TW577906B - Organohydridosiloxane resins with high organic content - Google Patents

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577906 A7 五、發明説明（1 ) _·、 ' iim請案之前後參照 與此同時申請者是代理人案件目錄N〇. 30-4304 (4780)， 經由本發明申請案之發明人所提出之相關申請案，標題是 •’具有·低有機含量之有機氫化矽氧烷樹脂”。為申請案要 求1997年4月21曰所申請之美國暫時申請案N〇 60/044481 的利益，將其併入本文以供參考。 背景 發明之範圍 本發明一般係關於含有石夕氧燒之樹脂更明確言之，係關 於合成新穎含有矽氧烷之樹脂及自此樹脂所形成之低介電 常數薄膜。 — ^ 相關之技藝 半導體設備時常具有一或數陣列的形成圖樣之互連平 面，其充作電耦合個別之電路元件，因此形成積體電路 (1C )。此等互連平面典型係由絕緣或介電薄膜予以分離。 先前，使用化學蒸$澱積（CVD)或電漿加強之CVD (PECVD)等技術所形成之矽氧化物膜是作爲此等介電薄膜 之最常使用之材料。然而，因爲電路元件的大小及此等元 經濟部中央標準局货工消费合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 件間之間隔減小，此等矽氧化物膜的相當高介電常數是有 問題的。 _ 爲了提供較氧化矽者較低之介電.常數，變成廣泛使用自 含有矽氧烷之樹脂所形成之介電·[薄膜。自含有矽氧烷之樹-脂所形成之此族的薄膜係由氫化·矽倍半氧烷（hsq):脂所 衍生之薄膜（參閱：1971年10月19日頒予。出以等之美國 -4- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 577906 A7
經漪部中央標準局兵工消費合作社印裝 專利案No· 3,615,272 ;及1988年7月12日頒予Haluska等之 美國專利案No· 4,756,977號）。然而，雖然此等薄膜係提 供較CVD或PECVD氧化矽膜較低之介電常數且亦提供其 他利益例如，加強之間隙填充和表面平面化，多是現已發 現：典型地，此等薄膜的介電常數受限爲大約3 〇或較大 (參閲·· 1996年6月4日頒予Ballance等之美國專利案N〇 5,523，163 號）。 如眾所周知，此等絕緣薄膜的介電常數是一個重要因 素，於此情況下，需要Ic具有-低功率消耗，串音和信號 延遲。因爲I c因次繼續縮小，此因素增加其重要性。其 結果是，含有矽氧烷之樹脂枋料及用以製造此材料之方法 (其可提供具有介電常數低於3.0之絕緣薄膜）極爲需要。 另外’可能需要具有含石夕氧貌之樹脂及用以製造此樹脂之 方法，其提供如此低介電常數薄膜且其另外具有高抗裂化 性。亦可能需要，當形成達大約1.0微米（"m)或更大之厚 度時’使此等薄膜具有低應力。另外，可能需要經由標準 處理技術，使此等含石/氧烷之樹脂及其製造方法提供低介 電常數薄膜。以此種方式，避免了各種固化過程，其需要 氨或氨衍生物型的大氣（參閲，1992年9月8日頒予 Ballance等之美國專利案Νο· 5，145,723號），臭氧大氣（參 閱，頒予Haluska等人之美國專利案No· 5,336,532號），或 其他非標準型的半導體方法。-概述 依照本發明，提供表機氫化矽氧烷樹脂及製造此等樹脂 -5- 本紙張尺度適用中國 準（CNS )八4規格（21〇x 297公釐) 一 (請先閲讀背面之注意事^再填寫本頁，>
577906 經滴部中央標準局貝工消费合作社印^ 子 所 A7 B7 五、發明説明（3 ) —， 之方法。採用此等有機氫化矽氧烷樹脂的溶液用以形成使 用以製造各種微電子設備，尤其半導體積體電路之籠式矽 氧烷聚合物薄膜。 本發明的有機氫化矽氧烷樹脂具有下列四通良之一 ·· [HSi〇i.5]n [RSiOi 5]m 式 1 [H〇.5-l.〇Si〇! 5-i.8]n [Ro.S.I.oSiOl.s.! g]m 式 2 [HcM.oSiOu·] 〇]n [RSi〇1 5]m 式3 其中： n和m之總和係約8至約5000並選擇m因此使有機取代基 存在達到約40莫耳百分數（Mol %)或更大； [HSi〇! 5]x [RSiO! 5]y [Si02]z 式4 其中： x，y和z的總和自約8至約5 〇 〇 〇並選擇y因此使有機取代 基存在達約40莫耳百分數（Mol %)或更大；及 R係選自經取代之和未經取代之基因包括正和支鏈烷 基，環烷基，芳基及其混合物； 其中’有機或含碳之取代基的特定Mol %是出發原料數 量的比率之函數。 依照本發明之聚合物具有籠形結構，其具有包括交替之 石夕和氧原子之聚合物主鏈。尤其，將每一主鏈矽原子連接 至至少3個主鏈氧原子上。與先前所熟知之有機矽氧烷樹 脂成對比，本發明的聚合物基本i不具有經連合至主鏈矽 原子上之羥基或烷氧基。毋甯是，除去前述之主鏈氧原 外’每一碎原子連合至氫原子上及/或式1，2，，3和4中 -6 - 本紙張尺度適用中國國家縣（CNS ) A4規格（21GX 297公瘦 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
577906 Α7 Β7 五、發明説明（4 經濟部中央標準局只工消费合作社印來
界足之π基團上。當盥券义 田昇先則所熟知之有機矽氣 溶液相比較，經由僅遠拉，… ㈣’乳烷树月曰的 乏……。 /sVR，基團直接至聚合物中曰依A本發明之有機氫化矽氧烷榭俨 落液的通用期。 /乳況树月曰 依照本發明之方法，人士士 w 一 物勹括# 一 口 Λ明的有機氫化矽氧烷組合 物包括使用一種"(隹化杳丨々槺4ε»、ν·> ^ 又相》谷剑系統。在本發明的某4匕 具體實施例中，出發原料白扭—A 二 ’、秤L括二氟秒燒及一種或多 三氯我，例如’_㈣基或芳基取代之三氯碎燒。 在某些具體實施例中，本發“方法包括將至少 機二自石夕垸之溶液和奇仆—^ 履和虱化二南矽烷混合而形成一種混人 物；將該混合物與雙柏唆為丨‘做人 又相，合J相.合。.此雙相溶劑包括一種 一 今J兩者，添加似化劑至雙相溶劑 和三合物中’因此提供雙相反應混合物；使該雙 相反應混合物起反應而產生有機氫切氧燒；&自該雙ς 溶劑系統的非極性部份，回收該有機氫化矽氧垸。又 在某些具體實施例中，另外步驟可包括洗滌所回收之有 機氫切氧垸而移除任-何低分子量種屬，及分餘該有機氯 化矽氧烷產物而藉以根據分子量，將產物分類。 在某些具體實施例中，該催化劑是相轉移催化劑，包 括’但並非受限爲，氯化四丁銨和氣化芊基三甲銨。在其 他具體實施例巾，該催化劑是一種固相催化劑，例如 Amberjet 4200 或 Ambelite 子交換樹脂（係由 川’費城Rohm and Haas公司所造）。 在本發明的某些具體實施例中，存在之有機主由矽烷單 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1Τ------· -Ill I 1 I 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )六4規格（21〇χ297公釐） 577906 A7 經濟部中央榡準局贵工消费合作社印^ 五、發明说明（5 體的數量是足夠提供初固化之介電薄膜> 数量，此蓮 有含有至少大約40祕碳之取代基的有機含量。依：： 發明所形成（此等介電薄膜有利地提供低介電常數，:刑 是小於2.7。另外，依照本發明之有機氫化矽氢 二: 之介電薄膜顯示熱安定性容許使用約425t或更大之=4 溫度。 （固化 詳細敛述 因爲本發明係參照其各種具體^實施例予以敘述，、所以 了解者：陳述此等具體實施例作爲實例而非限制本發明 因此，各種變型或採用特定材料和方法可爲精於該項技 之人士顯然可見。所有此等變型，啓端以本發明的敎旨巧 基準之變更，如經由本文中各具體實施例所舉例説明者均 被認爲屬於本發明的要旨和範圍以内。舉例而言，雖然 發明中之具體實施例典型使用氣化之矽烷單體，但是亦 採用其他單體例如，三氟矽烷，三溴矽烷，有機三氟矽 和有機三溴矽烷。 本發明的有機氫化矽、氧烷樹脂具有下列四通式之一： [HSi015]n [RSi〇! 5]m 式 1 [Ho.5-l.oSiOK5-l.83n [R〇. 5-1 〇Sl Ο ι . 5-1.8] m 式 2 [Ho.KoSiOj.5-2.oln [RSiOKsjm 式 3 其中： n和m之總和係約8至約5000並〜選擇m因此使有機取代基 存在達到約4 0莫耳百分數（Mol%)或更大； [HSi〇i.5]x [RSiO! 5]y [Si02]z 式4 應 藝 爲 本 可 垸 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) μ規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 A7 五 、發明説明（6 其中： x ’ y和z之總和係约8至約5〇〇〇並選擇丫因此使有機取# 基存在達到約4 〇莫耳百分數（M〇1%)或更大；及 R係選自經取代之和未經取代之基團包括i和支鏈娱 基，環烷基，芳基及其混合物； ‘一 其中’有機或含碳之取代基的特定M〇1%是出發原料數 量的比率之函數。 在本發明的某些具體實施例中，經取代和未經取代之正 和支鏈烷基具有約！至2 0個碳扁子間；經取代和未經取代 =%烷基具有約4至丨〇個碳原子間而經取代和未經取代之 芳基具有約6至20個碳原子間―。舉例而言，於,R,是一個烷 基，R包括但並非受限爲甲基，氯甲基和乙基 基團及正與支鏈之丙基，2_氯丙基，丁基，戊基和己基。 於R，是㈣基之情況，則，R,包括但並非受限爲環戊基， %己基’氯環己基和環庚基；於，R,是芳基之情況 包括但並非受限爲苯基’茶基，甲苯基和苯甲基。應 !曰= 本發明，任何'特定有機氫化沙氧垸樹脂的特定碳 一 ··氫化…焼出_ 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 莫耳比羊〈函數1此，關於所選擇之任 =照本發明之㈣，其具有以至少40m。= j 含碳之取代基。 双里存在< 有利地’依照本發明之具體· ;物具有:括交替一氧原子之聚合=結::聚〜 知母一王鍵石夕原子連接至至少三個主趟氧原子上形=述 -9 - 本纸張尺賴财® 577906 經濟部中央標準局t只工消費合作社印製 五、發明説明（ 之籠式結構。基本上技&女 、 上舲所有另外足矽键僅連至氫和式 1 ’ 2 ’ 3與4中所界定之有機取代基，因此，本發明的 合物基本上不具有嶝殖垃$、μ a広^ " ，-•連接至王鏈矽原子之羥基或烷氧基而 抑制了交聯反應。 成對比A則所熟知之有機石夕氧燒樹脂纟有高含量的經 連接至主鏈秒原子上之燒氧基基團，因此，見到顯著水= 而形成㈣醇。此項水解導致自此等先前所熟知樹脂所形 成之初固化之聚合物薄膜的較高介電常數，以及減少此等 樹脂溶液的適用期。後者係由^餘二鏈增長和交聯。 因此’本發明的具體實施例，由於僅提供氳和有機基團 直接連接至主鏈石夕原子上而避免經由與基或石夕燒醇基團的 縮合所造成之多餘鏈增長和交聯，因此之故，依照本發 明，有機氫化矽氧烷樹脂溶液的適用期較先前所熟知之樹 脂的相似溶液顯著延長。 依照本發明之方法，合成本發明之有機氫化矽氧烷組 物包括使用催化劑之雙相溶劑系統。在本發明的某此具 實施例中，出發原料包括三卣矽烷和一種或多種有機三 矽烷，舉例而言，具有關於上文中式1至4所界定之經 代和未經取代基團之有機三氣矽烷。 在某些具體實施例中’·琢催化劑是一種相轉移催化劑 括，但並非受限爲，氣化四丁銨和氣化芊基三甲銨。舉例 而言，在某些具體實施例中，彳采=用溴化物，碘化物，氣化 物或羥氧化物陰離子代替先前所述及之氣化物陰離子。 相轉移催化劑引入反應混合物中，並容許反應進行至所 合 體 氯 取 包 將 而 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
-丁 、-口 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局兵工消费合作社印紫 577906 五、發明説明（8 要之聚合度。 在其他具體實施例中，催化劑是固相催化劑，例如，
Amberjet 4200 或 Ambelite 1-6766 離子交換樹脂（係 P A 州， 費城，Rohm & Haas公司出品）。Amberjet 4200^ Ambedite 1-6766是鹼性陰離子交換樹脂。經由解釋但並非經由限 制’咸信：該樹脂便利於水解單體的Si-C1键成爲si_〇H。 水解後接著是兩個Si-ΟΗ部份之縮合而產生Si_〇_Si鍵。 依照本發明方法的一個觀點，雙相溶劑系統包括一種連 續相非極性溶劑和一種極性溶齊jT。該非極性溶劑包括，但 並非受限爲任何適當脂族或芳族化合物或任何或所有此等 適當化合物之混合物，本發日月上下文中，，適當，，的操作上 定義包括下列各功能上特性： 1) 增溶單體之三自矽烷化合物， 2) ‘禾成有機氫化秒氧fe樹脂產物時，增溶該等彦物 及增加分子量， 3) 此等有機氫化矽氧烷樹脂產物在溶劑中的穩定性，及 4) 不溶解不需要的反應產物在非極性溶劑中。 例π之非極性溶劑包括，但並非受限爲；戊烷，己烷， 庚燒，環己燒，苯，甲苯，二甲苯，各種南化溶劑例如， 四氣化碳及其混合物。 極性相與非極性溶劑相不可混溶，包括水，醇類和醇與 水混合物。所存在之醇的數量；足=以保證：有機三南矽烷單〜 體的充分溶解度。 現已發現：約5重量％ ( % w/w)至8〇% w/w間之極性溶 -11 - _本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 五、發明説明（9 劑：非極性溶劑比率是所需要，而以約9%w/w^_ w/w較佳。 適合供使用於極性相中之例示醇類和其他極性溶劑包 括，但並非受限爲水，甲醇，乙醇，異丙醇，j油，二乙 士 一乙一醇一甲醚及其混合物。在一具體實施例 中，該極性溶劑包括水/醇混合物，其中，水係以足夠優 i增料可溶於醇中之離子雜質之數量存在，及/或阻止 落劑萃取產物化合物，其在其他情況可能可溶入醇中。該 極性溶劑相有利地保持氫氣酸「HC1)縮合產物和任何金屬 鹽或可能存在之其他離子式污染物。因爲基本上，將所有 離子巧染物保持在極性溶劑相中，所以本發明的有機氨 化矽氧烷產物具有高純度且基本上不含離子污染物。 經濟部中央標準局t只工消费合作社印製 應了解者，除去保持HC丨縮合產物和其他離子污染物在 極性相中外，本發明的方法經由避免離子冷染源亦提供高 、、毛度有機氫化秒氧垸產物。因此，與製造先前所熟知之有 機夕氧文兀树月日方法成對比，依照本發明之方法不採用金屬 催化劑或極強無機酸例如，發烟硫酸。以此種方式，避免 萃取或瀝濾經由此等強酸或包括金屬催化劑殘餘所產生之 金屬污染物並獲得高純度有機氫化矽氧烷產物。 將有機矽烷和氫化矽烷的混合物（例如，三氣矽烷和甲 基三氣矽烷）添加至催化劑，烴類溶劑，醇和水之混合物 中。過濾該混合物，分離出水，I將溶液乾燥，然後蒸發而〜 留下白色固體。將此固體在烴類溶劑中造成漿體而移除單 體’然後路發而留下所需要之產物，可將此產物調配入一 12 本纸張尺度適用中關家榡準（CNS ) M規格（21Q><297公 577906 A7 B7 經濟部中央標率局負工消費合作社印絮 五、發明説明（10) 一 種適當溶劑中供使用作爲旋裝聚合物。所產生之產物的分 子量（Mw)以反應條件爲基準，可在400與200,000原子電 量單位（amu)間變更。現已發現：具有Mw在大約5,000至 60,000 amu間之物料是需要的。亦發現：具^_Mw在大約 10,000至50,000 amu間之物料係爲少更需要而具有Mw在 大約20,000至40,000 amu間之物料更需要。 實驗方法 ·. 下列特性包括舉例説明本發明的有機氫化矽烷聚合物樹 脂的性質之非限制測量。所使用之測量方法如下： 1) 薄膜厚度（A): 薄膜厚度使用自Nanometrics公司 可供應之經校準之Nanospec® AFT-Y CTS-102模型010-180 薄膜厚度測量系統予以測量。在晶片上5個位置之測量平 均値被報導爲每一樣品之薄膜厚度。 2) 分子量（nMWn):，分子量係使用自Μ A州，Milford 市，Waters公司所供應之凝膠相色層分離系統予以測定， 此系統配有一具Waters 510栗，Waters 410差示折射儀和 一具Waters 717自動取樣器。所使用之程序係如S. Rosen 在"聚合物料的基本原理π ρ· 53-81 (1993年第二版）中所 將舉出，併入本文以供參考。 3) 介電常數· 介電常數係使用電容-電壓（MCV")測 量技術並採用在1 MHz頻率時之Hewlett-Packard 4061A型 半導體測量系統予以測定。此試'驗程序採用一種金屬-絕 緣體-金屬（MIM)結構，具有每層之厚度範圍自約0.5至1 微米（"m )。 -13- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·#. 、11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 577906 A7 ______ B7 五、發明説明（11 ) 方法 將有機矽烷和氫化矽烷的混合物（例如，三氯秒垸和甲 基二氣碎坑）添加至催化劑，非極性溶劑和極性溶劑的混 合物中而形成一種反應混合物。容許聚合反應一進行。於完 成聚合反應時，過濾該反應混合物，分離出極性溶劑，並 將落液乾燥，然後蒸發而留下白色固體。然後可將此固體 在煙類溶劑中造成漿體而移除殘餘之單體，最後蒸發而留 下所需要之產物。在本發明的某些具體實施例中，將有機 氫化矽氧烷調配入適當溶劑中供—使用作爲旋裝介電薄膜。 實例1至6 男例1至6敘述合成各種甲基氫化矽氧烷。此等敘述舉 例說明··如何將經摻合入產物樹脂中之有機或含碳之取代 基的莫耳百分數經由調整相對數量的出發單體之比率予以 控制。精於該項技藝之人士應了解：可採用用以控制所述 I甲基氫化氧烷中有機或含碳之取代基的莫耳百分數之相 同方法杰任何其他有機氫化秒氧垸種屬。 實例1— 4 〇莫耳百分數之甲基氫化矽氧烷 經濟部中央標準局眞工消费合作社印Μ 將5 000毫升，己燒· * 〇况，720笔升，乙醇；6 5毫升，水及 120克乂水中之以重量計1 0%氣化四丁銨水合物溶液加進 3孔乳入口’乾冰冷凝器和機械揽拌器之6升夾套反應 。在饥下，附以攪L該混合物平衡歷05小― 時。使用-具樣動泵，將三氣石夕垸(377 4克，2 78莫耳） 和甲基二氣錢(277.7克，Κ86莫耳).的混合物添加至該 __ -14^ 本紙張尺度適用中國 577906 經漪部中央標率局眞工消費合作社印^ A7 ___；__B7 五、發明説明（12 ) - 反應器中歷7 0分鐘之一段時間。於完成矽烷添加時，通 過管線泵入己烷歷1 0分鐘。將該反應攪拌歷2 3小時，移 出乙醇/水層。然後將其餘之己烷溶液通過3微米（"m)過 濾器’接著通過1微米濾器過濾。使經過濾之jg：液經由·流 經4A分子篩之柱（ 800克）而乾燥歷2.5小時，然後通過〇.05 微米過濾器過濾。將己烷使用一只旋轉蒸發器移去而產生 111克的白色固體產物。此產物之GPC，參比聚苯乙晞標 準，示出 24,683 amu 的 Mw。 實例2 50莫耳百分數之甲基氫化矽氧烷 將一具250毫升，Morton燒瓶配置一只冷凝器機經連接 至一 Arrow 1750馬達上之攪拌器。將該燒瓶用沁清洗及在 反應期間，吸入&越過冷凝器頂部而進入NaOH洗滌器 中。將1 8克之Amberjet 42〇0 (C1)離子交換樹脂催化劑， 20毫升之乙醇，6.3毫升之水及250毫升之己烷添加入該 燒瓶中’並開始攪拌。將三氣矽烷（6.7克，〇· 05莫耳）和 甲基三氣矽烷（8.24克，0.05莫耳）在一只HDPE瓶中合併 在一起。將此矽烷混合物以0.65毫升/分之速率，通過蝶 動泵加至Morton燒瓶中。在加成完成後，繼續攪拌歷12〇 分鐘，然後容許溶液沉降歷3 0分鐘。將溶液經由眞空通 過Buchner漏斗中之Whatman 濾紙過濾，將該溶液添加 至分液漏斗並拋棄較低之水層。-將上層在4〇 23克的4A分 子師上乾组歷j小時。將落液經―由眞空通過Bucj|ner漏斗中 之Whatman #1濾紙過濾。將溶液在60。〇下，在Buchi旋轉 ___-15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 A7 B7 五、發明説明（13 二發器上蒸發。收集8 3克的白色固體。此產物的， 參比聚苯乙烯標準，示出12，146 ainuiMw。 實例3 6 0莫耳百分數之甲基氫化矽氧烷《 將5000亳升，己烷；72〇毫升，乙醇；5〇毫升，水；及 120克，水中之以重量計1〇%氣化四丁銨水合物溶液加進 配有氮氣入口，乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升夾套反應 器中在Μ C下，附以攪掉，將該混合物平衡歷〇 $小 時。使用一具蠕動泵，將三氯矽烷（2516克，185莫耳） 和甲基三氣㈣(416·5克，2:78莫耳)之混合物添加至該 反應器中歷70分鐘之一段時間。於完成矽添加時，通過 管線泵入己烷歷1 〇分鐘。將特反應攪拌歷2·8小時，使用 分液漏斗，移出乙醇/HA層。將其餘之己烷溶液通過3微 米（鋒)，器，接著通過i微米遽器過遽。將滤液經由流經 4A分子篩之柱（800克）而乾燥歷2 5/J、時，然後通過㈣5微 米過遽器過滤。將己烷使用一只旋轉蒸發器移去而產生 138克的白色固體產物'此產物之Gpc，參比聚苯乙締標 準，不出22,660的Mw具有11.44之多分散性。 實例4 經漪部中央標準局爲工消費合作社印^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本瓦) 7 5莫耳百分數之甲基氫化秒氧燒 將-具25G毫升’ M_n燒瓶配置—只冷凝器和經連接 至-Arrow mo馬達上之搅拌器?將該燒瓶用N2清洗，及 在反應期間，吸入n2越過冷凝？頂部而進入Na〇H洗滌器 中。將！8克之Amberjet 4200 (cl)離子交換樹脂.催化劑， 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2lOX 297^iy 577906 A7 ____ B7 經漪部中央標^局貝工消費合作社印製 五、發明説明（14 ) 一， 20¾升足乙醇，6 3亳升之水及25〇毫升之己烷添加入該 k瓶中並開始攪拌。將4 5毫升之三氯石夕燒（3 8克，〇⑽ 莫耳）和16·〇尾升之曱基三氯矽烷（12 6克，〇 〇84莫耳）在 、只HDPE舐中合併在一起。將此石夕烷混合物^ 〇 6毫升/ 刀之速率，通過蠕動泵加至M〇rt〇n燒瓶中。在加成完成 後，繼續攪拌歷120分鐘。將溶液經由眞空通過Buchner漏 斗中之Whatman #4濾紙過濾。將溶液添加至分液漏斗並拋 棄較低之水層。將上層在3〇 7克的4A分子篩上乾燥歷2小 時。知洛液經由眞空通過Buchner漏斗中之Whatman 濾 紙過濾，將落液在6〇°C下，在Buchi旋轉蒸發器上蒸發。 收集ιι·〇克之透明，高黏度&體。此產物wGPC，參比聚 苯乙烯標準，示出4746 amu之M w。實例5 80莫耳百分數之甲基氫化石夕氧燒 將1000毫升，己烷；80毫升，乙醇；25毫升，水；及 61.3克Amberjet 4200催化劑加進配有氮氣入口，乾冰冷凝 器機械攪拌器之1升夾、套反應器中。在25乇（循環浴）下， 附以揽拌將該混合物平衡歷〇 5小時。使用一具蝶動聚將 二氣矽烷（14.3毫升，〇」42莫耳）和甲基三氯矽烷（66 7毫 升’0· 568莫耳）的混合物添加至該反應器中歷3 5分鐘之一 段時間。於完成石夕燒添加時，通過管線泵入己燒歷1 〇分 鐘。將該反應攪拌歷2 3小時，滅後通過Whatman #4濾紙— 過遽。將遽過之溶液置入一分液漏斗中，移除水/乙醇 層，將其餘之己烷溶液在4A分子篩（170克）上乾燥歷5小 -17- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公楚) 經 濟 部 中 央 標 局 工 消 費 合 作 社 印 製 577906 A7 ___ B7 五、發明説明（15 ) 一， 時，然後通過1微米濾器過濾。將己烷使用一只旋轉蒸發 器移出而產生白色固體產物（23.1克），52%產量。此產物 之GKPC，參比聚苯乙晞標準，示出11，885的M w具有6.5的 多分散性。 實例6 90莫耳百分數之甲基氫化矽氧烷 將1000毫升之己烷加進配有氮氣入口，乾冰.冷凝器和機 械攪拌器之1升夾套反應器中。將160毫升之乙醇，50毫 升之水及4.0克，氣化四丁銨在一只燒杯中混合直至所有 固體粒子溶解。將此混合物添加至反應器中之己燒中及在 25 C下’附以授掉予以平衡歷〇 5小時。將三氯秒燒（14.4 毫升，0.142莫耳）和甲基三氯矽烷（150毫升，ι 278莫耳） 的混合物，使用一具蠕動泵。添加至反應器中歷6 〇分鐘 之一段時間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入己烷歷 1 〇分鐘。將該反應攪拌歷2 1小時，然後通過Whatman #4 遽紙過滤。將濾、過之溶液置入一分液漏斗中並移除水/乙 醇層。將其餘之己烷溶液在4A分子篩（220克）上乾燥歷2 小時，然後通過1微米濾器過濾。將己烷使用一只旋轉蒸 發器移出而產生白色固體產物（7〇·4克），77%產量。此產 物之GPC，參比聚苯乙緣標準，示出1 的M w具有6.3 的多分散性。 實例7至1 1 * 實例7至1 1敘述合成混合之取，基有機氫化矽氧烷。此 等敘述舉例説明：如何將一個以上有機取代基接合入產物 18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 經濟部中央標雾局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) 樹脂中同時維持80莫耳％的含有有機之取代基。精於核 項技藝之人士應了解：其他混合之取代基有機氯切氧燒 可使用本文中所舉例説明之方法而製造。另外，應了解 經由使用實m至6的方法，亦可製造具有除去80莫耳％ 以外之有機莫耳濃度含量之混合取代基有機氫化矽氧烷。 5 〇莫耳。/〇苯基/ 3 〇莫耳％曱基氫化矽氧烷 將2025毫升之己烷；324毫升之乙醇；28毫升之水及81 -克，水中之1 0重量％氯化四丁銨水合物溶液加進配有氮 氣入口，乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升夾套反應器中。 在25°C下，附以攪拌，將該混合物平衡歷〇5小時。使用 一具蠕動泵.，將三氣矽烷（75克，〇 55莫耳）和甲基三氣矽 烷（135克，0.90莫耳）及苯基三氣矽烷（3〇〇克，142莫耳） 的混合物添加至該反應器中歷5 3分鐘之一段時間。於完 成矽烷添加時，通過管線泵入己烷歷丨〇分鐘。將該反應 攪拌歷2 3小時，將乙醇/水層使用分液漏斗移出。將其餘 <己坑溶液通過3微表過濾器，接著通過1微米濾器過 遽。將滤液經由流經4A分子篩之柱（8〇〇克）而乾燥歷2.5 小時’然後通過〇·05微米過濾器過濾。將己烷使用一只旋 轉备發器移出而產生白色.固體產物（3 3克），丨2〇/。產量。此 產物之GPC，參比聚苯乙烯標準，示出25〇〇 amu之mw。 實例8 ~ 〜 1 5莫耳％苯基/ 6 5莫耳 > 甲基氫化石夕氧燒 將45 00毫升之己烷；720毫升之乙醇；63毫升之水及 ! -19- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2丨〇><297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 經濟部中央標準局月工消f合作社印製 A7 五、發明説明（17 ) 一， 180克，水中之1〇重量％氯化四丁銨水合物溶液加進配有 氮氣入口，乾冰冷凝器和機械擺拌器之6升，夾套反應器 中。在25Ό下，附以攪掉，將該混合物平衡歷〇5小時。 使用一具蠕動泵，將三氯矽烷（173克，丨27莫耳）和甲基 三氯^烷（606克，4.05莫耳）及苯基三氯矽烷（222克， 0.95莫耳）之混合物添加至該反應器中歷8 〇分鐘之一段時 間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入己烷歷1〇分鐘。 將該反應攪拌歷24小時。將乙醇/水層使用分液漏斗移-出。將其餘之己烷溶液通過3微米過濾器，接著通過1微 米濾器過濾。將濾液經由流經4人分子篩之柱（8〇〇克）而乾 燥歷2.5小時，然後通過〇 〇5微米過濾器過濾。將己烷使 用一只旋轉瘵發器移出而產生白色固體產物pH克）， 47〇/。產量。此產物之Gpc，參比聚苯乙烯標準，示出 3 6,697之Mw具有22.5的多分散性。 實例9 2〇莫耳％第三·丁基/6()莫耳％甲基氫化矽氧烷 將4500毫升之己烷1 75〇毫升之乙醇；91毫升之水及 180克，水中 < 丨〇重量％氣化四丁銨水合物溶液加進配有 氮氣入口，乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升，夾套反應器 中在25 C下’附以攪摔，將該混合物平衡歷〇.5小時。 使用具蠕動泵，將三氣矽烷（173克，1.27莫耳）和甲基 三氣矽烷（573克，3·83莫耳）及>三_ 丁基三氣矽烷（245、 克，1.27莫耳）的混合物添加至尽應器中歷73分鐘之一段 寺門元元成石夕坑添加時，通過管線泵入己：(：完歷1 〇分 - 20- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 經濟部中央標準局員工消費合作社印¾ A7 B7 五、發明説明（18) — ’ 鐘。將該反應攪拌歷2 2小時，將乙醇/水層使用分液漏斗 移出。將其餘之己烷溶液通過3微米過濾器，接著通過j 微米濾器過濾。將濾液經由流經4a分子篩之柱（800克）而 乾燥歷2.5小時，然後通過〇〇5微米過濾器過灑。將己烷 使用一只旋轉蒸發器移出而產生白色固體產物（188 5 克），42%產量。此產物之Gpc，參比聚苯乙烯標準，示 出13,016之Mw具有9.6之多分散性。 實例1 0 2〇莫耳％芊基/6〇莫耳％甲基氫化矽氧烷 將4500毫升之己烷；72〇毫升之乙醇；63毫升之水及 180克’水中之1 〇重量％氣化四丁銨水合物溶液加進配有 氮氣入口，乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升，夾套反應器 中。在25°C下，附以攪拌，將該混合物平衡歷〇 5小時， 使用一具螺動泵’將三氣石夕垸（〗73克，1.27莫耳和甲基三 氣石夕垸（ 573克，3·83莫耳）及第三_ 丁基三氯矽烷（288克， 1.27莫耳）的混合物添加至反應器中歷7 〇分鐘之一段時 間。於元成秒坑添加日¥，通過管線系入己燒歷1 〇分鐘。 將該反應攪拌歷19.5小時，移出乙醇/水層，然後將己燒 溶液通過3微米過濾器，接著通過1微米濾器過濾。將經 過濾之溶液經由流經4Α分子篩之柱（800克）而乾燥歷2.5 小時’然後通過0.05微米過濾器過濾。將己燒使用一只旋 轉蒸發器移出而產生白色固體f物（ 288克），58%產量。 此產物之GPC，參比聚苯乙烯標準，示出30,565之Mw具 有22.9之多分散性。、 . -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (讀先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) #· 577906 A7 _______B7 五、發明説明（19 ) 實例1 1 2 〇莫耳％氯甲基/ 6 〇莫耳％曱基氫化矽氧烷 將4500毫升之己烷；72〇毫升之乙醇；63毫升之水和 180克，水中之10重量％氯化四丁銨水合物溶<液加進配有 氮氣入口，乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升，夾套反應器 中。在25Ό下，附以攪拌，將該混合物平衡歷〇5小時。 使用一具蠕動泵，將三氯矽烷（173克，127莫耳）和甲基 三氯矽烷（ 573克，3·83莫耳）和氣甲基三氯矽烷（236克了 1.27莫耳）的混合物添加至反應器中歷7〇分鐘之一段時 間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入己烷歷1〇分鐘。 將該反應攪拌歷20.5小時，移出乙醇/水層然後，將己烷 溶液通過3微米過濾器，接著通過丨微米濾器過濾。將經 過濾之溶液經由流經4A分子篩之柱（8〇〇克）而乾燥歷2 5 小2，然後通過0.05微米過濾器過濾。將己烷使用一只旋 轉蒸發器移出而產生白色固體產物（174克）。此產物之 GPC，參比聚苯乙烯標準，示出从彻之心具有η η之 多分散性。' ’ 實例1 2至1 6 經濟、邓中央標準局員工消費合作社印繁 貫例1 2至1 6舉例説明合成8 〇莫耳％甲基氫化矽氧烷之 另外方法。因此，使用的_另外催化劑，溶劑和反應時間是 各種方法的舉例説明，此等方法可經由通常精於該項技蔹 之人士立即採用於製造依照本#明之有機氫化石夕氧燒樹 脂。應了解者：可使用此等方兔於合成具有其他取代基和 其他莫耳％的有機取代基含量之其他有機氫化矽氧烷。 -22- 本紙張尺度適财蜱（CNS ) M規格（2lQx2^^y 577906 ~----- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7
五、發明説明（2Q 實例1 2 8 〇莫耳％甲基氫化矽氧烷 將1000毫升之己烷加進配有氮氣入口，乾冰冷凝器和機 械攪拌器之1升夾套反應器中。將16〇毫升之上醇，5 〇毫 升之水和4.0克，氯化四丁銨在一只燒杯中混合直至所有 固體粒子溶解。將此混合物添加至反應器中之己烷中並在 25 C下，附以攪拌予以平衡歷〇 5小時。將三氯矽烷（28 6 毫升，0.284莫耳）和甲基三氣矽烷（133毫升，1136莫耳） 之混合物，使用一具蠕動泵添-加至反應器中歷75分鐘之 一段時間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入己烷歷i 〇 分鐘。將該反應攪拌歷4小時15分，然後通過Whatman#4 濾器過濾。將濾過之溶液置入一只分液漏斗中並移出水/ 乙醇層。將己烷溶液在4A分子篩（220克）上乾燥歷2.5小 時然後通過1微米濾器過濾。將己烷使用一只旋轉蒸發器 移出而產生白色固體產物（64.4克），73%產量。此產物之 GPC，參比聚苯乙烯標準，示出2〇,644之矹〜具有96之多 分散性。 實例1 3 8 0莫耳％甲基氫化矽氧烷氣化苄基三甲銨相轉移催化劑 將4500耄升之己坑；7·20毫升之乙醇；6 3毫升之水和 180克，水中之1 〇重量％氣化芊基三甲銨溶液加進配有氮 氣入口，乾冰冷凝器和機械攪葬器之6升，夾套反應器 中。在25 C下，附以攪拌，將該混合物平衡歷〇.5小時。 -· ·、 -— 使用一具有蠕動泵，將三氣矽烷（96克，〇·7莫·耳）和甲基 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公酱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ 五、發明説明（21 ) —〉 三氯矽烷（471克，3·15莫耳）之混合物添加至該反應器中 歷7 3分鐘之一段時間。於完成矽烷添加時，通過管線泵 入己烷歷10分鐘。將該反應攪拌歷15 3小時。將乙醇/水 層移出，然後將己烷溶液通過3微米過濾器一接著通過i 微米濾器過濾。將經濾過之溶液經由流經4 A分子篩之柱 (800克）而乾燥歷2.5小時，然後通過0 〇5微米濾器過濾。 將己坑使用一只旋轉蒸發器移出而產生白色固體產物（161 克），52%產量。此產物之GPC」參比聚苯乙烯標準，示 出29,251之Mw具有11.27之多分散性。 實例1 4 8 0莫耳％甲基氫化矽氧烷氣化四丁銨相轉移催化劑 將4500毫升，己烷；720毫升之乙醇；63毫升之水和 180克’水中之1 〇重量％氯化四丁銨溶液加進配有氮氣入 口’乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升，夾套反應器中。在 25 C下’附以揽拌，將該混合物平衡歷〇. 5小時。使用一 具緯動泵，將三氣矽烷（9 6克，0·7莫耳）和甲基三氣矽烷 (471克’ 3.15莫耳）之混合物添加至該反應器中歷73分鐘 之一段時間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入己烷歷 .1 0分鐘。將該反應攪拌歷1 5.3小時。移出乙醇/水層，然 後將己烷溶液通過3微米.過濾器，接著通過！微米濾器過 滤。將經濾過之溶液經由流經4A分子篩之柱（800克）而乾 燥歷2.5小時，然後通過〇·05微未濾器過濾。將己烷使用 一只旋轉蒸發器移出而產生白务固體產物（225克），73% 產量。此產物之GPC，參比聚苯乙締標準，示出33,589之 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標率局吳工消费合作社印^ 577906 A7 ___B7 五、發明説明（22 ) 一
Mw具有12.84之多分散性。 實例1 5 具有高分子量之8 0莫耳％甲基氫化矽氧垸 將4500毫升，己燒·，720毫升，乙醇；63毫升之水和 180克，水中之1〇重量％氯化四丁銨水合物溶液加進配有 氮氣入口’乾冰冷凝器和機械攪拌器之6升，夾套反應專 中。在25 C下，附以攪拌，將該混合物平衡歷〇 5小時。 使用一具蠕動泵，將三氯矽烷（96克，〇7莫耳）和甲基三' 氯矽烷（471克，3· 15莫耳）之混合物添加至該反應器中歷 105分鐘之一段時間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入 己烷歷1 0分鐘。將該反應攪拌歷2 2小時。移出乙醇/水 層’然後將己板溶液通過3微米過遽器，接著通過丨微米 濾器過濾。將經濾過之溶液經由流經4入分子篩之柱（8⑽ 克）而乾燥歷2.5小時，然後通過〇 〇5微米濾器過濾。將己 烷使用一只旋轉蒸發器移出而產生白色固體產物（268 3 克），87%產量。此產物之Gpc，參比聚苯乙烯標準，示 出60,251之Mw具有20;之多分散性。 實例1 6 具有低金屬含量之8 〇莫耳％甲基氫化矽氧烷 將4500毫升，己烷；72〇毫升，乙醇；63毫升之水和 180克，水中之丨〇重量％氣化-四丁銨水合物溶液加進配有 氮氣入口，乾冰冷凝器和機械攪身器之6升，夾套反應器〜 中在25 ◦下，附以攪拌，將碎混合物平衡歷〇 5小時。 使用一具蠕動泵，將三氣矽烷（96克，〇7莫耳）和甲基三 ____-25- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 kl B7 五、發明説明（23 氣矽烷（471克，3j5莫耳）之混合物添加至該反應器中歷 105分鐘之一段時間。於完成矽烷添加時，通過管線泵入 己烷歷10分鐘。將該反應攪拌歷2小時。然後關閉攪拌器 過攸。次晨，攪拌該混合物歷另外4 5分鐘。移出乙醇/水 層，然後將己烷溶液通過3微米過濾器，接著通過i微米 濾器過濾。將經濾過之溶液經由流經4A分子篩之柱（8〇〇 克）而乾燥歷2.5小時，然後通過〇〇5微米濾器過濾。將己 烷使用一只旋轉瘵發器移出而:產生白色固體產物（2 克），S5%產量。此產物之〇_1>(：：，參比聚苯乙烯標準，示 出3 2,001之Mw具有13.6之多分散性。 只例1 7舉例説明·合成不具有有機含量之對照氫化矽 氧烷。顯TF此樹脂僅供比較介電常數測量用。 實例 氫化矽氧烷聚合物 將测毫升，己燒；440毫升，乙醇；142毫升之水和 33〇克，Amberjetcoo催化劑加進配有氮氣入口，乾冰冷 凝器和機械揽拌器之6升，夾套反應器中。在25。〇下，附 以攪拌，將該混合物平衡歷〇,5小時。使用一具蠕動泵， 將三氣石夕垸( 380克，2.80莫耳)添.加至該反應器中歷55分 鐘之-段時間。於完成料添加時，通過f線泵人己燒歷 1〇分鐘。將該反應攪拌歷，分鐘。移出.乙醇/水層，然 後將己烷溶液通過3微米過濾器」接著通則微米濾器過 滤。將經滤過之溶液經由流經从分子筛之柱（4。。克）而乾 燥歷2.5小時，然後通過〇.〇5微米遽器過遽。將己院使用 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210^^^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
577906 A7 B7 五、發明説明（24 ) 一只旋轉蒸發器移出而甚& 太、 仏、 夕出而產生131克 < 白色固體產物。此產 物心GPC，參比聚苯乙烯俨進 永枣乙埽率，不出2 35 7.39之多分散性。 ’ 知Λ例5 ’6 ’8 ’9 ’12，14和17的有機氫-化石夕氧燒樹 脂形成爲塗覆;容液並旋轉塗覆在矽基材上而形成具有 4〇〇α〇Α公稱厚度之薄膜。將實例5，6，8與9等之薄膜在 4〇〇°C下固化，實例12與Η之薄膜在38〇°C下固化，及將 實例1 4薄膜的另外樣品在4251和45〇Ό下固化。將經使 用作爲對照之實例i 7薄膜在四種溫度之每一者下固化並 各自稱爲對照# 1至# 4。每一實例之薄膜的介電常數示於 下列表1中。 *' (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經漪部中央標苹局t貝工消費合作社印^ -27- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 577906 A7 B7 五、發明説明（25) 表1.介電常數測量 使用以製造樹脂之 有機取代基，莫耳％ 固化溫度 介電常數 (1 MHz) 對照#1 不含碳之氫化矽氧烷 3 80〇C 3.06 弋 8〇%甲基（實例I2) 3 80。。 2.50 80%甲基（實例Μ) 380。。 2.43 對照#2 不含碳之氫化矽氧烷 400°C 3.27 80%甲基(實例15) 400°C 2.64 90%甲基（實例16) 4O0°C 2.64 15%苯基/65%甲基 (實例8) -400°C 2.66 20%第三-丁基/60%甲基 (實例9) 400°C . 2.59 對照#3 不含碳之氫化矽氧燒 425〇C 3.34 80%甲基（實例14) 425。。 2.53 對照#4 不含碳之氫化矽氧烷 450。。 3.58 80%甲基（實例14) 450〇C 2.51 甲基異丁基酮（MIBK)中，實例1 2聚合物的1 8重量％溶 液經由GPC予以監控歷十五個月期間。在2和9月間隔時 經濟部中央標率局兵工消费合作社印聚 記錄之溶液中聚合物的M w顯示：依照本發明，各樹脂的 穩定性。應特別述及者：實例1 2的樹脂係以與所陳述之 其他十五個實例中所示之方％相一致之方·式予以製成。因 此，咸信表1之結果係依照本發-明之各樹脂的典型。（測 量之變更，可能歸0衿儀器之誤差，其係+/- 500 amu)。 -28- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局負工消費合作衽印製
1、發明説明（26 繁於前述 合物組合物 577906 天數 口仍嗯/c ί工 Mw (GPC) 0天 20,296 amu 51天 21,302 amu - 214天 20,821 amu 405天 23,016 amu _ 其具有蘢式構形·_·聚合物主鏈及至少一大 含碳之取代基含量。將氫化和有機取代基 接、接至聚合物中之主鏈〜子上，基本上不容許㊅基 以基基Μ在’藉以抑制水解和形.成錢醇部份=」 種方式’抑制經由么石夕、涼殖3 、 田各矽烷醇邵份之縮合而造成隨後鏈； /、”、、可見·極低含量的羥基和烷氧基取代基（如有g =)，"及鏈端錢氧基或録的不存在提供穩定之有機,《 4:ΓΓ。亦係顯然可見者：依照本發明，樹脂的力 =中，極低含量辑醇部份(如有的話)是具她 2_7或更低介電常數之此等薄膜中的一個重要因 :;^rt者：有機側基固之存在實質上増加组合物4 广容許使用較高之固化溫度，例如，高達約42 溫度。參照h，此加強之穩定性經由穩定之 二:數，低於大約2.…同固化溫度下，此㈣ 二：：以顯示。成比較，對照1至4的不含有機之掏 月“桃考增加固化遇度而一致增加介電常 不穩足性。 . 夂 -29-
尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公I
/7906 A7 B7 、發明説明（27 ) 一， 、本發明包括製造本發明之有機氫化矽氧烷聚合物組合物 ^新穎方法並包括—種雙相溶劑系統，一種不參與之催化 圳和二_矽烷與有機三南矽烷共聚單體。顯然可見：該組 ^物中碳的數量經由相對比率之共聚單體而可—控制。亦係 …、…：可見者·典型採用於形成先前所熟知之hsq樹脂之酸 性或金屬催化劑完全不存在而使用雙相溶劑系統致使本方 去<產物組合物極純且不含金屬鹽類和其他離子污染物。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
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Claims (1)

  1. A B c D
    577906 第〇871〇5576號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(92年12月)
    告申請i： 利範圍 ΐ· 一種具有高有機含量之有機氫化矽氧烷樹脂，包括具 有下列通式之聚合物： > [H〇.5-l.〇Si〇i.5.1.8]n [R〇 • 5-l.〇Si〇i.5-l.8]m，或 [H〇_i .〇Si〇! .5-2.〇]n [RSi01<5]m ； 其中n和m之總和係介於8至5000，選定m使有機取代 基存在介於40莫耳百分比（Mol%)與90 Mol%之間； 其中任何通式中之R，係選自由經取代和未經取代之 具有1至2 0個碳原子間之正和支鏈烷基，具有4至丨〇個 碳原子間之經取代和未經取代之環烷基，具有6至2 0個 碳原子間之經取代和未經取代之芳基及其混合物所組 成之群之有機取代基； 其中該聚合物實質上不具有接至矽原子之羥基或烷氧 基；及 其中該有機氫化矽氧烷樹脂的構型是籠形。 2·根據申請專利範圍第丨項之有機氫化矽氧烷樹脂，其中 該有機氫化矽氧烷樹脂具有400至200,000原子質量單 位間之分子量。 3·根據申請專利範圍第1項之有機氫化矽氧烷樹脂，其中 R係選自由甲基，第三·丁基，苯基，苄基，氯曱基及 其混合物所組成之群之有機取代基。 4· 一種製造具有高有機含量之有機氫化矽氧烷樹脂之方 法，包括： 將一種包括極性溶劑及非極性溶劑之雙相溶劑加進— 反應谷器中’該極性溶劑包括醇及水； O:\52\52593-921224. DOC\LAN 本紙張尺度適用中國國家標準(CMS) A4規格(210X297公袭) C8 D8 六、申請專利範圍 添加氮化二函碎说和有機三函矽烷混合物至該反應容 為中’其中該有機三_矽烷與氫化三_矽烷之莫耳比 為介於2/3與9之間； 添加催化劑至該反應容器中，其中形成一種反應混合 物；及 使有機二自珍燒與氫化三函矽烷起反應而形成有機氫 化矽氧烷樹脂，其包含具下列通式之聚合物： [HonoSiOmdn [R〇 5 i 〇Si〇i 51 丄；或 [Η〇.! 0SiO15.2 0]n [RSiO! 5]m ; 其中n和m之總和係介於8至5〇〇〇，選定m使有機取代 基存在介於40莫耳百分比（M〇i% )與90 Mol%之間； 其中任何通式中之R ’係選自由經取代和未經取代之 具有1至20個碳原子間之正和支鏈烷基，具有4至1〇個 碳原子間之經取代和未經取代之環烷基，具有6至2〇個 碳原子間之經取代和未經取代之芳基及其混合物所組 成之群之有機取代基； 其中該聚合物實質上不具有接至矽原子之羥基或烷氧 基；及 其中該有機氫化矽氧烷樹脂的構型是蘢形。 5·根據申請專利範圍第4項之方法，其中添加一種催化劑 包含自固相催化劑或相轉移催化劑溶液中選擇該催化 劑。 6·根據申請專利範圍第5項之方法，其中添加一種催化劑 包含··該催化劑係選自由氯化四丁銨，氯化爷基三甲 -2 - O:\52\52593-921224. DOCVLAN 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格7210X297公釐) ----------
    中請專利範
    Amoerjet 父吳树脂和Amberlite 子交換樹脂所組成之群 7·根據申請專利範圍第4項之方、、本 卜 ^ ^ _ 又万法，其中添加氫化三鹵矽 文疋和有機三画碎垸的混人 抵、 妁此口物包含添加三氯矽烷和所選 擇<一種或數種有機三自碎燒， 、 70 此有機二虐石夕燒係選 自由甲基三氯矽烷，第三·丁某— ._ j暴二虱矽烷，苯基三氯矽 &基三氯矽烷，氣甲其一垒 乳T基二虱矽烷及其混合物所组 成之群。 、 8·根據申請專利範圍第7項之方法/其中添加—種催化劑 包含：該催化劑係選自由氯化四丁按，氯化爷基三甲 銨和Amberjet 4200離子交換樹脂所組成之群。 9·根據中請專利範圍第4項之方法，其中將—種雙相溶劑 加進反應容器中包含：將選自由戊烷，己烷，庚烷， %己烷’苯’甲|，二甲苯，四氯化碳及其混合物所 組成之群之一種非極性溶劑加進該反應容器中。 10·根據申請專利範圍第4項之方法，其中將一種雙相溶劑 加進反應容器中包含：將選自由水，甲醇，乙醇，異 丙醇，甘油，二乙醚，四氫呋喃，二乙二醇二甲醚及 其混合物所組成之群之一種極性溶劑加進該反應容器 中。 " 11·根據申請專利範圍第4項之方法，其中將一種雙相溶劑 加進反應容器中包含··將乙醇/水的混合物和己烷加進 該反應容器中。 12.根據申請專利範圍第1項之有機氫化矽氧烷樹脂，其係 -3- O:\52\52593-92l224.DOC\LAN 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 577906 A8 B8
    -4- 經由下列方法所製成，此方法包括： 將至少一種有機三自矽烷和一種氫化三自矽烷（其中 該至少一種有機三商矽烷和該氫化三_矽烷之&莫耳比 例係介於W與9之間）力口進具有包含一種非極性溶劑^ 一種極性溶劑（該極性溶劑包括醇及水）而形成一種雙 相溶劑系統在其中之反應容器中而產生有機氫化矽氧 烷聚合物產物，其具有介於4〇莫耳％(M〇1%)與9〇 Mol%之間之含碳取代基的反應混合物； 引入一種催化劑至該反應混合物中；及 使該等有機三_矽烷與氫化三齒矽烷起反應而產生有 機氫化矽氧烷聚合物產物，該有機氫化矽氧烷聚合物 產物具有直接連接至聚合物主鏈矽原子上之有機取代 基及氫。 13.根據申請專利範圍第1項之有機氫化矽氧烷樹脂，其具 有下列通式： [Hon.oSiOi 5-1 8]n [R〇 5-1 oSiOi 5-1 8]m。 14·根據申請專利範圍第1 3項之有機氫化矽氧烷樹脂，其 中R係選自由甲基，第三-丁基，苯基，芊基，氯甲基 及其混合物所組成之群之有機取代基。 15·根據申請專利範圍第！ 4項之有機氫化矽氧，烷樹脂，其 中R是一個甲基有機取代基。 O:\52\52593.92l224.DOC\LAN 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)
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