JP3977896B2 - 低誘電率材料 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、LSI素子の層間などに用いられる絶縁膜、電気回路部品として用いられるIC基板など低誘電率材料に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
LSI素子の高速化、高集積化につれて、信号遅延の問題が深刻になりつつある。信号遅延は配線の抵抗Rと配線間ならびに層間の容量Cの積で表されるものである。遅延を最小に抑えるためには、配線抵抗を低下させることと並んで、層間絶縁膜の誘電率を下げることが有効な手段である。
【0003】
従来、層間絶縁膜としてはテトラアルコキシシランを加水分解して作製したゾルをスピンオングラス(SOG)法によって成膜する方法が知られている。しかし、このようにして作製した材料の分子構造は、≡Si−O−Si≡の三次元網目構造で空隙を全く有さないものであり、誘電率は4.0と高かった。誘電率を下げるための方法として、CVDなどによるSiOFの成膜、有機材料の成膜、多孔質膜などが提案されている。SiOFはFの含有量の増大とともに誘電率が3.3程度まで低下するが、F量とともに吸湿性が高くなるという問題がある。有機材料は、誘電率2.2程度までの低誘電率材料が得られているが、耐熱性および基板との密着性という課題がある。多孔質材料は孔の量に応じて誘電率は4.7から2.3まで下げられる〔青井、第43回応用物理学会講演予稿集、26p−N−5(1996)〕。しかし吸湿性などに問題があるため、通常の半導体素子や電気回路部品に使うことが難しい。従って、従来のSOG法に用いられてきた材料で、低誘電率化することができれば、既存のプロセスと整合性よく、高速化に適した素子を作製することができる。
【0004】
一方SOGでは、これまでクラックのない厚膜を塗布することが最大の課題であった。SiO2 ガラスの膜は厚膜にすると溶剤の蒸発や熱収縮の際にクラックが入りやすいため、Hを導入した膜や、有機成分を導入した膜(有機SOG膜)が開発されてきている。有機SOG膜は、分極が比較的小さく嵩高い有機基を含むために、無機成分のみのSOGより誘電率が低く、3.4程度のものが市販されている。しかしながら、デザインルールが0.2μm以下になると、比誘電率3以下の絶縁膜が必要と考えられているため、3.4という誘電率の値は十分低いものではなく、有機SOGにおいてもさらに低誘電率化することが望まれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、誘電率が低く、半導体素子、電気回路部品などに適用可能な低誘電率材料を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、(1)B,Al,Ge,Ti,Y,Zr,Nb,Taから選ばれる1種類以上の金属元素Mと酸素からなるM(−O−)n (nは金属Mが結合する酸素の数)と、Si(−O−)4 ,R1Si(−O−)3 ,R2R3Si(−O−)2 (R1 ,R2 ,R3 はアルキル基、アリール基またはアラルキル基)の3種類のSiユニットのうち、R1Si(−O−)3 ,R2 R3 Si(−O−)2 の少なくともどちらか一方を含む1種類以上のSiユニットから成る材料において、R1Si(−O−)3 のみを含む場合はR 1 の一部、R2 R3 Si(−O−)2 のみ、あるいはR1Si(−O−)3 とR2R3Si(−O−)2 の両方を含む場合はR 1 および/またはR 2 のそれぞれ一部または全部をHで置換したことを特徴とする低誘電率材料、
(2)Si(−O−)4 ,R1Si(−O−)3 ,R2R3Si(−O−)2 (R1 ,R2 ,R3はアルキル基、アリール基またはアラルキル基)の3種類のSiユニットのうち、少なくともR2R3Si(−O−)2 を含み、かつ、R2 の一部または全部がHで置換され、かつ、R 2 がHで置換されたHR3 Si(−O−)2 のR3 の一部または全部がメチル基であることを特徴とする(1)記載の低誘電率材料、
(3)全金属元素に対するSiのモル比(Si/(Si+M))が0.57以上0.95以下で、かつ、全Siに対する水素と直接結合しているSiのモル比が0.3以上で、かつ、全Siに対するアルキル基、アリール基またはアラルキル基のモル比が0.5以上1.7以下であることを特徴とする(1)および(2)に記載した低誘電率材料、
(4)(1)〜(3)のいずれかの低誘電率材料からなる層間絶縁膜、及び
(5)(1)〜(3)のいずれかの低誘電率材料からなるIC基板、である。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明のM(−O−)n およびSi(−O−)4 は、金属元素と酸素から構成されるユニットがつながって形成された三次元状の網目構造を持つ無機ポリマーを簡略化して表記したものである。R1 Si(−O−)3 は、Siの有する四つの結合手のうち一個がアルキル基、アリール基またはアラルキル基と結合し、残りは酸素を介して無機ポリマー中に組み込まれる。R2 R3 Si(−O−)2 も同様に、酸素を介して無機ポリマー中に組み込まれる。
【0008】
本発明により、低誘電率化が達成できる理由について述べる。
一般に材料の誘電率εはクラウジウス−モソッティの関係式(ε−1)/(ε+2)=4π/3・(ρNA /M)・α(ρ:密度、NA :アボガドロ数、M:分子量、α:分極率)で表される。本発明の材料は、1MHZ 以上の周波数の高い領域では配向性を示さないので、誘電率を支配する分極として電子分極と原子分極を考えればよい。この式から低誘電率化するためには、密度と分極率を小さくすることが有効であることがわかる。本発明の材料は、アルキル基、アリール基またはアラルキル基を含んでおり、SiO2 ガラスより嵩高く低密度になるため、低誘電率化が図れる。R−Si結合(Rはアルキル基、アリール基またはアラルキル基)とH−Si結合を比較すると、振動分極率は同程度であるが、H−Si結合の方が電子分極率が著しく小さい。従って、低密度を保ったままR−SiのRをHで置換することができれば、低誘電率化することができる。そのためには、R−SiのRの一部のみをHで置換することが必要である。また、本発明の低誘電率材料は、金属塩、金属アルコキシド、アルコキシシラン、ハロゲン化シランなどを加水分解して合成することができるが、無機成分としてSiのみを含む場合、合成過程で生じる分極率の大きいSiOH基が低反応性のため残りやすい。しかし、Si以外の金属元素としてB,Al,Ge,Ti,Y,Zr,Nb,Taという加水分解後も反応性が高い金属を入れておくと、残留するSiOH基を低減させることができる。
【0009】
R1 ,R2 ,R3 はアルキル基、アリール基またはアラルキル基を表す。前記アルキル基は、好ましくは炭素原子数が1〜20、より好ましくは1〜12、更に好ましくは1〜6である。その例としてはメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、2−エチルヘキシル基、ドデシル基などが挙げられる。前記アリール基及びアラルキル基は、好ましくは炭素原子数が6〜20、より好ましくは6〜12である。その例としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、ベンジル基などを挙げることができる。
【0010】
本発明の低誘電率材料では、特に、1個のSiに水素とメチル基のついたHCH3 Si(−O−)2 の形でHを導入することにより、低密度と低分極率をバランスよく達成でき、低誘電率化の効果が大きくなる。
【0011】
本発明における低誘電率材料において、全金属元素に対するSiのモル比(Si/(Si+M))は0.57以上0.95以下であるとき、Si以外の金属元素による電子分極が著しく増大することなくSiOH基を低減させることができるので、この範囲にすることが特に望ましい。ここで全金属元素とは、B,Al,Ge,Ti,Y,Zr,Nb,Taから選ばれる1種類以上の金属元素と、すべてのSiを合わせたものを指す。また、全Siに対するHと直接結合しているSiの比が0.3以上のとき、低誘電率化の効果が特に大きい。また、Siに対するアルキル基、アリール基またはアラルキル基のモル比は0.5以上1.7以下が好ましい。この比が0.5以上の時アルキル基、アリール基またはアラルキル基による低密度化が効果的に行われる。しかしながらこの比が1.7を越えると、反応点が少ないため、三次元網目構造を形成して固体になることができなかったり、固体になるまでに時間がかかったりする。
【0012】
本発明の低誘電率材料の作製にアルコキシドを用いる場合、使用するアルコキシドは特に限定しないが、例えばメトキシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシド等があげられる。また、アルコキシ基の一部をβ−ジケトン、β−ケトエステル、アルカノールアミン、アルキルアルカノールアミン、有機酸等で置換したアルコキシド誘導体も使用できる。
【0013】
本発明における加水分解では、全アルコキシ基に対して2モル倍までの水を添加して加水分解する。この際、無機酸、有機酸あるいはそれらの両方を触媒として使用してもよい。また、アルカリで溶液のpHを調整し、加水分解反応を制御してもよい。添加する水は、アルコール等の有機溶媒で希釈してもよい。2モル倍以上の水を使用すると、すぐにゲル化するために好ましくない。
【0014】
加水分解においては、シロキサンポリマー、アルキルアルコキシシランなどのSi原料およびアルコキシドを均一に分散、溶解できる有機溶媒が使用される。例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等の各種アルコール、アセトン、トルエン、キシレン等である。
【0015】
加水分解後、溶媒、加水分解で生成したアルコール等を常圧あるいは減圧下で留去して塗布してもよい。
【0016】
LSI用層間絶縁膜など膜として用いる場合、基板への塗布は、スプレーコート法、ディップコート法、スピンコート法等で行われる。
【0017】
低誘電率基板としてバルク体で用いる場合は、鋳型に流し込んで成形し、熱処理する。
【0018】
塗布膜およびバルク体の熱処理は、70〜500℃の大気中、N2 中、またはAr中で行う。70℃未満であると、溶媒等が十分蒸発せず、固化できない。500℃を越えると、有機成分の分解が始まる。70〜500℃の大気中、N2 中、またはAr中で熱処理した場合、原料のSiに結合していた有機基や水素はその結合を保ったまま、膜またはバルク体中に存在する。従ってSiの配位の状態は、原料と膜・バルク体とで同じである。
【0019】
本発明による絶縁膜は、LSI素子用層間絶縁膜、IC基板など各種電子部品に応用することができる。
【0020】
【実施例】
本発明の低誘電率材料を以下の実施例によって具体的に説明する。表1に本発明による実施例および比較例で用いた原料と、原料の混合のモル比、全金属元素に対するSiのモル比(Si/(Si+M))、全Siに対する水素と直接結合しているSiのモル比(Si(H)/Si)、全Siに対するアルキル基、アリール基またはアラルキル基のモル比(R/Si)、および作製した試料の誘電率を示す。
【0021】
【表1】
【0022】
実施例及び比較例で作製した試料の合成方法を述べる。まず、Ti,Al,Ta,Nbの金属アルコキシドは、いずれも2モル倍のアセト酢酸エチルと室温で混合することにより安定化させた。つぎに、エタノール溶液中に、Si原料と安定化させた金属アルコキシドを所定のモル比で入れスターラーで30分攪拌する。そこへ全アルコキシ基と等モルの水を加えさらに30分攪拌する。実施例2,3,5,6,7および比較例8,10では、水のかわりに1Nの塩酸水溶液を加えて30分攪拌した。実施例1は、このようにして調整した液をアルミシャーレに流し込み70℃で48時間、150℃で24時間熱処理して、板状の試料を作製した。両面にAl電極をつけ、インピーダンスアナライザで誘電率を測定した。実施例2〜7、及び比較例8〜10は、調整した液を、スピンコーターで厚さ1000Åの白金をスパッタしたSi基板上に塗布し、150℃のホットプレートで5分、300℃のホットプレートで30分熱処理した。熱処理後、厚さ1000ÅのAlを直径1mmの円形状につけ、インピーダンスアナライザで誘電率を測定した。
【0023】
実施例1では、誘電率2.5の低誘電率の基板を得ることができた。
実施例2〜7では、誘電率2.9以下の低誘電率の薄膜を得ることができた。特に実施例2では、HCH3 Si(OC2 H5 )2 を主成分として用いることにより、2.4まで低誘電率化することができた。比較例8は、Siに結合している酸素以外の成分がすべてメチル基であるため、分極が大きく、誘電率が高くなった。比較例9は、試料中にメチル基およびフェニル基を全く含まないため、有機成分による低密度化ができず、誘電率が高くなった。比較例10は、金属元素としてSiのみしか含まないため、残留するSiOHが多くなり、誘電率が高くなった。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば、比誘電率が3.0未満の低誘電率材料が得られる。LSI用層間絶縁膜、IC基板など半導体素子および電気回路部品へこの低誘電率材料を適用することにより、電気信号の遅延が小さくなるため、デバイスの高速化に対応することができる。
Claims (5)
- B,Al,Ge,Ti,Y,Zr,Nb,Taから選ばれる1種類以上の金属元素Mと酸素からなるM(−O−)n (nは金属Mが結合する酸素の数)と、Si(−O−)4 ,R1 Si(−O−)3 ,R2 R3 Si(−O−)2 (R1 ,R2 ,R3 はアルキル基、アリール基またはアラルキル基)の3種類のSiユニットのうち、R1 Si(−O−)3 ,R2 R3 Si(−O−)2 の少なくともどちらか一方を含む1種類以上のSiユニットから成る材料において、R1 Si(−O−)3 のみを含む場合はR 1 の一部、R2 R3 Si(−O−)2 のみ、あるいはR1 Si(−O−)3 とR2 R3 Si(−O−)2 の両方を含む場合はR1 および/またはR2 のそれぞれ一部または全部をHで置換したことを特徴とする低誘電率材料。
- Si(−O−)4 ,R1 Si(−O−)3 ,R2 R3 Si(−O−)2 (R1 ,R2 ,R3 はアルキル基、アリール基またはアラルキル基)の3種類のSiユニットのうち、少なくともR2 R3 Si(−O−)2 を含み、かつ、R2 の一部または全部がHで置換され、かつ、R2 がHで置換されてなるHR3 Si(−O−)2 のR3 の一部または全部がメチル基であることを特徴とする請求項1記載の低誘電率材料。
- 全金属元素に対するSiのモル比(Si/(Si+M))が0.57以上0.95以下で、かつ、全Siに対する水素と直接結合しているSiのモル比が0.3以上で、かつ、全Siに対するアルキル基、アリール基またはアラルキル基のモル比が0.5以上1.7以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載した低誘電率材料。
- 請求項1〜3のいずれかの低誘電率材料からなる層間絶縁膜。
- 請求項1〜3のいずれかの低誘電率材料からなるIC基板。
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