KR20000005823A - 리드와직접접속된집적회로칩패키지 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 개량된 반도체 장치에 관한 것으로, 한 실시예에서 반도체 장치는 상부 또는 바닥 표면상에 접촉 영역을 가지는 반도체 칩을 포함하고, 전도성 물질의 반강체 시트(semi-rigid sheet)로부터 형성된 제 1 리드 조립체는 반도체 칩의 접촉 영역의 하나에 부착되는 리드 조립체 접촉을 가지고, 또한 리드 조립체 접촉으로부터 접속되고 확장된 적어도 하나의 리드를 가지고, 제 2 리드 조립체도 또한 전도성 물질의 반강체시트로부터 형성되고, 반도체 칩의 접촉 영역의 또다른 하나에 부착된 리드 조립체 접촉을 가지고, 또한 리드 조립체 접촉으로부터 접속되고 확장된 적어도 하나의 리드를 가지고, 엔캡슐런트는 반도체 칩, 제 1 리드 조립체의 리드 조립체 접촉 및 제 2 리드 조립체의 리드 조립체 접촉을 둘러싸고, 반도체 장치는 칩에 리드 조립체의 직접 접속때문에 패키지로부터 낮은 전기적 및 열적 저항 기여를 가지고 리드된 패키지 또는 리드가 없는 칩 캐리어 패키지로 형성될 수 있는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 반도체 장치, 특히 리드와 직접 접속된 집적 회로(IC) 칩 패키지에 관한 것이다.
파워 반도체 분야에 있어서, 특히 파워 MOSFET의 분야에서 생산품의 성능은 고전류에서의 이상적인 스위치로써 작용하는 생산품의 능력에 의해 결정된다. 성능은 따라서 오프 상태에서 거의 무한 저항을, 온 상태에서 거의 제로 저항을 제공하는 생산품의 능력에 의존한다.
파워 MOSFET 기술에서의 최근의 진보는 파워 MOSFET 장치의 반도체 성분의 온 상태 저항을 상당히 감소하였고, 접촉 금속화 저항과 패키지 저항이 온 상태 저항에서 장치의 중요한 부분을 만들어왔다. 그러므로, 온 상태 저항에서의 또다른 상당한 감소를 달성하기 위하여, 금속화 및 패키지 저항은 감소될 것이다.
게다가, 파워 MOSFET 장치에서의 저항은 고성능을 유지하기 위해 제거될 열을 발생한다. 파워 MOSFET 장치의 냉각은 기본적으로 전류 장치의 배열에 의해 제한된다. 수직 파워 MOSFET 장치에서도, 파워 MOSFET 장치에서 발생된 열의 대부분은 반도체 금형의 상부 10 마이크론에서 발생된다. 왜냐하면 세라믹 패키징과 같은 열적으로 전도성의 패키징은 비싸기 때문에, 플라스틱과 같은 열적으로 절연성의 패키징 물질이 전형적으로 사용된다. 따라서, 냉각 표면을 달성하기 위하여, 주형의 상부 표면 근처에 발생된 열은 열의 제한된 양만을 전도할 수 있는 결합 와이어와 리드를 통하여 이동하고, 또는 주형의 뒷측에 반도체를 통하여 전도될 수 있다. 실리콘의 열전도성이 상당히 변화될 수 있기 때문에, 열 제거에서의 상당한 진전은 장치 배열이 주형의 상부측으로부터 열전달이 더 좋게 하는 것을 요구한다.
본 발명의 기술적인 이점은 반도체 장치가 패키지로부터 낮은 전기적 및 열적 저항 기여를 가지는 것이다. 본 발명의 또하나의 기술적인 이점은 칩 자체보다 더 작은 칩 접촉 영역을 가지는 리드 프레임이 사용되고, 그것에 의해 제한된 표면 영역의 더 작은 패키지 크기와 더 효율적인 활용이 프린트된 회로판상에 쓸 수 있는 것이 가능하다. 그러나 또하나의 기술적인 이점은 반도체 장치가 리드된 패키지 또는 리드가 없는 칩 운반 패키지로써 형성될 수도 있다는 것이다.
본 발명의 더 완전한 이해와 또다른 특징과 이점을 위하여, 수반하는 도면과 함께 다음의 설명에 의해 참고된다:
도 1a 은 본 발명의 한 실시예에 따라 구성되는 제 1 파워 MOSFET 패키지의 상부도;
도 1b 는 제 1 파워 MOSFET 패키지의 횡단면도;
도 2a - 도 2d 는 조립의 여러 단계에서 제 1 파워 MOSFET의 횡단면도;
도 3a 는 본 발명의 한 실시예에 따라 구성되는 제 2 파워 MOSFET 패키지의 상부도;
도 3b 는 제 2 파워 MOSFET 패키지의 횡단면도;
도 4a 는 본 발명의 한 실시예에 따라 구성되는 제 3 파워 MOSFET 패키지의 상부도;
도 4b 는 제 3 파워 MOSFET 패키지의 횡단면도;
도 5a - 도 5d 는 조립의 여러 단계에서 제 3 파워 MOSFET의 횡단면도;
도 6a 는 본 발명의 한 실시예에 따라 구성되는 제 4 파워 MOSFET 패키지의상부도;
도 6b 는 제 4 파워 MOSFET 패키지의 횡단면도;
도 7a - 도 7c 는 조립의 여러 단계에서 제 4 파워 MOSFET의 횡단면도;
도 8a 는 본 발명의 한 실시예에 따라 구성되는 제 5 파워 MOSFET 패키지의 상부도;
도 8b 는 제 5 파워 MOSFET 패키지의 횡단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예와 이점은 도 1a에서 도 8b에 관련하여 가장 잘 이해될 것이다. 여러 도면의 동일하고 대응하는 부분은 같은 번호로 사용되었다.
도 1a 및 도 1b에 대해, 본 발명에 따라 구성된 파워 MOSFET 패키지(10)가 각각 상부도 및 횡단면도를 나타낸다. 파워 MOSFET 패키지(10)에 있어서, 파워 MOSFET 칩 또는 금형(12)은 일반 접촉 영역에 의해 전원이 공급되는 수직 MOSFET(나타내지 않은)의 배열을 가진다. 파워 MOSFET 칩(12)은 아마도, 예를 들어, 참조에 의해 여기서 구체화된 1997년 9월 9일에 Richard K. Williams과 Mohammad Kasem에 의해 발행된 "분배된 저항을 줄이기 위한 두꺼운 금속층을 가지는 수직 파워 MOSFET"(Vertical Power MOSFET Having Thick Metal Layer to Reduce Distributed Resistance)의 제목을 가진 미국 특허 제5,665,996호에 따라 조립될 것이다. 칩(12)은 선택적으로 어떤 반도체 집적 회로 칩이라도 될 수 있다.
칩(12)의 상부측상에 소스 접촉 영역(14)과 게이트 접촉 영역(16)은 각각 알루미늄, 니켈 또는 구리와 같은 전도성 금속으로부터 형성되는 금속층으로 덮혀진다. 그와 같이, 칩의 바닥측상의 드레인 접촉 영역(나타내지 않은)은 금속층으로 덮혀진다.
소스 리드 조립체(18)는 칩(12)상에 소스 접촉 영역과 접촉하는 접촉 영역(18a)을 가진다. 소스 리드 조립체상에 접촉 영역(18a)은 전기적으로 전도성 부착층(19)에 의해 칩(12)상에 소스 접촉 영역과 접촉하여 유지된다. 세개의 소스 리드(18b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(18a)에서 확장한다.
리드 조립체(18)는 예를 들어, 250 마이크론(대략 0.01 인치) 두께를 가진 구리 합금과 같은 금속의 시트로부터 형성된다. 여기서 설명된 다른 리드 조립체와 같은 리드 조립체(18)는 대개 5-50 밀스(mils)의 두께를 가진다. 알루미늄과 같은 다른 전기적으로 전도성 금속은 또한 소스 리드 조립체(18)에 사용될 수 있다.
소스 리드 조립체(18)상에 접촉 영역(18a)은 소스 접촉 영역(14)의 큰 부분에 전기적인 접촉을 유지한다. 접촉 영역(18a)은 소스 접촉 영역(14)을 형성하는 금속화층보다 두껍기 때문에, 접촉 영역(18a)은 소스 접촉 영역(14)보다 적은 분산 저항을 제공한다. 접촉 영역(18a)은 만일 종래의 결합 와이어 접촉과 같은 작은 영역 접촉이 소스 접촉 영역(14)의 일부를 전기적으로 접촉하기 위해 사용된다면 그렇지 않은 경우에 일어나게 될 소스 접촉 영역(14)의 페이스를 지나는 전압 강하는 제거되거나 감소될 것이다. 소스 리드 (18b)는 또한 종래의 결합 와이어보다 전기적인 저항이 더 낮아서 파위 MOSFET 패키지(10)의 패키지 저항을 상당히 감소시킨다.
소스 리드 조립체(18)와 같이, 게이트 리드 조립체(20)는 칩(12)상에 게이트 접촉 영역(16)과 접촉하는 접촉 영역(20a)을 가진다. 게이트 리드 조립체상에 접촉 영역(20a)은 전기적으로 전도성 접착층(19)에 의한 칩(12)상에 게이트 접촉 영역(16)과 접촉하여 유지된다. 게이트 접촉 영역(16)에 대해 게이트 리드 조립체(20)를 보호하는 접착층(19)의 일부는 물론 칩(12)상에 소스 접촉 영역에 대해 소소 리드 조립체를 보호하는 접착층(19)의 일부(와 접촉하고 있지 않은 것)로부터 분리한다. 하나의 게이트 리드(20b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(20a)으로부터 확장된다.
유사하게, 드레인 리드 조립체(22)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 칩(12)의 바닥측과 접촉 영역(22a)으로부터 확장한 네개의 드레인 리드(22b상에 드레인 접촉 영역과 접촉하는 접촉영역(22a)을 가진다. 드레인 리드 조립체(22)상에 접촉 영역(22a)은 전기적으로 전도성 접착층(23)에 의해 칩(12)상에 드레인 접촉 영역에 접촉하여 유지된다.
플라스틱 엔캡슐런트(24)는 칩(12), 리드 조립체(18), (20), (22)의 접촉 영역(18a), (20a) 및 (22a), 리드 (18b)와 (20b) 및 (22b)의 일부를 둘러 싼다. 엔캡슐런트(24)는 파워 MOSFET 패키지(10)에 구조적인 지지와 견고함을 줄뿐만아니라 외부 세계로부터 칩(12)의 전기적 및 열적 절연을 제공한다. 엔캡슐런트(24)는 에폭시 노보락-베이스드 성형 화합물과 같은 알려진 엔캡슐런트가 될 수 있다.
파워 MOSFET 패키지(10)의 조립을 설명하기 위하여, 도 2a에서 도 2D는 조립의 여러 단계에서 파워 MOSFET 패키지(10)의 횡단면도를 나타낸다. 첫번째로 파워 MOSFET 칩(12)은 반도체 웨이퍼로부터 패턴되고 잘려진다. 제 1 리드 프레임 스트립(26)은 구리 합금 또는 다른 금속의 250 마이크론 두께의 반강체으로부터 인쇄된다. 리드 프레임 스트립(26)은 소스 리드 조립체(18)와 게이트 리드 조립체(20)를 포함한다. 리드 프레임 스트립(26)은 또한 소스 리드 조립체(18)와 게이트 리드 조립체(20)를 함께 유지하는 연결 부분(명확하게 나타내지 않은)을 포함하고 리드 프레임 스트립(26)을 지지하는 구조적인 지지를 제공한다. 리드 프레임스트립(26)의 연결 부분은 또한 소스 리드 조립체(18)와 게이트 리드 조립체(20)를 파워 MOSFET 패키지(10)과 동세에 조립될 수 있는 몇가지의 다른 파워 MOSFET 패키지(나타내지 않은)를 위한 소스 및 게이트 리드 조립체에 접속된다.
도 2a에 관하여, 전기적으로 전도성 접착제(19)는 소스 접촉 영역(14)과 파워 MOSFET 칩(12)의 게이트 접촉 영역(16)상에 분리하여 침전된다. 여기서 설명된 접착층(19)과 다른 접착층은 예를 들어, 실버필드 에폭시(silver-filled epoxy) 또는 폴리이미드 페이스트(polyimide paste)가 될 수 있다. 선택적으로, 접착층(19)은 솔더 범프(solder bumps) 또는 다른 전기적으로 전도성인 접착 물질의 일련을 구비할 것이다. 리드 프레임 스트립(26)은 그 다음에 각각 소스 및 게이트 접촉 영역(14)과 (16)에 정열된 리드 프레임 스트립(26)상에 접촉 영역(18a)과 (20a)을 가지는 칩(12)의 상부 표면위에 눌려진다.
도 2b에 대하여, 칩(12)은 인버트되고 제 2 접착층(23)은 칩(12)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역상에 침전된다. 제 2 의 먼저 형성된 리드 프레임 스트립(32)은 드레인 리드 조립체(22)와 몇가지 다른 파워 MOSFET 패키지의 드레인 리드 조립체를 가지는 드레인 리드 조립체(22)를 접속하는 접속 부분(나타내지 않은)을 포함한다. 리드 프레임 스트립(32)의 접촉 영역(22a)은 칩(12)상에 드레인 접촉 영역에 대하여 눌려진다. 리드 프레임 스트립(32)은 리드 프레임 스트립(26)의 소스 및 게이트 리드 (18a)와 (20b)를 가지는 초기에 대략 동일 평면상에 있는 드레인 리드(22b)와 같은 모양이다. 칩(12)은 그 다음에 도 2b에 나타낸 위쪽 위치에 대해 한번 더 인버트된다. 접착층(19)과 (23)은 그 다음에 필요하다면 경화 오븐에서 경화된다.
앞 단락에서 설명된 금형 부착 단계에 대한 대안은 칩(12)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역보다 리드 프레임 스트립(32)의 접촉 영역(22a)상에 제 2 접착층(23)에 침전하는 것이다. 칩(12)은 그 다음에 칩(12)상에 드레인 접촉 영역에 정열된 리드 프레임 스트립(32)의 접촉 영역(22a)을 가지는 리드 프레임 스트립(32)에 대하여 눌려진다. 접착층(19)과 (23)은 그 다음에 앞에 설명된 바와 같은 경화 오븐에서 경화된다. 이 선택적인 금형 부착 단계는 금형 부착보다 앞서 칩(12)을 인버트할 필요를 제거한다.
접착층(19)과 (23)의 경화에 앞서, 리드 프레임 스트립(26)과 (32)의 상대적인 위치를 유지하기 위하여, 리드 프레임 스트립은 대개 서로를 용접(welding), 꺽쇠이음(clamping), 땜납(soldering)과 같은 역학적으로 견고한 방법으로 부착되어진다. 이 부착은 리드 조립체(18), (20), (22)가 서로 접촉하는 것과 소스에서 드레인까지 또는 게이트에서 드레인까지의 단락이 생기는 것을 방지한다. 이 부착 수단은 접착층(19)과 (23)이 경화된 후, 하기에 서술된 조정 및 형성 단계 동안에 또는 대개 전의 시간에 제거될 수 있다.
도 2C에 관하여, 칩(12)은 주형안에 놓여지고 플라스틱 엔캡슐런트(24)는 칩(12)과 리드 프레임 스트립(26)과 (32)의 일부 주위에 사출 성형된다. 도 2D 에 관하여, 리드 프레임 스트립(26)은 리드 프레임 스트립의 접속 부분을 제거하기 위해 조정되어서 게이트 리드(20b)로부터 소스 리드(18b)를 분리하고, 리드 프레임 스트립(26)에 의해 접속된 다른 파워 MOSFET 패키지의 소스 및 게이트 리드로부터소스 및 게이트 리드, (18b)와 (20b)를 분리한다. 그와 같이, 리드 프레임 스트립(32)은 리드 프레임 스트립의 접속 부분을 제거하기 위해 조정된다.
소스, 게이트 및 드레인 리드 (18b), (20b) 및 (22b)는 또한 프린트된 회로판상에 표면 주조를 위하여 갈매기 날개 모양으로 형성된다. 상기 언급한 조정 밍 형성 단계는 대개 리드 프레임 스트립(26)과 (32)에 의해 접속된 칩의 갯수를 수용할 수 있는 단 프레스에 의해 동시에 수행된다.
조립 후, 파워 MOSFET 패키지(10)는 회로판상에 대응하는 접촉 영역으로 정열된 소스, 게이트 및 드레인 리드 (18b), (20b) 및 (22b)를 프린트된 회로판상에 주조될 수 있다. 표준 납땜 역류 프로세스는 파워 MOSFET 패키지(10)와 프린트된 회로판 사이에 견고한 구조적이고 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 사용되어질 수 있다.
앞서 말한 바와 같이, 파워 MOSFET 패키지(10)의 소스, 게이트 및 드레인 (18b), (20b) 및 (22b)은 프린트된 회로판과 파워 MOSFET 칩(12) 사이에 낮은 전기적인 저항을 제공한다. 리드(18b)와 (20b)는 또한 프린트된 회로판과 파워 MOSFET 칩(12)의 상부측 사이에 종래의 와이어 결합과는 다른 낮은 열적 저항을 제공한다. 리드(18b)와 (20b)는 그러므로 파워 MOSFET 패키지(10)에서 발생되는 열의 대부분이 있는 파워 MOSFET 칩(12)의 상부측에 냉각 파워를 제공하기 위하여 냉각된다.
도 3a 와 3b 에 관하여, 본 발명에 따라 구성된 제 2 파워 MOSFET 패키지(40)를 각각 상부도와 횡단면도로 나타낸다. 파워 MOSFET 패키지(10)과 같이 파워 MOSFET 패키지(40)는 일반 접촉 영역에 의해 전원이 공급되는 파워 MOSFET칩(42)을 가진다. 칩(42)의 상부측상에 소스 접촉 영역(44)와 게이트 접촉 영역(46)은 각각 알루미늄, 니켈 또는 구리와 같은 전도성 금속으로부터 형성되는 금속화층으로 덮혀진다. 그와 같이, 칩(42)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역(나타내지 않은)은 금속화층으로 덮혀진다.
소스 리드 조립체(48)는 칩(42)상에 소스 접촉 영역(44)와 접촉하는 접촉 영역(48a)을 가진다. 소스 리드 조립체(48)상에 접촉 영역(48a)은 전기적으로 전도성 접착층(49)에 의해 칩(42)상에 소스 접촉 영역(44)과 접촉이 유지된다. 세개의 소스 리드(48b)는 프린트된 회로판과 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(48a)로부터 확장된다.
소스 리드 조립체(48)상에 접촉 영역(48a)은 소스 접촉 영역(44)의 대부분과 전기적인 접촉을 유지한다. 접촉 영역(48a)과 소스 리드(48b)는 예를 들어 250마이크론(대략 0.01인치)의 두께를 가지는 구리 합금과 같은 금속의 시트로부터 형성된다. 알루미늄과 같은 다른 전기적으로 전도성 금속은 소스 리드 조립체(48)에 또한 사용되어질 수 있다.
접촉 영역(48a)은 소스 접촉 영역(44)를 형성하는 금속화층보다 더 두껍기 때문에, 접촉 영역(48a)은 소스 접촉 영역(44)보다 더 적은 분산된 저항을 제공한다. 접촉 영역(48a)은 그러므로 종래의 결합 와이어 접촉과 같은 작은 영역 접촉이 소스 접촉 영역(44)의 일부를 전기적으로 접촉하기 위하여 사용되는 경우에 일어나는 것을 제외하고 일어날 수 있는 소스 접촉 영역(44)의 패이스를 지나는 전압 강하를 제거되거나 감소될 수 있다. 소스 리드(48b)는 또한 종래의 결합 와이어보다 낮은 전기적인 저항을 제공하므로 파워 MOSFET 패키지(40)의 패키지 저항을 상당히 감소시킨다.
소스 리드 조립체(48)과 같이, 게이트 리드 조립체(50)는 칩(42)상에 게이트 접촉 영역과 접촉하는 접촉 영역(50a)을 가진다. 게이트 리드 조립체(50)상에 접촉 영역(50a)은 전기적으로 전도성 접착층(나타내지 않은)에 의해 칩(42)상에 게이트 접촉 영역(46)과 접촉이 유지된다. 하나의 게이트 리드(50b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(50a)으로부터 확장된다. 유사하게, 드레인 리드 조립체(52)는 칩(42)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역과 접촉하는 접촉 영역(52a)를 가지고 네 개의 드레인 리드(52b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(52a)으로부터 확장된다. 드레인 리드 조립체(52)상에 접촉 영역(52a)은 전기적으로 전도성 접착층(53)에 의해 칩(42)상에 드레인 접촉 영역과 접촉이 유지된다.
플라스틱 엔캡슐런트(54)는 칩(42), 리드 조립체(48), (50), (52)의 접촉 영역(48a), (50a), (52a), 리드 조립체(48), (50), (52)의 리드 일부(48b), (50b), (52b)를 둘러싼다. 엔캡슐런트(54)는 파워 MOSFET 패키지(40)에 구조적인 지지와 견고함을 줄뿐만아니라 외부 세계로부터 칩(42)의 전기적이고 열적 절연을 제공한다. 엔캡슐런트(54)는 에폭시 노보락에 기초한 성형 화합물과 같은 알려진 플라스틱 엔캡슐런트가 될 수 있다. 엔캡슐런트(54)는 패키지의 리드가 없는 칩 캐리어 타입을 형성하는 리드(48b), (50b), (52b)의 대부분을 둘러싼다.
파워 MOSFET 패키지(10)과 달리 파워 MOSFET 패키지(40)는 리드드(48b),(50b), (52b)를 거의 완전히 둘러싸는 엔캡슐런트(54)를 가진다. 파워 MOSFET 패키지(40)는 그러므로 리드(48b), (50b), (52b)의 표면 주조 접촉 영역이 넘치는 바닥 엔캡슐런트 표면(54a)을 가진다.
파워 MOSFET 패키지(40)의 조립은 파워 MOSFET 패키지(10)의 제조와 유사하므로 상세하게 설명하지 않을 것이다. 두 조립 프로세스 사이의 한 차이는 파워 MOSFET 패키지(40)의 리드 조립체(48), (50), (52)가 칩(42)의 부착에 앞서 갈매기 날개 모양으로 미리 형성된다는 것이다. 따라서, 파워 MOSFET 패키지(10)를 위한 상기에 설명한 조정 및 형성 단계는 리드(48b), (50b), (52b)의 모양이 없는 파워 MOSFET 패키지(40)의 각각의 리드 프레임 스트립에서 초과 물질과 접속 부분을 제거하는 것만을 요구한다. 게다가, 프린트된 회로판에 나중의 부착을 위해 노출된 표면 주조 접촉 영역이 남겨지는 동안에 파워 MOSFET 패키지(40)를 위한 엔캡슐런트 단계는 바닥 엔캡슐런트 표면이 리드(48b), (50b), (52b)상에 표면 주조 접촉 영역으로 넘치게 형성되는 것과 같이 수행되어질 수 있다.
도 4a 와 4b 에 관하여, 본발명에 따라 구성된 제 3 파워 MOSFET 패키지(60)를 각각 상부도와 횡단면도로 나타낸다. 파워 MOSFET 패키지(10), (40)과 같이 파워 MOSFET 패키지(60)는 일반 접촉 영역에 의해 전원이 공급되는 파워 MOSFET 칩(62)을 가진다. 칩(62)의 상부측상에 소스 접촉 영역(64)와 게이트 접촉 영역(66)은 각각 알루미늄, 니켈 또는 구리와 같은 전도성 금속으로부터 형성되는 금속화층으로 덮혀진다. 그와 같이, 칩(62)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역(나타내지 않은)은 금속화층으로 덮혀진다.
소스 리드 조립체(68)는 칩(62)상에 소스 접촉 영역(64)와 접촉하는 접촉 영역(68a)을 가진다. 소스 리드 조립체(68)상에 접촉 영역(68a)은 전기적으로 전도성 접착층(69)에 의해 칩(62)상에 소스 접촉 영역(64)과 접촉이 유지된다. 세개의 소스 리드(68b)는 프린트된 회로판과 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(68a)로부터 확장된다.
소스 리드 조립체(68)상에 접촉 영역(68a)은 소스 접촉 영역(64)의 대부분과 전기적인 접촉을 유지한다. 접촉 영역(68a)과 소스 리드(68b)는 예를 들어 250마이크론(대략 0.01인치)의 두께를 가지는 구리 합금과 같은 금속의 시트로부터 형성된다. 알루미늄과 같은 다른 전기적으로 전도성 금속은 소스 리드 조립체(68)에 또한 사용되어질 수 있다.
접촉 영역(68a)은 소스 접촉 영역(64)를 형성하는 금속화층보다 더 두껍기 때문에, 접촉 영역(68a)은 소스 접촉 영역(64)보다 더 적은 분산된 저항을 제공한다. 접촉 영역(68a)은 그러므로 종래의 결합 와이어 접촉과 같은 작은 영역 접촉이 소스 접촉 영역(64)의 일부를 전기적으로 접촉하기 위하여 사용되는 경우에 일어나는 것을 제외하고 일어날 수 있는 소스 접촉 영역(64)의 패이스를 지나는 전압 강하를 제거되거나 감소될 수 있다. 소스 리드(68b)는 또한 종래의 결합 와이어보다 낮은 전기적인 저항을 제공하므로 파워 MOSFET 패키지(60)의 패키지 저항을 상당히 감소시킨다.
소스 리드 조립체(68)과 같이, 게이트 리드 조립체(70)는 칩(62)상에 게이트 접촉 영역과 접촉하는 접촉 영역(70a)을 가진다. 게이트 리드 조립체(70)상에 접촉 영역(70a)은 전기적으로 전도성 접착층(나타내지 않은)에 의해 칩(62)사에 게이트 접촉 영역(66)과 접촉이 유지된다. 하나의 게이트 리드(70b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(70a)으로부터 확장된다. 유사하게, 드레인 리드 조립체(72)는 칩(62)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역과 접촉하는 접촉 영역(72a)를 가지고 네 개의 드레인 리드(72b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(72a)으로부터 확장된다. 드레인 리드 조립체(72)상에 접촉 영역(72a)은 전기적으로 전도성 접착층(73)에 의해 칩(62)상에 드레인 접촉 영역과 접촉이 유지된다.
플라스틱 엔캡슐런트(74)는 칩(62), 리드 조립체(68), (70), (72)의 접촉 영역(68a), (70a), (72a), 리드 조립체(68), (70), (72)의 리드 일부(68b), (70b), (72b)를 둘러싼다. 엔캡슐런트(74)는 파워 MOSFET 패키지(60)에 구조적인 지지와 견고함을 줄뿐만아니라 외부 세계로부터 칩(62)의 전기적이고 열적 절연을 제공한다. 엔캡슐런트(74)는 에폭시 노보락에 기초한 성형 화합물과 같은 알려진 플라스틱 엔캡슐런트가 될 수 있다.
파워 MOSFET 패키지(10), (40)과 달리 파워 MOSFET 패키지(60)는 바닥 엔캡슐런트 표면(74a)으로 넘치는 바닥 표면(72c)을 가지는 드레인 리드 조립체(72)를 가진다. 드레인 리드 조립체(72)의 완전한 바닥 표면(72c)은 프린트된 회로판에 부착을 위하여 큰 전기적이고 열적인 접촉을 제공하고 노출된다.
파워 MOSFET 패키지(60)의 조립은 도 5a에서 도 5D를 통해 설명된다. 첫째로, 리드 프레임 스트립(76)은 구리 합금 또는 다른 금속의 250 마이크론두께의 시트 반강체(semi-rigid)로부터 찍어진다. 리드 프레임 스트립(76)은 또한 소스 리드 조립체(68)와 게이트 리드 조립체(70)를 함께 유지하는 접속 부분(명확하게 나타내지 않은)을 포함하고 리드 프레임 스트립(76)을 위한 구조적인 지지를 제공한다. 리드 프레임 스트립(76)의 접속 부분은 또한 소스 리드 조립체(68)와 게이트 리드 조립체(70)을 파워 MOSFET 패키지(10)와 동시에 조립될 수 있는 몇가지의 다른 파워 MOSFET 패키지를 위한 소스 및 게이트 리드 조립체에 접속될 수 있다.
도 5a 에 관하여, 전기적으로 전도성 접착층(69)은 파워 MOSFET 칩(62)의 소스 접촉 영역(64)과 게이트 접촉 영역(66)상에 분리하여 침전된다. 접착층(69)은 예를 들어, 실버 필드 에폭시 또는 폴리이미드 파스테가 될 수 있다. 소스 및 게이트 접촉 영역(64)와 (66) 각각에 정열된 리드 프레임 스트립(76)상에 접촉 영역(68a)과 (70a)를 가지는 리드 프레임 스트립(76)은 그 다음에 칩(62)의 상부 표면위에 눌려진다.
도 5b 에 관하여, 칩(62)은 인버트되고 제 2 접착층(73)은 칩(62)의 바닥층상에 드레인 접촉 영역위에 침전된다. 제 2 의 미리 형성된 리드 프레임 스트립(78)은 드레인 리드 조립체(72)와 몇가지 다른 파원 MOSFET 패키지의 드레인 리드 조립체를 가지는 드레인 리드 조립체(72)를 접속할 수 있는 접속 부분(나타내지 않은)을 포함한다. 드레인 리드 조립체(72)는 접촉 영역(72a)의 바닥 표면(72a)과 같은 모양이 되고 드레인 리드(72b)는 평평하다. 리드 프레임 스트립(78)의 접촉 영역(72a)은 칩(62)상에 드레인 접촉 영역에 대하여 눌려진다. 칩(62)는 그 다음에 도 5b에 나타낸 위쪽 위치에 한번 더 인버트된다. 접착층(69)과 (73)은 그 다음에 만일 필요하다면 경화 오븐에서 경화된다.
앞 단락에서 설명된 금형 부착 단계에 대한 대안은 칩(62)의 바닥측상에 드레인 접촉 영역보다 리드 프레임 스트립(78)의 접촉 영역(72a)상에 제 2 접착층(73)에 침전하는 것이다. 칩(62)은 그 다음에 칩(62)상에 드레인 접촉 영역에 정열된 리드 프레임 스트립(78)의 접촉 영역(72a)을 가지는 리드 프레임 스트립(78)에 대하여 눌려진다. 접착층(69)과 (73)은 그 다음에 앞에 설명된 바와 같은 경화 오븐에서 경화된다. 이 선택적인 금형 부착 단계는 리드 프레임 스트립(78)의 부착보다 앞서 칩(62)을 인버트할 필요를 제거한다.
접착층(69)과 (73)의 경화에 앞서, 리드 프레임 스트립(76)과 (78)의 상대적인 위치를 유지하기 위하여, 리드 프레임 스트립은 대개 서로를 용접(welding), 꺽쇠이음(clamping), 땜납(soldering)과 같은 역학적으로 견고한 방법으로 부착되어진다. 이 부착은 리드 조립체(68), (70), (72)가 서로 접촉하는 것과 소스에서 드레인까지 또는 게이트에서 드레인까지의 단락이 생기는 것을 방지한다. 이 부착 수단은 접착층(69)과 (73)이 경화된 후, 하기에 서술된 조정 및 형성 단계 동안에 또는 대개 전의 시간에 제거될 수 있다.
도 5c에 관하여, 칩(62)은 주형에서 위치되고 플라스틱 엔캡슐런트(74)는 칩(62)와 리드 프레임(76)과 (78)의 일부 주위에 사출 성형된다. 드레인 리드 조립체(72)의 완전한 바닥 표면은 프린트된 회로판상에 주조하기 위해 노출된 채로 남겨진다.
도 5d 에 관하여, 리드 프레임(76)은 리드 프레임 스트립의 접속 부분을 제거하기 위하여 조정되어서 게이트 리드(70b)로부터 소스 리드(68b)를 분리하고, 리드 프레임 스트립(76)에 의해 접속된 다른 파워 MOSFET 패키지의 소스 및 게이트 리드로부터 소스 및 게이트 리드, (68b)와 (70b)를 분리한다. 그와 같이, 리드 프레임 스트립(78)은 리드 프레임 스트립의 접속 부분을 제거하기 위해 조정된다.
소스, 게이트 및 드레인 리드 (68b), (70b) 및 (72b)는 또한 프린트된 회로판상에 표면 주조를 위하여 갈매기 날개 모양으로 형성된다. 리드(68b)와 (70b)의 끝은 드레인 리드 조립체(72)와 동일 평면상에 형성된다. 상기 언급한 조정 밍 형성 단계는 대개 리드 프레임 스트립(76)과 (78)에 의해 접속된 칩의 갯수를 수용할 수 있는 단 프레스에 의해 동시에 수행된다.
조립 후, 파워 MOSFET 패키지(60)는 회로판상에 대응하는 접촉 영역으로 정열된 소스, 게이트 및 드레인 리드 (68b), (70b) 및 (72b)를 프린트된 회로판상에 주조될 수 있다. 표준 납땜 역류 프로세스는 파위 MOSFET 패키지(60)와 프린트된 회로판 사이에 견고한 구조적이고 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 사용되어질 수 있다.
도 6a 와 6b 에 관하여, 본발명에 따라 구성된 제 4 파워 MOSFET 패키지(60)를 각각 상부도와 횡단면도로 나타낸다. 파워 MOSFET 패키지(10), (40) 및 (60)과 같이 파워 MOSFET 패키지(80)는 일반 접촉 영역에 의해 전원이 공급되는 파워 MOSFET 칩(82)을 가진다.
그러나, 파워 MOSFET 칩(82)은 파워 MOSFET 칩(82)상에 모든 MOSFET가 병렬로 접속되지 않기 때문에 앞서 설명한 파워 MOSFET와는 구별된다. 그 대신에 파워MOSFET 칩(82)상에 MOSFET는 두 그룹으로 나누어진다. MOSFET의 제 1 그룹은 칩(82)의 상부측상에 금속화된 공통 소스 접촉 영역(84)과 금속화된 게이트 공통 접촉 영역(85)을 가진다. MOSFET의 제 1 그룹은 또한 예를 들어 칩(12)의 바닥측상에 금속화층으로 실현될 수 있는 공통 드레인(나타내지 않은)을 가진다. 앞서 언급한 금속화층 각각은 알루미늄, 니켈 또는 구리와 같은 전도성 금속으로부터 형성된다.
MOSFET의 제 2 그룹은 칩(82)의 상부측상에 금속화된 공통 소스 접촉 영역(86)과 금속화된 공통 게이트 접촉 영역(87)을 가진다. MOSFET의 제 2 그룹은 또한 MOSFET의 제 1 그룹으로 나누어지는 공통 드레인(나타내지 않은)을 가진다. 앞서 언급한 금속화층 각각은 알루미늄, 니켈 또는 구리와 같은 전도성 금속으로부터 형성된다. 따라서, MOSFET의 두 그룹은 공통 드레인 접속을 통해 직렬로 접속된 두개의 파워 MOSFET 장치를 효과적으로 형성한다. 두 개의 MOSFET 장치는 두 개의 분리한 게이트에 의해 각각 제어된다.
제 1 소스 리드 조립체(87)는 칩(82)상에 제 1 소스 접촉 영역(84)과 접촉하는 접촉 영역(87a)을 가진다. 소스 리드 조립체(87)상에 접촉 영역(87a)은 전기적으로 전도성 접착층(89)에 의해 칩(82)상에 소스 접촉 영역(84)과 접촉이 유지된다. 두 개의 소스 리드(87b)는 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 칩(82)의 각측상에 접촉 영역(87a)으로부터 확장된다.
소스 리드 조립체(87)상에 접촉 영역(87a)은 소스 접촉 영역(84)의 대부분과 전기적인 접촉을 유지한다. 접촉 영역(87a)과 소스 리드(87b)는 예를 들어 250마이크론(대략 0.01인치)의 두께를 가지는 구리 합금과 같은 금속의 시트로부터 형성된다. 알루미늄과 같은 다른 전기적으로 전도성 금속은 소스 리드 조립체(87)에 또한 사용되어질 수 있다.
접촉 영역(87a)은 소스 접촉 영역(84)를 형성하는 금속화층보다 더 두껍기 때문에, 접촉 영역(87a)은 소스 접촉 영역(84)보다 더 적은 분산된 저항을 제공한다. 접촉 영역(87a)은 그러므로 종래의 결합 와이어 접촉과 같은 작은 영역 접촉이 소스 접촉 영역(84)의 일부를 전기적으로 접촉하기 위하여 사용되는 경우에 일어나는 것을 제외하고 일어날 수 있는 소스 접촉 영역(84)의 패이스(face)를 지나는 전압 강하를 제거되거나 감소될 수 있다. 소스 리드(87b)는 또한 종래의 결합 와이어보다 낮은 전기적인 저항을 제공하므로 파워 MOSFET 패키지(80)의 패키지 저항을 상당히 감소시킨다.
소스 리드 조립체(87)과 같이, 게이트 리드 조립체(88)는 칩(82)상에 게이트 접촉 영역과 접촉하는 접촉 영역(88a)을 가진다. 게이트 리드 조립체(88)상에 접촉 영역(88a)은 전기적으로 전도성 접착층(나타내지 않은)에 의해 칩(82)상에 게이트 접촉 영역(86)과 접촉이 유지된다. 두개의 게이트 리드(88b)는 프린트된 회로판에 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 접촉 영역(88a)으로부터 확장된다.
유사하게, 소스 리드 조립체(90)와 게이트 리드 조립체(91)는 각각 소스 및 게이트 접촉 영역(86), (87)에 접속된다. 각각의 리드 조립체는 칩(82)의 양측에 확장되는 리드를 가진다.
플라스틱 엔캡슐런트(94)는 칩(82), 리드 조립체(87), (88), (90), (91)의일부를 둘러싼다. 엔캡슐런트(94)는 파워 MOSFET 패키지(80)에 구조적인 지지와 견고함을 줄뿐만아니라 외부 세계로부터 칩(82)의 전기적이고 열적 절연을 제공한다. 엔캡슐런트(94)는 에폭시 노보락에 기초한 성형 화합물과 같은 알려진 플라스틱 엔캡슐런트가 될 수 있다.
파워 MOSFET 패키지(80)의 조립은 도 7a에서 도 7C를 통해 설명된다. 첫째로, 리드 프레임 스트립(96)은 구리 합금 또는 다른 금속의 250 마이크론두께의 시트 반강체(semi-rigid)로부터 찍어진다. 리드 프레임 스트립(96)은 또한 리드 조립체(87)와 (90), 게이트 리드 조립체(88), (91)를 포함한다. 리드 프레임 스트립(96)은 또한 상기한 리드 조립체를 함께 유지하는 접속 부분(명확하게 나타내지 않은)을 포함하고 리드 프레임 스트립(96)을 구조적인 지지를 제공한다. 리드 프레임 스트립(96)의 접속 부분은 또한 리드 조립체(87), (88), (90), (91)를 파워 MOSFET 패키지(10)와 동시에 조립될 수 있는 몇가지의 다른 파워 MOSFET 패키지(나타내지 않은)를 위한 소스 및 게이트 리드 조립체에 접속될 수 있다.
도 7a 에 관하여, 전기적으로 전도성 접착층(89)은 파워 MOSFET 칩(82)의 소스 접촉 영역(84)과 소스 접촉 영역(86) 및 게이트 접촉 영역(85), (87)상에 분리하여 침전된다. 접착층(89)은 예를 들어, 실버 필드 에폭시 또는 폴리이미드 파스테가 될 수 있다. 소스 및 게이트 접촉 영역(64)와 (66) 각각에 정열된 리드 프레임 스트립(76)상에 접촉 영역(68a)과 (70a)를 가지는 리드 프레임 스트립(76)은 그 다음에 칩(62)의 상부 표면위에 눌려진다. 리드 프레임 스트립(96)은 그 다음에 각각의 소스 및 게이트 접촉 영역에 정열된 리드 조립체의 접촉 영역(87), (88),(90), (91)을 가지는 칩(82)의 상부 표면상에 눌려진다. 접착층(89)은 그 다음에 필요하다면 경화 오븐에서 경화된다.
도 7b 에 관하여, 칩(82)은 주형안에 위치되고 플라스틱 엔캡슐런트(94)는 칩(82)과 리드 프레임(96)의 일부 주위에 사출성형된다. 도 7C 에 관하여, 리드 프레임 스트립(96)은 리드 프레임 스트립의 접속 부분을 제거하기 위해 조정되어서리드 조립체(87), (88), (90), (91)의 서로로부터 그리고 리드 프레임 스트립(96)에 의해 접속되는 다른 파워 MOSFET의 소스 및 게이트 리드로부터 분리한다.
소스 및 게이트 리드(87b), (88b), (90b), (91b)는 프린트된 회로판상에 표면-주조를 위해 갈매기 날개 모양으로 형성된다. 상기한 조정 및 형성 단계는 대개 리드 프레임 스트립(96)에 의해 접속되는 칩의 갯수를 수용할 수 있는 단 프레스에 의해 동시에 실행된다.
조립 후, 파워 MOSFET 패키지(80)는 회로판상에 대응하는 접촉 영역으로 정열된 소스, 게이트 리드(87b), (88b) 및 (90b)를 프린트된 회로판상에 주조될 수 있다. 표준 납땜 역류 프로세스는 파위 MOSFET 패키지(80)와 프린트된 회로판 사이에 견고한 구조적이고 전기적인 접촉을 제공하기 위하여 사용되어질 수 있다.
도 8a와 도 8b 에 관하여, 본 발명에 따라 구성된 제 5 파워 MOSFET 패키지(100)는 각각 상부도 및 횡단면도를 나타낸다. 파워 MOSFET 패키지(100)은 파워 MOSFET 패키지(80)과 설계에 있어서 유사하므로 상세하게 설명하지 않을 것이다.
파워 MOSFET 패키지(100)과 파워 MOSFET 패키지(80) 사이의 한 차이는 소스및 게이트 접촉 영역(나타내지 않은)이 파워 MOSFET 칩(102)의 바닥측상에 있다는 것이다. 소스 및 게이트 리드 조립체(103)는 그러므로 칩(102)의 바닥측에 부착된다.
파워 MOSFET 패키지(100)과 파워 MOSFET 패키지(80) 사이의 또하나의 차이는 파워 MOSFET 패키지(100)의 엔캡슐런트(104)가 패키지의 리드가 없는 칩 캐리어 타입을 형성하는 소스 및 게이트 리드 조립체(103)의 대부분을 둘러싼다는 것이다.
게다가 파워 MOSFET 패키지(100)과 파워 MOSFET 패키지(80) 사이의 또하나의 차이는 소스 및 게이트 리드 조립체(103)가 각각 반으로 분리된다는 것이다. 각각의 리드 조립체는 그러므로 도 8b에 나타낸 바와 같이 그것으로부터 확장된 하나의 리드를 가지는 각각의 접촉 영역을 지닌 두개의 분리된 접촉 영역을 구비한다. 리드 조립체(103)상에 두 접촉 영역은 칩(102)의 바닥측상에 소스 또는 게이트 접촉 영역을 형성하는 한가지의 연속적인 금속화층과 접촉한다. 파워 MOSFET 패키지(100)의 이 후자 특성은 파워 MOSFET 패키지(80)과 같은 배열로 실현될 수 있고, 소스 및 게이트 접촉 영역은 파워 MOSFET 칩(82)의 상부측에 있다.
여기에 설명된 다양한 실시예는 종래의 리드된 또는 리드가 없는 IC 패키지에 능가하는 여러 가지 이점을 가진다. 첫째로, 여기에 설명된 패키지는 리드가 종래의 결합와이어보다 낮은 저항을 가지고, 리드가 칩상에 각각의 접촉 표면의 대부분을 지나는 접촉이 접촉 표면을 효과적으로 쇼팅 아웃(shorting out)때문에 여기에 설명된 패키지는 패키지로부터 낮은 전기적 저항 기여를 가진다.
둘째로, 여기에 설명된 패키지는 열의 대부분이 발생되는 프린트된 회로판에칩의 상부측으로부터 칩의 상부측의 냉각을 하게 하는 좋은 열 전달을 가진다. 좋은 열 전달은 리드와 칩 사이에 좋은 열 접촉에 의해서 그리고 리드의 낮은 열적 저항에 의해 가능해진다.
셋째로, 여기에 설명된 패키지는 일반적으로 칩 자체보다 더 작은 접촉 영역을 가지는 리드 프레임을 사용한다. 이것은 칩이 칩보다 더 큰 표면 영역을 가지는 금형 패드에 결합되는 종래의 IC 패키지와는 현저하게 다르다. 여기에 설명된 리드 프레임의 더 작은 크기는 소정의 칩 크기를 더 작은 패키지 크기가 되게 해서 프린트된 회로판 또는 다른 칩 환경상에서 사용할 수 있는 한계 표면 영역의 더 효율적인 활용을 하게 한다. 다른 이점은 IC 패키지 조립과 실현의 당업자에 의해 명확해질 것이다.
본 발명과 그것의 이점은 상세하게 설명하였지만, 다양한 변화, 대용 및 변경은 첨부된 청구항에 의해 한정되는 발명의 의도 및 범위로부터 벗어나지 않게 된다.
그러므로, 종래 기술의 단점과 결함을 처리하는 반도체 장치의 요구가 높아진다. 특히, 패키지로부터 감소된 전기적 및 열적 저항 기여를 가지는 반도체 장치의 요구가 높아진다.
따라서, 개량된 반도체 장치가 개시되었다. 한 실시예에서, 반도체 장치는 상부 또는 바닥 표면상에 다수의 접촉 영역을 가진 반도체 칩을 포함한다. 전도성물질의 반강체 시트(semi-rigid sheet)로부터 형성된 제 1 리드 조립체는 반도체 칩의 접촉 영역중의 하나에 부착된 리드 조립체 접촉을 가진다. 제 1 리드 조립체는 리드 조립체 접촉에 접속되고 확장된 적어도 하나의 리드를 가진다. 또한 전도성 물질의 반강체 시트로부터 형성된 제 2 리드 조립체는 반도체 칩의 접촉 영역의 또다른 하나에 부착된 리드 조립체 접촉을 가진다. 제 2 리드 조립체는 리드 조립체 접촉에 접속되고 획장된 적어도 하나의 리드를 가진다. 엔캡슐런트는 반도체 칩, 제 1 리드 조립체의 리드 조립체 접촉과 제 2 리드 조립체의 리드 조립체 접촉을 둘러싼다.
Claims (20)
- 상부 및 바닥 표면을 가지고, 상부 및 바닥 표면의 선택된 하나위에 다수의 접촉 영역을 가지는 반도체 금형;반도체 금형 접촉 영역의 첫번째에 부착되는 리드 조립체 접촉을 가지는 제 1 반강체(semi-rigid) 리드 조립체, 리드 조립체 접촉에 접속된 적어도 하나의 리드를 더 가지는 제 1 리드 조립체;반도체 금형 접촉 영역의 첫번째에 부착되는 리드 조립체 접촉을 가지는 제 2 반강체(semi-rigid) 리드 조립체, 리드 조립체 접촉에 접속된 적어도 하나의 리드를 더 가지는 제 2 리드 조립체;반도체 금형, 제 1 리드 조립체의 리드 조립체 접촉 및 제 2 리드 조립체의 리드 조립체 접촉을 둘러싸는 엔캡슐런트를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서,반도체 금형의 제 3 접촉 영역에 부착된 리드 조립체 접촉을 가지고 제 3 접촉 영역은 제 1 및 제 2 접촉 영역을 가지는 표면에 반대로 반도체 금형의 표면상에 위치되는 제 3 반강체 리드 조립체를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 2 항에 있어서,엔캡슐런트는 제 3 리드 조립체의 일부가 노출된 제 3 리드 조립체의 리드 조립체 접촉의 바닥 표면을 남기도록 둘러싸는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 2 항에 있어서,제 3 리드 조립체는 제 3 리드 조립체의 리드 조립체 접촉에 접속된 적어도 하나의 리드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서,반도체 금형의 제 1 접촉 영역에 제 1 리드 조립체의 리드 조립체 접촉을 부착하는 접착층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서,제 1 리드 조립체의 리드는 갈매기 날개 모양인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서,반도체 금형의 제 1 및 제 2 접촉 영역은 반도체 금형의 바닥 표면상에 형성되고, 엔캡슐런트는 제 1 및 제 2 리드 조립체의 각각의 리드의 일부가 리드가 없는 칩 캐리어 패키지를 형성하도록 둘러싸는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 상부 및 바닥 표면을 가지고, 상부 및 바닥 표면의 선택된 하나위에 다수의 접촉 영역을 가지는 반도체 칩;전도성 물질의 반강체 시트로부터 형성되고, 반도체 칩의 접촉 영역의 첫번째에 부착되는 리드 조립체를 가지고, 리드 조립체 접촉에 접속되고 확장되는 적어도 하나의 리드를 더 가지는 제 1 리드 조립체;전도성 물질의 반강체 시트로부터 형성되고, 반도체 칩의 접촉 영역의 첫번째에 부착되는 리드 조립체를 가지고, 리드 조립체 접촉에 접속되고 확장되는 적어도 하나의 리드를 더 가지는 제 2 리드 조립체;반도체 칩, 제 1 리드 조립체의 리드 조립체 접촉 및 제 2 리드 조립체의 리드 조립체 접촉을 둘러싸는 엔캡슐런트를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
- 제 8 항에 있어서,반도체 금형의 제 3 접촉 영역에 부착된 리드 조립체 접촉을 가지는 제 3 반강체 리드 조립체, 제 1 및 제 2 접촉 영역을 가지는 표면에 반대로 반도체 금형의 표면상에 위치된 접촉 영역을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 9 항에 있어서,엔캡슐런트는 제 3 리드 조립체의 일부가 노출된 제 3 리드 조립체의 리드 조립체 접촉의 바닥 표면을 남기도록 둘러싸는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 8 항에 있어서,제 1 및 제 2 리드 조립체의 각각의 접촉 영역은 반도체 칩의 표면 영역보다 더 작은 표면 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 8 항에 있어서,반도체 금형의 제 1 접촉 영역에 제 1 리드 조립체의 리드 조립체 접촉에 부착하는 접착층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제 8 항에 있어서,반도체 금형의 제 1 및 제 2 접촉 영역은 반도체 금형의 바닥 표면상에 형성되고, 엔캡슐런트는 제 1 및 제 2 리드 조립체의 각각의 리드의 일부가 리드가 없는 칩 캐리어 패키지를 형성하도록 둘러싸는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 반도체 금형에 대해 각각 반도체 금형의 제 1 및 제 2 접촉 영역을 지닌 리드 프레임 스트립의 제 1 및 제 2 접촉 영역을 정열하기 위하여 제 1 및 제 2 접촉 영역을 가지는 반강체 리드 프레임 스트립 위치를 정하고;리드 프레임 스트립의 제 1 및 제 2 접촉 영역과 각각의 반도체 금형의 제 1 및 제 2 접촉 영역 사이에 전기적인 접촉을 하기 위하여 리드 프레임 스트립을 반도체 금형에 부착하고;반도체 금형과 전기적으로 절연된 엔캡슐런트에 리드 프레임 스트립의 제 1 및 제 2 접촉 영역을 둘러싸는 것을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 조립 방법.
- 제 14 항에 있어서,반도체 금형에 리드 프레임을 부착은 반도체 금형의 제 1 표면상 제 1 및 제2 접촉 영역상에서 전기적으로 전도성 접착제를 침전시키는 것을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 조립 방법.
- 제 14 항에 있어서,전도성 물질의 반강체 시트로부터 리드 프레임 스트립을 형성하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 조립 방법.
- 제 14 항에 있어서,접속 물질을 제거하기 위하여 리드 프레임 스트립상에 다수의 리드를 조정하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 조립 방법.
- 제 14 항에 있어서,프린트된 회로판상에 주조하기 위해 선택된 모양으로 리드를 형성하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 조립 방법.
- 제 14 항에 있어서,프린트된 회로판상에 반도체 장치를 주조하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 조립 방법.
- 제 14 항에 있어서,반도체 금형에 대해 각각 반도체 금형의 제 1 및 제 2 접촉 영역을 지닌 리드 프레임 스트립의 제 1 및 제 2 접촉 영역을 정열하기 위하여 제 1 및 제 2 접촉 영역을 가지는 제 2 리드 프레임 스트립 위치를 정하고;리드 프레임 스트립의 제 2 접촉 영역과 각각의 반도체 금형의 제 2 접촉 영역 사이에 전기적인 접촉을 하기 위하여 제 2 리드 프레임 스트립을 반도체 금형에 적용하는 것을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 조립 방법.
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