TW319708B

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Publication number: TW319708B
Application number: TW085109098A
Authority: TW
Original assignee: Daisei Kensetsu Kk
Priority date: 1995-07-27
Filing date: 1996-07-25
Publication date: 1997-11-11
Also published as: JP3282113B2; WO1997004851A1; EP1541213A2; DE69634687D1; EP1291063B1; DE69634687T2; EP1291063A3; EP1291065A2; EP1291065A3; EP1291063A2; US20010000375A1; US6106586A; US6471740B2; EP0785013A1; EP0785013A4; US5997598A; DE69636079T2; EP0785013B1; EP1291064A3; EP1541213A3

Description

319708 Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印褽五、發明説明（1 ) 〔技術頜域〕本發明係關於使用於半導體，食品、醫藥品、生物科技關連之工廠或研究所等所使用之無塵室的空氣濾清器，其製法，具備該空氣濾清器之局部設備及無塵室等。〔背景技術〕習知在半導體，食品，醫藥品、生物技術關連之工廠或研究所等所使用之無塵室，係將捕集空氣中浮遊粒狀物質之乾式空氣濾清器設於空氣導入通路，使通過該濾清器之空氣導入室內。 ’ 目前無塵室所使用之空氣濾清器，有使用玻璃纖維於濾材之U L P A (超低滲透空氣Ultra Low Penetration Air之略）濾清器或HE PA (髙效率粒子空氣High E11 i c i e n c y P a r t i c 1 e A i r之略），該等減清器就除去麈埃而言爲優異的濾清器，例如U L P A濾清器可除去 O. liim之微粒子。又，爲了不使無機物質自空氣濾清器產生，亦有開發出使用非玻璃纖維之氟樹脂系或石英系之纖維於濾材之非玻璃系濾清器》目前，隨著半導體之髙積體化，在無塵室內之空氣，不僅塵埃，亦有氣體狀有機物擴散之問題產生。亦即，在無塵室內，半導體基板（矽晶片）表面有有機物吸著，元件特性劣化迭有指摘（例如，藤井；「氣體狀污染物及其除去對策之現狀」空氣清淨，Vol. 32，No. 3 > P. 43(1994)，日本空氣清淨協會發行）。 ---.------裝 ~^~~.Iί.--訂----->>線---,r (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙浪尺度適用中國國家榇準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -4 - 經濟部中央揲半局貝工消費合作社印装 319708 A7 __B7 、五、發明説明（2 ) 又，在半導體製造過程中’使P (磷）摻雜（doppi_ ng)於矽晶片可得到η型半導體，而使B (硼）接雜則可得到P型半導體爲周知，但磷化合物或硼化合物存在於無塵室內之空氣中時，因會有不需要之慘雜，故特別有必要使該等成份自無塵室內之空氣除去。本發明係爲解決此等問題而完成'者，在捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器中，其目的係提供一種可在無塵室內或半導體製造裝置內等使氣JU狀有機物不致存在，爲 •.此之空氣濾清器之製法，及構成該空氣清淨器之處理劑，濾材之製法，進而爲不存在氣體狀有機物之無塵室及半導體製造裝置等之局部設備，加上不存在磷化合物或硼化合物之無麈室及局部設備。〔發服揭示〕本發明人等爲達成上述目的，經一再研討，結果發現在無塵室或半導體製造裝置等之局部設備內，氣體狀有機物存在之主要原因在於空氣導入通路所設置之空氣濾清器，及使此空氣濾清器安裝於天花板等開口、部所介裝之墊圈 (gasket)，而完成本發明。即依本發明人等之研究，判明自前述習知之空氣濾清器，會產生環狀矽氧烷，羧酸酯類，磷酸酯類，烴類，酚類等之氣體狀有機物，該等有機物已知係由，在使纖維形成布狀濾材之際滲入該繊維間之處理劑（含有結合纖維用之粘合劑，改良塵埃捕集效果用之拒水劑，及增塑劑或防本紙浪尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ' -5 - (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 A7 B7五、發明説明（3 ) 氧化劑）：濾材爲玻璃纖維之場合，附著於纖維之矽酮油 (此爲玻璃纖維紡絲時之強化材，亦可作用爲濾材之拒水劑作用）：及由粘接濾材及框架之密封材所產生。又，前述墊圈方面，已知由習知所使用之橡膠構件亦檢出髙比率之有機物。具體而言，習知處理劑中之拒水劑（非矽酮系）之主成份爲流動石蠘（碳數12〜18之脂肪族烴），作爲增塑劑或防氧化劑係含有比較低分子量者》又，前述密封材係使用聚胺酯系或環氧系樹脂作爲主成份，而在2液型聚胺酯樹脂之場合，在硬化反應後殘有之主劑的異氰酸酯成爲有機物污染源，而在2液型環氧系樹脂之場合，已知作爲硬化劑使用之胺基化合物成爲有機物污染源。又，含於該等密封材之增塑劑或防氧化劑爲具有比較低分子量者。由此真知常見，本發明係由以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材，及裝入該濾材之框架，及在此框架及濾材間密封之密封材所構成，在捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器中，使用前述濾材及密封材中之至、少一種時，並不產生氣體狀有機物者爲其特徵之空氣濾清器" 又，本發明係提供一種空氣濾清器，其滿足有關前述處理劑及密封材之下述（a)〜（c) ，（e)〜（g) 限定中之任一種爲其特徵者。 (a )前述處理劑所含非矽酮系拒水劑之主成分爲碳本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) - S _ tn n^i ι^ϋ nn·—^n m m ^if —-—ly ^Lr !TNnn —m 11 H ► · «- » 〆戋^该 - 一 6 - A7 B7 經濟部中央樣準局員工消费合作社印笨五、發明説明（4 ) 數2 0以上之脂肪族烴及碳數1 8以上髙級醇中之至少任一種。 (b )前述處理劑所含增塑劑之主成分，爲分子量 4 0 0以上之羧酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種。 (c)前述處理劑所含防氧化劑之主成分爲分子量 3 0 0以上之酚系化合物。 (e )前述密封材所含增塑劑之主成分，爲分子量 4 0 0以上的羧酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種。 (f)前述密封材所含之防氧化劑之主成分爲分子量 300以上之酚系化合物。 (g )所述密封材所含滑劑之主成分爲碳數2 0以上之肪肪族烴及碳數18以上的髙級醇中至少任一種者。又，本發明係提供一種空氣濾清器之製法，其係在前述處理劑及密封劑中，選擇使用上述（b) 、（c)、( e ) 、（ f )所限定之增塑劑及防氧化劑爲其特徵者》在此，（a)之非矽酮系拒水劑之主成分及（g)之滑劑之主成分爲碳數19以下之脂肪族烴及碳數17以下 ---J------，裝I与 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 本紙張尺度適用中國國家搮準（CNS ) Α4規格（21〇><297公釐） -7 - 319708 Α7 Β7 ••Τ' 經濟部中央標準局属工消费合作社印裝五、發明説明（5 ) 之高級醇時，在溫度2 3 °C濕度3 0〜4 0%管理，通過空氣濾清器之空氣流速爲0. 3〜0. 4m/s左右之通常無塵室，伴同通過空氣濾清器之空氣，使該等氣體狀物存在於無塵室內之空氣中，而使用碳數2 0以上之脂肪族烴及碳數1 8以上之高級醇時，該等氣體狀物並不存在於無塵室內之空氣中。又，（b)及（e)之增塑劑主成份爲分子量未滿 4 0 0之苯二酸二丁酯（分子量2 7 8)或苯二酸二f酯 (分子量39 1)或己二酸_2 —乙基己酯（分子量 3 71 )時，前述通常之無塵室，伴同通過空氣濾清器之空氣，使得該等氣體狀物存在於無塵室內之空氣中，p使用分子量4 0 0以上時，該等氣體狀物則不存在於無塵室內之空氣中。又’（c)及（f)之前述防氧化劑之主成分爲分子量未滿3 0 0之2，6，—二一特丁基一鄰甲酚（分子量 220. 4)時，在前述通常之無塵室，伴同通過空氣濾清器之空氣使得該等氣體狀物存在於無塵室內之空氣中，使用分子量3 0 0以上之物時，該等氣體、狀物並不存在於無塵室內之空氣中。 (a )及（g)之具體例有微晶蠟，天然石蠘，合成石蠛，聚烯烴蠟，碳數18、20、2 4之支鏈醇，及油醇中之至少任一種。 (b )及（e )之具體例有苯二酸異壬酯（分子量 418)，苯二酸辛癸酯（分子量419)，苯二酸二異本紙張尺度逋用中國國家橾率（CNS ) Μ規格（210X297公釐） '~~ 一 8 - (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 "ί^β t · X A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製五、發明説明（6 ) 癸酯（分子量447)，苯二酸月桂酯（分子量50 1) ，苯二酸肉豆蔻基（分子量530)，壬二酸二一2 —乙基己酯（分子量413)，癸二酸二一2_乙基己酯（分子量427) ’偏苯三酸參_2~乙基己酯（分子量 5 4 7 ) ’偏苯三酸三辛酯（分子量547)，偏苯三酸三壬酯（分子量5 7 0 )，偏苯三酸三癸酯（分子量 6 1 2 )己二酸或壬二酸或癸二二酸或苯二酸及乙二醇或甘油縮聚所得之聚酯（分子量2000〜8000)，環氧脂肪酸酯（分子量400〜500)，及環氧化油（分子量約1 0 0 0 )。 (c)及（f)之具體例有硬酯醯基—点―（3 , 5 一二一特丁基一 4 —羥苯基）丙酸酯（分子量5 2 0. 9 )’ 2 ’ 2— 55甲基一雙一（4 —甲基—6 —特丁基酣） (分子量340. 5) ，2，2> —亞甲基一雙一（4_ 乙基一6 —特丁基酚）（分子量368. 54) ，4， 4 > 一硫雙一（3 —甲基—6 —特丁基酚）（分子量 358. 5) ，4，4 一 —亞丁基-雙一（3 —甲基一6 -·特丁基酚）（分子量382_ 6) ，1，1，3 -參― (2 —甲基—4_羥基一 5 —特丁基苯基）丁烷（分子量 5 4 4. 8) ’ 1 ’ 3 ’ 5 —三甲基—2，4，6 —參一 (3，5 —二一特丁基一 4 —羥基苯基）苯（分子量 7 7 5. 2)，四〔亞甲基一3 — (3 一，5一一二一特丁基一 4 > —羥苯基）丙酸酯〕甲烷（分子量 1 177. 7)雙一〔3，3 一―雙-(4 一 —羥基一 I I- I In JH ϋ^— n. -I -1 -In » -----· l_ - ^ 1 —^ϋ fi , , ·* ·-U3. (請先閲讀背面之注意事養再填寫本頁) 訂----->>線^---♦卜 ΙΓ1;--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2们公釐）經濟部中央糅準局負工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明説明（7) 3 / —特丁基苯基）丁酸〕乙二醇酯（分子量 1177. 7)及維生素E(分子置794. 4)。又本發明人等，發現有機物分子量愈大則揮發性降低，吸著性變大，分子量在所定值以上時，對矽晶片之吸著置變小而收斂，且前述所實值因分子構造而異，前述（a .)〜（c)及（e)〜（g)中之數值限定，係就作爲各個對象之多數物質，根據實驗結果而設定者。又，本發明之空氣濾清器，若可滿足前述（a )〜（ .c)及（e)〜（g)限定之至少任一種即可，若要滿足該等全部，由空氣濾清器所有之構成材料並不發生氣體狀有機物則較佳。具體而言，非矽酮系拒水劑之主成分爲微晶蠼，非矽酮系拒水劑所含增塑劑之主成分爲偏苯三酸一二一 2 -乙基己酯’，非矽酮系拒水劑所含之防氧化劑之H分爲2， 2 > —亞甲基一雙一（4_乙基一6 —特丁基酚），密封材所含增塑劑之主成分爲癸二酸二- 2 -乙基己酯，密封材所含之防氧化劑之主成分爲2，2 > —亞甲基—雙一（ 4 一乙基一6 —特丁基酚），密封材所含*滑劑之主成份爲合成石蠟較佳。又，本發明係滿足前述（a)〜（c)及（e)〜（ g )限定之至少任一種，同時，前述密封材之主成份爲異氮酸酯所成主劑及硬化劑反應所形成之二液型聚胺酯樹脂，硬化劑活性氫之當量比主劑之異氨酸酯基之當量更多，且不含磷酸酯爲其特徼之空氣濾清器。此空氣濾清器，在本紙張尺度遴用中國國.家標準（CNS ) A4規格（210父297公釐「 (請先聞讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) ’衣

•1T -10 - 319708 A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製五、發明説明（8) 密封材之硬化反應後爲使主劑之異氰酸酯不致殘存，異氰酸酯及異氤酸酯與空氣中水份反應所產生之二胺不會產生，同時因不產生磷酸酯，故可進而抑制自密封之氣體狀有機物產生。又，本發明滿足前述（a)〜（c)及（e)〜（g .)之限定之至少任一種，同時，前述密封材之主成份爲主劑及硬化劑反應所形成之二液型環氧樹脂，且硬化劑爲酸性..或中性爲其特徵之空氣蹿清器。此空氣濾清器，因不含，作爲密封材硬化劑之鹺i性胺化合物，故可進而抑制自該密封材料之氣體狀有機物產生。又本發明係滿足前述（a)〜（c)及（e)〜（g )之限定之至少任一種，前述密封材之主成分爲主劑及硬化劑反應所形成之二液型環氧樹脂，硬化劑爲胺系，並施予殘有胺之降低手段爲其特徵之空氣濾清器。前述殘存胺降低手段，係使胺當量配合成稍比環氧當量低並硬化之，使得硬化後不產生殘存胺，或加熱硬化後之樹脂，藉以使殘存胺揮發者。又，本發明係滿足前述（a)〜（〇)及（e)〜（ g )限定之至少任一種，同時前述濾材以處理劑處理有矽酮油附著之玻璃織維，而形成布狀者，該矽酮油不含矽數 1 0以下之環狀矽氧烷爲其特徵之空氣濾清器。由於矽數 1 0以下之環狀矽氧烷非常容易吸著於矽晶片，此濾清器，特別適於半導體製造用無塵室用空氣濾清器。又，本發明係含有將玻璃織維附著於矽酮油之第一步 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .策.

、1T 本纸張尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4规格（210X297公釐）一 11 - 經濟部中央梯準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 驟，及在第一步驟後使該玻璃纖維以處理劑處理而形成布狀濾材之第二步驟，之空氣濾清器之製法，其中將前述第一步驟後之玻璃纖維在清淨的空氣氣流下加熱處理，從附著於該玻璃纖維之矽酮油充分除去矽數10以下之矽氧烷後，以不產生氣體狀有機物之處理劑處理爲其特徵者。此方法係製造前述空氣濾清器所用之一種方法。將附有矽酮油之玻璃纖維放入密封容器內，例如在1 2 o°c加熱數小時，藉以充分除去該矽酮油所含矽數1 0以下的矽氧烷。又，本發明爲含有：使玻璃纖維附著於矽酮油之第一步驟，及在該第一步驟後，以處理劑處理該玻璃纖維，形成布狀濾材之第二步驟，之空氣濾清器之製法，其中，前述第一步驟所使用之矽酮油係使用除去矽數10以下之環狀矽氧烷，而以不發生氣體狀有機物之處理劑處理者爲其特徵之空氣濾清器之製法。此方法爲製造前述空氣濾清器之方法之一，例如在真空狀態（例如真空度5mHg)下，加熱至2 0 0 °c ,以除去低沸點成份，可充分除去矽酮油所含矽數1 〇以下之矽氧焼。又本發明係提供一種無塵室，其具備前述各空氣濾清器之任一種。又，本發明提供一種局部設備，其具有前述各空氣濾清器之任一種者，前述局部設備係指例如在使局部無塵度變高之場所所設置之無塵區域（booth)，或要求所定無本張尺度適财關家縣（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) _裝. 訂 -12 - A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製五、發明説明（i〇) 塵度之生產設備，例如半導體製造裝置等β .又，本發明係提供一種無塵室，使壁及地板，依清洗及捕集法之氣體狀有機物發生置爲每克5 0 A g以下之建築材料所構築，同時，在該空氣濾清器及其安裝用開口部之間，介裝依清洗及捕集法之氣體狀有機物產生置爲每克 .5 0 // g以下之墊圈，以安裝前述各空氣濾清器之任一種者。如此，將無塵室之壁及地板，再者爲安裝空氣濾_器用之墊圈，以依清洗及捕集法之氣體狀有機物發生量爲每克5 0 # g以下之材料所構成，可在通常之運轉狀態下，使無塵室不產生有機物。在半導體製造工場等使用此無塵室時，可使有機物幾乎不吸著於矽晶片。前_述清洗及捕集法係相對於所定量之材料於所定溫度 (所有有機成份可揮發之溫度），使惰性氣體通過，並使該試材所含之氣體狀有機物成份完全揮發，對此捕集之，由此捕集成份定量氣體狀有機物發生量之方法。在前述氣體狀有機物發生量爲每克5+0 # g以下之建築材料中，壁材可採用本申請人先前提案之使不燃材料之間壁系統予以乾式密封之方法（請參照日本特開昭6 2 _ 86248號，日本實開昭62-56 614號，日本實開昭62—124102號公報），而地扳材料可使自由接近地板（free acess floor)之表面材料成爲不錢鋼等之無機質材料者。該等壁材及地板材之氣體狀有機物發生冢紙張尺度遑用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ~ 13 -

經濟部中央梂率局貝工消費合作社印$L 319708 at B7 五、發明説明（11) 量爲每克1. O/Zg左右。又，本發明係爲使纖維形成布狀成爲空氣濾清器用之濾材，而滲入於該繊維之處理劑，其滿足前述（a )〜（ c )限定中之任一種，爲其特徵者。依此處理劑，可減少使用該等而製造之空氣濾清器之氣體狀有機物之發生量- 又，前述處理劑若能滿足所有前述（a )〜（c )之限定，則由主要構成材料並不會產生氣體狀有機物，故較佳。又，本發明係提供一種濾材之製法，其係選擇使用上述（b) 、（c)所限定者作爲滲入於濾材之處理劑所含有之增塑劑及防氧化劑。依此方法可製造氣體狀有機物發生量少的濾材。本發明人等亦發現，在無塵室內磷化合物或硼化合物存在之主要原因，在磷化合物方面，在空氣濾清器之濾材及框架間密封之密封材及壁或地板之表面材料所含之有機磷化合物（磷酸酯），而硼化合物方面，係在於爲空氣濾清器之濾材的玻璃纖維所含之氧化硼。由以上真知卓見，本發明係提供一種無塵室，其壁及地板之至少表面材；及空氣濾清器之濾材與濾材及框架之間予以密封之密封材，係以在空氣中不放出有機磷化合物及硼化合物之材料所形成爲其特徵者。又’本發明係提供一種無塵室，其特徵爲前述材料藉清洗及捕集法之氣體狀有機磷化合物之發生量爲每克1 〇 # g以下，且在超純水中浸漬2 8日而溶出之硼化合物爲本紙張尺度逡用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） n· m _i^K ah a^i • - ."" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 A7 —____B7__ 五、發明説明（l2 ) 每克材料2 0 # g以下者。 .如此，無塵室之構成構件即使以含有機磷化合物及硼化合物之材料形成之場合，使由該構成構件之依清洗及捕集法之氣體狀有機磷化合物之發生量爲每克1 〇 /z g以下 ’在超純水中浸潰2 8日左右而溶出之硼化合物成爲每克材料2 0 w g以下，藉以使該無塵室在通常狀態下（溫度 2 3 °C，濕度3 0〜4 0%，空氣濾清器通過空氣流速 0. 3〜0. 4 m/s)運轉之場合，可使無塵室內之空氣中不存在有機磷化合物及硼化合物。 ' 又，本發明係提供一種無塵室，前述爲聚胺酯樹脂系密封材，構成其主成份之二異氰酸酯，含有二苯基甲烷二異氰酸酯，其液狀化劑爲含有磷酸酯之場合，該磷酸酯分子量爲300以上者。習知之無塵室中，含有二苯基甲烷二異氰酸酯之聚胺酯樹脂系密封材之液狀化劑（在常溫使純度高的二苯基甲烷二異氰酸酯成爲液體狀態用之添加劑），及爲壁或表面材之氯乙烯樹脂製片之增塑劑或難燃劑係使用磷酸酯。其中增塑劑可替代磷酸酯而使用前述（e )*所示分子量 4 0 0以上之羧酸等，難燃劑可替代磷酸酯而使用氫氧化 .鋁或三氧化.銻等，前述液狀化劑並無磷酸酯之替代品。因此，使用之磷酸酯爲分子量未滿3 0 0之磷酸三乙酯（分子量182)，磷酸三丁酯（分子量266)，磷酸參（Θ —氯乙酯）（分子量285)時，前述通常之無塵室係伴同通過空氣濾清器之空氣，使該等氣體狀物存在本k張尺度逋用中國國家標準（CNS > A4洗格（210 X297公釐〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、tT -15 - 經濟部中央搮準局員工消費合作社印装 A7 ___B7五、發明説明（l3) 於無塵室內之空氣中，而使用分子！ 3 0 0 D! h孝時，該等之氣體狀物並不存在於無塵室內之空氣中。因此，前述液狀化劑係使用分子量3 0 〇以上之磷酸酯，而增塑劑及難燃劑，係使用前述替代品或分子量 3 0 0以上之磷酸酯，藉以使無塵室內之空氣中，不存在磷酸酯。又’本發明係提供一種無塵室，作爲前述液狀化劑使用之磷酸酯，具有下述（h )所示物質中之至少任一種爲，其特徵者。 (h)磷酸三一2 —乙基己酯（分子量43 5)，磷酸·三丁氧基乙酯（分子量3 9 8 )，磷酸三油酯（分子量 8 4 9 )，磷酸三苯酯（分子量326)，磷酸三甲酚（分子量368)，磷酸三二甲苯基（分子量410)，磷酸甲酚基二苯酯（分子量3 4 0 )，磷酸二甲苯基二苯酯 (分子量3 5 4)，磷酸_2_乙基己基二苯酯（分子量 3 6 2 )，芳香族縮合磷酸酯（分子量400以上），亞磷酸參（十三烷酯）（分子量6 2 9 )，及亞磷酸三苯酯 (分子量3 1 0 )。、又，本發明係提供一種局部備，其壁之至少表面材，及使空氣濾清器之濾材及濾材和框架間密封之密封材，是以在空氣中不放出有機磷化合物及硼化合物之材料所形成爲其特徵者。又，本發明係提供一種局備，前述爲依清洗及捕集法之氣體狀有機磷化合物之發生量爲每1g材料本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） r n^i 1^1 n^i In ^1^1 n^— f • · *> A Λ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f 、-STA - - I - - I— i 1^1 ^ - I I i I - -t * _」 -16 - 經濟部中央搮準局另工消费合作社印製 A7 __. _B7__五、發明説明（I4) 1 Ο β g以下，且在超純水中浸漬2 8日而溶出之硼化合物爲每1 g材料20/zg以下者，爲其特徵者。又’本發明係提供一種局部設備，前述密封材爲聚胺酯樹脂系密封材，構成其主成份之二異氛酸酯含有二苯基甲烷二異氰酸酯，其液狀化劑含有磷酸酯之場合，係使該磷酸酯分子量爲3 0 0以上者爲其特徵者。又’本發明係提供一種局部設備，作爲前述液狀化劑使用之磷酸酯，爲前述（h )所示物質中之至少一種爲其 .特徵者。在此等局部設備中，使壁材及空氣濾清器和前述無塵室之場合同樣地構成，可在局部設備內之空氣中，不使氣體狀有機磷化合物或硼化合物存在。因此，前述無塵室及局部設備，作爲半導體製造用爲特佳。. 〔實施發明最佳形態〕本發明之空氣濾清器，與習知之無塵室用空氣濾清器同樣，係將玻璃纖維或聚四氟乙烯等之有、機纖維，以含有丙烯系樹脂所成之粘合劑，非矽酮系拒水劑，增塑劑，防氧化劑等之處理劑處理，形成布狀之濾材，將此濾材放入所定大小之框架，在框架及濾材間以密封材密封而製造，而前述處理劑及密封材，在無塵室之使用時，係選定使用不發生氣體狀有機物者。具體而言，係使前述處理劑滿足前述（a )〜（c)之限定，而使前述密封材滿足前述（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 319708 A7 B7 五、發明説明（15) e)〜（g)之限定。又，在濾材之纖維爲玻璃纖維之場合，在紡絲之際作爲補強材塗覆之矽酮油，係使用不含矽數1 0以下之環狀矽氧烷者，將塗覆有矽酮油之玻璃纖維在清淨之空氣氣流下加熱處理，以除去矽數1 0以下之環狀矽氧烷，使得減 .材不含矽數10以下之環狀矽氧烷。再者，爲在無塵室內及局部設備內不存在磷化合物及硼化合物，故在壁及地板（不具備地板之局部設備則僅爲 .壁）之至少表面材，及空氣濾清器之濾材及濾材與框架之間加以密封之密封材，係以不放出有機磷化合物及硼化合物於空氣中之材料所形成。具體而言，前述材料爲依清洗及捕集法之氣體狀有機磷化合物之發生量爲每1g材料 1 Ο μ g以下，且在超純水中浸漬2 8日而溶出之硼化合物爲每lg材料20gg以下者》又，本發明寅施形態，係舉以下之具體實施例並予詳細說明》經濟部中央梯準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意^項再填寫本頁) (實施例1 ) · 在No.1〜5，7〜12，濾材係使用玻璃纖維或氟纖維，處理劑所含之非矽酮系拒水劑，增塑劑，防氧化劑，密封材之主成份，密封材所含之增塑劑及防氧化劑以製造下表1〜3所示構成之空氣濾清器。No. 6係照樣使用市售之U L P A濾清器，將各構成材料之成份以下述之分析法分析調査。本紙浪尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 A7 _B7_____五、發明説明（l6) 又，各表中之簡略記號係表示以下物質° K1:癸二酸二_2—乙基己酯 . 51 :硬脂醯基_α -（3 ’ 5 —二一特丁基—4一羥苯基）丙酸酯。 Κ2 :苯二酸二異癸酯 52 : 2 ，2 ’一亞甲基一雙一（4 —乙基一 6 -特丁基酚） . Κ3 :偏苯三酸參—2 —乙基己酯 53 ·· 1 ，1 ，3 —參—（2 —甲基一4 —經基一5 -特丁基苯基）丁烷 Κ4 :己二酸一1 ，3 — 丁二醇 54 : 2，6 —二一特丁基一鄰甲酚 Κ'5 :苯二酸二辛酯 55 : 2，6 —二一特丁基一4 一乙基酚 Κ6:苯二酸二丁酯 Κ7:己二酸二丁酯〔濾材之纖維〕在No.1〜5係將市售之ULPA濾清器用玻璃纖維（在紡絲時塗覆矽酮油者），在清淨之空氣氣流下，於 1 2 0°C加熱6小時，以使用除去矽數1 〇以下之矽氧烷。將該玻璃纖維4 0 Omg以下述P & T — G C/MS法分析時，該玻璃織維所含之矽數1 0以下之矽氧烷爲該分 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ΙΛ 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2I0X297公釐） -19 - A7 B7 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製五、發明説明 ( 17) 1 析法之檢出限界值以下 0 | 在 Ν 0 6 9 則使用市售的 U L Ρ A 濾清器用的玻璃纖維 ( 在紡絲時塗覆有矽酮油 ) 0 1 請 1 1 在 Ν 0 1 0 將信越化學 X 業公司製之矽酮油先閲 1 讀 Κ F 9 9 放入真空蒸餾裝置 ) 在真空度 5 m Η g 下保持於背 Λ A 1 之 1 2 0 0 °C 並除去低沸點成份藉以充分除去矽酮油所含矽注意事 1 數 1 0 以下之矽氧院以下述 Ρ $ T — G c / Μ S 法之分項再 1 空餾填析 > 成爲檢出限界值以下 0 在分析之際將真蒸後之窝本装其後將含頁 1 .矽酮油數 m S 附著於石英纖維者成爲試料 ο 不此矽數 1 0 以下之矽氧烷之矽酮油用 rt.r, 做紡絲時之強化材 J J 塗覆所得之玻璃纖維作爲濾材之纖維使用 0 1 在 N 0 1 1 > 1 2 則使氟纖維 ( 聚四氟乙烯訂 I Ρ 丁 F E ) 作爲濾材之纖維 0 在此纖維並不塗覆矽酮油〇 1 1 I < Ρ & T ( 清洗及捕集 ) — G C / Μ S 法 > 1 1 人將所定量之試料充填於試驗管在內部 - 面簋复 Ί — 面將該試願管在 1 5 0 °C 3 0 分加熱 > 使揮發成份以冷 I 卻至 — 8 0 °c 之捕集管捕集在氦氣流下，急速加熱該捕集 ί 管內之成分至 3 0 0 °C 而成氣體狀者導入 G C / Μ S 裝置 G C 裝置爲 Hur e 11 e Pac ka rd 公司製之H f )_ ί 1 1 5 8 9 0 A » Μ S 裝置同爲該公司之 Η P — 5 9 7 0 Β 〇 1 1 Ι G C 裝置之管柱爲同公司之 Η P — U 1 t r a 2 ( 0 V — 1 1 5 系 ) > 內徑 0 2 m m 9 長度 2 5 m m > 膜厚 0 * 3 3 1 1 本紙嫩適用中國國家搞準（_Α4—公*) A7 B7 319708 五、發明説明（is) jam » G C裝置測定時之溫度條件係如下述。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 初期溫度4 0°C —速度1 0°C/分下昇過—最終溫度 300 °C (保持15分），又，GC裝置之載體氣體爲氣，注入方式爲分裂（spl i t)法，分裂比爲、1/ 2 0 0。MS裝置之離子化法爲電子衝擊法，檢出範圍之 .m/Z 爲 25 〜1 000。定量分析係製作每一成份峰值所確認之有機物的校正曲線，在出現多個峰值之場合，以正癸烷爲標準物質，以 .其校正曲線爲基準，將全成份以正癸烷換算之濃度表示。藉此，可測定試料中揮發性有機物之含量及種類。〔處理劑〕經濟部中央梂準局員工.消费合作社印製在No. 1〜5，7〜12，係將各樣本以各表所示之非矽’酮系拒水劑，增塑劑，及防氧化劑之各比率（使拒水劑爲1 0 0重量份時之值，以重量份表示於各表之〔〕內）配合/使其溶於丙酮及甲苯之1 : 1混合溶劑，再者，將添加所定量之丙烯酸樹脂系之粘合劑的溶液，擴開至所定大小之片狀纖維網（web)，滲入、重疊之玻璃纖維後，使其乾燥並製作布狀之濾材。又，使用於濾清器1台份之濾材的非矽酮系拒水劑約爲1 g。〔密封材〕 · 將無一樣木之各表所示之密封材主成份（主劑及硬化劑）和增塑劑（No. 1，2，6〜8，10，11，予本紙伕尺度適用中國國家搮準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -21 - A7 B7 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印裝五、發明説明（l9) 以添加之防氧化劑及滑劑）以各比率（主成份爲1 〇. 〇重量份時之值’以重量份表示於各表之〔〕內）配合，並製作密封材’使用此密封材’在鋁框架（6 0 0 mm X 6 0 mmx 1 0 0mm，市售品之1/2大小）內，裝入上述濾材密封，以製作空氣濾清器。又’關於使用聚胺酯系之密封材的No. 1 ，2，硬化劑（聚醇）之活性氫當量，以比主劑（以亞甲基二苯基二異氰酸酯爲主成份之二異氟酸酯）之異氰酸酯基之寅量 .更多之配合比來混合兩者》又’關於No. 4，係使用胺系之硬化劑，而在硬化後在框架捲繞碳加熱器（ribbon heater)，任約1 3' 0 °C下加熱4小時，進行揮發性有機物（主要係硬化後殘有之胺）之除去處理。、又'，各密封材·，係硬化後經過三日，使用切除一部份 (數1 Omg)者，以前述之P&T — GC/MS法分析，來測定有機物發生量。其結果亦一併示於各表。又，關於No. 4,就進行前述有機物除去處理後之密封材進行測定。1 - 〔空氣濾清器之性能試驗：塵埃去除效率之測定〕相對於所製作之空氣濾清器，自一側以風速5 . 3 cm/s e c全面吹至苯二酸二辛酯（DOP)之粒子，吹入測濾材面附近空氣中所含D Ο P之粒子數（入側粒子數），及相反側濾材面附近之空氣中所含D Ο P之粒子數本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -：------ί---f .衣--Ί· (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -22 - 329708 Λ7 B7 經濟部中央揉率局貝工消費合作社印製五、發明説明（20) (出側粒子數）’係各以粒子計數器計測’入側粒子數爲 1 0 7個/ f t 3時’出側粒子數爲1 0 0個/ f t 3以下時（亦即，去除效率爲9 9 . 9 9 9%以上時）爲合格》以稱爲「COLD DOP法」之方法所測定之各空氣濾清器之塵埃去除效率係如各表所示。〔墊圈〕在風扇濾清器單元之框架介裝各表所示之墊圈，以安 ,裝上述所得之各空氣濾清器。又，在此墊圈係使用切去一部份者。以前述P & T — G C/MS法分析，以測定有機物發生量。其結果一併示於各表。使用之墊圈爲下述之物。又，G 1係將主成份之主劑及硬化劑，增塑劑，防氧化劑，及滑劑混合進行澆鑄成形。又，G 2〜G 4係將主成份之橡膠材及增塑劑，防氧化劑及滑劑予以加熱混練，經過擠壓成形機予以擠壓成形者。又，G 5，G 6係使用市售品。 <G1(胺酯橡膠系①）> ^ 主成份：日本聚胺酯工業公司製 2液型聚胺酯主劑：P u r e M D I (商品名），硬化劑：聚醇增塑劑：癸二酸二一 2 —乙基己酯防氧化劑：硬脂醯基一石―（3 ，5 —二一特丁基— 4-羥基苯基）丙酸酯滑劑：微晶蠘（碳數3 4〜約5 0) (請先聞请背面之注意事項再填寫本頁) ,今 I,—訂本紙乐尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "23 _ 經濟部中央梂率局貝工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（21) <G2 (氯乙烯橡膠系）> 主成份：日本zeon公司製氯乙烯橡膠增塑劑：氯化石蠟防氧化劑：2 ，2 > —亞甲基—雙一（4 —乙基一 6 一特丁基酚）滑劑：微晶蠟（碳數約34〜約5 0) .<G3 ( 丁基橡膠系）> 主成份：朝日產業公司製丁基橡膠增塑劑：己二酸_1 ，3 — 丁二醇防氧化劑：1 ，1 ，3 —參一（2 —甲基一4 一羥基一 5 -特丁基苯基）丁烷滑'劑：微晶蠟·（碳數34〜約50) <G4(氯丁二烯橡膠系）> . 主成份：東蘇公司製新氯丁二烯橡膠增塑劑：己二酸—1 ，3- 丁二烯 ★ 防氧化劑：1 ，1 ，3 —參—（2 —甲基—4 —羥基 —5 —特丁基苯基）丁烷滑劑：微晶蠟（碳數3 4〜約5 0 ) <G5 (胺酯橡膠系②）> 日本聚胺酯工業公司製液狀MDI使用之墊圈 i- nn n- ! US· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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、1T 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210Χ 297公釐） -24 - A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製五、發明説明（22) <G6(胺酯橡膠系③）> 曰本聚胺酯工業公司製液狀MDI使用之墊圈〔無塵室〕又’使用前述各風扇濾清器單元，使烘烤塗裝之間壁乾式密封’成爲壁材，地板材係使自由接近地板（free acess floor)之表面材成爲不銹鋼片，而構築無塵室。前述壁材及地板材，藉前述P&T — G C/MS法之分析 ’有機物發生量均爲0.lyg/g以下。使此無塵室運轉’在3日後其內部放置6"之矽晶片，放置6小時，使用下述之S WA裝置分析吸著於此晶片之有機物量及種類。其結果併記於各表。 < SWA裝置之分析> SWA裝置係傑耳科學公司製之矽晶片分析器（商品名），係由下述之捕集裝置，.T C T (Thermal Desorption Cold Trap Injector) 裝置， G C/MS 裝置所構成。捕集裝置係將吸著於晶片表面之物質解吸（desorption )，以捕集被解吸之成份者=TCT裝置係將以此捕集裝置所捕集之成份在氦氣流中加熱至3 0 〇°C後，導入以液態氮冷卻至- 1 3 0°C之毛細管而冷卻捕集者，將以此 TCT裝置所捕集之成份，在氦氣流中急速加熱至3 0 0 °C，而導入GC/MS裝置中。在此所使用之GC/MS裝置，係GC裝置爲HP — 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS〉A4规格（210X297公釐〉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,4- 訂 -25 - 19708 A7 B7 經濟部中夬標準局貝工消費合作杜印装五、發明説明（23) 5890A，MS 裝置爲 HP — 59 71A。GC 裝置之管柱係使用HP — 5 (長度25mm，內徑〇. 2mm’ 膜厚0. 33wm) ，GC裝置測定時之溫度條件係如下述》初期溫度8 0°C (保持1 0分鐘）—速度7°C/分下升溫—最終溫度3 0 0 °C (保持10分鐘）。除此以外則與前述P&T — GC/MS法同樣，藉此，可測定吸著於晶片表面之有機物含量及種類。又，P此方法，可分析每一枚晶片至數ng (l〇-9g)大小》由該等結果可知，相當於本發明各實施形態之N 〇 . 1〜5及No. 10，1 1 ，可使存在於無塵室內之氣體狀有機物減少，將置於該無塵室內，吸著於矽晶片之有機物之量，成爲使用習知ULP. A濾清器（No. 6)或低分子量增塑劑及防氧化劑之濾清器（No. 7〜9，12 .)場合之1/10以下，又，塵埃之去除效率亦爲 9 9 . 9 9 9%以上，並不會損及空氣濾清器之性能。 (實施例2 ) . 將固定地板材，壁材，空氣濾清器（預濾器：外界氣體取得口用，主濾器：清淨空氣吸出口用）之濾材，空氣濾清器之濾材及框架之密封材，使用表4·及5所示之下述各材料之組合，構築各無塵室。各無塵室之大小（內部尺寸）爲 6000x7200x3700nm。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) :衣- 訂本紙伕尺度適用t國國家梂準（CNS ) A4说格（210X297公釐） 26 319708 A7 B7 經濟部中央櫺準局貝工消費合阼fi中装五、發明説明（24) 〔地板材〕氯乙烯墊片①（厚2. Omm)，係在聚氯乙烯樹脂添加增塑劑之環氧化大豆油，防氧化劑之硬脂醯基一点_ (3 ’ 5_二—特丁基—4 一羥基苯基）丙酸酯，難燃劑之氫氧化鋁，防靜電劑之硬脂醯胺環氧乙烷加成體，而製 .造。氯乙烯墊片②（厚2_ 0mm)係市售品（東麗公司製防靜電子floorlium)。在鋁製之自由接近地板，粘貼前述任一氯乙烯片劈市售之不銹鋼製片，可形成無塵室之地板。〔壁材〕氯乙烯布①（厚度〇. 2 8mm)係在聚氯乙烯樹脂，添加增塑劑之己二酸—1 ，3 - 丁二醇，防氧化劑之2 ，2〜一亞甲基一雙一（4 —甲基一6_特丁基酚），難燃劑之三氧化銻，防靜電劑之硬脂醯胺環氧乙烷加成體而製作。氣乙嫌②（厚1 . 〇mm)係市售品（Samgatz SGI 1 5 3 3 )。無塵室之壁係將前述任一氯乙烯布粘姑於壁面，或設置於Coraany (公司）製無塵室用間壁（烘烤於鐵板製間壁表面而施予塗裝者）而構成。〔空氣濾清器〕使用化學組成不同之三種玻璃纖維製濾材①〜③，聚酯纖維製濾材，氟織維（P TF E纖維）製濾材作爲預濾 n. n^— ml (I m Λ If nnk •'··:·\ 耷， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂— 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -27 - 經濟部中央棣準局勇工消費合作社印製 A7 _B7五、發明説明（25) 器（P . F)及主濾器（ULPA濾清器：U F)用之濾材。使用聚胺酯樹脂系密封材①②及環氧樹脂系密封材作爲固定濾材於框架之密封材。聚胺酯樹脂系密封材①②，係含有主劑之Pur e MD I (日本聚胺酯工業公司製 .之高純度亞甲基二異氰酸酯二苯基甲烷二異氰酸酯）之二液型密封材，作爲P u r e MD I之液狀化劑，密封材 ①係配合磷酸三油酯Ο . 3重量％，而密封材②係配合磷酸三丁酯0. 3重量％，除此以外則與密封材①②同樣組成。框架爲鋁製，使用內部尺寸爲6 Ο Ο X 1 2 Ο Ο X 1 0 0 m. m 者。 U L P A濾清器係密封材在充分硬化後，不使用墊圈而安裝’於無塵室天花板之開口部，而預濾清器係密封材在充分硬化後，安裝於朝向天花板之導管的外界氣體取得口 • n^i· m ^^^1 —^n m nt— M _ • ·· ^ ! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 了」 -n^i、caJ—^ϋ il^i I n^— m^. HI i 〔各構成材料之分析方法〕〜將所使用之地板材及壁材及各表面材，空氣濾清器之濾材及密封材（對密封材則在硬化後經3日後）僅切去所定量，依實施例1所示P&T - GC/MS法，進行有機物之定性分析及有機磷化合物之定量分析，同時以下述方法分析硼含量。前述方法之有機磷化物定量分析之檢出限界值爲1. Oeg/g。 ( CNS ) ( 210X297^ )~ -28 - 319708 A7 B7 經濟部中央揉準局員工消費合作社印褽五、發明説明（26) <硼含置分析法> 將切去之試料浸漬於所定量之超純水（比電阻 18. 6ΜΩ以上）中28日，導入此超純水於ICP/ MS 裝置（Hurette Rackard 公司之 HP — 4 5 0 0 型） .，分析在此超純水中溶出之無機物，使用以已知澳度硼酸水溶液所製成之校正曲線定量硼含量。此方法之定量分析之檢出限界值爲O.lgg/g。 _ 〔無塵室之評價〕各無塵室係將通過預濾器之外界氣體（新鮮空氣）與來自無塵室內之回流空氣混合，送至天花板裏之氣室（ Chamber)，通過天花板之U L P A濾清器而供給於無塵室內、，使回流空氣及新鮮空氣之混合比爲1 0 : 1。其後，使各無塵室，自ULPA濾清器之出口的空氣流速爲 0 . 40m/s，溫度23°C，相對溫度爲40%，在無人且內部不置任何物品之狀態下連續運轉2週，其後抽出各無塵室內之空氣，進行空氣中所含有機，及無機物之分析。有機物之分析係首先，在T e n a X管（Clomepack 公司之商品名）導入4 0升無塵室內之空氣，藉以吸著該空氣中所含之有機成份，其之將此T e n a X管裝著於 TCT裝置（參照實施例1)，藉TCT裝置將吸著於 T e n a X管之有機成份抽出，使其加熱導入於G C/ ---；---ΓI：----：--Γ--?.--' 策--：1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -1- Λ 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -29 - 經濟部中央搮準局貝工消费合作社印装 A7 __B7__五、發明説明（27 ) MS裝置而進行。此方法之定量分析之檢出限界值爲1 〇 n g. / m 3。無機物之分析，係將無塵室內之空氣以每分1 0升之流量導入含有超純水（比電阻1 8 . 6ΜΩ以上）2〇 0 毫升之塵埃測定器（imp inger) 2 4小時，使該空氣中所含之無機成份溶出於超純水中，藉導入此超純水於I C P / M S 裝置（Hurette Packard 公司之 HP-4500 型 )而進行。此方法之定量分析之檢出限界值爲2 0 n _g/ m 3 〇上述之各分析結果一併示於表4及5。由該等結果可知，相當於本發明實施形態之N 〇 . 2 1〜2 4之無塵室，無塵室內空氣之有機磷化物及硼化合物之分析值爲檢出限界值以下，在無塵室內之空氣中由於有機辚化合物及硼化合物不存在，該等無塵室，作爲半導體製造用之無塵室特別好用。相對於此，相當於本發明比較例之No. 25〜28之無塵室，係在無塵室內空氣中存在有機磷化物及硼化合物之任一種，故半導體製造用之無塵室會有不必要之摻雜之虞，故不佳〃又，在實施例2，不使用墊圈而將ULPA濾清器安裝於無塵室天花板之開口部，而在使用胺酯橡膠系之墊圈時，與固定濾材於框架之密封材同樣，使用分子量3 0 0 以上之磷酸酯作爲二苯基甲烷異齦酸酯之液狀化材較佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS > A4规格（210X297公釐） —30 - 319708 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印装五、發明説明（28 ) (實施例3 ) 使用固定壁材，空氣濾清器之濾材（ULPA濾清器 )，空氣濾清器之濾材及框架之密封材，如表6所示之組合，構築各半導體製造裝置用之局部設備。又，與實施例 2同樣進行各構成材料之分析。其後，將各局部設備設置於實施例2之N 〇 . 21之無塵室內，就No. 31及33，使該無塵室內之空氣（混合新鮮空氣及回流空氣，使通過無塵室之U L P A0清器之空氣）導入局部設備之ULPA濾清器。又，就 No. 32及34，僅有新鮮空氣導入局部設備之 ULPA濾清器。如此，在以前述條件運轉之No. 21 之無塵室內，使各局部設備連續運轉2週，其後取出各局部設備內之空氣，與前述實施例2同樣進行空氣中所含有機物及無機物之分析。就上述各分析結果一併示於表6。由該等結果可知，相當於本發明實施形態之N 〇 . 3 1 ，3 3之局部設備，局部設備內空氣之有機磷化物及硼化合物之分析值爲檢出限界值以下，在•局部設備內空氣中由於有機磷化合物及硼化合物不存在，該等局部設備作爲半導體製造用之局部設備特別適當。相對於此，相當於本發明比較例之No. 32，34之局部設備，在局部設備內之空氣中，有機磷化物及硼化合物之任一爲存在，故作爲半導體製造用之局部設備，會有不需要摻雜之虞，故並不適合》 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规名· ( 210X297公釐） -31 - A7 B7 五、發明説明（29 ) 又，在實施例3，不使用墊圈而使ULPA濾清器安裝於局部設備之天花板開口部，在使用胺酯橡膠系墊圈之場合，與固定濾材於框架之密封材同樣，使用分子量 3 0 0以上之磷酸酯作爲二苯基甲烷異氰酸酯之液狀化材較佳。 (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁)

-1 Kn i I-- II - I n^- 1 enlL -T— 1^1^1 *· -1—'I Lri^i 一eJ 經濟部中央標準局男工消費合作社印製本紙張尺度逋用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -32 - 五、發明説明（30 ) A7B7 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印製

表1 No. 1 No. 2 No. 3 No . 4 m uLpmmzwmm immm之mam 挪油 Sh〇M下之妙《teWt si1〇m下之妙 Shoi^下之妙 Si』下之抄氣陕去除處拒水规100] 合成石蠛(C2〇〜Cm) fl&ft 嫌(Cm "'Όοο ) 理 mm 败化大1：油(Kw-麵)[7] K2(Mw-447) [5] K3(M»=547) [7] 以(<W=2000〜4000) [l〇J m S1(M*=520.9) [2] Sl(Mw-520.9) [2] S2(M*=3S6.54) [2] $3(Μ*»544.8) U]. 密主 rfy 西田箕―东it 一邐叙 mm»3sc§mM) amt脂(郷系）封材分硬德聚縣聚酿 ϊζ. 構 mm Kl(«*=427) [5] Kl(«w=427) [5] K4(H*=2000〜4000)[10] 败化大互油0(*-酬)[10] 既防氧賴 S2(Mr=368.54) [3] S2(Mw*368.54) [3] 麵 ^jS5*(C»〇~Cae) [6] 合成石蠊(C2〇~C«> [6] 自密封材之有播物爱嫌"g/g) 4.5 4.5 8.2 7.5 墊圈挪不舰 G3( 丁系）自墊圈之 1以下 5.6 2.7 吸著於&片之有枚） 28 26 31 20 吸微ft片之有 mmm 因小故無因«小故無》«I8 因各絳值小故寐法確防 *t 因^a小故無應埃去除效率 99. 999Xm上 99. δδθΧ δθ. 999% 99.999X (請先閲讀背面之注意事項再填寫本莧) Λ 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -33 - 五、發明説明（31 ) A7 B7 經濟部中央揉準局員工消費合作社印策表 2 No. 5 No. 6 No. 7 No. 8 mm ULPA濾糊之 ULPA嫌漏之 ULPA濾賴 ULPA濾觸之矽》油 5“〇以下之砂《^除含有Si a〜Si 1〇之矽麟含有Si3~Si1〇之砂妨含有Si广Si 1〇之砂氟使處拒水刺[100] 天然石a(cM-^3〇) Ce〜Cm之胞肪族煙獅石燦(C!2〜Cie) 流助石纖Ka) 理 mm Kl(Mr=427) [7] K5(Mw=391) [7] Κ5(«ν=391) [7] K5(Mw=391) m 劑防氧铺 S3(Mw=544.8) [3] S4(Mw=220.4) [3] S4(Mw=220.4) [2] S5〇iw-234) [2] 主脂(郷系）酯+雄酸三丁磨 HSE3t-3eX -MMMm+ 密封材之構成成分 mmBTm wm 撕聚醇系聚移系聚酵系 amm K4(liw=2000〜4000) [10] K6(Mv=278) [7] K5(Mw=391) [7] K5(Mw*391) [8] 防*倾 S4(Mv=220.4) [ι] S4(Mw=220.4) [1] S4(«w=220.4) [2] 娜 Ce〜Cie之胞肪族煙鶴石嫌(C12〜Cle) [6] 麯石孅(C12〜Cle) [7] 商密封材之有檐物發社(_) 8.3 2750 853 792 墊Η之種類 G4(Mrr-mm) G5(細娜系②）不舰發社(“g/g) T.3 2630 185 - 吸聰晶片之有檐物置(ng/l枚） 35 653 586 537 吸粉A片之有 wmmm C〇〜Cie之脂肪族埋 Si 3〜Si! 〇之砂氟焼 K5，K6,S4 2-乙基己酵 Cta-Cie^lgraSl® Si3〜Si1〇$矽氟貌 K5,s4 mt^rm 2-乙基己酵 •f Cl 2〜Cl Sia-Sii〇^«jK K5，S4 辑酸HTTg 2-乙基己醇應埃之率 99. 99·上 99. 9999ί 99.999% 99. Θ9Θ% (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34 - 丨19708 A7 B7 五、發明説明（32) 表3 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製

No. 9 No . 1 〇 No. 1 1 No. 1 2 mm im滅鮮之玻 EMH(PTFB) wmm SU〜Si1〇之政城 Shoi^下之砍氧拥8!去不娜不娜處拒水W[100] 麵石嫌(c12〜cie) 合肪*(CM~C«a) "a'SiSSIKCsio'^Cse) 麵石A»(cia 〜cie) 理 K7(M*=258) . [7] 费务ft大豆油(Mw*1000)[7] ««狀S油OW0M) [7] I5(Mw=391) [7] m 防氧傾 S4(Mr=220.4) [3] SlOhr=520.9) [3] Sl〇iw=520.9) [3] S4(Mv=220. 4)[2] 密主西田鍫一签其一西田葚封材之構成成分 mm 縣聚胳 m K6(M*=278) [10] Π(ϊ»=427) [5] Kl〇lw=427) C5L K6(Mw=278) [10] S2(Mw=368.54) [1] S2〇iw=368.54) [3] m 合肪蠛(C和-c28) 合嫌(Cao*"'#Cae) 幽密封材之有機物發±*(續> 1360 5.3 5.6 584 醜之棚 G1 (胺磨橡揉系①） G6(随橡自墊釅之 168 1以下 1以下 168 吸游ft片之有雛*(ng/l 枚） 820 25 18 483 吸著於晶片之有 wmm 。2-<^之脂肪族@ su〜s“0妙峨 K7,K6,S4三乙擦四肢 ii»HTag 因《ΙΜ小ΐί^ .鄉 ♦» CWle^IS肪族埋 K6.S4 mtBrm 塞埃之嫌效率 99.999!似上 99.989% 99. 998% so. gggx (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 笨.

、1T 本紙張尺度逍用中國國家榡率（CNS ) Α4規格（210Χ297公酱）

五、發明説明（33) A7 B7 經濟部中央梂隼局貝工消費合作社印製表4 No. 21 No. 22 No. 23 No. 24 無廑室構成構件地板表面材材質不糊断不教綱斷氯乙嫌製片① 氣乙烯m<D 理^4(#g/g) 榆出限界值以下檢出限界值以下檢出限界似下检出限界韻下含有置(Mg/g) 榆娜界似下檢出颇似下检出限界節下檢出關咖下壁表面材材質 mmm «•乙烯SWD 氛乙嫌im) 棚含ft(Mg/g) 檢出限界似下檢出限界似下檢出限界值以下檢出限界值以下含有董(_) 檢出限界似下檢娜界似下檢出限界值以下 P F 浓材材質 mmmmQ 聚酸嫌維製硬从的） 15 检出限界舰下 15 檢出限界似下 ^*(Mg/g) mmmiT 檢出阪界值以下檢出IS界值以下检出限界值以下 U F 濾材材質 mmmD mmmm) mmmD P 丁 EF繅維1¾ 砺嫌Mg/g) 15 15 15 檢出限界值以下 #i(^g/g) 檢舰界似下檢出限界咖下检似下檢課界舰下密封材材質 jmmmma) 聚系① mmm mmm 硬社(“g/g) 棱舰界似下检出既界似下檢出限界似下檢出取界似下 wmit-ma 社(Ag/g) 15 mtsmm 15 撿出限界m下檢出限界值以下無廑室內组^硬含置 (n s/m3) 檢出限界似下檢出嵌界似下檢出限界值以下檢出限界似下無廑室內容氣之有機® ( Π sXm3) 检出限界值以下检出限界值以下檢出限界值以下檢娜界舰下 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇父297公釐） -36 - A7 B7 五、發明説明（34) 經濟部中央揉準局員工消费合作社印製表 5 No. 25 No. 26 No. 27 No. 28 無襄室構成構件地板表面材材質不mmm 不鄉斷乙嫌ΜΜ·(2) 硬含置(iig/g) 检出限界似下檢謹界似下檢出限界似下檢出限界似下含置檢出限界似下撿出财観下檢出©界舰下醋）14 壁表面材材質 mmm 氣乙嫌製布② 拥社(Ag/g) iektm^imT 檢出限界值以下檢出限界值以下檢出限界值以下檢娜界似下检出嵌界值以下檢出限界值以下酯）20 P F 濾材材質 mmmB 聚mmm 硬(仁 g/g) 52 24 檢出限界限以下楡出限界值以下社(以g/g) 檢出限界值以下檢出酣值以下檢出限界值以下檢出限界題下 U F 滇材材貿 mmmm mmmm PTEF»«^ S^l("g/g) 52 24 24 檢出限界值以下含*(/ig/g) 檢出限界值以下榡出限界咖下檢出限界咖下檢出限界值以下密封材材質聚^81脂系Φ mmmm 脂系 S®^4(Mg/g) 检出限界值以下被出限界值以下检出限界值以下检出限界值以下 m&~rm 100 100 檢出限界值以下檢出限界值以下 *τ 無廉室內空氣之碾含量 (π g/m3) 120 70 32 被出限界舰下無崖室內容妓有檐辑化( n ff/m3) mt~rm 150 m^.rm 140 檢出限界值以下磷酸參（泠氣乙酯）250 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 319708 五、發明説明（35) 表6 No. 3 1 No. 3 2 No . 3 3 No. 34 局壁材霣 mmm 不湖峨 mmm 不娜板材檢出阪界值以下檢出限界值以下檢出限界值以下檢出限界值以下部檢出限界值以下檢出限界值以下檢出限界值以下檢出限界值以下投含有量(磁）備 U 材質 msmmD mmmD 構 F 讜 15 15 52 52 成構材含有置(i£g/g) 檢出限界值以下检出限界值以下檢出限界似下榡出限界值以下密封材質聚胺圈樹脂系 mmrnm 聚脂系聚胺翻t脂系件材檢出限界值以下檢出限界似下檢出限界值以下棣出限界值以下不含不含 mBrm mt^rm 含有量("g/g) 430 4 3 0, 周部贿內空氣之理含量榆娜膨u下檢出限界似下 105 80 (n g/m3) 周部設備內容氣之有機班檢出限界舰下檢出限界似下 mm^rm mm^rm ( n gym3) 250 250 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ 訂經濟部中央梂隼局貝工消費合作社印褽本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐） -38 - A7 B7 五、發明説明（36) 〔產業上利用可能性〕如上述，依本發明之空氣濾清器，因可使空氣導入通路所設之無塵室或局部設備內之氣體狀有機物發生量降低，故本發明之空氣濾清器作爲半導體製造工廠等之無塵室或局部設備用特佳。因此，具備此等空氣濾清器之本發明無塵室及局部設備，由於氣體狀有機物之發生量少，故在半導體製造產業等，使用此等無塵室或局部設備（半導體製造裝置）哮，可降低對矽晶片之有機物吸著量，而提高螽率。又，本發明之無麈室及局部設備中，爲使有機磷化物及硼化合物不存在，由於並無在矽晶片有不需要之瘦雜，故作爲半導體製造用之無塵室及局部設備特佳。 • .^1 —^n —^n —^ϋ· ^^^1 nn HI ill ^^/ n^i r £-^ u * - ·. · - .. \ (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-IT ------f 經濟部中央梂準局員工消费合作社印裝紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) Λ4规格（210X297公釐） -39 -

Claims

填請委員明示紙年月日所提之修1本有無變更^質内容是否准予修正。經濟部中央摞隼局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍第85109098號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國86年月修正 1 ·—種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：在使用前述濾材及密封材中至少一種時，不會產生氣體狀有機物者。 2 . —種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：前述處理劑所含非矽酮系拒水劑之主成份，係碳數2 0以上之脂肪族烴及碳數1 8以上高級醇中之至少任一種者。 3.如申請專利範圍第2項之空氣濾清器，其中前述非矽酮系拒水劑之主成份爲：微晶躐，天然石蠟，合成石孅，聚烯烴蠘，碳數18，20，24之支鏈醇及油醇中之至少任一種者。 4 . 一種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：前述處理劑所含增塑劑之主成份，係分子量4 0 0以上之羥酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5.如申請專利範圍第4項之空氣濾清器，其中，前述處理劑所含增塑劑之主成份爲，苯二酸異壬酯，苯二酸辛癸酯，苯二酸二異癸酯，苯二酸月桂酯，苯二酸肉豆蔑酯，壬二酸二一 2 —乙基己酯，癸二酸二一 2 —乙基己酯，偏苯三酸參一 2 -乙基己酯，偏苯三酸三辛酯，偏苯三酸三壬酯，偏苯三酸三癸酯，己二酸或壬二酸或癸二酸或苯二酸及乙二醇或甘油縮聚所得之聚酯，環氧脂肪酸酯，及環氧化油中之至少任一種者。 6 . —種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：前述處理劑所含防氧化劑之主成份爲分子量3 0 0以上之酚系化合物者。 7 /如申請專利範圍第6項之空氣濾清器，其中，前述處理劑所含防氧化劑之主成份爲，硬酯醯基一 (3 ，5_二一特丁基一4_羥苯基）丙酸酯，2，2 —亞甲基-雙-(4-甲基一6-特丁基酚），2，2 一一亞甲基一雙一（4_乙基一6 —特丁基酚），4，4 / 一硫雙 _ (3 —甲基一6 —特丁基酚），4，4 亞丁基一雙 —(3-甲基一6 -特丁基酚），1 ，1 ，3 —參-(2 —甲基一4_羥基一 5_特丁基苯基）丁烷，1 ，3 ，5 _ 三甲基一2，4 ’ 6 —參—（3，5 —二一特丁基—4 —羥基己基）苯，四〔亞甲基一 3 —（3，，5，一二一特丁基—4 羥苯基）丙酸酯〕甲烷，雙一〔3 ，3，本紙張尺度逋用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） nn - - ^^^1 nn f n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-口 f線一 2 - 319708 ABCD 經濟部中央榇準局員工消費合作社印製六、申請專利範圍 —雙—（4 / 一羥基一3 > -特丁基苯基）丁酸〕乙二醇酯及維生素E中之至少任一種者。 8 . —種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材：放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：前述密封材所含增塑劑之主成份爲，分子量4 0 0以上之羧酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種者。 9 .如申請專利範圍第8項之空氣濾清器，其中，前述密封材所含增塑劑之主成份爲，苯二酸異壬酯，苯二酸辛癸酯，苯二酸二異癸酯，苯二酸月桂酯，苯二酸肉豆蔑酯，壬二酸二一 2 —乙基己酯，癸二酸二一 2_乙基己酯，偏苯三酸參一 2 -乙基己酯，偏苯三酸三辛酯，偏苯三酸三壬酯，偏苯三酸三癸酯，己二酸或壬二酸或癸二酸或苯二酸及乙二醇或甘油縮聚所得之聚酯，環氧脂肪酸酯，及環氧化油中之至少任一種者。 10 . —種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：前述密封材所含防氧化劑之主成份爲分子量3 0 0以上之酚系化合物者。 1 1 .如申請專利範圍第1 0項之空氣濾清器，其中，前述密封材所含之防氧化劑之主成份爲，硬酯醯一 yS -(3，5 —二—特丁基—4-羥苯基）丙酸酯，2，2_ ―^------、—裝 I-I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 線彳丨· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇 X 297公釐） -3 - 經濟部中央梂準扃男工消费合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍亞甲基一雙—（4~甲基一 6 —特丁基酚），2 ，2 > — 亞甲基—雙—（4 —乙基—6 —特丁基酚），4，4一_ 硫雙-(3 —甲基—6-特丁基酚），4，4 / —亞丁基一雙_ (3 —甲基一 6 —特丁基酚），1 ，1 ，3 —參— (2 —甲基—4 —羥基一 5 —特丁基苯基）丁烷，1 ，3 ，5 —三甲基一2，4，6 —參一（3 ，5 —二一特丁基 —4 —羥基己基）苯，四〔亞甲基一3_(3< ，5> — 二—特丁基—4> —羥苯基）丙酸酯〕甲烷，雙—〔3 ， 3 / _雙_ (4 > —羥基一 3 / —特丁基苯基）丁酸〕乙二醇酯及維生素E中之至少任一1種者。 1 2 . —種空氣濾清器，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器，其爲：前述密封材所含之滑劑主成份爲，碳數2 0以上之脂肪族烴及碳數1 8以上之高級醇中至少任一種者。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項之空氣濾清器，其中前述密封材所含之滑劑主成份爲：微晶蠟，天然石蠟，合成石蠟，聚烯烴蠟，碳數18，20，24之支鏈醇及油醇之至少一種者。 1 4 . 一種空氣濾清器之製造方法其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架、及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器之製造方法，其中：前述處理劑 -------A I裝|卜|1——訂-----線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 - ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印製六、申請專利範圍所含增塑劑之主成份係選擇分子量4 0 〇以上之羥酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種者。 1 5 . —種空氣濾清器之製造方法，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器之製造方法，其中：前述處理劑所含防氧化劑之主成份係選擇分子量3 0 0以上之酚系化合物使用者。 1 6 _ —種空氣濾清器之製造方法，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器之製造方法，其中：前述密封材所含增塑劑之主成份係選擇分子量4 0 0以上之羥酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種者。 1 7 . —種空氣濾清器之製造方法，其特徵爲由：以處理劑處理纖維而形成布狀之濾材；放入該濾材之框架；及密封該框架及濾材間之密封材所構成，以捕集空氣中浮遊粒狀物質之空氣濾清器之製造方法，其中：前述密封材所含防氧化劑劑之主成份係選擇分子量3 Ο Ό以上之酚系化合物使用者。 18.如申請專利範圍第1至13項中任一項之空氣濾清器，其中，前述密封材之主成份爲異氰酸酯所成主劑及硬化劑之反應所形成之2液型聚胺酯樹脂，硬化劑活性氫之當量比主劑之異氰酸酯基之當量更多，且不含磷酸酯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Γ 一 -5 - --------^-裝--：-----訂-----A 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^l〇7〇s A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍者。 1 9 .如申請專利範圍第1至1 3項中任一項之空氣濾清器’其中，前述密封材之主成份爲主劑及硬化劑及反應所形成之2液型環氧樹脂，硬化劑爲酸性或中性者。 20_如申請專利範圍第1至13項中任一項之空氣濾清器’其中，前述密封材之主成份爲主劑及硬化劑之反應所形成之2液型環氧樹脂，硬化劑爲胺系，並施予殘存胺降低手段者。 2 1 ·如申請專利範圍第1至1 3項中任一項之空氣濾清器’其中，前述濾材係將附著矽酮油之玻璃纖維以處理劑處理’形成布狀者，該矽酮油不含矽數1 〇以下之環狀砂氧院者。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 2_ —種空氣濾清器之製造方法，其特徵爲含有：使矽酮油附著於玻璃纖維之第1步驟；及在該第一步驟後以處理劑處理該玻璃纖維以形成布狀濾材之第二步驟；如此所構成之空氣濾清器之製造方法，其中，在清淨之空氣氣流下加熱處理前述第一步驟後之玻璃纖維，由附著於該玻璃纖維之矽酮油充分去除矽數1 0以下之矽氧烷後，以不發生氣體狀有機物之處理劑處理者。 2 3 . —種空氣濾清器之製造方法，其特徵爲含有：使矽酮油附著於玻璃纖維之第1步驟；及在該第一步驟後以處理劑處理該玻璃纖維以形成布狀濾材之第二步驟；如此所構成之空氣濾清器之製造方法’其中，前述第一步驟所使用之矽酮油係使用可去除矽數10以下之環狀矽氧烷本紙張尺度適财關家標準（CNS )八4祕（21GX297公釐)~~~' 經濟部中央標準局貝工消費合作社印褽 A8 B8 C8 _ D8七、申請專利範圍者’並以不發生氣體狀有機物之處理劑處理者。 2 4 · —種無塵室，其特徵爲具有申請專利範圍第1 至1 3項或第1 8〜2 1項中任一項記載之空氣濾清器者〇 2 5 · —種局部設備，其特徵爲具有申請專利範圍第 1〜13項或第18〜21項中任一項記載之空氣濾清器者。 2 6 . —種無塵室，其特徵爲，壁及地板係以依清洗及捕集法之氣體狀有機物發生量爲每克5 0 y g以下之建築材料所構築、，同時將申請專利範圍第1〜1 3項或第 1 8〜2 1項之任一項所記載之空氣濾清器，在該空氣濾清器及其安裝用之開口部之間，介裝依清洗及捕集法之氣體狀有機物發生量爲每克5 0 a g以下之墊圈，加以安裝者。 2 7 . —種處理劑，其特徵爲使纖維形成布狀，作爲空氣濾清器之濾材，而滲入該纖維之處理劑，其中，非矽酮系拒水劑之主成份爲碳數2 0以上之脂肪族烴及碳數 1 8以上之高級醇中之至少任一種者。 2 8 . —種處理劑，其特徵爲使纖維形成布狀，作爲空氣濾清器用之濾材，而滲入該纖維之處理劑，其中，增塑劑之主成份爲分子量4 0 0以上之羧酸脂，聚酯’環氧系化合物中之至少任一種者。 2 9 . —種處理劑，其特徵爲使纖維形成布狀，作爲空氣瀘清器用之濾材，而滲入該纖維之處理劑’其中’防 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂線J---- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐）經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 3l97〇8 Α8 Β8 C8 __ D8 六、申請專利範圍氧化劑之主成份爲分子量3 0 0以上之酚系化合物者。 3 0 . —種濾材之製造方法，其爲使纖維滲入處理劑並形成布狀，以製造空氣濾清器用之濾材的濾材之製造方法’其特徵爲，前述處理劑所含增塑劑之主成份，係分子量4 0 〇以上之羧酸酯，聚酯，環氧系化合物中之至少任一種者。 3 1 . —種濾材之製造方法，其特徵爲使纖維滲入處理劑，形成布狀，藉以製造空氣濾清器用之濾材的濾材之製造方法，其爲，選擇前述處理劑所含之防氧化劑之主成份，爲分子量3 0 0以上之酚系化合物而使用者。 3 2 . —種無塵室，其特徵爲，壁及地板之至少表面材’及密封空氣濾清器之濾材及濾材與框架間之密封材，係以在空氣中不放出有機磷化合物及硼化合物之材料所形成者。 3 3 . —種無塵室，其特徵爲前述材料依清洗及捕集法之氣體狀有機磷化合物之發生量爲每克材料1 〇 # g以下，且浸漬於超純水中2 8日而溶出之硼化合物，爲每克材料20#g以下者。 34. 如申請專利範圍第32項或第33項之無塵室，其中，前述密封材爲聚胺酯樹脂系密封材料，構成其主成份之二異氰酸酯係含有二苯基甲烷二異氰酸酯，在含有其液狀化劑之磷酸酯之場合，使該磷酸酯成爲分子量 3 0 0以上者。 35. 如申請專利範圍第34項之無塵室，其中，作本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' '~~ -8 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. *11 . - I--T J— If I-----I_____ 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製 3ί97〇8 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍爲前述液狀化劑使用之磷酸酯，係磷酸三一2 -乙基己醋，磷酸三丁氧基乙酯，磷酸三油酯，磷酸三苯酯，磷酸三甲酚，磷酸三（二甲苯酯），磷酸甲酚苯酯，磷酸二甲苯基苯酯’磷酸一 2 -乙基己基苯酯，芳香族縮合磷酸酯，亞磷酸參（十三烷酯），及亞磷酸三苯酯中之至少任一種者。 3 6 . —種局部設備，其特徵爲，壁及地板之至少表面材，及密封空氣濾清器之濾材與濾材與框架間之密封材，係以在空氣中不放出有機磷化合物及硼化合物之材料形成者。 3 7 . —種局部設備，其特徵爲前述材料依清洗及捕集法之氣體狀有機磷化合物之發生量爲每克材料1 0以g 以下，且浸漬於超純水中2 8日而溶出之硼化合物，爲每克材料20/zg以下者。 3 8 .如申請專利範圍第3 6項或第3 7項之局部設備，其中，前述密封材爲聚胺酯樹脂系密封材料，構成其主成份之二異氰酸酯係含有二苯基¥烷二異氰酸酯，在含有其液狀化劑之磷酸酯之場合，使該磷酸酯成爲分子量 3 0 0以上者。 3 9 .如申請專利範圍第3 8項之局部設備，其中，作爲前述液狀化劑使用之磷酸酯，係磷酸三一 2 —乙基己酯，磷酸三丁氧基乙酯，磷酸三油酯，磷酸三苯酯，磷酸三甲酚，磷酸三（二甲苯酯），磷酸.甲酚苯酯’磷酸二甲苯基苯酯，磷酸- 2 -乙基己基苯酯，芳香族縮合磷酸酯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） H - - 1 - 1 - - -1— - I--- y I I -、一ejI: - 1:----i n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -9 - 319708 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍，亞磷酸參（十三烷酯），及亞磷酸三苯酯中之至少任一種者。 --------^ I 裝 I· 1 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 線經濟部中央標準局貞工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210 X 297公釐） -10 -