JPH04186043A

JPH04186043A - エアシャワー室

Info

Publication number: JPH04186043A
Application number: JP31458090A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Takao; 浩昭高尾
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-11-20
Filing date: 1990-11-20
Publication date: 1992-07-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕本発明は９作業者がクリーンルームに入る前に塵埃を除
去するエアシャワー室の構造に関し。

より高い塵埃の除去効率を得ることを目的とし。

クリーンルームに入室する人、或いは物の塵埃を、その
入室前に除去するエアシャワー室であって、ダストカウ
ンタとエアシャワーと扉機構とを有し、該ダストカウン
タは塵埃検知器と演算器とモニターとを具備し、該エア
シャワー室内の大気中の塵埃を計量して、塵埃量に対応
する表示をするように構成され、該エアシャワーはイオ
ナイザとエア吹き出し口とを具備し２人、或いは者が在
室している間、エア吹き出し口からエアを吹き出して９
人、或いは物の塵埃を除去するとともに。

該イオナイザよりイオンを放出して９人、或いは物に帯
電している電荷を中和するように構成され。

該扉機構は扉と扉制御器とを具備し、前記ダストカウン
タにより計量した塵埃量が、あらかじめ設定された塵埃
量に達した時に、扉制御器を作動して、扉を開扉し１人
、或いは物を該クリーンルームに入室可能とする機能を
有しているように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は９作業者がクリーンルームに入る前に塵埃を除
去するエアシャワーの構造に関する。

近年、超ＬＳＩデバイスの高集積化、超微細化にともな
い、ウェハプロセスにおける様々な極（微細な塵埃（ゴ
ミ）か大きな問題となり、特に作業者の着衣や、クリー
ンルーム内で使用する各種の材料部品・容器等に付着し
て、クリーンルーム内に持ち込まれるゴミも、半導体製
品の歩留りを左右する要因の一つとなっている。

そのため、エアシャワー内でのゴミの除去の効率化が必
要となる。

〔従来の技術〕

従来のエアシャワーは、エアシャワー室内に単にエアの
吹き出し口のみを設け、エアフィルターで濾過されたク
リーンエアをエアシャワー室に入っている人、或いは物
に対して、１分とか２分とか時間を一定にして、短時間
吹きつけてゴミの除去が行われたとしていた上９入出扉
の開閉は自由であった。

しかし、実際には、イオナイザーの如き静電気除去装置
や塵埃量を示すモニター表示は取付けらされておらず、
ゴミが残っていてもそれがどの程度の塵埃量か全熱わか
らず、却って、エアシャワー室内で作業者がゴミを落と
すために手足を動かすと、防塵衣類はナイロン等の合成
繊維製品が多いため、静電気が数キロボルトも帯電して
、ゴミが着衣に付着してしまうことが多かった。　また
。

そのような完全に作業者や持込み部品・材料等の物に対
するゴミが完全に除去されない状態でも。

短時間のエア吹き出しが終わると同時に、何時でもクリ
ーンルーム内に入室が可能なため９作業者の防塵衣類の
表面に付着したゴミや材料・部品を介するゴミの進入を
完全に防ぐことは殆ど困難であった。

更に、塵埃量のモニター表示などがなく１作業者自体も
どのくらいのゴミを持ち込んでいるかはっきり判らず１
作業者自身の意識に訴える手段もなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

従って９作業者や持込み物のゴミがクリーンルーム内の
清浄度を悪化させることとなり、半導体製品の製造にお
ける歩留りや信頼性の低下といった問題を起こしていた
。

本発明は１以上の点を鑑み１作業者や持込み材料・部品
のゴミの除去効率を高めることにより。

クリーンルーム内の清浄度を保つことを目的として提供
されるものである。

〔課題を解決するための手段〕

第１図は本発明のエアシャワー室の構成例の説明図であ
る。

図において、１はエアシャワー室、２はダストカウンタ
、３はエアシャワー、４は扉機構、５は塵埃検出器、６
は演算器、７はモニター、８はイオナイザ、９はエア吹
き出し口、　１０は扉、１１は自動扉制御器、１２はリ
ターンである。

上記の問題点の解決するために、エアシャワー室ｌの内
部にダストカウンタ２．イオナイザー８等を装備し、且
つ、扉機構４と連動させて、成る規定の清浄度に達した
ら扉ＩＯが開いて入室が可能となるシステムを採用する
。

即ち９本発明の目的は、第１図に示すように。

クリーンルームに入室する人、或いは物の塵埃を。

その入室前に除去するエアシャワー室ｌであって。

ダストカウンタ２とエアシャワー３と扉機構４とを有し
、該ダストカウンタ２は塵埃検知器５と演算器６とモニ
ターとを具備し、該エアシャワー室ｌ内の大気中の塵埃
を計量して、塵埃量に対応する表示をするように構成さ
れ。

該エアシャワー３はイオナイザ８とエア吹き出し口９と
を具備し２人、或いは者が在室している間、エア吹き出
し口９からエアを吹き出して９人。

或いは物の塵埃を除去するとともに、該イオナイザ８よ
りイオンを放出して９人、或いは物に帯電している電荷
を中和するように構成され。

該扉機構４は扉ｌＯと扉制御器１１とを具備し、前記ダ
ストカウンタ２により計量した塵埃量が、あらかじめ設
定された塵埃量に達した時に、扉制御器１１を作動して
、扉１０を開扉し１人、或いは物を該クリーンルームに
入室可能とする機能を有していることにより達成される
。

〔作用〕

このように９本発明では、第１図に示すように。

エア吹き出し中にエアシャワー室内の塵埃をダストカウ
ンターにより計量して、モニターし、その塵埃の量によ
り、成る清浄度設定値以下になったら自動扉を開閉する
ことにより、クリーンルーム内の清浄度を保つ一助とす
る。

〔実施例〕

第２図は本発明のエアシャワーの一実施例の作動図であ
る。

図において、　１３は作業者、　１４は持込み物、　１
５は防塵衣更衣室、　１６はセンサ、　１７は自動扉、
　１８はエアシャワー室、　１９はクラス表示モニター
、２０はエア吹き出し口、　２１はリターン、２２は自
動扉、２３はクリーンルーム、２４はエア、２５は正イ
オン、２６は負イオンである。

実施例について、第２図の本発明のエアシャワー室の一
実施例の作動図により説明する。

第２図（ａ）に示すように、無人の状態では僅かにエア
シャワー室１８内のエアが換気され９例えば、クラス１
０の清浄度が保たれている。ここで。

クラス表示は、前記カウンタ４で計量した０、３μｍ径
のゴミが１立方フイート中に含まれる数を示すこととす
る。

先ず、エアシャワー室１８前に防塵衣更衣室１５で防塵
衣に着替え、持込み物１４を持った作業者１３が来ると
、赤外線の入室センサ１６Ａが感知して入口の自動口部
１７が開（。

そして、エアシャワー室１８内に作業者１３が入室する
と、清浄度は一時的に数千のオーダーに悪化するが、第
２図（ｂ）に示すように、室内センサ１６Ｂによって作
業者１３が検知され、エアシャワーのエア吹き出し口２
０の内部に取り付けられている前述のイオナイザー８の
電極から正、負のイオン２５、２６が発生される。

それと同時に、ダストカウンタ２による空気中のゴミの
サンプル採取が開始され、光学式の塵埃測定器５により
ゴミの量を測定し、演算器６によって例えば清浄度のク
ラス値に変換して、クラス表示モニタ１９にその値を表
示する。

表示は、塵埃量のクラス値のみでなく、クリーンルーム
の清浄度の段階によって、直接濃度や赤。

青、黄の交通信号、可、不可の簡単な標識でも良い。

作業者１３の着衣、或いは持込み物１４に付着した塵埃
が一時に吹き払われ、モニター表示はクラス５００位迄
あがるが１時間とともに減少していく。

また９作業者が手足を積極的に動かして、防塵衣類に付
着したゴミをイオナイザーの効果による静電気の減少と
ともに放出していく度に、−時的にゴミの量が増える。

その値が基準値９例えば、ウェハープロセスのフォトリ
ソグラフィ工場のような清浄度の最も重要なりリーンル
ームに入るためのエアシャワー室１８内では、クラス１
０を下回るまで、０．１μｍ以上のゴミを９７％以上捕
集めるフィルターを通過させたクリーンエアの吹き出し
と、防塵衣類に付着した静電気を中和するイオンの発生
が続けられて。

第２図（Ｃ）に示すように、エアシャワー室内を清浄化
する。吹き出したエア２４はゴミとともにリターン２１
より排出される。

この清浄度のコントロールは、光学式塵埃測定気を通過
したゴミの量を、あらかじめ設定してメモリーに記憶さ
せた基準値と比較して、上記の場合には、清浄度がクラ
ス１０に達したら、モニター表示が１０の管理値下限迄
達し、それと同時に、エアジャワの扉を開く信号を演算
器６より、扉制御器１１に送って自動的にクリーンルー
ム２３との境の内に持込み物１４と一緒に入室する。す
ると、出口センサ１６ｃが入室の完了を検知し、自動扉
２２が閉まる。

続いて、エア吹き出し口２０が閉じられ、自動扉２２が
閉まり、エアシャワー室１８は元の状態に戻る。

以上のエアシャワー室からクリーンルームへの入室のエ
アシャワー室の動作フローを第３図に示した。

〔発明の効果〕

以上説明した様に９本発明によるエアシャワー室では、
エアの吹き出しとともに、エアシャワー室内のゴミの量
に応じた逆極性イオンの放出により、効率良く静電気の
減少、ゴミの除去並びに管理を行うことができ、従来の
ように、ゴミが充分エアシャー室内で落とし切れないま
まクリーンルーム内に入ってしまうようなことがなくな
るために、クリーンルーム内の清浄度が保持されて、半
導体装置の特性劣化の防止、信頼性の向上に寄与すると
ころが大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のエアシャワー室の構成例の説明図。第２図は本発明のエアシャワー室の一実施例の作動図である。第３図は本発明のエアシャワー室の動作フローである。図において。１はエアシャワー室、２はダストカウンタ。３はエアシャワー、　　４は自動扉機構。５はカウンタ、　　　　６は演算器。７はモニター、　　　　８はイオナイザ。９はエア吹き出し口、１０は扉。１１は自動扉制御器、　　　１２はリターン。１３は作業者、１４は持込み物。１５は防塵衣更衣室、１６は入室センサ。１７は自動扉、　　　　　　１８はエアシャワー室。１９はクラス表示モニター。２０はエア吹き出し口、２１はリターン。２２は自動扉、２３はクリーンルーム。２４はエア、２５は正イオン。２６は負イオンオ（鞭ｐ月のエアシーつ一室（７）市（万り竹’ＩＩＮ
ＬＩＩ月図第　　１　　　図本発明のエアシイつ一宇の一笑旅竹］０作動ヅ￥−Ｊ２
図エアンｖ７−家ψγ康７０− 第３０

Claims

【特許請求の範囲】クリーンルームに入室する人、或いは物の塵埃を、その
入室前に除去するエアシャワー室（１）であって、ダストカウンタ（２）とエアシャワー（３）と扉機構（
４）とを有し、該ダストカウンタ（２）は塵埃検知器（５）と演算器（
６）とモニターとを具備し、該エアシャワー室（１）内
の大気中の塵埃を計量して、塵埃量に対応する表示をす
るように構成され、該エアシャワー（３）はイオナイザ（８）とエア吹き出
し口（９）とを具備し、人、或いは者が在室している間
、エア吹き出し口（９）からエアを吹き出して、人、或
いは物の塵埃を除去するとともに、該イオナイザ（８）
よりイオンを放出して、人、或いは物に帯電している電
荷を中和するように構成され、該扉機構（４）は扉（１０）と扉制御器（１１）とを具
備し、前記ダストカウンタ（２）により計量した塵埃量
が、あらかじめ設定された塵埃量に達した時に、扉制御
器（１１）を作動して、扉（１０）を開扉し、人、或い
は物を該クリーンルームに入室可能とする機能を有して
いることを特徴とするエアシャワー室。