JP2000325700A - 無塵衣管理装置，エアシャワ室及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 無塵衣毎の管理が可能な無塵衣管理装置を提
供する。 【解決手段】 無塵衣２には固有の識別データ１が付与
されている。測定部１２は、無塵衣２の清浄度を測定し
て得られた測定データＲを出力する。識別データ入力部
１１は、当該無塵衣２の識別データ１を読み取って識別
データＣとして出力する。データベース１４には少なく
とも前回の測定時における測定データＲが識別データＣ
と関連付けられて格納されている。信号処理部１３は、
上記測定データＲ及び識別データＣを受信する。信号処
理部１３は、受信した識別データＣに基づいて当該無塵
衣２の前回の測定データＲをデータベース１４から読み
込み、今回の測定データＲと前回の測定データＲとの差
分（増加量）を算出する。信号処理部１３は、当該差分
を所定の判定基準と照合して当該無塵衣の清浄度の判定
を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置等の
製造室として用いられるクリーンルーム内において作業
者が着用する無塵衣の管理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】作業者が着用する無塵衣にダストが付着
している場合、そのままの状態で作業者がクリーンルー
ム内へ入室すると、クリーンルーム内にそのダストが持
ち込まれることがある。かかるダストはクリーンルーム
内で製造する製品、例えば半導体装置や液晶パネル等の
歩留まりを低下させる原因となるので、クリーンルーム
内へ入室する作業者が着用する無塵衣は清浄であること
が望まれる。このため、一般的に、クリーンルーム内を
所定の清浄度に保つために、作業者は、更衣室等のクリ
ーンルーム外において無塵衣を着用し、エアシャワ室に
おいて無塵衣に付着したダストを除去した後に、クリー
ンルーム内へ入室する。

【０００３】かかる点に関して、エアシャワ室の従来の
構造の一例が特開平４−１８６０４３号公報に開示され
ている。当該公報に係る先行技術は、エアシャワ室内
の清浄度が規定量に達するまで、エアの吹き出しとイオ
ナイザからのイオンの放出とを続けることによって、作
業者の無塵衣又はクリーンルーム内に持ち込もうとする
物体に付着したダストを除去しようとするものである。
このとき、当該先行技術に係るエアシャワ室では、エ
アシャワ室内に作業者等が入室すると上述のダスト除去
を実施する一方で同室内のダスト数を計測しており、そ
の計測値が所定の規格値よりも低くなれば、クリーンル
ームへの入室を可能とする。

【０００４】また、クリーンルームの従来の構造の一例
が特開平７−２０８７８４号公報に開示されている。当
該公報に係る先行技術では、クリーンルームへ入室す
る前に、エアシャワ室と化学汚染物質除去室とにおい
て、作業者の無塵衣又はクリーンルーム内に持ち込もう
とする物体に付着しているダスト及び化学不純物質を除
去して、ダスト等の侵入を防止しようとするものであ
る。このとき、当該先行技術に係るクリーンルーム
は、上記化学汚染物質除去室内に作業者等が入室すると
同室内の化学汚染物質の濃度を計測して、その計測値が
所定の規格値よりも低ければ、クリーンルームへの入室
を可能とする。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】さて、一般的に、無塵
衣の交換は所定の期間毎に実施されているのみであり、
現在のところ、上記所定の期間内における無塵衣の交換
は、その無塵衣を着用する作業者の個々の判断に委ねら
れていることが多い。しかも、かかる判断は概して主観
的である。また、クリーンルーム内での作業においても
ダストや化学不純物質が無塵衣に付着してしまう場合が
ある。しかも、かかる付着量は、例えば無塵衣のサイズ
や作業者の作業内容又は環境等の要因によって異なる。
しかしながら、現行のエアシャワ室やクリーンルームで
は画一的な判定基準を設けて無塵衣の清浄度を管理して
いるため、上述の無塵衣毎に異なるダスト等の付着要因
まで考慮した無塵衣の管理体制はとられていないのが現
状である。なお、上述の先行技術，に係る上記両公
報は無塵衣の区別をすることなく単にダスト等の除去及
び清浄度の監視を実施するための技術の開示に留まり、
上記両公報中には、上述の現状を改善して無塵衣毎の清
浄度の管理を実施しうる手段を見出すことはできない。

【０００６】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、無塵衣の清浄度を無塵衣毎毎に管理しうる無塵
衣管理装置を提供することを第１の目的とする。

【０００７】更に、本発明は、上記第１の目的の実現と
共に、無塵衣毎に異なるダスト等の付着要因を考慮して
無塵衣の清浄度を管理しうる無塵衣管理装置を提供する
ことを第２の目的とする。

【０００８】加えて、本発明の第３の目的は、上記第１
又は／及び第２の目的を実現しうるエアシャワ室を提供
することにある。

【０００９】また、本発明の第４の目的は、上記第１又
は／及び第２の目的を実現しうる処理をコンピュータに
より行うためのプログラムを記録したコンピュータ読み
取り可能な記録媒体を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】（１）請求項１に記載の
発明に係る無塵衣管理装置は、所定の無塵衣を識別可能
な識別データを取得して出力する識別データ入力部と、
前記所定の無塵衣の清浄度を測定して、その測定結果に
関する測定データを出力する測定部と、少なくとも無塵
衣の清浄度に関する比較データが前記識別データと関連
付けられて格納されているデータベースと、前記識別デ
ータ及び前記測定データを受信する一方、前記データベ
ースを参照して、前記受信した識別データと関連付けら
れた前記比較データと、前記受信した測定データとを比
較する比較処理を実行する信号処理部とを備えることを
特徴とする。

【００１１】（２）請求項２に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１に記載の無塵衣管理装置であっ
て、前記比較データは、前記測定データであることを特
徴とする。

【００１２】（３）請求項３に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項２に記載の無塵衣管理装置であっ
て、前記データベースには、前記測定データの測定順序
に関するデータが前記測定データと関連付けられて更に
格納されていることを特徴とする。

【００１３】（４）請求項４に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の無塵衣
管理装置であって、前記比較処理は、前記データベース
を参照して、前記受信した識別データと関連付けられた
前記比較データと、前記受信した測定データとを比較し
て、両者の差分を算出する処理であることを特徴とす
る。

【００１４】（５）請求項５に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の無塵衣
管理装置であって、前記測定部は、気体中のダストをカ
ウントするダストカウンタと気体中の不純物の濃度を測
定する不純物測定装置との内の少なくとも一方であるこ
とを特徴とする。

【００１５】（６）請求項６に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の無塵衣
管理装置であって、前記測定部は、画像取り込み装置か
ら成り、前記測定データ及び比較データは、画像データ
から成り、前記信号処理部は、前記比較処理を画像比較
処理で以て実行することを特徴とする。

【００１６】（７）請求項７に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１に記載の無塵衣管理装置であっ
て、前記測定部は、画像取り込み装置から成り、前記測
定データは、前記画像取り込み装置により取り込まれた
前記所定の無塵衣の全体の画像データであり、前記比較
データは、前記識別データと関連付けられた前記所定の
無塵衣の清浄な状態の画像データであり、前記信号処理
部は、前記比較処理を画像比較処理で以て実行すること
を特徴とする。

【００１７】（８）請求項８に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１乃至７のいずれかに記載の無塵衣
管理装置であって、前記信号処理部は、更に、前記比較
処理の結果に基づいて、前記無塵衣に共通に設けられた
判定基準で以て前記所定の無塵衣の清浄度を判定する判
定処理を実行することを特徴とする。

【００１８】（９）請求項９に記載の発明に係る無塵衣
管理装置は、請求項１乃至７のいずれかに記載の無塵衣
管理装置であって、前記データベースには、前記識別デ
ータと関連付けられた参照データが更に格納されてお
り、前記信号処理部は、更に、前記データベースを参照
して前記受信した識別データと関連付けられた前記参照
データに基づく判定基準を設定し、前記設定された判定
基準で以て前記所定の無塵衣の清浄度を判定する判定処
理を実行することを特徴とする。

【００１９】（１０）請求項１０に記載の発明に係る無
塵衣管理装置は、請求項１乃至９のいずれかに記載の無
塵衣管理装置であって、前記識別データは、前記無塵衣
を着用する作業者のＩＤカードに記録されていることを
特徴とする。

【００２０】（１１）請求項１１に記載の発明に係る無
塵衣管理装置は、請求項１乃至９のいずれかに記載の無
塵衣管理装置であって、前記識別データは、前記無塵衣
に記録されていることを特徴とする。

【００２１】（１２）請求項１２に記載の発明に係るエ
アシャワ室は、請求項１乃至１１のいずれかに記載の前
記無塵衣管理装置を備えることを特徴とする。

【００２２】（１３）請求項１３に記載の発明に係るコ
ンピュータ読み取り可能な記録媒体は、所定の無塵衣を
識別可能な識別データを取得して出力する識別データ入
力部と、前記所定の無塵衣の清浄度を測定して、その測
定結果に関する測定データを出力する測定部と、少なく
とも無塵衣の清浄度に関する比較データが前記識別デー
タと関連付けられて格納されているデータベースとを用
いて、無塵衣の清浄度の管理をコンピュータにより行う
ためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能
な記録媒体であって、（ａ）前記識別データ入力部が出
力する前記識別データを取得するステップと、（ｂ）前
記測定部が出力する前記測定データを取得するステップ
と、（ｃ）前記データベースを参照して、前記取得した
識別データと関連付けられた前記比較データと、前記取
得した測定データとを比較するステップとをコンピュー
タに実行させるためのプログラムを記録したことを特徴
とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】＜実施の形態１＞ Ａ．無塵衣管理装置の構成 図１に、本発明に係る無塵衣管理装置１０の構成を説明
するための模式的なブロック図を示す。特に、図１に示
すように、無塵衣管理装置１０を運用するにあたり、各
無塵衣２には無塵衣を識別するための固有の識別データ
１が付与されている。

【００２４】図１に示すように、無塵衣管理装置１０
は、（ａ）測定対象である無塵衣２の清浄度を測定し
て、その測定結果に関する測定データＲを出力する測定
部１２と、（ｂ）無塵衣２を識別可能な識別データ１を
取得して、後述の信号処理部１３が受信可能な識別デー
タＣとして出力する識別データ入力部１１と、（ｃ）上
記の測定データＲ及び識別データＣを受信して、両デー
タＲ，Ｃに基づいて後に詳述する所定の処理を実行する
信号処理部１３と、（ｄ）無塵衣の清浄度に関する比較
データＤが蓄積されており、信号処理部１３による読み
込み動作及び書込み動作が可能なデータベース１４とを
備える。信号処理部１３として例えばマイクロコンピュ
ータ等の信号処理器が適用可能である。このとき、デー
タベース１４を上記マイクロコンピュータ等がアクセス
可能な機器、例えばメモリやハードディスク等に格納し
ておくことにより、信号処理部１３はデータベース１４
に対して読み込み動作及び書込み動作を実行することが
可能である。

【００２５】ここで、無塵衣管理装置１０のより具体的
な構成を、無塵衣管理装置１０Ａとして図２に示す模式
的な構成図を用いて説明する。図２に示すように、無塵
衣管理装置１０Ａは、作業者が無塵衣２を着用するため
の更衣室（図２中の矢印Ａ側）とクリーンルーム（図２
中の矢印Ｂ側）との間に介在するエアシャワ室５７に付
随して配置されている。なお、図面の煩雑化を避けるた
めに、更衣室とクリーンルームとを仕切る壁等の図２中
への図示化は省略している。

【００２６】特に、無塵衣管理装置１０Ａを運用するに
あたり、無塵衣２には無塵衣毎に固有のＩＤカード３１
Ａが供与される。このＩＤカード３１Ａには、当該ＩＤ
カード３１Ａが属する無塵衣２を特定するための情報で
ある識別データ１が記録されている。なお、所定の無塵
衣２を所定の作業者が着用するときには、作業者個人を
特定するために予めに供与されているＩＤカードをＩＤ
カード３１Ａとして利用しても構わない。

【００２７】このとき、ＩＤカード３１Ａへの識別デー
タ１の記録方法の一例として、例えば磁気的な記録方法
や、ホログラム等の光学的な記録方法や、文字・数字・
記号やバーコード等の各種図形等の印刷による記録方法
等が挙げられる。更に、いわゆるＩＣカード（接触型／
非接触型を問わない）内のＩＣメモリ内に識別データ１
を記録しても良い。また、識別データ１を、ＩＤカード
３１Ａにパンチ穴や切り欠き等を形成することによって
当該カードの形状として記録しても良い。

【００２８】これに対応して、無塵衣管理装置１０Ａ
は、識別データ入力部１１として、ＩＤカード３１Ａに
記録されている識別データ１を読みとり可能なＩＤカー
ドリーダ（以下、単に「カードリーダ」とも呼ぶ）５１
を備えている。

【００２９】更に、無塵衣管理装置１０Ａは、測定部１
２として、ダストカウンタ５２を備える。無塵衣管理装
置１０Ａでは、図１に示す信号処理部１３及びデータベ
ース１４はユニット５３内に配置されると共に当該ユニ
ット５３と上記カードリーダ５１とは互いに隣接して配
置されて両筐体が一体的に構成されているので、これら
の構成要素１３，１４及びカードリーダ５１から信号処
理部１３へのデータ転送経路の図２中への詳細な図示化
は省略している。なお、ダストカウンタ５２は、エアシ
ャワ室５７内の空気をダクト５８を介して取り込んで、
エアシャワ室５７内の空気中のダスト量を測定する。そ
して、その測定結果をデータ転送ケーブル５９を介して
ユニット５３中の信号処理部１３（図１参照）へ送信す
る。ここで、ダストは固形物として計測可能な物質を言
うものとする。

【００３０】Ｂ．無塵衣管理装置の動作 次に、図１及び図２に加えて図３のフローチャートを参
照しつつ、作業者がクリーンルームに入室するまでの経
過に沿って、無塵衣管理装置１０Ａの動作を説明する。

【００３１】まず、無塵衣２を着用した作業者が、カー
ドリーダ５１のカード挿入口５６へＩＤカード３１Ａを
挿入し、更衣室側の扉５５を開けてエアシャワ室５７へ
入る。このとき、カードリーダ５１は、挿入されたＩＤ
カード３１Ａに記録されている識別データ１を読み取
り、読み取った結果としての識別データＣを信号処理部
１３へ送信する（ステップＳＴ１）。そして、信号処理
部１３は、データベース１４にアクセスして比較データ
Ｄを読み込む又は取得する（ステップＳＴ２）。特に、
実施の形態１に係るデータベース１４には、ダストカウ
ンタ５１が測定して出力する測定データＲの内で少なく
とも前回の測定時の測定データＲが、識別データＣと関
連付けられて格納されている。なお、本ステップＳＴ２
は、後述のステップＳＴ４が開始されるまでに実行完了
していれば良い。

【００３２】そして、作業者がエアシャワ室５７に入室
したならば、所定の時間、無塵衣２又は作業者にエアが
吹き付けられる（エアブロー）。そして、エアの吹き付
け終了後の例えば数秒間の待ち時間の経過後に、ダスト
カウンタ５２が所定の時間の間、エアシャワ室５７内の
ダスト量を測定し、測定したダスト量を測定データＲと
して信号処理部１３へ送信する（ステップＳＴ３）。こ
のように、無塵衣管理装置１０Ａでは、測定されたダス
ト量で以て無塵衣の清浄度を把握する。

【００３３】信号処理部１３は、受信した測定データＲ
と上記読み込んだ測定データＲ（ないしは比較データ
Ｄ）とを比較して、差分ないしは増加量を算出する（ス
テップＳＴ４）。続いて、信号処理部１３は、上記算出
されたダストの増加量が、所定の判定基準の範囲内の値
であるか否かの判定処理を実行する（ステップＳＴ
５）。そして、その判定結果に基づいて所定の制御信号
Ｓを後述の各種の制御対象２１に対して出力する（ステ
ップＳＴ６）。

【００３４】上記ステップＳＴ５での判定処理におい
て、信号処理部１３が上記増加分は判定基準の範囲内の
値である判定した場合、信号処理部１３はそのような判
定結果に係る制御信号Ｓをカードリーダ５１に対して出
力する（ステップＳＴ６）。制御信号Ｓを受信したカー
ドリーダ５１は、ＩＤカード３１Ａをクリーンルーム側
の取り出し口（図２中へ図示せず）へ転送する（ステッ
プＳＴ７）。また、上記制御信号Ｓはエアシャワ室５７
のクリーンルーム側の扉（図２中に図示せず）のロック
機構の制御部（図２中に図示せず）に対しても出力され
て、当該扉のロックが解除される。なお、信号処理部１
３から上記扉のロック機構の制御部への制御信号Ｓの伝
達経路の図２中への図示化は省略している。作業者はク
リーンルームへ入室して、カードリーダ５１の上記取り
出し口からＩＤカード３１Ａを取り出して所持する。

【００３５】他方、上記ステップＳＴ５での判定処理に
おいて、信号処理部１３が上記増加分は判定基準の範囲
内の値でないと判定した場合、信号処理部１３はそのよ
うな判定結果に係る制御信号Ｓをカードリーダ５１に対
して出力する。制御信号Ｓを受信したカードリーダ５１
は、ＩＤカード３１Ａを更衣室側の挿入口５６へ転送す
る（ステップＳＴ７）。また、かかる制御信号Ｓは上述
の扉のロック機構の制御部に対しても出力されて、当該
制御信号Ｓを受信した当該制御部はアシャワ室５７のク
リーンルーム側の扉をロックして、作業者のクリーンル
ーム内への入室を制限する。作業者は更衣室へ戻り、カ
ード挿入口５６からＩＤカード３１Ａを取り出して所持
する。その後、作業者は無塵衣２を交換する等の処置を
取る。

【００３６】なお、例えば警告灯や表示装置をエアシャ
ワ室内に配置して、上記制御信号Ｓで以てこれらの点灯
や表示動作等を制御することによって、作業者にクリー
ンルーム内への入室の許可／不許可を知らせても良い。

【００３７】また、信号処理部１３は、今回の測定デー
タＲを上記ステップＳＴ１で受信した識別データＣと関
連付けて（比較データＤとして）データベース１４に格
納する（又は更新する）（ステップＳＴ８）。なお、本
ステップＳＴ８は、信号処理部１３が今回の測定データ
Ｒを受信した時点以降であれば、どの時点で実行しても
良い。

【００３８】このように、無塵衣管理装置１０Ａによれ
ば、識別データ１（又は識別データＣ）と所定の無塵衣
２とが関連付けられていると共に、識別データＣ（又は
識別データ１）と比較データＤ（ないしは測定データ
Ｒ）とが関連付けられている。このため、所定の無塵衣
２の清浄度の測定データＲと比較データＤとは互いに識
別データＣを介して関連付られている。このため、信号
処理部１３における比較処理ステップＳＴ４を、無塵衣
毎に実行することができる。従って、かかる比較結果を
用いることによって、無塵衣２の清浄度を無塵衣毎に管
理すること可能となる。

【００３９】このとき、信号処理部１３は、上記比較処
理ステップＳＴ４において、今回の測定データＲと前回
の測定データＲとの差分を算出する。従って、たとえ全
ての無塵衣に共通の（統一的な）判定基準で以て清浄度
の判定を実施する場合であっても、上記差分という相対
値を用いることにより、例えば無塵衣２のサイズや無塵
衣２を着用する作業者の作業内容又は作業環境（清浄度
レベル）等に起因して各無塵衣毎に異なる清浄度のベー
ス量をキャンセルした上で判定処理ステップＳＴ５を実
行することができる。また、上記差分を用いることによ
り、判定処理ステップＳＴ５において、例えば突発的な
ダスト量の増加や無塵衣自体の不具合等の非定常的な事
象ないしは非日常的な事象を検出することができる。か
かる非定常的な事象の管理という点に鑑みれば、比較デ
ータＤとして例えば前々回の測定データＲ等の過去の測
定データＲを利用しても構わない。なお、例えばデータ
ベース１４に過去の測定データＲと共に各測定が実施さ
れた順序（例えば日時や測定順番を示す番号等）をその
測定データＲと関連付けて格納しておくときには、（今
回の測定データＲも加えて）上記差分（ダスト量）の履
歴を用いて上記非定常的な事象を管理しても良い。

【００４０】このとき、上記判定基準として例えば無塵
衣２のサイズや無塵衣２を着用した作業者の作業内容又
は作業環境等のデータを用いて無塵衣毎に設定された基
準を用いるときには、無塵衣毎の管理をより詳細に実施
することができる。例えば、上述の無塵衣のサイズ等の
データを「参照データ」として識別データＣと関連付け
けてデータベース１４に更に格納しておき、図４のフロ
ーチャートに示すように、図３のフローチャートに対し
てステップＳＴ２Ａを設けても良い。詳細には、ステッ
プＳＴ２Ａにおいて、信号処理部１３が、ステップＳＴ
１で受信した識別データＣと関連付けられた上記参照デ
ータを読み込んで、当該参照データに基づく判定基準を
設定する。そして、信号処理部１３が、かかる判定基準
を用いてステップＳＴ５の判定処理を実行する。ステッ
プＳＴ２Ａは判定処理ステップＳＴ５の実施前までに実
行されれば良い。なお、その他の処理ステップは図３に
示す処理ステップと同様であるため、図４では既述の処
理ステップと同等のものには同一の符号を付して、その
詳細な説明を援用するに留める。かかる点は以下の説明
において同様とする。

【００４１】以上のように、無塵衣管理装置１０Ａ（１
０）ないしは当該装置１０Ａ（１０）を備えるエアシャ
ワ室によれば、クリーンルーム内の清浄度を所定のレベ
ルに保持することができ、その結果、半導体装置等のク
リーンルーム内で製造する製品の高い歩留まりを実現す
ることができる。

【００４２】＜実施の形態１の変形例１＞無塵衣管理装
置１０の第２の具体例を無塵衣管理装置１０Ｂとして図
５に示す。図５に示すように、無塵衣管理装置１０Ｂ
は、ダストカウンタ５２（図２参照）に代えて、測定部
１２として不純物計測器６２、例えばガスクロマトグラ
フィーを適用しても良い。ここで、不純物とは気相とし
て計測可能な物質を言うものとする。なお、既述の構成
要素と同等のものには同一の符号を付してその詳細な説
明を援用する。かかる点は以下の説明において同様とす
る。

【００４３】無塵衣管理装置１０Ｂでは、図６のフロー
チャートに示すように、既述のステップＳＴ３（図３参
照）に相当するステップＳＴ３Ｂにおいて、例えば数秒
間の待ち時間の後に、不純物計測器６２が所定の時間の
間エアシャワ室５７内の不純物量を測定し、測定した不
純物量を測定データＲとして信号処理部１３へ送信す
る。無塵衣管理装置１０Ｂによっても、既述の無塵衣管
理装置１０Ａと同様の効果を得ることができる。

【００４４】＜実施の形態１の変形例２＞更に、ＩＤカ
ード３１Ａ（図２参照）に代えて、直接に或いは各種の
部材に識別データ１を記録した上で、無塵衣に識別デー
タ１を付与しても良い。このとき、ＩＤカード３１Ａと
同様にして、無塵衣２に識別データ１を記録する。これ
に対応して、識別データ入力部１１として識別データ１
を無塵衣から分離することなく直接的に読み取り可能な
機器を適用する。例えば、図７に示すように、識別デー
タ１がバーコード３１Ｂとして印刷（バーコードの詳細
な図示化は省略する）された無塵衣２を用いるときに
は、無塵衣管理装置１０の第３の具体例として示す無塵
衣管理装置１０Ｃのように、識別データ入力部１１とし
てバーコード読み取り部６６を有するバーコード読み取
り器６１を適用する。かかる場合には、無塵衣２と識別
データ１との対応関係を確実化することができる。ま
た、ＩＤカード３１Ａを所持・管理する煩わしさを無く
することができる。

【００４５】図８のフローチャートに示すように、無塵
衣管理装置１０Ｃの動作は、図３のフローチャートにお
けるＩＤカードの転送ステップＳＴ７が不要になる点を
除いて、図３のフローチャートに示す無塵衣管理装置１
０Ａの動作と同様である（エアシャワ室５７の扉のロッ
ク機構の制御は、制御信号Ｓに基づいてエアシャワ室５
７の制御部が実行する）。

【００４６】＜実施の形態１の変形例３＞なお、無塵衣
管理装置１０Ｃのダストカウンタ５２に代えて、無塵衣
管理装置１０の第４の具体例として図９に示す無塵衣管
理装置１０Ｄのように、測定部１２（図１参照）として
既述の不純物測定装置６２を適用しても構わない。無塵
衣管理装置１０Ｄの動作は既述の各処理ステップを適用
可能であるため、図１０にフローチャートを示すに留め
る。

【００４７】また、上述のカードリーダ５１やバーコー
ド読み取り器６１等の測定部１１は、エアシャワ室５７
内に配置しても良いことを付記する。

【００４８】＜実施の形態２＞さて、上述の実施の形態
１では、無塵衣２に付着したダスト量又は不純物量を、
測定部１２としてのダストカウンタ５２又は不純物測定
装置６２によって測定する場合の構成を説明した。実施
の形態２では、無塵衣２の清浄度を（ダスト量，不純物
量と相関する）無塵衣の変色で以て管理しうる無塵衣管
理装置の構成を説明する。

【００４９】無塵衣管理装置１０の実施の形態２に係る
具体的な構成として、図１１に無塵衣管理装置１０Ｅを
示す。図１１に示すように、無塵衣管理装置１０Ｅは、
既述のユニット５３及びカードリーダ５１と、測定部１
２（図１参照）としてエアシャワ室５７の内部にいる作
業者の無塵衣の全体を撮影可能に配置された画像取り込
み装置（ここではＣＣＤカメラを一例として挙げる）７
２Ａ，７２Ｂとを備える。無塵衣管理装置１０Ｅでは、
無塵衣の全体の画像をＣＣＤカメラ７２Ａ，７２Ｂで取
り込んで、無塵衣の清浄度の測定データＲとして用い
る。つまり、無塵衣管理装置１０Ｅでは、無塵衣の清浄
度を画像データとして把握する。ＣＣＤカメラ７２Ａ，
７２Ｂが読み取った画像は、データ転送ケーブル７９
Ａ，７９Ｂを介してユニット５３内に配置された信号処
理部１３へ送信される。

【００５０】なお、ＣＣＤカメラは、１台又は３台以上
配置しても構わない。また、画像取り込み装置は、取り
込んだ画像を信号処理部１３（図１参照）において処理
しうるデータ形式（デジタル画像）と出力しうる限り、
ＣＣＤカメラ以外の他のカメラを用いても良い。例えば
銀塩カメラ等を用いて画像を取り込み、取り込んだ画像
をデジタル処理した後に信号処理部１３に対して出力し
ても良く、かかる場合には、銀塩カメラと上述のデジタ
ル処理を実行する構成要素との総称が「画像取り込み装
置」に該当する。

【００５１】特に、実施の形態２に係るデータベース１
４（図１参照）には、比較データＤとして各無塵衣２の
清浄な状態（例えばクリーニング直後の状態）の画像デ
ータが識別データＣと関連付けられて格納されている。

【００５２】次に、無塵衣管理装置１０Ｅの動作を図１
２のフローチャートを参照しつつ説明する。まず、作業
者がＩＤカード３１Ａをカード挿入口５６に挿入する
と、無塵衣管理装置１０は既述のステップＳＴ１，ステ
ップＳＴ２を実行する。このとき、ステップＳＴ２にお
いて、信号処理部１３は比較データＤとして受信した識
別データＣと関連付けられた上述の清浄な状態の画像デ
ータをデータベース１４（図１参照）から読み込む。

【００５３】そして、作業者がエアシャワー室へ入室す
るとエアの吹き付けが実施される。エアの吹き付け終了
後の待ち時間の経過後に、ＣＣＤカメラ７２Ａ，７２Ｂ
が無塵衣の全体の画像を取り込み、取り込んだ画像を測
定データＲとして信号処理部１３へ送信する（ステップ
ＳＴ３Ｄ）。

【００５４】信号処理部１３は、受信した測定データＲ
と上記読み込んだ比較データＤとを画像比較して、無塵
衣の変色の度合いを取得する（ステップＳＴ４Ｄ）。こ
のとき、例えば両画像データＲ，Ｄの画像濃度の比較に
より濃度の差分を取得する。なお、上記比較処理の結果
である変色の度合いは、数値化されたデータとして求め
ても良いし、画像データとして求めても良い。

【００５５】続いて、信号処理部１３は、上記変色の度
合いが所定の判定基準の範囲内にあるか否かの判定処理
を実行して（ステップＳＴ５）、その判定結果に基づい
て所定の制御信号Ｓを後述の各種の制御対象２１に対し
て出力する（ステップＳＴ６）。その後の無塵衣管理装
置１０Ｅの処理ないしは動作は、既述のステップＳＴ６
７と同様である。

【００５６】このように、無塵衣管理装置１０Ｅによれ
ば、既述の無塵衣管理装置と同様に、所定の無塵衣２の
清浄度の測定データＲと比較データＤとは互いに識別デ
ータＣを介して関連付られている。従って、比較処理ス
テップＳＴ４を無塵衣毎に実行することができ、無塵衣
２の清浄度を無塵衣毎に管理することができる。

【００５７】特に、無塵衣管理装置１０Ｅによれば、無
塵衣の全体画像データを測定データＲとして用いるの
で、既述の無塵衣管理装置１０Ａ等における測定データ
Ｒ（ダスト量又は不純物量）とは異なり、測定データＲ
自体に無塵衣のサイズの情報が含まれる。従って、その
サイズを考慮した無塵衣毎の清浄度の管理が可能であ
る。なお、既述の参照データを用いて、上記判定基準と
して無塵衣毎に設定された基準を用いるときには、無塵
衣毎の管理をより詳細に実施することができる。

【００５８】また、データベース１４に少なくとも前回
の測定時の測定データ（画像データ）Ｒを格納しておく
ことにより、既述の無塵管理装置１０Ａ等と同様に今回
の測定データＲと前回の測定データＲとを比較処理して
も構わない。このとき、図３に示すステップＳＴ７、即
ち、今回の測定データＲを識別データＣと関連付けてデ
ータベース１４に格納する処理ステップを設ける。

【００５９】＜実施の形態２の変形例１＞図１３に示す
ように、ＩＤカード３１Ａ（図１１参照）の代わりに例
えばバーコート３１Ｂ等ととして識別データ１が付与さ
れた無塵衣２を用いるときには、実施の形態２に係る第
２の具体例としての無塵衣管理装置１０Ｆのように、バ
ーコード読み取り器６１を適用する。このとき、バーコ
ード読み取り器６１等の識別データ入力部１１として、
画像取り込み装置７２Ａ，７２Ｂを兼用しても構わな
い。無塵衣管理装置１０Ｆの動作は既述の各処理ステッ
プを適用可能であるため、図１４にフローチャートを示
すに留める。

【００６０】また、上述のカードリーダ５１やバーコー
ド読み取り器６１等の測定部１１は、エアシャワ室５７
内に配置しても良いことを付記する。

【００６１】また、上述の各無塵衣管理装置における測
定部を種々に組み合わせて別途の無塵衣管理装置を構成
しても良い。かかる場合には、無塵衣の清浄度の低下を
多面的に測定することができる。更に、識別データ入力
部１１として例えばキーボード等の入力装置を適用し
て、作業者自身が識別データ１（又はＣ）を入力する構
成であっても構わない。また、作業者がクリーンルーム
から退室する際にも無塵衣２の清浄度を測定しても良
い。このとき、入退室時の双方で無塵衣２の清浄度を測
定するときには、その間の作業中における無塵衣の清浄
度の低下を検出することができる。

【００６２】＜実施の形態３＞さて、既述の各無塵衣管
理装置の信号処理部１３における信号処理に関するプロ
グラムを例えばコンピュータが備えるメモリ等の記憶部
に格納しておき、コンピュータに実施させることも可能
である。このとき、当該プログラムを予めに上記記憶部
に格納しておいても良いし、図１５に示すように、上述
のプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体
（例えば、フレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等）４
５に記録しておき、コンピュータ４３が当該プログラム
をインタフェース機器４４を介して読み込んで実施する
形態であっても構わない。ここでは、図２に示す無塵衣
管理装置１０Ａの信号処理部１３が実行する処理内容に
相当するプログラムを一例として挙げて、当該コンピュ
ータが実行するプログラムを図１６に示すフローチャー
トを参照しつつ説明する。なお、図１６のフローチャー
トは、既述の図３のそれに対応する。

【００６３】まず、識別データ入力部１１（カードリー
ダ５１）が送信する識別データＣをコンピュータ４３が
受信して取得する（ステップＳＴ１１）。次に、識別デ
ータＣと関連付けられた比較データＤ（ここでは、前回
の測定データＲ）をデータベース１４を参照して取得す
る（ステップＳＴ１２）。また、測定部１２（ダストカ
ウンタ５２）が送信する測定データＲをコンピュータ４
３が受信して取得する（ステップＳＴ１３）。なお、ス
テップＳＴ１２とステップＳＴ１３とは逆の順序であっ
ても構わない。そして、コンピュータ４３は、取得した
測定データＲと比較データＤとに基づいて既述のステッ
プＳＴ４（図３参照）と同様の比較処理を実行し（ステ
ップＳＴ１４）、比較結果に対して既述のステップＳＴ
５（図３参照）と同様の判定処理を実行して（ステップ
ＳＴ１５）、制御信号Ｓを出力する（ステップＳＴ１
６）。そして、上記ステップＳＴ１３で取得した測定デ
ータＲをデータベース１４に格納する（ステップＳＴ１
７）。なお、ステップＳＴ１６は、測定データＲを取得
した後のいずれかの時点で実行すれば良い。

【００６４】このように、図１５に示す構成によって
も、無塵衣管理装置１０Ａと同様の効果を得ることがで
きる。なお、無塵衣管理装置１０Ａ以外の同装置の信号
処理部１３における信号処理に関するプログラムについ
ても同様に適用できることは明らかである。

【００６５】

【発明の効果】（１）請求項１に係る発明によれば、識
別データと所定の無塵衣とが関連付けられていると共
に、識別データと比較データとが関連付けられている。
このため、上記所定の無塵衣の清浄度の測定データと比
較データとは互いに識別データを介して関連付られてい
る。このため、信号処理部における比較処理を、無塵衣
毎に実行することができる。従って、かかる比較結果を
用いることによって、無塵衣の清浄度を無塵衣毎に管理
すること可能となる。

【００６６】（２）請求項２に係る発明によれば、比較
データは測定データであるため、例えば、データベース
に（少なくとも）前回の測定時の測定データを格納して
おくことにより、信号処理部は、データベースを参照し
て今回の測定により得られた測定データと前回の測定デ
ータとを比較することが可能となる。

【００６７】（３）請求項３に係る発明によれば、デー
タベースには測定データとその測定データの測定順序に
関するデータが格納されているので、データベースを参
照することにより、例えば、今回の測定データと過去の
測定データとの比較や、所定の無塵衣の清浄度の履歴等
の情報を得ることができる。

【００６８】（４）請求項４に係る発明によれば、信号
処理部は、上記比較処理において、今回の測定データと
前回の測定データとの差分を算出する。従って、たとえ
全ての無塵衣に共通の（統一的な）判定基準で以て清浄
度の判定を実施する場合であっても、上記差分という相
対値を用いることにより、各無塵衣毎に異なる清浄度の
ベース量をキャンセルした上で、そのような判定を実施
することができる。

【００６９】（５）請求項５に係る発明によれば、上記
（１）乃至（４）のいずれかの効果を得ることができ
る。

【００７０】（６）請求項６に係る発明によれば、測定
データを無塵衣の変色として取得した上で、上記（１）
乃至（４）のいずれかの効果を得ることができる。

【００７１】（７）請求項７に係る発明によれば、測定
データは、測定部である画像取り込み装置により取り込
まれた上記所定の無塵衣の全体の画像データであるた
め、測定データ自体に無塵衣のサイズの情報が含まれ
る。従って、そのサイズを考慮した無塵衣毎の清浄度の
管理が可能である。また、比較データは所定の無塵衣に
関連付けられたデータであるため、無塵衣毎に比較処理
を実行して清浄な状態からの清浄度の低下の度合いを得
ることができる。

【００７２】（８）請求項８に係る発明によれば、上記
（１）乃至（７）のいずれかの効果を得た上で、無塵衣
の清浄度の判定を実施することができる。

【００７３】（９）請求項９に係る発明によれば、信号
処理部は、受信した識別データと関連付けられた参照デ
ータに基づく判定基準を設定した上で、無塵衣の清浄度
の判定処理を実施する。このとき、参照データとして例
えば無塵衣のサイズや無塵衣を着用した作業者の作業内
容又は作業環境等のデータを用いることによって、その
ような内容をも考慮しつつ無塵衣の清浄度の判定処理を
実行することができる。従って、無塵衣毎の管理をより
詳細に実施することができる。

【００７４】（１０）請求項１０に係る発明によれば、
作業者が所持するＩＤカードを当該無塵衣管理装置にお
いてそのまま流用することができる。

【００７５】（１１）請求項１１に係る発明によれば、
識別データが無塵衣に記録されているので、無塵衣と識
別データとの対応関係を確実化することができる。

【００７６】（１２）請求項１２に係る発明によれば、
上記（１）乃至（１１）のいずれかの効果が発揮され
て、クリーンルームの清浄度を改善しうるエアシャワ室
を提供することができる。

【００７７】（１３）請求項１３に係る発明によれば、
無塵衣の清浄度の管理をコンピュータにより実施するこ
とができ、上記（１）と同様の効果を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る無塵衣管理装置の構成を説明す
るための模式的なブロック図である。

【図２】 実施の形態１に係る、無塵衣管理装置の構成
を説明するための模式図である。

【図３】 図２に示す無塵衣管理装置の動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図４】 図２に示す無塵衣管理装置の他の動作を説明
するためのフローチャートである。

【図５】 実施の形態１の変形例１に係る、無塵衣管理
装置の第２の構成を説明するための模式図である。

【図６】 図５に示す無塵衣管理装置の動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図７】 実施の形態１の変形例２に係る、無塵衣管理
装置の第３の構成を説明するための模式図である。

【図８】 図７に示す無塵衣管理装置の動作を説明する
ためのフローチャートである。

【図９】 実施の形態１の変形例３に係る、無塵衣管理
装置の第４の構成を説明するための模式図である。

【図１０】 図９に示す無塵衣管理装置の動作を説明す
るためのフローチャートである。

【図１１】 実施の形態２に係る、無塵衣管理装置の構
成を説明するための模式図である。

【図１２】 図１１に示す無塵衣管理装置の動作を説明
するためのフローチャートである。

【図１３】 実施の形態２に係る、無塵衣管理装置の第
２の構成を説明するための模式図である。

【図１４】 図１３に示す無塵衣管理装置の動作を説明
するためのフローチャートである。

【図１５】 実施の形態３に係る、無塵衣管理装置の構
成を説明するための模式図である。

【図１６】 図１５に示す無塵衣管理装置の構成におけ
るコンピュータの処理内容を説明するためのフローチャ
ートである。

【符号の説明】

１，Ｃ 識別データ、２ 無塵衣（測定対象）、１０，
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ 無塵衣管理
装置、１１ 識別データ入力部、１２ 測定部、１３
信号処理部、１４ データベース、１５ 制御対象、３
２ 無塵衣、３１Ａ ＩＤカード、３１Ｂ バーコー
ド、４３ コンピュータ、４４ インタフェース機器、
４５ 記録媒体、５１ バーコード読み取り器（識別デ
ータ入力部）、５２ ダストカウンタ（測定部）、５３
ユニット、５５ 扉、５７ エアシャワ室、６１ Ｉ
Ｄカードリーダ（識別データ入力部）、６２ 不純物計
測器（測定部）、７２Ａ，７２Ｂ ＣＣＤカメラ（画像
取り込み装置）、Ｄ 比較データ、Ｒ 測定データ、Ｓ
制御信号、ＳＴ１〜ＳＴ８，ＳＴ２Ａ，ＳＴ３Ｂ，Ｓ
Ｔ３Ｄ，ＳＴ４Ｄ，ＳＴ１１〜ＳＴ１７ 処理ステッ
プ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5B035 AA03 AA14 BB01 BB02 BB03 BB07 BB09 BC01 CA11 5B049 AA02 BB07 CC13 CC21 CC31 DD00 DD04 DD05 EE02 FF09

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の無塵衣を識別可能な識別データを
   取得して出力する識別データ入力部と、 前記所定の無塵衣の清浄度を測定して、その測定結果に
   関する測定データを出力する測定部と、 少なくとも無塵衣の清浄度に関する比較データが前記識
   別データと関連付けられて格納されているデータベース
   と、 前記識別データ及び前記測定データを受信する一方、前
   記データベースを参照して、前記受信した識別データと
   関連付けられた前記比較データと、前記受信した測定デ
   ータとを比較する比較処理を実行する信号処理部とを備
   えることを特徴とする、無塵衣管理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の無塵衣管理装置であっ
   て、 前記比較データは、前記測定データであることを特徴と
   する、無塵衣管理装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の無塵衣管理装置であっ
   て、 前記データベースには、前記測定データの測定順序に関
   するデータが前記測定データと関連付けられて更に格納
   されていることを特徴とする、無塵衣管理装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の無塵
   衣管理装置であって、 前記比較処理は、 前記データベースを参照して、前記受信した識別データ
   と関連付けられた前記比較データと、前記受信した測定
   データとを比較して、両者の差分を算出する処理である
   ことを特徴とする、無塵衣管理装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の無塵
   衣管理装置であって、 前記測定部は、 気体中のダストをカウントするダストカウンタと気体中
   の不純物の濃度を測定する不純物測定装置との内の少な
   くとも一方であることを特徴とする、無塵衣管理装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至４のいずれかに記載の無塵
   衣管理装置であって、 前記測定部は、画像取り込み装置から成り、 前記測定データ及び比較データは、画像データから成
   り、 前記信号処理部は、前記比較処理を画像比較処理で以て
   実行することを特徴とする、無塵衣管理装置。
7. 【請求項７】 請求項１に記載の無塵衣管理装置であっ
   て、 前記測定部は、画像取り込み装置から成り、 前記測定データは、前記画像取り込み装置により取り込
   まれた前記所定の無塵衣の全体の画像データであり、 前記比較データは、前記識別データと関連付けられた前
   記所定の無塵衣の清浄な状態の画像データであり、 前記信号処理部は、前記比較処理を画像比較処理で以て
   実行することを特徴とする、無塵衣管理装置。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載の無塵
   衣管理装置であって、 前記信号処理部は、更に、 前記比較処理の結果に基づいて、前記無塵衣に共通に設
   けられた判定基準で以て前記所定の無塵衣の清浄度を判
   定する判定処理を実行することを特徴とする、無塵衣管
   理装置。
9. 【請求項９】 請求項１乃至７のいずれかに記載の無塵
   衣管理装置であって、 前記データベースには、前記識別データと関連付けられ
   た参照データが更に格納されており、 前記信号処理部は、更に、 前記データベースを参照して前記受信した識別データと
   関連付けられた前記参照データに基づく判定基準を設定
   し、前記設定された判定基準で以て前記所定の無塵衣の
   清浄度を判定する判定処理を実行することを特徴とす
   る、無塵衣管理装置。
10. 【請求項１０】 請求項１乃至９のいずれかに記載の無
    塵衣管理装置であって、 前記識別データは、前記無塵衣を着用する作業者のＩＤ
    カードに記録されていることを特徴とする、無塵衣管理
    装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至９のいずれかに記載の無
    塵衣管理装置であって、 前記識別データは、前記無塵衣に記録されていることを
    特徴とする、無塵衣管理装置。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれかに記載の
    前記無塵衣管理装置を備えることを特徴とする、エアシ
    ャワ室。
13. 【請求項１３】 所定の無塵衣を識別可能な識別データ
    を取得して出力する識別データ入力部と、前記所定の無
    塵衣の清浄度を測定して、その測定結果に関する測定デ
    ータを出力する測定部と、少なくとも無塵衣の清浄度に
    関する比較データが前記識別データと関連付けられて格
    納されているデータベースとを用いて、無塵衣の清浄度
    の管理をコンピュータにより行うためのプログラムを記
    録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、 （ａ）前記識別データ入力部が出力する前記識別データ
    を取得するステップと、 （ｂ）前記測定部が出力する前記測定データを取得する
    ステップと、 （ｃ）前記データベースを参照して、前記取得した識別
    データと関連付けられた前記比較データと、前記取得し
    た測定データとを比較するステップとをコンピュータに
    実行させるためのプログラムを記録したことを特徴とす
    る、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。