TW520541B - IC chip package with directly connected leads - Google Patents

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TW
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contact
lead
lead assembly
semiconductor die
contact block
Prior art date
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TW088108784A
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Y Mohammed Kasem
Anthony C Tsui
Lixiong Luo
Yueh-Se Ho
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Siliconix Inc
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Description

520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ------^~~_ 五、發明說明（1 ) & 月技術領域 本發明係關於半導體元件，並特別相關於一種具有直 接連接引線之積體電路（1C)晶片封裝體。 i明背景 在功率半導體的領域中，特別是在功率M0SFETs的領 域中，產品的性能由作為一高電流用之理想開關的產品能 力所決定。因此，性能視在斷路狀態提供一個趨近無限大 的電阻並在接通狀恶中提供一個趨近於零的電阻之產品能 力而定。 在功率MOSFET技術上近來的進展已大大地縮小功率 MOSFET之半導體零件的接通電阻，而元件接通電阻之一 重要部分產生接觸導件化電阻與封裝體電阻。因此，為了 在接通電阻中達到更進一步重要的縮減，金屬化與封裝體 電阻必須被縮小。 此外，在一功率MOSFET元件中的電阻產生必須被移 除的熱以維持高性能。冷卻功率]^〇81^丁元件根本上被電 流元件的組構狀態限制。即使是在垂直功率m〇sfet元件 中’在一功率MOSFET元件中產生大部分的熱在半導體晶 粒之頂部1 〇微米中被產生。因為諸如陶瓷封裝之導熱封裝 昂貴’因此諸如塑膠的絕熱封裝材料被典型地使用。所以， 為達到一個冷卻表面，在晶粒頂部表面附近所產生的熱必 須透過接線或引線行進，其係可以僅傳導限定量的熱，或 疋透過半導體傳導至晶粒的後側。因為矽的熱導性不能被 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）4 I * « --------------------訂---------線 41^- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 A7 B7 五 、發明說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明總钴 因此，對於應付習知技藝的缺點與缺陷之半導體元件 產生需求。特別是，對於具有來自封裝體之被縮小㈣阻 與熱變電阻貢獻之半導體元件產生需求。 、1因此，一種改良的半導體元件被揭露。在一實施例中， 半導體元件在頂部或底部表面上具有帶有多個接觸區塊的 半導體晶片。一以半剛性薄板導電材料所形成之第一引線 總成具有一個與半導體晶片之接觸區塊的其中之一連結的 引線總成接點。第-引線總成具有至少_條連接至引線總 成接點並從引線總成接點延伸的引線。一個亦以一半剛性 ‘電材料所形成的弟一引線總成具有一個被連結至半導體 晶片之另一接觸區塊上的引線總成接點。第二引線總成具 有至y條連接至引線總成接點並從引線總成接點延伸的 引線。一包封體包裝半導體晶片、第一引線總成之引線總 成接點、及第二引線總成之引線總成接點。 本發明之技術優點在於半導體元件具有來自封裝體之 低電阻與熱變電阻之貢獻。本發明之另一個技術優點則是 具有比晶片小的晶片接觸區塊之引線框架被使用，藉此准 許有較小的封裝體尺寸與更有效地利用在印刷線路板上可 使用的限定表面面積。又一個技術優點是半導體可以被形 成呈一個有引線的封裝體或是一個無引線晶片載架封裝 --------^----^----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2.10 X 297公釐）5 520541 A7 B7 五、發明說明θ ) 體。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖式簡短說明 為了更完全了解本發明及進一步的特徵與優點，現在 連同附呈圖式一起參考以下說明，其中： 第1Α圖是根據本發明之一實施例而構製的一第一功 率MOSFET封裝體之頂視圖； 第1B圖是第一功率MOSFET封裝體封裝體之橫截面 圖， 第2A至2D圖是在製造的各種階段中之第一功率 MOSFET封裝體橫截面圖； 第3 A圖是根據本發明之一實施例所構製的一第二功 率MOSFET封裝體之頂視圖； 第3B圖是第二功率MOSFET封裝體之橫截面圖； 第4 A圖是根據本發明之一實施例所構製的一第三功 率MOSFET封裝體之頂視圖； 第4B圖是第三功率MOSFET封裝體之橫截面圖； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第5 A至5D圖是在製造的各種階段中之該第三功率 MOSFET封裝體之橫截面圖； 第6 A圖是根據本發明之一實施例所構製的一第四功 率MOSFET封裝體之頂視圖； 第6B圖是第四功率MOSFET封裝體之橫截面圖； 第7 A至7C圖是在製造的各種階段中之該第四功率 MOSFET封裝體之橫截面圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）6 520541
發明之詳細說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
本發明之較佳實施例與它們的優點會藉由參考圖式 1A至8B圖而獲得最好的了解。相似的標號被用在不同圖式 之相似與對應的零件上。 參考第1A與1B圖，一根據本發明所構製的功率 MOSFET封裝體分別被以頂視與橫截面圖顯示。在功率 MOSFET封裝體1〇中一功率M〇SFET晶片或晶粒12具有由 公用接觸區塊所驅動之一陣列的垂直MOSFETs(未被明確 地顯示）。功率MOSFET晶片12可以是例如根據美國專利第 5,665,996號所製造者，此專利係命名為，，具有厚金屬層以 減少分佈電阻之垂直功率MOSFET，於1997年9月9曰發佈 予 Richard K· Williams and Mohammad Kasem，其係被合併 於此作為參考。晶片12可以是另外任何的半導體積體電路 晶片。 在晶片12之頂面上的一源極接觸區塊14與一閘極接觸 區塊16分別被以一由諸如鋁、鎳或銅的導電金屬形成之金 屬化層覆蓋。同樣地，一在晶片之底面上的汲極接觸區塊 (未顯示）被以一金屬化層覆蓋。 一源極引線總成18在晶片上具有一個與源極接觸區塊 14呈接觸狀態的接觸區塊isa。源極引線總成18上的接觸區 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541
五、發明說明（5 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 塊18a藉由一導電黏合層19而保持與晶片12上的源極接觸 區塊14接觸。三個源極引線18b從接觸區塊18a延伸，以提 供與一印刷電路板的電氣接觸。 引線總成18被以諸如具有例如厚度為250微米（大約 0 · 01对）的銅合金屬之金屬薄板形成。引線總成18與其他在 此被說明的引線總成一般被好具有5至50mils的厚度。其他 諸如率的導電材料亦可以被用作源極引線總成18。 源極引線總成18上的接觸區塊18 a維持與大部分的源 極接觸區塊14呈接觸狀態。因為接觸區塊i8a較形成源極接 觸區塊14之金屬化層厚，因此接觸區塊18a提供較源極接觸 區塊14少的分佈電阻。所以，接觸區塊18a可以消除或減少 橫跨源極接觸區塊14正面的壓降，其係若在一個諸如傳統 接線接觸的小區塊接觸被用來電氣接觸一部份的源極接觸 區塊14的情況下可能會產生。源極引線18心亦提供比傳統接 線低的電阻，藉此大大地縮小功率MOSFET封裝體1〇之封 裝體電阻。 如同源極引線總成18 —般’一閘極引線總成2〇在晶片 12上具有一與閘極接觸區塊16呈接觸狀態的接觸區塊 20a。在閘極引線總成20上的接觸區塊2〇a藉由導電黏合層 19而被保持與晶片12上的閘極接觸區塊16呈接觸狀態。將 閘極引線總成20固定至閘極接觸區塊16上之部分的黏合層 19當然會與將源極引線總成18固定至晶片12上的源極接觸 區塊14上之部分的黏合層19(未接觸）分離。一閘極引線2〇b 從接觸區塊20a延伸，以提供與印刷電路板的電氣接觸。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）8 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明d ) 相似地，一没極引線總成22在晶片12的底面上具有一 與沒極接觸區塊相接觸的接觸區塊22a，及四個從接觸區塊 22a延伸的汲極引線22b，以提供與印刷電路板的電氣接 觸。汲極引線總成22上的接觸區塊22a藉由一導電黏合層23 而被保持與晶片12上的汲極接觸區塊呈接觸狀態。 一塑膠包封體24包封晶片12、引線總成18、2〇與22之 接觸區塊18a、20a與22a、以及部分的引線igb、20b與22b。 包封體24提供將晶片12與外界電氣與熱之隔離，以及給予 功率MOSFET封裝體10結構支撐與剛性。包封體24可以是 任何諸如以環氧酚醛樹脂為主的模製化合物之已知包封 體。 為舉例說明功率MOSFET封裝體1〇之製造，第2A至2D 圖顯示於製造的各種階段中之功率MOSFET封裝體之橫截 面圖。首先5功率MOSFET晶片12被形成圖案並從一半導 體晶片上切割下來。一第一引線框架條26被由一半剛性、 250微米厚薄板的銅合金或其他金屬衝壓成形。引線框架條 26包括源極引線總成18與閘極引線總成2〇。引線框架條26 亦包括一個連接部分（未明確地顯示），係將源極引線總成 18與閘極引線總成20固定在一起並提供引線框架條26之結 構支樓。引線框架條26之連接部分亦會將源極引線總成18 與閘極引線總成20連接至供數個其他可同時與功率 MOSFET封裝體10—起被製造的功率m〇sfET封裝體用之 源極與閘極引線總成上。 參考第2A圖，一導電黏合層19分別在源極接觸區塊14 本紙張尺度適用中國國豕標率（CNS)A4規格（210 X 297公爱）9 MW------- 丨訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 _________B7 五、發明說明（7 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
A7 與功率MOSFET晶片12之閘極接觸區塊16上被沉積。黏合 層19與在此被說明的其他黏合層可以是例如填滿銀的環氧 树月曰或聚亞胺糊劑。另一方面，黏合層19可以包含一連串 的焊料凸塊或其他導電、黏合材料。引線框架條26被壓到 晶片12的頂部表面上，而引線框架條26上的接觸區塊18a 與20a分別與源極及閘極接觸區塊14與16對準。 參考第2B圖，晶片12被翻轉，並且一第二黏合層23被 沉積在晶片12之底面上的没極接觸區塊上。一第二預形成 的引線框架條32包括汲極引線總成22與一個接觸部分（未 顯示），係可以將汲極引線總成22與數個其他功 封裝體之汲極引線總成連接。引線框架條32之接觸區塊22a 逆著晶片12上的汲極接觸區塊而被壓緊。引線框架條32被 定以形狀，使得汲極引線22b最初大約是與引線框架條％ 之源極與閘極引線18a與20b共平面。晶片12接著再次被翻 轉至第2B圖所示之直立位置。黏合層19與23接著在固化處 理烘箱中被固化，假如必要的話。 被說明於則段中的晶粒相連步驟之替代步驟是將第一 黏合層23沉積在引線框架條32之接觸區塊22&上，而不是在 晶片12之底面上的汲極接觸區塊上。晶片12接著逆著引線 框架條32被壓緊，而引線框架條32之接觸區塊22a與晶片12 上的汲極接觸區塊對準。黏合層19與23可以如前述般在固 化處理烘箱中被固化。此替換晶粒相連步驟省去在曰粒相 連之前翻轉晶片12之需要。 在固化黏合層19與23之前，為了維持引線框架條％
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2.10 X 297公釐）10 --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明說明（8 ) 32之相對位置，引線框架條最好被以諸如熔接、夾持或焊 接之機械剛接的方式互相連結。此連結避免引線總成18、 20與22互相接觸，以及從源極至汲極或從閘極至汲極產生 短路。連結裝置在黏合層19與23被固化之後的任何時間被 移除，最好是在下述之整平並形成步驟之前或是在其期間。 參考第2C圖，晶片12被置放在一模子中並且塑膠包封 體24在晶片12與部分的引線框架條26與32周圍被射出成 型。參考第2D圖，引線框架條26被整平以移除引線框架條 的連接部分，藉此將源極引線18b與閘極引線20b分離，並 且將源極和閘極引線18b及20b與任何其他被引線框架條26 連接的功率MOSFET封裝體之源極與閘極引線分離。並 且，引線框架條32被整平以移除引線框架條之連接部分。 源極、閘極與汲極18b、20b與22b亦被形成呈海轉式機 翼形狀，以便表面安裝在一印刷線路板上。上述整平與形 成步驟最好藉由可調整被引線框架條26與32連接之晶片的 數目之一次壓制機而同時地執行。 在製造後，功率MOSFET封裝體1〇會在一印刷電路板 上被安裝’而源極、閘極與汲極引線18b、2〇b及22b與印刷 線路板上的對應接觸區塊對準。一標準焊料回流程序會被 使用，以在功率MOSFET封裝體1〇與印刷電路板之間提供 堅固的結構與電氣接觸。 誠如上述，功率MOSFET封裝體1〇之源極、閘極與汲 極引線1 8b、20b與22b在印刷電路板與功率MOSFET晶片12 之間提供低電阻。引線18b與2〇b亦在印刷電路板與功率 本纸張尺度翻巾國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公爱)~ΪΤ --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520541 A7 B7 五、發明說明（) MOSFET晶片12的頂面間提供低熱變電阻，而不似傳統的 導線接合。所以，引線18b與20b會被冷卻以提供冷卻動力 至功率MOSFET晶片12的頂面上，在此大部分的熱在功率 MOSFET封裝體10中被產生。 參考第3A與3B圖，一根據本發明所構製的第二功率 MOSFET封裝體40分別被以頂視與橫截面顯示。相似於功 率MOSFET封裝體10之功率MOSFET封裝體40具有一個被 公用接觸區塊驅動的功率MOSFET晶片42。在晶片42之頂 面上之一源極接觸區塊44與一閘極接觸區塊46各以由諸如 鋁、鎳或銅之導電金屬所形成的金屬化層覆蓋。同樣地， 晶片42之底面上的汲極接觸區塊（未顯示）被以一金屬化層 覆盍。 一源極引線總成48在晶片42上具有一個與源極接觸區 塊44呈接觸狀態的接觸區塊48a。源極引線總成48上的接觸 區塊48a藉由一導電黏合層49而被保持與晶片42上的源極 接觸區塊44接觸。三條源極引線48b從接觸區塊48a延伸， 以提供與一印刷電路板之電氣接觸。 源極引線總成48上的接觸區塊48a維持與大部分的源 極接觸區塊44電氣接觸。接觸區塊48a與源極引線48b由具 有厚度例如為250微米，諸如銅合金之金屬薄板所形成。其 他諸如鋁的導電金屬亦會被用作源極引線總成48。 因為接觸區塊48a比形成源極接觸區塊44之金屬化層 厚，因此接觸區塊48a提供較源極接觸區塊44少的分佈電 阻。所以，接觸區塊48a可以消除或減少橫跨源極接觸區塊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）12 --------------------訂—_-----線«· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明p ) 44正面之壓降，其係若在一諸如傳統接線接觸之小區塊接 觸被用來電氣接觸一部份的源極接觸區塊44的情況下可能 會產生。源極引線48b亦提供比傳統接線低的電阻，藉此大 大地縮小功率MOSFET封裝體40之封裝體電阻。 如同源極引線總成48般，一閘極引線總成5〇在晶片42 上具有一與閘極接觸區塊46呈接觸狀態的接觸區塊5〇a。閘 極引線總成50上的接觸區塊50a藉由導電黏合層（未顯示） 而被保持與晶片42上的閘極接觸區塊46呈接觸狀態。一閘 極引線50b從接觸區塊50a延伸，以提供與印刷電路板的電 氣接觸。相似地，一沒極引線總成52在晶片42的底面上具 有一與汲極接觸區塊相接觸的接觸區塊52a，及四條從接觸 區塊52a延伸的汲極引線52b，以提供與印刷電路板的電氣 接觸。汲極引線總成52上的接觸區塊52a藉由一導電黏合層 53而被保持著與晶片42上的汲極接觸區塊呈接觸狀態。 一塑膠包封體54包封晶片42、引線總成48、50與52之 接觸區塊48a、50a與52a、以及引線總成48、50與52之部分 的引線48b、50b與52b。包封體54提供將晶片42與外界電氣 與熱之隔離，以及給予功率MOSFET封裝體40結構支撐與 剛性。包封體54可以是任何諸如以環氧酚醛樹脂為主的模 製化合物之已知塑膠包封體。 不像功率MOSFET封裝體1〇—般，功率MOSFET封裝 體40具有一個幾乎將引線48b、50b與52b完全包圍的包封體 54。所以，功率MOSFET封裝體40具有一個底部封裝體表 面54a，其係與引線48b、50b與52b之表面安裝接觸區塊齊 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中關家鮮（CNS)A4 規格（210 x 297公爱）13 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明f ) 平。 功率MOSFET封裝體40之製造與功率MOSFET封裝體 10之製造相似，因此將不被詳細地說明。在兩製造程序之 間的一個差異是功率MOSFET封裝體40之引線總成48、50 與52在連結至晶片42之前被預形成呈一海鷗式機翼形狀。 因此，前述供功率MOSFET封裝體10用之整平與形成步驟 僅需將過多的材料與連接部分從功率MOSFET封裝體分別 的引線框架條移除，而不需將引線48b、50b與52b定以形 狀。此外，功率MOSFET封裝體40之包封步驟必須被執行， 使得底部包封體表面在留下為之後連接至一印刷電路板而 被暴露的表面安裝接觸區塊的同時被形成，而與引線48b、 50b與52b齊平。 參考第4A與4B圖，一根據本發明所構製的第三功率 MOSFET封裝體60分別以頂視與橫截面顯示。相似於功率 MOSFET封裝體10與40之功率MOSFET封裝體60具有一個 被公用接觸區塊驅動的功率MOSFET晶片62。在晶片62之 頂面上之一源極接觸區塊64與一閘極接觸區塊66各以由諸 如鋁、鎳或銅之導電金屬所形成的金屬化層覆蓋。同樣地， 在晶片62之底面上的汲極接觸區塊（未顯示）被以一金屬化 層覆蓋。 一源極引線總成68在晶片62上具有一個與源極接觸區 塊64呈接觸狀態之接觸區塊68a。源極引線總成砧上的接觸 區塊68a藉由一導電黏合層69而被保持與晶片62上的源極 接觸區塊64接觸。三條源極引線68b從接觸區塊68a延伸， 木紙張尺度用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐）14 --------------------訂---------線 AW. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541
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因為接觸區塊68a比形成源極接觸區塊64之金屬化層 厚，因此接觸區塊68a提供較源極接觸區塊64少的分佈電 阻。所以，接觸區塊68a可以消除或減少橫跨源極接觸區塊 64正面之壓降，其係若在一諸如傳統接線接觸之小區塊接 觸被用來電氣接觸一部份的源極接觸區塊64的情況下可能 會產生。源極引線68b亦提供比傳統接線低的電阻，藉此大 大地縮小功率MOSFET封裝體60之封裝體電阻。 如同源極引線總成68般，一閘極引線總成70在晶片62 上具有一與閘極接觸區塊66呈接觸狀態的接觸區塊70a。閘 極引線總成70上的接觸區塊7〇a藉由一導電黏合層（未顯示) 而被保持與晶片62上的閘極接觸區塊66接觸。一閘極引線 7〇b從接觸區塊70a延伸，以提供與印刷電路板的電氣接 觸。相似地，一汲極引線總成72在晶片62的底面上具有一 與汲極接觸區塊相接觸的接觸區塊72a，及四條從接觸區塊 72a延伸的汲極引線72b，以提供與印刷電路板的電氣接 觸；及極引線總成72上的接觸區塊72a藉由一導電黏合層53 而被保持與晶片62上的汲極接觸區塊呈接觸狀態。 塑膠包封體74包封晶片62、引線總成68、7〇盘72之
本紙張尺度_巾@國家標準（CNS)；{4規格（21〇 x 297公髮） --------------------訂---------線 AW. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
A7 B7 接觸區塊68a、70a與72a、以及引線總成68、70與72之部分 的引線68b、70b與72b。包封體74提供將晶片62與外界電氣 與熱之隔離，以及給予功率MOSFET封裝體60結構支撐與 剛性。包封體74可以是任何諸如以環氧酚醛樹脂為主的模 製化合物之已知塑膠包封體。 不像功率MOSFET封裝體10與40般，功率MOSFET封 裝體60具有一個帶有與底部包封體表面74a齊平的底部表 面72c。汲極引線總成72全部的底部表面72c被暴露出來， 以提供連接至印刷線路板用之大電氣與熱接觸面積。 功率MOSFET封裝體60之製造在第5A至5D圖中被舉 例說明。首先，一引線框架條76由銅合金或其他金屬半剛 性250微米厚的薄板衝壓成形。引線框架條76包括源極引線 總成68與閘極引線總成70。引線框架條76亦包括一個連接 部分（未明確地顯示）’係將源極引線總成68與閘極引線總 成70固定在一起並提供引線框架條76之結構支撐。引線框 架條76之連接部分亦會將源極引線總成68與閘極引線總成 70連接至供數個其他可同時與功率M〇SFET封裝體ι〇二起 =製造的功率MOSFET封裝體用之源極與閘極引線總^ 參考第5·，-導電黏合層的分別在源極接觸區塊料 與功率MOSFET日日日片62之閘極接觸區塊66上被沉積。黏人 層69可以是例如填滿㈣環氧樹脂絲亞胺_ 架條76被壓到晶片62的頂部表面上，而引線框架㈣ 接觸區塊68a與70a分別與源極及閘極接觸區塊6植
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X * 1 --------------------訂-------！線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520541 A7 B7 五、發明說明p ) 準。 參考第5B圖，晶片62被翻轉，並且一第二黏合層73被 沉積在晶片62之底面上的汲極接觸區塊上。一第二預形成 的引線框架條78包括汲極引線總成72與一個接觸部分（未 顯示），其係可以將汲極引線總成72與數個其他功率 MOSFET封裝體之汲極引線總成連接。汲極引線總成72被 定以形狀，使得接觸區塊72a與汲極引線72b之底部表面是 平坦的。引線框架條78之接觸區塊72a逆著晶片62上的汲極 接觸區塊而被壓緊。晶片62接著再次被翻轉至第5B圖所示 之直立位置。黏合層69與73接著在固化處理烘箱中被固 化，假如必要的話。 被說明於前段中的晶粒相連步驟之替代步驟是將第二 黏合層73沉積在引線框架條78之接觸區塊72a上，而不是在 晶片62之底面上的 >及極接觸區塊上。晶片62接者逆者引線 框架條78被壓緊，而引線框架條78之接觸區塊72a與晶片62 上的汲極接觸區塊對準。黏合層69與73可以如前述般在固 化處理烘箱中被固化。此替換晶粒相連步驟省去在引線框 架條78相連前翻轉晶片62之需要。 在固化黏合層69與73之前，為了維持引線框架條76與 78之相對位置，引線框架條最好被以諸如熔接、夾持或焊 接之機械剛接的方式互相連結。此連結避免引線總成68、 70與72互相接觸，以及從源極至汲極或從閘極至汲極產生 短路。連結裝置在黏合層69與73被固化後的任何時間被移 除，最好是在下述整平與形成步驟之前或是在其期間。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）17 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（15 ) 參考弟5C圖’晶片62被置放在一模子中並且塑膠包封 體74在晶片62與部分的引線框架條76與78周圍被射出成 型。沒極引線總成7 2全部的表面為了在一印刷電路板上安 裝而被暴露。 參考第5D圖，引線框架條76被整平以移除引線框架條 的連接部分，藉此將源極引線68b與閘極引線7〇b分離，並 將源極和閘極引線68b及70b與任何其他被引線框架條76連 接的功率MOSFET封裝體之源極與閘極引線分離。並且， 引線框架條78被整平以移除引線框架條之連接部分。 源極與閘極68b與70b亦被形成呈海鷗式機翼形狀，以 便表面安裝在一印刷線路板上。引線68b與70b之端點被形 成，以便與汲極引線總成72共平面。上述整平與形成步驟 最好藉由可調整被引線框架條76與78連接之晶片的數目之 一次壓制機同時地執行。 在製造後，功率MOSFET封裝體60會在一印刷電路板 上被安裝，而源極、閘極68b與70b以及汲極引線總成72與 印刷線路板上對應的接觸區塊對準。一標準焊料回流程序 會被使用，以在功率MOSFET封裝體60與印刷電路板之間 提供堅固的結構與電氣接觸。 參考第6A與6B圖，一根據本發明所構製的第四功率 MOSFET封裝體80分別以頂視與橫截面顯示。功率 MOSFET封裝體80，像功率MOSFET封裝體10、40與60 — 般，具有一被公用接觸區塊驅動的功率MOSFET晶片82。 然而，因為不是所有在功率MOSFET晶片82上的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）18 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂"--------. 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明） MOSFETs被平行地連接，所以功率MOSFET晶片82與前述 的功率MOSFET晶片不同。而是，在功率m〇SFET晶片82 上的MOSFETs被分成兩個群組。m〇SFETs的第一群組在晶 片82的頂面上具有一被金屬化的公用源極接觸區塊84與一 被金屬化的閘極接觸區塊85。MOSFETs的第一群組亦具有 一公用汲極（未顯示），其係可在晶片12之底面上作為一金 屬化層。每個前述的金屬化層被以諸如鋁、鎳或銅的導電 金屬形成。 MOSFETs的苐一群組在晶片82的頂面上具有一被金 屬化的公用源極接觸區塊86與一被金屬化的閘極接觸區塊 87。MOSFETs的第二群組亦具有一公用汲極（未顯示），其 係被與MOSFETs的第一群組共享。因此，MOSFETs的兩個 群組有效地形成兩個經由公用汲極連接而被串聯地連接的 功率MOSFET元件。兩個MOSFET元件分別被兩個分離的 閘極控制。 一第一源極引線總成87在晶片82上具有一個與第一源 極接觸區塊84接觸的接觸區塊87a。源極引線總成87上的接 觸區塊87a藉由一導電黏合層89而被保持與晶片82上的源 極接觸區塊84接觸。兩條源極引線87b從晶片82各側上的接 觸區塊87a延伸，以提供與一印刷電路板之電氣接觸。 源極引線總成87上的接觸區塊87a維持與大部分的源 極接觸區塊84電氣接觸。接觸區塊87a及源極引線87b被以 具有厚度例如為2 5 0微米（大約〇 · 01英叶），諸如銅合金之金 屬薄板所形成。其他諸如|呂的導電金屬亦會被用作源極引 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐）19 ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 A7 _______ B7 五、發明說明Γ )線總成87。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
因為接觸區塊87a比形成源極接觸區塊84之金屬化層 厚，因此接觸區塊87a提供較源極接觸區塊84少的分佈電 阻。所以，接觸區塊87a可以消除或減少橫跨源極接觸區塊 84正面之壓降，其係若在一諸如傳統接線接觸之小區塊接 觸被用來電氣接觸一部份的源極接觸區塊84的情況下可能 會產生。源極引線87b亦提供比傳統接線低的電阻，藉此大 大地縮小功率MOSFET封裝體8〇之封裝體電阻。 如同源極引線總成87般，一閘極引線總成88在晶片82 上具有一與閘極接觸區塊86呈接觸狀態的接觸區塊88a。閘 極引線總成88上的接觸區塊88a藉由一導電黏合層（未顯示) 而被保持與晶片82上的閘極接觸區塊86接觸。兩條閘極引 線88b從晶片82之各側邊上的接觸區塊88a延伸，以提供與 印刷電路板的電氣接觸。 相似地，源極引線總成90與閘極引線總成91分別被連 接至源極與閘極接觸區塊86與87上。各個引線總成具有延 伸至另一側邊的引線。 塑膠包封體94包封晶片82以及部分的引線總成87、 88、90與91。包封體94提供將晶片82與外界電氣與熱之隔 離，以及給予功率MOSFET封裝體80結構支撐與剛性。包 封體9 4可以是任何諸如以環氧酚醛樹脂為主的模製化合物 之已知塑膠包封體。 功率MOSFET封裝體80之製造在第7八至％圖中被舉 例說明。首先，一引線框架條96由銅合金或其他金屬半
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------- —訂------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520541 A7 B7 五、發明說明ί8 ) 性、250微米厚的薄板衝壓成形。引線框架條96包括引線總 成87與90以及閘極引線總成88與91。引線框架條96亦包括 一個連接部分（未明確地顯示），係將前述的引線總成固定 在一起並提供引線框架條96用的結構支撐。引線框架條96 之連接部分亦會將引線總成87、88、90、91連接至供數個 其他功率MOSFET封裝體（未顯示）用之源極與閘極引線總 成上。 參考第7Α圖，一導電黏合層89各別在源極接觸區塊84 與功率MOSFET晶片82之源極接觸區塊86與閘極接觸區塊 85與87上被沉積。黏合層89可以是例如填滿銀的環氧樹脂 或聚亞胺糊劑。引線框架條96接著被壓到晶片82的頂部表 面上，而引線總成87、88、90與91之接觸區塊與它們分別 的源極與閘極接觸區塊對準。黏合層8 9接著在一固化處理 烘箱中被固化，若需要的話。 參考第7B圖，晶片82被置放在一模子中並且塑膠包封 體94在晶片82與部分的引線框架條96周圍被射出成型。參 考第7C圖，引線框架條96被整平以移除引線框架條的連接 部分，藉此將引線總成87、88、90以及91相互分離並與任 何其他被引線框架條96連接的功率MOSFET封裝體之源極 與閘極引線分離。 源極與閘極87b、88b、90b與9lb亦被形成呈海鷗式機 翼形狀，以便表面安裝在一印刷線路板上。上述整平與形 成步驟最好藉由一可調整被引線框架條96連接之晶片的數 目之一次壓制機同時地執行。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）21 --------------------訂—'·-----線#· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明說明θ ) 在製造後，功率MOSFET封裝體80會被安裝在一印刷 電路板上，而源極與閘極引線87b、88b、90b與9 lb與印刷 線路板上對應的接觸區塊對準。一標準焊料回流程序會被 使用，以在功率MOSFET封裝體80與印刷電路板之間提供 堅固的結構與電氣接觸。 參考第8A與8B圖，一根據本發明所構製的第四功率 MOSFET封裝體100分別以頂視與橫截面顯示。功率 MOSFET封裝體100在設計上與功率MOSFET封裝體80相 似，因此將不被詳細地說明。 一個在功率MOSFET封裝體100與功率MOSFET封裝 體80間的差異是源極與閘極接觸區塊（未顯示）是位於功率 MOSFET晶片102的底面。因此’源極與閘極引線總成1 〇3 被連接至晶片102的底面上。 在功率MOSFET封裝體100與功率MOSFET封裝體80 間的另一個差異是功率MOSFET封裝體1〇〇的包封體104包 圍大部分的源極與閘極引線總成103，而形成無引線晶片載 體型的封裝體。 在功率MOSFET封裝體100與功率MOSFET封裝體80 間的又一差異是源極與閘極引線總成1 〇3各被對半分離。因 此’各個引線總成包含兩個分離的接觸區塊，而各個接觸 區塊具有一條自該引線總成延伸的引線。兩個在一引線總 成103上的接觸區塊接觸一單一、連續的金屬化層，其係在 晶片102之底面上形成源極或閘極接觸區塊。功率MOSFET 封裝體100此後者的特徵亦可以被實現成一諸如功率 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公爱）22 ------Φ------- 丨訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
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、發明說明？G MOSFET封裝體80的組構狀態，其中源極與閘極接觸區塊 位於功率MOSFET晶片82之頂面上。 在此說明的各種實施例具有數個優於傳統引線或引線 1C封衮體的優點。首先，在此所述的封裝體具有來自於封 裝體的低電阻之貢獻，因為引線具有較傳統接線低的電 阻，且因為引線跨越大部分分別的接觸表面產生接觸，有 效地細減接觸表面。 第二，在此所述的封裝體具有從晶片的底面至印刷電 路板之良好的熱傳遞，而能夠使晶片頂面冷卻，在此大部 分的熱被產生。良好的熱傳遞藉由在引線與晶片之間良好 的熱接觸以及引線的低熱變電阻而能夠被進行。 第三，在此所述的封裝體一般使用具有比晶片本身小 的接觸區塊之引線框架。這是與傳統㈣封裝體相反，其 中晶片被接合至一具有較晶片大的表面積之晶粒墊上。在 此所述的引線框架之較小的尺寸准許_個供m片尺 寸用之較小的封裳體大小，藉此能夠更有效地利用可在一 印刷電路板或其他晶片環境上則之有限的表面積。立他 優點對於熟⑽封裝體製造與執行技藝者將會是顯而易見 的。 雖然本發明及其優點已經被詳細地說明，應該被了解 ⑽’各種改變、替代與變換可以被進行，而不背離如附 王申請專利範圍所定義之發明精神與範圍。 --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 . 297公复）23 520541 A7 B7 五、發明說明（21 ) 元件標號對照表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 10 功率MOSFET封裝體 12 功率MOSFET晶片 14 源極接觸區塊 16 閘極接觸區塊 18 源極引線總成 18a 接觸區塊 18b源極引線 19 導電黏合層 20 閘極引線總成 20a 接觸區塊 20b閘極引線 22 沒極引線總成 22a接觸區塊 22b 汲極引線 23 導電黏合層 24 塑膠包封體 26 第一引線框架條 32 第二預形成的引線框架條 40 第二功率MOSFET封裝體 42 功率MOSFET晶片 44 源極接觸區塊 46 閘極接觸區塊 48 源極引線總成 48a 接觸區塊 48b源極引線 49 導電黏合層 50 閘極引線總成 50a 接觸區塊 50b閘極引線 52 沒極引線總成 53 導電黏合層 54 塑膠包封體 54a底部封裝體表面 60 第三功率MOSFET封裝體 62 功率MOSFET晶片 64 源極接觸區塊 66 閘極接觸區塊 68 源極引線總成 6 8 a接觸區塊 68b 源極引線 69 導電黏合層 70 閘極引線總成 70a接觸區塊 70b 閘極引線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）24 520541 A7 _B7 五、發明說明P ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 72 汲極引線總成 72a 接觸區塊 72b汲極引線 72c 底部表面 73 第二黏合層 74 塑膠包封體 74a底部包封體表面 76 引線框架條 78 第二預形成的引線框架條 80 第四功率MOSFET封裝體 82 功率MOSFET晶片 84 公用源極接觸區塊 85 閘極接觸區塊 86 公用源極接觸區塊 87 閘極接觸區塊 87a 接觸區塊 87b源極引線 88 閘極引線總成 8 8 a接觸區塊 88b 閘極引線 89 導電黏合層 90 源極引線總成 91 閘極引線總成 94 塑膠包封體 96 引線框架條 100 第四功率MOSFET封裝體 102功率MOSFET晶片 103 源極與閘極引線總成 104包封體 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）25

Claims (1)

  1. W0541 yL /'、申請專利範圍 第88108784號專利申請案申請專利範圍修正本 90年4月 修正曰期 1· 一種半導體元件，其包含： 一半導體晶粒，其係具有頂部與底部表面，該半 V體阳粒在该頂部與底部表面之被選擇的一者上具有 多數個接觸區塊； 一第一半剛性引線總成，其係具有一個連結至該 半導體晶粒之該等接觸區塊之第一者上的引線總成接 點，該第一引線總成進一步具有至少一條連接至該引 線總成接點之引線； 一第二半剛性引線總成，其係具有一個被連結至 該半導體晶粒之該等接觸區塊的第二者上的引線總成 接點，該第二引線總成係進步具有至少一條被連接至 該引線總成接點上的引線；及 線 一包封體，其係包圍該半導體晶粒、該第一引線 總成之该引線總成接點、及該第二引線總成之該引線 總成接點。 2·如申請專利範圍第1項之半導體元件，其係進一步包含一 弟二半剛性引線總成，該總成係具有一個被連結至該 半導體晶粒之一第三接觸區塊上的引線總成接點，該 第三接觸區塊係相對於該具有該第一與第二接觸區塊 之表面而被設置在該半導體晶粒之該表面上。 3 ·如申請專利範圍第2項之半導體元件，其中該包封體包封 26:- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 520541 A8 Βδ C8
    申明專利範圍 一由導電材料之半剛性薄板所形成的第二引線總 成，忒第一引線總成具有一個被連結至該半導體晶片 之該等接觸區塊的第二者上的引線總成接點，該第二 引線總成係進步具有至少一條被連接至該引線總成接 點並從該引線總成接點延伸的引線；及 一包封體，其係包圍該半導體晶片、該第一引線 總成之該引線總成接點、及慧第二引線總成之引線總 成接點。 9·如申請專利範圍第8項之半導進—步包含—具 有-個被連接至該半導體晶粒\之_三接觸區塊之引 線總成接點之第三半剛性引線總成，該第三接觸區塊 係相對於該具有該等第一與第二接觸區塊之表面而被 設置在該半導體晶粒之該表面上。 10‘如申請專利範圍第9項之半導體讀，其中該包封體包 封-部分的該第三引線總成，_暴露該第三引線總 成之该引線總成接點之一底部表 11.如申請專利範圍第8項之半導體囊气#中該等第一與 第二引線總成分別的接觸區塊各具有一個比該半導體 晶片之一表面積更小的表面積。 12·如申請專利範圍第8項之半導體 層將該第-引線總成之該引線場點連結至該半導 體晶粒之該第一接觸區塊上的黏。 η.如申請專利範圍第8項之半導體_,|中該半導體晶 粒之該等第-與第二接觸區塊在該半導體晶粒之底部 ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
    係進一步包含 -28 - 經濟部智慧財I Ια作社印制、
    又面上被形成，並且其中該包封體包封該等第一與第 一引線總成之各引線的一部分，以便形成一個無引線 的晶片載體封裝體。 14. 一種用以組裝一半導體元件之方法，係包含： 相對於一半導體晶粒而設置一具有第一與第二接 觸區塊之半剛性引線框架條，以將該引線框架條之該 等第一與第二接觸區塊分別與該半導體晶粒之第一與 弟一接觸區塊對準； 將該引線框架條連結至該半導體晶粒上，以分別 在該引線框架條之該等第一與第二接觸區塊之間，以 及在該半導體晶粒之該等第一與第二接觸區塊之間產 生電氣接觸；及 將該半導體晶粒與該引線框架條之該等第一與第 -接觸區塊包封在-個電氣絕緣的包封體中。 15. 如申請專利範圍第14項之方法，其中將該引線框架條連 結至料導體晶粒之步驟包含將導電黏合劑沉積在一 半導體晶粒之一第一表面上 上。 J弟興弟一接觸區塊 16·如申請專利範圍第14項之方法，其係進-步包含以一導 電材料之半剛性薄板形成該引線框架條。 17.如申請專利範圍第14項之方法，其係進—步 線框架條上整平數條引線以移除連接材料。 - 18·如申請專利範圍第14項之方法，其係進-步包含將該等 引線形成成一個被選擇的形 " 供在一印刷電路板 本紙㉛標準(cns)A4規袼 -------------餐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - - 訂---------線.
    安裝之用。 19. 20. 如申請專利範圍第14項之方法，係進一步包含在一印刷 電路板上安裝該半導體元件之步驟。 如申請專利範圍第14項之方法，係進一步包含： 相對於該半導體晶粒而設置一個具有一接觸區塊 之第一引線框架條，以將該第二引線框架條之該接觸 區塊與一個在半導體晶粒之一第二表面上的接觸區塊 對準；及 將該第二引線框架條應用至該半導體晶粒上，以 在该第二引線框架條之該接觸區塊與該半導體晶粒之 該第二表面上的接觸區塊之間產生電氣接觸。 21· —種功率MOSFET積體電路晶片封裝體，係包含： 一具有頂部與底部表面之半導體晶粒，該半導體 晶粒係在該等頂部與底部表面之被選擇的一者上具有 複數個接觸區塊，該半導體晶粒係進一步具有複數個 功率MOSFETs形成於其上，以便在該等頂部與底部表 面之間傳導電流； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印別衣 一第一半剛性引線總成，係具有一個被連結至該 半導體晶粒之該等接觸區塊之第一者上的引線總成接 點，該第一引線總成進一步具有至少一條被連接至該 引線總成接點上的引線； 一第二半剛性引線總成’係具有一個被連結至該 半導體晶粒之該等接觸區塊的第二者上的引線總成接 點，該第二引線總成係進步具有至少一條被連接至該 ^20541 經濟部智慧財產局員工消費合作社印剩π AS B8 C8 --—--— _^________ 、申請專利範圍 引線總成接點上的引線；及 一包封體，其係包圍該半導體晶粒、該第一引線 、、心成之忒引線總成接點、及該第二引線總成之引線總 成接點。 22.如申請專利範圍第21項之功率MOSFET積體電路晶片 封裝體，其係進一步包含一第三半剛性引線總成，係 具有一個被連結至該半導體晶粒之一第三接觸區塊上 的引線總成接點，該第三接觸區塊係相對具有該等第 一與第二接觸區塊之該表面而被設置在該半導體晶粒 之該表面上。 23·如申請專利範圍第22項之功率MOSFET積體電路晶片 封裝體，其中該包封體包封一部分的該第三引線總 成’以便暴露該第三引線總成之該引線總成接點之一 底部表面。 24·如申請專利範圍第22項之功率MOSFET積體電路晶片 封裝體，其中該第三引線總成進一步包含至少一條被 連接至該第三引線總成之該引線總成接點上的引線。 25·如申請專利範圍第21項之功率MOSFET積體電路晶片 封裝體，係進一步包含一層將該第一引線總成之該引 線總成接點連結至該半導體晶粒之該第一接觸區塊上 的黏合層。 26·如申請專利範圍第21項之功率MOSFET積體電路晶片 封裝體，其中該第一引線總成的引線是呈海鷗式機翼 形。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -31- ---I I I I-----· — 1----―訂-----I I I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520541 A8 B8 C8 --—D8 六、申請專利範圍 27·如申請專利範圍第21項之功率MOSFET積體電路晶片 封裝體，其中該半導體晶粒之該等第一與第二接觸區 塊在該半導體晶粒之底部表面上被形成，並且其甲該 包封體包封该4弟一與苐二引線總成之各引線的一部 分，以便形成一個無引線的晶片載體封裝體。 28· —種MOSFET封裝體，其係包含： 一具有兩群組MOSFET之半導體晶粒，一第一群 組之該MOSFET在該晶粒上之一第一側具有一第一主 要端子及一第一閘極端子，一第二群組之該^1〇81^11 在该晶粒上之該第一侧具有一第二主要端子及一第二 閘極端子，該第一及第二主要端子對彼此係電氣分離 的，該二群組之MOSFET共用一在該晶粒之一第二側 之第三主要端子； 一包圍該晶粒之塑膠套膜， 一第一半剛性引線總成，該第一引線總成與該第 一主要端子接觸，且具有從該套膜之對側突出之相對 引線， 、 第一半剛性引線總成，該第二引線總成與該第 一主要端子接觸，且具有從該套膜之對側突出之相 引線， t 一第三半剛性引線總成，該第三引線總成與該第 閘極端子接觸，且具有從該套膜之對側突出之相 引線。 t 29·如申請專利範圍第μ項之M〇SFET封裝體，其係進—牛 本紙張尺錢财_ ^?7^4雜⑵Gx 297公爱 -32- --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
    、申請專利範圍 匕έ第四半剛性引線總成，該第四半剛性引線總成 一忒第一閘極端子接觸，且具有從該套膜之對侧突出 之相對引線。 •如申明專利範圍第28項之MOSFET封裝體，其中第一及 第二主要端子是源極端子，且第三端子是汲極端子。 3 1 ·如申請專利範圍第28項之M〇SFET封裝體，其中該晶粒 之該第一侧是一頂側，且該該晶粒之第二側是依底侧。 32·如申請專利範圍第28項之M〇SFET封裝體，其中該引線 之個別端在實質上是與該套膜之底部共一平面。 33.如申請專利範圍第28項之MOSFET封裝體，其中該引線 是圍著該晶粒的中軸呈對稱狀。 --------^---------^ AW. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 -33. 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 520541 4/8
    72b 72 72b
    第4B圖
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