該上腔室平板之一下表 面裡；及 該中央密封元件，係配置於該下腔室平板之一上表面 裡。 5 8 .如申請專利範圍第5 6項所述之基板接合設備，更包含 一第二間隔控制溝槽，係配置於該上腔室平板與該下 腔室平板之其中之一之該表面裡。 5 9 .如申請專利範圍第5 8項所述之基板接合設備，更包含 一輔助密封元件，配置於該上腔室平板與該下腔室平 板之其中之另一之該表面裡。 6 〇 .如申請專利範圍第5 9項所述之基板接合設備，其中該 輔助密封元件係正對著該第二間隔控制溝槽配置。

第63頁 1257515 六、申請專利範圍 6 1 ·如申請專利範圍第5 9項所述之 第一間隔控制溝槽具有/第 腔室與該 同於該第 ，其中該 二間隔控 腔室之其中之一裡；及 冲P 該第二間隔控制溝槽具有/第二深度於該上 下腔室之其中之一裡，其中該第一深度係不 二深度。 6 2 ·如申凊專利範圍第g g項所述之基板接a 0又f 第一間隔控制溝槽，係以/預定距離與該第

制清槽隔開。 ^ » 6 3 ·如申請專利範圍第& β項所述之基板接合设備 ’、一 第一間隔控制溝槽於該上腔室與該下腔室之其中= 裡的一深度，係根據該第〆間隔控制溝槽與該上 及該下腔室之苴中之一之中心的距離改變。 χίτ 6 4 ·如申明專利範圍第5 6項所述之基板接合设備 ’、 平板移動裝置係配置於可操作地靠近該下腔室’用、 平行地移動該下腔室平板。 > 6 5 ·如申請專利範圍第6 4項所述之基板接合設備，其中°亥 平板移動裝置包含：

一凸輪馬達，固定於該基架；及 ^ 一凸輪，離心性地連接於該凸輪馬達，其中該巧輪係 旋轉地可連接於該下腔室平板。 6 6 ·如申請專利範圍第5 6項所述之基板接合設備，更包含 一間隔控制裝置，固定於該上腔室與該下腔室之其中 之一’用以推離該上腔室與該下腔室之其中之另^。

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六、申請專利範圍 ^ 6 7·如申請專利範圍第66項所述之基板接合設備，其中忒 間隔控制裝置係固定於該上腔至。 談 6 8 ·如申請專利範圍第β 7項戶斤述之基板接合設備，其吕 間隔控制裝置包含： 至少一移動元件，固定於該上腔室；及 y 至少一第二桿，耦合於該移動元件，其中該第=桿係 可相對於該上腔室移動’用以推離該下腔至。 6 9 ·如申請專利範圍第6 8項所述之基板接合設備，其中至 少一該第二桿係穿過該上腔室平板移動。 7 0 ·如申請專利範圍第6 8項戶斤述之基板接合設備，其中至 少一該移動元件包含一線性致動器。 7 1 ·如申請專利範圍第β 8項所述之基板接合設備’其中至 少一該移動元件包含一梦進馬達（step motor)。 7 2 ·如申請專利範圍第6 8項所述之基板接合設備’其中至 少一該移動元件包含一線性馬達。 — 7 3.如申請專利範圍第6 8項所述之基板接合設備’更包3 一間隔密封元件，配置於該下腔室平板之該表面上’ 其中該間隔密封元件係與該第二桿接觸。 _ 7 4 ·如申請專利範圍第7 3項所述之基板接合設備’其中該 間隔密封元件係配置於該下腔室平板之該表面裡。/ 7 5 ·如申請專利範圍第5 6項所述之基板接合設備’更包含 至少一引導溝槽，配置於該上平台之一下表面裡’其 中一基台載入器之指狀體係被各別之一引導溝槽接 .收。

第65頁 1257515 六、申請專利範圍 7 6.如申請專利範圍第7 5項所述之基板接合設備，其中該 上平台包含： 複數個真空孔，其中該吸力係藉該複數個真空孔傳遞； 及 複數個靜電吸座，其中係藉該複數個靜電吸座產生一靜 電荷。 7 7.如申請專利範圍第7 6項所述之基板接合設備，其中至 少一該引導溝槽不包含該真空孔。 7 8.如申請專利範圍第7 6項所述之基板接合設備，其中至 少一該引導溝槽不包含該靜電吸座。 7 9.如申請專利範圍第5 6項所述之基板接合設備，更包含： 至少一通道，配置於該上平台裡，並貫穿該上平台之 一下表面；及 一吸力傳送器，配置於每一通道裡，該吸力傳送器包 含一傳送源，自該通道裡延伸一預定距離，該預 定距離係起自該上平台之該下表面，其中一吸力 係自該上平台之下表面傳送至該預定距離。 8 0 .如申請專利範圍第7 9項所述之基板接合設備，其中該 傳送源包含一襯墊，具有至少一通過孔，其中該吸力 係可藉由至少一該通過孔傳送；及 該吸力傳送器更包含： 一真空幫浦，用以產生該吸力； 一管線，與至少一該通過孔及該真空幫浦流體交流， 其中該管線於該通道中係可移動的；及

1257515 六、申請專利範圍 一驅動元件 8 1.如申請專利 驅動元件包 其中該 該管線係該 8 2.如申請專利範圍第8 0項所述之基板接合設備，其中該 驅動元件包 該管線係該 ，用以移動該通道裡的該管線。 範圍第8 0項所述之基板接合設備 含一致動器；及 致動器之一桿。 含一步進馬達；及 步進馬達之一桿。 8 3.如申請專利範圍第7 9項所述之基板接合設備，更包含 至少一引導溝槽於該上平台之一下表面裡，其中該基 板載入器之指狀體係可被接收於一對應的引導溝槽 8 4. —種利用基板接合設備製造液晶顯示裝置的方法，包 含： 測定一第一基板及一第二基板之一厚度； 根據該所測定的厚度，決定用以移動該基板接合設備 之一下腔室平板的水平距離； 將該下腔室平板移動所決定之水平距離； 將該第一基板與該第二基板載入該基板接合設備裡； 及 該載入 言膏專利 接合 8 5.如申 液晶顯不裝 的第一基板與第二基板。 範圍第8 4項所述之利用基板接合設 置的方法，其中該所決定之水平距 備製造 離，係 等同於一上腔室平板之一第一部位與該上腔室平板之 一溝槽部位之間的距離，其中該上腔室平板之該第一

第67頁 1257515 六、申請專利範圍 部位係正 8 6 . —種用於 一基架； 一上腔室 一下腔室 接於 一腔室移 一上平台 一下平台 一第一對 一間隔控 之一 對於該下腔室平板上所配置之一密封元件 液晶顯示裝置之基板接合設備.，包含： 一密封裝 之一 8 7.如申請專 上腔室包 一上基座 一上腔室 其中該下 一下基座 一下腔室 8 8.如申請專 間隔控制 鑲嵌於 上腔室 動裝置 镶嵌於 鑲嵌於 準裝置 制溝槽 ，用以 及 置，配 表面。 利範圍 含： ;及 平板， 腔室包 ;及 平板， 利範圍 裝.置係 該基架，其中該下腔室係選擇性地連 ，用以將該上腔室上升及下降； 該上腔室； 該下腔室； ，用以將 ，固定於 推離該上 該上平台對齊於該下平台 該上腔室與該下腔室之其中 腔室與該下腔室之其中之另 置於該上腔室與該下腔室之其中之一 第8 6項所述之基板接合設備，其中該 麵合於該上基座；及 含： ❿ 配置於該 第8 7項所 固定於該 下平板上。 述之基板接合設備，其中該 上基座。

第68頁 1257515

六、申請專利範圍 > 8 9 ·如申請專利範圍第8 8項所述之基板接合設備’其中^ 間隔控制裝置包含： 至少一移動元件，固定於該上基座；及 曰係 至少一第二桿，耦合於該移動元件，其中該第〆朴’、 , 广乐板0 相對於該上腔室移動，用以推離該下腔I十 至 9〇·如申請專利範圍第88項所述之基板接合設備，其中 少一該第二桿係穿過該上腔室平板移動。 9 1 ·如申请專利範圍第g 〇項所述之基板接合設備’ /、 少一該移動元件包含一線性致動器。 至 9 2 ·如申請專利範圍第9 0項所述之基板接合設備’其中 少一该移動元件包含一少進馬達。 93·如申請專利範圍第9〇項所述之基板接合設備，其中至 少一該移動元件包含一線性馬達。 — 9 4 ·如申清專利範圍第9 〇項所述之基板接合設備’更〇各 一間隔密封元件，配置於該下腔室平板之該表面上’ 其中該間隔密封元件係與該第二桿接觸。 9 5 ·如申请專利範圍第9 4項所述之基板接合設備，其中該 間隔密封元件係配置於該下腔室平板之該表面裡。 9 6 ·如申请專利範圍第8 β項所述之基板接合設備，其中該 第一對準裝置包含： 至少一接收溝槽，配置於該下腔室之一上表面裡’其 中每一該接收溝神之^中央部位於該下腔室中係深 於該接收溝槽之^遭部位；

1257515 六、申請專利範圍 至少一第一桿固定於各別的一線性致動器，其中該第 一桿之一末端部位係相對於該上腔室移動，其中 該第一桿之該末端部位的規格係符合至少一該接 收溝槽之規格。 9 7 .如申請專利範圍第8 6項所述之基板接合設備，其中該 腔室移動裝置包含： 一驅動馬達，固定於該基架； 一驅動桿，耦合於該驅動馬達； 一連接元件，連接於該驅動桿； 一起重機元件，連接於該上腔室；及 一連接桿，包含一第一末端連接於該起重機元件，及 一第二末端連接用以接收由該連接元件轉移之一 驅動力。 9 8.如申請專利範圍第8 6項所述之基板接合設備，更包含 至少一引導溝槽，配置於該上平台之一下表面裡，其 中一基台載入器之指狀體係可被各別之一引導溝槽接 收。 9 9.如申請專利範圍第8 6項所述之基板接合設備，其中該 上平台包含： 複數個真空孔，其中該吸力係藉該複數個真空孔傳 遞；及 複數個靜電吸座，其中係藉該複數個靜電吸座產生一 靜電荷。 1 Q 0 .如申請專利範圍第9 9項所述之基板接合設備，其中至

第70頁 1257515 六、申請專利範圍 少一該引導溝槽不包含該真空孔。 1 0 1.如申請專利範圍第9 9項所述之基板接合設備，其中至 少一該引導溝槽不包含該靜電吸座。 1 0 2.如申請專利範圍第8 6項所述之基板接合設備，更包 含： 至少一通道，配置於該上平台裡，並貫穿該上平台之 一下表面；及 一吸力傳送器，配置每一通道裡，該吸力傳送器包含 一傳送源，自該通道延伸至一預定距離，該預定 距離係起自該上平台之該下表面，其中一吸力係 自該上平台之該下表面傳送至該預定距離。 1 0 3.如申請專利範圍第1 0 2項所述之基板接合設備，其中 該傳送源包含一概墊，具有至少一通過孔’其中該吸 力係可藉由至少一該通過孔傳送；及 該吸力傳送器更包含： 一真空幫浦，用以產生該吸力； 一管線，與至少一該通過孔及該真空幫浦流體交流， 其中該管線於該通道中係可移動的；及 一驅動元件，用以移動該通道裡的該管線。 104.如申請專利範圍第103項所述之基板接合設備，其中 該驅動元件包含一致動器；及 該管線係該致動器之一桿。 1 0 5 .如申請專利範圍第1 0 3項所述之基板接合設備，其中 該驅動元件包含一步進馬達；及

第71頁 1257515 六、申請專利範圍 該管線係該步進馬達之一桿。 1 0 6 ·如申請專利範圍第1 〇 2項所述之基板接合设備’更包 含至少一引導溝槽於該上爭台之一下表面裡’其中該 基板載入器之指狀體係可被接收於一對應的引導溝槽 裡。 1 0 7 · —種利用基板接合設備製造液晶顯示裝置的方法，包 含： 測定該第一基板及一第二基板之一厚度；

根據該所測定的厚度，決定用以移動一間隔控制装置 之一桿相對於該基板接合没備之一腔至早凡之一 重直距離； 驅動該間隔控制裝置以將該桿移動該決定的垂直距 離； 將該第一基板與該第二基板載入該基板接合設備裡； 及 接合該載入的第一基板與第二基板。 08· 一種用於製造液晶顯示裝置之基板接合設備，包含： 上平台，包含一下表面及至少一引導溝槽於該下表

一、面裡，其中一基板載入器之指狀體係可被接收於 對應的引導溝槽裡；及 〇9 一下平台，正對於該上平台配置。 申明專利範圍第丨〇 8項所述之基板接合設備，其中 f上平台包含： '丈们真空孔，其中該吸力係藉該複數個真空孔傳

1257515 六、申請專利範圍 遞；及 複數個靜電吸座，其中係藉該複數個靜電吸座產生一 靜電荷。 11 0.如申請專利範圍第1 0 9項所述之基板接合設備，其中 至少一該引導溝槽不包含該真空孔。 1 11.如申請專利範圍第1 0 9項所述之基板接合設備，其中 至少一該引導溝槽不包含該靜電吸座。 1 1 2. —種用於液晶顯示裝置之製造設備，包含： 一基板載入器，包含至少一指狀體，其中一第一基板 之一上表面係可固定於至少一該指狀體； 一上平台，包含一下表面及至少一引導溝槽於該下表 面裡，其中該基板載入器之該指狀體係可接收於 各別的一引導溝槽裡，其中該第一基板之該上表 面係可接觸於該上平台之該下表面；及 一下平台正對著該上平台配置。 1 1 3.如申請專利範圍第1 1 2項所述之用於液晶顯示裝置之 製造設備，其中至少一該指狀體包含： 一真空管線；及 至少一第一通過孔，與該真空管線流體交流，其中一 吸力係藉至少一該通過孔傳送至該第一基板之該 上表面。 1 1 4. 一種用於液晶顯示裝置之製造設備，包含： 上平a 口 包含一下表面 至少一通道，配置於該上平台裡，並貫穿該上平台

第73頁 1257515 六、申請專利範圍 之一下表面； 一吸力傳送器，配置每一通道裡，該吸力傳送器包 含一傳送源，自該通道延伸一預定距離，該預 定距離係起自該上平台之該下表面，其中一吸 力係自該上平台之下表面傳送至該預定距離； 及 一基板載入器，包含至少一指狀體，其中該基板之 該上表面係固定於至少一該指狀體。 1 1 5.如申請專利範圍第1 1 4項所述之基板接合設備，其中 該傳送源包含一襯墊，具有至少一通過孔，其中該吸 力係藉由至少一該通過孔傳送；及 該吸力傳送器更包含： 一真空幫浦，用以產生該吸力； 一管線，與至少一該通過孔及該真空幫浦流體交流， 其中該管線於該通道中係可移動的；及 一驅動元件，用以移動該通道裡的該管線。 1 1 6.如申請專利範圍第11 5項所述之基板接合設備，其中 該驅動元件包含一致動器；及 該管線係該致動器之一桿。 1 1 7.如申請專利範圍第1 1 5項所述之基板接合設備，其中 該驅動元件包含一步進馬達；及 該管線係該步進馬達之一桿。 1 1 8. —種載入基板於基板接合設備裡的方法，其中該基板 接合設備係用於製造液晶顯示裝置.，該方法包含：

第74頁 1257515 六、申請專利範圍 將一第一吸力自一基板載入器之一下表面傳送至一基 板的一上表面； 將該基板載入器配置於一平台之一下表面下； 將一第二吸力傳送至該基板之該上表面，其中該第二 吸力之一傳送源係以一預定距離與該平台之該下 表面隔開； 釋放該基板載入器之該下表面與該基板之該上表面之 間的該第一吸力； 上升該第二吸力的傳送源；及 將該基板的該上表面接觸於該平台之該下表面。

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