544745 A7 ___ B7 五、發明説明（1 ) 【發明所屬的技術領域】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是關於探針卡運送裝置及探針卡運送方法。詳 言之，是關於一種可減少探針裝置之足跡（foot print :設 置面積）的探針卡運送裝置及探針卡運送方法。而且，根 據本發明的其他樣態，是關於一種可提高大型探針卡的運 送操作安全性的探針卡運送裝置及探針卡運送方法。 【習知技術】 探針裝置是用來檢查被檢查體（例如形成在晶圓上的 積體電路，以下稱爲「晶圓」）之電氣特性的裝置。探針 裝置通常具有可朝X、Y、Z及0方向移動的載置台；以 及配置在此載置台上方的探針卡。檢查晶圓時是使載置有 晶圓的載置台朝X及Y方向移動，藉此使晶圓與探針卡的 位置一致。然後，使載置台朝Z方向上升，藉此在晶圓與 探針卡之探針接觸的狀態下檢查晶圓的電氣特性。探針卡 是由配置在探針裝置內的夾鉗機構支撐成可裝脫狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 習知的探針裝置具有探針卡的交換裝置。習知的探針 裝置當中，將探針卡安裝在探針裝置時是使探針裝置的一 面（例如正面的蓋體）開放。並且從探針裝置的正面拉出 探針卡交換裝置。即可在探針卡交換裝置上設置探針卡。 藉由操作探針卡交換裝置及夾鉗機構，載置於探針卡交換 裝置的探針卡會移動至探針裝置內的夾鉗機構，並且由該 機構保持。在探針卡移動至夾鉗機構之後，探針卡交換裝 置即收容在探針裝置內，並且使蓋體關閉。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -4- 544745 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 要卸下保持在夾鉗機構的探針卡時是實施與上述步驟 大致相反的步驟。爲了將探針卡運送至探針裝置，操作負 會從保管區（例如保管架）等取出探針卡。由操作貢將探 針卡從保管區搬運到探針裝置，並且設置在探針卡交換裝 置。而且，操作員會將從夾鉗機構卸下的探針卡從探針卡 交換裝置搬運到保管架，並且加以收藏。 【發明的揭示】 由於探針卡的交換頻率較少。例如，儘管交換頻率高 ’ 一天也只有兩次左右。因此產生了探針卡交換裝置的啓 動率低的問題。 而且，隨著晶圓等被檢查體的大型化、高積集化，探 針卡也逐漸大型化、重量化。爲了因應探針卡的大型化、 重量化，探針卡交換裝置也趨於大型化，因此探針裝置內 探針卡交換裝置的佔有空間就越大。於是，也產生了淸淨 室內探針裝置的設置面積變大，以致設備費用增加的問題 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由於探針卡的大型化、重量化，探針卡的重量將近 2〇k g，因此也產生了操作員不易搬運探針卡的問題。 本發明是爲了解決上述問題的任一個、或是至少一個 問題而硏創者。本發明的目的在於提供一種可運送探針卡 的探針卡運送裝置及探針卡運送方法。 本發明的其他目的及優點記載於以下的說明書中，其 一部分應可由該揭示明白，或是藉由本發明的實行而獲得 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 544745 A7 B7 五、發明説明（3 ) 。本發明的該目的及優點可藉由組合在此所特別指明的手 段而實現、獲得。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本案發明的一個樣態，提供一種具有以下機構的 探針卡運送裝置··可相對於探針裝置而移動的本體；設置 在該本體上與該探針裝置相對向之側的側面的·複數個連結 機構（該連結機構可與設置在上述探針裝置的被連結具連 結）=設置在該本體的該探針卡載置機構（該探針卡載置 機構能以載置有該探針卡的狀態朝水平方向移動）；以及 設置在該本體之用來使該探針卡載置機構升降的升降機構 〇 該探針卡載置機構最好具有用來載置該探針卡，然後 從該本體移動至探針裝置2 〇內部所配置的載置台的臂部 〇 上述連結機構爲了與該被連結具位置一'致，最好具有 與該被連結具卡合的卡合具；以及用來與該被連結具連結 的連結具。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述探針卡運送裝置最好又具有事先用來調整複數個 連結機構的各個位置的主要治具。 上述連結機構最好設置在該本體之前述側面當中的至 少三個部位。 此連結機構最好是利用可微移動 (micro-mobility ) 的構造安裝在該本體的前述側面。 此本體最好具有用來解除該連結具與該被連結具之連 結的機構。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 544745 A7 _ B7 五、發明説明（4 ) 此探針卡運送裝置最好又具有用來確認該探針卡是否 載置於該探針卡載置機構上的感測器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此升降機構1 8最好具有Z方向的球狀螺絲4 9 ;以 及使該球狀螺絲旋轉的電動機。 根據本案發明的另一樣態，提供一種具有以下步驟的 探針卡運送方法：使具有探針卡載置機構的探針卡運送裝 置與探針裝置連結；將該探針卡載置機構插入上述探針裝 置內的預定位置；使探針卡載置機構朝向設置於該探針裝 置內上部的夾鉗機構上升；在該夾鉗機構與該探針卡載置 機構之間裝脫探針卡；使該探針卡載置機構下降至上述預 定位置；使該探針卡載置機構回到前述探針卡運送裝置； 以及解除前述探針卡運送裝置與探針裝置之連結。
在此探針卡運送方法當中，在使探針卡運送裝置與探 針裝置連結之前，最好利用主要治具來調整探針卡運送裝 置上所設置的連結機構的位置V 【圖面的簡單說明】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1圖是本發明探針卡運送裝置之一實施形態的圖。 弟1 A圖是探針卡運送裝置與探針裝置連結前的動作說明 圖，第1 B圖是將探針卡運送裝置的探針卡運送機構插入 探針裝置內的動作說明圖。 第2圖是利用主要治具調整第1圖所示之探針卡運送 裝置的連結機構之女裝位置時的側視圖。 第3圖是利用第1圖所示之探針卡運送裝置調整探針 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐）" 544745 A7 B7 五、發明説明（5 ) 裝置之被連結具的位置的動作說明圖。第3 A圖是其俯視 圖，第3 B圖是其側視圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第4圖是利用探針卡運送裝置的連結機構調整探針裝 置之被連結具的位置後，使連結機構與被連結具連結前的 狀態圖。第4 A圖是其俯視圖，第4 B圖是其側視圖。 第5圖是探針裝置之被連結具與探針卡運送裝置之連 結機構的連結狀態圖。第5 A圖是其俯視圖，第5 B圖是 其側視圖。 第6圖是利用探針卡運送裝置的連結機構調整探針裝 置之被連結具的安裝位置時的動作說明圖。第6 A圖是其 俯視圖，第6 B圖是其側視圖。 第7圖是本發明探針卡運送裝置之一實施形態的更詳 細說明圖，而且是探針卡運送裝置與探針裝置連結前的動 作說明圖。 第8圖是將第1圖所示之探針卡運送裝置的探針卡運 送機構插入探針裝置內的更詳細動作說明圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第9圖是第1圖所示之探針卡運送裝置中的鎖固機構 的更詳細側視圖。 第1 0圖是第1圖所示之探針卡運送裝置的連結機構 之構造的更詳細說明圖，第1 Ο A圖是俯視圖，第1 ο B 圖是側視圖。 第1 1圖是第1圖所不之探針卡運送裝置當中連結機 構的安裝配置的側視圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _8_ 544745 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（6 ) 主要元件對照表 10 探針卡運送裝置 1 2 本體 13 連結機構 1 3 A 卡合具 1 3 B 連結具 1 3 C 缺口部 1 3 D 孔 1 3 E 旋轉軸 1 3 G 卡合部 1 3 Η 引導部 14 通信機構 15 腳輪 16 把手 17 探針卡載置機構 1 7 Α 引導構件 1 7 B 導軌 1 7 C 卡合構件 1 7 D 臂部 18 升降機構 18 A 導軌 18 B 卡合構件 18 C 升降體 2〇 探針裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 穿-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1' - 9- 544745 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（7) 2 1 探針卡 2 2 被連結具 2 2 A 水平突出部 2 2 B 垂直突出部 2 3 通信機構 2 4 操作面板 2 5 載置台 3 0 主要治具 3 1 治具本體 3 2 被連結具 3 2 A 水平突出部 3 2 B 垂直突出部 3 3 基準插銷 4 1 插銷 4 2 開口部 4 3 凹部 4 4 踏板 4 5 凹部 4 6 突起 4 7 夾鉗機構 4 8 感測器 4 9 Z方向球狀螺絲 5 0 電動機 5 1 保管區 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 544745 Α7 Β7 五、發明説明（8 ) 5 1 突出部 5 2 螺帽構件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 3 L字形主軸 5 4 基準孔 5 9 感測器 【發明的最佳實施形態】 所附的圖面與說明書的一部分相關，並且構成其一部 为’而且顯不出本發明的較佳實施例。而且，該圖面可藉 由以上所記載的一般敘述及以下所記載的較佳實施例的詳 細說明來幫助本發明的說明。 以下’根據第1 A圖至第6圖所示之實施形態來說明 本發明。 第1 A圖及第1 B圖顯示出本發明一實施形態的探針 卡運送裝置1 〇。此探針卡運送裝置1 〇是用來將探針卡 2 1 (例如外徑6 0 0 m m '重量2 0 k g )運送至探針 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 裝置20。此探針卡運送裝置1〇具有：本體12;設置 在此本體上與探針裝置相對向之側的側面的複數個連結機 構1 3 ;以及用來驅動探針卡運送裝置1 〇的電池（未圖 示）。連結機構1 3的數量例如可爲四個，又以三個爲佳 °探針卡運送裝置1 〇是將載置於其上的探針卡2 1運送 至探針裝置2 0。四個部位的連結機構1 3是如該圖所示 ’ ί運送探針卡2 1時是與設置在探針裝置2 0正面的四 個部位的被連結具2 2連結。藉由此連結，使探針卡運送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 Χ297公釐） -11 - 544745 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝置1 0與探針裝置2 0得以連結成一體。探針卡運送裝 置1 0及探針裝置2 0在相對向的位置具有通信機構（例 如紅外線通信機構）1 4、2 3。藉由透過此紅外線通信 所傳達的命令，即可驅動探針卡運送裝置1 0及探針裝置 2 0內的夾鉗機構4 7 (參照第7圖）' 而且，上述探針卡運送裝置10可如第1 A圖、第 1 B圖所示具有：安裝在本體1 2下端四個角落的脚輪 1 5 ;以及安裝在本體1 2的上部後端的把手1 6。要交 換探針卡2 1時是由操作員從探針卡保管區5 1 (參照第 7圖）將探針卡2 1載置於探針卡運送裝置1 0上。然後 ’由操作員握住把手1 6使探針卡運送裝置1 0移動至目 標的探針裝置2 0。所以不需要像過去由操作員直接運送 大型化、重量化的探針卡2 1。而且，此把手Γ 6也可同 時作爲用來操作後述探針卡載置裝置1 0的把手。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述探針卡運送裝置1 0可如第1 A圖、第1 B圖所 示，具有探針卡載置機構1 7及升降機構1 8。該探針卡 載置機構1 7具有臂部1 7 D及導軌1 7 B。在臂部 1 7D上可載置探針卡2 1。導軌1 7B可與臂部1 7D 一同在本體1 2上朝Y方向（該圖爲左右方向）移動。而 且，臂部1 7 D可在導軌1 7 B上朝Y方向移動。因此臂 部1 7 D可在本體1 2上朝Y方向進行兩階段的移動。升 降機構1 8可使探針卡載置機構1 7朝上下方向（Z方向 )升降。 上述探針卡載置機構1 7可如第1 A圖、第1 B圖所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 544745 A7 B7 五、發明説明（10) 示具有：左右引導構件1 7 A ;卡合成可隨著這些引導構 件1 7 A朝Y方向一體移動的左右一對導軌1 7 b ;藉由 卡合構件1 7 C卡合成可沿著左右一對導軌1 7 B朝Y方 向移動的臂部1 7 D ;透過螺帽構件連結在此臂部1 7 D 的Y方向球狀螺絲；驅動此Y方向球狀螺絲的電動機；以 及用來操作此電動機的開關（未圖示）。卡合構件1 7 C 可前後固定在臂部1 7 D背面後端部的左右。因此，如第 1 B圖上白色箭頭所示，探針卡載置機構1 7的臂部 1 7 D可從本體1 2上朝向探針裝置進行兩階段的進出， 並且將探針卡2 1移送至探針裝置內的預定位置。此預定 位置可以是設置在探針裝置內的夾鉗機構的正下方位置。 在第1階段當中，藉由把手1 6的操作，使左右一對 導軌1 7 B從本體1 2上朝前方進出。在第2階段當中， 利用開關操作來驅動電動機，並且藉由Y方向球狀螺絲使 臂部1 7 D在導軌1 7 B上朝前方進出。臂部1 7 D的進 出端可藉由感測器檢測出來。臂部1 7 D可根據感測器的 檢測信號而在進出端位置停止。在此進出端位置當中，載 置於臂部1 7 D上的探針卡2 1的中心最好與其夾鉗機構 的中心一致。 左右一對導軌1 7 B上可在後退端位置及進出端位置 設置用來鎖固的鎖固機構。在本體1 2上可設置用來操作 鎖固機構的開關（未圖示）。此開關可設定成在握住把手 1 6的狀態下可進行操作。因此，藉由開關操作解除鎖固 機構之後，導軌1 7 B即可於探針裝置2 0內進出。在進 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13 - 544745 A7 B7 五、發明説明（11) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 出端藉由鎖住導軌1 7 B，導軌1 7 B即得以固定。在臂 部1 7 D上可採用探針卡2 1的定位機構。透過此定位構 件在臂部1 7 D上決定探針卡2 1的位置。再者，於探針 卡載置機構1 7可設置用來確認探針卡2 1是否位於臂部 1 7 D上的感測器。 升降機構1 8是如第1 A圖、第1 B圖所示，朝Z方 向固定在本體1 2的前面左右。升降體1 8 C是透過可沿 著左右一對導軌1 8 A朝上下方向（Z方向）升降的卡合 構件1 8 B卡合在導軌1 8 A。爲了驅動電動機，可在把 手1 6附近附設開關。卡合構件1 8 B可上下固定於升降 體18C外面的左右。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，升降機構1 8可藉由開關操作，使臂部1 7 D 在下降端位置（下端位置）與夾鉗機構的位置（上端位置 )之間升降。下端位置及上端位置分別可由感測器（未圖 示）檢測出來。臂部1 7 D可根據這些感測器的檢測信號 而在下端位置及上端位置停止。同一種探針裝置2 0的下 端位置及上端位置之間的升降距離通常是一定的，因此操 作員對於控制裝置可以有彈性地決定升降距離。 上述連結機構1 3可如第2圖所示，利用主要治具 3〇安裝於探針卡運送裝置1 0。此主要治具3 0可具有 :框體所構成的矩形治具本體3 1 ;固定在此治具本體 3 1的左右上下四個部位的被連結具3 2 ;以及配置在相 當於探針裝置2 0之夾鉗機構之中心位置的基準插銷3 3 。各被連結具3 2及基準插銷3 3的位置與探針裝置2 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 ' ' -14- 544745 A7 B7 五、發明説明（12) 之被連結具2 2及夾鉗機構的中心位置一致。 亦即，上述連結機構1 3放大顯不在第3 A、B圖。 連結機構1 3可具有卡合具1 3A及連結具1 3 B，爲了 進行位置調整，相對於本體1 2可安裝成例如可朝X、Y ' Z方向分別僅移動預定尺寸的狀態。被連結具3 2可由 以下部分形成··從治具本體3 1水平突出的水平突出部 3 2 A ;以及在此水平突出部3 2 A的大致前方從寬度方 向中央朝垂直上方突出的柱狀垂直突出部3 2 B。水平突 出部3 2 A的平面形狀可爲矩形。在水平突出部3 2 A的 前端及垂直突出部3 2 B的上端外周可形成爲了使與連結 機構1 3之連結順利的斜面。 在此，對於上述連結機構1 3再加以詳述。連結機構 1 3的卡合具1 3 A是由從本體1 2水平突出的矩形平面 形狀的構件所構成，在其前端下面可形成斜面。在其前端 的寬度方向中央可形成缺口部1 3 C。缺口部1 3 C可如 第3 A圖所示，由以下部分形成：與被連結具3 2之垂直 哭出部3 2 B卡合的矩形卡合部1 3 G ;以及由此卡合部 朝前端逐漸變寬的引導部1 3 Η。另外，連結具1 3 B可 如第3 Β圖所示，平面形狀爲矩形，並且形成肉厚狀。其 基端部可透過旋轉軸1 3 Ε軸裝在卡合具1 3 Α之基端部 的大致上方。. 因此’連結具1 3 B能以旋轉軸1 3 E爲中心而旋轉 。在此連結具1 3 B的前端下面可形成斜面。由此斜面的 下端大致靠近基端部可形成可供被連結具3 2之垂直突出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 544745 A7 B7 五、發明説明（13) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 部3 2 B嵌入的孔1 3 D。在旋轉軸1 3 E例如可連結踏 板。藉由此踏板操作，連結具1 3 B即可朝順時針方向旋 轉而解除與被連結具3 2之連結。 以下說明將連結機構1 3安裝在探針卡運送裝置1 0 之本體1 3的操作。先將連結機構1 3在本體1 2的前面 安裝成可朝X、Y及Z方向移動的狀態。 如第3 A、B圖所不，探針卡運送裝置1 0是被推向 主要治具3 0。在此狀態下，四個部位的連結機構1 3是 分別朝X、Y及Z方向移動，藉此使所對應之四個部位的 被連結具3 2的位置對準。進行完位置對準之後，如第 4A、B圖所示，探針卡運送裝置1 0朝向主要治具再受 到推壓。因此，各連結機構1 3的卡合具1 3 A會經由斜 面爬到被連結具3 2的水平突出部3 2 A上，連結具 1 3B會爬上垂直突出部32B，最後如第5A、B圖所 示，垂直突出部3 2 B會與卡合具1 3A的卡合部1 3 C 卡合，並且嵌入連結具1 3 B的孔1 3 D內，使兩者1 3 、3 2連結。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該結果，探針卡運送裝置1 0便與主要治具3 0連結 。接下來，使探針卡載置機構1 7在主要治具本體3 1內 進出，並且使臂部1 7 D進出至進出部。然後，藉由探針 卡運送裝置1 0朝X、Y方向的微移動、以及四個部位的 連結機構1 3朝X、Y方向的微移動進行位置對準，使基 準插銷3 3與位於臂部1 7 D上面的基準孔5 4的位置一 致。當基準插銷3 3順利進入臂部1 7 D的基準孔時，將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇x297公釐) 544745 A7 B7 五、發明説明（Μ) 連結機構1 3固定在本體1 2。藉由此一連串的操作，.即 可決定連結機構1 3的位置。連結機構1 3固定之後，可 藉由踏板操作解除連結機構1 3與被連結具3 2間的連結 。探針卡運送裝置1 〇即可從主要治具3 0脫離。 將連結機構1 3固定於探針卡運送裝置1 0之後，在 出貨前的探針裝置2 〇的正面四個部位將被連結具2 2安 裝成可朝X、Y及Z方向移動的狀態。探針卡運送裝置 1 0會靠近探針裝置2 0。在第6 A、B圖當中，如箭頭 符號所示，藉由被連結具2 2的微移動，被連結具2 2可 相對於探針卡運送裝置1 0的連結機構1 3進行位置對準 〇 接下來’朝探針裝置2 0推壓探針卡運送裝置1 〇， 藉此各連結機構1 3即可與對應的被連結具2 2連結。然 後，例如以探針卡2 1的基準孔進入探針卡夾鉗機構的基 準孔的方式調整探針卡載置機構1 7的位置。在結束此位 置對準之後’探針裝置2 0的各被連結具2 2即得以固定 。在探針裝置2 0的收容處當中，要在探針裝置2 〇裝脫 探針卡2 1時可利用探針卡運送裝置1 〇簡單地裝脫探針 卡2 1。採針裝置2 0的被連結具2 2最好根據主要治具 3 0的被連結具3 2來形成。 接下來，參照第1 A、B圖及第3圖至第5圖來說明 利用上述探針卡運送裝置2 0將探針卡2 1安裝在探針裝 置2 0的方法。 (1 )首先’由操作員對於探針裝置2 〇之操作面板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 544745 A7 B7 五、發明説明（15) 2 4進行觸碰操作，選擇所要使用的探針卡2 1。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (2 )藉由此操作，探針裝置2 0內的載置台2 5會 從第1 A圖所示的夾鉗機構下方移動至第1 B圖所示的位 置。 (3 )在操作面板2 4顯示有安裝探針卡2 1的步驟 及確認按鈕。 (4 )操作員從保管區取出所要使用的探針卡2 1， 並且設置在探針卡運送裝置1 0的臂部1 7 D上。 (5 )如第1 A圖所示，載置有探針卡2 1的探針卡 運送裝置1 0會移動至探針裝置2 0。 (6 )根據操作面板2 4上所顯示的步驟，將探針卡 2 1安裝在探針裝置。由操作員打開探針裝置2 0的正面 門扉。由操作員推壓把手1 6使探針卡運送裝置1 0接近 探針裝置2 0。如第ΙΑ、B圖以及第3A、B圖所示， 此時，探針卡運送裝置1 0的連結機構1 3與探針裝置 2 0的被連結具2 2的位置一致。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (7 )操作員再朝向探針裝置2 0推壓探針卡運送裝 置1 0。連結機構1 3的卡合具1 3 A即爬到被連結具 2 2的水平突出部2 2 A上，而且，連結機構1 3的連結 具1 3B會爬到垂直突出部22B上。 (8 )由於操作員朝向探針裝置2 0推壓探針卡運送 裝置10，如第1B圖及第5A、B圖所示，卡合具 1 3 A與垂直突出部2 2 B會相互卡合，並且使垂直突出 部2 2 B嵌入連結具1 3 B的孔1 3 D。最後，連結機構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 544745 A 7 B7_ 五、發明説明（16) 1 3與被連結具2 2即得以連結。藉由這一連串的操作， 探針卡運送裝置1 〇便可與探針裝置2 0連結。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (9 )由操作員操作探針卡運送裝置1 〇。由操作員 操作開關，藉此解除探針卡載置機構1 7的導軌1 7 B的 鎖固狀態。由操作員推壓把手1 6，使一對導軌1 7 B在 探針裝置2 0內進出。導軌17 B會在進出端固定。 (1 0 )藉由驅動電動機及球狀螺絲，臂部1 7 D即 可沿著一對導軌1 7 B進出至進出端位置（參照第1 B圖 )。感測器可感測到臂部1 7 D已到達進出端位置，使臂 部1 7 D的進出停止。 (1 1 )藉由驅動升降機構1 8的電動機及球狀螺絲 ，臂部1 7D即可透過升降體1 8 C從下端位置上升。感 測器會感測出此上端位置，使臂部1 7 D在上端位置停止 〇 (1 2 )此時，藉由觸碰操作面板2 4的確認按鈕， 探針裝置2 0內的感測器會檢測出位於上端位置的探針卡 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 1。根據此檢測信號，即可驅動夾鉗機構，夾鉗機構便 會保持固定住探針2 1。 (1 3 )操作面板2 4上有探針卡從探針卡運送裝置 1 0脫離，直到探針裝置2 0的門扉關閉爲止之順序及確 認按鈕。 (1 4 )藉由探針裝置2 0與探針卡運送裝置1 0之 間的紅外線通信，升降機構1 8會使臂部1 7 D下降。當 感測器感測到臂部1 7 D已到達下端位置，升降機構1 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -19- 544745 A7 B7 五、發明説明（17) 即停止。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (1 5 )利用電動機及球狀螺絲驅動臂部1 7 D，使 其後退至一對導軌1 7 B上。 (1 6 )操作員從探針裝置2 0內拉出一對導軌 1 7 B。然後，由操作員進行踏板操作，藉此解除連結機 構1 3與被連結具2 2的連結。使探針卡運送裝置1 〇從 探針裝置2 0脫離，並且使探針裝置2 0的門扉關閉。 (1 7 )藉由觸碰操作面板2 4的確認按鈕，結束探 針卡2 1的安裝。 以下’說明將保持在探針裝置之夾鉗機構的探針卡 2 1與其他探針卡2 1交換的操作。 (1 8 )操作員從操作面板2 4的顯示當中選擇探針 卡交換功能。 (1 9 )載置台2 5從第1 A圖所示之位置退避至第 1 B圖所示之位置。 (2 0 )操作面板2 4顯示出使臂部1 7 D上升至探 針裝置2 0內之上端位置的步驟及確認按鈕。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2 1 )未保持有探針卡的探針卡運送裝置1 〇以上 述方式與探針裝置2 0連結。 (2 2 )透過紅外線通信，從探針卡運送裝置1 〇到 探針裝置2 0發出探針卡2 1的交換命令。 (2 3 )操作員使探針卡載置機構1 7的臂部i 7 D 進出至探針裝置2 0內的進出端位置。 (2 4 )藉由升降機構1 8，臂部Γ 7 D會從下端位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20 - 544745 A7 ____ B7 五、發明説明（18) 置上升至上端位置。 (2 5 )藉由觸碰確認按鈕，使夾鉗機構放開探針卡 2 1。 (2 6 )從夾鉗機構，將探針卡2 1載置於探針卡載 置機構1 7的臂部1 7 D上。感測器會確認探針卡2 1是 否在探針卡運送裝置1 0的臂部1 7 D上。 (2 7 )確認過探針卡2 1之後，操作面板2 4顯示 出將新的探針卡2 1載置於臂部1 7 D上，並且使臂部 1 7 D上升至上端位置的步驟及確認按鈕。 (2 8 )以上述方式，臂部1 7 D會從上端位置下降 至下端位置。臂部1 7 D從探針裝置2 0內後退至探針裝 置2〇外。 (2 9 )探針卡運送裝置1 〇移動至保管區。在此， 臂部1 7 D上的探針卡2 1即可與新的探針卡交換。 (3 0 )探針卡運送裝置1 〇將新的探針卡2 1運送 至探針裝置2 0。 (3 1 )以下的順序是依照上述步驟（1 )至（1 7 )而進行一連串的交換作業。 參照第7圖至第1 0圖，說明探針卡運送裝置1 〇的 更詳細構造。 探針卡載置機構1 7可如第7圖所示具有：左右引導 構件1 7 A ;卡合成可隨著這些引導構件1 7 A朝γ方向 一體移動的左右一對導軌1 7 B ;藉由卡合構件1 7 C卡 合成可沿著左右一對導軌1 7 B朝Y方向移動的臂部 t ® ( CNS ) A4^ ( 210X297^ ) 一~' - 21- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 、可 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 544745 A7 B7 五、發明説明（19) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 7 D ;透過螺帽構件5 2連結在此臂部1 7 D的Y方向 球狀螺絲4 9 ;驅動此Y方向球狀螺絲的電動機5 0 ;以 及用來操作此電動機的開關（未圖示）。卡合構件1 7 C 可前後固定在臂部1 7 D背面後端部的左右。 因此，如第8圖上白色箭頭所示，探針卡載置機構 1 7的臂部1 7 D可從本體1 2上朝探針裝置進行兩階段 進出，並且將探針卡2 1移送至探針裝置內的預定位置。 此預定位置可以是設置在探針裝置內的夾鉗機構4 7正下 方的位置。 在第1階段當中，藉由把手1 6的操作，左右一對導 軌1 7 B會從本體1 2上朝前方進出。在第2階段當中， 利用開關操作來驅動電動機，並且藉由Y方向球狀螺絲使 臂部1 7 D在導軌1 7 B上朝前方進出。臂部1 7 D的進 出端可藉由感測器5 9檢測出來。臂部1 7 D可根據感測 器的檢測信號而在進出端位置停止。在此進出端位置當中 ，載置於臂部1 7 D上的探針卡2 1的中心最好與其夾鉗 機構4 7 (參照第8圖）的中心一致。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 左右一對導軌1 7 B上可在後退端位置及進出端位置 設置用來鎖固的鎖固機構。鎖固機構可以是將插銷4 1經 由開口部4 2以電磁力插入凹部4 3的機構。
在本體1 2上可設置用來操作鎖固機構的開關（未圖 示）。此開關可形成在握住把手1 6的狀態下可進行操作 。因此，藉由開關操作解除鎖固機構之後，導軌1 7 B即 可在探針裝置2 0內進出。在進出端藉由鎖住導軌1 7 B 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 544745 A7 B7 五、發明説明（20) ，導軌1 7 B即得以固定。在臂部1 7 〇上可採用探針卡 2 1的定位機構。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此機構是如第8圖所示，可採用一種使設置在探針卡 2 1的凹部4 5與設置在臂部1 7D的突起4 6卡合的機 構。藉由此機構，探針卡2 1即可確實載置於臂部1 7 D 上的預定位置。再者，於探針卡載置機構1 7可設置用來 確認探針卡2 1是否位於腎部1 7 D上的感測器4 8 (參 照第8圖）。 升降機構1 8是如第7圖所示，可由以下構件構成： 一對導軌1 8 A ;可升降的卡合構件1 8 B ;升降體 1 8 C ;螺帽構件5 2 ; Z方向球狀螺絲4 9 ;以及電動 機5〇。 一對導軌1 8 A是朝Z方向固定在本體1 2的前面左 右。升降體1 8 C是透過可沿著左右一對導軌1 8 A朝上 下方向（Z方向）升降的卡合構件1 8 B卡合在導軌 1 8 A。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Z方向球狀螺絲4 9是由電動機5 0驅動而旋轉，藉 此經由螺帽構件5 2使升降體1 8 C的突出部5 1升降。 爲了驅動此電動機，可在把手1 6附近附設開關。卡合構 件1 8 B可上下固定於升降體1 8 C外面的左右。因此， 升降機構1 8可藉由開關操作，使臂部1 7 D在下降端位 置（下端位置）與夾鉗機構的位置（上端位置）之間升降 。下端位置及上端位置分別可由感測器（未圖示）檢測出 來。根據這些感測器的檢測信號，臂部1 7 D可在下端位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） -23 - 544745 A7 B7 五、發明説明（21) 置及上端位置停止。同一種探針裝置2 0的下端位置及上 端位置之間的升降距離通常是一定的，因此操作員對於控 制裝置可以有彈性地決定升降距離。 上述連結機構1 3可如第2圖所示，利用主要治具 3 0安裝於探針卡運送裝置1 〇。 上述連結機構1 3放大顯示在第1 〇 A、B圖。連結 機構1 3可具有卡合具1 3 A及連結具1 3 B，爲了進行 位置調整，相對於本體1 2可安裝成例如可朝X、Y、Z 方向分別僅移動預定尺寸的狀態。被連結具2 2可由以下 部分形成：從探針裝置2 0水平突出的水平突出部2 2 A ;以及在此水平突出部2 2 A的大致前方從寬度方向中央 朝垂直上方突出的柱狀垂直突出部2 2 B。水平突出部 2 2 A的平面形狀可爲矩形。在水平突出部2 2 A的前端 及垂直突出部2 2 B的上端外周可形成爲了使與連結機構 1 3之連結順利的斜面。 在此，對於上述連結機構1 3再加以詳述。連結機構 13的卡合具13A是由從本體12水平突出的矩形平面 形狀的構件所構成，在其前端下面可形成斜面。在其前端 的寬度方向中央可形成缺口部1 3 C。缺口部1 3 C可如 第1 0A圖所示，由以下部分形成：與被連結具2 2之垂 直突出部2 2 B卡合的矩形卡合部1 3 G ;以及由此卡合 部朝前端逐漸變寬的引導部1 3 Η。而且，連結具1 3 B 可如第1 Ο Β圖所示，平面形狀爲矩形，並且形成肉厚狀 。其基端部可透過旋轉軸1 3 Ε軸裝在卡合具1 3 Α之基 本^氏張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐） ' -24 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 544745 A7 B7 五、發明説明（22) 端部的大致上方。因此，連結具1 3 B能以旋轉軸1 3 E 爲中心而旋轉。在此連結具1 3 B的前端下面可形成斜面 。由此斜面的下端大致靠近基端部可形成可供被連結具 2 2之垂直突出部2 2 B嵌入的孔1 3 D。在旋轉軸 1 3 E例如可連結踏板4 4 (第8圖）。藉由此踏板操作 ’連結具1 3 B即可朝順時針方向旋轉而解除與被連結具 2 2之連結。 以下說明將連結機構1 3安裝在探針卡運送裝置1 〇 之本體1 2的操作。先將連結機構1 3在本體1 2的前面 安裝成可朝X、Y及Z方向移動的狀態。如此之機構的例 子是如第1 0 A、B圖所示，在探針卡運送裝置1 〇的本 體1 2安裝有可旋轉的L字形主軸5 3。在此主軸5 3的 臂部安裝有可上下移動的卡合具1 3 A。藉由主軸5 3的 旋轉及卡合具1 3 A的上下移動，連結機構1 3即可在本 體1 2前面安裝成可朝X、Y及Z方向移動。 如以上所述，根據本實施形態，探針卡運送裝置1〇 具有：本體1 2 ;探針卡載置機構1 7 ;以及設置在與探 針裝置2 0相對向的本體側面之複數個部位的連結機構 1 3。探針卡運送裝置1 〇具有：朝γ方向移動探針卡 2 1的探針卡載置機構1 7 ;以及使此探針卡載置機構 1 7升降的升降機構1 8。當探針卡運送裝置1 〇的連結 機構1 3與探針裝置2 0的被連結具2 2連結之後，探針 卡運送裝置1 〇的探針卡載置機構1 7即可進出至探針裝 置2 0內的下端位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ---------^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 544745 A7 B7 五、發明説明（23) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 再者，藉由探針卡運送裝置1 〇的升降機構1 8，探 針卡載置機構1 7的臂部1 7 D會從下端位置上升至上端 位置。在此位置，探針卡會在夾鉗機構之間進行授受。藉 由探針卡運送裝置1 0的升降機構1 8，探針卡載置機構 1 7的臂部1 7 D會從上端位置下降至下端位置。使上述 探針卡運送裝置1 0的探針卡載置機構1 7從探針裝置 2〇後退之後，可解除連結機構1 3與被連結具2 2的連 結狀態。如以上所述，操作員可半自動地交換大型化、重 量化的探針卡2 1。大型化、重量化的探針卡2 1可利用 探針卡運送裝置1 0安全且簡單地運送至目標的探針裝置 2 0而不會對於操作員造成負擔。探針卡運送裝置1 〇由 於可共用在複數個探針裝置2 0，因此可省略過去裝設在 各個探針裝置2 0的探針卡運送機構。因此可減少淸淨室 中的設置面積，更可降低探針裝置2 0本身的成本。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本實施形態，連結機構1 3可具有：與探針裝置 2 0之被連結具2 2卡合的卡合具1 3A ;以及與被連結 具2 2連結的連結具1 3 B。因此，在裝脫探針卡2 1時 ，探針卡運送裝置1 0通常是以一定的位置關係連結於探 針裝置2 0，並且確實進行探針卡2 1的交換。可在本體 1 2設置用來解除連結具1 3 B與被連結具2 2之連結的 踏板。只要操作此踏板，探針卡運送裝置1 0即可簡單地 從探針裝置2 0脫離。可在本體設置用來確認是否有探針 卡2 1存在的感測器。藉由此感測器，可確實防止探針卡 2 1的裝脫失誤。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 544745 A7 B7 五、發明説明（24) 此外，本發明並不受上述實施形態任何的限制。例如 ’探針卡運送裝置1 0可因應需要由半自動改變成自動化 或手動化。設置在上述實施形態的探針卡運送裝置i 〇的 複數個感測器可使用例如過去眾所週知的光學感測器。 其他的特徵及變更皆可由該技術領域的業者聯想到。 因此，本發明是基於更寬廣的觀點，並不限定於特定的詳 細以及在此所揭示之代表性實施例。 因此，只要不脫離所附申請專利範圍所定義之廣泛發 明槪念及其均等物的解釋及範圍，皆可進行各種變更° (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝·
、1T 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） -27-